特開 2022-161652 基板搬送ロボットおよび基板搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022161652

(43)【公開日】2022-10-21

(54)【発明の名称】基板搬送ロボットおよび基板搬送装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20221014BHJP

   B25J 9/06 20060101ALI20221014BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J9/06 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021066625

(22)【出願日】2021-04-09

(71)【出願人】

【識別番号】000000974

【氏名又は名称】川崎重工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104433

【弁理士】

【氏名又は名称】宮園 博一

(74)【代理人】

【識別番号】100202728

【弁理士】

【氏名又は名称】三森 智裕

(72)【発明者】

【氏名】芝田 武士

【テーマコード（参考）】

3C707

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707AS24

3C707BS15

3C707CT04

3C707CY29

3C707CY39

3C707JS02

3C707NS13

5F131AA02

5F131CA32

5F131CA55

5F131DA32

5F131DA33

5F131DA42

5F131DB02

5F131DB42

5F131DB52

5F131DB62

5F131DB76

5F131DB88

5F131DB92

5F131DB99

5F131JA03

5F131JA16

5F131JA24

5F131JA25

5F131JA26

5F131JA32

(57)【要約】

【課題】ガイドレールの上部を覆うガイドレール用カバーが設けられている場合に、基部リンクの回転範囲が制限されるのを防止することが可能な基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】この基板搬送ロボット１００は、ロボットアーム１０と、ロボットアーム１０を昇降させる昇降駆動機構２０とを備える。昇降駆動機構２０は、上下方向に沿って延びるガイドレール２１ａが設けられている固定部２１と、ガイドレール２１ａに沿って昇降移動される昇降部２２とを含む。ロボットアーム１０は、昇降部２２に連結されるとともに水平方向に旋回可能な基部リンク２を含む。また、基板搬送ロボット１００は、昇降部２２が下降した際に側方に露出するガイドレール２１ａの上部２１ｈを側方から覆うガイドレール用カバー２ａを備える。ガイドレール用カバー２ａは、基部リンク２に設けられている。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を保持する保持部を先端部に有するロボットアームと、
前記ロボットアームを昇降させる昇降駆動機構と、を備え、
前記昇降駆動機構は、上下方向に沿って延びるガイドレールが設けられている固定部と、前記ガイドレールに沿って昇降移動される昇降部と、を含み、
前記ロボットアームは、前記昇降部に連結されるとともに水平方向に旋回可能な基部リンクと、前記基部リンクに連結されるとともに水平方向に旋回可能で、かつ、前記先端部を有するとともに１つ以上のアーム部材を有する先端側リンクと、を含み、
前記昇降部が下降した際に側方に露出する前記ガイドレールの上部を側方から覆うガイドレール用カバーをさらに備え、
前記ガイドレール用カバーは、前記基部リンクに設けられている、基板搬送ロボット。

【請求項2】

前記ガイドレール用カバーは、前記基部リンクの第１筐体であるか、または、前記基部リンクに取り付けられていることによって、前記基部リンクに設けられている、請求項１に記載の基板搬送ロボット。

【請求項3】

前記ガイドレール用カバーは、上方から見て、弧形状を有する、請求項１または２に記載の基板搬送ロボット。

【請求項4】

前記ガイドレール用カバーは、上方から見て、前記基部リンクの回転軸線を中心とした円の一部を構成する円弧形状を有する、請求項３に記載の基板搬送ロボット。

【請求項5】

前記固定部に設けられ、前記ガイドレールの前記上部を上方から覆う天井部カバーをさらに備え、
前記天井部カバーの前記ガイドレール用カバー側の端部は、上方から見て、前記ガイドレール用カバーの弧形状と対応する弧形状を有する、請求項３または４に記載の基板搬送ロボット。

【請求項6】

前記天井部カバーの前記端部および前記ガイドレール用カバーの各々は、上方から見て、円弧形状を有し、
前記ガイドレール用カバーは、上方から見て、前記天井部カバーの前記端部との間の隙間の間隔が一定に保たれた状態で回転するように設けられている、請求項５に記載の基板搬送ロボット。

【請求項7】

前記固定部に設けられ、前記ガイドレールの前記上部を側方から挟むように設けられる一対の側方カバーをさらに備え、
前記基部リンクおよび前記ガイドレール用カバーの回転中心は、前記一対の側方カバーが並ぶ方向において、前記一対の側方カバー同士の中央部に対応する位置に設けられている、請求項３～６のいずれか１項に記載の基板搬送ロボット。

【請求項8】

前記ガイドレール用カバーは、上方から見て、円弧形状を有し、かつ、前記一対の側方カバーの各々の前記ガイドレール用カバー側の端部との間の隙間の間隔が一定に保たれた状態で回転するように設けられている、請求項７に記載の基板搬送ロボット。

【請求項9】

弧形状を有する前記ガイドレール用カバーは、上方から見て、弧状部分の少なくとも一部が前記一対の側方カバー同士の間の領域に挿入された状態で回転するように設けられている、請求項７または８に記載の基板搬送ロボット。

【請求項10】

前記ガイドレール用カバーは、上方から見て、中心角が１８０度よりも大きい円弧形状を有する、請求項３～９のいずれか１項に記載の基板搬送ロボット。

【請求項11】

前記ガイドレール用カバーは、前記基部リンクと別個に設けられるとともに前記基部リンクと一体的に旋回可能であり、前記基部リンクの第２筐体と接続部により接続されている、請求項２～１０のいずれか１項に記載の基板搬送ロボット。

【請求項12】

前記固定部に設けられ、前記ガイドレールの前記上部を上方から覆う天井部カバーを備える、請求項１～１１のいずれか１項に記載の基板搬送ロボット。

【請求項13】

基板を保持する保持部を先端部に有するロボットアームと、前記ロボットアームを昇降させる昇降駆動機構と、を含む基板搬送ロボットと、
前記基板搬送ロボットが収容されるロボット収容部と、を備え、
前記昇降駆動機構は、上下方向に沿って延びるガイドレールが設けられている固定部と、前記ガイドレールに沿って昇降移動される昇降部と、を含み、
前記ロボットアームは、前記昇降部に連結されるとともに水平方向に旋回可能な基部リンクと、前記基部リンクに連結されるとともに水平方向に旋回可能で、かつ、前記先端部を有するとともに１つ以上のアーム部材を有する先端側リンクと、を含み、
前記基板搬送ロボットは、前記昇降部が下降した際に側方に露出する前記ガイドレールの上部を側方から覆うガイドレール用カバーを含み、
前記ガイドレール用カバーは、前記基部リンクに設けられている、基板搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、基板搬送ロボットおよび基板搬送装置に関し、特に、ロボットアームを昇降させる昇降駆動機構を備える基板搬送ロボットおよび基板搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、ロボットアームを昇降させる昇降駆動機構を備える基板搬送ロボットおよび基板搬送装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

【0003】

上記特許文献１には、ロボットアームと、ロボットアームを昇降させるための昇降駆動機構とを備える基板搬送ロボット（基板搬送装置）が開示されている。この基板搬送ロボットの昇降駆動機構には、上下方向に沿って延びるガイドレールと、ガイドレールに沿って昇降される昇降部とが設けられている。また、この基板搬送ロボットには、昇降部が下降した際に、ガイドレールの露出する上部を側方から覆うためのガイドレール用カバーが設けられている。このガイドレール用カバーは、水平方向に旋回可能であるロボットアームの基部リンクと水平方向に対向する位置に、基部リンクとは別個に昇降部に設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１７－１４８９２５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上記特許文献１に記載された基板搬送ロボット（基板搬送装置）では、ガイドレール用カバーが、水平方向に旋回可能であるロボットアームの基部リンクと水平方向に対向する位置に、基部リンクとは別個に昇降部に設けられている。このため、基部リンクが回転した場合に、基部リンクとガイドレール用カバーとが接触するため、基部リンクの回転範囲が制限されることが考えられる。したがって、ガイドレールの上部を覆うガイドレール用カバーが設けられている場合に、基部リンクの回転範囲が制限されるのを防止することが可能な基板搬送ロボットおよび基板搬送装置が望まれている。

【0006】

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、ガイドレールの上部を覆うガイドレール用カバーが設けられている場合に、基部リンクの回転範囲が制限されるのを防止することが可能な基板搬送ロボットおよび基板搬送装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するために、この発明の第１の局面による基板搬送ロボットは、基板を保持する保持部を先端部に有するロボットアームと、ロボットアームを昇降させる昇降駆動機構と、を備え、昇降駆動機構は、上下方向に沿って延びるガイドレールが設けられている固定部と、ガイドレールに沿って昇降移動される昇降部と、を含み、ロボットアームは、昇降部に連結されるとともに水平方向に旋回可能な基部リンクと、基部リンクに連結されるとともに水平方向に旋回可能で、かつ、先端部を有するとともに１つ以上のアーム部材を有する先端側リンクと、を含み、昇降部が下降した際に側方に露出するガイドレールの上部を側方から覆うガイドレール用カバーをさらに備え、ガイドレール用カバーは、基部リンクに設けられている。

【0008】

この発明の第１の局面による基板搬送ロボットでは、上記のように、ガイドレール用カバーが基部リンクに設けられている。これにより、基部リンクが水平方向に旋回した場合でも、ガイドレール用カバーも基部リンクと一体的に旋回するので、ガイドレール用カバーが旋回する基部リンクに干渉するのを防止することができる。その結果、ガイドレールの上部を覆うガイドレール用カバーが設けられている場合に、基部リンクの回転範囲が制限されるのを防止することができる。

【0009】

また、この発明の第２の局面による基板搬送装置は、基板を保持する保持部を先端部に有するロボットアームと、ロボットアームを昇降させる昇降駆動機構と、を含む基板搬送ロボットと、基板搬送ロボットが収容されるロボット収容部と、を備え、昇降駆動機構は、上下方向に沿って延びるガイドレールが設けられている固定部と、ガイドレールに沿って昇降移動される昇降部と、を含み、ロボットアームは、昇降部に連結されるとともに水平方向に旋回可能な基部リンクと、基部リンクに連結されるとともに水平方向に旋回可能で、かつ、先端部を有するとともに１つ以上のアーム部材を有する先端側リンクと、を含み、基板搬送ロボットは、昇降部が下降した際に側方に露出するガイドレールの上部を側方から覆うガイドレール用カバーを含み、ガイドレール用カバーは、基部リンクに設けられている。

【0010】

この発明の第２の局面による基板搬送装置では、上記のように、ガイドレール用カバーが基部リンクに設けられている。これにより、基部リンクが水平方向に旋回した場合でも、ガイドレール用カバーも基部リンクと一体的に旋回するので、ガイドレール用カバーが旋回する基部リンクに干渉するのを防止することができる。その結果、ガイドレールの上部を覆うガイドレール用カバーが設けられている場合に、基部リンクの回転範囲が制限されるのを防止することが可能な基板搬送装置を提供することができる。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、上記のように、ガイドレールの上部を覆うガイドレール用カバーが設けられている場合に、基部リンクの回転範囲が制限されるのを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】第１実施形態による基板搬送ロボットが設けられる半導体製造装置を示す平面図である。

【図2】第１実施形態による基板搬送ロボットが設けられる半導体製造装置を示す概略的な側面図である。

【図3】第１実施形態による基部リンク（ガイドレール用カバー）を示す平面図である。

【図4】第１実施形態による基部リンク（ガイドレール用カバー）、固定部、および昇降部を示した断面図である。

【図5】図４の３００－３００線に沿った断面図である。

【図6】図４の４００－４００線に沿った断面図である。

【図7】第１実施形態による昇降部が上昇した場合の基部リンク（ガイドレール用カバー）、固定部、および昇降部を示した断面図である。

【図8】第１実施形態による基部リンク（ガイドレール用カバー）、固定部、および昇降部を示した側面図である。

【図9】第２実施形態による基部リンクおよびガイドレール用カバーを示す平面図である。

【図10】第２実施形態による基部リンク（ガイドレール用カバー）、固定部、および昇降部を示した断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

【0014】

［第１実施形態］
図１～図８を参照して、第１実施形態による基板搬送ロボット１００および基板搬送装置２００の構成について説明する。

【0015】

図１に示すように、基板搬送ロボット１００は、たとえば、クリーンルーム内に設置されている半導体製造装置１０１に用いられる。半導体製造装置１０１には、半導体のウェハＷを処理するウェハ処理装置１０２と、ウェハＷを収納する容器であるフープ１０３と、ウェハ処理装置１０２とフープ１０３との間でウェハＷを搬送するための基板搬送装置２００とが備えられている。また、基板搬送ロボット１００は、基板搬送装置２００に備えられている。なお、ウェハＷは、特許請求の範囲の「基板」の一例である。

【0016】

フープ１０３には、処理前または処理後のウェハＷが収納されている。ウェハ処理装置１０２において、ウェハＷに対する、熱処理、不純物導入処理、薄膜形成処理、リソグラフィー処理、洗浄処理および平坦化処理などのプロセス処理が行われる。

【0017】

ウェハ処理装置１０２は、処理空間１０２ａが形成される処理空間形成部１０２ｂと、処理空間１０２ａの内部に配置され、ウェハＷを処理する処理装置本体（図示を省略）と、処理空間１０２ａに満たされる雰囲気気体を調整する処理空間調整装置（図示を省略）とを含む。

【0018】

基板搬送装置２００は、準備空間２００ａが形成される準備空間形成部２００ｂと、準備空間２００ａに配置される基板搬送ロボット１００と、準備空間２００ａに配置され、ウェハＷの向きを調整するアライナ２００ｃと、を含む。また、基板搬送装置２００は、準備空間２００ａに満たされる雰囲気気体を調整する準備空間調整装置（図示を省略）を含む。なお、準備空間形成部２００ｂは、特許請求の範囲の「ロボット収容部」の一例である。

【0019】

準備空間形成部２００ｂは、直方体の箱状に形成されている。また、基板搬送ロボット１００は、準備空間２００ａの長手方向（Ｘ方向）のほぼ中央部に配置されている。

【0020】

また、基板搬送ロボット１００は、フープ１０３からウェハ処理装置１０２にウェハＷを搬送する際、フープ１０３から取り出したウェハＷを一旦、アライナ２００ｃに搬送する。そして、基板搬送ロボット１００は、アライナ２００ｃにおいて向きが調整されたウェハＷをウェハ処理装置１０２に差し入れる。

【0021】

基板搬送ロボット１００は、スカラ形の水平多関節ロボットである。基板搬送ロボット１００（基板搬送装置２００）は、ロボットアーム１０と、ロボットアーム１０の基端部が連結される昇降駆動機構２０と、を備える。昇降駆動機構２０は、ロボットアーム１０を昇降させる。

【0022】

ロボットアーム１０は、ウェハＷを保持（把持）するロボットハンド（エンドエフェクタ）１を先端部１０ａに有している。また、ロボットアーム１０は、後述する昇降部２２に連結されるとともに水平方向に旋回可能な基部リンク２を含む。基部リンク２は、後述する可動側ケーシング２２ａ（図４参照）の上部に配置されている。また、ロボットアーム１０は、基部リンク２に連結されるとともに水平方向に旋回可能で、かつ、先端部１０ａを有するとともに１つ以上にアーム部材を有する先端側リンク３を含む。具体的には、先端側リンク３は、基部リンク２と接続される第１リンク３ａと、第１リンク３ａおよびロボットハンド１と接続される第２リンク３ｂとを有する。なお、ロボットハンド１は、特許請求の範囲の「保持部」の一例である。また、第１リンク３ａおよび第２リンク３ｂの各々は、特許請求の範囲の「アーム部材」の一例である。

【0023】

図２に示すように、昇降駆動機構２０は、上下方向（Ｚ方向）に沿って延びるガイドレール２１ａ（図３参照）が設けられている固定部２１を含む。また、昇降駆動機構２０は、ガイドレール２１ａに沿って昇降移動される昇降部２２を含む。なお、図２では、上方へ移動された基部リンク２および先端側リンク３が破線により示されている。また、図２では、固定部２１と昇降部２２とがＹ方向に並んでいるように図示されていますが、これは一例であり、この構成に限られない。

【0024】

昇降部２２は、円筒状に形成されており、上下方向に沿って延びるように設けられている。昇降部２２の上部は、昇降駆動機構２０の上部となる。昇降部２２が昇降移動されることにより、ロボットアーム１０の先端部１０ａに設けられたロボットハンド１の位置が上下に変化する。

【0025】

図３に示すように、固定部２１は、外形が上下方向（Ｚ方向）に長い略直方体形状（図４参照）を有する固定側ケーシング２１ｂを含む。また、固定部２１の、昇降部２２を連結する側には、ガイドレール２１ａが、所定の間隔を設けて平行に２本配置されている。

【0026】

図４に示すように、昇降部２２は、外形が上下方向（Ｚ方向）に長い略直方体形状を有する可動側ケーシング２２ａを含む。可動側ケーシング２２ａは、底部が開放されているとともに、天井面および４つの側面が板状部材で連結されている。可動側ケーシング２２ａには、固定側ケーシング２１ｂ内の後述するナット部材２１ｄに連結された支持部材２２ｂと、ガイドレール２１ａと係合して上下に昇降移動されるブロック状の移動体２２ｃとが配置されている。なお、移動体２２ｃは、走行の安定性および確実性のために、２つのガイドレール２１ａの各々に２個直列に設けられている。また、図４では、簡略化のため、ロボットアーム１０は、断面図ではなく外形が図示されている。

【0027】

また、固定側ケーシング２１ｂの内部には、昇降部２２を昇降させるためのボールねじ２１ｃと、ボールねじ２１ｃと係合してボールねじ２１ｃの回転により昇降するナット部材２１ｄと、が設けられている。また、固定側ケーシング２１ｂの内部には、ボールねじ２１ｃを回転駆動するモータ２１ｅと、モータ２１ｅの駆動力をボールねじ２１ｃに伝達するための動力伝達機構であるプーリ機構２１ｆが配置されている。また、固定側ケーシング２１ｂの内部の下部には、固定側ケーシング２１ｂの内部に下向きの気流を発生させるためのファン２１ｇが配置されている。これにより、固定側ケーシング２１ｂの内部の空気が下方から外部に排出される。

【0028】

図３に示すように、基板搬送ロボット１００は、昇降部２２が下降した際（図４参照）に側方（Ｙ２側）に露出するガイドレール２１ａの上部２１ｈを側方から（Ｙ２側から）覆うガイドレール用カバー２ａを備える。

【0029】

また、固定側ケーシング２１ｂには、昇降部２２と連結する側の側面壁２１ｉ（図５参照）が設けられている。側面壁２１ｉには、支持部材２２ｂが貫通されている開口２１ｊ（図５参照）が設けられている。支持部材２２ｂは、開口２１ｊを貫通した状態で上下方向に昇降される。開口２１ｊは、昇降部２２の昇降ストロークに対応した長さの縦に細長い開口である。

【0030】

また、可動側ケーシング２２ａの内部には、基部リンク２および先端側リンク３の内部に配置されるサーボモータ等への電力供給ケーブルおよび信号ケーブルが引き回されるケーブル配置エリア２２ｄ（図４参照）が設けられている。また、可動側ケーシング２２ａ内には、昇降部２２の昇降の際に上記ケーブルの処理のためのケーブル処理部２２ｅ（図５参照）が配置されている。

【0031】

また、図４に示すように、ロボットアーム１０が最下位置にある場合、基部リンク２の上面２ｅが固定側ケーシング２１ｂの上面２１ｋと略同一の高さとなるように、可動側ケーシング２２ａの上面２２ｆの高さが設定されている。

【0032】

すなわち、昇降部２２が最下点まで下降している場合、可動側ケーシング２２ａの上面２２ｆが固定側ケーシング２１ｂの上面２１ｋよりも基部リンク２の高さ（厚み）分だけ低い位置に配置される。昇降部２２が最下点まで下降している場合に、ガイドレール２１ａの上部２１ｈが露出されて粉塵等により準備空間２００ａが汚染されないように、ガイドレール用カバー２ａと、後述する天井部カバー２３および一対の側方カバー２４が設けられている。

【0033】

ここで、第１実施形態では、図３に示すように、ガイドレール用カバー２ａは、基部リンク２に設けられている。具体的には、ガイドレール用カバー２ａは、基部リンク２の筐体２ｂであることによって、基部リンク２に設けられている。詳細には、ガイドレール用カバー２ａは、基部リンク２の筐体２ｂの側部である。これにより、基部リンク２が回転することにより、ガイドレール用カバー２ａは基部リンク２と一体的に回転する。なお、基部リンク２（ガイドレール用カバー２ａ）と可動側ケーシング２２ａとの間には、１～２ｍｍ程度の隙間Ｃ１（図４参照）が設けられている。これにより、ガイドレール用カバー２ａをスムーズに回転させることが可能である。また、筐体２ｂは、特許請求の範囲の「第１筐体」の一例である。

【0034】

詳細には、基部リンク２は、上方から見て、円形形状を有する円形部２ｃと、円形部２ｃに接続され、ガイドレール用カバー２ａとは反対側に延びるように設けられる延伸部２ｄと、を含む。ガイドレール用カバー２ａは、筐体２ｂのうち円形部２ｃに対応する部分である。

【0035】

すなわち、第１実施形態では、ガイドレール用カバー２ａは、上方から見て、弧形状を有する。具体的には、ガイドレール用カバー２ａは、上方から見て、真円の弧形状（すなわち円弧形状）を有する。

【0036】

また、延伸部２ｄが延びる方向と直交する方向（図３ではＸ方向）において、円形部２ｃの幅Ｗ１の最大値（すなわち上記真円の直径）は、延伸部２ｄの幅Ｗ２の最大値よりも大きい。

【0037】

また、第１実施形態では、ガイドレール用カバー２ａは、上方から見て、基部リンク２の回転軸線α（図４参照）を中心とした円の一部を構成する円弧形状を有する。これにより、上方から見て、ガイドレール用カバー２ａの回転中心Ｏとガイドレール用カバー２ａとの間の距離Ｄ１は、ガイドレール用カバー２ａの部分によらず一定の距離Ｄ１（上記円の半径）となる。なお、距離Ｄ１は、円形部２ｃの幅Ｗ１の最大値の１／２である。また、上方から見て、基部リンク２の回転軸線αは、ガイドレール用カバー２ａの回転中心Ｏと一致するように設けられている。すなわち、基部リンク２は、回転中心Ｏを中心に回転する。

【0038】

また、第１実施形態では、ガイドレール用カバー２ａは、上方から見て、中心角θが１８０度よりも大きい円弧形状を有する。具体的には、ガイドレール用カバー２ａの中心角θは、約２７０度である。これにより、ガイドレール用カバー２ａの回転中心Ｏは、上方から見て、ガイドレール用カバー２ａにより囲まれるように設けられる。

【0039】

また、基板搬送ロボット１００は、ガイドレール２１ａの上部２１ｈを上方（Ｚ２側）から覆う天井部カバー２３（図３の斜線部分）を備える。天井部カバー２３は、固定部２１に設けられている。天井部カバー２３は、上方から見て、ガイドレール用カバー２ａと近接する位置に設けられている。具体的には、天井部カバー２３は、上方から見て、端部２３ａがガイドレール用カバー２ａとオーバラップしない位置に設けられている。

【0040】

ここで、第１実施形態では、天井部カバー２３のガイドレール用カバー１２ａ側の端部２３ａは、上方から見て、ガイドレール用カバー２ａの弧形状と対応する弧形状を有する。具体的には、天井部カバー２３の端部２３ａおよびガイドレール用カバー２ａは、上方から見て、互いに等しい曲率および半径を有する円の一部としての円弧形状を有する。

【0041】

また、第１実施形態では、ガイドレール用カバー２ａは、上方から見て、天井部カバー２３の端部２３ａとの間の隙間Ｃ２の間隔が一定に保たれた状態で回転するように設けられている。すなわち、天井部カバー２３の端部２３ａは、上方から見て、ガイドレール用カバー２ａに沿って（平行に）湾曲するように設けられる円弧形状を有する。なお、隙間Ｃ２の間隔は、たとえば１～２ｍｍ程度である。隙間Ｃ２の間隔が比較的小さく保たれていることにより、固定側ケーシング２１ｂ内の圧力を負圧に保つことが可能である。その結果、ロボットアーム１０のグリス（油）等の不純物が固定側ケーシング２１ｂ外に漏洩するのを防止することが可能である。上記グリス等は、固定側ケーシング２１ｂ内に配置されているファン２１ｇによって形成される下方側に流れる気流によって、クリーンルームの床面に設けられる図示しない排気口（孔）から排出されている。また、隙間Ｃ２の間隔が比較的小さく保たれていることにより、隙間Ｃ２を介して粉塵等が固定側ケーシング２１ｂ内に侵入するのを防止することが可能である。

【0042】

また、基板搬送ロボット１００は、ガイドレール２１ａの上部２１ｈを側方（Ｘ方向）から挟むように設けられる一対の側方カバー２４を備える。一対の側方カバー２４の各々は、上方から見て、Ｙ方向（上方から見てＸ方向と直交する方向）に沿って延びるように設けられている。一対の側方カバー２４の各々のＹ方向に沿った長さは、互いに等しい大きさ（長さＬ）を有する。また、一対の側方カバー２４の各々は、固定部２１に設けられている。

【0043】

第１実施形態では、基部リンク２およびガイドレール用カバー２ａの回転中心Ｏは、一対の側方カバー２４が並ぶ方向（Ｘ方向）において、一対の側方カバー２４同士の中央部に対応する位置Ｐに設けられている。また、回転中心Ｏは、上方から見て、Ｙ方向において、一対の側方カバー２４同士の間の領域の外側の位置に設けられている。

【0044】

また、第１実施形態では、ガイドレール用カバー２ａは、上方から見て、一対の側方カバー２４の各々のガイドレール用カバー２ａ側の端部２４ａとの間の隙間Ｃ３の間隔が一定に保たれた状態で回転するように設けられている。隙間Ｃ３の間隔は、たとえば、隙間Ｃ２の間隔と同等の１～２ｍｍ程度である。これにより、固定側ケーシング２１ｂ内の圧力をより確実に負圧に保つことが可能であるとともに、隙間Ｃ３を介して粉塵等が固定側ケーシング２１ｂ内に侵入するのをより確実に防止することが可能である。

【0045】

また、第１実施形態では、弧形状を有するガイドレール用カバー２ａは、上方から見て、弧状部分（円形部２ｃ）の少なくとも一部が一対の側方カバー２４同士の間の領域に挿入された状態で回転するように設けられている。具体的には、ガイドレール用カバー２ａ（基部リンク２）は、ガイドレール用カバー２ａと一対の側方カバー２４の各々の端部２４ａとの間の隙間Ｃ３が所定の値（たとえば１～２ｍｍ）になるように、弧状部分（円形部２ｃ）の少なくとも一部が上記領域内に挿入されている。また、一対の側方カバー２４同士の間のＸ方向の距離Ｄ２は、円形部２ｃの幅Ｗ１の最大値よりも小さい。

【0046】

また、図４に示すように、固定側ケーシング２１ｂには、昇降部２２が最下点まで下降している場合に、可動側ケーシング２２ａをＹ１側から覆う側面２５ａと、可動側ケーシング２２ａをＸ１側およびＸ２側から覆う一対の側面２５ｂ（図５および図６参照）と、底面２５ｃとを含む固定側カバー２５が設けられている。なお、側面２５ａ、一対の側面２５ｂ、および底面２５ｃは、一体的に形成されている。固定側ケーシング２１ｂおよび固定側カバー２５は、昇降駆動機構２０を覆うためのカバー手段の一部を構成する。

【0047】

図７に示すように、固定側カバー２５の上部は、可動側ケーシング２２ａが出入りできるように開放されている。ガイドレール２１ａは、昇降部２２が下方に位置しているとき（図４参照）は、主としてガイドレール用カバー２ａ、可動側ケーシング２２ａの前面２２ｇ（固定部２１との連結部側面）、天井部カバー２３、および一対の側方カバー２４により形成された空間において密封されている。また、ガイドレール２１ａは、昇降部２２が上昇して上方に位置しているときは、主として可動側ケーシング２２ａの前面２２ｇ、固定側カバー２５、天井部カバー２３、および一対の側方カバー２４により形成された空間において密封されている。

【0048】

これにより、昇降部２２の全昇降ストロークにおいて、ガイドレール２１ａの表面が露出されることはない。その結果、準備空間２００ａの清浄雰囲気を維持することが可能である。

【0049】

また、図８に示すように、一対の側方カバー２４の各々と固定側カバー２５（側面２５ｂ）とは、一体的に設けられている。

【0050】

［第１実施形態の効果］
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0051】

第１実施形態では、上記のように、基板搬送ロボット１００では、ガイドレール用カバー２ａが基部リンク２に設けられる。これにより、基部リンク２が水平方向に旋回した場合でも、ガイドレール用カバー２ａも基部リンク２と一体的に旋回するので、ガイドレール用カバー２ａが旋回する基部リンク２に干渉するのを防止することができる。その結果、ガイドレール２１ａの上部２１ｈを覆うガイドレール用カバー２ａが設けられている場合に、基部リンク２の回転範囲が制限されるのを防止することができる。

【0052】

また、第１実施形態では、上記のように、ガイドレール用カバー２ａは、基部リンク２の筐体２ｂ（第１筐体）であることによって、基部リンク２に設けられている。これにより、ガイドレール用カバー２ａが基部リンク２の一部であるので、ガイドレール用カバー２ａが旋回する基部リンク２に干渉するのを確実に防止することができる。また、ガイドレール用カバー２ａが筐体２ｂ自体であるので、別部材を取り付ける場合に比べて、部品点数を削減することができるとともに、基部リンク２の構造を簡素化することができる。

【0053】

また、第１実施形態では、上記のように、ガイドレール用カバー２ａは、上方から見て、弧形状を有する。これにより、ガイドレール用カバー２ａが上方から見て直線状に設けられている場合に比べて、ガイドレール用カバー２ａの両端側の部分がガイドレール用カバー２ａの回転中心Ｏに寄った位置に設けられる。その結果、ガイドレール用カバー２ａが回転する際に、ガイドレール用カバー２ａの両端側の部分が、ガイドレール用カバー２ａの周りに配置される部材（たとえば一対の側方カバー２４）と干渉するのを容易に抑制することができる。その結果、ガイドレール用カバー２ａを上記部材に容易に近接して配置することができる。

【0054】

また、第１実施形態では、上記のように、ガイドレール用カバー２ａは、上方から見て、基部リンク２の回転軸線αを中心とした円の一部を構成する円弧形状を有する。これにより、上方から見て、ガイドレール用カバー２ａの部分によらず、ガイドレール用カバー２ａと上記回転軸線α（回転中心Ｏ）との間の距離Ｄ１を一定にすることができる。その結果、ガイドレール用カバー２ａと、ガイドレール用カバー２ａの周りに配置される部材（たとえば天井部カバー２３および一対の側方カバー２４）との間の隙間（Ｃ２、Ｃ３）の大きさを、ガイドレール用カバー２ａの回転方向によらず容易に一定にすることができる。

【0055】

また、第１実施形態では、上記のように、基板搬送ロボット１００は、固定部２１に設けられ、ガイドレール２１ａの上部２１ｈを上方から覆う天井部カバー２３を備える。これにより、天井部カバー２３によって、上方からガイドレール２１ａが配置される空間（固定側ケーシング２１ｂ）に粉塵等が侵入するのを抑制することができる。また、天井部カバー２３のガイドレール用カバー２ａ側の端部２３ａは、上方から見て、ガイドレール用カバー２ａの弧形状と対応する弧形状を有する。これにより、天井部カバー２３とガイドレール用カバー２ａとの間の隙間Ｃ２の間隔を容易に小さくすることができる。その結果、天井部カバー２３とガイドレール用カバー２ａとの間の隙間から粉塵等が侵入するのを抑制することができるとともに、ファン２１ｇによりガイドレール２１ａが配置される空間（固定側ケーシング２１ｂ）内を負圧にする際に、容易に上記空間を負圧に保つことができる。

【0056】

また、第１実施形態では、上記のように、天井部カバー２３の端部２３ａおよびガイドレール用カバー２ａの各々は、上方から見て、円弧形状を有する。また、ガイドレール用カバー２ａは、上方から見て、天井部カバー２３の端部２３ａとの間の隙間Ｃ２の間隔が一定に保たれた状態で回転するように設けられている。これにより、隙間Ｃ２の間隔が一定に保たれることによって、ガイドレール２１ａが配置される空間（固定側ケーシング２１ｂ）内の圧力を一定に保つことができる。

【0057】

また、第１実施形態では、上記のように、基板搬送ロボット１００は、固定部２１に設けられ、ガイドレール２１ａの上部２１ｈを側方から挟むように設けられる一対の側方カバー２４を備える。また、基部リンク２およびガイドレール用カバー２ａの回転中心Ｏは、一対の側方カバー２４が並ぶ方向において、一対の側方カバー２４同士の中央部に対応する位置に設けられている。これにより、ガイドレール用カバー２ａと一対の側方カバー２４の各々との間の隙間Ｃ３の大きさを互いに等しくすることができる。その結果、ガイドレール２１ａが配置される空間（固定側ケーシング２１ｂ）内の圧力が、一方の側方カバー２４側と他方の側方カバー２４側とで、不均一になるのを防止することができる。また、一対の側方カバー２４の各々と回転中心Ｏとの間の距離が互いに等しくなるので、一対の側方カバー２４の長さＬを互いに異ならせなくても、ガイドレール用カバー２ａと一対の側方カバー２４の各々との間の隙間Ｃ３の大きさを互いに等しくすることができる。その結果、互いに同じ種類の側方カバー２４を設けることができるので、部品種類数が増加するのを抑制することができる。

【0058】

また、第１実施形態では、上記のように、ガイドレール用カバー２ａは、上方から見て、円弧形状を有し、かつ、一対の側方カバー２４の各々のガイドレール用カバー２ａ側の端部２４ａとの間の隙間Ｃ３の間隔が一定に保たれた状態で回転するように設けられている。これにより、隙間Ｃ３の間隔が一定に保たれることによって、ガイドレール２１ａが配置される空間（固定側ケーシング２１ｂ）内の圧力をより確実に一定に保つことができる。

【0059】

また、第１実施形態では、上記のように、弧形状を有するガイドレール用カバー２ａは、上方から見て、弧状部分の少なくとも一部が一対の側方カバー２４同士の間の領域に挿入された状態で回転するように設けられている。これにより、ガイドレール用カバー２ａを一対の側方カバー２４側に寄せて配置することができるので、一対の側方カバー２４の各々とガイドレール用カバー２ａとの間の隙間Ｃ３を容易に小さくすることができる。

【0060】

また、第１実施形態では、上記のように、ガイドレール用カバー２ａは、上方から見て、中心角θが１８０度よりも大きい円弧形状を有する。これにより、中心角θが１８０度以下の場合に比べて、ガイドレール用カバー２ａの長さ（上方から見た場合の周状の長さ）を大きくすることができる。その結果、基部リンク２が回転する際に、ガイドレール用カバー２ａにより覆われる範囲を大きくすることができる。これにより、ガイドレール用カバー２ａ（基部リンク２）の回転角度を大きくした場合でも、ガイドレール用カバー２ａによりガイドレール２１ａの上部２１ｈを容易に覆うことができる。

【0061】

また、第１実施形態では、上記のように、基板搬送装置２００では、ガイドレール用カバー２ａが基部リンク２に設けられる。これにより、基部リンク２が水平方向に旋回した場合でも、ガイドレール用カバー２ａも基部リンク２と一体的に旋回するので、ガイドレール用カバー２ａが旋回する基部リンク２に干渉するのを防止することができる。その結果、ガイドレール２１ａの上部２１ｈを覆うガイドレール用カバー２ａが設けられている場合に、基部リンク２の回転範囲が制限されるのを防止することが可能な基板搬送装置２００を提供することができる。

【0062】

［第２実施形態］
次に、図９および図１０を参照して、第２実施形態による基板搬送ロボット５００および基板搬送装置６００の構成について説明する。基板搬送ロボット５００および基板搬送装置６００では、ガイドレール用カバー２ａが基部リンク２の筐体２ｂに設けられている上記第１実施形態とは異なり、ガイドレール用カバー１２ａが基部リンク１２に取り付けられている。なお、上記第１実施形態と同一の構成については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。

【0063】

図９に示すように、ロボットアーム１１０は、昇降部２２に水平方向に旋回可能に連結された基部リンク１２を含む。

【0064】

基板搬送ロボット５００（基板搬送装置６００）は、昇降部２２が下降した際に側方（Ｙ２側）に露出するガイドレール２１ａの上部２１ｈを側方から（Ｙ２側から）覆うガイドレール用カバー１２ａを備える。ガイドレール用カバー１２ａは、たとえば板金により形成されている。

【0065】

ここで、第２実施形態では、ガイドレール用カバー１２ａは、基部リンク１２に取り付けられていることによって、基部リンク１２に一体的に設けられている。具体的には、ガイドレール用カバー１２ａは、基部リンク１２に固定されていることによって、基部リンク１２に対して相対的に移動しないように設けられている。すなわち、ガイドレール用カバー１２ａは、基部リンク１２と別個に設けられるとともに基部リンク１２と一体的に旋回可能である。

【0066】

また、ガイドレール用カバー１２ａは、上方から見て、基部リンク１２の端部１２ｂを覆う（囲う）ように設けられている。なお、図９では、基部リンク１２の端部１２ｂは、上方から見て円弧形状を有するように図示されているが、これは一例であって、基部リンク１２の円弧形状以外の形状（たとえば矩形形状）であってもよい。

【0067】

また、第２実施形態では、ガイドレール用カバー１２ａは、基部リンク１２の筐体１２ｃと接続部１２ｄにより接続されている。具体的には、接続部１２ｄは、上方から見て、基部リンク１２の筐体１２ｃとガイドレール用カバー１２ａとの間において直線状に延びるように設けられている。すなわち、ガイドレール用カバー１２ａと基部リンク１２とは、互いに離間して配置されている。また、接続部１２ｄは、たとえばねじ締結および溶接等により、基部リンク１２の筐体１２ｃとガイドレール用カバー１２ａとを固定している。なお、基部リンク１２の筐体１２ｃは、たとえばアルミ等の金属により形成されている。また、筐体１２ｃは、特許請求の範囲の「第２筐体」の一例である。

【0068】

また、接続部１２ｄは、複数設けられている。たとえば、接続部１２ｄは、上方から見て、ガイドレール用カバー１２ａの両端およびガイドレール用カバー１２ａの中央部の各々と、基部リンク１２の筐体１２ｃとを接続するように（すなわち３つ）設けられている。なお、接続部１２ｄは、１つ、または、３つ以外の複数個設けられていてもよい。

【0069】

また、図１０に示すように、ロボットアーム１１０が最下位置にある場合、基部リンク１２の上面１２ｅおよびガイドレール用カバー１２ａの上面１２ｆが固定側ケーシング２１ｂの上面２１ｋと略同一の高さとなるように、可動側ケーシング２２ａの上面２２ｆの高さが設定されている。なお、図１０では、簡略化のため、ロボットアーム１１０は、断面図ではなく外形が図示されている。

【0070】

なお、第２実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。

【0071】

［第２実施形態の効果］
第２実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0072】

第２実施形態では、上記のように、ガイドレール用カバー１２ａは、基部リンク１２に取り付けられていることによって、基部リンク１２に設けられている。これにより、ガイドレール用カバー１２ａが基部リンク１２と一体的に回転するので、ガイドレール用カバー１２ａが旋回する基部リンク１２に干渉するのを防止することができる。また、基部リンク１２自体をガイドレール用カバーにする場合と異なり、基部リンク１２の形状が複雑化するのを抑制することができる。

【0073】

また、第２実施形態では、上記のように、ガイドレール用カバー１２ａは、基部リンク１２と別個に設けられるとともに基部リンク１２と一体的に旋回可能であり、基部リンク１２の筐体１２ｃ（第２筐体）と接続部１２ｄにより接続されている。これにより、接続部１２ｄによってガイドレール用カバー１２ａと基部リンク１２とを容易に一体化することができる。

【0074】

なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

【0075】

［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

【0076】

たとえば、上記第１および第２実施形態では、ガイドレール用カバー（２ａ、１２ａ）が、上方から見て、弧形状（円弧形状）を有する例を示したが、本発明はこれに限られない。ガイドレール用カバー（２ａ、１２ａ）が、上方から見て、弧形状（円弧形状）以外の形状（たとえば上方から見て直線状に延びる平板形状）を有していてもよい。

【0077】

また、上記第１および第２実施形態では、ガイドレール用カバー（２ａ、１２ａ）が、上方から見て、基部リンク（２、１２）の回転軸線αを中心とした円の一部を構成する円弧形状を有する例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、ガイドレール用カバー（２ａ、１２ａ）が、上方から見て、回転軸線αを中心とした円とは重ならない弧形状を有していてもよい。

【0078】

また、上記第１および第２実施形態では、天井部カバー２３の端部２３ａとガイドレール用カバー（２ａ、１２ａ）との間の隙間Ｃ２の間隔が一定に保たれる例を示したが、本発明はこれに限られない。隙間Ｃ２の間隔がガイドレール用カバー（２ａ、１２ａ）の回転方向にしたがって変化してもよい。

【0079】

また、上記第１および第２実施形態では、基部リンク（２、１２）およびガイドレール用カバー（２ａ、１２ａ）の回転中心Ｏが、一対の側方カバー２４の中央部に設けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。回転中心Ｏが、一対の側方カバー２４のいずれかに寄って設けられていてもよい。この場合、回転中心Ｏに近い方の側方カバー２４の上方から見た長さを、回転中心Ｏに遠い方の側方カバー２４の上方から見た長さよりも短くすることが好ましい。これにより、回転中心Ｏが一対の側方カバー２４のいずれかに寄って設けられている場合にも、一対の側方カバー２４の各々とガイドレール用カバー（２ａ、１２ａ）との間の隙間Ｃ３の間隔を互いに等しくすることが可能である。

【0080】

また、上記第１および第２実施形態では、一対の側方カバー２４の各々とガイドレール用カバー（２ａ、１２ａ）との間の隙間Ｃ３の間隔が一定に保たれる例を示したが、本発明はこれに限られない。隙間Ｃ３の間隔がガイドレール用カバー（２ａ、１２ａ）の回転方向にしたがって変化してもよい。

【0081】

また、上記第１および第２実施形態では、ガイドレール用カバー２ａの弧状部分の少なくとも一部が、上方から見て、一対の側方カバー２４同士の間の領域に挿入されている例を示したが、本発明はこれに限られない。ガイドレール用カバー（２ａ、１２ａ）の全体が上記領域の外側に設けられていてもよい。

【0082】

また、上記第１および第２実施形態では、ガイドレール用カバー（２ａ、１２ａ）は、上方から見て、中心角θが１８０度よりも大きい円弧形状を有する例を示したが、本発明はこれに限られない。ガイドレール用カバー（２ａ、１２ａ）の中心角θが１８０度以下であってもよい。

【0083】

また、上記第１および第２実施形態では、先端側リンク３が２つのリンク部材（第１リンク３ａおよび第２リンク３ｂ）により構成される例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、先端側リンク３が３つ以上のリンク部材により構成されていてもよい。

【0084】

また、上記第２実施形態では、ガイドレール用カバー１２ａが接続部１２ｄにより基部リンク１２の筐体１２ｃ（第２筐体）に接続されている例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、基部リンク１２の筐体１２ｃと別個に設けられたガイドレール用カバー１２ａが、筐体１２ｃに直接的に取り付けられていてもよい。この場合、たとえば、ガイドレール用カバー１２ａと筐体１２ｃとが接着剤等により接着されていてもよいし、ガイドレール用カバー１２ａおよび筐体１２ｃが係合することにより接続されていてもよい。

【符号の説明】

【0085】

１ ロボットハンド（保持部）
２、１２ 基部リンク
２ａ、１２ａ ガイドレール用カバー
２ｂ 筐体（第１筐体）
３ 先端側リンク
３ａ 第１リンク（アーム部材）
３ｂ 第２リンク（アーム部材）
１０ ロボットアーム
１０ａ 先端部
１２ｃ 筐体（第２筐体）
２０ 昇降駆動機構
２１ 固定部
２１ａ ガイドレール
２１ｈ 上部
２２ 昇降部
２３ 天井部カバー
２３ａ 端部（天井部カバーの端部）
２４ 側方カバー
２４ａ 端部（側方カバーの端部）
１００、５００ 基板搬送ロボット
２００、６００ 基板搬送装置
２００ｂ 準備空間形成部（ロボット収容部）
Ｃ１ 隙間（天井部カバーの端部とガイドレール用カバーとの間の隙間）
Ｃ２ 隙間（側方カバーの端部とガイドレール用カバーとの間の隙間）
Ｗ ウェハ（基板）
α 回転軸線
θ 中心角

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】