特開 2022-161502 工業炉

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022161502

(43)【公開日】2022-10-21

(54)【発明の名称】工業炉

(51)【国際特許分類】

   F27B 17/00 20060101AFI20221014BHJP

   F27D 7/02 20060101ALI20221014BHJP

   F27D 7/04 20060101ALI20221014BHJP

   F27D 9/00 20060101ALI20221014BHJP

   F27D 17/00 20060101ALI20221014BHJP

   B01D 46/42 20060101ALI20221014BHJP

【ＦＩ】

F27B17/00 B

F27D7/02 A

F27D7/04

F27D9/00

F27D17/00 105A

B01D46/42 B

【審査請求】有

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021066374

(22)【出願日】2021-04-09

(71)【出願人】

【識別番号】000211123

【氏名又は名称】中外炉工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100087572

【弁理士】

【氏名又は名称】松川 克明

(72)【発明者】

【氏名】橋詰 俊夫

(72)【発明者】

【氏名】大澤 英世

【テーマコード（参考）】

4D058

4K056

4K063

【Ｆターム（参考）】

4D058QA01

4D058QA19

4D058QA21

4D058QA25

4D058UA01

4D058UA03

4K056AA09

4K056BB10

4K056DB13

4K063BA12

4K063CA03

4K063DA13

4K063DA26

4K063EA05

(57)【要約】

【課題】 加熱用気体や冷却用気体をフィルターによりクリーンな状態にして炉内において循環させる場合に、フィルターが温度変化により発塵したり劣化したりするのを防止して、炉内において被処理物の処理をクリーンな状態で適切に行えるようにする。
【解決手段】 炉1外に設けられた加熱器11により加熱されて第１フィルター12により浄化された加熱用気体を、炉内を通して循環させる加熱用気体循環経路15と、炉外に設けられた冷却器21により冷却されて第２フィルター22により浄化された冷却用気体を、炉内を通して循環させる冷却用気体循環経路25とを別に設け、加熱用気体循環経路により炉内を通して加熱用気体を循環させる操作と、冷却用気体循環経路により炉内を通して冷却用気体を循環させる操作とを切り換えて行うようにした。
【選択図】 図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

炉外に設けられた加熱器により加熱されて第１フィルターにより浄化された加熱用気体を、炉内を通して循環させる加熱用気体循環経路と、炉外に設けられた冷却器により冷却されて第２フィルターにより浄化された冷却用気体を、炉内を通して循環させる冷却用気体循環経路とを別に設け、前記の加熱用気体循環経路により炉内を通して加熱用気体を循環させる操作と、前記の冷却用気体循環経路により炉内を通して冷却用気体を循環させる操作とを切り換えて行うことを特徴とする工業炉。

【請求項2】

請求項１に記載の工業炉において、前記の加熱用気体を、炉内を通して循環させないように炉外に導いて循環させる加熱用気体迂回循環経路と、前記の冷却用気体を、炉内を通して循環させないように炉外に導いて循環させる冷却用気体迂回循環経路とを設け、前記の加熱用気体循環経路により炉内を通して加熱用気体を循環させる操作時には、前記の冷却用気体迂回循環経路を通して冷却用気体を炉外に導いて循環させる一方、前記の冷却用気体循環経路により炉内を通して冷却用気体を循環させる操作時には、前記の加熱用気体迂回循環経路を通して加熱用気体を炉外に導いて循環させることを特徴とする工業炉。

【請求項3】

請求項２に記載の工業炉において、前記の加熱用気体循環経路として、前記の加熱用気体を炉内に案内する加熱用気体案内管と、炉内を通して排気される加熱用気体を前記の加熱器に戻す加熱用気体戻し管とを設け、前記の冷却用気体循環経路として、前記の冷却用気体を炉内に案内する冷却用気体案内管と、炉内を通して排気される冷却用気体を前記の冷却器に戻す冷却用気体戻し管とを設ける一方、前記の加熱用気体迂回循環経路として、前記の加熱用気体案内管を通して炉内に案内された加熱用気体を炉外に導いて前記の加熱器に戻す加熱用気体迂回戻し管を設け、前記の冷却用気体迂回循環経路として、前記の冷却用気体案内管を通して炉内に案内された冷却用気体を炉外に導いて前記の冷却器に戻す冷却用気体迂回戻し管を設けたことを特徴とする工業炉。

【請求項4】

請求項３に記載の工業炉において、前記の加熱用気体戻し管に第１バルブを、前記の冷却用気体戻し管に第２バルブを、前記の加熱用気体迂回戻し管に第３バルブを、前記の冷却用気体迂回戻し管に第４バルブを設け、前記の第１バルブを開ける一方、前記の第３バルブを閉じて、加熱用気体を前記の加熱用気体循環経路により炉内を通して循環させると共に、前記の第２バルブを閉じる一方、前記の第４バルブを開けて、冷却用気体を前記の冷却用気体迂回循環経路を通して炉外に導いて循環させ、前記の第２バルブを開ける一方、前記の第４バルブを閉じて、冷却用気体を前記の冷却用気体循環経路により炉内を通して冷却用気体を循環させると共に、前記の第１バルブを閉じる一方、前記の第３バルブを開けて、加熱用気体を前記の加熱用気体迂回循環経路を通して炉外に導いて循環させることを特徴とする工業炉。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、クリーンな雰囲気中において被処理物を加熱させたり、冷却させたりする工業炉に関するものである。特に、加熱器により加熱された加熱用気体をフィルターによりクリーンな状態にして炉内において循環させる操作と、冷却器により冷却された冷却用気体をフィルターによりクリーンな状態にして炉内において循環させる操作とを切り換えて行うようにした工業炉において、フィルターに導かれる加熱用気体と冷却用気体との切り換えによる温度変化によって、フィルターが発塵したり、劣化したりするのを防止するようにした点に特徴を有するものである。

【背景技術】

【0002】

従来から、半導体デバイスや液晶ディスプレイデバイスなどの製造プロセス等において、クリーンな雰囲気中において被処理物を加熱させたり、冷却させたりする工業炉（いわゆるクリーンオーブン）が知られている。

【0003】

ここで、このような工業炉として、従来においては、特許文献１～４に示されるようなものが知られている。

【0004】

そして、これらの特許文献１～４に示される工業炉においては、加熱器により加熱された加熱用気体をフィルターによりクリーンな状態にして炉内において循環させる操作と、冷却器により冷却された冷却用気体をフィルターによりクリーンな状態にして炉内において循環させる操作とを切り換えて行うようにしており、この時、加熱された加熱用気体と、冷却された冷却用気体とを同じフィルターに導くようにしていた。

【0005】

しかし、特許文献１～４に示される工業炉のように、加熱された加熱用気体と、冷却された冷却用気体とを同じフィルターに導いて処理するようにした場合、加熱された加熱用気体と、冷却された冷却用気体とによる温度変化によって、フィルターが発塵したり劣化したりして、炉内において処理する被処理物に悪影響を及ぼすという問題があった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】実公平５－４６２６７号公報

【特許文献2】特許第２６０３３９３号公報

【特許文献3】特許第４３７６２４３号公報

【特許文献4】特許第６１４０２６４号公報

【発明の開示】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

本発明は、加熱器により加熱された加熱用気体をフィルターによりクリーンな状態にして炉内において循環させる操作と、冷却器により冷却された冷却用気体をフィルターによりクリーンな状態にして炉内において循環させる操作とを切り換えて行うようにした工業炉における前記のような問題を解決することを課題とするものである。

【0008】

すなわち、本発明は、前記のような工業炉において、フィルターが温度変化により発塵したり劣化したりするのを防止して、炉内において被処理物の処理をクリーンな状態で適切に行えるようにすることを課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明に係る工業炉においては、前記のような課題を解決するため、炉外に設けられた加熱器により加熱されて第１フィルターにより浄化された加熱用気体を、炉内を通して循環させる加熱用気体循環経路と、炉外に設けられた冷却器により冷却されて第２フィルターにより浄化された冷却用気体を、炉内を通して循環させる冷却用気体循環経路とを別に設け、前記の加熱用気体循環経路により炉内を通して加熱用気体を循環させる操作と、前記の冷却用気体循環経路により炉内を通して冷却用気体を循環させる操作とを切り換えて行うようにした。

【0010】

ここで、本発明における工業炉のように、炉外に設けられた加熱器により加熱されて第１フィルターにより浄化された加熱用気体を、炉内を通して循環させる加熱用気体循環経路と、炉外に設けられた冷却器により冷却されて第２フィルターにより浄化された冷却用気体を、炉内を通して循環させる冷却用気体循環経路とを別に設け、加熱気体循環経路を通して加熱用気体を循環させる操作と、冷却用気体循環経路を通して冷却用気体を循環させる操作とを切り換えて行うようにすると、第１フィルターには加熱器により加熱された加熱用気体だけが導かれ、第２フィルターには冷却器により冷却された冷却用気体だけが導かれるようになり、第１フィルターや第２フィルターに導かれる気体の温度が変化するのが防止され、これらの第１フィルターや第２フィルターが発塵したり劣化したりするということがなくなる。

【0011】

また、本発明における工業炉においては、前記の加熱用気体を、炉内を通して循環させないように炉外に導いて循環させる加熱用気体迂回循環経路と、前記の冷却用気体を、炉内を通して循環させないように炉外に導いて循環させる冷却用気体迂回循環経路とを設け、前記の加熱用気体循環経路により炉内を通して加熱用気体を循環させる操作時には、前記の冷却用気体迂回循環経路を通して冷却用気体を炉外に導いて循環させる一方、前記の冷却用気体循環経路により炉内を通して冷却用気体を循環させる操作時には、前記の加熱用気体迂回循環経路を通して加熱用気体を炉外に導いて循環させるようにするということができる。このようにすると、加熱用気体が冷却用気体循環経路に流れ込んだり、冷却用気体が加熱用気体循環経路に流れ込んだりするのが防止されると共に、加熱気体循環経路を通して加熱用気体を循環させる操作と、冷却用気体循環経路を通して冷却用気体を循環させる操作とを切り換えて行う場合にも、第１フィルターには加熱器により加熱された加熱用気体が常に導かれ、第２フィルターには冷却器により冷却された冷却用気体が常に導かれるようになり、第１フィルターや第２フィルターの温度が変化するのが一層抑制されるようになる。

【0012】

また、本発明における工業炉においては、前記の加熱用気体循環経路として、前記の加熱用気体を炉内に案内する加熱用気体案内管と、炉内を通して排気される加熱用気体を前記の加熱器に戻す加熱用気体戻し管とを設け、前記の冷却用気体循環経路として、前記の冷却用気体を炉内に案内する冷却用気体案内管と、炉内を通して排気される冷却用気体を前記の冷却器に戻す冷却用気体戻し管とを設ける一方、前記の加熱用気体迂回循環経路として、前記の加熱用気体案内管を通して炉内に案内された加熱用気体を炉外に導いて前記の加熱器に戻す加熱用気体迂回戻し管を設け、前記の冷却用気体迂回循環経路として、前記の冷却用気体案内管を通して炉内に案内された冷却用気体を炉外に導いて前記の冷却器に戻す冷却用気体迂回戻し管を設けるようにすることができる。

【0013】

また、本発明における工業炉においては、前記の加熱用気体戻し管に第１バルブを、前記の冷却用気体戻し管に第２バルブを、前記の加熱用気体迂回戻し管に第３バルブを、前記の冷却用気体迂回戻し管に第４バルブを設けるようにすることができる。

【0014】

そして、前記の工業炉において、炉内を加熱させる場合には、前記の第１バルブを開ける一方、前記の第３バルブを閉じて、加熱用気体を前記の加熱用気体循環経路により炉内を通して循環させると共に、前記の第２バルブを閉じる一方、前記の第４バルブを開けて、冷却用気体を前記の冷却用気体迂回循環経路を通して炉外に導いて循環させるようにすることができる。

【0015】

また、前記の工業炉において、炉内を冷却させる場合には、前記の第２バルブを開ける一方、前記の第４バルブを閉じて、冷却用気体を前記の冷却用気体循環経路により炉内を通して冷却用気体を循環させると共に、前記の第１バルブを閉じる一方、前記の第３バルブを開けて、加熱用気体を前記の加熱用気体迂回循環経路を通して炉外に導いて循環させるようにすることができる。

【0016】

このようにすると、加熱用気体を炉内に案内する加熱用気体案内管や、冷却用気体を炉内に案内する冷却用気体案内管にバルブを設ける必要がなくなり、フィルターから炉内までの間に動作部分がなくなり、加熱用気体案内管や冷却用気体案内管にバルブを設けた場合のように、これらのバルブの動作によって生じる発塵が、加熱用気体案内管や冷却用気体案内管を通して炉内に導かれて、炉内環境が悪化するということがなく、炉内において被処理物の処理をクリーンな状態で適切に行えるようになる。

【発明の効果】

【0017】

本発明における工業炉においては、前記のように炉外に設けられた加熱器により加熱されて第１フィルターにより浄化された加熱用気体を、炉内を通して循環させる加熱用気体循環経路と、炉外に設けられた冷却器により冷却されて第２フィルターにより浄化された冷却用気体を、炉内を通して循環させる冷却用気体循環経路とを別に設け、前記の加熱気体循環経路を通して加熱用気体を循環させる操作と、前記の冷却用気体循環経路を通して冷却用気体を循環させる操作とを切り換えて行うようにしたため、第１フィルターには加熱器により加熱された加熱用気体だけが導かれ、第２フィルターには冷却器により冷却された冷却用気体だけが導かれるようになり、第１フィルターや第２フィルターに導かれる気体の温度が変化するのが防止され、これらのフィルターが発塵したり劣化したりするということがなくなる。

【0018】

この結果、本発明の工業炉においては、前記のように炉内に加熱用気体を循環させて炉内を加熱させる操作と、炉内に冷却用気体を循環させて炉内を冷却させる操作とを切り換えて行う場合にも、第１フィルターや第２フィルターが温度変化により発塵したり劣化したりするのが防止され、炉内において被処理物の処理をクリーンな状態で適切に行えるようになる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明の一実施形態に係る工業炉において、炉外に設けられた加熱器により加熱されて第１フィルターにより浄化された加熱用気体を、加熱用気体循環経路により炉内を通して循環させる一方、炉外に設けられた冷却器により冷却されて第２フィルターにより浄化された冷却用気体を、冷却用気体迂回循環経路を通して炉外に導いて循環させる状態を示した概略説明図である。

【図2】前記の実施形態における工業炉において、炉外に設けられた冷却器により冷却されて第２フィルターにより浄化された冷却用気体を、冷却用気体循環経路を通して炉内に導いて循環させる一方、炉外に設けられた加熱器により加熱されて第１フィルターにより浄化された加熱用気体を、加熱用気体迂回循環経路を通して炉外に導いて循環させる状態を示した概略説明図である。

【発明を実施するための最良の形態】

【0020】

以下、本発明の実施形態に係る工業炉を、添付図面に基づいて具体的に説明する。なお、本発明に係る工業炉は、下記の実施形態に示したものに限定されず、発明の要旨を変更しない範囲において、適宜変更して実施できるものである。

【0021】

この実施形態における工業炉においては、図１及び図２に示すように、炉１外に設けられた加熱器１１により加熱されて第１フィルター１２により浄化された加熱用気体を第１送風機１３により送風させるようにしており、この加熱用気体を、炉１内を通して循環させる加熱用気体循環経路１４として、前記のように第１フィルター１２により浄化された加熱用気体を炉１内に案内する加熱用気体案内管１４ａと、炉１内を通して排気される加熱用気体を前記の加熱器１１に戻す加熱用気体戻し管１４ｂとを設け、この加熱用気体戻し管１４ｂの部分に第１バルブ１４ｃを設けている。

【0022】

そして、この第１バルブ１４ｃを開けた場合には、前記のように加熱用気体が加熱用気体循環経路１４により炉１内を通して循環される一方、この第１バルブ１４ｃを閉じた場合には、加熱用気体が加熱用気体循環経路１４により炉１内を通して循環されないようになる。

【0023】

また、この実施形態における工業炉においては、炉１外に設けられた冷却器２１により冷却されて第２フィルター２２により浄化された冷却用気体を第２送風機２３により送風させるようにしており、この冷却用気体を、炉１内を通して循環させる冷却用気体循環経路２４として、前記のように第２フィルター２２により浄化された冷却用気体を炉１内に案内する冷却用気体案内管２４ａと、炉１内を通して排気される冷却用気体を前記の冷却器２１に戻す冷却用気体戻し管２４ｂとを設け、この冷却用気体戻し管２４ｂの部分に第２バルブ２４ｃを設けている。

【0024】

そして、この第２バルブ２４ｃを開けた場合には、前記のように冷却用気体が冷却用気体循環経路２４により炉１内を通して循環される一方、この第２バルブ２４ｃを閉じた場合には、冷却用気体が冷却用気体循環経路２４により炉１内を通して循環されないようになる。

【0025】

さらに、この実施形態における工業炉において、前記のように第１バルブ１４ｃを閉じて、加熱器１１により加熱されて第１フィルター１２により浄化された加熱用気体が、前記の加熱用気体循環経路１４により炉１内を通して循環されないようにした場合には、前記の加熱用気体を加熱用気体迂回循環経路１５により炉１外に導いて循環させるようにしている。

【0026】

ここで、この実施形態においては、加熱用気体を加熱用気体迂回循環経路１５により炉１外に導いて循環させるにあたり、前記の加熱用気体案内管１４ａと対向する炉１内の位置から前記の第１送風機１３に至るように加熱用気体迂回戻し管１５ａを設け、この加熱用気体迂回戻し管１５ａが前記の加熱用気体案内管１４ａと炉１内において対向する一端に加熱用気体案内管１４ａより大径の吸引口部１５ｂを設ける一方、加熱用気体迂回戻し管１５ａを第１送風機１３に導く位置に第３バルブ１５ｃを設けている。

【0027】

そして、この第３バルブ１５ｃを開けた場合には、前記のように加熱用気体案内管１４ａによって炉１内に導かれる加熱用気体が、前記の第１送風機１３により前記の吸引口部１５ｂを通して加熱用気体迂回戻し管１５ａに吸引されて、加熱用気体が加熱用気体迂回循環経路１５を通して炉１外に導かれて循環されるようになる。

【0028】

さらに、この実施形態における工業炉において、前記のように第２バルブ２４ｃを閉じて、冷却器２１により冷却されて第２フィルター２２により浄化された冷却用気体か、前記の冷却用気体循環経路２４により炉１内を通して循環されないようにした場合には、前記の冷却用気体を冷却用気体迂回循環経路２５により炉１外に導いて循環させるようにしている。

【0029】

ここで、この実施形態においては、冷却用気体を冷却用気体迂回循環経路２５により炉１外に導いて循環させるにあたり、前記の冷却用気体案内管２４ａと対向する炉１内の位置から前記の第２送風機２３に至るように冷却用気体迂回戻し管２５ａを設け、この冷却用気体迂回戻し管２５ａが前記の冷却用気体案内管２４ａと炉１内において対向する一端に冷却用気体案内管２４ａより大径の吸引口部２５ｂを設ける一方、冷却用気体迂回戻し管２５ａを第２送風機２３に導く位置に第４バルブ２５ｃを設けている。

【0030】

そして、この第４バルブ２５ｃを開けた場合には、前記のように冷却用気体案内管２４ａによって炉１内に導かれる冷却用気体が、前記の第２送風機２３により前記の吸引口部２５ｂを通して冷却用気体迂回戻し管２５ａに吸引されて、冷却用気体が冷却用気体迂回循環経路２５を通して炉１外に導かれて循環されるようになる。なお、図１及び図２においては、前記の第１バルブ１４ｃ、第２バルブ２４ｃ、第３バルブ１５ｃ、第４バルブ２５ｃを開けた状態では白抜きで、閉じた状態では黒塗りで示している。

【0031】

ここで、この実施形態における工業炉において、前記の加熱用気体を加熱用気体循環経路１４により炉１内を通して循環させて、炉１内における被処理物（図示せず）を加熱させるにあたっては、図１に示すように、前記の第１バルブ１４ｃを開ける一方、前記の第３バルブ１５ｃを閉じ、また前記の第２バルブ２４ｃを閉じる一方、前記の第４バルブ２５ｃを開けるようにする。

【0032】

そして、前記のように第１バルブ１４ｃを開けて、第３バルブ１５ｃを閉じると、前記の加熱器１１により加熱されて第１フィルター１２により浄化された加熱用気体が、前記の第１送風機１３によって前記の加熱用気体案内管１４ａを通して炉１内に導かれ、前記の加熱用気体迂回戻し管１５ａには導かれずに、加熱用気体案内管１４ａの端部とそれより大径の吸引口部１５ｂとの隙間から炉１内に流れ込んで、この加熱用気体により炉１内が加熱され、この炉１内から排気される加熱用気体が加熱用気体戻し管１４ｂを通して前記の加熱器１１に戻され、加熱用気体が加熱用気体循環経路１４により炉１内を通して循環されるようになる。

【0033】

このとき、前記のように第２バルブ２４ｃを閉じて、前記の第４バルブ２５ｃを開けると、前記の冷却器２１により冷却されて第２フィルター２２により浄化された冷却用気体が、前記の第２送風機２３によって前記の冷却用気体案内管２４ａに導かれるが、炉１内には供給されずに、前記の冷却用気体案内管２４ａから前記の吸引口部２５ｂを直進して冷却用気体迂回戻し管２５ａに吸引され、冷却用気体が冷却用気体迂回循環経路２５を通して炉１外に導かれて循環されるようになる。

【0034】

一方、この実施形態における工業炉において、前記の冷却用気体を冷却用気体循環経路２４により炉１内を通して循環させて、炉１内における被処理物（図示せず）を冷却させるにあたっては、図２に示すように、前記の第１バルブ１４ｃを閉じる一方、前記の第３バルブ１５ｃを開け、また前記の第２バルブ２４ｃを開ける一方、前記の第４バルブ２５ｃを閉じるようにする。

【0035】

そして、前記のように第２バルブ２４ｃを開けて、第４バルブ２５ｃを閉じると、前記の冷却器２１により冷却されて第２フィルター２２により浄化された冷却用気体が、前記の第２送風機２３によって前記の冷却用気体案内管２４ａを通して炉１内に導かれ、前記の冷却用気体迂回戻し管２５ａには導かれずに、冷却用気体案内管２４ａの端部とそれよりも大径になった吸引口部２５ｂとの隙間から炉１内に流れ込んで、この冷却用気体により炉１内が冷却され、この炉１内から排気される冷却用気体が冷却用気体迂回戻し管２５ａを通して前記の冷却器２１に戻され、冷却用気体が冷却用気体循環経路２４により炉１内を通して循環されるようになる。

【0036】

このとき、前記のように第１バルブ１４ｃを閉じて、前記の第３バルブ１５ｃを開けると、前記の加熱器１１により加熱されて第１フィルター１２により浄化された加熱用気体が、前記の第１送風機１３によって前記の加熱用気体案内管１４ａに導かれるが、炉１内には供給されずに、前記の加熱用気体案内管１４ａから前記の吸引口部１５ｂを直進して加熱用気体迂回戻し管１５ａに吸引され、加熱用気体が加熱用気体迂回循環経路１５を通して炉１外に導かれて循環されるようになる。

【0037】

前記のように、加熱用気体案内管１４ａの端部から流出される加熱用気体の流れを炉１内と加熱用気体迂回戻し管１５ａとに切り換えるにあたっては、加熱用気体迂回戻し管１５ａに設けた第３バルブ１５ｃを開閉させることによって、加熱用気体を加熱用気体迂回戻し管１５ａに吸引させるか炉１内に流入させるかを切り換え、また冷却用気体案内管２４ａの端部から流出される冷却用気体の流れを炉１内と冷却用気体迂回戻し管２５ａとに切り換えるにあたっては、冷却用気体迂回戻し管２５に設けた第４バルブ２５ｃを開閉させることによって、冷却用気体を冷却用気体迂回戻し管２５ａに吸引させるか炉１内に流入させるかを切り換えるため、第１フィルター１２から炉１内までの間の加熱用気体案内管１４ａや、第２フィルター２２から炉１内までの冷却用気体案内管２４ａには、バルブ等の動作部分をなくして、加熱用気体や冷却用気体の流れの切り換えを行うことができる。

【0038】

この結果、前記の実施形態における工業炉においては、前記の第１フィルター１２や第２フィルター２２が高温専用と低温専用とに分けて用いられるため、温度変化により発塵したり劣化したりするのが防止され、炉１内において被処理物の処理をクリーンな状態で適切に行えるようになる。

【符号の説明】

【0039】

１ ：炉
１１ ：加熱器
１２ ：第１フィルター
１３ ：第１送風機
１４ ：加熱用気体循環経路
１４ａ ：加熱用気体案内管
１４ｂ ：加熱用気体戻し管
１４ｃ ：第１バルブ
１５ ：加熱用気体迂回循環経路
１５ａ ：加熱用気体迂回戻し管
１５ｂ ：吸引口部
１５ｃ ：第３バルブ
２１ ：冷却器
２２ ：第２フィルター
２３ ：第２送風機
２４ ：冷却用気体循環経路
２４ａ ：冷却用気体案内管
２４ｂ ：冷却用気体戻し管
２４ｃ ：第２バルブ
２５ ：冷却用気体迂回循環経路
２５ａ ：冷却用気体迂回戻し管
２５ｂ ：吸引口部
２５ｃ ：第４バルブ

【図1】

【図2】