2022-160517 ナノインプリント用レプリカモールド製作装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022160517

(43)【公開日】2022-10-19

(54)【発明の名称】ナノインプリント用レプリカモールド製作装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/027 20060101AFI20221012BHJP

   B29C 59/02 20060101ALI20221012BHJP

【ＦＩ】

H01L21/30 502D

B29C59/02 B

【審査請求】有

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022118805

(22)【出願日】2022-07-26

(62)【分割の表示】P 2021105829の分割

【原出願日】2021-06-25

(31)【優先権主張番号】10-2020-0080745

(32)【優先日】2020-07-01

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(31)【優先権主張番号】10-2020-0165523

(32)【優先日】2020-12-01

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(31)【優先権主張番号】10-2021-0002787

(32)【優先日】2021-01-08

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(71)【出願人】

【識別番号】514182333

【氏名又は名称】ギガレーン カンパニー リミテッド

【氏名又は名称原語表記】ＧＩＧＡＬＡＮＥ ＣＯ．， ＬＴＤ．

(74)【代理人】

【識別番号】110002952

【氏名又は名称】弁理士法人鷲田国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】キム テ－ウォン

(72)【発明者】

【氏名】チョン ミョン－ギョ

(72)【発明者】

【氏名】キム ジュン－ギ

(72)【発明者】

【氏名】パク ヘ－ジョン

(72)【発明者】

【氏名】チョン ヒ－ソク

(57)【要約】      （修正有）

【課題】装置の大きさが小さくなるナノインプリント用レプリカモールド製作装置を提供する。
【解決手段】一側から供給されるフィルムにレプリカモールドを形成する転写部；前記フィルムを断続的に巻き出して前記転写部に向かって前記フィルムを供給するフィルム供給部；前記フィルムを断続的に巻き取って前記転写部から前記フィルムを回収するフィルム回収部；を含み、前記転写部は、レジンが塗布されるパターンが形成されたマスターモールドが装着されるステージ部；水平方向に移動して前記レプリカモールドを形成するプレスローラ部；前記プレスローラ部を一側の待機位置から他側に移動させ再び前記待機位置に復帰させるために駆動される転写部駆動ユニットを含む。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

一側から供給されるフィルムにレプリカモールドを形成する転写部；
前記フィルムを断続的に巻き出して前記転写部に向かって前記フィルムを供給するフィルム供給部；
前記フィルムを断続的に巻き取って前記転写部から前記フィルムを回収するフィルム回収部；および
前記フィルム回収部と前記転写部の間に一つ以上配置されて前記フィルムを前記フィルム回収部に案内するガイドロール；を含み、
前記ガイドロールが前記フィルムの両面のうち前記レプリカモールドが形成されない面にのみ接触し、前記レプリカモールドが形成される面には接触しないようにするために、
前記転写部は、
水平方向に移動して前記レプリカモールドを形成するように、前記フィルム回収部より下側に位置し前記ガイドロールより前記フィルムが供給される一側に位置するプレスローラ部；
前記プレスローラ部を待機位置から前記フィルムが供給される一側に向かって移動させてモールディング工程を進行し再び前記待機位置に復帰させてディモールディング工程を進行するために駆動される転写部駆動ユニット；
前記フィルムが前記プレスローラ部に進入する角度を変更するように、前記プレスローラ部より前記フィルムが供給される一側に位置して前記プレスローラ部を挟んで前記ガイドロールと反対側に位置し、前記プレスローラ部より上側に位置するフィルム角度維持ローラ部；および
前記フィルム角度維持ローラ部および前記プレスローラ部をともに移動させるように結合し、前記転写部駆動ユニットによって移動される結合移動部；を含み、
前記フィルム角度維持ローラ部は前記フィルム供給部から前記転写部に前記フィルムが供給され、前記モールディング工程を進行し、前記ディモールディング工程を進行し、前記転写部から前記フィルム回収部に前記フィルムが回収される間前記プレスローラ部との位置が変更されず、
前記ガイドロールは前記フィルム角度維持ローラ部および前記プレスローラ部が移動する間位置が移動されず、
前記モールディング工程を進行する間、前記フィルム角度維持ローラ部および前記プレスローラ部は前記ガイドロールから離隔距離が増加し、
前記ディモールディング工程が進行される間前記フィルム角度維持ローラ部および前記プレスローラ部は前記ガイドロールから離隔距離が減少する、ナノインプリント用レプリカモールド製作装置。

【請求項2】

前記フィルム角度維持ローラ部と前記フィルム供給部の間の距離は前記プレスローラ部と前記フィルム供給部の間の距離より短く、
前記フィルム角度維持ローラ部は前記フィルムの両面のうち前記レプリカモールドが形成される面に接触する、前記ディモールディング工程を進行する間、前記フィルム角度維持ローラ部が前記レプリカモールドに接触しないように、前記フィルム角度維持ローラ部と前記プレスローラ部の間のフィルムの長さは前記プレスローラ部が前記レプリカモールドを形成するために水平方向に移動する長さに対応する、請求項１に記載のナノインプリント用レプリカモールド製作装置。

【請求項3】

一側から供給されるフィルムにレプリカモールドを形成する転写部；および
ディスペンサ部；を含み、
前記転写部は、
上面にパターンが形成されたマスターモールドが装着されるステージ部；
水平方向に移動して前記レプリカモールドを形成するプレスローラ部；および
前記プレスローラ部を待機位置から水平方向に移動させ再び前記待機位置に復帰させるために駆動される転写部駆動ユニット；を含み、
前記ディスペンサ部は前記待機位置に位置する前記プレスローラ部と前記マスターモールドのパターンの間の空間である前記ステージ部の上面の塗布領域に、前記マスターモールドのパターンと重ならないようにレジンを塗布し、
前記プレスローラ部は、
前記待機位置から水平方向に移動しながら、前記マスターモールドのパターンと重ならない領域である前記塗布領域から前記水平方向に前記レジンを拡散させて前記マスターモールドの上面に前記レジンを塗布し、
前記マスターモールドの上面に塗布された前記レジンの上側を移動しながら、前記マスターモールドのパターンに前記レジンを結合してレプリカモールドを形成し、
前記塗布領域内で前記レジンが最初に塗布される位置と前記マスターモールドのパターンに前記レジンを結合する位置は水平方向に離隔する、ナノインプリント用レプリカモールド製作装置。

【請求項4】

前記ステージ部を昇下降させるステージ駆動ユニット；および
前記レジンを塗布するために前記ステージ駆動ユニットによって下降されたステージ部に前記ディスペンサ部を引き込ませ再び前記ディスペンサ部を引き出させるディスペンサ駆動ユニット；をさらに含む、請求項３に記載のナノインプリント用レプリカモールド製作装置。

【請求項5】

前記プレスローラ部の垂直位置を移動させて前記ステージ部と前記プレスローラ部の間に間隔が形成されるように駆動するプレスローラ駆動ユニットをさらに含み、
前記プレスローラ部は前記ステージ部と前記プレスローラ部の間の空間から移動して前記ステージ部と前記プレスローラ部の間の間隔を通じて前記レジンを拡散させる、請求項３に記載のナノインプリント用レプリカモールド製作装置。

【請求項6】

ステージ部が下降するステージ下降段階；
ディスペンサ部が前記ステージ部の内側に引き込まれ引き出されながら直接的にマスターモールドのパターンにレジンを塗布せずに、前記マスターモールドの上面に形成されたパターンと離隔した空間でありながら前記ステージ部の上面である塗布領域にレジンを塗布する塗布段階；
ステージ部が上昇する上昇段階；および
プレスローラ部が待機位置から水平方向に移動しながら前記レジンが前記マスターモールドの上面に形成されたパターンに塗布されるように、前記レジンを水平方向に拡散させるモールディング段階；を含み、
前記モールディング段階では、
前記プレスローラ部が前記マスターモールドの上面に塗布された前記レジンの上側を移動しながら、前記マスターモールドのパターンに前記レジンを結合してレプリカモールドを形成し、
前記塗布領域内で前記レジンが最初に塗布される位置と前記マスターモールドのパターンに前記レジンを結合する位置は水平方向に離隔する、ナノインプリント用レプリカモールド製作方法。

【請求項7】

前記マスターモールドと前記レプリカモールドが分離されてフィルムの下側に付着されるように前記プレスローラ部を前記待機位置に移動させるディモールディング段階；および
前記レプリカモールドをフィルム回収部側に移動させるために前記フィルムを移動させる回収段階；をさらに含み、
前記モールディング段階では、
光照射部が前記プレスローラ部とともに移動しながら前記レジンを硬化させ、
前記ディモールディング段階で前記レプリカモールドは、
前記プレスローラ部が前記待機位置に移動しながらフィルム角度維持ローラ部により形成された前記フィルムの前記プレスローラ部に進入する角度を通じて前記マスターモールドから分離され、
前記回収段階の後には、
他のレプリカモールドを形成するために前記ステージ下降段階、前記塗布段階、前記上昇段階、前記モールディング段階、前記ディモールディング段階および前記回収段階が再遂行される、請求項６に記載のナノインプリント用レプリカモールド製作方法。

【請求項8】

一側から供給されるフィルムにレプリカモールドを形成する転写部；
前記フィルムを断続的に巻き出して前記転写部に向かって前記フィルムを供給するフィルム供給部；
前記フィルムを断続的に巻き取って前記転写部から前記フィルムを回収するフィルム回収部；を含み、
前記転写部は、
レジンが塗布されるパターンが形成されたマスターモールドが装着されるステージ部；
水平方向に移動して前記レプリカモールドを形成するプレスローラ部；
前記フィルムが前記プレスローラ部に進入する角度を変更するように前記プレスローラ部と垂直および水平方向に離隔するフィルム角度維持ローラ部；を含み、
前記プレスローラ部および前記フィルム角度維持ローラ部は、前記フィルム供給部から巻き出された前記フィルムが前記フィルム回収部に回収されるように移動する前記フィルムの移動方向と反対となる方向に移動してモールディング工程を遂行し、前記プレスローラ部および前記フィルム角度維持ローラ部は前記フィルムの移動方向に移動してディモールディング工程を遂行する、ナノインプリント用レプリカモールド製作装置。

【請求項9】

前記フィルム角度維持ローラ部は前記プレスローラ部より前記フィルムの移動方向と反対となる方向に向かうように位置する、請求項８に記載のナノインプリント用レプリカモールド製作装置。

【請求項10】

前記フィルム回収部は前記プレスローラ部より上側に位置する、請求項８に記載のナノインプリント用レプリカモールド製作装置。

【請求項11】

前記転写部は、
前記フィルム角度維持ローラ部および前記プレスローラ部をともに移動させるように結合し、転写部駆動ユニットによって移動される結合移動部；をさらに含む、請求項８に記載のナノインプリント用レプリカモールド製作装置。

【請求項12】

前記フィルム角度維持ローラ部は前記フィルムの両面のうち前記レプリカモールドが形成される面に接触する、前記ディモールディング工程を進行する間、前記フィルム角度維持ローラ部が前記レプリカモールドに接触しないように、前記フィルム角度維持ローラ部と前記プレスローラ部の間のフィルムの長さは前記プレスローラ部が前記レプリカモールドを形成するために水平方向に移動する長さに対応する、請求項８に記載のナノインプリント用レプリカモールド製作装置。

【請求項13】

前記フィルム角度維持ローラ部は前記プレスローラ部より前記フィルム供給部から供給されたフィルムが先に進入するように位置する、請求項８に記載のナノインプリント用レプリカモールド製作装置。

【請求項14】

前記フィルム回収部と前記転写部の間に一つ以上配置されてフィルムの進入角度を調整するガイドロール；をさらに含み、
前記ガイドロールは前記フィルム回収部に回収される前記フィルムに沿って移動する前記レプリカモールドに接触しないように、前記ガイドロールは前記フィルムの両面のうち前記レプリカモールドが形成される面と異なる面に接触する、請求項８に記載のナノインプリント用レプリカモールド製作装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はナノインプリント用レプリカモールド製作装置に関する。

【背景技術】

【0002】

最近ディスプレイ工程および半導体工程で基板（例えば、ディスプレイパネルおよびウェハー（Ｗａｆｅｒ）等）の表面にパターン（例えば、構造化された成形パターンおよび食刻または蒸着のためのマスクパターンなど）を形成するためにナノインプリント（Ｎａｎｏ Ｉｍｐｒｉｎｔ）工程が利用されている。

【0003】

モールド（Ｍｏｌｄ）を利用してインプリント（Ｉｍｐｒｉｎｔ）形態に基板の表面にナノメートル～マイクロメートル大きさの微細パターンを形成するナノインプリント工程は、マスターモールド１０を利用して基板の表面に直接パターンを形成してもよいが、最近ではマスターモールド１０からレプリカモールド２０を製作し、製作されたレプリカモールド２０を利用して基板の表面にパターンを形成する方法が主に利用されている。

【0004】

この時、マスターモールド１０から製作された１次レプリカモールド２０から複製された２次レプリカモールド２０を製作することができる。このような、２次レプリカモールド２０を製作する１次レプリカモールド２０もマスターモールド１０と指し示すことができる。すなわち、マスターモールド１０はレプリカモールド２０を製作するモールドを通称する意味であり得る。また、レプリカモールド２０はマスターモールド１０から製作されるモールドを通称する意味であり得る。

【0005】

このような、レプリカモールド２０を製作する多様な方法の一つにおいて、プレスローラ部１２０をフィルム６０の上側で前進（モールディング工程）および後進（ディモールディング（Ｄｅｍｏｌｄｉｎｇ）工程）することによってフィルム６０にレプリカモールド２０を形成するロール転写方法がある。

【0006】

一方、ロール転写方法を遂行するレプリカモールド２０製作装置は、プレスローラ部１２０が前進する長さに比例して装置の大きさが大きくなる問題点がある。

【0007】

また、レプリカモールド２０製作装置は、フィルム６０がプレスローラ部１２０に進入する角度を一定にするために装置の大きさが大きくなる問題点がある。

【0008】

また、レプリカモールド２０製作装置は、マスターモールド１０のパターンにレジン７０を塗布する時、塗布容量の偏差が発生する問題点がある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

本発明はナノインプリント用レプリカモールド製作装置を提供することにその目的がある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の実施例に係るナノインプリント用レプリカモールド製作装置は、一側から供給されるフィルムにレプリカモールドを形成する転写部と、前記フィルムを断続的に巻き出して前記転写部に向かって前記フィルムを供給するフィルム供給部と、
前記フィルムを断続的に巻き取って前記転写部から前記フィルムを回収するフィルム回収部を含み、前記転写部は、レジンが塗布されるパターンが形成されたマスターモールドが装着されるステージ部と、水平方向に移動して前記レプリカモールドを形成するプレスローラ部と、前記プレスローラ部を一側の待機位置から他側に移動させ再び前記待機位置に復帰させるために駆動される転写部駆動ユニットと、前記レジンに光を照射する光照射部と、前記光照射部および前記プレスローラ部と結合されて共に前記駆動ユニットによって移動される結合移動部と、を含み、前記光照射部は照射方向が前記ステージ部と垂直な下側方向を基準として前記プレスローラ部に向かうように傾く。

【0011】

実施例によると、前記光照射部は、照射方向が１０度～８０度内で傾くようにガイドする照射方向ガイド部を含む。

【0012】

実施例によると、前記光照射部は、前記光照射部から突出するように配置されて前記レジンに照射する光が拡散して前記レジンに重複的に光が照射されることを遮蔽する遮光部をさらに含む。

【0013】

実施例によると、前記フィルム回収部と前記転写部の間に一つ以上配置されてフィルムの進入角度を調整するガイドロールをさらに含み、前記転写部は、前記フィルムが前記プレスローラ部に進入する角度を変更するように前記プレスローラ部と垂直および水平方向に離隔するフィルム角度維持ローラ部をさらに含み、前記フィルム角度維持ローラ部は前記プレスローラ部より前記フィルム供給部から供給されたフィルムが先に進入するように位置し、前記フィルム角度維持ローラ部は前記フィルムの両面のうち前記レプリカモールドが形成される面に接触する、ディモールディング工程を進行する間、前記フィルム角度維持ローラ部が前記レプリカモールドに接触しないように、前記フィルム角度維持ローラ部と前記プレスローラ部の間のフィルムの長さは前記プレスローラ部が前記レプリカモールドを形成するために水平方向に移動する長さに対応し、前記ガイドロールは前記フィルム回収部に回収される前記フィルムに沿って移動する前記レプリカモールドに接触しないように、前記ガイドロールは前記フィルムの両面のうち前記レプリカモールドが形成される面と異なる面に接触する。

【0014】

実施例によると、一側の待機位置に位置する前記プレスローラ部と前記マスターモールドのパターンの間の空間である塗布領域に、前記マスターモールドのパターンと重ならないように前記レジンを塗布するディスペンサ部と、前記プレスローラ部の垂直位置を移動させて前記ステージ部と前記プレスローラ部の間に間隔が形成されるように駆動するプレスローラ駆動ユニットをさらに含み、前記ステージ部と前記プレスローラ部の間の間隔を通じて前記プレスローラ部が一側の待機位置から他側に移動する水平方向に前記レジンを拡散させて前記マスターモールドのパターンに塗布する。

【0015】

実施例によると、前記ステージ部を昇下降させるステージ駆動ユニットと、前記レジンを塗布するために前記ステージ駆動ユニットによって下降されたステージ部に前記ディスペンサ部を引き込ませ再び前記ディスペンサ部を引き出させるディスペンサ駆動ユニットをさらに含む。

【0016】

実施例によると、一側から供給されるフィルムにレプリカモールドを形成する転写部と、前記フィルムを断続的に巻き出して前記転写部に向かって前記フィルムを供給するフィルム供給部と、前記フィルムを断続的に巻き取って前記転写部から前記フィルムを回収するフィルム回収部と、前記フィルム回収部と前記転写部の間に一つ以上配置されて前記フィルムを前記フィルム回収部に案内するガイドロールと、を含み、前記ガイドロールが前記フィルムの両面のうち前記レプリカモールドが形成されない面にのみ接触し、前記レプリカモールドが形成される面には接触しないようにするために、前記転写部は、水平方向に移動して前記レプリカモールドを形成するように、前記フィルム回収部より下側に位置し前記ガイドロールより前記フィルムが供給される一側に位置するプレスローラ部と、前記プレスローラ部を待機位置から前記フィルムが供給される一側に向かって移動させてモールディング工程を進行し再び前記待機位置に復帰させてディモールディング工程を進行するために駆動される転写部駆動ユニットと、前記フィルムが前記プレスローラ部に進入する角度を変更するように、前記プレスローラ部より前記フィルムが供給される一側に位置して前記プレスローラ部を挟んで前記ガイドロールと反対側に位置し、前記プレスローラ部より上側に位置するフィルム角度維持ローラ部と、前記フィルム角度維持ローラ部および前記プレスローラ部をともに移動させるように結合し、前記転写部駆動ユニットによって移動される結合移動部を含み、前記フィルム角度維持ローラ部は前記フィルム供給部から前記転写部に前記フィルムが供給され、前記モールディング工程を進行し、前記ディモールディング工程を進行し、前記転写部から前記フィルム回収部に前記フィルムが回収される間前記プレスローラ部との位置が変更されず、前記ガイドロールは前記フィルム角度維持ローラ部および前記プレスローラ部が移動する間位置が移動されず、前記モールディング工程を進行する間、前記フィルム角度維持ローラ部および前記プレスローラ部は前記ガイドロールから離隔距離が増加し、前記ディモールディング工程が進行される間前記フィルム角度維持ローラ部および前記プレスローラ部は前記ガイドロールから離隔距離が減少する。

【0017】

実施例によると、前記フィルム角度維持ローラ部と前記フィルム供給部の間の距離は前記プレスローラ部と前記フィルム供給部の間の距離より短く、前記フィルム角度維持ローラ部は前記フィルムの両面のうち前記レプリカモールドが形成される面に接触する、前記ディモールディング工程を進行する間、前記フィルム角度維持ローラ部が前記レプリカモールドに接触しないように、前記フィルム角度維持ローラ部と前記プレスローラ部の間のフィルムの長さは前記プレスローラ部が前記レプリカモールドを形成するために水平方向に移動する長さに対応する。

【0018】

実施例によると、一側から供給されるフィルムにレプリカモールドを形成する転写部と、ディスペンサ部を含み、前記転写部は、上面にパターンが形成されたマスターモールドが装着されるステージ部と、水平方向に移動して前記レプリカモールドを形成するプレスローラ部と、前記プレスローラ部を待機位置から水平方向に移動させ再び前記待機位置に復帰させるために駆動される転写部駆動ユニットを含み、前記ディスペンサ部は前記待機位置に位置する前記プレスローラ部と前記マスターモールドのパターンの間の空間である前記ステージ部の上面の塗布領域に、前記マスターモールドのパターンと重ならないようにレジンを塗布し、前記プレスローラ部は、前記待機位置から水平方向に移動しながら、前記マスターモールドのパターンと重ならない領域である前記塗布領域から前記水平方向に前記レジンを拡散させて前記マスターモールドの上面に前記レジンを塗布し、前記マスターモールドの上面に塗布された前記レジンの上側を移動しながら、前記マスターモールドのパターンに前記レジンを結合してレプリカモールドを形成し、前記塗布領域内で前記レジンが最初に塗布される位置と前記マスターモールドのパターンに前記レジンを結合する位置は水平方向に離隔する。

【0019】

実施例によると、前記ステージ部を昇下降させるステージ駆動ユニットと、前記レジンを塗布するために前記ステージ駆動ユニットによって下降されたステージ部に前記ディスペンサ部を引き込ませ再び前記ディスペンサ部を引き出させるディスペンサ駆動ユニットをさらに含む。

【0020】

実施例によると、前記プレスローラ部の垂直位置を移動させて前記ステージ部と前記プレスローラ部の間に間隔が形成されるように駆動するプレスローラ駆動ユニットをさらに含み、前記プレスローラ部は前記ステージ部と前記プレスローラ部の間の空間から移動して前記ステージ部と前記プレスローラ部の間の間隔を通じて前記レジンを拡散させる。

【0021】

実施例によると、ステージ部が下降するステージ下降段階と、ディスペンサ部が前記ステージ部の内側に引き込まれ引き出されながら直接的にマスターモールドのパターンにレジンを塗布せずに、前記マスターモールドの上面に形成されたパターンと離隔した空間でありながら前記ステージ部の上面である塗布領域にレジンを塗布する塗布段階と、ステージ部が上昇する上昇段階と、プレスローラ部が待機位置から水平方向に移動しながら前記レジンが前記マスターモールドの上面に形成されたパターンに塗布されるように、前記レジンを水平方向に拡散させるモールディング段階を含み、前記モールディング段階では、前記プレスローラ部が前記マスターモールドの上面に塗布された前記レジンの上側を移動しながら、前記マスターモールドのパターンに前記レジンを結合してレプリカモールドを形成し、前記塗布領域内で前記レジンが最初に塗布される位置と前記マスターモールドのパターンに前記レジンを結合する位置は水平方向に離隔する。

【0022】

実施例によると、前記マスターモールドと前記レプリカモールドが分離されてフィルムの下側に付着されるように前記プレスローラ部を前記待機位置に移動させるディモールディング段階と、前記レプリカモールドをフィルム回収部側に移動させるために前記フィルムを移動させる回収段階をさらに含み、前記モールディング段階では、光照射部が前記プレスローラ部とともに移動しながら前記レジンを硬化させ、前記ディモールディング段階で前記レプリカモールドは、前記プレスローラ部が前記待機位置に移動しながらフィルム角度維持ローラ部により形成された前記フィルムの前記プレスローラ部に進入する角度を通じて前記マスターモールドから分離され、前記回収段階の後には、他のレプリカモールドを形成するために前記ステージ下降段階、前記塗布段階、前記上昇段階、前記モールディング段階、前記ディモールディング段階および前記回収段階が再遂行される。

【0023】

実施例によると、一側から供給されるフィルムにレプリカモールドを形成する転写部と、前記フィルムを断続的に巻き出して前記転写部に向かって前記フィルムを供給するフィルム供給部と、前記フィルムを断続的に巻き取って前記転写部から前記フィルムを回収するフィルム回収部と、を含み、前記転写部は、レジンが塗布されるパターンが形成されたマスターモールドが装着されるステージ部と、水平方向に移動して前記レプリカモールドを形成するプレスローラ部と、前記フィルムが前記プレスローラ部に進入する角度を変更するように前記プレスローラ部と垂直および水平方向に離隔するフィルム角度維持ローラ部を含み、前記プレスローラ部および前記フィルム角度維持ローラ部は、前記フィルム供給部から巻き出された前記フィルムが前記フィルム回収部に回収されるように移動する前記フィルムの移動方向と反対となる方向に移動してモールディング工程を遂行し、前記プレスローラ部および前記フィルム角度維持ローラ部は前記フィルムの移動方向に移動してディモールディング工程を遂行する。

【0024】

実施例によると、前記フィルム角度維持ローラ部は前記プレスローラ部より前記フィルムの移動方向と反対となる方向に向かうように位置する。

【0025】

実施例によると、前記フィルム回収部は前記プレスローラ部より上側に位置する。

【0026】

実施例によると、前記転写部は、前記フィルム角度維持ローラ部および前記プレスローラ部をともに移動させるように結合し、転写部駆動ユニットによって移動される結合移動部をさらに含む。

【0027】

実施例によると、前記フィルム角度維持ローラ部は前記フィルムの両面のうち前記レプリカモールドが形成される面に接触する、前記ディモールディング工程を進行する間、前記フィルム角度維持ローラ部が前記レプリカモールドに接触しないように、前記フィルム角度維持ローラ部と前記プレスローラ部の間のフィルムの長さは前記プレスローラ部が前記レプリカモールドを形成するために水平方向に移動する長さに対応する。

【0028】

実施例によると、前記フィルム角度維持ローラ部は前記プレスローラ部より前記フィルム供給部から供給されたフィルムが先に進入するように位置する。

【0029】

実施例によると、前記フィルム回収部と前記転写部の間に一つ以上配置されてフィルムの進入角度を調整するガイドロールをさらに含み、前記ガイドロールは前記フィルム回収部に回収される前記フィルムに沿って移動する前記レプリカモールドに接触しないように、前記ガイドロールは前記フィルムの両面のうち前記レプリカモールドが形成される面と異なる面に接触する。

【発明の効果】

【0030】

まず、第１最小間隔の長さより小さい長さである第２最小間隔を具備してプレスローラ部が移動する最小限の長さが小さくなるため、装置の大きさが小さくなる効果がある。また、第１最小間隔に比べてフィルムの消耗量が減少する効果がある。また、第２最小間隔を具備するフィルムを使ってナノインプリント工程を進行すると、第１最小間隔に比べてレプリカモールドから次のレプリカモールドに移動するのに所要する時間が減少するため、工程時間を短縮できる効果がある。また、プレスローラ部によりマスターモールドに加圧されたレジンを即時に硬化するため、レジンの硬化に必要とされる工程時間を短縮できる効果がある。また、レジンが即時に硬化するためプレスローラ部によってレジンに形成されたパターンの変化が最小化された状態でレプリカモールドを形成するため、レプリカモールドに不良が発生することを防止する効果がある。

【0031】

また、照射方向ガイド部は光照射部の光照射方向の傾きを目的に合うように限定された数値内で変更できるようにガイドする効果がある。

【0032】

また、遮光部はレジンの硬化の程度が一定であるように、拡散照射領域がレジンに重複的に光が照射されることを遮蔽してディモールディング工程に影響を与えないため、レプリカモールドに不良が発生することを防止する効果がある。また、第１離隔距離の長さより小さい長さである第２離隔距離を具備してプレスローラ部が移動する最小限の長さが小さくなるため、装置の大きさが小さくなる効果がある。

【0033】

また、フィルム角度維持ローラ部は進入角度を一定に維持する効果がある。また、フィルム角度維持ローラ部はプレスローラ部と隣接したガイドロールの離隔した水平位置を最小化できるため、装置の大きさが小さくなる効果がある。また、フィルム角度維持ローラ部はプレスローラ部の移動による進入角度の変更を防止することによって、別途の手段がなくてもフィルムの張力を維持することができ、ひいてはフィルムの断続的な供給を円滑にすることができる効果がある。

【0034】

また、フィルム角度維持ローラ部がプレスローラ部と分離されて位置を移動する構成を含んだり、モールディング工程とディモールディング工程のための構成を別途に分離せずとも、フィルム角度維持ローラ部にレプリカモールドが接触して損傷することを防止する効果がある。

【0035】

また、プレスローラ部より上側に位置するフィルム回収部はガイドロールがレプリカモールドに接触することを防止する効果がある。

【0036】

また、レジンを間接的に拡散させてマスターモールドのパターンに塗布するため、マスターモールドのパターンに塗布されたレジンの塗布容量の偏差が発生しない効果がある。

【図面の簡単な説明】

【0037】

【図1】本発明の実施例に係るナノインプリント用レプリカモールド製作装置に関する図面である。

【図2】本発明の実施例に係る転写部に関する図面である。

【図3】図２の背面を図示した図面である。

【図4】本発明の実施例に係る光照射部に関する図面である。

【図5】本発明の実施例に係る光照射部に関する図面である。

【図6】本発明の実施例に係る光照射部に関する図面である。

【図7】本発明の実施例に係る第１離隔距離および第２離隔距離に関する図面である。

【図8】本発明の実施例に係る進入角度に関する図面である。

【図9】本発明の実施例に係るモールディング工程およびディモールディング工程に関する図面である。

【図10】本発明の実施例に係るモールディング工程およびディモールディング工程に関する図面である。

【図11】本発明の実施例に係るモールディング工程およびディモールディング工程に関する図面である。

【図12】本発明の実施例に係るモールディング工程およびディモールディング工程に関する図面である。

【図13】本発明の実施例に係るモールディング工程およびディモールディング工程に関する図面である。

【図14】本発明の実施例に係るモールディング工程およびディモールディング工程に関する図面である。

【図15】本発明の実施例に係るモールディング工程およびディモールディング工程に関する図面である。

【図16】本発明の実施例に係るディスペンサ部に関する図面である（因みに、図示されたディスペンサノズルはディスペンサ部での位置を説明するために表示したものであり、実際にはディスペンサノズルの塗布方向はステージ部に向かうように位置する。）。

【図17】本発明の実施例に係るディスペンサ部に関する図面である（因みに、図示されたディスペンサノズルはディスペンサ部での位置を説明するために表示したものであり、実際にはディスペンサノズルの塗布方向はステージ部に向かうように位置する。）。

【図18】本発明の実施例に係るディスペンサ部に関する図面である（因みに、図示されたディスペンサノズルはディスペンサ部での位置を説明するために表示したものであり、実際にはディスペンサノズルの塗布方向はステージ部に向かうように位置する。）。

【図19】本発明の実施例に係るディスペンサ部に関する図面である（因みに、図示されたディスペンサノズルはディスペンサ部での位置を説明するために表示したものであり、実際にはディスペンサノズルの塗布方向はステージ部に向かうように位置する。）。

【図20】本発明の実施例に係るディスペンサ部に関する図面である（因みに、図示されたディスペンサノズルはディスペンサ部での位置を説明するために表示したものであり、実際にはディスペンサノズルの塗布方向はステージ部に向かうように位置する。）。

【発明を実施するための形態】

【0038】

以下、添付図面を参照して本発明の実施例について、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳細に説明する。

【0039】

本発明は多様な異なる形態で具現され得、ここで説明する実施例に限定されない。

【0040】

本発明で水平方向は図面においてＸ軸への方向または左側および右側への方向を意味し得、垂直方向は図面においてＹ軸への方向または上側および下側への方向を意味し得る。

【0041】

本発明で長さはＸ軸に対する相対的距離を意味し得、高さはＹ軸に対する相対的距離を意味し得る。

【0042】

最近ディスプレイ工程および半導体工程で基板（例えば、ディスプレイパネルおよびウェハー（Ｗａｆｅｒ）等）の表面にパターン（例えば、構造化された成形パターンおよび食刻または蒸着のためのマスクパターンなど）を形成するためにナノインプリント（Ｎａｎｏ Ｉｍｐｒｉｎｔ）工程が利用されている。

【0043】

モールド（Ｍｏｌｄ）を利用してインプリント（Ｉｍｐｒｉｎｔ）形態に基板の表面にナノメートル～マイクロメートル大きさの微細パターンを形成するナノインプリント工程は、マスターモールド１０を利用して基板の表面に直接パターンを形成してもよいが、最近ではマスターモールド１０からレプリカモールド２０を製作し、製作されたレプリカモールド２０を利用して基板の表面にパターンを形成する方法が主に利用されている。

【0044】

この時、マスターモールド１０から製作された１次レプリカモールド２０から複製された２次レプリカモールド２０を製作することができる。このような、２次レプリカモールド２０を製作する１次レプリカモールド２０もマスターモールド１０と指し示すことができる。すなわち、マスターモールド１０はレプリカモールド２０を製作するモールドを通称する意味であり得る。また、レプリカモールド２０はマスターモールド１０から製作されるモールドを通称する意味であり得る。

【0045】

このような、レプリカモールド２０を製作する多様な方法の一つにおいて、プレスローラ部１２０をフィルム６０の上側で前進（モールディング工程）および後進（ディモールディング工程）することによってフィルム６０にレプリカモールド２０を形成するロール転写方法がある。

【0046】

一方、ロール転写方法を遂行するレプリカモールド２０製作装置は、プレスローラ部１２０が前進する長さに比例して装置の大きさが大きくなる問題点がある。

【0047】

また、レプリカモールド２０製作装置は、フィルム６０がプレスローラ部１２０に進入する角度を一定にするために装置の大きさが大きくなる問題点がある。

【0048】

また、レプリカモールド２０製作装置は、マスターモールド１０のパターンにレジン７０を塗布する時、塗布容量の偏差が発生する問題点がある。

【0049】

このような問題点を解決するために、図１～図３に図示された通り、本発明の実施例に係るナノインプリント用レプリカモールド２０製作装置は、転写部１００、フィルム供給部３０およびフィルム回収部４０を含むことができる。

【0050】

転写部１００は一側から供給されるフィルム６０の下側にレプリカモールド２０を形成することができる。

【0051】

フィルム供給部３０はフィルム６０を断続的に巻き出して転写部１００に向かってフィルム６０を供給することができる。

【0052】

フィルム回収部４０はフィルム６０を断続的に巻き取って転写部１００からフィルム６０を回収することができる。

【0053】

このような、転写部１００はステージ部１１０、プレスローラ部１２０および転写部駆動ユニット１３０を含むことができる。

【0054】

ステージ部１１０はレジン７０が塗布されるパターンが形成されたマスターモールド１０が装着され得る。

【0055】

マスターモールド１０に形成されたパターンは硬質のベースの上面に直接パターンが加工されて形成されるか、ベースの上面にパターンが付着されて形成され得る。以下、マスターモールド１０を説明する場合、パターンが形成されることを省略して説明し得る。

【0056】

プレスローラ部１２０は水平方向に移動してロール転写方法でレプリカモールド２０を形成することができる。

【0057】

転写部駆動ユニット１３０はプレスローラ部１２０を一側の待機位置から他側に移動させ再び待機位置に復帰させるために駆動され得る。すなわち、転写部駆動ユニット１３０はプレスローラ部１２０を待機位置から水平方向に移動させ再び待機位置に復帰させるために駆動され得る。例えば、転写部駆動ユニット１３０はプレスローラ部１２０を待機位置からフィルム６０が供給される一側に向かって移動させてモールディング工程を進行し、再び待機位置に復帰させてディモールディング工程を進行するために駆動され得る。

【0058】

転写部駆動ユニット１３０はアクチュエータであり得る。例えば、図３に図示された通り、転写部駆動ユニット１３０はモータ１３１とモータ１３１によって回転するボールスクリュー１３２とボールスクリュー１３２によって移動するブロック１３３を含むことができる。また、ブロック１３３は後述する結合移動部１５０と結合されて共に移動することによって、結合移動部１５０に結合されたプレスローラ部１２０を水平方向に移動させることができる。

【0059】

フィルム供給部３０と転写部１００の間およびフィルム回収部４０と転写部１００の間のうち一つ以上には、フィルム６０の進入角度 ＦＧ を調整するガイドロール５０が一つ以上配置され得る。例えば、ガイドロール５０はフィルム回収部４０と転写部１００の間に一つ以上配置されてフィルム６０をフィルム回収部４０に案内することができる。

【0060】

ステージ部１１０とフィルム６０の間にはマスターモールド１０とレジン７０が位置することができる。例えば、ステージ部１１０の上側にマスターモールド１０が装着され、マスターモールド１０の上面に形成されたパターンの上側にレジン７０が塗布され、レジン７０の上側にフィルム６０が位置され得る。この時、フィルム６０の上側で水平方向に移動するプレスローラ部１２０がフィルム６０を加圧することによって、フィルム６０の下側に位置するレジン７０をマスターモールド１０に加圧することができる。

【0061】

プレスローラ部１２０は一側の待機位置から他側に移動しながら、マスターモールド１０のパターンにレジン７０を結合（モールディング工程）してレプリカモールド２０を形成することができる。また、プレスローラ部１２０は他側から一側の待機位置に復帰しながら、マスターモールド１０とレプリカモールド２０を分離（ディモールディング工程）してフィルム６０の下側に付着したレプリカモールド２０を形成することができる。すなわち、プレスローラ部１２０は待機位置から水平方向に移動してモールディング工程を進行し、再び待機位置に復帰してディモールディング工程を進行してレプリカモールド２０を形成することができる。例えば、プレスローラ部１２０は待機位置からフィルム６０が供給される一側に向かって移動してモールディング工程を進行し、再び待機位置に復帰してディモールディング工程を進行してレプリカモールド２０を形成することができる。

【0062】

レプリカモールド２０製作装置の主な実施例として、光照射部１４０、フィルム角度維持ローラ部１７０およびディスペンサ部１８０に関する実施例がある。以下、光照射部１４０、フィルム角度維持ローラ部１７０およびディスペンサ部１８０に関する実施例をそれぞれ説明するが、実施例としてレプリカモールド２０製作装置にそれぞれまたは二以上が共に適用され得る。

【0063】

まず、レプリカモールド２０製作装置の光照射部１４０に関する実施例を説明する。

【0064】

図４（ａ）に図示された通り、光照射部１４０の照射方向がステージ部１１０と垂直な下側方向に向かう場合、光照射部１４０の照射領域がプレスローラ部１２０が通り過ぎたマスターモールド１０領域に到達するまでの長さに比例して、フィルム６０に互いに隣接するように形成される一対のレプリカモールド２０の間の離隔した長さである第１最小間隔Ｌ１が決定され得る。

【0065】

このような、第１最小間隔Ｌ１はプレスローラ部１２０が移動する最小限の長さであるため、第１最小間隔Ｌ１に比例して装置の大きさが大きくなる問題点がある。また、第１最小間隔Ｌ１に比例してフィルム６０の消耗量が増加する問題点がある。また、第１最小間隔Ｌ１を具備するフィルム６０を使ってナノインプリント工程を進行すると、第１最小間隔Ｌ１に比例してレプリカモールド２０から次のレプリカモールド２０に移動するのに所要する時間が増加するため、工程の速度が増加する問題点がある。一方、プレスローラ部１２０によってレジン７０に形成されたパターンは時間の経過につれて変化が発生してレプリカモールド２０に不良が発行する問題点がある。

【0066】

このような問題点を解決するために、図４（ｂ）および図５に図示された通り、実施例の具体的な説明として、転写部１００は光照射部１４０および結合移動部１５０を含むことができる。

【0067】

光照射部１４０は光源である発光部１４３によって発生した光を通じてレジン７０に光を照射することができる。

【0068】

この時、レジン７０は光エネルギーによって硬化する光景化樹脂であり得る。また、光照射部１４０がレジン７０に照射する光は紫外線（Ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ ｌｉｇｈｔ）であり得る。すなわち、レジン７０は光照射部１４０が照射する光によって硬化され得る。

【0069】

光照射部１４０は照射方向がステージ部１１０と垂直な下側方向を基準としてプレスローラ部１２０に向かうように傾いた傾斜度ＡＧが形成され得る。

【0070】

光照射部１４０の傾斜度ＡＧはプレスローラ部１２０が通り過ぎたマスターモールド１０を即時に光照射するための傾きに形成され得る。すなわち、プレスローラ部１２０によりマスターモールド１０に加圧されたレジン７０を即時に硬化することができる。

【0071】

図５に図示された通り、光照射部１４０の傾斜度ＡＧは０度に定義されたステージ部１１０に向かう方向および９０度に定義されたプレスローラ部１２０に向かう方向を基準として１０度～８０度の傾きに形成され得る。

【0072】

光照射部１４０がレジン７０を照射する光は、光がレジン７０に到達する照射領域を形成することができる。

【0073】

結合移動部１５０は光照射部１４０およびプレスローラ部１２０と結合されて共に転写部駆動ユニット１３０により移動することができる。

【0074】

光照射部１４０の照射方向がステージ部１１０と垂直な下側方向を基準としてプレスローラ部１２０に向かうように傾いて傾斜度ＡＧが形成された場合、光照射部１４０の照射領域がプレスローラ部１２０が通り過ぎたマスターモールド１０領域に到達するまでの長さに比例してフィルム６０に形成される互いに隣接する一対のレプリカモールド２０の間の第２最小間隔Ｌ２が決定され得る。

【0075】

このような、第２最小間隔Ｌ２は、光照射部１４０の照射方向がステージ部１１０と垂直な下側方向に向かう場合より照射領域がプレスローラ部１２０が通り過ぎたマスターモールド１０領域に到達するまでの長さが小さいため、第２最小間隔Ｌ２の長さは第１最小間隔Ｌ１の長さより小さくてもよい。

【0076】

このように、第１最小間隔Ｌ１の長さより小さい長さである第２最小間隔Ｌ２を具備してプレスローラ部１２０が移動する最小限の長さが小さくなるため、装置の大きさが小さくなる効果がある。また、第１最小間隔Ｌ１に比べてフィルム６０の消耗量が減少する効果がある。また、第２最小間隔Ｌ２を具備するフィルム６０を使ってナノインプリント工程を進行すると、第１最小間隔Ｌ１に比べてレプリカモールド２０から次のレプリカモールド２０に移動するのに所要する時間が減少するため、工程時間を短縮できる効果がある。また、プレスローラ部１２０によりマスターモールド１０に加圧されたレジン７０を即時に硬化するため、レジン７０の硬化に必要とされる工程時間を短縮できる効果がある。また、レジン７０が即時に硬化するため、プレスローラ部１２０によってレジン７０に形成されたパターンの変化が最小化された状態でレプリカモールド２０を形成するため、レプリカモールド２０に不良が発生することを防止する効果がある。

【0077】

図５および図６に図示された通り、実施例の具体的な説明として、光照射部１４０は照射方向ガイド部１６０を含むことができる。

【0078】

照射方向ガイド部１６０はプレスローラ部１２０の下側を照射するように、０度であるステージ部１１０と垂直な下側方向を基準として照射方向が１０度～８０度内で傾くようにガイドすることができる。

【0079】

照射方向ガイド部１６０は一実施例として、図５および図６に図示された通り、回転可能なように形成された光照射部１４０から突出した突出部１６１の移動をガイドして光照射方向の傾きをガイドするように長さを具備する曲線形態で形成されたガイド溝１６２に照射方向の傾きが変更されないように固定する固定部１６３が結合される構造であり得る。

【0080】

照射方向ガイド部１６０は他の実施例として、図示してはいないが、照射方向ガイド部１６０はアクチュエータ（Ａｃｔｕａｔｏｒ）により光照射方向の傾きが変更される構造であり得る。

【0081】

このように、照射方向ガイド部１６０は光照射部１４０の光照射方向の傾きを目的に合うように限定された数値内で変更できるようにガイドする効果がある。

【0082】

照射領域は図４に図示された通り、光照射部１４０の発光部１４３により発生した光が直接レジン７０に到達する直接照射領域１４２Ａおよび直接照射領域１４２Ａの周囲の光が拡散してレジン７０に到達する拡散照射領域１４２Ｂで構成され得る。

【0083】

光照射部１４０の直接照射領域１４２Ａによりレジン７０の光照射が完了した領域は、拡散照射領域１４２Ｂにより重複的に光が照射され得る。この時、重複的に光照射されたレジン７０の領域は硬化の程度が変わることになる。例えば、光照射部１４０が光照射を始めたレジン７０の一側は光照射が終るレジン７０の他側より拡散照射領域１４２Ｂによりさらに多く重複的に光が照射されるため、硬化の程度がさらに高くなり得る。

【0084】

このような、光照射の重複による硬化の程度の差は、マスターモールド１０とレプリカモールド２０の分離に影響を与えてレプリカモールド２０に不良が発生する問題点がある。

【0085】

図７（ａ）に図示された通り、拡散照射領域１４２Ｂがレジン７０を完全に通り過ぎるようにしてレジン７０のすべての領域に重複的に光照射をすることによって硬化の程度が変わる問題点を解決することはできるが、拡散照射領域１４２Ｂが完全にレジン７０を通り過ぎるだけのプレスローラ部１２０とレジン７０の間の第１離隔距離Ｓ１が決定され得る。

【0086】

このような、第１離隔距離Ｓ１はプレスローラ部１２０が移動する最小限の長さであるため、第１離隔距離Ｓ１に比例して装置の大きさが大きくなる問題点がある。

【0087】

このような問題点を解決するために、図６に図示された通り、実施例の具体的な説明として、光照射部１４０は遮光部１４１を含むことができる。

【0088】

遮光部１４１は光照射部１４０から突出するように配置されて、レジン７０に照射する光が拡散してレジン７０に重複的に光が照射されることを遮蔽することができる。

【0089】

遮光部１４１はプレスローラ部１２０との間に光照射部１４０の照射領域が位置するように配置され得る。

【0090】

遮光部１４１は光照射部１４０の光源１４３より大きい幅を具備し、フィルム６０の移動を妨害しない範囲内で突出した長さを具備することができる。例えば、図６に図示された通り、遮光部１４１は板材の形状で形成されて光照射部１４０に配置され得る。

【0091】

図７（ｂ）に図示された通り、遮光部１４１は拡散照射領域１４２Ｂがレジン７０に重複的に光が照射されることを遮蔽することによってレジン７０の硬化の程度を一定にし、プレスローラ部１２０とレジン７０の間の第２離隔距離Ｓ２を最小化することができる。

【0092】

このように、遮光部１４１はレジン７０の硬化の程度が一定であるように、拡散照射領域１４２Ｂがレジン７０に重複的に光が照射されることを遮蔽してディモールディング工程に影響を与えないため、レプリカモールド２０に不良が発生することを防止する効果がある。また、第１離隔距離Ｓ１の長さより小さい長さである第２離隔距離Ｓ２を具備してプレスローラ部１２０が移動する最小限の長さが小さくなるため、装置の大きさが小さくなる効果がある。

【0093】

次に、レプリカモールド２０製作装置のフィルム角度維持ローラ部１７０に関する実施例を説明する。

【0094】

フィルム角度維持ローラ部１７０はプレスローラ部１２０よりフィルム供給部３０から供給されたフィルム６０が先に進入するように位置することができる。例えば、フィルム角度維持ローラ部１７０はプレスローラ部１２０よりフィルム６０が供給される一側に位置し、プレスローラ部１２０より上側に位置することができる。また、フィルム角度維持ローラ部１７０と光照射部１４０はプレスローラ部１２０を挟んで両側に位置し、プレスローラ部１２０は光照射部１４０よりフィルム６０が供給される一側に位置することができる。

【0095】

プレスローラ部１２０にフィルム６０が進入する角度である進入角度ＦＧは隣接したロールの水平位置によって決定され得る。

【0096】

図８（ａ）に図示された通り、進入角度ＦＧはプレスローラ部１２０が一側の待機位置から他側に移動し再び待機位置に復帰する間に、随時進入角度ＦＧが変更され得る。すなわち、モールディング工程およびディモールディング工程のために、プレスローラ部１２０が隣接したガイドロール５０に水平位置が隣接するように移動し離隔するように移動することにより進入角度ＦＧが変更され得る。

【0097】

このような、進入角度ＦＧは待機位置に位置したプレスローラ部１２０と隣接したガイドロール５０の水平位置が隣接するほど急激に変わる問題点がある。また、進入角度ＦＧが急激に変わることになると、ディモールディング工程でマスターモールド１０とレプリカモールド２０の分離が同一の角度でなされないため、レプリカモールド２０に不良が発生する問題点がある。また、モールディング工程およびディモールディング工程を遂行するためにはフィルム６０の張力が維持されなければならないが、進入角度ＦＧが急激に変わることになると、フィルム６０の張力も変わることになるため、フィルム６０の張力を維持するための別途の手段が必要な問題点がある。例えば、張力を維持するための別途の手段は、フィルム６０の張力変化にしたがって位置が変化してフィルム６０の張力を維持させるテンションロールを含むものであるか、フィルム供給部３０がフィルム６０を巻き出すために回転する方向の逆方向に回転するか、フィルム回収部４０がフィルム６０を巻き取るために回転する方向の逆方向に回転またはフィルム供給部３０およびフィルム回収部４０すべての逆方向に回転してフィルム６０の張力を維持させるものであり得る。また、フィルム６０の張力を維持するための別途の手段は円滑なフィルム６０の断続的な供給を妨害する問題点がある。この時、図８（ｂ）に図示された通り、待機位置に位置したプレスローラ部１２０と隣接したガイドロール５０の水平位置が離隔すると進入角度ＦＧが急激に変わる問題点を解決することはできるが、進入角度ＦＧが変わることは小幅ではある依然として有効であり、待機位置に位置したプレスローラ部１２０と隣接したロールの水平位置が離隔することにより装置の大きさが大きくなるさらに他の問題点がある。

【0098】

このような問題点を解決するために、図２に図示された通り、実施例の具体的な説明として、転写部１００はフィルム角度維持ローラ部１７０および結合移動部１５０を含むことができる。

【0099】

フィルム角度維持ローラ部１７０はフィルム６０がプレスローラ部１２０に進入する角度を変更するようにプレスローラ部１２０と垂直および水平方向に離隔することができる。

【0100】

結合移動部１５０はフィルム角度維持ローラ部１７０およびプレスローラ部１２０と結合されて共に転写部駆動ユニット１３０により移動することができる。

【0101】

図８（ｃ）に図示された通り、フィルム角度維持ローラ部１７０はプレスローラ部１２０が一側の待機位置から他側に移動し再び待機位置に復帰する間、プレスローラ部１２０とともに移動することによってプレスローラ部１２０にフィルム６０が進入する角度である進入角度ＦＧが一定に維持され得る。

【0102】

フィルム角度維持ローラ部１７０はフィルム６０の両面のうちレプリカモールド２０が形成される面に接触する、ディモールディング工程を進行する間フィルム角度維持ローラ部１７０がレプリカモールド２０に接触しないように、フィルム角度維持ローラ部１７０とプレスローラ部１２０の間のフィルム６０の長さはプレスローラ部１２０がレプリカモールド２０を形成するために水平方向に移動する長さに対応することができる。すなわち、図１４に図示された通り、フィルム角度維持ローラ部１７０とプレスローラ部１２０の間のフィルム６０の長さはレプリカモールド２０の水平方向への長さより大きくてもよい。

【0103】

このように、フィルム角度維持ローラ部１７０は進入角度ＦＧを一定に維持する効果がある。また、フィルム角度維持ローラ部１７０はプレスローラ部１２０と隣接したガイドロール５０の離隔した水平位置を最小化できるため、装置の大きさが小さくなる効果がある。また、フィルム角度維持ローラ部１７０はプレスローラ部１２０の移動による進入角度ＦＧの変更を防止することによって、別途の手段がなくともフィルム６０の張力を維持することができ、ひいてはフィルム６０の断続的な供給を円滑にすることができる効果がある。

【0104】

フィルム供給部３０から巻き出されたフィルム６０がフィルム回収部４０に回収されるように移動するフィルム６０の移動方向にプレスローラ部１２０が移動してモールディング工程を遂行し、フィルム６０の移動方向と反対となる方向にプレスローラ部１２０が移動してディモールディング工程を遂行するためには、フィルム角度維持ローラ部１７０がプレスローラ部１２０よりフィルム６０の移動方向に向かうように位置しなければならないため、モールディング工程およびディモールディング工程によって形成されたレプリカモールド２０がフィルム回収部４０に回収されるように移動する過程で、レプリカモールド２０がフィルム角度維持ローラ部１７０と接触して損傷する問題点がある。

【0105】

レプリカモールド２０がフィルム角度維持ローラ部１７０と接触しないようにするためには、フィルム角度維持ローラ部１７０がプレスローラ部１２０と分離されて位置を移動する構成を含むか、モールディング工程とディモールディング工程のための構成を別途に分離することによって解決することができるが、好ましい問題解決方法とは言えない。

【0106】

このような問題点を解決するために、フィルム６０の移動方向と反対となる方向にプレスローラ部１２０が移動してモールディング工程を遂行し、フィルム６０移動方向にプレスローラ部１２０が移動してディモールディング工程を遂行できる。また、フィルム角度維持ローラ部１７０はプレスローラ部１２０よりフィルム６０の移動方向と反対となる方向に向かうように位置することができる。

【0107】

このように、フィルム角度維持ローラ部１７０がプレスローラ部１２０と分離されて位置を移動する構成を含んだり、モールディング工程とディモールディング工程のための構成を別途に分離せずとも、フィルム角度維持ローラ部１７０にレプリカモールド２０が接触して損傷することを防止する効果がある。

【0108】

また、フィルム回収部４０に回収されるフィルム６０に沿って移動するレプリカモールド２０にガイドロール５０が接触しないために、フィルム回収部４０はプレスローラ部１２０より上側に位置してガイドロール５０がフィルム６０の両面のうちレプリカモールド２０が形成される面と異なる面に接触するようにすることができる。すなわち、ガイドロール５０がフィルム６０の両面のうちレプリカモールド２０が形成されない面にのみ接触し、レプリカモールド２０が形成される面には接触しないようにすることができる。

【0109】

このように、プレスローラ部１２０より上側に位置するフィルム回収部４０はガイドロール５０がレプリカモールド２０に接触することを防止する効果がある。

【0110】

次に、レプリカモールド２０製作装置のディスペンサ部１８０に関する実施例を説明する。

【0111】

レジン７０を直接的にマスターモールド１０のパターンに塗布することになると、均一に塗布されないため塗布容量の偏差が発生する。

【0112】

このような塗布容量の偏差は、塗布容量が不足した場合にはレプリカモールド２０のパターンが形成されない不良が発生し、塗布容量が過度な場合にはレプリカモールド２０に残余物として残存して他の構成を汚染させる不良が発生する問題点がある。

【0113】

このような問題点を解決するために、図９に図示された通り、実施例の具体的な説明として、ディスペンサ部１８０およびプレスローラ駆動ユニット２１０を含むことができる。

【0114】

ディスペンサ部１８０は待機位置に位置するプレスローラ部１２０とマスターモールド１０のパターンの間の空間である塗布領域ＰＡに、マスターモールド１０のパターンと重ならないようにレジン７０を塗布することができる。この時、塗布領域ＰＡはステージ部１１０の上面であり得る。

【0115】

ディスペンサ部１８０はディスペンサノズル１８１を通じてレジン７０が塗布され得る。

【0116】

図１８～図２０に図示された通り、ディスペンサ部１８０は多様な形態でレジン７０を塗布することができる。例えば、図１８に図示された通り、ディスペンサ部１８０はレジン７０を一列に列がつながるように塗布することができる。また、図１９に図示された通り、ディスペンサ部１８０はレジン７０を二列または図示してはいないがそれ以上に列がつながるように塗布することができる。また、図２０に図示された通り、ディスペンサ部１８０はレジン７０を一列または図示してはいないがそれ以上に列が複数個に分離（例えば、点線の形状）されるように塗布することができる。

【0117】

プレスローラ駆動ユニット２１０はプレスローラ部１２０の垂直位置を移動させてステージ部１１０とプレスローラ部１２０の間に間隔が形成され得る。

【0118】

このような、ステージ部１１０とプレスローラ部１２０の間の間隔を通じて、プレスローラ部１２０が移動する水平方向にレジン７０を拡散させてマスターモールド１０のパターンに塗布することができる。

【0119】

プレスローラ駆動ユニット２１０はアクチュエータであり得る。

【0120】

このように、レジン７０を間接的に拡散させてマスターモールド１０のパターンに塗布するため、マスターモールド１０のパターンに塗布されたレジン７０の塗布容量の偏差が発生しない効果がある。

【0121】

図９に図示された通り、実施例の具体的な説明として、ステージ駆動ユニット２００およびディスペンサ駆動ユニット（図示せず）を含むことができる。

【0122】

ステージ駆動ユニット２００はステージ部１１０を昇下降させることができる。

【0123】

ディスペンサ駆動ユニット（図示せず）はレジン７０を塗布するために、ステージ駆動ユニット２００によって下降されたステージ部１１０にディスペンサ部１８０を引き込ませ再びディスペンサ部１８０を引き出させることができる。

【0124】

ステージ駆動ユニット２００およびディスペンサ駆動ユニット（図示せず）はアクチュエータであり得る。

【0125】

前述したレプリカモールド２０製作装置がレプリカモールド２０を製造する工程を後述する。

【0126】

まず、モールディング工程段階を説明する。

【0127】

図９～図１２に図示された通り、直接的にマスターモールド１０のパターンにレジン７０を塗布せず、マスターモールド１０のパターンと離隔した空間に設けられた塗布領域ＰＡにレジン７０を塗布してマスターモールド１０のパターンにレジン７０をモールディング（結合）してレプリカモールド２０を形成することができる。

【0128】

例えば、まず図９に図示された通り、ステージ部１１０が下降してフィルム６０とステージ部１１０の間にディスペンサ部１８０が引き込まれ得る空間を形成することができる。

【0129】

その後、図１６に図示された通り、ディスペンサ部１８０がステージ部１１０の側面からステージ部１１０の内側に引き込まれ得る。

【0130】

その後、図１７および図１８に図示された通り、ディスペンサ部１８０が引き出されながら塗布領域ＰＡにレジン７０を塗布することができる。

【0131】

その後、図１０に図示された通り、レジン７０が塗布されたステージ部１１０が上昇することができる。

【0132】

その後、図１１および図１２に図示された通り、プレスローラ部１２０が一側の待機位置から他側に移動して塗布領域ＰＡに塗布されたレジン７０をマスターモールド１０のパターンに塗布されるように拡散させることができる。すなわち、ステージ部１１０とプレスローラ部１２０の間の間隔を通じてプレスローラ部１２０が移動する水平方向にレジン７０を拡散させてマスターモールド１０のパターンに塗布することができる。

【0133】

この時、プレスローラ部１２０はマスターモールド１０のパターンに塗布されたレジン７０の上側を移動しながら、マスターモールド１０のパターンにレジン７０を結合（モールディング工程）してレプリカモールド２０を形成することができる。

【0134】

このような、塗布領域ＰＡ内でレジン７０が最初に塗布される位置とマスターモールド１０のパターンにレジン７０を結合する位置は水平方向に離隔し得る。

【0135】

また、プレスローラ部１２０とともに光照射部１４０が移動しながらレジン７０を硬化させてレプリカモールド２０を形成することができる。

【0136】

次に、ディモールディング工程段階を説明する。

【0137】

図１３～図１５に図示された通り、マスターモールド１０とレプリカモールド２０を分離してフィルム６０の下側に付着されたレプリカモールド２０を形成することができる。

【0138】

例えば、図１３～図１４に図示された通り、プレスローラ部１２０が他側から一側の待機位置に移動しながらフィルム角度維持ローラ部１７０が形成するフィルム６０がプレスローラ部１２０に進入する角度を通じて、レプリカモールド２０をマスターモールド１０から分離することができる。

【0139】

その後、図１５に図示された通り、フィルム６０を移動して完成されたレプリカモールド２０をフィルム回収部４０側に移動させ、次のレプリカモールド２０を形成するためにステージ部１１０が下降することができる。

【0140】

この時、ステージ部１１０が下降すると、ロボットアーム（図示せず）がマスターモールド１０を他のマスターモールド１０に取り替えることができる。

【0141】

このような、レプリカモールド２０を製造する工程は数回繰り返され得る。

【0142】

以上、好ましい実施例を通じて本発明に関して詳細に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、特許請求の範囲内で多様に実施され得る。

【符号の説明】

【0143】

１０：マスターモールド
２０：レプリカモールド
３０：フィルム供給部
４０：フィルム回収部
５０：ガイドロール
６０：フィルム
７０：レジン
１００：転写部
１１０：ステージ部
１２０：プレスローラ部
１３０：転写部駆動ユニット
１４０：光照射部
１４１：遮光部
１４２Ａ：直接照射領域
１４２Ｂ：拡散照射領域
１４３：発光部
１５０：結合移動部
１６０：照射方向ガイド部
１６１：突出部
１６２：ガイド溝
１６３：固定部
１７０：フィルム角度維持ローラ部
１８０：ディスペンサ部
１８１：ディスペンサノズル
２００：ステージ駆動ユニット
２１０：プレスローラ駆動ユニットＬ１：第１最小間隔
Ｌ２：第２最小間隔
ＰＡ：塗布領域
Ｓ１：第１離隔距離
Ｓ２：第２離隔距離
ＡＧ：傾斜度
ＦＧ：進入角度

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】