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特開2022-155725ＡｌＮ膜、スパッタリング装置及びスパッタリング方法
発明の名称 ＡｌＮ膜、スパッタリング装置及びスパッタリング方法
出願人 株式会社ユーパテンター （識別番号 520062801）
特許公開件数ランキング 30110 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24267 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 地方独立行政法人山口県産業技術センター （識別番号 509164164）
特許公開件数ランキング 6839 位（3件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24267 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 井手 幸夫 （識別番号 521135773）
特許公開件数ランキング 30110 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24267 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2022-155725
公報発行日 2022年10月14
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-155725
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