特開 2022-167738 沈積防止逆止弁

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022167738

(43)【公開日】2022-11-04

(54)【発明の名称】沈積防止逆止弁

(51)【国際特許分類】

   F16K 15/06 20060101AFI20221027BHJP

【ＦＩ】

F16K15/06

【審査請求】有

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021123856

(22)【出願日】2021-07-29

(31)【優先権主張番号】110114454

(32)【優先日】2021-04-22

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(31)【優先権主張番号】110116046

(32)【優先日】2021-05-04

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(71)【出願人】

【識別番号】519404230

【氏名又は名称】日揚科技股▲分▼有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】100082418

【弁理士】

【氏名又は名称】山口 朔生

(74)【代理人】

【識別番号】100167601

【弁理士】

【氏名又は名称】大島 信之

(74)【代理人】

【識別番号】100201329

【弁理士】

【氏名又は名称】山口 真二郎

(74)【代理人】

【識別番号】100220917

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 忠大

(72)【発明者】

【氏名】陳建勳

(72)【発明者】

【氏名】孫世源

(72)【発明者】

【氏名】彭冠穎

(72)【発明者】

【氏名】許俊樹

(72)【発明者】

【氏名】方志強

【テーマコード（参考）】

3H058

【Ｆターム（参考）】

3H058AA02

3H058BB33

3H058CA04

3H058CA06

3H058CB06

3H058CB24

3H058CB32

3H058CC02

3H058CD05

3H058EE05

3H058EE12

(57)【要約】

【課題】逆止弁の内部に沈積現象が発生して、密着度が降下する問題を解決可能な沈積防止逆止弁を提供する。
【解決手段】第１の開口を有し、第１の開口の片側に面取り環状面が形成されている上フランジと、第２の開口を有する下フランジと、上フランジと下フランジとの間に設けられている仕切りフレームと、その頂側がコーンプレートであり、軸方向に沿って移動可能に仕切りフレームに設けられておるシーリング部材と、を少なくとも備え、シーリング部材のコーンプレートのリングジョイントエリアは、常時に面取り環状面に並行的に接離可能に保持されており、開位置または閉位置に移動することにより、上フランジの第１の開口を対応して開閉し、上フランジの第１の開口は、下フランジの第２の開口と連通し、又は連通しないことを特徴とする。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

プロセスチャンバーと空気抽出装置との間に組付けられている沈積防止逆止弁であって、
第１の開口を有し、前記第１の開口の片側に面取り環状面が形成されている上フランジと、
第２の開口を有する下フランジと、
前記上フランジと前記下フランジとの間に設けられている仕切りフレームと、
その頂側はコーンプレートであるシーリング部材と、を少なくとも備え、
前記シーリング部材の前記コーンプレートの頂端は、テーパー状、平面状、又は円弧状を呈し、
前記シーリング部材の底側には、ガイドロッドが一体的又は脱着可能に接続されており、
前記ガイドロッドが、前記仕切りフレームの案内溝内に移動可能に保持されることにより、前記シーリング部材は、軸方向に沿って移動可能に前記仕切りフレームに設けられており、
前記コーンプレートのリングジョイントエリアは、常時前記面取り環状面に並行的に接離可能に保持されており、
前記空気抽出装置が空気抽出状態または空気抽出停止状態に切り替えられるときに、前記シーリング部材は、それに応じて開位置または閉位置に移動して、前記上フランジの前記第１の開口を対応して開閉し、これにより、前記上フランジの前記第１の開口は、前記下フランジの前記第２の開口と連通して、前記空気抽出装置は前記プロセスチャンバーにおけるガスを抽出することができ、又は前記下フランジの前記第２の開口と連通せず、前記ガスの前記プロセスチャンバーへの回流を防止することを特徴とする、
沈積防止逆止弁。

【請求項2】

前記シーリング部材の前記コーンプレートの前記リングジョイントエリアの中心角の角度が、前記面取り環状面の面取りの角度と同じであることを特徴とする、請求項１に記載の沈積防止逆止弁。

【請求項3】

前記仕切りフレームは、環状中空フレームと、クロスバーと、を備え、前記クロスバーは、前記環状中空フレームの両側に接続されており、前記案内溝は前記クロスバーに設けられており、前記シーリング部材が軸方向に沿って移動可能に前記仕切りフレームに設けられている状態において、前記案内溝の軸心が、前記シーリング部材の前記コーンプレートの軸心に並行であることを特徴とする、請求項１に記載の沈積防止逆止弁。

【請求項4】

前記上フランジ及び前記下フランジは、それぞれ第１のリングパイプ、接続板および第２のリングパイプから構成され、前記下フランジの前記接続板が、前記下フランジの前記第１のリングパイプと前記第２のリングパイプとの間に、垂直又は斜めに接続されており、及び／又は、前記上フランジの前記接続板が、前記上フランジの前記第１のリングパイプと前記第２のリングパイプとの間に、垂直又は斜めに接続されていることを特徴とする、請求項１に記載の沈積防止逆止弁。

【請求項5】

前記上フランジの前記面取り環状面は、第１の気密ワッシャーを有し、前記シーリング部材が前記閉位置に位置するときに、前記コーンプレートの前記リングジョイントエリアが、前記上フランジの前記面取り環状面上の前記第１の気密ワッシャーに当接することを特徴とする、請求項１に記載の沈積防止逆止弁。

【請求項6】

前記シーリング部材が前記開位置に位置するときに、前記シーリング部材の前記コーンプレートの頂端の位置が、前記上フランジの前記第１の開口の第１の側に近接し、前記シーリング部材が前記閉位置に位置するときに、前記シーリング部材の前記コーンプレートの前記頂端の位置が、前記上フランジの前記第１の開口に位置し、且つ前記上フランジの前記第１の開口の第２の側に近接し、前記第２の側は前記第１の側に対向することを特徴とする、請求項１に記載の沈積防止逆止弁。

【請求項7】

前記シーリング部材の前記頂側の前記コーンプレートの表面に、更に、カバー部材が設けられており、前記カバー部材の表面の平滑度は、前記シーリング部材の前記コーンプレートの表面の平滑度より高いことを特徴とする、請求項１に記載の沈積防止逆止弁。

【請求項8】

前記仕切りフレームが、前記下フランジと前記上フランジとの間に脱着可能に設けられており、前記上フランジと前記仕切りフレームとの間、及び前記下フランジと前記仕切りフレームとの間には、第２の気密ワッシャーがそれぞれ設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の沈積防止逆止弁。

【請求項9】

前記コーンプレートと前記仕切りフレームとの間に設けられている弾性部材を備え、前記ガイドロッドは前記弾性部材を挿通し、前記弾性部材の直径が、前記コーンプレートの直径と前記ガイドロッドの直径の間であることを特徴とする、請求項１に記載の沈積防止逆止弁。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、逆止弁に関し、特に、沈積防止逆止弁に関するものである。

【背景技術】

【0002】

近年、半導体技術の継続的な活発な発展により、技術製品は大きな進歩を遂げることができた。半導体チップの製造プロセスにおいて、一般的に、チップはプロセスチャンバーに置かれて、関連の製造工程を行い、且つ真空ポンプを利用して、プロセスチャンバーにおける空気またはガスを抽出することにより、プロセスチャンバーを負圧状態に保持し、ある程度の真空度にする。

【0003】

逆止弁（ｃｈｅｃｋ ｖａｌｖｅ）は、「逆流防止弁」、「チェックバルブ」とも呼ばれ、流体の逆流を自動的に防止することができる。真空ポンプが真空になるために作動すると、逆止弁のフラップが開くことにより、流体はプロセスチャンバーから流出できる。また、真空ポンプが停止すると、流体の圧力差により、逆止弁が自動的に閉じるため、流体のプロセスチャンバーへの逆流を防止することができる。
しかし、半導体の製造プロセスにおいて、ガス反応物やガスによって運ばれる固体粒子が、逆止弁に沈積しやすく、このような沈積物により、逆止弁の密着度が悪化して、製造プロセスの品質を降下する虞がある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明の主な目的は、逆止弁の内部に沈積現象が発生して、密着度が低下する問題を解決可能な沈積防止逆止弁を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明に係る沈積防止逆止弁は、プロセスチャンバーと空気抽出装置との間に組付けられており、第１の開口を有し、第１の開口の片側に面取り環状面が形成されている上フランジと、第２の開口を有する下フランジと、上フランジと下フランジとの間に設けられている仕切りフレームと、その頂側はコーンプレートであるシーリング部材と、を少なくとも備え、シーリング部材のコーンプレートの頂端は、テーパー状、平面状、又は円弧状を呈し、前記シーリング部材の底側には、ガイドロッドが一体的に接続されており、又はガイドロッドが脱着可能に接続されており、ガイドロッドは、仕切りフレームの案内溝内で移動可能に制限されることにより、シーリング部材は、軸方向に沿って移動可能に仕切りフレームに設けられており、コーンプレートのリングジョイントエリアは、常時に面取り環状面に並行的に接離可能に保持されており、空気抽出装置が空気抽出状態または空気抽出停止状態に切り替えられるときに、シーリング部材は、それに応じて開位置または閉位置に移動して、上フランジの第１の開口を対応して開閉し、これにより、上フランジの第１の開口は、下フランジの第２の開口と連通して、空気抽出装置はプロセスチャンバーにおけるガスを抽出することができ、又は下フランジの第２の開口と連通せず、ガスのプロセスチャンバーへの回流を防止することを特徴とする。

【0006】

本発明に係る沈積防止逆止弁は、前記シーリング部材の前記コーンプレートの前記リングジョイントエリアの中心角の角度は、実際に、前記面取り環状面の面取りの角度と同じであることを特徴とする。

【0007】

本発明に係る沈積防止逆止弁は、前記仕切りフレームは、環状中空フレームと、クロスバーと、を備え、前記クロスバーは、前記環状中空フレームの両側に接続されており、前記案内溝は前記クロスバーに設けられており、前記シーリング部材は、軸方向に沿って移動可能に前記仕切りフレームに設けられている場合に、前記案内溝の軸心は、前記シーリング部材の前記コーンプレートの軸心に並行であることを特徴とする。

【0008】

本発明に係る沈積防止逆止弁は、前記上フランジ及び前記下フランジは、それぞれ第１のリングパイプ、接続板および第２のリングパイプから構成され、前記下フランジの前記接続板は、前記下フランジの前記第１のリングパイプと前記第２のリングパイプとの間に、垂直であるように接続されており、又は斜めに接続されており、及び／又は、前記上フランジの前記接続板は、前記上フランジの前記第１のリングパイプと前記第２のリングパイプとの間に、垂直であるように接続されており、又は斜めに接続されていることを特徴とする。

【0009】

本発明に係る沈積防止逆止弁は、前記上フランジの前記面取り環状面は、第１の気密ワッシャーを有し、前記シーリング部材が前記閉位置に位置するときに、前記コーンプレートの前記リングジョイントエリアは、前記上フランジの前記面取り環状面上の前記第１の気密ワッシャーに当接することを特徴とする。

【0010】

本発明に係る沈積防止逆止弁は、前記シーリング部材が前記開位置に位置するときに、前記シーリング部材の前記コーンプレートの頂端の位置は、前記上フランジの前記第１の開口の第１の側に近接し、前記シーリング部材が前記閉位置に位置するときに、前記シーリング部材の前記コーンプレートの前記頂端の位置は、前記上フランジの前記第１の開口に位置し、且つ前記上フランジの前記第１の開口の第２の側に近接し、前記第２の側は前記第１の側に対向することを特徴とする。

【0011】

本発明に係る沈積防止逆止弁は、前記シーリング部材の前記頂側の前記コーンプレートの表面には、更に、カバー部材が設けられており、前記カバー部材の表面の平滑度は、前記シーリング部材の前記コーンプレートの表面の平滑度より高いことを特徴とする。

【0012】

本発明に係る沈積防止逆止弁は、前記仕切りフレームは、前記下フランジと前記上フランジとの間に脱着可能に設けられており、前記上フランジと前記仕切りフレームとの間、及び前記下フランジと前記仕切りフレームとの間には、第２の気密ワッシャーがそれぞれ設けられていることを特徴とする。

【0013】

本発明に係る沈積防止逆止弁は、更に、前記コーンプレートと前記仕切りフレームとの間に設けられている弾性部材を備え、前記ガイドロッドは前記弾性部材を挿通し、前記弾性部材の直径は、前記コーンプレートの直径と前記ガイドロッドの直径の間であることを特徴とする。

【発明の効果】

【0014】

本発明に係る沈積防止逆止弁は、シーリング部材がコーンプレートである設計を採用することにより、従来のフラットタイプの設計に比べて、逆止弁における低速ゾーン及び回流ゾーンの面積を減少することができ、ガス反応物やガスによって運ばれる固体粒子が、第１の気密ワッシャー及びシーリング部材に沈積することを防止することができる。
このため、第１の気密ワッシャーへの沈積による密着度の降下を防止することができる。さらに、コーンプレートの表面には、フッ素含有材料などのコーティングが設けられていることにより、表面の平滑度を向上することができ、摩擦を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明に係る沈積防止逆止弁の外観を示す図である。

【図2】本発明に係る沈積防止逆止弁を示す側面図である。

【図3】本発明に係る沈積防止逆止弁を示す断面図である。

【図4】本発明に係る沈積防止逆止弁を示す分解断面図である。

【図5】本発明に係るシーリング部材を示す側面図である。

【図6】本発明に係るコーンプレートの別の態様を示す断面図である。

【図7】本発明に係るコーンプレートの更に別の態様を示す断面図である。

【図8】本発明に係る沈積防止逆止弁、プロセスチャンバー及び空気抽出装置を示す図である。

【図9】本発明に係るコーンプレート及び仕切りフレームの別の態様を示す分解断面図である。

【図10】本発明に係るコーンプレート及び仕切りフレームの更に別の態様を示す分解断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。本発明の実施の形態の図面における各部材の比率は、説明を容易に理解するために示されるものであって、実際の比率ではない。また、図に示すアセンブリの寸法の比率は、各部品とその構造を説明するためのものであり、もちろん、本発明はこれに限定されない。一方、理解を便利にするために、下記の実施の形態における同じ部品については、同じ符号を付して説明する。

【0017】

さらに、明細書全体および特許請求の範囲で使用される用語は、特に明記しない限り、通常、この分野、本明細書に開示される内容、および特別な内容で使用される各用語の通常の意味を有する。本発明を説明するために使用されるいくつかの用語は、当業者に本発明の説明に関する追加のガイダンスを提供するために、本明細書の以下または他の場所で説明される。

【0018】

明細書全体および特許請求の範囲で使用される「第１」、「第２」、「第３」などの使用は、順序や順次を具体的に示すものではなく、本発明を制限するために使用されているものでもない。これは、同じ専門用語で説明するコンポーネントまたは操作を区別するだけために使用される。

【0019】

次に、明細書全体および特許請求の範囲で使用される「含む」、「備える」、「有する」、「含有する」などの用語が使用されている場合、それらはすべてオープンな用語である。つまり、これらは、含むがこれに限定されないことを意味する。

【0020】

図１から図４を参照する。図１は本発明に係る沈積防止逆止弁の外観を示す模式図であり、図２は本発明に係る沈積防止逆止弁を示す側面図であり、図３は本発明に係る沈積防止逆止弁を示す断面図であり、図４は本発明に係る沈積防止逆止弁を示す分解断面図である。

【0021】

図１から図４に示すように、本発明に係る沈積防止逆止弁１００は、上フランジ１０と、下フランジ２０と、仕切りフレーム３０と、を少なくとも備える。
上フランジ１０は、第１の開口１２を有し、円形を呈し、第１の開口１２の片側に面取り環状面１４が形成されている。下フランジ２０は、第２の開口２２を有し、円形を呈する。仕切りフレーム３０は、上フランジ１０と下フランジ２０との間に設けられている。例えば、仕切りフレーム３０は、下フランジ２０と上フランジ１０との間に脱着可能に設けられている。シーリング部材４０の頂側はコーンプレート４２であり、例えば円形を呈する。
シーリング部材４０は、軸方向に沿って移動可能に仕切りフレーム３０に設けられており、且つシーリング部材４０のコーンプレート４２のリングジョイントエリア４１は、常時、面取り環状面１４に並行的に接離可能に保持されておる。シーリング部材４０は、開位置または閉位置に移動することにより、上フランジ１０の第１の開口１２を対応して開閉する。これにより、上フランジ１０の第１の開口１２は、下フランジ２０の第２の開口２２と連通し、又は連通しない。本発明の上フランジ１０と下フランジ２０との断面形状は、例えば、それぞれやや反転したＴ字形とＴ字形を呈する。詳細には、例えば、上フランジ１０は、第１のリングパイプ１０ａ、接続板１０ｂ及び第２のリングパイプ１０ｃから構成され、接続板１０ｂは、第１のリングパイプ１０ａと第２のリングパイプ１０ｃとの間に接続されている。さらに、第１のリングパイプ１０ａ、接続板１０ｂ及び第２のリングパイプ１０ｃは、一体成形されて上フランジ１０を構成してもよい。
下フランジ２０は、第１のリングパイプ２０ａ、接続板２０ｂ及び第２のリングパイプ２０ｃから構成され、接続板２０ｂは、第１のリングパイプ２０ａと第２のリングパイプ２０ｃとの間に接続されている。第１のリングパイプ２０ａ、接続板２０ｂ及び第２のリングパイプ２０ｃは、一体成形されて下フランジ２０を構成してもよい。上記の上フランジ１０の面取り環状面１４は、第１のリングパイプ１０ａと接続板１０ｂとの間に位置する。上フランジ１０と下フランジ２０とは、それぞれ第２のリングパイプ１０ｃと第２のリングパイプ２０ｃとで、仕切りフレーム３０に接続されている。沈積防止逆止弁１００の上フランジ１０の第１の開口１２は、第１のリングパイプ１０ａに位置する。下フランジ２０の第２の開口２２は、第２のリングパイプ２０ｃに位置する。

【0022】

本発明に係る沈積防止逆止弁１００は、図８に示すように、プロセスチャンバー２００と空気抽出装置３００との間に組付けられている。空気抽出装置３００は、例えば真空ポンプであるが、これに限定されない。真空ポンプは、例えば、フォアポンプ又はターボ分子真空ポンプであるが、これに限定されない。
空気抽出装置３００が起動されて空気抽出状態にあるときに、シーリング部材４０のコーンプレート４２のリングジョイントエリア４１は、上フランジ１０の面取り環状面１４から離れる。このとき、上フランジ１０の第１の開口１２は、シーリング部材４０に閉じられないため（シーリング部材４０が開位置に位置する）、上フランジ１０の第１の開口１２は、下フランジ２０の第２の開口２２と連通して、プロセスチャンバー２００におけるガスは、空気抽出装置３００に抽出される。なお、空気抽出装置３００が停止するときに、流体の圧力差により、シーリング部材４０は、コーンプレート４２のリングジョイントエリア４１が上フランジ１０の面取り環状面１４に当接するまで、上フランジ１０へ移動するため（このとき、シーリング部材４０は、上フランジ１０の第１の開口１２を閉じ、且つシーリング部材４０は閉位置に位置する）、上フランジ１０の第１の開口１２は、下フランジ２０の第２の開口２２と連通しない。このため、流体のプロセスチャンバー２００への逆流を防止することができ、空気抽出装置３００が空気抽出状態または空気抽出停止状態に切り替えられるときに、それに応じて、シーリング部材４０は開位置または閉位置に変位して、空気抽出装置３００がプロセスチャンバー２００におけるガスを抽出し、又はガスのプロセスチャンバー２００への回流を防止する。

【0023】

本発明では、シーリング部材４０が開位置に位置するときに、シーリング部材４０のコーンプレート４２の頂端の位置は、上フランジ１０の第１の開口１２の第１の側に近接する。さらに、シーリング部材４０のコーンプレート４２の頂端の位置は、例えば、上フランジ１０の第１の開口１２の内部または外部に位置してもよい。

【0024】

なお、シーリング部材４０が閉位置に位置するときに、シーリング部材４０のコーンプレート４２の頂端の位置は、上フランジ１０の第１の開口１２の内部に位置する。このとき、コーンプレート４２の頂端の位置は、上フランジ１０の第１の開口１２の第２の側に近接し、且つ第２の側は第１の側に対向する。上記の第１の開口１２の第１の側は、仕切りフレーム３０に向き、なお、第１の開口１２の第２の側は、仕切りフレーム３０から遠く離れる。

【0025】

本発明では、シーリング部材４０のコーンプレート４２の頂端は、例えばテーパー状（図３から図５を参照）、平面状（図６参照）、又は円弧状（図７参照）を呈してもよい。もちろん、上記のコーンプレート４２の頂端の形状は、例示に過ぎず、これに限定されない。また、本発明では、コーンプレート４２の頂端の形状に係らず、コーンプレート４２のリングジョイントエリア４１（すなわち、面取り環状面１４と接触する區域）の中心角Θの角度は、実際に、面取り環状面１４の面取りαの角度とほぼ同じであり、且つ許容誤差は約１０度である。
リングジョイントエリア４１の中心角Θの角度と面取り環状面１４の面取りαの角度は、例えば、α＝Θ±１０である。すなわち、αの角度は、Θの角度プラス１０度とΘの角度マイナス１０度の間である。このため、シーリング部材４０の変位の過程中に、コーンプレート４２のリングジョイントエリア４１は、面取り環状面１４に並行である状態を保持する。さらに、シーリング部材４０のコーンプレート４２のリングジョイントエリア４１の中心角Θの角度は、９０度より小さい。例えば、中心角Θの角度は４５度と６０度の間であることが好ましい。中心角Θの角度は６０度であることが更に好ましい。もちろん、上記の中心角Θの角度は、例示にすぎず、これに限定されない。

【0026】

上記のように、シーリング部材４０の頂側はコーンプレート４２であり、なお、シーリング部材４０の底側はガイドロッド４４である。ガイドロッド４４と案内溝３２とは、一つ又は複数個ある。シーリング部材４０が閉位置または開位置に切り替えられるときに、ガイドロッド４４は、仕切りフレーム３０上の案内溝３２に移動可能に保持される。案内溝３２は、片側に穴のあるスロットにしてもいいし、両側に穴のあるスロットにしてもよい。
案内溝３２が片側に穴のあるスロットであることを例にして説明する。シーリング部材４０が閉位置に位置するときに、ガイドロッド４４の底端の案内溝３２への差込長さが比較的短い。また、シーリング部材４０が開位置に位置するときに、ガイドロッド４４の底端の案内溝３２への差込長さが比較的長い。このような設計により、シーリング部材４０は、空気抽出装置３００の操作により自由に上下に動かすことができ、第１の開口１２を開閉する目的を達成することができる。さらに、ガイドロッド４４の長さは、案内溝３２の深さに対応し、且つガイドロッド４４の長さは、シーリング部材４０の開位置と閉位置の間の縦方向距離より大きく、又は同じである。
案内溝３２が両側に穴のあるスロットであることを例にして説明する。ガイドロッド４４は案内溝３２を挿通し、ガイドロッド４４の長さは、例えば、シーリング部材４０の開位置と閉位置の間の縦方向距離より大きく、又は同じである。

【0027】

仕切りフレーム３０は、環状中空フレーム３１と、クロスバー３３と、を備える。クロスバー３３は、環状中空フレーム３１の両側に接続されている。上記の案内溝３２はクロスバー３３に設けられており、且つシーリング部材４０が軸方向に沿って移動可能に仕切りフレーム３０に設けられている状態において、案内溝３２の軸心は、シーリング部材４０のコーンプレート４２の軸心に並行である。
ガイドロッド４４と案内溝３２とが、それぞれ一つあることを例にして説明する。案内溝３２の軸心は、シーリング部材４０のコーンプレート４２の軸心と重なり、並行である。ガイドロッド４４と案内溝３２とが、それぞれ複数個あることを例にして説明する。案内溝３２の軸心は、シーリング部材４０のコーンプレート４２の軸心に並行である。
クロスバー３３は、例えば一字形、Ｙ字形または十字形を呈し、環状中空フレーム３１を、２つの等しい部分、３つの等しい部分、又は４つの等しい部分に分割されることが好ましい。そして案内溝３２がクロスバー３３の中心に位置し、これにより、コーンプレート４２の底端の中心に位置するガイドロッド４４は案内溝３２を挿通することにより、コーンプレート４２を第１の開口１２の軸心に沿って動かすことができる。

【0028】

なお、コーンプレート４２と仕切りフレーム３０との間には、更に、弾性部材８０が設けられていてもよい。ガイドロッド４４は弾性部材８０を挿通する。弾性部材８０は、例えばバネであるが、これに限定されない。弾性部材８０が設けられることにより、シーリング部材４０が閉位置へ変位するときに補助機能を提供して、密閉効果を向上することができる。
弾性部材８０の直径ｒとコーンプレート４２の直径ｒ１及びガイドロッド４４の直径ｒ２は、例えば下記の関係
ｒ２＜ｒ＜ｒ１
を満足する。すなわち、弾性部材８０の直径ｒは、コーンプレート４２の直径ｒ１とガイドロッド４４の直径ｒ２の間である。ガイドロッド４４の直径ｒ２は外径であることが好ましい。弾性部材８０は、案内溝３２の外部または案内溝３２内に設けられていてもよい。
弾性部材８０は、図９に示すように、案内溝３２の外部に設けられており、弾性部材８０の両端がそれぞれコーンプレート４２の底側と仕切りフレーム３０のクロスバー３３とに当接する。或いは、弾性部材８０は、図１０に示すように、案内溝３２内に設けられており、弾性部材８０の両端がそれぞれコーンプレート４２の底側またはガイドロッド４４と案内溝３２の内壁とに当接し、且つ、弾性部材８０の直径ｒは、ガイドロッド４４の直径ｒ２（外径）と案内溝３２の内径の間である。

【0029】

別の実施態様では、本発明に係る下フランジ２０の断面構造がＴ字形を呈することに限定されず、本発明に係る下フランジ２０の断面構造は、Ｉ字形（直線状）を呈してもいいし、Ｔ字形とＩ字形（直線形）の間である外形を呈してもよい。換言すると、下フランジ２０は、同様に、第１のリングパイプ２０ａ、接続板２０ｂ及び第２のリングパイプ２０ｃから構成されてもよいが、下フランジ２０の接続板２０ｂは、第１のリングパイプ２０ａと第２のリングパイプ２０ｃとの間に、垂直であるように接続されていることに限定されない。
下フランジ２０の接続板２０ｂは、例えば、第１のリングパイプ２０ａと第２のリングパイプ２０ｃとの間に、斜めに接続されていてもよい。すなわち、下フランジ２０の第２のリングパイプ２０ｃと接続板２０ｂとの間のなす角βは、約８９度と約１８０度の間であり、同じように、下フランジ２０の接続板２０ｂと第１のリングパイプ２０ａとの間のなす角δは、約８９度と約１８０度の間である。これにより、ガス反応物やガスによって運ばれる固体粒子の沈積防止逆止弁への沈積を防止することができる。
同じ原理に基づいて、更に別の実施態様では、上記の下フランジ２０の接続板２０ｂが、第１のリングパイプ２０ａと第２のリングパイプ２０ｃとの間に斜めに接続されていることを除いて、本発明に係る上フランジ１０の接続板１０ｂが、例えば、第１のリングパイプ１０ａと第２のリングパイプ１０ｃとの間に斜めに接続されていてもよい。これにより、ガス反応物やガスによって運ばれる固体粒子の沈積防止逆止弁への沈積を防止することができる。

【0030】

シーリング部材４０の材質は、例えば、ステンレス、アルミ、又はアルミ合金を採用するが、これに限定されない。なお、シーリング部材４０の頂側のコーンプレート４２の表面には、更に、カバー部材６０が設けられていてもよい。図５では、コーンプレート４２の表面の全部または一部にカバー部材６０が設けられている。カバー部材６０は、例えばフッ素含有材料のコーティング、又はニッケル層であり、これにより、シーリング部材４０の表面の平滑度を向上することができ、摩擦力を減少することにより、沈積現象を減少することができる。
カバー部材６０の表面の平滑度は、シーリング部材４０のコーンプレート４２の表面の平滑度より高い。なお、ガイドロッド４４は、例えば、コーンプレート４２と一体成形されてもいいし、コーンプレート４２に脱着可能に接続されていてもよい。ガイドロッド４４とコーンプレート４２との材質は、同じでもいいし、異なってもよい。ガイドロッド４４がコーンプレート４２に脱着可能に接続されている場合には、例えば、ねじ込み、ロック、クリップ、又は磁気を使用できるが、これに限定されない。ねじ込みを採用することを例にして説明すると、コーンプレート４２及びガイドロッド４４は、例えば、それぞれが互いにねじ込み可能なボルト及びねじ穴である。これにより、コーンプレート４２はガイドロッド４４に脱着可能に接続することができる。
ロックを採用することを例にして説明すると、コーンプレート４２及びガイドロッド４４は、例えば、それぞれねじ穴を有し、且つ例えば、コーンプレート４２とガイドロッド４４とのねじ穴に一つのボルトをねじ込むことにより、コーンプレート４２をガイドロッド４４に脱着可能に接続することができる。

【0031】

上フランジ１０の面取り環状面１４は、例えば第１の気密ワッシャー５１を有し、且つシーリング部材４０が閉位置に位置するときに、コーンプレート４２のリングジョイントエリア４１は、上フランジ１０の面取り環状面１４上の第１の気密ワッシャー５１に当接する。なお、上フランジ１０と仕切りフレーム３０との間、及び下フランジ２０と仕切りフレーム３０との間には、第２の気密ワッシャー５２がそれぞれ設けられていてもよい。第１の気密ワッシャー５１と第２の気密ワッシャー５２との材質は、例えばゴムを採用し、第１の気密ワッシャー５１と第２の気密ワッシャー５２とにより、沈積防止逆止弁１００の気密効果を向上することができる。

【0032】

シーリング部材４０のコーンプレート４２の直径は、例えば上フランジ１０の第１の開口１２の内径より大きく、又は同じであることにより、第１の開口１２を完全に密閉することができる。

【0033】

仕切りフレーム３０は、例えば、上フランジ１０と下フランジ２０との間に螺着されている。例にして説明すると、ボルト７０などの接続部材により、上フランジ１０と仕切りフレーム３０、下フランジ２０と仕切りフレーム３０をそれぞれ接続してもよい。上記の接続方式は、例示にすぎず、クリップ又は溶接などの他の接続方式により、上フランジ１０と仕切りフレーム３０、下フランジ２０と仕切りフレーム３０を接続してもよい。

【0034】

第１の気密ワッシャー５１又はシーリング部材４０に沈積物が持続的に沈積すると、気密効果が降下して、逆止弁の作動が悪化する。これに対し、本発明は、シーリング部材４０の構造の設計を改良することにより、第１の開口１２での低速ゾーン（及び回流ゾーン）の面積を減少することができ、ガス反応物やガスによって運ばれる固体粒子の第１の気密ワッシャー５１への沈積を回避することができ、シーリング部材４０で沈積物の発生を回避することもできる。このため長期間に使用することができる。

【0035】

本発明に係る沈積防止逆止弁によれば、シーリング部材がコーンプレートの設計を採用することにより、従来のフラットタイプの設計に比べて、逆止弁における低速ゾーン及び回流ゾーンの面積を減少することができ、ガス反応物やガスによって運ばれる固体粒子が、第１の気密ワッシャー及びシーリング部材に沈積することを防止することができる。このため、第１の気密ワッシャーへの沈積による密着度の降下を防止することができる。さらに、コーンプレートの表面にフッ素含有材料などのコーティングが設けられていることにより、表面の平滑度を向上することができ、摩擦を低減することができる。

【0036】

以上の記述は例示にすぎず、限定するものではない。本発明の精神及び範疇から逸脱しない、それに対して行ういかなる同等効果の修正又は変更も、添付の請求の範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0037】

１００ 沈積防止逆止弁
１０ 上フランジ
１０ａ 第１のリングパイプ
１０ｂ 接続板
１０ｃ 第２のリングパイプ
１２ 第１の開口
１４ 面取り環状面
２０ 下フランジ
２０ａ 第１のリングパイプ
２０ｂ 接続板
２０ｃ 第２のリングパイプ
２２ 第２の開口
３０ 仕切りフレーム
３１ 環状中空フレーム
３２ 案内溝
３３ クロスバー
４０ シーリング部材
４１ リングジョイントエリア
４２ コーンプレート
４４ ガイドロッド
５１ 第１の気密ワッシャー
５２ 第２の気密ワッシャー
Θ 中心角
α 面取り
６０ カバー部材
７０ ボルト
２００ プロセスチャンバー
３００ 空気抽出装置
８０ 弾性部材
ｒ、ｒ１、ｒ２ 直径
β、δ なす角

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】