特開 2022-167281 光源装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022167281

(43)【公開日】2022-11-04

(54)【発明の名称】光源装置

(51)【国際特許分類】

   B01J 19/08 20060101AFI20221027BHJP

   A61L 9/20 20060101ALI20221027BHJP

   B01J 20/08 20060101ALI20221027BHJP

   B01J 20/10 20060101ALI20221027BHJP

   B01J 20/26 20060101ALI20221027BHJP

   B01D 53/26 20060101ALI20221027BHJP

   H01J 65/00 20060101ALI20221027BHJP

【ＦＩ】

B01J19/08 C

A61L9/20

B01J20/08 A

B01J20/10 A

B01J20/10 C

B01J20/26 D

B01D53/26 200

H01J65/00 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021072984

(22)【出願日】2021-04-23

(71)【出願人】

【識別番号】000102212

【氏名又は名称】ウシオ電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000729

【氏名又は名称】特許業務法人 ユニアス国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】柳生 英昭

【テーマコード（参考）】

4C180

4D052

4G066

4G075

【Ｆターム（参考）】

4C180AA07

4C180DD03

4C180HH01

4C180HH17

4C180HH20

4D052CE00

4D052HA01

4D052HA02

4D052HA03

4D052HA49

4G066AA20B

4G066AA22B

4G066BA02

4G066BA09

4G066CA43

4G066DA01

4G075AA03

4G075AA22

4G075BB10

4G075CA33

4G075DA02

4G075EB31

4G075EC21

4G075EC25

4G075FB04

4G075FB12

4G075FC04

(57)【要約】

【課題】劣化の進行を抑制する光源装置を提供する。
【解決手段】本発明の光源装置は、筐体と、前記筐体の内部空間に配置され、紫外光を放射する光源と、前記光源から放射された前記紫外光を前記筐体の外へ導く光透過材と、前記内部空間に配置された水分吸着材と、を備える。
【選択図】図２Ａ

【特許請求の範囲】

【請求項1】

筐体と、
前記筐体の内部空間に配置され、紫外光を放射する光源と、
前記光源から放射された前記紫外光を前記筐体の外へ導く光透過材と、
前記内部空間に配置された水分吸着材と、を備えることを特徴とする光源装置。

【請求項2】

前記水分吸着材がペレット状の粒体を含むことを特徴とする、請求項１に記載の光源装置。

【請求項3】

前記水分吸着材が板状体を含むことを特徴とする、請求項１に記載の光源装置。

【請求項4】

前記水分吸着材が前記筐体の内壁に接する膜状体を含むことを特徴とする、請求項１に記載の光源装置。

【請求項5】

前記水分吸着材の少なくとも一部は、前記筐体を構成することを特徴とする、請求項１に記載の光源装置。

【請求項6】

前記水分吸着材の少なくとも一部が、前記紫外光に耐性を有することを特徴とする、請求項１～５のいずれか一項に記載の光源装置。

【請求項7】

前記水分吸着材が、セラミック及びＰＴＦＥの少なくとも一つを含むことを特徴とする、請求項１～５のいずれか一項に記載の光源装置。

【請求項8】

前記セラミックは、アルミナ及びシリカの少なくとも一つを含むことを特徴とする、請求項７に記載の光源装置。

【請求項9】

前記光源はエキシマランプであり、
当該エキシマランプの発光管の外面に外部電極が配置されていることを特徴とする、請求項１～５のいずれか一項に記載の光源装置。

【請求項10】

前記光源は、２００ｎｍ以下の波長を含む紫外光を放射する固体光源であることを特徴とする、請求項１～５のいずれか一項に記載の光源装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、光源装置に関する。

【背景技術】

【0002】

以前より、紫外光を利用して細菌又はウイルスを不活化させる技術が知られている。特に、近年は、人体への与える影響の小さい波長１９０～２４０ｎｍの紫外光を放射する光源が注目されている。例えば、特許文献１には、エキシマランプから放射される上記波長帯域の紫外線で殺菌対象物又は殺菌対象空間を照射して、殺菌対象物の表面又は殺菌対象空間に存在する細菌及びウイルスを不活化することが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１９－１１５５２５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

光源装置には、エキシマランプ等の光源のみならず、筐体、フィルタ及び電極など、様々な部材から構成される。これら様々な部材には、樹脂や金属などの材料が使用されている。

【0005】

本発明者は、光源近傍に位置し、かつ、樹脂又は金属を含む部材が、光源の長時間の使用により当該部材の表面が劣化し、以下に述べる問題が生じるおそれがあることを見出した。その問題とは、表面が劣化する部材が筐体の外部へ紫外光を取り出す窓に用いられる光透過材（波長選択フィルタ又は光拡散部材等）である場合には、光透過率が低下し、光源装置の照度が低下することである。表面が劣化する部材が紫外光反射部材である場合には、当該反射部材の反射効率が低下し、光源装置の照度が低下することである。表面が劣化する部材が光源装置の筐体である場合には、筐体からのパーティクルの発生に伴い、表面荒れが発生したり、筐体の剛性が低下したりすることである。さらに、発生したパーティクルが波長選択フィルタに付着し透過率を低下させたり、発生したパーティクルが紫外光の反射部材に付着し反射率を低下させたりすることがある。

【0006】

よって、上記の劣化の進行を抑制する光源装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の光源装置は、筐体と、
前記筐体の内部空間に配置され、紫外光を放射する光源と、
前記光源から放射された前記紫外光を前記筐体の外へ導く光透過材と、
前記内部空間に配置された水分吸着材と、を備える。

【0008】

詳細は後述するが、本発明の光源装置では、筐体の内部空間が水分吸着材と接するので、当該内部空間に含まれる水分量を減少させることができる。水分量が減少すると、光源の放射光で２００ｎｍ以下の紫外光で生成されるＯＨラジカルの生成量が減少し、又は、光源周囲で発生する沿面放電や大気放電を起点として生成されるＯＨラジカルの生成量が減少する。本発明者は、ＯＨラジカルが、光源の近傍に位置する材料（光透過材、電極又は筐体等の部材に使用される樹脂又は金属）を劣化させることを突き止めた。よって、ＯＨラジカルの生成量を減少させると、光源の近傍に位置する部材の劣化の進行を遅らせることができる。

【0009】

前記水分吸着材がペレット状の粒体を含んでも構わない。

【0010】

前記水分吸着材が板状体を含んでも構わない。

【0011】

前記水分吸着材が前記筐体の内壁に接する膜状体を含んでも構わない。

【0012】

前記水分吸着材の少なくとも一部は、前記筐体を構成しても構わない。

【0013】

前記水分吸着材の少なくとも一部が、前記紫外光に耐性を有しても構わない。

【0014】

前記水分吸着材が、セラミック及びＰＴＦＥの少なくとも一つを含んでも構わない。

【0015】

前記セラミックは、アルミナ及びシリカの少なくとも一つを含んでも構わない。

【0016】

前記光源はエキシマランプであり、
当該エキシマランプの発光管の外面に外部電極が配置されていても構わない。

【0017】

前記光源は、２００ｎｍ以下の波長を含む紫外光を放射する固体光源であっても構わない。

【発明の効果】

【0018】

これにより、劣化の進行を抑制する光源装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】第一実施形態の光源装置の外観斜視図である。

【図2A】図１におけるＸＺ面に平行なＣ１面における断面模式図である。

【図2B】間隔を空けて第一筐体から第三筐体を示した断面模式図である。

【図3A】第三筐体のみを示す斜視図である。

【図3B】第二筐体のみを示す斜視図である。

【図4】第二実施形態の光源装置の断面模式図である。

【図5】第三実施形態の光源装置の断面模式図である。

【図6】第四実施形態の光源装置の断面模式図である。

【図7】二つの光源装置の照度維持率の積算使用時間による変化を示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0020】

図面を参照しながら各実施形態を説明する。なお、本明細書に開示された各図面は、あくまで模式的に図示されたものである。すなわち、図面上の寸法比と実際の寸法比とは必ずしも一致しておらず、また、各図面間においても寸法比は必ずしも一致していない。

【0021】

以下において、各図面は、適宜、ＸＹＺ座標系を参照しながら説明される。なお、本明細書において、方向を表現する際に、正負の向きを区別する場合には、「＋Ｘ方向」、「－Ｘ方向」のように、正負の符号を付して記載される。正負の向きを区別せずに方向を表現する場合には、単に「Ｘ方向」と記載される。すなわち、本明細書において、単に「Ｘ方向」と記載されている場合には、「＋Ｘ方向」と「－Ｘ方向」の双方が含まれる。Ｙ方向及びＺ方向についても同様である。

【0022】

＜第一実施形態＞
［光源装置の概要］
図１は光源装置１０の外観の斜視図である。図２Ａは、図１におけるＸＺ面に平行なＣ１面における断面模式図である。図１及び図２Ａを参照して、光源装置１０は、紫外光を放射する複数の光源３と、光源３を収容する筐体２と、光源３から放射された紫外光を透過して、光を筐体の外に導く光透過材４と、筐体２の内部空間１が接する水分吸着材７（図２Ａ参照）と、を含む。光源３は、給電線（８ａ，８ｂ）（図１参照）から電極９（図２Ａ参照）を介して給電される。電極９は、光源３への給電機能だけでなく、光源３から放射された光を反射して光透過材４に向ける、光反射機能を有する。図１及び図２Ａでは、光透過材４を透過した放射光の光軸Ｌ１を示している。さらに図２Ａでは、光透過材４を透過した放射光の光線束Ｆ１も示している。

【0023】

本実施形態において、光源３はＫｒＣｌエキシマランプである。ＫｒＣｌエキシマランプは、主たる発光波長（相対強度が最も高い波長）が２２２ｎｍの紫外線を放射する光源装置である。ＫｒＣｌエキシマランプをはじめとする１９０ｎｍ～２４０ｎｍの波長帯域の光を放射する光源は、細菌又はウイルスを不活化させる作用を有する。そして、当該光源を必要に応じて波長選択フィルタと組合せて、人体に対して影響を及ぼすおそれのある、出射光が２４０ｎｍ以上の波長帯域を含む光を遮断することで、人体に対する安全性を向上させた光源装置を形成できる。このような光源装置は、細菌又はウイルスの不活化装置として、人の居る空間で使用できる。

【0024】

図２Ａでは図示されていないが、光源３を構成するランプの管軸方向（図２ＡにおけるＹ方向）に離間した位置に、一対の電極９が配置されている。この一対の電極９は、それぞれ給電線（８ａ，８ｂ）に接続されている。図示しない点灯回路から給電線（８ａ，８ｂ）を介して一対の電極９に電圧が印加されることで、誘電体であるランプの管体を介して管体内に封入された発光ガスに対して電圧が印加され、管体内でエキシマ発光する。

【0025】

本実施形態において、光源装置１０の筐体は、３つの部材を積層して構成される。図２Ｂは、図２Ａの光源装置１０の断面模式図において、当該３つの部材を、それぞれ間隔を空けて示している。筐体２は、光源３に接する電極９を取り付ける第一筐体２ａと、第一筐体２ａよりも＋Ｘ方向（光射出方向）に位置する第二筐体２ｂと、第二筐体２ｂよりも＋Ｘ方向に位置し、ＹＺ平面上で光透過材４を囲む第三筐体２ｃと、を含む。

【0026】

なお、図２Ａでは示されていないが、第一筐体２ａ、第二筐体２ｂ及び第三筐体２ｃは、積層されて、互いにネジで固定されている。また、接着剤など、ネジ以外の固定手段を使用しても構わない。後者の場合は、光源３から出射される紫外線に対する高い耐性を示す材料が用いられる。

【0027】

［筐体］
本実施形態において、第一筐体２ａ、第二筐体２ｂ及び第三筐体２ｃは、主にＰＥＩ（ポリエーテルイミド）樹脂を含む材料で構成されるが、紫外光に耐性を有する他の樹脂を含む材料で構成されてもよい。また、筐体（２ａ，２ｂ，２ｃ）の一部または全部を、後述する水分吸着材７と同様の機能を実現する観点から、水分吸着作用のある材料（例えばアルミナなど）で構成しても構わない。この場合、筐体自体は水分吸着材としても機能するため、筐体とは別の水分吸着材を有していなくてもよい。

【0028】

［電極］
電極９は、アルミニウム系材料から構成されている。電極９には、光源３に給電する効果と、光源３からの放射光が電極９に入射したとき、電極９の表面で放射光を反射させて、光透過材４に導く効果とを有する。

【0029】

［光透過材］
図２Ａを参照して、光透過材４は、紫外光を取出す開口に設けられた紫外光を透過する光透過材の総称である。本実施形態では、光透過材４として、波長選択フィルタと光拡散板とを含む。

【0030】

［水分吸着材］
図２Ａに示すように、光源装置１０は、筐体２の内部空間１が接するように配置された水分吸着材７を備える。この水分吸着材７は、内部空間１に含まれる水分を吸水することによって、光源装置１０を構成する部材の劣化の進行を抑制する目的で設けられている。以下において、水分吸着材７が備えられていない場合には前記部材に対して劣化が進行すると考えられる理由について、説明する。

【0031】

光源装置１０は、光源３の周囲に、筐体２、光透過材４及び電極９など、樹脂又は金属を含む部材を有する。

【0032】

上述したように、ＫｒＣｌエキシマランプで構成される、本実施形態の光源３から出射される紫外光は、ピーク波長が２２２ｎｍ近傍である。しかし、この紫外光は、ピーク波長の光強度に比べるとその強度は微弱ながらも、２００ｎｍ以下の波長成分も含む。下記式（１）に示されるように、２００ｎｍ以下の波長の紫外線（「ｈν（λ）」と記載することがある。）は、酸素分子に吸収されて、Ｏ（^１Ｄ）又はＯ（^３Ｐ）などの原子状酸素（「Ｏ」と記載することがある。）を生成しやすい。
Ｏ_２ ＋ ｈν（λ） → Ｏ＋ Ｏ …（１）

【0033】

下記式（２）に示されるように、原子状酸素は、水と結合して、ＯＨラジカル（「・ＯＨ」と記載することもある。）を生成する。
Ｏ・ ＋ Ｈ_２Ｏ → ２・ＯＨ …（２）

【0034】

または、下記式（３）に示されるように、原子状酸素からオゾン（Ｏ_３）を生成し、下記式（４）に示されるように、オゾンが水と結合してＯＨラジカルを生成する。
Ｏ_２ ＋ Ｏ・ → Ｏ_３ …（３）
Ｏ_３＋ Ｈ_２Ｏ → ２・ＯＨ ＋Ｏ_２ …（４）

【0035】

また、エキシマランプのような、誘電体バリア放電により点灯するランプの場合、ランプの発光管の外面に外部電極が設けられているので、外部電極付近で沿面放電や大気放電が発生し、これによりオゾンが生成されることがある。上記式（４）に示されるように、沿面放電により生成されたオゾンが水分と結合してＯＨラジカルを生成することがある。

【0036】

ＯＨラジカルは強い酸化力を有する。本発明者の鋭意研究の結果、光源３の近傍に位置する樹脂又は金属が、ＯＨラジカルにより劣化することを突き止めた。光源３の近傍に位置する樹脂は、例えば、光透過材４及び筐体２を含む。光源３の近傍に位置する金属は、例えば、光反射機能を有する電極９を含む。光透過材４又は電極９が劣化すると、光源装置１０から取り出される紫外光の出力が低下する。筐体２が劣化すると、筐体２からパーティクルが発生し、表面荒れが発生したり、筐体２の剛性が低下したりする。さらに、発生したパーティクルが波長選択フィルタに付着して透過率を低下させたり、発生したパーティクルが紫外光の反射部材に付着し、反射率を低下させたりすることがある。

【0037】

これに対し、本実施形態の光源装置１０は、上述したように筐体２の内部空間１が接するように配置された水分吸着材７を備える。これにより、内部空間１に含まれる水分量が減少する。内部空間１に含まれる水分量が減少すると、上記式（２）及び上記式（４）の反応が起こりにくくなり、ＯＨラジカルの生成量が減少する。よって、光源３の近傍に位置する部材の劣化を抑えることができる。

【0038】

水分吸着材７を構成する材料は、吸水機能を有する材料であればよく、好適にはセラミック系材料（例えば、アルミナ、シリカ又はゼオライトなど）や、樹脂系材料（例えば、ＰＴＦＥなど）が利用される。また、水分吸着材７は多孔質体で構成されてもよい。水分吸着材７が多孔質体である場合、内部空間１との接する表面積を増やして、水分の吸着効率を高めることができる。

【0039】

図３Ａは、第三筐体２ｃのみを示す斜視図である。第三筐体２ｃは、多数の水分吸着材７を収容する収容室２１を備える。図３Ａでは、収容室２１を分かりやすく示すために、二つある収容室２１のうち一方の収容室２１には、水分吸着材７を描写していない。しかしながら、図２Ａ及び図２Ｂに示されるように、水分吸着材７は、実際には、二つの収容室２１それぞれに収容されている。

【0040】

本実施形態では、水分吸着材７は、特にペレット状（小さな粒体状）と言われる粒体である。この粒体は略円柱形状をしている。この形状は一例であって、角柱又は球状など、特に限定されるものでない。粒体のサイズ（直径）は、０．０１ｍｍ～１０ｍｍであるとよく、特に好ましくは０．１ｍｍ～５ｍｍであるとよい。粒体のサイズについて、粒体のサイズが小さくなるほど、内部空間１に接する表面積が増えて、水分吸着性能が高くなる傾向にある。

【0041】

図２Ａ、図２Ｂ及び図３Ａでは、ペレット状の粒体の水分吸着材７が整列して収容室２１に収容されている。しかしながら、水分吸着材７が整列した状態で収容されなくてもよい。水分吸着材７を収容室２１にランダムに投入してもよい。水分吸着材７が収容室２１内で、動かないよう固定しなくてもよい。

【0042】

図３Ｂは、第二筐体２ｂのみを示す斜視図である。第二筐体２ｂの中央は、内部空間１を形成するための開口２５である。第二筐体２ｂは、第三筐体２ｃの収容室２１付近に、Ｙ軸方向に延びるスリット状の孔２４を有する。図２Ａに示されるように、第二筐体２ｂが、収容室２１の蓋として機能する。孔２４のＺ方向の幅は、水分吸着材７の粒体よりも小さなサイズであり、これにより、水分吸着材７が内部空間１と接する状態を保ちつつ、光源装置１０の搬送時でも、水分吸着材７が収容室２１から脱しないようにできる。この孔２４の形状は一例であり、他の形状であってもよい。また、水分吸着材７が何らかの網に覆われていれば、孔２４の幅が水分吸着材７の粒体のサイズより大きくても、または、収容室２１の蓋が無くても、水分吸着材７が収容室２１から脱しないようにできる。

【0043】

図３Ｂを参照して、第二筐体２ｂは、光源３の延びる方向の両端に、光源を－Ｘ方向に押さえる押さえ部材２６を有する。光源３は、電極９と押さえ部材２６とにＸ方向に挟まれて固定される。

【0044】

水分吸着材７は、光源３が放射する紫外光に耐性を有する材料で構成されてもよい。このような材料としては、例えば、ゼオライトが挙げられる。光源３が放射する紫外光が水分吸着材７に到達した場合でも、当該紫外光による水分吸着材７の劣化を防ぐことができる。なお、光源３が放射する紫外光が、水分吸着材７に吸着された水分に到達し、吸着された水分からＯＨラジカルが生成されたとしても、生成されたＯＨラジカルの多くは水分吸着材７の近傍に留まるので、劣化を抑制したい光源装置１０を構成する部材への影響は、問題となりにくい。

【0045】

また、水分吸着材７の収容室２１に蓋を設けるとき、蓋に設ける孔２４を紫外光が届かないような形状とすること、又は、紫外光の放射範囲外に収容室２１を位置するようにすることにより、紫外光が水分吸着材７にほとんど到達しない場合には、水分吸着材７を、紫外光に耐性を有する材料で構成しなくても構わない。

【0046】

筐体２の内部空間１は、筐体２の外部から遮断された閉鎖空間である（図２Ａ参照）。筐体２の外部から内部空間１に浸入する水分（水蒸気等）は、全くないか、又は、微量である。内部空間１に含まれる水分の多くは、光源装置１０を製造する際に入り込んだ、製造現場の雰囲気に含まれる水蒸気である。閉鎖空間内の水分を一度吸着すれば、通常は、水分吸着材７を入れ替えることなく、内部空間１の低湿度環境を維持できる。時間の経過とともに、筐体２の外部より内部空間１に浸入する水分により、低湿度環境を維持できない場合には、大量の水分を吸着できる水分吸着材７を使用するか、光源装置１０の水分吸着材７を取り換え可能な構造にしてもよい。

【0047】

＜第二実施形態＞
第一実施形態と異なる点を中心に第二実施形態を説明する。以下に述べる以外の事項は、第一実施形態と同様に実施できる。

【0048】

図４は、第二実施形態の光源装置である。図４を参照しながら第二実施形態を説明する。第二実施形態の光源装置２０は、板形状の水分吸着材７を有する。本実施形態の水分吸着材７は、ＸＹ方向に延び、Ｚ方向に薄い形状をなす。水分吸着材７のＺ方向の厚みは、例えば、１ｍｍ～１０ｍｍである。光源装置２０の筐体は、第一筐体２ａと、第一筐体２ａよりも＋Ｘ方向（光射出方向）に位置する第二筐体２ｂとから構成される。本実施形態では、水分吸着材７の収容室２１を有していない。板状の水分吸着材７は、第二筐体２ｂの内壁から－Ｘ方向に立設する。そのために、例えば、水分吸着材７のＺ方向に対向する両面を挟んで固定する固定部（不図示）を、第二筐体２ｂに設けてもよい。変形例として、板状の水分吸着材７の一面を筐体２の内壁に接するように配置してもよい。

【0049】

このような板形状の水分吸着材７としては、例えばセラミックスを板状に加工したものを利用しても構わないし、他の部材で形成された基体の面上に、ＰＴＦＥ等の樹脂が配置されたものを利用しても構わない。

【0050】

＜第三実施形態＞
図５は、第三実施形態の光源装置である。図５を参照しながら第三実施形態を説明する。第三実施形態では、光源装置３０の筐体は、第一筐体２ａと、第一筐体２ａよりも＋Ｘ方向（光射出方向）に位置する第二筐体２ｂとから構成される。筐体（２ａ，２ｂ）の内壁に、膜状の水分吸着材７が接して形成されている。膜状の水分吸着材７は、光源装置３０の筐体（２ａ，２ｂ）を積層する前に、筐体（２ａ，２ｂ）の内壁に、個別に成膜して形成される。このような方法で形成可能な水分吸着材７の材料としては、例えば、ゼオライトと耐紫外光バインダーとの混合液が挙げられる。当該混合液を筐体（２ａ，２ｂ）の内壁に塗布し、乾燥させて成膜する。

【0051】

＜第四実施形態＞
図６は、第四実施形態の光源装置である。図６を参照しながら第四実施形態を説明する。第四実施形態の光源装置４０では、水分吸着材７が、主に粉体を含んでいる。粉体は水蒸気を透過し粉体を透過しない袋に収容され、当該袋は収容室２１内に収容されている。
水分吸着材７が粉体である場合、水分吸着材７の表面積が大きいため、水分吸着効率が高い。

【0052】

以上で、光源装置の各実施形態及びその変形例を説明した。しかしながら、本発明は、上述の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、上記の各実施形態を組み合わせたり、各実施形態に種々の変更又は改良を加えたりすることができる。

【0053】

光源３としてＫｒＣｌエキシマランプを使用することを説明したが、波長の異なる他のエキシマランプ（ＫｒＢｒエキシマランプ、Ｘｅエキシマランプ等）を使用した場合でも、水分吸着材７を使用できる。なぜなら、エキシマランプが放射する光の波長にかかわらず、オゾンを生成し得る沿面放電や大気放電を発生するおそれがあるためである。特に、発光管の外面に外部電極を配置する構造を有するエキシマランプの場合、外部電極と発光管の間で沿面放電や大気放電が発生する可能性が高い。

【0054】

固体光源（レーザダイオード又はＬＥＤ）を使用した光源装置にも、水分吸着材７を使用できる。固体光源においても、放射される紫外光に波長２００ｎｍ以下の紫外光が含まれる場合があり、波長２００ｎｍ以下の紫外光によってオゾンが生成するからである。特に、ピーク波長が２００～２４０ｎｍの波長範囲である固体光源は、主として放射される紫外光が２００ｎｍより長波長であっても、２００ｎｍ以下の波長成分を僅かに含む場合がある。この場合に、２００ｎｍ以下の波長成分によってオゾンが生成される可能性がある。そのため、水分吸着剤を用いてＯＨラジカルの生成を抑制することが望ましい。

【実施例0055】

第一実施形態の光源装置１０と同じタイプの装置（Ｄ１、Ｄ２）を準備した。つまり、装置（Ｄ１、Ｄ２）は、いずれも、第一筐体～第三筐体が積層されて閉鎖空間を形成している。そして、水分吸着材７を収容するための収容室２１を有している。ただし、装置Ｄ１は、収容室２１に円柱型ペレットの水分吸着材７を有しているのに対し、装置Ｄ２は、収容室２１をはじめ、筐体２の内部のいずれにも水分吸着材７を有していない。よって、装置Ｄ１の内部空間１は低湿度環境を維持しているのに対し、装置Ｄ２の筐体２内の内部空間１は、水分量の高い状態にある。

【0056】

図７は、二つの装置（Ｄ１、Ｄ２）について、装置の使用を開始してから１０００時間経過するまでの照度維持率の変化を示すグラフである。照度維持率は、以下の（５）式で算出される。
照度維持率（％）＝（任意の積算使用時間における照度／光源装置１０の使用開始直後の初期照度）×１００ …（５）

【0057】

なお、照度については、図７においては、装置（Ｄ１，Ｄ２）の光透過材４に対して５ｃｍ離間して対向する位置に照度計を設置して測定した。なお、点灯回路から（Ｄ１，Ｄ２）のそれぞれの装置が備える光源３に対して印加される電圧の波高値は、常時一定とした。

【0058】

図７より、水分吸着材７の入っていない装置Ｄ２は、装置の積算使用時間が１０００ｈ（時間）に到達したとき、照度維持率は、使用開始直後の約７０％にまで低下している。この照度の低下は、光透過材若しくは電極の劣化、又は光透過材又は電極へのパーティクル付着によるものと考えられる。

【0059】

他方、水分吸着材７の入っている装置Ｄ１は、装置の積算使用時間が１０００ｈ（時間）に到達したとき、照度維持率は、使用開始直後の約９０％の低下に留まる。この結果は、水分吸着材７により筐体内の水分量が減少し、照度の低下を抑えられたことを示している。つまり、光透過材及び電極の劣化が小さいと考えられる。

【符号の説明】

【0060】

１ ：内部空間
２ ：筐体
２ａ ：第一筐体
２ｂ ：第二筐体
２ｃ ：第三筐体
３ ：光源
４ ：光透過材
７ ：水分吸着材
８ ：給電線
９ ：電極
１０ ：光源装置
２０ ：光源装置
２１ ：収容室
２４ ：孔
２５ ：開口
２６ ：押さえ部材
３０ ：光源装置
４０ ：光源装置
Ｄ１ ：装置
Ｄ２ ：装置
Ｌ１ ：紫外光

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図3A】

【図3B】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】