特開 2022-156579 搬送加熱装置及び検出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022156579

(43)【公開日】2022-10-14

(54)【発明の名称】搬送加熱装置及び検出装置

(51)【国際特許分類】

   F27B 9/40 20060101AFI20221006BHJP

   F27D 21/00 20060101ALI20221006BHJP

   H02P 29/024 20160101ALI20221006BHJP

   B23K 1/008 20060101ALN20221006BHJP

【ＦＩ】

F27B9/40

F27D21/00 A

H02P29/024

B23K1/008 E

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021060351

(22)【出願日】2021-03-31

(71)【出願人】

【識別番号】390005223

【氏名又は名称】株式会社タムラ製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110003236

【氏名又は名称】特許業務法人杉浦特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100123973

【弁理士】

【氏名又は名称】杉浦 拓真

(74)【代理人】

【識別番号】100082762

【弁理士】

【氏名又は名称】杉浦 正知

(72)【発明者】

【氏名】齋藤 勇武

【テーマコード（参考）】

4K050

4K056

5H501

【Ｆターム（参考）】

4K050AA01

4K050BA17

4K050CA13

4K050CC08

4K050CD16

4K050CG10

4K050EA04

4K050EA10

4K056AA09

4K056BB10

4K056CA18

4K056FA10

4K056FA13

4K056FA27

5H501AA08

5H501BB08

5H501HB07

5H501JJ03

5H501LL22

5H501LL37

5H501LL53

5H501MM01

5H501MM09

(57)【要約】

【課題】送風機のモータの回転軸が固着する可能性を検出する。
【解決手段】単一乃至複数の炉体を備え、炉体に送風機が設けられ、送風機によって被加熱物に対して熱風を吹きつけるように構成された加熱装置と、加熱装置に対してワークを搬入する搬送手段を有する搬送加熱装置において、送風機のモータに対して設けられたインバータと、インバータからモータの負荷の大小を示すモニタ信号が供給される制御装置を備え、制御装置が計測可能範囲か否かを判定し、計測可能範囲において、モータの回転開始直後のモニタ信号を閾値判定することによって、モータの固着の可能性を検出するようにした搬送加熱装置である。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

単一乃至複数の炉体を備え、前記炉体に送風機が設けられ、前記送風機によって被加熱物に対して熱風を吹きつけるように構成された加熱装置と、前記加熱装置に対してワークを搬入する搬送手段を有する搬送加熱装置において、
前記送風機のモータに対して設けられたインバータと、
前記インバータから前記モータの負荷の大小を示すモニタ信号が供給される制御装置を備え、
前記制御装置が計測可能範囲か否かを判定し、前記計測可能範囲において、前記モータの回転開始直後の前記モニタ信号を閾値判定することによって、前記モータの固着の可能性を検出するようにした搬送加熱装置。

【請求項2】

前記モータの固着は、フラックスが前記モータの回転軸の周辺に付着することによって生じる請求項１に記載の搬送加熱装置。

【請求項3】

前記計測可能範囲は、前記モニタ信号の値が前記フラックスの量によって変化する範囲である請求項２に記載の搬送加熱装置。

【請求項4】

前記炉体に温度検出器が設けられ、
前記制御装置が前記温度検出器からの検出温度によって前記計測範囲か否かを判定するようにした請求項１から３のいずれかに記載の搬送加熱装置。

【請求項5】

前記炉体内で、前記モータの回転軸の周辺以外の箇所に前記温度検出器が配置された請求項１から４のいずれかに記載の搬送加熱装置。

【請求項6】

前記計測可能範囲において、前記モータの固着の可能性の検出処理を複数回行うようにした請求項１から５のいずれかに記載の搬送加熱装置。

【請求項7】

モータと前記モータによって回転される回転羽根を有する送風機と、
前記モータに対して設けられたインバータと、
前記インバータから前記モータの負荷の大小を示すモニタ信号が供給される制御装置を備え、
前記制御装置が計測可能範囲か否かを判定し、前記計測可能範囲において、前記モータの回転開始直後の前記モニタ信号を閾値判定することによって、前記モータの固着の可能性を検出するようにした検出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えばリフロー装置に適用される搬送加熱装置及び検出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

リフロー装置を稼働すると基板上に供給されたソルダペーストのフラックスが加熱段階でヒュームとなって発生し、ヒュームが液化して炉内に付着する。液化したフラックスが基板に付着して基板不良が発生する。炉内をクリーンに保つために、例えば冷却方式のフラックス回収装置が搭載されている。しかしながら、フラックス回収装置を使用していても、長期間リフロー装置が使用されるとフラックス汚れが蓄積される。

【0003】

熱風方式のリフロー装置には各ゾーンに熱風を供給、循環させる目的で送風機が一般的に設けられている。ケーシング内の送風機及びその周辺に徐々にではあるがフラックスが堆積付着する。付着したフラックスが冷却されることによって、送風機の回転軸が固着してしまうと、装置立ち上げ（再稼働）時に、運転ができない等の問題が発生する。

【0004】

例えば特許文献１には、気化したフラックスがファンを回転させるためのモータ回転軸に付着して固化することを防止するために、気化したフラックスが固化する前の流動性を有する液化の状態で効率的、かつ、確実に回収することが可能なフラックス回収装置が記載されている。具体的には、回転軸の周辺部に、リフロー処理により発生したフラックスを流入させて外部に排出するドレン部を設けるようにしている。

【0005】

また、特許文献２には、ドレン部とフラックス回収用器との間に配設される配管が斜めに延在しているので、ドレン部から流動したフラックスが配管の途中で停滞してしまい、配管の途中でフラックスが堆積して固着する問題を解決するために、フラックス回収部内を減圧させる構成が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特許第５５４０６８０号

【特許文献2】特許第５５６５０７１号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

特許文献１及び特許文献２に記載のものは、送風機の回転軸の周辺において、フラックスが固化する前の液化の状態でフラックスを回収するものであるが、このようなフラックス回収装置を搭載していても、徐々にフラックスが堆積付着していき、回転軸が固着してしまうことがある。固着が生じると、リフロー装置の運転が不可能となり、モータを交換する作業が必要となる。従来では、固着の可能性を予め検出できず、リフロー装置の運転を開始して初めて固着が判明していた。そのため、リフロー装置による作業の中断が予期せずに起き、生産スケジュールが大幅に変更される問題があった。

【0008】

したがって、本発明の目的は、回転軸が固着する可能性を検出することができる搬送加熱装置及び検出装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明は、単一乃至複数の炉体を備え、炉体に送風機が設けられ、送風機によって被加熱物に対して熱風を吹きつけるように構成された加熱装置と、加熱装置に対してワークを搬入する搬送手段を有する搬送加熱装置において、
送風機のモータに対して設けられたインバータと、
インバータからモータの負荷の大小を示すモニタ信号が供給される制御装置を備え、
制御装置が計測可能範囲か否かを判定し、計測可能範囲において、モータの回転開始直後のモニタ信号を閾値判定することによって、モータの固着の可能性を検出するようにした搬送加熱装置である。

【発明の効果】

【0010】

少なくとも一つの実施形態によれば、送風機のモータの回転軸が固着する可能性を検出することができる。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本発明中に記載されたいずれの効果であってもよい。また、以下の説明における例示された効果により本発明の内容が限定して解釈されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は、本発明を適用できるリフロー装置の一例の概略を示す略線図である。

【図2】図２は、リフロー時の温度プロファイルの例を示すグラフである。

【図3】図３は、炉体の構成を示す断面図である。

【図4】図４は、本発明の一実施形態のシステム構成を示すブロック図である。

【図5】図５は、本発明の一実施形態の処理の流れを示すフローチャートである。

【図6】図６は、温度検出器により検出される雰囲気温度と固着箇所温度の時間変化の一例を示すグラフである。

【図7】図７は、トルク電流の時間変化の一例を示すグラフである。

【発明を実施するための最良の形態】

【0012】

以下、本発明を実施の形態について説明する。なお、説明は、以下の順序で行う。
＜１．リフロー装置の一例＞
＜２．フラックスによる汚れのメカニズム＞
＜３．モータ固着検出＞
＜４．変形例＞
なお、以下に説明する一実施の形態は、本発明の好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において、特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施の形態に限定されないものとする。

【0013】

＜１．リフロー装置の一例＞
図１は、本発明を適用できる従来のリフロー装置１０１の概略的構成を示す。リフロー装置１０１は、リフロー炉１０２と、被加熱物例えば両面に表面実装用電子部品が搭載されたプリント基板（以下、ワークと称する）Ｗをリフロー炉１０２内を通過させる搬送手段としての搬送チェーン１０３と、搬送チェーン１０３の移動経路を規定する回転体（アイドラー、スプロケットなど）１０５ａ、１０５ｂ、１０５ｃ、１０５ｄと、外板１０６とを備える。なお、図１では、平行する２本の搬送チェーンの一方の搬送チェーン１０３のみが示されている。

【0014】

リフロー炉１０２は、ワークＷを上下から加熱し、加熱後に冷却するためのものである。搬送チェーン１０３は、搬送方向に平行して配されている２本の搬送チェーンの一方である。例えば搬送チェーン１０３として、ローラチェーンが使用されている。外板１０６は、全体を覆うためのケースである。

【0015】

ワークＷは、搬入口１０７からリフロー炉１０２内に搬入された後、搬送チェーン１０３によって所定速度で矢印方向（図１に向かって左から右方向）へ搬送され、最終的に搬出口１０８から取り出される。図示しないが、搬入口１０７の前段には、ワークＷを搬入するためのワーク搬入装置が設けられ、搬出口１０８の後段には、ワークＷを外部へ送り出すためのワーク搬出装置が配置されている。

【0016】

搬入口１０７から搬出口１０８に至る搬送経路に沿って、リフロー炉１０２が例えば９個のゾーンＺ１からＺ９に順次分割され、これらのゾーンＺ１～Ｚ９がインライン状に配列されている。搬入口１０７側から７個のゾーンＺ１～Ｚ７が加熱ゾーンであり、搬出口１０８側の２個のゾーンＺ８およびＺ９が冷却ゾーンである。冷却ゾーンＺ８およびＺ９に関連して強制冷却ユニット（図示しない）が設けられている。なお、ゾーン数は、一例であって、他の個数のゾーンを備えても良い。複数のゾーンＺ１～Ｚ９がリフロー時の温度プロファイルにしたがってワークＷの温度を制御する。

【0017】

ゾーンＺ１～Ｚ７のそれぞれは、上部炉体及び下部炉体を有する。ゾーンＺ１～Ｚ７のそれぞれに含まれる上部炉体及び下部炉体には、送風機（例えばターボファン）と温度検出器（例えば熱電対）が設けられている。冷却ゾーンＺ８及びＺ９にも送風機と温度検出器が設けられている。Ｍ１及びＭ１１がゾーンＺ１の送風機のモータである。Ｍ２～Ｍ９及びＭ１２～Ｍ１９も各ゾーンの送風機のモータを示す。

【0018】

上述した複数のゾーンＺ１～Ｚ９がリフロー時の温度プロファイルにしたがってワークＷの温度を制御する。図２に温度プロファイルの一例の概略を示す。横軸が時間であり、縦軸がワークＷ例えば電子部品が実装されたプリント配線板の表面温度である。最初の区間が加熱によって温度が上昇する昇温部Ｒ１であり、次の区間がほぼ一定温度のプリヒート（予熱）部Ｒ２であり、次の区間がリフロー（本加熱）部Ｒ３であり、最後の区間が冷却部Ｒ４である。

【0019】

昇温部Ｒ１は、常温からプリヒート部Ｒ２（例えば１５０℃～１７０℃）まで基板を加熱する期間である。プリヒート部Ｒ２は、例えば等温加熱を行い、フラックスを活性化し、電極、はんだ粉の表面の酸化膜を除去し、また、プリント配線板の加熱ムラをなくすための期間である。リフロー部Ｒ３（例えばピーク温度で２２０℃～２４０℃）は、はんだが溶融し、接合が完成する期間である。リフロー部Ｒ３では、はんだの溶融温度を超える温度まで昇温が必要とされる。リフロー部Ｒ３は、プリヒート部Ｒ２を経過していても、温度上昇のムラが存在するので、はんだの溶融温度を超える温度までの加熱が必要とされる。最後の冷却部Ｒ４は、急速にプリント配線板を冷却し、はんだ組成を形成する期間である。なお、鉛フリーはんだの場合では、リフロー部における温度は、より高温（例えば２４０℃～２６０℃）となる。

【0020】

図２において、曲線１は、鉛フリーはんだの温度プロファイルの一例を示す。Ｓｎ－Ｐｂ共晶はんだの場合の温度プロファイルの一例は、曲線２で示すものとなる。鉛フリーはんだの融点は、共晶はんだの融点より高いので、プリヒート部Ｒ２及びリフロー部Ｒ３における設定温度が共晶はんだに比して高いものとされている。

【0021】

図１に示すリフロー装置では、図２における昇温部Ｒ１の温度制御を、主としてゾーンＺ１及びＺ２が受け持つ。プリヒート部Ｒ２の温度制御は、主としてゾーンＺ３、Ｚ４及びＺ５が受け持つ。リフロー部Ｒ３の温度制御は、ゾーンＺ６及びＺ７が受け持つ。冷却部Ｒ４の温度制御は、ゾーンＺ８及びゾーンＺ９が受け持つ。

【0022】

図３を参照して、一つのゾーン例えばゾーンＺ５の構成を説明する。上部炉体１と下部炉体１１との対向間隙内で、プリント配線板の両面に表面実装用電子部品が搭載されたワークＷが搬送コンベヤ２１上に置かれて搬送される。上部炉体１内及び下部炉体１１内は、雰囲気ガスである例えば窒素（Ｎ２）ガスが充満している。上部炉体１及び下部炉体１１は、ワークＷに対して熱風（熱せられた雰囲気ガス）を噴出してワークＷを加熱する。なお、熱風と共に赤外線を照射しても良い。

【0023】

上部炉体１は、主加熱源２、副加熱源３、送風機４、蓄熱部材５、熱風循環ダクト６、開口部７等からなる。なお、下部炉体１１は、例えば、上述した下部炉体１とほぼ同様に、主加熱源１２、副加熱源１３、送風機１４、蓄熱部材１５、熱風循環ダクト１６、開口部１７等を備えている。送風機４は、モータＭ５と、モータ取り付け板８と、回転羽根９を有する。モータ取り付け板８と回転羽根９の間に間隙１０が存在する。同様に、送風機１４は、モータＭ１５と、モータ取り付け板１８と、回転羽根１９を有する。モータ取り付け板１８と回転羽根１９の間に間隙２０が存在する。送風機としては、ターボファン、シロッコファンなどの遠心ファン、軸流ブロワなどを使用してもよい。なお、図３に示す炉体の構成は、一例であり、他の構成をとりうる。

【0024】

開口部７及び１７を通じて熱風がワークＷに対して吹きつけられる。主加熱源２、主加熱源１２、副加熱源３及び副加熱源１３は、例えば電熱ヒータで構成される。蓄熱部材５及び蓄熱部材１５は、例えばアルミニウムからなり、多数の孔が形成され、その孔を通じて熱風が通過してワークＷに対して吹きつけられる。

【0025】

例えば上部炉体１において、熱風は、送風機４によって循環される。すなわち、（主加熱源２→蓄熱部材３→開口部７→ワークＷ→熱風循環ダクト６→副加熱源３→熱風循環ダクト６→送風機４→主加熱源２）の経路を介して熱風が循環する。下部炉体１１においても同様に、熱風が循環する。

【0026】

ゾーンＺ５内の雰囲気ガスが配管２２を通じて図示しないフラックス回収装置に送られる。フラックス回収装置では、フラックスヒューム中のフラックスが除去及び回収され、フラックスが低減又は除去された浄化後の気体が生成される。フラックス回収装置により浄化された後の気体が配管２３を通じて下部炉体１１内に導入される。上部炉体１においても同様にフラックス回収装置により浄化された気体が導入される。

【0027】

＜２．フラックスによる汚れのメカニズム＞
上述したリフロー装置におけるフラックスによる汚れのメカニズムについて説明する。ここで、汚れとは、各炉体の送風機のモータの回転軸の周辺に付着するフラックスのことである。例えばモータ取り付け板８と回転羽根９の間の間隙１０、並び各炉体の送風機のモータ取り付け板１８と回転羽根１９の間の間隙２０に付着するフラックスを意味している。汚れは、フラックスに含まれるロジン等の樹脂を主成分としており、温度が低下すると粘度が増し、さらに、温度が低下するにしたがって粘度が高くなる性質を有し、フラックスが多く、且つフラックスが固化した場合には、送風機のモータの回転軸が固着する。間隙１０及び２０は、固着箇所である。なお、以下の説明における温度の値及び経過時間の値は、一例である。

【0028】

ステージ１．リフロー装置の運転中
送風機：回転中、汚れ：粘度低、負荷：低い、固着箇所温度：２５０℃
ステージ２．リフロー装置の停止直後
送風機：停止、汚れ：粘度低、負荷：低い、固着箇所温度：２５０℃
ステージ３．リフロー装置の停止３０分後
送風機：停止、汚れ：粘度低、負荷：低い、固着箇所温度：２００℃
ステージ４．リフロー装置の停止４００分後
送風機：停止、汚れ：粘度中低、負荷：中、固着箇所温度：１００℃
ステージ５．リフロー装置の停止８００分後
送風機：停止、汚れ：粘度中、負荷：中、固着箇所温度：５０℃
ステージ６．リフロー装置の停止１日後
送風機：停止、汚れ：粘度高、負荷：高い、固着箇所温度：３０℃

【0029】

上述したステージ６において汚れが多い場合には、多量の汚れが固化することによって回転軸が固着し、送風機が回転できない状態となる。固着に至った段階では、モータの負荷に基づいて固着の可能性を計測することは不可能である。一方、ステージ１、ステージ２及びステージ３は、固着箇所温度が高いために、汚れの粘度が低く、送風機のモータの負荷が小さく、モータの負荷に基づいて固着の可能性を計測するのには不向きである。したがって、本発明は、モニタ信号（トルク電流）の値がフラックスの量によって変化する範囲（ステージ４及び／又はステージ５）において、モータの回転軸の固着の可能性を検出するものである。

【0030】

＜３．固着可能性の検出装置＞
図４を参照して本発明の一実施形態のシステム構成について説明する。図４は、制御信号系統を示し、電力系統についての図示は省略されている。Ｍ１～Ｍ１９は、図１に示すリフロー装置の送風機のモータを示し、ＩＮＶ１～ＩＮＶ１９は、各モータを駆動及び制御するインバータである。さらに、ＴＨ１～ＴＨ１９は、炉体のそれぞれの内部温度を検出するための熱検出器（例えば熱電対）である。例えばゾーンＺ５の上部炉体には、送風機の回転羽根を回転させるためのモータＭ５及び熱検出器ＴＨ５が設けられ、下部炉体には、送風機の回転羽根を回転させるためのモータＭ１５及び熱検出器ＴＨ１５が設けられている。

【0031】

インバータＩＮＶ１～ＩＮＶ１９は、制御装置例えばプログラマブル・ロジック・コントローラ（programmable logic controller,図４及び以下の説明ではＰＬＣと称する）３１とネットワーク３２を介して接続されている。ＰＬＣ３１からインバータＩＮＶ１～ＩＮＶ１９のそれぞれに対して回転数を指令する制御信号が供給され、インバータＩＮＶ１～ＩＮＶ１９からはモニタ信号、アラーム信号などがＰＬＣ３１に対して供給される。モニタ信号は、モータＭ１～Ｍ１９の負荷の大小を示す信号であり、このモニタ信号をトルク電流と称する。トルク電流は、例えばモータの負荷に対応した値（レベル）の信号である。上述したステージ４又はステージ５においては、トルク電流の値が回転軸の周辺に存在するフラックスの量を示すものとなる。

【0032】

熱検出器ＴＨ１～ＴＨ１９の検出温度がネットワーク３３を介してＰＬＣ３１に対して供給される。ＰＬＣ３１に対してパーソナルコンピュータ３４が接続されている。パーソナルコンピュータ３４は、ユーザーインターフェースとして機能する。例えばＰＬＣ３１へ回転数を指令したり、警報画面を表示したりする。なお、インバータＩＮＶ１～ＩＮＶ１９を制御するためにＰＬＣ以外の制御装置を使用してもよい。

【0033】

図５のフローチャートを参照してＰＬＣ３１によってなされる固着可能性の検出方法について説明する。この検出方法は、送風機のモータＭ１～Ｍ１９のそれぞれに対して適用されるものである。

【0034】

ステップＳ１：リフロー装置の運転の停止によって送風機が停止する。
ステップＳ２：検出温度信号による検出温度が第１の閾値温度Ｔｔ１以下かどうかが判定される（閾値判定）。検出温度が閾値温度Ｔｔ１以下となると、計測可能範囲（上述したステージ４及びステージ５）になったと判定される。検出温度が閾値温度Ｔｔ１より高い場合には、未だ計測可能範囲に入っていないので、ステップＳ２の温度判定の処理がなされる。
ステップＳ３：ステップＳ２の判定結果が肯定の場合に、検出温度が第２の閾値温度Ｔｔ２より大かどうかが判定される（閾値判定）。検出温度が閾値温度Ｔｔ２より高い場合は、計測可能範囲内であると判定され、次の処理がなされる。検出温度が閾値温度Ｔｔ２以下である場合には、計測可能範囲から検出温度が外れたと判定され、終了処理がなされる。

【0035】

ステップＳ４：送風機の回転が開始され、インバータＩＮＶ１～ＩＮＶ１９からのトルク電流の値が計測される。計測されるトルク電流値は、回転開始直後の値である。
ステップＳ５：トルク電流値が閾値上限Ｉｔ１より大きいかどうかが判定される。トルク電流値が閾値上限電流以下であれば、固着の可能性が検出されないとして検出処理が終了する。この場合、固着の可能性が無い旨のメッセージをマイクロコンピュータ３４の画面に表示してもよい。なお、１回の処理で終わらず、計測可能範囲で、複数回の検出処理を行うようにしてもよい。この場合には、所定時間後（例えば次の検出処理が可能となる時）に再びステップＳ２の閾値判定から処理が繰り返される。

【0036】

ステップＳ６：ステップＳ５において、トルク電流値が閾値上限Ｉｔ１より大と判定されると汚れ検知異常警報が発生し、汚れ検知異常警報がパーソナルコンピュータ３４の画面に表示される。警報の音をパーソナルコンピュータ３４によって発生するようにしてもよい。ステップＳ６の処理によって固着の可能性の検出処理が終了する。汚れ検知異常警報が発生した場合、ユーザーは、リフロー装置の運転を停止して警報が発生した送風機（又はモータ）を汚れのない送風機（又はモータ）へ交換するようになされる。

【0037】

上述したように、モータＭ１～Ｍ１９の回転軸が固着する原因は、固着箇所（間隙１０、間隙２０）にフラックスが付着し、付着したフラックスが固化することである。しかしながら、間隙１０、間隙２０のスペースが小さく、熱検出器ＴＨ１～ＴＨ１９を間隙１０、間隙２０に設けることは難しい。本発明の一実施形態は、炉体内部に熱検出器ＴＨ１～ＴＨ１９を設けているので、熱検出器ＴＨ１～ＴＨ１９が検出した温度（雰囲気温度）と固着箇所温度が厳密には一致しない。

【0038】

図６は、固着箇所温度（実線で示す曲線）と検出温度（破線で示す曲線）の測定例である。縦軸が温度（℃）で横軸が回転停止からの経過時間（min)である。回転停止から時間ｔ１経過し、固着箇所温度が第１の閾値温度Ｔｔ１（例えば約８０℃）以下となると、計測可能範囲（ステージ４）となる。すなわち、固着が発生してなく、且つ汚れによる負荷の変動がトルク電流に影響する範囲である。さらに、検出温度が第２の閾値温度Ｔｔ２（例えば約５０℃）より低くなる時間ｔ２以降では、固着が発生した場合には、トルク電流による負荷を計測することが不可能となる（ステージ６）。

【0039】

したがって、検出温度が閾値温度Ｔｔ１以下となる時間ｔ１から検出温度が閾値温度Ｔｔ２より低くなる時間ｔ２までの範囲が計測可能範囲である。一実施形態では、検出温度によって計測可能範囲となったことを判定するので、固着箇所温度を予め測定しておき、炉体の検出温度との差を予め測定しておき、この差を補正するようになされる。図６に示す例では、検出温度が固着箇所温度よりやや高いので、検出温度又は閾値温度Ｔｔ１及びＴｔ２を補正して判定がなされる。なお、計測可能範囲の判定は、検出温度を使用せずに、回転停止からの時間経過によって行うようにしてもよい。

【0040】

炉内の温度と付着したフラックスの状態を予め測定しておくことによって、第１の閾値温度Ｔｔ１（送風機の回転開始の温度の閾値）と第２の閾値温度Ｔｔ２の値（計測可能範囲の判定の閾値）が設定される。表１は、これらの関係を測定した結果の一例を示す。

【0041】

【表1】

【0042】

表１の例では、炉内の温度が４０℃～５０℃の場合に、付着したフラックスが粘性体であって、粘度が中程度であり、この温度範囲が測定開始のタイミングとして最適なことが分かる。炉内の温度が３０℃～４０℃の場合が測定開始のタイミングとして２番目に適している。さらに、炉内の温度が５０℃～６０℃の場合が測定開始のタイミングとして２番目に適している。炉体内の温度が３０℃未満点では、フラックスが固体化し、炉内の温度が６０℃以上では、フラックスが液体状態であるため、測定開始する温度として適していない。したがって、表１の例では、例え炉内温度が４０℃～５０℃の範囲内で閾値温度Ｔｔ１が設定され、炉内温度の３０℃よりやや高い温度が閾値温度Ｔｔ２とされる。

【0043】

トルク電流の測定結果の一例を図７に示す。縦軸がトルク電流値（Ａ）で横軸がモータの回転開始からの経過時間（１０ms位)である。図７には、閾値上限Ｉｔ１、閾値下限Ｉｔ２、正常値Ｉｘ及び異常値Ｉｙが示されている。回転開始から１秒～２秒経過後までのトルク電流値が計測される。異常値Ｉｙは、固着箇所に多くのフラックスが付着しているために、閾値上限Ｉｔ１より大となるトルク電流値である。正常値Ｉｘは、閾値上限Ｉｔ１及び閾値下限Ｉｔ２の範囲内に納まっているトルク電流値である。なお、図６及び図７は、アナログ変化として温度変化及びトルク電流値の変化を表しているが、ネットワーク３２及び３３を通じてＰＬＣ３１に対して伝送される信号は、デジタル信号である。

【0044】

表２は、トルク電流の変化と付着したフラックスの関係の一例を示す。新品時のトルク電流値は、例えば１．０（Ａ）（５Hz モータ２００Ｗ始動時）である。表２は一例としてこの値を正常値Ｉxとしている。このトルク電流値に対するトルク電流値の変化と付着したフラックスの状態の関係が表２に示されている。なお、トルク電流値は、回転開始直後の値である。

【0045】

【表2】

【0046】

トルク電流値が正常値の＋／－１０％未満の場合では、付着したフラックスの状態は、フラックスが薄くコートされている程度であり、モータの始動に問題がない。トルク電流値が正常値の＋／－１０％～２０％の場合では、付着したフラックスの状態は、フラックスが付着しているが、モータの始動が可能である。トルク電流値が正常値の２０％以上の場合では、フラックスが固体化してモータの始動が困難となる。すなわち、モータの回転軸が固着している可能性がある。表２の例では、トルク電流値の閾値が例えば正常値の＋／－２０％に設定される。

【0047】

上述した本発明の一実施形態は、リフロー装置の送風機の固着箇所に多くのフラックスが付着した結果、送風機の回転軸が固着する可能性を前もって検出することができる。したがって、リフロー装置の運転を再稼働しようとした時に、固着が初めて分かる状況と異なり、リフロー装置の運転計画が予定から大幅に異なることを防止することができる。

【0048】

＜４．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について具体的に説明したが、上述の各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。例えば本発明は、プリント基板に限らず、フレキシブル基板、リジッド基板とフレキシブル基板とを貼り合わせた基板、これらを組み合わせたリジッドフレキ基板のリフローに対しても適用できる。また、加熱炉が１段（１ゾーン）のリフロー装置に対して本発明を適用できる。さらに、リフロー装置に限らず、樹脂の硬化のための加熱装置等に対しても適用できる。また、上述の実施の形態において挙げた構成、方法、工程、形状、材料及び数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料及び数値などを用いてもよい。また、上述の実施の形態の構成、方法、工程、形状、材料及び数値などは、本発明の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。

【符号の説明】

【0049】

１０１・・・リフロー装置、１０３・・・搬送チェーン、Ｗ・・・ワーク、
１・・・上部炉体、４・・・送風機、８・・・モータ取り付け板、９・・・回転羽根、
１０・・・間隙、１１・・・下部炉体、１８・・・モータ取り付け板、
１９・・・回転羽根、２０・・・間隙、３１・・・ＰＬＣ、
Ｍ１～Ｍ１９・・・送風機のモータ、ＩＮＶ１～ＩＮＶ１９・・・インバータ、
ＴＨ１～ＴＨ１９・・・温度検出器

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】