特開 2022-161735 Ｘ線回折測定装置及びＸ線回折測定ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022161735

(43)【公開日】2022-10-21

(54)【発明の名称】Ｘ線回折測定装置及びＸ線回折測定ロボット

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/2055 20180101AFI20221014BHJP

【ＦＩ】

G01N23/2055

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021066785

(22)【出願日】2021-04-09

【国等の委託研究の成果に係る記載事項】（出願人による申告）平成３１年度、国立研究開発法人科学技術振興機構、研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム シーズ育成タイプ、「重要機械部品に対するＸ線を用いた高速高精度な全数検査技術の開発」委託研究、産業技術力強化法第１７条の適用を受ける特許出願

(71)【出願人】

【識別番号】000005197

【氏名又は名称】株式会社不二越

(71)【出願人】

【識別番号】504160781

【氏名又は名称】国立大学法人金沢大学

(74)【代理人】

【識別番号】100176072

【弁理士】

【氏名又は名称】小林 功

(74)【代理人】

【識別番号】100169225

【弁理士】

【氏名又は名称】山野 明

(72)【発明者】

【氏名】乾 典規

(72)【発明者】

【氏名】佐々木 敏彦

(72)【発明者】

【氏名】三井 真吾

【テーマコード（参考）】

2G001

【Ｆターム（参考）】

2G001AA01

2G001BA18

2G001CA01

2G001DA02

2G001DA06

2G001KA07

(57)【要約】

【課題】測定対象物と干渉せずに測定する。
【解決手段】測定対象物に向けてＸ線を出射し、一方向が長いＸ線回折測定装置１０であって、Ｘ線回折測定装置１０の底面において当該Ｘ線回折測定装置１０の長手方向に並べて設けられ、測定対象物にて回折したＸ線を検出する検出センサ４０と、Ｘ線回折測定装置１０の長手方向を回転軸としてＸ線回折測定装置１０が短手方向に傾斜するようにＸ線回折測定装置１０を回転移動させる回転手段１６と、を備える。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

測定対象物に向けてＸ線を出射し、一方向が長いＸ線回折測定装置であって、
前記Ｘ線回折測定装置の底面において当該Ｘ線回折測定装置の長手方向に並べて設けられ、前記測定対象物にて回折したＸ線を検出する検出センサと、
前記Ｘ線回折測定装置の長手方向を回転軸として当該Ｘ線回折測定装置が短手方向に傾斜するように当該Ｘ線回折測定装置を回転させる回転手段と、
を備えるＸ線回折測定装置。

【請求項2】

前記検出センサは、長方形であり、長辺が前記Ｘ線回折測定装置の短手方向に沿うように設けられている、
請求項１に記載のＸ線回折測定装置。

【請求項3】

前記検出センサは、ＳＯＩ（Silicon on Insulator）センサを含む、
請求項２に記載のＸ線回折測定装置。

【請求項4】

前記検出センサの位置を前記底面において回転移動させる回転台、
を備える請求項２又は３に記載のＸ線回折測定装置。

【請求項5】

請求項４に記載のＸ線回折測定装置と、
前記Ｘ線回折測定装置の傾斜角を測定する測定手段と、
を備え、
前記回転手段は、前記傾斜角に応じて、前記回転台を回転させる、
を備えるＸ線回折測定ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、Ｘ線回折測定装置及びＸ線回折測定ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、Ｘ線出射器から測定対象物に対してＸ線を照射し、当該測定対象物で回折したＸ線を受光した検出センサの受光信号に基づき、当該測定対象物の残留応力等を測定するＸ線回折測定装置が知られている。

【0003】

これに関し、特許文献１には、略直方体状に形成されたＸ線回折測定装置の傾斜角を変更するときの回転軸が、Ｘ線回折測定装置の短手方向（特許文献１における図１及び図２の紙面垂直方向）であることが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１７－１２９５１３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１に記載された技術では、Ｘ線回折測定装置が長手方向に傾斜するため、測定対象物の形状によっては、Ｘ線回折測定装置が測定対象物と干渉してしまい、測定対象の測定ができない場合があった。

【0006】

図１は、従来におけるＸ線回折測定装置１０の一例を示す概略図である。ここで、図１（Ａ）は、測定対象物ＯＢの側面からＸ線回折測定装置１０を見た図である。また、図１（Ｂ）は、測定対象物ＯＢの正面からＸ線回折測定装置１０を見た図である。
図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示すように、従来におけるＸ線回折測定装置１０は、長手方向（図１（Ｂ）における矢印の方向）に傾斜する。すなわち、この傾斜の回転軸は、Ｘ線回折測定装置１０の短手方向である。このため、Ｘ線回折測定装置１０は、測定対象物ＯＢ（例えば、ベアリング）と干渉して、測定対象（例えば、ベアリングの内側）の測定ができない場合があった。

【0007】

本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、測定対象物と干渉せずに測定することができるＸ線回折測定装置及びＸ線回折測定ロボットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するために、本発明の第一態様に係るＸ線回折測定装置は、測定対象物に向けてＸ線を出射し、一方向が長いＸ線回折測定装置であって、前記Ｘ線回折測定装置の底面において当該Ｘ線回折測定装置の長手方向に並べて設けられ、前記測定対象物にて回折したＸ線を検出する検出センサと、前記Ｘ線回折測定装置の長手方向を回転軸として当該Ｘ線回折測定装置が短手方向に傾斜するように当該Ｘ線回折測定装置を回転させる回転手段と、を備える。なお、この回転は、回転移動を含んでもよい。

【0009】

また、本発明の第二態様では、前記検出センサは、長方形であり、長辺が前記Ｘ線回折測定装置の短手方向に沿うように設けられている。

【0010】

また、本発明の第三態様では、前記検出センサは、ＳＯＩ（Silicon on Insulator）センサを含む。

【0011】

また、本発明の第四態様では、前記検出センサの位置を前記底面において回転移動させる回転台を備える。

【0012】

また、本発明の第五態様では、本発明の第一態様に係るＸ線回折測定ロボットは、Ｘ線回折測定装置と、前記Ｘ線回折測定装置の傾斜角を測定する測定手段と、を備え、前記回転手段は、前記傾斜角に応じて、前記回転台を回転させる。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、測定対象物と干渉せずに測定することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】従来におけるＸ線回折測定装置の一例を示す概略図である。図１（Ａ）は、測定対象物の側面からＸ線回折測定装置を見た図である。図１（Ｂ）は、測定対象物の正面からＸ線回折測定装置を見た図である。

【図2】本実施形態に係るＸ線回折測定ロボットの一例を示す概略図である。

【図3】本実施形態に係るＸ線回折測定ロボットの概略構成の一例を示すブロック図である。

【図4】図３に示すＸ線回折測定ロボットの機能的構成の一例を示すブロック図である。

【図5】本実施形態におけるＸ線回折測定装置の一例を示す概略図である。図５（Ａ）は、測定対象物の側面からＸ線回折測定装置を見た図である。図５（Ｂ）は、測定対象物の正面からＸ線回折測定装置を見た図である。

【図6】本実施形態に係るＸ線回折測定装置の一部構成の一例を示す図である。

【図7】図６に示すＸ線回折測定装置の分解図である。

【図8】図６に示すＸ線回折測定装置の底面図である。

【図9】本実施形態におけるＸ線回折測定装置の変形例を示す底面図の一部拡大図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態（以下、「本実施形態」という。）について説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては可能な限り同一の符号を付して、重複する説明は省略する。

【0016】

＜全体構成＞
図２は、本実施形態に係るＸ線回折測定ロボット１の一例を示す概略図である。なお、図２では、Ｘ線回折測定装置１０の図示は簡略化している。

【0017】

図２に示すように、Ｘ線回折測定ロボット１は、傾斜部８（８Ａ、８Ｂ）と、Ｘ線回折測定装置１０と、を備える。

【0018】

傾斜部８は、Ｘ線回折測定装置１０を傾斜させる機構である。
傾斜部８Ａは、Ｘ線回折測定装置１０の長手方向を回転軸としてＸ線回折測定装置１０を短手方向に傾斜させる機構である。具体的には、傾斜部８Ａは、Ｘ線回折測定装置１０の長手方向を回転軸とするモータを備える。
また、傾斜部８Ｂは、Ｘ線回折測定装置１０の位置や姿勢を変更する機構である。傾斜部８Ｂは、例えばモータが回転することにより、Ｘ線回折測定ロボット１のアームや傾斜部８Ａを移動させ、Ｘ線回折測定装置１０の位置や姿勢を変更することができる。例えば、傾斜部８Ｂは、Ｘ線回折測定装置１０の短手方向を回転軸としてＸ線回折測定装置１０を長手方向に傾斜させる。具体的には、傾斜部８Ｂは、Ｘ線回折測定装置１０の短手方向を回転軸とするモータを備える。

【0019】

Ｘ線回折測定装置１０は、測定対象物に向けてＸ線を出射し、当該測定対象物から回折したＸ線の回折強度を測定する機能を有する。このＸ線回折測定装置１０は、一方向が長い略直方体状である。このＸ線回折測定装置１０についての詳細は後述する。

【0020】

＜ハードウェア構成＞
図３は、本実施形態に係るＸ線回折測定ロボット１の概略構成の一例を示すブロック図である。

【0021】

図３に示すように、Ｘ線回折測定ロボット１は、例えば、制御装置２と、記憶装置７と、傾斜部８と、Ｘ線回折測定装置１０と、を備える。制御装置２は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）４及びメモリ６を主に備えて構成される。

【0022】

制御装置２は、ＣＰＵ４がメモリ６或いは記憶装置７等に格納された所定のプログラムを実行することにより、各種の機能手段として機能する。この機能手段の詳細については後述する。

【0023】

記憶装置７は、ハードディスク等で構成される。記憶装置７は、制御装置２における処理の実行に必要な各種プログラムや各種の情報、及び処理結果の情報を記憶する。

【0024】

＜機能的構成＞
図４は、図３に示すＸ線回折測定ロボット１の機能的構成の一例を示すブロック図である。

【0025】

図４に示すように、Ｘ線回折測定ロボット１は、機能的構成として、記憶手段１２と、測定手段１４と、回転手段１６と、を備える。記憶手段１２は、一又は複数の記憶装置７で実現される。記憶手段１２以外の機能手段は、記憶装置７等に格納されたプログラムを制御装置２が実行することにより実現される。

【0026】

記憶手段１２は、ロボット情報１２Ａ等を記憶する機能を有する。
ロボット情報１２Ａは、Ｘ線回折測定ロボット１の各種情報として、Ｘ線回折測定ロボット１の質点モデルや、重心位置、重量、干渉領域（可動域）、電流情報等の各種パラメータを含む。電流情報は、傾斜部８を動作させる各種モータの電流量を含む。

【0027】

測定手段１４は、測定対象物から回折したＸ線の回折強度を測定する機能を有する。測定手段１４は、例えば、Ｘ線回折測定装置１０から回折強度の測定結果を受信し、当該測定結果に基づき、測定対象物の構造や特性の分析・測定を行う。本実施形態では、測定手段１４は、測定結果に基づき、測定対象物の残留応力を分析・測定する。
また、本実施形態では、測定手段１４は、Ｘ線回折測定装置１０の傾斜角を測定する。測定手段１４は、例えば、傾斜部８（８Ａ、８Ｂ）を動作させるモータ内に組み込まれたエンコーダが出力する信号に基づいて、当該Ｘ線回折測定装置１０の長手方向及び短手方向における傾斜角を測定する。

【0028】

回転手段１６は、Ｘ線回折測定ロボット１に設けられた各種機構を回転（駆動）させる機能を有する。例えば、回転手段１６は、傾斜部８や、後述する回転台４４等を動作させるモータを制御する。具体的には、回転手段１６は、Ｘ線回折測定装置１０の長手方向を回転軸として当該Ｘ線回折測定装置１０が短手方向に傾斜するように当該Ｘ線回折測定装置１０を回転させる。

【0029】

図５は、本実施形態におけるＸ線回折測定装置１０の一例を示す概略図である。ここで、図５（Ａ）は、測定対象物ＯＢの側面からＸ線回折測定装置１０を見た図である。また、図５（Ｂ）は、測定対象物ＯＢの正面からＸ線回折測定装置１０を見た図である。

【0030】

図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示すように、本実施形態におけるＸ線回折測定装置１０は、短手方向（図５（Ｂ）における矢印の方向）に傾斜するように回転する。すなわち、この傾斜の回転軸は、Ｘ線回折測定装置１０の長手方向である。このため、Ｘ線回折測定装置１０は、測定対象物ＯＢ（例えば、ベアリング）と干渉せずに、測定対象（例えば、ベアリングの内側）の測定ができる。

【0031】

＜Ｘ線回折測定装置１０の詳細＞
本実施形態に係るＸ線回折測定装置１０は、測定対象物（測定対象）に向けてＸ線を出射し、当該測定対象物から回折したＸ線の回折強度を測定する機能を有する。この測定対象物としては、ベアリング以外にも、歯車やシャフト等が挙げられる。
ここで、Ｘ線回折測定装置１０の傾斜角は、回転手段１６によって制御される傾斜部８によって変更される。例えば、傾斜部８ＡがＸ線回折測定装置１０の傾斜角を変更するときの回転軸は、Ｘ線回折測定装置１０の長手方向である。このため、Ｘ線回折測定装置１０は、短手方向に傾斜する。そして、測定手段１４は、例えば、Ｘ線回折測定装置１０（検出センサ４０）が異なる傾斜角によって測定した回折環の形状データに基づいて、測定対象物の残留応力を分析・測定する。

【0032】

図６は、本実施形態に係るＸ線回折測定装置１０の一部構成の一例を示す図である。また、図７は、図６に示すＸ線回折測定装置１０の分解図である。

【0033】

図６及び図７に示すように、Ｘ線回折測定装置１０は、例えば、管球２０と、コリメータ２２と、他方の流路としての第一冷却流路２４と、基板２６と、冷却部材２８と、絶縁部材３０と、を備える。

【0034】

管球２０は、Ｘ線を生成し、生成したＸ線を測定対象物に向けて出射するＸ線出射器としての機能を有する。この管球２０は、冷却部材２８に載置される。

【0035】

コリメータ２２は、冷却部材２８において絶縁部材３０とは反対側の面に取り付けられ、基板２６側に延伸し、管球２０によるＸ線の出射範囲を調整する機能を有する。このコリメータ２２の先端は、基板２６から下側に突出している。

【0036】

第一冷却流路２４は、不図示のポンプにより吸い上げられた冷却水が循環している。これにより、第一冷却流路２４は、管球２０を冷却している。

【0037】

基板２６の一面（図６及び図７では下面）には、測定対象物にて回折したＸ線を検出する検出センサ４０が２つ並べて設けられている。検出センサ４０としては、測定対象物にて回折したＸ線を検出するセンサ部と、検出したＸ線を電気信号に変換する回路部とが一体化されているものが好ましい。このような検出センサ４０としては、例えば、ＳＯＩ（Silicon onInsulator）センサが挙げられる。

【0038】

図８は、図６に示すＸ線回折測定装置１０の底面図である。

【0039】

図８に示すように、検出センサ４０は、略長方形であるＸ線回折測定装置１０の底面（基板２６の一面）においてＸ線回折測定装置１０の長手方向（幅方向）に、２つ並べて設けられている。また、２つの検出センサ４０の間には、コリメータ２２が突出している。また、基板２６の一面には、検出センサ４０が変換した電気信号を測定手段１４に送信するためのコネクタ４２等が設けられている。
本実施形態では、検出センサ４０は、傾斜部８（８Ａ）によってＸ線回折測定装置１０の長手方向を回転軸として当該Ｘ線回折測定装置１０が短手方向に傾斜した状態で、測定対象物にて回折したＸ線を検出する。
また、検出センサ４０は、長方形であり、長辺がＸ線回折測定装置１０の短手方向（Ｘ線回折測定装置１０が短手方向に傾斜している場合の上下方向）に沿うように設けられている。なお、検出センサ４０は、２つ並べて配置されることにより略正方形状となる。
このように、検出センサ４０の長辺がＸ線回折測定装置１０の短手方向に沿うように設けられ、かつ、検出センサ４０がＸ線回折測定装置１０の長手方向に２つ並べて設けられることで、Ｘ線回折測定装置１０を短手方向に傾斜させてＸ線を入射させたとき、回折環厚さ（ピーク幅）が上下方向にばらついてピーク決定精度（測定精度）が低下することを抑制できる。

【0040】

図６及び図７に戻って、冷却部材２８は、基板２６における一面と反対の他面側（管球２０側）に設けられ、一方の流路として冷却水を流すための第二冷却流路３２が内部に形成され、基板２６を冷却する機能を有する。この第二冷却流路３２は、不図示のポンプにより吸い上げられた冷却水が循環している。これにより、第二冷却流路３２は、冷却部材２８を冷却し、ひいては、絶縁部材３０を介して基板２６の検出センサ４０を冷却する。言い換えると、検出センサ４０の熱が、基板２６及び絶縁部材３０を介して冷却部材２８に移動して検出センサ４０を冷却する。

【0041】

絶縁部材３０は、基板２６と冷却部材２８の間に挟まれて基板２６と冷却部材２８とに接触し、電気的絶縁性及び熱伝導性を有する。このような絶縁部材３０としては、例えば、シリコンシートが挙げられる。なお、絶縁部材３０及び基板２６には、コリメータ２２が突出する貫通穴３０Ａ、２６Ａが設けられている。

【0042】

図９は、本実施形態におけるＸ線回折測定装置１０の変形例を示す底面図の一部拡大図である。

【0043】

図９に示すように、２つの検出センサ４０は、Ｘ線回折測定装置１０の底面（基板２６の一面）に設けられた回転台４４によって、当該底面に垂直な回転軸により（矢印の方向に）回転可能に設けられている。すなわち、回転台４４は、Ｘ線回折測定装置１０の底面側に設けられた２つの検出センサ４０の位置を当該底面において回転移動させる。この回転台４４は、回転手段１６によって回転量が制御される。例えば、回転手段１６は、回転台４４を回転させて、検出センサ４０の位置を微調整して、測定対象物にて回折したＸ線の測定精度が低下することを抑制する。なお、この回転台４４には、２つの検出センサ４０の間においてコリメータ２２が突出するための穴が設けられている。
ここで、回転手段１６は、測定手段１４によって測定されたＸ線回折測定装置１０の傾斜角に応じて、回転台４４を回転させ、検出センサ４０の位置を回転移動させる。例えば、回転手段１６は、Ｘ線回折測定装置１０の短手方向を回転軸としてＸ線回折測定装置１０が長手方向に傾斜している場合、２つの検出センサ４０の位置がＸ線回折測定装置１０の短手方向に並ぶように回転台４４を回転させる。すなわち、回転手段１６は、検出センサ４０の長辺が、Ｘ線回折測定装置１０が長手方向（傾斜の上下方向）に沿うように回転移動させる。また、例えば、回転手段１６は、Ｘ線回折測定装置１０の長手方向を回転軸としてＸ線回折測定装置１０が短手方向に傾斜している場合、２つの検出センサ４０の位置がＸ線回折測定装置１０の長手方向に並ぶように回転台４４を回転させる。すなわち、回転手段１６は、検出センサ４０の長辺がＸ線回折測定装置１０が短手方向（傾斜の上下方向）に沿うように回転移動させる。これにより、回折環厚さ（ピーク幅）が上下方向にばらついてピーク決定精度（測定精度）が低下することを抑制できる。

【0044】

＜効果＞
以上、本実施形態では、測定対象物に向けてＸ線を出射し、一方向が長いＸ線回折測定装置１０は、Ｘ線回折測定装置１０の底面において長手方向に並べて設けられ、測定対象物にて回折したＸ線を検出する検出センサ４０と、Ｘ線回折測定装置１０の長手方向を回転軸として当該Ｘ線回折測定装置１０が短手方向に傾斜するように当該Ｘ線回折測定装置１０を回転させる回転手段１６と、を備える。なお、この回転は、回転移動を含んでもよい。

【0045】

この構成によれば、Ｘ線回折測定装置１０の長手方向を回転軸としてＸ線回折測定装置１０が短手方向に傾斜するように回転させながら、測定対象物にて回折したＸ線を検出することができるため、Ｘ線回折測定装置１０が測定対象物と干渉せずに測定対象の測定ができる。また、検出センサ４０がＸ線回折測定装置１０の底面において長手方向に並べて設けられているため、測定精度が低下することを抑制できる。

【0046】

また、本実施形態では、検出センサ４０は、長方形であり、長辺がＸ線回折測定装置１０の短手方向に沿うように設けられている。

【0047】

この構成によれば、検出センサ４０の長辺がＸ線回折測定装置１０の短手方向（Ｘ線回折測定装置１０が短手方向に傾斜している場合の上下方向）に沿うように設けられているため、測定精度が低下することを抑制できる。

【0048】

また、本実施形態では、検出センサ４０は、ＳＯＩ（Silicon on Insulator）センサを含む。

【0049】

この構成によれば、測定対象物にて回析したＸ線を検出するセンサ部と、検出したＸ線を電気信号に変換する回路部とを一体化することができ、小型で高精度の検出を行うことができる。

【0050】

また、本実施形態では、検出センサ４０の位置を底面において回転移動させる回転台４４を備える。

【0051】

この構成によれば、検出センサ４０の位置をＸ線回折測定装置１０の底面において回転移動させることができるため、測定精度が低下することを抑制できる。

【0052】

また、本実施形態では、Ｘ線回折測定ロボット１は、Ｘ線回折測定装置１０と、Ｘ線回折測定装置１０の傾斜角を測定する測定手段１４と、を備え、回転手段１６は、傾斜角に応じて、回転台４４を回転させる。

【0053】

この構成によれば、Ｘ線回折測定装置１０の傾斜角に応じて、検出センサ４０の位置を回転移動させることができるため、ユーザの手間を軽減しつつ、測定精度が低下することを抑制できる。

【0054】

＜変形例＞
なお、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。すなわち、上記の実施形態に、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。また、上記の実施形態及び後述する変形例が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。

【0055】

例えば、上記実施形態では、検出センサ４０は、Ｘ線回折測定装置１０の底面に２つ並べられている場合を説明したが、３つ以上の検出センサ４０が並べられていてもよい。例えば、Ｘ線回折測定装置１０の底面には、上下左右に４つの検出センサ４０が並べられて、略正方形状に配置されていてもよい。

【0056】

また、上記実施形態では、回転台４４は、回転手段１６によって回転する場合を説明したが、ユーザによる手動によって回転及び静止可能に構成されていてもよい。これにより、検出センサ４０の位置を微調整することができる。

【0057】

また、上記実施形態では、回転手段１６は、測定手段１４によって測定されたＸ線回折測定装置１０の傾斜角に応じて、回転台４４を回転させる場合を説明したが、測定対象物との位置関係に応じて、回転台４４を回転させてもよい。例えば、回転手段１６は、Ｘ線回折測定装置１０と測定対象物との距離や角度に応じて、回転台４４を回転させてもよい。

【符号の説明】

【0058】

１…Ｘ線回折測定ロボット、８（８Ａ、８Ｂ）…傾斜部、１０…Ｘ線回折測定装置、１４…測定手段、１６…回転手段、４０…検出センサ、４４…回転台

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】