特開 2022-164003 基板処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022164003

(43)【公開日】2022-10-27

(54)【発明の名称】基板処理装置

(51)【国際特許分類】

   G05B 19/409 20060101AFI20221020BHJP

   H01L 21/301 20060101ALN20221020BHJP

【ＦＩ】

G05B19/409 C

H01L21/78 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021069194

(22)【出願日】2021-04-15

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】中西 佑太

(72)【発明者】

【氏名】桧山 正晃

(72)【発明者】

【氏名】女屋 拓土

【テーマコード（参考）】

3C269

5F063

【Ｆターム（参考）】

3C269AB07

3C269AB11

3C269AB27

3C269BB07

3C269CC02

3C269QC01

3C269QD02

3C269QE12

3C269QE15

3C269QE17

3C269QE22

3C269QE26

5F063AA29

5F063CA04

5F063DE02

5F063DE11

5F063DE33

5F063EE21

(57)【要約】

【課題】切り替えて表示する複数の画面の画像を効率的に取得できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、基板を保持する保持ユニット１０と、該保持ユニット１０に保持された基板に処理を行う加工ユニット２０と、基板処理装置１に関する情報を表示する表示部３１と、制御ユニット４０と、を備える。制御ユニット４０は、表示部３１に切り替えて表示される複数の画面を記憶する画面情報記憶部４１１と、複数の画面の内、選択された任意の画面を示すお気に入りリストを記憶するリスト記憶部４１２と、お気に入りリストに記憶された画面の画像を一括で取得する画像取得部４２２と、を有する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板に任意の処理を行う基板処理装置であって、
基板を保持する保持ユニットと、
該保持ユニットに保持された基板に処理を行う処理ユニットと、
該基板処理装置に関する情報を表示する表示部と、
制御ユニットと、を備え、
該制御ユニットは、
該表示部に切り替えて表示される複数の画面を記憶する画面情報記憶部と、
複数の該画面の内、選択された任意の該画面を示すお気に入りリストを記憶するリスト記憶部と、
該お気に入りリストに記憶された該画面の画像を一括で取得する画像取得部と、
を有することを特徴とする基板処理装置。

【請求項2】

該制御ユニットは、
該画面を該お気に入りリストに登録するお気に入りボタンを複数の前記画面のそれぞれに表示させる表示制御部と、
該お気に入りボタンが選択された該画面を該お気に入りリストに登録する登録部と、
をさらに有することを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。

【請求項3】

該制御ユニットは、
該表示部に複数の該画面のサムネイルを表示するサムネイル画面を生成する生成部と、
該サムネイル画面において、選択された該サムネイルの該画面を該お気に入りリストに登録する登録部と、
をさらに有することを特徴とする請求項１または２に記載の基板処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板処理装置に関する。

【背景技術】

【0002】

加工装置は、複数の画面を用いてオペレータの操作を受け付け、加工装置の加工条件を入力させる。例えば、特許文献１には、加工装置の操作方法またはユーザメンテナンス方法を説明するための動画の中から所望の動画を選択して表示して、所望の操作方法やユーザメンテナンス方法を理解させる加工装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１０－４９４６６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

従来の加工装置では、複数の画面を切り替えて加工条件を設定する場合、加工条件を確認するために、複数の画面の画像を取得することがある。しかし、従来の加工装置は、オペレータが取得したい画面が複数ある場合、複数の画面を切り替えて画面の画像を取得するので、オペレータの作業負担が増加するという問題がある。このような問題は、基板に処理を行う基板処理装置の全般に発生する問題である。

【0005】

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、切り替えて表示する複数の画面の画像を効率的に取得できる基板処理装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の基板処理装置は、基板に任意の処理を行う基板処理装置であって、基板を保持する保持ユニットと、該保持ユニットに保持された基板に処理を行う処理ユニットと、該基板処理装置に関する情報を表示する表示部と、制御ユニットと、を備え、該制御ユニットは、該表示部に切り替えて表示される複数の画面を記憶する画面情報記憶部と、複数の該画面の内、選択された任意の該画面を示すお気に入りリストを記憶するリスト記憶部と、該お気に入りリストに記憶された該画面の画像を一括で取得する画像取得部と、を有することを特徴とする。

【0007】

前記基板処理装置において、該制御ユニットは、該画面を該お気に入りリストに登録するお気に入りボタンを複数の前記画面のそれぞれに表示させる表示制御部と、該お気に入りボタンが選択された該画面を該お気に入りリストに登録する登録部と、をさらに有してもよい。

【0008】

前記基板処理装置において、該制御ユニットは、該表示部に複数の該画面のサムネイルを表示するサムネイル画面を生成する生成部と、該サムネイル画面において、選択された該サムネイルの該画面を該お気に入りリストに登録する登録部と、をさらに有してもよい。

【発明の効果】

【0009】

本願発明の加工装置は、切り替えて表示する複数の画面の画像を効率的に取得できるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、実施形態に係る基板処理装置の構成例を示す斜視図である。

【図2】図２は、実施形態に係る基板処理装置の機能構成の一例を模式的に示す図である。

【図3】図３は、実施形態に係る基板処理装置が用いる画面の一例を示す図である。

【図4】図４は、実施形態に係る基板処理装置の画面の登録に関する処理手順の一例を示すフローチャートである。

【図5】図５は、画面情報に基づくデバイスデータ画面の一例を示す図である。

【図6】図６は、画面情報に基づくターゲットデータ画面の一例を示す図である。

【図7】図７は、実施形態に係る基板処理装置の画面登録に関する画面の遷移例を説明するための図である。

【図8】図８は、実施形態に係る基板処理装置の画面の他の登録に関する処理手順の一例を示すフローチャートである。

【図9】図９は、図８に示す画面登録処理の処理手順の一例を示すフローチャートである。

【図10】図１０は、図８に示す画像確認処理の処理手順の一例を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明に係る実施形態につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。以下の各実施形態において、同一の部位には同一の符号を付することにより重複する説明を省略する。

【0012】

以下に説明する実施形態において、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。水平面内の一方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向をＺ軸方向とする。Ｘ軸及びＹ軸を含むＸＹ平面は、水平面と平行である。ＸＹ平面と直交するＺ軸方向は、鉛直方向である。

【0013】

〔実施形態〕
本発明の実施形態に係る基板処理装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態に係る基板処理装置の構成例を示す斜視図である。図２は、実施形態に係る基板処理装置の機能構成の一例を模式的に示す図である。

【0014】

図１に示すように、実施形態に係る基板処理装置１は、加工対象である被加工物１００（基板）に任意の処理を行う装置である。換言すると、基板処理装置１は、例えば、被加工物１００の加工の処理を行う加工装置である。被加工物１００は、基板の一例である。被加工物１００は、例えば、シリコン、サファイア、ガリウムヒ素等を基板１０１とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。被加工物１００は、粘着テープ１０３を介して、環状のフレーム１０２の開口に基板１０１を支持して構成される。

【0015】

基板処理装置１は、箱形の筐体である本体２を備える。基板処理装置１は、保持ユニット１０と、加工ユニット２０と、タッチパネル３０と、制御ユニット４０と、を備える。制御ユニット４０は、保持ユニット１０、加工ユニット２０及びタッチパネル３０と電気的に接続されている。

【0016】

保持ユニット１０は、保持面で被加工物１００を保持する。保持ユニット１０は、不図示の吸引源と連通しており、吸引源から供給される負圧によって被加工物１００を吸引保持する。保持ユニット１０は、後述するＸ軸移動手段２２によってＸ軸方向に沿って移動可能であり、不図示の回転駆動源によってＺ軸周りに回転可能である。保持ユニット１０は、例えば、チャックテーブルである。

【0017】

本実施形態では、基板処理装置１は、図２に示すように、撮像ユニット１２、駆動手段１４及びＺ軸移動手段１５をさらに備える。制御ユニット４０は、撮像ユニット１２、駆動手段１４及びＺ軸移動手段１５と電気的に接続されている。

【0018】

図１及び図２に示すように、撮像ユニット１２は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサを搭載した電子顕微鏡である。撮像ユニット１２は、保持ユニット１０の保持面上に保持された被加工物１００の表面を撮像する。撮像ユニット１２は、加工ユニット２０用のハウジングの一部に取り付け支持されることで一体化されており、ボールねじ、ナット、パルスモータ等によるＺ軸移動手段１５によってＺ軸方向に移動可能に設けられている。撮像ユニット１２は、例えば、保持ユニット１０の保持面に保持された被加工物１００の表面に照明光を照射する光源を備えてもよい。

【0019】

加工ユニット２０は、保持ユニット１０に保持された被加工物１００を加工する。すなわち、加工ユニット２０は、保持ユニット１０に保持された基板に処理を行う処理ユニットの一例である。加工ユニット２０は、例えば、一対の切削手段であり、それぞれ切削ブレードを有する。一対の切削手段のそれぞれの切削ブレードは、Ｙ軸方向において互いに対向しており、いずれもＹ軸周りに回転する。加工ユニット２０は、回転する切削ブレードによって、被加工物１００に対して切削加工を施す。加工ユニット２０は、Ｙ軸移動手段２７によってＹ軸方向に沿って移動可能であり、Ｚ軸移動手段１５によってＺ軸方向に沿って移動可能である。保持ユニット１０の保持面に対して撮像ユニット１２や加工ユニット２０を相対的にＹ軸方向に移動させるＹ軸移動手段２７は、ボールねじ、ナット、パルスモータ等からなり、Ｘ軸移動手段２２とともに駆動手段１４を構成する。

【0020】

基板処理装置１は、Ｘ軸移動手段２２、Ｙ軸移動手段２７及びＺ軸移動手段１５により、保持ユニット１０と加工ユニット２０とを相対移動させることにより、保持ユニット１０に保持された被加工物１００を加工する。

【0021】

なお、基板処理装置１が備える加工ユニット２０は、切削ブレードで被加工物１００を切削加工する切削ユニットに限定されない。他には、加工ユニット２０は、例えば、研削砥石等で同様の被加工物１００を研削加工する研削ユニットや、研磨パッド等で同様の被加工物１００を研磨加工する研磨ユニットや、同様の被加工物１００にレーザービームを照射してレーザー加工するレーザー加工ユニットなどでもよい。

【0022】

タッチパネル３０は、図１に示すように、表示面を外側に向けた状態で本体２に設置される。タッチパネル３０は、基板処理装置１の本体２において見やすくて操作しやすい箇所に配設される。タッチパネル３０は、制御ユニット４０による制御の下、撮像ユニット１２が撮像した被加工物１００の表面の画像や加工処理に必要な各種情報を表示するとともに、加工処理に必要な入力操作等をオペレータから受け付ける。本実施形態では、タッチパネル３０は、表示部の一例である。

【0023】

タッチパネル３０は、図２に示すように、基板処理装置１に関する各種情報を表示する表示部３１と、加工条件の設定入力など、基板処理装置１に関する各種操作入力をオペレータから受け付ける入力部３２と、を有する。表示部３１は、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどの表示デバイスを有する。入力部３２は、例えば、表示デバイスの表示面における物体の接触位置や座標を指定するタッチスクリーンを有する。

【0024】

本実施形態では、タッチパネル３０は、各種情報を出力する出力部の一例である場合について説明するが、これに限定されない。例えば、基板処理装置１の出力部は、スピーカー、通信装置等の電子機器で実現してもよい。

【0025】

制御ユニット４０は、記憶部４１と、制御部４２とを備える。本実施形態では、制御ユニット４０は、記憶部４１と制御部４２とを備えるユニットである場合について説明するが、これに限定されない。例えば、制御ユニット４０は、制御部４２のみを備え、記憶部４１を備えない構成としてもよい。この場合、制御ユニット４０は、記憶部４１に相当する記憶装置と電気的に接続する構成とすればよい。記憶装置は、例えば、基板処理装置１の外部のコンピュータ及び電子機器、他の基板処理装置１等の基板処理装置１がアクセス可能な記憶装置を含む。

【0026】

記憶部４１は、制御ユニット４０により実行される各種処理等の機能を実現するプログラムや、かかるプログラムによる処理に用いられるデータなどを記憶する。記憶部４１は、制御ユニット４０と電気的に接続されている。記憶部４１は、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）や半導体メモリ等により実現できる。記憶部４１は、制御ユニット４０が備える制御部４２が制御プログラムに記述された命令を実行する際の一時的な作業領域としても利用されてもよい。基板処理装置１の外部のコンピュータ及び電子機器、他の基板処理装置１等の基板処理装置１がアクセス可能な記憶装置とすることができる。

【0027】

記憶部４１は、画面情報記憶部４１１と、リスト記憶部４１２と、画像情報記憶部４１３と、を有する。画面情報記憶部４１１は、表示部３１に切り替えて表示される複数の画面を記憶する。画面を記憶するとは、例えば、画面を表示するための画面情報、または、画面を識別可能な画面情報を記憶部４１に記憶することを意味する。複数の画面の一例について、後述する。リスト記憶部４１２は、複数の画面のうち、選択された任意の画面を示すお気に入りリストを記憶する。お気に入りリストは、例えば、画面を表示させることなく、画面の画像を取得するためのリストである。リストは、例えば、お気に入りとして記憶（登録）された画面の一覧を示す情報を含む。リスト記憶部４１２は、例えば、オペレータ、基板の種類、加工の工程、製品の種類等の登録名称に紐付けた複数のお気に入りリストを記憶できる。画像情報記憶部４１３は、画面の画像を示す画像情報を記憶する。画像情報は、例えば、お気に入りリストに記憶された画面の画像、スクリーンショット、画面キャプチャ等の機能によって得られた画面の画像等を示す情報を含む。

【0028】

制御部４２は、基板処理装置１を駆動する各機構（Ｘ軸移動手段２２、Ｙ軸移動手段２７、Ｚ軸移動手段１５）を制御する。制御部４２は、基板処理装置１の各部を制御し、基板処理装置１による加工処理を実現する。制御部４２は、例えばオペレータにより入力設定された加工条件に従って、保持ユニット１０や加工ユニット２０を含む基板処理装置１の各部を制御し、被加工物１００の加工処理を実現する。

【0029】

制御部４２は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）などの記憶装置と、入出力インターフェース装置とを備える。制御部４２は、かかる装置を用いて、基板処理装置１が実施する一連の加工工程に従い、上述した各構成要素を制御するための制御プログラムなどを実行可能なコンピュータである。

【0030】

制御部４２は、タッチパネル３０の入力部３２を介してオペレータにより設定された加工条件に従って、基板処理装置１の動作全般を制御する。制御部４２は、操作可能な画面をタッチパネル３０に表示させ、該操作画面の操作ボタンに対する操作に応じて加工ユニット２０の動作を制御する。

【0031】

制御部４２は、表示制御部４２１と、画像取得部４２２と、登録部４２３と、生成部４２４との機能を備える。制御部４２は、プログラムを実行することにより、各部の機能、作用等を実現する。

【0032】

表示制御部４２１は、基板処理装置１の各種工程に応じた画面を、タッチパネル３０の表示部３１に表示させる。画面は、例えば、基板処理装置１の操作、メンテナンス等に用いる画面を含む。画面は、例えば、ＨＴＭＬ（Hyper Text Markup Language）形式の情報に含まれるＨＴＭＬタグに基づいてタッチパネル３０に表示された画面（オブジェクト）である。画面は、例えば、操作ボタン、入力欄、撮像ユニット１２が撮像した画像等を有する。画面は、基板処理装置１における操作内容に応じた構成となっている。表示制御部４２１は、表示部３１に表示されている画面を画像として取得する画像取得ボタンを、表示部３１における所望の位置に表示させる。表示制御部４２１は、例えば、画像取得ボタンを表示部３１のタスクバーに表示させたり、画像取得ボタンを操作画面に重畳表示させたりする。また、表示制御部４２１は、画面をお気に入りリストに登録するお気に入りボタンを複数の画面のそれぞれに表示させる。表示制御部４２１は、表示部３１に表示させている画面をお気に入りリストに登録するためのお気に入りボタンを、画面の所望の位置に表示させる。

【0033】

画像取得部４２２は、お気に入りリストに記憶された画面の画像を一括で取得する。画面の画像を一括で取得するとは、例えば、お気に入りリストに記憶された全てまたは一部の画面の画像を取得することを意味する。お気に入りリストに複数の画面が記憶されている場合、画像取得部４２２は、複数の画面の画像を一括して取得する。画像取得部４２２は、例えば、予め設定されたタイミングで、お気に入りリストに記憶された画面の画像を一括で取得する。タイミングは、例えば、所定の操作を検出したタイミング、予め設定された工程、処理等が終了したタイミング等を含む。また、画像取得部４２２は、画像取得ボタンが操作された場合に、表示部３１に表示している画面のみの画像を取得する。画像取得部４２２は、取得した画像を示す画像情報を画像情報記憶部４１３に記憶する。

【0034】

登録部４２３は、お気に入りボタンが選択された画面を該お気に入りリストに登録する。お気に入りリストに登録するとは、画面をお気に入りリストに記憶することを意味する。登録部４２３は、例えば、選択された画面の画面情報、選択された画面を識別可能な情報等を記憶部４１のリスト記憶部４１２に記憶することで、画面をお気に入りリストに記憶（登録）する。登録部４２３は、お気に入りリストへの登録名、ラベル等の関連情報をお気に入りリストに紐付ける機能を有する。

【0035】

生成部４２４は、表示部３１に複数の画面のサムネイルを表示するサムネイル画面を生成する。生成部４２４は、複数の画面の画像を縮小したサムネイルを一覧表示するサムネイル画面を生成する。例えば、生成部４２４は、画面情報記憶部４１１の画像情報に基づく画面のサムネイルを一覧表示するサムネイル画面を生成する。サムネイル画面は、表示制御部４２１の制御によって表示部３１に表示される。サムネイル画面は、例えば、お気に入りリストへの登録名を設定する設定項目をさらに有する。サムネイル画面の一例については、後述する。生成部４２４は、例えば、お気に入りリストに登録された画面のサムネイルを一覧表示するサムネイル画面、お気に入りリストに登録された画面のサムネイルを編集するためのサムネイル画面等を生成してよい。

【0036】

表示制御部４２１は、サムネイル画面を表示するように、表示部３１を制御する。表示制御部４２１は、例えば、オペレータの操作に応じて、サムネイル画面のサムネイルを選択状態と非選択状態とに切り替えて表示するように、表示部３１を制御する。

【0037】

登録部４２３は、サムネイル画面において、選択されたサムネイルの画面をお気に入りリストに登録する。登録部４２３は、選択されたサムネイルに対応する画面を特定し、該画面の画面情報、該画面を識別可能な情報等をリスト記憶部４１２に記憶する。登録部４２３は、お気に入りリストへの登録名を示す情報を紐づけて、お気に入りリストを登録する。

【0038】

以上、本実施形態に係る基板処理装置１の構成例について説明した。なお、図１及び図２を用いて説明した上記の構成はあくまで一例であり、本実施形態に係る基板処理装置１の構成は係る例に限定されない。本実施形態に係る基板処理装置１の機能構成は、仕様や運用に応じて柔軟に変形可能である。

【0039】

（複数の画面の例）
図３は、実施形態に係る基板処理装置１が用いる画面の一例を示す図である。図３に示すように、基板処理装置１は、複数の画面の画面情報５００を画面情報記憶部４１１に記憶している。複数の画面情報５００は、記憶部４１に記憶されている。基板処理装置１の表示制御部４２１は、複数の画面情報５００が示す画面を切り替えて表示するように、表示部３１を制御する。複数の画面情報５００は、それぞれの画面を表示するためのＨＴＭＬ等の情報含む。

【0040】

複数の画面情報５００は、例えば、デバイスデータ画面、アライメントデータ画面、ターゲットデータ画面、洗浄データ画面、プリカットスペック画面、カーフチェックデータ画面等に対応した情報を含む。

【0041】

デバイスデータ画面は、デバイスデータに関わる各種データの画面である。デバイスデータは、カットに関わる基本条件を示すデータを含む。デバイスデータは、設定・変更・確認可能なデータである。アライメントデータ画面は、基板処理装置１のアライメント動作に関わる画面である。ターゲットデータ画面は、被加工物１００のターゲットに関わる画面である。ターゲットは、例えば、キーパターン、デバイス等を含む。洗浄データ画面は、スピンナ洗浄、搬送動作、切削水等に関わるデータを設定する画面である。プリカットスペック画面は、ブレードを製品加工に適した状態に整える動作を設定する画面である。カーフチェックデータ画面は、カーフチェック動作を設定、確認する画面である。カーフチェックとは、カッティング中、カットラインの切削状況をダイサーが自動でチェックする動作である。

【0042】

例えば、基板処理装置１が処理する被加工物１００の設計図等に基づいて加工条件データをオペレータが作成する場合、作成した加工条件を第三者に確認してもらう。この場合、基板処理装置１は、複数の画面情報５００が示す画面を切り替えて表示部３１に表示することで、オペレータに加工条件データを作成させる。基板処理装置１は、切り替えて表示する複数の画面のうち、加工条件データの作成に用いる画面の画像を一括で取得する機能をオペレータに提供できる。

【0043】

（基板処理装置における画面の登録例）
次に、実施形態に係る基板処理装置１が実行する画面の登録例を説明する。図４は、実施形態に係る基板処理装置１の画面の登録に関する処理手順の一例を示すフローチャートである。図４に示す処理手順は、基板処理装置１の制御部４２がプログラムを実行することによって実現される。図４に示す処理手順は、例えば、複数の画面のうちの１つの画面を、予め設定された順序で切り替えて表示部３１に表示する場合に、基板処理装置１の制御部４２によって実行される。

【0044】

図４に示す処理手順では、基板処理装置１の制御部４２は、画面を切り替えて表示部３１に表示させる（ステップ１１０１）。例えば、制御部４２は、画面情報記憶部４１１から切り替えて表示する画面の画面情報５００を取得し、該画面情報５００を表示するように表示部３１を制御する。例えば、制御部４２は、表示部３１が表示している画面５１０から切り替え対象の画面５１０に表示を遷移させるように、表示部３１を制御することで、画面５１０の表示を切り替える。

【0045】

図５は、画面情報５００に基づくデバイスデータ画面の一例を示す図である。図６は、画面情報５００に基づくターゲットデータ画面の一例を示す図である。図５に示す画面５１０は、画面情報５００が示すデバイスデータ画面の一例であり、デバイスデータの複数の設定項目に対応した複数の入力欄を有する。図６に示す画面５１０は、画面情報５００が示すターゲットデータ画面の一例であり、基板処理装置１の複数のチャンネルの画像の表示領域を有する。

【0046】

図５及び図６に示す画面５１０は、ＥＮＴＥＲボタン５１１とＥＸＩＴボタン５１２とを有する。ＥＮＴＥＲボタン５１１は、画面５１０で設定したデータを登録するボタンである。ＥＸＩＴボタン５１２は、画面５１０の変更内容を登録さずに画面５１０を切り替えるボタンである。画面５１０は、画像取得ボタン５１３とお気に入りボタン５１４とをさらに有する。画像取得ボタン５１３とお気に入りボタン５１４とは、画面５１０の右上の角付近に表示されているが、表示位置はこれに限定されない。画像取得ボタン５１３は、画面の画像の取得をオペレータ等に指示させるためのボタンである。お気に入りボタン５１４は、お気に入りリストに登録する画面をオペレータ等に選択させるボタンである。お気に入りボタン５１４は、例えば、選択状態と非選択状態との識別が可能なように、異なる表示態様で表示される。お気に入りボタン５１４は、選択状態の場合が第１表示態様、非選択状態の場合が第１表示態様とは異なる第２表示態様で表示される。なお、画像取得ボタン５１３は、オペレータが長押しした場合に、お気に入りリストに登録された画面の画像を一括で取得するためのボタンとして機能する。

【0047】

図４に戻り、制御部４２は、画面５１０を表示部３１に表示させると、処理をステップ１１０２に進める。制御部４２は、画像取得ボタン５１３が操作されたか否かを判定する（ステップ１１０２）。例えば、制御部４２は、入力部３２を介して、画像取得ボタン５１３に対する操作を検出した場合に、画像取得ボタン５１３が操作されたと判定する。制御部４２は、画像取得ボタン５１３が操作されたと判定した場合（ステップ１１０２でＹｅｓ）、処理をステップ１１０３に進める。

【0048】

制御部４２は、表示部３１に表示している画面５１０の画像情報を取得する（ステップ１１０３）。例えば、制御部４２は、画面５１０のお気に入りボタン５１４を第１表示態様に変更させ、画面５１０に対応した画面情報記憶部４１１の画面情報から画像情報を取得する。例えば、制御部４２は、スクリーンショットの機能により、表示部３１の表示内容の画像情報を取得してもよい。制御部４２は、取得した画像情報を記憶部４１に記憶する（ステップ１１０４）。例えば、制御部４２は、取得した画像情報に、関連情報を紐づけて記憶部４１の画像情報記憶部４１３に記憶する。関連情報は、例えば、画像取得ボタン５１３を操作したオペレータ、被加工物１００等を識別可能な情報を含む。制御部４２は、ステップ１１０４の処理が終了すると、処理を後述するステップ１１０７に進める。

【0049】

また、制御部４２は、画像取得ボタン５１３が操作されていないと判定した場合（ステップ１１０２でＮｏ）、処理をステップ１１０５に進める。制御部４２は、お気に入りボタン５１４が操作されたか否かを判定する（ステップ１１０５）。例えば、制御部４２は、入力部３２を介して、お気に入りボタン５１４に対する操作を検出した場合に、お気に入りボタン５１４が操作されたと判定する。制御部４２は、お気に入りボタン５１４が操作されていないと判定した場合（ステップ１１０５でＮｏ）、処理を後述するステップ１１０７に進める。

【0050】

また、制御部４２は、お気に入りボタン５１４が操作されたと判定した場合（ステップ１１０５でＹｅｓ）、処理をステップ１１０６に進める。制御部４２は、選択された画面をお気に入りリストに登録する（ステップ１１０６）。例えば、制御部４２は、リスト記憶部４１２における登録対象のお気に入りリストを特定し、選択された画面を示す情報を該お気に入りリストに登録する。例えば、制御部４２は、リスト記憶部４１２における登録対象のお気に入りリストが存在しない場合、リスト記憶部４１２に新規のお気に入りリストを作成し、選択された画面を示す情報を該お気に入りリストに登録する。制御部４２は、ステップ１１０６の処理が終了すると、処理をステップ１１０７に進める。

【0051】

制御部４２は、画面５１０の表示を切り替えるか否かを判定する（ステップ１１０７）。例えば、制御部４２は、入力部３２を介いて、ＥＮＴＥＲボタン５１１、ＥＸＩＴボタン５１２等の操作を検出した場合、画面５１０の表示を切り替えると判定する。制御部４２は、画面５１０の表示を切り替えないと判定した場合（ステップ１１０７でＮｏ）、処理を既に説明したステップ１１０２に戻り、処理を継続する。また、制御部４２は、画面５１０の表示を終了すると判定した場合（ステップ１１０７でＹｅｓ）、処理をステップ１１０８に進める。

【0052】

制御部４２は、画面５１０の操作に応じた処理を実行する（ステップ１１０８）。例えば、操作がＥＮＴＥＲボタン５１１を選択する操作である場合、制御部４２は、画面の設定内容をデータに反映する処理を実行する。例えば、操作がＥＸＩＴボタン５１２を選択する操作である場合、制御部４２は、画面の変更内容を無効とする処理を実行する。制御部４２は、ステップ１１０８の処理が終了すると、処理をステップ１１０９に進める。

【0053】

制御部４２は、画像を一括で取得するか否かを判定する（ステップ１１０９）。例えば、制御部４２は、予め設定された画像を一括で取得するタイミングである場合に、画像を一括で取得すると判定する。一括で取得するタイミングは、例えば、オペレータの所定の操作を検出したタイミング、所定の画面に対する設定が終了したタイミング、加工条件データを作成するタイミング等を含む。例えば、一括で取得するタイミングを、基板処理装置１のアライメントティーチ終了時とすることで、制御部４２は、ティーチしたターゲットの画像も保存することができる。制御部４２は、画像を一括で取得しないと判定した場合（ステップ１１０９でＮｏ）、図４に示す処理手順を終了させる。また、制御部４２は、画像を一括で取得すると判定した場合（ステップ１１０９でＹｅｓ）、処理をステップ１１１０に進める。

【0054】

制御部４２は、お気に入りリストに登録された画面５１０の画像を一括で取得する（ステップ１１１０）。例えば、制御部４２は、リスト記憶部４１２から対象のお気に入りリストを取得し、該お気に入りリストに登録された画面５１０の全てに対応する画面情報５００を画面情報記憶部４１１から特定し、該画面情報５００に基づいて画面５１０の画像を取得する。制御部４２は、ステップ１１１０の処理が終了すると、処理をステップ１１１１に進める。

【0055】

制御部４２は、取得した画像に対する処理を実行する（ステップ１１１１）。画像に対する処理は、例えば、取得した画像を示す画像情報を画像情報記憶部４１３に記憶する処理、該画像情報を表示部３１に表示させる処理、該画像情報に基づく加工条件データの作成を支援する処理、該画像情報をラベリングしてデータベースに登録する処理、該画像情報を設定された送信先に送信する処理等の少なくとも１つの処理を含む。制御部４２は、ステップ１１１２の処理が終了すると、図４に示す処理手順を終了させる。

【0056】

以上説明したように、基板処理装置１は、表示部３１に表示している画面５１０をお気に入りリストに記憶すると、該お気に入りリストに記憶された全ての画面の画像を一括で取得することができる。例えば、オペレータは、図５に示す画面５１０をお気に入りリストに登録し、図６に示す画面５１０をお気に入りリストに登録していないとする。この場合、基板処理装置１は、画像を一括で取得するタイミングで、図５に示す画面５１０等の画像を取得し、図６に示す画面５１０の画像を取得しない。

【0057】

これにより、基板処理装置１は、複数の画面５１０を切り替えて表示する場合に、複数の画面５１０のそれぞれで画像を取得する処理が不要となる。また、基板処理装置１は、画面５１０の表示が切り替わった後、保存したい画面５１０の画像を取得するために、オペレータが画面５１０の表示を戻す操作を不要とすることができる。その結果、基板処理装置１は、画面５１０のお気に入りリストに基づいて、複数の画面５１０の画像を効率的に取得することができる。

【0058】

基板処理装置１は、お気に入りボタン５１４を複数の画面５１０のそれぞれに表示させ、該お気に入りボタン５１４が選択された画面５１０をお気に入りリストに登録することができる。これにより、基板処理装置１は、切り替えて表示する複数の画面５１０を、お気に入りリストに登録するオペレータの操作を容易にすることができる。その結果、基板処理装置１は、画面５１０のお気に入りリストに基づいて、複数の画面５１０の画像を効率的に取得することができる。

【0059】

（基板処理装置における画面の他の登録例）
次に、実施形態に係る基板処理装置１が実行する画面５１０の他の登録例を説明する。図７は、実施形態に係る基板処理装置１の画面登録に関する画面の遷移例を説明するための図である。

【0060】

図７に示す場面３００１では、基板処理装置１は、制御部４２がプログラムを実行することにより、トップ画面情報に基づくトップ画面６００を、タッチパネル３０の表示部３１に表示させている。トップ画面６００は、例えば、基板処理装置１の各種処理を指示するための複数のボタン６１０と、お気に入りの画面５１０を編集するためのお気に入り編集ボタン６２０と、画像の確認に用いる画像確認ボタン６３０と、を有する。複数のボタン６１０は、図示しないが、例えば、「マニュアルオペレーション」、「フルオート」、「ティーチ」、「メジャー」、「ホイール交換」、「マシンデータ」及び「加工条件」を指示するボタンを有している。

【0061】

お気に入り編集ボタン６２０は、例えば、複数の画面５１０を確認する場合にオペレータ等によって操作される。基板処理装置１は、トップ画面６００を表示部３１に表示している場合に、お気に入り編集ボタン６２０に対する操作を検出すると、サムネイル画面７００を表示部３１に表示する。サムネイル画面７００は、複数の画面５１０のサムネイル７１０の一覧を表示する画面である。

【0062】

場面３００２では、基板処理装置１は、オペレータに関する複数の画面５１０のサムネイル画面７００を表示部３１に表示する。サムネイル画面７００は、複数のサムネイル７１０と、設定項目７２０と、ボタン７３０と、を有する。複数のサムネイル７１０は、オペレータが選択可能なように、サムネイル画面７００に表示される。基板処理装置１は、サムネイル７１０を選択状態または非選択状態でサムネイル画面７００に表示させる。選択状態と非選択状態とは、異なる表示態様である。設定項目７２０は、登録されたお気に入りリストの登録名を設定可能な項目である。設定項目７２０は、例えば、オペレータの名前、被加工物１００の種類等の複数の登録名が選択可能な構成になっている。ボタン７３０は、トップ画面６００へ戻るためのボタンである。ボタン７３０は、サムネイル画面７００で選択したサムネイル７１０の画面をお気に入りリストに登録するボタンとして機能する。

【0063】

場面３００２に示す一例では、オペレータは、９つのサムネイル７１０のうち、４つのサムネイル７１０を選択している。この場合、基板処理装置１は、サムネイル画面７００で選択された４つのサムネイル７１０の画面５１０を、お気に入りリストに登録する。このように、基板処理装置１は、複数の画面５１０のサムネイル７１０の一覧をサムネイル画面７００に表示させ、選択されたサムネイル７１０の画面５１０をお気に入りリストに登録させることができる。基板処理装置１は、既に登録されたお気に入りリストを流用して、新たなお気に入りリストを登録させることができる。

【0064】

（画面の他の登録例に係る処理手順）
次に、基板処理装置１が実行する画面５１０の他の登録例に係る処理手順の一例を説明する。図８は、実施形態に係る基板処理装置１の画面５１０の他の登録に関する処理手順の一例を示すフローチャートである。図９は、図８に示す画面登録処理の処理手順の一例を示すフローチャートである。図１０は、図８に示す画像確認処理の処理手順の一例を示すフローチャートである。

【0065】

図８乃至図１０に示す処理手順は、基板処理装置１の制御部４２がプログラムを実行することによって実現される。図８に示す処理手順は、例えば、サムネイル画面７００を用いて画面の登録を行う場合に、基板処理装置１の制御部４２によって実行される。

【0066】

図８に示す処理手順では、基板処理装置１の制御部４２は、オペレータの認証を行う（ステップ２１０１）。制御部４２は、例えば、識別情報の入力等によってオペレータの個人認証を行う。制御部４２は、オペレータを認証すると、処理をステップ２１０２に進める。なお、制御部４２は、オペレータを認証できなかった場合、図８に示す処理手順を終了させてもよい。

【0067】

制御部４２は、トップ画面６００を表示部３１に表示させる（ステップ２１０２）。例えば、制御部４２は、トップ画面情報に基づくトップ画面６００を表示するように、表示部３１を制御する。制御部４２は、表示部３１がトップ画面６００を表示すると、処理をステップ２１０３に進める。

【0068】

制御部４２は、編集ボタンが選択されたか否かを判定する（ステップ２１０３）。例えば、制御部４２は、入力部３２を介して、トップ画面６００のお気に入り編集ボタン６２０に対する選択操作を検出した場合に、編集ボタンが選択されたと判定する。制御部４２は、編集ボタンが選択されたと判定した場合（ステップ２１０３でＹｅｓ）、処理をステップ２１０４に進める。

【0069】

制御部４２は、サムネイル７１０の一覧を用いた画面登録処理を実行する（ステップ２１０４）。画面登録処理は、例えば、サムネイル画面７００を用いて画面をお気に入りリストに登録する処理である。

【0070】

図９に示す画面登録処理の処理手順では、制御部４２は、表示対象の画面５１０を収集する（ステップ２４０１）。例えば、制御部４２は、認証したオペレータに関する画面５１０、加工条件に関する画面５１０等を収集する。制御部４２は、ステップ２４０１の処理が終了すると、処理をステップ２４０２に進める。

【0071】

制御部４２は、収集した画面５１０のサムネイル７１０の一覧を示すサムネイル画面７００を生成する（ステップ２４０２）。例えば、制御部４２は、ステップ２４０１で収集した画面５１０のサムネイル７１０を作成し、作成したサムネイル７１０を一覧表示するサムネイル画面７００の画面情報を生成する。制御部４２は、ステップ２４０２の処理が終了すると、処理をステップ２４０３に進める。

【0072】

制御部４２は、サムネイル画面７００を表示部３１に表示する表示制御処理を実行する（ステップ２４０３）。表示制御処理は、例えば、表示部３１に表示させているトップ画面６００からサムネイル画面７００に切り替えて表示させる処理を含む。例えば、制御部４２は、表示制御処理を実行することで、トップ画面６００からサムネイル画面７００に表示部３１の表示内容を切り替えさせる。制御部４２は、ステップ２４０３の処理が終了すると、処理をステップ２４０４に進める。

【0073】

制御部４２は、サムネイル画面７００の表示を終了するか否かを判定する（ステップ２４０４）。例えば、制御部４２は、入力部３２を介して、トップ画面６００へのボタン７３０に対する操作を検出した場合に、サムネイル画面７００の表示を終了すると判定する。制御部４２は、サムネイル画面７００の表示を終了すると判定した場合（ステップ２４０４でＹｅｓ）、処理をステップ２４０５に進める。

【0074】

制御部４２は、サムネイル画面７００で選択されたサムネイル７１０の画面５１０を示すお気に入りリストを記憶部４１に記憶する（ステップ２４０５）。例えば、制御部４２は、サムネイル画面７００で選択されたサムネイル７１０の画面５１０を特定し、特定した画面５１０を示すお気に入りリストを作成する。そして、制御部４２は、サムネイル画面７００の設定項目７２０に設定された登録名のお気に入りリストを作成すると、該お気に入りリストをリスト記憶部４１２に記憶する。制御部４２は、ステップ２４０５の処理が終了すると、図９に示す処理手順を終了し、図８に示すステップ２１０４の処理に復帰する。

【0075】

また、制御部４２は、サムネイル画面７００の表示を終了させないと判定した場合（ステップ２４０４でＮｏ）、処理をステップ２４０６に進める。制御部４２は、サムネイル７１０が選択されたか否かを判定する（ステップ２４０６）。例えば、制御部４２は、入力部３２を介して、サムネイル７１０に対する操作を検出した場合に、サムネイル７１０が選択されたと判定する。制御部４２は、サムネイル７１０が選択されていないと判定した場合（ステップ２４０６でＮｏ）、処理を既に説明したステップ２４０４に戻し、処理を継続する。

【0076】

また、制御部４２は、サムネイル７１０が選択されたと判定した場合（ステップ２４０６でＹｅｓ）、処理をステップ２４０７に進める。制御部４２は、サムネイル画面７００で選択されたサムネイル７１０の表示態様を変更する（ステップ２４０７）。例えば、非選択状態のサムネイル７１０が選択された場合、制御部４２は、選択されたサムネイル７１０が選択状態の表示態様となるように、サムネイル画面７００の表示内容を変更する。例えば、選択状態のサムネイル７１０が選択された場合、制御部４２は、選択されたサムネイル７１０が非選択状態の表示態様となるように、サムネイル画面７００の表示内容を変更する。制御部４２は、ステップ２４０７の処理が終了すると、処理を既に説明したステップ２４０４に戻し、処理を継続する。

【0077】

図８に戻り、制御部４２は、ステップ２１０４の画像登録処理が終了すると、処理をステップ２１０５に進める。制御部４２は、トップ画面６００への復帰処理を実行する（ステップ２１０５）。復帰処理は、例えば、表示部３１に表示させている画面５１０からトップ画面６００へ切り替えて表示させる処理を含む。制御部４２は、復帰処理を実行することで、表示部３１が表示内容を画面５１０からトップ画面６００へ切り替える。すなわち、表示部３１は、トップ画面６００を表示した状態になる。制御部４２は、ステップ２１０５の処理が終了すると、処理をステップ２１０６に進める。

【0078】

制御部４２は、終了するか否かを判定する（ステップ２１０６）。例えば、制御部４２は、オペレータからの終了操作を受け付けた場合、他の画面への遷移の指示を受け付けた場合等に、終了すると判定する。制御部４２は、終了しないと判定した場合（ステップ２１０６でＮｏ）、処理を既に説明したステップ２１０３に戻し、処理を継続する。また、制御部４２は、終了すると判定した場合（ステップ２１０６でＹｅｓ）、図８に示す処理手順を終了させる。

【0079】

また、制御部４２は、編集ボタンが選択されていないと判定した場合（ステップ２１０３でＮｏ）、処理をステップ２１０７に進める。制御部４２は、トップ画面６００で画像確認が選択されたか否かを判定する（ステップ２１０７）。例えば、制御部４２は、入力部３２を介して、トップ画面６００の画像確認ボタン６３０に対する選択操作を検出した場合に、トップ画面６００で画像確認が選択されたと判定する。制御部４２は、トップ画面６００で画像確認が選択されていないと判定した場合（ステップ２１０７でＮｏ）、処理を既に説明したステップ２１０６に進め、ステップ２１０６の処理を実行する。

【0080】

また、制御部４２は、トップ画面６００で画像確認が選択されたと判定した場合（ステップ２１０７でＹｅｓ）、処理をステップ２１０８に進める。制御部４２は、画像確認処理を実行する（ステップ２１０８）。画像確認処理は、例えば、取得した画面５１０の画像をオペレータに確認させる処理である。

【0081】

図１０に示す画像確認処理の処理手順では、制御部４２は、お気に入りリストに登録された画面５１０の画像を一括で取得する（ステップ２８０１）。例えば、制御部４２は、対象となるお気に入りリストをリスト記憶部４１２から取得し、該お気に入りリストの画面５１０の画像を取得し、記憶部４１に記憶する。制御部４２は、ステップ２８０１の処理が終了すると、処理をステップ２８０２に進める。

【0082】

制御部４２は、取得した画像を確認可能な確認画面を生成する（ステップ２８０２）。例えば、制御部４２は、取得した画像の一覧を表示するための確認画面、取得した画像をお気に入りリストに関連付けて表示する確認画面等を生成する。制御部４２は、ステップ２８０２の処理が終了すると、処理をステップ２８０３に進める。

【0083】

制御部４２は、生成した確認画面を表示部３１に表示させる（ステップ２８０３）。例えば、制御部４２は、ステップ２８０２で生成した確認画面を表示するように、表示部３１の表示を制御する。制御部４２は、ステップ２８０３の処理が終了すると、処理をステップ２８０４に進める。

【0084】

制御部４２は、画像に対する処理が指示されたか否かを判定する（ステップ２８０４）。例えば、制御部４２は、入力部３２を介して、確認画面の画像に対する処理を指示する操作を検出した場合に、画像に対する処理が指示されたと判定する。制御部４２は、画像に対する処理が指示されたと判定した場合（ステップ２８０４でＹｅｓ）、処理をステップ２８０５に進める。

【0085】

制御部４２は、指示された画像に対する処理を実行する（ステップ２８０５）。指示された画像に対する処理、例えば、指示された画像を表示部３１に表示する処理、指示された画像を編集・保存する処理、指示された画像を外部通信機器に送信する処理等を含む。制御部４２は、ステップ２８０５の処理が終了すると、図１０に示す処理手順を終了し、図８に示すステップ２１０８の処理に復帰する。

【0086】

また、制御部４２は、画像に対する処理が指示されていないと判定した場合（ステップ２８０４でＮｏ）、処理をステップ２８０６に進める。制御部４２は、確認画面の表示を終了するか否かを判定する（ステップ２８０６）。例えば、制御部４２は、入力部３２を介して、トップ画面６００への復帰操作を検出した場合に、確認画面の表示を終了すると判定する。制御部４２は、確認画面の表示を終了しないと判定した場合（ステップ２８０６でＮｏ）、処理を既に説明したステップ２８０４に戻し、処理を継続する。また、制御部４２は、確認画面の表示を終了すると判定した場合（ステップ２８０６でＹｅｓ）、図１０に示す処理手順を終了し、図８に示すステップ２１０８の処理に復帰する。

【0087】

図８に戻り、制御部４２は、ステップ２１０８の処理が終了すると、処理を既に説明したステップ２１０５に進める。制御部４２は、トップ画面６００への復帰処理を実行する（ステップ２１０５）。そして、制御部４２は、ステップ２１０５の処理が終了すると、処理を既に説明したステップ２１０６に進める。制御部４２は、終了しないと判定した場合（ステップ２１０６でＮｏ）、図８に示す処理手順を継続し、終了すると判定した場合（ステップ２１０６でＹｅｓ）に、図８に示す処理手順を終了させる。

【0088】

以上説明したように、基板処理装置１は、複数の画面５１０のサムネイル７１０を表示するサムネイル画面７００を表示部３１に表示し、該サムネイル画面７００において、選択されたサムネイル７１０の画面５１０をお気に入りリストに登録することができる。これにより、基板処理装置１は、切り替えて表示する複数の画面５１０のうち、画像を取得したい画面５１０を容易にお気に入りリストに記憶することができる。その結果、基板処理装置１は、画面５１０のお気に入りリストに基づいて、複数の画面５１０の画像を効率的に取得することができる。基板処理装置１は、お気に入りリストに画面５１０を登録しておけば、複数の画面５１０の画像を一括で取得できるので、オペレータが画面５１０を複数回遷移させながら各画面５１０で画像を取得する必要がなくなり、基板処理装置１の操作回数を抑制することができる。

【0089】

また、基板処理装置１は、お気に入りリストに登録された画面５１０の画像を一括で取得し、取得した画像の確認画面を表示部３１に表示させることができる。これにより、基板処理装置１は、お気に入りリストに基づいて取得した画面５１０の画像をオペレータに確認させることができる。その結果、基板処理装置１は、お気に入りリストを用いて一括で取得した画面５１０の画像の正確性を向上させることができる。

【0090】

例えば、オペレータが加工レポートを作成する場合、エラー情報を共有する場合等では、画面５１０の画像を記憶する目的が同一であると、画像を取得したい画面は同じになる。この場合、従来の加工装置は、オペレータが複数の画面５１０を遷移させて画像を取得する作業が発生し、非効率的であった。本発明に係る基板処理装置１は、お気に入りリストに画面５１０を登録しておくことで、必要な画面５１０の画像を容易に取得できるため、作業効率を向上させることができる。

【0091】

［その他の実施形態］
上記の実施形態では、本発明に係る基板処理装置１は、加工装置である場合について説明したが、これに限定されるものではなく、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。基板処理装置は、例えば、半導体基板を加工する装置で実現することができる。半導体基板を加工する装置は、例えば、切削装置、研削装置、レーザー加工装置、プラズマ加工装置、バイト切削装置、研磨装置、樹脂被覆装置、粘着テープ貼着装置等を含む。また、基板処理装置は、半導体基板を検査する装置で実現することができる。半導体基板を検査する装置は、例えば、外観検査装置、分割検査装置、抗折強度測定装置等を含む。また、基板処理装置は、半導体基板を洗浄する装置で実現することができる。半導体基板を洗浄する装置は、例えば、洗浄装置、乾燥装置等を含む。

【0092】

また、上記の実施形態において説明した基板処理装置１の各構成要素は機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。すなわち、基板処理装置１の分散・統合の具体的形態は図示のものに限られず、その全部または一部を、各種の負荷や使用状況などに応じて、任意の単位で機能的または物理的に分散・統合して構成することができる。例えば、基板処理装置１は、表示制御部４２１、画像取得部４２２、登録部４２３及び生成部４２４が機能的に統合されたり、組み合わせたりしてもよい。

【符号の説明】

【0093】

１ 基板処理装置
１０ 保持ユニット
１２ 撮像ユニット
２０ 加工ユニット（処理ユニット）
３０ タッチパネル
３１ 表示部
３２ 入力部
４０ 制御ユニット
４１ 記憶部
４２ 制御部
１００ 被加工物
４１１ 画面情報記憶部
４１２ リスト記憶部
４１３ 画像情報記憶部
４２１ 表示制御部
４２２ 画像取得部
４２３ 登録部
４２４ 生成部
５００ 画面情報
５１０ 画面
５１３ 画像取得ボタン
５１４ お気に入りボタン
６００ トップ画面
７００ サムネイル画面
７１０ サムネイル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】