特開 2022-147567 圧力検出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022147567

(43)【公開日】2022-10-06

(54)【発明の名称】圧力検出装置

(51)【国際特許分類】

   G01L 19/00 20060101AFI20220929BHJP

【ＦＩ】

G01L19/00 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021048867

(22)【出願日】2021-03-23

(71)【出願人】

【識別番号】591257111

【氏名又は名称】サーパス工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100112737

【弁理士】

【氏名又は名称】藤田 考晴

(74)【代理人】

【識別番号】100140914

【弁理士】

【氏名又は名称】三苫 貴織

(74)【代理人】

【識別番号】100136168

【弁理士】

【氏名又は名称】川上 美紀

(74)【代理人】

【識別番号】100172524

【弁理士】

【氏名又は名称】長田 大輔

(72)【発明者】

【氏名】蓮沼 正裕

【テーマコード（参考）】

2F055

【Ｆターム（参考）】

2F055AA40

2F055BB03

2F055CC02

2F055DD09

2F055EE12

2F055FF11

2F055GG12

2F055HH03

2F055HH08

(57)【要約】

【課題】圧力検出ユニットの圧力検出特性に変動が生じることを抑制する。
【解決手段】圧力検出ユニットと、流路ユニット２０と、流路ユニット２０を圧力検出ユニットに着脱可能に取り付ける取付部と、を備え、圧力検出ユニットが、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡと、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡの第１面１２ａＡ１の中心部ＣＰに配置されるとともに圧力検出ダイヤフラム１２ａＡに直交する第１軸線Ｙ１に沿って流路ユニット２０に向けて突出し、第１軸線Ｙ１に直交する先端面１２ａＣ１が形成されたセンサロッド１２ａＣと、を有し、流路ユニット２０が、流路ダイヤフラム２２ａを有し、取付部により流路ユニット２０が圧力検出ユニットに取り付けられた状態で、先端面１２ａＣ１と接触する流路ダイヤフラム２２ａの変位がセンサロッド１２ａＣを介して圧力検出ダイヤフラム１２ａＡに伝達される圧力検出装置１００を提供する。
【選択図】図１１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

流体の圧力を検出する圧力検出ユニットと、
前記流体が流通する流路が形成された流路ユニットと、
前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに着脱可能に取り付ける取付部と、を備え、
前記圧力検出ユニットが、
前記流路ユニットから伝達される圧力に応じて変位する圧力検出ダイヤフラムと、
前記圧力検出ダイヤフラムの第１面の中心部に配置されるとともに前記圧力検出ダイヤフラムに直交する第１軸線に沿って前記流路ユニットに向けて突出し、前記第１軸線に直交する先端面が形成された圧力伝達部材と、を有し、
前記流路ユニットが、
前記流路を流通する前記流体の圧力により変位する流路ダイヤフラムを有し、
前記取付部により前記流路ユニットが前記圧力検出ユニットに取り付けられた状態で、前記先端面と接触する前記流路ダイヤフラムの変位が前記圧力伝達部材を介して前記圧力検出ダイヤフラムに伝達される圧力検出装置。

【請求項2】

前記圧力検出ユニットは、
前記圧力検出ダイヤフラムと、前記圧力伝達部材と、前記圧力検出ダイヤフラムが取り付けられるベース部と、を有するセンサ本体と、
前記センサ本体を収容するとともに前記圧力検出ダイヤフラムの前記中心部を含む第１領域を露出させた状態で前記第１領域の外周側の第２領域に接触する収容部材と、を有し、
前記収容部材は、前記取付部により前記流路ユニットが前記圧力検出ユニットに取り付けられた状態で、前記流路ダイヤフラムの端部領域と接触する接触面を有し、
前記第１面から前記先端面までの前記第１軸線に沿った第１長さは、前記第１面から前記接触面までの前記第１軸線に沿った第２長さの１．０倍以上かつ１．３倍以下である請求項１に記載の圧力検出装置。

【請求項3】

前記圧力検出ユニットは、前記圧力検出ダイヤフラムの第２面に接合されるとともにホイートストンブリッジ回路を構成するように接続された４つの歪抵抗部を有し、
４つの前記歪抵抗部は、前記第２面の前記中心部を除く領域に接合されている請求項１または請求項２に記載の圧力検出装置。

【請求項4】

前記流路ユニットは、前記流路と直交する第２軸線に沿って円筒状に延びるとともに前記流路と連通した連通穴を有し、
前記連通穴は、前記流路ダイヤフラムにより閉塞されており、
前記圧力伝達部材の外径が、前記連通穴の内径の０．２倍以上かつ０．６倍以下である請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の圧力検出装置。

【請求項5】

前記ベース部は、前記第１軸線に沿って円筒状に延びる開口穴を有し、
前記開口穴は、前記圧力検出ダイヤフラムにより閉塞されており、
前記圧力伝達部材の外径が、前記開口穴の内径の０．２倍以上かつ０．５倍以下である請求項２に記載の圧力検出装置。

【請求項6】

前記圧力検出ユニットは、
前記第１軸線に沿って前記圧力検出ダイヤフラムを前記流路ダイヤフラムに向けて付勢する付勢力を発生する付勢部を有し、
前記取付部は、前記付勢部が発生する付勢力により前記圧力伝達部材の前記先端面を前記流路ダイヤフラムに接触させた状態で、前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに取り付ける請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の圧力検出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、圧力検出装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、液体を流通させる流路の一部に圧力伝達面が形成された流路ユニットと、圧力検出面に伝達される圧力を検出する圧力検出ユニットと、これらを着脱可能に取り付ける取付機構とを備える圧力検出装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に開示される圧力検出装置は、流路ユニットが圧力検出ユニットに対して着脱可能となっているため、使用済の流路ユニットを新たな流路ユニットに交換することができる。

【0003】

特許文献１に開示される圧力検出装置は、取付機構により流路ユニットの圧力伝達面を圧力検出ユニットの圧力検出面に接触させることで、流路ユニットを流通する液体の圧力が圧力伝達面を介して圧力検出面に伝達されるようにする。使用済みの流路ユニットを新たな流路ユニットに交換する際には、取付機構により、使用済みの流路ユニットを圧力検出ユニットから取り外し、新たな流路ユニットを圧力検出ユニットに取り付ける。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１９－１５５６８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に開示される圧力検出装置では、流路ユニットの圧力伝達面の全領域を、圧力検出ユニットの圧力検出面に直接的に接触させるように、流路ユニットが圧力検出ユニットに取り付けられる。
しかしながら、流路ユニットの形状の個体差や流路ユニットを圧力検出ユニットに取り付ける際の作業のばらつきなどにより、圧力伝達面の一部の領域が圧力検出面に直接的に接触しない状態になる場合がある。また、圧力伝達面の全領域が圧力検出面に直接的に接触した状態であったとしても、互いの接触力に偏りが生じてしまう場合がある。このような場合、流路ユニットを交換する前と交換した後で、圧力検出ユニットの圧力検出特性が変化してしまう。

【0006】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、流路ユニットの形状の個体差や流路ユニットを圧力検出ユニットに取り付ける際の作業のばらつきなどにより圧力検出ユニットの圧力検出特性に変動が生じることを抑制することが可能な圧力検出装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
本発明の一態様にかかる圧力検出装置は、流体の圧力を検出する圧力検出ユニットと、前記流体が流通する流路が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに着脱可能に取り付ける取付部と、を備え、前記圧力検出ユニットが、前記流路ユニットから伝達される圧力に応じて変位する圧力検出ダイヤフラムと、前記圧力検出ダイヤフラムの第１面の中心部に接合されるとともに前記圧力検出ダイヤフラムに直交する第１軸線に沿って前記流路ユニットに向けて突出し、前記第１軸線に直交する先端面が形成された圧力伝達部材と、を有し、前記流路ユニットが、前記流路を流通する前記流体の圧力により変位する流路ダイヤフラムを有し、前記取付部により前記流路ユニットが前記圧力検出ユニットに取り付けられた状態で、前記先端面と接触する前記流路ダイヤフラムの変位が前記圧力伝達部材を介して前記圧力検出ダイヤフラムに伝達される。

【0008】

本発明の一態様にかかる圧力検出装置によれば、流路ユニットが圧力検出ユニットに着脱可能に取り付けられるため、流路を流通させる流体を変更する場合には、使用済みの流路ユニットを圧力検出ユニットから取り外し、未使用の流路ユニットを新たに圧力検出ユニットに取り付けることができる。そのため、流路を流通させる流体を変更する場合に、多大な時間を要する流路の洗浄作業が不要となり作業の迅速性を高めることができる。また、未使用の流路ユニットを新たに使用できるため、安全性を高めることができる。

【0009】

また、本発明の一態様にかかる圧力検出装置によれば、取付部により流路ユニットが圧力検出ユニットに取り付けられた状態で、圧力検出ダイヤフラムの第１面の中心部に配置される圧力伝達部材の先端面と接触する流路ダイヤフラムの変位が、圧力伝達部材を介して圧力検出ダイヤフラムに伝達される。

【0010】

圧力伝達部材の先端面と接触する流路ダイヤフラムの領域が流路ダイヤフラムの全領域の一部であるため、流路ユニットの形状の個体差や流路ユニットを圧力検出ユニットに取り付ける際の作業のばらつきがあったとしても、圧力伝達部材の先端面の全領域が流路ダイヤフラムに確実に接触する。そのため、流路ユニットの形状の個体差や流路ユニットを圧力検出ユニットに取り付ける際の作業のばらつきなどにより圧力検出ユニットの圧力検出特性に変動が生じることを抑制することができる。

【0011】

また、本発明の一態様にかかる圧力検出装置によれば、圧力検出ユニットが圧力検出ダイヤフラムの第１面の中心部に配置される圧力伝達部材を有するため、流路ユニットを交換しても圧力伝達部材の形状は変化しない。したがって、流路ユニットに圧力伝達部材を設ける場合に比べ、圧力伝達部材の形状の個体差による圧力検出特性の変動を防止することができる。

【0012】

ここで、圧力検出特性の変動とは、例えば、圧力検出装置に外力が加わった場合において、流体の圧力が一定であっても外力が加わる前の圧力検出値と、外力が加わった後の圧力検出値とが変化することである。また、圧力検出特性の変動とは、例えば、流体の圧力が同じ場合であっても、流体の圧力が漸次増加する状態での圧力検出値と、流体の圧力が漸次減少する状態での圧力検出値とが変化することである。

【0013】

本発明の一態様に係る圧力検出装置において、前記圧力検出ユニットは、前記圧力検出ダイヤフラムと、前記圧力伝達部材と、前記圧力検出ダイヤフラムが取り付けられるベース部と、を有するセンサ本体と、前記センサ本体を収容するとともに前記圧力検出ダイヤフラムの前記中心部を含む第１領域を露出させた状態で前記第１領域の外周側の第２領域に接触する収容部材と、を有し、前記収容部材は、前記取付部により前記流路ユニットが前記圧力検出ユニットに取り付けられた状態で、前記流路ダイヤフラムの端部領域と接触する接触面を有し、前記第１面から前記先端面までの前記第１軸線に沿った第１長さは、前記第１面から前記接触面までの前記第１軸線に沿った第２長さの１．０倍以上かつ１．３倍以下である構成が好ましい。

【0014】

上記構成の圧力検出装置によれば、圧力検出ダイヤフラムの第１面から圧力伝達部材の先端面までの第１軸線に沿った第１長さが、第１面から収容部材の接触面までの第２長さの１．０倍以上である。そのため、圧力伝達部材の先端面が収容部材の接触面と同じかそれよりも流路ダイヤフラム側へ突出した位置に配置され、先端面の全領域を確実に流路ダイヤフラムに接触させることができる。

【0015】

上記構成の圧力検出装置によれば、圧力検出ダイヤフラムの第１面から圧力伝達部材の先端面までの第１軸線に沿った第１長さが、第１面から収容部材の接触面までの第２長さの１．３倍以下である。そのため、圧力伝達部材の先端面が収容部材の接触面よりも流路ダイヤフラムへ過度に突出することが抑制され、流路ダイヤフラムが過度に変形することによる圧力検出特性の変動を防止することができる。

【0016】

上記構成の圧力検出装置において、前記圧力検出ユニットは、前記圧力検出ダイヤフラムの第２面に接合されるとともにホイートストンブリッジ回路を構成するように接続された４つの歪抵抗部を有し、４つの前記歪抵抗部は、前記第２面の前記中心部を除く領域に接合されている構成が好ましい。

【0017】

上記構成の圧力検出装置によれば、４つの歪抵抗部が圧力検出ダイヤフラムの第２面の中心部を除く領域に接合されている。そのため、圧力伝達部材が配置されることにより変位が抑制される圧力検出ダイヤフラムの中心部に歪抵抗部を配置する場合に比べ、圧力検出精度の低下を抑制することができる。

【0018】

本発明の一態様に係る圧力検出装置において、前記流路ユニットは、前記流路と直交する第２軸線に沿って円筒状に延びるとともに前記流路と連通した連通穴を有し、前記連通穴は、前記流路ダイヤフラムにより閉塞されており、前記圧力伝達部材の外径（Ｄ１）が、前記連通穴の内径（Ｄ２）の０．２倍以上かつ０．６倍以下である構成が好ましい。

【0019】

上記構成の圧力検出装置によれば、圧力伝達部材の外径が、流路ユニットの連通穴の内径の０．２倍以上であるため、連通穴の内径に対する圧力伝達部材の外径を十分に確保し、流路を流通する流体の圧力変化を確実に圧力検出ダイヤフラムに伝達することができる。

【0020】

また、上記構成の圧力検出装置によれば、圧力伝達部材の外径が、流路ユニットの連通穴の内径の０．６倍以下であるため、流路ユニットの形状の個体差や流路ユニットを圧力検出ユニットに取り付ける際の作業のばらつきがあったとしても、圧力伝達部材の先端面の全領域を流路ダイヤフラムに確実に接触させることができる。

【0021】

本発明の一態様に係る圧力検出装置において、前記ベース部は、前記第１軸線に沿って円筒状に延びる開口穴を有し、前記開口穴は、前記圧力検出ダイヤフラムにより閉塞されており、前記圧力伝達部材の外径が、前記開口穴の内径の０．２倍以上かつ０．５倍以下である構成が好ましい。

【0022】

上記構成の圧力検出装置によれば、圧力伝達部材の外径が、ベース部の開口穴の内径の０．２倍以上である。そのため、開口穴の内径に対する圧力伝達部材の外径を十分に確保し、圧力伝達部材から伝達される圧力に応じて圧力検出ダイヤフラムを確実に変位させることができる。

【0023】

また、上記構成の圧力検出装置によれば、圧力伝達部材の外径が、ベース部の開口穴の内径の０．５倍以下である。そのため、圧力伝達部材が配置されない圧力検出ダイヤフラムの領域を十分に確保し、圧力検出ダイヤフラムの変位量を十分に確保することができる。

【0024】

本発明の一態様に係る圧力検出装置において、前記圧力検出ユニットは、前記第１軸線に沿って前記圧力検出ダイヤフラムを前記流路ダイヤフラムに向けて付勢する付勢力を発生する付勢部を有し、前記取付部は、前記付勢部が発生する付勢力により前記圧力伝達部材の先端面を前記流路ダイヤフラムに接触させた状態で、前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに取り付ける構成が好ましい。

【0025】

上記構成の圧力検出装置によれば、取付部が、付勢部が発生する付勢力により圧力伝達部材の先端面を流路ダイヤフラムに接触させた状態で、流路ユニットを圧力検出ユニットに取り付ける。付勢部が発生する付勢力により圧力伝達部材の先端面が流路ダイヤフラムに接触するため、先端面が流路ダイヤフラムに接触する力の強さが一定となり、圧力検出ユニットによる圧力検出特性の変動を防止することができる。

【発明の効果】

【0026】

本発明によれば、流路ユニットの形状の個体差や流路ユニットを圧力検出ユニットに取り付ける際の作業のばらつきなどにより圧力検出ユニットの圧力検出特性に変動が生じることを抑制することが可能な圧力検出装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】本発明の一実施形態の圧力検出装置を示す平面図である。

【図2】図１に示す圧力検出装置から流路ユニットを取り外した状態を示す平面図である。

【図3】図１に示す圧力検出ユニットから流路ユニットを取り外した状態を示す正面図である。

【図4】図３に示す流路ユニットおよび取付部の部分断面である。

【図5】図３に示す圧力検出ユニットの縦断面図である。

【図6】図１に示す圧力検出装置の正面図である。

【図7】取付部を解除位置からロック位置へ回転させる途中の状態の圧力検出装置を示す正面図である。

【図8】取付部をロック位置へ回転させた状態の圧力検出装置を示す正面図である。

【図9】図８に示す圧力検出装置の平面図である。

【図10】図８に示す圧力検出ユニットの縦断面図である。

【図11】図１０に示す圧力検出装置のＡ部分の部分拡大図であり、圧力検出ダイヤフラムが加圧されていない状態を示す。

【図12】図１１に示す圧力検出装置のＢ－Ｂ矢視断面図である。

【図13】４つの歪抵抗部を金属配線により接続して構成されたホイートストンブリッジ回路を示す図である。

【図14】図１０に示す圧力検出装置のＡ部分の部分拡大図であり、圧力検出ダイヤフラムが加圧されている状態を示す。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下、本発明の一実施形態の圧力検出装置１００を図面に基づいて説明する。
図１および図２に示すように、本実施形態の圧力検出装置１００は、設置面Ｓ（図３参照）に締結ボルト（図示略）で取り付けられた圧力検出ユニット１０と、流入口２１ａから流出口２１ｂへ向けた直線状の流通方向に沿って流体を流通させる流路２１が内部に形成された流路ユニット２０と、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に着脱可能に取り付ける取付部３０とを備える。

【0029】

本実施形態の圧力検出装置１００において、流路ユニット２０は、取付部３０によって圧力検出ユニット１０に取り付けられる。圧力検出装置１００は、流路ユニット２０が取付部３０によって圧力検出ユニット１０に取り付けられて一体化した状態で、設置面Ｓに取り付けられている。

【0030】

図３に示すように、流路ユニット２０の流入口２１ａには流体を流入口２１ａへ流入させる流入側配管（図示略）が取り付けられ、流路ユニット２０の流出口２１ｂには流出口２１ｂから流出する流体を流通させる流出側配管（図示略）が取り付けられる。流入口２１ａから流出口２１ｂへ向けた流路２１を流通する流体の圧力は、圧力検出ユニット１０によって検出される。ここで、流体とは、例えば、血液や透析液等の液体である。

【0031】

図３に示すように、圧力検出ユニット１０は、設置面Ｓに取り付けられる本体部１１を備える。図１および図２に示すように、圧力検出ユニット１０の本体部１１には、内部に配置されるセンサ部１２と外部の制御装置（図示略）とを電気的に接続するケーブル５０が、ケーブル取付ナット５０ａを介して取り付けられている。

【0032】

次に、図１から図５を参照して圧力検出ユニット１０について詳細に説明する。図１から図５に示す圧力検出ユニット１０は、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡに伝達される流体の圧力を検出する装置である。図３は、図１に示す圧力検出ユニット１０から流路ユニット２０を取り外した状態を示す正面図である。図４は、図３に示す流路ユニット２０および取付部３０の部分断面である。図５は、図３に示す圧力検出ユニット１０の縦断面図である。

【0033】

図５に示すように、圧力検出ユニット１０は、本体部１１と、センサ部１２と、保持部１３と、付勢部１４と、センサ基板１５と、ゼロ点調整スイッチ１６（図１参照）と、ガイド部材（案内部）１８と、を有する。

【0034】

図５に示すように、センサ部１２は、センサ本体１２ａと、収容部材１２ｂと、支持部材１２ｃと、を有する。センサ本体１２ａは、歪抵抗が貼り付けられる圧力検出ダイヤフラム１２ａＡと、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡが取り付けられるベース部１２ａＢと、センサロッド（圧力伝達部材）１２ａＣと、を有する。センサ本体１２ａは、伝達される圧力に応じて圧力検出ダイヤフラム１２ａＡとともに変形する歪抵抗の抵抗値の変化に応じた圧力信号を出力する歪式のセンサである。

【0035】

ベース部１２ａＢには圧力検出ダイヤフラム１２ａＡと連通する開口穴１２ａＢ１（図１１参照）が形成されており、開口穴１２ａＢ１は圧力検出ダイヤフラム１２ａＡにより閉塞されている。圧力検出ダイヤフラム１２ａＡの第２面１２ａＡ２は、大気圧に維持される。そのため、センサ本体１２ａは、大気圧を基準にしたゲージ圧を検出するセンサとなっている。圧力検出ダイヤフラム１２ａＡは、耐腐食性のある材料（例えば、サファイア）により薄膜状に形成されている。圧力検出ダイヤフラム１２ａＡは、流路ユニット２０からセンサロッド１２ａＣを介して伝達される圧力に応じて変位する。

【0036】

図５に示すように、収容部材１２ｂは、第１軸線Ｙ１に沿って延びるとともに円筒状に形成されており、センサ本体１２ａを内部に収容する部材である。収容部材１２ｂの内周面には、雌ねじ１２ｂＡが形成されている。雌ねじ１２ｂＡは、支持部材１２ｃの外周面に形成される雄ねじ１２ｃＡと係合する。

【0037】

収容部材１２ｂの下端には、周方向の２箇所に形成されるとともに下端に向けて開口するスリット１２ｂＢが形成されている。スリット１２ｂＢは、操作者が取付部３０を軸線Ｙ回りに回転させる際に、取付部３０とともに軸線Ｙ回りにセンサ部１２が回転することを防止する回り止めピン１４ｃに挿入される。

【0038】

図５に示すように、支持部材１２ｃは、第１軸線Ｙ１に沿って延びるとともに円筒状に形成されており、センサ本体１２ａを収容部材１２ｂの内部で支持する部材である。支持部材１２ｃの外周面には、雄ねじ１２ｃＡが形成されている。収容部材１２ｂの内部にセンサ本体１２ａを挿入し、支持部材１２ｃの雄ねじ１２ｃＡを収容部材１２ｂの雌ねじ１２ｂＡに締結して締め付けることにより、センサ本体１２ａが収容部材１２ｂの内部に固定される。

【0039】

保持部１３は、第１軸線Ｙ１に沿って延びるとともに円筒状に形成される部材であり、センサ部１２を圧力検出ダイヤフラム１２ａＡに直交する第１軸線Ｙ１に沿って移動可能に保持する部材である。保持部１３は、本体部１３ａと、固定部材１３ｂと、Ｏリング１３ｃと、を有する。本体部１３ａの内周面には、センサ部１２の収容部材１２ｂの外周面と接触するＯリング１３ｃが取り付けられている。

【0040】

本体部１３ａの下端の外周面には雄ねじ１３ａＡが形成されており、固定部材１３ｂの内周面には雌ねじ１３ｂＡが形成されている。固定部材１３ｂの雌ねじ１３ｂＡを本体部１３ａの雄ねじ１３ａＡに締結して締め付けることにより、本体部１３ａが本体部１１に取り付けられたガイド部材１８に対して固定される。

【0041】

付勢部１４は、センサ部１２を流路ユニット２０の流路ダイヤフラム２２ａに向けて付勢する付勢力を発生するものである。付勢部１４は、ばね１４ａと、ベース部材１４ｂと、回り止めピン１４ｃと、を有する。ばね１４ａは、本体部１１に固定されたベース部材１４ｂに一端が接触し、センサ部１２の支持部材１２ｃに他端が接触した状態で配置される。ばね１４ａは、ベース部材１４ｂに接触する一端から他端までの第１軸線Ｙ１に沿った距離に応じた付勢力を発生する。

【0042】

回り止めピン１４ｃは、第１軸線Ｙ１に直交する方向に延びる軸状に形成される部材であり、ベース部材１４ｂに固定されている。回り止めピン１４ｃは、収容部材１２ｂの下端に形成される一対のスリット１２ｂＢに挿入される。回り止めピン１４ｃは、操作者が取付部３０を第１軸線Ｙ１回りに回転させる際に、取付部３０とともに第１軸線Ｙ１回りにセンサ部１２が回転することを防止する。

【0043】

センサ基板１５は、センサ本体１２ａが出力する圧力信号を増幅する増幅回路（図示略）と、増幅回路により増幅された圧力信号をケーブル５０の圧力信号線（図示略）に伝達するインターフェース回路と、ケーブル５０を介して外部から供給される電源電圧をセンサ本体１２ａへ伝達する電源回路（図示略）と、ゼロ点調整スイッチ１６が押下された場合にゼロ点調整を行うゼロ点調整回路（図示略）等を備える。ゼロ点調整回路は、ゼロ点調整スイッチ１６が押下された場合に、その時点でセンサ本体１２ａが出力する圧力信号を基準値（例えば、ゼロ）として設定するように調整する回路である。

【0044】

図３および図５に示すように、圧力検出ユニット１０のセンサ部１２および保持部１３は、本体部１１から第１軸線Ｙ１に沿って上方に突出し、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡが頂部に配置された状態となる。図２および図３に示すように、保持部１３は、本体部１３ａの外周面から第１軸線Ｙ１に直交する方向に突出する一対の突起部１３ａＢを有する。

【0045】

図２に示すように、保持部１３の外周面に形成される突起部１３ａＢは、軸線Ｙ回りに１８０°の間隔を空けて２箇所に形成されている。図２に示すように、圧力検出ユニット１０に流路ユニット２０が取り付けられていない状態においては、センサ部１２の圧力検出ダイヤフラム１２ａＡが外部へ露出した状態となっている。

【0046】

ガイド部材１８は、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に取り付ける際に、流路２１を所定の取付位置に案内する溝部１８ａを有する部材である。ガイド部材１８は、第１軸線Ｙ１に対して対象となる位置に一対で設けられている。一対のガイド部材１８は、流路２１の流入口２１ａ側の一部と流出口２１ｂ側の一部とを、所定の取付位置にそれぞれ案内する。

【0047】

次に、図１，図３，図４を参照して流路ユニット２０について詳細に説明する。
図４に示すように、流路ユニット２０は、流入口２１ａから流出口２１ｂへ向けて軸線Ｘに沿って延びる流通方向に流体を流通させる流路２１と、流路ダイヤフラム２２ａが底部に配置される凹部２２と、軸線Ｘに直交する第２軸線Ｙ２に沿って円筒状に延びる連通穴２３とが形成された流路本体２０Ａを有する。連通穴２３は、流路２１と連通している。

【0048】

流路ダイヤフラム２２ａは、耐腐食性のある材料（例えば、ＰＣ（ポリカーボネート））により薄膜状に形成されるダイヤフラムである。流路ダイヤフラム２２ａは第２軸線Ｙ２を中心軸とした平面視円形に形成される部材であり、その外周縁部が連通穴２３を閉塞するように接着あるいは溶着により流路本体２０Ａに接合されている。そのため、流路２１へ導入された流体は、流路２１から外部へ流出することがない。流路ダイヤフラム２２ａは、薄膜状に形成されているため、流路２１に導入された流体の圧力によって第１軸線Ｙ１に沿って変位する。

【0049】

図３に示す流路ユニット２０が圧力検出ユニット１０から取り外された状態において、流路ユニット２０の流路ダイヤフラム２２ａは圧力検出ユニット１０のセンサロッド１２ａＣから離間した状態となる。一方、後述する図１０に示すように流路ユニット２０が圧力検出ユニット１０に取り付けられた状態においては、流路ユニット２０の流路ダイヤフラム２２ａは圧力検出ユニット１０のセンサロッド１２ａＣに接触した状態となる。そのため、流路ダイヤフラム２２ａは、流路２１を流通する流体の圧力をセンサロッド１２ａＣに伝達するための面となっている。

【0050】

図４に示すように、流路ユニット２０は、圧力検出ユニット１０に取り付けられていない状態においては、流路ダイヤフラム２２ａが外部へ露出した状態となっている。ただし、流路ダイヤフラム２２ａは凹部２２の底部に配置されるため、操作者が流路ダイヤフラム２２ａを触ってしまう危険が少ない。

【0051】

図４に示すように、流路ユニット２０の凹部２２の外周面には、第２軸線Ｙ２回りに延びる無端状の環状溝部２２ｂが形成されている。一方、取付部３０には、第２軸線Ｙ２回りに延びる無端状の環状突起部３０ａが形成されている。弾性変形可能な材料（例えば、樹脂材料）により形成される取付部３０は、凹部２２の外周面に形成された環状溝部２２ｂに向けて押し込まれることにより、環状突起部３０ａが環状溝部２２ｂに係合した状態となる。

【0052】

図４に示すように環状突起部３０ａが環状溝部２２ｂに係合した状態において、環状突起部３０ａの外周面と環状溝部２２ｂの内周面との間には、微小な隙間が設けられる。そのため、取付部３０は、圧力検出ユニット１０に取り付けられた状態で、センサ部１２および保持部１３に対して第２軸線Ｙ２回りに相対的に回転可能となっている。これにより、操作者は、圧力検出ユニット１０を設置面Ｓに固定した状態で、取付部３０を第２軸線Ｙ２回りに回転させることが可能である。

【0053】

図３に示すように、取付部３０は、第２軸線Ｙ２に沿って延びる筒状に形成される部材であり、連結部材３１と、つまみ部３２とを有する。取付部３０は、第２軸線Ｙ２回りに回転可能に流路ユニット２０に取り付けられている。図３および図４に示すように、連結部材３１は、保持部１３の本体部１３ａから突出する突起部１３ａＢを収容する溝部３１ａを有する。

【0054】

溝部３１ａは、第２軸線Ｙ２に沿って延びるとともに下端が開口した第１溝部３１ａＡと、第１溝部３１ａＡの上端に連結されるとともに軸線Ｙ回りの周方向に延びる第２溝部３１ａＢと、を有する。第２溝部３１ａＢは、第１溝部３１ａＡに接続される一端とは周方向の反対側の他端に、突起部１３ａＢの外周面と対応する形状に形成された凹部３１ａＣを有する。第２溝部３１ａＢは、周方向において、第１溝部３１ａＡに接続される一端から凹部３１ａＣが形成される他端まで、軸線Ｙ回りに１回転未満の範囲に形成されている。この範囲は、例えば、１／４回転以下の範囲（回転角度４５度以下の範囲）とするのが望ましい。

【0055】

連結部材３１には、流路ユニット２０の流路本体２０Ａを収容するための収容穴３１ｄが形成されている。収容穴３１ｄは、流路本体２０Ａが連結部材３１に対して第２軸線Ｙ２回りに回転可能となるように周方向に所定の開口幅で形成されている。流路ユニット２０は、連結部材３１の収容穴３１ｄに設置した後に、連結部材３１の上端につまみ部３２を取り付けることにより、収容穴３１ｄに収容された状態となる。

【0056】

つまみ部３２は、第２軸線Ｙ２に直交する方向に延びるとともに付勢部１４が発生する付勢力に対抗する押圧力を操作者が第２軸線Ｙ２に沿った方向に付与することが可能な部材である。また、つまみ部３２は、操作者が取付部３０を第２軸線Ｙ２回りの周方向に回転させる力を付与することが可能な部材である。

【0057】

次に、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０へ取り付ける操作について説明する。
操作者は、設置面Ｓに取り付けられた圧力検出ユニット１０に流路ユニット２０を取り付ける場合、以下のような手順で作業する。

【0058】

始めに、図３に示すように、圧力検出ユニット１０の第１軸線Ｙ１と流路ユニット２０の第２軸線Ｙ２とを一致させ、かつ圧力検出ユニット１０の突起部１３ａＢの第１軸線Ｙ１回りの周方向の位置と、取付部３０の第１溝部３１ａＡの第２軸線Ｙ２回りの周方向の位置とが一致するように流路ユニット２０を配置する。

【0059】

次に、操作者は、図３に示す状態を維持したまま、流路ユニット２０を第２軸線Ｙ２に沿って下方に移動させ、圧力検出ユニット１０のセンサ部１２を流路ユニット２０の凹部２２に挿入する。センサ部１２が凹部２２に挿入されると、センサ部１２のセンサロッド１２ａＣが流路ユニット２０の流路ダイヤフラム２２ａに接触した状態となる。

【0060】

図６に示すように、センサロッド１２ａＣが流路ダイヤフラム２２ａに接触した状態において、圧力検出ユニット１０の突起部１３ａＢが取付部３０の第１溝部３１ａＡに挿入された状態となる。操作者がつまみ部３２を下方に押し下げる押圧力を付与しない状態において、付勢部１４は、取付部３０および流路ユニット２０の重さを支持する付勢力を発生する。

【0061】

次に、操作者は、図６に示す状態でつまみ部３２を把持しながら、取付部３０を下方に押し付ける押圧力を付与する。取付部３０に下方に向けた押圧力が付与されると、付勢部１４のばね１４ａが縮み、圧力検出ユニット１０の突起部１３ａＢが第１溝部３１ａＡの上端に到達する。操作者は、突起部１３ａＢが第１溝部３１ａＡの上端に到達した状態でつまみ部３２を軸線Ｙ回りの周方向に沿って時計回りに回転させ、突起部１３ａＢを第２溝部３１ａＢへ挿入し、図７に示す状態とする。

【0062】

図７は、取付部３０を解除位置からロック位置へ回転させる途中の状態の圧力検出装置１００を示す正面図である。図７に示す状態では、操作者がつまみ部３２を下方へ押圧する力を少なくしあるいはつまみ部３２を離したとしても、付勢部１４により上方へ向けた付勢力が付与される取付部３０は第１軸線Ｙ１に向けて上方へ移動することが規制される。これは、付勢部１４の付勢力により取付部３０が上方へ移動しようとしても、第２溝部３１ａＢが突起部１３ａＢに接触するからである。

【0063】

次に、操作者は、図７に示す状態でつまみ部３２を把持しながら、つまみ部３２を第２軸線Ｙ２回りの周方向に沿って時計回りに回転させ、第２溝部３１ａＢの端部に配置された凹部３１ａＣを突起部１３ａＢに押し当て、図８に示す状態とする。図８に示すように、凹部３１ａＣは、第２溝部３１ａＢよりも第１軸線Ｙ１に沿って下方へ向けて凹み、かつ突起部１３ａＢの外周面と対応する形状に形成されている。

【0064】

図８は、取付部３０をロック位置へ回転させた状態の圧力検出装置１００を示す正面図である。図９は、図８に示す圧力検出装置１００の平面図である。図１０は、図８に示す圧力検出装置１００の縦断面図である。

【0065】

図８に示すように、取付部３０をロック位置へ回転させた状態において、付勢部１４が発生する付勢力により第２溝部３１ａＢの凹部３１ａＣを突起部１３ａＢに押し当てることにより、センサ部１２が第２軸線Ｙ２上の所定位置に位置決めされる。

【0066】

また、取付部３０は、付勢部１４が発生する付勢力により凹部３１ａＣを突起部１３ａＢに押し当てることにより、第２軸線Ｙ２回りに回転することを規制する。これは、凹部３１ａＣが突起部１３ａＢに押し当てられると、つまみ部３２を下方に押圧する押圧力を操作者が付与しない限り、つまみ部３２を反時計回りに回転させることができなくなるからである。

【0067】

以上においては、取付部３０を解除位置からロック位置へ回転させることにより、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に取り付ける操作について説明した。流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０から取り外す操作は、取付部３０をロック位置から解除位置へ回転させる操作となる。

【0068】

流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０から取り外す場合、操作者は、つまみ部３２を下方に押し当てて凹部３１ａＣを突起部１３ａＢから離間させ、つまみ部３２を反時計回りに回転させて図７に示す状態とする。操作者は、更につまみ部３２を反時計回りに回転させ、図６に示す状態とする。その後、操作者は、つまみ部３２を把持しながら取付部３０を上方へ引き上げることにより、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０から離間させる。

【0069】

次に、図１１から図１４を参照して、流路ダイヤフラム２２ａから圧力検出ダイヤフラム１２ａＡに流体の圧力を伝達する構造について説明する。図１１は、図１０に示す圧力検出装置１００のＡ部分の部分拡大図であり、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡが加圧されていない状態を示す。図１２は、図１１に示す圧力検出装置１００のＢ－Ｂ矢視断面図である。

【0070】

図１３は、４つの歪抵抗部を金属配線により接続して構成されたホイートストンブリッジ回路を示す図である。図１４は、図１０に示す圧力検出装置のＡ部分の部分拡大図であり、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡが加圧されている状態を示す。図１４には、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡが加圧されていない状態の圧力検出ダイヤフラム１２ａＡおよび流路ダイヤフラム２２ａを仮想線で示してある。

【0071】

圧力検出ダイヤフラム１２ａＡが加圧されていない状態とは、流路２１に流体が流通しておらず流路２１が大気圧に維持されている状態や、流路２１に流通する流体の圧力が大気圧と一致している状態をいう。圧力検出ダイヤフラム１２ａＡが加圧されている状態とは、流路２１に流通する流体の圧力が大気圧よりも高い状態をいう。

【0072】

図１１および図１４に示すように、センサ本体１２ａが備えるセンサロッド１２ａＣは、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡの第１面１２ａＡ１の中心部ＣＰに配置される部材である。センサロッド１２ａＣは、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡに直交する第１軸線Ｙ１に沿って流路ユニット２０の流路ダイヤフラム２２ａに向けて突出し、第１軸線Ｙ１に直交する先端面１２ａＣ１が形成されている。センサロッド１２ａＣは、例えば、ガラスにより形成されており、接着剤により圧力検出ダイヤフラム１２ａＡの中心部ＣＰに接合されている。

【0073】

センサロッド１２ａＣにガラスを用いるのは、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡを形成する材料（例えば、サファイア）と同等の機械的特性および熱的特性を有するからである。センサロッド１２ａＣの機械的特性および熱的特性を圧力検出ダイヤフラム１２ａＡと同等にすることにより、これらが異なる場合にセンサロッド１２ａＣの機械的特性および熱的特性に起因する検出精度の低下を抑制することができる。

【0074】

また、センサロッド１２ａＣと圧力検出ダイヤフラム１２ａＡの材料を同等とすることにより、接着剤に対する双方の接着性を向上させることができる。なお、センサロッド１２ａＣと圧力検出ダイヤフラム１２ａＡとを、同一の材料や同種のガラスにより形成し、それらを接着剤により接合してもよい。また、センサロッド１２ａＣと圧力検出ダイヤフラム１２ａＡとを、同一の材料により一体に形成してもよい。

【0075】

図１１および図１４に示すように、取付部３０により流路ユニット２０が圧力検出ユニット１０に取り付けられた状態で、センサロッド１２ａＣの先端面１２ａＣ１と接触する流路ダイヤフラム２２ａの変位は、センサロッド１２ａＣを介して圧力検出ダイヤフラム１２ａＡに伝達される。

【0076】

図１１および図１４に示すように、収容部材１２ｂの流路ユニット２０側の端部は、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡの中心部ＣＰを含む第１領域Ｒ１を露出させた状態で第１領域Ｒ１の外周側の第２領域Ｒ２に接触する。図１２に示すように、第１領域Ｒ１は第１軸線Ｙ１を中心とした円形の領域であり、第２領域Ｒ２は第１軸線Ｙ１を中心とした円環状の領域である。

【0077】

図１１および図１４に示すように、収容部材１２ｂは、取付部３０により流路ユニット２０が圧力検出ユニット１０に取り付けられた状態で、流路ダイヤフラム２２ａの端部領域と接触する接触面１２ｂＣを有する。流路ダイヤフラム２２ａは、接触面１２ｂＣと接触することにより、第１軸線Ｙ１上の位置が圧力検出ダイヤフラム１２ａＡに対して相対的に固定される。

【0078】

図１１に示すように、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡの第１面１２ａＡ１から先端面１２ａＣ１までの第１軸線Ｙ１に沿った長さは第１長さＬ１であり、第１面１２ａＡ１から接触面１２ｂＣまでの第１軸線Ｙ１に沿った長さは第２長さＬ２である。第１長さＬ１は、第２長さＬ２の１．０倍以上かつ１．３倍以下に設定されている。

【0079】

図１１に示すように、センサロッド１２ａＣの外径はＤ１であり、連通穴２３の内径はＤ２である。外径Ｄ１は、内径Ｄ２の０．２倍以上かつ０．６倍以下に設定されている。また、センサ本体１２ａのベース部１２ａＢに形成される開口穴１２ａＢ１の内径はＤ３である。外径Ｄ１は、内径Ｄ３の０．２倍以上かつ０．５倍以下に設定されている。

【0080】

図１１および図１４に示すように、収容部材１２ｂの先端には、接触面１２ｂＣよりも流路ユニット２０側へ突出する環状突出部１２ｂＤが形成されている。環状突出部１２ｂＤは、第１軸線Ｙ１回りに環状に形成されている。また、流路本体２０Ａの環状突出部１２ｂＤと対向する位置には、環状溝部２４が形成されている。環状溝部２４の幅（第２軸線Ｙ２に直交する方向の長さ）は、環状突出部１２ｂＤの幅よりもわずかに広くなっている。

【0081】

付勢部１４によりセンサ部１２が流路ユニット２０へ近づく方向に付勢されると、流路ダイヤフラム２２ａがセンサロッド１２ａＣの先端面１２ａＣ１に接触する前に、環状突出部１２ｂＤが環状溝部２４に挿入される。環状突出部１２ｂＤが環状溝部２４に挿入されることにより、圧力検出ユニット１０の第１軸線Ｙ１と流路ユニット２０の第２軸線Ｙ２とが一致した状態となる。

【0082】

そのため、流路ダイヤフラム２２ａがセンサロッド１２ａＣの先端面１２ａＣ１に接触する際に、圧力検出ユニット１０の第１軸線Ｙ１と流路ユニット２０の第２軸線Ｙ２とが一致した状態となる。これにより、流路ダイヤフラム２２ａがセンサロッド１２ａＣの先端面１２ａＣ１に接触した後に、流路ダイヤフラム２２ａと先端面１２ａＣ１とが第１軸線Ｙ１に直交する方向にずれ、圧力検出特性が変動することが防止される。

【0083】

ここで、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡの第２面１２ａＡ２に接合される歪抵抗部１２ａＤについて説明する。図１２は、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡを第１面１２ａＡ１側からみた図であるため、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡの第２面１２ａＡ２に接合される４つの歪抵抗部１２ａＤ（１２ａＤ１，１２ａＤ２，１２ａＤ３，１２ａＤ４）が仮想線で示されている。

【0084】

図１２に示すように、歪抵抗部１２ａＤ１は、歪抵抗素子１２ａＤ１１と歪抵抗素子１２ａＤ１２の２つの素子を、中心部ＣＰを中心とした円周方向の異なる位置に配置したものである。同様に、歪抵抗部１２ａＤ２は、歪抵抗素子１２ａＤ２１と歪抵抗素子１２ａＤ２２の２つの素子を、中心部ＣＰを中心とした円周方向の異なる位置に配置したものである。同様に、歪抵抗部１２ａＤ３は、歪抵抗素子１２ａＤ３１と歪抵抗素子１２ａＤ３２の２つの素子を、中心部ＣＰを中心とした円周方向の異なる位置に配置したものである。同様に、歪抵抗部１２ａＤ４は、歪抵抗素子１２ａＤ４１と歪抵抗素子１２ａＤ４２の２つの素子を、中心部ＣＰを中心とした円周方向の異なる位置に配置したものである。

【0085】

図１２に示すように、本実施形態の４つの歪抵抗部１２ａＤは、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡの第２面１２ａＡ２の第１領域Ｒ１において、センサロッド１２ａＣが配置される中心部ＣＰを除く領域に配置される。４つの歪抵抗部１２ａＤを、中心部ＣＰを除く領域に配置しているのは、センサロッド１２ａＣから圧力検出ダイヤフラム１２ａＡに圧力が伝達されても中心部ＣＰが殆ど変位しないからである。中心部ＣＰが殆ど変位しないのは、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡの第２面１２ａＡ２の中心部ＣＰが、センサロッド１２ａＣと接着剤により接合されているためである。

【0086】

図１３に示すように、４つの歪抵抗部１２ａＤの抵抗値は、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡに伝達される圧力による圧力検出ダイヤフラム１２ａＡの変位（歪）によって変化する。圧力検出ダイヤフラム１２ａＡに圧力が伝達され、４つの歪抵抗部１２ａＤの抵抗値が変化すると、入力電圧Ｖｉｎに対する出力電圧Ｖｏｕｔの値が変化する。この出力電圧Ｖｏｕｔの値がセンサ基板１５により流体の圧力に変換される。

【0087】

以上説明した本実施形態の圧力検出装置１００が奏する作用および効果について説明する。
本実施形態の圧力検出装置１００によれば、流路ユニット２０が圧力検出ユニット１０に着脱可能に取り付けられるため、流路２１を流通させる流体を変更する場合には、使用済みの流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０から取り外し、未使用の流路ユニット２０を新たに圧力検出ユニット１０に取り付けることができる。そのため、流路２１を流通させる流体を変更する場合に、多大な時間を要する流路の洗浄作業が不要となり作業の迅速性を高めることができる。また、未使用の流路ユニット２０を新たに使用できるため、安全性を高めることができる。

【0088】

また、本実施形態の圧力検出装置１００によれば、取付部３０により流路ユニット２０が圧力検出ユニット１０に取り付けられた状態で、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡの第１面１２ａＡ１の中心部ＣＰに配置されるセンサロッド１２ａＣの先端面１２ａＣ１と接触する流路ダイヤフラム２２ａの変位が、センサロッド１２ａＣを介して圧力検出ダイヤフラム１２ａＡに伝達される。

【0089】

センサロッド１２ａＣの先端面１２ａＣ１と接触する流路ダイヤフラム２２ａの領域が流路ダイヤフラム２２ａの全領域の一部であるため、流路ユニット２０の形状の個体差や流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に取り付ける際の作業のばらつきがあったとしても、センサロッド１２ａＣの先端面１２ａＣ１の全領域が流路ダイヤフラム２２ａに確実に接触する。そのため、流路ユニット２０の形状の個体差や流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に取り付ける際の作業のばらつきなどにより圧力検出ユニット１０の圧力検出特性に変動が生じることを抑制することができる。

【0090】

また、本実施形態の圧力検出装置１００によれば、圧力検出ユニット１０が圧力検出ダイヤフラム１２ａＡの第１面１２ａＡ１の中心部ＣＰに配置されるセンサロッド１２ａＣを有するため、流路ユニット２０を交換してもセンサロッド１２ａＣの形状は変化しない。したがって、流路ユニット２０にセンサロッド１２ａＣを設ける場合に比べ、センサロッド１２ａＣの形状の個体差による圧力検出特性の変動を防止することができる。

【0091】

ここで、圧力検出特性の変動とは、例えば、圧力検出装置１００に外力が加わった場合において、流体の圧力が一定であっても外力が加わる前の圧力検出値と、外力が加わった後の圧力検出値とが変化することである。また、圧力検出特性の変動とは、例えば、流体の圧力が同じ場合であっても、流体の圧力が漸次増加する状態での圧力検出値と、流体の圧力が漸次減少する状態での圧力検出値とが変化することである。

【0092】

また、本実施形態の圧力検出装置１００によれば、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡの第１面１２ａＡ１からセンサロッド１２ａＣの先端面１２ａＣ１までの第１軸線Ｙ１に沿った第１長さＬ１が、第１面１２ａＡ１から収容部材１２ｂの接触面１２ｂＣまでの第２長さＬ２の１．０倍以上である。そのため、センサロッド１２ａＣの先端面１２ａＣ１が収容部材１２ｂの接触面１２ｂＣと同じか、それよりも流路ダイヤフラム２２ａへ突出した位置に配置され、先端面１２ａＣ１の全領域を確実に流路ダイヤフラム２２ａに接触させることができる。

【0093】

また、本実施形態の圧力検出装置１００によれば、第１長さＬ１が第２長さの１．３倍以下である。そのため、センサロッド１２ａＣの先端面１２ａＣ１が収容部材１２ｂの接触面１２ｂＣよりも流路ダイヤフラム２２ａへ過度に突出することが抑制され、流路ダイヤフラム２２ａが過度に変形することによる圧力検出特性の変動を防止することができる。

【0094】

また、本実施形態の圧力検出装置１００によれば、４つの歪抵抗部１２ａＤが圧力検出ダイヤフラム１２ａＡの第２面１２ａＡ２の中心部ＣＰを除く領域に接合されている。そのため、センサロッド１２ａＣが配置されることにより変位が抑制される圧力検出ダイヤフラム１２ａＡの中心部ＣＰに歪抵抗部１２ａＤを配置する場合に比べ、圧力検出精度の低下を抑制することができる。

【0095】

また、本実施形態の圧力検出装置１００によれば、センサロッド１２ａＣの外径Ｄ１が、流路ユニット２０の連通穴２３の内径Ｄ２の０．２倍以上である。そのため、連通穴２３の内径Ｄ２に対するセンサロッド１２ａＣの外径Ｄ１を十分に確保し、流路２１を流通する流体の圧力変化を確実に圧力検出ダイヤフラム１２ａＡに伝達することができる。

【0096】

また、本実施形態の圧力検出装置１００によれば、センサロッド１２ａＣの外径Ｄ１が、流路ユニット２０の連通穴２３の内径Ｄ２の０．６倍以下である。そのため、流路ユニット２０の形状の個体差や流路ユニット２０を圧力検出ユニットに取り付ける際の作業のばらつきがあったとしても、センサロッド１２ａＣの先端面１２ａＣ１の全領域を流路ダイヤフラム２２ａに確実に接触させることができる。

【0097】

本実施形態の圧力検出装置１００によれば、センサロッド１２ａＣの外径Ｄ１が、ベース部１２ａＢの開口穴１２ａＢ１の内径Ｄ３の０．２倍以上である。そのため、開口穴１２ａＢ１の内径Ｄ３に対するセンサロッド１２ａＣの外径Ｄ１を十分に確保し、センサロッド１２ａＣから伝達される圧力に応じて圧力検出ダイヤフラム１２ａＡを確実に変位させることができる。

【0098】

また、本実施形態の圧力検出装置１００によれば、センサロッド１２ａＣの外径Ｄ１が、ベース部１２ａＢの開口穴１２ａＢ１の内径Ｄ３の０．５倍以下である。そのため、センサロッド１２ａＣが配置されない圧力検出ダイヤフラム１２ａＡの領域を十分に確保し、圧力検出ダイヤフラム１２ａＡの変位量を十分に確保することができる。

【符号の説明】

【0099】

１０ 圧力検出ユニット
１１ 本体部
１２ センサ部
１２ａ センサ本体
１２ａＡ 圧力検出ダイヤフラム
１２ａＡ１ 第１面
１２ａＡ２ 第２面
１２ａＢ ベース部
１２ａＢ１ 開口穴
１２ａＣ センサロッド（圧力伝達部材）
１２ａＣ１ 先端面
１２ａＤ 歪抵抗部
１２ｂ 収容部材
１２ｂＣ 接触面
１２ｂＤ 環状突出部
１２ｃ 支持部材
１３ 保持部
１４ 付勢部
１５ センサ基板
１６ ゼロ点調整スイッチ
１８ ガイド部材
２０ 流路ユニット
２０Ａ 流路本体
２１ 流路
２２ 凹部
２２ａ 流路ダイヤフラム
２２ｂ 環状溝部
２３ 連通穴
２４ 環状溝部
３０ 取付部
３２ つまみ部
１００ 圧力検出装置
ＣＰ 中心部
Ｒ１ 第１領域
Ｒ２ 第２領域
Ｘ 軸線
Ｙ１ 第１軸線
Ｙ２ 第２軸線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】