特開 2022-151467 ターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022151467

(43)【公開日】2022-10-07

(54)【発明の名称】ターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップ

(51)【国際特許分類】

   F04D 19/04 20060101AFI20220929BHJP

【ＦＩ】

F04D19/04 D

F04D19/04 E

【審査請求】有

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021084673

(22)【出願日】2021-05-19

(11)【特許番号】

(45)【特許公報発行日】2022-04-04

(31)【優先権主張番号】110110746

(32)【優先日】2021-03-25

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(71)【出願人】

【識別番号】519404230

【氏名又は名称】日揚科技股▲分▼有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】100082418

【弁理士】

【氏名又は名称】山口 朔生

(74)【代理人】

【識別番号】100167601

【弁理士】

【氏名又は名称】大島 信之

(74)【代理人】

【識別番号】100201329

【弁理士】

【氏名又は名称】山口 真二郎

(74)【代理人】

【識別番号】100220917

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 忠大

(72)【発明者】

【氏名】方志強

(72)【発明者】

【氏名】孫世源

(72)【発明者】

【氏名】陳建勳

【テーマコード（参考）】

3H131

【Ｆターム（参考）】

3H131AA02

3H131BA03

3H131BA07

3H131CA04

3H131CA34

(57)【要約】

【課題】ローターキャップが高速に回転している際に、回転振動現象が発生して、ローターの回転の重心がずれて封止効果が喪失することを解決することが可能なターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップを提供する。
【解決手段】その側壁および頂面が滑らかな曲面であるカバー部材と、延長ロッドと、硬さ及び重量調節部材と、を備え、延長ロッドの第１端は、カバー部材の底面の中心に連接されており、延長ロッドの第２端は、カバー部材から離れる方向へ伸び、硬さ及び重量調節部材は、延長ロッドの第２端と回転軸との間に連接されるためのものである連結部材と、を備え、ターボ分子式真空ポンプの上方に回転軸が設けられており、回転軸にローターが嵌められており、ローターの中心には、下へ凹んで形成されたロックルームが設けられており、ロックルームの中心に回転軸が固定されている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ターボ分子式真空ポンプの上方に回転軸が設けられており、前記回転軸にローターが嵌められており、前記ローターの中心には、下へ凹んで形成されたロックルームが設けられており、前記ロックルームの中心に前記回転軸が固定されているターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップであって、
側壁および頂面が滑らかな曲面であるカバー部材と、
延長ロッドと、硬さ及び重量調節部材と、を備える連結部材と、を備え、
前記延長ロッドの第１端は、前記カバー部材の底面の中心に連接されており、
前記延長ロッドの第２端は、前記カバー部材から離れる方向へ伸び、
前記硬さ及び重量調節部材は、前記延長ロッドの前記第２端と前記回転軸との間に連接されるためのものであり、
前記硬さ及び重量調節部材の第１端は、前記回転軸と連接するためのものであり、
前記硬さ及び重量調節部材の前記第１端の硬さは、前記回転軸の硬さと同じであり、
前記硬さ及び重量調節部材の第２端は、前記延長ロッドの前記第２端と連接するためのものであり、
前記硬さ及び重量調節部材の前記第２端の硬さは、実際に、前記延長ロッドの硬さと同じか又は異なり、
前記ターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップが前記ローターの前記ロックルームを覆うと、前記ターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップが、前記連結部材の前記硬さ及び重量調節部材の前記第１端だけで、前記回転軸と連接し、これにより、前記連結部材と前記回転軸との硬さの差を減少し、かつウェイト効果を提供して前記カバー部材の回転振動現象を低減することを特徴する、
ターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップ。

【請求項2】

前記延長ロッドの前記第１端は、前記カバー部材の底面の中心と一体に連接し、又は螺着されていることを特徴する、請求項１に記載のターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップ。

【請求項3】

前記回転軸の頂端は、内側へ凹んで形成された第１のねじ穴を有し、前記延長ロッドの前記第２端は、内側へ凹んで形成された第２のねじ穴を有し、前記硬さ及び重量調節部材の前記第１端は第１のボルトであり、前記硬さ及び重量調節部材の前記第２端は第２のボルトであり、前記硬さ及び重量調節部材の前記第１のボルトは、前記回転軸の前記第１のねじ穴に螺着するためのものであり、前記硬さ及び重量調節部材の前記第２のボルトは、前記延長ロッドの前記第２のねじ穴に螺着するためのものであることを特徴する、請求項２に記載のターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップ。

【請求項4】

前記硬さ及び重量調節部材の前記第１のボルトの直径は、前記第２のボルトの直径より大きく、且つ前記第１のボルトの直径は、前記回転軸の前記第１のねじ穴の直径に対応し、前記第２のボルトの直径は、前記延長ロッドの前記第２のねじ穴の直径に対応することを特徴する、請求項３に記載のターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップ。

【請求項5】

前記硬さ及び重量調節部材の前記第１のボルトと前記延長ロッドの長さ比は、１：７～７：１の範囲であることを特徴する、請求項３に記載のターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップ。

【請求項6】

前記回転軸の頂端は、内側へ凹んで形成された第１のねじ穴を有し、前記硬さ及び重量調節部材は、前記延長ロッドの前記第２端を覆って一緒に第１のボルトを形成することにより、前記回転軸の前記第１のねじ穴に螺着することを特徴する、請求項２に記載のターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップ。

【請求項7】

前記ターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップは、治具で駆動されて回転し、前記治具の一端は、内側へ凹んで形成された挟み空間を有し、前記挟み空間内に挟み部材が設けられており、前記治具の前記挟み空間に前記カバー部材を置くと、前記挟み部材は、前記カバー部材をしっかりと保持し、前記治具を回転することにより、前記ターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップが駆動されて回転することを特徴する、請求項１に記載のターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップ。

【請求項8】

前記カバー部材の側面または頂面は、完全な曲面であるか、又は平面区や凹み区を有し、前記治具の前記挟み空間に前記カバー部材を置くと、前記挟み部材は、前記カバー部材の前記側面または頂面を保持し、前記治具を回転することにより、前記ターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップが駆動されて回転し、前記挟み部材は、プレート、ロッド、又はリングであることを特徴する、請求項７に記載のターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップ。

【請求項9】

前記ターボ分子式真空ポンプが運転しているときの前記カバー部材の頂面および底面の回転振動の変化は、目標値より小さく、前記目標値は１５μｍであることを特徴する、請求項１に記載のターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、キャップに関し、特に、ターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップに関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来のターボ分子式真空ポンプは、連結するローターを駆動して、エアを抜く工程を行う。ローターの中心には、ターボ分子式真空ポンプの方向に向かって内側へ凹んだロック空間が形成されて、例えばボルトなどの固定部材により、ローター及びターボ分子式真空ポンプを組み合わせる。しかし、ターボ分子式真空ポンプがウェハや電子基板などのエッチング工程に使用される場合には、加工の過程中に発生する粉塵や粒子がロック空間に堆積しやすい。そして加工の過程中に、ローターによる気流は、ロック空間内にある粉塵や粒子を連れて加工区域に入るため、加工区域におけるウェハや電子基板が汚染されやすい。
このため、ロックルームに粉塵や粒子が堆積することを防止するために、米国特許第３９０８９７７号は、ローターの上方に、ロックルームを封止するローターキャップが設けられている製品を開示した。ローターキャップには、外から内へ貫通してロックルームの底側にねじ込まれたボルトが設けられている。しかし、ボルト締結区域には、粉塵や粒子を堆積する空間が少量に有するため、キャップによる粉塵や粒子の堆積を防止する効果は良くない。そしてボルトの締結により、ローターキャップを過度に締め付けやすいため、ローターが高速に回転しているとき、ローターキャップは、変形し、又は破裂する虞がある。

【0003】

従来のボルト締結の技術によれば、ローターキャップが高速に回転しているときに、回転振動現象が発生しやすいため、ローターの回転重心がずれて封止効果が喪失する問題がある。ローターキャップの下方から伸びるボルトにより、ロックルームの底側と連接すると、ローターキャップは、回転振動および／又は摩耗という現象を発生することがある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明の主な目的は、ローターキャップが高速に回転しているときに、回転振動現象が発生して、ローターの回転重心がずれて封止効果が喪失することを解決することが可能なターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップによると、ターボ分子式真空ポンプの上方に回転軸が設けられており、回転軸にローターが嵌められており、ローターの中心には、下へ凹んで形成されたロックルームが設けられており、ロックルームの中心に回転軸が固定されているターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップであって、その側壁および頂面が滑らかな曲面であるカバー部材と、延長ロッドと、硬さ及び重量調節部材と、を備える連結部材と、を備え、延長ロッドの第１端は、カバー部材の底面の中心に連接されており、延長ロッドの第２端は、カバー部材から離れる方向へ伸び、硬さ及び重量調節部材は、延長ロッドの第２端と回転軸との間に連接されるためのものであり、硬さ及び重量調節部材の第１端は、回転軸と連接するためのものであり、硬さ及び重量調節部材の第１端の硬さは、実際に、回転軸の硬さと同じ、硬さ及び重量調節部材の第２端は、延長ロッドの第２端と連接するためのものであり、硬さ及び重量調節部材の第２端の硬さは、実際に、延長ロッドの硬さと同じか又は異なり、ターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップがローターのロックルームを覆うと、ターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップは、連結部材の硬さ及び重量調節部材の第１端だけで、回転軸と連接し、これにより、連結部材と回転軸との硬さの差を減少し、そしてウェイト効果を提供してカバー部材の回転振動現象を低減することを特徴する。

【0006】

本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップによると、延長ロッドの第１端は、カバー部材の底面の中心と一体に連接し、又は螺着されていることを特徴する。

【0007】

本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップによると、回転軸の頂端は、内側へ凹んで形成された第１のねじ穴を有し、延長ロッドの第２端は、内側へ凹んで形成された第２のねじ穴を有し、硬さ及び重量調節部材の第１端は第１のボルトであり、硬さ及び重量調節部材の第２端は第２のボルトであり、硬さ及び重量調節部材の第１のボルトは、回転軸の第１のねじ穴に螺着するためのものであり、硬さ及び重量調節部材の第２のボルトは、延長ロッドの第２のねじ穴に螺着するためのものであることを特徴する。

【0008】

本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップによると、硬さ及び重量調節部材の第１のボルトの直径は、第２のボルトの直径より大きく、且つ第１のボルトの直径は、回転軸の第１のねじ穴の直径に対応し、第２のボルトの直径は、延長ロッドの第２のねじ穴の直径に対応することを特徴する。

【0009】

本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップによると、硬さ及び重量調節部材の第１のボルトと延長ロッドの長さ比は、１：７～７：１の範囲であることを特徴する。

【0010】

本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップによると、回転軸の頂端は、内側へ凹んで形成された第１のねじ穴を有し、硬さ及び重量調節部材は、延長ロッドの第２端を覆って一緒に第１のボルトを形成することにより、回転軸の第１のねじ穴に螺着することを特徴する。

【0011】

本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップによると、ターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップは、治具に駆動されて回転し、治具の一端は、内側へ凹んで形成された挟み空間を有し、挟み空間内に挟み部材が設けられており、治具の挟み空間にカバー部材を置くと、挟み部材は、カバー部材をしっかりと保持し、治具を回転することにより、ターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップが駆動されて回転することを特徴する。

【0012】

本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップによると、カバー部材の側面または頂面は、完全に曲面であり、又は平面区や凹み区を有し、治具の挟み空間にカバー部材を置くと、挟み部材は、カバー部材の側面または頂面をしっかりと保持し、治具を回転することにより、ターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップが駆動されて回転し、挟み部材は、プレート、ロッド、又はリングであることを特徴する。

【0013】

本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップによると、ターボ分子式真空ポンプが運転しているときのカバー部材の頂面および底面の回転振動の変化は、目標値より小さく、目標値は１５μｍであることを特徴する。

【発明の効果】

【0014】

本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップによれば、ターボ分子式真空ポンプのロックルームを持続的に封止するができると共に、硬さ及び重量調節部材の連結部材を有することによるウェイト効果により、ターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップのカバー部材の回転振動現象を低減することができ、そして硬さの差を減少することにより、連結部材の回転軸との連接による摩耗を減少することもできるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップの外観を示す図である。

【図2】本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップの分解断面図である。

【図3】本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップがターボ分子式真空ポンプに取り付けられた状態を示す断面図である。

【図4】本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップの側面が完全に曲面を呈することを示す平面図である。

【図5】本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップの側面に平面区が設けられていることを示す平面図である。

【図6】本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップの側面に凹み区が設けられていることを示す平面図である。

【図7】本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップのリングであるフィクスチャを下方から見た斜視図である。

【図8】本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップのロッドであるフィクスチャを下方から見た斜視図である。

【図9】本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップのプレートであるフィクスチャを下方から見た斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。本発明の実施形態の図面における各部材の比例は、説明を容易に理解するために示され、実際の比率ではない。また、図に示すアセンブリの寸法の比率は、各部品とその構造を説明するためのものであり、もちろん、本発明はこれに限定されない。

【0017】

図１及び図２を参照する。
図１は、本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップの外観図である。図２は、本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップの分解断面図である。本発明に係るターボ分子式真空ポンプ１００に使用されるローターキャップ１０は、図３に示すように、ターボ分子式真空ポンプ１００の上方に回転軸１０２が設けられている。ローター１１０の中心には、下へ凹んで形成されるロックルーム１１２が設けられている。ローター１１０は回転軸１０２を嵌める。回転軸１０２は、ローター１１０のロックルーム１１２の中心に固定されていることにより、ローター１１０が回転軸１０２を嵌める。
回転軸１０２は、例えば螺合または別の部材により、ローター１１０のロックルーム１１２の中心に固定されている。回転軸１０２の外面に、例えばねじが設けられている場合、上記の別の部材は例えばナットである。ナットがねじと螺合することにより、ローター１１０のロックルーム１１２に回転軸１０２を締め付けることができる。或いは、例えばボルト（図示せず）を上から下へ、ローター１１０のロックルーム１１２を挿通して、回転軸１０２の頂面に内側へ凹んで形成されたねじ穴（図示せず）にねじ込む。換言すると、本発明は、回転軸１０２がローター１１０を駆動して回転することができる限り、何れかの方式で回転軸１０２をローター１１０のロックルーム１１２に固定してもよい。

【0018】

本発明に係るローターキャップ１０は、カバー部材２０と、連結部材３０と、を備える。カバー部材２０は、ローター１１０のロックルーム１１２を覆うことにより、ターボ分子式真空ポンプ１００Ａによって抽出されたガスのプロセスチャンバー内のプロセス粒子が、ロックルーム１１２に堆積または蓄積されることを回避することができる。
本発明に係るローターキャップ１０のカバー部材２０の頂面の形状は、例えばテーパー状、半球状、又は平面状であるが、これらに限定されない。カバー部材２０の側壁および頂面は、滑らかな曲面であることが好ましい。これにより、気流を有効にガイドして安定させることができる。一方、カバー部材２０の側壁および頂面は、完全に曲面状を呈しなくてもよく、すなわち、例えば平面区または凹み区を有してもよい。カバー部材２０の底面の形状は、例えばテーパー状、半球状または平面状である。一方、カバー部材２０の頂面および底面は、実際に、互いに対応し、同じ形状を有することに限定されない。例を挙げて説明すると、カバー部材２０の頂面および底面は、例えば互いに対応せず、異なる形状を有してもよい。換言すると、ローターキャップ１０は、気流をガイドすることができ、且つその底面の中心が連結部材３０を介してターボ分子式真空ポンプ１００の回転軸１０２と連接すればよい。

【0019】

本発明に係るローターキャップ１０の連結部材３０の両端は、ローターキャップ１０のカバー部材２０の底面の中心、及びターボ分子式真空ポンプ１００の回転軸１０２の頂面の中心とそれぞれ連接することにより、カバー部材２０は、ターボ分子式真空ポンプ１００のロックルーム１１２を着脱可能に覆う。一方、本発明に係るローターキャップ１０の底面は、例えばシーリングワッシャー（図示せず）を有する。カバー部材２０がローター１１０のロックルーム１１２を覆う際に、シーリングワッシャーはカバー部材２０とローター１１０のロックルーム１１２との間に位置することにより、気密効果を向上することができる。

【0020】

本発明の特徴の一つは、連結部材３０が、延長ロッド３２と、硬さ及び重量調節部材３４と、を備えることにある。硬さ及び重量調節部材３４の少なくとも一部の硬さは、実際に、回転軸１０２と同じである。延長ロッド３２の第１端３２ａは、カバー部材２０の底面の中心に、一体に連接されており、又は着脱可能に連接されている。上記の一体に連接する方式は、例えば一体成形であるが、これに限定されない。延長ロッド３２の第１端３２ａがカバー部材２０の底面の中心と一体に成形された場合には、延長ロッド３２とカバー部材２０との材質は同じである。延長ロッド３２の第１端３２ａが、カバー部材２０の底面の中心に着脱可能に連接されている場合、延長ロッド３２とカバー部材２０の材質は、同じでもいいし、異なってもよい。上記の着脱可能に連接する方式は、例えば螺着でもいいが、これに限定されない。
連結部材３０の両端は、延長ロッド３２と硬さ及び重量調節部材３４とを介して、カバー部材２０と回転軸１０２とにそれぞれ連接されている。一実施の態様では、延長ロッド３２の第２端３２ｂに硬さ及び重量調節部材３４が設けられている。硬さ及び重量調節部材３４は、例えば延長ロッド３２の第２端３２ｂを覆って、一体に第１のボルト３５を形成する。連結部材３０は、第１のボルト３５で回転軸１０２と連接する。或いは、別の実施の態様では、硬さ及び重量調節部材３４の第２端３４ｂは、例えば第２のボルト３７を介して延長ロッド３２の第２端３２ｂと連接する。硬さ及び重量調節部材３４の第１端３４ａは、第１のボルト３５を有する。連結部材３０は、第１のボルト３５で回転軸１０２と連接する。或いは、更に別の実施の態様では、硬さ及び重量調節部材３４の第２端３４ｂは、例えば第２のボルト３７を介して、延長ロッド３２の第２端３２ｂの第２のねじ穴３３にねじ込む。
硬さ及び重量調節部材３４の第１端３４ａは、第１のボルト３５を有する。連結部材３０は、第１のボルト３５で回転軸１０２と連接する。第１のボルト３５は、例えば挟み区３８を有してもよい。挟み区３８は、例えば平面である。ユーザーは、例えばクランプによって挟み区３８を挟むことにより、延長ロッド３２の第２端３２ｂの第２のねじ穴３３に、硬さ及び重量調節部材３４の第２のボルト３７をねじ込む。

【0021】

ターボ分子式真空ポンプ１００が高速に回転している際に、ローターキャップ１０の重心が高すぎて、揺動などの回転振動現象が発生することを回避するために、カバー部材２０及び連結部材３０は、アルミ又はアルミ合金などの軽量素材を採用することが好ましい。ターボ分子式真空ポンプ１００の回転軸１０２は、ステンレス、又はニッケルメッキされ耐腐食性および高硬度を有する材料を採用することが一般的であるが、アルミ又はアルミ合金の硬さはステンレスより低いため、アルミ又はアルミ合金の材質を有する延長ロッド３２は、ステンレス又はニッケルメッキされた材質を採用する回転軸１０２に直接にねじ込むと、破れたり、欠けたりすることなどが発生しやすい。このため、本発明の別の特徴は、連結部材３０に延長ロッド３２と硬さ及び重量調節部材３４とが設けられていることにある。
延長ロッド３２は、アルミ又はアルミ合金などの軽量であるが、硬さがより低い材料を採用することが好ましい。硬さ及び重量調節部材３４は、ニッケルメッキされた金属（例えばニッケルメッキされたアルミ又はニッケルメッキされたアルミ合金）、又はステンレスなどの高硬度材料を採用することが好ましい。これにより、本発明に係るカバー部材２０が回転振動現象の発生を回避することができ、そして連結部材３０が破れたり、欠けたりすることなどが発生することも回避できる。硬さ及び重量調節部材３４と延長ロッド３２の長さ比は、１：７～７：１の範囲に収めるが、本発明はこれに限定されず、１：７であることが好ましい。本発明に係る連結部材３０の硬さ及び重量調節部材３４は、延長ロッド３２の第２端３２ｂと回転軸１０２との間に連接されていることにより、連結部材３０の延長ロッド３２と回転軸１０２の硬さの差を減少することができ、ウェイト効果を提供することができるため、カバー部材２０が高速に回転する際に発生する振動を低減することができる。

【0022】

硬さ及び重量調節部材３４が延長ロッド３２に螺着されている場合を例にして説明する。本発明に係る硬さ及び重量調節部材３４の第１端３４ａは、ターボ分子式真空ポンプ１００の回転軸１０２に着脱可能に連接されている。硬さ及び重量調節部材３４の第２端３４ｂは、延長ロッド３２の第２端３２ｂに着脱可能に設けられている。例えば、ターボ分子式真空ポンプ１００の回転軸１０２の頂端には、内側へ凹んで形成される第１のねじ穴１０４が設けられており、ローターキャップ１０の延長ロッド３２の第２端３２ｂには、内側へ凹んで形成される第２のねじ穴３３が設けられている。硬さ及び重量調節部材３４の第１端３４ａは第１のボルト３５であり、硬さ及び重量調節部材３４の第２端３４ｂは第２のボルト３７である。硬さ及び重量調節部材３４の第１のボルト３５は、回転軸１０２の第１のねじ穴１０４に螺着し、硬さ及び重量調節部材３４の第２のボルト３７は延長ロッド３２の第２のねじ穴３３に螺着する。硬さ及び重量調節部材３４の第１のボルト３５と延長ロッド３２の長さ比は、およそ１：７～７：１の範囲に収めるが、およそ１：７であることが好ましい。

【0023】

本発明に係る連結部材３０は、例えば柱状を呈するロッドである。延長ロッド３２の直径は、例えば、実際に、硬さ及び重量調節部材３４の直径と同じであることにより、連結部材３０の重さの増加を有効に回避することができる。硬さ及び重量調節部材３４の第１のボルト３５の直径は、例えば、実際に、第２のボルト３７の直径より大きく、第１のボルト３５の直径は、回転軸１０２の第１のねじ穴１０４の直径に対応し、第２のボルト３７の直径は、延長ロッド３２の第２のねじ穴３３の直径に対応する。延長ロッド３２の第２端３２ｂは、硬さ及び重量調節部材３４の第１端３４ａの直径と、例えば、実際に同じである。

【0024】

硬さ及び重量調節部材３４は、第１端３４ａで、回転軸１０２の頂端に内側へ凹んで形成される第１のねじ穴１０４に螺着されているため、硬さ及び重量調節部材３４の第１端３４ａの硬さは、回転軸１０２の硬さに近似することが好ましいが、実際に同じであることが更に好ましい。これにより、延長ロッド３２と回転軸１０２との硬さの差を減少することができる。硬さ及び重量調節部材３４は、第２端３４ｂで、延長ロッド３２の第２端３２ｂに着脱可能に螺着されているため、硬さ及び重量調節部材３４の第２端３４ｂの硬さは、延長ロッド３２の硬さに近似することが好ましいが、実際に同じであることが更に好ましい。これにより、硬さ及び重量調節部材３４と延長ロッド３２との硬さの差を減少することができる。しかし、本発明はこれに限定されない。
硬さ及び重量調節部材３４の第２端３４ｂの硬さは、延長ロッド３２の第２端３２ｂの硬さと異なってもよく、例えばそれより大きく、又は小さい。硬さ及び重量調節部材３４の第１端３４ａの硬さが回転軸１０２の硬さに近似し、又は同じであれば、連結部材３０と回転軸１０２との硬さの差を減少することができ、摩耗などを減少することができる。同じように、本発明に係る硬さ及び重量調節部材３４は、その他の物理的特性（例えば剛性、体積、密度、又は熱膨張性や磁性など）を有する調節部材に置き換えられてもよい。これにより、連結部材３０と回転軸１０２との物理的特性の差を減少することができる。

【0025】

これにより、ターボ分子式真空ポンプ１００の回転軸１０２が高速に運転する過程中に、本発明に係るローターキャップ１０は、ターボ分子式真空ポンプ１００のロックルーム１１２を持続的に封止することができるだけでなく、ローターキャップ１０の連結部材３０は硬さ及び重量調節部材３４を有するため、硬さ及び重量調節部材３４によるウェイト効果により、ローターキャップ１０のカバー部材２０の回転振動現象を低減することができ、そして硬さの差を減少することにより、連結部材３０が回転軸１０２と連接することによる摩耗や欠けなどを減少することもできる。

【0026】

硬さ及び重量調節部材３４と延長ロッド３２との分解方向は、例えば回転軸１０２の回転方向の反対であり、硬さ及び重量調節部材３４と延長ロッド３２との組付け方向が回転軸１０２の回転方向と同じであることにより、回転軸１０２が回転している際に、ローターキャップ１０がずれてしまう現象を回避することができる。同じように、硬さ及び重量調節部材３４と回転軸１０２との分解方向は、例えば回転軸１０２の回転方向の反対であり、硬さ及び重量調節部材３４と回転軸１０２との組付け方向が回転軸１０２の回転方向と同じであることにより、回転軸１０２が回転している際に、ローターキャップ１０がずれてしまう現象を回避することができる。しかし、上記の分解方向および組付け方向は、本発明を限定するためのものではない。

【0027】

換言すると、本発明に係るローターキャップ１０により、連結部材３０と回転軸１０２との材質の硬さの差による摩耗や欠けなどの現象を減少することができる。また、重量を調整し、例えば連結部材３０の重心の高さを降下することにより、ターボ分子式真空ポンプ１００の回転軸１０２が高速に運転している際に、ローターキャップ１０のカバー部材２０が回転振動現象が発生することを減少することができ、例えばカバー部材２０の頂面および底面の振動の変化を目標値より小さくすることもできる。実際には、回転軸１０２の回転数がおよそ２７，６６０ｒｐｍ～２７，７８０ｒｐｍになると、上記の目標値は、およそ１５μｍである。

【0028】

一方、本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップ１０は、更に、治具６０を備える。治具６０は、ローターキャップ１０のカバー部材２０を挟むためのものである。治具６０を回転することにより、カバー部材２０が駆動されて回転する。治具６０の一端には、内側へ凹んで形成される挟み空間６２が設けられている。挟み空間６２は挟み部材６４を有する。
治具６０がローターキャップ１０を覆い、そしてカバー部材２０が治具６０の挟み空間６２に置かれると、治具６０の挟み部材６４はカバー部材２０をしっかりと保持するため、時針方向または反時針方向に治具６０を回転することにより、ローターキャップ１０を駆動して回転することができる。これにより、ローターキャップ１０を回転軸１０２に組付け、又はローターキャップ１０を回転軸１０２から分解することができる。挟み部材６４は、例えばプレート、ロッド、又はリングである。一方、挟み部材６４は、例えば固定方式、又は着脱可能な方式により、治具６０の挟み空間６２に設けられていてもいいし、或いは、挟み部材６４は、例えば復帰可能な方式により、治具６０の挟み空間６２に設けられていてもよい。例えば、挟み部材６４は、バネによる弾性力、又は挟み部材６４自体による弾性力により、復帰可能な方式で治具６０の挟み空間６２に設けられている。これにより、カバー部材２０をしっかりと保持することができる。

【0029】

カバー部材２０の側面または頂面は、完全に曲面であり、すなわち、平面区や凹み区（図４を参照）を有さなくてもよい。或いは、カバー部材２０の側面または頂面に設けられている曲面は、更に、平面区２２（図５を参照）或凹み区２４（図６を参照）を有してもよい。カバー部材２０を治具６０の挟み空間６２に置くと、挟み部材６４は、カバー部材２０の平面区２２や凹み区２４を挟んで保持し、治具６０を回転することにより、ローターキャップ１０を駆動して回転することができる。挟み部材６４は、例えばプレート（図９を参照）、ロッド（図８を参照）、又はリング（図７を参照）である。例えば、挟み部材６４は、治具６０の挟み空間６２の内側の表面に設けられているプレート、ロッド、又はリングである。前記プレート、ロッド、又はリングの材質は、例えばゴムまたは金属を採用し、前記金属は、例えばアルミ、アルミ合金、又はステンレスなどである。治具６０は、ゴム材質を採用するプレート、ロッド、又はリングによる緊迫力により、カバー部材２０の側壁に緊迫することが可能により、ローターキャップ１０を駆動して回転することができる。或いは、挟み空間６２の内側の表面に設けられているプレート、ロッド、又はリングの形状は、例えば、カバー部材２０の側壁の曲面に設けられている平面区２２や凹み区２４に対応してもよい。これにより、治具６０の挟み部材６４はカバー部材２０の曲面に設けられている平面区２２や凹み区２４に緊迫することが可能により、ローターキャップ１０を駆動して回転することができる。

【0030】

上述した、本発明に係るターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップによれば、ターボ分子式真空ポンプのロックルームを持続的に封止するができると共に、硬さ及び重量調節部材の連結部材を有することによるウェイト効果により、ターボ分子式真空ポンプ用ローターキャップのカバー部材の回転振動現象を低減することができ、かつ硬さの差を減少することにより、連結部材の回転軸との連接による摩耗を減少することもできるという効果がある。

【0031】

このように、本発明の特定の例を参照して説明したが、それらの例は、説明のためだけのものであり、本発明を限定するものではなく、この分野に通常の知識を有する者には、本発明の要旨および請求の範囲を逸脱することなく、ここで開示された実施例に変更、追加、または、削除を施してもよいことがわかる。

【符号の説明】

【0032】

１０ ローターキャップ
２０ カバー部材
２２ 平面区
２４ 凹み区
３０ 連結部材
３２ 延長ロッド
３２ａ 第１端
３２ｂ 第２端
３３ 第２のねじ穴
３４ 硬さ及び重量調節部材
３４ａ 第１端
３４ｂ 第２端
３５ 第１のボルト
３７ 第２のボルト
３８ 挟み区
６０ 治具
６２ 挟み空間
６４ 挟み部材
１００ ターボ分子式真空ポンプ
１０２ 回転軸
１０４ 第１のねじ穴
１１０ ローター
１１２ ロックルーム

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】