特開 2022-149821 コイル部品の基体の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022149821

(43)【公開日】2022-10-07

(54)【発明の名称】コイル部品の基体の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01F 41/02 20060101AFI20220929BHJP

   H01F 41/04 20060101ALI20220929BHJP

   B24B 19/02 20060101ALN20220929BHJP

   B24B 9/00 20060101ALN20220929BHJP

   B24B 31/00 20060101ALN20220929BHJP

【ＦＩ】

H01F41/02 D

H01F41/04 F

B24B19/02

B24B9/00 602Z

B24B31/00 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021052139

(22)【出願日】2021-03-25

(71)【出願人】

【識別番号】000204284

【氏名又は名称】太陽誘電株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100087480

【弁理士】

【氏名又は名称】片山 修平

(72)【発明者】

【氏名】高橋 和寛

(72)【発明者】

【氏名】大渕 由圭

(72)【発明者】

【氏名】小野 健次

【テーマコード（参考）】

3C049

3C158

【Ｆターム（参考）】

3C049AA02

3C049AA09

3C049CA01

3C049CB01

3C158AA01

3C158CA01

3C158CB01

(57)【要約】

【課題】電子部品が小型化した場合でも、成形体の表面を適切に加工できること。
【解決手段】コイル部品の基体の製造方法は、無機粉末及び樹脂を含む混合物を加圧成形した成形体１０を形成する工程と、加工装置３０の加工部３２上に成形体１０の一部である被加工部（溝部１６の内面）が接するように載置し、成形体１０を加工部３２が延びる搬送方向に移動させつつ、成形体１０を搬送方向とは異なる鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに繰り返し移動させることで、成形体１０の一部である被加工部を加工する工程と、成形体１０を熱処理する工程と、を備える。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

無機粉末及び樹脂を含む混合物を加圧成形した成形体を形成する工程と、
加工装置の加工部上に前記成形体の一部である被加工部が接するように載置し、前記成形体を前記加工部が延びる搬送方向に移動させつつ、前記成形体を前記搬送方向とは異なる鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに繰り返し移動させることで、前記成形体の一部である前記被加工部を加工する工程と、
前記成形体を熱処理する工程と、を備えるコイル部品の基体の製造方法。

【請求項2】

前記加工部は、谷部と山部を繰り返しながら前記搬送方向に延びるレール部である、請求項１に記載のコイル部品の基体の製造方法。

【請求項3】

前記レール部は、上面視で左右方向に曲折しながら前記搬送方向に延びる、請求項２に記載のコイル部品の基体の製造方法。

【請求項4】

前記成形体の一部である前記被加工部は、前記成形体を前記搬送方向に垂直な面で断面視したときに凹状部である、請求項１から３のいずれか一項に記載のコイル部品の基体の製造方法。

【請求項5】

前記加工部の上部の前記搬送方向に直交する方向の幅は、前記搬送方向に垂直な面で断面視したときの前記凹状部の内面間の幅よりも小さい、請求項４に記載のコイル部品の基体の製造方法。

【請求項6】

前記成形体は、コイル導体が巻回される軸部と、前記軸部の端に設けられ、前記コイル導体が引き出される前記凹状部を有する鍔部と、を備える、請求項４または５に記載のコイル部品の基体の製造方法。

【請求項7】

前記成形体の一部である前記被加工部は、前記成形体の稜線部である、請求項１から３のいずれか一項に記載のコイル部品の基体の製造方法。

【請求項8】

前記加工部の上部の前記搬送方向に垂直な方向の幅は、前記搬送方向において変化する、請求項１から７のいずれか一項に記載のコイル部品の基体の製造方法。

【請求項9】

前記加工装置は、前記加工部と、前記搬送方向に直交する方向で前記加工部と空隙を挟んで対向し、前記加工部を保持する保持部と、を備え、
前記加工部を振動させて前記成形体を前記搬送方向に移動させる、請求項１から８のいずれか一項に記載のコイル部品の基体の製造方法。

【請求項10】

前記加工装置は、前記加工部と搬送部とを備え、
前記搬送部を振動させて前記成形体を前記搬送方向に移動させ、前記加工部を振動させて前記成形体の一部である前記被加工部を加工する、請求項１から９のいずれか一項に記載のコイル部品の基体の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、コイル部品の基体の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

コイル部品などに用いられる基体は、無機粉末と樹脂を含む混合物を加圧成形することで成形体を形成し、この成形体を熱処理することで得られる。成形体を形成するときに発生するバリを取り除く方法が提案されている（例えば特許文献１、２）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特表２０１５－１９４３５３号公報

【特許文献2】特開２０１７－１０８０２９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

成形体を形成した後にバレル研磨により成形体の表面を加工することが一般的に行われている。しかしながら、電子部品の小型化が進むに伴い、バレル研磨に用いられるメディアが小型化するため、メディアの自重が軽くなって運動エネルギーが小さくなり、成形体の表面を適切に加工することが難しくなっている。また、特許文献１、２に記載の方法は、主に摩擦エネルギーによって成形体の表面を加工するため、加工時間が長くなってしまうなど、改善の余地がある。

【0005】

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、電子部品が小型化した場合でも、成形体の表面を適切に加工できることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、無機粉末及び樹脂を含む混合物を加圧成形した成形体を形成する工程と、加工装置の加工部上に前記成形体の一部である被加工部が接するように載置し、前記成形体を前記加工部が延びる搬送方向に移動させつつ、前記成形体を前記搬送方向とは異なる鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに繰り返し移動させることで、前記成形体の一部である前記被加工部を加工する工程と、前記成形体を熱処理する工程と、を備えるコイル部品の基体の製造方法である。

【0007】

上記構成において、前記加工部は、谷部と山部を繰り返しながら前記搬送方向に延びるレール部である構成とすることができる。

【0008】

上記構成において、前記レール部は、上面視で左右方向に曲折しながら前記搬送方向に延びる構成とすることができる。

【0009】

上記構成において、前記成形体の一部である前記被加工部は、前記成形体を前記搬送方向に垂直な面で断面視したときに凹状部である構成とすることができる。

【0010】

上記構成において、前記加工部の上部の前記搬送方向に直交する方向の幅は、前記搬送方向に垂直な面で断面視したときの前記凹状部の内面間の幅よりも小さい構成とすることができる。

【0011】

上記構成において、前記成形体は、コイル導体が巻回される軸部と、前記軸部の端に設けられ、前記コイル導体が引き出される前記凹状部を有する鍔部と、を備える構成とすることができる。

【0012】

上記構成において、前記成形体の一部である前記被加工部は、前記成形体の稜線部である構成とすることができる。

【0013】

上記構成において、前記加工部の上部の前記搬送方向に垂直な方向の幅は、前記搬送方向において変化する構成とすることができる。

【0014】

上記構成において、前記加工装置は、前記加工部と、前記搬送方向に直交する方向で前記加工部と空隙を挟んで対向し、前記加工部を保持する保持部と、を備え、前記加工部を振動させて前記成形体を前記搬送方向に移動させる構成とすることができる。

【0015】

上記構成において、前記加工装置は、前記加工部と搬送部とを備え、前記搬送部を振動させて前記成形体を前記搬送方向に移動させ、前記加工部を振動させて前記成形体の一部である前記被加工部を加工する構成とすることができる。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、成形体の表面を適切に加工することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】図１は、第１の実施形態に係る基体の製造方法の一例を示すフローチャートである。

【図2】図２（ａ）は、成形体の一例を示す平面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ方向から見た側面図である。

【図3】図３（ａ）は、第１の実施形態における成形体の加工時を示す上面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ方向から見た側面図、図３（ｃ）は、図３（ｂ）のＢ方向から見た側面図である。

【図4】図４（ａ）及び図４（ｂ）は、加工部による加工について説明する側面図である。

【図5】図５（ａ）は、第１の実施形態に係る第１変形例の加工装置の上面図、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＡ方向から見た側面図、図５（ｃ）は、図５（ｂ）のＢ方向から見た側面図である。

【図6】図６（ａ）は、第１の実施形態に係る第２変形例の加工装置の上面図、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＡ方向から見た側面図、図６（ｃ）は、図５（ｂ）のＢ方向から見た側面図である。

【図7】図７（ａ）は、第１の実施形態に係る第３変形例の加工装置の上面図、図７（ｂ）は、図７（ａ）のＡ方向から見た側面図、図７（ｃ）は、図７（ｂ）のＢ方向から見た側面図である。

【図8】図８（ａ）は、第１の実施形態に係る第４変形例の加工装置の上面図、図８（ｂ）は、図８（ａ）のＡ方向から見た側面図である。

【図9】図９（ａ）及び図９（ｂ）は、第１の実施形態に係る第４変形例の加工装置の加工部の曲折の他の例を示す上面図である。

【図10】図１０（ａ）は、第２の実施形態における成形体の加工時を示す上面図、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）のＡ方向から見た側面図、図１０（ｃ）は、図１０（ｂ）のＢ方向から見た側面図である。

【図11】図１１（ａ）は、第２の実施形態に係る第１変形例の加工装置の上面図、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のＡ方向から見た側面図である。

【図12】図１２（ａ）及び図１２（ｂ）は、第３の実施形態に係る成形体の表面加工をする前の図、図１２（ｃ）及び図１２（ｄ）は、表面加工をした後の図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、図面を適宜参照しながら、本願発明の実施形態について説明する。但し、本願発明は図示された態様に限定される訳ではない。また、複数の図面において共通する構成要素には当該複数の図面を通じて同一の参照符号が付されている。各図面は、説明の便宜上、必ずしも正確な縮尺で記載されているとは限らない点に留意されたい。

【0019】

［第１の実施形態］
図１は、第１の実施形態に係る基体の製造方法の一例を示すフローチャートである。図１に示すように、まず、無機粉末と樹脂を含む混合物を加圧成形して成形体を形成する（ステップＳ１０）。例えば、磁性粉末と樹脂を混合した混合物である磁性体ペーストを金型のキャビティ内に充填してプレス成形することで成形体を形成する。磁性粉末として、フェライト粉末又は金属磁性粉末などが用いられる。なお、磁性粉末の代わりに誘電体粉末やガラス粉末などの非磁性粉末を用いてもよい。

【0020】

図２（ａ）は、成形体１０の一例を示す平面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ方向から見た側面図、図２（ｃ）は、図２（ａ）のＢ方向から見た側面図である。図２（ａ）から図２（ｃ）に示すように、成形体１０は、例えば、軸部１２と、軸部１２の両端に設けられた鍔部１４ａ及び１４ｂと、を備えるドラムコアである。鍔部１４ａの軸部１２が接続する面とは反対の面には、軸部１２に巻回されるコイル導体が引き出される溝部１６が２つ設けられている。溝部１６の幅Ｗは例えば０．５ｍｍ以下である。溝部１６は、少なくとも３つの平面で構成され、隣り合う面との角度は９０°以上である。溝部１６は、表面側が奥側よりも広がっている形状をしていてもよい。

【0021】

成形体１０は、溝部１６の内面１７などにバリ１８が発生することがある。バリ１８は、成形体１０を形成するときの加圧成形時に、無機粉末の一部が金型の隙間に入り込むことで形成される。バリ１８の大きさは、無機粉末の大きさ、金型のクリアランスの大きさ、及び／又は加圧成形時の圧力の大きさなどによって変化する。金型のクリアランスの大きさが無機粉末の大きさよりも大きい場合に、大きなバリ１８が形成され易い。

【0022】

図１に戻り、バリ１８を取り除くために、成形体１０に設けられた溝部１６内を加工する（ステップＳ１２）。図３（ａ）は、第１の実施形態における成形体１０の加工時を示す上面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ方向から見た側面図、図３（ｃ）は、図３（ｂ）のＢ方向から見た側面図である。図３（ａ）から図３（ｃ）において、図の明瞭化のために加工装置３０にハッチングを付している（以下の同様な図においても同じ）。図３（ａ）及び図３（ｂ）では、成形体１０の移動の途中状態を点線で図示している。図３（ａ）から図３（ｃ）に示すように、成形体１０の加工に用いられる加工装置３０は、加工部３２と加工部３２を保持する保持部３４とを備える。成形体１０は、加工部３２が延びた方向（搬送方向）に加工部３２上を移動することで表面が加工される。加工部３２は、例えば谷部と山部を繰り返しながら搬送方向に延びるレール部である。成形体１０が搬送される方向をＸ軸方向、鉛直方向をＺ軸方向、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に直交する方向をＹ軸方向とする。

【0023】

加工部３２は、成形体１０よりも硬度の高い材質により形成される。加工部３２は、例えばステンレス、ハイス鋼、又は超硬合金などにより形成される。加工部３２の表面に砥石又は研磨粉などがコーティングされていてもよい。保持部３４は、加工部３２を保持することが可能な材料で形成されていて、例えば金属などで形成されている。加工装置３０では、搬送方向に直交するＹ軸方向において加工部３２と保持部３４との間に空隙３６が形成されていてもよい。

【0024】

加工部３２は、Ｙ軸方向に平行に並んで２つ設けられている。加工部３２の数は被加工部１９の数（本第１の実施形態では溝部１６の数）によって増減されてもよい。加工部３２の数が２以上であることにより、成型体１０の搬送が容易になり、また、加工によって姿勢が変動する成型体１０を安定して保持することができる。Ｚ軸方向において加工部３２が保持部３４から突出した最小長さは鍔部１４ａに設けられた溝部１６の深さよりも大きく、加工部３２の上部のＹ軸方向の幅は溝部１６のＹ軸方向の幅よりも小さい。このため、加工部３２は溝部１６内に挿入可能となっている。溝部１６の内面１７に発生したバリ１８を取り除くために、加工部３２の上部が溝部１６内に挿入されて、加工部３２上に溝部１６が接するように載置される。そして、成形体１０を加工部３２が延びる搬送方向（＋Ｘ方向）に移動させつつ、成形体１０を加工部３２の谷部と山部に沿って鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに繰り返し移動させることで、溝部１６のみを加工して溝部１６の内面１７に発生したバリ１８を取り除く。成形体１０は、加工部３２が振動することで搬送方向（＋Ｘ方向）に移動する。

【0025】

加工部３２上に溝部１６を載置し、成形体１０を搬送方向（＋Ｘ方向）に移動させつつ、搬送方向（＋Ｘ方向）とは異なる鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに繰り返し移動させることで、成型体１０の姿勢は、鍔部１４ａの下面が水平面に対して搬送方向（＋Ｘ方向）に下向き及び上向きに傾くことが繰り返される。すなわち、成形体１０の鍔部１４ａの下面が搬送方向で水平面に対して仰角（プラスの角度）となること、俯角（マイナスの角度）となることが繰り返される。加工部３２と溝部１６との接触が線接触又は点接触となることが繰り返される。線接触及び点接触では、成形体１０が搬送方向（＋Ｘ方向）に移動することで発生する第１エネルギーと鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに移動することで発生する第２エネルギーとが合わさった加工エネルギーが接触部位に集中する。すなわち、第１エネルギーと第２エネルギーの両方が合わさって加工エネルギーとして、被加工部１９である溝部１６の一部の微細部分に衝撃として集中することになり、それによって、効率的に一部の微細部分の加工を行うことができる。このため、成形体１０が小型で軽量であっても、溝部１６内を適切に加工でき、バリ１８を取り除くことができる。成形体１０の鍔部１４ａの下面が搬送方向で水平面に対して仰角（プラスの角度）となること、俯角（マイナスの角度）となることが繰り返されると、接触部位の位置は、被加工部である溝部１６における搬送方向の前方部分となることと、搬送方向の後方部分へとなることが繰り返される。このように、常に被加工位置は移動し、このことにより被加工部である溝部１６の全体にわたって適切な加工が行われる。このことを、図４（ａ）及び図４（ｂ）を用いて詳しく説明する。

【0026】

図４（ａ）及び図４（ｂ）は、加工部３２による加工について説明する側面図である。図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、成形体１０は搬送方向とは異なる方向である鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに向きを変えるため、被加工部１９ａ、１９ｂは加工部３２と一定の角度とはならず接触角度を変えながら加工が施される。接触角度は搬送方向を基準とするとプラスの角度からマイナスの角度まで、マイナスの角度からプラスの角度まで連続的に変化し得る。図４（ａ）のように、成形体１０の搬送方向に対して前方側の被加工部１９ａは、成形体１０が谷部を通過する際に谷部より搬送方向で前方側に位置する加工部３２との接触角度が大きくなり、このときに加工エネルギーが集中して加工が施される。図４（ｂ）のように、成形体１０の搬送方向に対して後方側の被加工部１９ｂは、成形体１０が谷部を通過する際に谷部より搬送方向で後方側に位置する加工部３２との接触角度が大きくなり、このときに加工エネルギーが集中して加工が施される。このように、被加工部１９ａ、１９ｂは加工部３２との間で一定の角度とはならず様々な接触角度を作りながら上下左右方向において加工が施される。この成形体１０の向きを繰り返し変えることで、より確実な加工を行うことができる。また、この方法によれば、１つの加工部３２において、成形体１０の被加工部１９ａ、１９ｂの２箇所の加工を一度の工程内で行うことができる。２箇所の被加工部１９ａ、１９ｂは、図４（ａ）及び図４（ｂ）のように、成形体１０の搬送方向に対して前方側に位置する部分と後方側に位置する部分であるため、被加工部１９ａ、１９ｂが溝部１６の場合においては溝部１６の両端が加工されるようになる。また、このような動きにより加工を施すことで、被加工部１９ａ、１９ｂは丸みを帯びた状態とすることができる。

【0027】

なお、ステップＳ１２において、加工装置３０を用いた成形体１０の加工の前又は後に、成形体１０の表面全体を加工するバレル研磨などを行ってもよい。また、バレル研磨は、ステップＳ１２で行わずに、後述するステップＳ１４の後に行ってもよい。

【0028】

図１に戻り、成形体１０の加工が終了した後、成形体１０に対して熱処理（例えば２００℃程度）を行う（ステップＳ１４）。これにより、成形体１０からなる基体が形成される。

【0029】

なお、上記第１の実施形態により形成した基体を用いてコイル部品を製造する場合、軸部１２に絶縁被膜付きの導線を巻回してコイル導体の周回部を形成し、周回部の両端から導線を溝部１６内に引き出し、溝部１６内に設けられた金属膜に導線を接続して外部電極を形成する。これにより、巻線型のコイル部品が得られる。

【0030】

以上説明したように、本第１の実施形態に係る基体の製造方法によれば、図１に示すように、無機粉末及び樹脂を含む混合物を加圧成形した成形体１０を形成する（ステップＳ１０）。加工部３２上に成形体１０に形成された被加工部１９である溝部１６が接するように載置し、成形体１０を加工部３２が延びる搬送方向（＋Ｘ方向）に移動させつつ、成形体１０を搬送方向（＋Ｘ方向）とは異なる鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに繰り返し移動させることで、溝部１６（被加工部１９）を加工する（ステップＳ１２）。その後、成形体１０を熱処理する（ステップＳ１４）。この方法によれば、加工部３２と溝部１６との接触が線接触又は点接触となることが繰り返され、この線接触又は点接触の接触部位に、成形体１０が搬送方向（＋Ｘ方向）に移動することで発生する第１エネルギーと鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに移動することで発生する第２エネルギーとが合わさった加工エネルギーが集中する。すなわち、第１エネルギーと第２エネルギーの両方が合わさって加工エネルギーとして、被加工部１９である溝部１６の一部の微細部分に衝撃として集中する。このため、成形体１０が小型で軽量の場合でも、溝部１６内を適切に加工できる。よって、溝部１６に内面１７に発生したバリ１８を取り除くことができる。

【0031】

また、本第１の実施形態では、加工部３２は、谷部と山部を繰り返しながら搬送方向（＋Ｘ方向）に延びるレール部である。このような加工部３２を用いることで、成形体１０を加工部３２が延びる搬送方向（＋Ｘ方向）に移動させつつ、成形体１０を搬送方向（＋Ｘ方向）とは異なる鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに繰り返し移動させることを容易に実現できる。

【0032】

また、本第１の実施形態では、加工部３２により加工される成形体１０の被加工部１９が、成形体１０を搬送方向（＋Ｘ方向）に垂直な面（ＹＺ面）で断面視したときに凹状部である溝部１６である。電子部品の小型化に伴って溝部１６の寸法も小さくなるため、バレル研磨を用いた表面加工では、溝部１６内に入り込めるような小さなメディアを用いることになる。このため、メディアの自重が軽くなって発生する運動エネルギーが小さくなり、溝部１６を適切に加工できずに、バリ１８を取り除けない場合がある。しかしながら、加工部３２上に溝部１６が接するように載置し、成形体１０を加工部３２が延びる搬送方向（＋Ｘ方向）に移動させつつ、成形体１０を搬送方向（＋Ｘ方向）とは異なる鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに繰り返し移動させることで、上述したように、溝部１６内を適切に加工でき、溝部１６の内面１７に発生したバリ１８を取り除くことができる。

【0033】

また、本第１の実施形態では、加工部３２の上部の搬送方向（＋Ｘ方向）に垂直な方向（Ｙ軸方向）の幅は、搬送方向（＋Ｘ方向）に垂直な面（ＹＺ面）で断面視したときの溝部１６の内面間の幅よりも小さい。これにより、加工部３２の上部を溝部１６内に挿入することができ、溝部１６内を加工することができる。

【0034】

また、本第１の実施形態では、鍔部１４ａに設けられた溝部１６には、軸部１２に巻回されたコイル導体が引き出される。このような溝部１６の寸法は小さいため、バレル研磨を行っても、メディアの自重が軽くなって発生する運動エネルギーが小さくなり、溝部１６を適切に加工できない場合がある。しかしながら、加工部３２上に溝部１６が接するように載置し、成形体１０を加工部３２が延びる搬送方向（＋Ｘ方向）に移動させつつ、成形体１０を搬送方向（＋Ｘ方向）とは異なる鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに繰り返し移動させることで、上述したように、溝部１６内を適切に加工できる。

【0035】

また、本第１の実施形態では、加工部３２と保持部３４は空隙３６を挟んで対向する。そして、加工部３２を振動させることで成形体１０を搬送方向（＋Ｘ方向）に移動させる。加工部３２と保持部３４の間に空隙３６が形成されていることで、成形体１０を搬送方向（＋Ｘ方向）に移動させるための振動を２つの加工部３２それぞれ独立に制御し易くなる。また、加工部３２と保持部３４の間に空隙３６が形成されていることで、加工部３２により加工された加工くずを空隙３６内に排出することができ、加工くずが成形体１０に付着することを抑制できる。加工くずが空隙３６内に排出され易くするために、空隙３６の－Ｚ側から空気を吸引してもよい。

【0036】

成形体１０の一部である溝部１６を加工する加工装置は、図３（ａ）から図３（ｃ）に示した加工装置３０の場合に限られず、その他の場合でもよい。以下に、加工装置の変形例を示す。

【0037】

図５（ａ）は、第１の実施形態に係る第１変形例の加工装置３０ａの上面図、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＡ方向から見た側面図、図５（ｃ）は、図５（ｂ）のＢ方向から見た側面図である。図５（ａ）から図５（ｃ）に示すように、加工装置３０ａでは、加工部３２と保持部３４の間に空隙が形成されていない。加工部３２は、保持部３４の上面に固定されていてもよいし、保持部３４に一部が埋設されていてもよいし、埋設した部分が保持部３４を貫通していてもよい。その他の構成は加工装置３０と同じであるため説明を省略する。

【0038】

加工装置３０ａのように、加工部３２と保持部３４がその間に空隙が設けられずに一体となっていることで、保持部３４による加工部３２の保持強度が高くなる。

【0039】

図６（ａ）は、第１の実施形態に係る第２変形例の加工装置３０ｂの上面図、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＡ方向から見た側面図、図６（ｃ）は、図６（ｂ）のＢ方向から見た側面図である。図６（ａ）から図６（ｃ）に示すように、加工装置３０ｂでは、保持部３４の上面に加工部３２と搬送部３８が固定されている。搬送部３８は、加工部３２と同様に、Ｘ軸方向に谷部と山部を繰り返しながら延びている。搬送部３８は、成形体１０を加工部３２上で搬送方向（＋Ｘ方向）に移動させるために振動する。言い換えると、成形体１０は、搬送部３８の振動によって加工部３２上を搬送方向（＋Ｘ方向）に移動する。加工部３２は、成形体１０を加工するために振動する。加工部３２は、搬送部３８よりも表面粗さが大きくてもよい。加工部３２と搬送部３８の間に空隙が形成されていてもよい。その他の構成は加工装置３０と同じであるため説明を省略する。

【0040】

加工装置３０ｂのように、加工部３２の他に搬送部３８を備えていてもよい。そして、搬送部３８を振動させて成形体１０を搬送方向（＋Ｘ方向）に移動させ、加工部３２を振動させて成形体１０の一部である溝部１６内を加工してもよい。これにより、搬送部３８を成形体１０の搬送に適した振動で振動させ、加工部３２を成形体１０の加工に適した振動で振動させることができ、効率的な搬送及び加工の両立を図ることができる。

【0041】

図７（ａ）は、第１の実施形態に係る第３変形例の加工装置３０ｃの上面図、図７（ｂ）は、図７（ａ）のＡ方向から見た側面図、図７（ｃ）は、図７（ｂ）のＢ方向から見た側面図である。図７（ａ）から図７（ｃ）では、加工部３２上を移動する成形体１０を図示している。上述した第１の実施形態に係る第２変形例の加工装置３０ｂでは、加工部３２と搬送部３８とが共に谷部と山部を繰り返しながらＸ軸方向に延びている。これに対し、第１の実施形態に係る第３変形例の加工装置３０ｃでは、図７（ａ）から図７（ｃ）に示すように、搬送部３８は谷部と山部を繰り返しながらＸ軸方向に延びているが、加工部３２ａは一定の高さでＸ軸方向に延びている。また、加工部３２ａと搬送部３８との間には空隙３６が形成されている。

【0042】

加工装置３０ｃのように、加工部３２ａは一定の高さでＸ軸方向に延び、搬送部３８は谷部と山部を繰り返しながらＸ軸方向に延びる場合でもよい。この場合、加工部３２ａの上面と搬送部３８の上面との間隔を適切な大きさにすることで、成形体１０を搬送方向（＋Ｘ方向）に移動させつつ、搬送部３８の谷部と山部によって成形体１０を鉛直斜め上向き及び鉛直斜め下向きに移動させることができる。

【0043】

図８（ａ）は、第１の実施形態に係る第４変形例の加工装置３０ｄの上面図、図８（ｂ）は、図８（ａ）のＡ方向から見た側面図である。図８（ａ）及び図８（ｂ）では、加工部３２上を移動する成形体１０を図示している。図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、加工装置３０ｄでは、加工部３２は保持部３４の上面に固定されかつ上面視で左右方向（Ｙ軸方向）に曲折しながら搬送方向（＋Ｘ方向）に延びている。加工部３２のＹ軸方向に曲折している部分の最大振幅値、すなわち加工部３２のうちの＋Ｙ方向への曲折が最大の部分と、加工部３２のうちの－Ｙ方向への曲折が最大の部分との間のＹ軸方向の距離は、被加工部１９の開口幅である溝部１６の幅よりも小さく設定される。その他の構成は加工装置３０と同じであるため説明を省略する。

【0044】

加工装置３０ｄのように、加工部３２が上面視で左右方向（Ｙ軸方向）に曲折していることで、加工部３２上を移動する成形体１０は、加工部３２に対して右（－Ｙ方向）より又は左（＋Ｙ方向）よりを繰り返しながら搬送方向（＋Ｘ方向）に移動する。成形体１０には鉛直下向きに重力が作用しているから左右への移動する際にも重力の力が加わって、成形体１０を搬送方向（＋Ｘ方向）に移動させつつ、搬送方向（＋Ｘ方向）とは異なる鉛直方向に直交する横右向き（－Ｙ方向）及び鉛直方向に直交する横左向き（＋Ｙ方向）に繰り返し移動させることになる。成型体１０の姿勢は、搬送方向（＋Ｘ方向）に対して搬送方向に左向き及び右向きに傾くことが繰り返される。すなわち、成形体１０の被加工部１９を含む面が搬送方向で水平面に対して仰角（プラスの角度）となること俯角（マイナスの角度）となることと、成型体１０が搬送方向に対して右に向くことと左に向くことが繰り返される。これにより、第１の実施形態と同様に、成形体１０の搬送方向（＋Ｘ方向）への移動で発生する第１エネルギーと鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きへの移動で発生する第２エネルギーと成形体１０の搬送方向（＋Ｘ方向）に対する左右への移動で発生する第３エネルギーとが合わさった加工エネルギーが被加工部１９の微細部分に局所的に集中する。すなわち、第１エネルギーと第２エネルギーと第３エネルギーが合わさって加工エネルギーとして、被加工部１９の一部の微細部分に衝撃として集中する。このため、成形体１０が小型で軽量であっても、被加工部１９を適切に加工でき、バリを取り除くことができる。成形体１０の被加工部１９を含む面が搬送方向で水平面に対して仰角（プラスの角度）となり、俯角（マイナスの角度）となり、成型体１０が搬送方向に対して右に向くことと左に向くことが繰り返されると、接触部位の位置は、被加工部１９の面における搬送方向の前方部分となることと、搬送方向の後方部分へとなることが繰り返されると同時に被加工部１９の面における搬送方向に対して左側部分となることと、搬送方向に対して右側部分へとなることが繰り返される。このように常に被加工位置は移動しこのことにより被加工部１９の面の全体にわたって適切な加工が行われる。このため、被加工部１９である溝部１６内全体を満遍なく加工することができる。よって、溝部１６の内面１７に発生したバリ１８を良好に取り除くことができる。

【0045】

図９（ａ）及び図９（ｂ）は、加工部３２の曲折の他の例を示す上面図である。図９（ａ）及び図９（ｂ）の曲折においても、図８（ａ）の曲折と同様に、加工部３２のＹ軸方向に曲折している部分の最大振幅値、すなわち加工部３２のうちの＋Ｙ方向への曲折が最大の部分と、加工部３２のうちの－Ｙ方向への曲折が最大の部分との間のＹ軸方向の距離は、被加工部１９の開口幅である溝部１６の幅よりも小さく設定されるが、図９（ａ）及び図９（ｂ）では、図の明瞭化のために、最大振幅幅を大きく図示している。図８（ａ）では、加工部３２は上面視で三角波状に曲折している場合を例に示したが、図９（ａ）に示すように、加工部３２は上面視で正弦波状に曲折している場合でもよい。すなわち、加工部３２が左右方向（Ｙ軸方向）に曲折するには、三角波状に曲折する場合や正弦波状に曲折する場合を含む。

【0046】

また、図８（ａ）では、２つの加工部３２の間隔は搬送方向（＋Ｘ方向）において一定である場合を例に示したが、図９（ｂ）に示すように、２つの加工部３２の間隔は搬送方向（＋Ｘ方向）において変化する場合でもよい。なお、図９（ｂ）の場合においても、加工部３２は上面視で正弦波状に曲折する場合でもよい。このように、加工部３２のＹ軸方向の幅が搬送方向（＋Ｘ方向）で変化することで、加工部３２のＹ軸方向の幅と被加工部１９である溝部１６の開口幅との差の寸法であるクリアランスが搬送方向の位置によって変化することになる。このため、成形体１０は加工部３２に対して左（＋Ｙ方向）に寄ったり、右（－Ｙ方向）に寄ったりすることが繰り返され易くなる。このことから、常に被加工位置は移動し、被加工部１９である溝部１６の内面１７全体を満遍なく加工でき、溝部１６の内面１７に発生したバリ１８を良好に取り除くことができる。

【0047】

なお、上記第１の実施形態において、成形体１０がドラムコアである場合を例に示したが、Ｔコアなどのその他の場合でもよい。

【0048】

［第２の実施形態］
上記第１の実施形態では、鍔部１４ａに設けられた溝部１６を加工する場合を例に示した。言い換えると、溝部１６が被加工部１９である場合を例に示した。本第２の実施形態では、軸部１２を加工する場合の例を示す。すなわち、本第２の実施形態では、軸部１２が被加工部１９となる場合の例を示す。軸部１２の側面にも、成形体１０を形成するときの加圧成形によりバリが発生することがある。本第２の実施形態では、鍔部１４ａと鍔部１４ｂの間隔（言い換えると、軸部１２の軸方向の長さ）は０．５ｍｍ以下である。

【0049】

第２の実施形態に係る基体の製造方法のフローチャートは第１の実施形態の図１と同じであるため図示を省略する。図１０（ａ）は、第２の実施形態における成形体１０の加工時を示す上面図、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）のＡ方向から見た側面図、図１０（ｃ）は、図１０（ｂ）のＢ方向から見た側面図である。図１０（ａ）及び図１０（ｂ）では、成形体１０の移動の途中状態を点線で図示している。図１０（ａ）から図１０（ｃ）に示すように、加工装置３０ｅは、保持部３４の上面に１本の加工部３２が固定されている。

【0050】

Ｚ軸方向において加工部３２が保持部３４から突出した長さは鍔部１４ａ及び１４ｂの側面と軸部１２の側面との間の長さよりも長く、加工部３２のＹ軸方向の幅は鍔部１４ａと１４ｂの間隔よりも小さい。このため、加工部３２は、鍔部１４ａと１４ｂの間の隙間に挿入可能となっている。軸部１２の側面に発生したバリを取り除くために、加工部３２の上部が鍔部１４ａと１４ｂの間の隙間内に挿入されて、加工部３２上に軸部１２が接するように載置される。そして、成形体１０を加工部３２が延びる搬送方向（＋Ｘ方向）に移動させつつ、成形体１０を加工部３２の谷部と山部に沿って鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに繰り返し移動させることで、軸部１２を加工する。成形体１０を搬送方向（＋Ｘ方向）に移動させつつ、搬送方向（＋Ｘ方向）とは異なる鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに繰り返し移動させることで、成型体１０の姿勢は、軸部１２の被加工部の面が水平面に対して搬送方向に下向き及び上向きに傾くことが繰り返される。すなわち、成形体１０の軸部１２の被加工部の面が搬送方向で水平面に対して仰角（プラスの角度）となることと、俯角（マイナスの角度）となることが繰り返される。これにより、第１の実施形態と同様に、成形体１０の搬送方向（＋Ｘ方向）への移動で発生する第１エネルギーと鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きへの移動で発生する第２エネルギーとが合わさった加工エネルギーが軸部１２の一部の微細部分に局所的に集中する。すなわち、第１エネルギーと第２エネルギーの両方が合わさって加工エネルギーとして、被加工部１９である軸部１２の一部の微細部分に衝撃として集中する。このため、成形体１０が小型で軽量であっても、軸部１２を適切に加工でき、バリを取り除くことができる。成形体１０の軸部１２の被加工部の面が搬送方向で水平面に対して仰角（プラスの角度）となることと、俯角（マイナスの角度）となることが繰り返されると、接触部位の位置は、軸部１２の被加工部の面における搬送方向の前方部分となることと、搬送方向の後方部分へとなることが繰り返される。このように常に被加工位置は移動しこのことにより軸部１２の被加工部の面の全体にわたって適切な加工が行われる。

【0051】

本第２の実施形態に係る基体の製造方法においても、無機粉末及び樹脂を含む混合物を加圧成形した成形体１０を形成する。加工部３２上に成形体１０の被加工部１９である軸部１２が接するように載置し、成形体１０を加工部３２が延びる搬送方向（＋Ｘ方向）に移動させつつ、成形体１０を搬送方向とは異なる鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに繰り返し移動させることで、軸部１２（被加工部１９）を加工する。その後、成形体１０を熱処理する。この方法によれば、第１の実施形態と同様に、加工部３２と軸部１２との接触が線接触又は点接触となることが繰り返され、この線接触又は点接触の接触部位に、成形体１０が搬送方向（＋Ｘ方向）に移動することで発生する第１エネルギーと鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに移動することで発生する第２エネルギーとが合わさった加工エネルギーが集中する。すなわち、第１エネルギーと第２エネルギーの両方が合わさって加工エネルギーとして、被加工部１９である軸部１２の一部の微細部分に衝撃として集中する。このため、成形体１０が小型で軽量の場合でも、軸部１２を適切に加工できる。よって、軸部１２に側面に発生したバリを取り除くことができる。

【0052】

また、本第２の実施形態では、加工部３２により加工される成形体１０の被加工部１９は、成形体１０を搬送方向（＋Ｘ方向）に垂直な面（ＹＺ面）で断面視したときに凹状部である鍔部１４ａ及び１４ｂとその間に挟まれた軸部１２である。電子部品の小型化に伴って鍔部１４ａと１４ｂの間隔が狭くなるため、バレル研磨を用いた表面加工では、鍔部１４ａと１４ｂの間に入り込めるような小さなメディアを用いることになる。このため、メディアの自重が軽くなって発生する運動エネルギーが小さくなり、軸部１２を適切に加工できずに、バリを取り除けない場合があり、特に鍔部１４ａと鍔部１４ｂの間隔（言い換えると、軸部１２の軸方向の長さ）は０．５ｍｍ以下である場合、適切な加工ができない。しかしながら、加工部３２上に軸部１２が接するように載置し、成形体１０を加工部３２が延びる搬送方向（＋Ｘ方向）に移動させつつ、成形体１０を搬送方向（＋Ｘ方向）とは異なる鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに繰り返し移動させることで、上述したように、軸部１２を適切に加工でき、バリを取り除くことができる。

【0053】

図１１（ａ）は、第２の実施形態に係る第１変形例の加工装置３０ｆの上面図、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のＡ方向から見た側面図である。図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示すように、加工装置３０ｆでは、加工部３２のＹ軸方向の幅が搬送方向（＋Ｘ方向）で変化している。加工部３２のＹ軸方向の幅の最大値は、被加工部１９の開口幅である鍔部１４ａと１４ｂの間隔よりも小さく設定される。このように、加工部３２のＹ軸方向の幅が搬送方向（＋Ｘ方向）で変化することで、加工部３２のＹ軸方向の幅と被加工部１９の開口幅である鍔部１４ａと１４ｂの間隔との差の寸法であるクリアランスが搬送方向の位置によって変化することになる。このため、成形体１０は加工部３２に対して左（＋Ｙ方向）に寄ったり、右（－Ｙ方向）に寄ったりすることが繰り返され易くなる。このように、常に被加工位置は移動するため、第１の実施形態と同様の理由により、軸部１２全体を満遍なく加工でき、軸部１２の側面に発生したバリを良好に取り除くことができる。なお、上記第１の実施形態においても、加工部３２のＹ軸方向の幅が搬送方向（＋Ｘ方向）で変化してもよい。

【0054】

なお、上記第２の実施形態では、１本の加工部３２上を成形体１０が搬送方向（＋Ｘ方向）に進むため、成形体１０がバランスを崩して加工部３２上から落ちてしまう恐れがある。そこで、Ｙ軸方向で成形体１０の両側に位置して加工部３２が延びるＸ軸方向に延びたガイド部が設けられていてもよい。これにより、成形体１０が加工部３２上から落ちることを抑制できる。なお、上記第１の実施形態においても、Ｙ軸方向で成形体１０の両側にガイド部が設けられていてもよい。また、いずれの実施形態においても、ガイド部は片側のみに設けられていてもよい。

【0055】

［第３の実施形態］
上記第１の実施形態及び上記第２の実施形態では、成形体１０に発生したバリを取り除く場合を例に示したが、本第３の実施形態では、成形体１０の鍔部１４ａの側面と下面が形成する稜線部に丸みを形成する場合の例を示す。すなわち、本第３の実施形態では、成形体１０の稜線部が被加工部となる。第３の実施形態に係る基体の製造方法のフローチャートは第１の実施形態の図１と同じであるため図示を省略する。本第３の実施形態では、図１のステップＳ１２において、成形体１０の稜線部を丸みを帯びた形状にするために、成形体１０の表面を加工する。稜線部とは成形体１０の各面の境界部のことである。

【0056】

加工装置３０の加工部３２上に成形体１０の被加工部となる稜線部が接するように載置し、成形体１０を加工部３２が延びる搬送方向（＋Ｘ方向）に移動させつつ、成形体１０を搬送方向（＋Ｘ方向）とは異なる鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに繰り返し移動させる。成形体１０を搬送方向（＋Ｘ方向）に移動させつつ、搬送方向（＋Ｘ方向）とは異なる鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに繰り返し移動させることで、成型体１０の姿勢は、被加工部の稜線部を含む面が水平面に対して搬送方向に下向き及び上向きに傾くことが繰り返される。すなわち、成形体１０の被加工部の稜線部を含む面が搬送方向で水平面に対して仰角（プラスの角度）となることと、俯角（マイナスの角度）となることが繰り返される。これにより、成形体１０の稜線部と加工部３２とは一定の角度とはならず接触角度が繰り返し変わるため、成形体１０の稜線部を、丸みを帯びた形状（Ｒ形状）に加工することができる。被加工部となる稜線部の加工部３２への載置方向は任意の方向で可能であるが、好ましくは、搬送方向（＋Ｘ方向）に対して、垂直になるように、すなわちＹ方向に向くように載置される。このような方向で載置することで、成型体１０の姿勢が、被加工部の稜線部を含む面が水平面に対して搬送方向に下向き及び上向きに傾くことが繰り返されるときの、被加工部の稜線部を含む面が搬送方向で水平面に対して仰角（プラスの角度）となる際、俯角（マイナスの角度）となる際の移動量が大きくなり、効率的な加工ができる。本第３の実施形態では、成形体１０の稜線部が被加工部となるため、加工装置３０の加工部３２のＹ方向の幅は成形体１０を加工部３２に置載した時のＹ方向の幅よりも大きい。成形体１０が加工部３２を保持する形状ではないので、Ｙ軸方向で成形体１０の両側に位置して加工部３２が延びるＸ軸方向に延びたガイド部が設けられていてもよい。これにより、成形体１０が加工部３２上から落ちることを抑制できる。いずれの実施形態においても、ガイド部は片側のみに設けられていてもよい。

【0057】

図１２（ａ）及び図１２（ｂ）は、成形体１０の表面加工をする前の図、図１２（ｃ）及び図１２（ｄ）は、表面加工をした後の図である。図１２（ａ）及び図１２（ｃ）は成形体１０の平面図、図１２（ｂ）は図１２（ａ）のＡ－Ａ間の断面図、図１２（ｄ）は図１２（ｃ）のＡ－Ａ間の断面図である。図１２（ａ）から図１２（ｄ）のように、加工部３２上に成形体１０の被加工部１９である稜線部２０が接するように載置し、成形体１０を加工部３２が延びる搬送方向（＋Ｘ方向）に移動させつつ、成形体１０を搬送方向（＋Ｘ方向）とは異なる鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きに繰り返し移動させる。上記第１、第２の実施形態と同様に、成形体１０の搬送方向（＋Ｘ方向）への移動で発生する第１エネルギーと鉛直斜め下向き及び鉛直斜め上向きへの移動で発生する第２エネルギーとが合わさった加工エネルギーが成形体１０の被加工部１９である稜線部２０の一部の微細部分に局所的に集中する。すなわち、第１エネルギーと第２エネルギーの両方が合わさって加工エネルギーとして、成形体１０の被加工部１９である稜線部２０の一部の微細部分に衝撃として集中する。このため、成形体１０が小型で軽量であっても、成形体１０の被加工部１９である稜線部２０を適切に加工でき、丸みを帯びた形状に加工できる。成形体１０の被加工部１９である稜線部２０を含む面が搬送方向で水平面に対して仰角（プラスの角度）となること、俯角（マイナスの角度）となることが繰り返されると、接触部位の位置は、成形体１０の被加工部１９である稜線部２０を含む面における搬送方向の前方部分となることと、搬送方向の後方部分へとなることが繰り返される。このことにより、成形体１０の被加工部１９である稜線部２０を含む面の全体にわたって適切な加工が行われる。特に被加工部１９の稜線部２０を含む面が搬送方向で水平面に対して仰角（プラスの角度）となる際、俯角（マイナスの角度）となる際の移動量が大きくなり、効率的な加工ができることで、成形体１０の稜線部２０を、丸みを帯びた形状（Ｒ形状）となるよう加工することが効率的にできる。

【0058】

本第３の実施形態においても、上記第１、第２の実施形態と同様に、加工部３２は上面視で左右方向（Ｙ軸方向）に曲折しながら搬送方向（＋Ｘ方向）に延びていてもよい。加工部３２のＹ軸方向に曲折している部分の最大振幅値、すなわち加工部３２のうちの＋Ｙ方向への曲折が最大の部分と、加工部３２のうちの－Ｙ方向への曲折が最大の部分との間のＹ軸方向の距離は、被加工部１９の開口幅である溝部１６の幅よりも小さく設定される。このため、成形体１０は加工部３２に対して左（＋Ｙ方向）に寄ったり、右（－Ｙ方向）に寄ったりすることが繰り返され易くなる。このように、常に被加工位置は移動することで、上記第１、第２の実施形態と同様の理由により、成型体１０の被加工部１９全体を満遍なく加工でき、成形体１０の被加工部１９である稜線部２０を、丸みを帯びた形状（Ｒ形状）に加工することができる。

【0059】

なお、上記第３の実施形態において、成形体１０に発生したバリ１８を加工部３２によって取り除き、それに連続して成形体１０の稜線部２０を加工部３２によって加工して丸みを帯びた形状にしてもよい。

【0060】

以上、本願発明の実施形態について詳述したが、本願発明はかかる特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本願発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

【符号の説明】

【0061】

１０ 成形体
１２ 軸部
１４ａ、１４ｂ 鍔部
１６ 溝部
１７ 内面
１８ バリ
１９ 被加工部
２０ 稜線部
３０、３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、３０ｅ、３０ｆ 加工装置
３２ 加工部
３４ 保持部
３６ 空隙
３８ 搬送部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】