特開2022-167922外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体および外観検査装置
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022167922
(43)【公開日】2022-11-04
(54)【発明の名称】外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体および外観検査装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/683 20060101AFI20221027BHJP
H02N 13/00 20060101ALI20221027BHJP
G01N 21/89 20060101ALI20221027BHJP
G01N 21/84 20060101ALI20221027BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 R
H02N13/00 D
G01N21/89 T
G01N21/84 C
【審査請求】有
【請求項の数】15
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022127709
(22)【出願日】2022-08-10
(62)【分割の表示】P 2019062929の分割
【原出願日】2019-03-28
(71)【出願人】
【識別番号】000006231
【氏名又は名称】株式会社村田製作所
(74)【代理人】
【識別番号】100092071
【弁理士】
【氏名又は名称】西澤 均
(74)【代理人】
【識別番号】100130638
【弁理士】
【氏名又は名称】野末 貴弘
(72)【発明者】
【氏名】前澤 那月
(72)【発明者】
【氏名】中野 大輝
(57)【要約】
【課題】所定以上の強度を確保しつつ、検査対象物の吸着力を向上させる。
【解決手段】検査対象物の外観検査装置に用いられる静電誘導吸着式搬送体１は、絶縁性材料からなる第１透明部を有し、検査対象物が上側に載置される第１層１１と、第１層１１の下側に位置し、導電性材料からなる透明電極部を有する第２層１２と、第２層１２の下側に位置し、絶縁性材料からなる第２透明部を有する第３層１３とを備える。第１透明部１１０、透明電極部１２０、および、第２透明部１３０は、所定の一方向に並んでいる。
【選択図】図３
【解決手段】検査対象物の外観検査装置に用いられる静電誘導吸着式搬送体１は、絶縁性材料からなる第１透明部を有し、検査対象物が上側に載置される第１層１１と、第１層１１の下側に位置し、導電性材料からなる透明電極部を有する第２層１２と、第２層１２の下側に位置し、絶縁性材料からなる第２透明部を有する第３層１３とを備える。第１透明部１１０、透明電極部１２０、および、第２透明部１３０は、所定の一方向に並んでいる。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
検査対象物の外観検査装置に用いられる静電誘導吸着式搬送体であって、
絶縁性材料からなる第１透明部を有し、前記検査対象物が上側に載置される第１層と、
前記第１層の下側に位置し、導電性材料からなる透明電極部を有する第２層と、
前記第２層の下側に位置し、絶縁性材料からなる第２透明部を有する第３層と、
を備え、
前記第１透明部、前記透明電極部、および、前記第２透明部は、所定の一方向に並んでいることを特徴とする外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
絶縁性材料からなる第１透明部を有し、前記検査対象物が上側に載置される第１層と、
前記第１層の下側に位置し、導電性材料からなる透明電極部を有する第２層と、
前記第２層の下側に位置し、絶縁性材料からなる第２透明部を有する第３層と、
を備え、
前記第１透明部、前記透明電極部、および、前記第２透明部は、所定の一方向に並んでいることを特徴とする外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項2】
前記第１層は、絶縁被膜からなる絶縁被膜層であることを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項3】
前記透明電極部の少なくとも一部は、その上に前記第１層が形成されておらず、表面が露出していることを特徴とする請求項１または２に記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項4】
前記透明電極部は、前記第３層の上面のうちの一部に設けられていることを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項5】
前記第２層には、複数の前記透明電極部が設けられていることを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項6】
複数の前記透明電極部には、通電時に正極となる第１の透明電極部と、通電時に負極となる第２の透明電極部とが含まれることを特徴とする請求項５に記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項7】
前記第１層の前記積層方向における厚みは、前記第３層の前記積層方向における厚みよりも薄いことを特徴とする請求項１～６のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項8】
前記第２層の前記積層方向における厚みは、前記第３層の前記積層方向における厚みよりも薄いことを特徴とする請求項１～７のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項9】
前記第２層の前記積層方向における厚みは、前記第１層の前記積層方向における厚みよりも薄く、かつ、前記第１層の前記積層方向における厚みは、前記第３層の前記積層方向における厚みよりも薄いことを特徴とする請求項１～８のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項10】
前記第１層、前記第２層、および、前記３層の前記積層方向における厚みの合計は、１ｍｍ以上２０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１～９のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項11】
折り曲げ可能なフィルム状の形状を有することを特徴とする請求項１～１０のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項12】
請求項１～１１のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体と、
前記透明電極部に電圧を印加する電圧供給部と、
前記電圧供給部により電圧を供給された前記静電誘導吸着式搬送体の上に前記検査対象物を供給する検査対象物供給部と、
前記静電誘導吸着式搬送体を駆動する駆動部と、
前記駆動部によって駆動される前記静電誘導吸着式搬送体の上の前記検査対象物を撮像する撮像部と、
を備える外観検査装置。
前記透明電極部に電圧を印加する電圧供給部と、
前記電圧供給部により電圧を供給された前記静電誘導吸着式搬送体の上に前記検査対象物を供給する検査対象物供給部と、
前記静電誘導吸着式搬送体を駆動する駆動部と、
前記駆動部によって駆動される前記静電誘導吸着式搬送体の上の前記検査対象物を撮像する撮像部と、
を備える外観検査装置。
【請求項13】
前記検査対象物を光で照らす照明部をさらに備えることを特徴とする請求項１２に記載の外観検査装置。
【請求項14】
前記照明部には、前記静電誘導吸着式搬送体の前記第３層側から前記第１層の上に載置されている前記検査対象物を照明するものが含まれることを特徴とする請求項１３に記載の外観検査装置。
【請求項15】
前記撮像部には、前記静電誘導吸着式搬送体の前記第３層側から前記第１層の上に載置されている前記検査対象物を撮像するものが含まれることを特徴とする請求項１２～１４のいずれかに記載の外観検査装置。
【請求項16】
光路を変更するための反射体をさらに備え、
前記撮像部には、前記反射体で光路が変更された光を受光することによって前記検査対象物を撮像するものが含まれることを特徴とする請求項１２～１５のいずれかに記載の外観検査装置。
前記撮像部には、前記反射体で光路が変更された光を受光することによって前記検査対象物を撮像するものが含まれることを特徴とする請求項１２～１５のいずれかに記載の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、検査対象物の外観検査装置に用いられる静電誘導吸着式搬送体、および、そのような静電誘導吸着式搬送体を備えた外観検査装置に関する。
【背景技術】
【0002】
検査対象物を搬送テーブルなどの搬送体上に載置して搬送しながら、撮像装置で検査対象物を撮像して、検査対象物の外観を検査する装置が知られている。
【0003】
そのような外観検査装置の１つとして、特許文献１には、透明なガラス体からなる円形搬送テーブル上に検査対象物を載置し、円形搬送テーブルを回転させて検査対象物を搬送しながら、撮像装置で検査対象物の各面を撮像する外観検査装置が記載されている。この外観検査装置では、静電誘導用電源で円形搬送テーブルの下面を帯電させ、静電誘導により、検査対象物である電子部品を円形搬送テーブルに吸着させて電子部品の位置ずれを防ぎ、精度良く外観検査を行うようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１３－１８７５３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ここで、特許文献１に記載の外観検査装置において、静電誘導による電子部品の吸着力を向上させるために、搬送体である円形搬送テーブルの厚さを薄くすることが考えられる。
【0006】
しかしながら、搬送体は検査対象物を搬送するという性質上、所定以上の強度が必要である。このため、吸着力を向上させるために、搬送体の厚さを薄くするには限界がある。
【0007】
本発明は、上記課題を解決するものであり、所定以上の強度を確保しつつ、検査対象物の吸着力を向上させることができる外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体、および、そのような静電誘導吸着式搬送体を備えた外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体は、
検査対象物の外観検査装置に用いられる静電誘導吸着式搬送体であって、
絶縁性材料からなる第１透明部を有し、前記検査対象物が上側に載置される第１層と、
前記第１層の下側に位置し、導電性材料からなる透明電極部を有する第２層と、
前記第２層の下側に位置し、絶縁性材料からなる第２透明部を有する第３層と、
を備え、
前記第１透明部、前記透明電極部、および、前記第２透明部は、所定の一方向に並んでいることを特徴とする。
検査対象物の外観検査装置に用いられる静電誘導吸着式搬送体であって、
絶縁性材料からなる第１透明部を有し、前記検査対象物が上側に載置される第１層と、
前記第１層の下側に位置し、導電性材料からなる透明電極部を有する第２層と、
前記第２層の下側に位置し、絶縁性材料からなる第２透明部を有する第３層と、
を備え、
前記第１透明部、前記透明電極部、および、前記第２透明部は、所定の一方向に並んでいることを特徴とする。
【0009】
前記第１層は、絶縁被膜からなる絶縁被膜層であってもよい。
【0010】
前記透明電極部の少なくとも一部は、その上に前記第１層が形成されておらず、表面が露出していてもよい。
【0011】
前記透明電極部は、前記第３層の上面のうちの一部に設けられていてもよい。
前記第２層には、複数の前記透明電極部が設けられていてもよい。
前記第２層には、複数の前記透明電極部が設けられていてもよい。
【0012】
前記複数の透明電極部には、通電時に正極となる第１の透明電極部と、通電時に負極となる第２の透明電極部とが含まれていてもよい。
【0013】
前記第１層の前記積層方向における厚みは、前記第３層の前記積層方向における厚みよりも薄くてもよい。
【0014】
前記第２層の前記積層方向における厚みは、前記第３層の前記積層方向における厚みよりも薄くてもよい。
【0015】
前記第２層の前記積層方向における厚みは、前記第１層の前記積層方向における厚みよりも薄く、かつ、前記第１層の前記積層方向における厚みは、前記第３層の前記積層方向における厚みよりも薄くてもよい。
【0016】
前記第１層、前記第２層、および、前記３層の前記積層方向における厚みの合計は、１ｍｍ以上２０ｍｍ以下であってもよい。
【0017】
上述した静電誘導吸着式搬送体は、折り曲げ可能なフィルム状の形状を有していてもよい。
【0018】
本発明による外観検査装置は、
上述したいずれかの外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体と、
前記透明電極部に電圧を印加する電圧供給部と、
前記電圧供給部により電圧を供給された前記静電誘導吸着式搬送体の上に前記検査対象物を供給する検査対象物供給部と、
前記静電誘導吸着式搬送体を駆動する駆動部と、
前記駆動部によって駆動される前記静電誘導吸着式搬送体の上の前記検査対象物を撮像する撮像部と
を備えることを特徴とする。
上述したいずれかの外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体と、
前記透明電極部に電圧を印加する電圧供給部と、
前記電圧供給部により電圧を供給された前記静電誘導吸着式搬送体の上に前記検査対象物を供給する検査対象物供給部と、
前記静電誘導吸着式搬送体を駆動する駆動部と、
前記駆動部によって駆動される前記静電誘導吸着式搬送体の上の前記検査対象物を撮像する撮像部と
を備えることを特徴とする。
【0019】
上述した外観検査装置は、前記検査対象物を光で照らす照明部をさらに備えていてもよい。
【0020】
前記照明部には、前記静電誘導吸着式搬送体の前記第３層側から前記第１層の上に載置されている前記検査対象物を照明するものが含まれていてもよい。
【0021】
前記撮像部には、前記静電誘導吸着式搬送体の前記第３層側から前記第１層の上に載置されている前記検査対象物を撮像するものが含まれていてもよい。
【0022】
上述した外観検査装置は、光路を変更するための反射体をさらに備え、
前記撮像部には、前記反射体で光路が変更された光を受光することによって前記検査対象物を撮像するものが含まれていてもよい。
前記撮像部には、前記反射体で光路が変更された光を受光することによって前記検査対象物を撮像するものが含まれていてもよい。
【発明の効果】
【0023】
本発明の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体によれば、絶縁性材料からなる第１透明部を有する第１層と、導電性材料からなる透明電極部を有する第２層と、絶縁性材料からなる第２透明部を有する第３層とを備えた少なくとも３層以上の構造であるため、所定以上の強度を確保することができる。また、検査対象物が載置される第１層を薄くすることができるので、検査対象物の吸着力を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0024】
【図1】一実施の形態における外観検査装置の構成を模式的に示す図である。
【図2】検査対象物の一例である積層セラミックコンデンサの外観形状を示す斜視図である。
【図3】第１の実施形態における静電誘導吸着式搬送体の構成を模式的に示す断面図である。
【図4】第２の実施形態における静電誘導吸着式搬送体の構成を模式的に示す断面図である。
【図5】第３の実施形態における静電誘導吸着式搬送体の構成を模式的に示す断面図である。
【図6】第４の実施形態における静電誘導吸着式搬送体の構成を模式的に示す断面図である。
【図7】第４の実施形態における静電誘導吸着式搬送体において、第３層の上に設けられている複数の透明電極部を示す平面図である。
【図8】（ａ）は、第１の透明電極部と第２の透明電極部に同電位の電圧を印加して、積層セラミックコンデンサを吸着させた状態を示す図であり、（ｂ）は、第１の透明電極部と第２の透明電極部のうちの一方に正電荷を帯電させ、他方に負電荷を帯電させるように電圧を印加して、積層セラミックコンデンサを吸着させた状態を示す図である。
【図9】第５の実施形態における静電誘導吸着式搬送体の構成を模式的に示す断面図である。
【図10】積層セラミックコンデンサの第１の端面を撮像するための第１のＣＣＤカメラ、および、第２の端面を撮像するための第２のＣＣＤカメラの配置位置を示す図である。
【図11】（ａ）は、第１の照明部の詳細な構成を示す正面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す第１の照明部をＸＩＢ－ＸＩＢ線で切断したときの断面図である。
【図12】積層セラミックコンデンサの第１の主面を撮像するための第３のＣＣＤカメラ、および第２の主面を撮像するための第４のＣＣＤカメラの配置位置を示す図である。
【図13】積層セラミックコンデンサの第１の側面を撮像するための第５のＣＣＤカメラ、および、第２の側面を撮像するための第６のＣＣＤカメラの配置位置を示す図である。
【図14】第１のＣＣＤカメラの撮像面が鉛直下方ではなく、斜め下を向いて配設された状態を示す図である。
【図15】フィルム状の静電誘導吸着式搬送体を用いた外観検査装置の全体構成を示す模式図である。
【図16】回転方向に沿った表面が検査対象物の載置面である静電誘導吸着式搬送体の外観形状を示す図である。
【図17】直動テーブルやパレットのような有端状の形状を有する静電誘導吸着式搬送体の外観形状を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0025】
以下に本発明の実施形態を示して、本発明の特徴を具体的に説明する。
【0026】
図１は、一実施の形態における外観検査装置１０の構成を模式的に示す図である。外観検査装置１０は、検査対象物２０の外観を検査する装置であって、静電誘導吸着式搬送体１と、検査対象物供給部２と、電圧供給部３と、撮像部４と、整列部５と、検査部６と、排出部７と、除電部８と、駆動部９とを備える。
【0027】
検査対象物２０は、例えば、積層セラミックコンデンサ、インダクタ、サーミスタ、モジュール基板などの電子部品や、電子部品の製造途中にある半製品である。ただし、検査対象物２０が電子部品や半製品に限定されることはない。
【0028】
図２は、検査対象物２０の一例である積層セラミックコンデンサ２０Ｘの外観形状を示す斜視図である。図２に示すように、積層セラミックコンデンサ２０Ｘは、セラミック素体２１と、第１の外部電極２２ａおよび第２の外部電極２２ｂとを有する。
【0029】
積層セラミックコンデンサ２０Ｘは、６面体の形状を有する。すなわち、積層セラミックコンデンサ２０Ｘは、互いに対向する第１の端面２３ａおよび第２の端面２３ｂと、互いに対向する第１の主面２４ａおよび第２の主面２４ｂと、互いに対向する第１の側面２５ａおよび第２の側面２５ｂとを有する。
【0030】
以下では、初めに、静電誘導吸着式搬送体１の構成について詳しく説明し、その後に、外観検査装置１０の全体構成について説明する。
【0031】
＜第１の実施形態＞
本実施形態において、静電誘導吸着式搬送体１は、回転可能な円形テーブル状の形状を有する。静電誘導吸着式搬送体１の直径は、例えば１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下である。
本実施形態において、静電誘導吸着式搬送体１は、回転可能な円形テーブル状の形状を有する。静電誘導吸着式搬送体１の直径は、例えば１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下である。
【0032】
図３は、静電誘導吸着式搬送体１の構成を模式的に示す断面図である。静電誘導吸着式搬送体１は、第１層１１と、第２層１２と、第３層１３とを備える。
【0033】
第１層１１は、その上に検査対象物２０が載置される層であり、絶縁性材料からなる第１透明部１１０を有する。本実施形態では、第１層１１の全てが第１透明部１１０により構成されている。ただし、第１層１１の全てが第１透明部１１０により構成されている必要はなく、第１透明部１１０以外の部分が、材質の異なる材料により構成されていてもよい。
【0034】
絶縁性材料として、例えば石英ガラスやフロートガラスなどの透明ガラス材料や、アクリルなどの透明樹脂材料を用いることができる。後述する第１層１１を介した検査対象物２０の吸着力を向上させるため、第１層１１の積層方向における厚みは薄い方が好ましく、例えば０．００１ｍｍ以上５ｍｍ以下である。一例として、第１層１１は、石英ガラスからなり、その厚みは０．０５ｍｍである。
【0035】
後述するように、静電誘導吸着式搬送体１上に載置された検査対象物２０は、載置面とは反対側から撮像部４によって撮像される。したがって、第１透明部１１０は、撮像光を透過し得る透明度を有する。外観検査の精度向上のため、透明度は高い方が好ましい。可視光を用いる場合、および、検査光を用いる場合のいずれの場合も、透明度は４０％以上１００％以下であることが好ましい。
【0036】
第２層１２は、第１層１１の下側に位置し、透明な導電性材料からなる透明電極部１２０を有する。本実施形態では、第２層１２の全てが透明電極部１２０により構成されている。ただし、第２層１２の全てが透明電極部１２０により構成されている必要はなく、透明電極部１２０以外の部分が、材質の異なる材料により構成されていてもよい。
【0037】
透明電極部１２０は、例えば、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、アンチモンドープ酸化スズ（ＡＴＯ）、酸化チタン、グラフェンなどからなる。検査対象物２０の外観検査の精度向上のため、第２層１２の積層方向における厚みは薄い方が好ましく、例えば１ｎｍ以上１００μｍ以下である。一例として、透明電極部１２０は、ＩＴＯからなり、その厚みは５ｎｍ以上１μｍ以下である。
【0038】
透明電極部１２０は、撮像光を透過し得る透明度を有する。外観検査の精度向上のため、透明度は高い方が好ましい。
【0039】
透明電極部１２０には、後述する電圧供給部３から電圧が供給される。電圧が供給されると、透明電極部１２０に電荷が帯電し、静電誘導により、第１層１１の上に載置される検査対象物２０の導電体に逆の極性の電荷が引き寄せられる。これにより、検査対象物２０が静電誘導吸着式搬送体１に吸着する。
【0040】
第３層１３は、第２層１２の下側に位置し、絶縁性材料からなる第２透明部１３０を有する。本実施形態では、第３層１３の全てが第２透明部１３０により構成されている。ただし、第３層１３の全てが第２透明部１３０により構成されている必要はなく、第２透明部１３０以外の部分が、材質の異なる材料により構成されていてもよい。
【0041】
第３層１３を構成する絶縁性材料として、例えば石英ガラスやフロートガラスなどの透明ガラス材料や、アクリルなどの透明樹脂材料を用いることができる。第３層１３の積層方向における厚みは、例えば１ｍｍ以上２０ｍｍ以下である。一例として、第３層１３は、石英ガラスからなり、その厚みは２ｍｍである。
【0042】
第２透明部１３０は、撮像光を透過し得る透明度を有する。外観検査の精度向上のため、透明度は高い方が好ましい。
【0043】
第１層１１の積層方向における厚みは、第３層１３の積層方向における厚みよりも薄いことが好ましい。第１層１１の積層方向における厚みを第３層１３の積層方向における厚みよりも薄くすることにより、第１層１１を介した検査対象物２０と第２層１２の透明電極部１２０との間の静電誘導による吸着力をより向上させることができる。また、第３層１３の積層方向における厚みを第１層１１の積層方向における厚みよりも厚くすることにより、検査対象物２０の吸着力を低下させることなく、静電誘導吸着式搬送体１の強度をより向上させて、所定以上の強度を確保することができる。これにより、検査対象物２０をより安定的に搬送することができる。
【0044】
また、第２層１２の積層方向における厚みは、第３層１３の積層方向における厚みよりも薄いことが好ましい。第２層１２は透明電極部１２０を含んでいるため、第２層１２の透明度は、第１層１１および第３層１３の透明度よりも低くなりやすい。しかしながら、第２層１２の積層方向における厚みを第３層１３の積層方向における厚みよりも薄くすることにより、外観検査時の撮像光の透過率をより向上させることができる。これにより、検査対象物２０の外観検査の精度をより向上させることができる。
【0045】
また、第２層１２の積層方向における厚みは、第１層１１の積層方向における厚みよりも薄く、かつ、第１層１１の積層方向における厚みは、第３層１３の積層方向における厚みよりも薄いことが好ましい。そのような構成により、上述した効果、すなわち、第１層１１を介した検査対象物２０と第２層１２の透明電極部１２０との間の吸着力をより向上させることができるという効果、静電誘導吸着式搬送体１の強度をより向上させることができるという効果、および、外観検査時の撮像光の透過率をより向上させて、検査対象物２０の外観検査の精度をより向上させることができるという効果を全て得ることができる。
【0046】
第１層１１、第２層１２、および、３層１３の積層方向における厚みの合計、すなわち、静電誘導吸着式搬送体１の厚みは、例えば、１ｍｍ以上２０ｍｍ以下である。なお、第１層１１の積層方向における厚み、第２層１２の積層方向における厚み、第３層１３の積層方向における厚み、および、静電誘導吸着式搬送体１の積層方向における厚みの上記数値は、あくまで一例であって、それぞれの厚みが上記数値に限定されることはない。
【0047】
また、本実施形態では、静電誘導吸着式搬送体１を構成する第１層１１、第２層１２および第３層１３の積層方向に見たときの第１層１１の面積、第２層１２の面積、および、第３層１３の面積は略同一である。
【0048】
静電誘導吸着式搬送体１は、検査対象物２０の載置位置において、少なくとも撮像光を透過し得る透明度を有する。検査対象物２０の外観検査時に検査光を用いる場合には、検査光が透過し得る透明度を有する。検査光の透過率は、例えば７５％以上である。
【0049】
第１層１１の第１透明部１１０、第２層１２の透明電極部１２０、および、第３層１３の第２透明部１３０は、所定の一方向に並んでいる。そのような構成により、後述する撮像部４により、第３層１３側から、第１層１１の上に載置されている検査対象物２０を撮像することができる。
【0050】
なお、第１層１１、第２層１２、および、第３層１３の積層方向が鉛直方向に限定されることはない。積層方向が鉛直方向でない場合も、本明細書では、第１層１１に対して検査対象物２０が載置される側を上側、第１層１１に対して第２層１２が位置する側を下側と呼ぶ。
【0051】
本実施形態では、検査対象物２０の載置位置において、第１層１１、第２層１２および第３層１３の積層方向に、第１層１１の第１透明部１１０、第２層１２の透明電極部１２０、および、第３層１３の第２透明部１３０が位置する。検査対象物２０の載置位置とは、外観検査が行われるときの検査対象物２０の載置位置である。本実施形態では、第１層１１の全てが第１透明部１１０により構成され、第２層１２の全てが透明電極部１２０で構成され、第３層１３の全てが第２透明部１３０により構成されているので、検査対象物２０の載置位置には、第１透明部１１０、透明電極部１２０、および、第２透明部１３０が必ず位置する。そのような構成により、後述するように、検査対象物２０の表面のうち、静電誘導吸着式搬送体１の第１層１１と対向する表面を、第１透明部１１０、透明電極部１２０、および、第２透明部１３０を介して、撮像部４により撮像することができる。
【0052】
上述したように、本実施形態における静電誘導吸着式搬送体１は、第１層１１、第２層１２、および、第３層１３を備えた３層構造であるため、１層や２層で構成された従来の構成と比べると、強度が向上し、検査対象物２０の搬送に耐えうる所定以上の強度を確保することができる。また、第３層１３を設けて所定以上の強度を確保するように構成されているので、第１層１１を薄くすることができ、第１層１１を介した検査対象物２０と第２層１２の透明電極部１２０との間の静電誘導による吸着力を向上させることができる
【0053】
また、第１層１１が第３層１３よりも薄いため、第２層１２の透明電極部１２０を、検査対象物２０と近い位置とすることができ、通電時に発生する電気力線が放射線上に広がる前に、静電誘導による吸着力を発生させることができる。これにより、電気力線の周囲への影響を抑制することができる。
【0054】
また、上述した特許文献１には、検査板の下面に補助静電誘導層を設ける構成が記載されているが、そのような構成では、補助静電誘導層が露出しているので、外部環境の影響で電位が安定しない可能性や、酸化等の劣化の可能性、また、導電性のゴミ等の混入によりショートする可能性がある。
【0055】
これに対して、本実施形態における静電誘導吸着式搬送体１では、透明電極部１２０を有する第２層１２は、第１層１１と第３層１３とにより挟まれているので、透明電極部１２０の露出を抑制することができる。これにより、従来の搬送体で生じ得る上記不具合の発生を抑制することができる。
【0056】
＜第２の実施形態＞
第１の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１では、積層方向に見たときの第１層１１の面積、第２層１２の面積、および、第３層１３の面積は略同一である。すなわち、第２層１２を構成している透明電極部１２０の上面は全て、第１層１１によって覆われている。
第１の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１では、積層方向に見たときの第１層１１の面積、第２層１２の面積、および、第３層１３の面積は略同一である。すなわち、第２層１２を構成している透明電極部１２０の上面は全て、第１層１１によって覆われている。
【0057】
これに対して、第２の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１Ａでは、第２層１２の透明電極部１２０の少なくとも一部は、その上に第１層１１Ａが形成されておらず、表面が露出している。
【0058】
図４は、第２の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１Ａの構成を模式的に示す断面図である。本実施形態でも、第１層１１Ａの全てが第１透明部１１０により構成され、第２層１２の全てが透明電極部１２０により構成され、第３層１３の全てが第２透明部１３０により構成されている。
【0059】
図４に示すように、第２の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１Ａにおいて、第１層１１Ａは、円環状の形状を有する。すなわち、第１層１１Ａを構成する第１透明部１１０が中心部には形成されていない。このため、第２層１２の透明電極部１２０の中心部は、その上に第１層１１Ａが形成されておらず、表面が露出している。第１層１１Ａの上には検査対象物２０が載置されるため、透明電極部１２０の表面が露出しているのは、検査対象物２０の載置位置ではない位置である。
【0060】
第２の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１Ａによれば、第２層１２の透明電極部１２０の少なくとも一部は、その上に第１層１１Ａが形成されておらず、表面が露出しているので、透明電極部１２０の引き出しが容易となり、電圧供給部３（図１参照）との接続が容易となる。
【0061】
＜第３の実施形態＞
第２の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１Ａにおいて、第２層１２の透明電極部１２０の少なくとも一部は、その上に第１層１１Ａが形成されておらず、表面が露出している。
第２の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１Ａにおいて、第２層１２の透明電極部１２０の少なくとも一部は、その上に第１層１１Ａが形成されておらず、表面が露出している。
【0062】
これに対して、第３の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１Ｂでは、第３層１３の少なくとも一部は、その上に第１層１１Ａおよび第２層１２Ｂが形成されておらず、表面が露出している。すなわち、第２層１２Ｂの透明電極部１２０は、第３層１３の上面のうちの一部に設けられている。
【0063】
図５は、第３の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１Ｂの構成を模式的に示す断面図である。本実施形態でも、第１層１１Ａの全てが第１透明部１１０により構成され、第２層１２Ｂの全てが透明電極部１２０で構成され、第３層１３の全てが第２透明部１３０により構成されている。積層方向に見たときの第１層１１Ａの面積と第２層１２Ｂの面積は、略同一である。
【0064】
図５に示すように、第３の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１Ｂにおいて、第１層１１Ａおよび第２層１２Ｂは、円環状の形状を有する。すなわち、第１層１１Ａを構成する第１透明部１１０は中心部に形成されておらず、第２層１２Ｂを構成する透明電極部１２０は中心部に形成されていない。このため、第３層１３の中心部は、その上に第１層１１Ａおよび第２層１２Ｂが形成されておらず、表面が露出している。また、第２層１２Ｂの透明電極部１２０の内周側側面１２０ａが露出しているので、透明電極部１２０の引き出しが容易となる。
【0065】
第３の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１Ｂによれば、第２層１２Ｂの透明電極部１２０は、第３層１３の上面のうちの一部に設けられているので、静電誘導により吸着される検査対象物２０の位置ばらつきを低減することができる。本実施形態では、静電誘導吸着式搬送体１Ｂの径方向外側に透明電極部１２０が設けられているので、検査対象物２０の吸着位置も径方向外側に制限することができる。検査対象物２０の位置ばらつきを低減することにより、後述する撮像部４による外観撮像を確実に行うことができ、外観検査の精度を向上させることができる。
【0066】
＜第４の実施形態＞
第１～第３の実施形態における静電誘導吸着式搬送体では、第２層に１つの透明電極部１２０が設けられている。
第１～第３の実施形態における静電誘導吸着式搬送体では、第２層に１つの透明電極部１２０が設けられている。
【0067】
これに対して、第４の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１Ｃでは、第２層に複数の透明電極部が設けられている。
【0068】
図６は、第４の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１Ｃの構成を模式的に示す断面図である。また、図７は、第３層１３の上に設けられている複数の透明電極部１２１、１２２を示す平面図である。図６および図７に示すように、第４の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１Ｃでは、第２層１２Ｃに、第１の透明電極部１２１と第２の透明電極部１２２が設けられている。
【0069】
図７に示すように、検査対象物２０の載置位置において、第１の透明電極部１２１および第２の透明電極部１２２は、櫛歯状に交互に配設されている。
【0070】
図８（ａ）は、第１の透明電極部１２１と第２の透明電極部１２２に同電位の電圧を印加して、検査対象物２０である積層セラミックコンデンサ２０Ｘを吸着させた状態を示す図である。ここでは、第１の透明電極部１２１と第２の透明電極部１２２に正電荷が帯電するように電圧を印加するものとして説明するが、負電荷が帯電するように電圧を印加した場合も同様である。
【0071】
後述する整列部５によって整列された積層セラミックコンデンサ２０Ｘは、第１の外部電極２２ａおよび第２の外部電極２２ｂのうちの一方が第１の透明電極部１２１の鉛直上方に位置し、他方が第２の透明電極部１２２の鉛直上方に位置する。このとき、第１の外部電極２２ａおよび第２の外部電極２２ｂの第１層１１に近い部分はそれぞれ、第１の透明電極部１２１および第２の透明電極部１２２とは逆の電荷で帯電する。
【0072】
図８（ａ）では、第１の外部電極２２ａが第１の透明電極部１２１の鉛直上方に位置し、第２の外部電極２２ｂが第２の透明電極部１２２に位置しており、第１の外部電極２２ａおよび第２の外部電極２２ｂの第１層１１に近い部分に負電荷が帯電した状態を示している。なお、図８（ａ）において、第１の外部電極２２ａと第２の外部電極２２ｂとが対向する方向が積層セラミックコンデンサ２０Ｘの搬送方向である。
【0073】
すなわち、第１の透明電極部１２１と第２の透明電極部１２２に正電荷を帯電させると、静電誘導により、検査対象物２０である積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の外部電極２２ａおよび第２の外部電極２２ｂの表面のうちの第１層１１に近い部分に、負電荷が引き寄せられる。これにより、積層セラミックコンデンサ２０Ｘが静電誘導吸着式搬送体１Ｃに吸着する。
【0074】
図８（ｂ）は、第１の透明電極部１２１と第２の透明電極部１２２のうちの一方に正電荷を帯電させ、他方に負電荷を帯電させるように電圧を印加して、検査対象物２０である積層セラミックコンデンサ２０Ｘを吸着させた状態を示す図である。ここでは、第１の透明電極部１２１に正電荷が帯電し、第２の透明電極部１２２に負電荷が帯電するように電圧を印加するものとして説明する。すなわち、通電時に第１の透明電極部１２１は、正極として機能し、第２の透明電極部１２２は、負極として機能する。ただし、第１の透明電極部１２１が負極として機能し、第２の透明電極部１２２が正極として機能するように電圧を印加してもよい。
【0075】
上述したように、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の外部電極２２ａおよび第２の外部電極２２ｂの第１層１１に近い部分はそれぞれ、第１の透明電極部１２１および第２の透明電極部１２２とは逆の電荷で帯電する。図８（ｂ）では、第１の外部電極２２ａの表面のうちの第１層１１に近い部分に負電荷が引き寄せられ、第２の外部電極２２ｂの表面のうちの第１層１１に近い部分に正電荷が引き寄せられた状態を示している。第１の透明電極部１２１と第２の透明電極部１２２のうちの一方を正極とし、他方を負極とすることにより、第１の透明電極部１２１と第２の透明電極部１２２との間の電位差を大きくすることができ、吸着力を増大させることができる。
【0076】
このように、第１の透明電極部１２１と第２の透明電極部１２２に同一の電荷が帯電するように電圧を印加した場合も、異符号の電荷が帯電するように電圧を印加した場合も、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の外部電極２２ａおよび第２の外部電極２２ｂの位置を、第１の透明電極部１２１および第２の透明電極部１２２の配置位置に揃えることができるので、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの向きを揃えることができる。また、周方向における第１の透明電極部１２１と第２の透明電極部１２２との間隔を一定にしておくことにより、静電誘導吸着式搬送体１Ｃ上において隣り合う積層セラミックコンデンサ２０Ｘの間隔を一定にすることができる。
【0077】
また、第１の透明電極部１２１と第２の透明電極部１２２に異符号の異なる電荷が帯電するように電圧を印加した場合には、異符号の電気力線が相互に作用して周囲への帯電を打ち消し合うため、周囲への影響を抑制することができる。
【0078】
＜第５の実施形態＞
透明電極部を有する第２層、第２層より上に位置する第１層、および、第２層より下に位置する第３層はそれぞれ、複数の板材やシート材を組合せた複数層からなる構成であってもよい。
透明電極部を有する第２層、第２層より上に位置する第１層、および、第２層より下に位置する第３層はそれぞれ、複数の板材やシート材を組合せた複数層からなる構成であってもよい。
【0079】
第５の実施形態における静電誘導吸着式搬送体は、第１層が２層構造である。
【0080】
図９は、第５の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１Ｄの構成を模式的に示す断面図である。第１層１１Ｄは、積層された上層１１１と下層１１２の２層により構成されている。検査対象物２０は、第１層１１Ｄの上層１１１の表面に載置される。
【0081】
第５の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１Ｄによれば、第１層１１Ｄのうち、検査対象物２０が載置される上層１１１に汚れが付着したり、傷が付いたときに、上層１１１を取り替えることができる。これにより、第１層１１Ｄの汚れや傷に起因して、検査対象物２０の外観検査の精度が低下することを抑制することができる。
【0082】
なお、第１層１１Ｄは２層により構成されているものとして説明したが、３層以上で構成されていてもよい。また、第２層１２および第３層１３についても、２層以上の複数層により構成されていてもよい。
【0083】
［外観検査装置］
続いて、外観検査装置１０の全体構成について説明する。以下では、静電誘導吸着式搬送体が第１の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１であるものとして説明するが、上述した第２～第５の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１Ａ～１Ｄであってもよいし、それらの変形構成による静電誘導吸着式搬送体でもよい。
続いて、外観検査装置１０の全体構成について説明する。以下では、静電誘導吸着式搬送体が第１の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１であるものとして説明するが、上述した第２～第５の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１Ａ～１Ｄであってもよいし、それらの変形構成による静電誘導吸着式搬送体でもよい。
【0084】
検査対象物供給部２は、静電誘導吸着式搬送体１の上に検査対象物２０を供給する。検査対象物供給部２として、例えば、振動により検査対象物２０を供給する振動式パーツフィーダ、回転しながら検査対象物２０を供給する回転式パーツフィーダ、エアの力により検査対象物２０を供給するエア式パーツフィーダ、ベルトコンベアによって検査対象物２０を供給するベルトコンベア式パーツフィーダ、１つずつ検査対象物２０を供給するワン・バイ・ワン式搭載機構などを用いることができる。
【0085】
検査対象物供給部２は、一定の時間間隔で検査対象物２０を静電誘導吸着式搬送体１の上に供給する。検査対象物供給部２による供給量は、例えば１分間に５０個～３００００個である。
【0086】
静電誘導吸着式搬送体１の上には、一定の間隔で列状に検査対象物２０が供給される。検査対象物２０は１列になるように供給してもよいし、２列以上の複数列になるように供給してもよい。
【0087】
静電誘導吸着式搬送体１の上に供給された検査対象物２０は、静電誘導により静電誘導吸着式搬送体１に吸着されながら、図１に示すように、整列部５によって一列に整列させられる。上述したように、検査対象物２０は、静電誘導により静電誘導吸着式搬送体１に吸着されるため、検査対象物２０が整列部５によって弾かれることや、整列部５との間の摩擦により停滞することを低減することができる。また、整列部５によって検査対象物２０が一列に整列させられるので、検査対象物２０が傾いた姿勢のまま静電誘導吸着式搬送体１に吸着されることを抑制することができる。
【0088】
静電誘導吸着式搬送体１は、静電誘導により検査対象物２０を吸着し、吸着した状態で検査対象物２０を搬送する。ここでは、図１に示すように、静電誘導吸着式搬送体１が円形テーブル状の形状を有しており、回転することによって、検査対象物２０を搬送する。
【0089】
なお、静電誘導吸着式搬送体１が回転することによって、検査対象物２０には遠心力が加わる。しかしながら、検査対象物２０は、静電誘導により吸着した状態で搬送されるため、搬送時の検査対象物２０の位置ずれを抑制することができる。
【0090】
また、検査対象物２０を静電誘導により吸着した状態で搬送するため、静電誘導吸着式搬送体１を水平な状態ではなく、水平面に対して傾斜した状態で使用することもできる。
【0091】
駆動部９は、静電誘導吸着式搬送体１を駆動する。駆動部９は、例えば、ＤＣモータ、サーボモータ、ステッピングモータ、リニアモータなどの電磁モータや、超音波モータ、圧縮空気などである。静電誘導吸着式搬送体１は、連続的に駆動してもよいし、間欠的に駆動してもよい。連続的に駆動する場合の速度は、例えば１０ｍｍ／ｓ以上２４００ｍｍ／ｓ以下であり、間欠的に駆動する場合の速度は、例えば３００ｍｍ／ｓ以上１２００ｍｍ／ｓ以下である。なお、駆動部９は、任意の位置に設けることができる。
【0092】
電圧供給部３は、静電誘導吸着式搬送体１の第２層１２の透明電極部１２０に電圧を印加する。電圧の供給は、電線を介した接触給電により行ってもよいし、電磁結合や電界結合による非接触給電により行ってもよい。
【0093】
撮像部４は、静電誘導吸着式搬送体１の上の検査対象物２０を撮像する。撮像部４は、検査対象物２０を撮像できるものであれば特に制約はなく、例えばＣＣＤカメラやＣＭＯＳカメラを用いることができる。
【0094】
ここでは、検査対象物２０が上述した積層セラミックコンデンサ２０Ｘであり、撮像部４としてＣＣＤカメラを用いるものとして説明する。積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の端面２３ａ、第２の端面２３ｂ、第１の主面２４ａ、第２の主面２４ｂ、第１の側面２５ａ、および、第２の側面２５ｂをそれぞれ撮像するために、撮像部４として、６つのＣＣＤカメラが配置されている。なお、図１では、撮像部４として、静電誘導吸着式搬送体１とほぼ同じ高さか、上方に位置する５つのＣＣＤカメラを示しており、静電誘導吸着式搬送体１よりも下方に位置する１つのＣＣＤカメラは示していない。
【0095】
図１において、第１の撮像エリアＳＡ１は、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の側面２５ａおよび第２の側面２５ｂを撮像するエリアである。第２の撮像エリアＳＡ２は、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の端面２３ａおよび第２の端面２３ｂを撮像するエリアである。第３の撮像エリアＳＡ３は、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の主面２４ａおよび第２の主面２４ｂを撮像するエリアである。
【0096】
図１０は、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の端面２３ａを撮像するための第１のＣＣＤカメラ４１、および、第２の端面２３ｂを撮像するための第２のＣＣＤカメラ４２の配置位置を示す図である。第１のＣＣＤカメラ４１および第２のＣＣＤカメラ４２は、静電誘導吸着式搬送体１の検査対象物２０の載置面と直交する方向であって、上記載置面側に設けられている。本実施形態では、図１０に示すように、静電誘導吸着式搬送体１が水平に配設されているため、第１のＣＣＤカメラ４１および第２のＣＣＤカメラ４２は、静電誘導吸着式搬送体１の上方に設けられている。
【0097】
検査対象物２０の外観検査を精度良く行うため、検査対象物２０を光で照らす照明部を備えていることが好ましい。本実施形態では、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の端面２３ａを光で照らすための第１の照明部５１、および、第２の端面２３ｂを光で照らすための第２の照明部５２が設けられている。
【0098】
照明部には、静電誘導吸着式搬送体の第３層１３側から、第１層１１の上に載置されている検査対象物２０を照明するものが含まれることが好ましい。本実施形態では、第１の照明部５１は、第１層１１より上側、および、第３層１３より下側から、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の端面２３ａを照明する。これにより、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の端面２３ａに暗い領域が生じることを効果的に抑制することができる。また、第２の照明部５２は、第１層１１より上側、および、第３層１３より下側から、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第２の端面２３ｂを照明する。これにより、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第２の端面２３ｂに暗い領域が生じることを効果的に抑制することができる。
【0099】
図１１（ａ）は、第１の照明部５１の詳細な構成を示す正面図であり、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）に示す第１の照明部５１をＸＩＢ－ＸＩＢ線で切断したときの断面図である。図１１に示すように、第１の照明部５１は、半球型のドーム照明であり、複数のＬＥＤ５１０を有する。図示は省略するが、第２の照明部５２も第１の照明部５１と同じ構造を有する。
【0100】
複数のＬＥＤ５１０は、同じ種類の光を発するものでもよいし、波長のピークが異なる複数種類の光を発するものでもよい。複数種類の光は、例えば、特定の波長のピークを有する青色光、緑色光および赤色光である。この場合、青色光、緑色光および赤色光が検査光となる。また、その場合には、ＣＣＤカメラとして、青色光、緑色光および赤色光に感度を有する３ＣＣＤカメラを用いることができる。波長のピークが異なる複数種類の光を用いることにより、外観検査時の欠陥の抽出、特に検査対象物２０の凹凸の欠陥の抽出の精度が向上する。
【0101】
ただし、第１の照明部５１および第２の照明部５２から発せられる光に特に制約はなく、白色光、赤外光、紫外光などであってもよい。また、特定の波長のピークを有する検査光は、必要に応じて使用すればよく、そのような検査光を用いなくてもよい。さらに、第１の照明部５１および第２の照明部５２による光照射の方法についても特に制約はなく、連続的に照射してもよいし、画像の取り込みに応じて、間欠的に照射してもよい。
【0102】
図１０に示すように、第１のＣＣＤカメラ４１の撮像面は、鉛直下方を向いている。第１のＣＣＤカメラ４１の撮像面の鉛直下方には、光路を変更するための第１の反射体６１が設けられている。第１の反射体６１は、例えばプリズムまたはミラーである。
【0103】
図１１に示すように、第１の照明部５１には、中心付近に孔５１１が設けられており、撮像光が第１の照明部５１の孔５１１を通るように、第１の照明部５１や第１の反射体６１の位置が調整されている。第１のＣＣＤカメラ４１は、第１の反射体６１で光路が変更された光を受光することによって、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の端面２３ａを撮像する。
【0104】
また、図１０に示すように、第２のＣＣＤカメラ４２の撮像面は、鉛直下方を向いている。第２のＣＣＤカメラ４２の撮像面の鉛直下方には、光路を変更するための第２の反射体６２が設けられている。第２の反射体６２は、例えばプリズムまたはミラーである。第１のＣＣＤカメラ４１と同様に、第２のＣＣＤカメラ４２は、第２の反射体６２で光路が変更された光を受光することによって、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第２の端面２３ｂを撮像する。
【0105】
図１２は、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の主面２４ａを撮像するための第３のＣＣＤカメラ４３、および第２の主面２４ｂを撮像するための第４のＣＣＤカメラ４４の配置位置を示す図である。第３のＣＣＤカメラ４３は、静電誘導吸着式搬送体１の検査対象物２０の載置面と直交する方向であって、上記載置面側に設けられている。また、第４のＣＣＤカメラ４４は、静電誘導吸着式搬送体１の検査対象物２０の載置面と直交する方向であって、上記載置面とは反対側に設けられている。本実施形態では、図１２に示すように、静電誘導吸着式搬送体１が水平に配設されているため、第３のＣＣＤカメラ４３は、静電誘導吸着式搬送体１の上方に設けられており、第４のＣＣＤカメラ４４は、静電誘導吸着式搬送体１の下方に設けられている。
【0106】
また、本実施形態では、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の主面２４ａを光で照らすために、第３の照明部５３が設けられ、第２の主面２４ｂを光で照らすために、第４の照明部５４が設けられている。第３の照明部５３および第４の照明部５４の構成は、図１１に示す第１の照明部５１の構成と同じである。
【0107】
第３のＣＣＤカメラ４３は、上方から、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の主面２４ａを撮像する。また、第４のＣＣＤカメラ４４は、下方から、すなわち、静電誘導吸着式搬送体１の第３層１３側から、第１層１１の上に載置されている積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第２の主面２４ｂを撮像する。
【0108】
上述したように、第１層１１の第１透明部１１０、第２層１２の透明電極部１２０、および、第３層１３の第２透明部１３０は、所定の一方向に並んでいる。本実施形態では、静電誘導吸着式搬送体１の検査対象物２０の載置位置の鉛直下方に、第１層１１の第１透明部１１０、第２層１２の透明電極部１２０、および、第３層１３の第２透明部１３０が位置する。したがって、第４のＣＣＤカメラ４４は、第１層１１の第１透明部１１０、第２層１２の透明電極部１２０、および、第３層１３の第２透明部１３０を介して、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第２の主面２４ｂを撮像する。
【0109】
図１３は、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の側面２５ａを撮像するための第５のＣＣＤカメラ４５、および、第２の側面２５ｂを撮像するための第６のＣＣＤカメラ４６の配置位置を示す図である。第５のＣＣＤカメラ４５は、静電誘導吸着式搬送体１の検査対象物２０の載置面と直交する方向であって、上記載置面側に設けられている。本実施形態では、図１３に示すように、静電誘導吸着式搬送体１が水平に配設されているため、第５のＣＣＤカメラ４５は、静電誘導吸着式搬送体１の上方に設けられている。また、第６のＣＣＤカメラ４６は、静電誘導吸着式搬送体１の径方向外側であって、かつ、積層セラミックコンデンサ２０Ｘと略同じ高さの位置に設けられている。
【0110】
また、本実施形態では、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の側面２５ａを光で照らすために、第５の照明部５５が設けられ、第２の側面２５ｂを光で照らすために、第６の照明部５６が設けられている。第５の照明部５５および第６の照明部５６の構成は、図１１に示す第１の照明部５１の構成と同じである。
【0111】
図１３に示すように、第５のＣＣＤカメラ４５の撮像面は、鉛直下方を向いている。第５のＣＣＤカメラ４５の撮像面の鉛直下方には、光路を変更するための第３の反射体６３が設けられている。第３の反射体６３は、例えばプリズムまたはミラーである。第５のＣＣＤカメラ４５は、第３の反射体６３で光路が変更された光を受光することによって、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の側面２５ａを撮像する。
【0112】
また、図１３に示すように、第６のＣＣＤカメラ４６の撮像面は、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第２の側面２５ｂを向いている。すなわち、第６のＣＣＤカメラ４６は、撮像光を直接受光して、第２の側面２５ｂを撮像する。
【0113】
ここで、図１４に示すように、第１のＣＣＤカメラ４１は、撮像面が鉛直下方ではなく、斜め下を向いて配設されていてもよい。また、図１４に示すように、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の端面２３ａを照明するために、第１の照明部５１とは別に、同軸補助照明部５７を設けるようにしてもよい。
【0114】
同軸補助照明部５７は、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の端面２３ａと対向する位置に設けられている。より具体的には、同軸補助照明部５７と積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の端面２３ａとを結ぶ直線が第１の照明部５１の孔５１１を通るように、第１の照明部５１および同軸補助照明部５７の位置が調整されている。
【0115】
同軸補助照明部５７は、必要に応じて、青色光、緑色光、および、赤色光白色光などの光を出力する。ただし、同軸補助照明部５７から出力される光が青色光、緑色光、および、赤色光白色光に限定されることはない。また、同軸補助照明部５７は、第１の照明部５１の複数のＬＥＤ５１０のうち、静電誘導吸着式搬送体１に近い位置のＬＥＤ５１０から発せられる光と同じ色の光を出力することが好ましい。例えば、静電誘導吸着式搬送体１に近い位置のＬＥＤ５１０から青色光が発せられる場合、同軸補助照明部５７も青色光を出力することが好ましい。
【0116】
静電誘導吸着式搬送体１の主面、すなわち、検査対象物２０の載置面に対する第１のＣＣＤカメラ４１の光軸の角度は、例えば１５°である。ただし、静電誘導吸着式搬送体１の主面と第１のＣＣＤカメラ４１の光軸との成す角が１５°に限定されることはない。
【0117】
検査対象物２０の外観検査は、撮像部４によって撮像された画像に基づいて、検査部６によって行われる。検査部６は、例えば、パソコンや専用の画像処理コントローラである。撮像画像に基づいた外観検査では、例えば、検査対象物２０の外形寸法、特定部位の寸法、表面の凹凸の有無、異物の付着の有無、破損の有無、変色の有無などを調べる。
【0118】
外観検査のための撮像が行われた検査対象物２０は、排出部７により、静電誘導吸着式搬送体１から排出される。検査対象物２０が静電誘導吸着式搬送体１の上に供給されてから排出されるまでの搬送経路の長さは、例えば３００ｍｍ以上２５００ｍｍ以下である。
【0119】
検査対象物２０の排出方法に特に制約はなく、例えば、エア噴出部７１から検査対象物２０にエアを噴射することによって排出してもよいし、図示しない吸引機構によって吸引することにより、排出するようにしてもよい。また、検査対象物２０を１つずつピックアップして排出するようにしてもよい。また、外観検査の結果に応じて、良品と不良品とが別の容器に回収されるように排出してもよい。
【0120】
本実施形態では、排出前に吸着力を弱めるため、検査対象物２０を除電する除電部８を備えている。除電部８は１つだけ設けられていてもよいし、複数設けられていてもよい。除電部８による除電方法に特に制約はなく、例えば、所定の電位を与えた金属ロールなどの導体を検査対象物２０に接触させることによって、除電することができる。また、電子やイオンなどを含む気体を検査対象物２０に向けて噴出することによって除電してもよいし、公知の除電ブラシを用いて除電してもよい。また、除電部８の配置位置も、検査対象物２０の搬送、撮像、および、排出の邪魔にならない位置であれば、任意の位置とすることができる。なお、除電部８を省略した構成としてもよい。
【0121】
（静電誘導吸着式搬送体がフィルムの場合）
上述した各実施形態の静電誘導吸着式搬送体は、柔軟性の低い構造であるが、フィルムのように、折り曲げ可能で柔軟性の高い構造であってもよい。静電誘導吸着式搬送体がフィルム状である場合も、上述した各実施形態のように、検査対象物２０が載置される層であり、絶縁性材料からなる第１透明部を有する第１層と、第１層の下側に位置し、導電性材料からなる透明電極部を有する第２層と、第２層下側に位置し、絶縁性材料からなる第２透明部を有する第３層とを備える。
上述した各実施形態の静電誘導吸着式搬送体は、柔軟性の低い構造であるが、フィルムのように、折り曲げ可能で柔軟性の高い構造であってもよい。静電誘導吸着式搬送体がフィルム状である場合も、上述した各実施形態のように、検査対象物２０が載置される層であり、絶縁性材料からなる第１透明部を有する第１層と、第１層の下側に位置し、導電性材料からなる透明電極部を有する第２層と、第２層下側に位置し、絶縁性材料からなる第２透明部を有する第３層とを備える。
【0122】
ここでも、第１層の全てが第１透明部により構成され、第２層の全てが透明電極部により構成され、第３層の全てが第２透明部により構成されているものとして説明する。
【0123】
この場合、第１透明部からなる第１層は、第２層上に形成される絶縁被膜からなる絶縁被膜層として構成することができる。絶縁被膜は、例えばフロートガラスなどの透明ガラス材料や、ＰＥＴ樹脂などの透明樹脂材料からなる。第１層の積層方向における厚みは、例えば０．００１ｍｍ以上０．０５ｍｍ以下である。例えば、第１層がガラス材料からなる場合の厚みは、０．００４ｍｍであり、ＰＥＴフィルムからなる場合の厚みは、０．０５ｍｍである。
【0124】
透明電極部からなる第２層は、例えば、ＩＴＯ、ＡＴＯ、酸化チタン、グラフェンなどにより構成することができる。第２層の積層方向における厚みは、例えば１ｎｍ以上１００μｍ以下である。一例として、透明電極部は、ＩＴＯにより構成され、その厚みは５ｎｍ以上１μｍ以下である。
【0125】
第２透明部からなる第３層は、例えば、フロートガラスなどの透明ガラス材料や、ＰＥＴ樹脂などの透明樹脂材料からなる。第３層の積層方向における厚みは、例えば０．０１ｍｍ以上１ｍｍ以下である。例えば、第１層がガラス材料からなる場合の厚みは、０．００４ｍｍであり、ＰＥＴフィルムからなる場合の厚みは、０．０５ｍｍである。
【0126】
第１層、第２層および第３層を含む静電誘導吸着式搬送体１の全体の積層方向における厚みは、例えば０．０１ｍｍ以上１ｍｍ以下である。
【0127】
静電誘導吸着式搬送体がフィルム状の場合、静電誘導吸着式搬送体を自由に曲げることができるので、検査対象物２０の搬送路を自由に設計することができる。
【0128】
図１５は、フィルム状の静電誘導吸着式搬送体１Ｅを用いた外観検査装置１０の全体構成を示す模式図である。図１５に示す静電誘導吸着式搬送体１Ｅは、連続無端形状を有する。静電誘導吸着式搬送体１Ｅの周長は、例えば５００ｍｍ以上２４００ｍｍ以下である。また、検査対象物供給部２によって検査対象物２０が供給されてから排出されるまでの距離は、例えば１５０ｍｍ以上１１００ｍｍ以下である。
【0129】
なお、ここでも、検査対象物２０が略直方体の形状を有する積層セラミックコンデンサ２０Ｘであるものとして説明するが、検査対象物２０が積層セラミックコンデンサ２０Ｘに限定されることはない。
【0130】
静電誘導吸着式搬送体１Ｅは、循環するように駆動される。検査対象物２０である積層セラミックコンデンサ２０Ｘは、検査対象物供給部２によって静電誘導吸着式搬送体１Ｅの第１層の上に供給され、吸着された状態で、静電誘導吸着式搬送体１Ｅの駆動方向に搬送される。
【0131】
図１５に示す例では、６つの回転ローラ７０が設けられており、回転ローラ７０が設けられている６箇所で、静電誘導吸着式搬送体１Ｅが曲げられている。ただし、静電誘導吸着式搬送体１Ｅを曲げる箇所は、任意の位置とすることができる。
【0132】
静電誘導吸着式搬送体１Ｅが曲げられている屈曲位置における曲率半径は、例えば１０ｍｍ以上５００ｍｍ以下である。
【0133】
また、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの搬送経路において、静電誘導吸着式搬送体１Ｅが水平ではなく傾斜している部分の傾斜角度は、例えば１５°以上９０°以下である。
【0134】
ここでも、検査対象物２０である積層セラミックコンデンサ２０Ｘの各面を撮像するための撮像部４として、６つのＣＣＤカメラが配置されているものとして説明する。
【0135】
第１の照明部５１は、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の端面２３ａを照明し、第２の照明部５２は、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第２の端面２３ｂを照明する。第１のＣＣＤカメラ４１は、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の端面２３ａを撮像し、第２のＣＣＤカメラ４２は、積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第２の端面２３ｂを撮像する。
【0136】
図１５に示すように、静電誘導吸着式搬送体１Ｅが折り曲げられていることにより、撮像面が積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の端面２３ａと対向する位置に第１のＣＣＤカメラ４１を配置し、撮像面が積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第２の端面２３ｂと対向する位置に第２のＣＣＤカメラ４２を配置することができる。これにより、図１０に示すような第１の反射体６１および第２の反射体６２を用いることなく、検査対象物２０の第１の端面２３ａおよび第２の端面２３ｂを撮像することができる。
【0137】
第３の照明部５３は、検査対象物２０の第１の主面２４ａを照明し、第４の照明部５４は、検査対象物２０の第２の主面２４ｂを照明する。第３のＣＣＤカメラ４３は、上方から積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第１の主面２４ａを撮像し、第４のＣＣＤカメラ４４は、下方から積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第２の主面２４ｂを撮像する。
【0138】
静電誘導吸着式搬送体１Ｅがフィルム状の形状を有する場合も、第１層の第１透明部、第２層の透明電極部、および、第３層の第２透明部は、所定の一方向に並んでいる。そのような配置の一態様として、検査対象物２０の載置位置の鉛直下方に、第１層の第１透明部、第２層の透明電極部、および、第３層の第２透明部が位置する。したがって、第４のＣＣＤカメラ４４は、第１層の第１透明部、第２層の透明電極部、および、第３層の第２透明部を介して、第３層側から、第１層の上に載置されている積層セラミックコンデンサ２０Ｘの第２の主面２４ｂを撮像する。
【0139】
図１５では省略しているが、第５のＣＣＤカメラは、検査対象物２０の第１の側面を撮像し、第６のＣＣＤカメラは、検査対象物の第２の側面を撮像する。
【0140】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。例えば、上述した第１～第５の実施形態における静電誘導吸着式搬送体は、円板状の形状を有し、周方向に回転する構成であったが、静電誘導吸着式搬送体の構成が上述した構成に限定されることはない。
【0141】
図１６は、ドラム状の形状を有し、回転方向に沿った表面が検査対象物２０の載置面である静電誘導吸着式搬送体１Ｆの外観形状を示す図である。静電誘導吸着式搬送体１Ｆは、上述したような第１層、第２層および第３層が径方向に積層された構成を有し、第１層の上側に検査対象物２０が載置される。この場合、静電誘導吸着式搬送体１Ｆの直径は、例えば１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下、検査対象物２０の搬送面の幅は、例えば５ｍｍ以上１５０ｍｍ以下、第１層、第２層および第３層を含む全体の厚みは、例えば１ｍｍ以上２０ｍｍ以下とすることができる。
【0142】
図１７は、直動テーブルやパレットのような有端状の形状を有する静電誘導吸着式搬送体１Ｇの外観形状を示す図である。この場合も、静電誘導吸着式搬送体１Ｇは、上述したような第１層、第２層および第３層を備え、第１層の上側に検査対象物２０が載置される。この場合、静電誘導吸着式搬送体１Ｇの搬送面の長さおよび幅はそれぞれ、例えば５ｍｍ以上１５０ｍｍ以下とすることができる。
【0143】
第１層の第１透明部、第２層の透明電極部、および、第３層の第２透明部が所定の一方向に並んでいる態様として、積層方向に並んでいる例を挙げて説明したが、積層方向以外の方向、例えば積層方向に対して傾きを有する斜め方向に並んだ構成としてもよい。
【0144】
また、上述した実施形態では、検査対象物２０が略直方体の形状であり、外観検査のために６面の全てを撮像するものとして説明したが、外観検査に必要な任意の面を撮像するように構成されていてもよい。
【0145】
上述した各実施形態の特徴的な構成は、適宜組み合わせることができる。例えば、第５の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１Ｄでは、第１層１１Ｄが上層１１１と下層１１２の２層により構成されているが、第２～第４の実施形態における静電誘導吸着式搬送体において、第１層が２層以上の複数層により構成されていてよい。また、第２層および第３層についても、２層以上の複数層により構成されていてもよい。
【0146】
図５に示す第３の実施形態における静電誘導吸着式搬送体１Ｂは、第３層１３の少なくとも一部は、その上に第１層１１Ａおよび第２層１２Ｂが形成されておらず、表面が露出している。この変形構成例として、図１８に示す静電誘導吸着式搬送体１Ｈのように、第１層１１は、第３層１３と同じく全体に形成されていてもよい。
【0147】
静電誘導吸着式搬送体の上に、撮像部４による撮像の写り方を調整するための透明絶縁層や、表面保護用の透明絶縁層を設置するようにしてもよい。その場合、透明絶縁層は単層により形成してもよいし、複数層により形成してもよい。
【0148】
静電誘導吸着式搬送体の検査対象物２０の載置面に、検査対象物２０の外形に対応する枠状の突起を設けるようにしてもよい。検査対象物２０の外形に対応する枠状の突起を設けることにより、検査対象物２０の搬送時における位置ずれをより効果的に抑制することができる。
【符号の説明】
【0149】
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ、１Ｇ、１Ｈ 静電誘導吸着式搬送体
２ 検査対象物供給部
３ 電圧供給部
４ 撮像部
５ 整列部
６ 検査部
７ 排出部
８ 除電部
９ 駆動部
１０ 外観検査装置
１１、１１Ａ、１１Ｄ 第１層
１２、１２Ｂ、１２Ｃ 第２層
１３ 第３層
２０ 検査対象物
２０Ｘ 積層セラミックコンデンサ
２１ セラミック素体
２２ａ 第１の外部電極
２２ｂ 第２の外部電極
２３ａ 第１の端面
２３ｂ 第２の端面
２４ａ 第１の主面
２４ｂ 第２の主面
２５ａ 第１の側面
２５ｂ 第２の側面
４１ 第１のＣＣＤカメラ
４２ 第２のＣＣＤカメラ
４３ 第３のＣＣＤカメラ
４４ 第４のＣＣＤカメラ
４５ 第５のＣＣＤカメラ
４６ 第６のＣＣＤカメラ
５１ 第１の照明部
５２ 第２の照明部
５３ 第３の照明部
５４ 第４の照明部
５５ 第５の照明部
５６ 第６の照明部
５７ 同軸補助照明部
６１ 第１の反射体
６２ 第２の反射体
６３ 第３の反射体
７１ エア噴出部
１１０ 第１透明部
１１１ 第１層の上層
１１２ 第１層の下層
１２０ 透明電極部
１２１ 第１の透明電極部
１２２ 第２の透明電極部
１３０ 第２透明部
５１０ ＬＥＤ
２ 検査対象物供給部
３ 電圧供給部
４ 撮像部
５ 整列部
６ 検査部
７ 排出部
８ 除電部
９ 駆動部
１０ 外観検査装置
１１、１１Ａ、１１Ｄ 第１層
１２、１２Ｂ、１２Ｃ 第２層
１３ 第３層
２０ 検査対象物
２０Ｘ 積層セラミックコンデンサ
２１ セラミック素体
２２ａ 第１の外部電極
２２ｂ 第２の外部電極
２３ａ 第１の端面
２３ｂ 第２の端面
２４ａ 第１の主面
２４ｂ 第２の主面
２５ａ 第１の側面
２５ｂ 第２の側面
４１ 第１のＣＣＤカメラ
４２ 第２のＣＣＤカメラ
４３ 第３のＣＣＤカメラ
４４ 第４のＣＣＤカメラ
４５ 第５のＣＣＤカメラ
４６ 第６のＣＣＤカメラ
５１ 第１の照明部
５２ 第２の照明部
５３ 第３の照明部
５４ 第４の照明部
５５ 第５の照明部
５６ 第６の照明部
５７ 同軸補助照明部
６１ 第１の反射体
６２ 第２の反射体
６３ 第３の反射体
７１ エア噴出部
１１０ 第１透明部
１１１ 第１層の上層
１１２ 第１層の下層
１２０ 透明電極部
１２１ 第１の透明電極部
１２２ 第２の透明電極部
１３０ 第２透明部
５１０ ＬＥＤ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【手続補正書】
【提出日】2022-09-12
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0008】
本発明の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体は、
検査対象物の外観検査装置に用いられる静電誘導吸着式搬送体であって、
絶縁性材料からなる第１透明部を有し、前記検査対象物が上側に載置される第１層と、
前記第１層の下側に位置し、導電性材料からなる透明電極部を有する第２層と、
前記第２層の下側に位置し、絶縁性材料からなる第２透明部を有する第３層と、
を備え、
前記第１透明部、前記透明電極部、および、前記第２透明部は、所定の一方向に並んでおり、
前記透明電極部には、第１の透明電極部と第２の透明電極部とが含まれ、
前記第１層の上に一定の間隔で列状に供給される複数の前記検査対象物の載置位置に対応して、前記第１の透明電極部と前記第２の透明電極部とが設けられていることを特徴とする。
検査対象物の外観検査装置に用いられる静電誘導吸着式搬送体であって、
絶縁性材料からなる第１透明部を有し、前記検査対象物が上側に載置される第１層と、
前記第１層の下側に位置し、導電性材料からなる透明電極部を有する第２層と、
前記第２層の下側に位置し、絶縁性材料からなる第２透明部を有する第３層と、
を備え、
前記第１透明部、前記透明電極部、および、前記第２透明部は、所定の一方向に並んでおり、
前記透明電極部には、第１の透明電極部と第２の透明電極部とが含まれ、
前記第１層の上に一定の間隔で列状に供給される複数の前記検査対象物の載置位置に対応して、前記第１の透明電極部と前記第２の透明電極部とが設けられていることを特徴とする。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0011】
前記透明電極部は、前記第３層の上面のうちの一部に設けられていてもよい。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0012】
前記第１の透明電極部は、通電時に正極として機能し、前記第２の透明電極部は、通電時に負極として機能するものであってもよい。
【手続補正4】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
検査対象物の外観検査装置に用いられる静電誘導吸着式搬送体であって、
絶縁性材料からなる第１透明部を有し、前記検査対象物が上側に載置される第１層と、
前記第１層の下側に位置し、導電性材料からなる透明電極部を有する第２層と、
前記第２層の下側に位置し、絶縁性材料からなる第２透明部を有する第３層と、
を備え、
前記第１透明部、前記透明電極部、および、前記第２透明部は、所定の一方向に並んでおり、
前記透明電極部には、第１の透明電極部と第２の透明電極部とが含まれ、
前記第１層の上に一定の間隔で列状に供給される複数の前記検査対象物の載置位置に対応して、前記第１の透明電極部と前記第２の透明電極部とが設けられていることを特徴とする外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
絶縁性材料からなる第１透明部を有し、前記検査対象物が上側に載置される第１層と、
前記第１層の下側に位置し、導電性材料からなる透明電極部を有する第２層と、
前記第２層の下側に位置し、絶縁性材料からなる第２透明部を有する第３層と、
を備え、
前記第１透明部、前記透明電極部、および、前記第２透明部は、所定の一方向に並んでおり、
前記透明電極部には、第１の透明電極部と第２の透明電極部とが含まれ、
前記第１層の上に一定の間隔で列状に供給される複数の前記検査対象物の載置位置に対応して、前記第１の透明電極部と前記第２の透明電極部とが設けられていることを特徴とする外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項2】
前記第１層は、絶縁被膜からなる絶縁被膜層であることを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項3】
前記透明電極部の少なくとも一部は、その上に前記第１層が形成されておらず、表面が露出していることを特徴とする請求項１または２に記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項4】
前記透明電極部は、前記第３層の上面のうちの一部に設けられていることを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項5】
前記第１の透明電極部は、通電時に正極として機能し、前記第２の透明電極部は、通電時に負極として機能することを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項6】
前記第１層の前記積層方向における厚みは、前記第３層の前記積層方向における厚みよりも薄いことを特徴とする請求項１～５のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項7】
前記第２層の前記積層方向における厚みは、前記第３層の前記積層方向における厚みよりも薄いことを特徴とする請求項１～６のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項8】
前記第２層の前記積層方向における厚みは、前記第１層の前記積層方向における厚みよりも薄く、かつ、前記第１層の前記積層方向における厚みは、前記第３層の前記積層方向における厚みよりも薄いことを特徴とする請求項１～７のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項9】
前記第１層、前記第２層、および、前記３層の前記積層方向における厚みの合計は、１ｍｍ以上２０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１～８のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項10】
折り曲げ可能なフィルム状の形状を有することを特徴とする請求項１～９のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体。
【請求項11】
請求項１～１０のいずれかに記載の外観検査装置の静電誘導吸着式搬送体と、
前記透明電極部に電圧を印加する電圧供給部と、
前記電圧供給部により電圧を供給された前記静電誘導吸着式搬送体の上に前記検査対象物を供給する検査対象物供給部と、
前記静電誘導吸着式搬送体を駆動する駆動部と、
前記駆動部によって駆動される前記静電誘導吸着式搬送体の上の前記検査対象物を撮像する撮像部と、
を備える外観検査装置。
前記透明電極部に電圧を印加する電圧供給部と、
前記電圧供給部により電圧を供給された前記静電誘導吸着式搬送体の上に前記検査対象物を供給する検査対象物供給部と、
前記静電誘導吸着式搬送体を駆動する駆動部と、
前記駆動部によって駆動される前記静電誘導吸着式搬送体の上の前記検査対象物を撮像する撮像部と、
を備える外観検査装置。
【請求項12】
前記検査対象物を光で照らす照明部をさらに備えることを特徴とする請求項１１に記載の外観検査装置。
【請求項13】
前記照明部には、前記静電誘導吸着式搬送体の前記第３層側から前記第１層の上に載置されている前記検査対象物を照明するものが含まれることを特徴とする請求項１２に記載の外観検査装置。
【請求項14】
前記撮像部には、前記静電誘導吸着式搬送体の前記第３層側から前記第１層の上に載置されている前記検査対象物を撮像するものが含まれることを特徴とする請求項１１～１３のいずれかに記載の外観検査装置。
【請求項15】
光路を変更するための反射体をさらに備え、
前記撮像部には、前記反射体で光路が変更された光を受光することによって前記検査対象物を撮像するものが含まれることを特徴とする請求項１１～１４のいずれかに記載の外観検査装置。
前記撮像部には、前記反射体で光路が変更された光を受光することによって前記検査対象物を撮像するものが含まれることを特徴とする請求項１１～１４のいずれかに記載の外観検査装置。