特開 2022-156177 コレット交換機構

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022156177

(43)【公開日】2022-10-14

(54)【発明の名称】コレット交換機構

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/52 20060101AFI20221006BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20221006BHJP

【ＦＩ】

H01L21/52 F

H01L21/68 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021059735

(22)【出願日】2021-03-31

(71)【出願人】

【識別番号】000219314

【氏名又は名称】東レエンジニアリング株式会社

(72)【発明者】

【氏名】田中 寛人

(72)【発明者】

【氏名】濱川 健史

(72)【発明者】

【氏名】河村 知範

【テーマコード（参考）】

5F047

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F047FA01

5F047FA08

5F131AA04

5F131BA54

5F131CA46

5F131DA03

5F131DB22

(57)【要約】      （修正有）

【課題】コレットを用いてチップ部品をピックアップするピックアップツールのコレット交換を、簡単な構成で短時間で行うことが可能なコレット交換機構を提供する。
【解決手段】コレット交換機構１は、コレットを保持するアタッチメント２と、ピックアップツール３の下部に配置され、アタッチメントの上部を保持するアタッチメントホルダ３１と、アタッチメントを複数収容することが可能で、ガイド４１に沿ってアタッチメントをスライドさせることが可能なアタッチメント収納部４を備える。アタッチメントホルダは、アタッチメントを磁力で保持する機能を有する。アタッチメントは、アタッチメント収納部のガイドに対して、ガイドに沿った方向以外の動きが規制される形状を有している。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

コレットを用いてチップ部品を吸着してピックアップするピッアップツールの、前記コレットを交換するコレット交換機構であって、
下面にコレットを保持するアタッチメントと、
前記ピックアップツールの下部に配置され、前記アタッチメントの上部を保持するアタッチメントホルダと、
前記アタッチメントをガイドに係止して収容するアタッチメント収納部を備え、
前記アタッチメントホルダは前記アタッチメントを磁力で保持する機能を有し、
前記アタッチメントは、前記ガイドに係止された状態において、前記アタッチメントホルダから脱着するコレット交換機構。

【請求項2】

コレットを用いてチップ部品を吸着してピックアップするピッアップツールの、前記コレットを交換するコレット交換機構であって、
下面にコレットを保持するアタッチメントと、
前記ピックアップツールの下部に配置され、前記アタッチメントの上部を保持するアタッチメントホルダと、
前記アタッチメントを収容することが可能で、ガイドに沿って前記アタッチメントをスライドさせることが可能なアタッチメント収納部を備え、
前記アタッチメントホルダは前記アタッチメントを磁力で保持する機能を有し、前記アタッチメント収納部の前記ガイドに対して、前記スライド方向とは異なる方向に移動させて前記アタッチメントを脱着するコレット交換機構。

【請求項3】

請求項１または請求項２に記載のコレット交換機構であって、
前記アタッチメントホルダが前記アタッチメントを保持する磁力が、チップ部品をピックアップする際に前記アタッチメントホルダが外れない強度を有する一方で、
前記ガイドが前記アタッチメントの上下方向の動きを規制する強度により、前記ピックアップツールを上昇させることで前記アタッチメントから前記アタッチメントを外すことが可能なコレット交換機構。

【請求項4】

請求項１から請求項３のいずれかに記載のコレット交換機構であって、
前記アタッチメント収納部に前記アタッチメントの位置ズレを抑制するスライド防止手段を設けたコレット交換機構。

【請求項5】

請求項４に記載のコレット交換機構であって、
前記ガイドに、前記アタッチメントの側面に接触する弾性体を設けて、前記スライド防止手段とするコレット交換機構。

【請求項6】

請求項４に記載のコレット交換機構であって、
前記スライド防止手段として磁石を用いるコレット交換機構。

【請求項7】

請求項４に記載のコレット交換機構であって、
前記スライド防止手段として、前記ガイドの上面に溝を設けたコレット交換機構。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、コレットを用いてチップ部品をピックアップするピックアップツールの、コレットを交換するコレット交換機構に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体チップ等のチップ部品をボンダーやマウンターのような実装装置に提供するのに際して、ダイシングテープに粘着された状態からピックアップして供給する形態がある。この供給形態では、ダイシングテープ上の複数のチップ部品から、一つ一つのチップ部品をピックアップしている。

【0003】

すなわち、図１７（ａ）に示すようにダイシングテープＳに粘着した複数のチップ部品Ｃのうち、ピックアップ対象のチップ部品Ｃにニードル１１とコレット２１を位置合わせした状態から、図１７（ｂ）のようにニードル１１がダイシングテープＳ側からチップ部品Ｃを突き上げ、図１７（ｃ）のようにチップ部品Ｃがコレット２１に密着した状態でコレット２１がチップ部品Ｃを吸着することで、図１７（ｄ）のようにダイシングテープＳに粘着していたチップ部品Ｃはコレット２１を用いてピックアップされる（特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１７－１３０４９９号公報

【特許文献2】特開２０１８－２０６８４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

半導体チップ等のチップ部品の薄厚化が進んでおり、チップ部品のサイズに合わないコレットを用いると、チップ部品が破損したり、ピックアップミスが頻発してしまう。

【0006】

一方において、１基板に複数サイズのチップ部品を実装する事例も増えてきており、頻繁にコレットを交換する必要性が生じている。

【0007】

ところが、従来のコレット交換は手作業で行っていたため、コレット交換に要する時間および工数により生産性に悪影響を及ぼしていた。

【0008】

このような状況に対して、種々のコレット交換機構が提案されている（例えば特許文献２）。しかし、このような事例において複雑な構成や動作を必要とするものが多い。

【0009】

本発明は、以上の課題に鑑みてなされたものであり、コレットを用いてチップ部品をピックアップするピックアップツールの、コレット交換を簡単な構成で、短時間で行うことが可能なコレット交換機構を提供するものである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、
コレットを用いてチップ部品を吸着してピックアップするピッアップツールの、前記コレットを交換するコレット交換機構であって、
下面にコレットを保持するアタッチメントと、前記ピックアップツールの下部に配置され、前記アタッチメントの上部を保持するアタッチメントホルダと、前記アタッチメントをガイドに係止して収容するアタッチメント収納部を備え、
前記アタッチメントホルダは前記アタッチメントを磁力で保持する機能を有し、前記アタッチメントは、前記ガイドに係止された状態において、前記アタッチメントホルダから脱着するコレット交換機構である。

【0011】

請求項２に記載の発明は、
コレットを用いてチップ部品を吸着してピックアップするピッアップツールの、前記コレットを交換するコレット交換機構であって、
下面にコレットを保持するアタッチメントと、
前記ピックアップツールの下部に配置され、前記アタッチメントの上部を保持するアタッチメントホルダと、前記アタッチメントを収容することが可能で、ガイドに沿って前記アタッチメントをスライドさせることが可能なアタッチメント収納部を備え、
前記アタッチメントホルダは前記アタッチメントを磁力で保持する機能を有し、前記アタッチメント収納部の前記ガイドに対して、前記スライド方向とは異なる方向に移動させて前記アタッチメントを脱着するコレット交換機構である。

【0012】

請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載のコレット交換機構であって、
前記アタッチメントホルダが前記アタッチメントを保持する磁力が、チップ部品をピックアップする際に前記アタッチメントホルダが外れない強度を有する一方で、
前記ガイドが前記アタッチメントの上下方向の動きを規制する強度により、前記ピックアップツールを上昇させることで前記アタッチメントから前記アタッチメントを外すことが可能なコレット交換機構である。

【0013】

請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載のコレット交換機構であって、
前記アタッチメント収納部に前記アタッチメントの位置ズレを抑制するスライド防止手段を設けたコレット交換機構である。

【0014】

請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のコレット交換機構であって、
前記ガイドに、前記アタッチメントの側面に接触する弾性体を設けて、前記スライド防止手段とするコレット交換機構である。

【0015】

請求項６に記載の発明は、請求項４に記載のコレット交換機構であって、
前記スライド防止手段として磁石を用いるコレット交換機構である。

【0016】

請求項７に記載の発明は、請求項４に記載のコレット交換機構であって、
前記スライド防止手段として、前記ガイドの上面に溝を設けるコレット交換機構である。

【発明の効果】

【0017】

本発明により、コレットを用いてチップ部品をピックアップするピックアップツールの、コレット交換を簡単な構成で、短時間で行うことが可能となった。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の実施形態に係るコレット交換機構の概略図である。

【図2】本発明の実施形態に係るアタッチメントについて説明する４面図であり（ａ）上面図であり、（ｂ）正面図であり、（ｃ）側面図であり、（ｄ）下面図である。

【図3】本発明の実施形態に係るアタッチメント収納部の配置例について説明する図である。

【図4】本発明の実施形態に係るコレット交換機構の動作を説明するもので、アタッチメントとガイドの高さを調整する状態を説明する側面図である。

【図5】本発明の実施形態に係るコレット交換機構で、アタッチメント収納部にアタッチメントを収納する動作を説明する上面図で、（ａ）ガイドとアタッチメントの幅方向位置合わせを行う状態を示し、（ｂ）ガイドに沿ってアタッチメントをスライドさせている状態を示し、（ｃ）アタッチメントを所定の収納位置に配置した状態を示す。

【図6】本発明の実施形態に係るコレット交換機構の動作で、アタッチメント収納部に配置したアタッチメントをピックアップツールから外す過程を説明する正面図で、（ａ）アタッチメントをガイドに沿ってスライド可能な状態を示し、（ｂ）アタッチメントが上方向への移動が規制された状態を示し、（ｃ）アタッチメントの上方向への移動が規制された状態でピックアップツールを更に上昇させている状態を示し、（ｄ）ピックアップツールからアタッチメントが外れた状態を示す。

【図7】アタッチメントとガイドの寸法の大小関係を説明するための正面図である。

【図8】本発明の実施形態に係るコレット交換機構で、アタッチメント取り出し動作を開始する状態を示す上面図である。

【図9】本発明の実施形態に係るコレット交換機構で、アタッチメント収納部のアタッチメントをスライド可能な状態にする動作を説明する正面図で、（ａ）アタッチメントの上にピックアップツールが配置された状態を示し、（ｂ）アタッチメントを保持するようピックアップツールを下降させている状態を示し、（ｃ）ピックアップツールがアタッチメントを保持した状態を示し、（ｄ）アタッチメントがガイドに触れずにスライド可能となるようピックアップツールの高さ位置を調整した状態を示す。

【図10】本発明の実施形態に係るコレット交換機構で、アタッチメント収納部からアタッチメントを取り出す動作を説明する上面図で、（ａ）収納位置のアタッチメントがスライド動作可能な高さになっている状態を示し、（ｂ）アタッチメントを取り出し方向にスライドさせている状態を示し、（ｃ）アタッチメント収納部からアタッチメントを取り出した状態を示す。

【図11】本発明の実施形態におけるコレット交換機構で、アタッチメント収納部にアタッチメントのズレ移動を抑制するスライド防止手段を設けるもので、弾性体を利用する例を示す上面図である。

【図12】スライド防止手段として弾性体を利用した例の動作を説明する正面図で、（ａ）アタッチメントがピックアップツールに保持されている状態を示し、（ｂ）アタッチメントがピックアップツールから外れた状態を示す。

【図13】本発明の実施形態におけるコレット交換機構で、アタッチメント収納部にアタッチメントのズレ移動を抑制するスライド防止手段を設けるもので、磁石を利用する例を示す上面図である。

【図14】本発明の実施形態におけるコレット交換機構で、アタッチメント収納部にアタッチメントのズレ移動を抑制するスライド防止手段を設けるもので、ガイドの上面に溝を設ける例を説明する側面図で、（ａ）アタッチメントの高さ調整を行なった状態を示し、（ｂ）アタッチメントがガイドに沿ってスライドする状態を示し、（ｃ）アタッチメントが収納位置に配置されている状態を示す。

【図15】ガイドに溝を設けた例の、アタッチメントとガイドの寸法の大小関係を説明するための側面図である。

【図16】本発明の実施形態におけるコレット交換機構のアタッチメントおよびガイドの形状を変えた変形例を示す正面図である。、

【図17】チップ部品をピックアップする動作を説明するもので、（ａ）初期状態を示し、（ｂ）チップ部品を突き上げている途中の状態を示し、（ｃ）チップ部品をコレットの高さまで突き上げた状態を示し、（ｄ）チップ部品をコレットが吸着保持した状態を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

本発明の実施形態について、図を用いて説明する。図１は本発明の実施形態に係るコレット交換機構の概略図である。

【0020】

コレット交換機構１は、チップ部品をピックアップするピックアップツール３のコレットを交換するもので、アタッチメント２、アタッチメント収納部４によって構成され、ピックアップツール３はピックアップヘッド３０の下側にアタッチメント２を保持するためのアタッチメントホルダ３１を有している。

【0021】

本実施形態のアタッチメント２は、図２に４面図で示したような構成になっている。すなわち、下広幅部２０１と上広幅部２０２を有するアタッチメント本体２０と、コレット２１と、ほぞ２２によって構成されている。この構成により、アタッチメント２の交換によってコレット２１が交換される。

【0022】

ここで、コレット２１はピックアップするチップ部品Ｃに密着させるため弾力性を有するゴム等の素材からなり、チップ部品を吸引するための開口部を中心部に設けており、この開口部から（図示していない）減圧流路がアタッチメント本体２０を貫通して設けてあり、ピックアップツール３０の減圧流路に連通している。ほぞ２２は、アタッチメントホルダ３１に設けたほぞ穴に挿入されて固定される。さらに、少なくとも、アタッチメント本体２０とほぞ２２の何れか一方は磁性体からなり、アタッチメントホルダ３１に磁石を設けることにより、アタッチメント２はアタッチメントホルダ３１にはめ込むことで磁力によって保持される。また、ほぞ２２によりアタッチメント２の回転方向のズレが抑制される。

【0023】

ピックアップツール３は図示しない駆動部によって上下方向に移動可能であり、２０μｍ以内の精度で位置制御可能である。また、上下方向（Z方向）を軸に回転方向に角度制御機能を有していてもよい。前述のとおり、ピックアップホルダ３１は、磁力によりアタッチメント２を吸着するものであり、磁力を発生するために電磁石を用いてもよいが、永久磁石であれば配線不要であり構成が簡略化できるので望ましい。

【0024】

アタッチメント収納部４は、複数のアタッチメント２を収納するもので、間隔を開けて平行に配置されたガイド４１によって形成される収納スペース４０（４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ、・・）にアタッチメント２の上広幅部２０２が引っかかることで収納状態となる。すなわち、収納スペース４０の幅は、アタッチメント本体２０の胴部よりは広く、上広幅部２０２（および下広幅部２０１）よりは狭い。

【0025】

ピックアップツール３が上下方向に移動可能なのに対し、アタッチメント収納部４は水平面内（ＸＹ面内）で移動する。水平方向に移動させるため、専用の駆動部を用いても良いが、図３に示すようにダイシングされたウェハＷを保持するウェハテーブル５に付設しても面内方向に移動および位置調整が可能である。

【0026】

以下、本発明のコレット交換機構の動作について説明する。まず、図１のようなピックアップツール３が保持するアタッチメント２を保持する状態から、アタッチメント２を収納スペース４０Ａに収納する動作について説明する。

【0027】

ところで、ピックアップツール３の駆動部およびアタッチメント収納部４の駆動部は、図示していない制御部と接続されており、一連の動作は制御部からの信号によって進行している。

【0028】

図４は、アタッチメント２の高さ位置を調整する様子を示した側面図であり、ガイド４１にアタッチメント２の高さを合わせるように、ピックアップツール３の高さが設定される。すなわち、この状態において、ガイド４１に対して、下広幅部２０１は低く、上広幅部２０２は高く配置されている。

【0029】

アタッチメント２の高さを調整したところでアタッチメント２を収納スペース４０Ａに収納する様子を示した上面図が図５である。図５（ａ）は、アタッチメント収納部４の位置調整を行なって、アタッチメント２を収納スペース４０Ａに挿入可能な状態に位置合わせを行なう状態である。この位置合わせが出来たら、アタッチメント収納部４を移動させて、ガイド４１をアタッチメント２に沿ってスライドさせて（図５（ｂ））、アタッチメント２が収納スペース４０Ａの所定位置に到達したらアタッチメント収納部４の移動を止める（図５（ｃ））。

【0030】

図５（ｃ）の状態からアタッチメント２をピックアップツール３（のアタッチメントホルダ３１）から外す様子を示した正面図が図６である。図６（ａ）の状態は、図５（ｃ）に示したスライド移動を停止した直後であり、ガイドレール４１に対して下広幅部２０１は低く、上広幅部２０２は高い位置にある。この状態から、ピックアップツール３を上昇させていくと、図６（ｂ）のように下広幅部２０１の幅が収納スペース４０Ａの幅より大であるので、下広幅部２０１がガイド４１に引っかかる。この状態において、ガイド４１によるアタッチメント２の上昇を阻止する強度が、アタッチメントホルダ３１がアタッチメント２を磁力で保持する力を上回れば、図６（ｃ）のように、ピックアップツール３の上昇に伴い、アタッチメントホルダ３１はアタッチメント２から外れていく。最終的に、アタッチメントホルダ３１がアタッチメント２から外れると、図６（ｄ）のように上広幅部２０２がガイド４１に引っかかる状態となり、収納スペース４０Ａの所定位置に配置された状態となる。

【0031】

ところで、アタッチメント２とガイド４１の寸法を示したのが図７であるが、先に説明したとおり上広幅部２０２の幅２Ｗは収納スペース幅４０Ｗよりも大である必要があるが、アタッチメント２の胴幅２０Ｗは収納スペース幅４０Ｗよりも小さくなければならない。しかし、その差が小さすぎるとスライド移動に支障をきたすが広すぎても幅方向に偏りが生じると上広幅部２０２が外れることもあって好ましくない。具体的に、タッチメント２の胴幅２０Ｗは収納スペース幅４０Ｗの差は１００μｍ以上２００μｍ以下程度が望ましい。これは、ピックアップツールおよびアタッチメント収納部のような精密機器の用いられる駆動機構の位置精度が２０μｍ以下であることからも適切な範囲と言える。同様に、アタッチメント２の胴厚２０Ｔ（＝下城幅部２０１と上広幅部の間隔）とガイド４１の厚４１Ｔの差も１００μｍ以上２００μｍ以下程度にするのが望ましい。

【0032】

図８から図１０では、収納スペース４０Ｃにあるアタッチメント２をピックアップツール３が（ピックアップ動作に）使用可能な状態にするまでの様子を説明する。

【0033】

まず、図８は収納部４０Ｃに収納されているアタッチメント２の上方で、水平方向に、ピックアップツール３０を位置合わせしている状態を示す上面図である。

【0034】

このアタッチメント２の上部にピックアップツールが配置された以後の状態を示す正面図が図９である。図９（ａ）では、水平方向の位置合わせをしてから、ピックアップツール３を下降させてアタッチメント２に接近させた状態を示している。この後、更にピックアップツール３を下降することで、図９（ｂ）の状態を経て図９（ｃ）のようにアタッチメント２を保持した状態となる。ただし、図９（ｃ）の状態ではアタッチメント２の下広幅部２０１がガイド４１に接触しているためスライド動作に不適である。そこで、図９（ｄ）のように、ガイド４１に、下広幅部２０１が接触せず、かつ上広幅部２０２も接触しないように高さ調整を行なう。

【0035】

図９（ｄ）の正面図の状態で、ガイド４１に対するアタッチメント２のスライド動作が可能であり、アタッチメント２の高さを維持してスライド移動する様子を示したの上面図が図１０である。

【0036】

図１０（ａ）はスライド動作開始の状態を示し、アタッチメント収納部４を水平方向に移動することで、アタッチメント２は（アタッチメント収納部４に対する相対移動により）ガイド４１に沿って収納スペース４０Ｃから外側に向かって移動して（図１０（ｂ））、図１０（ｃ）のように収納部４０Ｃから取り出された状態になる。図１０（ｃ）の状態において、アタッチメント２は上下移動可能であり、コレット２１を用いてチップ部品をピックアップすることが可能となる。

【0037】

ところで、本実施形態のコレット２１で、図１７に示すようにチップ部品Ｃをピックアップして他へ移載するのに際して、アタッチメントホルダ３１からアタッチメント２が外れることは許されない。したがって、アタッチメントホルダ３１が磁力でアタッチメント２を保持する力は、図６に示したようにガイド４１に引っかかった状態から外れる程度に弱くする必要があるが、アタッチメントホルダ３１がアタッチメント２を保持する力はピックアップおよび移載作業において外れることがない強さが必要ふぇある。なお、コレット２１がチップ部品Ｃを吸着保持した状態では、減圧による吸引力により、アタッチメントホルダ３１がアタッチメント２を保持する力は、磁力のみに加えて若干増す。

【0038】

ここまで、アタッチメント２をアタッチメント収納部４に収納する動作および、アタッチメント収納部４にあるアタッチメント２をピックアップツール３が取り出す動作について説明したが、これらの動作でアタッチメント収納部４の移動を伴なう。また、図３のようにアタッチメント収納部４がウェハテーブル５に設けられている場合には、チップ部品をピックアップする際の動作による振動が伝わることがある。このように、アタッチメント収納部４の移動や振動があると、収納スペース４０の所定位置に収納されている筈のアタッチメント２がガイドに沿って（スライド方向に）ズレ動き、端部から脱着する可能性もある。

【0039】

そこで、このようなズレを防ぐスライド防止手段を設けるのが望ましい。以下、スライド防止機構の例を説明する。

【0040】

図１１は、第１の例として弾性体を用いる例を示す上面図であり、アタッチメント２が所定位置に相当する箇所のガイド４１に収納スペース４０側に突出した弾性体４０１を設けている。ここで、弾性体４０１は柔軟性を有するものが好ましく、ピックアップツール３に保持された状態のアタッチメント２がスライドして行く際は図１２（ａ）の正面図のように縮む。また、ピックアップツール３が外れた状態では、図１２（ｂ）の正面図のように弾性体４０１は弾力を発揮してアタッチメント２を反対側のガイド４１に押し付けて、ズレ動くことを抑制できる。

【0041】

図１３は、スライド防止手段の第２の例を示す上面であり、収納スペース４０に磁石４０２を設けたものであり、アタッチメント本体２０を磁性体にすることにより、磁石４０２により位置固定ができる。

【0042】

図１４は、スライド防止手段の第３の例を示す測面図であり、ガイド４１の上面にアタッチメント２の上広幅部２０２が嵌る溝を設けたことに特徴がある。すなわち、図１４（ａ）のように、ガイド４１は、ガイド厚肉部４１１と底面は共通なガイド薄肉部４１０を設けた形状を有している。このガイド４１に沿って、図１４（ｂ）のように、高さ位置を調整された状態でアタッチメント２をスライドさせてから、ピックアップツール３から外れた状態が図１４（ｃ）になる。図１４（ｃ）の状態を拡大した側面図が図１５であり、この状態においてガイド薄肉部４１０とガイド厚肉部４１１の段差４１ｄがアタッチメント２０の上広幅部２０２に対する障壁となり、アタッチメント２がガイド４１から外れることを防げる。

【0043】

以上３つの例を示したが、スライド防止手段はこれに限定されるものではない、また、複数のスライド防止手段を組み合わせても良い。

【0044】

ところで、ここまでの説明において、アタッチメント本体２０に下広幅部２０１と上広幅部２０２を有するアタッチメント２の例で説明したが、アタッチメント２の形状はこれに限定されるものではなく、収納スペース４０に配置された状態で上下方向に引っかかるようにガイド４１の形状を組み合わせることにより、種々の形状とすることが可能である。例えば、図１６に正面図を示す例のように、アタッチメント本体２０に上下の広幅部を設けず、ガイド４１に下広幅部４１１と上広幅部４１２を設ける形状であってもよい。

【0045】

また、ガイド４１は必ずしも平行に対向させて設ける必要はなく、その場合は、アタッチメント２をガイド４１に沿ってスライドさせなくてもよい。例えば、収納スペース４０の形状が奥に行く程狭くなるような形状のガイド４０であってもよい。すなわち、アタッチメント収納部４の収納スペース４０およびガイド４１の形状に応じて、アタッチメント２がガイド４１に係止されるようなアタッチメント本体２０の形状を求め、ガイド４１に係止された状態でアタッチメント２がアタッチメントホルダ３１から脱着するように動作すればよい。

【0046】

以上の説明のとおり、本発明ではアタッチメント２の交換が容易に行える。このため、複数のアタッチメント２毎に異なったコレット２１を設けることにより、コレットの交換を容易に行うことができる。
なお、ここまでの実施形態の説明において、ピックアップツール３は上下方向（および上下方向を軸とする回転方向）に移動可能と記したが、ピックアップツール３が水平方向（ＸＹ面内）に移動する機能を備えていて、アタッチメント収納部４が停止した状態で、ピックアップツール３を移動させて収納、取り出しの動作を行なってもよい。

【符号の説明】

【0047】

１ コレット交換機構
２ アタッチメント
３ ピックアップツール
４ アタッチメント収納部
５ ウェハテーブル
２０ アタッチメント本体
２１ コレット
２２ ほぞ
３０ ピックアップヘッド
３１ アタッチメントホルダ
４０ 収納スペース
４１ ガイド
２０１ 下広幅部
２０２ 上広幅部
４０１ 弾性体
４０２ 磁石
４１０ ガイド薄肉部
４１１ ガイド厚肉部
Ｃ チップ部品
Ｓ ダイシングテープ
Ｗ ウェハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】