特開 2022-169980 パージ装置、ロードポート

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022169980

(43)【公開日】2022-11-10

(54)【発明の名称】パージ装置、ロードポート

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20221102BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021075763

(22)【出願日】2021-04-28

(71)【出願人】

【識別番号】000002059

【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100130498

【弁理士】

【氏名又は名称】佐野 禎哉

(72)【発明者】

【氏名】深江 兼一

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 淳志

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131BB03

5F131DA05

5F131DA32

5F131DB03

5F131DB52

5F131DB76

5F131DB82

5F131FA02

5F131FA14

5F131GA76

5F131JA04

5F131JA07

5F131JA24

5F131JA35

5F131KA05

(57)【要約】

【課題】底面に設けた被当接部の材質が異なる搬送容器に対応することができるとともに、被当接部の高さ寸法が異なる搬送容器にも対応することが可能なパージ装置及びそのようなパージ装置を備えたロードポートを提供する。
【解決手段】ノズルユニットＰ１により載置テーブル５上の搬送容器３にガスを注入または排出するパージ装置Ｐであり、ノズルユニットＰ１が、ガス流通路Ｐ２の周囲に配置され、且つ上端部を開口３６の周囲に設けられた被当接部３７に当接可能な第１当接部Ｐ３１に設定した第１ノズルＰ３と、第１ノズルＰ３の周囲に配置され、上端部を被当接部３７に当接可能な第２当接部Ｐ４１に設定した第２ノズルＰ４と、第１ノズルＰ３及び第２ノズルＰ４を相互に独立して昇降自在に移動させる駆動部Ｐ６とを備えたものにした。
【選択図】図７

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送容器を載置するための載置テーブルに実装され、且つ前記搬送容器に対して当該搬送容器の底面に設けられた開口に連通可能なガス流通路を有するノズルユニットにより前記載置テーブル上の前記搬送容器にガスを注入または排出するパージ装置であり、
前記ノズルユニットが、
前記ガス流通路の周囲に配置され、且つ上端部を前記開口の周囲に設けられた被当接部に当接可能な第１当接部に設定した第１ノズルと、
前記第１ノズルの周囲に配置され、上端部を前記被当接部に当接可能な第２当接部に設定した第２ノズルと、
前記第１ノズル及び前記第２ノズルを相互に独立して昇降自在に移動させる駆動部とを備えていることを特徴とするパージ装置。

【請求項2】

半導体製造装置に隣接して設けられ、前記載置テーブルに載置された前記搬送容器の蓋を開閉するロードポートであって、
請求項１に記載の前記パージ装置が搭載され、
さらに、前記駆動部による前記第１ノズル及び前記第２ノズルの昇降を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記載置テーブルに載置された前記搬送容器に関する判別情報に基づいて前記第１ノズル又は前記第２ノズルを上昇させる制御を実行するものであることを特徴とするロードポート。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送対象物が収容された搬送容器にガスを注入または排出するパージ装置、及びパージ装置を備えたロードポートに関するものである。

【背景技術】

【0002】

半導体素子の材料となるウェーハを収容するＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）等の搬送容器を載置テーブルに載置した状態で所定の気体（例えば窒素や乾燥空気、不活性ガス等）を搬送容器の底面側から内部に注入して充満させて、搬送容器内を所定の気体雰囲気に置換するパージ装置を備えたロードポートが知られている。このような搬送容器の底面側から窒素や乾燥空気、不活性ガス等の所定の気体を搬送容器内に注入して搬送容器内を所定の気体雰囲気に置換する、いわゆるボトムパージ方式は、フロントパージ方式のパージ装置と比較して、所定の気体雰囲気の到達濃度が高いという利点がある。

【0003】

ボトムパージ処理（以下、パージ処理）を実行する際には、載置テーブル上における所定箇所に設けられたパージノズルを搬送容器の底面に接触させて、パージノズルの軸方向に貫通しているガス流通路と、搬送容器の底面に形成された開口（ポート）とを相互に連通させている。このようなパージノズルとポートの間に隙間が生じているとその隙間からガスが漏出するため、例えば下記特許文献１には、ＦＯＵＰのポートにゴム製のグロメットを装着し、ノズルとして、上方に突出するリップ状の突出部をガス流通路の周囲に設けた態様が開示されている。このような構成であれば、ゴム製で柔らかいグロメットに対してリップ状の突出部を密接させることができ、パージ処理実行時のガス漏れを防ぐことが可能である。

【0004】

ところで、搬送容器には、ポートにゴム製のグロメットが装着されたグロメットタイプの他に、ポートの周りにプラスチック等からなるリップ状の突出部（リップ部）が設けられたリップタイプも存在する。このような搬送容器のタイプに応じて、その都度パージノズルもグロメットタイプ対応のノズルまたはリップタイプ対応のノズルまたはノズル先端部分に変更・交換しなければならず、作業効率が低下する要因になっていた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１１－１８７５３９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

そこで、本出願人は、搬送容器の底面に設けられたポートに対して連通可能なガス流通路を有し、ポートを介して搬送容器にガスを注入または排出するパージ装置として、パージノズルの先端（上端）部に、平坦部と、平坦部よりも上方に突出した突出部とを設け、平坦部を突出部よりも柔らかい材料で構成したパージ装置を開発し、実用化を進めている（特許第６４５５２６１号公報）。

【0007】

このようなパージノズルであれば、搬送容器がリップタイプの場合には、突出部よりも柔らかい平坦部が搬送容器のリップ部に当接することで、パージノズルと搬送容器とを密接させることができ、搬送容器がグロメットタイプの場合には、パージノズルの突出部が搬送容器のグロメットに当接することで、パージノズルと搬送容器とを密接させることができ、グロメットタイプの搬送容器とリップタイプの搬送容器の両方に対応することが可能である。したがって、グロメットタイプの搬送容器とリップタイプの搬送容器とが混在する状況であっても対応可能である。

【0008】

ところで、ＦＯＵＰの底面に設けたグロメットやリップ部の高さ寸法（ＦＯＵＰの底面に対する下方への突出寸法）が統一されていない場合には、その高さ寸法に応じてパージノズルもノズル全体またはノズルの先端部分を変更・交換する必要がある。このような変更・交換作業も作業効率が低下する要因になるため、改善の余地がある。

【0009】

さらにまた、ＦＯＵＰの種類によってグロメットやリップ部の高さ、換言すれば、ＦＯＵＰの底面からの突出寸法が異なる場合もある。このような場合には、底面からの突出寸法に応じた高さを有するノズルを適宜選択・交換する作業が必要になり、底面からの突出寸法が異なる搬送容器が混在する状況ではやはり対応できないという問題があった。

【0010】

本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、主たる目的は、搬送容器の底面のうち開口の周囲に設けられたグロメットまたはリップ部（被当接部）の高さ寸法（搬送容器の底面からグロメット及びリップ部が突出している寸法であり、グロメット及びリップ部の下端から搬送容器の底面までの高さ寸法と同義）が異なる搬送容器（グロメットタイプの搬送容器及びリップタイプの搬送容器）にも対応することができるとともに、材質が異なるグロメットタイプの搬送容器及びリップタイプの搬送容器にも対応することが可能なパージ装置及びそのようなパージ装置を備えたロードポートを提供することである。なお、本発明は、ＦＯＵＰ以外の搬送容器や、ロードポート以外の搬送容器載置装置、搬送容器に対する専用のストッカ装置等の搬送容器内をパージする処理を要する各種の装置であっても対応可能な技術である。

【課題を解決するための手段】

【0011】

すなわち、本発明に係るパージ装置は、搬送容器を載置するための載置テーブルに実装され、且つ搬送容器に対して当該搬送容器の底面に設けられた開口に連通可能なガス流通路を有するノズルユニットにより載置テーブル上の搬送容器にガスを注入または排出するパージ装置であって、ノズルユニットとして、ガス流通路の周囲に配置され、且つ上端部を開口の周囲に設けられた被当接部に当接可能な第１当接部に設定した第１ノズルと、第１ノズルの周囲に配置され、且つ上端部を被当接部に当接可能な第２当接部に設定した第２ノズルと、第１ノズル及び第２ノズルを相互に独立して昇降自在に移動させる駆動部とを備えたものを適用していることを特徴としている。

【0012】

このような、本発明に係るパージ装置であれば、ガス流通路を軸中心として少なくとも第１ノズル及び第２ノズルをガス流通路の開口径方向に並ぶように二重（二段）に配置し、さらに、駆動部によって第１ノズル及び第２ノズルを相互に独立して昇降自在に移動さているため、搬送容器の開口の周囲に設けられた被当接部の高さ寸法がグロメットとリップ部とで異なる場合であっても、第１ノズル及び第２ノズルを個別に昇降自在に移動させることができるため、搬送容器がグロメットタイプかリップタイプの何れであるかに応じて第１ノズルまたは第２ノズルを単独で上昇させることで、被当接部に第１当接部または第２当接部を確実に密接させることができる。したがって、搬送容器の底面に設けたグロメットやリップ部の高さ寸法が一致してない場合であっても、その高さ寸法に応じてノズルユニットを交換するという作業が不要にあり、作業効率が向上する。

【0013】

特に、本発明に係るパージ装置であれば、開口の周囲に設けられた被当接部がリップ部である搬送容器に対してパージ処理を行う場合には、第１当接部または第２当接部の何れか一方（例えば第２ノズル）のみを単独で上昇させて搬送容器のリップ部に当接させることでリップ部との間に隙間が生じていない良好な密着状態になり、適切なパージ処理を行うことができる。また、被当接部がグロメットである搬送容器に対してパージ処理を行う場合には、他方のノズル（例えば第１ノズル）のみを単独で上昇させて搬送容器のグロメットに当接させることでグロメットとの間に隙間が生じていない良好な密着状態になり、適切なパージ処理を行うことができる。本発明の好適な実施態様としては、第１ノズルのうち上端部に設定した第１当接部と第２ノズルのうち上端部に設定した第２当接部のうち何れか一方の当接部（例えば第２当接部）を他方の当接部（例えば第１当接部）よりも柔らかい材料で構成する態様を挙げることができる。この場合、第１当接部または第２当接部のうち相対的に柔らかい材料（以下、軟質材）で構成した当接部を有するノズル（例えば第２ノズル）のみを単独で上昇させて軟質材を搬送容器のリップ部に当接させることでリップ部との間に隙間が生じていない良好な密着状態になり、適切なパージ処理を行うことができる。また、被当接部がグロメットである搬送容器に対してパージ処理を行う場合には、軟質材よりも硬い材料で構成した当接部を有するノズル（例えば第１ノズル）のみを単独で上昇させて搬送容器のグロメットに当接させることでグロメットとの間に隙間が生じていない良好な密着状態になり、適切なパージ処理を行うことができる。

【0014】

また、本発明に係るロードポートは、半導体製造装置に隣接して設けられ、載置テーブルに載置された搬送容器の蓋を開閉するロードポートであって、上述のパージ装置が搭載され、さらに、駆動部による第１ノズル及び第２ノズルの昇降を制御する制御部を備え、制御部が、載置テーブルに載置された搬送容器に関する判別情報に基づいて第１ノズル又は第２ノズルを上昇させる制御を実行するものであることを特徴としている。なお、「載置テーブルに載置された搬送容器に関する判別情報」は、制御部が有する判別部によって判別した搬送容器に関する判別情報（制御部自体が判別した搬送容器に関する判別情報）であってもよいし、制御部以外の適宜の判別部によって判別した搬送容器に関する判別情報であってもよい。

【0015】

このようなロードポートによれば、載置テーブルに載置された搬送容器に関する判別情報に基づいて制御部が第１ノズル又は第２ノズルを上昇させる制御を実行することで、グロメットやリップの下端から搬送容器の底面までの高さ寸法が一致していない場合であってもノズルを交換することなく、適切にパージ処理を行うことができるとともに、グロメットタイプの搬送容器とリップタイプの搬送容器の両方に対してもノズルを交換することなく適切にパージを行うことができる。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、ノズルユニットとして、２種類のノズル（第１ノズル、第２ノズル）をガス流通路周りに二重に配置したものを適用し、それぞれのノズルを単独で昇降自在に移動させる構成を採用しているため、被当接部の高さが異なる場合であっても好適に対応可能であり、且つグロメットタイプの搬送容器とリップタイプの搬送容器の両方に対応可能なパージ装置及びロードポートを提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の一実施形態に係るロードポートを備えたＥＦＥＭとその周辺装置の相対位置関係を示す模式的に示す側面図。

【図2】図１に示す相対位置関係を簡略化した平面図。

【図3】同実施形態における全体待機状態のノズルユニットを模式的に示す縦断面図。

【図4】同実施形態における第１ノズル使用状態のノズルユニットを図３に対応して示す縦断面図。

【図5】同実施形態における第２ノズル使用状態のノズルユニットを図３に対応して示す縦断面図。

【図6】グロメットタイプのＦＯＵＰのポートにノズルユニットを接続した状態を模式的に示す図。

【図7】リップタイプのＦＯＵＰのポートにノズルユニットを接続した状態を模式的に示す図。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。

【0019】

図１は、本実施形態に係るパージ装置Ｐは、図１に示すロードポート１に適用可能なものである。本実施形態のロードポート１は、例えば半導体の製造工程において用いられ、図１及び図２に示すように、クリーンルーム内において、搬送室２の壁面の一部を構成し、搬送室２とＦＯＵＰ等の搬送容器３との間でウェーハＷ等の搬送対象物の出し入れを行うためのものである。ロードポート１は、搬送室２と共にＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）の一部を構成し、搬送容器３と搬送室２のインターフェース部分として機能するものである。

【0020】

搬送室２は、ロードポート１及び処理室Ｒが接続されることによって、内部空間２Ｓが略密閉された状態となるように構成している。搬送室２の内部空間２Ｓには、図１に示すように、上方から下方に向かう気流であるダウンフローを形成している。したがって、搬送室２の内部空間２ＳにウェーハＷの表面を汚染するパーティクルが存在した場合であっても、ダウンフローによってパーティクルを下方に押し下げ、搬送中のウェーハＷの表面へのパーティクルの付着を抑制することが可能となる。図１には、ダウンフローを形成している搬送室２内の気体の流れを矢印で模式的に示している。搬送室２の内部空間２Ｓには、ウェーハＷ等の搬送対象物をロードポート１上のＦＯＵＰ３と処理室Ｒとの間で搬送可能な搬送ロボット２１が設けられている。図２には、搬送室２の前面（前壁面）２Ｆにロードポート１を複数（例えば３台）並べて配置した構成を模式的に示している。ＥＦＥＭの作動は、ロードポート１のコントローラ（図２に示す制御部１Ｃ）や、ＥＦＥＭ全体のコントローラ（図１に示す制御部Ｃ）によって制御される。

【0021】

本実施形態では、搬送室２のうちロードポート１を配置した壁面２Ｆ（前壁面）に対向する壁面２Ｂ（後壁面）に、処理室Ｒ（半導体処理装置）を幅方向に複数（図示例では３室）並べて配置し、各処理室Ｒ内でそれぞれ異なる適宜の処理が施されるように構成している。なお、処理室Ｒの作動は、処理室Ｒのコントローラ（図１に示す制御部ＲＣ）によって制御される。ここで、処理室Ｒ全体のコントローラ（制御部ＲＣ）や、ＥＦＥＭ全体のコントローラ（制御部Ｃ）は、ロードポート１の制御部１Ｃの上位コントローラである。

【0022】

本実施形態におけるＦＯＵＰ３は、図１に模式的に示すように、搬出入口３１を通じて内部空間３Ｓを後方にのみ開放可能なＦＯＵＰ本体３２と、搬出入口３１を開閉可能なＦＯＵＰドア３３を備えている。ＦＯＵＰ３は、内部に多段式スロットを設け、各スロットに搬送対象物であるウェーハＷを収容可能に構成され、搬出入口３１を介してこれらウェーハＷを出し入れ可能に構成された既知のものである。ＦＯＵＰ本体３２の上向面には、搬送容器３を自動で搬送する装置（例えばＯＨＴ：Over Head Transport）等に把持されるフランジ部３５を設けている。

【0023】

ロードポート１は、図１等に示すように、搬送室２の壁面の一部を構成し、且つ搬送室２の内部空間２Ｓを開放するための開口部４１が形成された板状をなすフレーム４と、フレーム４に対して前方に突出させた略水平姿勢で設けた載置テーブル５と、外部から搬送されてきたＦＯＵＰ３を載置テーブル５上に保持する着座保持機構６と、載置テーブル５上でＦＯＵＰ３を着座位置と搬送対象物受渡位置との間で前後方向Ｄに移動させる牽引機構７と、フレーム４の開口部４１を開閉するロードポートドア８と、ロードポートドア８を搬送室２側に後退したドア開放位置に移動させることによりフレーム４の開口部４１を開状態にするドア開閉機構９と、ドア開閉機構９によってフレーム４の開口部４１を開状態にした状態において、搬送対象物受渡位置にあるＦＯＵＰ３内の各スロットにおけるウェーハＷの有無を含むウェーハＷの載置状態に関する情報をマッピングするマッピング機構Ｍと、ＦＯＵＰ３内にパージ用気体を注入し、ＦＯＵＰ３内の気体雰囲気を窒素ガス等のパージ用気体に置換可能なパージ装置Ｐとを備えたものである。

【0024】

載置テーブル５は、フレーム４のうち高さ方向Ｈ中央よりもやや上方寄りの位置に略水平姿勢で配置される水平基台５０（支持台）の上部に設けられ、ＦＯＵＰ本体３２がフレーム４に対向する向きでＦＯＵＰ３を載置可能なものである。載置テーブル５には、上向きに突出させた複数の突起（図示省略）を設け、これらの突起をＦＯＵＰ３の底面に形成された穴（図示省略）に係合させることで、載置テーブル５上におけるＦＯＵＰ３の位置決めを図っている。本実施形態では、載置テーブル５に載置したＦＯＵＰ３とフレーム４が並ぶ前後方向Ｄにおいて、ＦＯＵＰ３側を前方と定義し、フレーム４側を後方と定義する。

【0025】

なお、図１では、載置テーブル５上におけるＦＯＵＰ３の載置状態として、載置テーブル５の上面にＦＯＵＰ３の底面が接触している状態として簡略化して示している。しかしながら、実際には、載置テーブル５の上面よりも上方に突出している複数の突起が、ＦＯＵＰ３の底面に形成された有底の穴に係合することでＦＯＵＰ３を支持しており、載置テーブル５の上面とＦＯＵＰ３の底面は相互に接触せず、載置テーブル５の上面とＦＯＵＰ３の底面の間に所定の隙間が形成されるように規定されている。

【0026】

パージ装置Ｐは、載置テーブル５に設けられＦＯＵＰ３の底面側から当該ＦＯＵＰ３内に窒素ガスや不活性ガス又はドライエア等の適宜選択された気体である環境ガス（パージガスまたはパージ用気体とも称され、本実施形態では主に窒素ガスやドライエアを用いている）を注入し、ＦＯＵＰ３内の気体雰囲気を環境ガスに置換可能なものである。パージ装置Ｐは、載置テーブル５上に上端部を露出可能な状態で所定箇所に配置される複数のノズルユニットＰ１（気体給排装置）を備えたものである。これら複数のノズルユニットＰ１は、ＦＯＵＰ３の底面に設けたポート３６（本発明の「開口」に相当、図６参照）の位置に応じて載置テーブル５上または載置テーブル５近傍の適宜位置に取り付けられ、ポート３６に接触した状態で接続可能なものである。

【0027】

このようなパージ装置Ｐを用いたボトムパージ処理は、ＦＯＵＰ３の底部に設けられた複数のポート３６のうち、所定数（全部を除く）のポート３６を「供給用ポート」として機能させ、供給ポート３６に接続したノズルユニットＰ１により当該ＦＯＵＰ３内にパージ用気体を注入するとともに、残りのポート３６を「排気用ポート３６」として機能させ、排気ポート３６に接続したノズルユニットＰ１を通じてＦＯＵＰ３内の気体雰囲気を排出することで、ＦＯＵＰ３内にパージ用気体を充満する処理である。本実施形態では、載置テーブル５の周縁部（四隅近傍）にそれぞれパージ装置Ｐを構成する４つのノズルユニットＰ１を配設している（図２参照）。

【0028】

ノズルユニットＰ１は、図３乃至図７に示すように、搬送容器３に対して当該搬送容器３の底面に設けられたポート３６に連通可能なガス流通路Ｐ２を有するものであり、ガス流通路Ｐ２の周囲に配置した第１ノズルＰ３と、第１ノズルＰ３の周囲に配置した第２ノズルＰ４と、第１ノズルＰ３及び第２ノズルＰ４を保持するノズルホルダＰ５と、第１ノズルＰ３及び第２ノズルＰ４を相互に独立して昇降動作させる駆動部Ｐ６とを備えている。

【0029】

第１ノズルＰ３は、高さ方向Ｈに延伸する管状をなし、上下方向に貫通する内部空間をガス流通路Ｐ２に設定したものである。第１ノズルＰ３は、例えば金属製の一体成型品であり、上端部を搬送容器３のポート３６の周囲に設けた被当接部３７に当接可能な第１当接部Ｐ３１に設定している。したがって、第１当接部Ｐ３１は金属で構成したものである。本実施形態では、第１ノズルＰ３のうち、下端部側の所定箇所における外周面に他の部位よりも外側に突出した第１大径部Ｐ３２を設け、第１大径部Ｐ３２がノズルホルダＰ５の底壁Ｐ５１に当接することで第１ノズルＰ３の最下降位置を位置決めしている。ノズルホルダＰ５の底壁Ｐ５１における中央部には、第１大径部Ｐ３２よりも小径であって且つ第１ノズルＰ３のうち第１大径部Ｐ３２よりも下側の部分における外周面の直径よりも僅かに大きい開口径に設定した第１ノズル挿通孔Ｐ５２を形成している。本実施形態では、第１ノズルＰ３のうち上端部側の外周面を被覆し得る位置に第２ノズルＰ４を設けている。

【0030】

第２ノズルＰ４は、高さ方向Ｈに延伸する管状をなす例えば金属製の第２ノズル本体Ｐ４０と、第２ノズル本体Ｐ４０の上端部に装着した例えばゴム製の第２当接部Ｐ４１とを備え、上下方向に貫通する内部空間を第１ノズル収容スペースＰ４Ｓに設定したものである。第１ノズル収容スペースＰ４Ｓの開口径（第２ノズル本体Ｐ４０の開口径）は、第１ノズルＰ３のうち上端部側の外周面の直径よりも僅かに大きく、第１ノズル収容スペースＰ４Ｓを規定する第２ノズル本体Ｐ４０の内周面に第１ノズルＰ３の外周面が添接した状態で第１ノズルＰ３を第１ノズル収容スペースＰ４Ｓに収容している。本実施形態では、第２ノズル本体Ｐ４０のうち上端部側の外周面を下端部側の外周面よりも大きい直径を有する第２大径部Ｐ４２に設定し、第２大径部Ｐ４２の下向き面が後述するノズルホルダＰ５の内方突出部Ｐ５３に当接することで第２ノズルＰ４の最下降位置を位置決めしている。第２大径部Ｐ４２の直径は、第１ノズルＰ３の第１大径部Ｐ３２の直径と同一または略同一である。

【0031】

第２当接部Ｐ４１は、上向き面をフラットな面に設定した例えばゴム製のリング部材である。したがって、第２ノズルＰ４は、金属製の第２ノズル本体Ｐ４０を主体としてなり、上端部に第１ノズルＰ３の第１当接部Ｐ３１（金属製）よりも柔らかい材料からなる第２当接部Ｐ４１を設けたものである。第２当接部Ｐ４１の周縁部における下向き面には、下方に突出する下方突出部Ｐ４１ａを一体に設け、この下方突出部Ｐ４１ａを第２ノズル本体Ｐ４０の上端部に設けたリング状の凹部Ｐ４３に嵌め込むことによって、第２当接部Ｐ４１を第２ノズル本体Ｐ４０の上端部に装着している。

【0032】

ノズルホルダＰ５は、上方に開口した有底筒状をなし、底壁Ｐ５１に第１ノズル挿通孔Ｐ５２を形成し、側壁Ｐ５４の内向き面における所定高さ位置に開口中心に向かって所定寸法突出した内方突出部Ｐ５３を有するものである。内方突出部Ｐ５３は円環状をなし、中央に形成された空洞部分を、第２ノズルＰ４の第２大径部Ｐ４２よりも小径であって且つ第２ノズルＰ４のうち第２大径部Ｐ４２よりも下側の部分における外周面の直径よりも僅かに大きい開口径に設定した第２ノズル挿通孔Ｐ５５として機能させている。ノズルホルダＰ５、第１ノズルＰ３及び第２ノズルＰ４は、互いに同心円状となるように配置されている。

【0033】

ノズルホルダＰ５の内部空間のうち内方突出部Ｐ５３よりも下側の空間は、第１ノズルＰ３を、搬送容器３のポート３６を介して搬送容器３内へ所定の気体を噴射し得ない待機姿勢（ａ）と、ポート３６を介して所定の気体を搬送容器３内へ噴射し得る使用姿勢（ｂ）との間で動作させるべく拡縮する第１動作調整空間Ｐ５６として機能する。また、ノズルホルダＰ５の内部空間のうち内方突出部Ｐ５３よりも上側の空間は、第２ノズルＰ４を、ポート３６を介して搬送容器３内へ所定の気体を噴射し得ない待機姿勢（ｃ）と、ポート３６を介して所定の気体を搬送容器３内へ噴射し得る使用姿勢（ｄ）との間で動作させるべく拡縮する第２動作調整空間Ｐ５７として機能する。

【0034】

ノズルホルダＰ５の側壁Ｐ５４には、第１動作調整空間Ｐ５６に連通する第１気体導入孔Ｐ５８と、第２動作調整空間Ｐ５７に連通する第２気体導入孔Ｐ５９とを形成している。第１気体導入孔Ｐ５８は、第１気体導出入源を通じて第１動作調整空間Ｐ５６へパージ用気体とは異なる気体である制御用気体（本実施形態では圧縮空気を適用）を出し入れすることにより第１ノズルＰ３の動作を制御する第１気体導出入部Ｐ６１の一部を構成するものであり、第２気体導入孔Ｐ５９は、第２気体導出入源を通じて第２動作調整空間Ｐ５７へ制御用気体を出し入れすることにより第２ノズルＰ４の動作を制御する第２気体導出入部Ｐ６２の一部を構成するものである。

【0035】

第１気体導出入部Ｐ６１及び第２気体導出入部Ｐ６２は、それぞれ第１動作調整空間Ｐ５６、第２動作調整空間Ｐ５７へ制御用気体を出し入れすることにより第１動作調整空間Ｐ５６及び第２動作調整空間Ｐ５７を拡縮させて、第１ノズルＰ３及び第２ノズルＰ４を相互に独立して昇降動作させるものである。本実施形態では、これら第１気体導出入部Ｐ６１及び第２気体導出入部Ｐ６２を用いて駆動部Ｐ６を構成している。

【0036】

本実施形態では、第１動作調整空間Ｐ５６及び第２動作調整空間Ｐ５７を相互に隔離した空間に設定し、第１動作調整空間Ｐ５６及び第２動作調整空間Ｐ５７の何れにも制御用気体を導入していない状態では、図３に示すように、第１ノズルＰ３及び第２ノズルＰ４の両方が待機姿勢（ａ），（ｃ）にあり、この状態を「ノズルユニットＰ１の全体待機姿勢（Ａ）」とする。ノズルユニットＰ１が全体待機姿勢（Ａ）にある状態で、第１気体導入孔Ｐ５８を通じて第１動作調整空間Ｐ５６に制御用気体を導入しながら第２気体導入孔Ｐ５９を通じて第２動作調整空間Ｐ５７の気体を排出すると、図４に示すように、第１ノズルＰ３のみが上昇して待機姿勢（ａ）から使用姿勢（ｂ）になる。この状態を「ノズルユニットＰ１の第１ノズル使用姿勢（Ｂ）」とする。なお、図４では、第１気体導入孔Ｐ５８及び第２気体導入孔Ｐ５９における制御用気体の気流の流れを矢印で示している。

【0037】

一方、ノズルユニットＰ１が全体待機姿勢（Ａ）にある状態で、第２気体導入孔Ｐ５９を通じて第２動作調整空間Ｐ５７に制御用気体を導入しながら第１気体導入孔Ｐ５８を通じて第１動作調整空間Ｐ５６の気体を排出すると、図５に示すように、第２ノズルＰ４のみが上昇して待機姿勢（ｃ）から使用姿勢（ｄ）になる。この状態を「ノズルユニットＰ１の第２ノズル使用姿勢（Ｃ）」とする。なお、互いに摺動し合う部材同士の間には、適宜のシーリング等を設けることにより摺動時における気密状態を維持し、部材間からの気体の流出入が生じないようにしている。図４と同様に図５には、第１気体導入孔Ｐ５８及び第２気体導入孔Ｐ５９における制御用気体の気流の流れを矢印で示している。

【0038】

ノズルユニットＰ１が第１ノズル使用姿勢（Ｂ）にある状態で、第１気体導入孔Ｐ５８を通じて第１動作調整空間Ｐ５６の気体を排出すると、第１ノズルＰ３が下降して使用姿勢（ｂ）から待機姿勢（ａ）になり、ノズルユニットＰ１は全体待機姿勢（Ａ）になる。同様に、ノズルユニットＰ１が第２ノズル使用姿勢（Ｃ）にある状態で、第２気体導入孔Ｐ５９を通じて第２動作調整空間Ｐ５７の気体を排出すると、第２ノズルＰ４が下降して使用姿勢（ｄ）から待機姿勢（ｃ）になり、ノズルユニットＰ１は全体待機姿勢（Ａ）になる。

【0039】

なお、各ノズルユニットＰ１は、ノズルホルダＰ５に連結されたブラケット（図示省略）等を介して載置テーブル５の所定位置に取り付けることで、載置テーブル５の上面に形成された開口から少なくとも第１ノズルＰ３の上端部（第１当接部Ｐ３１）及び第２ノズルＰ４の上端部（第２当接部Ｐ４１）が上方に露出する形態で載置テーブル５に搭載することができる。したがって、ノズルユニットＰ１は、上述の牽引機構７により、載置テーブル５と一体的に前後方向Ｄに移動可能である。ノズルユニットＰ１が、供給用ポートに接続される注入ノズルユニットである場合には、ガス流通路Ｐ２の下端部に、パージ用気体である不活性ガスの供給源（不図示）からの配管が接続される。不活性ガスとしては、窒素、ヘリウム、アルゴン等が用いられる。一方、ノズルユニットＰ１が排気用ポートに接続される排出ノズルユニットである場合には、ガス流通路Ｐ２の下端部に、ガスを吸引する真空ポンプ等の吸引機（不図示）からの配管が接続される。

【0040】

本実施形態では、第１動作調整空間Ｐ５６へ制御用気体を導入することで第１ノズルＰ３を上昇させることができ、第２動作調整空間Ｐ５７へ制御用気体を導入することで第２ノズルＰ４を上昇させることができる。本実施形態に係るパージ装置Ｐは、高さ方向Ｈにおいて隔離した２つの動作調整空間Ｐ５６，Ｐ５７を有する２段エアシリンダの構成を備えていることによって、コンパクト化を図りつつ、第１動作調整空間Ｐ５６及び第２動作調整空間Ｐ５７を拡大させたり、縮小させることで第１ノズルＰ３及び第２ノズルＰ４の昇降動作をスムーズ且つ的確に行うことができる。

【0041】

本実施形態では、ノズルユニットＰ１が全体待機姿勢（Ａ）にある状態で、第１ノズルＰ３及びノズルホルダＰ５の各上端面が同一または略同一の高さ位置にあり、第２ノズルＰ４の上端面（第２当接部Ｐ４１）のみが所定の厚み寸法分だけ第１ノズルＰ３及びノズルホルダＰ５よりも上方に突出した位置に位置付けられる。

【0042】

そして、本実施形態に係るパージ装置Ｐは、ノズルユニットＰ１を全体待機姿勢（Ａ）から第２ノズル使用姿勢（Ｃ）に変更すると、図７に示すように、第２ノズルＰ４の上端部であるゴム製の第２当接部Ｐ４１がポート３６の周囲に設けた被当接部３７に密着する。第２ノズル使用姿勢（Ｃ）において、第１ノズルＰ３のガス流通路Ｐ２に連通する第２ノズル本体Ｐ４０の内部空間Ｐ４Ｓ及び第２当接部Ｐ４１の内部空間は、第１ノズルＰ３のガス流通路Ｐ２と同様にガス（パージ用気体）が流通する空間になる。

【0043】

このようなパージ装置Ｐを備えたロードポート１の載置テーブル５に搬送容器であるＦＯＵＰ３が載置された時点以降、所定のタイミングでノズルユニットＰ１を全体待機姿勢（Ａ）から第１ノズル使用姿勢（Ｂ）または第２ノズル使用姿勢（Ｃ）に切り替えることで、ＦＯＵＰ３の底面に設けたポート３６を通じたパージ処理を実施することができる。本実施形態のロードポート１は、パージ装置Ｐの動作を制御する制御部１Ｃを備え、制御部１Ｃが、ポート３６の周囲に設けられている被当接部３７の種類（グロメット（Ｇ）またはリップ部（Ｌ））を含むＦＯＵＰ３の種類を判別し、判別結果（本発明における「載置テーブルに載置された搬送容器に関する判別情報」に相当）に基づいてノズルユニットＰ１を全体待機姿勢（Ａ）から第１ノズル使用姿勢（Ｂ）または第２ノズル使用姿勢（Ｃ）に切替・変更する処理を実施する。

【0044】

ＦＯＵＰ３の種類を判別する具体的な手段としては、ＦＯＵＰ３の適宜の箇所に搬送容器識別用ＩＤであるＦＯＵＰ識別用ＩＤを取り付け、識別用ＩＤを、ロードポート１に設けたＦＯＵＰ識別用ＩＤ読取部で読み取り、その読取情報に基づいて制御部１ＣがＦＯＵＰ３の種類を判別する態様を挙げることができる。ＦＯＵＰ識別用ＩＤの一例としてＲＦＩＤ（Radio Frequency Identifier）を挙げることができるが、これに限定されず適宜のＩＤを用いることができる。ＦＯＵＰ識別用ＩＤは、パッシブタグ（受動タグ）、アクティブタグ（能動タグ）、双方を組み合わせたセミアクティブタグ（起動型能動タグ）の何れであってもよく、通信方式も特に限定されるものではない。さらに、ＦＯＵＰ識別用ＩＤとして、１次元バーコードやＱＲコード（登録商標）のような２次元コード等を用いることもできる。また、ＦＯＵＰ３は、ＯＨＴ等の容器搬送装置によって工場内を輸送されるものであることから、搬送容器３の所定位置にＦＯＵＰ識別用ＩＤ読取部を設け、容器搬送装置による輸送中にＦＯＵＰ識別用ＩＤをＦＯＵＰ識別用ＩＤ読取部で読み取り、その読取情報に基づいて制御部１ＣがＦＯＵＰ３の種類を判別する態様を採用することもできる。また、ＦＯＵＰ識別用ＩＤを利用したＦＯＵＰの種類判別処理に代えて、適宜の箇所に設けたセンサを利用して、当該センサによるセンシング情報（本発明における「載置テーブルに載置された搬送容器に関する判別情報」に相当）に基づいてＦＯＵＰの種類判別処理を実施する態様を採用することも可能である。この場合、センサによるセンシング情報に基づいてＦＯＵＰの種類を判別する主体は制御部１Ｃであってもよいし、制御部１Ｃ以外の適宜の判別部であってもよい。なお、容器搬送装置が、ＯＨＴではなく、ＯＨＳ（Over Head Shuttle：天井走行式シャトル）、ＲＧＶ（Rail Guided Vehicle：有軌道式無人搬送車）、ＡＧＶ（Automated Guided Vehicle：無人搬送車）等であってもよい。

【0045】

制御部１Ｃは、載置テーブル５に載置されたＦＯＵＰ３に関する判別情報に基づいて第１ノズルＰ３又は第２ノズルＰ４を上昇させる制御を実行する。本実施形態に係るパージ装置Ｐによれば、ＦＯＵＰ識別用ＩＤ読取部による読取情報に基づき、図６に示すように、ポート３６にグロメット（Ｇ）が装着されたＦＯＵＰ３であると制御部１Ｃが判別した場合には、当該判別情報に基づいて制御部１Ｃが第１ノズルＰ３を上昇させる制御を実行する。その結果、各ノズルユニットＰ１が全体待機姿勢（Ａ）から第１ノズル使用姿勢（Ｂ）に切り替わる。すると、第１ノズルＰ３の第１当接部Ｐ３１が被当接部３７であるグロメット（Ｇ）に当接する位置まで上昇し、ゴム製のグロメット（Ｇ）に対して金属製の第１当接部Ｐ３１を密着させることができる。ここで、図６に示すＦＯＵＰ３は、いわゆる「グロメットタイプ」であり、その底面に形成されたポート３６に、円環形状を有するゴム製のグロメット（Ｇ）が取り付けられている。そして、第１ノズルＰ３の第１当接部Ｐ３１がグロメット（Ｇ）に当接することで、グロメット（Ｇ）の中央の開口部分ＧＳが、第１ノズルＰ３に形成されたガス流通路Ｐ２と気密状態で連通し、ＦＯＵＰ３にガスを注入または排出することが可能になる。このように、本実施形態では、駆動部Ｐ６（第１気体導出入部Ｐ６１）によって第１ノズルＰ３を昇降移動させることが可能であり、第１当接部Ｐ３１をグロメット（Ｇ）に当接する位置まで上昇させた使用姿勢（ｂ）にすることができる。

【0046】

また、図７に示すように、ポート３６の周囲に樹脂製のリップ部（Ｌ）を有するＦＯＵＰ３であると制御部１Ｃが判別した場合には、当該判別情報に基づいて制御部１Ｃが第２ノズルＰ４を上昇させる制御を実行する。その結果、各ノズルユニットＰ１が全体待機姿勢（Ａ）から第２ノズル使用姿勢（Ｃ）に変更する。すると、第２ノズルＰ４の第２当接部Ｐ４１が被当接部３７であるリップ部（Ｌ）に当接する位置まで上昇し、樹脂製のリップ部（Ｌ）に対してゴム製の第２当接部Ｐ４１を密着させることができる。ここで、図４に示すＦＯＵＰ３は、いわゆる「リップタイプ」であり、その底面に形成されたポート３６に、バルブＶが取り付けられている。バルブＶは、概ね円筒形状を有するプラスチック製であり、下方に突出するようにアール加工された円環形状のリップ部（Ｌ）を有する。そして、第２ノズルＰ４の上端部であるゴム製の第２当接部Ｐ４１がリップ部（Ｌ）に当接することで、バルブＶの中央の開口部分ＶＳが、第１ノズルＰ３に形成されたガス流通路Ｐ２と気密状態で連通し、ＦＯＵＰ３’にガスを注入または排出することが可能になる。このように、本実施形態では、駆動部Ｐ６（第２気体導出入部Ｐ６２）によって第２ノズルＰ４を昇降移動させることが可能であり、第２当接部Ｐ４１をリップ部（Ｌ）に当接する位置まで上昇させた使用姿勢（ｄ）にすることができる。また、本実施形態では、使用姿勢（ｄ）にある第２当接部Ｐ４１の高さ位置と、使用姿勢（ｂ）にある第１当接部Ｐ３１の高さ位置とを相互に異ならせている構成、すなわち、ノズルホルダＰ５の上向き面から第２当接部Ｐ４１の上向き面までの距離と、ノズルホルダＰ５の上向き面から第１当接部Ｐ３１の上向き面までの距離とを相互に異ならせている構成（本実施形態では、使用姿勢（ｂ）にある第１当接部Ｐ３１の高さ位置を使用姿勢（ｄ）にある第２当接部Ｐ４１の高さ位置よりも所定寸法分高くなる構成）を採用しているため、リップ部（Ｌ）と上述のグロメット（Ｇ）とで高さ位置が異なる場合であっても、リップ部（Ｌ）に第２当接部Ｐ４１を当接させたり、グロメット（Ｇ）に第１当接部Ｐ３１を当接させることができる。なお、使用姿勢（ｄ）にある第２当接部Ｐ４１の高さ位置や使用姿勢（ｂ）にある第１当接部Ｐ３１の高さ位置をそれぞれ適宜変更可能に設定することも可能である。例えば第１動作調整空間Ｐ５６や第２動作調整空間Ｐ５７の容積を拡縮したり、各ノズルＰ３，Ｐ４のサイズや形状を変更することで、使用姿勢（ｂ）にある第１当接部Ｐ３１の高さ位置や使用姿勢（ｄ）にある第２当接部Ｐ４１の高さ位置をそれぞれ適宜変更することができる。また、使用姿勢（ｂ）にある第１当接部Ｐ３１の高さ位置が使用姿勢（ｄ）にある第２当接部Ｐ４１の高さ位置よりも所定寸法分低くなる構成を採用することもできる。

【0047】

このように、本実施形態に係るパージ装置Ｐによれば、ガス流通路Ｐ２を軸中心として第１ノズルＰ３及び第２ノズルＰ４を二重（二段）に配置したノズルユニットＰ１を採用し、第１ノズルＰ３及び第２ノズルＰ４をそれぞれ相互に独立して昇降動作させるように構成しているため、第１ノズルＰ３及び第２ノズルＰ４を個別に昇降自在に移動させることができ、ＦＯＵＰ３のポート３６の周囲に設けた被当接部３７であるグロメット（Ｇ）やリップ部（Ｌ）の高さ寸法が不揃いの場合であっても、ノズルの先端部分を交換することなく、共通のノズルユニットＰ１で対応することができ、交換作業が不要であり、作業効率の向上に貢献する。

【0048】

特に、本実施形態に係るパージ装置Ｐによれば、グロメットタイプのＦＯＵＰ３を使用する場合には、第１ノズルＰ３の上端部（第１当接部Ｐ３１）がＦＯＵＰ３のグロメット（Ｇ）に当接することで両者を隙間のない良好な密着状態を維持させたまま密接させることができるとともに、リップタイプのＦＯＵＰ３を使用する場合には、ゴム製の当接部（第２当接部Ｐ４１）が樹脂製のリップ部（Ｌ）に当接することで両者を隙間のない良好な密着状態を維持させたまま密接させることができ、グロメットタイプのＦＯＵＰとリップタイプのＦＯＵＰの両方に対応することができる。

【0049】

また、本実施形態のパージ装置Ｐを備えるロードポート１によれば、ノズルごと又はノズルの先端部分を交換することなく、グロメットタイプのＦＯＵＰとリップタイプのＦＯＵＰの両方に対して、適切にパージ処理を行うことが可能となる。

【0050】

なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態では、第１当接部を金属製、第２当接部をゴム製としたが、各当接部の材料はこれに限定されない。つまり、第１当接部または第２当接部のうち一方の当接部が他方の当接部よりも柔らかいという関係が成立していれば、第１当接部及び第２当接部の材料は適宜変更が可能である。例えば、何れか一方の当接部がプラスチック製であってもよい。柔らかさの指標となる物性値としては、例えば弾性係数（ヤング率）、ビッカース硬さ、デュロメーター硬さ等の中から適当なものを採用することができる。また、本発明は、第１当接部及び第２当接部を同じ又は略同等の硬度を有する材料で構成した態様も包含する。

【0051】

また、上記実施形態では、第１当接部または第２当接部のうち相対的に硬い当接部を有するノズル（第１ノズル）を１つの部材で構成した態様を例示したが、分割可能な上側ノズルと下側ノズルとを相互に連結したノズルであってもよい。

【0052】

上述の実施形態では、第１ノズル及び第２ノズルのうち相対的に外側（外周側）に配置される第２ノズルの第２当接部を、相対的に内側（内周側）に配置される第１ノズルの第１当接部よりも柔らかい材料で構成する態様を例示したが、その逆の態様、つまり、相対的に内側（内周側）に配置される第１ノズルの第１当接部を、相対的に外側（外周側）に配置される第２ノズルの第２当接部よりも柔らかい材料で構成する態様も本発明に含まれる。第１ノズル及び第２ノズルの昇降移動幅（ストローク）も適宜変更・選択することができる。

【0053】

また、上記実施形態では、第１ノズルと第２ノズルをガス流通路回りに二重に配置したノズルユニットを例示したが、さらに第３ノズルを第１ノズル及び第２ノズルと同心円状に配置した３段エアシリンダのように３段以上のエアシリンダ構造を採用することもできる。この場合であっても、第１当接部または記第２当接部の何れか一方の当接部を他方の当接部よりも柔らかい材料で構成するという条件を満たせば、第３ノズル（第４ノズル・・・）の上端部に設定する第３当接部（第４当接部・・・）の硬度は適宜選択することができる。また、本発明は、第１当接部及び第２当接部（第３当接部、第４当接部・・・）を同じまたは略同等の硬度を有する材料で構成した態様も包含する。

【0054】

少なくとも第１ノズル及び第２ノズルを相互に独立して昇降動作させる駆動部として、上述の実施形態におけるエアシリンダを用いた機構に代えて、他の機構を採用することができる。

【0055】

また、上記実施形態では、パージ装置を備えたロードポートについて説明を行ったが、パージ装置の搭載先はロードポートに限定されない。例えば、パージ装置を、ＯＨＴ等の搬送機構によって搬送された搬送容器を仮置きするための仮置装置や、複数の搬送容器を格納しておくストッカー、パージ専用機等に搭載することも可能である。

【0056】

また、上記実施形態では、搬送容器としてＦＯＵＰを使用する場合について説明したが、その内部空間に対してパージ処理を行うものであれば、ＦＯＵＰ以外の搬送容器であってもよい。

【0057】

本発明に係るロードポートは、ＥＦＥＭの一部を構成するものとして使用可能であることは上述した通りであり、ＥＦＥＭ以外の搬送装置に適用することもできる。

【0058】

上述の実施形態では、搬送対象物としてウェーハを例示したが、搬送対象物が、レティクル、液晶搬送対象物、ガラス搬送対象物、カルチャープレート、培養容器、ディッシュ、或いはシャーレ等であってもよい。

【0059】

その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

【符号の説明】

【0060】

１…ロードポート
１Ｃ…制御部
３…搬送容器
３６…開口（ポート）
３７（Ｇ），（Ｌ）…被当接部（グロメット，リップ部）
５…載置テーブル
Ｐ…パージ装置
Ｐ１…ノズルユニット
Ｐ２…ガス流通路
Ｐ３…第１ノズル
Ｐ３１…第１当接部
Ｐ４…第２ノズル
Ｐ４１…第２当接部
Ｐ６（Ｐ６１，Ｐ６２）…駆動部（第１気体導出入部，第２気体導出入部）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】