特開 2022-149215 ノズルアセンブリ、及び、静電噴霧装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022149215

(43)【公開日】2022-10-06

(54)【発明の名称】ノズルアセンブリ、及び、静電噴霧装置

(51)【国際特許分類】

   B05B 5/025 20060101AFI20220929BHJP

   B05B 1/14 20060101ALI20220929BHJP

【ＦＩ】

B05B5/025 A

B05B1/14 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021051264

(22)【出願日】2021-03-25

(71)【出願人】

【識別番号】501052270

【氏名又は名称】ナガセテクノエンジニアリング株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100128381

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 義憲

(74)【代理人】

【識別番号】100124062

【弁理士】

【氏名又は名称】三上 敬史

(72)【発明者】

【氏名】平賀 芳彦

【テーマコード（参考）】

4F033

4F034

【Ｆターム（参考）】

4F033AA01

4F033BA03

4F033DA04

4F033DA05

4F033EA01

4F033NA01

4F034AA04

4F034BA07

4F034BB04

4F034BB15

4F034BB25

(57)【要約】

【課題】対象物の広い範囲に均一な液体膜を形成することが可能なノズルアセンブリ及び静電噴霧装置を提供する。
【解決手段】ノズルアセンブリ５０は、同一の吐出方向（－Ｚ方向）に液体を吐出することができる３つ以上のノズル２０を有する備える。各ノズルは液体の吐出口２２を有し、吐出方向から見て吐出口は第１の方向（Ｘ方向）に沿って１列に配置され、吐出方向及び第１の方向に対して直交する第２の方向（Ｙ方向）から見て、３つ以上のノズル２０の内の中央に配置されたノズル２０Ａから端に配置されたノズル２０Ｂに向かって、各ノズル２０の吐出口２２の先端の位置が吐出方向と反対方向（Ｚ方向）に順に後退するように、各ノズル２０が配置されている。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

同一の吐出方向に液体を吐出することができる３つ以上のノズルを備えるノズルアセンブリであって、
各前記ノズルは液体の吐出口を有し、
前記吐出方向から見て、前記吐出口は第１の方向に沿って１列に配置され、
前記吐出方向及び前記第１の方向に対して直交する第２の方向から見て、
前記３つ以上ノズルの内の中央に配置されたノズルから端に配置されたノズルに向かって、各前記ノズルの吐出口の先端の位置が前記吐出方向と反対方向に順に後退するように、各前記ノズルが配置されている、ノズルアセンブリ。

【請求項2】

前記第２の方向から見て、隣接する前記ノズル間で前記吐出口の先端が後退する量はそれぞれ２～８ｍｍとされている、請求項１に記載のノズルアセンブリ。

【請求項3】

請求項１又は２に記載のノズルアセンブリと、
前記吐出口と対向して配置される対向電極と、
前記対向電極、及び、前記ノズルアセンブリの少なくとも一部の間に電圧を印加する電源と、を備える静電噴霧装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ノズルアセンブリ、及び、静電噴霧装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、帯電した液体をノズルから排出させ、静電気力による反発力で多数の微少な液滴を形成して対象物に供給する、いわゆる静電噴霧技術を利用した液塗布方法が知られている。これにより、対象物上に薄い液膜を得ることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００６－５８６２８号公報

【特許文献2】特開２００４－１３６６５５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、静電噴霧技術を利用して、対象物の広い領域に液体の膜を形成させたいと言う要望がある。

【0005】

しかしながら、発明者らが検討したところ、３以上のノズルを並べて静電噴霧による塗布域を広げようとしても、ノズル毎に静電噴霧の液滴の広がり方が大きく変わってしまい、ノズル間での塗布の厚みムラが大きくなって広範囲に均一な塗布膜が形成されにくいことが判明した。

【0006】

本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、対象物の広い範囲に均一な液体膜を形成することが可能なノズルアセンブリ及び静電噴霧装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一側面に係るノズルアセンブリは、同一の吐出方向に液体を吐出することができる３つ以上のノズルを備える。
各前記ノズルは液体の吐出口を有し、
前記吐出方向から見て、前記吐出口は第１の方向に沿って１列に配置され、
前記吐出方向及び前記第１の方向に対して直交する第２の方向から見て、
前記３つ以上ノズルの内の中央に配置されたノズルから端に配置されたノズルに向かって、各前記ノズルの吐出口の先端の位置が前記吐出方向と反対方向に順に後退するように、各前記ノズルが配置されている。

【0008】

ここで、前記第２の方向から見て、隣接する前記ノズル間で前記吐出口の先端が後退する量はそれぞれ２～８ｍｍとされていることができる。

【0009】

本発明の一側面に係る静電噴霧装置は、上記のいずれかのノズルアセンブリと、
前記吐出口と対向して配置される対向電極と、
前記対向電極、及び、前記ノズルアセンブリの少なくとも一部の間に電圧を印加する電源と、を備える

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、対象物の広い範囲に均一な液体膜を形成することが可能なノズルアセンブリ及び静電噴霧装置が提供される。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は、本発明の第１実施形態に係る静電塗布装置の概略構成図である。

【図2】図２は、本発明の第１実施形態に係るノズルアセンブリのノズルプレートの正面図である。

【図3】図３は、本発明の第１実施形態に係るノズルアセンブリを図２のＩＩＩ－ＩＩＩ面矢視図である。

【図4】図４は、本発明の第１実施形態に係るノズルアセンブリを吐出方向から見た概略図である。

【図5】図５は、本発明の第２実施形態に係るノズルアセンブリの断面模式図である。

【図6】図６は、本発明の第３実施形態に係るノズルアセンブリのノズル近傍の正面図である。

【図7】図７の（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第４，５実施形態に係るノズルアセンブリを吐出方向から見た概略である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

本発明の実施形態について説明する。

【0013】

（第１実施形態）
本発明の１実施形態に係る静電噴霧装置１００について図１及び図２を参照して説明する。

【0014】

この静電噴霧装置１００は、ノズルアセンブリ５０、対向電極６０、電源７０を主として有する。

【0015】

ノズルアセンブリ５０は、吐出方向（－Ｚ方向）に向かって液体を吐出可能な４つのノズル２０を有する。４つのノズル２０は、２つのノズル２０Ａ、及び、２つのノズル２０Ｂを有する。各ノズル２０は、それぞれ、個別流路２４と吐出口２２を有する。４つの個別流路２４は、上部で１つの集合流路２５に接続され、集合流路２５はラインＬ１０に接続されている。

【0016】

図２に、図１のノズルアセンブリ５０のノズルプレート１０の正面図を、図３に、ノズルアセンブリの図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線矢視図を、図３にノズルアセンブリを吐出方向から見た模式図を示す。

【0017】

図２に示すように、ノズルプレート１０の表面には溝１２が形成されている。溝１２は、上部の集合部１２Ａと、集合部１２Ａから下部に向かって４つに分岐する分岐部１２Ｂとを有する。分岐部１２Ｂの下端はノズルプレート１０の下端に達して外部に開放されている。

【0018】

図３に示すように、ノズルプレート１０の表面上には、樹脂板３０が重ねられており、ノズルプレート１０の溝１２の集合部１２Ａと樹脂板３０との隙間が集合流路２５を形成し、ノズルプレート１０の溝１２の分岐部１２Ｂと樹脂板３０との隙間が各ノズルの個別流路２４を形成する。集合流路２５には、樹脂板３０に設けられた貫通孔３０Ａを介してラインＬ１０が接続されている。

【0019】

図１に示すように、各ノズルの流路２４は、下方にある対向電極６０に向かうように鉛直方向に伸び、流路２４は互いに平行に配置され、各流路２４の下端には液体を下向き（－Ｚ方向）に吐出する吐出口２２が設けられている。

【0020】

図２及び図４に示すように、吐出方向から見て、吐出口２２はＸ方向（第１の方向）に沿って１列に配置されてノズルアレイＡＲを形成し、Ｘ方向に伸びる直線上に沿って配置されている。

【0021】

ノズル２０の流路２４の軸に垂直な断面の径（円相当径）は０．１～１．０ｍｍとすることができる。流路２４の断面の形状は矩形であってもよく、半円などの円弧を含む形状でもよい。

【0022】

個別流路２４の長さに特に限定はなく、例えば、５～２０ｍｍとすることができる。

【0023】

各個別流路２４は、流路２４の吐出方向（－Ｚ方向）と垂直な方向（Ｘ方向：水平方向）に等間隔に離間して配置されている。図２に示すノズル２０の間隔Ｈは、６～１６ｍｍとすることができる。

【0024】

本実施形態では、図２に示すように、ノズルプレート１０のノズル２０に対応する部分（下端部）はそれぞれ吐出方向に突き出たＶ字形状とされ、図３に示すように、当該Ｖ字の先端部分は、樹脂板３０に覆われておらず樹脂板３０よりも突出している。すなわち、ノズル２０の下端部では、ノズルプレート１０の溝１２のみにより個別流路２４及び吐出口２２が形成される。

【0025】

本実施形態においては、図２に示すように、ノズル２０の吐出方向（－Ｚ方向）及びノズル２０（流路２４及び吐出口２２）が並ぶＸ方向（第１の方向）に対して垂直な方向（Ｙ方向：第２の方向）からみて、４つのノズル２０の吐出口２２の先端の位置がすべて同じではなく、ノズル２０の場所によって吐出口２２の先端の位置が異なるように配置されている。

【0026】

すなわち、Ｙ方向（第２の方向）からみて、ノズルアレイＡＲにおいてノズルの並ぶＸ方向の中央に配置されたノズル２０Ａの吐出口２２の先端（下端）を基準とし、Ｘ方向における外側（端側）に隣り合って配置されるノズル２０Ｂの吐出口２２の先端（下端）の位置が、吐出方向（－Ｚ方向：流路の軸方向）と反対方向（上向きＺ方向）に後退するように、それぞれのノズル２０（ノズルプレート１０の下端）の位置が設定されている。

【0027】

隣接するノズル２０間において、吐出口２２の先端が吐出方向において後退する距離Ｄは、２～８ｍｍとすることができる。

【0028】

ノズルプレート１０の材料は、鋼、ステンレススチール、アルミニウムなどの導電性材料である。ノズルプレート１０には電源７０が電気的に接続されており、集合流路２５及び／又は個別流路２４内を流れる液体に電圧（好ましくは正電圧）を印加させ、帯電させることができる。

【0029】

図３に示すように、ノズルプレート１０における樹脂板３０が重ねられた面とは反対側の面には、樹脂板４０が重ねられ、ノズルプレート１０が保護されている。

【0030】

樹脂板３０，４０の材料に特に限定はないが、絶縁性材料であることが好適であり、例えば、ポリテトラフルオロエチレン等の樹脂であることが好適である。

【0031】

図１に戻って、対向電極６０は、ノズル２０の下方（吐出方向）に配置されている。対向電極６０は、ノズル２０の軸線の延長線上に配置されていることが好適であり、ノズル２０から離間されている。対向電極６０は接地されていることが好ましい。

【0032】

本実施形態では、対向電極６０は板状であり、対向電極６０上に、静電噴霧により液膜を形成すべき表面を有する基板ＳＢが載置されている。ノズル２０と基板ＳＢとの距離も特に限定されないが、例えば、１０～６０ｍｍ程度とすることができる。

【0033】

電源７０は、ノズルアセンブリ５０のノズルプレート１０と対向電極６０との間に電圧を印加し、ノズルアセンブリ内の液体を帯電させる。通常、電源の電圧は、直流であり、電圧は特に限定されないが、本実施形態では、５～２０ｋＶとすることができる。電圧は、対向電極６０に対して、ノズル側がプラスとなるように印加することが好ましい。電源の電圧は交流であってもよい。

【0034】

液体供給部８０は、ラインＬ１０を介してノズルアセンブリ５０に対して静電噴霧をする液体を供給する装置である。

【0035】

液体供給部８０は、静電噴霧用液を貯留する槽７２と、槽７２からラインＬ１０を介してノズルアセンブリ５０の集合流路２５を介して各ノズル２０の流路２４に静電噴霧用の液体を供給するポンプ７４とを備える。本実施形態では、ポンプ７４が密閉状態にある槽７２にラインＬ２０を介して空気を供給することにより、ラインＬ１０を介して静電噴霧用の液体がノズル２０に供給される。

【0036】

続いて、本実施形態の静電噴霧装置１００を用いる液膜の塗布方法について説明する。

【0037】

まず、対向電極６０上に、塗布対象となる基板ＳＢを載置する。続いて、電源７０により、ノズルアセンブリ５０と対向電極６０との間に電圧を印加する。また、ポンプ７４を駆動して、槽７２内の液体を、ラインＬ１０を介してノズルアセンブリ５０内の流路２４、２５に供給する。ノズルプレート１０により電荷が与えられてノズルアセンブリ５０内の液体が帯電し、ノズル２０の各吐出口２２の先端から突出する液体はテイラーコーンを形成する。コーンの先では、静電気力により液滴が分裂し、吐出方向と直交する２方向に広がりながら多数の微少な液滴群が反対電荷を有する対向電極６０に向かって射出される。

【0038】

これにより、静電噴霧用液の多数の液滴群を基板ＳＢ上に供給し、基板上に液膜を形成することができる。

【0039】

本実施形態によれば、上述のノズルアセンブリ５０を用いているので、３本以上のノズル２０から液体を静電噴霧する場合であっても、各ノズル２０からの液体の広がり具合及び供給量をノズル間で均一にし易く、広範囲にわたって均一に液体によるコーティングが可能となる。

【0040】

これに対して、各ノズルの吐出口の先端位置が同じであると、一列に並ぶノズルアレイの内の外側のノズルほど、液滴が広がりやすくなると共に液の吐出量も増えてしまい、液体の供給量及び／又は供給範囲の大きさがノズル毎に不均一となり、液膜の厚みが不均一となってしまう。

【0041】

上述の構成のノズルアセンブリ５０により本発明の効果が得られるのは以下の理由が考えられる。上述のように、各ノズルの吐出口の先端位置が同じであると、外側のノズルの方が、液の吐出量が多くなったり、液の分裂によるミストの広がりが大きくなったりする傾向がある。本実施形態では、外側に行くほどノズルの吐出口の先端の位置が後退するようにノズルが配置されているので、外側のノズルの電界の大きさが中央に比べて小さくなることが一因と考えられる。

【0042】

（第２実施形態）
本実施形態では、第１実施形態とはノズルアセンブリのみが異なるので、ノズルアセンブリのみについて説明する。

【0043】

図５に示すように、本実施形態に係るノズルアセンブリ５０は、樹脂製の容器３１を有している。容器３１内には、上部チャンバ３４Ｕと、下部チャンバ３４Ｌと、上部チャンバ３４Ｕと下部チャンバ３４Ｌとを結ぶ連結通路３４Ｃとが設けられている。連結通路３４Ｃの内面には、管状の導電材３２が設けられている。導電材３２は、電源７０と電気的に接続されており、容器３１内に供給される液体を帯電させることができる。導電材３２の材料は、第１実施形態のノズルプレートと同様とすることができる。導電材３２の軸方向長さは１０～５０ｍｍとすることができる。

【0044】

下部チャンバ３４Ｌの下端には、下部チャンバ３４Ｌと外部とを連通するように、４つのノズル２０が設けられている。４つのノズル２０は、２つのノズル２０Ａ、及び、２つのノズル２０Ｂを有する。

【0045】

各ノズルの流路２４は、下方にある対向電極に向かうように鉛直方向に伸び、流路２４は互いに平行に配置され、各流路２４の下端には液体を下向き（－Ｚ方向）に吐出する吐出口２２が設けられている。

【0046】

図示は省略するが、図４のように、吐出方向から見て、吐出口２２はＸ方向（第１の方向）に沿って１列に配置されてノズルアレイＡＲを形成し、Ｘ方向に伸びる直線上に沿って配置されている。

【0047】

ノズル２０の流路２４の軸に垂直な断面の径（円相当径）及び形状は第１実施形態と同様にすることができる。流路２４の断面の形状は矩形であってもよく、半円などの円弧を含む形状でもよい。流路２４の長さに特に限定はなく、例えば、４～１６ｍｍとすることができる。

【0048】

各流路２４は、流路２４の吐出方向（鉛直方向）と垂直な方向（Ｘ方向：水平方向）に等間隔に離間して配置されている。ノズル２０の間隔Ｈは第１実施形態と同様にすることができる。

【0049】

本実施形態においても、ノズル２０の吐出方向及びノズル２０が並ぶＸ方向（第１の方向）に対して垂直な方向（Ｙ方向：第２の方向）から見て、４つのノズル２０の吐出口２２の先端の位置がすべて同じではなく、ノズル２０の場所によって吐出口２２が異なるように配置されている。

【0050】

すなわち、Ｙ方向（第２の方向）からみて、ノズルアレイＡＲの並ぶＸ方向において中央に配置されたノズル２０Ａの吐出口２２の先端（下端）を基準とし、Ｘ方向における外側（端側）に隣り合って配置されるノズル２０Ｂの吐出口２２の先端（下端）の位置が、吐出方向（－Ｚ方向：流路の軸方向）と反対方向（上向きＺ方向）に後退するように、それぞれのノズル２０（ノズルプレート１０の下端）の位置が設定されている。

【0051】

隣接するノズル間において、吐出口２２の先端が吐出方向において後退する距離Ｄは第１実施形態と同様とすることができる。

【0052】

ノズル２０の材料に限定はなく、ステンレスチールなどの導電性材料でもよく、樹脂、セラミックなどの絶縁性材料でもよい。容器３１の材料は、樹脂などの電機絶縁材料とすることができる。

【0053】

本実施形態においても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

【0054】

本発明は上記実施形態に限定されず様々な変形態様が可能である。

【0055】

例えば、ノズルアセンブリにおける同一の吐出方向に液体を吐出することができるノズルの数は４つに限定されず、３つ以上であればよく、５つ以上でもよい。

【0056】

いずれの場合でも、吐出方向から見て、吐出口は第１の方向に沿って１列に配置され、吐出方向及び第１の方向に対して直交する第２の方向から見て、Ｘ方向にならぶ３つ以上ノズルの内の中央に配置されたノズルから端に配置されたノズルに向かって、各ノズルの吐出口の先端の位置が吐出方向と反対方向に順に後退するように、各ノズルが配置されていればよい。

【0057】

ここで、中央に配置されたノズルとは、ノズルの数が偶数の場合には２つあり、ノズルの数が奇数の場合には１つとなる。

【0058】

なお、「同一の吐出方向」とは、ノズルの軸が互いに完全に平行である場合のみならず、ノズルの軸同士がなす角度が±４５°の範囲にある場合を含む。当該なす角度は３５°以下が好適である。

【0059】

図６に、ノズルが７本の場合の例を示す。中央のノズル２０Ａ、その隣のノズル２０Ｂ、その隣のノズル２０Ｃ，その隣の２０Ｄの順に、吐出口２２の先端の位置が吐出方向とは反対方向に後退している。

【0060】

また、ノズルアセンブリ５０は、このように吐出口の先端の位置がずらして配置されたノズルアレイＡＲを、複数有していてもよい。図７の（ａ）及び（ｂ）は、複数のノズル２０が上記のように配置されたノズルアレイＡＲを複数有する例を示し、ノズルアセンブリ５０をノズル２０の吐出方向から見た概略図であり、ノズル２０及び吐出口２２以外は簡略化して記載してある。

【0061】

図７の（ａ）では、ノズル２０が上記のようにＸ方向に並んだノズルアレイＡＲを、Ｙ方向に離間して複数備えているる。各ノズルアレイＡＲは、中央のノズル２０Ａ、中央から１つとなりのノズル２０Ｂ、中央から２つとなりのノズル２０Ｃ，一番端のノズル２０Ｄを有し、ノズル２０Ａからノズル２０Ｄの順に、吐出口２２の先端の位置が吐出方向（―Ｚ方向）とは反対方向に後退している。

【0062】

図７の（ｂ）では、ノズル２０のノズルアレイＡＲを、中央のノズルを中心にＺ軸周りに回転させて３つ配置した形態でもよい。この場合、３つのノズルアレイＡＲにおいて、中央のノズルを共有することになる。

【0063】

ノズルアセンブリの細かい形態も上記の形態には限定されず、容器等によるノズルの支持方法や、ノズルや容器等の材料、帯電用の電極の位置なども特に限定はない。

【実施例0064】

（実施例１）
第１実施形態（図２～図４）に示すようなプレート型のノズルアセンブリを用意した。ノズルアセンブリ５０は、４つのノズル２０を有し、中央の２つのノズル２０Ａ，２０Ａに対する、外側のノズル２０Ｂ，２０Ｂの吐出口２２の先端の位置における吐出方向とは反対向きに後退する距離Ｄは２ｍｍとした。ノズル間の間隔Ｈは８ｍｍとし、ノズルの径は０．５ｍｍとした。

【0065】

当該ノズルアセンブリ５０を有する図１の静電塗布装置で、塗布実験を行った。
電圧は１５ｋＶ又は１１ｋＶとし、ノズル２０Ａの先端と対向電極との距離は６０ｍｍとし、液としてポリイミドワニスを１ｍＬ／ｍｉｎで供給した。

【0066】

対向電極６０の上に設けられた基板ＳＢ上に、４つのノズルから出るミストで液膜を形成した。電圧１５ｋＶ及び１１ｋＶのいずれでも、４つノズルから静電噴霧によるミストが形成され、基板上で各ノズルからのスプレーにより形成される液膜の円の大きさもほぼ均等であった。

【0067】

（比較例１）
距離Ｄ＝０、すなわち、４つのノズルの吐出口の先端の位置に差を設けずに４つとも同じにしたノズルアセンブリを用意し、実施例１と同様に塗布を行った。

【0068】

電圧１５ｋＶでは、４つのノズルから静電噴霧を行えたが、両外側からの吐出量が多くなり、基板上で各ノズルからのスプレーにより形成される液膜の円の大きさは、中央の２つに比べ外側の２つの方が直径が１．５倍程度となった。

【0069】

電圧１１ｋＶでは、外側の２つのノズルからのみ静電噴霧がなされ、中央の２つのノズルからの静電噴霧は行われなかった。

【0070】

（実施例２）
第２実施形態（図５）に示すようなノズルアセンブリ５０を用意した。ノズルアセンブリは、４つのノズル２０を有し、中央の２つのノズル２０Ａ，２０Ａに対する、外側のノズル２０Ｂ，２０Ｂの吐出口２２の先端の位置の後退する距離Ｄは２ｍｍとした。ノズル間の間隔Ｈ、８ｍｍとし、ノズルの径は０．５ｍｍとした。

【0071】

当該ノズルアセンブリ５０を用いた図１の静電塗布装置で、塗布実験を行った。電圧を１５ｋＶ又は１０ｋＶとし、ノズル２０Ａの先端と対向電極との距離は６０ｍｍとし、液としてポリイミドワニスを供給し、供給量は１ｍＬ／ｍｉｎとした。

【0072】

対向電極の上に設けられた基板上に、４つのノズルから出るミストで液膜を形成した。電圧１５ｋＶ及び１０ｋＶのいずれでも、４つノズルから静電噴霧によるミストが形成され、基板上で各ノズルからのスプレーにより形成される液膜の円の大きさもほぼ均等であった。

【0073】

（比較例２）
距離Ｄ＝０、すなわち、ノズルの吐出口の先端の位置に差を設けずに４つとも同じにしたノズルアセンブリを用意し、実施例２と同様に塗布を行った。

【0074】

電圧１５ｋＶでは、４つのノズルから静電噴霧を行えたが、両外側から出たミストは中央の２つに比べて大きく広がり、円の半径は中央の２倍以上となった。

【0075】

電圧１０ｋＶでも、４つのノズルから静電噴霧を行えたが、中央の２つのミストはほとんど広がらなかった。

【符号の説明】

【0076】

２０…ノズル、２０Ａ…中央のノズル、２２…吐出口、５０…ノズルアセンブリ、６０…対向電極、７０…電源、８０…液体供給部、１００…静電噴霧装置。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】