特開 2022-162541 基板搬送装置及びこれを備える基板処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022162541

(43)【公開日】2022-10-24

(54)【発明の名称】基板搬送装置及びこれを備える基板処理装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20221017BHJP

   B25J 15/00 20060101ALI20221017BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J15/00 F

【審査請求】有

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022063434

(22)【出願日】2022-04-06

(31)【優先権主張番号】10-2021-0047251

(32)【優先日】2021-04-12

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(71)【出願人】

【識別番号】509123895

【氏名又は名称】ユ－ジーン テクノロジー カンパニー．リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110001427

【氏名又は名称】弁理士法人前田特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】ソン ビョンギュ

(72)【発明者】

【氏名】コ ヒョンシク

(72)【発明者】

【氏名】ペ ヒョンファン

(72)【発明者】

【氏名】ヒョン チュンジン

【テーマコード（参考）】

3C707

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707BT14

3C707CV05

3C707CW07

3C707KS17

3C707KS36

3C707KV11

3C707MS14

3C707MS15

3C707NS13

5F131AA02

5F131BA22

5F131CA07

5F131CA09

5F131CA18

5F131CA53

5F131CA54

5F131CA55

5F131DA32

5F131DA33

5F131DA36

5F131DA42

5F131DB03

5F131DB32

5F131DB43

5F131DB54

5F131DB62

5F131DB76

5F131DD03

5F131DD22

5F131DD43

5F131EA04

5F131EA17

5F131EB75

5F131EC02

5F131EC05

5F131EC17

5F131GA13

5F131GA14

5F131KA15

5F131KA52

5F131KA72

5F131KB12

5F131KB32

5F131KB42

5F131KB45

5F131KB48

5F131KB58

(57)【要約】

【課題】エンドエフェクター（ｅｎｄ－ｅｆｆｅｃｔｏｒ）の垂れ下がりを感知する基板搬送装置及びこれを備える基板処理装置を提供すること。
【解決手段】第１の方向に延び、基板が支持されるエンドエフェクターと、前記エンドエフェクターの前記第１の方向の一方の側が連結されるエンドエフェクターハンドと、前記エンドエフェクターハンドに連結され、前記エンドエフェクターを前記第１の方向に移動させる水平移動部と、前記エンドエフェクターの移動経路の両側にそれぞれ配置される発光部及び受光部を有し、前記エンドエフェクターの垂れ下がりを感知する垂れ下がり感知部と、を備える基板搬送装置。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の方向に延び、基板が支持されるエンドエフェクターと、
前記エンドエフェクターの前記第１の方向の一方の側が連結されるエンドエフェクターハンドと、
前記エンドエフェクターハンドに連結され、前記エンドエフェクターを前記第１の方向に移動させる水平移動部と、
前記エンドエフェクターの移動経路の両側にそれぞれ配置される発光部及び受光部を有し、前記エンドエフェクターの垂れ下がりを感知する垂れ下がり感知部と、
を備える基板搬送装置。

【請求項2】

前記エンドエフェクターは、複数から構成されて多段に配置され、
前記発光部は、複数の前記エンドエフェクターに対応する複数の光源を備える請求項１に記載の基板搬送装置。

【請求項3】

前記エンドエフェクターハンドと連結され、前記複数の前記エンドエフェクター同士の間隔を調節する間隔調節部をさらに備える請求項２に記載の基板搬送装置。

【請求項4】

前記垂れ下がり感知部は、
前記受光部に受光される光量を測定する光量測定部と、
測定された光量をもって前記複数の前記エンドエフェクター同士の間隔異常を判断する異常判断部をさらに備える請求項２に記載の基板搬送装置。

【請求項5】

前記水平移動部は、前記第１の方向に延びて前記エンドエフェクターハンドの走行による前記エンドエフェクターの移動経路を与える支持プレートを備え、
前記発光部と前記受光部は、前記支持プレートの前記第１の方向と交わる第２の方向両側にそれぞれ支持される請求項１に記載の基板搬送装置。

【請求項6】

前記支持プレートと連結されて、回転軸を中心として前記支持プレートを回転させる回転駆動部をさらに備える請求項５に記載の基板搬送装置。

【請求項7】

前記支持プレートの前記第１の方向の一方の側に配設される昇降軸を備え、前記昇降軸に沿って前記回転駆動部を昇降させる昇降部をさらに備え、
前記回転軸は、前記昇降軸から前記第１の方向の他方の側へ離間される請求項６に記載の基板搬送装置。

【請求項8】

前記発光部と前記受光部は、前記支持プレートの中央部ないし前記第１の方向の一方の側と対向する他方の側に配置される請求項５に記載の基板搬送装置。

【請求項9】

前記垂れ下がり感知部は、前記発光部と前記受光部のうちの少なくともどちらか一方の位置を調整する位置調整部をさらに備える請求項１に記載の基板搬送装置。

【請求項10】

前記垂れ下がり感知部は、前記発光部の照射角度を調整する照射角調整部をさらに備える請求項１に記載の基板搬送装置。

【請求項11】

前記発光部は、水平状態の前記エンドエフェクターの下部面からの最短距離が前記エンドエフェクターの厚さの２０％以上である直進光を照射する請求項１に記載の基板搬送装置。

【請求項12】

請求項１～１１のうちのいずれか一項に記載の基板搬送装置と、
前記エンドエフェクターに支持された前記基板が受け渡されて多段に積載される基板ボートと、
前記基板ボートが収容される内部空間を有する工程チューブと、
を備える基板処理装置。

【請求項13】

前記基板搬送装置は、複数枚の前記基板が収容された基板収納部材と前記基板ボートとの間において前記基板収納部材と前記基板ボートとの間に前記基板を運ぶ請求項１２に記載の基板処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板搬送装置及びこれを備える基板処理装置に係り、さらに詳しくは、エンドエフェクター（ｅｎｄ－ｅｆｆｅｃｔｏｒ）の垂れ下がりを感知する基板搬送装置及びこれを備える基板処理装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造工程において単位工程を進めるためには、それぞれの工程特性に合う複数台の装置を備え、これらのそれぞれ異なる装置は、ウェーハ（ｗａｆｅｒ）など基板の搬送のための基板搬送装置を備える。

【0003】

一般に、半導体設備の基板搬送装置は、ロードロック室（ｌｏａｄ－ｌｏｃｋ ｃｈａｍｂｅｒ）において基板収納部材（例えば、ＦＯＵＰ（前面開放一体式ポッド）、キャリア―など）または基板収納部材からロードロック室へ基板を搬送する役割を果たす。

【0004】

バッチ式（ｂａｔｃｈ ｔｙｐｅ）基板処理装置においては、ロードロック室から基板ボート（ｓｕｂｓｔｒａｔｅ ｂｏａｔ）へ複数枚の基板を多段に積載した後、複数枚の基板に対して基板処理工程を行うことになる。このとき、基板の搬送時間（例えば、積載時間を短縮するために基板搬送装置は二以上のエンドエフェクター（ｅｎｄ－ｅｆｆｅｃｔｏｒ）を有し、基板収納部材から２枚以上の基板を取り出して一括して基板ボートに積載することができる。

【0005】

このような基板搬送装置は、使用中にエンドエフェクターのそれぞれの垂れ下がりが生じる虞があり、エンドエフェクターの垂れ下がりにつれて複数のエンドエフェクターの間隔が変わる場合には、基板が基板ボート又は基板収納部材に進入しながら傷つき（ｓｃｒａｔｃｈ）などのダメージが生じたり、基板ボートを押し倒したりするなどの大型事故が生じることが懸念される。

【0006】

したがって、このような問題を解決するために、エンドエフェクターの垂れ下がりを感知して複数のエンドエフェクター同士の間隔異常を判断する技術が求められている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】大韓民国公開特許第１０－２０２０－０１３００５８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

本発明は、エンドエフェクター（ｅｎｄ－ｅｆｆｅｃｔｏｒ）の垂れ下がりを感知して基板の搬送不良を防ぐ基板搬送装置及びこれを備える基板処理装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の一実施形態に係る基板搬送装置は、第１の方向に延び、基板が支持されるエンドエフェクターと、前記エンドエフェクターの前記第１の方向の一方の側が連結されるエンドエフェクターハンドと、前記エンドエフェクターハンドに連結され、前記エンドエフェクターを前記第１の方向に移動させる水平移動部と、前記エンドエフェクターの移動経路の両側にそれぞれ配置される発光部及び受光部を有し、前記エンドエフェクターの垂れ下がりを感知する垂れ下がり感知部と、を備えていてもよい。

【0010】

前記エンドエフェクターは、複数から構成されて多段に配置され、前記発光部は、複数の前記エンドエフェクターに対応する複数の光源を備えていてもよい。

【0011】

前記基板搬送装置は、前記エンドエフェクターハンドと連結され、前記複数の前記エンドエフェクター同士の間隔を調節する間隔調節部をさらに備えていてもよい。

【0012】

前記垂れ下がり感知部は、前記受光部に受光される光量を測定する光量測定部と、測定された光量をもって前記複数の前記エンドエフェクター同士の間隔異常を判断する異常判断部をさらに備えていてもよい。

【0013】

前記水平移動部は、前記第１の方向に延びて前記エンドエフェクターハンドの走行による前記エンドエフェクターの移動経路を与える支持プレートを備え、前記発光部と前記受光部は、前記支持プレートの前記第１の方向と交わる第２の方向両側にそれぞれ支持されてもよい。

【0014】

前記基板搬送装置は、前記支持プレートと連結されて、回転軸を中心として前記支持プレートを回転させる回転駆動部をさらに備えていてもよい。

【0015】

前記基板搬送装置は、前記支持プレートの前記第１の方向の一方の側に配設される昇降軸を備え、前記昇降軸に沿って前記回転駆動部を昇降させる昇降部をさらに備え、前記回転軸は、前記昇降軸から前記第１の方向の他方の側へ離間されてもよい。

【0016】

前記発光部と前記受光部は、前記支持プレートの中央部ないし前記第１の方向の一方の側と対向する他方の側に配置されてもよい。

【0017】

前記垂れ下がり感知部は、前記発光部と前記受光部のうちの少なくともどちらか一方の位置を調整する位置調整部をさらに備えていてもよい。

【0018】

前記垂れ下がり感知部は、前記発光部の照射角度を調整する照射角調整部をさらに備えていてもよい。

【0019】

前記発光部は、水平状態の前記エンドエフェクターの下部面からの最短距離が前記エンドエフェクター厚さの２０％以上である直進光を照射してもよい。

【0020】

本発明の他の実施形態に係る基板処理装置は、本発明の一実施形態に係る基板搬送装置と、前記エンドエフェクターに支持された前記基板が受け渡されて多段に積載される基板ボートと、前記基板ボートが収容される内部空間を有する工程チューブと、を備えていてもよい。

【0021】

前記基板搬送装置は、複数枚の前記基板が収容された基板収納部材と前記基板ボートとの間において前記基板収納部材と前記基板ボートとの間に前記基板を運んでもよい。

【発明の効果】

【0022】

本発明の実施形態に係る基板搬送装置は、垂れ下がり感知部を用いてエンドエフェクター（ｅｎｄ－ｅｆｆｅｃｔｏｒ）の垂れ下がりを感知することにより、基板の搬送を行う前にエンドエフェクターの異常を把握することができ、エンドエフェクターの搬送不良による基板のダメージ及び／又は基板ボートの転倒をあらかじめ防ぐことができる。このとき、垂れ下がり感知部は、エンドエフェクターの移動経路の両側にそれぞれ配置される発光部と受光部を備えて、エンドエフェクターの移動に干渉されないながらも、エンドエフェクターの垂れ下がりを有効に感知することができる。

【0023】

また、複数のエンドエフェクターが多段に構成される場合には、エンドエフェクターの垂れ下がりを感知して複数のエンドエフェクター同士の間隔異常を判断することができる。これにより、複数のエンドエフェクター同士の間隔不良による基板のダメージ及び／又は基板ボートの転倒を防ぐことができ、しかも、基板積載間隔が定められた基板ボートに２枚以上の基板を一括して安定的に積載することができる。ここで、発光部が複数のエンドエフェクターに対応して複数の光源を備えることにより、複数のエンドエフェクターのそれぞれに対して有効に垂れ下がりを感知することができる。

【0024】

さらに、間隔調節部を用いて複数のエンドエフェクター同士の間隔を調節することにより、基板積載間隔が異なる様々な基板ボートに対応することができる。なお、垂れ下がり感知部が受光部に受光される光量を測定して複数のエンドエフェクター同士の間隔異常を判断することにより、基板ボートの基板積載間隔及び／又は基板収納部材の基板収納間隔に応じて基板の搬送可否を正確に判断することができる。

【0025】

このとき、発光部が受光部に向かって照射する直進光を水平状態のエンドエフェクターの下部面からせめてエンドエフェクターの厚さの２０％以上離間させることにより、基板の荷重によるエンドエフェクターの微々たる垂れ下がりをエンドエフェクターの異常と把握してしまうということを防ぐことができる。

【0026】

一方、水平移動部の支持プレートの両側に発光部と受光部がそれぞれ連結されることにより、エンドエフェクターの移動に影響を及ぼしてしまうということを防ぐことができ、支持プレート、回転駆動部及び昇降部の結合構造に応じて、支持プレート及び／又はエンドエフェクターの動きに発光部と受光部が干渉されないようにすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】本発明の一実施形態に係る基板搬送装置を示す図。

【図2】本発明の一実施形態に係るエンドエフェクターの垂れ下がり感知を説明するための概念図。

【図3】本発明の一実施形態に係る間隔調節部を説明するための概略断面図。

【図4】本発明の一実施形態に係る光量測定部を示す概略断面図。

【図5】本発明の一実施形態に係る回転駆動部を説明するための概略斜視図。

【図6】本発明の一実施形態に係る発光部から照射された直進光の離間を説明するための概念図。

【図7】本発明の他の実施形態に係る基板処理装置を示す概略断面図。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下、添付図面に基づいて、本発明の実施形態をより詳しく説明する。しかしながら、本発明は以下に開示される実施形態に何ら限定されるものではなく、異なる様々な形態に具体化され、単にこれらの実施形態は本発明の開示を完全たるものにし、通常の知識を有する者に発明の範囲を完全に知らせるために提供されるものである。本発明を説明するに当たって、同じ構成要素に対しては同じ参照符号を付し、図面は、本発明の実施形態を正確に説明するために大きさが部分的に誇張されてもよく、図中、同じ符号は、同じ構成要素を指し示す。

【0029】

図１は、本発明の一実施形態に係る基板搬送装置を示す図である。

【0030】

図１を参照すると、本発明の一実施形態に係る基板搬送装置１００は、第１の方向に延び、基板１０が支持されるエンドエフェクター１１０と、前記エンドエフェクター１１０の前記第１の方向の一方の側が連結されるエンドエフェクターハンド１２０と、前記エンドエフェクターハンド１２０に連結され、前記エンドエフェクター１１０を前記第１の方向に移動させる水平移動部１３０と、前記エンドエフェクター１１０の移動経路の両側にそれぞれ配置される発光部１４１と受光部１４２を備え、前記エンドエフェクター１１０の垂れ下がりを感知する垂れ下がり感知部１４０を備えていてもよい。

【0031】

エンドエフェクター（ｅｎｄ－ｅｆｆｅｃｔｏｒ）１１０は、第１の方向に延びてもよく、基板１０が支持されてもよい。例えば、エンドエフェクター１１０は、フォーク（ｆｏｒｋ）状を呈してもよく、基板１０の下面に接して基板１０を支持してもよい。また、エンドエフェクター１１０は、石英（ｑｕａｒｔｚ）、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、二酸化チタン（ＴｉＯ_２）、二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）などのセラミック（ｃｅｒａｍｉｃ）素材から形成されてもよい。ここで、基板１０は、ウェーハ（ｗａｆｅｒ）であってもよく、これに特に限定されず、ガラス基板などであってもよい。

【0032】

エンドエフェクターハンド１２０は、エンドエフェクター１１０の前記第１の方向の一方の側が連結されてもよく、エンドエフェクター１１０を水平状態に固定又は保持してもよい。例えば、エンドエフェクターハンド１２０は、エンドエフェクター１１０とは異なる素材から形成されてもよく、アルミニウム（Ａｌｕｍｉｎｕｍ；Ａｌ）などの金属（ｍｅｔａｌ）から形成されてもよいが、これに特に限定されない。エンドエフェクター１１０とエンドエフェクターハンド１２０が互いに異なる素材から形成されているため、エンドエフェクター１１０のひび割れ（ｃｒａｃｋ）やエンドエフェクター１１０とエンドエフェクターハンド１２０を結合するボルト（ｂｏｌｔ）などの緩みが生じてエンドエフェクター１１０の垂れ下がり異常（もしくは、異常垂れ下がり）が生じる虞がある。

【0033】

水平移動部１３０は、エンドエフェクターハンド１２０に連結されてもよく、エンドエフェクター１１０を前記第１の方向に移動させてもよい。例えば、水平移動部１３０は、エンドエフェクターハンド１２０の長さを調節してエンドエフェクター１１０を前記第１の方向に移動させてもよく、エンドエフェクターハンド１２０とともにエンドエフェクター１１０を前記第１の方向に移動させてもよい。

【0034】

垂れ下がり感知部１４０は、エンドエフェクター１１０の垂れ下がりを感知することができ、搬送不良などのエンドエフェクター１１０の異常を確認（もしくは、把握）することができる。エンドエフェクター１１０が垂れ下がりにより傾いてしまうと、基板１０が滑ったり、基板１０を基板ボート２１０などに積載する際にも基板ボート２１０の内面に突き出ている爪（例えば、仕切りプレート、基板支持チップなど）に基板１０がぶつかってしまって傷つき（ｓｃｒａｔｃｈ）が生じたりするなど基板１０が損傷される虞がある。また、最悪の場合には、エンドエフェクター１１０が基板ボート２１０を押し倒すため、大型事故が起こることも懸念される。しかしながら、本発明においては、垂れ下がり感知部１４０を用いて基板１０の搬送を行う前にエンドエフェクター１１０の垂れ下がりを感知することができ、これにより、エンドエフェクター１１０の異常を把握して基板１０のダメージ及び／又は基板ボート２１０の転倒を予め防ぐことができる。

【0035】

ここで、垂れ下がり感知部１４０は、エンドエフェクター１１０の（前記第１の方向）移動経路の両側にそれぞれ配置される発光部１４１と受光部１４２を備えていてもよい。発光部１４１と受光部１４２は、前記第１の方向に移動されるエンドエフェクター１１０の移動経路の両側にそれぞれ配置されてもよく、前記第１の方向と交わる第２の方向に向かい合うように配置されてもよい。

【0036】

例えば、発光部１４１が受光部１４２に向かって直進光２０を照射すれば、受光部１４２への直進光２０の受光状態（もしくは、受光有無）に応じてエンドエフェクター１１０の垂れ下がり異常を判断することができる。一般に、発光部１４１と受光部１４２は、同じ高さに位置して水平な直進光２０を送受することができる。ここで、直進光２０は、レーザービーム（ｌａｓｅｒ ｂｅａｍ）、赤外線（Ｉｎｆｒａｒｅｄ Ｒａｙ；ＩＲ）などのスルービーム（ｔｈｒｕ－ｂｅａｍ）であってもよい。

【0037】

すなわち、垂れ下がり感知部１４０は、発光部１４１と受光部１４２を用いて光感知（ｏｐｔｉｃａｌ ｓｅｎｓｉｎｇ）方式によりエンドエフェクター１１０の垂れ下がりを感知することができる。正常状態では、直進光２０が受光部１４２に受光されていて、垂れ下がりが生じたエンドエフェクター１１０により直進光２０が遮られて受光部１４２に受光されていないエンドエフェクター１１０への常時未感知方式を用いてエンドエフェクター１１０の垂れ下がりを感知することもできる。また、正常状態では直進光２０により感知されているエンドエフェクター１１０により直進光２０が遮られて受光部１４２に受光されず、エンドエフェクター１１０に垂れ下がりが生じて受光部１４２に直進光２０が受光されるエンドエフェクター１１０に対する常時感知方式を用いてエンドエフェクター１１０の垂れ下がりを感知することもできる。

【0038】

したがって、本発明においては、発光部１４１と受光部１４２がエンドエフェクター１１０の移動経路の両側にそれぞれ配置されることにより、エンドエフェクター１１０の移動に干渉されないながらも、感光方式を用いてエンドエフェクター１１０の垂れ下がりを有効に感知することができる。

【0039】

図２は、本発明の一実施形態に係るエンドエフェクターの垂れ下がり感知を説明するための概念図であり、図２の（ａ）は、常時未感知方式の正常状態を示し、図２の（ｂ）は、常時未感知方式の垂れ下がり状態を示し、図２の（ｃ）は、常時感知方式の正常状態を示し、図２の（ｄ）は、常時感知方式の垂れ下がり状態を示す。

【0040】

図２を参照すると、エンドエフェクター１１０は、複数から構成されて多段に配置されてもよく、発光部１４１は、複数のエンドエフェクター１１０に対応する複数の光源１４１ａを備えていてもよい。

【0041】

エンドエフェクター１１０は、複数から構成されてもよく、複数のエンドエフェクター１１０が上下方向に積み重ねられて多段に配置されてもよい。これにより、エンドエフェクター１１０の数に対応する２枚以上の基板１０を一括して搬送することができる。

【0042】

このとき、発光部１４１は、直進光２０を発光（もしくは、照射）する複数の光源１４１ａを備えていてもよく、複数の光源１４１ａは、複数のエンドエフェクター１１０に対応して配設されてもよく、各エンドエフェクター１１０ごとに一つずつエンドエフェクター１１０の数と同数であってもよい。例えば、複数の光源１４１ａは、光ファイバー（ｏｐｔｉｃａｌ ｆｉｂｅｒ）、レーザー（ｌａｓｅｒ）などであってもよい。ここで、受光部１４２は、複数の光源１４１ａと対応する数（もしくは、同数）の受光面１４２ａを有していてもよく、一つの受光面１４２ａに複数の光源１４１ａから照射される直進光２０を受光してもよい。それぞれのエンドエフェクター１１０の垂れ下がりを有効に感知するためには、受光部１４２が複数の光源１４１ａと対応する受光面１４２ａを有することが好ましい場合もあるが、これに特に限定されない。

【0043】

例えば、垂れ下がり感知部１４０は、図２の（ａ）及び図２の（ｂ）に示すように、複数の光源１４１ａを用いて前記常時未感知方式を用いてエンドエフェクター１１０の垂れ下がりを感知することにより、複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔（ｐｉｔｃｈ）ｐ異常を判断することもできる。なお、垂れ下がり感知部１４０は、図２の（ｃ）及び図２の（ｄ）に示すように、複数の光源１４１ａを用いて前記常時感知方式でエンドエフェクター１１０の垂れ下がりを感知することにより、複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔異常を判断することもできる。

【0044】

したがって、複数のエンドエフェクター１１０が多段に構成される場合には、エンドエフェクター１１０の垂れ下がりを感知して複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔異常を判断することができる。これにより、複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔不良による基板１０のダメージ及び／又は基板ボート２１０の転倒を防ぐことができ、しかも、基板１０の積載間隔が定められた基板ボート２１０に２枚以上の基板１０を一括して安定的に積載することができる。ここで、発光部１４１が複数のエンドエフェクター１１０に対応して複数の光源１４１ａを備えることにより、それぞれのエンドエフェクター１１０の垂れ下がりを有効に感知することができる。

【0045】

図３は、本発明の一実施形態に係る間隔調節部を説明するための概略断面図であり、図３の（ａ）は、エンドエフェクター同士の狭い間隔を示し、図３の（ｂ）は、エンドエフェクター同士の中間間隔を示し、図３の（ｃ）は、エンドエフェクター同士の広い間隔を示す。

【0046】

図３を参照すると、本発明に係る基板搬送装置１００は、エンドエフェクターハンド１２０と連結され、複数のエンドエフェクター１１０の間隔を調節する間隔調節部１５０をさらに備えていてもよい。

【0047】

間隔調節部１５０は、エンドエフェクターハンド１２０と連結されてもよく、複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔を調節してもよい。基板処理装置２００において行われる工程及び／又は基板ボート２１０の構成（もしくは、構造）に応じて、基板ボート２１０の基板１０の積載間隔が異なってくる。このとき、間隔調節部１５０を用いて、異なる基板１０の積載間隔を有する様々な基板ボート２１０に対応して２枚以上の基板１０を一括して安定的に積載することができる。

【0048】

また、基板収納部材５０の基板１０の収納間隔と基板ボート２１０の基板１０の積載間隔とが互いに異なっていてもよい。このような場合であっても、間隔調節部１５０を用いて基板収納部材５０の基板１０の収納間隔に合わせて複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔を調節して、基板収納部材５０から２枚以上の基板１０を一括して取り出すことができる。それから、基板ボート２１０の基板１０の積載間隔に合わせて複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔を調節して、基板収納部材５０から取り出した２枚以上の基板１０を一括して基板ボート２１０に積載することができる。逆に、間隔調節部１５０を用いて基板ボート２１０の基板１０の積載間隔に合わせて複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔を調節して、処理済みの基板１０を基板ボート２１０から２枚以上ずつ取り外すことができる。それから、基板収納部材５０の基板１０の収納間隔に合わせて複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔を調節して、前記処理済みの基板１０を基板収納部材５０に収納することができる。

【0049】

したがって、間隔調節部１５０を用いて、複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔を調節することにより、基板１０の積載間隔が異なる様々な基板ボート２１０に対応することができ、基板収納部材５０の基板１０の収納間隔と基板ボート２１０の基板１０の積載間隔とが異なる場合であっても対応することが可能になる。

【0050】

図４は、本発明の一実施形態に係る光量測定部を示す概略断面図である。

【0051】

図４を参照すると、垂れ下がり感知部１４０は、受光部１４２に受光される光量を測定する光量測定部１４３と、測定された光量をもって複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔異常を判断する異常判断部（図示せず）と、をさらに備えていてもよい。光量測定部１４３は、受光部１４２に受光される光量を測定することができ、受光部１４２に直進光２０が受光されるか否かを判断するオン／オフ（ｏｎ／ｏｆｆ）だけではなく、エンドエフェクター１１０の垂れ下がりによりエンドエフェクター１１０が直進光２０をどれくらい（もしくは、どれほど）遮っているかを確かめることもできる。なお、複数の光源１４１ａから光が照射されるときに受光部１４２に受光される総光量をもっていくつのエンドエフェクター１１０に異常が生じたかも把握することができる。

【0052】

異常判断部（図示せず）は、光量測定部１４３において測定された光量をもって複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔異常を判断することができ、光量測定部１４３において測定された光量が普段（もしくは、正常状態）よりも所定量以上に差が出た場合に複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔異常と判断することができる。

【0053】

例えば、光量測定部１４３において測定された光量が普段よりも１００％差が出たとき（すなわち、前記直進光がオン／オフになったとき）に複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔異常と判断することもできる。なお、光量測定部１４３において測定された光量が普段よりも５０％差が出たときに複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔異常と判断することもできる。このとき、前記所定量は、複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔異常を正確に判断できる好適な量に定められてもよい。

【0054】

一般に、複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔異常が生じると、エンドエフェクター１１０が直進光２０を完全に遮ることになり、状況に伴う僅かな誤差によりエンドエフェクター１１０が直進光２０の位置よりも僅かに多く垂れ下がるか、あるいは、僅かに少なく垂れ下がることもある。エンドエフェクター１１０が直進光２０よりも僅かに多く垂れ下がるか、あるいは、僅かに少なく垂れ下がる場合には、直進光２０の全体の光量のうちの一部の光量が受光部１４２に受光されることがある。このような場合に、直進光２０のオン／オフだけで複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔異常を判断してしまうと、状況に伴って僅かな誤差が生じる場合にこれを複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔異常と判断することができなくなる。

【0055】

逆に、光量測定部１４３において測定された光量が少しでも変わっても、複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔異常と判断してしまうと、複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔異常ではないケースまでも複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔異常と判断してしまう虞がある。すなわち、基板１０の荷重によりエンドエフェクター１１０に僅かな垂れ下がりが生じたり、エンドエフェクター１１０の移動による僅かな揺動でも僅かな光量の変化が起こったりすることがあるため、複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔異常ではないケースまでも複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔異常と判断してしまう。これにより、光量測定部１４３において測定された光量が５０％（すなわち、前記直進光の５０％の光量）以上変わった場合に複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔異常と判断することが好ましいことがあるが、これに特に限定されない。

【0056】

また、エンドエフェクター１１０に垂れ下がりが少しでも生じても、基板ボート２１０の基板１０の積載間隔及び／又は基板収納部材５０の基板１０の収納間隔に応じて基板１０の搬送が可能になる場合がある。このとき、基板ボート２１０の基板１０の積載間隔及び／又は基板収納部材５０の基板１０の収納間隔が広い場合には、エンドエフェクター１１０に垂れ下がりが僅かに生じても、基板１０を積載したり収納したりする上でいかなる困難さがないため、基板１０を積載したり収納したりすることができる。しかしながら、基板ボート２１０の基板１０の積載間隔及び／又は基板収納部材５０の基板１０の収納間隔が狭い場合には、エンドエフェクター１１０に垂れ下がりが少しでも生じてても、傷つきなどの基板１０のダメージが生じ易いため、エンドエフェクター１１０の僅かな垂れ下がりも複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔異常と判断する必要がある。

【0057】

このため、前記所定量は、基板ボート２１０の基板１０の積載間隔及び／又は基板収納部材５０の基板１０の収納間隔に応じて定められてもよい。例えば、基板ボート２１０の基板１０の積載間隔及び／又は基板収納部材５０の基板１０の収納間隔に比例して、基板ボート２１０の基板１０の積載間隔及び／又は基板収納部材５０の基板１０の収納間隔が狭くなれば狭くなるほど小さくなり、基板ボート２１０の基板１０の積載間隔及び／又は基板収納部材５０の基板１０の収納間隔が広ければ広くなるほど大きくなる。

【0058】

したがって、垂れ下がり感知部１４０が光量測定部１４３を用いて受光部１４２に受光される光量を測定して、複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔異常を判断することにより、基板ボート２１０の基板１０の積載間隔及び／又は基板収納部材５０の基板１０の収納間隔に応じて基板１０の搬送可否を正確に判断することができる。

【0059】

一方、光量測定部１４３において測定された光量に応じて、エンドエフェクター１１０のメンテナンス（ｍａｉｎｔｅｎａｎｃｅ）を決めてもよい。エンドエフェクター１１０の垂れ下がりは、セラミックス素材から形成されたエンドエフェクター１１０のひび割れやエンドエフェクター１１０とエンドエフェクターハンド１２０を結合するボルトなどの緩みにより生じる可能性がある。ここで、エンドエフェクター１１０の垂れ下がりは、垂れ下がりの発生原因に応じて垂れ下がりの勾配（もしくは、角度）が異なってくる虞があり、これにより、垂れ下がりの勾配差による受光部１４２に受光される光量差から垂れ下がりの発生原因を推察することもできる。エンドエフェクター１１０にひび割れが生じた場合には、エンドエフェクター１１０を取り替えることを余儀なくされるが、ボルトのみが緩んだ場合にはボルトさえ締めれば良いので、基板１０の搬送をしばらくの間止め、エンドエフェクター１１０のメンテナンスを行うことができる。また、ボルトの緩みにより垂れ下がりが生じる場合には、ボルトの緩み具合に応じて次第に垂れ下っていくため、垂れ下がりの勾配が所定の勾配（もしくは、所定の角度）以上に垂れ下がってから、エンドエフェクター１１０のメンテナンスを決めてもよい。このとき、前記垂れ下がりの勾配は、光量測定部１４３において測定された光量を用いた算出などにより得られる。

【0060】

そして、本発明の基板搬送装置１００がエンドエフェクター１１０の垂れ下がりを補正する垂れ下がり補正部（図示せず）をさらに備えて、前記所定の勾配まではエンドエフェクター１１０の垂れ下がりが生じても垂れ下がり補正部（図示せず）を用いてエンドエフェクター１１０の垂れ下がりを補正しながら使用し続けることができる。なお、垂れ下がり補正部（図示せず）を用いてエンドエフェクター１１０の垂れ下がりを補正しながら使用していて、エンドエフェクター１１０の垂れ下がりが前記所定の勾配を超えてしまったときにエンドエフェクター１１０のメンテナンスを行ってもよい。

【0061】

水平移動部１３０は、前記第１の方向に延びてエンドエフェクターハンド１２０の走行によるエンドエフェクター１１０の移動経路を与える支持プレート１３１を備えていてもよい。支持プレート１３１は、前記第１の方向に延びてもよく、エンドエフェクターハンド１２０の走行経路を与えてもよく、エンドエフェクターハンド１２０が支持プレート１３１の上を走行してエンドエフェクター１１０を前記第１の方向に移動させてもよい。すなわち、支持プレート１３１は、エンドエフェクターハンド１２０の走行によるエンドエフェクター１１０の移動経路を与えてもよく、発光部１４１と受光部１４２が連結されて支持されてもよく、前記エンドエフェクター１１０の移動経路の両側に発光部１４１と受光部１４２が配置（もしくは、配設）されてもよい。ここで、エンドエフェクターハンド１２０は、支持プレート１３１上の前記走行経路に沿って走行して、エンドエフェクター１１０を前記第１の方向に移動させてもよい。このとき、エンドエフェクターハンド１２０が直接的に前記第１の方向に支持プレート１３１の上を走行してもよく、エンドエフェクターハンド１２０に連結された間隔調節部１５０の走行により支持プレート１３１の上において前記第１の方向に走行されてもよい。

【0062】

例えば、水平移動部１３０は、レール（ｒａｉｌ）などによりエンドエフェクターハンド１２０及び／又は間隔調節部１５０を前記第１の方向に走行させてもよく、これに特に限定されず、支持プレート１３１が前記エンドエフェクターハンド１２０の走行経路を与えられればよい。

【0063】

そして、発光部１４１と受光部１４２は、支持プレート１３１の前記第１の方向と交わる第２の方向の両側にそれぞれ連結されてもよく、支持プレート１３１に連結されて支持されてもよい。発光部１４１と受光部１４２が支持プレート１３１の前記第１の方向と交わる第２の方向の両側にそれぞれ連結されて支持されることにより、前記エンドエフェクター１１０の移動経路（もしくは、前記エンドエフェクターハンドの走行経路）が確保されることが可能になり、発光部１４１と受光部１４２に干渉されずにエンドエフェクター１１０が前記第１の方向に移動することができる。発光部１４１と受光部１４２は、発光部１４１と受光部１４２との間に位置してもよく、発光部１４１と受光部１４２との間を通過するエンドエフェクター１１０の垂れ下がりを感知することができる。これにより、垂れ下がりによるエンドエフェクター１１０の異常を把握することができ、基板１０のダメージ及び／又は基板ボート２１０の転倒を予め防ぐことができる。なお、発光部１４１と受光部１４２が支持プレート１３１の前記第２の方向の両側に連結されて固定されることにより、安定的に支持されることが可能になり、エンドエフェクター１１０の移動に干渉されないながらも、エンドエフェクター１１０の垂れ下がりをなお一層有効に感知することができる。

【0064】

一方、エンドエフェクター１１０を前記第１の方向に移動させて発光部１４１と受光部１４２との間を通過させながら、エンドエフェクター１１０の垂れ下がりを感知してしまうと、エンドエフェクターハンド１２０と連結されたエンドエフェクター１１０の一方の側と対向するエンドエフェクター１１０の他方の側（部）が過剰に傾いて（もしくは、垂れ下がって）直進光２０を通過してしまう場合であっても、エンドエフェクター１１０の中央部ないし前記第１の方向一方の側（部）は直進光２０を遮ることができるので、有効にエンドエフェクター１１０の垂れ下がりが感知されることが可能になる。

【0065】

図５は、本発明の一実施形態に係る回転駆動部を説明するための概略斜視図であり、図５の（ａ）は、支持プレートの右側への回転を示し、図５の（ｂ）は、支持プレートの左側への回転を示す。

【0066】

図５を参照すると、本発明に係る基板搬送装置１００は、支持プレート１３１と連結されて、回転軸ｒを中心として支持プレート１３１を回転させる回転駆動部１６０をさらに備えていてもよい。

【0067】

回転駆動部１６０は、支持プレート１３１と連結されてもよく、回転軸ｒを中心として支持プレート１３１を回転させてもよい。例えば、回転駆動部１６０は、図５の（ａ）に示すように、回転軸ｒを中心として支持プレート１３１を時計回り方向（もしくは、右側）に回転させて、エンドエフェクター１１０を基板収納部材５０に向かわせてもよい。次いで、エンドエフェクター１１０を前記第１の方向に移動させて、基板収納部材５０から基板１０を取り出してもよい。また、回転駆動部１６０は、図５の（ｂ）に示すように、回転軸ｒを中心として支持プレート１３１を反時計回り方向（もしくは、左側）に回転させて、エンドエフェクター１１０を基板ボート２１０に向かわせてもよい。次いで、エンドエフェクター１１０を前記第１の方向に移動させて、基板収納部材５０から取り出して支持している基板１０を基板ボート２１０に積載してもよい。

【0068】

また、エンドエフェクター１１０の左右の４５°の方向にそれぞれ基板ボート２１０を配置して、支持プレート１３１を左右の４５°に回転させながら、２つの基板ボート２１０に対して積載を行ってもよい。

【0069】

本発明に係る基板搬送装置１００は、支持プレート１３１の前記第１の方向の一方の側に配設される昇降軸１７１を備え、昇降軸１７１に沿って回転駆動部１６０を昇降させる昇降部１７０をさらに備えていてもよい。

【0070】

昇降部１７０は、支持プレート１３１の前記第１の方向の一方の側に配設される昇降軸１７１を備えていてもよく、昇降軸１７１に沿って回転駆動部１６０を昇降させてもよい。基板ボート２１０は、垂直の長さ（もしくは、高さ）が長くてもよく、複数のエンドエフェクター１１０により搬送される基板１０よりも多い多数枚の基板１０を多段に積載してもよい。このとき、垂直の長さが長い基板ボート２１０に多段に多数枚の基板１０を積載するために、支持プレート１３１によりエンドエフェクター１１０が連結された回転駆動部１６０を昇降させて、回転駆動部１６０とともにエンドエフェクター１１０を昇降させてもよい。このとき、回転駆動部１６０は、昇降軸１７１に沿って昇降されてもよい。

【0071】

ここで、昇降軸１７１は、非回転状態（もしくは、回転されていない状態）で支持プレート１３１の前記第１の方向の一方の側に配設されてもよく、垂直に立てられてもよく、昇降可能なように回転駆動部１６０と連結されてもよい。

【0072】

このとき、回転軸ｒは、昇降軸１７１から離間されてもよい。例えば、回転軸ｒは、前記第１の方向の他方の側に離間されてもよい。支持プレート１３１の前記第２の方向の両側には発光部１４１と受光部１４２がそれぞれ連結されるため、支持プレート１３１が回転されながら、発光部１４１（もしくは、受光部１４２）が昇降軸１７１に干渉される虞がある。これにより、回転軸ｒは、昇降軸１７１から離間されることが可能になり、前記第１の方向の他方の側に十分に離間されることが可能になる。これにより、発光部１４１及び／又は受光部１４２が支持プレート１３１の回転により昇降軸１７１に干渉されることを防ぐことができる。このため、支持プレート１３１の回転状態でもエンドエフェクター１１０の垂れ下がりを感知することができ、基板収納部材５０と基板ボート２１０との間に基板１０を搬送しながら、一瞬一瞬にリアルタイムにてエンドエフェクター１１０の垂れ下がりを感知することができる。

【0073】

そして、発光部１４１と受光部１４２は、支持プレート１３１の中央部ないし前記第１の方向の一方の側と対向する他方の側に配置されてもよい。支持プレート１３１の前記第１の方向の一方の側には、エンドエフェクターハンド１２０と連結されたエンドエフェクター１１０の一方の側が位置し、エンドエフェクター１１０の一方の側はエンドエフェクターハンド１２０と連結される部分であるため、エンドエフェクター１１０の垂れ下がり（もしくは、傾き）があまり甚だしく生じない。これにより、支持プレート１３１の前記第１の方向の一方の側に発光部１４１と受光部１４２を配置してしまうと、エンドエフェクター１１０の垂れ下がり異常を有効に感知することができなくなる。また、支持プレート１３１の前記第１の方向の一方の側に発光部１４１と受光部１４２を配置してしまう場合には、発光部１４１と受光部１４２が昇降軸１７１に近づいて、支持プレート１３１が回転されながら発光部１４１または受光部１４２が昇降軸１７１に干渉される虞がある。

【0074】

したがって、支持プレート１３１の前記第１の方向の一方の側よりは、支持プレート１３１の中央部ないし前記第１の方向の一方の側と対向する他方の側（部）に発光部１４１と受光部１４２を配置してもよい。

【0075】

このように、本発明においては、水平移動部１３０の支持プレート１３１の両側に発光部１４１と受光部１４２がそれぞれ連結されることにより、エンドエフェクター１１０の移動に影響を及ぼすということを防ぐことができる。これにより、支持プレート１３１、回転駆動部１６０及び昇降部１７０の結合構造に応じて、支持プレート１３１及び／又はエンドエフェクター１１０の動きに発光部１４１と受光部１４２が干渉されないようにすることができる。

【0076】

垂れ下がり感知部１４０は、発光部１４１と受光部１４２のうちの少なくともどちらか一方の位置を調整する位置調整部１４４をさらに備えていてもよい。位置調整部１４４は、発光部１４１と受光部１４２のうちの少なくともどちらか一方の位置（すなわち、前記発光部の光源と前記受光部の受光面のうちの少なくともどちらか一方の位置）を調整してもよい。これにより、位置調整部１４４は、直進光２０の位置を調整することもできれば、直進光２０の勾配（もしくは、角度）を調整することもできる。

【0077】

例えば、間隔調節部１５０を用いて複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔を調節することができるので、これに合わせて、位置調整部１４４は、発光部１４１と受光部１４２のうちの少なくともどちらか一方の位置を調整して、直進光２０の位置を調整することができる。なお、エンドエフェクター１１０の垂れ下がりへの感知性能を向上させるために、位置調整部１４４は、発光部１４１と受光部１４２のうちの少なくともどちらか一方の位置を調整して直進光２０の勾配を調整することができる。

【0078】

一般に、発光部１４１と受光部１４２の高さ（すなわち、前記発光部の光源と前記受光部の受光面の高さ）を同一にして、発光部１４１から水平に光を照射することにより、水平な直進光２０を形成することができる。これを保つために、発光部１４１と受光部１４２の位置を同時に一緒に調整することが好ましいことがあるが、これに特に限定されない。

【0079】

一方、垂れ下がり感知部１４０は、発光部１４１の照射角度を調整する照射角調整部（図示せず）をさらに備えていてもよい。照射角調整部（図示せず）は、発光部１４１の照射角度を調整してもよく、前記第１の方向と水平に直交する方向に対して斜めに発光部１４１の照射角度を調整してもよい。このとき、受光部１４２の受光面１４２ａの位置を調整したり、広い受光面１４２ａにおける直進光２０が入射する位置のみが異なってきたりすることがある。すなわち、発光部１４１から受光部１４２に向かって照射される直進光２０は、前記第１の方向と水平に直交する方向に対して斜めであってもよい。

【0080】

直進光２０は、大きさ（ｓｉｚｅ）又は幅（ｗｉｄｔｈ）が小さくて垂れ下がりによりエンドエフェクター１１０が直進光２０を通り過ぎてエンドエフェクター１１０の垂れ下がりが感知されない虞もある。これにより、直進光２０を前記第１の方向と水平に直交する方向に対して斜めにすることにより、エンドエフェクター１１０の垂れ下がりを感知できる範囲を増やす（もしくは、増加させる）ことができ、エンドエフェクター１１０の垂れ下がりへの感知性能が向上することが可能になる。

【0081】

ここで、直進光２０は垂直方向に傾いてもよく、発光部１４１と受光部１４２との高さ差（もしくは、前記直進光の始点と終点の垂直方向の高さ差）は、エンドエフェクター１１０の厚さ以下であってもよい。直進光２０の勾配が大きくなる場合には、エンドエフェクター１１０の垂れ下がりを感知できる範囲が広くなることはできるものの、直進光２０の勾配と同じ勾配にてエンドエフェクター１１０の垂れ下がりが生じてしまうと、エンドエフェクター１１０の垂れ下がりが感知されないため、直進光２０の勾配が制限される虞がある。

【0082】

このため、発光部１４１と受光部１４２との高さ差（もしくは、前記発光部の光源と前記受光部の受光面との高さ差）をエンドエフェクター１１０の厚さ以下にすることができる。このような場合、エンドエフェクター１１０の垂れ下がりを感知できる範囲をエンドエフェクター１１０の厚さに見合う分だけは増やすことができるだけではなく、エンドエフェクター１１０の厚さ内においては直進光２０の勾配と同じ勾配にてエンドエフェクター１１０の垂れ下がりが感知されない場合が生じなくなる。

【0083】

図６は、本発明の一実施形態に係る発光部から照射された直進光の離間を説明するための概念図である。

【0084】

図６を参照すると、発光部１４１は、水平状態のエンドエフェクター１１０の下部面１１０ａからの最短距離がエンドエフェクター１１０厚さの２０％以上である直進光２０を照射することができる。すなわち、発光部１４１は、エンドエフェクター１１０の下部面１１０ａからエンドエフェクター１１０の厚さの２０％以上離間される直進光２０を照射することができる。このとき、直進光２０は、エンドエフェクター１１０の下部面１１０ａから垂直方向に最小の離間距離（ｇａｐ）ｇがエンドエフェクター１１０の厚さの２０％以上であってもよい。ここで、直進光２０の離間距離ｇの上限は、複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔ｐよりも大きくなることはできず、一つのエンドエフェクター１１０しかない場合には、エンドエフェクター１１０の前記第１の方向の長さ及び／又はエンドエフェクター１１０の下部面１１０ａから支持プレート１３１の上部面までの距離よりも大きくなることはできない。

【0085】

直進光２０をエンドエフェクター１１０の下部面１１０ａから垂直方向にエンドエフェクター１１０の厚さの２０％以上離間させなくなると、基板１０の荷重によりエンドエフェクター１１０に僅かな垂れ下がり又はエンドエフェクター１１０の移動による僅かな揺動によっても垂れ下がり感知部１４０がエンドエフェクター１１０の垂れ下がり異常と判断する虞がある。しかしながら、本発明でのように、発光部１４１が水平状態のエンドエフェクター１１０の下部面１１０ａからの最短距離がエンドエフェクター１１０の厚さの２０％以上である直進光２０を照射する場合にはこれを防ぐことができ、エンドエフェクター１１０の垂れ下がり異常をなお一層有効に感知（もしくは、判断）することができる。

【0086】

例えば、エンドエフェクター１１０は、基板１０の荷重により０．５ｍｍ未満の微々たる垂れ下がりが生じる虞があり、エンドエフェクター１１０の下部面１１０ａから垂直方向に直進光２０の最小の離間距離ｇを０．５ｍｍ以上にしてもよい。このとき、基板１０の厚さは約０．８ｍｍであってもよく、エンドエフェクター１１０の厚さは約１．８ｍｍであってもよい。

【0087】

したがって、本発明においては、発光部１４１が受光部１４２に向かって照射する直進光２０を水平状態のエンドエフェクター１１０の下部面１１０ａからせめてエンドエフェクター１１０の厚さの２０％以上離間させることにより、基板１０の荷重によるエンドエフェクター１１０の微々たる垂れ下がりをエンドエフェクター１１０の異常と把握してしまうということを防ぐことができる。

【0088】

一方、本発明の基板搬送装置１００は、互いに対をなす送信器１８１と受信器１８２を備え、エンドエフェクター１１０に支持された基板１０を感知する基板感知部１８０をさらに備えていてもよい。

【0089】

基板感知部１８０は、エンドエフェクター１１０に支持された基板１０を感知することができ、互いに対をなす送信器１８１と受信器１８２を備えていてもよい。送信器１８１と受信器１８２は、互いに対をなしてもよく、光又は超音波などを送受することができる。例えば、送信器１８１から光を照射し、受信器１８２において光を受光することにより、基板１０を感知することができる。受信器１８２に光が受光されない場合には、基板１０がエンドエフェクター１１０に支持されたと判断することができ、受信器１８２に光が受光される場合には、基板１０がエンドエフェクター１１０に支持されていないと判断することができる。

【0090】

ここで、送信器１８１と受信器１８２は、上下に離間されて配置されてもよく、支持プレート１３１の第２の方向１２の両側に一対ずつ配設されてもよい。例えば、送信器１８１と受信器１８２は、一対ずつ発光部１４１と受光部１４２にそれぞれ連結されて支持（もしくは、固定）されてもよい。送信器１８１と受信器１８２が支持プレート１３１の第２の方向１２の両側に一対ずつ配設されることにより、エンドエフェクター１１０上の基板１０の支持有無を感知することができるだけではなく、基板１０が定位置にしっかり支持できたかをも把握することができる。

【0091】

図７は、本発明の他の実施形態に係る基板処理装置を示す概略断面図である。

【0092】

図７に基づいて、本発明の他の実施形態に係る基板処理装置についてさらに詳しく説明するが、本発明の一実施形態に係る基板搬送装置と関わって上述した部分と重複する事項は省略する。

【0093】

本発明の他の実施形態に係る基板処理装置２００は、本発明の一実施形態に係る基板搬送装置１００と、前記エンドエフェクター１１０に支持された前記基板１０が受け渡されて多段に積載される基板ボート２１０と、前記基板ボート２１０が収容される内部空間を有する工程チューブ２２０と、を備えていてもよい。

【0094】

基板搬送装置１００は、本発明の一実施形態に係る基板搬送装置１００であってもよく、基板収納部材５０と基板ボート２１０との間において基板１０を運ぶことができる。基板搬送装置１００の詳細については既に上述したため、ここではその詳しい説明を省略する。

【0095】

基板ボート２１０は、バッチタイプ（Ｂａｔｃｈ ｔｙｐｅ）にて工程を行うために、複数枚の基板１０が多段に（もしくは、上下方向に）積載されてもよく、積載又は処理工程のために昇降してもよい。例えば、基板ボート２１０は、２２枚の基板１０を多段に積載することができ、基板ボート２１０が工程チューブ２２０の下部の積載空間（もしくは、積載位置）内に位置する間に、基板１０は、基板ボート２１０内に積載されることができる。さらに詳しく述べると、基板搬送装置１００により基板ボート２１０に１枚以上の基板１０が積載されれば、基板ボート２１０又はエンドエフェクター１１０が上昇して基板１０が積載された部分の下部又は上部に基板１０が積載されることが可能になる。基板ボート２１０内に複数枚の基板１０がいずれも積載されれば、基板ボート２１０は、工程チューブ２２０の収容空間（もしくは、工程位置）に移動して工程チューブ２２０の収容空間において基板１０への処理工程が行われることが可能になる。ここで、基板ボート２１０は、炭化ケイ素（ＳｉＣ）などのセラミック（ｃｅｒａｍｉｃ）、石英（ｑｕａｒｔｚ）、合成石英などから形成されてもよい。

【0096】

工程チューブ２２０は、内部に基板ボート２１０が収容できる収容空間が形成されてもよく、基板ボート２１０に積載された基板１０の処理工程が行われてもよい。工程チューブ２２０は、円筒状に形成されてもよく、上部は閉じられた状態で下部が開かれてもよい。これにより、基板ボート２１０が工程チューブ２２０の収容空間に位置するために上下に昇降する場合に、工程チューブ２２０の下部の開口部を介して基板ボート２１０が工程チューブ２２０の収容空間に引き込まれたり工程チューブ２２０の収容空間から引き出されたりすることができる。このとき、工程チューブ２２０は、単一のチューブから構成されてもよく、外チューブと内チューブとから構成された複数のチューブから構成されてもよい。

【0097】

そして、基板搬送装置１００は、複数枚の基板１０が収容された基板収納部材５０と基板ボート２１０との間において基板収納部材５０と基板ボート２１０との間に基板１０を運んでもよい。このとき、基板搬送装置１００は、前方開放型インタフェースメカニカルスタンダード（Ｆｒｏｎｔ－ｏｐｅｎｉｎｇ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｔａｎｄａｒｄ；ＦＩＭＳ）などのロードポート（ｌｏａｄ ｐｏｒｔ）と基板ボート２１０との間に配置されてもよく、前記ロードポートに配置されてオープン（ｏｐｅｎ）された基板収納部材５０と基板ボート２１０との間に基板１０を運んでもよい。例えば、基板搬送装置１００は、前記ロードポートに配置された基板収納部材５０と基板ボート２１０との間に配置されて（もしくは、位置して）もよく、基板搬送装置１００の左側に基板収納部材５０が位置し、基板搬送装置１００の右側に基板ボート２１０が位置してもよい。このとき、支持プレート１３１を反時計回り方向（もしくは、左側）に回転させて、エンドエフェクター１１０を基板収納部材５０に向かわせてもよく、次いで、エンドエフェクター１１０を前記第１の方向に移動させて、基板収納部材５０から基板１０を取り出してもよい。そして、支持プレート１３１を時計回り方向（もしくは、右側）に回転させて、エンドエフェクター１１０を基板ボート２１０に向かわせてもよく、次いで、エンドエフェクター１１０を前記第１の方向に移動させて、基板収納部材５０から取り出して支持している基板１０を基板ボート２１０に積載してもよい。逆に、支持プレート１３１を時計回り方向に回転させて、エンドエフェクター１１０を基板ボート２１０に向かわせてもよく、次いで、エンドエフェクター１１０を前記第１の方向に移動させて、処理済みの基板１０を基板ボート２１０から取り外してもよい。そして、支持プレート１３１を反時計回り方向に回転させて、エンドエフェクター１１０を基板収納部材５０に向かわせてもよく、次いで、エンドエフェクター１１０を前記第１の方向に移動させて、処理済みのエンドエフェクター１１０に支持された基板１０を基板収納部材５０に収納してもよい。

【0098】

ここで、基板ボート２１０の基板１０の積載間隔は、基板収納部材５０の基板１０の収納間隔と異なっていてもよい。このような場合、間隔調節部１５０を用いて、基板収納部材５０の基板１０の収納間隔に合わせて複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔を調節して、基板収納部材５０から２枚以上の基板１０を一括して取り出してもよい。その後、基板ボート２１０の基板１０の積載間隔に合わせて複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔を調節して、基板収納部材５０から取り出した２枚以上の基板１０を一括して基板ボート２１０に積載してもよい。逆に、間隔調節部１５０を用いて基板ボート２１０の基板１０の積載間隔に合わせて複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔を調節して、処理済みの基板１０を基板ボート２１０から２枚以上ずつ取り外してもよい。その後、基板収納部材５０の基板１０の収納間隔に合わせて複数のエンドエフェクター１１０同士の間隔を調節して、前記処理済みの基板１０を基板収納部材５０に収納してもよい。

【0099】

このように、本発明においては、垂れ下がり感知部を用いて、エンドエフェクターの垂れ下がりを感知することにより、基板の搬送を行う前にエンドエフェクターの異常を把握することができ、エンドエフェクターの搬送不良による基板のダメージ及び／又は基板ボートの転倒を予め防ぐことができる。このとき、垂れ下がり感知部は、エンドエフェクターの移動経路の両側にそれぞれ配置される発光部と受光部を備えて、エンドエフェクターの移動に干渉されないながらも、エンドエフェクターの垂れ下がりを有効に感知することができる。また、複数のエンドエフェクターが多段に構成される場合には、エンドエフェクターの垂れ下がりを感知して、複数のエンドエフェクター同士の間隔異常を判断することができる。これにより、複数のエンドエフェクター同士の間隔不良による基板のダメージ及び／又は基板ボートの転倒を防ぐことができ、しかも、基板積載間隔が定められた基板ボートに２枚以上の基板を一括して安定的に積載することができる。ここで、発光部が複数のエンドエフェクターに対応して複数の光源を備えることにより、複数のエンドエフェクターのそれぞれに対して有効に垂れ下がりを感知することができる。そして、間隔調節部を用いて、複数のエンドエフェクター同士の間隔を調節することにより、基板積載間隔が異なる様々な基板ボートに対応することができる。また、垂れ下がり感知部が受光部に受光される光量を測定して、複数のエンドエフェクター同士の間隔異常を判断することにより、基板ボートの基板積載間隔及び／又は基板の収納部材の基板収納間隔に応じて基板の搬送可否を正確に判断することができる。このとき、発光部が受光部に向かって照射する直進光を水平状態のエンドエフェクターの下部面からせめてエンドエフェクターの厚さの２０％以上離間させることにより、基板の荷重によるエンドエフェクターの微々たる垂れ下がりをエンドエフェクターの異常と把握してしまうということを防ぐことができる。一方、水平移動部の支持プレートの両側に発光部と受光部がそれぞれ連結されることにより、エンドエフェクターの移動に影響を及ぼすことを防ぐことができ、支持プレート、回転駆動部及び昇降部の結合構造に応じて、支持プレート及び／又はエンドエフェクターの動きに発光部と受光部が干渉されないようにすることができる。

【0100】

以上、本発明の好適な実施形態について図示して説明したが、本発明は、上述した実施形態に何等限定されるものではなく、特許請求の範囲において請求する本発明の要旨を逸脱することなく、当該本発明が属する分野において通常の知識を有する者であれば、これより様々な変形が行え、且つ、均等な他の実施形態が採用可能であるということが理解できる筈である。よって、本発明の技術的な保護範囲は、次の特許請求の範囲によって定められるべきである。

【符号の説明】

【0101】

１０：基板
２０：直進光
５０：基板収納部材
１００：基板搬送装置
１１０：エンドエフェクター
１１０ａ：エンドエフェクターの下部面
１２０：エンドエフェクターハンド
１３０：水平移動部
１３１：支持プレート
１４０：垂れ下がり感知部
１４１：発光部
１４１ａ：光源
１４２：受光部
１４２ａ：受光面
１４３：光量測定部
１４４：位置調整部
１５０：間隔調節部
１６０：回転駆動部
１７０：昇降部
１７１：昇降軸
１８０：基板感知部
１８１：送信器
１８２：受信器
２００：基板処理装置
２１０：基板ボート
２２０：工程チューブ
ｒ：回転軸
ｐ：エンドエフェクター同士の間隔
ｇ：直進光の離間距離

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】