特開 2022-164391 Ｘ線検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022164391

(43)【公開日】2022-10-27

(54)【発明の名称】Ｘ線検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/18 20180101AFI20221020BHJP

【ＦＩ】

G01N23/18

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021069854

(22)【出願日】2021-04-16

(71)【出願人】

【識別番号】000000572

【氏名又は名称】アンリツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100067323

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 教光

(74)【代理人】

【識別番号】100124268

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 典行

(72)【発明者】

【氏名】斎藤 直也

(72)【発明者】

【氏名】野田 昭裕

(72)【発明者】

【氏名】成田 幹

【テーマコード（参考）】

2G001

【Ｆターム（参考）】

2G001AA01

2G001BA11

2G001CA01

2G001JA09

2G001JA14

2G001KA05

2G001LA01

2G001PA07

2G001PA11

2G001SA16

(57)【要約】

【課題】被検査物とＸ線検出器との間の伝熱を低減し、Ｘ線検出器の寿命が短くなることを抑制できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】循環して移動する搬送ベルト７を備えた搬送手段により搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線発生器と、搬送ベルト７の下面１０よりも下側に配置されて被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、を備えたＸ線検査装置１であって、搬送ベルト７の下面１０とＸ線検出器の上面１１との間に所定の空間Ｓを有し、空間Ｓ内にエアを流入させる導入口と、空間Ｓ内のエアを吐出する吐出口３２とを有する受台６を備えた。
【選択図】 図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

循環して移動する搬送ベルト（７）を備えた搬送手段（５）により搬送される被検査物（４）にＸ線を照射するＸ線発生器（２）と、前記搬送ベルトの下面（１０）よりも下側に配置されて前記被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器（３）と、を備えたＸ線検査装置（１）であって、
前記搬送ベルトの下面と前記Ｘ線検出器の上面との間に所定の空間（Ｓ）を有し、空間内にエアを流入させる導入口（２６）と、前記空間内のエアを吐出する吐出口（３２）とを有する受台（６）を備えたことを特徴とするＸ線検査装置。

【請求項2】

請求項１に記載のＸ線検査装置であって、
前記導入口が、前記受台背面における搬送方向の少なくとも片方に設けられ、
前記吐出口が、前記受台正面における前記Ｘ線検出器と重なる中央部に設けられたことを特徴とするＸ線検査装置。

【請求項3】

請求項１または２に記載のＸ線検査装置であって、
前記受台を支持するとともに、前記導入口から供給された前記エアを、前記吐出口に導く導風板（３１）を備えたことを特徴とするＸ線検査装置。

【請求項4】

請求項１～３のいずれか１つに記載のＸ線検査装置であって、
前記Ｘ線検出器が、ラインセンサ（３６）であり、複数の前記導風板が前記ラインセンサの長手方向に沿って前記ラインセンサからオフセットされて平行に配置されたことを特徴とするＸ線検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、Ｘ線検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、例えば生肉，魚，加工食品，医薬などの各品種の被検査物中（表面も含む）の異物（金属，骨，ガラス，石，合成樹脂材等）を検出するためにＸ線異物検出装置が用いられている。例えば、特許文献１に開示されるＸ線異物検出装置は、筐体が、製品が通過する製品領域を挟んで配置された上部筐体と下部筐体とを有する。上部筐体内にはＸ線発生器があり、下部筐体内にはＸ線検出器がある。下部筐体の上面（製品領域の底面）には、搬送ベルトを水平に案内する搬送台が設置される。Ｘ線による検査時には、搬送ベルトは搬送台に沿って製品領域内で製品（被検査物）を水平方向に安定して搬送できる。清掃時には、搬送手段と搬送台を筐体から外せば、底面である下部筐体の上面を露出させて清掃することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００９－２４４１１４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、Ｘ線異物検出装置（Ｘ線検査装置とも称す）は、煮沸殺菌後のアルミ包材など高温の被検査物を検査する場合がある。高温の被検査物からの熱が搬送ベルトを通過して下方に配置されるＸ線検出器に伝わると、特に熱に脆弱なＸ線検出器は、センサ寿命が短くなる虞がある。従来のＸ線検査装置のように、搬送ベルトとＸ線検出器との間に搬送台が設置され、嵩上げされることにより、熱を伝わりにくくしても、搬送台における空間内の空気も温度上昇することから、センサ部分に熱の伝わることが懸念される。

【0005】

本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、その目的は、被検査物とＸ線検出器との間の伝熱を低減し、Ｘ線検出器の寿命が短くなることを抑制できるＸ線検査装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

次に、上記の課題を解決するための手段を、実施の形態に対応する図面を参照して説明する。
本発明の請求項１記載のＸ線検査装置１は、循環して移動する搬送ベルト７を備えた搬送手段５により搬送される被検査物４にＸ線を照射するＸ線発生器２と、前記搬送ベルト７の下面１０よりも下側に配置されて前記被検査物４を透過したＸ線を検出するＸ線検出器３と、を備えたＸ線検査装置１であって、
前記搬送ベルト７の下面１０と前記Ｘ線検出器３の上面１１との間に所定の空間Ｓを有し、該空間Ｓ内にエアを流入させる導入口２６と、前記空間Ｓ内のエアを吐出する吐出口３２とを有する受台６を備えたことを特徴とする。

【0007】

このＸ線検査装置１では、搬送領域の搬送ベルト７に被検査物４が載置され、被検査物４とＸ線検出器３との間に温度差があると、その温度勾配により、例えば高温の被検査物４から搬送ベルト７、受台６を通過して熱がＸ線検出器３へ移動する。被検査物４から受台６に伝わった熱は、空間Ｓ内を経てＸ線検出器３の上面１１に伝わるが、その殆どが、空間Ｓ内を流動するエアに伝わった後、吐出口３２より排気されるエアにより搬送されて吐出口３２より受台６の外部へと排熱される。このため、被検査物４からＸ線検出器３の上面１１に伝わる熱は、大幅に低減されることになる。その結果、Ｘ線検査装置１では、被検査物４とＸ線検出器３との間の伝熱が低減され、Ｘ線検出器３の寿命が短くなることを抑制できる。

【0008】

本発明の請求項２記載のＸ線検査装置１は、請求項１に記載のＸ線検査装置１であって、
前記導入口２６が、前記受台背面における搬送方向の少なくとも片方に設けられ、
前記吐出口３２が、前記受台正面における前記Ｘ線検出器３と重なる中央部に設けられたことを特徴とする。

【0009】

このＸ線検査装置１では、導入口２６が、受台背面における搬送方向の少なくとも片方に設けられる。導入口２６は、受台背面における搬送方向の両側に設けられればさらによい。一方、吐出口３２は、受台正面におけるＸ線検出器３と重なる中央部に設けられる。導入口２６から受台６の空間Ｓ内に流入したエアは、搬送方向の少なくとも片方から中央部に向けて流れ、最終的に、中央部に設けられた吐出口３２から受台６の外部へ排気される。吐出口３２は、Ｘ線検出器３と重なる位置に設けられることで、吐出口３２から排気されるエアを必ずＸ線検出器３のセンサ部分に近接させて通過させることができる。これにより、センサ部分にエアが滞留し、センサ部分が被検査物４からの熱の影響を受けやすくなることがない。

【0010】

本発明の請求項３記載のＸ線検査装置１は、請求項１または２に記載のＸ線検査装置１であって、
前記受台６を支持するとともに、前記導入口２６から供給された前記エアを、前記吐出口３２に導く導風板３１を備えたことを特徴とする。

【0011】

このＸ線検査装置１では、導風板３１によって導入口２６から流入したエアが空間Ｓ内を淀みなく流れるように整流され、空間Ｓ内で滞留することなく吐出口３２から排気される。これにより、導入口２６から供給したエアを、エネルギー損失無く効率よく吐出口３２へ導くことができる。また、導風板３１は、被検査物４の荷重を支持し、受台６の撓みを防ぐことができる。そして、受台６は、導風板３１が設けられて天板２７が撓みにくくなることにより、ベルト上面（搬送面）の被検査物４と、Ｘ線検出器３との距離に変動が生じにくくなる。

【0012】

本発明の請求項４記載のＸ線検査装置１は、請求項１～３のいずれか１つに記載のＸ線検査装置１であって、
前記Ｘ線検出器３が、ラインセンサ３６であり、複数の前記導風板３１が前記ラインセンサ３６の長手方向に沿って前記ラインセンサ３６からオフセットされて平行に配置されたことを特徴とする。

【0013】

このＸ線検査装置１では、Ｘ線検出器３のセンサ部分が、直線状のラインセンサ３６となる。ラインセンサ３６は、搬送領域の搬送方向中央部において、搬送方向と直交方向が長手方向となって配置される。導風板３１は、このラインセンサ３６の長手方向に沿って、ラインセンサ３６からオフセットされて平行に配置される。つまり、導風板３１は、ラインセンサ３６と重なる上方には位置しないようにして設けられる。従って、複数の導風板３１が設けられれば、少なくとも一対の導風板３１の間に、ラインセンサ３６が平行に位置することになる。これにより、ラインセンサ３６の上方には、一対の導風板３１に挟まれ、直近の下流が吐出口３２となった直線状の吐出流路が形成される。直線状の吐出流路に流入したエアは、滞留無く円滑に吐出口３２へ流れて排気が可能となる。

【発明の効果】

【0014】

本発明に係る請求項１記載のＸ線検査装置によれば、被検査物とＸ線検出器との間の伝熱を低減し、例えば高温の被検査物からＸ線検出器へ伝わる熱を低減させることができ、Ｘ線検出器の寿命が短くなることを抑制できる。

【0015】

本発明に係る請求項２記載のＸ線検査装置によれば、Ｘ線検出器のセンサ部分となる中央部付近からエアが確実に通過して流出し、Ｘ線検出器への熱の伝達をより軽減できる。

【0016】

本発明に係る請求項３記載のＸ線検査装置によれば、エアを整流して吐出口へ導けるので、受台の空間内におけるエアの搬送効率低下を抑制できる。また、被検査物の荷重を導風板が支持するので、受台の変形を抑制して、被検査物とＸ線検出器との距離を高精度に維持でき、検査精度の低下も抑制できる。

【0017】

本発明に係る請求項４記載のＸ線検査装置によれば、少なくとも一対の導風板が、センサ部分を挟んで平行に配置され、センサ近傍のエアを滞留なく確実に吐出口に導いて排気できるとともに、導風板がセンサ部分の邪魔になることもない。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】実施の形態に係るＸ線検査装置の一例を示す斜視図である。

【図2】図１に示したＸ線検査装置の要部側面図である。

【図3】図１に示したＸ線検査装置の要部正面断面図である。

【図4】搬送手段の分解斜視図である。

【図5】受台が外された下部フレームの斜視図である。

【図6】受台の分解斜視図である。

【図7】受台空間内のエアの流れを説明するための模式図である。

【図8】変形例に係る受台空間内のエアの流れを説明するための模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、本発明に係る実施形態を図面を参照して説明する。なお、本実施形態において、前後左右の方向は、各図に示した矢印の方向に従う。
図１は、実施の形態に係るＸ線検査装置１の一例を示す斜視図である。
本実施形態に係るＸ線検査装置１は、主に、Ｘ線を発生するＸ線発生器２と、Ｘ線発生器２からのＸ線を受けるＸ線検出器３（図３参照）と、Ｘ線発生器２とＸ線検出器３との間で被検査物４を搬送する搬送手段としての搬送部５と、受台６（図２参照）と、を有する。

【0020】

Ｘ線発生器２は、循環して移動する搬送ベルト７を備えた搬送部５により搬送される被検査物４にＸ線を照射する。Ｘ線発生器２は、Ｘ線を発生するＸ線管（図示略）の周囲を、遮蔽板にて覆うことにより、Ｘ線の漏洩を防ぐように構成されている。遮蔽板は、鉛等の遮蔽材が内貼りされてなる。Ｘ線発生器２は、Ｘ線検査装置１の本体をなす筐体８の上部に配置され、下方に向けてＸ線を照射させる。Ｘ線は、Ｘ線管から下方に広がる略円錐状に照射し、その後、Ｘ線発生器２の底部に形成された長穴、受台６に形成された長穴、及びＸ線発生器２を支持する筐体８の下部フレーム９に設けられた長穴を介して、下方に広がる面状となって照射する。また、Ｘ線発生器２では、Ｘ線を発生した際に生じる熱を冷却フィン（図示略）にて放熱している。

【0021】

Ｘ線検出器３は、搬送ベルト７の下面１０よりも下側に配置されて被検査物４を透過したＸ線を検出する。Ｘ線検出器３は、筐体８の下部に配置され、Ｘ線発生器２から照射されたＸ線を受けるように構成されている。このＸ線検出器３は、筐体一部の金属箱である下部フレーム９に収容される。下部フレーム９は、略平坦に形成された上面１１に上記の長穴であるスリット１２（図３参照）を有している。スリット１２は、上面１１の板金に前後方向に延びるように穿設された長穴に、Ｘ線を透過させる樹脂材がシリコン材等で防水されて取り付けられてなる。このスリット１２は、Ｘ線発生器２から照射された面状のＸ線を通す。すなわち、スリット１２が形成された前後方向とは、面状のＸ線を通し得る方向である。下部フレーム９のスリット１２を通ったＸ線は、下部フレーム９の内方に配置されたＸ線検出器３のセンサ部分で受ける。Ｘ線検出器３では、このＸ線を光変換し、不図示のＸ線処理部に出力する。

【0022】

搬送部５は、Ｘ線発生器２からＸ線検出器３に向けて照射された面状のＸ線に被検査物４を通過させるものである。搬送部５は、主に、ローラユニット１３と、搬送ベルト７とからなる。搬送部５を構成するローラユニット１３及び搬送ベルト７は、Ｘ線検出器３が収容された下部フレーム９に対して取り付けられている。

【0023】

ローラユニット１３は、ブラケット１４により下部フレーム９に取り付けられる。それぞれのローラユニット１３には、回転中心が前後方向に沿うローラ１５が回転自在に支持される。これらローラ間には、無端状の搬送ベルト７が掛け回される。搬送部５は、ローラユニット１３に設けられたいずれかのローラ１５が駆動され、これによって搬送ベルト７が循環して移動する。搬送ベルト７は、環状の周回路を構成する。周回路は、下部フレーム９、一対のローラユニット１３を内方に配置して包囲する。搬送ベルト７は、この周回路のうち上側周回部１６（図４参照）が被検査物４の搬送領域となる。搬送部５は、搬送ベルト７が循環して移動することにより、上側周回部１６に載った被検査物４を左右いずれかに移動する。

【0024】

図２は、図１に示したＸ線検査装置１の要部側面図である。
搬送ベルト７は、環状の内周面側に、内周方向に連続する一対の平行な凸条１７（「桟」とも称す）が形成される。本実施形態では、受台６の前後方向である幅方向の長さ（奥行長さ）が、搬送ベルト７の幅長よりやや短く設定される。つまり、一対の凸条１７は、受台６の前後方向外側にはみ出して配置される。

【0025】

受台６には、後方に張り出して、左右方向に延在する連結枠１８が設けられる。この連結枠１８には、一対の凸条１７のうち後側の凸条１７が挿入される凹溝１９が、搬送ベルト７の移動方向に沿って設けられている。後側の凸条１７が凹溝１９に挿入された搬送ベルト７は、前側の凸条１７が受台６の前壁２０に掛かる。

【0026】

搬送ベルト７は、前壁２０に前側の凸条１７が掛かり、凹溝１９に後側の凸条１７が挿入されることにより、搬送方向に直交する方向（ベルト幅方向）の移動が抑制され、蛇行が規制される。Ｘ線検査装置１は、被検査物４がベルト幅方向に移動する（揺らぐ）ことが規制されることで、被検査物４が真っ直ぐ進み、Ｘ線検査精度の低下が抑制される。

【0027】

下部フレーム９の左右側面には、複数の取付ピン２１が突出している。受台６には、前後方向に延在する一対の平行な右側壁２２と、左側壁２３（図６参照）とが設けられている。これら右側壁２２と左側壁２３とは、後端同士が上記の連結枠１８により連結されて平面視コ字状となる。
右側壁２２及び左側壁２３のそれぞれの後端には、半円形のピン挿入凹部２４が形成される。また、右側壁２２及び左側壁２３のそれぞれの前端には、四分円形のピン係合凹部２５が形成される。右側壁２２及び左側壁２３には、受台６が下部フレーム９の所定の位置に載置されたとき、ピン挿入凹部２４とピン係合凹部２５とにそれぞれ嵌る取付ピン２１が配置されている。受台６は、このようにして下部フレーム９の上に載置されることにより、下部フレーム９の上面１１との間に、空間Ｓを画成する。この空間Ｓの高さは、１０ｍｍ程度で確保できる。受台６は、右側壁２２と左側壁２３の後方に、空間Ｓにエアを流入させるための導入口２６が設けられている。なお、この導入口２６の位置は、一例であり、導入口２６の位置は受台６の任意の位置に形成されてよい。

【0028】

導入口２６には、不図示のエア供給源が接続される。エア供給源は、例えばファンモータ、空圧発生機などとすることができる。

【0029】

図３は、図１に示したＸ線検査装置１の要部正面断面図である。
受台６は、天板２７の左右端が、延出部２８となって、右側壁２２、左側壁２３よりも左右方向に延出している。受台６の天板２７には、下部フレーム９のスリット１２に重なる位置で、Ｘ線通過スリット２９が形成されている。Ｘ線通過スリット２９は、搬送ベルト７が摺接するので、受台６における空間Ｓ内のエアが大量に漏れることはない。なお、Ｘ線通過スリット２９は、スリット１２と同様に、長穴に、Ｘ線を透過させる樹脂材がシリコン材等で防水されて取り付けられてもよい。

【0030】

受台６は、天板下面に導風板３１が複数設けられる。本実施形態では、導風板３１は、２つ１組で対となり互いに平行とされて下向きコ字状に形成される導風ユニット３０を構成し、この導風ユニット３０がＸ線通過スリット２９を挟んで左右一対となり天板２７に固定される。それぞれの導風ユニット３０は、一対の平行な導風板３１を有することとなり、つまり、受台６の空間Ｓ内には、前後方向に延在して左右方向に離間する平行な４つの導風板３１が配置される。導風ユニット３０は、導風板３１が下部フレーム９の上面１１に載置されることにより、導風板３１が脚状となって受台６を支持するとともに、空間Ｓ内の左右方向を複数に仕切っている。

【0031】

図４は、搬送手段の分解斜視図である。
受台６が取り付けられた下部フレーム９には、下部フレーム９を左右から挟んで一対のローラユニット１３が取り付けられる。搬送ベルト７は、これら下部フレーム９、受台６、一対のローラユニット１３を包囲するようにして外側に装着される。搬送ベルト７は、外側に装着されることにより、左右一対のローラ１５に掛け渡されることになる。受台６は、取付ピン２１や、右側壁２２及び左側壁２３により前後左右の移動が規制されるが、下部フレーム９には固定されていない。すなわち、受台６は、下部フレーム９の上面１１に載置されて、搬送ベルト７の上側周回部１６により押さえつけられて保持されている。

【0032】

受台６は、搬送ベルト７の下面１０に接する天板２７の上面１１に、エンボス加工が施されていてもよい。受台６は、天板２７にエンボス、例えば凸加工部が設けられることにより、搬送ベルト７との接触面を減らすことができる。これにより、搬送部５は、搬送ベルト７の移動・摺動抵抗を低減させることが可能になる。また、受台６は、エンボスを設けて搬送ベルト７との接触面を減らすことにより、被検査物４との間の熱の移動も低減させることができる。

【0033】

図５は、受台６が外された下部フレーム９の斜視図である。
受台６の取り付は、左右両側の右側壁２２と左側壁２３との後端に形成されているピン挿入凹部２４を、左右の取付ピン２１に挿入する。ピン挿入凹部２４を取付ピン２１に挿入した状態で、取付ピン２１を中心に受台６を回転させ、右側壁２２と左側壁２３との前端に形成されたピン係合凹部２５を前側の取付ピン２１に上方より係合させて受台６の取り付けが完了する。受台６に形成されたＸ線通過スリット２９は、前側が、前壁２０を切り欠いた吐出口３２となって受台６の空間Ｓを外部へ開放する。なお、この吐出口３２の位置は、一例であり、吐出口３２の位置は受台６の任意の位置に形成されてよい。

【0034】

図６は、受台６の分解斜視図である。
受台６は、天板２７の前壁２０が下向きに折り曲げられ、天板２７の後壁３３（図２参照）が下向きに折り曲げられている。この天板２７の下面側には、コ字状となる一対の右側壁２２および左側壁２３と、連結枠１８とが固定される。天板２７の下面側には、さらに一対の導風ユニット３０が、Ｘ線通過スリット２９を挟んで左右に固定される。導風ユニット３０は、前後方向に長い矩形板の内側に、同方向に長い矩形穴３４が形成された枠部３５を有する。導風ユニット３０は、この枠部３５の一対の長辺部が、下側に折り曲げられて上述の導風板３１となる。導風ユニット３０は、枠部３５の上面が天板２７にビスや溶接等によって固定される。

【0035】

図７は、受台空間内のエアの流れを説明するための模式図である。なお、図７では、天板２７が省略されている。
導風ユニット３０は、導風板３１の前端が前壁２０から離間するとともに、導風板３１の後端が後壁３３から離間している。これにより、受台６の左右後部の導入口２６から流入したエアは、導風板３１に沿って流れながら中央部のＸ線通過スリット２９に沿う流れとなり、最終的には吐出口３２から受台６の外へ排気される。すなわち、受台６は、搬送ベルト７の下面１０とＸ線検出器３の上面１１との間に所定の空間Ｓを形成し、空間Ｓ内にエアを流入させる導入口２６と、空間Ｓ内のエアを吐出する吐出口３２とを備えて構成される。なお、Ｘ線検出器３の上面１１は、下部フレーム９の上面１１とほぼ面一となっている。

【0036】

導入口２６は、受台背面における搬送方向の少なくとも片方に設けられる。本実施形態において、導入口２６は、受台６の左右後部に２箇所設けられる。吐出口３２は、受台正面におけるＸ線検出器３と重なる中央部に設けられている。導風ユニット３０の各導風板３１は、受台６を支持するとともに、導入口２６から供給されたエアを、吐出口３２に導くように働く。

【0037】

また、本実施形態において、Ｘ線検出器３は、センサ部分がラインセンサ３６となる。上述のスリット１２は、このラインセンサ３６の長手方向に沿って形成されている。複数の導風板３１は、ラインセンサ３６の長手方向に沿い、かつラインセンサ３６からオフセットされて平行に配置されている。

【0038】

図８は、変形例に係る受台空間内のエアの流れを説明するための模式図である。
なお、図７に示した実施形態に係る受台６は、一例である。図８に示すように、変形例に係る受台３７は、複数の導風板３８が、Ｘ線通過スリット２９と直交する方向で平行に配置される。この場合、それぞれの導風板３８は、右端が右側壁２２から離間し、左端が左側壁２３から離間して配置される。また、それぞれの導風板３８には、Ｘ線通過スリット２９と交わる位置に、エアを通すための切欠部３９が形成される。この変形例に係る受台３７においては、受台３７の左右後部の導入口２６から流入したエアは、左右から導風板３１に沿って中央部へ流れ込み、切欠部３９を通ってＸ線通過スリット２９に沿う流れとなり、最終的には吐出口３２から受台６の外へ排気されることになる。

【0039】

次に、上記した構成の作用を説明する。

【0040】

本実施形態に係るＸ線検査装置１では、搬送部５が、循環して移動する無端状の搬送ベルト７を備える。搬送ベルト７は、環状の周回路のうち上側周回部１６が被検査物４の搬送領域となる。搬送ベルト７は、この搬送領域における下面１０よりも下側に、Ｘ線検出器３を配置する。搬送ベルト７の下面１０とＸ線検出器３の上面１１との間には、受台６が備えられる。受台６は、搬送領域における搬送ベルト７の下面１０が天板２７に摺接することで、搬送領域の搬送ベルト７を支える。受台６は、搬送領域の搬送方向に直交する幅方向とほぼ同じ幅を有し、天板２７の反対側となる下方が開放された扁平な箱状となる。搬送ベルト７とＸ線検出器３との間には、この受台６が設けられることにより所定の距離で離間する空間Ｓが形成される。受台６は、導入口２６と、吐出口３２とを備える。受台６は、導入口２６から流入したエアが、吐出口３２より吐出（排気）されることにより、常に新しいエアが空間Ｓ内に流入する。

【0041】

Ｘ線検査装置１では、搬送領域の搬送ベルト７に被検査物４が載置され、被検査物４とＸ線検出器３との間に温度差があると、その温度勾配により、例えば高温の被検査物４から搬送ベルト７、受台６を通過して熱がＸ線検出器３へ移動する。被検査物４から受台６に伝わった熱は、空間Ｓ内を経てＸ線検出器３の上面１１に伝わるが、その殆どが、空間Ｓ内を流動するエアに伝わった後、吐出口３２より排気されるエアにより搬送されて吐出口３２より受台６の外部へと排熱される。このため、Ｘ線検出器３の上面１１には、被検査物４から伝わる熱が大幅に低減されることになる。その結果、Ｘ線検査装置１では、被検査物４とＸ線検出器３との間の伝熱が低減され、Ｘ線検出器３の寿命が短くなることを抑制できる。

【0042】

また、このＸ線検査装置１では、導入口２６が、受台背面における搬送方向の少なくとも片方に設けられる。なお、導入口２６は、受台背面における搬送方向の両側に設けられればさらによい。一方、吐出口３２は、受台正面におけるＸ線検出器３と重なる中央部に設けられる。導入口２６から受台６の空間Ｓ内に流入したエアは、搬送方向の少なくとも片方から中央部に向けて流れ、最終的に、中央部に設けられた吐出口３２から受台６の外部へ排気される。吐出口３２は、Ｘ線検出器３と重なる位置に設けられることで、吐出口３２から排気されるエアを必ずＸ線検出器３のセンサ部分（ラインセンサ３６）に近接させて通過させることができる。これにより、ラインセンサ３６にエアが滞留し、ラインセンサ３６が被検査物４からの熱の影響を受けやすくなることがない。その結果、Ｘ線検出器３のセンサ部分となる中央部付近からエアが確実に通過して流出し、Ｘ線検出器３への熱の伝達をより軽減できる。

【0043】

また、このＸ線検査装置１では、受台６の空間Ｓ内に導風板３１が設けられることにより、導入口２６から流入したエアが空間Ｓ内を淀みなく流れるように整流され、空間Ｓ内で滞留することなく吐出口３２から排気される。これにより、導入口２６から流入したエアが、例えば受台６の隅部でエネルギー損失を生じさせる渦となって滞留しなくなる。そのため、導入口２６から供給したエアを、エネルギー損失無く効率よく吐出口３２へ導くことができる。つまり、効率よく伝熱を抑制できる。

【0044】

また、Ｘ線検査装置１では、下方が開放されて扁平な箱状となる受台６の空間Ｓ内に、導風板３１が設けられている。導風板３１は、上端で天板２７を支え、下端が、Ｘ線検出器３を収容した下部フレーム９の上面１１に載置される。すなわち、導風板３１は、受台６の補強構造ともなる。受台６は、天板２７を厚い板材で構成すると重量が増え、扱いにくくなる。このため、清掃などの際の扱いを考慮すると、なるべく薄い板材がよい。受台６は、このような要請から撓みやすくなる天板２７を、導風板３１により補強することができる。

【0045】

受台６は、導風板３１が設けられて天板２７が撓みにくくなることにより、ベルト上面（搬送面）の被検査物４と、Ｘ線検出器３（ラインセンサ３６）との距離に変動が生じにくくなる。そして、受台６は、エアを整流して吐出口３２へ導けるので、空間Ｓ内におけるエアの搬送効率低下を抑制できる。また、被検査物４の荷重を導風板３１が支持するので、受台６の変形を抑制して、被検査物４とＸ線検出器３との距離を高精度に維持でき、検査精度の低下も抑制できる。

【0046】

さらに、このＸ線検査装置１では、Ｘ線検出器３のセンサ部分が、直線状のラインセンサ３６となる。ラインセンサ３６は、搬送領域の搬送方向中央部において、搬送方向と直交方向が長手方向となって配置される。導風板３１は、このラインセンサ３６の長手方向に沿って、ラインセンサ３６からオフセットされて平行に配置される。つまり、導風板３１は、ラインセンサ３６と重なる上方には位置しないようにして設けられる。従って、複数の導風板３１が設けられれば、少なくとも一対の導風板３１の間に、ラインセンサ３６が平行に位置することになる。これにより、ラインセンサ３６の上方には、一対の導風板３１に挟まれ、直近の下流が吐出口３２となった直線状の吐出流路が形成される。直線状の吐出流路に流入したエアは、滞留無く円滑に吐出口３２へ流れて排気が可能となる。その結果、少なくとも一対の導風板３１が、センサ部分を挟んで平行に配置され、導風板３１がセンサ部分の邪魔になることがなく、センサ近傍のエアを滞留なく確実に吐出口３２に導いて排気できる。

【0047】

従って、本実施形態に係るＸ線検査装置１によれば、被検査物４とＸ線検出器３との間の伝熱を低減し、Ｘ線検出器３の寿命が短くなることを抑制できる。

【0048】

本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、実施形態の各構成を相互に組み合わせることや、明細書の記載、並びに周知の技術に基づいて、当業者が変更、応用することも本発明の予定するところであり、保護を求める範囲に含まれる。

【0049】

例えば上記の構成例では、被検査物が高温である場合の例を説明したが、被検査物が低温である場合でも同様の効果を得られる。すなわち、被検査物が低温の場合には、本実施形態の構成により伝熱を低減することにより、Ｘ線検出器側の熱が被検査物に伝わることで、例えば冷凍食品などの品質低下、変質、劣化などを抑制することができる。

【符号の説明】

【0050】

１…Ｘ線検査装置
２…Ｘ線発生器
３…Ｘ線検出器
４…被検査物
５…搬送手段（搬送部）
６…受台
７…搬送ベルト
１０…下面
１１…上面
２６…導入口
３１…導風板
３２…吐出口
３６…ラインセンサ
Ｓ…空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】