特開 2022-165840出願番号 特願 2021-71380
解析装置、解析方法およびプログラム
公報発行日 2022年11月1
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-165840 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
解析装置、解析方法およびプログラム
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】半導体素子の特性を、精度よく解析する。
【解決手段】半導体装置をオン状態に設定し、且つ、第１主端子と第２主端子の間に印加される電源電圧を初期電圧に設定した状態で、第１主端子と第２主端子の間に流れる電流を安定させた後に、電源電圧を初期電圧より小さい変位電圧だけ変化させたときのいずれかの端子における電荷量の変化を、半導体装置内の電荷の過渡的な変化を模擬するデバイスシミュレータにより解析する電荷量解析部と、電荷量解析部が解析した電荷量の変化に基づいて、いずれかの端子容量を計算する容量算出部とを備える解析装置を提供する。
【選択図】図１
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
半導体素子の特性を、精度よく解析できることが好ましい。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
課題を解決するために、本発明の第一の態様においては、制御端子、第１主端子および第２主端子を有し、制御端子に印加される電圧により第１主端子と第２主端子との間に流れる電流が制御される半導体装置の端子容量を解析する解析装置を提供する。解析装置は、半導体装置をオン状態に設定し、且つ、第１主端子と第２主端子の間に印加される電源電圧を初期電圧に設定した状態で、第１主端子と第２主端子の間に流れる電流を・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本発明の一つの解析装置１０の一例を示す図である。
【図2】
解析対象の半導体装置１００の一例を示す断面図である。
【図3】
半導体装置１００を模式的に示す回路３００の一例である。
【図4】
電荷量解析部１４の動作例を説明する図である。
【図5】
容量算出部１６が算出するＣ－Ｖ特性の一例を示す図である。
【図6】
電荷量解析部１４の他の動作例を示す図である。
【図7】
一般的なＣ－Ｖ特性の一例を示す図である。
【図8】
参考例に係る測定方法を説明する図である。
【図9】
測定回路４０５の一例を示す図である。
【図10】
図９に示した測定回路４０５に基づいて算出したＣ－Ｖ特性の一例を示す図である。
【図11】
参考例において半導体装置１００がオン状態の場合の動作を示す回路４２０を示す。
【図12】
半導体装置１００をオン状態としたときの容量ＣＧＣの解析値と、オフ状態としたときの容量ＣＧＣの解析値とを示す。
【図13】
図１から図６において説明した解析方法により算出した電荷量から、各電流波形を解析した図である。
【図14】
図１から図６に示した解析装置１０を用いた解析方法の一例を示すフローチャートである。
【図15】
本発明の複数の態様が全体的または部分的に具現化されうるコンピュータ１２００の構成例を示す。
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
１０・・・解析装置、１２・・・入力部、１４・・・電荷量解析部、１６・・・容量算出部、１８・・・出力部、１００・・・半導体装置、１０１・・・第１主端子、１０２・・・第２主端子、１０３・・・制御端子、１０４・・・ゲート絶縁膜、１０５・・・ゲート構造部、１１０・・・層間絶縁膜、１１１・・・半導体基板、１１２・・・エミッタ領域、１１３・・・上面、１１４・・・ベース領域、１１５・・・下面、１１６・・・ドリフト領域、１１７・・・空乏層、１１８・・・バッファ領域、１２０・・・コレクタ領域、１３４・・・電源、１３５・・・電源、３００・・・回路、４０１・・・小信号源、４０２・・・電流計、４０５・・・測定回路、４２０・・・回路、１２００・・・コンピュータ、１２０１・・・ＤＶＤ－ＲＯＭ、１２１０・・・ホストコントローラ、１２１２・・・ＣＰＵ、１２１４・・・ＲＡＭ、１２１６・・・グラフィックコントローラ、１２１８・・・ディスプレイデバイス、１２２０・・・入出力コントローラ、１２２２・・・通信インターフェイス、１２２４・・・ハードディスクドライブ、１２２６・・・ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ、１２３０・・・ＲＯＭ、１２４０・・・入出力チップ、１２４２・・・キーボード
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