特開 2022-157062 検査装置及び検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022157062

(43)【公開日】2022-10-14

(54)【発明の名称】検査装置及び検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01V 3/10 20060101AFI20221006BHJP

【ＦＩ】

G01V3/10 F

【審査請求】未請求

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021061080

(22)【出願日】2021-03-31

(71)【出願人】

【識別番号】000104652

【氏名又は名称】キヤノン電子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001243

【氏名又は名称】弁理士法人谷・阿部特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】松岡 貴弘

【テーマコード（参考）】

2G105

【Ｆターム（参考）】

2G105AA01

2G105BB05

2G105DD02

2G105EE02

2G105GG01

2G105HH05

(57)【要約】

【課題】検出漏れのリスクを低減すること。
【解決手段】相対的に第１の方向に移動する被検査物に含まれる磁性異物の残留磁気による磁界を検出する少なくとも一対の磁気検出器を備える検査装置が提供される。一対の磁気検出器の一方の磁気検出器の一平面である第１平面上には複数の線状の感磁体としての磁性体が配置され、一対の磁気検出器の他方の磁気検出器の一平面である第２平面上には複数の線状の感磁体としての磁性体が配置される。一対の磁気検出器は、磁界検出方向が同じであり、第１の方向に所定の第１の間隔をあけて配置され、かつ、第１平面と第２平面とが非平行になるように配置されている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

相対的に第１の方向に移動する被検査物に含まれる磁性異物の残留磁気による磁界を検出する少なくとも一対の磁気検出器を備え、
前記一対の磁気検出器の一方の磁気検出器の一平面である第１平面上には複数の線状の感磁体としての磁性体が配置され、
前記一対の磁気検出器の他方の磁気検出器の一平面である第２平面上には複数の線状の感磁体としての磁性体が配置され、
前記一対の磁気検出器は、磁界検出方向が同じであり、前記第１の方向に所定の第１の間隔をあけて配置され、かつ、前記第１平面と前記第２平面とが非平行になるように配置されている、
検査装置。

【請求項2】

前記一対の磁気検出器は、各磁気検出器の磁界検出方向が、前記第１の方向と直交し、前記被検査物を向くように配置されている、
請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

前記被検査物は搬送手段によって搬送路に沿って搬送されることで前記一対の磁気検出器に対して前記第１の方向に移動され、
前記第１平面と、前記搬送路の幅方向である第２の方向とがなす角度はθ１であり、
前記第２平面と、前記第２の方向とがなす角度はθ２であり、
θ１とθ２とは互いに異なり、θ１の絶対値及びθ２の絶対値はいずれも０から４５度の範囲内である
請求項２に記載の検査装置。

【請求項4】

θ１及びθ２は、θ２＝－θ１を満たす、
請求項３に記載の検査装置。

【請求項5】

前記一対の磁気検出器として、前記第１の方向に所定の第１の間隔をあけて配置された第１の一対の磁気検出器と、前記第１の方向に所定の第２の間隔をあけて配置された第２の一対の磁気検出器とを有し、
前記第１の一対の磁気検出器における前記第１平面と前記第２の方向とがなす角度はθ１であり、前記第２平面と前記第２の方向とがなす角度はθ２であり、
前記第２の一対の磁気検出器における前記第１平面と前記第２の方向とがなす角度はθ３であり、前記第２平面と前記第２の方向とがなす角度はθ４であり、
θ１とθ２およびθ３とθ４とはそれぞれ互いに異なり、いずれもその絶対値が０から４５度の範囲内である、
請求項２に記載の検査装置。

【請求項6】

前記検査装置は、前記第１の方向に所定の第１の間隔をあけて前記一対の磁気検出器を配置するための固定部材をさらに備え、前記所定の第１の間隔は、前記一対の磁気検出器のそれぞれが検出するノイズ信号の位相がずれるように設定され、
前記検査装置は、前記位相のずれを利用して、前記磁気検出器が検出した磁性異物の残留磁気による磁界の信号と前記ノイズ信号とを分離する演算処理部をさらに備える、
請求項１～５のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項7】

前記検査装置は、前記被検査物に磁界を印加するための着磁手段をさらに備え、前記各磁気検出器の磁界検出方向は、前記着磁手段による磁界の印加方向と同じである、
請求項１～６のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項8】

前記一対の磁気検出器のそれぞれは、前記磁性体の周囲を巻回すコイルを有する、直交フラックスゲート型センサ又は磁気インピーダンスセンサである
請求項１～７のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項9】

前記検査装置は、前記少なくとも一対の磁気検出器を取り囲むように配置され、外部磁気の影響を遮蔽する磁気遮蔽手段をさらに備え、前記磁気遮蔽手段は、前記被検査物が対応する磁気検出器の検査領域に入ったときに前記対応する磁気検出器の一部が前記被検査物に対して露出する位置に設けられた開口部を有する、
請求項１～８のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項10】

前記着磁手段は、前記被検査物に含まれる磁性異物に静磁界で着磁させ、
前記各磁気検出器の磁界検出方向は、前記静磁界の方向と同じである、
請求項７に記載の検査装置。

【請求項11】

前記各磁気検出器は、前記磁界を検出して電圧に変換し、
前記検査装置は、前記少なくとも一対の磁気検出器に対する駆動制御及び前記少なくとも一対の磁気検出器が検出した信号の処理を実行する演算処理部と、
前記少なくとも一対の磁気検出器が検出した信号の波形を表示する表示部と、
をさらに備える、
請求項１に記載の検査装置。

【請求項12】

前記複数の線状の感磁体のそれぞれは、磁性薄膜である、
請求項１～１１のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項13】

相対的に第１の方向に移動する被検査物に含まれる磁性異物の残留磁気による磁界を検出する少なくとも一対の磁気検出器によって、前記磁性異物の有無を検査するステップであって、前記一対の磁気検出器のうち、一方の磁気検出器の第１平面上には複数の線状の感磁体としての磁性体が配置され、他方の磁気検出器の第２平面上には複数の線状の感磁体としての磁性体が配置され、前記一対の磁気検出器は、磁界検出方向が同じに設定され、前記第１の方向に所定の間隔をあけて配置され、かつ、前記第１平面と前記第２平面とが非平行である、ステップを含む、検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査装置及び検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

市場に流通する商品には、粉状又は粒状の素材を含む商品、成形部品を含む商品、又は包装された商品などの様々な形態がある。商品には、製造工程又は梱包などの工程で異物が混入するリスクがあるため、異物が混入した商品を排除するために検査が行われる。商品の形態によって混入しうる異物の種類は異なるが、例えば、ある種の商品では、ネジなどが落下して商品内部に混入するリスクや、切断工程で利用する刃が欠損して刃の欠けなどが商品に混入するリスクがある。

【0003】

商品に混入する異物のサイズは小さいことが多く、また、大量の商品が連続的に搬送される中で、商品に混入した異物を精度良く発見する必要があることから、検査には高性能な検査装置を必要となる。対象とする異物の種類によって検査方法は異なるが、例えば、帯磁した異物又は着磁可能な異物（以下、磁性異物）を検出する場合には磁気検出器が利用できる。磁性異物のサイズが小さい場合、磁性異物の残留磁気も小さくなるため、微小な磁性異物を検出するには、高い検出能力を有する磁気検出器が必要になる。

【0004】

下記の特許文献１では、被検査物が搬送される搬送路の幅方向に鋭指向性を有し、かつ搬送路の幅方向に配列された複数の磁気センサを利用して、被検査物中にある金属の残留磁気を検出する金属検出装置が提案されている。この金属検出装置は、複数組の磁気センサからの検出信号の相関に基づいて被検査物中に金属があるか否かを判定する。

【0005】

下記の特許文献２では、複数の磁気検出器を備え、同じ被検査物に対して複数の磁気検出器が検出した検出信号を乗算処理して乗算波形を算出し、その乗算波形に基づいて磁性異物を検出する検査装置が提案されている。下記の特許文献３では、最大感度方向が互いに異なる複数の感磁体を有する磁気インピーダンス素子又は直交フラックスゲート型検出素子を備える微小磁性体検出センサが提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特許第５６９５４２８号公報

【特許文献2】特許第６８１５５１３号公報

【特許文献3】特許第６７６６３３３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

ところで、被検査物に混入する磁性異物の形状は様々であり、例えば、粒状、線状、箔状などの磁性異物が被検査物に混入しうる。また、被検査物中に混入する磁性異物の姿勢は一定でない。磁性異物の形状と姿勢、そして、磁気検出器の特性とが一定の条件を満たした場合、その磁性異物に対する磁気検出器の検出感度が著しく低下することがあり、磁性異物の検出漏れが発生するリスクがある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記の課題を鑑み、本発明の一態様によれば、相対的に第１の方向に移動する被検査物に含まれる磁性異物の残留磁気による磁界を検出する少なくとも一対の磁気検出器を備え、一対の磁気検出器の一方の磁気検出器の一平面である第１平面上には複数の線状の感磁体としての磁性体が配置され、一対の磁気検出器の他方の磁気検出器の一平面である第２平面上には複数の線状の感磁体としての磁性体が配置され、一対の磁気検出器は、磁界検出方向が同じであり、第１の方向に所定の第１の間隔をあけて配置され、かつ、第１平面と第２平面とが非平行になるように配置されている、検査装置が提供される。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、検出漏れのリスクを低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の実施形態に係る検査装置の構成例を示した模式図である。

【図2】本発明の実施形態に係る磁気検出器の構造について説明するための模式図である。

【図3】本発明の実施形態に係る磁気検出器の配置について説明するための模式図である。

【図4】本発明の実施形態に係る磁界検出器の特性について説明するための第１の図である。

【図5】本発明の実施形態に係る磁界検出器の特性について説明するための第２の図である。

【図6】本発明の実施形態に係る磁界検出器の特性について説明するための第３の図である。

【図7】本発明の実施形態に係る処理装置の構成について説明するためのブロック図である。

【図8】本発明の実施形態に係る信号処理部及び演算処理部の機能について説明するためのブロック図である。

【図9】本発明の実施形態に係る検査装置の動作について説明するためのフロー図である。

【図10】本発明の実施形態に係る演算処理部のハードウェアについて説明するためのブロック図である。

【図11】本発明の実施形態の変型例（変形例＃１）に係る検査装置の構成について説明するための模式図である。

【図12】本発明の実施形態の変型例（変形例＃２）に係る検査装置の構成について説明するための模式図である。

【図13】本発明の実施形態の変型例（変形例＃３）に係る検査装置の構成について説明するための模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、図面を参照しながら本発明の実施形態（以下、本実施形態）について説明する。なお、本明細書及び図面において実質的に同一の機能を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する場合がある。

【0012】

［１．検査装置の構成］
図１を参照しながら、本実施形態に係る検査装置の構成例について説明する。図１は、本実施形態に係る検査装置の構成例を示した模式図である。なお、図１に示した検査装置１０は、本実施形態に係る検査装置の一例である。

【0013】

図１に示すように、検査装置１０は、着磁手段１１と、搬送手段１２と、磁気検出器１３、１４、１６、１７と、磁気遮蔽手段１５、１８と、処理装置１９と、固定部材２０、２１とを有する。

【0014】

なお、図１に例示した検査装置１０の構成は一例であり、実施の態様に応じて適宜変形してもよい。例えば、着磁手段１１を省略すること、磁気検出器１３、１４、１６、１７のうち、搬送路の上側に位置する一対の磁気検出器１３、１４、又は搬送路の下側に位置する一対の磁気検出器１６、１７を省略すること、そして、磁気遮蔽手段１５、１８を省略することなどが可能である。また、後述するように、磁気検出器の数や配置を変更してもよい。このような変形例についても当然に本実施形態の技術的範囲に属する。

【0015】

また、搬送手段１２を省略する変形も可能である。図１の例では、被検査物２２を搬送手段１２によって磁気検出器の検査領域に移動させているが、例えば、磁気検出器で構成されるユニットが被検査物２２の側に移動する仕組みにすれば、搬送手段１２を省略することができる。すなわち、磁気検出器１３、１４に対して相対的に被検査物２２が移動する構成であればよい。また、図１の例では、処理装置１９を検査装置１０に含めているが、処理装置１９を分離し、搬送手段１２を省略して、搬送手段１２及び処理装置１９を含まない磁気検出器のユニットを検査装置１０とする変形も可能である。このような変形例についても当然に本実施形態の技術的範囲に属する。

【0016】

以下の説明では、説明を簡単にするために、被検査物２２の搬送方向をＹ方向（図の右方向）、搬送路に垂直上向きの方向をＺ方向（図の上方向）、そして、Ｙ－Ｚ面に垂直な方向をＸ方向（紙面手前方向）と呼ぶことにする。また、ある要素の位置を基準に、搬送路の上流側の位置を「前段」、搬送路の下流側の位置を「後段」と表現する場合がある。また、図中には１つの被検査物しか記載されていないが、実際には複数の被検査物が搬送路に沿って連続的に搬送されうる。

【0017】

（着磁手段について）
まず、着磁手段１１について説明する。着磁手段１１は、例えば、磁石やコイルなどで構成された磁界発生機構である。着磁手段１１は、磁気検出器１３、１４、１６、１７の前段に配置され、上側部分１１ａと下側部分１１ｂとの間を被検査物２２が通過するように設置される。図１の例では、着磁手段１１は、磁界の印加方向がＺ方向になるように設置されており、上側部分１１ａと下側部分１１ｂとの間を通過する被検査物２２の磁性異物２３にＺ方向の静磁界を印加して着磁させる。

【0018】

静磁界の印加方向は、磁気検出器１３、１４、１６、１７の磁界検出方向と同じ方向に設定されることが好ましい。この場合、磁性異物２３が磁化される方向と、磁気検出器１３、１４、１６、１７の磁界検出方向とが一致するため、磁気検出器１３、１４、１６、１７による検出感度が高くなり、検出精度が向上する。なお、着磁手段１１による着磁は、静磁界に限られない。

【0019】

（搬送手段について）
次に、搬送手段１２について説明する。搬送手段１２は、被検査物２２を搬送するための搬送機構である。搬送手段１２は、例えば、搬送ベルト１２ａと、搬送ローラー１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅと、モータなどの駆動手段（非図示）とを含む。図１に示した搬送手段１２の構成（ベルトコンベア）は一例であり、代替的に、異なる構成を持つ搬送手段（例えば、重力を利用して被検査物２２を搬送する手段）を適用してもよい。

【0020】

図１の例において、被検査物２２は、着磁手段１１の前段で搬送ベルト１２ａの上に載置される。駆動手段の動力によって一定速度で回転する搬送ローラー１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅによって搬送ベルト１２ａが送られ、搬送ベルト１２ａ上の搬送面に積載されて被検査物２２が搬送される。搬送ベルト１２ａは、着磁手段１１の上側部分１１ａと下側部分１１ｂとの間、磁気検出器１３、１４の下側、及び磁気検出器１６、１７の上側を通るように配置される。被検査物２２は、搬送ベルト１２ａによって、着磁手段１１がある着磁領域を通り、磁気検出器１３、１４、１６、１７がある検査領域へと搬送路に沿って搬送される。

【0021】

（磁気検出器について）
次に、磁気検出器１３、１４、１６、１７について説明する。磁気検出器１３、１４、１６、１７は、例えば、直交フラックスゲート型センサ又は磁気インピーダンスセンサなどの磁気センサである。磁気検出器１３、１４は、固定部材２０によって、その配置が固定される。同様に、磁気検出器１６、１７は、固定部材２１によって、その配置が固定される。固定部材２０、２１は、例えば、板金又は樹脂によって構成される。なお、固定部材２０、２１の形状は図１の例に限定されず、任意に変更可能である。磁気検出器１３、１４、１６、１７は同じ構造であり、同じ特性を有するように構成される。そのため、以下では、磁気検出器１３について詳細に説明し、磁気検出器１４、１６、１７については詳細な説明を省略する場合がある。

【0022】

ここで、図２を参照する。図２は、本実施形態に係る磁気検出器の構造について説明するための模式図である。図２に示すように、磁気検出器１３は、非磁性基板１３１と、複数の感磁体としての磁性体１３２（磁性体Ｍ１～Ｍ６）と、コイル１３３とを有する。なお、図２の例では、非磁性基板１３１上に配置される磁性体の数を６としているが、磁性体の数は２以上５以下、又は７以上であってもよい。

【0023】

非磁性基板１３１は、例えば、セラミックやガラスなどの素材で形成される。磁性体Ｍ１～Ｍ６は、磁性薄膜であってよく、非磁性基板１３１の一平面上に配置される。例えば、磁性体Ｍ１～Ｍ６は、非磁性基板１３１の一平面上に、スパッタや蒸着などで磁性薄膜を製膜し、その磁性薄膜を所望の形状に成形することで作成されうる。この作成方法によれば、一度に多数の磁性体を容易に形成することができる。

【0024】

磁性体Ｍ１～Ｍ６の形状は、図２に示した例のように、Ｚ方向（着磁手段１１による磁界の印加方向と同じ方向）を長手方向とする線状であってもよいし、Ｚ方向を長手方向とし、かつＸ－Ｙ面（搬送面）に平行な断面が円又は矩形となる棒状であってもよい。また、磁性体Ｍ１～Ｍ６は、互いに平行になるように所定の間隔を空けて配置される。なお、磁気検出器１３の動作中、磁性体Ｍ１～Ｍ６には高周波電流が印加される。

【0025】

磁性体Ｍ１～Ｍ６は、電気的に直列又は並列に接続され、まとめて高周波電流が印加されてもよく、磁性体Ｍ１～Ｍ６にそれぞれ個別の高周波電流が印加されるようにしてもよい。その場合、個別に磁性体Ｍ１～Ｍ６に印加される電流は同じ駆動源から供給されていてもよいし、同じ値の電流が別の駆動源から供給される構成であってもよい。

【0026】

コイル１３３は、導電性材料で形成されたワイヤや薄膜であり、磁性体Ｍ１～Ｍ６の周囲に巻回される。磁気検出器１３が磁気インピーダンスセンサである場合、コイル１３３は、バイアス磁界を印加するためのバイアスコイルとして機能する。磁気検出器１３が直交フラックスゲート型センサである場合、コイル１３３は、磁性体Ｍ１～Ｍ６の周囲の磁界を検出するための検出コイルとして機能する。磁気検出器１３は、磁性体Ｍ１～Ｍ６のそれぞれに加わった外部磁界の強さを合算して総磁界量を取得し、総磁界量を電圧に変換して検出信号として処理装置１９へと出力する。

【0027】

上記のように、磁性体Ｍ１～Ｍ６の長手方向がＺ方向に揃えられているため、磁気検出器１３による磁界検出方向はＺ方向である。着磁手段１１による磁界の印加方向がＺ方向に設定されている場合、磁性異物２３が磁化される方向と、磁気検出器１３の磁界検出方向とが一致するため、磁気検出器１３による検出感度が高くなり、検出精度が向上する。

【0028】

次に、図３を参照する。図３は、本実施形態に係る磁気検出器の配置について説明するための模式図である。上記のように、磁気検出器１３、１４、１６、１７は同じ構造及び特性を有する。但し、検出漏れが発生するリスクを低減するため、対をなす磁気検出器１３、１４は、磁性体Ｍ１～Ｍ６が配置される平面（以下、感磁面）が互いに異なる向きとなるように配置される。同様に、対をなす磁気検出器１６、１７も、感磁面が互いに異なる向きとなるように配置される。

【0029】

なお、図３の例では、説明を容易にするため、磁性体Ｍ１～Ｍ６の列の中心がＹ方向に並ぶように磁気検出器１３、１４が配置されているが、両者の列中心がＸ方向に多少ずれていてもよい。磁気検出器１３、１４による検出領域の大半が重なっていれば、上述した検出精度の向上効果が得られるため、例えば、磁性体１つ分程度、磁性体Ｍ１～Ｍ６の列中心がＸ方向にずれていてもよい。以下の説明では、このような列中心のずれがある場合も含めて、Ｙ方向に沿った磁気検出器１３、１４の並びを、Ｙ方向に並置されていると表現する場合がある。磁気検出器１６，１７の配置についても同様である。

【0030】

図３の例では、磁気検出器１３の感磁面とＸ軸とがなす角度がθ１となるように磁気検出器１３が配置され、磁気検出器１４の感磁面とＸ軸とがなす角度がθ２となるように磁気検出器１４が配置されている。説明を簡単にするため、以下では、＋Ｘ方向に対して左回りの角度を正値、右回りの角度を負値で表現する（図３の例ではθ１は正値、θ２は負値となる）。磁気検出器１３、１４は、角度θ１、θ２が「θ１≠θ２」となるように配置される。つまり、磁気検出器１３、１４は、磁気検出器１３の感磁面と、磁気検出器１４の感磁面とが非平行となるように配置される。

【0031】

例えば、磁気検出器１３、１４は、角度θ１、θ２が「θ２＝－θ１」となるように配置されてよい。角度θ１、θ２の絶対値は、それぞれ０°～４５°の範囲内であることが好ましい。また、磁気検出器による検出漏れを低減する観点からは、角度θ１、θ２は、下記の式（１）で与えられる条件を満たすことが好ましい。さらに、角度θ１、θ２は、一方が４５°であり、かつ他方が－４５°であることが好ましい。

【0032】

｜θ１－θ２｜＝９０° …（１）

【0033】

上記のように、磁気検出器１３、１４の感磁面が互いに非平行になることで、磁性異物の形状と姿勢、及び感磁面の向きに起因して、磁気検出器１３、１４の一方で検出漏れが生じても、他方で磁性異物を検出できるようになる。その結果、検出漏れが発生するリスクが低減され、磁性異物の検出精度が向上する。また、角度θ１、θ２が上記の式（１）で与えられる条件を満たす場合、磁気検出器１３、１４の感磁面が互いに直交することになるため、さらに高い検出精度を実現することが可能になる。

【0034】

ところで、対となる磁気検出器１３、１４は、Ｙ方向に所定の間隔Ｌを空けて配置される。間隔Ｌは、固定部材２０によって規定される。また、間隔Ｌは、磁気検出器１３の検出信号と、磁気検出器１４の検出信号との位相が分離される距離（位相分離可能な距離）に設定されることが好ましい。この設定によれば、Ｙ方向に搬送される磁性異物の残留磁気による磁界は間隔Ｌの分だけ位相がずれて検出されるため、同相信号として検出される背景磁界ノイズから容易に分離することが可能になる。その結果、周辺にあるモータや電子機器などが発生する磁界ノイズを効果的に除去できるようになる。磁気検出器１６、１７も同様に、固定部材２１によってＹ方向の間隔が位相分離可能な距離に固定されうる。

【0035】

ここで、図４～図６を参照しながら、検出感度が低下する理由、及び磁気検出器１３、１４の配置構成によって検出漏れを回避できる理由について、さらに説明する。図４は、本実施形態に係る磁界検出器の特性について説明するための第１の図である。図５は、本実施形態に係る磁界検出器の特性について説明するための第２の図である。図６は、本実施形態に係る磁界検出器の特性について説明するための第３の図である。

【0036】

既に述べている通り、被検査物２２に混入する磁性異物の形状や姿勢は一定しておらず、磁性異物の形状や姿勢によっては磁性異物の検出感度が低下することがある。説明を簡単にするために、ワイヤ形状の磁石を磁性異物に見立てて説明する。また、磁気検出器１３における磁性体Ｍ１～Ｍ６の長手方向はＺ方向と平行で、感磁面とＸ軸との間の角度θ１が０°であると仮定する。

【0037】

図４の例では、磁石の長手方向はＺ方向で、磁化方向もＺ方向であり、磁気検出器１３の磁界検出方向と一致している。磁石は、図４（Ａ）に示すように、搬送路に沿ってＹ方向に移動し、磁気検出器１３の下を通過する。磁性体Ｍ１～Ｍ６に印加される外部磁界の強さを示す磁界量をそれぞれＨ１～Ｈ６と表現すると、ｎを１～６として、磁気検出器１３によって検出される総磁界量Ｈは、下記の式（２）で与えられる。

【0038】

【数1】

【0039】

なお、図４の例では、磁石の残留磁気による磁界量は、図４（Ｃ）に示すような図４（Ｂ）の磁性体Ｍ１～Ｍ６の配置に対応したＸ方向の分布を示す。この例では、磁石の磁化方向と磁気検出器１３の磁気検出方向とが一致しているため、磁性体Ｍ１～Ｍ６にそれぞれ対応する磁界量Ｈ１～Ｈ６が全て同じ符号（図４の例では正）の値となる。

【0040】

一方、図５の例では、磁石の長手方向はＸ方向で、磁石の磁化方向はＸ方向であり、磁気検出器１３の磁界検出方向と直交している。磁石は、図５（Ａ）に示すように、搬送路に沿ってＹ方向に移動し、磁気検出器１３の下を通過する。この例では、磁石が、図５（Ｂ）に示すように、Ｘ方向に並んだ磁性体Ｍ１～Ｍ６の列の中心と、磁石の中心とが一致する位置を通過する。この場合、磁石からの磁界量の分布は、図５（Ｃ）に示すように、磁石の中心に対応する位置を境に対称的な形状となる。

【0041】

このとき、磁界量Ｈ１～Ｈ６は、下記の式（３）の条件を満たす。その結果、上記の式（２）により、磁気検出器１３によって検出される総磁界量Ｈは０になる。実際、ワイヤ形状の磁性異物を用いてＳ／Ｎ（Signal to Noise ratio）を測定する実験を行ったところ、図６に示すように、磁性異物の中心と、磁性体Ｍ１～Ｍ６の列の中心とが近づくほど（横軸が０に近づくほど）Ｓ／Ｎが落ち込むことが分かった。これは、磁性異物の形状と姿勢、及び磁気検出器１３の配置によって不感帯が生じうることを示している。

【0042】

Ｈ６＝－Ｈ１，Ｈ５＝－Ｈ２，Ｈ４＝－Ｈ３ …（３）

【0043】

ここで、再び図３を参照する。既に述べた通り、本実施形態では、対をなす磁気検出器１３、１４の感磁面とＸ軸との間の角度θ１、θ２が異なるように、磁気検出器１３、１４が配置される。

【0044】

磁性異物がワイヤ形状で、磁性異物の磁化方向とＸ軸との間の角度がθ１であり、かつ磁性異物の中心が磁性体Ｍ１～Ｍ６の列の中心に対応する位置を通過するタイミングにおいて、磁気検出器１３では、総磁界量Ｈが０となり、その磁性異物の検出漏れが発生しうる。しかし、磁性異物の磁化方向とＸ軸との間の角度θ１は、磁気検出器１４の感磁面とＸ軸との間の角度θ２と異なるため、磁気検出器１４では、上記の式（３）で与えられる条件を満たさず、磁性異物の中心が磁性体Ｍ１～Ｍ６の列の中心に対応する位置を通過するタイミングにおいて検出される総磁界量Ｈが０にならない。そのため、磁気検出器１３で検出漏れが生じうる条件が揃っても、磁気検出器１４は、その磁性異物を検出することができる。

【0045】

上記のように、角度θ１、θ２が互いに異なるように磁気検出器１３、１４を配置することで、磁性異物の形状及び姿勢によらず、少なくとも一方の磁気検出器が磁性異物の残留磁界を検出することが可能になり、検出漏れが生じるリスクを低減することができる。なお、上記の式（１）で与えられる条件（磁気検出器１３、１４の感磁面が直交する条件）を満たす場合、一方の磁気検出器が検出漏れを生じうる状況で、他方の磁気検出器の検出感度が最大になるため、検出漏れのリスクを効果的に低減できる。

【0046】

なお、磁性異物の磁化方向とＸ軸との間の角度がθ１であり、かつ磁性異物の中心が磁性体Ｍ１～Ｍ６の列の中心に対応する位置を通過するタイミングにおいて、磁気検出器１３の総磁界量Ｈが０となる場合であっても、その前後のタイミングにおいては磁気検出器１３においても、磁界量Ｈが検出されるタイミングがある。但し、本来であれば、磁性異物の中心が磁性体Ｍ１～Ｍ６の列の中心に対応する位置を通過するタイミングで最も大きな総磁界量Ｈが検出されるものであり、それと比較すると大きく総磁界量Ｈの最大値が減少しており、磁性異物の検出が困難になる。それに対し本実施形態においては、角度θ２を有する磁気検出器１４を設けることで、磁性異物の中心が磁性体Ｍ１～Ｍ６の列の中心に対応する位置を通過するタイミングで最も大きな総磁界量Ｈを検出することが可能となり、磁性異物の検出漏れのリスクを低減することができる。

【0047】

これまで、搬送路の上側にある磁気検出器１３、１４の配置について説明してきたが、搬送路の下側にある磁気検出器１６、１７も同様に配置される。例えば、磁気検出器１６の感磁面とＸ軸との間の角度をθ３とし、磁気検出器１７の感磁面とＸ軸との間の角度をθ４とすると、磁気検出器１６、１７は、角度θ３、θ４が「θ３≠θ４」となるように配置される。つまり、磁気検出器１６、１７は、磁気検出器１６の感磁面と、磁気検出器１７の感磁面とが非平行となるように配置される。

【0048】

また、磁気検出器１６、１７は、角度θ３、θ４が「θ４＝－θ３」となるように配置されてよい。角度θ３、θ４の絶対値は、それぞれ０°～４５°の範囲内であることが好ましい。また、磁気検出器による検出漏れを低減する観点からは、角度θ３、θ４は、下記の式（４）で与えられる条件を満たすことが好ましい。さらに、角度θ３、θ４は、一方が４５°であり、かつ他方が－４５°であることが好ましい。

【0049】

｜θ３－θ４｜＝９０° …（４）

【0050】

上記のように、磁気検出器１６、１７の感磁面が互いに非平行になることで、磁性異物の形状と姿勢、及び感磁面の向きに起因して、磁気検出器１６、１７の一方で検出漏れが生じても、他方で磁性異物を検出することができる。その結果、検出漏れが発生するリスクが低減され、磁性異物の検出精度が向上する。また、角度θ３、θ４が上記の式（４）で与えられる条件を満たす場合、磁気検出器１６、１７の感磁面が互いに直交することになるため、さらに高い検出精度を実現することが可能になる。また、角度θ１～θ４を互いに異なる値に設定することで、検出漏れのリスクをさらに低減することができる。

【0051】

（磁気遮蔽手段について）
次に、再び図１を参照しながら、磁気遮蔽手段１５、１８について説明する。図１の例において、磁気検出器１３、１４は、磁気遮蔽手段１５によって取り囲まれている。同様に、磁気検出器１６、１７は、磁気遮蔽手段１８によって取り囲まれている。磁気遮蔽手段１５、１８は、パーマロイやケイ素鋼板などの高透磁率材料で形成されており、その外部からの磁界の侵入を阻止し、外部磁気の影響を遮蔽する。

【0052】

但し、磁気遮蔽手段１５には、磁気検出器１３、１４の下を通過する被検査物２２に対して、磁気検出器１３、１４を露出するための開口部が設けられており、その開口部を通して磁性異物からの磁界が磁気検出器１３、１４に到達しうる。同様に、磁気遮蔽手段１８には、磁気検出器１６、１７の上を通過する被検査物２２に対して、磁気検出器１６、１７を露出するための開口部が設けられており、その開口部を通して磁性異物からの磁界が磁気検出器１６、１７に到達しうる。

【0053】

磁気遮蔽手段１５、１８を設けることによって、磁気検出器１３、１４、１６、１７に到達する背景磁界ノイズを遮断することができ、検出精度をさらに高めることができる。なお、図１の例では、１つの磁気遮蔽手段で一対の磁気検出器を覆っているが、１つの磁気検出器を１つの磁気遮蔽手段で覆うようにしてもよいし、開口部を適切に設けた１つの磁気遮蔽手段によって全ての磁気検出器を覆うようにしてもよい。

【0054】

（処理装置について）
次に、図７及び図８を参照しながら、処理装置１９について説明する。図７は、本実施形態に係る処理装置の構成について説明するためのブロック図である。図８は、本実施形態に係る信号処理部及び演算処理部の機能について説明するためのブロック図である。

【0055】

図７に示すように、処理装置１９は、信号処理部１９１と、演算処理部１９２と、表示部１９３とを含む。

【0056】

信号処理部１９１は、磁気検出器１３、１４、１６、１７の駆動制御を実施し、磁気検出器１３、１４、１６、１７からの検出信号を処理する。例えば、信号処理部１９１は、図８に示すように、信号検出部１９１ａと、増幅部１９１ｂと、ＡＤ（Analog to Digital）変換部１９１ｃとを含む。

【0057】

信号検出部１９１ａは、磁気検出器１３、１４、１６、１７のそれぞれから、検出された総磁界量Ｈに対応する検出信号を受信する。また、信号検出部１９１ａは、検出信号の波形を表示部１９３に表示してもよい。増幅部１９１ｂは、信号検出部１９１ａによって受信された検出信号を増幅する。ＡＤ変換部１９１ｃは、増幅部１９１ｂによって増幅されたアナログの検出信号をデジタル信号に変換する。ＡＤ変換部１９１ｃから出力されるデジタル信号は、演算処理部１９２へと出力される。なお、検出信号をアナログ信号のまま処理してもよく、この場合はＡＤ変換部１９１ｃが省略されうる。

【0058】

演算処理部１９２は、信号処理部１９１から出力されるデジタル信号に基づいて磁性異物の有無を判定する。なお、演算処理部１９２をＯＰ（Operational）アンプなどのアナログ回路で構成する場合には、信号処理部１９１による増幅後の検出信号に基づいて磁性異物の有無が判定される。例えば、演算処理部１９２は、図８に示すように、ノイズ除去部１９２ａと、判定部１９２ｂとを含む。

【0059】

ノイズ除去部１９２ａは、磁気検出器１３、１４からの検出信号に対応するデジタル信号の組に対するノイズ除去処理、及び磁気検出器１６、１７からの検出信号に対応するデジタル信号の組に対するノイズ除去処理を実行して背景磁界ノイズの成分（ノイズ信号）を除去する。ノイズ除去処理としては、例えば、差動処理や平均処理などが適用できる。

【0060】

一対の磁気検出器からの検出信号を差動処理すると、磁性異物からの磁界に起因する検出信号はピークが上下に出る波形になる。一方、背景磁界ノイズは差動処理により除去される。差動処理によって背景磁界ノイズは高い除去率で除去されるため、より微小な磁性異物を検出することができる。

【0061】

ところで、従来技術のように一対の磁気検出器の磁界検出方向が同一でない場合には、検出信号中の背景磁界ノイズの成分が同相にならず、差動処理によって背景磁界ノイズを除去することはできない。この場合、背景磁界ノイズの影響を強く受けて検出精度が低下する。一方、本実施形態では、磁気検出器１３、１４、１６、１７の磁界検出方向が同一であるため、差動処理によって背景磁界ノイズの影響を除去することができ、高い検出精度を実現することができる。

【0062】

判定部１９２ｂは、ノイズ除去部１９２ａによって背景磁界ノイズの影響が除去された信号を取得し、取得した信号に基づいて磁性異物の有無を判定する。例えば、判定部１９２ｂは、信号強度が所定の閾値を超えた場合に磁性異物が存在すると判定する。そして、判定部１９２ｂは、その判定結果を表示部１９３に表示する。

【0063】

磁性異物を含む被検査物２２を搬送路から取り除くための除去手段（非図示）を検査装置１０が備えている場合、判定部１９２ｂは、磁性異物が存在すると判定したときに、その磁性異物が混入している被検査物２２を取り除くように除去手段を制御してもよい。

【0064】

（検査装置の動作について）
次に、図９を参照しながら、検査装置１０の動作について説明する。図９は、本実施形態に係る検査装置の動作について説明するためのフロー図である。

【0065】

（Ｓ１０１）被検査物２２は、着磁手段１１の前段で搬送ベルト１２ａ上に載置され、着磁手段１１がある着磁領域を通り、磁気検出器１３、１４、１６、１７がある検査領域へと搬送路に沿ってＹ方向に搬送される。着磁領域では、着磁手段１１が発生する磁界（例えば、静磁界）によって被検査物２２中の磁性異物が着磁される。着磁手段１１によって印加される静磁界の方向は、磁気検出器１３、１４、１６、１７の磁界検出方向と同じＺ方向である。そのため、磁性異物はＺ方向に磁化される。

【0066】

（Ｓ１０２）被検査物２２が検査領域へと搬送されると、磁気検出器１３、１４、１６、１７のそれぞれは、被検査物２２中にある磁性異物の残留磁気に起因する磁界を検出する。磁気検出器１３、１４、１６、１７の磁界検出方向はいずれもＺ方向であるため、磁気検出器１３、１４、１６、１７は、磁性異物からの磁界のＺ成分を検出し、検出信号を処理装置１９へと出力する。

【0067】

図３に示したように、Ｙ方向に並置された一対の磁気検出器１３、１４は、感磁面とＸ軸との間の角度が互いに異なるため、磁性異物の形状及び姿勢によらず、少なくとも一方の磁気検出器が磁性異物からの磁界を検出することができる。一対の磁気検出器１６、１７についても同様に、感磁面とＸ軸との間の角度が互いに異なるため、少なくとも一方の磁気検出器が磁性異物からの磁界を検出することができる。そのため、磁性異物が存在すれば、少なくとも１つの磁気検出器から処理装置１９に検出信号が送られる。

【0068】

（Ｓ１０３）処理装置１９の信号処理部１９１は、磁気検出器１３、１４、１６、１７からの検出信号を受信し、受信された検出信号を増幅する。また、信号処理部１９１は、アナログの検出信号をＡＤ変換してデジタルの検出信号を生成する。但し、磁性異物の有無を判定する処理をアナログ回路で実施する場合にはＡＤ変換を省略してもよい。信号処理部１９１によって処理された検出信号は、演算処理部１９２へと出力される。

【0069】

（Ｓ１０４）演算処理部１９２は、信号処理部１９１から出力された検出信号を取得し、取得された検出信号にノイズ除去処理を適用する。例えば、演算処理部１９２は、ノイズ除去処理として、一対の磁気検出器１３、１４に対応する２つの検出信号に対する差動処理又は平均処理を実行する。また、演算処理部１９２は、一対の磁気検出器１６、１７に対応する２つの検出信号に対する差動処理又は平均処理を実行する。これらのノイズ除去処理によって背景磁界ノイズの影響が低減されうる。

【0070】

また、演算処理部１９２は、ノイズ除去後の検出信号に基づいて、磁性異物の有無を判定する判定処理を実行する。例えば、演算処理部１９２は、一対の磁気検出器１３、１４に対応するノイズ除去後の検出信号、及び一対の磁気検出器１６、１７に対応するノイズ除去後の検出信号の少なくとも一方又は両方について、検出信号の信号強度が所定の閾値を超えた場合に磁性異物が存在すると判定する。

【0071】

（Ｓ１０５）演算処理部１９２は、磁性異物の有無に関する判定結果を表示部１９３に表示する。なお、演算処理部１９２は、検出信号の信号波形を表示部１９３に表示してもよい。また、磁性異物を含む被検査物２２を搬送路から取り除くための除去手段（非図示）がある場合、演算処理部１９２は、磁性異物が混入している被検査物２２を取り除くように除去手段を制御してもよい。

【0072】

Ｓ１０５の処理が完了すると、図９に示した一連の処理は終了する。但し、検査装置１０の稼働中は、搬送ベルト１２ａに次々と被検査物が載置され、連続的に検査が行われるため、各被検査物について図９に示した処理が実行される。

【0073】

（ハードウェア）
次に、図１０を参照しながら、演算処理部１９２の機能を実現可能なコンピュータ３０のハードウェア構成について説明する。図１０は、本実施形態に係る演算処理部のハードウェアについて説明するためのブロック図である。なお、コンピュータ３０の構成は一例であり、一部の要素を省略してもよく、新たな要素を追加してもよい。

【0074】

図１０に示すように、コンピュータ３０は、プロセッサ３１と、メモリ３２と、表示インターフェース３３と、通信インターフェース３４と、及び接続インターフェース３５とを有する。

【0075】

プロセッサ３１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）、ＧＰＵ（Graphic Processing Unit）などである。メモリ３２は、例えば、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）、ＳＳＤ（Solid State Drive）、フラッシュメモリなどである。上述したノイズ除去部１９２ａ及び判定部１９２ｂの機能は、プロセッサ３１及びメモリ３２を利用して実現されうる。

【0076】

表示インターフェース３３は、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、ＥＬＤ（Electro-Luminescence Display）などの表示装置を接続するためのインターフェースである。これらの表示装置は、上述した表示部１９３の一例である。通信インターフェース３４は、有線及び／又は無線のネットワークに接続するためのインターフェースである。通信インターフェース３４は、例えば、有線ＬＡＮ（Local Area Network）、無線ＬＡＮ、光通信ネットワーク、携帯電話ネットワークなどに接続されうる。

【0077】

接続インターフェース３５は、外部デバイスを接続するためのインターフェースである。接続インターフェース３５は、例えば、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）ポート、ＩＥＥＥ１３９４ポート、ＳＣＳＩ（Small Computer System Interface）などである。接続インターフェース３５には、例えば、キーボード、マウス、タッチパネル、タッチパッドなどの入力インターフェースが接続されうる。

【0078】

また、接続インターフェース３５には、コンピュータ可読記録媒体（Computer-readable storage medium）３６が接続されうる。コンピュータ可読記録媒体３６は、例えば、磁気記録媒体、光ディスク、光磁気ディスク、半導体メモリなどである。例えば、プロセッサ３１は、コンピュータ可読記録媒体３６に格納されたプログラムを読み出してメモリ３２に格納し、メモリ３２から読み出したプログラムに従ってコンピュータ３０の動作を制御してもよい。なお、プログラムは、メモリ３２に予め格納されてもよいし、通信インターフェース３４を介してネットワークからダウンロードされてもよい。

【0079】

以上、本実施形態に係る検査装置１０について説明した。

【0080】

［２．変形例］
以下、図１１～図１３を参照しながら、本実施形態の変形例について説明する。

【0081】

（変形例＃１）
図１１に示した検査装置１０ａは、既に説明した検査装置１０の一変形例（以下、変形例＃１）である。図１１は、本実施形態の変型例（変形例＃１）に係る検査装置の構成について説明するための模式図である。検査装置１０と検査装置１０ａとの間の違いは、磁気検出器１６、１７の有無にある。図１１に示すように、検査装置１０ａでは、磁気検出器１６、１７が省略されている。この場合、処理装置１９は、一対の磁気検出器１３、１４から出力される検出信号に基づいて磁性異物の有無を判定する。

【0082】

変形例＃１の場合でも、一対の磁気検出器１３、１４は、図３に示したように、それらの感磁面とＸ軸との間の角度θ１、θ２が互いに異なるように配置される。そのため、磁性異物の形状及び姿勢によらず、一対の磁気検出器１３、１４の少なくとも一方によって磁性異物を検出することができる。また、磁気検出器１３、１４の磁界検出方向もＺ方向に設定される。そのため、磁気検出器１３、１４からの検出信号に対して差動処理などのノイズ除去処理によって背景磁界ノイズを効果的に除去することができる。

【0083】

（変形例＃２）
図１２に示した変形例（以下、変形例＃２）は、Ｙ方向に２組の一対の磁気検出器を設ける構成を提案するものである。図１２は、本実施形態の変型例（変形例＃２）に係る検査装置の構成について説明するための模式図である。図１２に示すように、変形例＃２では、一対の磁気検出器１３ａ、１４ａの後段に、他の一対の磁気検出器１３ｂ、１４ｂが設けられている。磁気検出器１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂの構造は、図２を参照しながら説明した磁気検出器１３の構造と同じであり、いずれも磁界検出方向がＺ方向に設定されている。

【0084】

磁気検出器１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂの感磁面とＸ軸とがなす角度をそれぞれθ１’、θ２’、θ３’、θ４’と表現すると、磁気検出器１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂは、θ１’とθ２’とが異なり、かつ、θ３’とθ４’とが異なるように配置される。この配置によれば、磁気検出器１３ａ、１４ａの感磁面は互いに非平行であり、かつ、磁気検出器１３ｂ、１４ｂの感磁面は互いに非平行である。

【0085】

θ１’、θ２’、θ３’、θ４’の絶対値は、それぞれ０°～４５°の範囲内であることが好ましい。また、θ１’、θ２’は、「θ２’＝－θ１’」の条件を満たすように設定されてよく、θ３’、θ４’は「θ３’＝－θ４’」の条件を満たすように設定されてよい。また、θ１’、θ２’は、下記の式（５）で与えられる条件を満たすことが好ましく、θ３’、θ４’は、下記の式（６）で与えられる条件を満たすことが好ましい。また、θ１’、θ２’の一方が４５°、他方が－４５°に設定されるか、又はθ３’、θ４’の一方が４５°、他方が－４５°に設定されることが好ましい。また、θ１’、θ２’、θ３’、θ４’が互いに異なる値に設定されることが好ましい。

【0086】

｜θ１’－θ２’｜＝９０° …（５）
｜θ３’－θ４’｜＝９０° …（６）

【0087】

上記のようにθ１’、θ２’、θ３’、θ４’を設定することによって、磁性異物の形状及び姿勢によらず、磁気検出器１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂの少なくとも１つで磁性異物からの磁界を検出することができ、検出感度がさらに向上する。

【0088】

なお、図１２には、搬送路の上側における磁気検出器の配置だけを示したが、図１に示した例のように、搬送路の下側にも４つの磁気検出器を設置してもよい。この場合、合計８つの磁気検出器が設置されることになる。これらの磁気検出器は、感磁面とＸ軸との間の角度が互いに異なるように配置されてよい。代替的に、搬送路の上側にある４つの磁気検出器と、搬送路の下側にある４つの磁気検出器とで同じ角度構成が適用されてもよい。更なる変形例として、搬送路の上側に４つ、下側に２つの磁気検出器を設置する構成や、搬送路の上側に２つ、下側に４つの磁気検出器を設置する構成なども適用可能である。

【0089】

（変形例＃３）
図１３に示した変形例（以下、変形例＃３）は、搬送路の幅方向（Ｘ方向）に２組の一対の磁気検出器を設ける構成を提案するものである。図１３は、本実施形態の変型例（変形例＃３）に係る検査装置の構成について説明するための模式図である。図１３に示すように、変形例＃３では、一対の磁気検出器１３ｃ、１４ｃに並べて、他の一対の磁気検出器１３ｄ、１４ｄが設けられている。磁気検出器１３ｃ、１３ｄ、１４ｃ、１４ｄの構造は、図２を参照しながら説明した磁気検出器１３の構造と同じであり、いずれも磁界検出方向がＺ方向に設定されている。

【0090】

搬送路の幅方向が広い場合、図１３に示すように、複数の一対の磁気検出器を搬送路の幅方向に並べて配置する構成が適用できる。幅方向に隣接する磁気検出器の間隔は実施の態様に応じて適宜設定可能である。図１３の例では、説明を容易にするために、隣接する磁気検出器の間隔を若干離隔して記載しているが、磁性異物の検出感度が最大値の５０％となる位置が重なるような配置が好ましい。この配置によれば、隣接する磁気検出器の中間を磁性異物が通過するときに検出漏れが発生するリスクを低減しうる。

【0091】

磁気検出器１３ｃ、１４ｃの感磁面とＸ軸との間の角度θ１、θ２の構成は、上述した磁気検出器１３、１４についての角度θ１、θ２の構成と同じに設定されてよい。また、磁気検出器１３ｄ、１４ｄの感磁面とＸ軸との間の角度は、磁気検出器１３ｃ、１４ｃについての角度θ１、θ２と同じ値に設定されてよい。変形例＃３によれば、搬送路の幅が広い場合でも、磁性異物の形状及び姿勢によらず、磁気検出器１３ｃ、１３ｄ、１４ｃ、１４ｄの少なくとも１つで磁性異物からの磁界を検出することができ、高い検出感度を実現することができる。

【0092】

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例又は修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属する。

【符号の説明】

【0093】

１０、１０ａ 検査装置
１１、１１ａ、１１ｂ 着磁手段
１２ 搬送手段
１２ａ 搬送ベルト
１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅ 搬送ローラー
１３、１３ａ、１３ｂ、１４、１４ａ、１４ｂ、１６、１７ 磁気検出器
１５、１８ 磁気遮蔽手段
１９ 処理装置
２０ 被検査物
２１ 磁性異物
３０ コンピュータ
３１ プロセッサ
３２ メモリ
３３ 表示インターフェース
３４ 通信インターフェース
３５ 接続インターフェース
３６ 記録媒体
１３１ 非磁性基板
１３２、Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３、Ｍ４、Ｍ５、Ｍ６ 磁性体
１３３ コイル
１９１ 信号処理部
１９１ａ 信号検出部
１９１ｂ 増幅部
１９１ｃ ＡＤ変換部
１９２ 演算処理部
１９２ａ ノイズ除去部
１９２ｂ 判定部
１９３ 表示部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】