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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022156962
(43)【公開日】2022-10-14
(54)【発明の名称】粘着シートおよび積層体
(51)【国際特許分類】
C09J 7/38 20180101AFI20221006BHJP
C09J 7/10 20180101ALI20221006BHJP
C09J 201/00 20060101ALI20221006BHJP
B32B 27/00 20060101ALI20221006BHJP
【ＦＩ】
C09J7/38
C09J7/10
C09J201/00
B32B27/00 M
【審査請求】未請求
【請求項の数】11
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021060915
(22)【出願日】2021-03-31
(71)【出願人】
【識別番号】000102980
【氏名又は名称】リンテック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100108833
【弁理士】
【氏名又は名称】早川 裕司
(74)【代理人】
【識別番号】100162156
【弁理士】
【氏名又は名称】村雨 圭介
(74)【代理人】
【識別番号】100176407
【弁理士】
【氏名又は名称】飯田 理啓
(72)【発明者】
【氏名】小鯖 翔
(72)【発明者】
【氏名】小澤 祐樹
(72)【発明者】
【氏名】荒井 隆行
【テーマコード（参考）】
4F100
4J004
4J040
【Ｆターム（参考）】
4F100AG00D
4F100AK25A
4F100AK25C
4F100AK42B
4F100AK42E
4F100AT00B
4F100CB05A
4F100CB05C
4F100EH46A
4F100EH46C
4F100EJ911
4F100GB41
4F100JB14C
4F100JJ03
4F100JK06A
4F100JK06C
4J004AA10
4J004AB01
4J004AB06
4J004BA02
4J004CA06
4J004CE01
4J004DB02
4J004EA05
4J004FA08
4J040DF001
4J040JA09
4J040JB07
4J040JB09
4J040NA20
4J040PA42
(57)【要約】
【課題】加熱処理を行う場合であっても基板の再利用を可能とする粘着シート、および当該粘着シートを使用した積層体を提供する。
【解決手段】第１の粘着剤層１１１と第２の粘着剤層１１２とを備えた粘着シート１であって、粘着シート１が第１の粘着剤層１１１における第１の粘着面および第２の粘着剤層１１２における第２の粘着面を有し、粘着シート１における前記第１の粘着面をガラス板の片面に貼合してなる第１の積層体を１００℃で３００分間加熱した後、前記第１の積層体の温度を２３℃まで低下させた後における、２３℃における対ガラス粘着力Ｆｇ２が０．１～７Ｎ／２５ｍｍであり、粘着シート１における前記第２の粘着面を樹脂フィルムの片面に貼合してなる第２の積層体について、１００℃における対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ３が０．０１～５Ｎ／２５ｍｍである粘着シート１。
【選択図】図１
【解決手段】第１の粘着剤層１１１と第２の粘着剤層１１２とを備えた粘着シート１であって、粘着シート１が第１の粘着剤層１１１における第１の粘着面および第２の粘着剤層１１２における第２の粘着面を有し、粘着シート１における前記第１の粘着面をガラス板の片面に貼合してなる第１の積層体を１００℃で３００分間加熱した後、前記第１の積層体の温度を２３℃まで低下させた後における、２３℃における対ガラス粘着力Ｆｇ２が０．１～７Ｎ／２５ｍｍであり、粘着シート１における前記第２の粘着面を樹脂フィルムの片面に貼合してなる第２の積層体について、１００℃における対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ３が０．０１～５Ｎ／２５ｍｍである粘着シート１。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１の粘着剤層と、
前記第１の粘着剤層の片面側に積層され、前記第１の粘着剤層を構成する粘着剤とは異なる粘着剤から構成された第２の粘着剤層と
を備えた粘着シートであって、
前記粘着シートが、前記第１の粘着剤層における前記第２の粘着剤層とは反対側の面として第１の粘着面を有するとともに、前記第２の粘着剤層における前記第１の粘着剤層とは反対側の面として第２の粘着面を有し、
前記粘着シートにおける前記第１の粘着面をガラス板の片面に貼合してなる第１の積層体を１００℃で３００分間加熱した後、前記第１の積層体の温度を２３℃まで低下させた後における、２３℃における前記ガラス板に対する前記粘着シートの対ガラス粘着力Ｆｇ２が、０．１Ｎ／２５ｍｍ以上、７Ｎ／２５ｍｍ以下であり、
前記粘着シートにおける前記第２の粘着面を樹脂フィルムの片面に貼合してなる第２の積層体について、１００℃における前記樹脂フィルムに対する前記粘着シートの対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ３が、０．０１Ｎ／２５ｍｍ以上、５Ｎ／２５ｍｍ以下である
ことを特徴とする粘着シート。
前記第１の粘着剤層の片面側に積層され、前記第１の粘着剤層を構成する粘着剤とは異なる粘着剤から構成された第２の粘着剤層と
を備えた粘着シートであって、
前記粘着シートが、前記第１の粘着剤層における前記第２の粘着剤層とは反対側の面として第１の粘着面を有するとともに、前記第２の粘着剤層における前記第１の粘着剤層とは反対側の面として第２の粘着面を有し、
前記粘着シートにおける前記第１の粘着面をガラス板の片面に貼合してなる第１の積層体を１００℃で３００分間加熱した後、前記第１の積層体の温度を２３℃まで低下させた後における、２３℃における前記ガラス板に対する前記粘着シートの対ガラス粘着力Ｆｇ２が、０．１Ｎ／２５ｍｍ以上、７Ｎ／２５ｍｍ以下であり、
前記粘着シートにおける前記第２の粘着面を樹脂フィルムの片面に貼合してなる第２の積層体について、１００℃における前記樹脂フィルムに対する前記粘着シートの対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ３が、０．０１Ｎ／２５ｍｍ以上、５Ｎ／２５ｍｍ以下である
ことを特徴とする粘着シート。
【請求項2】
前記第２の積層体を１００℃で３００分間加熱した後、前記第２の積層体の温度を２３℃まで低下させた後における、２３℃における前記樹脂フィルムに対する前記粘着シートの対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ４が、０．０１Ｎ／２５ｍｍ以上、１０Ｎ／２５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の粘着シート。
【請求項3】
前記第２の粘着剤層が、活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の粘着シート。
【請求項4】
前記第１の積層体について、２３℃における前記ガラス板に対する前記粘着シートの対ガラス粘着力をＦｇ１とし、
前記第２の積層体を構成する前記第２の粘着剤層に対して活性エネルギー線を照射した後における、２３℃における前記樹脂フィルムに対する前記粘着シートの対樹脂フィルム粘着力をＦｒ２とした場合に、
前記粘着力Ｆｇ１に対する前記粘着力Ｆｒ２の比（Ｆｒ２／Ｆｇ１）が、０．００１以上、１０以下である
ことを特徴とする請求項３に記載の粘着シート。
前記第２の積層体を構成する前記第２の粘着剤層に対して活性エネルギー線を照射した後における、２３℃における前記樹脂フィルムに対する前記粘着シートの対樹脂フィルム粘着力をＦｒ２とした場合に、
前記粘着力Ｆｇ１に対する前記粘着力Ｆｒ２の比（Ｆｒ２／Ｆｇ１）が、０．００１以上、１０以下である
ことを特徴とする請求項３に記載の粘着シート。
【請求項5】
前記第２の積層体を１００℃で３００分間加熱した後、前記第２の積層体の温度を２３℃まで低下させ、さらに、前記第２の積層体を構成する前記第２の粘着剤層に対して活性エネルギー線を照射した後における、２３℃における前記樹脂フィルムに対する前記粘着シートの対樹脂フィルム粘着力をＦｒ５とした場合に、
前記粘着力Ｆｇ２に対する前記粘着力Ｆｒ５の比（Ｆｒ５／Ｆｇ２）が、０．００１以上、１２以下である
ことを特徴とする請求項３または４に記載の粘着シート。
前記粘着力Ｆｇ２に対する前記粘着力Ｆｒ５の比（Ｆｒ５／Ｆｇ２）が、０．００１以上、１２以下である
ことを特徴とする請求項３または４に記載の粘着シート。
【請求項6】
前記第１の粘着剤層と前記第２の粘着剤層との間に積層された芯材を備えたことを特徴とする請求項１～５のいずれか１項に記載の粘着シート。
【請求項7】
工程中は、前記第１の粘着面を基板に貼付するとともに前記第２の粘着面をワークに貼付することで、前記ワークを前記基板に固定し、工程終了後、前記ワークを前記第２の粘着面から剥離する用途に使用されることを特徴とする請求項１～６のいずれか一項に記載の粘着シート。
【請求項8】
前記用途が、前記基板に固定された前記ワークの加熱を含むことを特徴とする請求項１～７のいずれか一項に記載の粘着シート。
【請求項9】
前記ワークが、フレキシブルデバイスであることを特徴とする請求項７または８に記載の粘着シート。
【請求項10】
前記粘着シートが、２枚の剥離シートを備えており、
一方の前記剥離シートの剥離面が、前記第１の粘着面に接し、
他方の前記剥離シートの剥離面が、前記第２の粘着面に接している
ことを特徴とする請求１～９のいずれか一項に記載の粘着シート。
一方の前記剥離シートの剥離面が、前記第１の粘着面に接し、
他方の前記剥離シートの剥離面が、前記第２の粘着面に接している
ことを特徴とする請求１～９のいずれか一項に記載の粘着シート。
【請求項11】
フレキシブルデバイスと、
請求項１～１０のいずれか一項に記載の粘着シートと、
基板と
をその順に積層してなり、
前記粘着シートにおける前記第２の粘着面が前記フレキシブルデバイスに貼付され、前記粘着シートにおける前記第１の粘着面が前記基板に貼付されている積層体。
請求項１～１０のいずれか一項に記載の粘着シートと、
基板と
をその順に積層してなり、
前記粘着シートにおける前記第２の粘着面が前記フレキシブルデバイスに貼付され、前記粘着シートにおける前記第１の粘着面が前記基板に貼付されている積層体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ワークの固定および剥離に好適な粘着シートおよびそれを使用した積層体に関するものである。
【背景技術】
【0002】
被加工物（ワーク）としての光学部材や電子部材等のデバイスにおいては、加工、組立（積層）、検査などの工程中、粘着シートの粘着剤層を介して当該デバイスを基板（台座）に固定することが行われる。そして、工程終了後、上記ワークは基板から剥離される。
【0003】
上記のような粘着剤層として、特許文献１には、所定条件の紫外線照射によって粘着力が低下する粘着剤層が開示されている。当該粘着剤層を用いた場合、工程終了後において、粘着剤層に対して所定の条件で紫外線を照射することで、ワークに対する粘着力を低下させることができ、それによりワークを基板から容易に剥離することが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０００－２７５６２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ところで、上述した工程においては、粘着剤層を介してワークを基板に固定した状態で、ワークを加熱する処理、または副次的にワークが加熱されることを伴う処理（以下、これらの処理を総称して「加熱処理」という場合がある）を行うことがある。
【0006】
上記加熱処理においては、ワークとともに粘着剤層も加熱されることとなるが、このような加熱処理を受けた粘着剤層は、基板に対する粘着性が過度に向上し易いものとなる。そのため、特許文献１に開示されるような従来の粘着シートでは、工程が完了し、さらに粘着シートからワークを分離した後において、粘着シートを基板から剥離しようとした際に、粘着シートが基板に対して強固に密着して剥離が困難となったり、粘着シートの粘着剤層を構成する粘着剤の一部が基板上に残ってしまうといった問題があった。このような問題が生じると、基板を再利用することが困難となる。
【0007】
本発明は、上記の実状に鑑みてなされたものであり、加熱処理を行う場合であっても基板の再利用を可能とする粘着シート、および当該粘着シートを使用した積層体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記目的を達成するために、第１に本発明は、第１の粘着剤層と、前記第１の粘着剤層の片面側に積層され、前記第１の粘着剤層を構成する粘着剤とは異なる粘着剤から構成された第２の粘着剤層とを備えた粘着シートであって、前記粘着シートが、前記第１の粘着剤層における前記第２の粘着剤層とは反対側の面として第１の粘着面を有するとともに、前記第２の粘着剤層における前記第１の粘着剤層とは反対側の面として第２の粘着面を有し、前記粘着シートにおける前記第１の粘着面をガラス板の片面に貼合してなる第１の積層体を１００℃で３００分間加熱した後、前記第１の積層体の温度を２３℃まで低下させた後における、２３℃における前記ガラス板に対する前記粘着シートの対ガラス粘着力Ｆｇ２が、０．１Ｎ／２５ｍｍ以上、７Ｎ／２５ｍｍ以下であり、前記粘着シートにおける前記第２の粘着面を樹脂フィルムの片面に貼合してなる第２の積層体について、１００℃における前記樹脂フィルムに対する前記粘着シートの対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ３が、０．０１Ｎ／２５ｍｍ以上、５Ｎ／２５ｍｍ以下であることを特徴とする粘着シートを提供する（発明１）。
【0009】
上記発明（発明１）に係る粘着シートは、第１の粘着剤層と第２の粘着剤層とを備えるとともに、上述した対ガラス粘着力Ｆｇ２および対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ３がそれぞれ上記範囲であることにより、工程中においては基板上にワークを良好に保持し、工程の完了後には粘着シートからワークを容易に剥離することが可能でありならも、ワーク分離後の粘着シートを基板から容易に剥離することができる。すなわち、上記粘着シートによれば、基板を良好に再利用することができる。
【0010】
上記発明（発明１）において、前記第２の積層体を１００℃で３００分間加熱した後、前記第２の積層体の温度を２３℃まで低下させた後における、２３℃における前記樹脂フィルムに対する前記粘着シートの対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ４が、０．０１Ｎ／２５ｍｍ以上、１０Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましい（発明２）。
【0011】
上記発明（発明１，２）において、前記第２の粘着剤層が、活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成されていることが好ましい（発明３）。
【0012】
上記発明（発明３）において、前記第１の積層体について、２３℃における前記ガラス板に対する前記粘着シートの対ガラス粘着力をＦｇ１とし、前記第２の積層体を構成する前記第２の粘着剤層に対して活性エネルギー線を照射した後における、２３℃における前記樹脂フィルムに対する前記粘着シートの対樹脂フィルム粘着力をＦｒ２とした場合に、前記粘着力Ｆｇ１に対する前記粘着力Ｆｒ２の比（Ｆｒ２／Ｆｇ１）が、０．００１以上、１０以下であることが好ましい（発明４）。
【0013】
上記発明（発明３，４）において、前記第２の積層体を１００℃で３００分間加熱した後、前記第２の積層体の温度を２３℃まで低下させ、さらに、前記第２の積層体を構成する前記第２の粘着剤層に対して活性エネルギー線を照射した後における、２３℃における前記樹脂フィルムに対する前記粘着シートの対樹脂フィルム粘着力をＦｒ５とした場合に、前記粘着力Ｆｇ２に対する前記粘着力Ｆｒ５の比（Ｆｒ５／Ｆｇ２）が、０．００１以上、１２以下であることが好ましい（発明５）。
【0014】
上記発明（発明１～５）において、前記第１の粘着剤層と前記第２の粘着剤層との間に積層された芯材を備えたことが好ましい（発明６）。
【0015】
上記発明（発明１～６）において、工程中は、前記第１の粘着面を基板に貼付するとともに前記第２の粘着面をワークに貼付することで、前記ワークを前記基板に固定し、工程終了後、前記ワークを前記第２の粘着面から剥離する用途に使用されることが好ましい（発明７）。
【0016】
上記発明（発明１～７）において、前記用途が、前記基板に固定された前記ワークの加熱を含むことが好ましい（発明８）。
【0017】
上記発明（発明８）において、前記ワークが、フレキシブルデバイスであることが好ましい（発明９）。
【0018】
上記発明（発明１～９）において、前記粘着シートが、２枚の剥離シートを備えており、一方の前記剥離シートの剥離面が、前記第１の粘着面に接し、他方の前記剥離シートの剥離面が、前記第２の粘着面に接していることが好ましい（発明１０）。
【0019】
第２に本発明は、フレキシブルデバイスと、前記粘着シート（発明１～１０）と、基板とをその順に積層してなり、前記粘着シートにおける前記第２の粘着面が前記フレキシブルデバイスに貼付され、前記粘着シートにおける前記第１の粘着面が前記基板に貼付されている積層体を提供する（発明１１）。
【発明の効果】
【0020】
本発明に係る粘着シートによれば、加熱処理を行う場合であっても基板の再利用が可能となる。また、本発明に係る積層体は、基板の再利用が可能である。
【図面の簡単な説明】
【0021】
【発明を実施するための形態】
【0022】
以下、本発明の実施形態について説明する。
本発明の一実施形態に係る粘着シートは、第１の粘着剤層と、当該第１の粘着剤層の片面側に積層された第２の粘着剤層とを備える。
本発明の一実施形態に係る粘着シートは、第１の粘着剤層と、当該第１の粘着剤層の片面側に積層された第２の粘着剤層とを備える。
【0023】
また、本実施形態に係る粘着シートは、第１の粘着剤層における第２の粘着剤層とは反対側の面として第１の粘着面を有するとともに、第２の粘着剤層における第１の粘着剤層とは反対側の面として第２の粘着面を有する。
【0024】
本実施形態に係る粘着シートは、被加工物（ワーク）としての光学部材や電子部材等のデバイスを、加工、組立（積層）、検査などの工程中、当該粘着シートを介して基板に固定するのに好適に使用される。このとき、本実施形態に係る粘着シートにおける第１の粘着面を基板に貼合し、第２の粘着面をワークに貼合することが好ましい。上記工程終了後、ワークは基板から剥離される。なお、上記の基板は、工程中、ワークを支持し固定するためのものであり、台座等の概念も含むものである。
【0025】
ワークとしては、特に限定されないが、柔軟性を有する光学部材や電子部材等のフレキシブルデバイスが好ましい。また、ワークとしては、上記工程中に加熱処理が含まれるワークであってもよい。そのような加熱処理としては、例えば、透明電極の配線を形成するための金属蒸着工程や、樹脂の硬化工程などが挙げられる。これらの観点から、ワークとしては、例えば、フレキシブル有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）デバイス、フレキシブル液晶デバイス等が好ましく、特にフレキシブルＯＬＥＤデバイスが好ましい。
【0026】
ワークの厚さは、特に限定されないが、フレキシブル性を発現し易い厚さであることが好ましく、具体的には、５μｍ以上であること好ましく、１５μｍ以上であることがより好ましく、特に３０μｍ以上であることが好ましく、さらに４０μｍ以上であることが好ましい。また、ワークの厚さは、５０００μｍ以下であること好ましく、２０００μｍ以下であることがより好ましく、特に１０００μｍ以下であることが好ましく、さらに５００μｍ以下であることが好ましい。
【0027】
また、ワークの平面視形状としては、円形であってもよいし、多角形状であってもよく、中でも多角形状であることが好ましい。ワークの平面視形状が多角形状である場合、多角形状を構成する辺の総数は、特に限定されないが、３辺以上であることが好ましく、特に４辺以上であることが好ましい。また、多角形状を構成する辺の総数は、１０辺以下であることが好ましく、特に６辺以下であることが好ましい。中でも、ワークの平面視形状が多角形状である場合、当該多角形状は、４辺で構成された四角形であることが特に好ましい。
【0028】
また、ワークの平面視形状が多角形状である場合における、当該多角形状を構成する各辺の長さは、いずれも同じ長さであってもよいし、異なる長さであってもよい。ワークの平面視形状が四角形である場合、対向する辺が平行であることが好ましく、中でも長辺と短辺とを有する長方形であることが好ましい。この場合における長辺の長さは、１０ｍｍ以上であることが好ましく、特に４０ｍｍ以上であることが好ましく、さらに８０ｍｍ以上であることが好ましい。また、上記長辺の長さは、１５００ｍｍ以下であることが好ましく、特に８００ｍｍ以下であることが好ましく、さらに５００ｍｍ以下であることが好ましい。一方、上記短辺の長さは、５ｍｍ以上であることが好ましく、特に１０ｍｍ以上であることが好ましく、さらに２０ｍｍ以上であることが好ましい。また、上記短辺の長さは、１０００ｍｍ以下であることが好ましく、特に６００ｍｍ以下であることが好ましく、さらに３５０ｍｍ以下であることが好ましい。
【0029】
また、基板としては、当該粘着シートの粘着剤層を介してワークが固定できるものであれば、特に限定されないが、上記工程中に、加熱処理が行われた場合であっても、変形または外観変化が生じないものが好ましい。また、基板には当該粘着シートの粘着剤層を介してワークが貼合されるが、上記工程中およびワークを剥離する工程において、粘着剤層と基板とは十分に固定されていなくてはならない。例えば、基板の表面が粗いと、基板と粘着剤層との密着性が低下し、工程中に基板から粘着剤層が剥離してしまう不具合が発生することがある。そのため、基板のワーク固定側の面は、平滑であることが好ましい。これらの観点から、基板としては、特にガラス基板が好ましく挙げられる。
【0030】
本実施形態に係る粘着シートでは、当該粘着シートにおける第１の粘着面をガラス板の片面に貼合してなる第１の積層体を１００℃で３００分間加熱した後、第１の積層体の温度を２３℃まで低下させた後における、２３℃におけるガラス板に対する粘着シートの対ガラス粘着力Ｆｇ２が、０．１Ｎ／２５ｍｍ以上、７Ｎ／２５ｍｍ以下である。
【0031】
さらに、本実施形態に係る粘着シートでは、当該粘着シートにおける第２の粘着面を樹脂フィルムの片面に貼合してなる第２の積層体について、１００℃における樹脂フィルムに対する粘着シートの対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ３が、０．０１Ｎ／２５ｍｍ以上、５Ｎ／２５ｍｍ以下である。
【0032】
本実施形態に係る粘着シートでは、上述した対ガラス粘着力Ｆｇ２が上記範囲であるとともに、対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ３が上記範囲であることにより、粘着シートを介してワークを基板に固定した状態で、当該粘着シートが加熱処理を受けた場合であっても、ワークを分離した後における粘着シートを、基板から容易に剥離することができる。しかも、このような効果は、工程中において基板上にワークを良好に保持する効果と、工程完了後において粘着シートからワークを容易に剥離する効果とを損なうことなく達成される。そのため、本実施形態に係る粘着シートによれば、上述した加熱処理を行う場合であっても、工程を良好に行うことができるとともに、基板を良好に再利用することができる。
【0033】
上述した対ガラス粘着力Ｆｇ２が０．１Ｎ／２５ｍｍ未満であると、加熱処理を行った後において、基板から粘着シートの剥がれが生じてしまい、工程を良好に行うことができなくなる。また、上述した対ガラス粘着力Ｆｇ２が７Ｎ／２５ｍｍを超えると、粘着シートの基板からの剥離を良好に行うことが困難となり、基板の再利用ができないものとなる。以上の観点から、上述した対ガラス粘着力Ｆｇ２は、０．１５Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、特に０．２Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましい。また、上述した対ガラス粘着力Ｆｇ２は、６Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、特に５．５Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましい。
【0034】
上述した対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ３が０．０１Ｎ／２５ｍｍ未満であると、加熱処理の際に、ワークの粘着シートからの剥離が生じてしまい、工程を良好に行うことができないものとなる。また、上述した対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ３が５Ｎ／２５ｍｍを超えると、工程完了後にワークを粘着シートから容易に剥離することができないものとなる。以上の観点から、対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ３は、０．１Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、特に０．５Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、さらには０．８Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましい。また、上述した対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ３は、３Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、特に２Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、さらには１．８Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましい。
【0035】
本実施形態に係る粘着シートでは、前述した第１の積層体について、２３℃における前述したガラス板に対する粘着シートの対ガラス粘着力Ｆｇ１が、０．０１Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、特に０．０５Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、さらには０．１Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましい。これにより、粘着シートが基板に対してより良好な粘着性を発揮するものとなり、工程中、基板上に粘着シートを良好に保持し易いものとなる。また、対ガラス粘着力Ｆｇ１は、１０Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、特に７Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、さらには５Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましい。これにより、工程完了後、基板からの粘着シートの剥離をより良好に行うことが可能となる。
【0036】
本実施形態に係る粘着シートでは、前述した第２の積層体について、２３℃における前述した樹脂フィルムに対する粘着シートの対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ１が、０．１Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、特に１Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、さらには２Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましい。これにより、粘着シートがワークに対してより良好な粘着性を発揮するものとなり、工程中、基板上に粘着シートを介してワークを良好に保持し易いものとなる。また、対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ１は、７Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、５Ｎ／２５ｍｍ以下であることがより好ましく、特に４Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、さらには３Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましい。これにより、工程完了後、ワークを粘着シートからより容易に分離し易いものとなる。
【0037】
本実施形態に係る粘着シートでは、後述する通り、第２の粘着剤層が活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成されるものであってもよい。この場合、前述した第２の積層体を構成する第２の粘着剤層に対して活性エネルギー線を照射した後における、２３℃における前述した樹脂フィルムに対する粘着シートの対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ２は、０．０１Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、０．０３Ｎ／２５ｍｍ以上であることがより好ましく、特に０．０５Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、さらには０．０６Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましい。これにより、活性エネルギー線を照射することでワークを粘着シートからより容易に分離することが可能となる。また、対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ２は、１Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、特に０．５Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、さらには０．１Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましい。これにより、活性エネルギー線を照射した後において、ワークが粘着シート上において意図せず移動したり、粘着シートから落下することを抑制し易いものとなる。
【0038】
本実施形態に係る粘着シートでは、前述した第２の積層体を１００℃で３００分間加熱した後、当該第２の積層体の温度を２３℃まで低下させた後における、２３℃における前述した樹脂フィルムに対する粘着シートの対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ４が、０．０１Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、０．１Ｎ／２５ｍｍ以上であることがより好ましく、特に１Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、さらには３Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、４Ｎ／２５ｍｍ以上であることが最も好ましい。また、対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ４は、１０Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、特に８Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、さらには７Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましい。対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ４が０．０１Ｎ／２５ｍｍ以上であることで、加熱処理を行った場合であっても、粘着シートがワークに対して十分な粘着性を発揮するものとなり、工程を良好に行い易いものとなる。対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ４が１０Ｎ／２５ｍｍ以下であることで、加熱処理を行った場合であっても、ワークの粘着シートからの分離がより容易となる。
【0039】
本実施形態に係る粘着シートにおいて、第２の粘着剤層が活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成されるものである場合、前述した第２の積層体を１００℃で３００分間加熱した後、第２の積層体の温度を２３℃まで低下させ、さらに、第２の積層体を構成する第２の粘着剤層に対して活性エネルギー線を照射した後における、２３℃における樹脂フィルムに対する粘着シートの対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ５が、０．０１Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、０．０５Ｎ／２５ｍｍ以上であることがより好ましく、特に０．１Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、さらには０．１５Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましい。これにより、加熱処理を行った場合であっても、活性エネルギー線を照射した後において、ワークが粘着シート上において意図せず移動したり、粘着シートから落下することを抑制し易いものとなる。また、対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ５は、５Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、１Ｎ／２５ｍｍ以下であることがより好ましく、特に０．５Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、さらには０．３Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましい。これにより、加熱処理を行った場合であっても、活性エネルギー線を照射することにより、ワークを粘着シートからより容易に分離することが可能となる。
【0040】
本実施形態に係る粘着シートでは、前述した粘着力Ｆｇ１に対する前述した粘着力Ｆｇ２の比（Ｆｇ２／Ｆｇ１）が、０．９以上であることが好ましく、特に１．１以上であることが好ましく、さらには１．３以上であることが好ましい。また、比（Ｆｇ２／Ｆｇ１）は、５以下であることが好ましく、４以下であることがより好ましく、特に３以下であることが好ましく、さらには２以下であることが好ましい。比（Ｆｇ２／Ｆｇ１）が上記の範囲内であることで、加熱処理を行った場合であっても、粘着力の過度な低下または上昇を防止し、基板とワークとを良好に固定できる。
【0041】
本実施形態に係る粘着シートでは、前述した粘着力Ｆｒ１に対する前述した粘着力Ｆｒ４の比（Ｆｒ４／Ｆｒ１）が、０．９以上であることが好ましく、特に１．１以上であることが好ましく、さらには１．３以上であることが好ましい。また、比（Ｆｒ４／Ｆｒ１）は、５以下であることが好ましく、４以下であることがより好ましく、特に３以下であることが好ましく、さらには２以下であることが好ましい。比（Ｆｒ４／Ｆｒ１）が上記の範囲内であることで、加熱処理を行った場合であっても、粘着力の過度な低下または上昇を防止し、基板とワークとを良好に固定できる。
【0042】
本実施形態に係る粘着シートでは、前述した粘着力Ｆｒ４に対する前述した粘着力Ｆｒ５の比（Ｆｒ５／Ｆｒ４）が、０．００１以上であることが好ましく、特に０．０１以上であることが好ましく、さらには０．０１５以上であることが好ましい。また、比（Ｆｒ５／Ｆｒ４）は、１以下であることが好ましく、０．５以下であることがより好ましく、特に０．１以下であることが好ましく、さらには０．０６以下であることが好ましい。比（Ｆｒ５／Ｆｒ４）が上記の範囲内であることで、加熱処理を経た場合であっても、粘着シートに対して活性エネルギー線を照射した後、粘着シートからワークを分離する際に、基板上に粘着シートを良好に保持しながらワークを容易に分離し易くなる。
【0043】
本実施形態に係る粘着シートでは、前述した粘着力Ｆｇ１に対する前述した粘着力Ｆｒ1の比（Ｆｒ１／Ｆｇ１）が、０．１以上であることが好ましく、特に０．４以上であることが好ましく、さらには０．８以上であることが好ましい。また、比（Ｆｒ１／Ｆｇ１）は、１００以下であることが好ましく、７５以下であることがより好ましく、特に５０以下であることが好ましく、さらには３５以下であることが好ましい。比（Ｆｒ１／Ｆｇ１）が上記の範囲内であることで、基板とワークとを良好に固定できる。
【0044】
本実施形態に係る粘着シートでは、前述した粘着力Ｆｇ１に対する前述した粘着力Ｆｒ２の比（Ｆｒ２／Ｆｇ１）が、０．００１以上であることが好ましく、０．００５以上であることがより好ましく、特に０．０１以上であることが好ましく、さらには０．０２以上であることが好ましい。これにより、粘着シートに対して活性エネルギー線を照射した後、粘着シートからワークを分離する際に、粘着シート上におけるワークの意図しない移動や粘着シートからの落下を抑制しながらも、粘着シートの基板からの剥がし易さを確保し易くなる。また、比（Ｆｒ２／Ｆｇ１）は、１０以下であることが好ましく、特に５以下であることが好ましく、さらには１以下であることが好ましい。これにより、粘着シートに対して活性エネルギー線を照射した後、粘着シートからワークを分離する際に、基板上に粘着シートを良好に保持しながらワークを容易に分離し易くなる。
【0045】
本実施形態に係る粘着シートでは、前述した粘着力Ｆｇ２に対する前述した粘着力Ｆｒ４の比（Ｆｒ４／Ｆｇ２）が、０．１以上であることが好ましく、０．５以上であることがより好ましく、特に１以上であることが好ましく、さらには１．２以上であることが好ましい。また、比（Ｆｒ４／Ｆｇ２）は、１００以下であることが好ましく、７５以下であることがより好ましく、特に５０以下であることが好ましく、さらには３０以下であることが好ましい。比（Ｆｒ４／Ｆｇ２）が上記の範囲内であることで、加熱処理を行った場合であっても、基板とワークとを良好に固定できる。
【0046】
本実施形態に係る粘着シートでは、前述した粘着力Ｆｇ２に対する前述した粘着力Ｆｒ５の比（Ｆｒ５／Ｆｇ２）が、０．００１以上であることが好ましく、０．０１以上であることがより好ましく、特に０．０２以上であることが好ましく、さらには０．０４以上であることが好ましい。加熱処理を経た場合であっても、粘着シートに対して活性エネルギー線を照射した後、粘着シートからワークを分離する際に、粘着シート上におけるワークの意図しない移動や粘着シートからの落下を抑制しながらも、粘着シートの基板からの剥がし易さを確保し易くなる。また、比（Ｆｒ５／Ｆｇ２）は、１２以下であることが好ましく、特に６以下であることが好ましく、さらには２以下であることが好ましい。これにより、加熱処理を経た場合であっても、粘着シートに対して活性エネルギー線を照射した後、粘着シートからワークを分離する際に、基板上に粘着シートを良好に保持しながらワークを容易に分離し易くなる。
【0047】
なお、前述した粘着力Ｆｇ１、粘着力Ｆｇ２、粘着力Ｆｒ１、粘着力Ｆｒ２、粘着力Ｆｒ３、粘着力Ｆｒ４、および粘着力Ｆｒ５は、基本的にはＪＩＳ Ｚ０２３７：２００９に準じた１８０度引き剥がし法により測定した粘着力をいい、これらの測定方法の詳細は、それぞれ後述する試験例に記載の通りである。
【0048】
本実施形態に係る粘着シートの一例としての具体的構成を図１に示す。
図１に示すように、一実施形態に係る粘着シート１は、第１の粘着剤層１１１と、当該第１の粘着剤層１１１の片面側に積層された第２の粘着剤層１１２と、第１の粘着剤層１１１と第２の粘着剤層１１２との間に積層された芯材１１３とを備える。さらに、本実施形態に係る粘着シート１は、第１の粘着剤層１１１における第２の粘着剤層１１２とは反対側に積層された剥離シート１２ａと、第２の粘着剤層１１２における第１の粘着剤層１１１とは反対側に積層された剥離シート１２ｂとを備える。ここで、剥離シート１２ａの剥離面は、第１の粘着面に接し、剥離シート１２ｂの剥離面は、第２の粘着面に接している。なお、本明細書における剥離シートの剥離面とは、剥離シートにおいて剥離性を有する面をいい、剥離処理を施した面および剥離処理を施さなくても剥離性を示す面のいずれをも含むものである。
図１に示すように、一実施形態に係る粘着シート１は、第１の粘着剤層１１１と、当該第１の粘着剤層１１１の片面側に積層された第２の粘着剤層１１２と、第１の粘着剤層１１１と第２の粘着剤層１１２との間に積層された芯材１１３とを備える。さらに、本実施形態に係る粘着シート１は、第１の粘着剤層１１１における第２の粘着剤層１１２とは反対側に積層された剥離シート１２ａと、第２の粘着剤層１１２における第１の粘着剤層１１１とは反対側に積層された剥離シート１２ｂとを備える。ここで、剥離シート１２ａの剥離面は、第１の粘着面に接し、剥離シート１２ｂの剥離面は、第２の粘着面に接している。なお、本明細書における剥離シートの剥離面とは、剥離シートにおいて剥離性を有する面をいい、剥離処理を施した面および剥離処理を施さなくても剥離性を示す面のいずれをも含むものである。
【0049】
１．各部材
１－１．第１の粘着剤層
第１の粘着剤層１１１を構成する粘着剤は、対ガラス粘着力Ｆｇ２および対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ３が、それぞれ前述した範囲となるものである限り、特に限定されない。第１の粘着剤層１１１を構成する粘着剤の種類としては、例えば、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリウレタン系粘着剤、ゴム系粘着剤等のいずれであってもよい。また、当該粘着剤は、エマルション型、溶剤型または無溶剤型のいずれでもよく、架橋タイプまたは非架橋タイプのいずれであってもよい。それらの中でも、上述した粘着力（特に対ガラス粘着力Ｆｇ２）を達成し易いアクリル系粘着剤またはシリコーン系粘着剤が好ましい。
１－１．第１の粘着剤層
第１の粘着剤層１１１を構成する粘着剤は、対ガラス粘着力Ｆｇ２および対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ３が、それぞれ前述した範囲となるものである限り、特に限定されない。第１の粘着剤層１１１を構成する粘着剤の種類としては、例えば、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリウレタン系粘着剤、ゴム系粘着剤等のいずれであってもよい。また、当該粘着剤は、エマルション型、溶剤型または無溶剤型のいずれでもよく、架橋タイプまたは非架橋タイプのいずれであってもよい。それらの中でも、上述した粘着力（特に対ガラス粘着力Ｆｇ２）を達成し易いアクリル系粘着剤またはシリコーン系粘着剤が好ましい。
【0050】
（１）アクリル系粘着剤
第１の粘着剤層１１１を構成するアクリル系粘着剤としては、活性エネルギー線硬化性のものであってもよいし、活性エネルギー線非硬化性のものであってもよい。
第１の粘着剤層１１１を構成するアクリル系粘着剤としては、活性エネルギー線硬化性のものであってもよいし、活性エネルギー線非硬化性のものであってもよい。
【0051】
ここで、後述するように、第２の粘着剤層１１２を構成する粘着剤として活性エネルギー線硬化性の粘着剤を使用する場合には、第２の粘着剤層１１２に活性エネルギー線を照射することにより、第２の粘着剤層１１２側における被着体に対する粘着力を良好に低下させることができる。これにより、工程完了後のワークを粘着シート１から容易に分離し易くなる。このとき、第１の粘着剤層１１１側においては、基板に対する粘着力を保持し、ワークを分離する操作を行ったとしても、粘着シート１が基板から剥がれたり、基板上で粘着シート１が移動しないことが好ましい。すなわち、粘着シート１に対して活性エネルギー線を照射した場合、第２の粘着剤層１１２側の粘着力は低下するものの、第１の粘着剤層１１１側の粘着力は低下しないことが好ましい。この観点からは、第１の粘着剤層１１１を構成するアクリル系粘着剤は、活性エネルギー線非硬化性であることが好ましい。
【0052】
活性エネルギー線非硬化性のアクリル系粘着剤としては、アクリル系共重合体と、架橋剤とを含有する粘着性組成物（以下「粘着性組成物Ｐ１」という場合がある。）から形成された粘着剤（粘着性組成物Ｐ１を架橋してなる粘着剤）であることが好ましい。なお、「重合体」には「共重合体」の概念も含まれるものとする。
【0053】
（１－１）アクリル系共重合体
上記アクリル系共重合体は、官能基含有モノマーから導かれる構成単位と、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーまたはその誘導体から導かれる構成単位とを含むことが好ましい。なお、本明細書において、（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸及びメタクリル酸の両方を意味する。他の類似用語も同様である。
上記アクリル系共重合体は、官能基含有モノマーから導かれる構成単位と、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーまたはその誘導体から導かれる構成単位とを含むことが好ましい。なお、本明細書において、（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸及びメタクリル酸の両方を意味する。他の類似用語も同様である。
【0054】
アクリル系共重合体の構成単位としての官能基含有モノマーは、重合性の二重結合と、ヒドロキシ基、カルボキシ基、アミノ基、置換アミノ基、エポキシ基等の官能基とを分子内に有するモノマーであることが好ましい。官能基含有モノマーが有する官能基は、アクリル系共重合体と架橋剤との反応に用いられ、当該反応が生じると、粘着剤中に架橋構造（三次元網目構造）が形成され、所望の凝集力が達成される。
【0055】
ヒドロキシ基含有モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸３－ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸３－ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸４－ヒドロキシブチル等が挙げられ、これらは単独でまたは２種以上を組み合わせて用いられる。上述した中でも、架橋剤との反応が良好に進行し易いという観点から、（メタ）アクリル酸４－ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシエチルおよび（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシプロピルを使用することが好ましく、特にアクリル酸２－ヒドロキシエチル、アクリル酸２－ヒドロキシプロピルおよびアクリル酸４－ヒドロキシブチルを使用することが好ましい。
【0056】
カルボキシ基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、イタコン酸、シトラコン酸等のエチレン性不飽和カルボン酸が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。上述した中でも、架橋剤との反応が良好に進行し易いという観点から、アクリル酸を使用することが好ましい。
【0057】
アミノ基含有モノマーまたは置換アミノ基含有モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸ｎ－ブチルアミノエチル等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0058】
アクリル系共重合体は、当該重合体を構成するモノマー単位として、上記官能基含有モノマーから導かれる構成単位を、０．１質量％以上含有することが好ましく、０．４質量％以上含有することがより好ましく、特に１質量％以上含有することが好ましく、さらには２質量％以上含有することが好ましい。また、アクリル系共重合体は、当該重合体を構成するモノマー単位として、上記官能基含有モノマーから導かれる構成単位を、１２質量％以下含有することが好ましく、特に８質量％以下含有することが好ましく、さらには５質量％以下含有することが好ましい。アクリル系共重合体が、当該重合体を構成するモノマー単位を上記範囲で含有することにより、所望の凝集力を有し、前述した粘着物性を発揮する粘着剤を形成し易いものとなる。
【0059】
アクリル系共重合体の構成単位としての（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーとしては、アルキル基の炭素数が１～２０の（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーが好ましい。アルキル基は、直鎖状または分岐鎖状であってもよいし、環状構造を有するものであってもよい。
【0060】
上記アルキル基の炭素数が１～２０の（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーとしては、特にアルキル基の炭素数が１～１８である（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル等を使用することが好ましく、特にアクリル酸メチルを使用することが好ましい。これらは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0061】
また、上記アルキル基の炭素数が１～２０の（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーとしては、ホモポリマーとしてのガラス転移温度（Ｔｇ）が－３０℃以下であるもの（以下「低Ｔｇアルキルアクリレート」という場合がある。）を含有することも好ましい。かかる低Ｔｇアルキルアクリレートを構成モノマー単位として含有することにより、得られる粘着剤が好適な粘弾性を発現し易いものとなり、常温環境下だけでなく、粘着剤が高温に曝された場合であっても、所望の粘着力を達成し易いものとなる。
【0062】
低Ｔｇアルキルアクリレートとしては、例えば、アクリル酸ｎ－ブチル（Ｔｇ－５５℃）、アクリル酸ｎ－オクチル（Ｔｇ－６５℃）、アクリル酸イソオクチル（Ｔｇ－５８℃）、アクリル酸２－エチルヘキシル（Ｔｇ－７０℃）、アクリル酸イソノニル（Ｔｇ－５８℃）、アクリル酸イソデシル（Ｔｇ－６０℃）、メタクリル酸イソデシル（Ｔｇ－４１℃）、メタクリル酸ｎ－ラウリル（Ｔｇ－６５℃）、アクリル酸トリデシル（Ｔｇ－５５℃）、メタクリル酸トリデシル（Ｔｇ－４０℃）等が好ましく挙げられる。中でも、低Ｔｇアルキルアクリレートとして、ホモポリマーのＴｇが、－４５℃以下であるものであることがより好ましく、－５０℃以下であるものであることが特に好ましい。具体的には、アクリル酸ｎ－ブチルおよびアクリル酸２－エチルヘキシルが特に好ましい。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0063】
なお、低Ｔｇアルキルアクリレートを２種類以上組み合わせて用いる場合、工程終了後においてワークを基板から容易に剥離できる観点から、使用する低Ｔｇアルキルアクリレートのうち最もＴｇの低いものの含有量が多いことが好ましい。
【0064】
アクリル系共重合体は、当該重合体を構成するモノマー単位として、低Ｔｇアルキルアクリレートを、８０質量％以上含有することが好ましく、８８質量％以上含有することがより好ましく、特に９０質量％以上含有することが好ましく、さらには９５質量％以上含有することが好ましい。また、アクリル系共重合体は、当該重合体を構成するモノマー単位として、低Ｔｇアルキルアクリレートを、９９．９質量％以下含有することが好ましく、特に９９質量％以下含有することが好ましく、さらには９８質量％以下含有することが好ましい。上記低Ｔｇアルキルアクリレートの含有量が、上記範囲であることにより、所望の凝集力を有し、前述した粘着物性を発揮する粘着剤を形成し易いものとなる。
【0065】
アクリル系共重合体は、所望により、当該重合体を構成するモノマー単位として、他のモノマーを含有してもよい。かかるモノマーとしては、例えば、分子内に脂環式構造を有するモノマー（脂環式構造含有モノマー）、Ｎ－アクリロイルモルホリン、Ｎ－ビニル－２－ピロリドン等の非反応性の窒素原子含有モノマー、（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシエチル等の（メタ）アクリル酸アルコキシアルキルエステル、酢酸ビニル、スチレンなどが挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0066】
アクリル系共重合体は、溶液重合法によって得られた溶液重合物であることが好ましい。溶液重合物であることにより高分子量のポリマーが得られやすく、前述した粘着物性を満たし易い粘着剤が得られる。
【0067】
アクリル系共重合体の重合態様は、ランダム共重合体であってもよいし、ブロック共重合体であってもよい。
【0068】
このようにして得られるアクリル系共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１０万以上であることが好ましく、２０万以上であることがより好ましく、特に３０万以上であることが好ましく、さらには４０万以上であることが好ましい。また、当該重量平均分子量（Ｍｗ）は、１５０万以下であることが好ましく、特に１２０万以下であることが好ましく、さらには９０万以下であることがより好ましい。なお、本明細書における重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ法）により測定した標準ポリスチレン換算の値である。
【0069】
（１－２）架橋剤
架橋剤は、当該架橋剤を含有する粘着性組成物Ｐ１の加熱等をトリガーとして、上述したアクリル系共重合体を架橋し、三次元網目構造を形成する。これにより、得られる粘着剤の凝集力が向上し、粘着力がより高いものとなる。
架橋剤は、当該架橋剤を含有する粘着性組成物Ｐ１の加熱等をトリガーとして、上述したアクリル系共重合体を架橋し、三次元網目構造を形成する。これにより、得られる粘着剤の凝集力が向上し、粘着力がより高いものとなる。
【0070】
上記架橋剤としてはアクリル系共重合体が有する官能基と反応するものであればよく、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、アミン系架橋剤、メラミン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、ヒドラジン系架橋剤、アルデヒド系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、金属アルコキシド系架橋剤、金属キレート系架橋剤、金属塩系架橋剤、アンモニウム塩系架橋剤等が挙げられる。ここで、アクリル系共重合体が構成モノマー単位としてヒドロキシ基含有モノマーを含有する場合には、架橋剤としては、ヒドロキシ基との反応性に優れたイソシアネート系架橋剤を使用することが好ましい。なお、架橋剤は、１種を単独で、または２種以上を組み合わせて使用することができる。
【0071】
イソシアネート系架橋剤は、少なくともポリイソシアネート化合物を含むものである。ポリイソシアネート化合物としては、例えば、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等の芳香族ポリイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族ポリイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、水素添加ジフェニルメタンジイソシアネート等の脂環式ポリイソシアネートなど、及びそれらのビウレット体、イソシアヌレート体、さらにはエチレングリコール、プロピレングリコール、ネオペンチルグリコール、トリメチロールプロパン、ヒマシ油等の低分子活性水素含有化合物との反応物であるアダクト体などが挙げられる。中でもヒドロキシ基との反応性の観点から、ヘキサメチレンジイソシアネートを有する脂肪族系イソシアネート、トリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネート等を使用することが好ましい。
【0072】
粘着性組成物Ｐ１中における架橋剤の含有量は、上述したアクリル系共重合体１００質量部に対して、０．０１質量部以上であることが好ましく、０．１質量部以上であることがより好ましく、特に１質量部以上であることが好ましく、さらには２質量部以上であることが好ましい。また、当該含有量は、１０質量部以下であることが好ましく、特に８質量部以下であることが好ましく、さらには７質量部以下であることが好ましい。架橋剤の含有量が上記の範囲にあることで、得られる粘着剤が前述した粘着物性を満たし易いものとなる。
【0073】
（１－３）各種添加剤
粘着性組成物Ｐ１には、所望により、アクリル系粘着剤に通常使用されている各種添加剤、例えばシランカップリング剤、紫外線吸収剤、硬化遅延剤、粘着付与剤、酸化防止剤、光安定剤、軟化剤、充填剤などを添加することができる。
粘着性組成物Ｐ１には、所望により、アクリル系粘着剤に通常使用されている各種添加剤、例えばシランカップリング剤、紫外線吸収剤、硬化遅延剤、粘着付与剤、酸化防止剤、光安定剤、軟化剤、充填剤などを添加することができる。
【0074】
充填剤としては、シリカ、炭酸カルシウム、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、クレー、タルク、二酸化チタン等の無機系微粒子；アクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリエチレン樹脂、エポキシ樹脂等の有機系の透光性微粒子；シリコーン樹脂のような無機と有機の中間的な構造を有するケイ素含有化合物からなる微粒子（例えば、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン社製のトスパールシリーズ）などが挙げられる。中でも、当該充填剤は、得られる粘着剤が前述した粘着物性を発揮し易くなる観点から、アクリル樹脂微粒子および無機と有機の中間的な構造を有するケイ素含有化合物からなる微粒子が好ましく、特に無機と有機の中間的な構造を有するケイ素含有化合物からなる微粒子が好ましい。これらは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0075】
充填剤の粒子形状としては、得られる粘着剤が前述した粘着物性を発揮し易くなる観点から球状の微粒子であることが好ましい。そして、かかる充填剤の平均粒径の下限値は、１μｍ以上であることが好ましく、特に２μｍ以上であることが好ましく、さらには３μｍ以上であることが好ましい。また、かかる充填剤の平均粒径の上限値は、１０μｍ以下であることが好ましく、特に７μｍ以下であることが好ましく、さらには５μｍ以下であることが好ましい。充填剤の平均粒径が上記範囲内であることで、得られる粘着剤が前述した粘着物性を発揮し易くなる。なお、粒子の平均粒径は、ＪＩＳ Ｚ８８２５：２０１３に準拠して、レーザー解析装置等を用いて、算術平均値として測定することができる。
【0076】
粘着性組成物Ｐ１中における充填剤の含有量は、上述したアクリル系共重合体１００質量部に対して、１質量部以上であることが好ましく、特に４質量部以上であることが好ましく、さらには８質量部以上であることが好ましい。また、当該含有量は、３０質量部以下であることが好ましく、特に２０質量部以下であることが好ましく、さらには１２質量部以下であることが好ましい。充填剤の含有量が上記の範囲にあることで、得られる粘着剤が前述した粘着物性を満たし易いものとなる。
【0077】
硬化遅延剤としては、例えば、エチニルアルコール、２－プロピン－１－オール、２－メチル－３－ブチン－２－オール、３－トリメチルシロキシプロピン等のアセチレン化合物、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’－テトラメチルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジメチルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジエチルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジブチルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジブチル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジメチル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’－テトラエチルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジブチル－１，４－ブタンジアミン、２，２’－ビピリジン等のアミン化合物、ジメチルマレート等の１、２－ジエステル系化合物等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0078】
粘着性組成物Ｐ１中における硬化遅延剤の含有量は、アクリル系共重合体１００質量部に対して、０．１質量部以上であることが好ましく、特に１質量部以上であることが好ましく、さらには３質量部以上であることが好ましい。また、当該含有量は、１８質量部以下であることが好ましく、特に１２質量部以下であることが好ましく、さらには６質量部以下であることが好ましい。
【0079】
シランカップリング剤としては、分子内にアルコキシシリル基を少なくとも１個有する有機ケイ素化合物であって、アクリル系共重合体との相溶性がよいものが好ましい。ワークを固定するための基板としてガラス基板を使用する場合には、シランカップリング剤を使用することで、得られる粘着剤が当該基板に対して高い密着性を発揮し易いものとなる。この基板に対する密着性向上に伴い、基板に第１の粘着剤層１１１が密着した状態において、第２の粘着剤層１１２からワークを剥離し易いものとなる。
【0080】
また、シランカップリング剤としては、ビニル基、エポキシ基、スチリル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、アミノ基、ウレイド基、イソシアネート基、イソシアヌレート基、メルカプト基、メチル基およびチオール基から選択される少なくとも１種の官能基を有するものを使用することが好ましい。これらの中でも、密着性向上の観点からは、エポキシ基およびメルカプト基の少なくとも１種の官能基を含有するシランカップリング剤を使用することが好ましい。
【0081】
シランカップリング剤の好ましい例としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の重合性不飽和基含有ケイ素化合物、３－グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、２－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、８－グリシドキシオクチルトリメトキシシラン等のエポキシ構造を有するケイ素化合物、３－メルカプトプロピルトリメトキシシラン、３－メルカプトプロピルトリエトキシシラン、３－メルカプトプロピルジメトキシメチルシラン等のメルカプト基含有ケイ素化合物、３－アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ－（２－アミノエチル）－３－アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ－（２－アミノエチル）－３－アミノプロピルメチルジメトキシシラン等のアミノ基含有ケイ素化合物、３－クロロプロピルトリメトキシシラン、３－イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、あるいはこれらの少なくとも１つと、メチルトリエトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、エチルトリメトキシシラン等のアルキル基含有ケイ素化合物との縮合物などが挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0082】
粘着性組成物Ｐ１中におけるシランカップリング剤の含有量は、アクリル系共重合体１００質量部に対して、０．０１質量部以上であることが好ましく、特に０．０５質量部以上であることが好ましく、さらには０．１質量部以上であることが好ましい。また、当該含有量は、１質量部以下であることが好ましく、特に０．８質量部以下であることが好ましく、さらには０．６質量部以下であることが好ましい。
【0083】
（１－４）粘着性組成物Ｐ１の製造
粘着性組成物Ｐ１は、アクリル系共重合体と、架橋剤と、所望によりそのほかの添加剤とを混合することで製造することができる。また、粘着性組成物Ｐ１には所望により希釈溶剤を添加して十分に混合することにより、溶剤で希釈された粘着性組成物Ｐ１（塗布溶液）としてもよい。
粘着性組成物Ｐ１は、アクリル系共重合体と、架橋剤と、所望によりそのほかの添加剤とを混合することで製造することができる。また、粘着性組成物Ｐ１には所望により希釈溶剤を添加して十分に混合することにより、溶剤で希釈された粘着性組成物Ｐ１（塗布溶液）としてもよい。
【0084】
なお、上記各成分のいずれかにおいて、固体状のものを用いる場合、あるいは、希釈されていない状態で他の成分と混合した際に析出を生じる場合には、その成分を単独で予め希釈溶媒に溶解もしくは希釈してから、その他の成分と混合してもよい。
【0085】
上記希釈溶剤としては、例えば、ヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素、塩化メチレン、塩化エチレン等のハロゲン化炭化水素、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、１－メトキシ－２－プロパノール等のアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、２－ペンタノン、イソホロン、シクロヘキサノン等のケトン、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル、エチルセロソルブ等のセロソルブ系溶剤などが用いられる。
【0086】
このようにして調製された塗布溶液の濃度・粘度としては、コーティング可能な範囲であればよく、特に制限されず、状況に応じて適宜選定することができる。例えば、粘着性組成物Ｐ１の濃度が１０～６０質量％となるように希釈する。なお、塗布溶液を得るに際して、希釈溶剤等の添加は必要条件ではなく、粘着性組成物Ｐ１がコーティング可能な粘度等であれば、希釈溶剤を添加しなくてもよい。
【0087】
（１－５）第１の粘着剤層の形成
第１の粘着剤層１１１は、塗布した粘着性組成物Ｐ１を架橋することにより形成することができる。粘着性組成物Ｐ１の架橋は、加熱処理により行うことが好ましい。なお、この加熱処理は、粘着性組成物Ｐ１の塗布後の乾燥処理で兼ねることもできる。
第１の粘着剤層１１１は、塗布した粘着性組成物Ｐ１を架橋することにより形成することができる。粘着性組成物Ｐ１の架橋は、加熱処理により行うことが好ましい。なお、この加熱処理は、粘着性組成物Ｐ１の塗布後の乾燥処理で兼ねることもできる。
【0088】
加熱処理の加熱温度は、５０～１５０℃であることが好ましい。また、加熱時間は、１０秒～１０分であることが好ましい。また、加熱処理後、常温（例えば、２３℃、５０％ＲＨ）で１～２週間程度の養生期間を設けることも好ましい。
【0089】
上記の加熱処理（及び養生）により、架橋剤を介してアクリル系共重合体が良好に架橋される。
【0090】
（１－６）第１の粘着剤層の厚さ
第１の粘着剤層１１１がアクリル系粘着剤から構成される場合、当該第１の粘着剤層１１１の厚さ（ＪＩＳ Ｋ７１３０：１９９９に準じて測定した値）は、下限値として５μｍ以上であることが好ましく、特に１０μｍ以上であることが好ましく、さらには１５μｍ以上であることが好ましい。第１の粘着剤層１１１の厚さの下限値が上記であると、粘着力がより優れたものとなる。また、上述した第１の粘着剤層１１１の厚さは、上限値として５０μｍ以下であることが好ましく、特に４０μｍ以下であることが好ましく、さらには３０μｍ以下であることが好ましい。第１の粘着剤層１１１の厚さの上限値が上記であると、易剥離性がより優れたものとなる。なお、アクリル系粘着剤から構成される第１の粘着剤層１１１は単層で形成してもよいし、複数層を積層して形成することもできる。
第１の粘着剤層１１１がアクリル系粘着剤から構成される場合、当該第１の粘着剤層１１１の厚さ（ＪＩＳ Ｋ７１３０：１９９９に準じて測定した値）は、下限値として５μｍ以上であることが好ましく、特に１０μｍ以上であることが好ましく、さらには１５μｍ以上であることが好ましい。第１の粘着剤層１１１の厚さの下限値が上記であると、粘着力がより優れたものとなる。また、上述した第１の粘着剤層１１１の厚さは、上限値として５０μｍ以下であることが好ましく、特に４０μｍ以下であることが好ましく、さらには３０μｍ以下であることが好ましい。第１の粘着剤層１１１の厚さの上限値が上記であると、易剥離性がより優れたものとなる。なお、アクリル系粘着剤から構成される第１の粘着剤層１１１は単層で形成してもよいし、複数層を積層して形成することもできる。
【0091】
（２）シリコーン系粘着剤
シリコーン系粘着剤は、オルガノポリシロキサン、特に付加型オルガノポリシロキサン（の硬化物）を含有するものであることが好ましい。かかるシリコーン系粘着剤は、前述した粘着力を満たし易く、また、加工性にも優れる。
シリコーン系粘着剤は、オルガノポリシロキサン、特に付加型オルガノポリシロキサン（の硬化物）を含有するものであることが好ましい。かかるシリコーン系粘着剤は、前述した粘着力を満たし易く、また、加工性にも優れる。
【0092】
付加型オルガノポリシロキサンは、シロキサン結合を主骨格としアルケニル基を有するオルガノポリシロキサンとオルガノハイドロジェンポリシロキサンとを反応させて得られるものであることが好ましい。
【0093】
シロキサン結合を主骨格としアルケニル基を有するオルガノポリシロキサンは、次の平均単位式（１）で示される化合物であって、かつ分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有する化合物であることが好ましい。
Ｒ１ ａＳｉＯ（４－ａ）／２・・・（１）
（式中、Ｒ１は互いに同一又は異種の炭素数１～１２、好ましくは１～８の非置換又は置換の１価炭化水素基であり、ａは１．５～２．８、好ましくは１．８～２．５、より好ましくは１．９５～２．０５の範囲の正数である。）
Ｒ１ ａＳｉＯ（４－ａ）／２・・・（１）
（式中、Ｒ１は互いに同一又は異種の炭素数１～１２、好ましくは１～８の非置換又は置換の１価炭化水素基であり、ａは１．５～２．８、好ましくは１．８～２．５、より好ましくは１．９５～２．０５の範囲の正数である。）
【0094】
上記Ｒ１で示される珪素原子に結合した非置換又は置換の１価炭化水素基としては、例えば、ビニル基、アリル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、ヘキセニル基、シクロヘキセニル基、オクテニル基等のアルケニル基、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等のアルキル基、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基等のアリール基、ベンジル基、フェニルエチル基、フェニルプロピル基等のアラルキル基や、これらの基の水素原子の一部又は全部をフッ素、臭素、塩素等のハロゲン原子、シアノ基等で置換したもの、例えばクロロメチル基、クロロプロピル基、ブロモエチル基、トリフルオロプロピル基、シアノエチル基等が挙げられる。アルケニル基としては、硬化時間の短さおよび生産性の点から、ビニル基が好ましい。
【0095】
オルガノハイドロジェンポリシロキサンは、分子中にＳｉＨ基を有する。上記オルガノポリシロキサンのアルケニル基と、オルガノハイドロジェンポリシロキサンのＳｉＨ基とが反応することにより、両者は付加反応し、付加型オルガノポリシロキサンが得られる。
【0096】
付加型オルガノポリシロキサンは、白金触媒の存在下で良好に硬化するため、上記シリコーン系粘着剤は、白金触媒を含有することが好ましい。白金触媒としては、白金黒、塩化第２白金、塩化白金酸、塩化白金酸と１価アルコールとの反応物、塩化白金酸とオレフェン類との錯体、白金ビスアセトアセテート等を例示することができる。
【0097】
上記シリコーン系粘着剤中における白金触媒の含有量は、付加型オルガノポリシロキサン１００質量部に対して、０．０１質量部以上であることが好ましく、特に０．０５質量部以上であることが好ましい。また、上記含有量は、付加型オルガノポリシロキサン１００質量部に対して、３質量部以下であることが好ましく、特に２質量部以下であることが好ましい。白金触媒の含有量が上記の範囲内にあることにより、塗工を妨げることなく、付加型オルガノポリシロキサンを硬化させ、第１の粘着剤層１１１を形成することができる。
【0098】
付加型オルガノポリシロキサンには、粘着力を高める観点から、分子中に３官能性又は４官能性のシロキサン単位を含むオルガノポリシロキサン（シリコーンレジン）を含有させることができる。
【0099】
上記シリコーンレジンを使用する場合、上記シリコーン系粘着剤中におけるシリコーンレジンの含有量は、付加型オルガノポリシロキサン１００質量部に対して、０質量部超であることが好ましく、５質量部以上であることが好ましく、特に１０質量部以上であることが好ましく、さらには１５質量部以上であることが好ましい。また、上記含有量は、付加型オルガノポリシロキサン１００質量部に対して、１００質量部以下であることが好ましく、特に５０質量部以下であることが好ましく、さらには３０質量部以下であることが好ましい。シリコーンレジンの含有量が上記の範囲内にあることにより、優れた粘着性と優れた易剥離性とを両立し易いものとなる。
【0100】
第１の粘着剤層１１１を構成するためのシリコーン系粘着剤には、所望により、シリコーン系粘着剤に通常使用されている各種添加剤、例えばシランカップリング剤、紫外線吸収剤、硬化遅延剤、粘着付与剤、酸化防止剤、光安定剤、軟化剤、充填剤などを添加することができる。これらの具体例および添加剤を使用する際の添加量については、前述したものと同様である。
【0101】
シリコーン系粘着剤によって第１の粘着剤層１１１を形成するには、例えば、付加型オルガノポリシロキサンと、所望により３官能性又は４官能性のシロキサン単位を含むオルガノポリシロキサンと、白金触媒とを、メチルエチルケトン、トルエン、酢酸エチル、キシレン等の溶媒で１０～６０質量％程度に希釈した塗布溶液を、塗布対象（例えば、芯材１１３や、剥離シート１２ａの剥離面）に塗布し、加熱して硬化させればよい。加熱温度は、９０～１８０℃程度であることが好ましく、加熱時間は１～５分間程度であることが好ましい。
【0102】
第１の粘着剤層１１１がシリコーン系粘着剤から構成される場合、当該第１の粘着剤層１１１の厚さは、下限値が５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であることがより好ましく、特に１５μｍ以上であることが好ましく、さらには２０μｍ以上であることが好ましい。第１の粘着剤層１１１の厚さの下限値が上記であると、粘着力がより優れたものとなる。一方、上述した第１の粘着剤層１１１の厚さは、上限値が１００μｍ以下であることが好ましく、７０μｍ以下であることが好ましく、特に５０μｍ以下であることが好ましく、さらには３０μｍ以下であることが好ましい。第１の粘着剤層１１１の厚さの上限値が上記であると、易剥離性がより優れたものとなる。なお、シリコーン系粘着剤から構成される第１の粘着剤層１１１は単層で形成してもよいし、複数層を積層して形成することもできる。
【0103】
１－２．第２の粘着剤層
第２の粘着剤層１１２を構成する粘着剤は、第１の粘着剤層１１１を構成する粘着剤とは異なる粘着剤であるとともに、対ガラス粘着力Ｆｇ２および対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ３が、それぞれ前述した範囲となるものである限り、特に限定されない。上記粘着剤の種類としては、例えば、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリウレタン系粘着剤、ゴム系粘着剤等のいずれであってもよい。また、当該粘着剤は、エマルション型、溶剤型または無溶剤型のいずれでもよく、架橋タイプまたは非架橋タイプのいずれであってもよい。それらの中でも、上述した粘着力を達成し易いアクリル系粘着剤またはシリコーン系粘着剤が好ましい。
第２の粘着剤層１１２を構成する粘着剤は、第１の粘着剤層１１１を構成する粘着剤とは異なる粘着剤であるとともに、対ガラス粘着力Ｆｇ２および対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ３が、それぞれ前述した範囲となるものである限り、特に限定されない。上記粘着剤の種類としては、例えば、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリウレタン系粘着剤、ゴム系粘着剤等のいずれであってもよい。また、当該粘着剤は、エマルション型、溶剤型または無溶剤型のいずれでもよく、架橋タイプまたは非架橋タイプのいずれであってもよい。それらの中でも、上述した粘着力を達成し易いアクリル系粘着剤またはシリコーン系粘着剤が好ましい。
【0104】
（１）アクリル系粘着剤
第２の粘着剤層１１２を構成するアクリル系粘着剤としては、活性エネルギー線非硬化性のものであってもよいものの、活性エネルギー線硬化性のものであることが好ましい。第２の粘着剤層１１２が、活性エネルギー線硬化性のアクリル系粘着剤から構成されたものであることで、工程完了後のワークを粘着シートから分離する際に、活性エネルギー線の照射によりワークに対する粘着力を低下させ、分離をより容易に行うことが可能となる。
第２の粘着剤層１１２を構成するアクリル系粘着剤としては、活性エネルギー線非硬化性のものであってもよいものの、活性エネルギー線硬化性のものであることが好ましい。第２の粘着剤層１１２が、活性エネルギー線硬化性のアクリル系粘着剤から構成されたものであることで、工程完了後のワークを粘着シートから分離する際に、活性エネルギー線の照射によりワークに対する粘着力を低下させ、分離をより容易に行うことが可能となる。
【0105】
上述した活性エネルギー線硬化性のアクリル系粘着剤としては、活性エネルギー線硬化性を有するポリマー（活性エネルギー線硬化性ポリマー）を主成分とするものであってもよいし、活性エネルギー線硬化性を有しないポリマー（活性エネルギー線非硬化性ポリマー）と、少なくとも１つ以上の活性エネルギー線硬化性基を有するモノマーおよび／またはオリゴマーとの混合物を主成分とするものであってもよい。
【0106】
中でも、本実施形態における第２の粘着剤層１１２を構成する活性エネルギー線硬化性のアクリル系粘着剤は、前述した粘着力（特に対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ３）を達成し易いという観点から、活性エネルギー線硬化性ポリマーを主成分とするものであることが好ましい。特に、当該粘着剤は、活性エネルギー線硬化性ポリマーとしての、側鎖に活性エネルギー線硬化性を有する官能基（活性エネルギー線硬化性基）が導入された（メタ）アクリル酸エステル重合体（以下「活性エネルギー線硬化性重合体」という場合がある。）と、架橋剤とを含有する粘着性組成物（以下「粘着性組成物Ｐ２」という場合がある。）から形成された粘着剤（粘着性組成物Ｐ２を架橋してなる粘着剤）であることが好ましい。
【0107】
（１－１）活性エネルギー線硬化性重合体
活性エネルギー線硬化性重合体は、官能基含有モノマー単位を有するアクリル系共重合体と、その官能基に結合する官能基を有する不飽和基含有化合物とを反応させて得られるものであることが好ましい。
活性エネルギー線硬化性重合体は、官能基含有モノマー単位を有するアクリル系共重合体と、その官能基に結合する官能基を有する不飽和基含有化合物とを反応させて得られるものであることが好ましい。
【0108】
上記アクリル系共重合体は、官能基含有モノマーから導かれる構成単位と、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーまたはその誘導体から導かれる構成単位とを含むことが好ましい。官能基含有モノマーが有する官能基は、上述の通り、不飽和基含有化合物との反応に用いられ、さらには架橋剤との反応にも用いられるものとなる。その結果、第２の粘着剤１１２中に架橋構造（三次元網目構造）が形成され、所望の凝集力が達成される。
【0109】
第２の粘着剤層１１２に係るアクリル系共重合体の構成単位としての官能基含有モノマーは、重合性の二重結合と、ヒドロキシ基、カルボキシ基、アミノ基、置換アミノ基、エポキシ基等の官能基とを分子内に有するモノマーであることが好ましい。官能基含有モノマーが有する官能基は、アクリル系共重合体と架橋剤との反応に用いられ、当該反応が生じると、粘着剤中に架橋構造（三次元網目構造）が形成され、所望の凝集力が達成される。
【0110】
ヒドロキシ基含有モノマーとしては、第１の粘着剤層１１１に係るアクリル系共重合体の構成単位として前述したヒドロキシ基含有モノマーと同様のものが使用できる。第２の粘着剤層１１２に係るアクリル系共重合体においては、前述したヒドロキシ基含有モノマーの中でも、架橋剤との反応が良好に進行し易いという観点から、（メタ）アクリル酸４－ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシエチルおよび（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシプロピルを使用することが好ましく、特にアクリル酸４－ヒドロキシブチルを使用することが好ましい。
【0111】
また、カルボキシ基含有モノマー、アミノ基含有モノマーおよび置換アミノ基含有モノマーについては、第１の粘着剤層１１１に係るアクリル系共重合体の構成単位として前述したモノマーと同様のものが使用できる。
【0112】
アクリル系共重合体は、当該重合体を構成するモノマー単位として、上記官能基含有モノマーから導かれる構成単位を、５質量％以上含有することが好ましく、１０質量％以上含有することがより好ましく、特に２０質量％以上含有することが好ましく、さらには２６質量％以上含有することが好ましい。また、アクリル系共重合体は、当該重合体を構成するモノマー単位として、上記官能基含有モノマーから導かれる構成単位を、５０質量％以下含有することが好ましく、特に４０質量％以下含有することが好ましく、さらには３５質量％以下含有することが好ましい。アクリル系共重合体が、当該重合体を構成するモノマー単位を上記範囲で含有することにより、所望の凝集力を有し、前述した粘着物性を発揮する粘着剤を形成し易いものとなる。
【0113】
アクリル系共重合体の構成単位としての（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーとしては、アルキル基の炭素数が１～２０の（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーが好ましい。アルキル基は、直鎖状または分岐鎖状であってもよいし、環状構造を有するものであってもよい。当該アルキル基の炭素数が１～２０の（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーについても、第１の粘着剤層１１１に係るアクリル系共重合体の構成単位として前述したモノマーと同様のものが使用できる。
【0114】
また、上記アルキル基の炭素数が１～２０の（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーとしては、低Ｔｇアルキルアクリレートを含有することも好ましい。かかる低Ｔｇアルキルアクリレートを構成モノマー単位として含有することにより、得られる粘着剤が好適な粘弾性を発現し易いものとなり、常温環境下だけでなく、粘着剤が高温に曝された場合であっても、所望の粘着力を達成し易いものとなる。当該低Ｔｇアルキルアクリレートについても、第１の粘着剤層１１１に係るアクリル系共重合体の構成単位として前述したモノマーと同様のものが使用できる。第２の粘着剤層１１２に係るアクリル系共重合体においても、第１の粘着剤層１１１に係るアクリル系共重合体と同時に、低Ｔｇアルキルアクリレートとして、ホモポリマーのＴｇが、－４５℃以下であるものを使用することが好ましく、特に－５０℃以下であるものを使用することが好ましい。具体的には、アクリル酸ｎ－ブチルおよびアクリル酸２－エチルヘキシルを使用することが好ましい。
【0115】
なお、低Ｔｇアルキルアクリレートを２種類以上組み合わせて用いる場合、工程終了後においてワークを基板から容易に剥離できる観点から、使用する低Ｔｇアルキルアクリレートのうち最もＴｇの低いものの含有量が多いことが好ましい。
【0116】
アクリル系共重合体は、当該重合体を構成するモノマー単位として、低Ｔｇアルキルアクリレートを、３５質量％以上含有することが好ましく、特に４５質量％以上含有することが好ましく、さらには５５質量％以上含有することが好ましい。また、アクリル系共重合体は、当該重合体を構成するモノマー単位として、低Ｔｇアルキルアクリレートを、９０質量％以下含有することが好ましく、特に８０質量％以下含有することが好ましく、さらには７０質量％以下含有することが好ましい。
【0117】
また、第２の粘着剤層１１２に係るアクリル系共重合体は、当該重合体を構成するモノマー単位として、窒素原子含有モノマーを含有することも好ましい。窒素原子含有モノマーを含有することにより、ガラス等の被着体（基板）への密着性を向上させることができる。窒素原子含有モノマーとしては、アミノ基を有するモノマー、アミド基を有するモノマー、窒素含有複素環を有するモノマーなどが挙げられ、中でも、窒素含有複素環を有するモノマーが好ましい。また、構成される粘着剤の高次構造中で上記窒素原子含有モノマー由来部分の自由度を高める観点から、当該窒素原子含有モノマーは、アクリル系共重合体を形成するための重合に使用される１つの重合性基以外に反応性不飽和二重結合基を含有しないことが好ましい。
【0118】
窒素含有複素環を有するモノマーとしては、例えば、Ｎ－（メタ）アクリロイルモルホリン、Ｎ－ビニル－２－ピロリドン、Ｎ－（メタ）アクリロイルピロリドン、Ｎ－（メタ）アクリロイルピペリジン、Ｎ－（メタ）アクリロイルピロリジン、Ｎ－（メタ）アクリロイルアジリジン、アジリジニルエチル（メタ）アクリレート、２－ビニルピリジン、４－ビニルピリジン、２－ビニルピラジン、１－ビニルイミダゾール、Ｎ－ビニルカルバゾール、Ｎ－ビニルフタルイミド等が挙げられ、中でも、より優れた粘着力を発揮するＮ－（メタ）アクリロイルモルホリンが好ましく、特にＮ－アクリロイルモルホリンが好ましい。
【0119】
なお、窒素原子含有モノマーとして、例えば、（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ｔｅｒｔ－ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－エチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－イソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－フェニル（メタ）アクリルアミド、ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ビニルカプロラクタム、（メタ）アクリル酸モノメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸モノエチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸モノメチルアミノプロピル、（メタ）アクリル酸モノエチルアミノプロピル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチル等を使用することもできる。
【0120】
以上の窒素原子含有モノマーは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0121】
第２の粘着剤層１１２に係るアクリル系共重合体は、ガラス等の被着体への密着性を向上させる観点から、当該重合体を構成するモノマー単位として、窒素原子含有モノマーを１質量％以上含有することが好ましく、５質量％以上含有することがより好ましく、さらには８質量％以上含有することが特に好ましい。また、窒素原子含有モノマーの含有量は、他の成分の配合量を確保する観点から、２０質量％以下であることが好ましく、１６質量％以下であることがより好ましく、１２質量％以下であることが特に好ましい。
【0122】
第２の粘着剤層１１２を構成するためのアクリル系共重合体は、所望により、当該重合体を構成するモノマー単位として、他のモノマーを含有してもよい。かかるモノマーとしては、例えば、分子内に脂環式構造を有するモノマー（脂環式構造含有モノマー）、（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシエチル等の（メタ）アクリル酸アルコキシアルキルエステル、酢酸ビニル、スチレンなどが挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0123】
また、第２の粘着剤層１１２を構成するためのアクリル系粘着剤において、アクリル系共重合体は、第１の粘着剤層１１１に係るアクリル系共重合体と同様に、溶液重合法によって得られた溶液重合物であることが好ましく、また、アクリル系共重合体の重合態様は、ランダム共重合体であってもよいし、ブロック共重合体であってもよい。
【0124】
不飽和基含有化合物としては、アクリル系共重合体が有する官能基含有モノマー単位の官能基と反応することができる官能基を有するものであれば特に限定されない。不飽和基含有化合物が有する官能基は、アクリル系共重合体が有する官能基の種類に応じて適宜選択することができる。例えば、アクリル系共重合体が有する官能基がヒドロキシ基、アミノ基または置換アミノ基の場合、不飽和基含有化合物が有する官能基としてはイソシアネート基またはエポキシ基が好ましく、アクリル系共重合体が有する官能基がエポキシ基の場合、不飽和基含有化合物が有する官能基としてはアミノ基、カルボキシ基またはアジリジニル基が好ましい。
【0125】
また上記不飽和基含有化合物には、活性エネルギー線重合性の炭素－炭素二重結合が、１分子中に少なくとも１個含まれることが好ましく、特に１～６個含まれることが好ましく、さらには１～４個含まれることが好ましい。このような不飽和基含有化合物の具体例としては、例えば、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、メタ－イソプロペニル－α，α－ジメチルベンジルイソシアネート、メタクリロイルイソシアネート、アリルイソシアネート、１，１－（ビスアクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネート；ジイソシアネート化合物またはポリイソシアネート化合物と、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとの反応により得られるアクリロイルモノイソシアネート化合物；ジイソシアネート化合物またはポリイソシアネート化合物と、ポリオール化合物と、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとの反応により得られるアクリロイルモノイソシアネート化合物；グリシジル（メタ）アクリレート；（メタ）アクリル酸、２－（１－アジリジニル）エチル（メタ）アクリレート、２－ビニル－２－オキサゾリン、２－イソプロペニル－２－オキサゾリン等が挙げられる。
【0126】
上記不飽和基含有化合物は、上記アクリル系共重合体の官能基含有モノマーモル数に対して、５０モル％以上の割合で用いられることが好ましく、６０モル％以上の割合で用いられることがより好ましく、特に７０モル％以上の割合で用いられることが好ましく、さらには８０モル％以上の割合で用いられることが好ましく、８８モル％以上の割合で用いられることが最も好ましい。また、上記不飽和基含有化合物は、上記アクリル系共重合体の官能基含有モノマーモル数に対して、９９モル％以下の割合で用いられることが好ましく、特に９５モル％以下の割合で用いられることが好ましく、さらには９２モル％以下の割合で用いられることが好ましい。
【0127】
このような不飽和基含有化合物が有する官能基に対し、前述したアクリル系共重合体が有する官能基を反応させることにより、活性エネルギー線硬化性重合体を得ることができる。
【0128】
アクリル系共重合体と不飽和基含有化合物との反応においては、アクリル系共重合体が有する官能基と不飽和基含有化合物が有する官能基との組合せに応じて、反応の温度、圧力、溶媒、時間、触媒の有無、触媒の種類を適宜選択することができる。これにより、アクリル系共重合体中に存在する官能基と、不飽和基含有化合物中の官能基とが反応し、不飽和基がアクリル系共重合体中の側鎖に導入され、活性エネルギー線硬化性重合体が得られる。
【0129】
このようにして得られる活性エネルギー線硬化性重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１０万以上であることが好ましく、２０万以上であることがより好ましく、特に４０万以上であることが好ましく、さらには６０万以上であることが好ましい。また、当該重量平均分子量（Ｍｗ）は、１５０万以下であることが好ましく、特に１２０万以下であることが好ましく、さらには９０万以下であることがより好ましい。当該重量平均分子量（Ｍｗ）上記範囲内であれば、得られる粘着剤は、前述した粘着物性を満たし易いものとなる。
【0130】
（１－２）架橋剤
第２の粘着剤層１１２を構成するためのアクリル系粘着剤において、架橋剤としては、活性エネルギー線硬化性重合体が有する官能基と反応するものであればよく、その具体例としては、第１の粘着剤層１１１を構成するためのアクリル系粘着剤に使用される架橋剤と同様のものが挙げられる。
第２の粘着剤層１１２を構成するためのアクリル系粘着剤において、架橋剤としては、活性エネルギー線硬化性重合体が有する官能基と反応するものであればよく、その具体例としては、第１の粘着剤層１１１を構成するためのアクリル系粘着剤に使用される架橋剤と同様のものが挙げられる。
【0131】
粘着性組成物Ｐ２中における架橋剤の含有量は、活性エネルギー線硬化性重合体１００質量部に対して、０．０１質量部以上であることが好ましく、特に０．１質量部以上であることが好ましく、さらには０．３質量部以上であることが好ましい。また、当該含有量は、１０質量部以下であることが好ましく、５質量部以下であることがより好ましく、特に２質量部以下であることが好ましく、さらには０．７質量部以下であることが好ましい。架橋剤の含有量が上記の範囲にあることで、得られる粘着剤の凝集力が適度に高いものとなり、前述した粘着物性を満たし易いものとなる。
【0132】
（１－３）光重合開始剤
第２の粘着剤層１１２を構成するためのアクリル系粘着剤において、当該粘着剤を硬化させるための活性エネルギー線として紫外線を用いる場合には、粘着性組成物Ｐ２が光重合開始剤を含有することが好ましい。これにより、重合硬化時間および光線照射量を少なくすることができる。
第２の粘着剤層１１２を構成するためのアクリル系粘着剤において、当該粘着剤を硬化させるための活性エネルギー線として紫外線を用いる場合には、粘着性組成物Ｐ２が光重合開始剤を含有することが好ましい。これにより、重合硬化時間および光線照射量を少なくすることができる。
【0133】
光重合開始剤としては、具体的には、ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾイン安息香酸、ベンゾイン安息香酸メチル、ベンゾインジメチルケタール、２，４－ジエチルチオキサンソン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ベンジル、ジベンジル、ジアセチル、β－クロールアンスラキノン、（２，４，６－トリメチルベンジルジフェニル）フォスフィンオキサイド、２－ベンゾチアゾール－Ｎ，Ｎ－ジエチルジチオカルバメート、オリゴ｛２－ヒドロキシ－２－メチル－１－［４－（１－プロペニル）フェニル］プロパノン｝、２，２－ジメトキシ－１，２－ジフェニルエタン－１－オン、２－ヒドロキシ－１－｛４－［４－（２－ヒドロキシ－２－メチル－プロピオニル）－ベンジル］フェニル｝－２－メチル－プロパン－１－オンなどが挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【0134】
粘着性組成物Ｐ２中における光重合開始剤の含有量は、活性エネルギー線硬化性重合体１００質量部に対して、０．４質量部以上であることが好ましく、特に０．８質量部以上であることが好ましく、さらには１．２質量部以上であることが好ましい。一方、当該含有量は、１０質量部以下であることが好ましく、特に６質量部以下であることが好ましく、さらには４質量部以下であることが好ましい。光重合開始剤の含有量が上記範囲であることで、前述した粘着物性を満たし易いものとなるほか、重合硬化時間および光線照射量を効果的に少なくすることができる。
【0135】
（１－４）各種添加剤
粘着性組成物Ｐ２には、所望により、活性エネルギー線硬化性粘着剤に通常使用されている各種添加剤、例えばシランカップリング剤、紫外線吸収剤、硬化遅延剤、粘着付与剤、酸化防止剤、光安定剤、軟化剤、充填剤などを添加することができる。これらの具体例については、第１の粘着剤層１１１について前述したものと同様である。また、これらの添加剤を使用する際の添加量についても、第１の粘着剤層１１１について前述した添加量と同様である。
粘着性組成物Ｐ２には、所望により、活性エネルギー線硬化性粘着剤に通常使用されている各種添加剤、例えばシランカップリング剤、紫外線吸収剤、硬化遅延剤、粘着付与剤、酸化防止剤、光安定剤、軟化剤、充填剤などを添加することができる。これらの具体例については、第１の粘着剤層１１１について前述したものと同様である。また、これらの添加剤を使用する際の添加量についても、第１の粘着剤層１１１について前述した添加量と同様である。
【0136】
（１－５）粘着性組成物Ｐ２の製造
粘着性組成物Ｐ２は、活性エネルギー線硬化性重合体を製造し、得られた活性エネルギー線硬化性重合体と、架橋剤と、所望により光重合開始剤およびそのほかの添加剤を混合することで製造することができる。また、粘着性組成物Ｐ２には所望により希釈溶剤を添加して十分に混合することにより、溶剤で希釈された粘着性組成物Ｐ（塗布溶液）としてもよい。
粘着性組成物Ｐ２は、活性エネルギー線硬化性重合体を製造し、得られた活性エネルギー線硬化性重合体と、架橋剤と、所望により光重合開始剤およびそのほかの添加剤を混合することで製造することができる。また、粘着性組成物Ｐ２には所望により希釈溶剤を添加して十分に混合することにより、溶剤で希釈された粘着性組成物Ｐ（塗布溶液）としてもよい。
【0137】
なお、上記各成分のいずれかにおいて、固体状のものを用いる場合、あるいは、希釈されていない状態で他の成分と混合した際に析出を生じる場合には、その成分を単独で予め希釈溶媒に溶解もしくは希釈してから、その他の成分と混合してもよい。
【0138】
上記希釈溶剤の好ましい例は、第１の粘着剤層１１１について前述した希釈溶剤と同様である。また、粘着性組成物Ｐ２の塗布溶液の濃度・粘度の好ましい範囲は、粘着性組成物Ｐ１についての濃度・粘度と同様である。
【0139】
（１－６）第２の粘着剤層の形成
第２の粘着剤層１１２は、塗布した粘着性組成物Ｐ２を架橋することにより形成することができる。粘着性組成物Ｐ２の架橋は、加熱処理により行うことが好ましい。なお、この加熱処理は、粘着性組成物Ｐ２の塗布後の乾燥処理で兼ねることもできる。当該の加熱処理の加熱温度および加熱時間は、それぞれ粘着性組成物Ｐ１についての加熱処理と同様とすることができる。また、加熱処理後、常温（例えば、２３℃、５０％ＲＨ）で１～２週間程度の養生期間を設けることも好ましい。上記の加熱処理（及び養生）により、架橋剤を介して活性エネルギー線硬化性重合体が良好に架橋される。
第２の粘着剤層１１２は、塗布した粘着性組成物Ｐ２を架橋することにより形成することができる。粘着性組成物Ｐ２の架橋は、加熱処理により行うことが好ましい。なお、この加熱処理は、粘着性組成物Ｐ２の塗布後の乾燥処理で兼ねることもできる。当該の加熱処理の加熱温度および加熱時間は、それぞれ粘着性組成物Ｐ１についての加熱処理と同様とすることができる。また、加熱処理後、常温（例えば、２３℃、５０％ＲＨ）で１～２週間程度の養生期間を設けることも好ましい。上記の加熱処理（及び養生）により、架橋剤を介して活性エネルギー線硬化性重合体が良好に架橋される。
【0140】
（１－７）第２の粘着剤層１１２の厚さ
第２の粘着剤層１１２がアクリル系粘着剤から構成される場合、当該第２の粘着剤層１１１の厚さ（ＪＩＳ Ｋ７１３０：１９９９に準じて測定した値）は、下限値として５μｍ以上であることが好ましく、特に１０μｍ以上であることが好ましく、さらには１５μｍ以上であることが好ましい。第２の粘着剤層１１２の厚さの下限値が上記であると、粘着力がより優れたものとなる。また、上述した第１の粘着剤層１１１の厚さは、上限値として５０μｍ以下であることが好ましく、特に４０μｍ以下であることが好ましく、さらには３０μｍ以下であることが好ましい。第２の粘着剤層１１２の厚さの上限値が上記であると、易剥離性がより優れたものとなる。なお、アクリル系粘着剤から構成される第２の粘着剤層１１２は単層で形成してもよいし、複数層を積層して形成することもできる。
第２の粘着剤層１１２がアクリル系粘着剤から構成される場合、当該第２の粘着剤層１１１の厚さ（ＪＩＳ Ｋ７１３０：１９９９に準じて測定した値）は、下限値として５μｍ以上であることが好ましく、特に１０μｍ以上であることが好ましく、さらには１５μｍ以上であることが好ましい。第２の粘着剤層１１２の厚さの下限値が上記であると、粘着力がより優れたものとなる。また、上述した第１の粘着剤層１１１の厚さは、上限値として５０μｍ以下であることが好ましく、特に４０μｍ以下であることが好ましく、さらには３０μｍ以下であることが好ましい。第２の粘着剤層１１２の厚さの上限値が上記であると、易剥離性がより優れたものとなる。なお、アクリル系粘着剤から構成される第２の粘着剤層１１２は単層で形成してもよいし、複数層を積層して形成することもできる。
【0141】
（２）シリコーン系粘着剤
第２の粘着剤層１１２をシリコーン系粘着剤から構成されたものとする場合、当該シリコーン系粘着剤としては、第１の粘着剤層１１１について前述したシリコーン系粘着剤と同様のものを使用することができる。
第２の粘着剤層１１２をシリコーン系粘着剤から構成されたものとする場合、当該シリコーン系粘着剤としては、第１の粘着剤層１１１について前述したシリコーン系粘着剤と同様のものを使用することができる。
【0142】
すなわち、第２の粘着剤層１１２を構成するためのシリコーン系粘着剤は、オルガノポリシロキサン、特に付加型オルガノポリシロキサン（の硬化物）を含有するものであることが好ましい。そして、当該付加型オルガノポリシロキサンは、シロキサン結合を主骨格としアルケニル基を有するオルガノポリシロキサンとオルガノハイドロジェンポリシロキサンとを反応させて得られるものであることが好ましく、これらの好ましい具体例は前述した通りである。
【0143】
また、上記シリコーン系粘着剤は、白金触媒を含有することが好ましく、その具体例およびシリコーン系粘着剤中の含有量は前述した通りである。さらに、分子中に３官能性又は４官能性のシロキサン単位を含むオルガノポリシロキサン（シリコーンレジン）を使用することもでき、そのシリコーン系粘着剤中の含有量は前述した通りである。
【0144】
第２の粘着剤層１１２を構成するためのシリコーン系粘着剤には、所望により、シリコーン系粘着剤に通常使用されている各種添加剤、例えばシランカップリング剤、紫外線吸収剤、硬化遅延剤、粘着付与剤、酸化防止剤、光安定剤、軟化剤、充填剤などを添加することができる。これらの具体例および添加剤を使用する際の添加量については、第１の粘着剤層１１１について前述したものと同様である。
【0145】
シリコーン系粘着剤によって第２の粘着剤層１１２を形成するには、第１の粘着剤層１１１を形成する場合と同様に、例えば、付加型オルガノポリシロキサンと、所望により３官能性又は４官能性のシロキサン単位を含むオルガノポリシロキサンと、白金触媒とを、前述した溶媒で１０～６０質量％程度に希釈した塗布溶液を、塗布対象（例えば、芯材１１３や、剥離シート１２ｂの剥離面）に塗布し、加熱して硬化させればよい。当該加熱における加熱温度および加熱時間は、第１の粘着剤層１１１を形成する場合と同様とすることができる。
【0146】
第２の粘着剤層１１２がシリコーン系粘着剤から構成される場合、当該第２の粘着剤層１１２の厚さは、下限値が５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であることがより好ましく、特に１５μｍ以上であることが好ましく、さらには２０μｍ以上であることが好ましい。第２の粘着剤層１１２の厚さの下限値が上記であると、粘着力がより優れたものとなる。一方、上述した第２の粘着剤層１１２の厚さは、上限値が１００μｍ以下であることが好ましく、７０μｍ以下であることがより好ましく、特に５０μｍ以下であることが好ましく、さらには３０μｍ以下であることが好ましい。第２の粘着剤層１１２の厚さの上限値が上記であると、易剥離性がより優れたものとなる。なお、シリコーン系粘着剤から構成される第２の粘着剤層１１２は単層で形成してもよいし、複数層を積層して形成することもできる。
【0147】
１－３．芯材
本実施形態に係る粘着シート１は、芯材１１３を備えることにより所定の剛性を有するものとなり、所望のハンドリング性を達成し易いものとなる。但し、本実施形態に係る粘着シート１は、芯材１１３を有しないものであってもよい。
本実施形態に係る粘着シート１は、芯材１１３を備えることにより所定の剛性を有するものとなり、所望のハンドリング性を達成し易いものとなる。但し、本実施形態に係る粘着シート１は、芯材１１３を有しないものであってもよい。
【0148】
芯材１１３は、プラスチックフィルムから構成されることが好ましい。プラスチックフィルムの種類としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステルからなるポリエステルフィルム、ポリウレタンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、トリアセチルセルロース等のセルロースフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、エチレン－酢酸ビニル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、アクリル樹脂フィルム、ノルボルネン系樹脂フィルム、シクロオレフィン樹脂フィルム等のプラスチックフィルム；これらの２種以上の積層体などを挙げることができる。プラスチックフィルムは、一軸延伸または二軸延伸されたものでもよい。これらの中でも、ポリエステルフィルムが好ましく、特にポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。
【0149】
上記のようなプラスチックフィルムからなる芯材１１３においては、隣接する第１の粘着剤層１１１および／または第２の粘着剤層１１２との密着性を向上させる等の目的で、所望により片面または両面に、酸化法などによる表面処理、あるいはプライマー処理を施すことができる。上記酸化法としては、例えばコロナ放電処理、プラズマ放電処理、クロム酸化処理（湿式）、火炎処理、熱風処理、オゾン、紫外線照射処理などが挙げられる。これらの表面処理法は、プラスチックフィルムの種類に応じて適宜選ばれるが、一般にコロナ放電処理法が効果および操作性の面から好ましく用いられる。
【0150】
芯材１１３の厚さは、粘着シート１のハンドリング性向上の観点から、２μｍ以上あることが好ましく、特に５μｍ以上あることが好ましく、さらには１０μｍ以上あることが好ましい。また、芯材１１３の厚さは、同様の観点から、２５０μｍ以下であることが好ましく、１２５μｍ以下であることがより好ましく、特に７５μｍ以下であることが好ましく、さらには４０μｍ以下であることが好ましい。
【0151】
１－４．剥離シート
剥離シート１２ａ，１２ｂは、粘着シート１の使用時まで第１の粘着剤層１１１および第２の粘着剤層１１２を保護するものであり、粘着シート１を使用するときに剥離される。本実施形態に係る粘着シート１において、剥離シート１２ａ，１２ｂの一方または両方は必ずしも必要なものではない。
剥離シート１２ａ，１２ｂは、粘着シート１の使用時まで第１の粘着剤層１１１および第２の粘着剤層１１２を保護するものであり、粘着シート１を使用するときに剥離される。本実施形態に係る粘着シート１において、剥離シート１２ａ，１２ｂの一方または両方は必ずしも必要なものではない。
【0152】
剥離シート１２ａ，１２ｂとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン酢酸ビニルフィルム、アイオノマー樹脂フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルム、フッ素樹脂フィルム等が用いられる。また、これらの架橋フィルムも用いられる。さらに、これらの積層フィルムであってもよい。
【0153】
上記剥離シート１２ａ，１２ｂの剥離面（特に第１の粘着剤層１１１または第２の粘着剤層１１２と接する面）には、剥離処理が施されていることが好ましい。剥離処理に使用される剥離剤としては、例えば、アルキッド系、シリコーン系、フッ素系、不飽和ポリエステル系、ポリオレフィン系、ワックス系の剥離剤が挙げられる。なお、剥離シート１２ａ，１２ｂのうち、一方の剥離シートを剥離力の大きい重剥離型剥離シートとし、他方の剥離シートを剥離力の小さい軽剥離型剥離シートとすることが好ましい。
【0154】
剥離シート１２ａ，１２ｂの厚さについては特に制限はないが、通常２０～１５０μｍ程度である。
【0155】
２．粘着シートの製造
本実施形態に係る粘着シート１の製造方法は特に限定されず、従来公知の方法を用いることができる。例えば、剥離シート１２ａの剥離面上に、前述した粘着性組成物Ｐ１の塗布液を塗布し、加熱処理を行って粘着性組成物Ｐ１を熱架橋し、塗布層を形成した後、その塗布層に芯材１１３の一方の面を重ね合わせる。さらに、剥離シート１２ｂの剥離面上に、前述した粘着性組成物Ｐ２の塗布液を塗布し、加熱処理を行って粘着性組成物Ｐ２を熱架橋し、塗布層を形成した後、当該塗布層における剥離シート１２ｂとは反対側の面を、上述した芯材１１３における他方の面に重ね合わせる。このようにして得られた積層体について、必要な場合は養生期間をおくことで、上述した２つの塗布層がそれぞれ第１の粘着剤層１１１および第２の粘着剤層１１２とすることができる。一方、養生期間が不要な場合は、上述した２つの塗布層をそのまま、それぞれ第１の粘着剤層１１１および第２の粘着剤層１１２とすることができる。これにより、剥離シート１２ａ、第１の粘着剤層１１１、芯材１１３、第２の粘着剤層１１２および剥離シート１２ｂが順に積層されてなる粘着シート１が得られる。
本実施形態に係る粘着シート１の製造方法は特に限定されず、従来公知の方法を用いることができる。例えば、剥離シート１２ａの剥離面上に、前述した粘着性組成物Ｐ１の塗布液を塗布し、加熱処理を行って粘着性組成物Ｐ１を熱架橋し、塗布層を形成した後、その塗布層に芯材１１３の一方の面を重ね合わせる。さらに、剥離シート１２ｂの剥離面上に、前述した粘着性組成物Ｐ２の塗布液を塗布し、加熱処理を行って粘着性組成物Ｐ２を熱架橋し、塗布層を形成した後、当該塗布層における剥離シート１２ｂとは反対側の面を、上述した芯材１１３における他方の面に重ね合わせる。このようにして得られた積層体について、必要な場合は養生期間をおくことで、上述した２つの塗布層がそれぞれ第１の粘着剤層１１１および第２の粘着剤層１１２とすることができる。一方、養生期間が不要な場合は、上述した２つの塗布層をそのまま、それぞれ第１の粘着剤層１１１および第２の粘着剤層１１２とすることができる。これにより、剥離シート１２ａ、第１の粘着剤層１１１、芯材１１３、第２の粘着剤層１１２および剥離シート１２ｂが順に積層されてなる粘着シート１が得られる。
【0156】
上述した粘着性組成物Ｐ１および粘着性組成物Ｐ２の塗布液を塗布する方法としては、例えばバーコート法、ナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ダイコート法、グラビアコート法等を利用することができる。
【0157】
３．粘着シートの使用
前述した通り、本実施形態に係る粘着シート１は、ワークとしての光学部材や電子部材等のデバイス、好ましくはフレキシブルデバイスを、加工、積層、検査などの工程中に基板に固定するのに好適に使用される。なお、上記の工程終了後、ワークは基板から剥離される。
前述した通り、本実施形態に係る粘着シート１は、ワークとしての光学部材や電子部材等のデバイス、好ましくはフレキシブルデバイスを、加工、積層、検査などの工程中に基板に固定するのに好適に使用される。なお、上記の工程終了後、ワークは基板から剥離される。
【0158】
図２に、粘着シート１の使用状態を表す積層体４の断面図を示す。本実施形態に係る積層体４は、ワークとしてのフレキシブルデバイス２と、粘着シート１を構成する各層（図４では、第１の粘着剤層１１１、芯材１１３および第２の粘着剤層１１２）と、基板３とをその順に積層してなる。このように、本実施形態に係る粘着シート１では、第１の粘着剤層１１１側の面（第１の粘着面）を基板３に貼合し、第２の粘着剤層１１２側の面（第２の粘着面）をワークに貼合することが好ましい。かかる積層体４において、フレキシブルデバイス２は、粘着シート１を介して基板３にしっかりと固定されるため、当該工程を問題なく行うことができる。
【0159】
上記工程は、ワークを加熱する処理、または副次的にワークが加熱されることを伴う処理を含むものであることが好適である。このような加熱処理の例としては、金属蒸着工程、封止樹脂等の樹脂硬化工程、アニール処理等が挙げられる。本実施形態に係る粘着シート１および積層体４では、粘着シート１が前述した対ガラス粘着力Ｆｇ２および対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ３を満たすことにより、加熱処理を行ったとしても、工程後のフレキシブルデバイス２を粘着シート１から容易に分離させることができるとともに、フレキシブルデバイス２を分離した後における粘着シート１を、基板３から容易に剥離することができる。このため、本実施形態に係る積層体４では、加熱処理を行う場合であっても、工程を良好に行うことができるとともに、基板３を良好に再利用することができる。
【0160】
上述した加熱処理は、一般的な加熱処理と同様の条件としてよい。例えば、加熱温度としては、４０℃以上とすることが好ましく、特に８０℃以上とすることが好ましく、さらには１２０℃以上とすることが好ましい。また、加熱温度は、２００℃以下とすることが好ましく、特に１８０℃以下とすることが好ましく、さらには１６０℃以下とすることが好ましい。また、加熱時間は、５分以上とすることが好ましく、特に１０分以上とすることが好ましく、さらには２０分以上とすることが好ましい。また、加熱時間は、６０分以下とすることが好ましく、特に５０分以下とすることが好ましく、さらには４０分以下とすることが好ましい。
【0161】
第２の粘着剤層１１２が、活性エネルギー線硬化性の粘着剤から構成される場合、上述した工程の完了後、第２の粘着剤層１１２に対して、活性エネルギー線を照射して、第２の粘着剤層１１２を硬化させることで、ワークに対する粘着力を低下させることができる。これにより、第２の粘着剤層１１２からワークを容易に剥離することができる。
【0162】
このようなワークを剥離するために使用する活性エネルギー線としては、通常、紫外線、電子線等が用いられ、特に取扱いが容易な紫外線が好ましい。紫外線を使用する場合、その照射は、高圧水銀ランプ、フュージョンランプ、キセノンランプ等によって行うことができる。また、その照射条件としては、照度が５０ｍＷ／ｃｍ２以上、１０００ｍＷ／ｃｍ２以下であることが好ましい。また、紫外線の積算光量は、１５００ｍＪ／ｃｍ２以上であることが好ましく、特に２０００ｍＪ／ｃｍ２以上であることが好ましい。また、紫外線の積算光量は、５０００ｍＪ／ｃｍ２以下であることが好ましく、特に３０００ｍＪ／ｃｍ２以下であることが好ましい。
【0163】
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【0164】
例えば、粘着シート１における剥離シート１２ａ，１２ｂのいずれか一方または両方は省略されてもよい。また、粘着シート１における芯材１１３は省略されてもよい。
【実施例0165】
以下、実施例等により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例等に限定されるものではない。
【0166】
〔調製例１〕（アクリル系粘着剤Ａ用粘着性組成物）
アクリル酸２－エチルヘキシル５０質量部と、アクリル酸ｎ－ブチル１０質量部と、アクリロイルモルホリン１０質量部と、アクリル酸４－ヒドロキシブチル３０質量部とを共重合させて得られたアクリル系共重合体と、当該アクリル系共重合体のアクリル酸４－ヒドロキシブチルのモル数に対して９０モル％のメタクリロイルオキシエチルイソシアネート（ＭＯＩ）とを反応させて、活性エネルギー線硬化性重合体を得た。この活性エネルギー線硬化性重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）を後述する方法で測定したところ、７０万であった。
アクリル酸２－エチルヘキシル５０質量部と、アクリル酸ｎ－ブチル１０質量部と、アクリロイルモルホリン１０質量部と、アクリル酸４－ヒドロキシブチル３０質量部とを共重合させて得られたアクリル系共重合体と、当該アクリル系共重合体のアクリル酸４－ヒドロキシブチルのモル数に対して９０モル％のメタクリロイルオキシエチルイソシアネート（ＭＯＩ）とを反応させて、活性エネルギー線硬化性重合体を得た。この活性エネルギー線硬化性重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）を後述する方法で測定したところ、７０万であった。
【0167】
得られた活性エネルギー線硬化性重合体１００質量部（固形分換算，以下同じ）と、架橋剤としてのヘキサメチレンジイソシアネートを有する脂肪族系イソシアネート（日本ポリウレタン工業社製，製品名「コロネートＨＸ」）０．７５質量部と、硬化遅延剤（トーヨーケム社製，製品名「ＢＸＸ５６３８」）５．００質量部と、光重合開始剤としての２－ヒドロキシ－１－｛４－［４－（２－ヒドロキシ－２－メチル－プロピオニル）－ベンジル］フェニル｝－２－メチル－プロパン－１－オン０．１０質量部とを溶媒中で混合し、アクリル系粘着剤Ａ用粘着性組成物の塗布液を得た。
【0168】
〔調製例２〕（アクリル系粘着剤Ｂ用粘着性組成物）
アクリル酸２－エチルヘキシル４７．８質量部と、アクリル酸ｎ－ブチル４７．８質量部と、アクリル酸４質量部と、アクリル酸２－ヒドロキシプロピル０．４質量部とを共重合させて得られたアクリル系共重合体を得た。このアクリル系共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）を後述する方法で測定したところ、８０万であった。
アクリル酸２－エチルヘキシル４７．８質量部と、アクリル酸ｎ－ブチル４７．８質量部と、アクリル酸４質量部と、アクリル酸２－ヒドロキシプロピル０．４質量部とを共重合させて得られたアクリル系共重合体を得た。このアクリル系共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）を後述する方法で測定したところ、８０万であった。
【0169】
得られたアクリル系共重合体１００質量部と、架橋剤としてのトリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネート（トーヨーケム社製，製品名「ＢＨＳ８５１５」）７質量部とを溶媒中で混合し、アクリル系粘着剤Ｂ用粘着性組成物の塗布液を得た。
【0170】
〔調製例３〕（アクリル系粘着剤Ｃ用粘着性組成物）
アクリル酸２－エチルヘキシル７８質量部と、アクリル酸ｎ－ブチル２０質量部と、アクリル酸２－ヒドロキシエチル２質量部とを共重合させて得られたアクリル系共重合体を得た。このアクリル系共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）を後述する方法で測定したところ、４０万であった。
アクリル酸２－エチルヘキシル７８質量部と、アクリル酸ｎ－ブチル２０質量部と、アクリル酸２－ヒドロキシエチル２質量部とを共重合させて得られたアクリル系共重合体を得た。このアクリル系共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）を後述する方法で測定したところ、４０万であった。
【0171】
得られたアクリル系共重合体１００質量部と、架橋剤としてのイソシアネート系架橋剤（サイデン化学社製、品番「Ｋ－３１５」）２質量部と、シリコーン樹脂（無機と有機の中間的な構造を有するケイ素含有化合物）からなる微粒子（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン社製，製品名「トスパール１４５Ｌ」，平均粒径：４．５μｍ）１０質量部と、硬化遅延剤（トーヨーケム社製，製品名「ＢＸＸ５６３８」）１質量部とを溶媒中で混合し、アクリル系粘着剤Ｃ用粘着性組成物の塗布液を得た。
【0172】
〔調製例４〕（シリコーン系粘着剤用粘着性組成物）
主剤としての付加反応型シリコーン樹脂（信越化学工業社製，製品名「ＫＳ－８４７Ｈ」）１００質量部と、白金触媒（東レ・ダウコーニング社製，製品名「ＳＲＸ ２１２ ＣＡＴＡＬＹＳＴ」）２質量部と、シランカップリング剤としての８－グリシドキシオクチルトリメトキシシラン０．６質量部と、シリコーンレジン（東レ・ダウコーニング社製，製品名「ＳＤ－４５８４」）１５質量部とを混合し、メチルエチルケトンで希釈して、シリコーン系粘着剤用粘着性組成物の塗布液を得た。
主剤としての付加反応型シリコーン樹脂（信越化学工業社製，製品名「ＫＳ－８４７Ｈ」）１００質量部と、白金触媒（東レ・ダウコーニング社製，製品名「ＳＲＸ ２１２ ＣＡＴＡＬＹＳＴ」）２質量部と、シランカップリング剤としての８－グリシドキシオクチルトリメトキシシラン０．６質量部と、シリコーンレジン（東レ・ダウコーニング社製，製品名「ＳＤ－４５８４」）１５質量部とを混合し、メチルエチルケトンで希釈して、シリコーン系粘着剤用粘着性組成物の塗布液を得た。
【0173】
ここで、前述した重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）を用いて以下の条件で測定（ＧＰＣ測定）したポリスチレン換算の重量平均分子量である。
＜測定条件＞
・ＧＰＣ測定装置：東ソー社製，ＨＬＣ－８３２０
・ＧＰＣカラム（以下の順に通過）：東ソー社製
ＴＳＫ ｇｅｌ ｓｕｐｅｒＨ－Ｈ
ＴＳＫ ｇｅｌ ｓｕｐｅｒＨＭ－Ｈ
ＴＳＫ ｇｅｌ ｓｕｐｅｒＨ２０００
・測定溶媒：テトラヒドロフラン
・測定温度：４０℃
＜測定条件＞
・ＧＰＣ測定装置：東ソー社製，ＨＬＣ－８３２０
・ＧＰＣカラム（以下の順に通過）：東ソー社製
ＴＳＫ ｇｅｌ ｓｕｐｅｒＨ－Ｈ
ＴＳＫ ｇｅｌ ｓｕｐｅｒＨＭ－Ｈ
ＴＳＫ ｇｅｌ ｓｕｐｅｒＨ２０００
・測定溶媒：テトラヒドロフラン
・測定温度：４０℃
【0174】
〔実施例１〕
調製例２で調製したアクリル系粘着剤Ｂ用粘着性組成物の塗布液を、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面をシリコーン系剥離剤で剥離処理した軽剥離型剥離シート（リンテック社製，製品名「ＳＰ－ＰＥＴ３８２１２０」）の剥離処理面に、ナイフコーターで塗布した。形成された塗膜を９０℃で１分間加熱処理することで、２０μｍの厚さを有する粘着剤層を形成し、これを第１の粘着剤層とした。これにより、軽剥離型剥離シートと第１の粘着剤層とが積層されてなる第１の積層体を得た。
調製例２で調製したアクリル系粘着剤Ｂ用粘着性組成物の塗布液を、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面をシリコーン系剥離剤で剥離処理した軽剥離型剥離シート（リンテック社製，製品名「ＳＰ－ＰＥＴ３８２１２０」）の剥離処理面に、ナイフコーターで塗布した。形成された塗膜を９０℃で１分間加熱処理することで、２０μｍの厚さを有する粘着剤層を形成し、これを第１の粘着剤層とした。これにより、軽剥離型剥離シートと第１の粘着剤層とが積層されてなる第１の積層体を得た。
【0175】
また、調製例１で調製したアクリル系粘着剤Ａ用粘着性組成物の塗布液を、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面をシリコーン系剥離剤で剥離処理した重剥離型剥離シート（リンテック社製，製品名「ＳＰ－ＰＥＴ７５１１３０」）の剥離処理面に、ナイフコーターで塗布した。形成された塗膜を９０℃で１分間加熱処理することで、２０μｍの厚さを有する粘着剤層を形成し、これを粘着剤層とした。これにより、第２の粘着剤層と重剥離型剥離シートとが積層されてなる第２の積層体を得た。
【0176】
その後、芯材としてのポリエチレンテレフタレートフィルム（東洋紡社製，製品名「ＰＥＴ Ａ４３００」，厚さ：１００μｍ）の一方の面に第１の積層体における第１の粘着剤層側の面を貼合するとともに、他方の面に第２の積層体における第２の粘着剤層側の面を貼合した後、２３℃、５０％ＲＨの条件下で７日間養生することにより、軽剥離型剥離シート／第１の粘着剤層／芯材／第２の粘着剤層／重剥離型剥離シートの層構成を有する粘着シートを得た。
【0177】
なお、上述した粘着剤層の厚さは、ＪＩＳ Ｋ７１３０に準拠し、定圧厚さ測定器（テクロック社製，製品名「ＰＧ－０２」）を使用して測定した値である。
【0178】
〔実施例２〕
芯材として、ポリエチレンテレフタレートフィルム（三菱ケミカル社製，製品名ＰＥＴ３８－Ｔ１００」，厚さ：３８μｍ）を使用した以外、実施例１と同様にして粘着シートを製造した。
芯材として、ポリエチレンテレフタレートフィルム（三菱ケミカル社製，製品名ＰＥＴ３８－Ｔ１００」，厚さ：３８μｍ）を使用した以外、実施例１と同様にして粘着シートを製造した。
【0179】
〔実施例３〕
調製例３で調製したアクリル系粘着剤Ｃ用粘着性組成物の塗布液を使用して第１の粘着剤層を形成した以外、実施例１と同様にして粘着シートを製造した。
調製例３で調製したアクリル系粘着剤Ｃ用粘着性組成物の塗布液を使用して第１の粘着剤層を形成した以外、実施例１と同様にして粘着シートを製造した。
【0180】
〔実施例４〕
調製例３で調製したアクリル系粘着剤Ｃ用粘着性組成物の塗布液を使用して第１の粘着剤層を形成するとともに、芯材を使用しなかったこと以外、実施例１と同様に粘着シートを製造した。なお、当該粘着シートは、第１の積層体における第１の粘着剤層側の面と、第２の積層体における第２の粘着剤層側の面とを直接貼合することで製造したものとなる。
調製例３で調製したアクリル系粘着剤Ｃ用粘着性組成物の塗布液を使用して第１の粘着剤層を形成するとともに、芯材を使用しなかったこと以外、実施例１と同様に粘着シートを製造した。なお、当該粘着シートは、第１の積層体における第１の粘着剤層側の面と、第２の積層体における第２の粘着剤層側の面とを直接貼合することで製造したものとなる。
【0181】
〔実施例５〕
芯材としてのポリエチレンテレフタレートフィルム（東洋紡社製，製品名「ＰＥＴ Ａ４３００」，厚さ：１００μｍ）の一方の面に、調製例５で調製したシリコーン系粘着剤用粘着性組成物の塗布液を、ナイフコーターで塗布した。形成された塗膜を１３０℃で２分間加熱処理することで、２０μｍの厚さを有する粘着剤層を形成し、これを第１の粘着剤層とした。次いで、当該第１の粘着剤層における芯材とは反対側の面に、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面をシリコーン系剥離剤で剥離処理した軽剥離型剥離シート（リンテック社製，製品名「ＳＰ－ＰＥＴ３８２１２０」）における剥離処理面を貼合した。これにより、軽剥離型剥離シートと第１の粘着剤層と芯材とが順に積層されてなる第３の積層体を得た。
芯材としてのポリエチレンテレフタレートフィルム（東洋紡社製，製品名「ＰＥＴ Ａ４３００」，厚さ：１００μｍ）の一方の面に、調製例５で調製したシリコーン系粘着剤用粘着性組成物の塗布液を、ナイフコーターで塗布した。形成された塗膜を１３０℃で２分間加熱処理することで、２０μｍの厚さを有する粘着剤層を形成し、これを第１の粘着剤層とした。次いで、当該第１の粘着剤層における芯材とは反対側の面に、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面をシリコーン系剥離剤で剥離処理した軽剥離型剥離シート（リンテック社製，製品名「ＳＰ－ＰＥＴ３８２１２０」）における剥離処理面を貼合した。これにより、軽剥離型剥離シートと第１の粘着剤層と芯材とが順に積層されてなる第３の積層体を得た。
【0182】
続いて、上記の通り得られた第３の積層体における芯材側の面に対し、実施例１と同様に作製した第２の積層体における第２の粘着剤層側の面を貼合した後、２３℃、５０％ＲＨの条件下で７日間養生することで、軽剥離型剥離シート／第１の粘着剤層／芯材／第２の粘着剤層／重剥離型剥離シートの層構成を有する粘着シートを得た。
【0183】
〔実施例６〕
芯材としてのポリエチレンテレフタレートフィルム（東洋紡社製，製品名「ＰＥＴ Ａ４３００」，厚さ：１００μｍ）の一方の面に、調製例５で調製したシリコーン系粘着剤用粘着性組成物の塗布液を、ナイフコーターで塗布した。形成された塗膜を１３０℃で２分間加熱処理することで、２０μｍの厚さを有する粘着剤層を形成し、これを第２の粘着剤層とした。次いで、当該第２の粘着剤層における芯材とは反対側の面に、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面をシリコーン系剥離剤で剥離処理した重剥離型剥離シート（リンテック社製，製品名「ＳＰ－ＰＥＴ７５１１３０」）における剥離処理面を貼合した。これにより、芯材と第２の粘着剤層と重剥離型剥離シートとが順に積層されてなる第４の積層体を得た。
芯材としてのポリエチレンテレフタレートフィルム（東洋紡社製，製品名「ＰＥＴ Ａ４３００」，厚さ：１００μｍ）の一方の面に、調製例５で調製したシリコーン系粘着剤用粘着性組成物の塗布液を、ナイフコーターで塗布した。形成された塗膜を１３０℃で２分間加熱処理することで、２０μｍの厚さを有する粘着剤層を形成し、これを第２の粘着剤層とした。次いで、当該第２の粘着剤層における芯材とは反対側の面に、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面をシリコーン系剥離剤で剥離処理した重剥離型剥離シート（リンテック社製，製品名「ＳＰ－ＰＥＴ７５１１３０」）における剥離処理面を貼合した。これにより、芯材と第２の粘着剤層と重剥離型剥離シートとが順に積層されてなる第４の積層体を得た。
【0184】
続いて、上記の通り得られた第４の積層体における芯材側の面に対し、実施例１と同様に作製した第１の積層体における第１の粘着剤層側の面を貼合した後、２３℃、５０％ＲＨの条件下で７日間養生することで、軽剥離型剥離シート／第１の粘着剤層／芯材／第２の粘着剤層／重剥離型剥離シートの層構成を有する粘着シートを得た。
【0185】
〔比較例１〕
調製例１で調製したアクリル系粘着剤Ａ用粘着性組成物の塗布液を、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面をシリコーン系剥離剤で剥離処理した重剥離型剥離シート（リンテック社製，製品名「ＳＰ－ＰＥＴ７５１１３０」）の剥離処理面に、ナイフコーターで塗布した。形成された塗膜を９０℃で１分間加熱処理することで、２０μｍの厚さを有する粘着剤層を形成した。
調製例１で調製したアクリル系粘着剤Ａ用粘着性組成物の塗布液を、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面をシリコーン系剥離剤で剥離処理した重剥離型剥離シート（リンテック社製，製品名「ＳＰ－ＰＥＴ７５１１３０」）の剥離処理面に、ナイフコーターで塗布した。形成された塗膜を９０℃で１分間加熱処理することで、２０μｍの厚さを有する粘着剤層を形成した。
【0186】
次いで、上記の通り形成された粘着剤層における重剥離型剥離シートとは反対側の面に対して、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面をシリコーン系剥離剤で剥離処理した軽剥離型剥離シート（リンテック社製，製品名「ＳＰ－ＰＥＴ３８２１２０」）剥離処理面を貼合した後、２３℃、５０％ＲＨの条件下で７日間養生することで、軽剥離型剥離シート／粘着剤層／重剥離型剥離シートの層構成を有する粘着シートを得た。
【0187】
〔比較例２〕
調製例３で調製したアクリル系粘着剤Ｃ用粘着性組成物の塗布液を使用して粘着剤層を形成した以外、比較例１と同様にして粘着シートを製造した。
調製例３で調製したアクリル系粘着剤Ｃ用粘着性組成物の塗布液を使用して粘着剤層を形成した以外、比較例１と同様にして粘着シートを製造した。
【0188】
〔試験例１〕（対ガラス粘着力の測定）
実施例および比較例で作製した粘着シートから重剥離型剥離シートを剥離し、露出した第２の粘着剤層（比較例１～２では単層の粘着剤層）を、裏打ち材としての、易接着層を有するポリエチレンテレフタレートフィルム（東洋紡社製，製品名「ＰＥＴ Ａ４３００」，厚さ：２５μｍ）の易接着層に貼合した。これにより得られた積層体を、２５ｍｍ幅、１００ｍｍ長に裁断した。裁断後の積層体から軽剥離型剥離シートを剥離し、露出した第１の粘着剤層（比較例１～２では単層の粘着剤層）を、ソーダライムガラス（日本板硝子社製）の片面に貼付した後、常圧、２３℃、５０％ＲＨの条件下で２４時間放置することで、対ガラス粘着力測定用サンプルを得た。
実施例および比較例で作製した粘着シートから重剥離型剥離シートを剥離し、露出した第２の粘着剤層（比較例１～２では単層の粘着剤層）を、裏打ち材としての、易接着層を有するポリエチレンテレフタレートフィルム（東洋紡社製，製品名「ＰＥＴ Ａ４３００」，厚さ：２５μｍ）の易接着層に貼合した。これにより得られた積層体を、２５ｍｍ幅、１００ｍｍ長に裁断した。裁断後の積層体から軽剥離型剥離シートを剥離し、露出した第１の粘着剤層（比較例１～２では単層の粘着剤層）を、ソーダライムガラス（日本板硝子社製）の片面に貼付した後、常圧、２３℃、５０％ＲＨの条件下で２４時間放置することで、対ガラス粘着力測定用サンプルを得た。
【0189】
上述の通り得られた対ガラス粘着力測定用サンプルについて、２３℃、５０％ＲＨの環境下にて、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離角度１８０度の条件で、ソーダライムガラスから、第１の粘着剤層／芯材／第２の粘着剤層／裏打ち材の層構成を有する積層体（実施例４では、第１の粘着剤層／第２の粘着剤層／裏打ち材の層構成を有する積層体，比較例１～２では、単層の粘着剤層／裏打ち材の層構成を有する積層体）を剥離し、その時の粘着力（Ｎ／２５ｍｍ）を測定した。なお、ここに記載した以外の条件はＪＩＳ Ｚ０２３７:２００９に準拠して、測定を行った。このようにして得られた粘着力を、２３℃における対ガラス粘着力Ｆｇ１（Ｎ／２５ｍｍ）として、表２に示す。
【0190】
また、上記と同様にして得た対ガラス粘着力測定用サンプルを、１００℃、５０％ＲＨの環境下に３００分投入することで加熱処理を行った後、室温環境下に戻し、上記サンプルの温度を室温まで下げた。当該サンプルについて、上記と同様に粘着力を測定し、加熱処理後における粘着力Ｆｇ２（Ｎ／２５ｍｍ）とし、表２に示す。
【0191】
〔試験例２〕（対樹脂フィルム粘着力の測定）
実施例および比較例で作製した粘着シートから軽剥離型剥離シートを剥離し、露出した第１の粘着剤層（比較例１～２では単層の粘着剤層）を、裏打ち材としての、易接着層を有するポリエチレンテレフタレートフィルム（東洋紡社製，製品名「ＰＥＴ Ａ４３００」，厚さ：２５μｍ）の易接着層に貼合した。これにより得られた積層体を、２５ｍｍ幅、１００ｍｍ長に裁断した。裁断後の積層体から重剥離型剥離シートを剥離し、露出した第２の粘着剤層（比較例１～２では単層の粘着剤層）を、樹脂フィルムとしてのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（厚さ：３８μｍ）の片面に貼付した後、常圧、２３℃、５０％ＲＨの条件下で２４時間放置することで、対樹脂フィルム粘着力測定用サンプルを得た。
実施例および比較例で作製した粘着シートから軽剥離型剥離シートを剥離し、露出した第１の粘着剤層（比較例１～２では単層の粘着剤層）を、裏打ち材としての、易接着層を有するポリエチレンテレフタレートフィルム（東洋紡社製，製品名「ＰＥＴ Ａ４３００」，厚さ：２５μｍ）の易接着層に貼合した。これにより得られた積層体を、２５ｍｍ幅、１００ｍｍ長に裁断した。裁断後の積層体から重剥離型剥離シートを剥離し、露出した第２の粘着剤層（比較例１～２では単層の粘着剤層）を、樹脂フィルムとしてのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（厚さ：３８μｍ）の片面に貼付した後、常圧、２３℃、５０％ＲＨの条件下で２４時間放置することで、対樹脂フィルム粘着力測定用サンプルを得た。
【0192】
上述の通り得られた対樹脂フィルム粘着力測定用サンプルについて、２３℃、５０％ＲＨの環境下にて、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離角度１８０度の条件で、樹脂フィルムから、裏打ち材／第１の粘着剤層／芯材／第２の粘着剤層の層構成を有する積層体（実施例４では、裏打ち材／第１の粘着剤層／第２の粘着剤層の層構成を有する積層体，比較例１～２では、裏打ち材／単層の粘着剤層の層構成を有する積層体）を剥離し、その時の粘着力（Ｎ／２５ｍｍ）を測定した。なお、ここに記載した以外の条件はＪＩＳ Ｚ０２３７:２００９に準拠して、測定を行った。このようにして得られた粘着力を、２３℃における対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ１（Ｎ／２５ｍｍ）として表２に示す。
【0193】
また、活性エネルギー線硬化性を有するアクリル系粘着剤Ａを用いて形成された第２の粘着剤層を備える実施例１～５および比較例１の粘着シートについては、上記と同様に作製した対樹脂フィルム粘着力測定用サンプルにおける第２の粘着剤層に対して、樹脂フィルムごしに、下記の紫外線照射条件にて紫外線を照射した後に、２３℃、５０％ＲＨの環境下にて、上記と同様に粘着力（Ｎ／２５ｍｍ）を測定した。このようにして得られた粘着力を、活性エネルギー線照射後における対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ２（Ｎ／２５ｍｍ）として表２に示す。
＜紫外線照射条件＞
・高圧水銀ランプ使用
・照度２００ｍＷ／ｃｍ２，積算光量２０００ｍＪ／ｃｍ２×１回
＜紫外線照射条件＞
・高圧水銀ランプ使用
・照度２００ｍＷ／ｃｍ２，積算光量２０００ｍＪ／ｃｍ２×１回
【0194】
また、上記と同様に作製した対樹脂フィルム粘着力測定用サンプルについて、１００℃、５０％ＲＨの環境下にて、上記と同様に粘着力（Ｎ／２５ｍｍ）を測定した。このようにして得られた粘着力を、１００℃における対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ３（Ｎ／２５ｍｍ）として表２に示す。
【0195】
また、上記と同様に作製したサンプルを、３００℃、５０％ＲＨの高温条件下に３００分投入することで加熱処理を行った。その後、室温環境下に戻し、サンプルの温度を室温まで下げた。当該サンプルについて、上記と同様に粘着力を測定し、加熱処理後における対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ４（Ｎ／２５ｍｍ）とした。結果を表２に示す。
【0196】
さらに、活性エネルギー線硬化性を有するアクリル系粘着剤Ａを用いて形成された第２の粘着剤層を備える実施例１～５および比較例１の粘着シートについては、上記と同様に作製したサンプルに対して、３００℃、５０％ＲＨの高温条件下に３００分投入することで加熱処理を行った後、室温環境下に戻した。これにより室温まで温度が戻ったサンプルにおける第２の粘着剤層に対して、樹脂フィルムごしに、前述した紫外線照射条件にて紫外線を照射した。その後、２３℃、５０％ＲＨの環境下にて、上記と同様に粘着力（Ｎ／２５ｍｍ）を測定した。このようにして得られた粘着力を、加熱処理および活性エネルギー線照射後における対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ５（Ｎ／２５ｍｍ）として表２に示す。
【0197】
そして、上記の通り測定された各種粘着力に基づいて、対ガラス粘着力Ｆｇ１に対する対ガラス粘着力Ｆｇ２の比（Ｆｇ２／Ｆｇ１）、対ガラス粘着力Ｆｇ１に対する対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ１の比（Ｆｒ１／Ｆｇ１）、対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ１に対する対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ４の比（Ｆｒ４／Ｆｒ１）、対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ４に対する対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ５の比（Ｆｒ５／Ｆｒ４）、対ガラス粘着力Ｆｇ１に対する対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ２の比（Ｆｒ２／Ｆｇ１）、対ガラス粘着力Ｆｇ２に対する対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ４の比（Ｆｒ４／Ｆｇ２）、および、対ガラス粘着力Ｆｇ２に対する対樹脂フィルム粘着力Ｆｒ５の比（Ｆｒ５／Ｆｇ２）を算出した。これらの結果も表２に示す。
【0198】
〔試験例３〕（耐ブリスター性の評価）
実施例および比較例で得られた粘着シートから軽剥離型剥離シートを剥離し、露出した第１の粘着剤層（比較例１～２では単層の粘着剤層）の露出面をソーダライムガラス（日本板硝子社製）の片面に貼合した後、重剥離型剥離シートを剥離し、露出した第２の粘着剤層（比較例１～２では単層の粘着剤層）の露出面をトリアセチルセルロースフィルム（厚さ：６０μｍ）の片面に貼合した。
実施例および比較例で得られた粘着シートから軽剥離型剥離シートを剥離し、露出した第１の粘着剤層（比較例１～２では単層の粘着剤層）の露出面をソーダライムガラス（日本板硝子社製）の片面に貼合した後、重剥離型剥離シートを剥離し、露出した第２の粘着剤層（比較例１～２では単層の粘着剤層）の露出面をトリアセチルセルロースフィルム（厚さ：６０μｍ）の片面に貼合した。
【0199】
これによって得られた積層体を、１００℃、５０％ＲＨの環境下に３００分投入することで加熱処理を行った後、室温環境下に放置し、積層体の温度を室温まで戻した。その後、第１の粘着剤層とソーダライムガラスとの界面、および第２の粘着剤層とトリアセチルセルロースフィルムとの界面に気泡、浮きまたは剥がれがないか否か、目視により確認し、以下の基準により耐ブリスター性を評価した。結果を表３に示す。
◎…気泡、浮きおよび剥がれが全くなかった。
○…積層体の端部にのみ、気泡、浮きまたは剥がれがわずかに見られた。
△…積層体の全体にわたって、気泡、浮きまたは剥がれが５カ所以下生じた。
×…積層体の全体にわたって、気泡、浮きまたは剥がれが６カ所以上生じた。
◎…気泡、浮きおよび剥がれが全くなかった。
○…積層体の端部にのみ、気泡、浮きまたは剥がれがわずかに見られた。
△…積層体の全体にわたって、気泡、浮きまたは剥がれが５カ所以下生じた。
×…積層体の全体にわたって、気泡、浮きまたは剥がれが６カ所以上生じた。
【0200】
〔試験例４〕（剥離性の評価）
実施例および比較例で得られた粘着シートから重剥離型剥離シートを剥離し、露出した第２の粘着剤層（比較例１～２では単層の粘着剤層）の露出面を、ワークとしてのトリアセチルセルロースフィルム（厚さ：６０μｍ）の片面に貼合した後、２．５ｃｍ幅、１０ｃｍ長のサイズ（粘着シートとワークとが接触する面の面積：２５ｍｍ２）に裁断した。これによって得られた積層体から、軽剥離型剥離シートを剥離し、露出した第１の粘着剤層（比較例１～２では単層の粘着剤層）の露出面を、基板としてのソーダライムガラス（日本板硝子社製）の片面に貼合することで、剥離性評価用サンプルを得た。
実施例および比較例で得られた粘着シートから重剥離型剥離シートを剥離し、露出した第２の粘着剤層（比較例１～２では単層の粘着剤層）の露出面を、ワークとしてのトリアセチルセルロースフィルム（厚さ：６０μｍ）の片面に貼合した後、２．５ｃｍ幅、１０ｃｍ長のサイズ（粘着シートとワークとが接触する面の面積：２５ｍｍ２）に裁断した。これによって得られた積層体から、軽剥離型剥離シートを剥離し、露出した第１の粘着剤層（比較例１～２では単層の粘着剤層）の露出面を、基板としてのソーダライムガラス（日本板硝子社製）の片面に貼合することで、剥離性評価用サンプルを得た。
【0201】
得られた剥離性評価用サンプルを、１００℃、５０％ＲＨの環境下に３００分投入することで加熱処理を行った後、室温環境下に放置し、当該サンプル
の温度を室温まで戻した。続いて、サンプルにおける第２の粘着剤層に対して、ワークごしに、前述した紫外線照射条件にて紫外線を照射した。
の温度を室温まで戻した。続いて、サンプルにおける第２の粘着剤層に対して、ワークごしに、前述した紫外線照射条件にて紫外線を照射した。
【0202】
その後、第２の粘着剤層からワークを剥離し、その時の状況について、以下の基準により、粘着シートからワークを剥離する際の剥離性を評価した。結果を表３に示す。
◎…容易に剥離できた。
〇…剥離に力を要す部分があった、またはワークに糊残りが生じる部分があったものの、剥離することができた。
△…剥離することはできたものの、殆どの部分で剥離に力を要したか、またはワークの殆どの部分に糊残りが生じた。
×…剥離することができなかった。
◎…容易に剥離できた。
〇…剥離に力を要す部分があった、またはワークに糊残りが生じる部分があったものの、剥離することができた。
△…剥離することはできたものの、殆どの部分で剥離に力を要したか、またはワークの殆どの部分に糊残りが生じた。
×…剥離することができなかった。
【0203】
上記評価において、「◎」、「〇」および「△」となった例については、さらに、基板から粘着シートを剥離し、その時の状況について、以下の基準により、粘着シートを基板から剥離する際の剥離性を評価した。結果を表３に示す。
◎…容易に剥離できた。
〇…剥離に力を要す部分があった、または基板に糊残りが生じる部分があったものの、剥離することができた。
△…剥離することはできたものの、殆どの部分で剥離に力を要したか、または基板の殆どの部分に糊残りが生じた。
×…剥離することができなかった。
◎…容易に剥離できた。
〇…剥離に力を要す部分があった、または基板に糊残りが生じる部分があったものの、剥離することができた。
△…剥離することはできたものの、殆どの部分で剥離に力を要したか、または基板の殆どの部分に糊残りが生じた。
×…剥離することができなかった。
【0204】
なお、表１には、実施例および比較例で製造した粘着シートの層構成を示す。表１中の略号等の詳細は以下の通りである。
ＰＥＴ Ａ４３００：ポリエチレンテレフタレートフィルム（東洋紡社製，製品名「ＰＥＴ Ａ４３００」，厚さ：３８μｍ）
ＰＥＴ３８－Ｔ１００：ポリエチレンテレフタレートフィルム（三菱ケミカル社製，製品名「ＰＥＴ３８－Ｔ１００」，厚さ：３８μｍ）
ＰＥＴ Ａ４３００：ポリエチレンテレフタレートフィルム（東洋紡社製，製品名「ＰＥＴ Ａ４３００」，厚さ：３８μｍ）
ＰＥＴ３８－Ｔ１００：ポリエチレンテレフタレートフィルム（三菱ケミカル社製，製品名「ＰＥＴ３８－Ｔ１００」，厚さ：３８μｍ）
【0205】
【表1】
【0206】
【表2】
【0207】
【表3】
【0208】
表３から明らかなように、実施例で製造した粘着シートでは、加熱処理を行った場合であっても、ワークを粘着シートから良好に剥離することができるとともに、粘着シートを基板から良好に剥離することができた。そのため、実施例に係る粘着シートによれば、基板を良好に再利用できることがわかった。
【産業上の利用可能性】
【0209】
本発明に係る粘着シートは、フレキシブルデバイスの加工、積層、検査などの工程で使用される工程用粘着シートとして好適であり、特に加熱処理を含む工程で使用される工程用粘着シートとして好適である。
【符号の説明】
【0210】
１…粘着シート
１１１…第１の粘着剤層
１１２…第２の粘着剤層
１１３…芯材
１２ａ，１２ｂ…剥離シート
２…ワーク（フレキシブルデバイス）
３…基板
４…積層体
１１１…第１の粘着剤層
１１２…第２の粘着剤層
１１３…芯材
１２ａ，１２ｂ…剥離シート
２…ワーク（フレキシブルデバイス）
３…基板
４…積層体
【図1】
【図2】