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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022163670
(43)【公開日】2022-10-26
(54)【発明の名称】プローブカード装置及びバネ状のプローブ
(51)【国際特許分類】
G01R 1/073 20060101AFI20221019BHJP
G01R 1/067 20060101ALI20221019BHJP
【ＦＩ】
G01R1/073 E
G01R1/067 C
【審査請求】有
【請求項の数】4
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021100311
(22)【出願日】2021-06-16
(31)【優先権主張番号】110113400
(32)【優先日】2021-04-14
(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW
(71)【出願人】
【識別番号】517009143
【氏名又は名称】中華精測科技股▲ふん▼有限公司
【氏名又は名称原語表記】ＣＨＵＮＧＨＷＡ ＰＲＥＣＩＳＩＯＮ ＴＥＳＴ ＴＥＣＨ．ＣＯ．，ＬＴＤ
【住所又は居所原語表記】ＮＯ．１５，ＧＯＮＧＹＥ ３ＲＤ ＲＯＡＤ，ＰＩＮＧＪＨＥＮ ＤＩＳＴ，ＴＡＯＹＵＡＮ ＣＩＴＹ ３２４，ＴＡＩＷＡＮ
(74)【代理人】
【識別番号】100103894
【弁理士】
【氏名又は名称】家入 健
(72)【発明者】
【氏名】謝開傑
(72)【発明者】
【氏名】蘇偉誌
(72)【発明者】
【氏名】陳弘明
(72)【発明者】
【氏名】李帥
【テーマコード（参考）】
2G011
【Ｆターム（参考）】
2G011AA01
2G011AA10
2G011AA15
2G011AA16
2G011AB01
2G011AB03
2G011AB07
2G011AC14
(57)【要約】
【課題】プローブカード装置及びバネ状のプローブを提供する。
【解決手段】前記バネ状のプローブには長さ方向、及び長さ方向に平行となる分離面が定義されており、かつ、固定端部及びテスト端部が含まれる。前記バネ状のプローブにおいて、前記固定端部及び前記テスト端部の間に、前記分離面における相対的な両側に配置される、互いに分離される２つの行程アームが形成される。各前記行程アームは屈曲状を呈し、かつ、２つの前記行程アームはそれぞれ前記分離面に正投影して少なくとも１つの交点を形成する２つの投影エリアを形成する。前記長さ方向に垂直となる２つの前記行程アームの断面において、何れか一方の前記行程アームの断面積は、他方の前記行程アームの断面積の９５％～１０５％である。
【選択図】図１
【解決手段】前記バネ状のプローブには長さ方向、及び長さ方向に平行となる分離面が定義されており、かつ、固定端部及びテスト端部が含まれる。前記バネ状のプローブにおいて、前記固定端部及び前記テスト端部の間に、前記分離面における相対的な両側に配置される、互いに分離される２つの行程アームが形成される。各前記行程アームは屈曲状を呈し、かつ、２つの前記行程アームはそれぞれ前記分離面に正投影して少なくとも１つの交点を形成する２つの投影エリアを形成する。前記長さ方向に垂直となる２つの前記行程アームの断面において、何れか一方の前記行程アームの断面積は、他方の前記行程アームの断面積の９５％～１０５％である。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
互いに離間して配置される第１のガイドプレートユニット及び第２のガイドプレートユニットと、
前記第１のガイドプレートユニット及び前記第２のガイドプレートユニットに挿設されると共に、それぞれに、長さ方向、及び前記長さ方向に平行となる分離面が定義される複数のバネ状のプローブと、
を備え、
前記バネ状のプローブのそれぞれは、前記第１のガイドプレートユニットにおける前記第２のガイドプレートユニットに離れる外側に位置する固定端部と、
前記第２のガイドプレートユニットにおける、前記第１のガイドプレートユニットに離れる外側に位置すると共に、分離可能にテスト対象物に当接するためのテスト端部と、
を含み、
前記バネ状のプローブのそれぞれは、前記固定端部と前記テスト端部との間に、互いに離間して配置されると共に、前記分離面における相対的な両側にそれぞれ配置される２つの行程アームが形成され、前記バネ状のプローブのそれぞれにおいて、各前記行程アームは屈曲状を呈し、かつ、２つの前記行程アームがそれぞれ前記分離面に正投影して形成された２つの投影エリアは、少なくとも１つの交点を有し、
前記長さ方向に垂直となる前記バネ状のプローブのそれぞれにおける２つの前記行程アームの断面において、何れか一方の前記行程アームの断面積は、他方の前記行程アームの断面積の９５％～１０５％である、
ことを特徴とする、プローブカード装置。
前記第１のガイドプレートユニット及び前記第２のガイドプレートユニットに挿設されると共に、それぞれに、長さ方向、及び前記長さ方向に平行となる分離面が定義される複数のバネ状のプローブと、
を備え、
前記バネ状のプローブのそれぞれは、前記第１のガイドプレートユニットにおける前記第２のガイドプレートユニットに離れる外側に位置する固定端部と、
前記第２のガイドプレートユニットにおける、前記第１のガイドプレートユニットに離れる外側に位置すると共に、分離可能にテスト対象物に当接するためのテスト端部と、
を含み、
前記バネ状のプローブのそれぞれは、前記固定端部と前記テスト端部との間に、互いに離間して配置されると共に、前記分離面における相対的な両側にそれぞれ配置される２つの行程アームが形成され、前記バネ状のプローブのそれぞれにおいて、各前記行程アームは屈曲状を呈し、かつ、２つの前記行程アームがそれぞれ前記分離面に正投影して形成された２つの投影エリアは、少なくとも１つの交点を有し、
前記長さ方向に垂直となる前記バネ状のプローブのそれぞれにおける２つの前記行程アームの断面において、何れか一方の前記行程アームの断面積は、他方の前記行程アームの断面積の９５％～１０５％である、
ことを特徴とする、プローブカード装置。
【請求項2】
前記バネ状のプローブのそれぞれは、前記固定端部を備える第１のセグメント、及び前記テスト端部を備える第２のセグメントを含み、前記バネ状のプローブのそれぞれにおいて、何れか一方の前記行程アームにおける２つのエンドはそれぞれ前記第１のセグメント及び前記第２のセグメントに接続され、前記バネ状のプローブのそれぞれにおいて、２つの前記行程アームは前記第１のセグメントと前記第２のセグメントとの間の空間に位置し、前記第１のガイドプレートユニットは、前記第２のガイドプレートユニットに対して位置ずれないように配置され、何れか一方の前記バネ状のプローブは、前記長さ方向に沿って圧迫されることによって、２つの前記行程アームを前記空間の外部に変形させる、請求項１に記載のプローブカード装置。
【請求項3】
前記バネ状のプローブのそれぞれの外面に、前記長さ方向に平行となると共に相対的な両側に配置される２つの幅広い側面が含まれ、前記バネ状のプローブのそれぞれに、長さ方向に平行となると共に前記分離面に垂直となる分布面が定義され、前記バネ状のプローブのそれぞれは、前記分離面が何れか一方の前記幅広い側面に垂直となり、何れか一方の前記行程アームの２つのエンドはそれぞれ前記分布面における対応的な両側に位置する、請求項１に記載のプローブカード装置。
【請求項4】
前記バネ状のプローブのそれぞれは、前記長さ方向において、４ｍｍ以下のプローブ長を有し、前記バネ状のプローブのそれぞれにおいて、少なくとも１つの前記交点の数は奇数であり、かつ、何れか一方の前記行程アームが前記長さ方向に対応した長さは、前記プローブ長の５０％～９０％である、請求項１に記載のプローブカード装置。
【請求項5】
長さ方向、及び長さ方向に平行となる分離面が定義されるバネ状のプローブであって、前記バネ状のプローブは、
信号トランスプレートに当接するための固定端部と、
テスト対象物に分離可能に当接するためのテスト端部と、
を含み、
前記固定端部と前記テスト端部との間に、前記分離面における相対的な両側に配置されると共に、互いに離間して配置される２つの行程アームが形成され、各前記行程アームは屈曲状を呈し、かつ、２つの前記行程アームが前記分離面にそれぞれ正投影することで形成された２つの投影エリアは、少なくとも１つの交点を有し、
前記長さ方向に垂直となる前記バネ状のプローブの２つの前記行程アームの断面において、何れか一方の前記行程アームの断面積は、他方の前記行程アームの断面積の９５％～１０５％である、
ことを特徴とするバネ状のプローブ。
信号トランスプレートに当接するための固定端部と、
テスト対象物に分離可能に当接するためのテスト端部と、
を含み、
前記固定端部と前記テスト端部との間に、前記分離面における相対的な両側に配置されると共に、互いに離間して配置される２つの行程アームが形成され、各前記行程アームは屈曲状を呈し、かつ、２つの前記行程アームが前記分離面にそれぞれ正投影することで形成された２つの投影エリアは、少なくとも１つの交点を有し、
前記長さ方向に垂直となる前記バネ状のプローブの２つの前記行程アームの断面において、何れか一方の前記行程アームの断面積は、他方の前記行程アームの断面積の９５％～１０５％である、
ことを特徴とするバネ状のプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、プローブに関し、特にプローブカード装置及びバネ状のプローブに関する。
【背景技術】
【0002】
既存のプローブカード装置は、信号や電流の伝送に複数の導電性プローブを使用しているが、既存の導電性プローブは、既存の構造設計の枠組みに制限されており、新しい構造を生成することは困難である。例えば、既存の導電性プローブ（ポゴピン等）は、マルチピース構造によりバネ機能を持つ。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
本発明に係る実施形態において、既存の導電性プローブで発生する不具合を効果的に改善できるプローブカード装置及びバネ状のプローブを提供する。
【課題を解決するための手段】
【0004】
本発明の実施形態では次のようなプローブカード装置を開示する。プローブカード装置は、互いに分離されて配置される第１のガイドプレートユニット及び第２のガイドプレートユニットと、前記第１のガイドプレートユニット及び前記第２のガイドプレートユニットに挿設する複数のバネ状のプローブと、テスト端部とを含む。前記バネ状のプローブに長さ方向、及び長さ方向に平行となる分離面が定義される。なかでも、前記バネ状のプローブのそれぞれは、固定端部と、前記第２のガイドプレートユニット及び前記第１のガイドプレートユニットに離間する外側とを含む。テスト端部は、前記第１のガイドプレートユニットにおける前記第２のガイドプレートユニットに離間した外側に位置し、かつ、前記テスト端部は分離可能にテスト対象物に当接する。なかでも、前記バネ状のプローブのそれぞれにおいて、前記固定端部と前記テスト端部との間に、前記分離面における相対的な両側に配置される、互いに離間する２つの行程アームが形成される。前記バネ状のプローブのそれぞれにおいて、各前記行程アームは屈曲状に屈曲され、かつ、２つの前記行程アームはそれぞれ前記分離面に投影されて、少なくとも１つの交点を有する２つの投影エリアを形成する。なかでも、前記長さ方向に垂直となる前記バネ状のプローブのそれぞれは、２つの前記行程アームの断面において、何れか一方の前記行程アームの断面積は、他方の前記行程アームの断面積の９５％～１０５％である。
【0005】
本発明に係る実施形態において、次のようなバネ状のプローブを開示する。バネ状のプローブに長さ方向、及び長さ方向に平行となる分離面が定義される。前記バネ状のプローブは、信号トランスプレートに当接するための固定端部と、分離可能に当接するためのテスト対象物とを含む。なかでも、前記バネ状のプローブにおいて、前記固定端部と前記テスト端部との間に、前記分離面における相対的な両側に配置されると共に互いに離間する２つの行程アームが形成される。前記行程アームは屈曲状を呈し、かつ、２つの前記行程アームはそれぞれ前記分離面に正投影して、少なくとも１つの交点を有する２つの投影エリアが形成される。なかでも、前記長さ方向に垂直となる前記バネ状のプローブにおける２つの前記行程アームの断面において、何れか一方の前記行程アームの断面積は、他方の前記行程アームの断面積の９５％～１０５％である。
【発明の効果】
【0006】
結論として、本発明に係る実施形態において開示されるプローブカード装置及びバネ状のプローブは、前記固定端部と前記テスト端部との間に位置する２つの前記行程アームの構成（例えば、２つの前記行程アームが互いに離間して前記分離面における対応的な両側に位置する。２つの前記行程アームはそれぞれ前記分離面に正投影して、少なくとも１つの交点を有する２つの投影エリアが形成される。）によって、バネのような機能を持たせることで、新しい導電性プローブの構造を実現する。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【図1】本発明に係る第１の実施形態のプローブカード装置を示す平面模式図である。
【図3】本発明に係る第１の実施形態のバネ状のプローブを示す斜視模式図である。
【図10】本発明に係る第２の実施形態においてバネ状のプローブを示す斜視模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0008】
［第１の実施形態］
図１乃至図９を参照されたい。図１～図９は、本発明に係る第１の実施形態を示す。本実施形態においてプローブカード装置１０００が開示される。プローブカード装置１０００は、プローブヘッド１００と、前記プローブヘッド１００の一方側（例えば、図１におけるプローブヘッド１００の頂部）に当接される信号トランスプレート２００とを含む。かつ、前記プローブヘッド１００の他方側（例えば、図１のプローブヘッド１００の底部）はテスト対象物（ｄｅｖｉｃｅ ｕｎｄｅｒ ｔｅｓｔ，ＤＵＴ）（図示しないが例えば、半導体ウェーハ）に当接するために用いられる。
図１乃至図９を参照されたい。図１～図９は、本発明に係る第１の実施形態を示す。本実施形態においてプローブカード装置１０００が開示される。プローブカード装置１０００は、プローブヘッド１００と、前記プローブヘッド１００の一方側（例えば、図１におけるプローブヘッド１００の頂部）に当接される信号トランスプレート２００とを含む。かつ、前記プローブヘッド１００の他方側（例えば、図１のプローブヘッド１００の底部）はテスト対象物（ｄｅｖｉｃｅ ｕｎｄｅｒ ｔｅｓｔ，ＤＵＴ）（図示しないが例えば、半導体ウェーハ）に当接するために用いられる。
【0009】
説明すべきは、本実施形態を説明する便宜上、前記プローブカード装置１０００における各部材の構成及び接続関係を確実に表現するために、図面には前記プローブカード装置１０００の局部構造のみが示される場合もあるが、本発明は図面に示されたものに制限されない。以下、前記プローブヘッド１００における部材の構造及びそれらの接続関係を説明する。
【0010】
図１及び図２に示すように、前記プローブヘッド１００は、第１のガイドプレートユニット１と、前記第１のガイドプレートユニット１に離間して配置される第２のガイドプレートユニット２と、前記第１のガイドプレートユニット１と第２のガイドプレートユニット２との間に挟持されたスペーサー３と、前記第１のガイドプレートユニット１及び前記第２のガイドプレートユニット２を挿設する複数のバネ状のプローブ４とを含む。
【0011】
説明すべきは、前記バネ状のプローブ４は、本実施形態において、前記第１のガイドプレートユニット１、前記第２のガイドプレートユニット２、及び前記スペーサー３に合わせて説明するが、本発明はこの例に制限されない。例えば、本発明における図示されない他の実施形態において、前記バネ状のプローブ４は独立に適用（例えば、販売）されるか、或いは、他の部材と合わせて使用されてもよい。また、前記プローブヘッド１００は、前記バネ状のプローブ４の構成に通して、前記第１のガイドプレートユニット１は前記第２のガイドプレートユニット２に対してすれ違う位置に位置しないように配置してもよいが、本発明はこの例に制限されない。
【0012】
本実施形態において、前記第１のガイドプレートユニット１は１つの第１のガイドプレートを含み、かつ、前記第２のガイドプレートユニット２は１つの第２のガイドプレートを含む。なお、本発明に係る図示されない他の実施形態において、前記第１のガイドプレートユニット１は、複数の第１のガイドプレート（及び隣り合う２つの前記第１のガイドプレートの間に挟持されるスペーサー）を含んでもよい。また、前記第２のガイドプレートユニット２は、複数の第２のガイドプレート（及び隣り合う２つの前記第２のガイドプレートの間に挟持されるスペーサー）を含んでもよい。さらに、複数の前記第１のガイドプレートが互いにすれ違うように配置され、複数の前記第２のガイドプレートが互いにすれ違うように配置されてもよい。
【0013】
また、前記スペーサー３は環状構造に形成されてもよい。かつ、前記スペーサー３が前記第１のガイドプレートユニット１と前記第２のガイドプレートユニット２において比較的外周の位置に挟持されるが、本発明はこの例に制限されない。例えば、本発明に係る図示されない他の実施形態において、前記プローブカード装置１０００における前記スペーサー３を省略してもよいし、他の部材で取り換えてもよい。
【0014】
説明すべきは、複数の前記バネ状のプローブ４は、本実施形態においてほぼ同様な構造を有するため、説明の便宜上、まず、前記バネ状のプローブ４が１つの状況について説明するが、本発明はこの例に制限されない。例えば、本発明に係る図示されない他の実施形態において、前記プローブヘッド１００に含まれる複数の前記バネ状のプローブ４の構造は互いに差異をもつものであってもよい。
【0015】
例えば、図１及び図３に示すように、前記バネ状のプローブ４は、本実施形態では一体成型のワンピース構造であり、かつ、前記バネ状のプローブ４は略直線状に形成されると共に長さ方向Ｌが定義される。前記本実施形態では、前記バネ状のプローブ４は、前記長さ方向Ｌにおいて、プローブ長Ｌ４を有すると共に、プローブ長Ｌ４が４ｍｍを下回る場合で説明する。
【0016】
前記バネ状のプローブ４の外面に２つの幅広い側面４ａ及び２つの幅狭い側面４ｂが含まれる。２つの前記幅広い側面４ａ及び２つの前記幅狭い側面４ｂはいずれも長さ方向Ｌに平行となると共に、２つの前記幅広い側面４ａはそれぞれ前記バネ状のプローブ４の一方の対応的な両側に位置し、また、２つの前記幅狭い側面４ｂはそれぞれ前記バネ状のプローブ４の他方の対応的な両側に位置する。
【0017】
また、図１、図３及び図４に示すように、本実施形態において、前記バネ状のプローブ４の具体的な構成を説明するために、前記バネ状のプローブ４にはさらに長さ方向Ｌに平行となる分離面Ｐ１、及び長さ方向Ｌに平行となりかつ前記分離面Ｐ１に垂直となる分布面Ｐ２が定義される。本実施形態において、前記分離面Ｐ１は何れか一方の前記幅広い側面４ａに垂直となり、かつ、前記分離面Ｐ１は、何れか一方の前記幅広い側面４ａの垂直二等分平面であってもよい。前記分布面Ｐ２は何れか一方の前記幅狭い側面４ｂに垂直となり、かつ、前記分布面Ｐ２は何れか一方の前記幅狭い側面４ｂの垂直二等分平面であってもよいが、本発明はこの例に制限されない。例えば、本発明に図示されない他の実施形態において、前記分離面Ｐ１は、何れか一方の前記幅狭い側面４ｂに垂直となってもよい、なお、前記分布面Ｐ２は何れか一方の前記幅広い側面４ａに垂直となる。
【0018】
視点を変えれば、前記バネ状のプローブ４は、第１のセグメント４１と、前記第１のセグメント４１に沿って前記長さ方向Ｌに間隔をあけて配置される第２のセグメント４２と、前記第１のセグメント４１と前記第２のセグメント４２とを接続する２つの行程アーム４３（例えば、何れか一方の前記行程アーム４３における２つのエンド４３１はそれぞれ前記第１のセグメント４１と前記第２のセグメント４２に接続される）とを含む。
【0019】
なかでも、前記第１のセグメント４１は固定端部４１１と、前記固定端部４１１に接続される第１の延伸部４１２とを含む。かつ、前記固定端部４１１は相対的な両側に配置される２つの規制凸部４１１１を有する。前記第２のセグメント４２はテスト端部４２１、及び前記テスト端部４２１に接続される第２の延伸部４２２を含むと共に、前記第１の延伸部４１２と前記第２の延伸部４２２とは互いに隣り合って配置される。
【0020】
また、何れか一方の前記行程アーム４３が前記長さ方向Ｌの長さＬ４３に対応すると共に、長さは前記プローブ長Ｌ４の５０％～９０％である。かつ、何れか一方の前記行程アーム４３の２つの前記エンド４３１はそれぞれ、前記第１の延伸部４１２と前記第２の延伸部４２２とが互いに対応する端面４１３、４２３に接続される。本実施形態において、２つの前記行程アーム４３は前記第１のセグメント４１と前記第２のセグメント４２との間にある空間Ｓに位置すると共に、かつ、前記バネ状のプローブ４は前記長さ方向Ｌに沿って圧迫されることによって、２つの前記行程アーム４３を前記空間Ｓの外部に向かって変形させるが、本発明はこの例に制限されない。例えば、本発明に係る図示されない他の実施形態において、前記バネ状のプローブ４が圧迫されない初期状態において、何れか一方の前記行程アーム４３は局部的に前記空間Ｓの外部に位置してもよい。
【0021】
さらに詳しく、前記第１の延伸部４１２の一部は前記第１のガイドプレートユニット１に位置すると共に、かつ、前記第１の延伸部４１２の他の部分は、前記第１のガイドプレートユニット１と前記第２のガイドプレートユニット２との間に位置する。なお、前記固定端部４１１は、前記第２のガイドプレートユニット２における前記第１のガイドプレートユニット１に離れる外側（例えば、図１における前記第１のガイドプレートユニット１の上側）に位置する。なかでも、前記固定端部４１１における２つの前記規制凸部４１１１は、前記第１のガイドプレートユニット１の外面に当接するために用いられ、前記固定端部４１１（のエンド）は、前記信号トランスプレート２００に当接するために用いられる。
【0022】
また、前記第２の延伸部４２２の一部が前記第２のガイドプレートユニット２内に位置し、かつ、前記第２の延伸部４２２の他の部分は前記第１のガイドプレートユニット１及び前記第２のガイドプレートユニット２の間に位置する。なお、前記テスト端部４２１は、前記第２のガイドプレートユニット２における前記第１のガイドプレートユニット１に離れる外側（例えば、図１における前記第２のガイドプレートユニット２の下側）に位置する。なかでも、前記テスト端部４２１（のエンド）は分離可能に前記テスト対象物に当接するために用いられる。
【0023】
また、２つの前記行程アーム４３は、本実施形態では、前記第１のガイドプレートユニット１と前記第２のガイドプレートユニット２との間に位置する。ところで、２つの前記行程アーム４３は、前記固定端部４１１と前記テスト端部４２１との間に位置しなければならない前記バネ状のプローブ４部分であるが、前記第１のセグメント４１と前記第２のセグメント４２との具体的な構成は、実際のニーズに応じて変更し得、上記の例に制限されない。例えば、本発明に係る図示されない他の実施形態において、前記第１のセグメント４１は前記第１の延伸部４１２を省略してもよく、前記第２のセグメント４２は前記第２の延伸部４２２を省略してもよい。
【0024】
前記バネ状のプローブ４にバネのような機能を付与するために、２つの前記行程アーム４３は下記技術的構成の少なくとも一部を含むが好ましい。図３～図９に示すように、前記行程アーム４３は屈曲状を呈し、２つの前記行程アーム４３は互いに離間して配置されると共に前記分離面Ｐ１の対応的な両側（例えば、図４、図６及び図８参照）に位置する。かつ、何れか一方の前記行程アーム４３の２つの前記エンド４３１はそれぞれ前記分布面Ｐ２の対応的な両側（例えば、図４及び図６参照）に位置する。
【0025】
視点を変えれば、前記第１の延伸部４１２の前記端面４１３、及び前記第２の延伸部４２２の前記端面４２３はそれぞれ、前記分離面Ｐ１と前記分布面Ｐ２によって区画された４つの象限を有してもよい。かつ、前記第１の延伸部４１２における４つの前記象限は、前記長さ方向Ｌに沿って、前記第２の延伸部４２２の４つの前記象限にそれぞれ対応している。
【0026】
なかでも、前記第１の延伸部４１２の前記端面４１３は、互いに対角線上に配置された２つの前記象限のそれぞれによって、２つの前記行程アーム４３と接続すると共に、前記第２の延伸部４２２の前記端面４２３は、互いに対角線上に配置された２つの前記象限のそれぞれによって、２つの前記行程アーム４３に接続する。また、２つの前記行程アーム４３に接続した前記第１の延伸部４１２の２つの前記象限は、前記長さ方向Ｌに沿って、２つの前記行程アーム４３に接続した前記第２の延伸部４２２の２つの前記象限と対応しないように構成される。
【0027】
さらに、２つの前記行程アーム４３はそれぞれ前記分離面Ｐ１に正投影され、交点Ｃを有する２つの投影エリアとして形成される。かつ、前記行程アーム４３のそれぞれに、前記交点Ｃの位置と対応したリカーブポイントが設けられる。即ち、何れか一方の前記行程アーム４３は、順序に接続された２つの弧状部４３２を含み、２つの前記弧状部４３２の接続箇所は、前記リカーブポイントであると共に、２つの前記弧状部４３２はそれぞれ前記分布面Ｐ２における対応的な両側に位置するが、本発明はこの例に制限されない。例えば、２つの前記投影エリアにおける前記交点Ｃの数、及び前記行程アーム４３それぞれの前記リカーブポイントの数は、少なくとも１つであってもよい。
【0028】
また、前記長さ方向Ｌに垂直となる前記バネ状のプローブ４における２つの前記行程アーム４３の断面において、何れか一方の前記行程アーム４３の断面積は、他方の前記行程アーム４３の断面積の９５％～１０５％である（例えば、２つの前記行程アーム４３の断面積が等しい）ことによって、２つの前記行程アーム４３に同様な導電特性（例えば、抵抗）を持たせるようにする。
【0029】
［第２の実施形態］
図１０乃至図１３を参照されたい。図１０～図１３は、本発明に係る第２の実施形態を示す。本実施形態は、上記第１の実施形態とほぼ同様であるために、２つの実施形態の相同点についてはここで繰り返さない。本実施形態の上記第１の実施形態に対する相違点を説明する。
図１０乃至図１３を参照されたい。図１０～図１３は、本発明に係る第２の実施形態を示す。本実施形態は、上記第１の実施形態とほぼ同様であるために、２つの実施形態の相同点についてはここで繰り返さない。本実施形態の上記第１の実施形態に対する相違点を説明する。
【0030】
本実施形態において、２つの前記行程アーム４３はそれぞれ前記分離面Ｐ１に正投影することによって、互いに複数の交点Ｃを有する２つの投影エリアを形成する。かつ、前記行程アーム４３のそれぞれに、位置が複数の前記交点Ｃにそれぞれ対応した複数のリカーブポイントが配置される。なかでも、各前記行程アーム４３の複数の前記交点Ｃの数は、本実施形態では奇数個であり、かつ何れか一方の前記行程アーム４３は順序に接続された複数の弧状部４３２を含み、かつ、複数の前記弧状部４３２はそれぞれ位置ずれるように前記分布面Ｐ２における対応的な両側に位置する。
【0031】
［本発明に係る実施形態］
上記を纏めて、本発明に係る実施形態において、プローブカード装置及びバネ状のプローブでは、「前記固定端部と前記テスト端部との間に２つの前記行程アームが設けられるデザイン（例えば、２つの前記行程アームを互いに離間して、前記分離面の対応的な両側にそれぞれ位置する。２つの前記行程アームはそれぞれ前記分離面に正投影してなる２つの投影エリアは、少なくとも１つの交点を有する）によって、バネのような機能を持たせることで、新しい導電性プローブの構造を実現する。
上記を纏めて、本発明に係る実施形態において、プローブカード装置及びバネ状のプローブでは、「前記固定端部と前記テスト端部との間に２つの前記行程アームが設けられるデザイン（例えば、２つの前記行程アームを互いに離間して、前記分離面の対応的な両側にそれぞれ位置する。２つの前記行程アームはそれぞれ前記分離面に正投影してなる２つの投影エリアは、少なくとも１つの交点を有する）によって、バネのような機能を持たせることで、新しい導電性プローブの構造を実現する。
【0032】
また、本発明に係る実施形態において開示されたプローブカード装置及びバネ状のプローブは、２つの前記行程アームがほぼ同じ断面積を有することによって、２つの前記行程アームに同様な導電特性（例えば、抵抗）を持たせることができる。
【0033】
以上に開示される内容は、好ましい本発明の可能な実施形態に過ぎず、発明の範囲を限定することを意図していない。そのため、本発明の明細書及び図面でなされた均等的な技術的変形は、全て本発明の請求の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【0034】
１０００：プローブカード装置
１００：プローブヘッド
１：第１のガイドプレートユニット
２：第２のガイドプレートユニット
３：スペーサー
４：バネ状のプローブ
４ａ：幅広い側面
４ｂ：幅狭い側面
４１：第１のセグメント
４１１：固定端部
４１１１：規制凸部
４１２：第１の延伸部
４１３：端面
４２：第２のセグメント
４２１：テスト端部
４２２：第２の延伸部
４２３：端面
４３：行程アーム
４３１：エンド
４３２：弧状部
２００：信号トランスプレート
Ｓ：空間
Ｌ：長さ方向
Ｌ４：プローブ長
Ｌ４３：長さ
Ｐ１：分離面
Ｐ２：分布面
Ｃ：交点
１００：プローブヘッド
１：第１のガイドプレートユニット
２：第２のガイドプレートユニット
３：スペーサー
４：バネ状のプローブ
４ａ：幅広い側面
４ｂ：幅狭い側面
４１：第１のセグメント
４１１：固定端部
４１１１：規制凸部
４１２：第１の延伸部
４１３：端面
４２：第２のセグメント
４２１：テスト端部
４２２：第２の延伸部
４２３：端面
４３：行程アーム
４３１：エンド
４３２：弧状部
２００：信号トランスプレート
Ｓ：空間
Ｌ：長さ方向
Ｌ４：プローブ長
Ｌ４３：長さ
Ｐ１：分離面
Ｐ２：分布面
Ｃ：交点
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【手続補正書】
【提出日】2022-09-29
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
互いに離間して配置される第１のガイドプレートユニット及び第２のガイドプレートユニットと、
前記第１のガイドプレートユニット及び前記第２のガイドプレートユニットに挿設されると共に、それぞれに、長さ方向、及び前記長さ方向に平行となる分離面が定義される複数のバネ状のプローブと、
を備え、
前記バネ状のプローブのそれぞれは、前記第１のガイドプレートユニットにおける前記第２のガイドプレートユニットから離れた外側に位置する接触端部と、
前記第２のガイドプレートユニットにおける、前記第１のガイドプレートユニットから離れた外側に位置すると共に、分離可能にテスト対象物に当接するためのテスト端部と、
を含み、
前記バネ状のプローブのそれぞれは、前記接触端部と前記テスト端部との間に、互いに離間して配置されると共に、前記分離面における相対的な両側にそれぞれ配置される２つの行程アームが形成され、前記バネ状のプローブのそれぞれにおいて、各前記行程アームは屈曲状を呈し、順序に接続された２つの弧状部を含み、２つの前記弧状部の接続箇所は、リカーブポイントであり、かつ、２つの前記行程アームがそれぞれ前記分離面に正投影して形成された２つの投影エリアは、前記弧状部が互いに対応すると共に、少なくとも１つの前記リカーブポイントに対応する交点を有し、
前記バネ状のプローブのそれぞれは、前記接触端部を備える第１のセグメント、及び前記テスト端部を備える第２のセグメントを含み、前記バネ状のプローブのそれぞれにおいて、何れか一方の前記行程アームにおける２つのエンドはそれぞれ前記第１のセグメント及び前記第２のセグメントに接続され、
前記分離面に沿って観察する場合、前記第１のセグメントと前記第２のセグメントとの間にある空間が定義され、前記バネ状のプローブは前記長さ方向に沿って圧迫されることによって、２つの前記行程アームを前記空間Ｓの外部に向かって変形させ、
前記長さ方向に垂直となる前記バネ状のプローブのそれぞれにおける２つの前記行程アームの断面において、何れか一方の前記行程アームの断面積は、他方の前記行程アームの断面積の９５％～１０５％である、
ことを特徴とする、プローブカード装置。
前記第１のガイドプレートユニット及び前記第２のガイドプレートユニットに挿設されると共に、それぞれに、長さ方向、及び前記長さ方向に平行となる分離面が定義される複数のバネ状のプローブと、
を備え、
前記バネ状のプローブのそれぞれは、前記第１のガイドプレートユニットにおける前記第２のガイドプレートユニットから離れた外側に位置する接触端部と、
前記第２のガイドプレートユニットにおける、前記第１のガイドプレートユニットから離れた外側に位置すると共に、分離可能にテスト対象物に当接するためのテスト端部と、
を含み、
前記バネ状のプローブのそれぞれは、前記接触端部と前記テスト端部との間に、互いに離間して配置されると共に、前記分離面における相対的な両側にそれぞれ配置される２つの行程アームが形成され、前記バネ状のプローブのそれぞれにおいて、各前記行程アームは屈曲状を呈し、順序に接続された２つの弧状部を含み、２つの前記弧状部の接続箇所は、リカーブポイントであり、かつ、２つの前記行程アームがそれぞれ前記分離面に正投影して形成された２つの投影エリアは、前記弧状部が互いに対応すると共に、少なくとも１つの前記リカーブポイントに対応する交点を有し、
前記バネ状のプローブのそれぞれは、前記接触端部を備える第１のセグメント、及び前記テスト端部を備える第２のセグメントを含み、前記バネ状のプローブのそれぞれにおいて、何れか一方の前記行程アームにおける２つのエンドはそれぞれ前記第１のセグメント及び前記第２のセグメントに接続され、
前記分離面に沿って観察する場合、前記第１のセグメントと前記第２のセグメントとの間にある空間が定義され、前記バネ状のプローブは前記長さ方向に沿って圧迫されることによって、２つの前記行程アームを前記空間Ｓの外部に向かって変形させ、
前記長さ方向に垂直となる前記バネ状のプローブのそれぞれにおける２つの前記行程アームの断面において、何れか一方の前記行程アームの断面積は、他方の前記行程アームの断面積の９５％～１０５％である、
ことを特徴とする、プローブカード装置。
【請求項2】
前記バネ状のプローブのそれぞれの外面に、前記長さ方向に平行となると共に相対的な両側に配置される２つの側面が含まれ、前記バネ状のプローブのそれぞれに、長さ方向に平行となると共に前記分離面に垂直となる分布面が定義され、前記バネ状のプローブのそれぞれは、前記分離面が何れか一方の前記側面に垂直となり、何れか一方の前記行程アームの２つのエンドはそれぞれ前記分布面における対応的な両側に位置する、請求項１に記載のプローブカード装置。
【請求項3】
前記バネ状のプローブのそれぞれは、前記長さ方向において、４ｍｍ以下のプローブ長を有し、前記バネ状のプローブのそれぞれにおいて、少なくとも１つの前記交点の数は奇数であり、かつ、何れか一方の前記行程アームが前記長さ方向に対応した長さは、前記プローブ長の５０％～９０％である、請求項１に記載のプローブカード装置。
【請求項4】
長さ方向、及び長さ方向に平行となる分離面が定義されるバネ状のプローブであって、前記バネ状のプローブは、
信号トランスプレートに当接するための接触端部と、
テスト対象物に分離可能に当接するためのテスト端部と、
を含み、
前記接触端部と前記テスト端部との間に、前記分離面における相対的な両側に配置されると共に、互いに離間して配置される２つの行程アームが形成され、各前記行程アームは屈曲状を呈し、順序に接続された２つの弧状部を含み、２つの前記弧状部の接続箇所は、リカーブポイントであり、かつ、２つの前記行程アームが前記分離面にそれぞれ正投影することで形成された２つの投影エリアは、前記弧状部が互いに対応すると共に、少なくとも１つの前記リカーブポイントに対応する交点を有し、
前記分離面に沿って観察する場合、前記接触端部と前記テスト端部との間にある空間が定義され、前記バネ状のプローブは前記長さ方向に沿って圧迫されることによって、２つの前記行程アームを前記空間の外部に向かって変形させ、
前記長さ方向に垂直となる前記バネ状のプローブの２つの前記行程アームの断面において、何れか一方の前記行程アームの断面積は、他方の前記行程アームの断面積の９５％～１０５％である、
ことを特徴とするバネ状のプローブ。
信号トランスプレートに当接するための接触端部と、
テスト対象物に分離可能に当接するためのテスト端部と、
を含み、
前記接触端部と前記テスト端部との間に、前記分離面における相対的な両側に配置されると共に、互いに離間して配置される２つの行程アームが形成され、各前記行程アームは屈曲状を呈し、順序に接続された２つの弧状部を含み、２つの前記弧状部の接続箇所は、リカーブポイントであり、かつ、２つの前記行程アームが前記分離面にそれぞれ正投影することで形成された２つの投影エリアは、前記弧状部が互いに対応すると共に、少なくとも１つの前記リカーブポイントに対応する交点を有し、
前記分離面に沿って観察する場合、前記接触端部と前記テスト端部との間にある空間が定義され、前記バネ状のプローブは前記長さ方向に沿って圧迫されることによって、２つの前記行程アームを前記空間の外部に向かって変形させ、
前記長さ方向に垂直となる前記バネ状のプローブの２つの前記行程アームの断面において、何れか一方の前記行程アームの断面積は、他方の前記行程アームの断面積の９５％～１０５％である、
ことを特徴とするバネ状のプローブ。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0004】
本発明の実施形態では次のようなプローブカード装置を開示する。プローブカード装置は、互いに分離されて配置される第１のガイドプレートユニット及び第２のガイドプレートユニットと、前記第１のガイドプレートユニット及び前記第２のガイドプレートユニットに挿設する複数のバネ状のプローブと、テスト端部とを含む。前記バネ状のプローブに長さ方向、及び長さ方向に平行となる分離面が定義される。なかでも、前記バネ状のプローブのそれぞれは、接触端部と、前記第２のガイドプレートユニット及び前記第１のガイドプレートユニットに離間する外側とを含む。テスト端部は、前記第１のガイドプレートユニットにおける前記第２のガイドプレートユニットに離間した外側に位置し、かつ、前記テスト端部は分離可能にテスト対象物に当接する。なかでも、前記バネ状のプローブのそれぞれにおいて、前記接触端部と前記テスト端部との間に、前記分離面における相対的な両側に配置される、互いに離間する２つの行程アームが形成される。前記バネ状のプローブのそれぞれにおいて、各前記行程アームは屈曲状に屈曲され、かつ、２つの前記行程アームはそれぞれ前記分離面に投影されて、少なくとも１つの交点を有する２つの投影エリアを形成する。なかでも、前記長さ方向に垂直となる前記バネ状のプローブのそれぞれは、２つの前記行程アームの断面において、何れか一方の前記行程アームの断面積は、他方の前記行程アームの断面積の９５％～１０５％である。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0005】
本発明に係る実施形態において、次のようなバネ状のプローブを開示する。バネ状のプローブに長さ方向、及び長さ方向に平行となる分離面が定義される。前記バネ状のプローブは、信号トランスプレートに当接するための接触端部と、分離可能に当接するためのテスト対象物とを含む。なかでも、前記バネ状のプローブにおいて、前記接触端部と前記テスト端部との間に、前記分離面における相対的な両側に配置されると共に互いに離間する２つの行程アームが形成される。前記行程アームは屈曲状を呈し、かつ、２つの前記行程アームはそれぞれ前記分離面に正投影して、少なくとも１つの交点を有する２つの投影エリアが形成される。なかでも、前記長さ方向に垂直となる前記バネ状のプローブにおける２つの前記行程アームの断面において、何れか一方の前記行程アームの断面積は、他方の前記行程アームの断面積の９５％～１０５％である。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0006】
結論として、本発明に係る実施形態において開示されるプローブカード装置及びバネ状のプローブは、前記接触端部と前記テスト端部との間に位置する２つの前記行程アームの構成（例えば、２つの前記行程アームが互いに離間して前記分離面における対応的な両側に位置する。２つの前記行程アームはそれぞれ前記分離面に正投影して、少なくとも１つの交点を有する２つの投影エリアが形成される。）によって、バネのような機能を持たせることで、新しい導電性プローブの構造を実現する。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0019】
なかでも、前記第１のセグメント４１は接触端部４１１と、前記接触端部４１１に接続される第１の延伸部４１２とを含む。かつ、前記接触端部４１１は相対的な両側に配置される２つの規制凸部４１１１を有する。前記第２のセグメント４２はテスト端部４２１、及び前記テスト端部４２１に接続される第２の延伸部４２２を含むと共に、前記第１の延伸部４１２と前記第２の延伸部４２２とは互いに隣り合って配置される。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0020】
また、何れか一方の前記行程アーム４３が前記長さ方向Ｌの長さＬ４３に対応すると共に、長さは前記プローブ長Ｌ４の５０％～９０％である。かつ、何れか一方の前記行程アーム４３の２つの前記エンド４３１はそれぞれ、前記第１の延伸部４１２と前記第２の延伸部４２２とが互いに対応する端面４１３、４２３に接続される。本実施形態において、２つの前記行程アーム４３は、図１及び図２に示すように、前記分布面Ｐ２の法線方向に沿って観察する場合、前記第１のセグメント４１と前記第２のセグメント４２との間にある空間Ｓに位置すると共に、かつ、前記バネ状のプローブ４は前記長さ方向Ｌに沿って圧迫されることによって、２つの前記行程アーム４３を前記空間Ｓの外部に向かって変形させるが、本発明はこの例に制限されない。例えば、本発明に係る図示されない他の実施形態において、前記バネ状のプローブ４が圧迫されない初期状態において、何れか一方の前記行程アーム４３は局部的に前記空間Ｓの外部に位置してもよい。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0021】
さらに詳しく、前記第１の延伸部４１２の一部は前記第１のガイドプレートユニット１に位置すると共に、かつ、前記第１の延伸部４１２の他の部分は、前記第１のガイドプレートユニット１と前記第２のガイドプレートユニット２との間に位置する。なお、前記接触端部４１１は、前記第２のガイドプレートユニット２における前記第１のガイドプレートユニット１から離れた外側（例えば、図１における前記第１のガイドプレートユニット１の上側）に位置する。なかでも、前記接触端部４１１における２つの前記規制凸部４１１１は、前記第１のガイドプレートユニット１の外面に当接するために用いられ、前記接触端部４１１（のエンド）は、前記信号トランスプレート２００に当接するために用いられる。
【手続補正8】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0022】
また、前記第２の延伸部４２２の一部が前記第２のガイドプレートユニット２内に位置し、かつ、前記第２の延伸部４２２の他の部分は前記第１のガイドプレートユニット１及び前記第２のガイドプレートユニット２の間に位置する。なお、前記テスト端部４２１は、前記第２のガイドプレートユニット２における前記第１のガイドプレートユニット１から離れた外側（例えば、図１における前記第２のガイドプレートユニット２の下側）に位置する。なかでも、前記テスト端部４２１（のエンド）は分離可能に前記テスト対象物に当接するために用いられる。
【手続補正9】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0023】
また、２つの前記行程アーム４３は、本実施形態では、前記第１のガイドプレートユニット１と前記第２のガイドプレートユニット２との間に位置する。ところで、２つの前記行程アーム４３は、前記接触端部４１１と前記テスト端部４２１との間に位置しなければならない前記バネ状のプローブ４部分であるが、前記第１のセグメント４１と前記第２のセグメント４２との具体的な構成は、実際のニーズに応じて変更し得、上記の例に制限されない。例えば、本発明に係る図示されない他の実施形態において、前記第１のセグメント４１は前記第１の延伸部４１２を省略してもよく、前記第２のセグメント４２は前記第２の延伸部４２２を省略してもよい。
【手続補正10】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0031】
［本発明に係る実施形態］
上記を纏めて、本発明に係る実施形態において、プローブカード装置及びバネ状のプローブでは、「前記接触端部と前記テスト端部との間に２つの前記行程アームが設けられるデザイン（例えば、２つの前記行程アームを互いに離間して、前記分離面の対応的な両側にそれぞれ位置する。２つの前記行程アームはそれぞれ前記分離面に正投影してなる２つの投影エリアは、少なくとも１つの交点を有する）によって、バネのような機能を持たせることで、新しい導電性プローブの構造を実現する。
上記を纏めて、本発明に係る実施形態において、プローブカード装置及びバネ状のプローブでは、「前記接触端部と前記テスト端部との間に２つの前記行程アームが設けられるデザイン（例えば、２つの前記行程アームを互いに離間して、前記分離面の対応的な両側にそれぞれ位置する。２つの前記行程アームはそれぞれ前記分離面に正投影してなる２つの投影エリアは、少なくとも１つの交点を有する）によって、バネのような機能を持たせることで、新しい導電性プローブの構造を実現する。
【手続補正11】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0034】
１０００：プローブカード装置
１００：プローブヘッド
１：第１のガイドプレートユニット
２：第２のガイドプレートユニット
３：スペーサー
４：バネ状のプローブ
４ａ：幅広い側面
４ｂ：幅狭い側面
４１：第１のセグメント
４１１：接触端部
４１１１：規制凸部
４１２：第１の延伸部
４１３：端面
４２：第２のセグメント
４２１：テスト端部
４２２：第２の延伸部
４２３：端面
４３：行程アーム
４３１：エンド
４３２：弧状部
２００：信号トランスプレート
Ｓ：空間
Ｌ：長さ方向
Ｌ４：プローブ長
Ｌ４３：長さ
Ｐ１：分離面
Ｐ２：分布面
Ｃ：交点
１００：プローブヘッド
１：第１のガイドプレートユニット
２：第２のガイドプレートユニット
３：スペーサー
４：バネ状のプローブ
４ａ：幅広い側面
４ｂ：幅狭い側面
４１：第１のセグメント
４１１：接触端部
４１１１：規制凸部
４１２：第１の延伸部
４１３：端面
４２：第２のセグメント
４２１：テスト端部
４２２：第２の延伸部
４２３：端面
４３：行程アーム
４３１：エンド
４３２：弧状部
２００：信号トランスプレート
Ｓ：空間
Ｌ：長さ方向
Ｌ４：プローブ長
Ｌ４３：長さ
Ｐ１：分離面
Ｐ２：分布面
Ｃ：交点