特開2022-166211ウェハおよびフォトマスクの組み合わせ検査のシステム、装置、および方法

発明の名称　ウェハおよびフォトマスクの組み合わせ検査のシステム、装置、および方法

出願人　ナノトロニクス　イメージング　リミテッド　ライアビリティ　カンパニー　（識別番号 511289471）

　　　　特許公開件数ランキング 7170 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2819 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-166211

公報発行日　2022年11月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-166211

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