特開2022-164546感光性化合物、感光性組成物、およびパターニング方法

発明の名称　感光性化合物、感光性組成物、およびパターニング方法

出願人　財團法人工業技術研究院　（識別番号 390023582）

　　　　特許公開件数ランキング 698 位（34件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 890 位（22件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-164546

公報発行日　2022年10月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-164546

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