特開 2022-161136 樹脂成形装置、及び樹脂成形品の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022161136

(43)【公開日】2022-10-21

(54)【発明の名称】樹脂成形装置、及び樹脂成形品の製造方法

(51)【国際特許分類】

   B29C 45/18 20060101AFI20221014BHJP

   B29C 45/02 20060101ALI20221014BHJP

【ＦＩ】

B29C45/18

B29C45/02

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021065722

(22)【出願日】2021-04-08

(71)【出願人】

【識別番号】390002473

【氏名又は名称】ＴＯＷＡ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100162031

【弁理士】

【氏名又は名称】長田 豊彦

(74)【代理人】

【識別番号】100175721

【弁理士】

【氏名又は名称】高木 秀文

(72)【発明者】

【氏名】北原 晃大朗

(72)【発明者】

【氏名】田 明蕾

(72)【発明者】

【氏名】▲呉▼ ▲徳▼▲義▼

【テーマコード（参考）】

4F206

【Ｆターム（参考）】

4F206AC01

4F206AD03

4F206AD05

4F206AH33

4F206AH37

4F206AL09

4F206AL10

4F206JA02

4F206JB12

4F206JB17

4F206JF01

4F206JF05

4F206JF11

4F206JL02

4F206JM01

4F206JQ90

(57)【要約】

【課題】汎用性を向上させることが可能な樹脂成形装置を提供する。
【解決手段】第１の方向に移動しながら複数のタブレット状樹脂を収容する樹脂収容部と、前記第１の方向に交差する第２の方向に移動し、収容した複数の前記タブレット状樹脂を回転動作により落下可能とする樹脂落下機構と、前記樹脂収容部に収容された複数の前記タブレット状樹脂を押し出して前記樹脂落下機構に収容させる押出機構と、前記樹脂落下機構から落下した前記タブレット状樹脂を収容する穴部が設けられた搬送機構と、前記搬送機構により搬送された前記タブレット状樹脂が供給されるポットが設けられた成形型が配置され、前記成形型に供給された前記タブレット状樹脂を用いて樹脂成形対象物を樹脂成形する樹脂成形部と、を備える。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の方向に移動しながら複数のタブレット状樹脂を収容する樹脂収容部と、
前記第１の方向に交差する第２の方向に移動し、収容した複数の前記タブレット状樹脂を回転動作により落下可能とする樹脂落下機構と、
前記樹脂収容部に収容された複数の前記タブレット状樹脂を押し出して前記樹脂落下機構に収容させる押出機構と、
前記樹脂落下機構から落下した前記タブレット状樹脂を収容する穴部が設けられた搬送機構と、
前記搬送機構により搬送された前記タブレット状樹脂が供給されるポットが設けられた成形型が配置され、前記成形型に供給された前記タブレット状樹脂を用いて樹脂成形対象物を樹脂成形する樹脂成形部と、
を備える、樹脂成形装置。

【請求項2】

前記樹脂落下機構は、前記第２の方向に沿った移動と前記回転動作を並行して実行することが可能である、
請求項１に記載の樹脂成形装置。

【請求項3】

前記押出機構は、複数の前記タブレット状樹脂を同時に押し出し可能な複数の円柱部を備える、
請求項１又は請求項２に記載の樹脂成形装置。

【請求項4】

前記搬送機構は、前記樹脂成形対象物と共に前記タブレット状樹脂を前記成形型に搬送する、
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の樹脂成形装置。

【請求項5】

前記成形型には、複数の前記ポットが一列に配置されたポット列が複数設けられ、
前記搬送機構には、複数の前記ポット列に対応するように配置された複数の前記穴部からなる複数の穴部列が設けられ、
前記樹脂落下機構は、前記搬送機構の複数の前記穴部列の上方に移動可能なように、前記第２の方向の任意の位置に移動可能である、
請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の樹脂成形装置。

【請求項6】

前記樹脂落下機構が前記タブレット状樹脂を落下させる樹脂落下位置と、前記成形型と、の間に配置され、樹脂成形前の前記樹脂成形対象物を加熱する加熱部をさらに備え、
前記搬送機構は、前記樹脂落下位置、前記加熱部、及び前記成形型に亘るように直線状に移動可能である、
請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載の樹脂成形装置。

【請求項7】

請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の樹脂成形装置を用いて樹脂成形品を製造する樹脂成形品の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、樹脂成形装置、及び樹脂成形品の製造方法の技術に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、タブレット樹脂を用いて樹脂封止を行う樹脂成形装置が開示されている。この樹脂成形装置では、秤量機構で重量が計測されたタブレット樹脂を、タブレットクランパを用いて支持部に形成された複数の溝に供給する。その後、溝に配置されたタブレット樹脂をプッシャにより押し出して保持部へと供給し、反転機構で保持部を回転させることでタブレット樹脂をリードフレーム整列板へと落下させる。このリードフレーム整列板により、タブレット樹脂とリードフレームを成形型へと搬送することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開昭６３－１１６４３７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載の技術では、保持部に収容された一列のタブレット樹脂を単に下方へと落下させることしかできないため、様々な形状に設計された成形型に対応することが困難であり、汎用性が低い点で改善の余地があった。

【0005】

本発明は以上の如き状況に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、汎用性を向上させることが可能な樹脂成形装置、及び樹脂成形品の製造方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、この課題を解決するため、本発明に係る樹脂成形装置は、第１の方向に移動しながら複数のタブレット状樹脂を収容する樹脂収容部と、前記第１の方向に交差する第２の方向に移動し、収容した複数の前記タブレット状樹脂を回転動作により落下可能とする樹脂落下機構と、前記樹脂収容部に収容された複数の前記タブレット状樹脂を押し出して前記樹脂落下機構に収容させる押出機構と、前記樹脂落下機構から落下した前記タブレット状樹脂を収容する穴部が設けられた搬送機構と、前記搬送機構により搬送された前記タブレット状樹脂が供給されるポットが設けられた成形型が配置され、前記成形型に供給された前記タブレット状樹脂を用いて樹脂成形対象物を樹脂成形する樹脂成形部と、を備えるものである。

【0007】

また、本発明に係る樹脂成形品の製造方法は、前記樹脂成形装置を用いて樹脂成形品を製造するものである。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、樹脂成形装置の汎用性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】一実施形態に係る樹脂成形装置の全体的な構成を示した平面模式図。

【図2】樹脂供給部、ローダ、プレヒート部及び成形型の構成を示した平面図（一部断面図）。

【図3】樹脂供給部及びローダの構成を示した斜視図。

【図4】樹脂供給部の動作の様子を示した側面断面図。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下では、図中に示した矢印Ｕ、矢印Ｄ、矢印Ｌ、矢印Ｒ、矢印Ｆ及び矢印Ｂで示した方向を、それぞれ上方向、下方向、左方向、右方向、前方向及び後方向と定義して説明を行う。

【0011】

＜樹脂成形装置１の全体構成＞
まず、図１を用いて、本発明の一実施形態に係る樹脂成形装置１の構成について説明する。樹脂成形装置１は、半導体チップなどの電子素子（以下、単に「チップ」と称する）を樹脂封止し、樹脂成形品を製造するものである。特に本実施形態では、トランスファーモールド法を利用して樹脂成形を行う樹脂成形装置１を例示している。

【0012】

樹脂成形装置１は、構成要素として、供給モジュール１０及び樹脂成形モジュール２０を具備する。各構成要素は、他の構成要素に対して着脱可能かつ交換可能である。

【0013】

＜供給モジュール１０＞
供給モジュール１０は、チップを装着した基板の一種であるリードフレーム（以下、単に「基板２」と称する）、及びタブレット状樹脂Ｔを樹脂成形モジュール２０へと供給するものである。なお、本実施形態では基板２としてリードフレームを例示しているが、リードフレーム以外にも、その他種々の基板（ガラスエポキシ製基板、セラミック製基板、樹脂製基板、金属製基板等）を用いることが可能である。供給モジュール１０は、主として基板供給部１００、受け渡し部２００、樹脂供給部３００、ローダ４００、プレヒート部５００及び制御部６００を具備する。

【0014】

基板供給部１００は、インマガジンユニット（不図示）に収容された樹脂封止されていない基板２を、受け渡し部２００に供給するものである。

【0015】

受け渡し部２００は、基板供給部１００から基板２を受け取り、受け取った基板２を適宜整列させてローダ４００に受け渡すものである。受け渡し部２００は、基板供給部１００の右方に配置される。

【0016】

樹脂供給部３００は、タブレット状樹脂Ｔ（図２参照）をローダ４００に供給するものである。樹脂供給部３００は、受け渡し部２００の後方に配置される。

【0017】

ローダ４００は、基板供給部１００及び樹脂供給部３００から受け取った基板２及びタブレット状樹脂Ｔを、樹脂成形モジュール２０に搬送するものである。ローダ４００は、本発明にかかる搬送機構の実施の一形態である。ローダ４００は、供給モジュール１０（受け渡し部２００及びプレヒート部５００）と、後述する樹脂成形モジュール２０（成形型７００）とに亘って左右に移動することができる。

【0018】

プレヒート部５００は、樹脂成形モジュール２０へと供給される基板２を予め加熱するものである。プレヒート部５００は、本発明にかかる加熱部の実施の一形態である。プレヒート部５００は、受け渡し部２００の右方に配置される。

【0019】

制御部６００は、樹脂成形装置１の各モジュールの動作を制御するものである。制御部６００によって、供給モジュール１０及び樹脂成形モジュール２０の動作が制御される。また、制御部６００を用いて、各モジュールの動作を任意に変更（調整）することができる。

【0020】

なお本実施形態においては、制御部６００を供給モジュール１０に設けた例を示しているが、制御部６００をその他のモジュールに設けることも可能である。また、制御部６００を複数設けることも可能である。例えば、制御部６００をモジュールごとや装置ごとに設け、各モジュール等の動作を互いに連動させながら個別に制御することも可能である。

【0021】

＜樹脂成形モジュール２０＞
樹脂成形モジュール２０は、基板２に装着されたチップを樹脂封止するものである。樹脂成形モジュール２０は、本発明にかかる樹脂成形部の実施の一形態である。樹脂成形モジュール２０は、主として成形型７００（下型及び上型）及び型締め機構（不図示）を具備する。

【0022】

成形型７００は、溶融した樹脂材料を用いて、基板２に装着されたチップを樹脂封止するものである。成形型７００は、上下一対の型、すなわち、下型及び上型（不図示）を具備する。成形型７００には、ヒータ等の加熱部（不図示）が設けられる。成形型７００は、プレヒート部５００の右方に配置される。

【0023】

型締め機構（不図示）は、下型を上下に移動させることによって、成形型７００を型締め又は型開きするものである。

【0024】

＜樹脂成形装置１の動作の概要＞
次に、上述の如く構成された樹脂成形装置１の動作（樹脂成形装置１を用いた樹脂成形品の製造方法）の概要について説明する。

【0025】

供給モジュール１０において、基板供給部１００は、インマガジンユニット（不図示）に収容された基板２を受け渡し部２００に供給する。受け渡し部２００は、受け取った基板２を適宜整列させる。ローダ４００は、受け渡し部２００に載置された基板２を上方から保持し、プレヒート部５００に供給する。プレヒート部５００は、ローダ４００から受け取った基板２を加熱する。ローダ４００はプレヒート部５００に基板２を供給した後、再び受け渡し部２００の上方へと移動する。

【0026】

樹脂供給部３００は、タブレット状樹脂Ｔを受け渡し部２００の上方に位置したローダ４００に供給する。ローダ４００は、樹脂供給部３００からタブレット状樹脂Ｔを受け取った後、プレヒート部５００の上方に移動し、加熱が完了した基板２を保持する。その後ローダ４００は、タブレット状樹脂Ｔと基板２を樹脂成形モジュール２０の成形型７００に搬送する。

【0027】

樹脂成形モジュール２０において、型締め機構は、成形型７００を型締めする。そして、成形型７００の加熱部（不図示）によってタブレット状樹脂Ｔを加熱して溶融させ、生成された流動性樹脂を用いて基板２を樹脂封止する。

【0028】

樹脂封止が完了した後、型締め機構は成形型７００を型開きし、樹脂封止された基板２を離型させる。その後、樹脂封止された基板２は成形型７００から搬出される。この際、樹脂成形された基板２の不要部分（カル、ランナ等の不要樹脂）は適宜除去される。このようにして、樹脂封止された基板２（樹脂成形品）が製造される。

【0029】

＜樹脂供給部３００の詳細な構成＞
次に、樹脂供給部３００の構成について、より詳細に説明する。図２及び図３に示すように、樹脂供給部３００は、主として樹脂送出部３１０、樹脂収容部３２０、チャック３３０、押出機構３４０及び樹脂落下機構３５０を具備する。

【0030】

＜樹脂送出部３１０＞
図２及び図３に示す樹脂送出部３１０は、タブレット状樹脂Ｔを後述する樹脂収容部３２０へと送り出すものである。樹脂送出部３１０は、内側に収容された複数のタブレット状樹脂Ｔを整列させながら、前方へと送り出すことができる。

【0031】

＜樹脂収容部３２０＞
図２から図４に示す樹脂収容部３２０は、樹脂送出部３１０から送り出されたタブレット状樹脂Ｔを収容して搬送するものである。樹脂収容部３２０は、左右に長い直方体状に形成される。樹脂収容部３２０は、収容穴３２１を具備する。

【0032】

収容穴３２１は、タブレット状樹脂Ｔを収容可能な部分である。収容穴３２１は、樹脂収容部３２０を前後に貫通するように形成される。収容穴３２１は、樹脂収容部３２０の長手方向（左右方向）に沿って複数形成される。なお、本実施形態では収容穴３２１を４つ設けた例を示しているが、本発明はこれに限るものではなく、収容穴３２１の個数は任意に変更することが可能である。

【0033】

樹脂収容部３２０は、適宜の移動機構（例えば、樹脂収容部３２０を左右方向に移動可能となるように案内するレール、樹脂収容部３２０をレールに沿って任意の位置まで移動させるサーボモータ等）により、左右方向に移動することができる。樹脂収容部３２０は、樹脂送出部３１０の前方から、後述する押出機構３４０の前方に亘って左右方向に移動することができる。

【0034】

＜チャック３３０＞
図３に示すチャック３３０は、樹脂送出部３１０から樹脂収容部３２０へとタブレット状樹脂Ｔを受け渡すものである。チャック３３０は、樹脂送出部３１０から送り出されるタブレット状樹脂Ｔを挟んで保持し、樹脂収容部３２０の収容穴３２１に収容することがきる。

【0035】

＜押出機構３４０＞
図２から図４に示す押出機構３４０は、樹脂収容部３２０に収容されたタブレット状樹脂Ｔを押し出して、後述する樹脂落下機構３５０へと受け渡すものである。押出機構３４０は、樹脂送出部３１０の左方に配置される。押出機構３４０は、主として円柱部３４１及び連結部３４２を具備する。

【0036】

円柱部３４１は、タブレット状樹脂Ｔを押し出す部分である。円柱部３４１は、長手方向を前後方向に向けた円柱状に形成される。円柱部３４１は、左右方向に沿って複数設けられる。本実施形態では、円柱部３４１は、樹脂収容部３２０の収容穴３２１に対応した個数だけ（すなわち、４つ）設けられる。左右方向に複数並んだ円柱部３４１の間隔は、樹脂収容部３２０の複数の収容穴３２１の間隔と同じになるように形成される。

【0037】

連結部３４２は、複数の円柱部３４１を連結する部分である。連結部３４２は、長手方向を左右方向に向けた矩形板状に形成される。連結部３４２の前側面に、複数の円柱部３４１の後端が固定される。

【0038】

押出機構３４０は、適宜の移動機構（例えば、連結部３４２を前後方向に移動可能となるように案内するレール、連結部３４２をレールに沿って移動させるエアシリンダ等）により、前後方向に移動することができる。

【0039】

＜樹脂落下機構３５０＞
樹脂落下機構３５０は、樹脂収容部３２０から受け取ったタブレット状樹脂Ｔを、所定の位置で落下させてローダ４００へと供給するものである。樹脂落下機構３５０は、押出機構３４０の前方に配置される。樹脂落下機構３５０は、主として移動部３５１、昇降部３５２及び回転部３５３を具備する。なお、図２及び図４では、便宜上、樹脂落下機構３５０の図示を部分的に省略している。

【0040】

図３及び図４に示す移動部３５１は、後述する昇降部３５２及び回転部３５３を支持すると共に、水平方向に移動する部分である。移動部３５１は、左右に長い直方体状に形成される。

【0041】

移動部３５１は、適宜の移動機構（例えば、移動部３５１を前後方向に移動可能となるように案内するレール３５１ａ、移動部３５１をレール３５１ａに沿って移動させるサーボモータ等）により、前後方向に任意の位置まで移動することができる。移動部３５１は、押出機構３４０の近傍（すぐ前方）から、受け渡し部２００（図１参照）の上方に移動したローダ４００の上方に亘って前後方向に移動することができる。移動部３５１は、可動範囲内の任意の位置に移動することができる。

【0042】

昇降部３５２は、後述する回転部３５３を支持すると共に、移動部３５１に対して上下方向に移動（昇降）する部分である。昇降部３５２は、適宜の板状部材等を組み合わせて、左右に長い長手状に形成される。昇降部３５２は、移動部３５１の下方に配置される。昇降部３５２は、適宜の部材を介して移動部３５１に支持される。

【0043】

昇降部３５２は、適宜の移動機構（例えば、昇降部３５２を上下方向に移動可能となるように案内するレール、昇降部３５２をレールに沿って移動させるエアシリンダ等）により、移動部３５１に対して上下方向に移動することができる。

【0044】

図２から図４に示す回転部３５３は、昇降部３５２に対して回転可能に設けられ、樹脂収容部３２０から受け渡されたタブレット状樹脂Ｔを収容して搬送するものである。回転部３５３は、左右に長い直方体状に形成される。回転部３５３は、回転軸３５３ａ及び収容穴３５３ｂを具備する。

【0045】

回転軸３５３ａは、回転部３５３を昇降部３５２に対して回転可能となるように連結する部分である。回転軸３５３ａは、回転部３５３の左右両端部に設けられる。回転軸３５３ａは、長手方向を左右方向に向けて配置される。回転部３５３は、図示せぬ駆動源（エアシリンダ等）の動力によって、回転軸３５３ａを中心として回転動作することができる。具体的には、回転部３５３は、側面視において回転部３５３が後方を向く位置（昇降部３５２から後方に突出する位置）から、回転部３５３が下方を向く位置（昇降部３５２から下方に突出する位置）まで、約９０度回転することができる（図４参照）。

【0046】

収容穴３５３ｂは、タブレット状樹脂Ｔを収容可能な部分である。収容穴３５３ｂは、後方を向いた状態の回転部３５３を前後に貫通するように形成される。収容穴３５３ｂは、回転部３５３の長手方向（左右方向）に沿って複数形成される。本実施形態では、収容穴３５３ｂは、樹脂収容部３２０の収容穴３２１に対応した個数だけ（すなわち、４つ）設けられる。左右方向に複数並んだ収容穴３５３ｂの間隔は、樹脂収容部３２０の複数の収容穴３２１の間隔と同じになるように形成される。収容穴３５３ｂには、収容されたタブレット状樹脂Ｔの落下を防止するためのシャッタ３５３ｃが設けられる。シャッタ３５３ｃは、任意のタイミングで開閉することができる。

【0047】

＜タブレット状樹脂Ｔの供給態様＞
以下では、上述のように構成された樹脂供給部３００を用いてローダ４００へと樹脂を供給する様子について説明する。

【0048】

なお、図１及び図２に示すように、成形型７００（より詳細には、下型）には、樹脂成形に用いられるタブレット状樹脂Ｔを収容するポット７１０が形成されている。本実施形態においては、成形型７００には、複数のポット７１０が左右方向に沿って一列に配置されたポット列７１０Ｌが、複数（本実施形態では、前後方向に３列）形成されている。

【0049】

また、成形型７００のポット７１０にタブレット状樹脂Ｔを搬送するローダ４００には、タブレット状樹脂Ｔを収容して搬送するための収容穴４１０が形成されている。収容穴４１０は、本発明にかかる穴部の実施の一形態である。収容穴４１０は、成形型７００のポット７１０に対応するように複数配置されている。すなわちローダ４００には、成形型７００と同様に、複数の収容穴４１０が左右方向に沿って一列に配置された収容穴列４１０Ｌが、複数（本実施形態では、前後方向に３列）形成されている。収容穴列４１０Ｌは、本発明にかかる穴部列の実施の一形態である。収容穴４１０には、収容されたタブレット状樹脂Ｔの落下を防止するためのシャッタ４１１が設けられる（図４参照）。シャッタ４１１は、任意のタイミングで開閉することができる。

【0050】

本実施形態に係る樹脂供給部３００は、上述のように形成されたローダ４００の複数列の収容穴４１０に、タブレット状樹脂Ｔを供給することができる。以下、具体的に説明する。

【0051】

樹脂供給部３００からローダ４００へとタブレット状樹脂Ｔを供給する場合、まず、図２に示すように、樹脂収容部３２０が樹脂送出部３１０の前方に位置するように右方へと移動する。樹脂収容部３２０は、最も左側に位置する収容穴３２１が樹脂送出部３１０の前端（タブレット状樹脂Ｔが整列される部分）の正面に位置するように停止する。

【0052】

次に、樹脂送出部３１０において整列されたタブレット状樹脂Ｔが、チャック３３０によって樹脂収容部３２０の各収容穴３２１へと受け渡される。この際、チャック３３０は、樹脂送出部３１０から正面の収容穴３２１へとタブレット状樹脂Ｔを受け渡す。タブレット状樹脂Ｔが１つの収容穴３２１へ受け渡される度に、樹脂収容部３２０は収容穴３２１の間隔分だけ左方へと移動する。チャック３３０は、樹脂送出部３１０の正面に位置する収容穴３２１にタブレット状樹脂Ｔを順次受け渡す。これによって、全ての収容穴３２１にタブレット状樹脂Ｔが収容される。

【0053】

全ての収容穴３２１にタブレット状樹脂Ｔが収容されると、樹脂収容部３２０は左方へと移動し、押出機構３４０の正面で停止する。この際、図３に示すように、樹脂落下機構３５０は、回転部３５３を後方に向けた状態で、樹脂収容部３２０の前方（待機位置）で停止（待機）している。

【0054】

次に、図４に示すように、押出機構３４０が前方へと移動し、各円柱部３４１が樹脂収容部３２０の各収容穴３２１に収容されたタブレット状樹脂Ｔを同時に前方に押し出す。これによってタブレット状樹脂Ｔは、収容穴３２１の前方に配置された回転部３５３の収容穴３５３ｂへとそれぞれ受け渡される。タブレット状樹脂Ｔが回転部３５３の収容穴３５３ｂに収容されると、シャッタ３５３ｃが閉じられ、タブレット状樹脂Ｔの落下が防止される。

【0055】

次に、樹脂落下機構３５０によって、タブレット状樹脂Ｔが受け渡し部２００（図２参照）の上方で待機しているローダ４００へと搬送される。具体的には、図４に示すように、タブレット状樹脂Ｔを収容した回転部３５３は、昇降部３５２によって所定の高さまで持ち上げられる。その後、移動部３５１が前方に移動すると共に、回転部３５３が下方を向くように回転する。移動部３５１の移動と回転部３５３の回転は並行して行われる。すなわち、回転部３５３は、前方へと移動しながら下方を向くように回転する。移動部３５１は、ローダ４００の収容穴列４１０Ｌのうち、一の収容穴列４１０Ｌの上方で停止する。図４では、移動部３５１が最も前方の収容穴列４１０Ｌの上方で停止した例を示している。

【0056】

次に、回転部３５３は、昇降部３５２によって所定の高さまで下げられる。その後、シャッタ３５３ｃが開放されることにより、回転部３５３の回転動作によって下を向いた収容穴３５３ｂから下方へとタブレット状樹脂Ｔが落下する。回転部３５３から落下したタブレット状樹脂Ｔは、ローダ４００の収容穴４１０に収容される。

【0057】

樹脂落下機構３５０は、上述のようにタブレット状樹脂Ｔをローダ４００へと搬送した後、再度押出機構３４０の前方（待機位置）に戻る。なお、樹脂落下機構３５０がタブレット状樹脂Ｔをローダ４００へと搬送している間に、樹脂収容部３２０は並行して樹脂送出部３１０からタブレット状樹脂Ｔを受け取っている。

【0058】

このようにして樹脂供給部３００は、複数のタブレット状樹脂Ｔを、ローダ４００に形成された一列の収容穴４１０（収容穴列４１０Ｌ）にまとめて搬送することができる。これを複数回繰り返すことで、ローダ４００の全ての収容穴４１０（収容穴列４１０Ｌ）にタブレット状樹脂Ｔが供給される。

【0059】

その後ローダ４００は、前述のように右方へと直線状に移動しながら、プレヒート部５００から加熱後の基板２を受け取り、この基板２と共にタブレット状樹脂Ｔを成形型７００へと搬送する（図１参照）。具体的には、ローダ４００は成形型７００（より詳細には、下型）の上方へと移動し、基板２を下型の上面に載置する。また、ローダ４００はシャッタ４１１を開放することでタブレット状樹脂Ｔを下方へと落下させ、成形型７００のポット７１０内へと供給する。

【0060】

このように本実施形態では、左右方向に移動する樹脂収容部３２０と、前後方向に移動する樹脂落下機構３５０を用いることで、様々な形状に設計された成形型７００（ローダ４００）に対応することができる。すなわち、樹脂落下機構３５０を前後に任意の位置まで移動させることができるため、ローダ４００に形成された収容穴列４１０Ｌの位置や数が変更されても、それに対応してタブレット状樹脂Ｔを供給することができる。

【0061】

また、樹脂収容部３２０を左右に任意に移動させることができるため、例えば樹脂送出部３１０から樹脂収容部３２０へとタブレット状樹脂Ｔを受け渡す際に、収容穴３２１の全てにタブレット状樹脂Ｔを収容するのではなく、任意の収容穴３２１にのみタブレット状樹脂Ｔを収容させることもできる。これによって、ローダ４００に形成された各収容穴列４１０Ｌの収容穴４１０の数が変更されても、それに対応してタブレット状樹脂Ｔを供給することができる。

【0062】

また、本実施形態では、樹脂収容部３２０の移動方向（左右方向）と樹脂落下機構３５０の移動方向（前後方向）とが平面視において交差するように設定されているため、装置全体の省スペース化を図ることができる。すなわち、本実施形態のように、樹脂収容部３２０と樹脂落下機構３５０は平面視において略Ｌ字状の範囲に設置することができるため（図２参照）、前後及び左右の幅がそれぞれ増大するのを抑えることができる。また、樹脂収容部３２０の前方かつ樹脂落下機構３５０の右方のスペースを活用する（本実施形態では、プレヒート部５００を設置する）ことができるため、装置全体の省スペース化を図ることができる。なお、本実施形態では、樹脂収容部３２０の移動方向と樹脂落下機構３５０の移動方向とが平面視において実質的に直交する例を示している。ここで、実質的に直交するとは、垂直、若しくは垂直から若干の誤差で交差する状態であり、例えば８５°以上９５°以下で交差している状態である。

【0063】

以上の如く、本実施形態に係る樹脂成形装置１は、第１の方向（左右方向）に移動しながら複数のタブレット状樹脂Ｔを収容する樹脂収容部３２０と、前記第１の方向に交差する第２の方向（前後方向）に移動し、収容した複数の前記タブレット状樹脂Ｔを回転動作により落下可能とする樹脂落下機構３５０と、前記樹脂収容部３２０に収容された複数の前記タブレット状樹脂Ｔを押し出して前記樹脂落下機構３５０に収容させる押出機構３４０と、前記樹脂落下機構３５０から落下した前記タブレット状樹脂Ｔを収容する収容穴４１０（穴部）が設けられたローダ４００（搬送機構）と、前記ローダ４００により搬送された前記タブレット状樹脂Ｔが供給されるポット７１０が設けられた成形型７００が配置され、前記成形型７００に供給された前記タブレット状樹脂Ｔを用いて基板２（樹脂成形対象物）を樹脂成形する樹脂成形モジュール２０（樹脂成形部）と、を備えるものである。

【0064】

このように構成することにより、樹脂成形装置１の汎用性を向上させることができる。すなわち、互いに異なる方向に移動可能な樹脂収容部３２０及び樹脂落下機構３５０を用いることで、様々な形状に設計された成形型７００（ローダ４００）に対応することが可能となる。

【0065】

また、前記樹脂落下機構３５０は、前記第２の方向に沿った移動と前記回転動作を並行して実行することが可能なものである。

【0066】

このように構成することにより、複数の動作を並行して実行することで、樹脂成形の工程の時間短縮を図ることができる。

【0067】

また、前記押出機構３４０は、複数の前記タブレット状樹脂Ｔを同時に押し出し可能な複数の円柱部３４１を備えるものである。

【0068】

このように構成することにより、複数のタブレット状樹脂Ｔを一括して樹脂落下機構３５０に収容させることができるため、樹脂成形の工程の時間短縮を図ることができる。

【0069】

また、前記ローダ４００は、前記基板２と共に前記タブレット状樹脂Ｔを前記成形型７００に搬送するものである。

【0070】

このように構成することにより、基板２とタブレット状樹脂Ｔを一括して搬送することができるため、樹脂成形の工程の時間短縮を図ることができる。

【0071】

前記成形型７００には、複数の前記ポット７１０が一列に配置されたポット列７１０Ｌが複数設けられ、前記ローダ４００には、複数の前記ポット列７１０Ｌに対応するように配置された複数の前記収容穴４１０からなる複数の収容穴列４１０Ｌ（穴部列）が設けられ、前記樹脂落下機構３５０は、前記ローダ４００の複数の前記収容穴列４１０Ｌの上方に移動可能なように、前記第２の方向の任意の位置に移動可能なものである。

【0072】

このように構成することにより、樹脂落下機構３５０を用いて複数設けられた収容穴列４１０Ｌにもタブレット状樹脂Ｔを供給することができる。また、収容穴列４１０Ｌの位置や数が変更されても、それに対応してタブレット状樹脂Ｔを供給することができる。

【0073】

また、樹脂成形装置１は、前記樹脂落下機構３５０が前記タブレット状樹脂Ｔを落下させる樹脂落下位置（受け渡し部２００の上方）と、前記成形型７００と、の間に配置され、樹脂成形前の前記基板２を加熱するプレヒート部５００（加熱部）をさらに備え、前記ローダ４００は、前記樹脂落下位置、前記プレヒート部５００、及び前記成形型７００に亘るように直線状に移動可能なものである。

【0074】

このように構成することにより、ローダ４００の移動方向を直線状にすることができ、構造（特に、ローダ４００の移動に関する構成）の簡素化を図ることができる。

【0075】

また、本実施形態に係る樹脂成形品の製造方法は、前記樹脂成形装置１を用いて樹脂成形品を製造するものである。

【0076】

このように構成することにより、樹脂成形装置１の汎用性を向上させることができる。

【0077】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の技術的思想の範囲内で適宜の変更が可能である。

【0078】

例えば、上記実施形態の樹脂成形装置１に用いた構成要素（供給モジュール１０等）は一例であり、適宜着脱や交換することが可能である。例えば、樹脂成形モジュール２０の個数を変更することや、樹脂封止された基板２を搬出するための搬出モジュールをさらに設けること等が可能である。また、本実施形態の樹脂成形装置１に用いた構成要素（供給モジュール１０等）の構成や動作は一例であり、適宜変更することが可能である。

【0079】

また本実施形態では、樹脂収容部３２０が左右方向（第１の方向）に移動し、樹脂落下機構３５０が前後方向（第２の方向）に移動する例（互いに直交する方向に移動する例）を示したが、本発明はこれに限るものではない。すなわち、両者が互いに交差する方向（非平行）に移動するものであれば、その具体的な方向は限定するものではない。

【0080】

また本実施形態では、樹脂落下機構３５０は、前方への移動と回転部３５３の回転を並行して行うものとしたが（図４参照）、本発明はこれに限るものではなく、例えば移動と回転を順番に行うことも可能である。また、樹脂落下機構３５０の動作は一例であり、任意に変更することが可能である。例えば、本実施形態では回転部３５３を上下に移動（昇降）させる例を示したが、必ずしも回転部３５３を昇降させる必要はない。

【0081】

また本実施形態では、押出機構３４０は、複数のタブレット状樹脂Ｔを同時に押し出すものとしたが、本発明はこれに限るものではなく、例えば１つずつ順に押し出す構成とすることも可能である。

【符号の説明】

【0082】

１ 樹脂成形装置
１０ 供給モジュール
２０ 樹脂成形モジュール
３００ 樹脂供給部
３２０ 樹脂収容部
３４０ 押出機構
３４１ 円柱部
３５０ 樹脂落下機構
４００ ローダ
４１０ 収容穴
４１０Ｌ 収容穴列
５００ プレヒート部
７００ 成形型
７１０ ポット
７１０Ｌ ポット列

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】