特開 2022-163822 液体供給装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022163822

(43)【公開日】2022-10-27

(54)【発明の名称】液体供給装置

(51)【国際特許分類】

   B05C 11/10 20060101AFI20221020BHJP

   F04B 23/06 20060101ALI20221020BHJP

【ＦＩ】

B05C11/10

F04B23/06

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021068884

(22)【出願日】2021-04-15

(71)【出願人】

【識別番号】000145611

【氏名又は名称】株式会社コガネイ

(74)【代理人】

【識別番号】110002066

【氏名又は名称】弁理士法人筒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】矢島 丈夫

【テーマコード（参考）】

3H071

4F042

【Ｆターム（参考）】

3H071AA11

3H071BB01

3H071CC41

3H071CC47

3H071DD04

3H071DD13

3H071DD61

3H071DD72

3H071DD89

4F042AA07

4F042AB00

4F042CA01

4F042CB02

4F042CB08

4F042CB20

4F042CB25

(57)【要約】

【課題】フィルタが設けられた液体供給路内を循環する液体量を増加させ、液体に含まれる異物の低減量を高める。
【解決手段】液体供給装置１０は、液体収容部１１に収容された液体を塗布具１３に供給する液体供給路１２にそれぞれ設けられる第１のポンプ２１および第２のポンプ２２と、塗布具１３に向けて流れる液体を濾過するフィルタ１５と、フィルタを通過した液体を液体収容部１１に戻す戻し流路２７と、を有し、戻し流路２７に液体を供給し塗布具１３への液体の供給を停止する循環モードにおいては、第１のポンプ２１と第２のポンプ２２のいずれかが液体を戻し流路２７に連続的に供給する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被塗布物に液体を塗布する塗布具に、液体収容部に収容された液体を供給する液体供給装置であって、
前記液体収容部に収容された液体を前記塗布具に供給する液体供給路にそれぞれ設けられる第１のポンプおよび第２のポンプと、
前記液体供給路に設けられ、前記塗布具に向けて流れる液体を濾過するフィルタと、
前記フィルタを通過した液体を前記液体収容部に戻す戻し流路と、
前記塗布具に液体を供給し前記戻し流路への液体の供給を停止する塗布モードおよび前記戻し流路に液体を供給し前記塗布具への液体の供給を停止する循環モードに、前記第１のポンプおよび前記第２のポンプを制御する制御部と、
を有し、
前記塗布モードにおいて、前記第１のポンプと前記第２のポンプの一方は、被塗布物へ塗布量の液体を吐出し、
前記循環モードにおいて、前記第１のポンプと前記第２のポンプの他方は、前記戻し流路への戻し流量の液体を連続して流す、液体供給装置。

【請求項2】

請求項１記載の液体供給装置において、
前記第１のポンプと前記第２のポンプは直列に接続され、下流側のポンプと前記塗布具との間に前記フィルタが配置され、前記塗布具と前記フィルタの間に前記戻し流路と前記液体供給路を接続する接続部が設けられる、液体供給装置。

【請求項3】

請求項２に記載の液体供給装置において、
前記接続部と前記塗布具の間に設けられる塗布バルブと、
前記戻し流路に設けられる循環バルブと、を有し、
前記循環モードでは、前記塗布バルブを閉じるとともに前記循環バルブを開き、
前記塗布モードでは、前記塗布バルブを開くとともに前記循環バルブを閉じる液体供給装置。

【請求項4】

請求項２に記載の液体供給装置において、
前記接続部に、前記塗布モードと前記循環モードを切り替える切換手段を設ける、液体供給装置。

【請求項5】

請求項１～４のいずれか１項に記載の液体供給装置において、前記第２のポンプは、少なくとも２つのポンプ室を有し、循環モードにおいて１つのポンプ室が収縮するとき、他のポンプ室は膨張する、液体供給装置。

【請求項6】

請求項２～５のいずれか１項に記載の液体供給装置において、
前記第２のポンプは、前記第１のポンプの上流に設置され、
前記塗布モードでは、前記第１のポンプのみによって塗布量の液体を前記被塗布物に塗布し、前記循環モードでは、前記第２のポンプのみによって戻し流量の液体を前記戻し流路に流す、液体供給装置。

【請求項7】

請求項６記載の液体供給装置において、前記第１のポンプは、径方向に膨張収縮し内側にポンプ室が形成されたチューブフラムと、当該チューブフラムが組み込まれ当該チューブフラムとの間で液体収容室を形成する収容部材と、前記液体収容室内に充填される液媒体とを備え、液媒体により前記チューブフラムを膨張収縮してポンプ動作を行うチューブフラムポンプである、液体供給装置。

【請求項8】

請求項６記載の液体供給装置において、前記第１のポンプは、軸方向に伸縮するベローズと、当該ベローズが組み込まれ当該ベローズとの間で液体収容室を形成する収容部材と、前記液体収容室に充填される液媒体とを備え、前記ベローズを軸方向に伸縮駆動してポンプ動作を行うベローズポンプである、液体供給装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は薬液などの液体を被塗布物に塗布する液体供給装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイスや液晶基板の製造プロセスにおいては、フォトレジスト液などの薬液が使用されている。例えば、半導体デバイスの製造プロセスにおいては、半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を塗布するために、半導体ウエハを水平面内に回転させた状態のもとで、半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を滴下するようにしている。レジスト液の塗布のために使用される薬液供給装置に用いられるポンプには、径方向に膨張収縮自在の可撓性チューブであるチューブフラムを備えたチューブフラムポンプと、軸方向に伸縮自在の可撓性のベローズを備えたベローズポンプ等がある。これらのポンプは、吸入工程と吐出工程とを有する容積式のポンプである。

【0003】

チューブフラムポンプは、特許文献１に記載されるように、流入側の継手部材と流出側の継手部材との間に配置されるチューブフラムつまり可撓性のチューブを有している。チューブの内側は膨張収縮するポンプ室を形成し、チューブの外側には非圧縮性の液媒体が充填される駆動室が形成される。チューブは容器の内部に収容されて容器とチューブとの間に駆動室が形成される容器収容タイプと、径の相違した大小２つのベローズが連結されたベローズの内部に収容され、ベローズとチューブとの間に駆動室が形成されるベローズ収容タイプとがある。

【0004】

容器収容タイプにおいては、容器の外部からの液媒体の給排により、駆動室内の液媒体を介してポンプ室が膨張収縮してポンプ動作が行われる。一方、ベローズ収容タイプにおいては、連結部を軸方向に往復動させることにより、大小２つのベローズの内側に形成される駆動室内の液媒体を介してポンプ室が膨張収縮してポンプ動作が行われる。

【0005】

ベローズポンプは、特許文献２に記載されるように、ポンプケースとしてのポンプブロックと、その内部に配置されるベローズとを有し、ベローズとポンプケースとの間にはポンプ室が形成される。ベローズは軸方向に伸縮自在のベローズ部と、ベローズ部の先端に設けられた先端部と、ベローズ部の基端に設けられた環状の基端部とを備えている。ベローズの内部に配置される駆動軸はベローズ部の先端部に連結され、駆動軸によりベローズ部は軸方向に伸縮してポンプ室が膨張収縮してポンプ動作が行われる。特許文献２は２つのベローズにより２つのポンプ室を交互に膨張収縮させて連続的に液体を吐出するベローズポンプが記載されている。

【0006】

ベローズ収容タイプのチューブフラムポンプを備えた薬液供給装置が特許文献３に記載されている。この薬液供給装置は、ボトルに収容されたレジスト液やポリイミド液等の薬液つまり液体を、ウエハ等の被塗布物に塗布するノズルつまり塗布具に供給する液体供給路を有し、ポンプとフィルタが液体供給路に設けられている。ポンプから吐出された液体は、塗布具に供給されるとともに、液体供給路の上流部やボルトに戻すための戻し流路を有している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２００５－８３３３７号公報

【特許文献2】特開平１０－５４３６８号公報

【特許文献3】特開２０００－１２０５３０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

液体供給路に戻し流路が設けられた液体供給装置においては、塗布具から液体が塗布されていないときには、戻し流路を介して液体を上流部に戻すことができる。これにより、液体はフィルタを複数回通過させて濾過するので、液体に含まれている微小粒子つまりパーティクルや気泡等の異物をフィルタにより除去し、被塗布物に塗布される液体に含まれる異物を低減することができる。

【0009】

近年、半導体製造技術等の分野においては製造歩留まりを向上するために、液体に含まれる異物の低減率ないし低減量をより高めることが望まれている。戻し流路によりボトル側に戻される液体の流量を高めることにより、フィルタを通過する液体の循環回数を増加させれば、被塗布物に含まれる異物の低減量を高めることが考えられる。

【0010】

液体の循環回数を増加させるには、限られた時間内での液体の流量を増加させる必要がある。しかしながら、可撓性の樹脂材料からなるチューブフラムやベローズ等をポンプ部材とするポンプは、被塗布物への塗布量ないし塗布動作に最適化された構造となっており、このタイプのポンプの流量を増加させるには限界がある。

【0011】

本発明の目的は、フィルタが設けられた液体供給路内を循環する液体量を増加させ、液体に含まれる異物の低減量を高めることにある。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本発明の液体供給装置は、被塗布物に液体を塗布する塗布具に、液体収容部に収容された液体を供給する液体供給装置であって、前記液体収容部に収容された液体を前記塗布具に供給する液体供給路にそれぞれ設けられる第１のポンプおよび第２のポンプと、前記液体供給路に設けられ、前記塗布具に向けて流れる液体を濾過するフィルタと、前記フィルタを通過した液体を前記液体収容部に戻す戻し流路と、前記塗布具に液体を供給し前記戻し流路への液体の供給を停止する塗布モードおよび前記戻し流路に液体を供給し前記塗布具への液体の供給を停止する循環モードに、前記第１のポンプおよび前記第２のポンプを制御する制御部と、を有し、前記塗布モードにおいて、前記第１のポンプと前記第２のポンプの一方は、被塗布物へ塗布量の液体を吐出し、前記循環モードにおいて、前記第１のポンプと前記第２のポンプの他方は、前記戻し流路への戻し流量の液体を連続して流す。

【発明の効果】

【0013】

循環モードにおいては戻し流路に液体が連続的に循環し、戻し流路により液体収容部に向けて戻された液体が液体供給路に供給されるので、液体はフィルタを複数回通過し、液体に含まれる異物を低減させることができる。第１と第２のポンプを備えているので、循環モードにおいて液体を常に循環させるとともに、塗布モードにおいて吐出量を高精度に制御できる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】一実施の形態である液体供給装置を示す概略図である。

【図2】液体供給装置の制御回路を示すブロック図である。

【図3】チューブフラムポンプの一例を示す断面図である。

【図4】変形例であるチューブフラムポンプを示す断面図である。

【図5】ベローズポンプの外観を示す正面図である。

【図6】図５におけるＡ－Ａ線断面図である。

【図7】図５におけるＢ－Ｂ線断面図である。

【図8】塗布具からの液体の塗布動作を行うためのポンプ駆動例を示すタイムチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１に示す液体供給装置１０は、液体収容部１１に収容されたフォトレジスト液等の液体Ｌを、半導体ウエハ等の被塗布物Ｗに塗布するために使用される。液体供給装置１０は、配管やホース等からなる液体供給路１２を有し、液体供給路１２の先端にはノズル等の塗布具１３が設けられており、液体供給路１２の基端部には、液体収容部１１が設けられている。

【0016】

２台のポンプ２１、２２が液体供給路１２に直列となって設けられており、液体供給路１２の下流側に設置されるポンプ２１を第１のポンプとし、上流側に設置されるポンプ２２を第２のポンプとする。両方のポンプ２１、２２により液体収容部１１内の液体は塗布具１３に供給される。液体収容部１１は、タンク１１ａと、バッファタンク１１ｂからなり、タンク１１ａ内の液体残量が所定値以下の空となったときには、新たなタンクに交換される。その交換時においても、塗布具１３に液体を供給するために、ポンプ２２の上流側に位置させて液体供給路１２にはバッファタンク１１ｂが設けられている。バッファタンク１１ｂは、空のタンク１１ａを液体が充満された新たなタンク１１ａに交換するための時間的猶予のためであり、タンク１１ａの交換作業はバッファタンク１１ｂ内の液体が空になるまでに行われる。

【0017】

ポンプ２１から吐出された液体を濾過するためのフィルタ１５がポンプ２１よりも下流側に設けられている。フィルタ１５内の気体を外部に排出するためにベント流路１６がフィルタ１５に接続されている。また、バッファタンク１１ｂ内の気体を外部に排出するためにベント流路１７がバッファタンク１１ｂに接続されている。それぞれのベント流路１６、１７には開閉バルブ１８、１９が設けられている。

【0018】

バッファタンク１１ｂ内の気体を外部に排出するために、加圧流路２３がタンク１１ａに接続され、加圧流路２３により外部から不活性ガスである窒素ガスが供給される。開閉バルブ１９によりベント流路１７を開放した状態のもとで、加圧流路２３に設けられた開閉バルブ２４により加圧流路２３から不活性ガスをタンク１１ａ内に供給すると、バッファタンク１１ｂ内の気体はベント流路１７により外部に排出される。開閉バルブ１８によりベント流路１６を開放させた状態のもとで、タンク１１ａ内に不活性ガスを供給すると、フィルタ１５内の気体は外部に排出される。ただし、フィルタ１５内の気体は、開閉バルブ１８によりベント流路１６を開放した状態のもとでポンプ２１から液体を吐出させることによっても排出することができる。それぞれのベント流路１６、１７から気体を排出するときに気体とともに排出された液体等を回収するために、ベント流路１６、１７の排出端は回収容器２５内に配置されている。

【0019】

フィルタ１５により濾過された液体を塗布具１３から被塗布物Ｗに塗布するために、塗布バルブ２６が液体供給路１２に設けられている。フィルタ１５を通過した液体を液体収容部１１に戻すための戻し流路２７が液体供給路１２に接続されている。戻し流路２７の上流端はフィルタ１５と塗布バルブ２６との間の接続部２９で液体供給路１２に接続され、戻し流路２７の下流端部は液体収容部１１に接続されている。戻し流路２７には循環バルブ２８が設けられている。戻し流路２７の下流端部は、タンク１１ａ、バッファタンク１１ｂ、またはバッファタンク１１ｂとポンプ２２との間に接続することができる。

【0020】

図２は液体供給装置の制御回路を示すブロック図であり、上述した第１のポンプ２１、第２のポンプ２２、塗布バルブ２６および循環バルブ２８は、制御部３０により作動が制御される。制御部３０は操作盤２０に接続されており、操作盤２０に設けられた図示しない指令キーにより液体供給装置１０の作動が開始される。制御部３０は制御信号を演算するマイクロプロセッサや制御プログラムが格納されるメモリ等を有している。

【0021】

制御部３０によってポンプ２１、２２とバルブ２６、２８の作動が制御され、液体供給装置１０は塗布モードと循環モードに設定される。図１に示した他の部材も制御部３０から信号により制御されるが、図２においては、塗布モードと循環モードとに設定する部材のみが示されている。

【0022】

図３はチューブフラムポンプ３１を示す断面図であり、このチューブフラムポンプ３１は容積式であり、図１に示したポンプ２１、２２として適用することができる。

【0023】

図３に示されるように、チューブフラムポンプ３１は、収容部材としての円筒形状の収容容器３２と、これの一端部に設けられる流入側の継手部材３３と、他端部に設けられる流出側の継手部材３４とを有している。流入側の継手部材３３には液体供給路１２の流入側部１２ａが接続され、流出側の継手部材３４には流出側部１２ｂが接続される。可撓性のチューブつまりチューブフラム３５が収容容器３２内に設けられており、チューブフラム３５は、流入側の継手部材３３に固定される流入側の固定端部３６と、流出側の継手部材３４に固定される流出側の固定端部３７と、両方の固定端部３６、３７の間の弾性変形部３８とを有している。継手部材３３，３４とチューブフラム３５は、それぞれフッ素樹脂等の合成樹脂により形成されている。

【0024】

チューブフラム３５によりその内側のポンプ室３９と、外側の液体収容室４１とに仕切られており、液体収容室４１はチューブフラム３５と収容容器３２との間に形成されている。このように、チューブフラム３５が収容容器３２内に設けられており、このチューブフラムポンプ３１は容器収容タイプである。

【0025】

液体収容室４１には非圧縮性である液体が液媒体Ｍとして充填されており、収容容器３２に形成された給排ポート４２を介して外部から液体収容室４１に液媒体Ｍが供給される。給排ポンプ４３が給排ポート４２に接続されている。この給排ポンプ４３は直線往復動するロッド４４に取り付けられたベローズ４５を有しており、ロッド４４は電動モータや空気圧シリンダ等の駆動部材により軸方向に駆動される。ベローズ４５の外側の液体収容室４６にも液媒体が充填されており、液媒体Ｍにより液体収容室４６はチューブフラムポンプ３１の液体収容室４１に連通している。

【0026】

給排ポンプ４３を駆動することにより、液体収容室４６から液体収容室４１に向けて液媒体Ｍが供給されると、液体収容室４１の液媒体によりチューブフラム３５の弾性変形部３８は径方向に収縮しポンプ室３９が収縮する。一方、液体収容室４１から液媒体が排出されると、弾性変形部３８は径方向に膨張し、ポンプ室３９が膨張する。逆止弁４７が液体供給路１２の流入側部１２ａに設けられ、逆止弁４８が流出側部１２ｂに設けられており、ポンプ室３９が膨張すると、流入側部１２ａから液体Ｌがポンプ室３９に流入する。このときには、流出側部１２ｂからの液体の逆流が阻止される。一方、ポンプ室３９が収縮すると、ポンプ室３９から流出側部１２ｂに向けて液体Ｌが流出する。このときには、流入側部１２ａへの液体の逆流が阻止される。逆止弁４７を継手部材３３に組み込み、逆止弁４８を継手部材３４に組み込むこともできる。また、給排ポンプ４３にベローズ４５を設けることなく、ロッド４４によって液媒体Ｍを、液体収容室４１に給排してもよい。

【0027】

図４は変形例であるチューブフラムポンプ５１を示す断面図であり、このチューブフラムポンプ５１も図１に示したポンプ２１，２２として適用することができる。

【0028】

このチューブフラムポンプ５１は、チューブフラム３５が収容部材としてのベローズ容器５２の内部に収容されており、ベローズ収容タイプである。ベローズ容器５２は、流入側の継手部材３３に取り付けられる固定リング５３と、流出側の継手部材３４に取り付けられる固定リング５４とを有している。固定リング５３には大型のベローズ５５が設けられ、固定リング５４には小型のベローズ５６が設けられており、両方のベローズ５５，５６の間には作動リング５７が設けられている。大型のベローズ５５の平均有効径は小型のベローズ５６の平均有効径よりも大径である。ベローズ容器５２は、両方の固定リング５３，５４とこれらの間の部分を含めてフッ素樹脂等の剛性樹脂により一体に成形されている。

【0029】

図３に示したものと同様のチューブフラム３５がベローズ容器５２の内部に装着されており、チューブフラム３５とベローズ容器５２の間に液体収容室４１が形成されている。両方のベローズ５５、５６を軸方向に変形させて液体収容室４１の液媒体Ｍを介してポンプ室３９を径方向に膨張収縮させるために、ポンプ駆動ユニット６１がベローズ容器５２に取りつけられている。ポンプ駆動ユニット６１は、電動モータ６２により動力伝達機構６３を介して駆動されるボールねじ６４と、ボールねじ６４にねじ結合されるボールナット６５とを有し、ボールナット６５には作動リング５７に係合する作動部材６６が設けられている。

【0030】

電動モータ６２により作動リング５７が図４において上方に向けて駆動されると、大型のベローズ５５が軸方向に伸張し小型のベローズ５６が軸方向に収縮するので、ベローズ全体の平均有効径が大きくなる。これにより、チューブフラム３５が径方向に膨張しポンプ室３９内に流入側部１２ａから液体Ｌが流入する。一方、作動リング５７が逆方向に駆動されると、大型のベローズ５５が軸方向に収縮し小型のベローズ５６が軸方向に伸張するので、ベローズ全体の平均有効径が小さくなる。これにより、チューブフラム３５が径方向に収縮してポンプ室３９内の液体Ｌが流出側部１２ｂから流出する。

【0031】

したがって、電動モータ６２によりボールナット６５を直線往復動することによってチューブフラム３５の弾性変形部３８が膨張収縮し、図３に示したチューブフラムポンプ３１と同様に、液体Ｌがポンプ室３９から流出側部１２ｂに向けて流出され、ポンプ動作が行われる。

【0032】

図３および図４に示したチューブフラムポンプ３１、５１は、ポンプ室３９からの液体の吐出動作と、吸入動作とが交互に行われる間欠吐出ポンプである。間欠吐出ポンプは吐出量を高精度に制御できる。少なくとも２台のチューブフラムポンプを1つにユニット化し、少なくとも２つのポンプ室を有するポンプとして、１つのポンプ室が収縮して吐出動作を行っている時に、他のポンプ室を膨張させて吸入動作するように設定すると、液体を連続的に吐出できる連続吐出ポンプとなる。

【0033】

図５～図７は、容積式ポンプの変形例としてのベローズポンプ７１を示す。このベローズポンプ７１は、ポンプハウジング７２と駆動ユニット７３とを有し、ポンプハウジング７２は、フッ素樹脂等の合成樹脂からなるポンプブロック７４を備えている。２つのポンプ室３９ａ、３９ｂがポンプブロック７４に形成されており、ポンプ室３９ａにはベローズ７５ａが組み込まれ、ポンプ室３９ｂにはベローズ７５ｂが組み込まれている。それぞれのベローズ７５ａ、７５ｂは、ポンプブロック７４に固定される環状基部７６ａ、７６ｂと閉塞端部７７ａ、７７ｂとこれらの間の伸縮自在のベローズ部７８ａ、７８ｂと有しており、合成樹脂により形成されている。

【0034】

それぞれのベローズ部７８ａ、７８ｂを軸方向に伸縮駆動するために、ベローズ７５ａ、７５ｂの内部には駆動軸７９ａ、７９ｂが配置され、それぞれの駆動軸７９ａ、７９ｂの先端は閉塞端部７７ａ、７７ｂに取り付けられている。ナット８１ａ、８１ｂが駆動軸７９ａ、７９ｂの大径の基端部に取り付けられ、ボールねじ８２ａ、８２ｂがナット８１ａ、８１ｂにねじ結合されている。ボールねじ８２ａ、８２ｂは駆動ユニット７３に設けられた軸受８３ａ、８３ｂにより回転自在に支持されている。ボールねじ８２ａは電動モータ８４ａのシャフトに継手８５ａにより連結され、ボールねじ８２ｂは電動モータ８４ｂのシャフトに継手８５ｂにより連結されている。

【0035】

図７に示されるように、流入側ブロック８６がポンプブロック７４の下面に取り付けられ、流出側ブロック８７が上面に取り付けられている。液体供給路１２の流入側部１２ａに連通する流入流路８８ａ、８８ｂが流入側ブロック８６に形成され、流入流路８８ａはポンプ室３９ａに連通し、流入流路８８ｂはポンプ室３９ｂに連通している。流出側部１２ｂに連通する流出流路８９ａ、８９ｂが流出側ブロック８７に形成され、流出流路８９ａはポンプ室３９ａに連通し、流出流路８９ｂはポンプ室３９ｂに連通している。それぞれの流入流路８８ａ、８８ｂには逆止弁４７ａ、４７ｂが設けられ、それぞれの流出流路８９ａ、８９ｂには逆止弁４８ａ、４８ｂが設けられている。

【0036】

電動モータ８４ａ、８４ｂの駆動により、ベローズ７５ａ、７５ｂを伸張させるとポンプ室３９ａ、３９ｂが収縮し、逆止弁４８ａ、４８ｂを通過して流出側部１２ｂに液体Ｌが吐出される。一方、ベローズ７５ａ、７５ｂを収縮させるとポンプ室３９ａ、３９ｂが膨張し、逆止弁４７ａ、４７ｂを通過して流入側部１２ａから液体が流入する。図６においては、ベローズ７５ｂが伸張し、ベローズ７５ａが収縮した状態が示されている。

【0037】

ベローズポンプ７１は、２つのベローズ７５ａ、７５ｂを備えているので、ベローズ７５ａ、７５ｂの一方を伸張させてポンプ室３９ａ、３９ｂの一方から液体を吐出しているときに、ベローズ７５ａ、７５ｂの他方を収縮させてポンプ室３９ａ、３９ｂの他方に液体を吸入することにより、流出側部１２ｂに連続的に液体Ｌを吐出することができる連続吐出ポンプである。それぞれの電動モータ８４ａ、８４ｂの回転数と回転方向を検出するために、電動モータ８４ａ、８４ｂにはエンコーダ９０ａ、９０ｂが設けられている。

【0038】

図１に示されるように、２台のポンプ２１、２２が液体供給路１２に設けられている。塗布バルブ２６が開放操作され循環バルブ２８が閉塞操作されると、第１のポンプ２１と第２のポンプ２２のどちらか一方は、塗布具１３に液体を供給して、被塗布物Ｗへ塗布量の液体を吐出する。一方、塗布バルブ２６が閉塞操作され循環バルブ２８が開放操作されると、第１のポンプ２１と第２のポンプ２２の他方は、戻し流路２７には戻し流量の液体を供給する。両方のポンプ２１,２２から吐出された液体は、全てフィルタ１５を通過して、戻し流路２７と塗布具１３に供給されるので、液体をフィルタ１５に複数回通過させることにより、液体の清浄度を高めることができる。

【0039】

図８は、下流に設けられる第１のポンプ２１を間欠吐出ポンプとし上流に設けられる第２のポンプを連続吐出ポンプとした場合に、塗布具１３からの液体Ｌの塗布動作を行う塗布モードと循環動作を行う循環モードを示すタイムチャートである。図８の塗布流量は、塗布具１３に流れる液体の流量を示し、循環流量は戻し流路２７を流れる液体の流量を示している。

【0040】

塗布モードにおいては、塗布バルブ２６が開き、循環バルブ２８を閉じるので、被塗布物Ｗに液体が吐出され、戻し流路２７への液体の供給が停止される。一方、循環モードにおいては、塗布バルブ２６を閉じ、循環バルブ２８を開くので、被塗布物Ｗへの吐出が停止され、戻し流路２７への液体が供給される。塗布バルブ２６と循環バルブ２８に代えて、接続部２９に塗布モードと循環モードを切り替える切換手段としての三方弁を設けてもよい。

【0041】

循環モードにおいては連続吐出ポンプである第２のポンプ２２のみを駆動するので、常に戻し流路２７に液体を循環させることができる。そのため、循環モードにおいては、循環する液体量を増加させて、液体に含まれる異物の低減量を高めることができる。また、塗布モードにおいては、間欠吐出ポンプである第１のポンプ２１のみを駆動するので、吐出量を高精度に制御することができる。なお、第１のポンプの吸入動作は、循環モード中に行ってもよいし塗布モード中に行ってもよい。

【0042】

両方のポンプ２１、２２としてチューブフラムポンプ３１、５１とベローズポンプ７１の一方を使用すると、ピストンタイプのポンプと相違して、摺動部分がないので、摩耗粉等の異物が液体に含まれる可能性を低減することができる。また、両方のポンプ２１、２２を直列に配置すると、常に液体が両方のポンプ２１、２２を通過するので、パーティクルの発生を抑制することができ、液体の清浄度を高めることができる。さらに、第１のポンプ２１を間欠吐出ポンプとして、第２のポンプ２２を連続吐出ポンプとすると、液体の吐出精度をより高めることができる。

【0043】

本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、第１のポンプを連続吐出ポンプとし第２のポンプを間欠吐出ポンプとして、塗布モードにおいて第２のポンプ２２を駆動して第１のポンプ２１を停止し、循環モードにおいて第１のポンプ２１を停止して第２のポンプ２２を駆動するようにしてもよい。

【符号の説明】

【0044】

１０ 液体供給装置
１１ 液体収容部
１２ 液体供給路
１３ 塗布具
１５ フィルタ
２１ 第１のポンプ
２２ 第２のポンプ
２６ 塗布バルブ
２７ 戻し流路
２８ 循環バルブ
２９ 接続部
３１ チューブフラムポンプ
３２ 収容容器
３５ チューブフラム
３８ 弾性変形部
３９ ポンプ室
４１、４６ 液体収容室
５１ チューブフラムポンプ
５２ ベローズ容器
５５、５６ ベローズ
５７ 作動リング
６１ ポンプ駆動ユニット
７１ ベローズポンプ
７５ａ、７５ｂ ベローズ
７９ａ 駆動軸
８４ａ、８４ｂ 電動モータ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】