特開2022-152189IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

におい成分により異常を判定する異常判定装置及び異常判定方法

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】異常を高精度に検知することが可能な異常検知方法及び異常検出方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る異常判定装置は、取得部と、判定部とを具備する。取得部は、感応膜を有し検出値を出力するにおいセンサを具備し、においセンサへ測定対象ガスを供給する測定期間と、感応膜へ吸着したにおい成分を脱離させるクリーニング期間を繰り返す検出ユニットから、測定期間における検出値を取得する。判定部は、感応膜の周囲の湿度及び温度に応じて補正された検出値が閾値を超えた測定期間を第1の測定期間とし、第1の測定期間の後の測定期間を第2の測定期間とすると、第2の測定期間における検出値が、第1の測定期間における検出値のピーク値である第1のピーク値を超えるとき、異常と判定する。
【選択図】図1

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、特許文献1に記載の手法では、ヒータ加熱条件を変えて間欠動作でのヒータ加熱を行い、所定のヒータ加熱温度に達する前のクリーニング動作の際にCOの有無を事前に検知(予備検知)する。予備検知によりCOが存在しないと判断した場合にはヒータ加熱を停止し、COが存在すると判断いた場合にのみヒータ加熱を継続し、本検知を実施する。したがって、特許文献1に記載の手法はCOの検知精度向上ではなく、省電力に寄与する手法である。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

目的を達成するため、本発明の一形態に係る異常判定装置は、取得部と、判定部とを具備する。 取得部は、感応膜を有し検出値を出力するにおいセンサを具備し、においセンサへ測定対象ガスを供給して測定する測定期間と感応膜へ吸着したにおい成分を脱離させるクリーニングをするクリーニング期間を繰り返す検出ユニットから、測定期間における検出値を取得する。 判定部は、感応膜・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

以上のように本発明によれば、異常を高精度に検知することが可能な異常検知方法及び異常検出方法を提供することが可能である。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本発明の異常判定装置の模式図である。
【図2】 異常判定装置が備える検出ユニットの測定フローを示す模式図である。
【図3】 検出ユニットのクリーニングフローを示す模式図である。
【図4】 検出ユニットの第1ポンプ及び第2ポンプの動作タイミングを示すタイミングチャートである。
【図5】 検出ユニットの通常時の動作を示すタイミングチャートである。
【図6】 検出ユニットの動作の変更を示すタイミングチャートである。
【図7】 異常判定装置が備える制御ユニットの動作をフローチャートである。
【図8】 検出ユニットが備えるにおいセンサの出力と検出ユニットの動作を示す模式図である。
【図9】 検出ユニットが備えるにおいセンサの出力と検出ユニットの動作を示す模式図である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

100…異常判定装置 110…検出ユニット 111…チャンバ 112…においセンサ 113…湿度センサ 114…温度センサ 115…第1ポンプ 116…第2ポンプ 117…フィルタ 120…制御ユニット 121…取得部 122…演算部 123…判定部 124…記憶部 125…制御部

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