特開2022-171524基板保持装置

発明の名称　基板保持装置

出願人　中外炉工業株式会社　（識別番号 211123）

　　　　特許公開件数ランキング 887 位（26件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1043 位（19件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-171524

公報発行日　2022年11月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-171524

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