2022-154804 光学駆動装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022154804

(43)【公開日】2022-10-13

(54)【発明の名称】光学駆動装置

(51)【国際特許分類】

   G02B 7/04 20210101AFI20221005BHJP

   G02B 7/00 20210101ALI20221005BHJP

   G02B 7/02 20210101ALI20221005BHJP

【ＦＩ】

G02B7/04 E

G02B7/00 B

G02B7/02 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021058016

(22)【出願日】2021-03-30

(71)【出願人】

【識別番号】000003067

【氏名又は名称】ＴＤＫ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001494

【氏名又は名称】前田・鈴木国際特許弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】菊地 純平

(72)【発明者】

【氏名】齋藤 蒼生

(72)【発明者】

【氏名】堀井 拓人

(72)【発明者】

【氏名】滝 辰哉

(72)【発明者】

【氏名】嶋崎 公輔

(72)【発明者】

【氏名】丸山 俊樹

【テーマコード（参考）】

2H043

2H044

【Ｆターム（参考）】

2H043AA06

2H043AA25

2H043AB02

2H043AB10

2H043AB14

2H044AJ04

2H044BE04

2H044BE10

2H044BE20

(57)【要約】      （修正有）

【課題】高精度な駆動を可能とする光学駆動装置を提供する。
【解決手段】光学駆動装置は、光学素子を取付可能な可動部と、可動部を運動可能に保持する駆動部と、第１固定部１０と第２固定部と第３固定部を有し、これらにより駆動部を保持する。駆動部の一端が接合部材を介して固定面１７１に固定される第１固定部１０と、を有し、固定面１７１の少なくとも一部には溶融部１７３が形成されている。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

光学素子を取付可能な可動部と、
前記可動部を運動可能に保持する駆動部と、
前記駆動部の一端が接合部材を介して固定面に固定される固定部と、を有し、
前記固定面の少なくとも一部には溶融部が形成されている光学駆動装置。

【請求項2】

前記溶融部の位置において、前記固定面には、複数のクレータ状の照射痕が形成されている請求項１に記載の光学駆動装置。

【請求項3】

前記溶融部が形成された位置において、前記固定面には、前記固定部の底面に対して近づくように傾斜する傾斜部が形成されている請求項１または２に記載の光学駆動装置。

【請求項4】

前記駆動部の一端は、前記固定部の底面に対して傾斜しており、
前記駆動部の一端を前記固定面に固定したときに、前記傾斜部の傾斜方向と、前記駆動部の一端の傾斜方向とは略一致している請求項３に記載の光学駆動装置。

【請求項5】

前記運動方向に沿って見たとき、前記固定面は、少なくとも４辺を有する多角形状からなる外観形状を有し、
前記溶融部は、前記固定面の２辺以上３辺以下の領域に跨るように形成されている請求項１～４のいずれかに記載の光学駆動装置。

【請求項6】

前記溶融部は、前記固定面に離散的に形成されている請求項１または２に記載の光学駆動装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光学駆動装置に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、圧電素子を用いた駆動機構として、スムーズインパクト駆動機構（ＳＩＤＭ：Smooth Impact Drive Mechanism（登録商標））が注目されている。ＳＩＤＭは、小型で高精度な駆動を可能とし、光学駆動装置の駆動機構として使用される。

【0003】

例えば、特許文献１には、ＳＩＤＭを備えた光学駆動装置として、レンズを取付可能なレンズ枠体と、レンズ枠体を運動可能に保持するアクチュエータと、アクチュエータを保持するベース部材とを有するレンズ駆動装置が記載されている。アクチュエータは、圧電素子と、その一方側の端部に接続された駆動シャフトと、他方側の端部に接続された錘部とからなる。特許文献１に記載のレンズ駆動装置では、ベース部材の開口部（固定面）に錘部を固定することにより、アクチュエータをベース部材で保持することが可能となっている。

【0004】

ところで、この種の光学駆動装置において、高精度な駆動を可能とするためには、高い組立精度で各部品の組み立てを行う必要があり、そのためには、各部品を加工段階において高い加工精度で加工しておくことが好ましい。しかしながら、各部品の加工精度には一定のばらつきが生じることが避けられず、例えば錘部材の表面には、加工精度のばらつきにより、傾斜や凹凸（ゆがみ）等が形成される場合がある。このような錘部材をベース部材の開口部に固定すると、ベース部材の底面を基準面としたときのアクチュエータの垂直度が低下し、高精度な駆動を行うことができなくなる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０２０－１３０６３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、高精度な駆動を可能とする光学駆動装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するために、本発明に係る光学駆動装置は、
光学素子を取付可能な可動部と、
前記可動部を運動可能に保持する駆動部と、
前記駆動部の一端が接合部材を介して固定面に固定される固定部と、を有し、
前記固定面の少なくとも一部には溶融部が形成されている。

【0008】

本発明に係る光学駆動装置では、駆動部の一端が接合部材を介して固定面に固定され、固定面の少なくとも一部には溶融部が形成されている。そのため、溶融部が形成された位置では固定面がえぐられた状態となり、固定面に固定される駆動部の表面に加工精度のばらつきが生じたとしても、溶融部においてこれを吸収することが可能となる。これにより、駆動部を固定部に対して高い組立精度で組み立てることが可能となり、固定部の底面を基準面としたときの駆動部の垂直度を十分に確保し、高精度な駆動を可能とする光学駆動装置を実現することができる。

【0009】

また、加工精度のばらつきにより、固定面自体に凹凸や傾斜等が形成された場合には、凹凸や傾斜等が形成された位置に溶融部を形成することにより、固定面を平坦にすることが可能となる。したがって、この場合も、加工精度のばらつきを解消し、固定部の底面を基準面としたときの駆動部の垂直度を十分に確保することができる。

【0010】

好ましくは、前記溶融部の位置において、前記固定面には、複数のクレータ状の照射痕が形成されている。溶融部は、例えば、固定面に対してレーザ等の高エネルギービームを照射することによって形成され、この場合、固定面にクレータ状の照射痕が形成される。このような照射痕を固定面に複数形成することにより、溶融部の範囲や大きさ等を精度良く調整することができる。

【0011】

前記溶融部が形成された位置において、前記固定面には、前記固定部の底面に対して近づくように傾斜する傾斜部が形成されていてもよい。このような構成とすることにより、加工精度のばらつきにより、固定面に固定される駆動部の表面が固定部の底面に向かって張り出すようなことがあったとしても、この張り出し部分を固定面の傾斜部に配置させることにより、傾斜部において、駆動部の表面の加工精度のばらつき（張り出し部分）を吸収することができる。

【0012】

前記駆動部の一端は傾斜しており、前記駆動部の一端を前記固定面に固定したときに、前記傾斜部の傾斜方向と、前記駆動部の一端の傾斜方向とは略一致していてもよい。固定面に固定される駆動部の表面には加工精度のばらつきにより傾斜が形成される場合がある。このような場合であっても、駆動部の表面の傾斜を、固定部の傾斜部に嵌合させるように配置させることにより、傾斜部において、駆動部の表面の加工精度のばらつき（傾斜）を吸収することができる。

【0013】

好ましくは、前記運動方向に沿って見たとき、前記固定面は、少なくとも４辺を有する多角形状からなる外観形状を有し、前記溶融部は、前記固定面の２辺以上３辺以下の領域に跨るように形成されている。このような構成とすることにより、例えば、加工精度のばらつきにより、固定面に固定される駆動部の表面に２辺以上３辺以下の領域に跨るように傾斜等が生じたとしても、駆動部の表面の傾斜等の範囲が溶融部の範囲と一致するように、駆動部の一端を固定面に固定することにより、固定面に固定される駆動部の表面の加工精度のばらつきを溶融部で吸収することができる。

【0014】

前記溶融部は、前記固定面に離散的に形成されていてもよい。このような構成とすることにより、例えば、固定面に固定される駆動部の表面に凹凸が離散的に形成されている場合に、駆動部の表面の凹凸を固定面の溶融部に嵌合するように配置させることが可能となり、駆動部の一端を固定面に固定したときに、固定部の底面を基準面としたときの駆動部の垂直度を十分に確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】図１は、本発明の一実施形態に係る光学駆動装置を示す概略斜視図である。

【図2】図２は、図１に示す光学駆動装置の分解斜視図である。

【図3A】図３Ａは、図２に示す光学素子保持部の斜視図である。

【図3B】図３Ｂは、図３Ａに示す光学素子保持部をＺ軸を回転軸として１８０度回転させたときの斜視図である。

【図4】図４は、図２に示す第１固定部の斜視図である。

【図5】図５は、図２に示す第２固定部の斜視図である。

【図6】図６は、図２に示す第３固定部の斜視図である。

【図7】図７は、図１に示す光学駆動装置からカバーと第３固定部とを外したときの平面図である。

【図8A】図８Ａは、図１に示す光学駆動装置からカバーを外したときの斜視図である。

【図8B】図８Ｂは、図８Ａに示す光学駆動装置の一部透明斜視図である。

【図8C】図８Ｃは、図８Ｂに示す光学駆動装置をＺ軸を回転軸として１８０度回転させたときの一部透明斜視図である。

【図9】図９は、図４に示す固定用凹部の詳細構成を駆動部の一部とともに示す断面図である。

【図10】図１０は、図９に示す固定用凹部の変形例を示す断面図である。

【図11A】図１１Ａは、図４に示す固定用凹部の固定面に形成された溶融部の拡大平面図である。

【図11B】図１１Ｂは、図１１Ａに示す溶融部が重なって形成された状態を示す拡大平面図である。

【図12】図１２は、図１１Ａに示す溶融部の変形例を示す拡大平面図である。

【図13】図１３は、図１１Ａに示す照射痕の形状の一例を示す斜視図である。

【図14A】図１４Ａは、図９に示す固定用凹部の固定面に溶融部を形成する方法を示す図である。

【図14B】図１４Ｂは、図１４Ａの続きの工程を示す図である。

【図14C】図１４Ｃは、図１４Ｂの続きの工程を示す図である。

【図14D】図１４Ｄは、図１４Ｃの続きの工程を示す図である。

【図15】図１３は、本発明の第２実施形態に係る光学駆動装置の第１固定部における固定用凹部の詳細構成を駆動部の一部とともに示す断面図である。

【図16】図１６は、図１５に示す固定用凹部の固定面に形成された溶融部の拡大平面図である。

【図17】図１７は、図１５に示す固定用凹部の変形例の詳細構成を駆動部の一部とともに示す断面図である。

【図18】図１８は、図１７に示す固定用凹部の固定面に形成された溶融部の拡大平面図である。

【図19】図１９は、図１５に示す固定用凹部の他の変形例の詳細構成を駆動部の一部とともに示す断面図である。

【図20】図２０は、図１９に示す固定用凹部の固定面に形成された溶融部の拡大平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

【0017】

図１に示すように、本発明の一実施形態に係る光学駆動装置１は、携帯電話等の端末装置に搭載され、ＳＩＤＭ（Smooth Impact Drive Mechanism（登録商標）)アクチュエータによる駆動を可能とする。光学駆動装置１は、略四角柱状からなる外形を有し、図２に示すように、可動部２と駆動部３と固定部４とを有する。固定部４は、第１固定部１０と第２固定部３０と第３固定部５０とに分割されており、その詳細構造については後述する。

【0018】

駆動部３は、圧電アクチュエータからなり、可動部２（光学素子保持部６０）を運動可能に保持する。駆動部３は、圧電素子８０と第１シャフト８１と慣性部材８２とを有する。

【0019】

駆動部３は、圧電素子８０の伸縮を第１シャフト８１に伝え、第１シャフト８１に所定の摩擦力で係合している可動部２を、圧電素子８０の伸張時と縮小時との速度差を利用して移動させるものである。なお、可動部２の運動方向（移動方向）は、Ｚ軸方向であり、第１シャフト８１の軸方向に対応する。光学素子保持部６０に光学素子としてレンズが設けられる場合には、可動部２の運動方向はレンズの光軸方向となる。

【0020】

圧電素子８０は角柱状からなり、その内部では複数の誘電体層と内部電極層とがＺ軸方向に交互に積層されている。圧電素子８０は、第２固定部３０に配置される。圧電素子８０の対向する各側面には外部電極（図示略）がそれぞれ形成されており、各外部電極には内部電極層が電気的に接続されている。各外部電極には一対のリードフレーム１０１ａ，１０１ｂの各々の一端が固定されており、一対のリードフレーム１０１ａ，１０１ｂの各々の他端は回路基板１００に接続される（図８Ａ）。リードフレーム１０１ａ，１０１ｂを介して、回路基板１００から圧電素子８０に電気信号（矩形波）が与えられ、これにより圧電素子８０をＺ軸方向に伸縮させることが可能となっている。なお、回路基板１００は、ＦＰＣ（Flexible printed circuits）からなる。

【0021】

圧電素子８０の上端部には、第１シャフト８１が接続されている。第１シャフト８１と圧電素子８０との固定方法は特に限定されないが、例えば樹脂により両者を接着することが可能である。第１シャフト８１の材質は特に限定されないが、例えば金属やカーボン、あるいは樹脂等を採用することができる。この点は、後述する第２シャフト８５についても同様である。第１シャフト８１は、柱状からなり、圧電素子８０の伸縮により往復移動する。第１シャフト８１は、可動部２を摺動可能に保持し、その下端部は第２固定部３０に固定され、その上端部は第３固定部５０に固定される。第１シャフト８１の径（直径）は、第２シャフト８５の径（直径）よりも大きくなっている。また、第１シャフト８１の長手方向に垂直な方向に切った面の断面積は、第２シャフト８５の同方向に切った面の断面積よりも大きくなっている。

【0022】

第１シャフト８１の外周面には、可動部２を構成する光学素子保持部６０が摩擦係合されている。第１シャフト８１の径（直径）は圧電素子８０の径（一辺の長さあるいは長辺の長さ）よりも大きくなっており、第１シャフト８１の端面の表面積は圧電素子８０の端面の表面積よりも大きくなっている。図示の例では、第１シャフト８１の形状は円柱状となっているが、その形状は特に限定されず、多角柱状であってもよい。

【0023】

慣性部材８２は、角柱状からなり、圧電素子８０の下端部に接続されている。慣性部材８２は、駆動部３の一端を構成している。慣性部材８２は第１固定部１０に配置され、圧電素子８０と慣性部材８２との接続部の位置は第１固定部１０と第２固定部３０との境界部分の位置に略一致する。慣性部材８２は、第１シャフト８１に慣性力を与えるための慣性体としての機能を有し、圧電素子８０の伸縮による変位を第１シャフト８１側のみに発生させるためのものである。慣性部材８２は、例えば錘（錘部材）からなり、圧電素子８０および第１シャフト８１よりも比重の大きい材料で構成される。慣性部材８２の材質は特に限定されないが、例えばタングステン等の比重の大きい金属あるいはそのような金属を含む合金等を採用することができる。慣性部材８２と圧電素子８０との固定方法は特に限定されないが、例えば樹脂により両者を接着することが可能である。

【0024】

第２シャフト８５は、柱状からなり、可動部２を摺動可能に支持する。第２シャフト８５の下端部は第１固定部１０に固定され、第２シャフト８５の上端部は第３固定部５０に固定される。なお、本実施形態における光学駆動装置１には、第１シャフト８１と第２シャフト８５とが具備されているが、第２シャフト８５は駆動部３とは別に構成されており、主として固定部４としての機能を発揮する。また、第２シャフト８５は、後述するように可動部３（光学素子保持部６０）の回転を規制する役割を果たす。

【0025】

可動部２は、光学素子保持部６０からなり、光学レンズ、光学プリズムあるいは反射鏡等の光学素子（図示略）を取付可能に構成されている。図３Ａに示すように、光学素子保持部６０は、本体部６１を有する。本体部６１は筒状からなり、その中央部には素子設置用開口部６２が形成されている。素子設置用開口部６２の内面には、光学素子を設けることが可能となっている。以下において、説明の便宜のため、本体部６１に具備される４つの角部をそれぞれ第１角部６１ａ～第４角部６１ｄと呼ぶ。

【0026】

本体部６１の第１角部６１ａには、磁性体設置用段差部６３が形成されている。磁性体設置用段差部６３は、本体部６１の上面からＺ軸方向に沿って所定の長さで形成されている。磁性体設置用段差部６３の段差面には、図２に示すセンサ用磁石１０３を図７に示すような態様で設置することが可能となっている。センサ用磁石１０３は、例えば接着剤等によって磁性体設置用段差部６３に接着固定される。磁性体設置用段差部６３のＸ軸方向幅およびＹ軸方向幅は、それぞれセンサ用磁石１０３のＸ軸方向幅およびＹ軸方向幅と略等しくなっており、磁性体設置用段差部６３の段差高さはセンサ用磁石１０３の高さよりも高くなっている。

【0027】

ここで、センサ用磁石１０３について説明する。図７に示すように、センサ用磁石１０３は、回路基板１００に固定された位置センサ１０２に対してＸ軸方向に対向して配置されている。位置センサ１０２は、センサ用磁石１０３から発せられる磁界を検出するために設置されたものである。

【0028】

光学素子保持部６０がＺ軸方向に沿って往復移動すると、それに伴って、センサ用磁石１０３のＺ軸方向の位置が変位する。このとき、センサ用磁石１０３のＺ軸方向の位置に応じて、位置センサ１０２が検出する磁界の強さが変化する。そこで、このセンサ用磁石１０３から発せられる磁界の強さの変化を解析することにより、センサ用磁石１０３のＺ軸方向の位置、すなわち光学素子保持部６０のＺ軸方向の位置を検出することが可能となっている。なお、回路基板１００には、位置センサ１０２に隣接する位置に、ノイズキャンセル用のコンデンサ１０４が設けられている。

【0029】

図３Ａに示すように、本体部６１の第１角部６１ａには、基板対向段差面７１が形成されている。基板対向段差面７１は、段差形状からなり、本体部６１の第１角部６１ａと第２角部６１ｂとの間に位置する側部と、第１角部６１ａと第４角部６１ｄとの間に位置する側部とに跨るように形成されている。基板対向段差面７１は、本体部６１の上記各側部と回路基板１００との接触を防止するために形成されたものであり、図７に示すように回路基板１００に対向して配置される。

【0030】

図３Ａに示すように、本体部６１の第２角部６１ｂには、ストッパー７０ａ，７０ｂが形成されている。ストッパー７０ａは、本体部６１の第１角部６１ａと第２角部６１ｂとの間に位置する側部と、第２角部６１ｂと第３角部６１ｃとの間に位置する側部とに跨るように形成されている。ストッパー７０ａは、本体部６１の上面から上方に突出しており、その周囲に対して段差を形成している。ストッパー７０ａは光学素子保持部６０の上方への移動を制限するためのものであり、ストッパー７０ａが第３固定部５０の下面に当接するまで（あるいは、その手前の位置まで）光学素子保持部６０の上方への移動が可能となっている（図８Ａ参照）。

【0031】

同様に、突出部７０ｂは、本体部６１の第１角部６１ａと第２角部６１ｂとの間に位置する側部と、第２角部６１ｂと第３角部６１ｃとの間に位置する側部とに跨るように形成されている。突出部７０ｂは、本体部６１の下面から下方に突出しており、その周囲に対して段差を形成している。ストッパー７０ｂは光学素子保持部６０の下方への移動を制限するためのものであり、ストッパー７０ｂが第２固定部３０の上面に当接するまで（あるいは、その手前の位置まで）光学素子保持部６０の下方への移動が可能となっている（図８Ａ参照）。

【0032】

本体部６１の第２角部６１ｂには、シャフト摺動用溝部６４が形成されている。シャフト摺動用溝部６４は、本体部６１の上面から下面にかけて形成されており、本体部６１の中心部に向かって凹んでいる。図７に示すように、シャフト摺動用溝部６４は、上方から見たとき、略垂直に屈曲した形状を有する。シャフト摺動用溝部６４の内部には、係合部１０６を配置することが可能となっている。なお、係合部１０６の詳細については後述する。

【0033】

図３Ａに示すように、シャフト摺動用溝部６４の下端部には台座６５が形成されている。台座６５は、Ｚ軸方向に所定の長さを有し、その下面は本体部６１の下面と面一になっている。台座６５には、係合部１０６を載置することが可能となっている。

【0034】

係合部１０６は、弾性を有する部材で構成され、Ｚ軸方向に所定の長さを有する。図７に示すように、係合部１０６は、上方から見て略Ｌ字状に屈曲している。係合部１０６は、平板形状からなる金属板材を機械加工により略９０度に折り曲げることにより形成される。係合部１０６の形状は、シャフト摺動用溝部６４の溝形状に対応しており、シャフト摺動用溝部６４の内部に係合部１０６を係合させることが可能となっている。係合部１０６とシャフト摺動用溝部６４との固定方法は特に限定されないが、例えば樹脂等により両者を接着固定することが可能である。係合部１０６は、第１シャフト８１の外周面に当接し、その屈曲部分よりも一方側の部分と他方側の部分とにより第１シャフト８１を挟み込む。

【0035】

図２および図７に示すように、押圧部材１０５は、弾性を有する部材で構成され、例えば板バネからなる。押圧部材１０５の一端部は後述する押圧部材設置用孔６６に例えばエポキシ系の樹脂で固定され、他端部は第１シャフト８１の外周面に当接している。押圧部材１０５の一部は屈曲しており、これにより押圧部材１０５を本体部６１の第２角部６１ｂから第３角部６１ｃにかけて本体部６１の側部に沿って配置させることが可能となっている。押圧部材１０５は、弾性力によって、その他端部で第１シャフト８１の外周面を押圧する。

【0036】

上方から見たときに、第１シャフト８１の外周面には係合部１０６と押圧部材１０５とが３か所で当接し、これら各部材によって挟み込まれる。このとき、第１シャフト８１と、押圧部材１０５および係合部１０６の各々との接点には、押圧部材１０５による押圧力に応じた摩擦力が働く。これにより、係合部１０６と押圧部材１０５とを介して、光学素子保持部６０を第１シャフト８１に摩擦係合させることが可能となり、駆動部３（第１シャフト８１）によって可動部２（光学素子保持部６０）を保持する構成が得られる。このように、第１シャフト８１は、押圧部材１０５と係合部１０６とによる挟み込みの位置において、光学素子保持部６０を保持（支持）する。

【0037】

図３Ａおよび図７に示すように、本体部６１の第３角部６１ｃには、押圧部材設置用孔６６が形成されている。押圧部材設置用孔６６は、本体部６１の第２角部６１ｂと第３角部６１ｃとの間に位置する側部と、第３角部６１ｃと第４角部６１ｄとの間に位置する側部とを貫通するように形成されている。押圧部材設置用孔６６のＺ軸方向幅は押圧部材１０５のＺ軸方向幅と略等しいか、これよりも大きくなっており、その内部には押圧部材１０５の他端部が挿入される。これにより、押圧部材１０５を光学素子保持部６０に固定することが可能となっている。

【0038】

本体部６１の第３角部６１ｃには、Ｔ字状切り欠き６７が形成されている。Ｔ字状切り欠き６７は、上方から見てＴ字形状を有し、本体部６１の上面から下方に向かって延在している。Ｔ字状切り欠き６７は、その内部において押圧部材設置用孔６６と接続されている。押圧部材１０５を押圧部材設置用孔６６に固定する際には、Ｔ字状切り欠き６７から樹脂を注入し、押圧部材１０５を押圧部材設置用孔６６に樹脂で接着固定することが可能となっている。

【0039】

図３Ｂおよび図７に示すように、本体部６１の第４角部６１ｄには、シャフト固定面６８が形成されている。シャフト固定面６８は、本体部６１の上面から底面にかけて形成されており、そのＺ軸方向の略中央部には一対のシャフト固定用突起６９，６９が形成されている。シャフト固定用突起６９，６９は、第２シャフト８５に固定され、可動部２の回転を規制する役割を果たす。シャフト固定用突起６９，６９は、シャフト固定面６８に対して略垂直方向に所定の長さで突出している。シャフト固定用突起６９，６９の突出長は、第２シャフト８５の径（直径）と略等しくなっている。

【0040】

シャフト固定用突起６９，６９の各々の対向面には、一対の接触凸部６９ａ，６９ａがそれぞれ形成されている。接触凸部６９ａ，６９ａは互いに近づく方向に突出している。接触凸部６９ａ，６９ａは、シャフト固定面６８に対して略垂直方向に所定の長さで延在している。接触凸部６９ａ，６９ａの各々の間隔は、第２シャフト８５の直径と略等しくなっている。接触凸部６９ａ，６９ａの各々の間に第２シャフト８５を配置することにより、所定の摩擦力で接触凸部６９ａ，６９ａに第２シャフト８５を係合させることが可能となり、第２シャフト８５に光学素子保持部６０を摺動可能に固定させることが可能となっている。第２シャフト８５は、シャフト固定用突起６９，６９（接触凸部６９ａ，６９ａ）の位置において、光学素子保持部６０の回転を規制する。

【0041】

図８Ｂおよび図８Ｃに示すように、第１シャフト８１によって保持される可動部２の保持領域１１１の長さ（換言すれば、押圧部材１０５のＺ軸方向の長さ）Ｌ１と、第２シャフト８５によって支持される可動部２の支持領域１１２の長さ（換言すれば、シャフト固定用突起６９，６９のＺ軸方向の長さ）Ｌ２とを対比すると、長さＬ１は長さＬ２よりも大きくなっている。

【0042】

光学駆動装置１を側方から見たときに、支持領域１１２は、保持領域１１１の両端よりも内側に配置される。すなわち、支持領域１１２の上端は保持領域１１１の上端よりも下方に配置され、支持領域１１２の下端は保持領域１１１の下端よりも上方に配置される。

【0043】

図２に示すように、本実施形態における固定部４は、第１固定部１０と第２固定部３０と第３固定部５０とを有し、これらにより駆動部３を保持する。固定部４は、例えばＬＣＰ（液晶ポリマー）等の樹脂で構成される。第１固定部１０および第２固定部３０は固定部４の下部（従来技術におけるベース部材に対応）を構成し、第３固定部５０は主として固定部４の上部を構成する。本実施形態における固定部４は、その下部が第１固定部１０と第２固定部３０の２つの部分に分割されている。

【0044】

図４に示すように、第１固定部１０は、第１ベース部１１を有する。第１ベース部１１は略平板形状を有し、その略中央部には第１開口部１２が形成されている。第１開口部１２は、前述の光学素子保持部６０に形成された素子設置用開口部６２に対応する位置に形成されている。以下において、説明の便宜のため、第１ベース部１１に具備される４つの角部をそれぞれ第１角部１１ａ～第４角部１１ｄと呼ぶ。

【0045】

第１ベース部１１の第１角部１１ａと第２角部１１ｂとの間に位置する側部には、第１側方凹部１５が形成されている。第１側方凹部１５は、第１ベース部１１のＸ軸方向の一端部から他端部にかけて形成されており、Ｙ軸方向に所定の深さを有する。第１側方凹部１５のＹ軸方向の深さは図２に示す回路基板１００の厚みと略等しくなっており、第１側方凹部１５には回路基板１００の一部が配置される。

【0046】

第２角部１１ｂには、段差角部１６が形成されている。段差角部１６は、第１ベース部１１の第１角部１１ａと第２角部１１ｂとの間に位置する側部と、第２角部１１ｂと第３角部１１ｃとの間に位置する側部とに跨るように形成されている。段差角部１６の段差面は、上方から見て略三角形状を有し、第１ベース部１１の上面よりも所定の深さだけ下方に形成されている。

【0047】

段差角部１６には、固定用凹部１７が形成されている。固定用凹部１７は上方から見て略四角形状を有し、その形状は図２に示す慣性部材８２の底面形状に対応した形状となっている。ただし、固定用凹部１７の形状は、図示の形状に限定されるものではなく、慣性部材８２の底面形状に応じて適宜変更してもよい。

【0048】

図８Ｂに示すように、固定用凹部１７は所定の深さを有し、その内部には慣性部材８２を配置することが可能となっている。固定用凹部１７の内部に慣性部材８２を収容することにより、慣性部材８２を固定用凹部１７の内部に保持（固定）することが可能となっている。すなわち、固定用凹部１７は、慣性部材８２を保持するための第１保持部２１として機能する。

【0049】

図４に示すように、固定用凹部１７は、固定面１７１と、外壁部１７２とを有する。固定面１７１は、慣性部材８２（図２）の底面が固定される面である。外壁部１７２は、固定面１７１の外縁部を取り囲むように形成されており、固定面１７１に対して略直角を為すように上方に向かって延在している。外壁部１７２の高さは、例えば、慣性部材８２の高さと略等しくてもよい。

【0050】

以下の説明において、固定面１７１とはＺ軸方向の反対側に位置する第１ベース部１１の底面（第１固定部１０の底面）を基準面１１０と呼ぶ。基準面１１０は、ＸＹ平面に平行な理想的な面であり、Ｚ軸に平行となるように理想的に配置された駆動部３（第１シャフト８１）の軸芯Ｃ（図９）に対して直交する。

【0051】

図９に示すように、本実施形態では、固定面１７１の一部には、溶融部１７３が形成されている。溶融部１７３は、例えばレーザ等の高エネルギービームを固定面１７１に照射することにより形成される。溶融部１７３は、三次元的な溶融範囲を有する溶融痕からなり、外観観察やその断面を観察することによって、その痕跡を知ることができる。

【0052】

溶融部１７３が形成された位置では、固定面１７１は溶融しており、固定面１７１の表面形状あるいは表面状態が変化している。以下に示すように、本実施形態では、慣性部材８２の底面８２０（固定面１７１に固定あるいは載置される慣性部材８２の表面）の表面形状に即した形で、固定面１７１の表面形状を変化させることにより、慣性部材８２を固定用凹部１７に配置したときに、基準面１１０に対する駆動部３（圧電素子８０と第１シャフト８１と慣性部材８２の結合体）の垂直度を十分に確保することが可能となっている。

【0053】

図１１Ａに示すように、溶融部１７３は、レーザの照射により固定面１７１に形成された複数の照射痕１７４の集合体からなる。溶融部１７３の範囲は、固定面１７１に対してレーザを照射する範囲によって画定される。レーザのビーム径が０．２～０．４ｍｍの場合、照射痕１７４の深さは、好ましくは２０～５０μｍ、さらに好ましくは３０～４０μｍとなる。なお、溶融部１７３は、単一の照射痕１７４で形成されていてもよい。

【0054】

図１３に示すように、固定面１７１にレーザを一回だけ照射した場合において、照射痕１７４にはクレータ状の形状が具備される。照射痕１７４は、例えば、Ｚ軸方向から見て略円形状を有し、中央突出部１７４ａと、外周突出部１７４ｂと、溝部１７４ｃとを有する。ただし、照射痕１７４の形状は図示の形状に限定されるものではなく、種々の形状を具備していてもよい。

【0055】

中央突出部１７４ａは、凸形状を有し、照射痕１７４の略中央部に形成される。中央突出部１７４ａは、裾野を有するようにテーパ状に形成されている。

【0056】

外周突出部１７４ｂは、略リング形状からなる凸形状を有し、照射痕１７４の外周部（外縁部）に形成される。外周突出部１７４ｂの高さは、平均して、中央突出部１７４ａの高さよりも高くなっている。外周突出部１７４ｂは、裾野を有するようにテーパ状に形成されている。

【0057】

溝部１７４ｃは、中央突出部１７４ａと、外周突出部１７４ｂとの間に形成されている。溝部１７４ｃは、リング形状を有し、中央突出部１７４ａの周囲を囲むように周方向に延在している。溝部１７４ｃは、所定の深さを有し、溝部１７４ｃの底面の位置は、固定面１７１の表面のうち照射痕１７４ａが形成されていない部分の位置よりも低くなっている。

【0058】

このように、溶融部１７３（照射痕１７４）が形成された位置では、固定面１７１は溶融しており、えぐられた状態（凹みあるいは窪みが形成された状態）となっている。図１１Ａに示すように、溶融部１７３が複数の照射痕１７４で形成される場合、複数の照射痕１７４は互いに隣接した位置に形成される。

【0059】

図示の例では、複数の照射痕１７４の各々は整列して形成されており、複数の照射痕１７４の各々の間には隙間が形成されている。ただし、隣接する照射痕１７４は互いに接していてもよく、あるいは図１１Ｂに示すように隣接する照射痕１７４の一部が互いに重複していてもよい。すなわち、隣接する照射痕１７４の各々において、一方の照射痕１７４の外周突出部１７４ｂ（図１３）が、他方の照射痕１７４の外周突出部１７４ｂと重複していてもよく、この場合、各照射痕１７４が連結し（融合し）、照射痕１７４の大きさを増大させる方向に調整することができる。また、固定面１７１の表面形状（例えば平坦度）の調整が容易になるだけでなく、その精度を高めることができる。なお、隣接する照射痕１７４の各々において、重複の範囲は図１１Ｂに示す範囲に限定されるものではなく、例えば、一方の照射痕１７４の中央突出部１７４ａ（図１３）が他方の照射痕１７４の中央突出部１７４ａと重複していてもよく、あるいは一方の照射痕１７４の溝部１７４ｃ（図１３）が他方の照射痕１７４の溝部１７４ｃと重複していてもよい。

【0060】

溶融部１７３の形成段階において、固定面１７１の同一位置に、レーザを複数回にわたって照射する場合がある。この場合、固定面１７１の任意の位置に、レーザを１回だけ照射する場合に比べて、照射痕１７４の深さが深くなり、固定面１７１に深いえぐり（溝あるいは凹部）を形成することが可能となる。

【0061】

溶融部１７３が形成された位置では、溶融部１７３が形成されていない位置に比べて、基準面１１０を基準とした固定面１７１の高さ位置が低くなる。つまり、溶融部１７３を形成することにより、固定面１７１の基準面１１０からの高さを調整することが可能となっている。

【0062】

図９に示す例では、固定面１７１のある位置において、固定面１７１にＹ軸方向に沿ってレーザが照射され、溶融部１７３が固定面１７１にＹ軸方向に沿って形成されている。また、固定面１７１において、レーザ照射は、Ｙ軸正方向側に向かうにしたがって、同一箇所に照射する照射回数が多くなるよう行われている。そのため、固定面１７１は、Ｙ軸正方向側に向かうにしたがって、基準面１１０からの高さが低くなる（溶融部１７３の深さが深くなる）ように調整され、固定面１７１には、Ｙ軸正方向側に向かうにしたがって基準面１１０に対して近づくように傾斜する傾斜部１７５が形成されている。なお、図面には、レーザ照射を施す前の状態の固定面１７１を二点鎖線で示している。レーザ照射を施す前の状態では、固定面１７１は、基準面１１０に対して略平行となっている。

【0063】

溶融部１７３の大きさあるいは形状等は、慣性部材８２の底面８２０の表面形状あるいは表面状態に依存する。例えば、図９に示す例では、慣性部材８２の底面８２０は、加工精度のばらつきにより、第１ベース部材１１の基準面１１０に向かって張り出しており、Ｙ軸正方向側に向かうにしたがって、基準面１１０に対して近づくにように傾斜している。そのため、図示するように、底面８２０には、底面傾斜部８２１が形成されている。なお、図面には、理想的な底面８２０を二点鎖線で示している。この理想面は、基準面１１０に対して略平行となっている。また、底面８２０の加工精度のばらつきは、例えば５０μｍ前後であり、固定面１７１の加工精度のばらつきよりも大きい。

【0064】

固定面１７１の表面形状は、この慣性部材８２の底面８２０の張り出し形状に対応しており、底面８２０を固定面１７１に固定したときに、底面８２０の張り出し部分を吸収する（収容する）ことができるような形状に調整されている。すなわち、固定面１７１の表面形状は、底面８２０の張り出し部分に対して嵌合可能な形状となっており、具体的には、固定面１７１は、底面８２０の底面傾斜部８２１に対応した傾斜部１７５を有している。

【0065】

慣性部材８２の底面８２０を固定面１７１に固定したときに、固定面１７１における傾斜部１７５の傾斜方向と、底面８２０における底面傾斜部８２１の傾斜方向とは略一致するようになっている。慣性部材８２の底面８２０を固定面１７１に固定するときに、底面８２０の底面傾斜部８２１を、固定面１７１の傾斜部１７５に嵌合させるように配置することにより、傾斜部１７５において、底面８２０の加工精度のばらつき（底面傾斜部８２１）を吸収することができる。これにより、駆動部３の軸芯Ｃが第１ベース部材１１の基準面１１０と略直交し、基準面１１０に対する駆動部３（慣性部材８２および第１シャフト８１等）の垂直度を十分に確保することができる。

【0066】

このように、本実施形態では、慣性部材８２の底面８２０にＺ軸負方向側へ－εのゆがみが生じた場合には、この－εのゆがみと同様の分布で、固定面１７１のＺ軸負方向側へ－εのゆがみが生じるよう、固定面１７１に溶融部１７３を形成することにより、底面８２０のゆがみを相殺することが可能となっている。

【0067】

図１１Ａに示すように、固定面１７１は、Ｚ軸方向に沿って見たとき、４辺を有する多角形状からなる外観形状を有するが、この場合、溶融部１７３は、好ましくは固定面１７１の２辺以上３辺以下の領域に跨るように形成される。すなわち、本実施形態では、溶融部１７３は、固定面１７１の全体にわたって一様に形成されてはおらず、固定面１７１のコーナー部に偏在するように形成されている。

【0068】

より詳細には、溶融部１７３は、固定面１７１において、隣接する辺１７１ａおよび辺１７１ｂを２辺とする略三角形状の領域（コーナー部）に複数の照射痕１７４を形成することにより、固定面１７１の２辺の領域に跨るように形成されている。溶融部１７３の範囲（大きさ）は、図示の範囲に限定されず、固定面１７１の２辺に跨るように形成されていれば、これよりも広くてもよく、あるいは狭くてもよい。なお、図１１Ａに示す溶融部１７３の範囲は、図９に示す溶融部１７３の範囲と一致している訳ではないが、図１１Ａに示す溶融部１７３は、図９に示す溶融部１７３と同様に、Ｙ軸正方向側およびＸ軸正方向側に向かうにしたがって、基準面１１０に近づくように傾斜している。

【0069】

溶融部１７３をこのような範囲に形成した場合、固定面１７１は、主として、図中の二点鎖線で示す仮想線よりも一方側（辺１７１ａおよび辺１７１ｂが配置されている側）で傾斜する。より詳細には、固定面１７１は、上記仮想線で示す位置から、辺１７１ａと辺１７１ｂとが交差する角部に向かって傾斜する。

【0070】

図９に示す慣性部材８２の底面８２０には、経験則から、加工精度のばらつきにより、例えばいずれか２辺以上３辺以下の領域に跨るように傾斜や凹凸（ゆがみ）等が形成される場合がある。慣性部材８２の底面８２０の２辺に跨る領域に傾斜等が形成された場合（底面８２０のいずれか１つの角部に向かって傾斜等が形成された場合）には、図１１Ａに示すように、固定面１７１に、２辺の領域に跨るように溶融部１７３を形成しておくことにより、溶融部１７３の範囲と、慣性部材８２の底面８２０の傾斜等の範囲とを略一致させた状態で、底面８２０を固定面１７１に固定することが可能となり、底面８２０の加工精度のばらつき（傾斜等）を溶融部１７３で吸収することができる。

【0071】

図１２に示すように、溶融部１７３は、固定面１７１において、隣接する辺１７１ａ、辺１７１ｂおよび辺１７１ｄを３辺とする略四角形状の領域に複数の照射痕１７４を形成することにより、固定面１７１の３辺の領域に跨るように形成されていてもよい。この場合、溶融部１７３は、固定面１７１のＹ軸正方向側に偏在するように形成される。溶融部１７３の範囲（大きさ）は、図示の範囲に限定されず、固定面１７１の３辺に跨るように形成されていれば、これよりも広くてもよく、あるいは狭くてもよい。なお、図１１Ａに示す溶融部１７３の範囲は、図９に示す溶融部１７３の範囲と一致している訳ではないが、図１１Ａに示す溶融部１７３は、図１２に示す溶融部１７３と同様に、Ｙ軸正方向側に向かうにしたがって、基準面１１０に近づくように傾斜している。

【0072】

溶融部１７３をこのような範囲に形成した場合、固定面１７１は、主として、図中の二点鎖線で示す仮想線よりも一方側（辺１７１ａが配置されている側）で傾斜する。より詳細には、固定面１７１は、上記仮想線で示す位置から、辺１７１ａに向かってＹ軸方向に沿って傾斜する。

【0073】

慣性部材８２の底面８２０の３辺に跨る領域に傾斜等が形成された場合（底面８２０のいずれか１つの辺に向かってＸ軸方向あるいはＹ軸方向に沿って傾斜等が形成された場合）には、図１２に示すように、固定面１７１に、３辺以上の領域に跨るように溶融部１７３を形成しておくことにより、溶融部１７３の範囲と、慣性部材８２の底面８２０の傾斜等の範囲とを略一致させた状態で、底面８２０を固定面１７１に固定することが可能となり、底面８２０の加工精度のばらつき（傾斜等）を溶融部１７３で吸収することができる。

【0074】

なお、溶融部１７３は、必ずしも傾斜部１７５を具備している必要はない。図１０に示すように、加工精度のばらつきにより、慣性部材８２の底面８２０に凸部８２２が局所的に形成されている場合には、これと嵌合する凹部１７６が固定面１７１に局所的に形成されていてもよい。凹部１７６は、固定面１７１において、凸部８２２と対応する位置に形成されており、当該位置にレーザを照射し複数の照射痕１７４を形成することにより得られる。

【0075】

凹部１７６をＺ軸方向から見たときの形状は、凸部８２２をＺ軸方向から見たときの形状と同様であり、円形、楕円形、四角形、その他の多角形等、種々の形状をとることができる。凹部１７６の深さは、凸部１７６の高さと同様となっている。凹部１７６の大きさ（Ｘ軸方向幅およびＹ軸方向幅）は、凸部８２２の大きさと同様となっている。ただし、凹部８２２の大きさは、凸部１７６の大きさよりも大きくてもよい。この場合も、凸部８２２を凹部１７６に嵌合させることができるからである。

【0076】

図１０に示す例異においても、凸部８２２を凹部１７６に嵌合させた状態で、慣性部材８２の底面８２０を固定面１７１に固定することが可能となり、凹部１７６において、底面８２０の加工精度のばらつき（凸部８２２）を吸収することが可能となる。これにより、慣性部材８２の底面８２０を固定面１７１に固定したときに、駆動部３の軸芯Ｃが第１ベース部材１１の基準面１１０と略直交し、基準面１１０に対する駆動部３（慣性部材８２および第１シャフト８１等）の垂直度を十分に確保することができる。

【0077】

なお、慣性部材８２の底面８２０に複数の凸部８２２が局所的（離散的あるいはスポット状）に形成されている場合には、底面８２０の表面形状に対応するように、固定面１７１には、複数の凹部１７６が局所的（離散的あるいはスポット状）に形成されていてもよい。また、固定面１７１には、図９に示す傾斜部１７５と、図１０に示す凹部１７６とが混在していてもよい。

【0078】

慣性部材８２は、樹脂（図１４Ｃに示す樹脂２００）によって固定用凹部１７に接着される。接着用の樹脂としては、好ましくは紫外線硬化樹脂が用いられる。樹脂が固定用凹部１７の内部に充填されることによって、その接着力により、慣性部材８２を固定用凹部１７の内部に強固に保持させることが可能となっている。

【0079】

このように慣性部材８２を固定用凹部１７の内部に配置し、さらにこれを樹脂で接着固定することにより、第１保持部２１によって、駆動部３の下端部に位置する慣性部材８２を強固に保持することが可能となっている。慣性部材８２を第１保持部２１に固定するための樹脂は、好ましくはシリコーン系の樹脂である。シリコーン系の樹脂を用いることにより、駆動部３の振動や外部からの衝撃を樹脂で吸収することが可能となり、第１保持部２１によって駆動部３の一部を安定した状態で保持することができる。

【0080】

図４に示すように、第１ベース部１１の第３角部１１ｃには、段差幅狭部１４が形成されている。段差幅狭部１４は、第１ベース部１１の上面と側面（第２角部１１ｂと第３角部１１ｃとの間に位置する側面）とが交差する角部に形成されている。段差幅狭部１４には、後述する第３固定部５０の幅狭固定片５４ａ（図６）が接着により固定される。

【0081】

段差幅狭部１４に近接する位置には、制限凸部１９が形成されている。制限凸部１９は、略円柱形状からなり、第１ベース部１１の上面から上方に向かって突出している。制限凸部１９の端部にはテーパ面が形成されている。制限凸部１９は、後述する第２固定部３０の底面に形成された制限凹部４４（図５）に係合可能に構成されており、制限凸部１９と制限凹部４４とを係合させることにより、第１固定部１０と第２固定部３０との間の相対移動や回転を防止することが可能なっている。図８Ｂに示すように、制限凸部１９は、第１固定部１０（固定用凹部１７）が慣性部材８２を保持する位置（第１保持部２１）よりも上方に離間した位置に位置する。

【0082】

図４に示すように、第１ベース部１１の上面には、制限凸部１９の周囲を取り囲むように、リング状溝部２０が形成されている。リング状溝部２０は、第１固定部１０と第２固定部３０とを組み合わせるときに、第１固定部１０の上面が第２固定部３０の底面に対して干渉することを防止するためのものである。すなわち、制限凸部１９の周囲にリング状溝部２０を形成することにより、制限凸部１９の周囲のバリによって第１ベース部１１の上面と第２ベース部３１の底面との接合部におけるがたつきを防止することが可能となっている。

【0083】

第１ベース部１１の第４角部１１ｄには、第１小径孔１８が形成されている。第１小径孔１８は、貫通孔からなり、その内部に図２に示す第２シャフト８５を挿通させることが可能となっている。第１小径孔１８は上方から見て円形状を有しており、第１小径孔１８の径（直径）は第２シャフト８５の径（直径）と略等しいか、それよりも大きくなっている。第１小径孔１８の内部に第２シャフト８５の下端部を挿通させることにより、第２シャフト８５の下端部は第１小径孔１８に保持（支持）される。すなわち、図８Ｂに示すように、第１小径孔１８は、第２シャフト８５の下端部を保持するための第４保持部２２として機能する。第２シャフト８５の下端部は、樹脂によって第１小径孔１８に接着される。

【0084】

このように第２シャフト８５の下端部を第１小径孔１８の内部に配置し、さらにこれを樹脂で接着固定することにより、第４保持部２２によって、第２シャフト８５の下端部を強固に保持することが可能となっている。

【0085】

第２シャフト８５の下端部を第４保持部２２に固定するための樹脂は、好ましくはエポキシ系の樹脂である。第２シャフト８５は第１固定部１０と第３固定部５０との間を接続する柱としての機能を有するため、エポキシ系の樹脂を用いて第２シャフト８５の下端部を第１固定部１０に固定することにより、第２シャフト８５の下端部が第１固定部１０に十分な接着力で固定され、固定部４の構造強度を十分に確保することが可能となる。また、第１固定部１０に対して第２シャフト８５が安定した状態で保持されるため、第２シャフト８５により光学素子保持部６０を安定した状態で支持することが可能となる。

【0086】

図４に示すように、第１角部１１ａと第４角部１１ｄとの間には、段差幅広部１３が形成されている。段差幅広部１３は、第１ベース部１１の上面と側面（第１角部１１ａと第４角部１１ｄとの間に位置する側面）とが交差する角部に形成されている。段差幅広部１３のＹ軸方向幅は、段差幅狭部１４のＹ軸方向幅よりも広くなっている。段差幅広部１３には、第３固定部５０の幅広固定片５３ａ（図６）が接着により固定される。

【0087】

図８Ａに示すように、第２固定部３０は第１固定部１０に支持され、第１固定部１０の上方に配置（載置）される。図５に示すように、第２固定部３０は、第２ベース部３１を有する。第２ベース部３１は略平板形状を有し、その略中央部には第２開口部３２が形成されている。第２開口部３２は、第１固定部１０の第１開口部１２に対応する位置に形成されている。以下において、説明の便宜のため、第２ベース部３１に具備される４つの角部をそれぞれ第１角部３１ａ～第４角部３１ｄと呼ぶ。

【0088】

第２ベース部３１の第１角部３１ａには、第２側方凹部３５が形成されている。第２側方凹部３５は、第２ベース部３１の第１角部３１ａと第２角部３１ｂとの間に位置する側部に形成されており、Ｙ軸方向に所定の深さを有する。第２側方凹部３５の凹部底面は、図４に示す第１固定部１０の第１側方凹部１５の凹部底面と略面一となっており、第１側方凹部１５と第２側方凹部３５とに跨るように図２に示す回路基板１００の一部を配置することが可能となっている。

【0089】

第２ベース部３１の第２角部３２ａには、長尺突出部３６と短尺突出部３７とが形成されている。長尺突出部３６と短尺突出部３７とは直交するように配置されており、図８Ａに示すように第１固定部１０の段差角部１６の内側に配置される。図５に示すように、長尺突出部３６は第２ベース部３１の第２角部３１ｂと第３角部３１ｃとの間に位置する側部に形成され、短尺突出部３７は第２ベース部３１の第１角部３１ａと第２角部３１ｂとの間に位置する側部に形成されている。長尺突出部３６はＹ軸方向に沿って延在しており、Ｘ軸方向に所定の厚みを有する。短尺突出部３７はＸ軸方向に沿って延在しており、Ｙ軸方向に所定の厚みを有する。長尺突出部３６の下方への突出長は、短尺突出部３７の下方への突出長よりも大きくなっており、長尺突出部３６の底面と短尺突出部３７の底面との間には段差が形成されている。

【0090】

短尺突出部３７の底面には、突出柱状部３８が形成されている。突出柱状部３８は、長尺突出部３６に対して所定距離だけ離間した位置に形成されており、下方に向かって突出している。突出柱状部３８の下方への突出長は、長尺突出部３６の底面と短尺突出部３７の底面との段差幅に等しくなっている。

【0091】

突出柱状部３８のＸ軸方向の一方側には、フレーム挿通路３９ａが形成されている。フレーム挿通路３９ａは突出柱状部３８と長尺突出部３６との間に形成された空間からなり、フレーム挿通路３９ａを通じて図２に示すリードフレーム１０１ａを突出柱状部３８の周囲に沿うように回路基板１００に向けて引き出すことが可能となっている（図８Ａ）。

【0092】

突出柱状部３８を挟んでフレーム挿通路３９ａとは反対側には、フレーム挿通路３９ｂが形成されている。フレーム挿通路３９ｂはフレーム挿通路３９ａと同様に空間からなり、フレーム挿通路３９ｂを通じて図２に示すリードフレーム１０１ｂを突出柱状部３８の周囲に沿うように回路基板１００に向けて引き出すことが可能となっている（図８Ａ）。突出柱状部３８を挟んで一方側からリードフレーム１０１ａを引き出すとともに、他方側からリードフレーム１０１ｂを引き出すことにより、リードフレーム１０１ａ，１０１ｂの各々の間の絶縁を良好に図ることが可能となっている。

【0093】

第２ベース部３１の第２角部３１ｂには、第２大径孔４２が形成されている。第２大径孔４２は、貫通孔からなり、第２ベース部３１をＺ軸方向に貫いている。第２大径孔４２には、第１シャフト８１を挿通させることが可能となっている。

【0094】

第２大径孔４２は上方から見て円形状を有しており、第２大径孔４２の径（直径）は第１シャフト８１の径（直径）よりも略等しいか、それよりも大きくなっている。図８Ｂに示すように、第２大径孔４２の内部には第１シャフト８１の下端部が配置（挿通）され、第１シャフト８１の下端部は第２大径孔４２の内部に保持（固定）される。すなわち、第２大径孔４２は、第１シャフト８１の下端部を保持するための第２保持部４５として機能する。このように、本実施形態では、第２固定部３０が駆動部３の一部を保持する構成が具備されている。

【0095】

第１シャフト８１の下端部は、樹脂によって第２大径孔４２に接着される。樹脂が第２大径孔４２の内部に充填されることによって、その接着力により、第１シャフト８１の下端部を第２大径孔４２の内部に強固に保持させることが可能となっている。

【0096】

このように第１シャフト８１を第２大径孔４２の内部に配置し、さらにこれを樹脂で接着固定することにより、第２保持部４５によって、駆動部３の下方に位置する第１シャフト８１の下端部を強固に保持することが可能となっている。第１シャフト８１の下端部を第２保持部４５に固定するための樹脂は、好ましくはシリコーン系の樹脂である。シリコーン系の樹脂を用いることにより、駆動部３の振動や外部からの衝撃を樹脂で吸収することが可能となるため、第２保持部４５によって駆動部３の一部を安定した状態で保持することが可能となる。以上のように、本実施形態では、第１固定部１０では第１保持部２１（固定用凹部１７）により駆動部３が保持され、第２固定部３０では第２保持部４５（第２大径孔４２）により駆動部３が保持される。

【0097】

図５に示すように、第２ベース部３１の第２角部３１ｂと第３角部３１ｃとの間には、接触固定部４１が形成されている。図８Ａに示すように、接触固定部４１は、第２ベース部３１の底面の一部を構成しており、第１固定部１０の第１ベース部１１の上面に当接し、これに固定（支持）される。なお、第２ベース部３１の底面は、接触固定部４１以外の部分においても、第１ベース部１１の上面との当接面を構成するが、本実施形態では、長尺突出部３６に対してＹ軸方向に隣接して形成された当接面を特に接触固定部４１と呼んでいる。

【0098】

接触固定部４１と第１ベース部１１の上面とが当接した状態において、第１固定部１０の上面と第２固定部３０の底面との間には隙間が一部形成されている。特に、長尺突出部３６の底面と第１ベース部１１の上面との間には、上記隙間として、樹脂充填空間４０が形成されている。樹脂充填空間４０には例えばエポキシ系の樹脂が充填され、樹脂を介して、第１ベース部１１の上面と長尺突出部３６の底面とを強固に固定することが可能となっている。なお、突出柱状部３８の底面と第１ベース部１１の上面との間にも同様の隙間が形成されている。

【0099】

図５に示すように、第２ベース部３１の第３角部３１ｃには、凹状幅狭部３４が形成されている。凹状幅狭部３４は、第２角部３１ｂと第３角部３１ｃとの間に位置する側部に形成されており、Ｘ軸方向に所定の深さを有する。凹状幅狭部３４の凹部底面は、図４に示す第１固定部１０の段差幅狭部１４の凹部底面と略面一に配置され、凹状幅狭部３４と段差幅狭部１４とに跨るように、第３固定部５０の幅狭固定片５４ａ（図６）が接着により固定される。なお、凹状幅狭部３４の底面には、そのＹ軸方向の両側に湾曲状の窪みが形成されているが、このような窪みを形成することにより、その内部に樹脂が充填され、凹状幅狭部３４および段差幅狭部１４と幅狭固定片５４ａとの接着性を高めることが可能となっている。

【0100】

凹状幅狭部３４に隣接する位置には、制限凹部４４が形成されている。制限凹部４４は、第２ベース部３１の底面に形成されており、第１固定部１０の制限凸部１９に対応する位置に形成されている。制限凹部４４は、制限凸部１９に対応した形状を有し、制限凸部１９に係合可能に形成されている。

【0101】

第２ベース部３１の第４角部３１ｄには、第２小径孔４３が形成されている。第２小径孔４３は、貫通孔からなり、第２ベース部３１をＺ軸方向に貫いている。第２小径孔４３は、第２開口部３２を挟んで、第２大径孔４２に対して対角線上に配置されている。第２小径孔４３は上方から見て円形状を有しており、図８Ｂおよび図８Ｃに示すように、第２小径孔４３の内部には第２シャフト８５を挿通させることが可能となっている。第２小径孔４３の径（直径）は第２シャフト８５の径と略等しいか、それよりも大きくなっており、また第２大径孔４２の径よりも小さくなっている。

【0102】

第２小径孔４３では、第２シャフト８５はその内部を挿通するのみであり、その挿通部分は第２小径孔４３の内部に樹脂等で固定されていない。第２小径孔４３の径は第２シャフト８５の径と略等しくなっているため、第２シャフト８５を第２小径孔４３の内部に挿通させたとき、第２小径孔４３によって、その挿通部分が保持される。

【0103】

図５に示すように、第２ベース部３１の第１角部３１ａと第４角部３１ｄとの間に位置する側部には、凹状幅広部３３が形成されている。図８Ｃに示すように、凹状幅広部３３のＹ軸方向幅は第１固定部１０の段差幅広部１３のＹ軸方向幅と略等しくなっており、凹状幅広部３３の凹部底面と段差幅広部１３の凹部底面とは略面一となっている。第１固定部１０と第２固定部３０とを組み合わせたとき、凹状幅広部３３と段差幅広部１３とに跨るように、第３固定部５０の幅広固定片５３ａ（図６）が接着により固定される。

【0104】

図６に示すように、第３固定部５０は、天板部５１を有する。天板部５１は略平板形状を有し、その略中央部には第３開口部５２が形成されている。第３開口部５２は、第１固定部１０の第１開口部１２および第２固定部３０の第２開口部３２に対応する位置に形成されている。以下において、説明の便宜のため、天板部５１に具備される４つの角部をそれぞれ第１角部５１ａ～第４角部５１ｄと呼ぶ。

【0105】

天板部５１の第２角部５１ｂには、第３大径孔５５が形成されている。第３大径孔５５は、貫通孔からなり、天板部５１をＺ軸方向に貫いている。第３大径孔５５には、第１シャフト８１を挿通させることが可能となっている。

【0106】

第３大径孔５５は上方から見て円形状を有しており、第３大径孔５５の径（直径）は第１シャフト８１の径と略等しいか、それよりも大きくなっている。図８Ｂに示すように、第３大径孔５５の内部には第１シャフト８１の上端部が配置（挿通）され、第１シャフト８１の上端部は第３大径孔５５の内部に保持（固定）される。すなわち、第３大径孔５５は、第１シャフト８１の上端部を保持するための第３保持部５８として機能する。このように、本実施形態では、第３固定部３０が駆動部３の一部を保持する構成が得られ、さらに第３固定部５０が第１シャフト８１を介して第１固定部１０および第２固定部３０に支持される構成が得られる。

【0107】

第１シャフト８１の上端部は、樹脂によって第３大径孔５５に接着される。樹脂が第３大径孔５５の内部に充填されることによって、その接着力により、第１シャフト８１の上端部を第３大径孔５５の内部に強固に保持させることが可能となっている。

【0108】

このように第１シャフト８１を第３大径孔５５の内部に配置し、さらにこれを樹脂で接着固定することにより、第３保持部５８によって、駆動部３の上方に位置する第１シャフト８１の上端部を強固に保持することが可能となっている。第１シャフト８１の上端部を第３保持部５８に固定するための樹脂は、好ましくはシリコーン系の樹脂である。シリコーン系の樹脂を用いることにより、駆動部３の振動や外部からの衝撃を樹脂で吸収させることが可能となるため、第３保持部５８によって駆動部３の一部を安定した状態で保持することが可能となっている。また、第１シャフト８１の熱収縮（線膨張）に起因して生じ得る第１シャフト８１の上端部と第３大径孔５５との接合部の不具合を防止することが可能となる。

【0109】

ここで、第１シャフト８１の上端部が第３固定部５０の第３大径孔５５の内部に固定される位置と、第１シャフト８１の下端部が第２固定部３０の第２大径孔４２の内部に固定される位置との間の距離（第１シャフト８１の上端部および下端部が固定される固定部４の各固定位置間の距離、あるいは第２保持部４５と第３保持部５８との間の距離）をＬ３とする。また、第２シャフト８５の上端部が第３固定部５０の第３小径孔５６の内部に固定される位置と、第２シャフト８５の下端部が第１固定部１０の第１小径孔１８の内部に固定される位置との間の距離（第２シャフト８５の各端部が固定される固定部４の各固定位置間の距離、あるいは第４保持部２２と第５保持部５９との間の距離）をＬ４とする。本実施形態では、距離Ｌ３は距離Ｌ４よりも小さくなっている。

【0110】

図６に示すように、天板部５１の第３角部５１ｃには、幅狭突出部５４が形成されている。幅狭突出部５４は、天板部５１の第２角部５１ｂと第３角部５１ｃとの間に位置する側部に形成されている。幅狭突出部５４は、ＹＺ平面に平行な面を有し、下方に突出している。図８Ａに示すように、第３固定部５０を第１固定部１０および第２固定部３０に組み合わせたときに、幅狭突出部５４は天板部５１と第２固定部３０との間を接続する。

【0111】

幅狭突出部５４の下端部には、幅狭固定片５４ａが形成されている。幅狭固定片５４ａのＹ軸方向幅は、幅狭突出部５４のＹ軸方向幅よりも小さくなっており、図８Ａに示すように、第１固定部１０の段差幅狭部１４および第２固定部３０の凹状幅狭部３４の各々のＹ軸方向幅と略等しくなっている。幅狭固定片５４ａは、Ｚ軸方向に接続された段差幅狭部１４および凹状幅狭部３４に跨るように配置され、これらに対して樹脂で接着固定される。

【0112】

図６に示すように、天板部５１の第４角部５１ｄには、第３小径孔５６が形成されている。第３小径孔５６は、貫通孔からなり、天板部５１をＺ軸方向に貫いている。第３小径孔５６は、第３開口部５２を挟んで、第３大径孔５５に対して対角線上に配置されている。第３小径孔５６は上方から見て円形状を有しており、図８Ｂおよび図８Ｃに示すように、第３小径孔５６の内部には第２シャフト８５を挿通させることが可能となっている。第３小径孔５６の径（直径）は第２シャフト８５の径と略等しいか、それよりも大きくなっており、また第３大径孔５５の径よりも小さくなっている。

【0113】

第３小径孔５６の内部には第２シャフト８５の上端部が配置（挿通）され、第２シャフト８５の上端部は第３小径孔５６の内部に保持（固定）される。すなわち、第３小径孔５６は、第２シャフト８５の上端部を保持するための第５保持部５９として機能する。

【0114】

第２シャフト８５の上端部は、樹脂によって第３小径孔５６に接着される。樹脂が第３小径孔５６の内部に充填されることによって、その接着力により、第２シャフト８５の上端部を第３小径孔５６の内部に強固に保持させることが可能となっている。第２シャフト８５の上端部を第５保持部５９に固定するための樹脂は、好ましくはシリコーン系の樹脂である。シリコーン系の樹脂を用いることにより、駆動部３の振動や外部からの衝撃を樹脂で吸収させることが可能となる。また、第２シャフト８５の熱収縮（線膨張）に起因して生じ得る第２シャフト８５の上端部と第３小径孔５６との接合部の不具合を防止することが可能となる。

【0115】

第２シャフト８５の上端部には、その表面積が大きくなるよう、テーパ面８５ａが形成されている。そのため、第２シャフト８５の上端部では、第３小径孔５６の内部に充填された樹脂との接着面積を十分に確保することが可能となっており、樹脂を介して、第２シャフト８５を第３小径孔５６の内部に強固に固定することができる。また、テーパ面８５ａが形成されることにより、第３小径孔５６の内部にその外側（上方）から樹脂を流し込みやすくなるといった効果も得られる。なお、第２シャフト８５の下端部にも同様のテーパ面が形成されており、第１固定部１０の第１小径孔１８の内部に充填された樹脂との接着面積を十分に確保することが可能となっている。

【0116】

図６および図８Ｃに示すように、天板部５１の第１角部５１ａと第４角部５１ｄとの間に位置する側部には、幅広突出部５３が形成されている。幅広突出部５３は、ＹＺ平面に平行な面を有し、下方に突出している。第３固定部５０を第１固定部１０および第２固定部３０に組み合わせたときに、幅広突出部５３は天板部５１と第２固定部３０との間を接続する。

【0117】

図６および図８Ｃに示すように、幅広突出部５３の下端部には、幅広固定片５３ａが形成されている。幅広固定片５３ａのＹ軸方向幅は、幅広突出部５３のＹ軸方向幅よりも小さくなっており、第１固定部１０の段差幅広部１３および第２固定部３０の凹状幅広部３３の各々のＹ軸方向幅と略等しくなっている。幅広固定片５３ａは、Ｚ軸方向に接続された段差幅広部１３および凹状幅広部３３に跨るように配置され、これらに対して樹脂で接着固定される。

【0118】

図６および図８Ａに示すように、幅広突出部５３の内面には段差が形成されており、その段差により低くなった部分には段差状側面５７が形成されている。段差状側面５７には、回路基板１００の一部が配置される。段差状側面５７に回路基板１００の一部を配置したとき、回路基板の表面と幅広突出部５３の内面（段差状側面５７に隣接する部分）とが略面一となる。

【0119】

図２に示すように、カバー９０は、ＳＵＳ等の金属で構成され、カバー天板部９１を有する。カバー天板部９１は略平板形状を有し、その略中央部にはカバー開口部９２が形成されている。カバー開口部９２は、第３固定部５０の第３開口部５２に対応する位置に形成されている。

【0120】

カバー天板部９１の側方には４つの下方延在部９３が一体的に形成されており、カバー天板部９１の側方は各下方延在部９３によって取り囲まれている。各下方延在部９３は、下方に向かって延在しており、隣接する下方延在部９３，９３の各々の間には、溝部９４が形成されている。図１に示すように、下方延在部９３は光学駆動装置１の周囲を取り囲むように配置される。

【0121】

次に、図２および図１４Ａ～図１４Ｄ等を参照しつつ、光学駆動装置１の製造方法について説明する。まず、図２に示す各部材を準備する。なお、駆動部３を構成する圧電素子８０と第１シャフト８１と慣性部材８２とについては、予めこれらの部材を組み合わせた状態で準備しておく。これらの部材の組立体は、圧電素子８０の上端部に樹脂を用いて第１シャフト８１の下端部を接着するとともに、圧電素子８０の下端部に樹脂を用いて慣性部材８２の上端部を接着することにより形成される。

【0122】

第３固定部５０については、その段差状側面５７に予め回路基板１００の一部を固定した状態で準備しておいてもよい。回路基板１００は直角に屈曲した屈曲部を有しているが、この屈曲部については回路基板１００を第３固定部１００に固定した後に行うことが好ましい。光学素子保持部６０については、図７に示すように、その押圧部材設置用孔６６に押圧部材１０５の端部を挿入しておき、またシャフト摺動用溝部６４に係合部１０６を係合させておき、また磁性体設置用段差部６３にセンサ用磁石１０３を載置しておいてもよい。

【0123】

次いで、図２に示す第３固定部５０に第２固定部３０を組み合わせる。このとき、第３固定部５０の幅広固定片５３ａを第２固定部３０の凹状幅広部３３に係合させることにより、第３固定部５０の幅広突出部５３の下端部が第２固定部３０の第２ベース部３１の上面に固定される。また、第３固定部５０の幅狭固定片５４ａを第２固定部３０の凹状幅狭部３４に係合させることにより、第３固定部５０の幅狭突出部５４の下端部が第２固定部３０の第２ベース部３１の上面に固定される。これにより、第３固定部５０に第２固定部３０が仮固定される。なお、第３固定部５０に第２固定部３０を組み合わせるときには、第２固定部３０と第３固定部５０との間に光学素子保持部６０を配置した状態で行う。

【0124】

次いで、前述の圧電素子８０と第１シャフト８１と慣性部材８２との組立体を、第２固定部３０と第３固定部５０との組立体に組み合わせる。より詳細には、第１シャフト８１を第２固定部３０の第２大径孔４２および第３固定部５０の第３大径孔５５の順に各々の内部に挿通させる。これにより、第１シャフト８１の下端部が、第２固定部３０の第２大径孔４２の内部に配置され、第２固定部３０（図８Ｂに示す第２保持部４５）で保持される。また、第１シャフト８１の上端部が、第３固定部５０の第３大径孔５５の内部に配置され、第３固定部５０（図８Ｂに示す第３保持部５８）で保持される。このとき、光学素子保持部６０に固定された押圧部材１０５と係合部１０６とで第１シャフト８１を挟み込み、第１シャフト８１を所定の摩擦力で上記各部材に係合させることにより、第１シャフト８１に光学素子保持部６０を保持させてもよい。

【0125】

次いで、第１固定部１０を第２固定部３０と第３固定部５０との組立体に組み合わせる。第１固定部１０の第１小径孔１８の内部には、予め第２シャフト８５の下端部を樹脂で接着固定しておき、第２シャフト８５の下端部を第１固定部１０で強固に保持しておく。このとき用いる樹脂としては、エポキシ系の樹脂が好ましい。

【0126】

第１固定部１０を第２固定部３０と第３固定部５０との組立体に組み合わせるときには、第１固定部１０の制限凸部１９に第２固定部３０の制限凹部４４（図５）を嵌合させつつ、第２固定部３０の第２ベース部３１の下面に第１固定部１０の第１ベース部１１の上面を当接させる。

【0127】

また、第１固定部１０の固定用凹部１７の内部に慣性部材８２を配置し、第１固定部１０（図８Ｂに示す第１保持部２１）に慣性部材８２を保持させる。固定用凹部１７の固定面１７１（図４参照）には、予め、慣性部材８２の底面８２０の表面形状に即した形で、表面形状の較正を行っておく。固定面１７１の表面形状の較正方法の詳細については後述する。

【0128】

また、第２シャフト８５を第２固定部３０の第２小径孔４３および第３固定部５０の第３小径孔５６の順に各々の内部に挿通させる。このとき、図７に示すように、光学素子保持部６０の一対のシャフト固定用突起６９，６９に形成された一対の接触凸部６９ａ，６９ａ（図３Ｂ）で第２シャフト８５を挟み込む。これにより、第２シャフト８５に固定用突起６９，６９が所定の摩擦力で摩擦係合し、第２シャフト８５で光学素子保持部６０をＺ軸方向に移動可能に固定することが可能となる。

【0129】

次いで、図２に示す慣性部材８２を固定用凹部１７の内部に樹脂で接着固定し、慣性部材８２を第１固定部１０で強固に保持する。また、第１シャフト８１の下端部を第２大径孔４２の内部に樹脂で接着固定し、第１シャフト８１の下端部を第２固定部３０で強固に保持する。また、第１シャフト８１の上端部を第３大径孔５５の内部に樹脂で接着固定し、第１シャフト８１の上端部を第３固定部５０で強固に保持する。接着固定を行う際には、シリコーン系の樹脂を用いることが好ましいが、エポキシ系の樹脂を用いてもよい。なお、上記接着固定を行うタイミングは、特に限定されるものではなく、例えば圧電素子８０と第１シャフト８１と慣性部材８２との組立体を、第２固定部３０と第３固定部５０との組立体に組み合わせるときに行ってもよい。

【0130】

さらに、第２シャフト８５の上端部を第３小径孔５６の内部に樹脂で接着固定し、第２シャフト８５の上端部を第３固定部５０で強固に保持する。このとき用いる樹脂としては、シリコーン系の樹脂が好ましい。

【0131】

次に、図１４Ａ～図１４Ｄを参照しつつ、固定用凹部１７の固定面１７１（図４参照）の表面形状を較正する方法について説明する。まず、測定装置を用いて、慣性部材８２の底面８２０の表面形状（三次元形状）を測定し、その測定値に基づいて、底面８２０の表面形状に関する情報（三次元データ）を取得する。この三次元データは、例えば、底面８２０上の任意に選んだｎ（ｎは自然数）個の位置Ｌ１～Ｌｎにおける三次元位置座標として取得される。ただし、位置Ｌ１、Ｌ２・・・Ｌｎは、好ましくは底面８２０の全体をカバーできるように選択される。

【0132】

次に、底面８２０の表面形状の製造誤差（加工精度のばらつき）に関する情報（三次元データ）を取得する。ここでは、図中の二点鎖線で示す理想面に対して底面８２０がどの程度ずれているのかを特定するために、底面８２０の傾斜や凹凸（ゆがみ）等の大きさや範囲等を示す情報（三次元データ）を取得する。この三次元データは、例えば、上述した位置Ｌ１～Ｌｎにおいて、底面８２０のＺ軸座標と二点鎖線で示す理想面のＺ軸座標との差分Δ１～Δｎを算出することにより取得される。図１４Ａに示す例では、底面８２０には底面傾斜部８２１が形成されており、底面８２０は、その一部の領域あるいは全領域において、二点鎖線で示す理想面よりもＺ軸負方向側（基準面１１０が位置する側）に張り出している。この場合、位置Ｌ１～Ｌｎにおいて、底面８２０の製造誤差Δ１～Δｎは例えば正の値をとるものとする。

【0133】

次に、測定装置を用いて、固定用凹部１７の固定面１７１の表面形状（三次元形状）を測定し、その測定値に基づいて、固定面１７１の表面形状に関する情報（三次元データ）を取得する。この三次元データは、例えば、上述した位置Ｌ１～Ｌｎにおける三次元位置座標として取得される。なお、慣性部材８２の底面８２０における測定位置Ｌ１～Ｌｎと、固定面１７１における測定位置Ｌ１～Ｌｎは対応している。

【0134】

次に、固定面１７１の表面形状の製造誤差（加工精度のばらつき）に関する情報（三次元データ）を取得する。ここでは、理想面に対して固定面１７１がどの程度ずれているのかを特定するために、固定面１７１の傾斜や凹凸（ゆがみ）等の大きさや範囲等を示す情報（三次元データ）を取得する。この三次元データは、例えば、上述した位置Ｌ１～Ｌｎにおいて、固定面１７１のＺ軸座標と理想面のＺ軸座標との差分Δ１’～Δｎ’を算出することにより取得される。

【0135】

固定面１７１に製造誤差（加工精度のばらつき）が発生しておらず、固定面１７１が理想面となっている場合には、固定面１７１の製造誤差Δ１’～Δｎ’は０となる。固定面１７１に製造誤差（加工精度のばらつき）が発生し、位置Ｌ１～Ｌｎにおいて、固定面１７１がＺ軸正方向側（駆動部３が位置する側）に張り出すように傾斜している（あるいは、突出している）場合には、固定面１７１の表面形状の製造誤差Δ１’～Δｎ’は例えば正の値をとるものとする。また、位置Ｌ１～Ｌｎにおいて、固定面１７１がＺ軸負方向側（基準面１１０が位置する側）に張り出すように傾斜している（あるいは凹んでいる）場合には、固定面１７１の表面形状の製造誤差Δ１’～Δｎ’は例えば負の値をとるものとする。

【0136】

次に、慣性部材８２の底面８２０の製造誤差Δ１～Δｎと、固定面１７１の製造誤差Δ１’～Δｎ’とに基づいて、固定面１７１に対する加工量（レーザ照射量）を算出する。加工量は補正値Ｐに基づいて決定される。補正値Ｐは、底面８２０の製造誤差Δ１～Δｎと固定面１７１の製造誤差Δ１’～Δｎ’との和として算出される。以下では、簡単のため、固定面１７１は理想面であり、固定面１７１の製造誤差Δ１’～Δｎ’は０であるものとする。この場合、補正値ＰはΔ１～Δｎに等しくなる。

【0137】

次に、図１４Ｂに示すように、レーザ照射装置９０を用いて、固定面１７１の位置Ｌ１～Ｌｎに、順次レーザを照射していき、補正値Ｐの値に応じた深さの照射痕１７４を形成する（固定面１７１に対して面出し加工を行う）。図示の例では、固定面１７１に対するレーザ照射により、固定面１７１には傾斜部１７５を有する溶融部１７３が形成されている。なお、図１４Ｂには、溶融部１７３が形成される前の固定面１７１を一点鎖線で示している。

【0138】

次に、図１４Ｃに示すように、固定用凹部１７の内部に樹脂２００（例えば、紫外線硬化樹脂）を所定量だけ充填する。次に、図１４Ｄに示すように、慣性部材８２を固定用凹部１７の内部に収容し、底面８２０を固定面１７１に固定する。このとき、底面８２０の底面傾斜部８２１の傾斜方向と、固定面１７１の傾斜部１７５の傾斜方向とが略一致するように、慣性部材８２を固定用凹部１７の内部に固定する。最後に、樹脂２００を硬化させることにより、慣性部材８２の底面８２０を固定面１７１に固定する。

【0139】

以上、本実施形態に係る光学駆動装置１では、図１４Ｄに示すように、駆動部３の一端に位置する慣性部材８２の底面８２０が樹脂２００を介して固定面１７１に固定され、図９に示すように、固定面１７１には溶融部１７３が形成されている。そのため、溶融部１７３が形成された位置では固定面１７１がえぐられた状態となり（図１３参照）、固定面１７１に固定される慣性部材８２の底面８２０に加工精度のばらつきが生じたとしても、溶融部１７３においてこれを吸収することが可能となる。これにより、駆動部３を固定部１７１に対して高い組立精度で組み立てることが可能となり、固定部３の底面を基準面としたときの駆動部３の垂直度を十分に確保し、高精度な駆動を可能とする光学駆動装置１を実現することができる。

【0140】

また、本実施形態では、固定部３の底面を基準面としたときの駆動部３の垂直度を十分に確保することができるため、駆動部３に対する各方向からの外部衝撃や、駆動部３の駆動時の動作において生じ得る衝撃に対して、均一な耐衝撃性を得ることができる。

【0141】

第２実施形態
図１５および図１６に示す本発明の第２実施形態に係る光学駆動装置は、以下に示す点を除いて、第１実施形態に係る光学駆動装置１と同様な構成を有し、同様な作用効果を奏する。図面において、第１実施形態の光学駆動装置１における各部材と共通する部材には、共通の符号を付し、その説明については省略する。

【0142】

上記第１実施形態では、図９に示すように、加工精度のばらつきにより、慣性部材８２の底面８２０に傾斜や凹凸（ゆがみ）等が形成されている場合に、固定用凹部１７の底面１７１に溶融部１７３を形成し、底面１７１の表面形状を慣性部材８２の底面８２０の表面形状に即した形状へ較正する手段について説明した。これに対して、本実施形態では、慣性部材８２の底面８２０には加工精度のばらつきが生じておらず、理想的な面となっている一方で、固定用凹部１７の底面１７１に傾斜や凹凸（ゆがみ）等が形成されている場合において、底面１７１の表面形状を慣性部材８２の底面８２０の表面形状に即した形状へ較正する手段について説明する。

【0143】

図１５に示すように、固定用凹部１７Ａは、固定面１７１Ａを有する。固定面１７１Ａには、レーザの照射により、複数の照射痕１７４からなる溶融部１７３が形成されている。レーザを照射する前の固定面１７１は、図中の二点鎖線で示すように傾斜面となっており、この傾斜面にレーザを照射することにより、固定面１７１Ａには図中の実線で示すような平坦面が具備される。すなわち、本実施形態では、固定面１７１Ａのうち、傾斜や凹凸（ゆがみ）等が形成されている部分に対して、溶融部１７３を形成することにより、固定面１７１Ａを平坦にし、固定面１７１Ａの加工精度のばらつきを解消する。

【0144】

図１６に示すように、溶融部１７３は、固定面１７１Ａにおいて、隣接する辺１７１ａ、辺１７１ｂおよび辺１７１ｃを３辺とする略台形状の領域に複数の照射痕１７４を形成することにより、これら３辺の領域に跨るように形成されている。この場合、溶融部１７３は、固定面１７１ＡのＸ軸正方向側およびＹ軸負方向側に偏在するように形成される。溶融部１７３の範囲（大きさ）は、図示の範囲に限定されず、固定面１７１Ａの３辺に跨るように形成されていれば、これよりも広くてもよく、あるいは狭くてもよい。

【0145】

本実施形態では、溶融部１７３が形成された領域と、溶融部１７３が形成されていない領域とで、基準面１１０（図１５）からの固定面１７１Ａの高さは同様（一様）となっている。

【0146】

このように、慣性部材８２の底面８２０が平坦面である場合には、固定面１７１Ａの傾斜や凹凸（ゆがみ）等が形成された位置に溶融部１７３を形成し、固定面１７１Ａを平坦にしておくことにより、慣性部材８２の底面８２０と固定用凹部１７の固定面１７１Ａとを略平行にし、両者を面接触（密着）した状態で固定することが可能となる。

【0147】

なお、図１７および図１８に示すように、固定面１７１Ａの全体にわたって傾斜や凹凸（ゆがみ）等が形成されている場合には、図１８に示すように、固定面１７１Ａの全面（ただし、固定面１７１Ａのうち、慣性部材８２の底面８２０が配置される部分）に複数の照射痕１７４からなる溶融部１７３を形成してもよい。図示の例では、固定面１７１Ａには、複数の照射痕１７４が、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に沿って密に配列される。また、これら複数の照射痕１７４により、溶融部１７３は、固定面１７１の４辺（辺１７１ａ～辺１７１ｄ）の領域に跨るように形成されている。これにより、図１７に示すように、二点鎖線で示す固定面１７１Ａの傾斜や凹凸（ゆがみ）等を解消し、固定面１７１Ａの表面形状を全体にわたって平坦にする（均一にする、あるいは滑らかにする）ことができる。

【0148】

また、図１９および図２０に示すように、固定面１７１Ａに傾斜や凹凸（ゆがみ）等が離散的（スポット状）に形成されている場合には、図２０に示すように、固定面１７１Ａに、複数の照射痕１７４を離散的（スポット状）に形成してもよい。これにより、図１９に示すように、二点鎖線で示す固定面１７１Ａの傾斜や凹凸（ゆがみ）等を解消させ、固定面１７１Ａの表面形状を全体にわたって平坦にすることができる。

【0149】

本実施形態では、加工精度のばらつきにより、固定面１７１Ａ自体に凹凸や傾斜（ゆがみ）等が形成された場合には、凹凸や傾斜（ゆがみ）等が形成された位置に溶融部１７３を形成することにより、固定面１７１Ａを平坦にすることが可能となる。したがって、固定面１７１Ａの加工精度のばらつきを解消し、基準面１１０に対する駆動部３の垂直度を十分に確保することができる。

【0150】

なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。

【0151】

上記第１実施形態では、図１１Ａおよび図１２に示すように、固定面１７１の一部に溶融部１７３が形成されていたが、固定面１７１の全部に溶融部１７３が形成されていてもよい。

【0152】

上記第１実施形態において、図１０に示す例では、固定面１７１に凹部１７６が形成されるようにレーザ照射を行った。仮に、慣性部材８２の底面８２０に凹部が形成されている場合には、その凹部と嵌合する凸部が固定面１７１に形成されるようにレーザ照射を行ってもよい。

【0153】

上記第１実施形態では、慣性部材８２の底面８２０はＺ軸方向から見て４辺を有する四角形状を有する外観形状を有していたが、３辺を有する三角形状、あるいは５辺以上を有する多角形状を有していてもよい。

【符号の説明】

【0154】

１…光学駆動装置
２…可動部
３…駆動部
４…固定部
１０…第１固定部
１１…第１ベース部材
１１０…基準面
１７，１７Ａ…固定用凹部
１７１，１７１Ａ…固定面
１７２…外壁部
１７３…溶融部
１７４…照射痕
１７５…傾斜部
１７６…凹部
６０…光学素子保持部
８０…圧電素子
８１…第１シャフト
８２…慣性部材
８２０…底面
９０…レーザ照射装置
２００…樹脂

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8A】

【図8B】

【図8C】

【図9】

【図10】

【図11A】

【図11B】

【図12】

【図13】

【図14A】

【図14B】

【図14C】

【図14D】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】