特開 2022-170181 マッピング機構、ロードポート、マッピング処理方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022170181

(43)【公開日】2022-11-10

(54)【発明の名称】マッピング機構、ロードポート、マッピング処理方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20221102BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021076120

(22)【出願日】2021-04-28

(71)【出願人】

【識別番号】000002059

【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100130498

【弁理士】

【氏名又は名称】佐野 禎哉

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 淳志

(72)【発明者】

【氏名】深江 兼一

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131DA05

5F131GA14

5F131GA33

5F131GA52

5F131GA92

5F131JA12

5F131JA24

5F131JA33

5F131KA22

(57)【要約】

【課題】パージ用ポートを有しない搬送容器に対してもその内部空間の環境雰囲気（気体状況）を検出することが可能であり、パージ用ポートを有する搬送容器に対しても排出用ポートに搬送容器内の気体が流通することを必須の条件とすることなくその内部空間の環境雰囲気（気体状況）を検出することが可能なマッピング機構を提供する。
【解決手段】複数枚の搬送対象物Ｗを多段状に収容可能な搬送容器３の内部空間３Ｓにおける搬送対象物Ｗの載置状態に関する情報をマッピングするマッピング機構Ｍであって、当該マッピング機構Ｍのうち搬送容器３の内部空間３Ｓに進入可能な部位に、当該搬送容器内３Ｓの環境雰囲気に関する情報を検知可能なセンサＳを設けた構成にした。
【選択図】図８

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数枚の搬送対象物を多段状に収容可能な搬送容器の内部空間における前記搬送対象物の載置状態に関する情報をマッピングするマッピング機構であり、
当該マッピング機構のうち前記搬送容器の内部空間に進入可能な部位に、当該搬送容器内の環境雰囲気に関する情報を検知可能なセンサを設けていることを特徴とするマッピング機構。

【請求項2】

内部に搬送ロボットを備えた搬送室と共にＥＦＥＭを構成するロードポートであって、
起立姿勢で設けられ前記搬送室に併設され且つ搬送対象物が通過可能な開口部を有する平板状のフレームと、
複数枚の前記搬送対象物を多段状に収容可能な搬送容器を載置可能な載置テーブルと、
前記搬送容器が有するドアと係合可能であり且つ前記フレームの前記開口部を開閉可能なロードポートドアと、
前記ロードポートドアを前記搬送室側に後退したドア開放位置に移動させることにより前記フレームの前記開口部を開状態にするドア開閉機構と、
前記ドア開閉機構によって前記開口部を開状態にした状態において前記搬送対象物の載置状態に関する情報をマッピングするマッピング機構とを備え、
前記マッピング機構のうち前記搬送容器の内部空間に進入可能な部位に、当該搬送容器内の環境雰囲気に関する情報を検知可能なセンサを設けていることを特徴とするロードポート。

【請求項3】

前記載置テーブル上に載置された前記搬送容器内の気体雰囲気を環境ガスに置換可能なボトムパージ部と、
少なくとも前記ボトムパージ部によるボトムパージ処理を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記ドア開閉機構によって前記開口部を開状態にした時点又は前記開状態にした直後における前記センサによるセンシング情報に基づいて、前記ボトムパージ処理を実行する時間を決定するものである請求項２に記載のロードポート。

【請求項4】

複数枚の搬送対象物を多段状に収容可能な搬送容器の内部空間における前記搬送対象物の載置状態に関する情報をマッピングするマッピング機構を用いたマッピング処理方法であり、
前記マッピング機構は、先端部にマッピングセンサを有するマッパーと、前記マッパーを支持し且つ前記搬送容器に前記搬送対象物が収容されていることをマッピングセンサで検知可能なマッピング位置に前記マッパーを移動させるマッピング移動部とを備えたものであり、
前記マッパーを前記マッピング位置に位置付けた前記マッピング機構によるマッピング処理と、
前記マッピング機構のうち前記搬送容器の内部空間に進入可能な部位に設けられ且つ当該搬送容器内の環境雰囲気に関する情報を検知可能なセンサによるセンシング処理とを、同時にまたは時間差で実行することを特徴とするマッピング処理方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えば多段式スロットに複数枚のウェーハ等の搬送対象物を収納可能な搬送容器であるＦＯＵＰに対して、ＦＯＵＰの各スロットにおける搬送対象物の有無を含む状態に関する情報をマッピングするマッピング機構、及びマッピング機構を備えたロードポート、さらには、マッピング機構を用いたマッピング処理方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

半導体素子の材料となるウェーハを収容するＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）等の搬送容器に関して、その内部空間の環境雰囲気（温度、湿度（水分濃度）、各種含有ガス濃度等の気体状況）を把握することはウェーハの汚染防止や品質保持、タクトタイムの向上という観点において重要である。例えば、特許文献１には、ガス流通路が形成されたパージノズルを搬送容器の底面に当接させ、ガス流通路が搬送容器の底面に形成された開口（ポート）に連通した状態でパージ処理を実行するパージ装置において、搬送容器の内部状態を検出する構成として、パージノズルを通じてガスが搬送容器の内部に供給された際に搬送容器の排気用のポートから排気される排気ガスの組成に基づいて搬送容器の内部状態を検出する構成が開示されている。より具体的には、排気用ノズルとパージガスの排気経路（ガス排気）とを接続する配管にセンサを設け、このセンサによって排気ガスにおける水分または酸素の濃度を検出し、その検出結果に基づいて、搬送容器の内部状態を検出する構成が同特許文献に開示されている。このような構成であれば、検出した排気ガスにおける水分または酸素の濃度によって、搬送容器に供給すべきパージガスの量を判別することで、適切なパージ処理を行う上で無駄なパージガスを減らしてパージガスを節約しつつ適切なパージ処理を行うことが期待できる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第６５６２０７８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、上述の構成は、ＦＯＵＰ等の搬送容器の底面にパージ用のポートを有することが必須の条件であるため、パージ用ポートを有しない搬送容器に対してその内部状態を検出することは不可能である。また、パージ用ポートを有する搬送容器に対して上述の構成によって内部状態を検出する場合であっても、パージ処理を実施して排出用ポートに搬送容器内の気体が流通しない限り、その内部状態を検出することはできない。したがって、排気用ポートを通じて搬送容器内を負圧にすることが搬送容器内に悪影響を及ぼすことから自然排気を優先せざるを得ない状況化において、搬送容器内の気体が搬送容器の容器ドア付近から外部に流出され易い一方、排気用ポートから排気され難いことから、排出用ポートに関連付けて設けたセンサによって搬送容器の内部状態を適切に検出することできないという問題がある。

【0005】

本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、主たる目的は、パージ用ポートを有しない搬送容器に対してもその内部空間の環境雰囲気（気体状況）を検出することが可能であり、パージ用ポートを有する搬送容器に対しても排出用ポートに搬送容器内の気体が流通することを必須の条件とすることなくその内部空間の環境雰囲気（気体状況）を検出することが可能なマッピング機構、及びマッピング機構を備えたロードポート、またマッピング方法を提供することである。なお、本発明は、ＦＯＵＰ以外の搬送容器や、ロードポート以外の搬送容器載置装置、搬送容器に対する専用のストッカ装置等の搬送容器内の搬送対象物に対するマッピングを要する各種の装置であっても対応可能な技術である。

【課題を解決するための手段】

【0006】

すなわち、本発明に係るマッピング機構は、複数枚の搬送対象物を多段状に収容可能な搬送容器の内部空間における搬送対象物の載置状態に関する情報をマッピングするものであり、マッピング機構のうち搬送容器の内部空間に進入可能な部位に、当該搬送容器内の環境雰囲気に関する情報を検知可能なセンサを設けていることを特徴としている。

【0007】

ここで、本発明における「環境雰囲気に関する情報」としては、温度、湿度、酸素濃度、窒素濃度、その他特定の汚染物質の濃度、パーティクル等を挙げることができる。環境雰囲気に関する情報を検知可能なセンサの個数は特に限定されず、センサの種類（例えば、温度計、湿度計、酸素濃度計等）も１種類に限らず、複数種類であってもよい。

【0008】

このような本発明に係るマッピング機構であれば、マッピング機構のうち搬送容器内に進入可能な部位に設けたセンサによって搬送容器内の環境雰囲気に関する情報を検知することができ、底面にパージ用ポートを備えていない搬送容器に対してもその容器内の環境雰囲気に関する情報を検知することが可能になる。さらに、底面にパージ用ポートを備えた搬送容器に対しても、パージ処理の実施・不実施を問わず、搬送容器内の環境雰囲気に関する情報を検知することができ、例えばパージ処理を実施しなくても搬送容器内の環境雰囲気に関する情報を測定することで、タクトタイムの短縮化を図ることが可能である。パージ処理を実施する場合であっても本発明のマッピング機構であれば、排気効率が比較的低い排気用ポートを利用するよりも、環境雰囲気に関する情報を的確に測定することができる

【0009】

また、本発明に係るロードポートは、起立姿勢で設けられ且つ搬送対象物が通過可能な開口部を有する平板状のフレームと、複数枚の搬送対象物を多段状に収容可能な搬送容器を載置可能な載置テーブルと、搬送容器が有するドアと係合可能であり且つフレームの開口部を開閉可能なロードポートドアと、ロードポートドアをドア開放位置に移動させることによりフレームの開口部を開状態にするドア開閉機構と、ドア開閉機構によって開口部を開状態にした状態において搬送対象物の載置状態に関する情報をマッピングするマッピング機構とを備え、マッピング機構のうち搬送容器の内部空間に進入可能な部位に、当該搬送容器内の環境雰囲気に関する情報を検知可能なセンサを設けていることを特徴としている。

【0010】

このような本発明に係るロードポートであれば、マッピング機構のうち搬送容器内に進入可能な部位に設けたセンサによって搬送容器内の環境雰囲気に関する情報を検知することができ、底面にパージ用ポートを備えていない搬送容器に対してもその容器内の環境雰囲気に関する情報を検知することが可能になる。さらに、本発明に係るロードポートであれば、底面にパージ用ポートを備えた搬送容器に対してもパージ処理の実施・不実施を問わず、搬送容器内の環境雰囲気に関する情報を検知することができ、例えばパージ処理を実施しなくても搬送容器内の環境雰囲気に関する情報を測定することで、タクトタイムの短縮化を図ることが可能である。

【0011】

特に、本発明に係るロードポートは、載置テーブル上に載置された搬送容器内の気体雰囲気を環境ガスに置換可能なボトムパージ部と、少なくともボトムパージ部によるボトムパージ処理を制御する制御部とを備え、制御部が、ドア開閉機構によって搬送容器の開口部を開状態にした時点（搬送容器が有するドアを開放した時点）又は開状態にした直後（搬送容器が有するドアを開放した直後）におけるセンサ（搬送容器内の環境雰囲気に関する情報を検知可能なセンサ）によるセンシング情報に基づいて、ボトムパージ処理を実行する時間を決定するものである。このような構成であれば、搬送容器のドアを開放した時点またはドアを開放した直後のセンシング情報に基づいてボトムパージ処理実行時間を制御部が調整・変更することによって、搬送容器内の環境雰囲気の状況に応じた適切な時間分だけボトムパージ処理を実行することができ、例えばボトムパージ処理を過度に実行し続けることによる環境ガス（パージ用気体）の無駄使いを回避することができる。

【0012】

また、本発明に係るマッピング処理方法は、複数枚の搬送対象物を多段状に収容可能な搬送容器の内部空間における搬送対象物の載置状態に関する情報をマッピングするマッピング機構を用いたマッピング処理方法であり、マッピング機構が、先端部にマッピングセンサを有するマッパーと、マッパーを支持し且つ搬送容器に搬送対象物が収容されていることをマッピングセンサで検知可能なマッピング位置にマッパーを移動させるマッピング移動部とを備えたものであり、マッパーをマッピング位置に位置付けたマッピング機構によるマッピング処理と、マッピング機構のうちマッパーをマッピング位置に位置付けた状態において搬送容器の内部空間に進入可能な部位に設けられ且つ当該搬送容器内の環境雰囲気に関する情報を検知可能なセンサによるセンシング処理とを、同時にまたは時間差で実行することを特徴としている。

【0013】

このような本発明に係るマッピング処理方法であれば、マッパーをマッピング位置に位置付けた状態で行うマッピング処理と同時または時間差で搬送容器内の環境雰囲気に関する情報を検知するセンシング処理を実行することで、排気用ポートの有無に左右されることなく搬送容器内の環境雰囲気に関する情報を測定することができるとともに、タクトタイムの短縮化も実現することができる。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、マッピング機構のうち搬送容器内に進入可能な部位に設けたセンサによってパージ用ポートを有しない搬送容器に対してもその内部状態（搬送容器内の環境雰囲気に関する情報）を検出することが可能であり、パージ用ポートを有する搬送容器に対しても排出用ポートに搬送容器内の気体が流通することを必須の条件とすることなくその内部状態を検出することが可能なマッピング機構、及びマッピング機構を備えたロードポート、またマッピング方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の一実施形態に係るロードポートを備えたＥＦＥＭとその周辺装置の相対位置関係を示す模式的に示す側面図。

【図2】図１に示す相対位置関係を簡略化した平面図。

【図3】同実施形態に係るロードポートを一部省略して示す斜視図。

【図4】同実施形態に係るロードポートを一部省略して示す正面図。

【図5】本実施形態におけるロードポートの処理手順を模式的に示す図。

【図6】本実施形態におけるロードポートの処理手順を模式的に示す図。

【図7】本実施形態におけるロードポートの処理手順を模式的に示す図。

【図8】ＦＯＵＰ内のスロットに収容した搬送対象物に対するマッピング機構のマッピング処理動作及びセンサの取付位置を模式的に示す図。

【図9】本実施形態におけるロードポートの動作手順を示すフローチャート。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。

【0017】

本実施形態に係るマッピング機構Ｍは、図１に示すように、ロードポート１に適用可能なものである。ロードポート１は、例えば半導体の製造工程において用いられ、図１及び図２に示すように、クリーンルーム内において、搬送室２の壁面の一部を構成し、搬送室２とＦＯＵＰ等の搬送容器３との間でウェーハＷ等の搬送対象物の出し入れを行うためのものである。ロードポート１は、搬送室２と共にＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）の一部を構成し、搬送容器３と搬送室２のインターフェース部分として機能するものである。

【0018】

本実施形態におけるＦＯＵＰ３は、図１に模式的に示すように、搬出入口３１を通じて内部空間３Ｓを後方にのみ開放可能なＦＯＵＰ本体３２と、搬出入口３１を開閉可能なＦＯＵＰドア３３を備えている。ＦＯＵＰ３は、内部に多段式スロット３４を設け、各スロット３４に搬送対象物であるウェーハＷを収容可能に構成され、搬出入口３１を介してこれらウェーハＷを出し入れ可能に構成された既知のものである。ＦＯＵＰ３内のスロット３４にウェーハＷを収容した状態を後出の図８に模式的に示す。ＦＯＵＰ本体３２の上向面には、搬送容器３を自動で搬送する装置（例えばＯＨＴ：Over Head Transport）等に把持されるフランジ部３５を設けている。

【0019】

ロードポート１は、図１乃至図５等に示すように、搬送室２の壁面の一部を構成し、且つ搬送室２の内部空間２Ｓを開放するための開口部４１が形成された板状をなすフレーム４と、フレーム４に対して前方に突出させた略水平姿勢で設けた載置テーブル５と、外部から搬送されてきたＦＯＵＰ３を載置テーブル５上に保持する着座保持機構６と、載置テーブル５上でＦＯＵＰ３を着座位置と搬送対象物受渡位置との間で前後方向Ｄに移動させる牽引機構７と、フレーム４の開口部４１を開閉するロードポートドア８と、ロードポートドア８を搬送室２側に後退したドア開放位置に移動させることによりフレーム４の開口部４１を開状態にするドア開閉機構９と、ドア開閉機構９によってフレーム４の開口部４１を開状態にした状態において、搬送対象物受渡位置にあるＦＯＵＰ３内の各スロット３４におけるウェーハＷの有無を含むウェーハＷの載置状態に関する情報をマッピングするマッピング機構Ｍとを備えている。

【0020】

フレーム４は、起立姿勢で配置され、載置テーブル５上に載置したＦＯＵＰ３の搬出入口と連通し得る大きさの開口部４１を有する略矩形板状のものである。図１にフレーム４の開口部４１を模式的に示している。本実施形態のロードポート１は、フレーム４によって搬送室２の壁面の一部を構成している。フレーム４の下端には、キャスタ及び設置脚を有する脚部４２を設けている。

【0021】

載置テーブル５は、フレーム４のうち高さ方向中央よりもやや上方寄りの位置に略水平姿勢で配置される水平基台５０（支持台）の上部に設けられ、ＦＯＵＰ本体３２がフレーム４に対向する向きでＦＯＵＰ３を載置可能なものである。図４に示すように、載置テーブル５には、上向きに突出させた複数の突起５１を設け、これらの突起５１をＦＯＵＰ３の底面に形成された穴（図示省略）に係合させることで、載置テーブル５上におけるＦＯＵＰ３の位置決めを図っている。

【0022】

着座保持機構６は、載置テーブル５に設けたロック爪６１（図６（ｂ）参照）を、ＦＯＵＰ３の底面に設けた被ロック部（図示省略）に引っ掛けて固定したロック状態にすることで、ＦＯＵＰ３を載置テーブル５上に保持するものである。また、本実施形態のロードポート１では、被ロック部に対するロック爪６１のロック状態を解除することで、ＦＯＵＰ３を載置テーブル５から離間可能な状態にすることができる。

【0023】

牽引機構７は、載置テーブル５上でＦＯＵＰ３を、ＦＯＵＰ本体３２がロードポートドア８から所定距離離間した位置である着座位置と、ＦＯＵＰ本体３２をロードポートドア８に密着させる位置である搬送対象物受渡位置との間で前後方向Ｄに移動させるものである。牽引機構７は、載置テーブル５を前後移動させる図示しないスライドレール等を用いて構成されている。着座保持機構６及び牽引機構７は、載置テーブル５が備える機構として捉えることもできる。

【0024】

なお、図１では、載置テーブル５上におけるＦＯＵＰ３の載置状態として、載置テーブル５の上面にＦＯＵＰ３の底面が接触している状態として簡略化して示している。しかしながら、実際には、載置テーブル５の上面よりも上方に突出している複数の突起５１が、ＦＯＵＰ３の底面に形成された有底の穴に係合することでＦＯＵＰ３を支持しており、載置テーブル５の上面とＦＯＵＰ３の底面は相互に接触せず、載置テーブル５の上面とＦＯＵＰ３の底面の間に所定の隙間が形成されるように規定されている。

【0025】

本実施形態では、載置テーブル５に載置したＦＯＵＰ３とフレーム４が並ぶ前後方向Ｄ（図１等参照）において、ＦＯＵＰ３側を前方と定義し、フレーム４側を後方と定義する。

【0026】

ロードポートドア８は、フレーム４の開口部４１を密閉する全閉位置（図１参照）と、全閉位置よりも搬送室２側に後退したドア開放位置（図６参照）と、開口部４１の開口スペースを後方に全開放させる全開位置（図７（ｉ）参照）との間で移動可能なものである。ロードポートドア８は、ＦＯＵＰドア３３を吸着して保持可能な係合部８１を備え（図４参照）、ＦＯＵＰドア３３との係合状態を維持したままＦＯＵＰドア３３と一体的に全閉位置、ドア開放位置及び全開位置の間で移動可能に構成されている。本実施形態では、全閉位置及びドア開放位置位置付けたロードポートドア８の姿勢を同じ姿勢に設定している。そして、全開位置と全閉位置との間におけるロードポートドア８の移動経路は、全閉位置にあるロードポートドア８をその高さ位置を維持したままドア開放位置まで搬送室２側へ移動させた経路（水平経路）と、ドア開放位置にあるロードポートドア８をその前後位置を維持したまま全開位置まで下方へ移動させた経路（鉛直経路）とからなる。ドア開放位置に位置付けたロードポートドア８が鉛直方向及び水平方向の何れにも移動できるように、ドア開放位置に位置付けたロードポートドア８に保持されるＦＯＵＰドア３３は、ロードポートドア８と共にフレーム４よりも後方の位置（ＦＯＵＰ本体３２から完全に離間し、搬送室２の内部空間２Ｓに配置される位置）に位置付けられる。

【0027】

このようなロードポートドア８の移動は、ロードポート１に設けたドア開閉機構９によって実現している。ドア開閉機構９は、ロードポートドア８をドア開放位置や全開位置に移動させることによって、開状態にしたフレーム４の開口部４１を介してＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓを搬送室２に連通させるものである。ドア開閉機構９は、例えばロードポートドア８を支持する支持フレーム８０を前後方向Ｄに移動可能に支持する可動ブロック（図示省略）や、可動ブロックを上下方向Ｈに移動可能に支持するスライドレール（図示省略）を用いて構成され、アクチュエータ等の駆動源（図示省略）を作動させて、ロードポートドア８を前後方向Ｄ及び上下方向Ｈに移動させるものである。なお、前後移動用のアクチュエータと、上下移動用のアクチュエータとを別々に備えた態様であってもよいが、部品点数の削減という点では、共通のアクチュエータを駆動源としてロードポートドア８の前後移動及び上下移動を行う態様が優れている。

【0028】

本実施形態のロードポートドア８は、ＦＯＵＰドア３３とＦＯＵＰ本体３２との係合状態（ラッチ状態）を解除してＦＯＵＰドア３３をＦＯＵＰ本体３２から取り外し可能な状態（アンラッチ状態）にする連結切替機構８２を備えている（図４参照）。

【0029】

マッピング機構Ｍは、図１、図３及び図８等に示すように、ＦＯＵＰ３内に設けた多段式スロット３４により高さ方向Ｈに多段状に収納された搬送対象物Ｗの有無を検出可能なマッピングセンサＭ１（送信器Ｍ１１、受信器Ｍ１２）を先端部に有するマッパーＭ２と、マッパーＭ２を支持するマッピングアームＭ３（マッピング移動部）とを備え、ＦＯＵＰ３内における搬送対象物Ｗの有無や収納姿勢を検出可能なものである。図８に、ＦＯＵＰ３内においてスロット３４に載置されているウェーハＷの収容状態を模式的に示す。

【0030】

マッパーＭ２は、図８に示すように、マッピングアームＭ３の所定箇所から前方に突出する形態で幅方向に所定距離隔てて左右一対に並設され、先端部にマッピングセンサＭ１を取り付けたものである。マッピングセンサＭ１は、信号であるビーム（線光）を発する送信器Ｍ１１（発光センサ）と、送信器Ｍ１１から発せられた信号を受信する受信器Ｍ１２（受光センサ）とから構成される。なお、マッピングセンサＭ１を送信器と、送信器から発せられた線光を送信器に向かって反射する反射部とによって構成することも可能である。この場合、送信機は、受信器としての機能も有する。図８に示すように、光軸ＭＬを左右の水平方向へ向けたマッピングセンサＭ１（Ｍ１１、Ｍ１２）がマッピング処理時に検知対象である搬送対象物Ｗに干渉しないように、マッピングセンサＭ１（Ｍ１１、Ｍ１２）同士の左右のスパンを搬送対象物Ｗの平面寸法に応じて適宜の値に設定している。

【0031】

マッピングアームＭ３は、前後方向ＤにおけるマッパーＭ２の位置を、図６（ｆ）及び図７（ｇ）に示す位置、すなわち、開状態にある開口部４１を通じてＦＯＵＰ３にウェーハＷが収容されていることをマッピングセンサＭ１で検知可能なマッピング位置（Ｐ１）と、図３及び図５に示す位置、すなわち、ＦＯＵＰ３にウェーハＷが収容されていることをマッピングセンサＭ１で検知不能なウェーハマッピング不能位置（Ｐ２）との間で移動させるものである。本実施形態のマッピングアームＭ３は、図３に示すように、上枠部Ｍ３１と、上枠部Ｍ３１の両端からそれぞれ下方に延在する左右一対の側枠部Ｍ３２と、両側枠部Ｍ３２の下端部間に設けた下枠部Ｍ３３とを一体又は一体的に有する枠状をなし、これら上枠部Ｍ３１、両側枠部Ｍ３２及び下枠部Ｍ３３によって囲まれた前後方向Ｄに開口するマッピングアームＭ３の内部空間ＭＳに、ロードポートドア８自体、さらにはロードポートドア８の周辺パーツを搬送室２側から被覆するドアカバー８３を収容できるように構成している。

【0032】

本実施形態では、図３に示すように、マッピングアームＭ３の上枠部Ｍ３１にマッパーＭ２を前方に突出させた姿勢で支持している。したがって、マッパーＭ２の先端部に設けたマッピングセンサＭ１は、マッピングアームＭ３よりも前方に突出した位置に配置される。本実施形態のロードポート１は、ドア開閉機構９を構成するパーツにマッピングアームＭ３の下枠部Ｍ３３を取り付けている。具体的には、ロードポートドア８を支持する支持フレーム８０に下枠部Ｍ３３を取り付けている。したがって、ドア開閉機構９によるロードポートドア８の昇降作動に伴ってマッピングアームＭ３も一体に作動する。その結果、マッピング機構Ｍ全体がロードポートドア８と同じ方向に昇降移動する。なお、本実施形態では、マッピング機構Ｍとドア８とが一体に作動する構成を採用したが、マッピング機構Ｍに専用の昇降機構（マッピング機構Ｍのみを単独で昇降させる機構）を設けることで、ドア８に対してマッピング機構Ｍが独立して昇降する構成としても良い。

【0033】

本実施形態のマッピング機構Ｍは、マッピングアームＭ３とドア開閉機構９との取付部における枢支点を中心にマッピングアームＭ３全体を傾動させる傾動機構Ｍ４を備えている。傾動機構Ｍ４は、図３に示すように、下枠部Ｍ３３に連結した傾動クランクＭ４１と、長手方向と一致する軸方向をロードポート１の幅方向に一致させた姿勢で配置され、且つ傾動クランクＭ４１及びドア支持フレーム８０を相互に連結する連結軸Ｍ４２（枢支点に相当）と、フレーム４に形成したスリット状の挿通孔を前後方向Ｄに貫通する姿勢で配置されて前後方向Ｄに進退動作可能な進退可動部Ｍ４３と、傾動クランクＭ４１の下端部を進退可動部Ｍ４３の後端部に枢着する枢支軸Ｍ４４とを備えている。

【0034】

このような傾動機構Ｍ４は、図３に示すマッパーＭ２をウェーハマッピング不能位置（Ｐ２）に位置付けた状態において、図示しない駆動源により進退可動部Ｍ４３を後方（搬送室２側）へ移動させることで、傾動クランクＭ４１の下端部を後方へ押して傾動クランクＭ４１全体を枢支軸Ｍ４４回りに回転（傾動）させる。これにより、傾動クランクＭ４１は、上端部を前方（ＦＯＵＰ３側）に移動させる方向に回動し、傾動クランクＭ４１に連結しているマッピングアームＭ３が、傾動クランクＭ４１と同一方向へ傾動する。その結果、マッピングアームＭ３のうち両側枠部Ｍ３２の上端部側領域及び上枠部Ｍ３１全体が、開口部４１を通じてフレーム４の最後面４Ｂよりも前方の空間（ＦＯＵＰ３側の空間）に突出する。以上により、マッパーＭ２は、図６（ｆ）に示すように、開口部４１を通じてフレーム４の最後面４Ｂよりも前方の空間にマッピングセンサＭ１を突出させたマッピング位置（Ｐ１）に位置付けられる。

【0035】

マッピング機構Ｍは、マッパーＭ２の前後方向における位置をマッピング位置（Ｐ１）やウェーハマッピング不能位置（Ｐ２）に維持したまま上述のドア開閉機構９の昇降移動と一体に昇降可能に構成されている。このように、本実施形態におけるマッピングアームＭ３は、ドア開閉機構９によりロードポートドア８と共に前後方向及び上下方向に動作するものであり、且つドア開閉機構９とは独立に傾動機構Ｍ４によって動作するものである。

【0036】

そして、本実施形態に係るマッピング機構Ｍは、図３及び図８に示すように、当該マッピング機構Ｍのうち搬送容器であるＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓに進入可能な部位、換言すれば、フレーム４の開口部４１を通じてフレーム４の最後面４Ｂよりも前方の空間（ＦＯＵＰ３側の空間）に突出可能な部位に、ＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓの環境雰囲気に関する情報を検知可能なセンサＳを設けている。なお、図５乃至図７ではセンサＳを省略している。

【0037】

本実施形態では、マッピング機構ＭのうちマッピングアームＭ３の上枠部Ｍ３１にセンサＳを設けている。上述のように、マッパーＭ２をマッピング位置（Ｐ１）に位置付けた状態では、マッピングアームＭ３の上枠部Ｍ３１全体が開口部４１を通じてフレーム４の最後面４Ｂよりも前方の空間（ＦＯＵＰ３側の空間）に進入することになり、センサＳもＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓに進入することになる。センサを上枠部Ｍ３１に取り付けて固定する手段は、ネジ止めであってもよいし、専用のセンサホルダを用いる等、適宜の手段を選択することができる。本実施形態では、上枠部Ｍ３１のうち幅方向に離間した所定の２箇所にそれぞれセンサＳを設けている。２つのセンサは、同じ種類のセンサであってもよいし、異なる種類のセンサであってもよい。本実施形態では、一方のセンサＳとして酸素濃度計を適用し、他方のセンサＳとして温度計を適用している。したがって、マッパーＭ２をマッピング位置（Ｐ１）に位置付けることで、これら２つのセンサＳによってＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓの酸素濃度と温度を同時に計測することが可能である。なお、１つのセンサＳに複数種類の計測ができる機能があるものを採用してもよい。

【0038】

本実施形態のロードポート１は、載置テーブル５に設けられＦＯＵＰ３の底面側から当該ＦＯＵＰ３内に窒素ガスや不活性ガス又はドライエア等の適宜選択された気体である環境ガス（パージガスとも称され、本実施形態では主に窒素ガスやドライエアを用いている）を注入し、ＦＯＵＰ３内の気体雰囲気を環境ガスに置換可能なボトムパージ部を備えることができる。ボトムパージ部は、載置テーブル５上の所定箇所に複数設けた図示しないノズルを主体としてなり、複数のノズルを、所定の環境ガスを注入するボトムパージ注入用ノズルや、ＦＯＵＰ３内の気体雰囲気を排出するボトムパージ排出用ノズルとして機能させている。これら複数のノズルは、ＦＯＵＰ３の底部に設けた図示しない注入口（注入用ポート）及び排出口（排気用ポート）に嵌合した状態で連結可能なものである。注入口を介してボトムパージ注入用ノズルからＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓに環境ガスを供給し、排出口を介してボトムパージ排出用ノズルからＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓの気体雰囲気（この気体雰囲気は、パージ処理実行開始から所定時間までは空気や空気以外の清浄度が低い環境ガスであり、当該所定時間経過後はＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓに充填された清浄度の高い環境ガスである）を排出することで、パージ処理を行うことが可能である。

【0039】

このようなロードポート１は、内部に搬送ロボット２１を備えた搬送室２と共にＥＦＥＭを構成する。本実施形態では、図２に示すように、搬送室２の前面（前壁面）２Ｆにロードポート１を複数（例えば３台）並べて配置している。ＥＦＥＭの作動は、ロードポート１のコントローラ（図２に示す制御部１Ｃ）や、ＥＦＥＭ全体のコントローラ（図１に示す制御部Ｃ）によって制御される。

【0040】

搬送室２の内部空間２Ｓには、ウェーハＷ等の搬送対象物をロードポート１上のＦＯＵＰ３と処理室Ｒとの間で搬送可能な搬送ロボット２１が設けられている。搬送ロボット２１は、図１及び図２に示すように、例えば複数のリンク要素を相互に水平旋回可能に連結し、先端部に搬送対象物把持部２１１（ハンド）を設けたアーム２１２と、アーム２１２の基端部を構成するアームベースを旋回可能に支持し且つ搬送室２の幅方向（ロードポート１の並列方向）に走行する走行部とを備えたものである。搬送ロボット２１は、アーム長が最小になる折畳状態と、アーム長が折畳状態時よりも長くなる伸長状態との間で形状が変わるリンク構造（多関節構造）を有する。アーム２１２の先端に、個別に制御可能な複数のハンド２１１を高さ方向に多段状に設けた搬送ロボット２１を適用することができる。

【0041】

搬送室２は、ロードポート１及び処理室Ｒが接続されることによって、内部空間２Ｓが略密閉された状態となるように構成している。搬送室２の内部空間２Ｓには、図１に示すように、上方から下方に向かう気流であるダウンフローを形成している。したがって、搬送室２の内部空間２ＳにウェーハＷの表面を汚染するパーティクルが存在した場合であっても、ダウンフローによってパーティクルを下方に押し下げ、搬送中のウェーハＷの表面へのパーティクルの付着を抑制することが可能となる。図１には、ダウンフローを形成している搬送室２内の気体の流れを矢印で模式的に示している。搬送室２の側面や搬送室２の内部空間２Ｓにバッファステーション、アライナ等の適宜のステーションを配置したＥＦＥＭを構成することも可能である。

【0042】

本実施形態では、搬送室２のうちロードポート１を配置した壁面２Ｆ（前壁面）に対向する壁面２Ｂ（後壁面）に、処理室Ｒ（半導体処理装置）を幅方向に複数（図示例では３室）並べて配置し、各処理室Ｒ内でそれぞれ異なる適宜の処理が施されるように構成している。半導体製造工程の中間工程や後工程で行う処理例として、バックラップ処理工程、ウェーハ積層処理工程、ダイシング処理工程等を挙げることができる。なお、処理室Ｒの作動は、処理室Ｒのコントローラ（図１に示す制御部ＲＣ）によって制御される。ここで、処理室Ｒ全体のコントローラ（制御部ＲＣ）や、ＥＦＥＭ全体のコントローラ（制御部Ｃ）は、ロードポート１の制御部１Ｃの上位コントローラである。

【0043】

各処理室Ｒの内部空間ＲＳ、搬送室２の内部空間２Ｓ及び各ロードポート１上に載置されるＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓは高清浄度に維持される。一方、ロードポート１を配置した空間、換言すれば処理室外、ＥＦＥＭ外は比較的低清浄度となる。なお、図１及び図２は、ロードポート１及び搬送室２の相対位置関係、及びこれらロードポート１及び搬送室２を備えたＥＦＥＭと、処理室Ｒとの相対位置関係を模式的に示した図である。

【0044】

そして、本実施形態に係るロードポート１は、制御部１Ｃが、開状態にある開口部４１を通じてマッパーＭ２をマッピング位置（Ｐ１）に位置付けた状態で行うマッピング機構Ｍによるマッピング処理と、マッピング機構Ｍに設けたセンサＳによるセンシング処理とを実行可能であり、マッピング処理及びセンシング処理を同時または時間差で実行することを特徴としている。本実施形態におけるマッピング処理は、マッパーＭ２をマッピング位置（Ｐ１）に位置付けた状態でマッピングアームＭ３を昇降動作させることにより、搬送容器内のスロット３４毎（ＦＯＵＰ内のスロット３４毎）に搬送対象物に関する情報を取得する処理である。

【0045】

ここで、マッピングセンサＭ１は、信号であるビーム（線光）を発して、その信号を受信するか否かで搬送対象物Ｗの有無を検知するものであり、ビームの軌跡（線光ライン）を検出ラインＭＬと捉えることができる。すなわち、マッパーＭ２を第１マッピング位置（Ｐ１）に位置付けた状態で行うマッピング処理時の検出ラインＭＬは、ＦＯＵＰ３に収容されているウェーハＷを横切るラインである（図８（ｉｉ）参照）。

【0046】

マッピング処理時において、送信器Ｍ１１から受信器Ｍ１２に向かって信号を発することで送信器Ｍ１１と受信器Ｍ１２との間に形成されている信号経路は、ウェーハＷの存在しているところでは遮られ、ウェーハＷの存在していないところでは遮られずに受信器Ｍ１２に達する。これにより、高さ方向Ｈに並んで収納されているウェーハＷの有無や収納姿勢（ウェーハＷが左右で異なる高さのスロット３４に保持されて傾いていないか否か）を順次検出することができる。こうして、ＦＯＵＰ３内の全てのスロット３４に関して、ウェーハＷの有無や収納姿勢に関する情報（搬送対象物検出情報）を得ることができる。

【0047】

また、本実施形態におけるセンシング処理は、マッパーＭ２をマッピング位置（Ｐ１）に位置付けた状態でセンサＳにより、ＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓの環境雰囲気に関する情報を検知（測定、取得）する処理である。

【0048】

本実施形態に係るロードポート１は、制御部１Ｃから各部、各機構に駆動指令を与えることで所定の動作を実行する。制御部１Ｃは、記憶部と、ＲＯＭと、ＲＡＭと、Ｉ／Ｏポートと、ＣＰＵと、外部の表示装置（不図示）等との間でのデータの入出力を行う入出力インタフェース（ＩＦ）と、これらを相互に接続して各部の間で情報を伝達するバスとを備えた構成を有する。

【0049】

記憶部には、このロードポート１で実行される処理の種類に応じて、制御手順（動作シーケンス）が記憶されている。つまり、この記憶部には、所定の動作プログラムが格納されている。本実施形態におけるプログラムは、非一時的なコンピュータ読取可能な記録媒体（ハードディスク等）に実行可能なプログラムとして格納されているものである。

【0050】

ＲＯＭは、ハードディスク、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュメモリなどから構成され、ＣＰＵの動作プログラムなどを記憶する記録媒体である。ＲＡＭは、ＣＰＵのワークエリアなどとして機能する。Ｉ／Ｏポートは、例えば、ＣＰＵが出力する制御信号を各部、各機構へ出力したり、センサからの情報をＣＰＵに供給する。

【0051】

ＣＰＵは、制御部１Ｃの中枢を構成し、ＲＯＭに記憶された動作プログラムを実行する。ＣＰＵは、記憶部に記憶されているプログラムに沿ってロードポート１の動作を制御する。

【0052】

次に、本実施形態に係るロードポート１の使用方法（特にマッピング処理方法）及び作用について、動作フローを示す図９等を参照しながら説明する。

【0053】

先ず、搬送室２のうちロードポート１を配置した共通の壁面３Ａに沿って延伸する直線上の搬送ライン（動線）で作動するＯＨＴ等の搬送容器自動搬送装置によりＦＯＵＰ３がロードポート１の上方まで搬送され、載置テーブル５上に載置されると、本実施形態に係るロードポート１では、制御部１Ｃが、着座保持機構６により載置テーブル５上に保持する着座保持処理Ｓｔ１を実行する（図９参照）。本実施形態における着座保持処理Ｓｔ１の具体的な処理は、載置テーブル５上のロック爪６１をＦＯＵＰ３の底面に設けた被ロック部（図示省略）に引っ掛けてロック状態にする処理である。これにより、ＦＯＵＰ３を載置テーブル５上の所定の着座位置に載置して固定することができる。ＦＯＵＰ３が載置テーブル５上に載置された場合、載置テーブル５に設けた位置決め用突起５１がＦＯＵＰ３の位置決め用凹部に嵌まる。載置テーブル５上にＦＯＵＰ３が載置された直後の状態を図５（ａ）に示し、着座保持処理Ｓｔ１実行直後の状態を同図（ｂ）に模式的に示す。なお、本実施形態では、搬送室２の幅方向に３台並べて配置したロードポート１の載置テーブル５にそれぞれＦＯＵＰ３を載置することが可能であり、載置テーブル５上の所定位置にＦＯＵＰ３が載置されているか否かを検出する着座センサ（図示省略）を設けることもできる。

【0054】

着座保持処理Ｓｔ１に続いて、本実施形態のロードポート１では、制御部１Ｃが、牽引機構７により載置テーブル５を着座位置から搬送対象物受渡位置までフレーム４に向かって後退させる（後方牽引処理Ｓｔ２）。この後方牽引処理Ｓｔ２により、予め全閉位置で待機させているロードポートドア８にＦＯＵＰドア３３を連結（ドッキング）して密着状態で保持することができる。本実施形態では、上述のロードポートドア８に設けた係合部８１を用いて当該ロードポートドア８にＦＯＵＰドア３３を連結（吸着）して密着状態で保持するように構成している。後方牽引処理Ｓｔ２実行直後の状態を図５（ｃ）に模式的に示す。なお、図５（ｂ），（ｃ）では、それぞれ図５（ａ），（ｂ）と比較して変化のあったパーツにのみ符号を付しており、その他のパーツには符号を付していない。しかしながら、図５（ｂ），（ｃ）において符号を付していないパーツであっても図５（ａ）に基づいて省略されている符号を容易に特定することができる。

【0055】

本実施形態のロードポート１では、載置テーブル５上の着座位置にＦＯＵＰ３が載置された時点で、制御部１Ｃが、載置テーブル５に設けた例えば加圧センサをＦＯＵＰ３の底面部が押圧したことを検出し、これをきっかけに、制御部１Ｃが、載置テーブル５に設けたボトムパージ注入用ノズル及びボトムパージ排出用ノズルを載置テーブル５の上面よりも上方へ進出させる駆動命令（信号）を与える。その結果、これら各ノズル（ボトムパージ注入用ノズル、ボトムパージ排出用ノズル）をＦＯＵＰ３の注入口（注入用ポート）と排出口（排気用ポート）にそれぞれ連結し、パージ処理を実行可能な状態になる。

【0056】

そして、本実施形態のロードポート１では、制御部１Ｃが駆動命令を発して、ＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓに対してパージ処理Ｓｔ３を実行する。このパージ処理Ｓｔ３は、注入口を介してボトムパージ注入用ノズルからＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓに所定の環境ガスを供給し、それまでＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓに滞留していた気体を、排出口を介してボトムパージ排出用ノズルから排出する処理である。このパージ処理Ｓｔ３によって、ＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓを環境ガスで満たして、ＦＯＵＰ３内の水分濃度及び酸素濃度をそれぞれ所定値以下にまで短時間で低下させてＦＯＵＰ３内における搬送対象物Ｗの周囲環境を低湿度環境及び低酸素環境にすることができる。

【0057】

なお、載置テーブル５上に載置されるよりも前の時点で予めパージ処理が施されているＦＯＵＰ３を適用することが可能であり、このようなＦＯＵＰ３に対してパージ処理Ｓｔ３を実行してもよいし、パージ処理Ｓｔ３を実行しないという選択も可能である。

【0058】

引き続いて、本実施形態のロードポート１では、制御部１Ｃが、連結切替機構８２により、ＦＯＵＰドア３３とＦＯＵＰ本体３２との係合状態を解除してＦＯＵＰドア３３をＦＯＵＰ本体３２から取り外し可能なアンラッチ状態にする処理（アンラッチ処理Ｓｔ４）を行う。

【0059】

アンラッチ処理Ｓｔ４に続いて、本実施形態のロードポート１では、制御部１Ｃが、ドア開閉機構９によりロードポートドア８を全閉位置からドア開放位置まで後方へ移動させて、フレーム４の開口部４１を開状態にする処理（ドア開放処理Ｓｔ５）を実行する。具体的には、制御部１Ｃが、ドア開閉機構９によりロードポートドア８を全閉位置からドア開放位置まで上述の水平経路に沿って所定距離移動させる。この際、ロードポートドア８は、係合部８１によってＦＯＵＰドア３３を一体的に保持したまま移動する。したがって、ドア開放処理Ｓｔ５により、ＦＯＵＰ３の搬出入口３１もフレーム４の開口部４１と同様に開状態になる。ドア開放処理Ｓｔ５実行直後の状態を図６（ｄ）に模式的に示す。

【0060】

次いで、本実施形態のロードポート１では、制御部１Ｃが、マッピング機構Ｍによりマッピング処理Ｓｔ６を行う。本実施形態におけるマッピング処理Ｓｔ６は、ドア開閉機構９によりロードポートドア８をドア開放位置から所定距離下方へ移動させて（図６（ｅ）参照）、引き続き、マッピング不能位置（Ｐ２）にあるマッパーＭ２を傾動機構Ｍ４によりマッピング位置（Ｐ１）に移動させて、マッピングセンサＭ１がＦＯＵＰ３内における最上段のスロット３４の少し上側に配置される高さ位置（マッピング開始高さ位置）にマッパーＭ２を位置付け（図６（ｆ）参照）、ドア開閉機構９によりロードポートドア８をドア開放位置から全開位置に向かって下方へ移動させると、マッピング機構Ｍ全体も下方へ移動する（図７（ｇ）参照）。これにより、マッパーＭ２は、前後位置をマッピング位置（Ｐ１）に維持したまま第１マッピング開始高さ位置から最下段のスロット３４よりも低い位置（マッピング終了高さ位置）まで移動する。制御部１Ｃは、以上の手順を経て、マッピングセンサＭ１同士の間に形成されている信号経路が遮られるか否かを検出し、スロット３４ごとにウェーハＷの有無や収納姿勢に関する情報（搬送対象物検出情報）を得るマッピング処理Ｓｔ６を実行する。マッピング処理Ｓｔ６によって得られる搬送対象物検出情報の結果によって、ＦＯＵＰ３内における搬送対象物であるウェーハ３の収容状況、具体的には、スロット３４にはウェーハＷが収容されているか否か、収容されているウェーハが正常姿勢であるか否かという状況を特定することができる。

【0061】

そして、本実施形態のロードポート１では、制御部１Ｃが、マッピング機構Ｍによるマッピング処理Ｓｔ６と同時にまたは時間差でセンサＳによるセンシング処理Ｓｔ７を行う。具体的には、マッパーＭ２をマッピング位置（Ｐ１）に移動させた時点以降、マッピングアームＭ３の上枠部Ｍ３１に設けたセンサＳは、ＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓに位置付けられ（図６（ｆ）参照）、このセンサ１によって、ＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓの環境雰囲気に関する情報を検出することができる。本実施形態では、センサＳとして、酸素濃度計と温度計を適用しているため、センシング処理Ｓｔ７によってＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓの酸素濃度と温度を測定することができる。

【0062】

本実施形態に係るロードポート１では、マッパーＭ２をマッピング終了高さ位置まで下降させた時点で、制御部１ＣがマッパーＭ２をマッピング位置（Ｐ１）からマッピング不能位置（Ｐ２）に移動させて（図７（ｈ）参照）、引き続き、ドア開閉機構９によりロードポートドア８を全開位置まで下降させる処理を実行する。これにより、マッピング機構Ｍは、全開位置へ移動するロードポートドア８と共に下方へ移動する（図７（ｉ）参照）。本実施形態に係るロードポート１では、制御部１Ｃが、マッピング処理の検知結果に基づいてウェーハＷが正常に収容されていることを特定した場合、載置テーブル５上のＦＯＵＰ３から搬送対象物（ウェーハＷ）を搬送ロボット２１によって順次所定の搬送先（処理室Ｒ（具体的にはロードロック室）、バッファステーション、アライナ等）へ搬送する処理を実行する。

【0063】

一方、マッピング処理Ｓｔ６の検知結果に基づいてウェーハＷが正常に収容されていないことを特定した場合、載置テーブル５上のＦＯＵＰ３は、搬送容器自動搬送装置によって載置テーブル５から他のスペースへ移載され、新たなＦＯＵＰ３が搬送容器自動搬送装置によって載置テーブル５上に載置され、上述の動作シーケンスを経る。

【0064】

以上に述べた本実施形態に係るロードポート１によれば、ＦＯＵＰ３内の各スロット３４における搬送対象物（ウェーハＷ）の有無を含む状態に関する情報をマッピングするマッピング機構Ｍを用いて、ＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓの環境雰囲気に関する情報を検知するセンシング処理Ｓｔ７を実行することが可能である。特に、本実施形態に係るロードポート１によれば、底部にパージ用ポート（注入用ポート、排気用ポート）を備えたＦＯＵＰ３に対してパージ処理の実施・不実施を問わず、ＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓの環境雰囲気に関する情報を測定することができ、パージ処理を実施しなくてもよいＦＯＵＰ３に対してもマッピング機構Ｍに設けたセンサＳによって内部空間３Ｓの環境雰囲気に関する情報を測定することで、タクトタイムの短縮化を図ることが可能である。

【0065】

さらに、本実施形態に係るロードポート１によれば、底部にパージ用ポートを備えていないＦＯＵＰ（図示省略）に対してもその内部空間の環境雰囲気に関する情報をマッピング機構Ｍに設けたセンサＳによって検知することが可能になる。

【0066】

加えて、本実施形態に係るマッピング処理方法であれば、マッパーＭ２をマッピング位置（Ｐ１）に位置付けた状態で行うマッピング処理Ｓｔ６と同時または時間差でＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓの環境雰囲気に関する情報を検知するセンシング処理Ｓｔ７を実行することで、パージ用ポート（注入用ポート、排気用ポート）の有無に左右されることなくＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓの環境雰囲気に関する情報を測定することができるとともに、マッピング処理Ｓｔ６と同時にセンシング処理Ｓｔ７を実行することで、パージ処理を実施しなくてもよいＦＯＵＰ３に関して、当該ＦＯＵＰ３の内部空間３Ｓの環境雰囲気に関する情報を測定するためにパージ処理を敢えて実施しなければならない態様と比較してタクトタイムの短縮化を実現することができ、半導体製造における稼働率向上を図ることができる。

【0067】

なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、センサとして、酸素濃度計、温度計を例示したが、湿度計を適用することもできる。また、センサの個数や種類は適宜選択・変更することができる。

【0068】

センサは、マッピングセンサのうち搬送容器の内部空間に進入可能な部位に設けられたものであればよく、マッピングアームの上枠部Ｍ３１とは異なる箇所、例えば上枠部Ｍ３１の両端からそれぞれ下方に延在する左右一対の側枠部Ｍ３２のうち上端部側の箇所や、マッパーに設けられたものであってもよい。

【0069】

また、センサによるセンシング処理を、搬送容器の開口部が開状態になった時点から搬送容器の開口部が閉状態になる時点までの間において、所定時間（例えば搬送容器の開口部を開状態にした直後から閉状態にする直前までの間）継続して実行したり、適宜のタイミングで断続的に実行することも可能である。

【0070】

センサが酸素濃度計である場合、パージ処理実行中に酸素濃度計による測定値が閾値以下になったことをきっかけにパージ処理を終了するように構成することも可能である。

【0071】

センサによって、ウェーハからのアウトガスを測定するように設定してもよい。あるいは、センサによって、アンモニア、シラン、臭素等を測定するように設定することもできる。

【0072】

マッパーをマッピング位置に位置付けて実行するマッピング処理と、センサによるセンシング処理の順番は適宜変更することができる。

【0073】

上述の実施形態では、マッピング機構のマッピング移動部（マッピングアーム）が、ドア開閉機構によりロードポートドアと共に前後方向及び上下方向に動作し、且つドア開閉機構とは独立に動作する条件を満たすものを例示したが、これら何れか一方の条件を満たすものであってもよい。例えば、マッピング移動部を前後方向へ水平移動させるスライド機構を備え、スライド機構によってマッパーをマッピング位置とマッピング不能位置の間で前後移動させるように構成したマッピング機構を適用したり、ドア開閉機構とは別の移動機構によってマッピング機構を高さ方向に移動させる構成を採用することすることができる。また、マッピング機構は、ドア開閉機構によってフレームの開口部を開状態にした状態においてマッピング処理を実施可能なものであればよく、本発明における「フレームの開口部を開状態にした状態」とは、上述の実施形態においてロードポートドアをドア開放位置に位置付けた状態と、全開位置に位置付けた状態の両方を包含する概念である。

【0074】

また、本発明では、マッピング機構として、先端部にマッピングセンサを有するマッパーと、マッパーの基端部または基端部近傍を水平または略水平に旋回可能に支持し且つ開状態にあるフレームの開口部を通じて搬送容器（ＦＯＵＰ）に搬送対象物が収容されていることをマッピングセンサで検知可能なマッピング位置にマッパーを移動させるマッピング移動部とを備えたものを適用することができる。この場合、例えばマッピング移動部は、マッピングセンサの旋回中心となる左右一対の旋回軸と、旋回軸を適宜正逆方向に同期回転させる駆動部と、旋回軸及び駆動部の少なくとも一部または全部を収容するハウジングとを備え、ハウジングをロードポートドアの適宜箇所に取り付けた構成にして、マッパーを、マッピング位置とマッピング不能位置の間で旋回軸周りに移動可能に設定することができる。このような構成であれば、上述の実施形態におけるマッピングアームや傾動機構が不要であり、センサをマッピング機構のうち搬送容器の内部空間に進入可能な適宜の位置に設けることで上述と同様の作用効果を得ることができる。

【0075】

また、ロードポートがマッピング機構を備えていない構成である場合、例えば搬送容器内にアクセス可能となるように搬送室に本発明に係るマッピング機構を設け、このマッピング機構のうち搬送容器の内部空間に進入可能な適宜の位置にセンサ（搬送容器内の環境雰囲気に関する情報を検知可能なセンサ）を設けたり、搬送室に設けられたロボットがマッピング機構を備えたものである場合に当該ロボットの適宜の位置にセンサ（搬送容器内の環境雰囲気に関する情報を検知可能なセンサ）を設けることもできる。

【0076】

本発明であれば、マッピング機構によるマッピング処理を実施しながら搬送容器内の環境雰囲気に関する情報をセンサで検知することで、搬送容器内における温度や酸素濃度の分布を調べる（把握、特定）ことも可能である。さらには、搬送容器の内部空間が開放された時点（搬送容器が有するドアを開放した時点）または搬送容器の内部空間が開放された直後（搬送容器が有するドアを開放した直後）におけるセンサ（搬送容器内の環境雰囲気に関する情報を検知可能なセンサ）によるセンシング情報に応じて、搬送容器の内部空間を開放した状態で行うボトムパージ処理時間を制御部が決定するように構成することもできる。このように、搬送容器が有するドアを開放した時点又は開放した直後の搬送用器内の環境雰囲気の状況に応じてボトムパージ処理時間を調整・変更することができ、ボトムパージ処理に要する環境ガス（パージ用気体）を効率良く使用して、例えば搬送容器内の環境雰囲気の状態に悪影響を与えない範囲でボトムパージ処理時間を所定時間よりも短縮することで環境ガスの無駄使いを回避することが可能である。

【0077】

また搬送容器をストックすることを主目的とするストッカ台や、搬送容器の入替を主目的とするソータ装置等の搬送容器載置装置にマッピング機構を設け、このマッピング機構のうち搬送容器の内部空間に進入可能な適宜の位置にセンサ（搬送容器内の環境雰囲気に関する情報を検知可能なセンサ）を設けることもできる。

【0078】

本発明における「搬送容器」は、ＦＯＵＰに限定されず、ＦＯＵＰ以外の容器、例えばカセット等も本発明の搬送容器に含まれる。

【0079】

本発明に係るロードポートは、ＥＦＥＭの一部を構成するものとして使用可能であることは上述した通りであり、ＥＦＥＭ以外の搬送装置に適用することもできる。

【0080】

上述した実施形態では、搬送対象物としてウェーハを例示したが、搬送対象物が、レティクル、液晶搬送対象物、ガラス搬送対象物、カルチャープレート、培養容器、ディッシュ、或いはシャーレ等であってもよい。

【0081】

上述の実施形態では、ロードポートが制御部を備え、ロードポートドアの移動等、各部の作動を制御部が司る態様を例示したが、ロードポートの上位の装置（上述の実施形態であればＥＦＥＭ、あるいは処理室）の作動を司る制御部（上位コントローラである上述のＥＦＥＭ全体の制御部や処理室の制御部）によって、ロードポートの作動も司るように構成することも可能である。

【0082】

また、上述の制御部は、専用のシステムによらず、通常のコンピュータシステムを用いて実現可能である。例えば、汎用コンピュータに、上述の処理を実行するためのプログラムを格納した記録媒体（フレキシブルディスク、ＣＤ－ＲＯＭなど）から当該プログラムをインストールすることにより、上述の処理を実行する制御部を構成することができる。そして、これらのプログラムを供給するための手段は任意である。上述のように所定の記録媒体を介して供給できる他、例えば、通信回線、通信ネットワーク、通信システムなどを介して供給してもよい。この場合、例えば、通信ネットワークの掲示板（ＢＢＳ）に当該プログラムを掲示し、これをネットワークを介して搬送波に重畳して提供してもよい。
そして、このように提供されたプログラムを起動し、ＯＳの制御下で、他のアプリケーションプログラムと同様に実行することにより、上述の処理を実行することができる。

【0083】

その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

【符号の説明】

【0084】

１…ロードポート
１Ｃ…制御部
４…フレーム
４１…開口部
３…ＦＯＵＰ
５…載置テーブル
８…ロードポートドア
９…ドア開閉機構
Ｍ…マッピング機構
Ｗ…搬送対象物（ウェーハ）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】