(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022151509
(43)【公開日】2022-10-07
(54)【発明の名称】基板処理装置、解析方法、表示装置およびプログラム
(51)【国際特許分類】
H01L 21/02 20060101AFI20220929BHJP
【ＦＩ】
H01L21/02 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】14
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021151490
(22)【出願日】2021-09-16
(31)【優先権主張番号】P 2021049992
(32)【優先日】2021-03-24
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(71)【出願人】
【識別番号】000207551
【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス
(74)【代理人】
【識別番号】100110847
【弁理士】
【氏名又は名称】松阪 正弘
(74)【代理人】
【識別番号】100136526
【弁理士】
【氏名又は名称】田中 勉
(74)【代理人】
【識別番号】100136755
【弁理士】
【氏名又は名称】井田 正道
(72)【発明者】
【氏名】山本 慎司
(57)【要約】
【課題】稼働部の詳細な稼働状態を基板の処理結果と関連付けて容易に認識する。
【解決手段】情報記憶部は、ロードポート群１１０、処理ユニット群２１０および搬送機構を含む稼働部群の稼働に関する情報である稼働情報を格納する。稼働情報は、基板処理装置１における基板９の処理結果を示す処理結果情報と、基板処理装置１の稼働状態の時間的内訳および稼働部群に含まれる稼働部の稼働状態の時間的内訳を示す稼働状態情報と、を含む。表示制御部は、処理結果情報を、基板処理装置１の任意の稼働期間を含む所定の整理項目群から選択された整理項目について整理した状態にてディスプレイに表示させる。表示制御部は、稼働状態情報を、複数の大区分稼働状態および複数の小区分稼働状態にそれぞれ分類してディスプレイに表示させる。これにより、オペレータは、稼働部の詳細な稼働状態を基板９の処理結果と関連付けて容易に認識することができる。
【選択図】図１
【解決手段】情報記憶部は、ロードポート群１１０、処理ユニット群２１０および搬送機構を含む稼働部群の稼働に関する情報である稼働情報を格納する。稼働情報は、基板処理装置１における基板９の処理結果を示す処理結果情報と、基板処理装置１の稼働状態の時間的内訳および稼働部群に含まれる稼働部の稼働状態の時間的内訳を示す稼働状態情報と、を含む。表示制御部は、処理結果情報を、基板処理装置１の任意の稼働期間を含む所定の整理項目群から選択された整理項目について整理した状態にてディスプレイに表示させる。表示制御部は、稼働状態情報を、複数の大区分稼働状態および複数の小区分稼働状態にそれぞれ分類してディスプレイに表示させる。これにより、オペレータは、稼働部の詳細な稼働状態を基板９の処理結果と関連付けて容易に認識することができる。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板処理装置であって、
複数の基板が収納されたキャリアを保持するロードポートの集合であるロードポート群と、
基板の処理が行われる処理ユニットの集合である処理ユニット群と、
前記ロードポート群と前記処理ユニット群との間で基板を搬送する搬送機構と、
前記ロードポート群、前記処理ユニット群および前記搬送機構を含む稼働部群の稼働に関する情報である稼働情報を格納する情報記憶部と、
情報表示部と、
前記稼働情報を所定の表示態様にて前記情報表示部に表示させる表示制御部と、
を備え、
前記稼働情報は、
前記基板処理装置における基板の処理結果を示す処理結果情報と、
前記基板処理装置の稼働状態の時間的内訳および前記稼働部群に含まれる稼働部の稼働状態の時間的内訳を示す稼働状態情報と、
を含み、
前記基板処理装置および前記稼働部の稼働状態はそれぞれ、大分類である複数の大区分稼働状態と、前記複数の大区分稼働状態をさらに分類した複数の小区分稼働状態とに、階層的に分類されており、
前記表示制御部は、前記処理結果情報を、前記基板処理装置の任意の稼働期間を含む所定の整理項目群から選択された整理項目について整理した状態にて前記情報表示部に表示させ、
前記表示制御部は、前記稼働状態情報を、前記整理項目群から選択された整理項目について整理した状態で、前記複数の大区分稼働状態および前記複数の小区分稼働状態にそれぞれ分類して前記情報表示部に表示させることを特徴とする基板処理装置。
複数の基板が収納されたキャリアを保持するロードポートの集合であるロードポート群と、
基板の処理が行われる処理ユニットの集合である処理ユニット群と、
前記ロードポート群と前記処理ユニット群との間で基板を搬送する搬送機構と、
前記ロードポート群、前記処理ユニット群および前記搬送機構を含む稼働部群の稼働に関する情報である稼働情報を格納する情報記憶部と、
情報表示部と、
前記稼働情報を所定の表示態様にて前記情報表示部に表示させる表示制御部と、
を備え、
前記稼働情報は、
前記基板処理装置における基板の処理結果を示す処理結果情報と、
前記基板処理装置の稼働状態の時間的内訳および前記稼働部群に含まれる稼働部の稼働状態の時間的内訳を示す稼働状態情報と、
を含み、
前記基板処理装置および前記稼働部の稼働状態はそれぞれ、大分類である複数の大区分稼働状態と、前記複数の大区分稼働状態をさらに分類した複数の小区分稼働状態とに、階層的に分類されており、
前記表示制御部は、前記処理結果情報を、前記基板処理装置の任意の稼働期間を含む所定の整理項目群から選択された整理項目について整理した状態にて前記情報表示部に表示させ、
前記表示制御部は、前記稼働状態情報を、前記整理項目群から選択された整理項目について整理した状態で、前記複数の大区分稼働状態および前記複数の小区分稼働状態にそれぞれ分類して前記情報表示部に表示させることを特徴とする基板処理装置。
【請求項2】
請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記表示制御部は、前記稼働状態情報を、前記整理項目について整理した状態で前記複数の大区分稼働状態に分類して前記情報表示部に表示させる際に、大区分稼働状態毎に色分けされた第１のグラフにて表示させ、
前記表示制御部は、前記稼働状態情報を、前記整理項目について整理した状態で前記複数の小区分稼働状態に分類して前記情報表示部に表示させる際に、小区分稼働状態毎に色分けされた第２のグラフにて表示させ、前記第２のグラフにおいて、一の大区分稼働状態に対応する複数の小区分稼働状態は、前記第１のグラフにおける前記一の大区分稼働状態の色と同系色にて色分けされることを特徴とする基板処理装置。
前記表示制御部は、前記稼働状態情報を、前記整理項目について整理した状態で前記複数の大区分稼働状態に分類して前記情報表示部に表示させる際に、大区分稼働状態毎に色分けされた第１のグラフにて表示させ、
前記表示制御部は、前記稼働状態情報を、前記整理項目について整理した状態で前記複数の小区分稼働状態に分類して前記情報表示部に表示させる際に、小区分稼働状態毎に色分けされた第２のグラフにて表示させ、前記第２のグラフにおいて、一の大区分稼働状態に対応する複数の小区分稼働状態は、前記第１のグラフにおける前記一の大区分稼働状態の色と同系色にて色分けされることを特徴とする基板処理装置。
【請求項3】
請求項１または２に記載の基板処理装置であって、
前記稼働状態情報は、前記稼働部の稼働状態に関連付けられた前記稼働状態の始点および終点であるタイムスタンプを含み、
前記表示制御部は、前記稼働状態を時系列で示す時系列表示を前記情報表示部に表示させることを特徴とする基板処理装置。
前記稼働状態情報は、前記稼働部の稼働状態に関連付けられた前記稼働状態の始点および終点であるタイムスタンプを含み、
前記表示制御部は、前記稼働状態を時系列で示す時系列表示を前記情報表示部に表示させることを特徴とする基板処理装置。
【請求項4】
請求項１ないし３のいずれか１つに記載の基板処理装置であって、
前記表示制御部は、前記稼働部群に関する前記稼働状態情報を、前記稼働部群に含まれる稼働部の種類毎に並記した状態で前記情報表示部に表示させることを特徴とする基板処理装置。
前記表示制御部は、前記稼働部群に関する前記稼働状態情報を、前記稼働部群に含まれる稼働部の種類毎に並記した状態で前記情報表示部に表示させることを特徴とする基板処理装置。
【請求項5】
請求項１ないし４のいずれか１つに記載の基板処理装置であって、
前記表示制御部は、前記ロードポート群に関する前記稼働状態情報を、ロードポート毎に並記した状態で前記情報表示部に表示させることを特徴とする基板処理装置。
前記表示制御部は、前記ロードポート群に関する前記稼働状態情報を、ロードポート毎に並記した状態で前記情報表示部に表示させることを特徴とする基板処理装置。
【請求項6】
請求項１ないし５のいずれか１つに記載の基板処理装置であって、
前記表示制御部は、前記処理ユニット群に関する前記稼働状態情報を、処理ユニット毎に並記した状態で前記情報表示部に表示させることを特徴とする基板処理装置。
前記表示制御部は、前記処理ユニット群に関する前記稼働状態情報を、処理ユニット毎に並記した状態で前記情報表示部に表示させることを特徴とする基板処理装置。
【請求項7】
請求項１ないし６のいずれか１つに記載の基板処理装置であって、
前記整理項目群は、前記稼働期間、稼働時間帯、稼働曜日および処理レシピのうち１つ以上の項目を整理項目として含み、
前記表示制御部は、前記処理結果情報を、前記１つ以上の項目について整理した状態にて前記情報表示部に表示可能であることを特徴とする基板処理装置。
前記整理項目群は、前記稼働期間、稼働時間帯、稼働曜日および処理レシピのうち１つ以上の項目を整理項目として含み、
前記表示制御部は、前記処理結果情報を、前記１つ以上の項目について整理した状態にて前記情報表示部に表示可能であることを特徴とする基板処理装置。
【請求項8】
請求項１ないし７のいずれか１つに記載の基板処理装置であって、
前記整理項目群は、前記稼働期間、稼働時間帯および稼働曜日のうち１つ以上の項目を整理項目として含み、
前記表示制御部は、前記稼働状態情報を、前記１つ以上の項目について整理した状態にて前記情報表示部に表示可能であることを特徴とする基板処理装置。
前記整理項目群は、前記稼働期間、稼働時間帯および稼働曜日のうち１つ以上の項目を整理項目として含み、
前記表示制御部は、前記稼働状態情報を、前記１つ以上の項目について整理した状態にて前記情報表示部に表示可能であることを特徴とする基板処理装置。
【請求項9】
請求項１ないし８のいずれか１つに記載の基板処理装置であって、
所定の参照集計期間における前記処理結果情報である参照処理結果情報が予め準備されており、
前記表示制御部は、選択された指定集計期間における前記処理結果情報と前記参照処理結果情報とを比較可能に表示することを特徴とする基板処理装置。
所定の参照集計期間における前記処理結果情報である参照処理結果情報が予め準備されており、
前記表示制御部は、選択された指定集計期間における前記処理結果情報と前記参照処理結果情報とを比較可能に表示することを特徴とする基板処理装置。
【請求項10】
請求項１ないし９のいずれか１つに記載の基板処理装置であって、
所定の参照集計期間における前記稼働状態情報である参照稼働状態情報が予め準備されており、
前記表示制御部は、選択された指定集計期間における前記稼働状態情報を表示し、前記指定集計期間における前記稼働状態情報のうち、前記参照稼働状態情報と比較して所定の程度以上悪化している大区分稼働状態または小区分稼働状態をハイライト表示することを特徴とする基板処理装置。
所定の参照集計期間における前記稼働状態情報である参照稼働状態情報が予め準備されており、
前記表示制御部は、選択された指定集計期間における前記稼働状態情報を表示し、前記指定集計期間における前記稼働状態情報のうち、前記参照稼働状態情報と比較して所定の程度以上悪化している大区分稼働状態または小区分稼働状態をハイライト表示することを特徴とする基板処理装置。
【請求項11】
請求項１ないし１０のいずれか１つに記載の基板処理装置であって、
前記表示制御部は、前記基板処理装置と同じ構成を備える他の基板処理装置の前記処理結果情報および前記稼働状態情報も、前記情報表示部に表示させることを特徴とする基板処理装置。
前記表示制御部は、前記基板処理装置と同じ構成を備える他の基板処理装置の前記処理結果情報および前記稼働状態情報も、前記情報表示部に表示させることを特徴とする基板処理装置。
【請求項12】
基板処理装置の稼働状態の解析を行う解析方法であって、
ａ）請求項１ないし１１のいずれか１つに記載の基板処理装置において、前記処理結果情報を前記基板処理装置の任意の稼働期間について整理した状態で前記情報表示部に表示させる工程と、
ｂ）前記稼働状態情報を前記稼働期間について整理した状態で前記複数の大区分稼働状態に分類して前記情報表示部に表示させる工程と、
ｃ）前記複数の大区分稼働状態のうち、処理結果の悪化原因と目される一の大区分稼働状態を前記複数の小区分稼働状態に分類して前記情報表示部に表示させる工程と、
ｄ）前記複数の小区分稼働状態のうち、処理結果の悪化原因と目される一の小区分稼働状態に注目し、前記稼働部群のうち前記一の小区分稼働状態に関連する稼働部の集合である関連稼働部群を選択し、前記基板処理装置の稼働状態を時系列で示す時系列表示、および、前記関連稼働部群のそれぞれの稼働状態を時系列で示す時系列表示を前記情報表示部に表示させる工程と、
を備えることを特徴とする解析方法。
ａ）請求項１ないし１１のいずれか１つに記載の基板処理装置において、前記処理結果情報を前記基板処理装置の任意の稼働期間について整理した状態で前記情報表示部に表示させる工程と、
ｂ）前記稼働状態情報を前記稼働期間について整理した状態で前記複数の大区分稼働状態に分類して前記情報表示部に表示させる工程と、
ｃ）前記複数の大区分稼働状態のうち、処理結果の悪化原因と目される一の大区分稼働状態を前記複数の小区分稼働状態に分類して前記情報表示部に表示させる工程と、
ｄ）前記複数の小区分稼働状態のうち、処理結果の悪化原因と目される一の小区分稼働状態に注目し、前記稼働部群のうち前記一の小区分稼働状態に関連する稼働部の集合である関連稼働部群を選択し、前記基板処理装置の稼働状態を時系列で示す時系列表示、および、前記関連稼働部群のそれぞれの稼働状態を時系列で示す時系列表示を前記情報表示部に表示させる工程と、
を備えることを特徴とする解析方法。
【請求項13】
複数の基板が収納されたキャリアを保持するロードポートの集合であるロードポート群と、基板の処理が行われる処理ユニットの集合である処理ユニット群と、前記ロードポート群と前記処理ユニット群との間で基板を搬送する搬送機構と、を備える基板処理装置の稼働状態を表示する表示装置であって、
情報表示部と、
前記ロードポート群、前記処理ユニット群および前記搬送機構を含む稼働部群の稼働に関する情報である稼働情報を所定の表示態様にて前記情報表示部に表示させる表示制御部と、
を備え、
前記稼働情報は、
前記基板処理装置における基板の処理結果を示す処理結果情報と、
前記基板処理装置の稼働状態の時間的内訳および前記稼働部群に含まれる稼働部の稼働状態の時間的内訳を示す稼働状態情報と、
を含み、
前記基板処理装置および前記稼働部の稼働状態はそれぞれ、大分類である複数の大区分稼働状態と、前記複数の大区分稼働状態をさらに分類した複数の小区分稼働状態とに、階層的に分類されており、
前記表示制御部は、前記処理結果情報を、前記基板処理装置の任意の稼働期間を含む所定の整理項目群から選択された整理項目について整理した状態にて前記情報表示部に表示させ、
前記表示制御部は、前記稼働状態情報を、前記整理項目群から選択された整理項目について整理した状態で、前記複数の大区分稼働状態および前記複数の小区分稼働状態にそれぞれ分類して前記情報表示部に表示させることを特徴とする表示装置。
情報表示部と、
前記ロードポート群、前記処理ユニット群および前記搬送機構を含む稼働部群の稼働に関する情報である稼働情報を所定の表示態様にて前記情報表示部に表示させる表示制御部と、
を備え、
前記稼働情報は、
前記基板処理装置における基板の処理結果を示す処理結果情報と、
前記基板処理装置の稼働状態の時間的内訳および前記稼働部群に含まれる稼働部の稼働状態の時間的内訳を示す稼働状態情報と、
を含み、
前記基板処理装置および前記稼働部の稼働状態はそれぞれ、大分類である複数の大区分稼働状態と、前記複数の大区分稼働状態をさらに分類した複数の小区分稼働状態とに、階層的に分類されており、
前記表示制御部は、前記処理結果情報を、前記基板処理装置の任意の稼働期間を含む所定の整理項目群から選択された整理項目について整理した状態にて前記情報表示部に表示させ、
前記表示制御部は、前記稼働状態情報を、前記整理項目群から選択された整理項目について整理した状態で、前記複数の大区分稼働状態および前記複数の小区分稼働状態にそれぞれ分類して前記情報表示部に表示させることを特徴とする表示装置。
【請求項14】
複数の基板が収納されたキャリアを保持するロードポートの集合であるロードポート群と、基板の処理が行われる処理ユニットの集合である処理ユニット群と、前記ロードポート群と前記処理ユニット群との間で基板を搬送する搬送機構と、を備える基板処理装置について、前記ロードポート群、前記処理ユニット群および前記搬送機構を含む稼働部群の稼働に関する情報である稼働情報を所定の表示態様にて情報表示部に表示させるプログラムであって、
前記稼働情報は、
前記基板処理装置における基板の処理結果を示す処理結果情報と、
前記基板処理装置の稼働状態の時間的内訳および前記稼働部群に含まれる稼働部の稼働状態の時間的内訳を示す稼働状態情報と、
を含み、
前記基板処理装置および前記稼働部の稼働状態はそれぞれ、大分類である複数の大区分稼働状態と、前記複数の大区分稼働状態をさらに分類した複数の小区分稼働状態とに、階層的に分類されており、
前記プログラムがコンピュータによって実行されることにより、
前記処理結果情報が、前記基板処理装置の任意の稼働期間を含む所定の整理項目群から選択された整理項目について整理された状態にて前記情報表示部に表示され、
前記稼働状態情報が、前記整理項目群から選択された整理項目について整理された状態で、前記複数の大区分稼働状態および前記複数の小区分稼働状態にそれぞれ分類されて前記情報表示部に表示されることを特徴とするプログラム。
前記稼働情報は、
前記基板処理装置における基板の処理結果を示す処理結果情報と、
前記基板処理装置の稼働状態の時間的内訳および前記稼働部群に含まれる稼働部の稼働状態の時間的内訳を示す稼働状態情報と、
を含み、
前記基板処理装置および前記稼働部の稼働状態はそれぞれ、大分類である複数の大区分稼働状態と、前記複数の大区分稼働状態をさらに分類した複数の小区分稼働状態とに、階層的に分類されており、
前記プログラムがコンピュータによって実行されることにより、
前記処理結果情報が、前記基板処理装置の任意の稼働期間を含む所定の整理項目群から選択された整理項目について整理された状態にて前記情報表示部に表示され、
前記稼働状態情報が、前記整理項目群から選択された整理項目について整理された状態で、前記複数の大区分稼働状態および前記複数の小区分稼働状態にそれぞれ分類されて前記情報表示部に表示されることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、基板処理装置、および、基板処理装置の稼働状態を表示および解析する技術に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、半導体基板（ 以下、単に「基板」という。）を処理する基板処理装置では、例えば、基板が収容されるＦＯＵＰ等がロードポートにより開放され、インデクサロボットによりＦＯＵＰ等から基板が取り出される。当該基板は、インデクサロボットからセンターロボットに渡され、センターロボットにより、複数の処理ユニットのうち一の処理ユニットに搬入されて様々な処理を施される。
【0003】
このような基板処理装置では、処理ユニットに異常が生じた場合、基板の処理量や歩留まりが低下する。特許文献１では、処理ユニットの状態を示す物理量（例えば、温度）の測定結果の時系列データを分析して、異常が発生した処理ユニットや異常の原因を特定する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０２０－４７０７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ところで、上述の基板処理装置では、ロードポート、インデクサロボット、センターロボットおよび処理ユニット等の稼働部において異常が生じていない場合であっても、例えば、ある稼働部に基板が供給されず待機時間が長い場合等、装置全体としての基板の処理量が減少することがある。このような場合、特許文献１のように処理ユニットの異常を検出するのみでは、処理量減少の原因を特定することはできない。このため、基板処理装置における基板の処理結果と稼働部の稼働状態との関係を知りたいという要望がある。
【0006】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、稼働部の詳細な稼働状態を基板の処理結果と関連付けて容易に認識することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0007】
請求項１に記載の発明は、基板処理装置であって、複数の基板が収納されたキャリアを保持するロードポートの集合であるロードポート群と、基板の処理が行われる処理ユニットの集合である処理ユニット群と、前記ロードポート群と前記処理ユニット群との間で基板を搬送する搬送機構と、前記ロードポート群、前記処理ユニット群および前記搬送機構を含む稼働部群の稼働に関する情報である稼働情報を格納する情報記憶部と、情報表示部と、前記稼働情報を所定の表示態様にて前記情報表示部に表示させる表示制御部とを備え、前記稼働情報は、前記基板処理装置における基板の処理結果を示す処理結果情報と、前記基板処理装置の稼働状態の時間的内訳および前記稼働部群に含まれる稼働部の稼働状態の時間的内訳を示す稼働状態情報とを含み、前記基板処理装置および前記稼働部の稼働状態はそれぞれ、大分類である複数の大区分稼働状態と、前記複数の大区分稼働状態をさらに分類した複数の小区分稼働状態とに、階層的に分類されており、前記表示制御部は、前記処理結果情報を、前記基板処理装置の任意の稼働期間を含む所定の整理項目群から選択された整理項目について整理した状態にて前記情報表示部に表示させ、前記表示制御部は、前記稼働状態情報を、前記整理項目群から選択された整理項目について整理した状態で、前記複数の大区分稼働状態および前記複数の小区分稼働状態にそれぞれ分類して前記情報表示部に表示させる。
【0008】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の基板処理装置であって、前記表示制御部は、前記稼働状態情報を、前記整理項目について整理した状態で前記複数の大区分稼働状態に分類して前記情報表示部に表示させる際に、大区分稼働状態毎に色分けされた第１のグラフにて表示させ、前記表示制御部は、前記稼働状態情報を、前記整理項目について整理した状態で前記複数の小区分稼働状態に分類して前記情報表示部に表示させる際に、小区分稼働状態毎に色分けされた第２のグラフにて表示させ、前記第２のグラフにおいて、一の大区分稼働状態に対応する複数の小区分稼働状態は、前記第１のグラフにおける前記一の大区分稼働状態の色と同系色にて色分けされる。
【0009】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の基板処理装置であって、前記稼働状態情報は、前記稼働部の稼働状態に関連付けられた前記稼働状態の始点および終点であるタイムスタンプを含み、前記表示制御部は、前記稼働状態を時系列で示す時系列表示を前記情報表示部に表示させる。
【0010】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれか１つに記載の基板処理装置であって、前記表示制御部は、前記稼働部群に関する前記稼働状態情報を、前記稼働部群に含まれる稼働部の種類毎に並記した状態で前記情報表示部に表示させる。
【0011】
請求項５に記載の発明は、請求項１ないし４のいずれか１つに記載の基板処理装置であって、前記表示制御部は、前記ロードポート群に関する前記稼働状態情報を、ロードポート毎に並記した状態で前記情報表示部に表示させる。
【0012】
請求項６に記載の発明は、請求項１ないし５のいずれか１つに記載の基板処理装置であって、前記表示制御部は、前記処理ユニット群に関する前記稼働状態情報を、処理ユニット毎に並記した状態で前記情報表示部に表示させる。
【0013】
請求項７に記載の発明は、請求項１ないし６のいずれか１つに記載の基板処理装置であって、前記整理項目群は、前記稼働期間、稼働時間帯、稼働曜日および処理レシピのうち１つ以上の項目を整理項目として含み、前記表示制御部は、前記処理結果情報を、前記１つ以上の項目について整理した状態にて前記情報表示部に表示可能である。
【0014】
請求項８に記載の発明は、請求項１ないし７のいずれか１つに記載の基板処理装置であって、前記整理項目群は、前記稼働期間、稼働時間帯および稼働曜日のうち１つ以上の項目を整理項目として含み、前記表示制御部は、前記稼働状態情報を、前記１つ以上の項目について整理した状態にて前記情報表示部に表示可能である。
【0015】
請求項９に記載の発明は、請求項１ないし８のいずれか１つに記載の基板処理装置であって、所定の参照集計期間における前記処理結果情報である参照処理結果情報が予め準備されており、前記表示制御部は、選択された指定集計期間における前記処理結果情報と前記参照処理結果情報とを比較可能に表示する。
【0016】
請求項１０に記載の発明は、請求項１ないし９のいずれか１つに記載の基板処理装置であって、所定の参照集計期間における前記稼働状態情報である参照稼働状態情報が予め準備されており、前記表示制御部は、選択された指定集計期間における前記稼働状態情報を表示し、前記指定集計期間における前記稼働状態情報のうち、前記参照稼働状態情報と比較して所定の程度以上悪化している大区分稼働状態または小区分稼働状態をハイライト表示する。
【0017】
請求項１１に記載の発明は、請求項１ないし１０のいずれか１つに記載の基板処理装置であって、前記表示制御部は、前記基板処理装置と同じ構成を備える他の基板処理装置の前記処理結果情報および前記稼働状態情報も、前記情報表示部に表示させる。
【0018】
請求項１２に記載の発明は、基板処理装置の稼働状態の解析を行う解析方法であって、ａ）請求項１ないし１１のいずれか１つに記載の基板処理装置において、前記処理結果情報を前記基板処理装置の任意の稼働期間について整理した状態で前記情報表示部に表示させる工程と、ｂ）前記稼働状態情報を基板の前記稼働期間について整理した状態で前記複数の大区分稼働状態に分類して前記情報表示部に表示させる工程と、ｃ）前記複数の大区分稼働状態のうち、処理結果の悪化原因と目される一の大区分稼働状態を前記複数の小区分稼働状態に分類して前記情報表示部に表示させる工程と、ｄ）前記複数の小区分稼働状態のうち、処理結果の悪化原因と目される一の小区分稼働状態に注目し、前記稼働部群のうち前記一の小区分稼働状態に関連する稼働部の集合である関連稼働部群を選択し、前記基板処理装置の稼働状態を時系列で示す時系列表示、および、前記関連稼働部群のそれぞれの稼働状態を時系列で示す時系列表示を前記情報表示部に表示させる工程とを備える。
【0019】
請求項１３に記載の発明は、複数の基板が収納されたキャリアを保持するロードポートの集合であるロードポート群と、基板の処理が行われる処理ユニットの集合である処理ユニット群と、前記ロードポート群と前記処理ユニット群との間で基板を搬送する搬送機構と、を備える基板処理装置の稼働状態を表示する表示装置であって、情報表示部と、前記ロードポート群、前記処理ユニット群および前記搬送機構を含む稼働部群の稼働に関する情報である稼働情報を所定の表示態様にて前記情報表示部に表示させる表示制御部とを備え、前記稼働情報は、前記基板処理装置における基板の処理結果を示す処理結果情報と、前記基板処理装置の稼働状態の時間的内訳および前記稼働部群に含まれる稼働部の稼働状態の時間的内訳を示す稼働状態情報とを含み、前記基板処理装置および前記稼働部の稼働状態はそれぞれ、大分類である複数の大区分稼働状態と、前記複数の大区分稼働状態をさらに分類した複数の小区分稼働状態とに、階層的に分類されており、前記表示制御部は、前記処理結果情報を、前記基板処理装置の任意の稼働期間を含む所定の整理項目群から選択された整理項目について整理した状態にて前記情報表示部に表示させ、前記表示制御部は、前記稼働状態情報を、前記整理項目群から選択された整理項目について整理した状態で、前記複数の大区分稼働状態および前記複数の小区分稼働状態にそれぞれ分類して前記情報表示部に表示させる。
【0020】
請求項１４に記載の発明は、複数の基板が収納されたキャリアを保持するロードポートの集合であるロードポート群と、基板の処理が行われる処理ユニットの集合である処理ユニット群と、前記ロードポート群と前記処理ユニット群との間で基板を搬送する搬送機構と、を備える基板処理装置について、前記ロードポート群、前記処理ユニット群および前記搬送機構を含む稼働部群の稼働に関する情報である稼働情報を所定の表示態様にて情報表示部に表示させるプログラムであって、前記稼働情報は、前記基板処理装置における基板の処理結果を示す処理結果情報と、前記基板処理装置の稼働状態の時間的内訳および前記稼働部群に含まれる稼働部の稼働状態の時間的内訳を示す稼働状態情報とを含み、前記基板処理装置および前記稼働部の稼働状態はそれぞれ、大分類である複数の大区分稼働状態と、前記複数の大区分稼働状態をさらに分類した複数の小区分稼働状態とに、階層的に分類されており、前記プログラムがコンピュータによって実行されることにより、前記処理結果情報が、前記基板処理装置の任意の稼働期間を含む所定の整理項目群から選択された整理項目について整理された状態にて前記情報表示部に表示され、前記稼働状態情報が、前記整理項目群から選択された整理項目について整理された状態で、前記複数の大区分稼働状態および前記複数の小区分稼働状態にそれぞれ分類されて前記情報表示部に表示される。
【発明の効果】
【0021】
本発明では、稼働部の詳細な稼働状態を基板の処理結果と関連付けて容易に認識することができる。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【図1】一の実施の形態に係る基板処理装置の平面図である。
【図2】基板処理装置の内部を示す正面図である。
【図3】処理ユニットの一例を示す図である。
【図4】コンピュータの構成を示す図である。
【図5】コンピュータにより実現される機能を示すブロック図である。
【図6】稼働情報を示す図である。
【図7】ディスプレイの画面を示す図である。
【図8】ディスプレイの画面を示す図である。
【図9】ディスプレイの画面を示す図である。
【図10】グラフ要素を示す図である。
【図11】ディスプレイの画面を示す図である。
【図12】ディスプレイの画面を示す図である。
【図13】ディスプレイの画面を示す図である。
【図14】稼働状態解析の流れを示す図である。
【図15】ディスプレイの画面を示す図である。
【図16】ディスプレイの画面を示す図である。
【図17】ディスプレイの画面を示す図である。
【図18】ディスプレイの画面を示す図である。
【図19】ディスプレイの画面を示す図である。
【図20】ディスプレイの画面を示す図である。
【図21】ディスプレイの画面を示す図である。
【図22】ディスプレイの画面を示す図である。
【図23】ディスプレイの画面の一部を拡大して示す図である。
【図24】ディスプレイの画面の一部を拡大して示す図である。
【図25】ディスプレイの画面の一部を拡大して示す図である。
【図26】ディスプレイの画面の一部を拡大して示す図である。
【図27】ディスプレイの画面の一部を拡大して示す図である。
【図28】ディスプレイの画面を示す図である。
【図29】ディスプレイの画面の一部を拡大して示す図である。
【図30】ディスプレイの画面の一部を拡大して示す図である。
【図31】ディスプレイの画面の一部を拡大して示す図である。
【図32】ディスプレイの画面の一部を拡大して示す図である。
【図33】ディスプレイの画面の一部を拡大して示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0023】
図１は、本発明の一の実施の形態に係る基板処理装置１の平面図である。図２は、基板処理装置１を、図１のＩＩ－ＩＩ線から見た図である。なお、以下に参照する各図には、Ｚ軸方向を鉛直方向（すなわち、上下方向）とし、ＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ直交座標系が適宜付されている。また、図２では、基板処理装置１の（＋Ｘ）側の一部の図示を省略している。
【0024】
基板処理装置１は、複数の略円板状の半導体基板９（以下、単に「基板９」という。）に連続して処理を行う装置である。基板処理装置１では、例えば、基板９に対して処理液を供給する液処理が行われる。
【0025】
基板処理装置１は、複数のロードポート１１と、インデクサブロック１０と、処理ブロック２０と、載置ユニット４０と、コンピュータ８と、を備える。インデクサブロック１０および処理ブロック２０はそれぞれ、インデクサセルおよび処理セルとも呼ばれる。また、インデクサブロック１０は、Equipment Front End Module（ＥＦＥＭ）ユニット等とも呼ばれる。図１に示す例では、（－Ｘ）側から（＋Ｘ）側に向かって、３つのロードポート１１、インデクサブロック１０および処理ブロック２０が、この順に隣接して配置されている。以下の説明では、複数のロードポート１１をまとめて「ロードポート群１１０」とも呼ぶ。
【0026】
ロードポート１１の集合であるロードポート群１１０は、インデクサブロック１０の（－Ｘ）側の側壁に沿ってＹ方向に配列される。複数のロードポート１１はそれぞれ、キャリア９５を保持する保持台である。キャリア９５は、複数の円板状の基板９を収納可能である。キャリア９５は、例えば、基板９を密閉空間に収納するＦＯＵＰ(Front Opening Unified Pod）である。キャリア９５は、ＦＯＵＰには限定されず、例えば、ＳＭＩＦ（Standard Mechanical Inter Face）ポッドであってもよい。また、ロードポート群１１０に含まれるロードポート１１の数は、１つであってもよく、２つ以上であってもよい。
【0027】
ロードポート１１は、キャリア９５を開閉する開閉機構でもある。インデクサブロック１０の（－Ｘ）側の側壁には、各ロードポート１１上のキャリア９５に対応する位置に開口部およびキャリア用シャッタが設けられる。キャリア９５に対する基板９の搬出入が行われる際には、キャリア９５および当該キャリア用シャッタが自動的に開閉される。
【0028】
各ロードポート１１に対しては、複数の未処理の基板９を収納したキャリア９５が、基板処理装置１の外部からＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）等により搬入されて載置される。また、処理ブロック２０における処理が終了した処理済みの基板９は、ロードポート１１に保持されたキャリア９５に、再度収納される。処理済みの基板９が収納されたキャリア９５は、ＡＧＶ等によって基板処理装置１の外部に搬出される。すなわち、ロードポート１１は、未処理の基板９および処理済みの基板９を集積する基板集積部として機能する。
【0029】
インデクサブロック１０は、キャリア９５から未処理の基板９を受け取り、処理ブロック２０に渡す。また、インデクサブロック１０は、処理ブロック２０から搬出された処理済みの基板９を受け取り、キャリア９５へと搬入する。インデクサブロック１０の内部空間１００には、キャリア９５への基板９の搬出入を行うインデクサロボット１２が配置される。
【0030】
インデクサロボット１２は、２本の搬送アーム１２１ａ，１２１ｂと、アームステージ１２２と、可動台１２３とを備える。２本の搬送アーム１２１ａ，１２１ｂは、アームステージ１２２に搭載される。可動台１２３は、複数のロードポート１１の配列方向と平行に（すなわち、Ｙ方向に沿って）延びるボールネジ１２４に螺合され、２本のガイドレール１２５に対して摺動自在に設けられる。図示を省略する回転モータによりボールネジ１２４が回転すると、可動台１２３を含むインデクサロボット１２の全体が、Ｙ方向に沿って水平に移動する。
【0031】
アームステージ１２２は、可動台１２３上に搭載される。可動台１２３には、アームステージ１２２を上下方向（すなわち、Ｚ方向）を向く回転軸周りに回転させるモータ（図示省略）、および、アームステージ１２２を上下方向に沿って移動させるモータ（図示省略）が内蔵されている。アームステージ１２２上には、搬送アーム１２１ａ，１２１ｂが、上下に離間して配置されている。
【0032】
搬送アーム１２１ａ，１２１ｂの先端にはそれぞれ、平面視において略Ｕ字状のハンド１２６が設けられる。ハンド１２６は、例えば、幅方向に広がる基部と、当該基部の幅方向両端部から幅方向に垂直な長手方向に略平行に延びる２本の爪部とを備える。搬送アーム１２１ａ，１２１ｂはそれぞれ、ハンド１２６により１枚の基板９の下面を支持する。ハンド１２６には、図示省略のクランプ機構が設けられており、基板９のハンド１２６に対する相対位置が、位置精度良く固定される。当該クランプ機構は、例えば、基板９の側縁に接触して基板９の位置を機械的に制限する複数の凸部等であってもよく、基板９の下面を吸着する複数の吸引口であってもよい。
【0033】
搬送アーム１２１ａ，１２１ｂは、アームステージ１２２に内蔵された駆動機構（図示省略）によって多関節機構が屈伸されることにより、水平方向（すなわち、アームステージ１２２の回転軸を中心とする径方向）に沿って互いに独立して移動する。換言すれば、ハンド１２６は、進退自在、昇降自在かつ回転自在にインデクサロボット１２に設けられる。なお、インデクサロボット１２における搬送アームの数は、１本であってもよく、３本以上であってもよい。
【0034】
インデクサロボット１２は、ハンド１２６により基板９を保持する搬送アーム１２１ａ，１２１ｂをそれぞれ、ロードポート１１に載置されたキャリア９５、および、載置ユニット４０に個別にアクセスさせることにより、キャリア９５および載置ユニット４０の間で基板９を搬送する搬送ロボットである。インデクサロボット１２における上記移動機構は、上述の例には限定されず、他の機構であってもよい。例えば、搬送アーム１２１ａ，１２１ｂを上下方向に移動する機構として、プーリとタイミングベルトとを使用したベルト送り機構等が採用されてもよい。
【0035】
処理ブロック２０には、基板９の搬送に利用される搬送路２３と、搬送路２３の周囲に配置される複数の処理ユニット２１とが設けられる。図１に示す例では、搬送路２３は、処理ブロック２０のＹ方向の中央にてＸ方向に延びる。搬送路２３の内部空間２３０には、各処理ユニット２１への基板９の搬出入を行うセンターロボット２２が配置される。
【0036】
センターロボット２２は、２本の搬送アーム２２１ａ，２２１ｂと、アームステージ２２２と、基台２２３とを備える。２本の搬送アーム２２１ａ，２２１ｂは、アームステージ２２２に搭載される。基台２２３は、処理ブロック２０のフレームに固定されている。したがって、センターロボット２２の基台２２３は、水平方向および上下方向に移動しない。なお、センターロボット２２の基台２２３は、例えば、水平方向に移動可能とされてもよい。
【0037】
アームステージ２２２は、基台２２３上に搭載される。基台２２３には、アームステージ２２２を上下方向を向く回転軸周りにて回転させるモータ（図示省略）、および、アームステージ２２２を上下方向に沿って移動させるモータ（図示省略）が内蔵されている。アームステージ２２２上には、搬送アーム２２１ａ，２２１ｂが、上下に離間して配置されている。
【0038】
搬送アーム２２１ａ，２２１ｂの先端にはそれぞれ、平面視において略Ｕ字状のハンド２２６が設けられる。ハンド２２６は、例えば、幅方向に広がる基部と、当該基部の幅方向両端部から幅方向に垂直な長手方向に略平行に延びる２本の爪部とを備える。搬送アーム２２１ａ，２２１ｂはそれぞれ、ハンド２２６により１枚の基板９の下面を支持する。ハンド２２６には、図示省略のクランプ機構が設けられており、基板９のハンド２２６に対する相対位置が、位置精度良く固定される。当該クランプ機構は、例えば、基板９の側縁に接触して基板９の位置を機械的に制限する複数の凸部等であってもよく、基板９の下面を吸着する複数の吸引口であってもよい。
【0039】
搬送アーム２２１ａ，２２１ｂは、アームステージ２２２に内蔵された駆動機構（図示省略）によって多関節機構が屈伸されることにより、水平方向（すなわち、アームステージ２２２の回転軸を中心とする径方向）に沿って互いに独立して移動する。換言すれば、ハンド２２６は、進退自在、昇降自在かつ回転自在にセンターロボット２２に設けられる。なお、センターロボット２２における搬送アームの数は、１本であってもよく、３本以上であってもよい。
【0040】
センターロボット２２は、ハンド２２６により基板９を保持する搬送アーム２２１ａ，２２１ｂをそれぞれ、載置ユニット４０および複数の処理ユニット２１に個別にアクセスさせることにより、載置ユニット４０および処理ユニット２１の間で基板９を搬送する搬送ロボットである。センターロボット２２における上記移動機構は、上述の例には限定されず、他の機構であってもよい。例えば、搬送アーム２２１ａ，２２１ｂを上下方向に移動する機構として、プーリとタイミングベルトとを使用したベルト送り機構等が採用されてもよい。
【0041】
各処理ユニット２１は、基板９に対して所定の処理を施す処理部である。図１および図２に示す例では、処理ブロック２０には、１２個の処理ユニット２１が設けられる。具体的には、Ｚ方向に積層された３個の処理ユニット２１が、平面視においてセンターロボット２２の周囲に４組配置される。以下の説明では、複数の処理ユニット２１をまとめて、「処理ユニット群２１０」とも呼ぶ。処理ユニット群２１０に含まれる処理ユニット２１の数は、１つ以上の範囲で様々に変更されてよい。
【0042】
載置ユニット４０は、インデクサブロック１０と処理ブロック２０との接続部に設けられる。上述のように、インデクサロボット１２およびセンターロボット２２は、載置ユニット４０にアクセス可能である。載置ユニット４０は、センターロボット２２が配置される搬送路２３を介して処理ユニット２１の集合である処理ユニット群２１０に接続される。
【0043】
インデクサロボット１２は、キャリア９５から搬出した未処理の基板９を載置ユニット４０に載置する。センターロボット２２は、載置ユニット４０から未処理の基板９を搬出し、処理ユニット２１へと搬入する。また、センターロボット２２は、処理ユニット２１から搬出した処理済みの基板９を載置ユニット４０に載置する。インデクサロボット１２は、載置ユニット４０から処理済みの基板９を搬出し、キャリア９５に搬入する。換言すれば、インデクサロボット１２およびセンターロボット２２は、ロードポート群１１０と処理ユニット群２１０との間で基板９を搬送する搬送機構である。また、載置ユニット４０は、インデクサロボット１２からセンターロボット２２へと渡される未処理の基板９、および、センターロボット２２からインデクサロボット１２へと渡される処理済みの基板９を一時的に保持する。
【0044】
図３は、処理ユニット２１の一例を示す図である。処理ユニット２１は、ハウジング３１と、基板保持部３２と、基板回転機構３３と、カップ部３４と、処理ノズル３５とを備える。基板保持部３２、基板回転機構３３、カップ部３４および処理ノズル３５は、ハウジング３１の内部に収容される。ハウジング３１の側壁には、センターロボット２２（図１および図２参照）により基板９を内部に搬入するための開口３１１が設けられる。開口３１１は、開閉可能であり、基板９の搬出入時に開放され、基板９の処理時に閉鎖される。処理ユニット２１では、例えば、基板９に対して処理液を供給する液処理が行われる。
【0045】
図３に示す例では、基板保持部３２は、基板９を水平状態で保持するメカニカルチャックである。基板保持部３２は、ベース３２１と、シャフト３２２と、複数のチャックピン３２３と、を備える。ベース３２１は、上下方向を向く回転軸Ｊ１を中心とする略円板状の部材である。なお、以下では、図３中の上下方向は、上述のＺ方向と一致するものとして説明するが、必ずしも一致する必要はない。シャフト３２２は、回転軸Ｊ１を中心とする略円筒状または略円柱状の部材である。シャフト３２２は、ベース３２１の下面から下方へと延び、基板回転機構３３に接続される。
【0046】
複数（例えば、６つ）のチャックピン３２３は、ベース３２１の上面に立設される。複数のチャックピン３２３は、ベース３２１の上面の外周部において周状に配置される。複数のチャックピン３２３は、基板９の外周部に直接的に接触し、基板９の外周部を機械的に保持する。基板９が複数のチャックピン３２３により保持された状態では、ベース３２１の上面は、基板９の下面から下方に離間した状態で、基板９の下面と上下方向に対向する。
【0047】
基板回転機構３３は、回転軸Ｊ１を中心として基板保持部３２を回転することにより、基板保持部３２に保持された基板９を回転する。基板回転機構３３は、例えば、基板保持部３２のシャフト３２２に接続される電動モータである。基板回転機構３３は、電動モータ以外の回転機構であってもよい。基板回転機構３３は、基板保持部３２の下方に配置されたカバー３３１の内部に収容される。
【0048】
処理ノズル３５は、基板９の上方から基板９の上面に向けて処理液を吐出する。図３では、処理ノズル３５を基板９の上方にて支持する構成の図示を省略している。カップ部３４は、基板保持部３２の周囲を全周に亘って囲む略円筒状の部材である。カップ部３４は、回転中の基板９から周囲に飛散する処理液等を受ける液受けである。カップ部３４は、図示省略のカップ昇降機構により上下方向に移動可能である。基板９の処理が行われる際には、カップ部３４は、図３に示すように、回転軸Ｊ１を中心とする径方向（以下、単に「径方向」とも呼ぶ。）において基板９の側縁と対向する位置に配置される。また、センターロボット２２のハンド２２６と基板保持部３２との間で基板９が受け渡しされる際には、カップ部３４は、図３に示す位置から下方へと移動する。
【0049】
図４は、コンピュータ８の構成を示す図である。コンピュータ８は、プロセッサ８１と、メモリ８２と、入出力部８３と、バス８４とを備える通常のコンピュータである。バス８４は、プロセッサ８１、メモリ８２および入出力部８３を接続する信号回路である。メモリ８２は、各種情報を記憶する。メモリ８２は、例えば、記憶媒体８０に予め記憶されているプログラム８９を読み出して記憶する。記憶媒体８０は、例えば、ＵＳＢメモリやＣＤ－ＲＯＭである。プロセッサ８１は、メモリ８２に記憶される上記プログラム８９等に従って、メモリ８２等を利用しつつ様々な処理（例えば、数値計算）を実行する。入出力部８３は、オペレータからの入力を受け付けるキーボード８５およびマウス８６、プロセッサ８１からの出力等を表示するディスプレイ８７、並びに、プロセッサ８１からの出力等を送信する送信部８８を備える。
【0050】
図５は、コンピュータ８により上記プログラム８９が実行されることにより実現される機能を示すブロック図である。基板処理装置１は、コンピュータ８により実現される機能として、情報記憶部６１と、表示制御部６２とを備える。情報記憶部６１は、主にメモリ８２により実現され、後述する稼働情報等の各種情報を格納する。表示制御部６２は、主にプロセッサ８１により実現され、キーボード８５およびマウス８６からの入力等に基づいて、情報記憶部６１に格納されている稼働情報から上記入力に対応する情報を抽出し、情報表示部であるディスプレイ８７に所定の表示態様（すなわち、フォーマット）にて表示させる。
【0051】
情報記憶部６１に記憶される稼働情報は、上述のロードポート群１１０、搬送機構（すなわち、インデクサロボット１２およびセンターロボット２２）、並びに、処理ユニット群２１０等の稼働部の集合である稼働部群の稼働に関する情報である。当該稼働部群は、ロードポート群１１０、搬送機構および処理ユニット群２１０以外の構成（例えば、処理ユニット群２１０に処理液を供給するケミカルキャビネット等）を稼働部として含んでいてもよい。図６に示すように、稼働情報７０は、処理結果情報７１と、稼働状態情報７２とを含む。処理結果情報７１は、基板処理装置１における基板９の処理結果を示す情報である。稼働状態情報７２は、基板処理装置１の稼働状態の時間的内訳、および、稼働部群に含まれる稼働部の稼働状態の時間的内訳を示す情報である。情報記憶部６１は、稼働部群の稼働を制御する稼働制御部からの指令信号等の電気信号を取得し、当該指令信号等に基づいて処理結果情報７１および稼働状態情報７２を生成して格納する。当該稼働制御部は、上述のコンピュータ８により実現される。
【0052】
処理結果情報７１は、例えば、所定期間に基板処理装置１にて処理された基板９の処理枚数、正常処理枚数および異常処理枚数を含む。当該所定期間は、例えば、１日間、１週間、１ヶ月等である。処理結果情報７１は、上記以外の様々な情報を含んでいてもよい。例えば、基板処理装置１におけるレシピ別の基板９の処理枚数、処理可能時間当たりの基板９の処理枚数、１つの処理ユニット２１当たりの基板９の処理枚数、アラームによりチェックされた基板９の枚数、基板処理装置１における処理液の使用量等が、処理結果情報７１に含まれていてもよい。処理結果情報７１は、基板処理に関する公知の様々な手段により取得可能である。例えば、基板９の処理枚数は、基板処理装置１に搬入され、処理後に搬出された基板９の枚数をカウントすることにより取得可能である。
【0053】
稼働状態情報７２により時間的内訳が示される基板処理装置１および稼働部群の稼働状態はそれぞれ、大分類である複数の大区分稼働状態と、当該複数の大区分稼働状態をさらに分類した複数の小区分稼働状態とに、階層的に分類されている。
【0054】
表１は、稼働状態の階層的分類の一例を示す。表１に示す例では、大区分稼働状態は、「停止」、「待機」および「処理」の３つの稼働状態を含む。本実施の形態では、基板処理装置１、各ロードポート１１、インデクサロボット１２、センターロボット２２および各処理ユニット２１のそれぞれの稼働状態が、表１に示すように階層的に分類される。
【0055】
【表1】
【0056】
「停止」状態は、「電源停止（Ｐｏｗｅｒ Ｏｆｆ）」、「準備前（Ｎｏｔ Ｒｅａｄｙ）」、「警報処理停止（Ａｌａｒｍ Ｓｔｏｐ）」、「要復旧作業（Ｍａｉｎｔｅｎａｎｃｅ）」および「復旧作業中（Ｒｅｃｏｖｅｒｙ）」の５つの小区分稼働状態に分類される。「電源停止」は、基板処理装置１や稼働部の電源がＯｆｆにされている状態等を示す。「準備前」は、基板処理装置１や稼働部において基板９の処理の準備ができていない状態を示す。「警報処理停止」は、アラームにより基板９の処理が停止されている状態を示す。「要復旧作業」は、異常処理等により停止し、オペレータによる復旧作業が必要な状態を示す。「復旧作業中」は、オペレータによる復旧作業中の状態を示す。
【0057】
「待機」状態は、「指示待ち（Ｒｅａｄｙ）」、「停止指示（Ｏｐｅｒａｔｏｒ Ｓｔｏｐ）」および「準備処理（Ｐｒｅｐａｒｅ）」の３つの小区分稼働状態に分類される。「指示待ち」は、基板９を処理可能な状態ではあるが、基板９の処理の指示がないため待機している状態を示す。「停止指示」は、オペレータによる停止指示により、基板９の処理を中断している状態を示す。「準備処理」は、基板９を処理するための準備処理であり、準備処理の終了後、自動的に基板の処理が開始される状態を示す。「処理」状態は、１つの小区分稼働状態である「処理中（Ｅｘｅｃｕｔｅ）」を含む。「処理中」は、基板９が正常に処理されている状態を示す。なお、「処理」状態も、「停止」状態および「待機」状態と同様に、複数の小区分稼働状態に分類されてもよい。
【0058】
稼働状態情報７２は、例えば、各稼働部を制御する制御部からの信号を集計する等、基板処理に関する公知の様々な手段により取得可能である。なお、上述の稼働状態の階層的分類は、様々に変更されてよい。例えば、大区分稼働状態および小区分稼働状態は、表１とは異なる分類基準で分類されてもよい。また、基板処理装置１および複数の稼働部において、大区分稼働状態および小区分稼働状態の分類は共通である必要はなく、互いに異なっていてもよい。稼働状態情報７２には、大区分稼働状態および小区分稼働状態以外の情報が含まれていてもよい。例えば、複数の小区分稼働状態は、さらに細かい複数の細区分稼働状態に分類されてもよい。あるいは、基板処理装置１におけるアラームの発生回数、および、処理ブロック２０内における基板９の滞在時間等のサブデータが稼働状態情報７２に含まれてもよい。
【0059】
表示制御部６２は、処理結果情報７１を、所定の整理項目群から選択された１つ以上の整理項目について整理した状態にて、ディスプレイ８７に表示させる。当該整理項目群は、基板処理装置１の任意の稼働期間を整理項目として含む。当該稼働期間は、例えば、基板処理装置１において基板９の処理が行われた日（以下、「処理日」とも呼ぶ。）である。また、当該稼働期間は、例えば、基板処理装置１において基板９の処理が行われた週、月および／または年であってもよい。整理項目群は、当該稼働期間以外の様々な整理項目（例えば、レシピの種類等）を含んでいてよい。表示制御部６２は、例えば、基板処理装置１にて処理された基板９の処理枚数を、一の整理項目である処理日毎に整理した状態でディスプレイ８７に表示させる。
【0060】
図７は、ディスプレイ８７における表示の一例を示す図である。図７中のグラフ５１１は、所定の期間（４月１日～１５日）における基板処理装置１の処理日毎の基板９の処理枚数（すなわち、生産量の詳細）を示す棒グラフである。ディスプレイ８７の上部には、当該所定の期間（以下、「指定集計期間」とも呼ぶ。）が表示されている。指定集計期間は、オペレータによる入力等によって変更可能である。グラフ５１１の横軸は一の整理項目である処理日を示し、縦軸は処理枚数を示す。また、グラフ５１１の左上のウィンドウ５１２には、指定集計期間における基板９の総処理枚数（すなわち、合計生産量）が表示される。図７に示すように、上記整理項目は、処理結果情報７１を表示する際の基準（例えば、グラフの軸）となるパラメータであり、ディスプレイ８７には、分析対象である処理結果情報７１が当該整理項目毎に分けて（すなわち、整理項目について整理した状態で）表示される。すなわち、当該整理項目は、処理結果情報７１を分析するための分析項目でもある。また、整理項目は、後述するように、稼働状態情報７２表示する際の基準（例えば、グラフの軸）となるパラメータであり、稼働状態情報７２を分析するための分析項目でもある。
【0061】
図７中のグラフ５１３は、基板処理装置１の稼働状態情報７２を示す円グラフである。グラフ５１３では、指定集計期間（４月１日～１５日）における基板処理装置１の稼働状態が、大区分稼働状態（すなわち、処理、待機および停止）に分類された状態で示されている。換言すれば、グラフ５１３は、指定集計期間における基板処理装置１の稼働状態の内訳を示す。
【0062】
表示制御部６２は、上述の基板処理装置１と同じ構成を備える他の基板処理装置１につても、処理結果情報７１および稼働状態情報７２をディスプレイ８７に表示させることができる。当該他の基板処理装置１の処理結果情報７１および稼働状態情報７２は、図１に示す基板処理装置１のコンピュータ８において情報記憶部６１に格納されていてもよく、コンピュータ８がアクセス可能な当該他の基板処理装置１のコンピュータに記憶されていてもよい。
【0063】
また、表示制御部６２は、複数の基板処理装置１に接続された共用コンピュータにより実現され、各基板処理装置１の情報記憶部６１に格納されている各基板処理装置１の処理結果情報７１および稼働状態情報７２を、当該共用コンピュータのディスプレイに表示させてもよい。この場合、共用コンピュータおよび複数の基板処理装置１等により、基板処理システムが構成される。なお、上述の情報記憶部６１も当該共用コンピュータにより実現され、各基板処理装置１の処理結果情報７１および稼働状態情報７２は、共用コンピュータの情報記憶部６１に格納されてもよい。
【0064】
図７中の左側の切替ウィンドウ５１４には、複数の基板処理装置１の名称「装置Ａ」、「装置Ｂ」、「装置Ｃ」および「装置Ｄ」が表示されており、例えば、当該名称のうちいずれか１つをクリックすることにより、対応する基板処理装置１の処理結果情報７１および稼働状態情報７２がディスプレイ８７に表示される。図７では、白抜き文字で示されている装置Ａに対応する基板処理装置１の処理結果情報７１および稼働状態情報７２が表示されている。なお、このように、複数の基板処理装置１の処理結果情報７１および稼働状態情報７２がディスプレイ８７に表示される場合、上述の整理項目群には、基板処理装置１の名称も含まれる。
【0065】
また、図７中の左側の切替ウィンドウ５１４において、装置Ａ～装置Ｄをまとめた「全装置」をクリックすることにより、４台の基板処理装置１（すなわち、装置Ａ～装置Ｄ）を合わせた処理結果情報７１および稼働状態情報７２がディスプレイ８７に表示される。具体的には、グラフ５１１には、４台の基板処理装置１における基板９の処理枚数の合計が、指定集計期間（４月１日～１５日）について処理日毎に示される。また、グラフ５１３には、４台の基板処理装置１を合わせた稼働状態の内訳が示される。
【0066】
表示制御部６２は、基板処理装置１の稼働部である３つのロードポート１１、インデクサロボット１２、センターロボット２２および１２個の処理ユニット２１（図１および図２参照）について、それぞれ処理結果情報７１および稼働状態情報７２をディスプレイ８７に表示させることもできる。図７中の切替ウィンドウ５１４には、現在選択されている基板処理装置１である装置Ａの稼働部の名称（ＬＰ１～ＬＰ３、ＩＲ、ＣＲおよびＭＰＣ１～ＭＰＣ１２）が表示されており、例えば、当該名称のうちいずれか１つをクリックすることにより、対応する稼働部の処理結果情報７１および稼働状態情報７２がディスプレイ８７に表示される。なお、装置Ｂ～装置Ｄについても同様に、各稼働部の処理結果情報７１および稼働状態情報７２が表示可能である。
【0067】
図８は、図７中のグラフ５１１を、指定集計期間における基板処理装置１の処理日毎の稼働状態の内訳（すなわち、稼働率の詳細）を示す積み上げ縦棒グラフ５１１ａ（以下、単に「グラフ５１１ａ」とも呼ぶ。）に変更したものである。当該グラフの変更等は、例えば、オペレータがマウス８６等を操作して、ディスプレイ８７上においてグラフ表示のプルダウンメニュー等を切り替えることにより実現される。後述するグラフ等の変更についても略同様である。このように、表示制御部６２は、稼働状態情報７２を処理日（すなわち、上述の整理項目群から選択された１つの整理項目）について整理した状態で、複数の大区分稼働状態に分類してディスプレイ８７に表示させることもできる。換言すれば、ディスプレイ８７には、分析対象である稼働状態情報７２が、複数の大区分稼働状態に分類された状態で、処理日毎に分けて表示される。グラフ５１１ａでは、例えば、３つの大区分稼働状態である「処理」、「待機」および「停止」が、大区分稼働状態毎に異なる色に色分けされて表示される。図８では、グラフ５１３は図７と同じものであり、グラフ５１１ａと同様に色分けされている。なお、グラフ５１１ａは、図７に例示する積み上げ縦棒グラフ以外のグラフ（例えば、積み上げ横棒グラフや円グラフ等）として表示されてもよい。後述するグラフ５１１ｂ～５１１ｄ，５２６～５２８についても同様である。
【0068】
図９は、図８中のグラフ５１１ａを、指定集計期間における基板処理装置１の処理日毎の稼働状態のさらに詳細な内訳を示す積み上げ縦棒グラフ５１１ｂ（以下、単に「グラフ５１１ｂ」とも呼ぶ。）に変更したものである。グラフ５１１ａおよびグラフ５１１ｂをそれぞれ、「第１のグラフ」および「第２のグラフ」と呼ぶと、第２のグラフは、第１のグラフの内訳を細分化したものである。このように、表示制御部６２は、稼働状態情報７２を処理日（すなわち、上述の整理項目群から選択された１つの整理項目）について整理した状態で、複数の小区分稼働状態（表１参照）に分類してディスプレイ８７に表示させることもできる。換言すれば、ディスプレイ８７には、分析対象である稼働状態情報７２が、複数の小区分稼働状態に分類された状態で、処理日毎に分けて表示される。
【0069】
図９では、図８中のグラフ５１３も、指定集計期間における基板処理装置１の稼働状態を小区分稼働状態に分類した状態で示すグラフ５１３ｂに変更されている。また、図９では、グラフの理解を容易にするために、グラフ５１１ｂ，５１３ｂ中の大区分稼働状態「待機」に含まれる３つの小区分稼働状態を太線にて囲む。なお、実際のグラフ５１１ｂについては、複数の小区分稼働状態を示す凡例がウィンドウ５１５内に表示されている。グラフ５１３ｂについても同様に、複数の小区分稼働状態を示す凡例が表示される。
【0070】
図１０は、図９中のグラフ５１１ｂのうち、左端のグラフ要素５１６ｂを拡大して示す図である。グラフ５１１ａ，５１１ｂがカラー表示される場合、グラフ要素５１６ｂでは、好ましくは、大区分稼働状態「待機」に対応する３つの小区分稼働状態「指示待ち」、「停止指示」および「準備処理」は、グラフ５１１ａ（図８参照）における「待機」の色と同系色にて色分けされる。また、好ましくは、大区分稼働状態「停止」に対応する５つの小区分稼働状態「電源停止」、「準備前」、「警報処理停止」、「要復旧作業」および「復旧作業中」は、グラフ５１１ａにおける「停止」の色と同系色にて色分けされる。さらに好ましくは、大区分稼働状態「処理」に対応する小区分稼働状態「処理中」は、グラフ５１１ａにおける「処理」の色と同系色にて着色される。これにより、オペレータは、基板処理装置１の稼働状態の内訳を容易に認識することができる。なお、本実施の形態における「同系色」とは、色相環において隣接する類似色、および、１つの色の色調（トーン）を変更した色を含む概念である。
【0071】
グラフ５１１ａにおいて「待機」が緑色にて表示されている場合、グラフ５１１ｂでは、「指示待ち」、「停止指示」および「準備処理」はそれぞれ、例えば、濃い緑色、中間の緑色および薄い緑色で表示される。また、グラフ５１１ａにおいて「停止」が赤色にて表示されている場合、グラフ５１１ｂでは、「電源停止」、「準備前」、「警報処理停止」、「要復旧作業」および「復旧作業中」はそれぞれ、例えば、濃度が互いに異なる赤色で表示される。グラフ５１３ｂについても、グラフ５１１ｂと同様に着色されて表示される。
【0072】
基板処理装置１では、上述の処理日毎の基板９の処理枚数を示すグラフ５１１（図７参照）と、処理日毎の稼働状態を示すグラフ５１１ａおよび／またはグラフ５１１ｂ（図８および図９参照）とが、ディスプレイ８７に同時に表示されてもよい。あるいは、処理日毎の稼働状態を大区分稼働状態に分類して示すグラフ５１１ａと、処理日毎の稼働状態を小区分稼働状態に分類して示すグラフ５１１ｂとが、ディスプレイ８７に同時に表示されてもよい。
【0073】
図１１では、図９中のグラフ５１１ｂにおいて稼働状態が示される複数の処理日のうち、一の処理日（例えば、４／１）について、ロードポート１１毎の稼働状態の詳細な内訳を示す積み上げ縦棒グラフ５１１ｃ（以下、単に「グラフ５１１ｃ」とも呼ぶ。）が、ディスプレイ８７に表示されている。換言すれば、表示制御部６２は、ロードポート１１の名称（すなわち、ＬＰ１～ＬＰ３）を上述の整理項目として、小区分稼働状態に分類されたロードポート群１１０に関する稼働状態情報７２を当該整理項目について整理し、ロードポート１１毎に並記した状態で、ディスプレイ８７にグラフ５１１ｃとして表示させる。これにより、ロードポート群１１０に含まれる複数のロードポート１１の稼働状態を、容易に比較することができる。なお、グラフ５１１ｃでは、大区分稼働状態に分類されたロードポート群１１０の稼働状態情報７２が表示されてもよい。
【0074】
図１２では、図９中のグラフ５１１ｂにおいて稼働状態が示される複数の処理日のうち、一の処理日（例えば、４／１）について、処理ユニット２１毎の稼働状態の詳細な内訳を示す積み上げ縦棒グラフ５１１ｄ（以下、単に「グラフ５１１ｄ」とも呼ぶ。）が、ディスプレイ８７に表示されている。換言すれば、表示制御部６２は、処理ユニット２１の名称（すなわち、ＭＰＣ１～ＭＰＣ１２）を上述の整理項目として、小区分稼働状態に分類された処理ユニット群２１０に関する稼働状態情報７２を当該整理項目について整理し、処理ユニット２１毎に並記した状態で、ディスプレイ８７にグラフ５１１ｄとして表示させる。これにより、処理ユニット群２１０に含まれる複数の処理ユニット２１の稼働状態を、容易に比較することができる。なお、グラフ５１１ｄでは、大区分稼働状態に分類された処理ユニット群２１０稼働状態情報７２が表示されてもよい。
【0075】
上述の稼働状態情報７２は、各稼働部の稼働状態の時間的内訳に加えて、各稼働部の稼働状態に関連付けられた当該稼働状態の始点および終点であるタイムスタンプを含む。例えば、ロードポート１１の稼働状態が、小区分稼働状態の「指示待ち」から「処理中」に移行した場合、「指示待ち」の終点（すなわち、終了時刻）、および、「処理中」の始点（すなわち、開始時刻）がタイムスタンプとして稼働状態情報７２に含められる。また、ロードポート１１の稼働状態が、小区分稼働状態の「処理中」から「準備処理」に移行した場合、「処理中」の終点（すなわち、終了時刻）、および、「準備処理」の始点（すなわち、開始時刻）がタイムスタンプとして稼働状態情報７２に含められる。
【0076】
具体的には、「指示待ち」状態であるロードポート１１に対して、上述の稼働制御部から「処理中」に対応する指令信号等が発信されると、当該指令信号等が発信された時刻が、「指示待ち」の終点および「処理中」の始点として情報記憶部６１により取得されて、タイムスタンプとして稼働状態情報７２に含められる。また、「処理中」状態であるロードポート１１に対して、上述の稼働制御部から「準備処理」に対応する指令信号等が発信されると、当該指令信号等が発信された時刻が、「処理中」の終点および「準備処理」の始点として情報記憶部６１により取得されて、タイムスタンプとして稼働状態情報７２に含められる。
【0077】
表示制御部６２は、上述のタイムスタンプに基づいて、稼働部の稼働状態を時系列で示す時系列表示（いわゆる、タイムライン）をディスプレイ８７に表示させることができる。図１３は、１つのロードポート１１の稼働状態の時系列表示５１７を示す図である。時系列表示５１７の各矩形は、当該ロードポート１１の稼働状態の小区分稼働状態に対応する。図１３では、各小区分稼働状態への平行斜線の付与を省略している。ウィンドウ５１８には、当該ロードポート１１の各小区分稼働状態のタイムスタンプが表示される。オペレータは、時系列表示５１７および当該タイムスタンプに基づいて、稼働部の稼働状態の経時的変化を容易に認識することができる。なお、基板処理装置１では、ロードポート１１以外の稼働部（例えば、処理ユニット２１）の稼働状態の時系列表示５１７がディスプレイ８７に表示されてもよい。また、複数の稼働部の稼働状態の時系列表示５１７が、稼働部毎に並記された状態でディスプレイ８７に同時に表示されてもよい。
【0078】
次に、ディスプレイ８７に表示される上述の処理結果情報７１および稼働状態情報７２を利用した基板処理装置１の稼働状態の解析について説明する。図１４は、稼働状態解析の流れの一例を示す図である。
【0079】
オペレータは、まず、図１５に示すように、上述の４台の基板処理装置１（すなわち、装置Ａ～装置Ｄ）を合わせた処理結果情報７１および稼働状態情報７２を、ディスプレイ８７に表示させる。棒グラフ５２１には、４台の基板処理装置１における基板９の処理枚数の合計が、上述の指定集計期間（４月１日～１５日）について処理日毎に示される。換言すれば、処理結果情報７１は、基板９の処理日について整理された状態でグラフ５２１として表示される（ステップＳ１１）。また、グラフ５２３には、４台の基板処理装置１を合わせた稼働状態の内訳が示される。ウィンドウ５２２には、指定集計期間における基板９の総処理枚数（すなわち、合計生産量）が表示される。
【0080】
オペレータは、指定集計期間における基板９の総処理枚数が通常よりも少なく、他の処理日よりも処理枚数が少ない処理日（例えば、４／１および４／２）が存在することを確認すると、図１６に示すように、指定集計期間における基板処理装置１毎の処理枚数を示す棒グラフ５２５をディスプレイ８７に表示させる（ステップＳ１２）。具体的には、オペレータによる操作に従って、表示制御部６２が、処理結果情報７１に基づいたグラフ５２５をディスプレイ８７に表示させる。これにより、オペレータは、どの基板処理装置１が処理枚数減少の原因であるかを確認することができる。
【0081】
オペレータは、名称が「装置Ａ」である基板処理装置１の指定集計期間における処理枚数が、他の基板処理装置１よりも少ないことを確認すると、図１７に示すように、指定集計期間における装置Ａの処理日毎の稼働状態の内訳を複数の大区分稼働状態に分類して示す積み上げ縦棒グラフ５２６（以下、単に「グラフ５２６」とも呼ぶ。）をディスプレイ８７に表示させる（ステップＳ１３）。換言すれば、装置Ａに係る稼働状態情報７２が、基板９の処理日について整理された状態で複数の大区分稼働状態に分類されて表示される。具体的には、オペレータが切替ウィンドウ５２４を操作することにより、表示制御部６２が稼働状態情報７２に基づいてグラフ５２６をディスプレイ８７に表示させる。これにより、オペレータは、基板処理装置１における処理枚数減少の原因（すなわち、処理結果の悪化原因）と目される１つ以上の大区分稼働状態を、容易に認識することができる。以下、オペレータがディスプレイ８７に表示させる情報は、特に断りが無い限り、装置Ａのものである。
【0082】
なお、ステップＳ１２とステップＳ１３との間において、装置Ａの処理日毎の処理枚数を示す棒グラフをディスプレイ８７に表示させてもよい。これにより、オペレータは、処理枚数が少ない処理日（例えば、４／１および４／２）において、装置Ａが処理枚数減少の原因であることを明確に認識することができる。
【0083】
オペレータは、ステップＳ１３において、複数の大区分稼働状態のうち「待機」状態が処理枚数減少の原因であると目すると、「待機」状態を複数の小区分稼働状態に分類してディスプレイ８７に表示させる。本実施の形態では、図１８に示すように、指定集計期間における装置Ａの処理日毎の稼働状態の内訳について、複数の大区分稼働状態がそれぞれ小区分稼働状態に分類された積み上げ縦棒グラフ５２７（以下、単に「グラフ５２７」とも呼ぶ。）が、ディスプレイ８７に表示される（ステップＳ１４）。これにより、オペレータは、「待機」状態に含まれる複数の小区分稼働状態のうち、処理枚数減少の原因（すなわち、処理結果の悪化原因）と目される１つ以上の小区分稼働状態を容易に認識することができる。
【0084】
オペレータは、「待機」状態に含まれる複数の小区分稼働状態のうち、「指示待ち」状態が処理枚数減少の原因であると目すると、基板処理装置１の稼働部群において、「指示待ち」状態に関連する稼働部の集合である関連稼働部群を選択する。この場合、基板９を処理できる状態であるにも関わらず、基板９の処理が行われていない（すなわち、「指示待ち」状態である）ことから、処理予定の基板９が基板処理装置１に搬入されていない時間（すなわち、キャリア９５の搬入待ち時間）が長いことが想定されるため、オペレータは、複数のロードポート１１を関連稼働部群として選択する。そして、図１９に示すように、他の処理日よりも処理枚数が少ない処理日（例えば、４／１）について、複数のロードポート１１の稼働状態の内訳を複数の小区分稼働状態に分類して示す積み上げ縦棒グラフ５２８（以下、単に「グラフ５２８」とも呼ぶ。）をディスプレイ８７に表示させる（ステップＳ１５）。グラフ５２８では、複数のロードポート１１のそれぞれにおいて「指示待ち」状態が長いため、オペレータは、各ロードポート１１においてキャリア９５の搬入待ちが生じていると見当をつけることができる。
【0085】
オペレータは、基板処理装置１の詳細な稼働状態を確認するために、図２０に示すように、基板処理装置１（すなわち、装置Ａ）の稼働状態を時系列で示す時系列表示５３１をディスプレイ８７に表示させる（ステップＳ１６）。図２０では、時系列表示５３１のうち、基板処理装置１の「指示待ち」状態が長い時間帯を拡大して表示している。
【0086】
次に、オペレータは、図２１に示すように、上述の関連稼働部群（すなわち、ロードポート群１１０）の稼働状態を時系列で示す時系列表示５３２をディスプレイ８７に表示させる（ステップＳ１７）。図２１では、各ロードポート１１の稼働状態を時系列で示す時系列表示５３２が、ロードポート１１毎に並記された状態で、基板処理装置１の時系列表示５３１と共にディスプレイ８７に表示される。これにより、オペレータは、基板処理装置１の時系列と上記関連稼働部群の時系列とを、容易に比較することができる。
【0087】
オペレータは、時系列表示５３１と時系列表示５３２とを比較し、基板処理装置１の「指示待ち」状態とロードポート群１１０の「指示待ち」状態とのタイミングが略一致していることを確認する。これにより、基板処理装置１（装置Ａ）の４／１における処理枚数減少の原因（すなわち、処理結果の悪化原因）は、キャリア９５の搬入量不足による「指示待ち」状態の増加である、と特定することができる（ステップＳ１８）。
【0088】
以上に説明したように、基板処理装置１は、ロードポート群１１０と、処理ユニット群２１０と、搬送機構（上記例では、インデクサロボット１２およびセンターロボット２２）と、情報記憶部６１と、情報表示部（すなわち、ディスプレイ８７）と、表示制御部６２とを備える。ロードポート群１１０は、複数の基板９が収納されたキャリア９５を保持するロードポート１１の集合である。処理ユニット群２１０は、基板９の処理が行われる処理ユニット２１の集合である。搬送機構は、ロードポート群１１０と処理ユニット群２１０との間で基板９を搬送する。情報記憶部６１は、ロードポート群１１０、処理ユニット群２１０および搬送機構を含む稼働部群の稼働に関する情報である稼働情報７０を格納する。表示制御部６２は、稼働情報７０を所定の表示態様にてディスプレイ８７に表示させる。
【0089】
稼働情報７０は、基板処理装置１における基板９の処理結果を示す処理結果情報７１と、基板処理装置１の稼働状態の時間的内訳および稼働部群に含まれる稼働部の稼働状態の時間的内訳を示す稼働状態情報７２と、を含む。基板処理装置１および稼働部の稼働状態はそれぞれ、大分類である複数の大区分稼働状態と、当該複数の大区分稼働状態をさらに分類した複数の小区分稼働状態とに、階層的に分類されている。表示制御部６２は、処理結果情報７１を、基板処理装置１の任意の稼働期間を含む所定の整理項目群から選択された整理項目について整理した状態にてディスプレイ８７に表示させる。表示制御部６２は、稼働状態情報７２を、上記整理項目群から選択された整理項目について整理した状態で、複数の大区分稼働状態および複数の小区分稼働状態にそれぞれ分類してディスプレイ８７に表示させる。これにより、ディスプレイ８７を見るオペレータは、稼働部の詳細な稼働状態を基板９の処理結果と関連付けて容易に認識することができる。
【0090】
上述のように、表示制御部６２は、稼働状態情報７２を、上記整理項目について整理した状態で複数の大区分稼働状態に分類してディスプレイ８７に表示させる際に、大区分稼働状態毎に色分けされた第１のグラフ（例えば、図８の積み上げ縦棒グラフ５１１ａ）にて表示させることが好ましい。また、表示制御部６２は、稼働状態情報７２を、上記整理項目について整理した状態で複数の小区分稼働状態に分類してディスプレイ８７に表示させる際に、小区分稼働状態毎に色分けされた第２のグラフ（例えば、図９の積み上げ縦棒グラフ５１１ｂ）にて表示させることが好ましい。そして、当該第２のグラフにおいて、一の大区分稼働状態に対応する複数の小区分稼働状態は、第１のグラフにおける当該一の大区分稼働状態の色と同系色にて色分けされることが好ましい。これにより、オペレータは、稼働部の稼働状態の大まかな内訳および詳細な内訳を、互いに対応付けて容易に認識することができる。
【0091】
上述のように、稼働状態情報７２は、稼働部の稼働状態に関連付けられた稼働状態の始点および終点であるタイムスタンプを含むことが好ましい。また、表示制御部６２は、当該稼働状態を時系列で示す時系列表示（例えば、図１３の時系列表示５１７）をディスプレイ８７に表示させることが好ましい。これにより、オペレータは、稼働部の稼働状態の経時的変化を容易に認識することができる。
【0092】
上述のように、表示制御部６２は、ロードポート群１１０に関する稼働状態情報７２を、ロードポート１１毎に並記した状態で（例えば、図１１のグラフ５１１ｃのように）ディスプレイ８７に表示させることが好ましい。これにより、オペレータは、ロードポート群１１０に含まれる複数のロードポート１１の稼働状態を容易に比較することができる。
【0093】
上述のように、表示制御部６２は、処理ユニット群２１０に関する稼働状態情報７２を、処理ユニット２１毎に並記した状態で（例えば、図１２のグラフ５１１ｄのように）ディスプレイ８７に表示させることが好ましい。これにより、オペレータは、処理ユニット群２１０に含まれる複数の処理ユニット２１の稼働状態を容易に比較することができる。
【0094】
上述のように、表示制御部６２は、基板処理装置１と同じ構成を備える他の基板処理装置１の処理結果情報７１および稼働状態情報７２も、上記ディスプレイ８７に表示させることが好ましい。これにより、複数の基板処理装置１の処理結果および稼働状態を容易に比較することができる。また、複数の基板処理装置１の処理結果を容易に集計することもできる。
【0095】
上述のように、基板処理装置１の稼働状態の解析を行う解析方法は、上述の基板処理装置１において、処理結果情報７１を基板処理装置１の任意の稼働期間について整理した状態で情報表示部（すなわち、ディスプレイ８７）に表示させる工程（ステップＳ１１）と、稼働状態情報７２を基板９の当該稼働期間について整理した状態で複数の大区分稼働状態に分類してディスプレイ８７に表示させる工程（ステップＳ１３）と、複数の大区分稼働状態のうち、処理結果の悪化原因と目される一の大区分稼働状態を複数の小区分稼働状態に分類してディスプレイ８７に表示させる工程（ステップＳ１４）と、複数の小区分稼働状態のうち、処理結果の悪化原因と目される一の小区分稼働状態に注目し、稼働部群のうち一の小区分稼働状態に関連する稼働部の集合である関連稼働部群（上記例では、ロードポート群１１０）を選択し、基板処理装置１の稼働状態を時系列で示す時系列表示（上記例では、時系列表示５３１）、および、関連稼働部群のそれぞれの稼働状態を時系列で示す時系列表示（上記例では、時系列表示５３２）をディスプレイ８７に表示させる工程（ステップＳ１６～Ｓ１７）と、を備える。これにより、オペレータは、基板処理装置１における処理結果の悪化原因を容易に特定することができる。
【0096】
上述の例では、基板処理装置１のコンピュータ８に、稼働情報７０の表示に係るプログラム８９が予め記憶されているが、これには限定されない。例えば、当該プログラム８９は、既に使用されている基板処理装置１に後から導入（すなわち、レトロフィット）されてもよい。この場合、稼働情報７０を所定の表示態様にてディスプレイ８７に表示させる当該プログラム８９が、コンピュータ８によって実行されることにより、処理結果情報７１が、基板処理装置１の任意の稼働期間を含む所定の整理項目群から選択された整理項目について整理された状態にてディスプレイ８７に表示される。また、稼働状態情報７２が、当該整理項目群から選択された整理項目について整理された状態で、複数の大区分稼働状態および複数の小区分稼働状態にそれぞれ分類されてディスプレイ８７に表示される。これにより、上記と同様に、ディスプレイ８７を見るオペレータが、稼働部の詳細な稼働状態を基板９の処理結果と関連付けて容易に認識することができる。
【0097】
また、上述の例では、稼働情報７０の表示に係る構成は基板処理装置１に含まれているが、当該構成は、基板処理装置１とは別の表示装置として設けられてもよい。この場合、当該表示装置は、情報表示部（すなわち、ディスプレイ８７）と、表示制御部６２とを備える。表示制御部６２は、稼働情報７０を所定の表示態様にてディスプレイ８７に表示させる。表示制御部６２は、処理結果情報７１を、基板処理装置１の任意の稼働期間を含む所定の整理項目群から選択された整理項目について整理した状態にてディスプレイ８７に表示させる。また、表示制御部６２は、稼働状態情報７２を、上記整理項目群から選択された整理項目について整理した状態で、複数の大区分稼働状態および複数の小区分稼働状態にそれぞれ分類してディスプレイ８７に表示させる。これにより、上記と同様に、ディスプレイ８７を見るオペレータは、稼働部の詳細な稼働状態を基板９の処理結果と関連付けて容易に認識することができる。なお、当該表示装置は、１つの基板処理装置１の稼働情報７０を表示してもよく、複数の基板処理装置１の稼働情報７０を表示してもよい。
【0098】
図２２は、ディスプレイ８７における表示について、図７等とは異なる例を示す図である。図２２に示す例では、所定の指定集計期間（４月１日～１５日）における基板処理装置１の処理結果情報７１（図６参照）がディスプレイ８７に表示されている。具体的には、指定集計期間において基板処理装置１にて処理された基板９の処理枚数が、様々な視点にて整理された状態で表示制御部６２（図５参照）によりディスプレイ８７に表示されている。
【0099】
図２２中のウィンドウ５３１には、指定集計期間における処理結果情報７１と、所定の参照集計期間における処理結果情報（以下、「参照処理結果情報」とも呼ぶ。）とが、例えばテーブル形式にて比較可能に表示される。図２２に示す例では、基板処理装置１について、指定集計期間における基板９の処理枚数、参照集計期間における基板９の処理枚数、および、指定集計期間と参照集計期間との基板９の処理枚数の差が、ウィンドウ５３１に数値（図２２では、当該数値を「＊＊＊＊」で示す。）にて表示される。参照処理結果情報は、予め準備されて情報記憶部６１（図５参照）に記憶されている。参照集計期間は、ウィンドウ５３１の上部に表示されており、図２２に示す例では、３月１日～１５日である。指定集計期間および参照集計期間は適宜変更されてよい。また、参照集計期間の長さは、指定集計期間の長さと同じであってもよく、異なっていてもよい。ウィンドウ５３１では、基板９の処理枚数以外の情報（例えば、単位時間当たりの基板９の処理枚数等）が、当該処理枚数に代えて、あるいは、当該処理枚数と共に表示されてもよい。
【0100】
表示制御部６２は、処理結果情報７１を上述の整理項目群に含まれる複数の整理項目についてそれぞれ整理した状態で、ウィンドウ５３２～５３６に表示する。図２３～図２７はそれぞれ、ウィンドウ５３２～５３６を拡大して示す図である。図２３に示すように、ウィンドウ５３２には、図７中のグラフ５１１と同様に、指定集計期間における基板処理装置１の基板９の処理枚数を、処理日を整理項目として整理した棒グラフが表示される。ウィンドウ５３２中のグラフの横軸は処理日を示し、縦軸は基板９の処理枚数を示す。
【0101】
図２４に示すように、ウィンドウ５３３には、指定集計期間における基板処理装置１の基板９の処理枚数を、稼働時間帯を整理項目として整理した棒グラフが表示される。ウィンドウ５３３中のグラフの縦軸は稼働時間帯を示し、横軸は基板９の処理枚数を示す。当該グラフでは、１日（２４時間）を２４の時間帯に等分割し、指定集計期間における各時間帯の基板９の合計処理枚数を示している。なお、１日の分割数（すなわち、いくつの稼働時間帯に分割するか）は様々に変更されてよい。また、１日を複数の稼働時間帯に分割する際は、必ずしも等分割する必要はなく、例えば、重要な時間帯は細かく分割し、あまり重要でない時間帯は粗く分割してもよい。
【0102】
図２５に示すように、ウィンドウ５３４には、指定集計期間における基板処理装置１の基板９の処理枚数を、稼働曜日を整理項目として整理した棒グラフが表示される。ウィンドウ５３４中のグラフの縦軸は稼働曜日を示し、横軸は基板９の処理枚数を示す。当該グラフでは、指定集計期間における各曜日の基板９の合計処理枚数を示している。なお、当該グラフでは、複数の曜日（例えば、基板処理装置１の使用時間の短い２つの曜日）を１つのグラフ要素でまとめて示してもよい。
【0103】
図２６に示すように、ウィンドウ５３５には、指定集計期間における基板処理装置１の基板９の処理枚数を、処理ユニット群２１０の処理ユニット２１毎に並記した状態で示す棒グラフが表示される。換言すれば、当該グラフは、指定集計期間における基板処理装置１の基板９の処理枚数を、処理ユニット２１の名称（すなわち、識別子）を整理項目として整理したグラフである。ウィンドウ５３５中のグラフの縦軸は処理ユニット２１の名称を示し、横軸は基板９の処理枚数を示す。当該グラフでは、指定集計期間における各処理ユニット２１における基板９の合計処理枚数を示している。
【0104】
図２７に示すように、ウィンドウ５３６には、指定集計期間における基板処理装置１の基板９の処理枚数を、処理レシピの種類を整理項目として整理した棒グラフが表示される。ウィンドウ５３４中のグラフの縦軸は処理レシピの種類を示し、横軸は基板９の処理枚数を示す。当該グラフでは、指定集計期間における各処理レシピによる基板９の合計処理枚数を示している。
【0105】
図２８は、ディスプレイ８７における表示の他の例を示す図である。図２８に示す例では、上述の指定集計期間（４月１日～１５日）における基板処理装置１の稼働状態情報７２（図６参照）がディスプレイ８７に表示されている。具体的には、指定集計期間における基板処理装置１の稼働状態の時間的内訳、および、基板処理装置１の可動部の稼働状態の時間的内訳が、様々な視点にて整理された状態で表示制御部６２（図５参照）によりディスプレイ８７に表示されている。
【0106】
図２８中のウィンドウ５４１には、指定集計期間における稼働状態情報７２と、上述の参照集計期間における稼働状態情報（以下、「参照稼働状態情報」とも呼ぶ。）とが、例えばテーブル形式にて比較可能に表示される。図２８に示す例では、基板処理装置１について、指定集計期間における小区分稼働状態の時間的内訳、参照集計期間における小区分稼働状態の時間的内訳、および、指定集計期間と参照集計期間との当該時間的内訳の差が、ウィンドウ５４１に数値（図２８では、当該数値を「＊＊＊＊」にて示す。）にて表示される。当該数値は、例えば、各小区分稼働状態の合計時間の指定集計期間または参照集計期間に占める割合（％）である。参照稼働状態情報は、予め準備されて情報記憶部６１（図５参照）に記憶されている。参照集計期間は、ウィンドウ５３１の上部に表示されており、図２８に示す例では、３月１日～１５日である。指定集計期間および参照集計期間は適宜変更されてよい。また、参照集計期間の長さは、指定集計期間の長さと同じであってもよく、異なっていてもよい。なお、ウィンドウ５４１の右隣に配置されたウィンドウ５４７には、指定集計期間における小区分稼働状態の時間的内訳が円グラフにて表示されている。
【0107】
表示制御部６２は、稼働状態情報７２を上述の整理項目群に含まれる複数の整理項目についてそれぞれ整理した状態で、ウィンドウ５４２～５４６に表示する。図２９～図３３はそれぞれ、ウィンドウ５４２～５４６を拡大して示す図である。図２９に示すように、ウィンドウ５４２には、図１８中のグラフ５２７と同様に、指定集計期間における基板処理装置１の小区分稼働状態の時間的内訳を、処理日を整理項目として整理した積み上げ縦棒グラフが表示される。ウィンドウ５４２中のグラフの横軸は処理日を示し、縦軸は小区分稼働状態の時間的内訳（すなわち、１日の基板処理装置１の使用時間における各小区分稼働状態の合計時間が占める割合）を示す。
【0108】
図３０に示すように、ウィンドウ５４３には、指定集計期間における基板処理装置１の小区分稼働状態の時間的内訳を、稼働時間帯を整理項目として整理した積み上げ横棒グラフが表示される。ウィンドウ５４３中のグラフの縦軸は稼働時間帯を示し、横軸は小区分稼働状態の時間的内訳を示す。当該グラフでは、１日（２４時間）を２４の時間帯に等分割し、指定集計期間における各時間帯の小区分稼働状態の時間的内訳を示している。なお、１日の分割数（すなわち、いくつの稼働時間帯に分割するか）は様々に変更されてよい。また、１日を複数の稼働時間帯に分割する際は、必ずしも等分割する必要はなく、例えば、重要な時間帯は細かく分割し、あまり重要でない時間帯は粗く分割してもよい。
【0109】
図３１に示すように、ウィンドウ５４４には、指定集計期間における基板処理装置１の小区分稼働状態の時間的内訳を、稼働曜日を整理項目として整理した積み上げ横棒グラフが表示される。ウィンドウ５４４中のグラフの縦軸は稼働曜日を示し、横軸は小区分稼働状態の時間的内訳を示す。当該グラフでは、指定集計期間における各曜日の小区分稼働状態の時間的内訳を示している。なお、当該グラフでは、複数の曜日（例えば、基板処理装置１の使用時間の短い２つの曜日）を１つのグラフ要素でまとめて示してもよい。
【0110】
図３２に示すように、ウィンドウ５４５には、上述のロードポート群１１０、搬送機構（すなわち、インデクサロボット１２およびセンターロボット２２）、並びに、処理ユニット群２１０のそれぞれについて、指定集計期間における小区分稼働状態の時間的内訳を示す積み上げ横棒グラフが表示される。換言すれば、当該グラフは、指定集計期間における上記稼働部群に関する稼働状態情報７２を、当該稼働部群に含まれる可動部の種類毎に並記した状態で表示したグラフである。さらに換言すれば、当該グラフは、指定集計期間における基板処理装置１の小区分稼働状態の時間的内訳を、可動部の種類を整理項目として整理したグラフである。ウィンドウ５４５中のグラフの縦軸は可動部の種類を示し、横軸は小区分稼働状態の時間的内訳を示す。なお、縦軸のＬＰはロードポート群１１０を示し、Ｒｏｂｏｔはインデクサロボット１２およびセンターロボット２２を示し、ＭＰＣは処理ユニット群２１０を示す。
【0111】
図３３に示すように、ウィンドウ５４６には、指定集計期間におけるロードポート群１１０に関する稼働状態情報７２を、ロードポート１１毎に並記した状態で示す積み上げ横棒グラフが表示される。換言すれば、当該グラフは、指定集計期間におけるロードポート群１１０の小区分稼働状態の時間的内訳を、ロードポート１１の名称（すなわち、識別子）を整理項目として整理したグラフである。ウィンドウ５４６中のグラフの縦軸はロードポート１１の名称を示し、横軸は小区分稼働状態の時間的内訳を示す。当該グラフでは、指定集計期間における各ロードポート１１における小区分稼働状態の時間的内訳を示している。
【0112】
なお、ウィンドウ５４６には、例えば、指定集計期間における処理ユニット群２１０に関する稼働状態情報７２を、処理ユニット２１毎に並記した状態で示すグラフが表示されてもよい。あるいは、ウィンドウ５４６には、例えば、指定集計期間におけるインデクサロボット１２およびセンターロボット２２に関する稼働状態情報７２を、ロボット毎に並記した状態で示すグラフが表示されてもよい。
【0113】
上述のウィンドウ５４２～５４６に表示されるグラフにおいて、指定集計期間における稼働状態情報７２のうち、参照稼働状態情報と比較して所定の程度以上悪化している小区分稼働状態が存在する場合、表示制御部６２は、グラフ中において当該小区分稼働状態を示す部分をハイライト表示する（すなわち、周囲よりも目立つように表示する）ことが好ましい。具体的には、例えば、図３３に示すロードポート１１毎の小区分稼働状態の時間的内訳を示すグラフにおいて、ＬＰ１の「指示待ち」の時間的内訳が、参照稼働状態情報におけるＬＰ１の「指示待ち」の時間的内訳よりも所定倍（例えば、２倍）以上多い場合、図３３のＬＰ１の「指示待ち」の部分が、周囲に比べて明るく表示されたり、点滅したりする。これにより、何らかの異常が生じている可能性があるロードポート１１、および、当該ロードポート１１において異常が生じている可能性が高い小区分稼働状態を容易に認識することができる。
【0114】
また、ウィンドウ５４２～５４６に表示されるグラフでは、指定集計期間における基板処理装置１の大区分稼働状態の時間的内訳が表示されてもよい。この場合も、上記と略同様に、指定集計期間における稼働状態情報７２のうち、参照稼働状態情報と比較して所定の程度以上悪化している大区分稼働状態が存在する場合、表示制御部６２は、グラフ中において当該大区分稼働状態を示す部分をハイライト表示する（すなわち、周囲よりも目立つように表示する）ことが好ましい。
【0115】
図２２に示すテーブル、および、図２３～図２７に示すグラフは、１つの基板処理装置１における処理結果情報７１を表示したものであるが、複数の基板処理装置１を含む基板処理装置群における処理結果情報７１が同様に表示されてもよい。図２８に示すテーブル、および、図２９～図３３に示すグラフは、１つの基板処理装置１における稼働状態情報７２を表示したものであるが、複数の基板処理装置１を含む基板処理装置群における稼働状態情報７２が同様に表示されてもよい。いずれの場合も、上述の整理項目群には、基板処理装置１の名称（すなわち、識別子）が含まれる。
【0116】
以上に説明したように、基板処理装置１では、上述の整理項目群は、稼働期間、稼働時間帯、稼働曜日および処理レシピのうち１つ以上の項目を整理項目として含み、表示制御部６２は、処理結果情報７１を当該１つ以上の項目について整理した状態にて情報表示部（すなわち、ディスプレイ８７）に表示可能であることが好ましい。これにより、ディスプレイ８７を見るオペレータは、基板処理装置１における基板９の処理結果を、様々な角度から容易に分析することができる。
【0117】
上述のように、基板処理装置１では、所定の参照集計期間における処理結果情報である参照処理結果情報が予め準備されており、表示制御部６２は、選択された指定集計期間における処理結果情報７１と参照処理結果情報とを比較可能に表示することが好ましい。これにより、指定集計期間における基板９の処理に異常が生じている場合、当該異常の存在を容易に認識することができる。
【0118】
上述のように、基板処理装置１では、表示制御部６２は、稼働部群に関する稼働状態情報７２を、当該稼働部群に含まれる稼働部の種類毎に並記した状態でディスプレイ８７に表示させることが好ましい。これにより、指定集計期間における基板処理装置１の稼働状態を、可動部の種類毎に容易に確認することができる。また、基板処理装置１の稼働状態に異常が生じている場合、どの種類の可動部に異常の原因が存在するかの分析を容易とすることができる。
【0119】
上述のように、基板処理装置１では、上述の整理項目群は、稼働期間、稼働時間帯および稼働曜日のうち１つ以上の項目を整理項目として含み、表示制御部６２は、稼働状態情報７２を、当該１つ以上の項目について整理した状態にてディスプレイ８７に表示可能であることが好ましい。これにより、ディスプレイ８７を見るオペレータは、基板処理装置１の稼働状態を、様々な角度から容易に分析することができる。
【0120】
上述のように、基板処理装置１では、所定の参照集計期間における処理結果情報である参照処理結果情報が予め準備されており、表示制御部６２は、選択された指定集計期間における稼働状態情報７２を表示し、当該指定集計期間における稼働状態情報７２のうち、参照稼働状態情報と比較して所定の程度以上悪化している大区分稼働状態または小区分稼働状態をハイライト表示することが好ましい。これにより、基板処理装置１の稼働状態に異常が生じている場合、異常が生じている可能性がある可動部、および、当該可動部において異常の原因と考えられる大区分稼働状態または小区分稼働状態を容易に認識することができる。
【0121】
上述の基板処理装置１、表示装置、プログラム８９および、基板処理装置１の稼働状態の解析を行う解析方法では、様々な変更が可能である。
【0122】
例えば、当該解析方法では、基板処理装置１の処理結果の悪化原因として、上述のキャリア９５の搬入量不足による「指示待ち」状態の増加以外のものが特定されてもよい。また、上述の関連稼働部群に含まれる稼働部の数は、１以上の範囲で様々に変更されてよい。
【0123】
基板処理装置１では、ディスプレイ８７に表示される稼働情報７０（すなわち、処理結果情報７１および稼働状態情報７２）は、処理結果の悪化原因の特定以外の目的で使用されてもよい。また、表示制御部６２は、オペレータからの指示に従って、上記以外の様々なグラフやデータ等をディスプレイ８７に表示させてよい。
【0124】
基板処理装置１では、稼働状態情報７２を大区分稼働状態に分類して表示するグラフ（例えば、図８の積み上げ縦棒グラフ５１１ａ）と、稼働状態情報７２を小区分稼働状態に分類して表示するグラフ（例えば、図９の積み上げ縦棒グラフ５１１ｂ）とにおいて、互いに対応する大区分稼働状態と小区分稼働状態とは、必ずしも同系色にて表示される必要はない。ただし、大区分稼働状態と小区分稼働状態との対応関係がオペレータに容易に認識可能なように、対応する大区分稼働状態と小区分稼働状態とで、グラフ上の目視可能な特徴（例えば、ハッチングの特徴等）を共通化させることが好ましい。
【0125】
情報記憶部６１に記憶される稼働情報は、必ずしも、稼働部群に含まれる全ての稼働部の稼働状態情報７２を含む必要はなく、稼働部群に含まれる稼働部のうち少なくとも一部の稼働部の稼働状態情報７２を含んでいればよい。
【0126】
基板処理装置１では、稼働部の稼働状態の時系列は、必ずしもディスプレイ８７に表示される必要はない。
【0127】
基板処理装置１の処理ブロック２０には、処理ユニット２１以外の様々な構造の処理ユニットが設けられてよい。また、当該処理ユニットにおいて、基板９に対する液処理以外の様々な処理が行われてよい。
【0128】
上述の基板処理装置１は、半導体基板以外に、液晶表示装置または有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置等の平面表示装置（Flat Panel Display）に使用されるガラス基板、あるいは、他の表示装置に使用されるガラス基板の処理に利用されてもよい。また、上述の基板処理装置１は、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板および太陽電池用基板等の処理に利用されてもよい。
【0129】
上記実施の形態および各変形例における構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わされてよい。
【符号の説明】
【0130】
１ 基板処理装置
９ 基板
１１ ロードポート
１２ インデクサロボット
２１ 処理ユニット
２２ センターロボット
６１ 情報記憶部
６２ 表示制御部
７０ 稼働情報
７１ 処理結果情報
７２ 稼働状態情報
８７ ディスプレイ
１１０ ロードポート群
２１０ 処理ユニット群
Ｓ１１～Ｓ１８ ステップ
９ 基板
１１ ロードポート
１２ インデクサロボット
２１ 処理ユニット
２２ センターロボット
６１ 情報記憶部
６２ 表示制御部
７０ 稼働情報
７１ 処理結果情報
７２ 稼働状態情報
８７ ディスプレイ
１１０ ロードポート群
２１０ 処理ユニット群
Ｓ１１～Ｓ１８ ステップ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】