特開 2022-160045 樹脂金属複合フィルム及び樹脂金属複合フィルムの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022160045

(43)【公開日】2022-10-19

(54)【発明の名称】樹脂金属複合フィルム及び樹脂金属複合フィルムの製造方法

(51)【国際特許分類】

   B32B 15/082 20060101AFI20221012BHJP

   B32B 27/30 20060101ALI20221012BHJP

   B29C 63/02 20060101ALI20221012BHJP

【ＦＩ】

B32B15/082 B

B32B27/30 D

B29C63/02

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021064544

(22)【出願日】2021-04-06

(71)【出願人】

【識別番号】591145335

【氏名又は名称】パナック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100083116

【弁理士】

【氏名又は名称】松浦 憲三

(72)【発明者】

【氏名】久保田 勇

(72)【発明者】

【氏名】大越 駿斗

(72)【発明者】

【氏名】東 航輔

【テーマコード（参考）】

4F100

4F211

【Ｆターム（参考）】

4F100AB04B

4F100AB04D

4F100AB10B

4F100AB10D

4F100AB17B

4F100AB17D

4F100AB33B

4F100AB33D

4F100AK18A

4F100AK18C

4F100AK49

4F100BA04

4F100BA05

4F100BA06

4F100BA10B

4F100BA10D

4F100GB43

4F100JK06

4F100JL04A

4F100YY00A

4F100YY00B

4F100YY00C

4F100YY00D

4F211AA16

4F211AD03

4F211AD05

4F211AD08

4F211AG03

4F211SA07

4F211SC05

4F211SD01

4F211SN02

4F211SN13

4F211SP04

4F211SP36

(57)【要約】

【課題】シワや反りの発生を抑制できる樹脂金属複合フィルム及び樹脂金属複合フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】樹脂金属複合フィルムは、第１面と第２面と有する第１フッ素系樹脂フィルムであって、第１金属層を第１面に直接備える第１フッ素系樹脂フィルムと、第１面と第２面と有する第２フッ素系樹脂フィルムであって、第２金属層を第１面に直接備える第２フッ素系樹脂フィルムと、を備え、第２面同士を対向させた第１フッ素系樹脂フィルムと第２フッ素系樹脂フィルムとが熱ラミネート法により積層されてなる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１面と第２面と有する第１フッ素系樹脂フィルムであって、第１金属層を第１面に直接備える第１フッ素系樹脂フィルムと、
第１面と第２面と有する第２フッ素系樹脂フィルムであって、第２金属層を第１面に直接備える第２フッ素系樹脂フィルムと、を備え、
前記第２面同士を対向させた前記第１フッ素系樹脂フィルムと前記第２フッ素系樹脂フィルムとが熱ラミネート法により積層されてなる、樹脂金属複合フィルム。

【請求項2】

前記第１フッ素系樹脂フィルムと前記第２フッ素系樹脂フィルムとの間に中間樹脂フィルムを備える、請求項１に記載の樹脂金属複合フィルム。

【請求項3】

前記第１フッ素系樹脂フィルム及び前記第２フッ素系樹脂フィルムがＥＴＦＥ、ＦＥＰ、ＰＦＡ、及びＰＴＦＥのいずれかの樹脂から構成される、請求項１又は２記載の樹脂金属複合フィルム。

【請求項4】

前記第１金属層及び第２金属層が銅、アルミニウム、及びステンレス鋼のいずれかの金属から形成される、請求項１から３のいずれか一項に記載の樹脂金属複合フィルム。

【請求項5】

前記第１フッ素系樹脂フィルム及び前記第２フッ素系樹脂フィルムの厚みが５μｍ以上１００μｍ以下であり、前記第１金属層及び第２金属層の厚みが１μｍ以上７０μｍ以下である、請求項１から４のいずれか一項に記載の樹脂金属複合フィルム。

【請求項6】

温度２３±３℃、湿度５０±５％ＲＨの環境下に２４時間静置後の１００ｍｍ×１００ｍｍサンプルの反りが１０ｍｍ以下である、請求項１から５のいずれか一項に記載の樹脂金属複合フィルム。

【請求項7】

第１面と第２面と有する第１フッ素系樹脂フィルムの第１面に第１金属層を直接備える第１フッ素系樹脂フィルムと、第１面と第２面と有する第２フッ素系樹脂フィルムの第１面に第２金属層を直接備える第２フッ素系樹脂フィルムと、を準備する工程と、
前記第２面同士を対向させた前記第１フッ素系樹脂フィルムと前記第２フッ素系樹脂フィルムとを熱ラミネート法により積層する工程と、を備える樹脂金属複合フィルムの製造方法。

【請求項8】

熱ラミネート法により積層する工程は、前記第１フッ素系樹脂フィルムと前記第２フッ素系樹脂フィルムとの間に中間樹脂フィルムを積層する工程を備える、請求項７に記載の樹脂金属複合フィルムの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、樹脂金属複合フィルム及び樹脂金属複合フィルムの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

電子機器の小型化等の要求に対応するため、配線の自由度が高いフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ基板）が使用されている。フレキシブルプリント基板の材料として、ポリイミドフィルムの両面に接着剤を介して金属層を接着させた樹脂金属複合フィルムが用いられている。

【0003】

しかしながら、ポリイミドフィルムと接着剤とを使用した樹脂金属複合フィルムは誘電率が高いため、高周波に対する電気的特性の改善が求められていた。

【0004】

この様な改善に対応するため、特許文献１では、フッ素系樹脂フィルムの両面に接着剤を用いずに金属層を接着した樹脂金属複合フィルムが提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特許第５８５００８２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、フッ素系樹脂フィルムは、融点が高いため、金属層との良好な密着を得るには、高温（２５０～４００℃）で、熱圧着させる必要がある。そのため、生産性を得るために、ロールツーロール形式で、連続的に、高温ラミネートする場合、フッ素系樹脂フィルムと金属層の熱膨張率又は熱収縮率の差などにより、シワや反りが発生しやすくなる。

【0007】

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、シワや反りの発生を抑制できる樹脂金属複合フィルム及び樹脂金属複合フィルムの製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の樹脂金属複合フィルムは、第１面と第２面と有する第１フッ素系樹脂フィルムであって、第１金属層を第１面に直接備える第１フッ素系樹脂フィルムと、第１面と第２面と有する第２フッ素系樹脂フィルムであって、第２金属層を第１面に直接備える第２フッ素系樹脂フィルムと、を備え、第２面同士を対向させた第１フッ素系樹脂フィルムと第２フッ素系樹脂フィルムとが熱ラミネート法により積層されてなる。

【0009】

本発明の樹脂金属複合フィルムの製造方法は、第１面と第２面と有する第１フッ素系樹脂フィルムの第１面に第１金属層を直接備える第１フッ素系樹脂フィルムと、第１面と第２面と有する第２フッ素系樹脂フィルムの第１面に第２金属層を直接備える第２フッ素系樹脂フィルムと、を準備する工程と、第２面同士を対向させた第１フッ素系樹脂フィルムと第２フッ素系樹脂フィルムとを熱ラミネート法により積層する工程と、を備える。

【発明の効果】

【0010】

本発明の樹脂金属複合フィルム及び樹脂金属複合フィルムの製造方法によれば、シワや反りの発生を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は樹脂金属複合フィルムの第１実施形態の断面図である。

【図2】図２は樹脂金属複合フィルムの第２実施形態の断面図である。

【図3】図３は樹脂金属複合フィルムの製造方法の第１実施形態を説明するための概略構成図である。

【図4】図４は樹脂金属複合フィルムの製造方法の第２実施形態を説明するための概略構成図である。

【図5】図５は樹脂金属複合フィルムの製造方法の第２実施形態の変形例を説明するための概略構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、添付図面にしたがって本発明の実施形態について説明する。本発明は以下の実施形態により説明される。但し、本発明の範囲を逸脱すること無く、多くの手法により変更を行うことができ、実施形態以外の他の実施形態を利用できる。したがって、本発明の範囲内における全ての変更が特許請求の範囲に含まれる。ここで、図中、同一の記号で示される部分は、基本的に、同様の機能を有する同様の要素である。また、本明細書中で、数値範囲を“～”を用いて表す場合は、“～”で示される上限、下限の数値も数値範囲に含むものとする。

【0013】

［樹脂金属複合フィルム］
［第１実施形態］
樹脂金属複合フィルムの第１実施形態について、図を参照して説明する。図１は、第１実施形態の樹脂金属複合フィルムの断面図である。

【0014】

＜樹脂金属複合フィルム＞
図１に示すように、樹脂金属複合フィルム１０は、第１フッ素系樹脂フィルム１２と、第２フッ素系樹脂フィルム１４と、を備える。第１フッ素系樹脂フィルム１２は、対向する第１面１２Ａと第２面１２Ｂとを有する。第１面１２Ａと第２面１２Ｂとの間の距離が第１フッ素系樹脂フィルム１２の厚みになる。第１金属層１６が、第１フッ素系樹脂フィルム１２の第１面１２Ａに直接備えられる。第１フッ素系樹脂フィルム１２と第１金属層１６とが、接着剤などを介さずに直接積層される。

【0015】

第２フッ素系樹脂フィルム１４は、対向する第１面１４Ａと第２面１４Ｂとを有する。第１面１４Ａと第２面１４Ｂとの間の距離が第２フッ素系樹脂フィルム１４の厚みになる。第２金属層１８が、第２フッ素系樹脂フィルム１４の第１面１４Ａに直接備えられる。第２フッ素系樹脂フィルム１４と第２金属層１８とが、接着剤などを介さずに積層される。

【0016】

樹脂金属複合フィルム１０において、第１フッ素系樹脂フィルム１２の第２面１２Ｂと第２フッ素系樹脂フィルム１４の第２面１４Ｂとを対向させた状態で、熱ラミネート法により第１フッ素系樹脂フィルム１２と第２フッ素系樹脂フィルム１４とが直接積層される。

【0017】

熱ラミネート法は、加熱しながら加圧することで２以上の長尺のフィルム状の部材を積層、又は貼り合わせる技術を意味する。

【0018】

第１実施形態の樹脂金属複合フィルム１０は、第１金属層１６を直接備える第１フッ素系樹脂フィルム１２と、第２金属層１８を直接備える第２フッ素系樹脂フィルム１４のフッ素樹脂面同士（第２面１２Ｂと第２面１４Ｂ）を合わせて、熱ラミネート法で第１フッ素系樹脂フィルム１２と第２フッ素系樹脂フィルム１４とを積層する。これにより、フッ素系樹脂フィルムと金属層との熱膨張率（熱収縮率）差に起因する、シワや反りを抑制できる。

【0019】

＜フッ素系樹脂フィルム＞
第１フッ素系樹脂フィルム１２と第２フッ素系樹脂フィルム１４とは、フッ素系樹脂フィルムにより構成される。

【0020】

フッ素系樹脂とは、フッ素原子を含むオレフィンを構造単位に含有する樹脂をいう。フッ素系樹脂として、例えば、ＥＴＦＥ（エチレンテトラフルオロエチレン共重合体）、ＦＥＰ（テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（４．６フッ化））、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン（４フッ化））などを挙げることができる。

【0021】

第１フッ素系樹脂フィルム１２と第２フッ素系樹脂フィルム１４とは、フッ素系樹脂フィルムである限り、同じフッ素系樹脂フィルムであっても、異なるフッ素系樹脂フィルムであってもよい。熱膨張率の観点から、第１フッ素系樹脂フィルム１２と第２フッ素系樹脂フィルム１４とは、同じフッ素系樹脂フィルムであることが好ましい。

【0022】

第１フッ素系樹脂フィルム１２と第２フッ素系樹脂フィルム１４とは、３μｍ以上１００μｍ以下の厚みを有することが好ましく、１０μｍ以上７５μｍ以下の厚みを有することが更に好ましく、１２μｍ以上５０μｍ以下の厚みを有することがより好ましい。

【0023】

第１フッ素系樹脂フィルム１２と第２フッ素系樹脂フィルム１４とは、同じ厚みであっても、異なる厚みでもよい。熱膨張率の観点から第１フッ素系樹脂フィルム１２と第２フッ素系樹脂フィルム１４とは、同程度の厚みであることが好ましい。

【0024】

＜金属層＞
第１金属層１６と第２金属層１８とは、金属で構成される層である。第１金属層１６と第２金属層１８とは、金属で構成される限り、特に限定されない。なお、電子機器に用いられる基板の配線材料となる、銅、アルミニウム、及びステンレス鋼のいずれかの金属から形成されることが好ましい。金属層として、この中でも、導電率の観点から銅が好ましい。

【0025】

第１金属層１６と第２金属層１８とは、１μｍ以上７０μｍ以下の厚みを有することが好ましく、９μｍ以上３５μｍ以下の厚みを有することが更に好ましく、１２μｍ以上１８μｍ以下の厚みを有することがより好ましい。

【0026】

第１金属層１６と第２金属層１８とは、同じ厚みであっても、異なる厚みでもよい。熱膨張率の観点から第１金属層１６と第２金属層１８とは、同程度の厚みであることが好ましい。

【0027】

＜その他＞
フッ素系樹脂フィルムと金属層との接着強度を強くするため、各種の表面処理を施すことができる。第１フッ素系樹脂フィルム１２の第１面１２Ａ及び第２フッ素系樹脂フィルム１４の第１面１４Ａに表面処理を施してもよい。または、第１金属層１６の第１フッ素系樹脂フィルム１２の第１面１２Ａに対向する面及び第２金属層１８の第２フッ素系樹脂フィルム１４の第１面１４Ａに対向する面に表面処理を施してもよい。表面処理としては、コロナ処理、プラズマ処理、エキシマ処理などを挙げることができる。

【0028】

フッ素系樹脂フィルム同士の接着強度を強くするため、各種の表面処理を施すことができる。第１フッ素系樹脂フィルム１２の第２面１２Ｂ及び第２フッ素系樹脂フィルム１４の第２面１４Ｂに表面処理を施してもよい。

【0029】

［第２実施形態］
次に、樹脂金属複合フィルムの第２実施形態について、図を参照して説明する。図２は、第２実施形態の樹脂金属複合フィルムの断面図である。なお、第１実施形態と同様の構成には、同様の符号を付して、詳細な説明を省略する場合がある。

【0030】

図２に示すように樹脂金属複合フィルム２０は、第１面１２Ａと第２面１２Ｂとを有する第１フッ素系樹脂フィルム１２と、第１面１４Ａと第２面１４Ｂとを有す第２フッ素系樹脂フィルム１４と、を備える。第１金属層１６が、第１フッ素系樹脂フィルム１２の第１面１２Ａに直接備えられる。第２金属層１８が、第２フッ素系樹脂フィルム１４の第１面１４Ａに直接備えられる。

【0031】

樹脂金属複合フィルム２０は、第１フッ素系樹脂フィルム１２と第２フッ素系樹脂フィルム１４との間に、第１面２２Ａと第２面２２Ｂとを有する中間樹脂フィルム２２を備える。中間樹脂フィルム２２の第１面２２Ａに、第１フッ素系樹脂フィルム１２の第２面１２Ｂが対向配置される。また、中間樹脂フィルム２２の第２面２２Ｂに、第２フッ素系樹脂フィルム１４の第２面１４Ｂが対向配置される。

【0032】

樹脂金属複合フィルム２０において、第１フッ素系樹脂フィルム１２の第２面１２Ｂと第２フッ素系樹脂フィルム１４の第２面１４Ｂとを、中間樹脂フィルム２２を挟んで対向させ、その状態で、熱ラミネート法により第１フッ素系樹脂フィルム１２と第２フッ素系樹脂フィルム１４とが中間樹脂フィルム２２を介して積層される。

【0033】

第２実施形態の樹脂金属複合フィルム２０は、第１実施形態の樹脂金属複合フィルム１０と同様に、フッ素系樹脂フィルムと金属層との熱膨張率（熱収縮率）差に起因する、シワや反りを抑制できる。

【0034】

＜フッ素系樹脂フィルム＞
第２実施形態の樹脂金属複合フィルム２０に適用される第１フッ素系樹脂フィルム１２と第２フッ素系樹脂フィルム１４とは、第１実施形態の樹脂金属複合フィルム１０と同様のフッ素系樹脂フィルムにより構成される。

【0035】

＜金属層＞
第２実施形態の樹脂金属複合フィルム２０に適用される第１金属層１６と第２金属層１８とは、第１実施形態の樹脂金属複合フィルム１０と同様の金属層により構成される。

【0036】

＜中間樹脂フィルム＞
中間樹脂フィルム２２は、ポリイミド系樹脂フィルム又はアラミド系樹脂フィルム、フッ素系樹脂フィルムなどにより構成される。ポリイミド系樹脂フィルムはポリイミド系樹脂を含むフィルムである。ポリイミド系樹脂は、イミド基を含む繰返し構造単位を含有する樹脂、またはイミド基及びアミド基の両方を含む繰返し構造単位を含有する樹脂をいう。また、フッ素ポリイミドなどの樹脂も適用できる。

【0037】

中間樹脂フィルム２２は、１２μｍ以上１２５μｍ以下の厚みを有することが好ましく、１７μｍ以上７５μｍ以下の厚みを有することが更に好ましく、２５μｍ以上５０μｍ以下の厚みを有することがより好ましい。

【0038】

＜その他＞
フッ素系樹脂フィルムと金属層との接着強度を強くするため、各種の表面処理を施すことができる。第１フッ素系樹脂フィルム１２の第１面１２Ａ及び第２フッ素系樹脂フィルム１４の第１面１４Ａに表面処理を施してもよい。または、第１金属層１６の第１フッ素系樹脂フィルム１２の第１面１２Ａに対向する面及び第２金属層１８の第２フッ素系樹脂フィルム１４の第１面１４Ａに対向する面に表面処理を施してもよい。表面処理としては、コロナ処理、プラズマ処理、エキシマ処理などを挙げることができる。

【0039】

また、フッ素系樹脂フィルムと中間樹脂フィルムとの接着強度を強くするため、各種の表面処理を施すことができる。第１フッ素系樹脂フィルム１２の第１面１２Ｂ及び第２フッ素系樹脂フィルム１４の第１面１４Ｂに表面処理を施してもよい。中間樹脂フィルム２２の第１面２２Ａ及び第２面２２Ｂに表面処理を施してもよい。

【0040】

［樹脂金属複合フィルムの製造方法］
次に、第１実施形態の樹脂金属複合フィルム及び第２実施形態の樹脂金属複合フィルムの製造方法について、図を参照して説明する。

【0041】

（製造方法の第１実施形態）
図３は第１実施形態の樹脂金属複合フィルムを製造する方法を説明するための概略構成図である。樹脂金属複合フィルムの製造方法は、第１面１２Ａに第１金属層１６を直接備える第１フッ素系樹脂フィルム１２と、第１面１４Ａに第２金属層１８を直接備える第２フッ素系樹脂フィルム１４とを準備する準備工程と、第２面１２Ｂ、１４Ｂ同士を対向させた第１フッ素系樹脂フィルムと第２フッ素系樹脂フィルムとを熱ラミネート法により積層する積層工程と、を備える。

【0042】

最初に、準備工程について説明する。図３に示すように、第１面１２Ａと第２面１２Ｂとを有する長尺の第１フッ素系樹脂フィルム１２が送り出しロール３０から矢印で示す方向に連続的に送り出される。長尺の第１金属層１６が送り出しロール３２から矢印で示す方向に連続的に送り出される。第１フッ素系樹脂フィルム１２と第１金属層１６とが一対のニップロール３４に向けて連続的に搬送される。搬送速度は、例えば、０．２ｍ／分以上２０ｍ／分以下であり、より好ましくは１ｍ／分以上１０ｍ／分以下である。

【0043】

一対のニップロール３４により加熱しながら加圧され、第１フッ素系樹脂フィルム１２と第１金属層１６とが、熱ラミネート法により直接積層される。これにより、第１金属層１６を直接備える第１フッ素系樹脂フィルム１２（以下、必要に応じて第１の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１７と称する）が準備される。

【0044】

一対のニップロール３４は、例えば、金属ロール３６とゴムロール３８とにより構成される。金属ロール３６は表面にセラミック溶射や超硬金属溶射、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）コーティングなどの耐熱処理した炭素鋼やステンレス鋼のロールで構成される。金属ロール３６は、例えば、５０ｍｍφ以上４００ｍｍφ以下の直径を有し、より好ましくは、１００ｍｍφ以上３００ｍｍφ以下の直径を有する。金属ロール３６は加熱ロールとして機能し、例えば、２５０℃以上４００℃以下の範囲に設定され、より好ましくは３００℃以上３５０℃以下の範囲に設定される。

【0045】

ゴムロール３８はシリコーンゴムやフッ素ゴムなどの耐熱性の高いゴムロールで構成できる。ゴムロール３８は、例えば、５０ｍｍφ以上３００ｍｍφ以下の直径を有し、より好ましくは１００ｍｍφ以上２００ｍｍφ以下の直径を有する。ゴムロール３８は冷却ロールとして機能し、例えば、５℃以上９０℃以下の範囲に設定され、より好ましくは１５℃以上３５℃以下の範囲に設定される。なお、ゴムロール３８の温度は、金属ロール３６と接触していない時の温度である。

【0046】

一対のニップロール３４は、例えば、０．１ＭＰａ以上１０ＭＰａ以下のニップ圧、より好ましくは１ＭＰａ以上５ＭＰａ以下のニップ圧で第１フッ素系樹脂フィルム１２と第１金属層１６とを狭圧する。

【0047】

図３に示すように、金属ロール３６に対する第１金属層１６の巻き掛け角度は１８０°である。第１金属層１６の巻き掛け角度は、４５°以上１８０°以下であればよい。また、ゴムロール３８に対する第１フッ素系樹脂フィルム１２の巻き掛け角度は９０°である。第１フッ素系樹脂フィルム１２の巻き掛け角度は０°以上９０°以下であればよい。たるみ防止及び低張力化のためである。

【0048】

巻き掛け角度は、ロール（金属ロール３６又はゴムロール３８）に対する、長尺のウエブ（第１金属層１６又は第１フッ素系樹脂フィルム１２）の最初の接点と最後の接点の間のロールを中心とする中心角である。

【0049】

図３に示すように、第１面１４Ａと第２面１４Ｂとを有する長尺の第２フッ素系樹脂フィルム１４が送り出しロール３０から矢印で示す方向に連続的に送り出される。長尺の第２金属層１８が送り出しロール３２から矢印で示す方向に連続的に送り出される。第２フッ素系樹脂フィルム１４と第２金属層１８とが一対のニップロール３４に向けて搬送される。第１フッ素系樹脂フィルム１２と第１金属層１６と同様の条件にしたがって、一対のニップロール３４により加熱しながら加圧され、第２フッ素系樹脂フィルム１４と第２金属層１８とが、熱ラミネート法により直接積層される。これにより、第２金属層１８を直接備える第２フッ素系樹脂フィルム１４（以下、必要に応じて第２の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１９と称する）が準備される。

【0050】

上述したように、準備工程では、第１面１２Ａに第１金属層１６を直接備える第１フッ素系樹脂フィルム１２と、第１面１４Ａに第２金属層１８を直接備える第２フッ素系樹脂フィルム１４と、が準備される。

【0051】

次に、積層工程について説明する。第１の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１７と第２の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１９とが、一対のニップロール４０に向けて連続的に搬送される。一対のニップロール４０は、一対のニップロール３４と同様に、例えば、金属ロール４２とゴムロール４４とにより構成される。また、金属ロールと金属ロールとにより構成されても構わない。

【0052】

第１の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１７は、第１金属層１６の側が金属ロール４２に巻き掛けられる。第２の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１９は、第２金属層１８の側がゴムロール４４に巻き掛けられる。

【0053】

第１の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１７と第２の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１９とが金属ロール４２とゴムロール４４との間に搬送される。これにより、第１フッ素系樹脂フィルム１２の第２面１２Ｂと第２フッ素系樹脂フィルム１４の第２面１４Ｂとが、対向した状態で、一対のニップロール４０の間に搬送される。一対のニップロール４０により加熱しながら加圧され、第１の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１７の第１フッ素系樹脂フィルム１２と第２の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１９の第２フッ素系樹脂フィルム１４とが、熱ラミネート法により積層され、樹脂金属複合フィルム１０が製造される。一対のニップロール４０を通過した樹脂金属複合フィルム１０が巻き取りロール４６により巻き取られる。

【0054】

一対のニップロール４０の金属ロール４２は表面にセラミック溶射や超硬金属溶射、DLC（ダイヤモンドライクカーボン）コーティングなどの耐熱処理した炭素鋼やステンレス鋼のロールで構成される。金属ロール４２は、例えば、５０ｍｍφ以上４００ｍｍφ以下の直径を有し、より好ましくは、１００ｍｍφ以上３００ｍｍφ以下の直径を有する。金属ロール４２は加熱ロールとして機能し、例えば、２５０℃以上４５０℃以下の範囲に設定され、より好ましくは３００℃以上４００℃以下の範囲に設定される。

【0055】

一対のニップロール４０のゴムロール４４はシリコーンゴムやフッ素ゴムなどの耐熱性の高いゴムロールで構成できる。例えば、５０ｍｍφ以上３００ｍｍφ以下の直径を有し、より好ましくは１００ｍｍφ以上２００ｍｍφ以下の直径を有する。ゴムロール３８は冷却ロールとして機能し、例えば、５℃以上９０℃以下の範囲に設定され、より好ましくは１５℃以上３５℃以下の範囲に設定される。

【0056】

一対のニップロール４０は、例えば、０．１ＭＰａ以上１０ＭＰａ以下のニップ圧、より好ましくは１ＭＰａ以上５ＭＰａ以下のニップ圧で第１フッ素系樹脂フィルム１２と第２フッ素系樹脂フィルム１４とを狭圧する。

【0057】

図３に示すように、金属ロール４２に対する第１の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１７の巻き掛け角度は１８０°である。第１の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１７の巻き掛け角度は、９０°以上１８０°以下であればよい。また、ゴムロール４４に対する第２の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１９の巻き掛け角度は１８０°である。第２の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１９の巻き掛け角度は、９０°以上１８０°以下であればよい。たるみ防止及び反りによる折れ込み防止のためである。

【0058】

上述したように、積層工程では、第１金属層１６を第１面１２Ａに直接備える第１フッ素系樹脂フィルム１２と第２金属層１８を第１面１４Ａに直接備える第２フッ素系樹脂フィルム１４とが、熱ラミネート法により積層され、樹脂金属複合フィルム１０が製造される。

【0059】

（製造方法の第２実施形態）
次に、樹脂金属複合フィルムの製造方法の第２実施形態について説明する。なお、第１実施形態と同様の構成には、同様の符号を付して、詳細な説明を省略する場合がある。樹脂金属複合フィルムの製造方法の第２実施形態は、樹脂金属複合フィルムの製造方法の第１実施形態と異なり、積層工程は、中間樹脂フィルム２２を第１フッ素系樹脂フィルム１２と第２フッ素系樹脂フィルム１４との間に積層する工程を含む。

【0060】

図４は、第２実施形態の樹脂金属複合フィルムを製造するための概略構成図である。図４に示すように、第１の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１７と第２の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１９とが、連続的に一対のニップロール４０に搬送される。第１の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１７は、第１金属層１６の側が金属ロール４２に巻き掛けられる。第２の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１９は、第２金属層１８の側がゴムロール４４に巻き掛けられる。これにより、第１フッ素系樹脂フィルム１２の第２面１２Ｂと第２フッ素系樹脂フィルム１４の第２面１４Ｂとが対向した状態で、一対のニップロール４０の間に搬送される。

【0061】

さらに、中間樹脂フィルム２２が、一対のニップロール４０の間で、且つ第１フッ素系樹脂フィルム１２と第２フッ素系樹脂フィルム１４との間に連続的に搬送される。一対のニップロール４０により、第１フッ素系樹脂フィルム１２と中間樹脂フィルム２２と第２フッ素系樹脂フィルム１４とが熱ラミネート法により同時に積層され、樹脂金属複合フィルム２０が製造される。製造された樹脂金属複合フィルム２０が巻き取りロール４６により巻き取られる。

【0062】

一対のニップロール４０の構成、温度条件及びニップ圧などの条件は、樹脂金属複合フィルムの製造方法の第１実施形態の一対のニップロール４０と同様の条件を適用できる。また、金属ロール４２に対する第１の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１７の巻き掛け角度及びゴムロール４４に対する第２の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１９の巻き掛け角度は、第１実施形態と同様の巻き掛け角度を適用できる。

【0063】

なお、中間樹脂フィルム２２の進入角度θは－４５°以上＋４５°以下であることが好ましい。角度は金属ロール４２とゴムロール４４の接線方向の延長線を０°として、延長線と中間樹脂フィルム２２とが成す角度で、金属ロール４２の側を（＋）、ゴムロール４４の側を（－）として定義される。

【0064】

樹脂金属複合フィルムの製造方法の第２実施形態の変形例を図５に基づいて説明する。準備工程で準備された第１の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１７が一対のニップロール５０に連続的に搬送される。また、第１面２２Ａと第２面２２Ｂとを有する中間樹脂フィルム２２が一対のニップロール５０に連続的に搬送される。

【0065】

一対のニップロール５０は金属ロール５２とゴムロール５４とにより構成される。第１の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１７は、第１金属層１６の側が金属ロール５２に巻き掛けられる。第１の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１７の巻き掛け角度は１８０°である。第１の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１７の巻き掛け角度は、９０°以上１８０°以下であればよい。ゴムロール５４に対する中間樹脂フィルム２２の巻き掛け角度は９０°である。中間樹脂フィルム２２の巻き掛け角度は、０°以上９０°以下であればよい。

【0066】

第１の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１７と中間樹脂フィルム２２とが、一対のニップロール５０の間に搬送される。一対のニップロール５０により加熱しながら加圧され、第１フッ素系樹脂フィルム１２と中間樹脂フィルム２２とが、熱ラミネート法により積層される。第１面１２Ａ（不図示）に第１金属層１６を直接備え、且つ第２面１２Ｂ（不図示）に中間樹脂フィルム２２を備える第１フッ素系樹脂フィルム１２（以下、必要に応じて積層樹脂フィルム２３と称する）が準備される。

【0067】

次に、積層工程について説明する。積層樹脂フィルム２３と第２の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１９とが、一対のニップロール４０に向けて連続的に搬送される。一対のニップロール４０は、金属ロール４２とゴムロール４４とにより構成される。

【0068】

積層樹脂フィルム２３は、第１金属層１６の側が金属ロール４２に巻き掛けられる。第２の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１９は、第２金属層１８の側がゴムロール４４に巻き掛けられる。

【0069】

積層樹脂フィルム２３と第２の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１９とが金属ロール４２とゴムロール４４との間に搬送される。これにより、積層樹脂フィルム２３の中間樹脂フィルム２２の第２面２２Ｂ（不図示）と、第２フッ素系樹脂フィルム１４の第２面１４Ｂ（不図示）とが、対向した状態で、一対のニップロール４０の間に搬送される。一対のニップロール４０により加熱しながら加圧され、積層樹脂フィルム２３の中間樹脂フィルム２２と第２の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１９の第２フッ素系樹脂フィルム１４とが、熱ラミネート法により積層され、樹脂金属複合フィルム２０が製造される。一対のニップロール４０を通過した樹脂金属複合フィルム２０が巻き取りロール４６により巻き取られる。

【0070】

一対のニップロール４０の構成、温度条件及びニップ圧などの条件は、樹脂金属複合フィルムの製造方法の第１実施形態の一対のニップロール４０と同様の条件を適用できる。

【0071】

また、金属ロール４２に対する積層樹脂フィルム２３の巻き掛け角度は、第１実施形態の第１の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１７と同様の巻き掛け角度を適用できる。ゴムロール４４に対する第２の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１９の巻き掛け角度は、第１実施形態の第２の金属層付きフッ素系樹脂フィルム１９の巻き掛け角度を適用できる。

【0072】

＜実施例＞
以下、本発明の実施例を挙げ、本発明を、より詳細に説明する。但し、本発明は、これらの実施例に何ら限定されるものではない。

【0073】

（試験）
サンプル１から７の樹脂金属複合フィルムを製造し、評価を行った。

【0074】

（試験条件）
Ａ：材料
幅３００ｍｍ、２５μｍ及び５０μｍの厚みを有するフッ素系樹脂フィルム（ＡＧＣ株式会社製：ＦＬＵＯＮ＋ＥＡ－２０００）を準備した。

【0075】

１２μｍの厚みの金属箔（福田金属箔粉工業株式会社製：電解銅箔ＣＦ－Ｔ９ＤＡ－ＳＶ）を準備した。
Ｂ：加工条件
金属ロール（１５０ｍｍφ：（炭素鋼＋セラミック溶射）とゴムロール（１００ｍｍφ（シリコーンゴム）を備える一対のニップロールを準備した。ニップ圧は約２ＭＰａとした。

【0076】

速度は後述するプロセス１、４の準備工程では５～８ｍ／分とし、積層工程では１～２ｍ／分とした。プロセス２、３工程では１～２ｍ／分とした。

【0077】

熱ラミネート法を実施する温度は、プロセス１、４の準備工程ではでは３００℃とし、積層工程では３５０℃及び３７５℃とした。プロセス２、３工程では３５０℃とした。
Ｃ：プロセス
プロセス１：フッ素系樹脂フィルムの一方の面に金属箔を直接備える金属層付きフッ素系樹脂フィルムを２枚準備し、フッ素系樹脂フィルムの面同士を熱ラミネート法により積層する方法である。巻き掛け角度に関し、準備工程では金属ロールに対し金属箔が１８０°であり、ゴムロールに対しフッ素系樹脂フィルムが９０°であった。積層工程では、金属ロール及びゴムロールに対していずれも１８０°であった。

【0078】

プロセス２：フッ素系樹脂フィルムの一方の面に金属箔を備える金属層付きフッ素系樹脂フィルムを１枚準備し、その後、他方の面に、熱ラミネート法により金属箔を直接積層する方法である。

【0079】

プロセス３：フッ素系樹脂フィルムを１枚準備し、その両面に熱ラミネート法により金属箔を同時に直接積層する方法である。

【0080】

プロセス４：プロセス１と同様に金属層付きフッ素系樹脂フィルムを２枚準備し、フッ素系樹脂フィルムの面同士の間に中間樹脂フィルムを熱ラミネート法により積層する方法である。なお、中間樹脂フィルムとしては２５μｍの厚みを有するポリイミドフィルム（東レ・デュポン株式会社製：カプトンＥＮ）を使用した。
Ｄ：評価及び測定条件
外観、反り及び剥離強度を評価した。評価及び測定条件は以下のとおりである。

【0081】

外観：シワ、折れ、金属箔変色等の欠点の有無を確認し評価した。いずれの欠点も見られないものは○、金属箔の変色のみ見られるものは△、シワ、折れいずれかの欠点が見られるものを×とした。

【0082】

反り：樹脂金属複合フィルム全幅サンプルの中央部分を１００ｍｍ×１００ｍｍにカットし、温度２３±３℃、湿度５０±５％ＲＨの環境下に２４時間静置後、サンプルの凹側が上になるように水平な台に置き、４隅と台の距離をＪＩＳ１級金尺で測定し、その平均値を反り量とした。

【0083】

剥離強度：オートグラフ（（株）島津製作所製）を用いて、３ｍｍ幅の樹脂金属複合フィルムの金属箔を９０°方向に速度５０ｍｍ／分で剥離した時の強度を測定した。

【0084】

表１は、サンプル１から７の製造条件及び評価を示す。プロセス１、４が適用されるサンプル１－４、７について、２枚の金属層付きフッ素系樹脂フィルムに含まれる各フッ素系樹脂フィルムの厚みを示している。なお、サンプル１、３、４、７では各フッ素系樹脂フィルムの厚みは２５μｍであり、サンプル２では各フッ素系樹脂フィルムの厚みは５０μｍであった。金属箔の厚み関して、サンプル１、２、４－７では１２μｍであり、サンプル３では１８μｍであった。

【0085】

【表1】

【0086】

表１に示されるように、フッ素系樹脂フィルムの一方の面に金属箔を直接備える金属層付きフッ素系樹脂フィルムを２枚準備し、フッ素系樹脂フィルムの面同士を熱ラミネート法により積層した樹脂金属複合フィルム及びフッ素系樹脂フィルムの面同士の間に中間樹脂としてポリイミドフィルムを熱ラミネート法により積層した樹脂金属複合フィルムのサンプル１－４、７は、外観の評価が△以上であり、反りが１０ｍｍ以下であり、フッ素系樹脂フィルムと金属層（金属箔）との熱膨張率（熱収縮率）差に起因する、シワや反りを抑制できたことが理解できる。したがって、ロールツーロール形式での製造が可能になる。一方で、サンプル５では、反りが１０ｍｍより大きかった。また、サンプル６では、外観の評価が×であり、かつ反りが１０ｍｍより大きかった。

【符号の説明】

【0087】

１０…樹脂金属複合フィルム、１２…第１フッ素系樹脂フィルム、１２Ａ…第１面、１２Ｂ…第２面、１４…第２フッ素系樹脂フィルム、１４Ａ…第１面、１４Ｂ…第２面、１６…第１金属層、１７…フッ素系樹脂フィルム、１８…第２金属層、１９…フッ素系樹脂フィルム、２０…樹脂金属複合フィルム、２２…中間樹脂フィルム、２２Ａ…第１面、２２Ｂ…第２面、２３…積層樹脂フィルム、３０…送り出しロール、３２…送り出しロール、３４…ニップロール、３６…金属ロール、３８…ゴムロール、４０…ニップロール、４２…金属ロール、４４…ゴムロール、４６…巻き取りロール、５０…ニップロール、５２…金属ロール、５４…ゴムロール

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】