(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022173612
(43)【公開日】2022-11-22
(54)【発明の名称】樹脂成形品の製造方法、成形型、及び樹脂成形装置
(51)【国際特許分類】
B29C 33/70 20060101AFI20221115BHJP
B29C 33/72 20060101ALI20221115BHJP
【ＦＩ】
B29C33/70
B29C33/72
【審査請求】未請求
【請求項の数】9
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021079420
(22)【出願日】2021-05-10
(71)【出願人】
【識別番号】390002473
【氏名又は名称】ＴＯＷＡ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100162031
【弁理士】
【氏名又は名称】長田 豊彦
(74)【代理人】
【識別番号】100175721
【弁理士】
【氏名又は名称】高木 秀文
(72)【発明者】
【氏名】坂根 直之
(72)【発明者】
【氏名】何 振▲華▼
(72)【発明者】
【氏名】田村 孝司
【テーマコード（参考）】
4F202
【Ｆターム（参考）】
4F202AR12
4F202CA09
4F202CA11
4F202CA30
4F202CB01
4F202CK19
4F202CK43
4F202CS01
4F202CS02
4F202CS04
(57)【要約】
【課題】ユニットの隙間に樹脂が侵入するのを抑制することが可能な樹脂成形品の製造方法を提供する。
【解決手段】型本体と、前記型本体に設けられてキャビティを形成すると共に、外周部分に凹状の樹脂逃がし部が形成される少なくとも１つのユニットと、を備える成形型を用いて、成形対象物を樹脂成形する樹脂成形工程と、メンテナンス用樹脂を用いて前記成形型で成形を行うことで、前記成形型のメンテナンスを行うメンテナンス工程と、を含む、樹脂成形品の製造方法。
【選択図】図７
【解決手段】型本体と、前記型本体に設けられてキャビティを形成すると共に、外周部分に凹状の樹脂逃がし部が形成される少なくとも１つのユニットと、を備える成形型を用いて、成形対象物を樹脂成形する樹脂成形工程と、メンテナンス用樹脂を用いて前記成形型で成形を行うことで、前記成形型のメンテナンスを行うメンテナンス工程と、を含む、樹脂成形品の製造方法。
【選択図】図７
【特許請求の範囲】
【請求項1】
型本体と、前記型本体に設けられてキャビティを形成すると共に、外周部分に凹状の樹脂逃がし部が形成される少なくとも１つのユニットと、を備える成形型を用いて、成形対象物を樹脂成形する樹脂成形工程と、
メンテナンス用樹脂を用いて前記成形型で成形を行うことで、前記成形型のメンテナンスを行うメンテナンス工程と、
を含む、樹脂成形品の製造方法。
メンテナンス用樹脂を用いて前記成形型で成形を行うことで、前記成形型のメンテナンスを行うメンテナンス工程と、
を含む、樹脂成形品の製造方法。
【請求項2】
前記メンテナンス工程は、
前記成形型に前記メンテナンス用樹脂を配置する配置工程と、
前記成形型の上型と下型を型締めすることで前記メンテナンス用樹脂を加圧し、前記メンテナンス用樹脂を前記成形型に充填する加圧工程と、
前記メンテナンス用樹脂を硬化させた後で、前記成形型から前記メンテナンス用樹脂を取り出す取出工程と、
を含む、請求項１に記載の樹脂成形品の製造方法。
前記成形型に前記メンテナンス用樹脂を配置する配置工程と、
前記成形型の上型と下型を型締めすることで前記メンテナンス用樹脂を加圧し、前記メンテナンス用樹脂を前記成形型に充填する加圧工程と、
前記メンテナンス用樹脂を硬化させた後で、前記成形型から前記メンテナンス用樹脂を取り出す取出工程と、
を含む、請求項１に記載の樹脂成形品の製造方法。
【請求項3】
前記配置工程において、前記成形型には、前記樹脂逃がし部の容量を考慮して決定された量の前記メンテナンス用樹脂が配置される、
請求項２に記載の樹脂成形品の製造方法。
請求項２に記載の樹脂成形品の製造方法。
【請求項4】
前記加圧工程において、前記上型と前記下型との間隔が２．０ｍｍ～０．５ｍｍになるように前記上型と前記下型を型締めする、
請求項２又は請求項３に記載の樹脂成形品の製造方法。
請求項２又は請求項３に記載の樹脂成形品の製造方法。
【請求項5】
前記メンテナンス用樹脂として、クリーニング用樹脂及び離型性回復用樹脂の少なくとも一方を用いる、
請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の樹脂成形品の製造方法。
請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の樹脂成形品の製造方法。
【請求項6】
型本体と、
前記型本体に設けられ、外周部分に凹状の樹脂逃がし部が形成された少なくとも１つのユニットと、
を具備する成形型。
前記型本体に設けられ、外周部分に凹状の樹脂逃がし部が形成された少なくとも１つのユニットと、
を具備する成形型。
【請求項7】
前記ユニットは、複数の部材により構成され、
前記複数の部材のうち一の部材の型面の位置を、他の部材の型面の位置と異ならせることにより、前記樹脂逃がし部が形成される、
請求項６に記載の成形型。
前記複数の部材のうち一の部材の型面の位置を、他の部材の型面の位置と異ならせることにより、前記樹脂逃がし部が形成される、
請求項６に記載の成形型。
【請求項8】
前記型本体に設けられた前記ユニットを側方から押さえる押さえ部をさらに具備する、
請求項６又は請求項７に記載の成形型。
請求項６又は請求項７に記載の成形型。
【請求項9】
請求項６から請求項８までのいずれか一項に記載の成形型を用いて成形対象物を樹脂成形する樹脂成形装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、樹脂成形品の製造方法、成形型、及び樹脂成形装置の技術に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、金型上にクリーニング用樹脂を配置し、金型をクランプしてクリーニング用樹脂をキャビティ内に充填させ、クリーニング用樹脂を硬化させた後、金型からクリーニング用樹脂を取り出すことで金型をクリーニングする技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００７－２４２９２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ここで、樹脂成形に用いられる金型には、キャビティが形成された脱着可能なユニットを具備するものがある。このような金型では、製品に応じてユニットを適宜交換することで、多様な製品の樹脂成形を行うことが可能になる等の利点がある。
【0005】
しかしながら、このようなユニットを具備する金型に対して特許文献１のようなクリーニング用樹脂を用いたクリーニングを行うと、ユニットが取り付けられた部分の隙間にクリーニング用樹脂が侵入し、ユニットの位置ずれが生じるなどの不具合が生じるおそれがある。
【0006】
本発明は以上の如き状況に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、ユニットの隙間に樹脂が侵入するのを抑制することが可能な樹脂成形品の製造方法、成形型、及び樹脂成形装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、この課題を解決するため、本発明に係る樹脂成形品の製造方法は、型本体と、前記型本体に設けられてキャビティを形成すると共に、外周部分に凹状の樹脂逃がし部が形成される少なくとも１つのユニットと、を備える成形型を用いて、成形対象物を樹脂成形する樹脂成形工程と、メンテナンス用樹脂を用いて前記成形型で成形を行うことで、前記成形型のメンテナンスを行うメンテナンス工程と、を含むものである。
【0008】
また、本発明に係る成形型は、型本体と、前記型本体に設けられ、外周部分に凹状の樹脂逃がし部が形成された少なくとも１つのユニットと、を具備するものである。
【0009】
また、本発明に係る樹脂成形装置は、前記成形型を用いて成形対象物を樹脂成形するものである。
【発明の効果】
【0010】
本発明によれば、ユニットの隙間に樹脂が侵入するのを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】一実施形態に係る樹脂成形装置の全体的な構成を示した平面模式図。
【図2】一実施形態に係る樹脂成形装置の全体的な構成を示した正面模式図。
【図3】（ａ）樹脂成形品の製造方法の手順を示した図。（ｂ）メンテナンス工程の手順を示した図。（ｃ）クリーニング工程の手順を示した図。
【図4】下型にユニットが取り付けられる様子を示した斜視図。
【図5】下型にユニットが取り付けられる様子を示した平面図。
【図6】ユニットを示した斜視図。
【図7】クリーニング工程における成形型の動作を示す側面断面模式図。
【図8】変形例に係る成形型を示す側面断面模式図。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下では、図中に示した矢印Ｕ、矢印Ｄ、矢印Ｌ、矢印Ｒ、矢印Ｆ及び矢印Ｂで示した方向を、それぞれ上方向、下方向、左方向、右方向、前方向及び後方向と定義して説明を行う。
【0013】
＜樹脂成形装置１の全体構成＞
まず、図１及び図２を用いて、本発明の一実施形態に係る樹脂成形装置１の構成について説明する。樹脂成形装置１は、半導体チップなどの電子素子（以下、単に「チップ」と称する）を樹脂封止し、樹脂成形品を製造するものである。特に本実施形態では、トランスファーモールド法を利用して樹脂成形を行う樹脂成形装置１を例示している。
まず、図１及び図２を用いて、本発明の一実施形態に係る樹脂成形装置１の構成について説明する。樹脂成形装置１は、半導体チップなどの電子素子（以下、単に「チップ」と称する）を樹脂封止し、樹脂成形品を製造するものである。特に本実施形態では、トランスファーモールド法を利用して樹脂成形を行う樹脂成形装置１を例示している。
【0014】
樹脂成形装置１は、構成要素として、樹脂成形モジュール１０及び搬出モジュール２０を具備する。各構成要素は、他の構成要素に対して着脱可能かつ交換可能である。
【0015】
＜樹脂成形モジュール１０＞
樹脂成形モジュール１０は、基板２（図２参照）に装着されたチップを樹脂封止するものである。樹脂成形モジュール１０は、主として成形型１００（下型１００Ｄ及び上型１００Ｕ）、型締め機構２００及び制御部３００を具備する。
樹脂成形モジュール１０は、基板２（図２参照）に装着されたチップを樹脂封止するものである。樹脂成形モジュール１０は、主として成形型１００（下型１００Ｄ及び上型１００Ｕ）、型締め機構２００及び制御部３００を具備する。
【0016】
成形型１００は、溶融した樹脂材料を用いて、基板２に装着されたチップを樹脂封止するものである。成形型１００は、互いに対向する上下一対の型、すなわち、下型１００Ｄ及び上型１００Ｕを具備する。成形型１００には、ヒータ等の加熱部（不図示）が設けられる。
【0017】
型締め機構２００は、下型１００Ｄを上下に移動させることによって、成形型１００を型締め又は型開きするものである。
【0018】
制御部３００は、樹脂成形装置１の各モジュールの動作を制御するものである。制御部３００によって、樹脂成形モジュール１０及び搬出モジュール２０の動作が制御される。また、制御部３００を用いて、各モジュールの動作を任意に変更（調整）することができる。
【0019】
なお本実施形態においては、制御部３００を樹脂成形モジュール１０に設けた例を示しているが、制御部３００をその他のモジュールに設けることも可能である。また、制御部３００を複数設けることも可能である。例えば、制御部３００をモジュールごとや装置ごとに設け、各モジュール等の動作を互いに連動させながら個別に制御することも可能である。
【0020】
＜搬出モジュール２０＞
搬出モジュール２０は、樹脂封止された基板２（樹脂成形済基板３）を樹脂成形モジュール１０から受け取って搬出するものである。搬出モジュール２０は、樹脂成形モジュール１０の右側に隣接するように配置される。搬出モジュール２０は、主としてアンローダ４００、不要樹脂除去機構５００、移送機構６００及び基板収容部７００を具備する。
搬出モジュール２０は、樹脂封止された基板２（樹脂成形済基板３）を樹脂成形モジュール１０から受け取って搬出するものである。搬出モジュール２０は、樹脂成形モジュール１０の右側に隣接するように配置される。搬出モジュール２０は、主としてアンローダ４００、不要樹脂除去機構５００、移送機構６００及び基板収容部７００を具備する。
【0021】
アンローダ４００は、成形型１００で樹脂封止された基板２（樹脂成形済基板３）を保持して不要樹脂除去機構５００へと搬出するものである。アンローダ４００は、樹脂成形モジュール１０（成形型１００）と搬出モジュール２０（不要樹脂除去機構５００）とに亘って左右に移動可能となるように設けられる。
【0022】
不要樹脂除去機構５００は、樹脂成形済基板３から製品として不要な樹脂（不要樹脂）を除去するものである。不要樹脂除去機構５００は、樹脂成形済基板３が載置される載置ユニット５２０、載置ユニット５２０に載置された樹脂成形済基板３から不要樹脂を除去する除去部５５０等を具備する。
【0023】
移送機構６００は、不要樹脂が除去された樹脂成形済基板３を、不要樹脂除去機構５００から基板収容部７００へと移送するものである。移送機構６００は、不要樹脂除去機構５００（除去部５５０）の右方に配置される。
【0024】
基板収容部７００は、樹脂成形済基板３を収容するものである。基板収容部７００は、移送機構６００の下方に配置される。
【0025】
【0026】
本実施形態に係る樹脂成形品の製造方法は、主として搬入工程Ｓ１０、樹脂成形工程Ｓ２０、搬出工程Ｓ３０及びメンテナンス工程Ｓ４０を含んでいる（図３（ａ）参照）。
【0027】
搬入工程Ｓ１０は、樹脂成形の対象となる基板２と、成形に用いられる樹脂材料（例えば、タブレット状樹脂）を樹脂成形モジュール１０に搬入する工程である。
【0028】
搬入工程Ｓ１０において、基板２及び樹脂材料が、適宜の搬入機構によって成形型１００に搬入される。基板２は下型１００Ｄの型面（上面）に配置される。また樹脂材料は、後述するポット１２４ａに収容される。
【0029】
樹脂成形工程Ｓ２０は、基板２に装着されたチップを樹脂封止する工程である。
【0030】
樹脂成形工程Ｓ２０において、型締め機構２００は、成形型１００を型締めする。そして、成形型１００の加熱部（不図示）によってタブレット状樹脂を加熱して溶融させ、生成された流動性樹脂を用いて基板２を樹脂封止する。これによって、樹脂封止された基板２（樹脂成形済基板３）が形成される。
【0031】
搬出工程Ｓ３０は、樹脂成形済基板３を樹脂成形モジュール１０から受け取って搬出する工程である。
【0032】
搬出工程Ｓ３０において、型締め機構２００は成形型１００を型開きし、樹脂成形済基板３を離型させる。その後樹脂成形済基板３は、アンローダ４００によって成形型１００から搬出され、不要樹脂除去機構５００の載置ユニット５２０に載置される。
【0033】
樹脂成形済基板３が載置された載置ユニット５２０は、除去部５５０の下方へと移動する。除去部５５０は、載置ユニット５２０に載置された樹脂成形済基板３の不要樹脂を除去する。
【0034】
不要樹脂が除去された後、載置ユニット５２０は移送機構６００の下方へと移動する。移送機構６００は、不要樹脂が除去された樹脂成形済基板３を載置ユニット５２０から基板収容部７００へと移送する。このようにして、樹脂成形済基板３が製造され、基板収容部７００に収容される。
【0035】
メンテナンス工程Ｓ４０は、実際に製品の樹脂成形を行うのではなく、メンテナンス用樹脂（後述するクリーニング用樹脂Ｒ及び離型性回復用樹脂）を用いて製品の樹脂成形を行うための予備動作（メンテナンス）を行う工程である。メンテナンス工程Ｓ４０は、主としてクリーニング工程Ｓ５０及びワックスがけ工程Ｓ６０を含んでいる（図３（ｂ）参照）。
【0036】
クリーニング工程Ｓ５０は、クリーニング用樹脂Ｒを用いて成形型１００の清掃を行う工程である。
【0037】
ワックスがけ工程Ｓ６０は、離型性回復用樹脂を用いて成形型１００のワックスがけを行う工程である。
【0038】
なお、クリーニング工程Ｓ５０及びワックスがけ工程Ｓ６０の具体的な内容については、成形型１００の構成を説明した後で説明する。
【0039】
＜成形型１００について＞
以下では、成形型１００の構成についてより詳細に説明する。なお以下では、成形型１００のうち、主に下型１００Ｄの構成について説明する。上型１００Ｕの構成については、下型１００Ｄと概ね同様である。このため、上型１００Ｕについての説明は適宜省略する。
以下では、成形型１００の構成についてより詳細に説明する。なお以下では、成形型１００のうち、主に下型１００Ｄの構成について説明する。上型１００Ｕの構成については、下型１００Ｄと概ね同様である。このため、上型１００Ｕについての説明は適宜省略する。
【0040】
【0041】
＜型本体１１０＞
型本体１１０は、下型１００Ｄの外枠を形成し、後述するユニット１２０を保持する部分である。型本体１１０は、主としてベース部１１１、第一側部１１２及び第二側部１１３を具備する。
型本体１１０は、下型１００Ｄの外枠を形成し、後述するユニット１２０を保持する部分である。型本体１１０は、主としてベース部１１１、第一側部１１２及び第二側部１１３を具備する。
【0042】
ベース部１１１は、ユニット１２０が載置される部材である。ベース部１１１は、略直方体状に形成される。ベース部１１１の上面には、所定の方向（本実施形態では、前後方向）に延びる溝状の凹部１１１ａが形成される。本実施形態では、凹部１１１ａは、左右一対（２つ）形成されている。
【0043】
第一側部１１２は、凹部１１１ａを側方（後方）から塞ぐ部材である。第一側部１１２は、略直方体状に形成される。第一側部１１２は、２つの凹部１１１ａを後方から塞ぐように、ベース部１１１の後部に設けられる。
【0044】
第二側部１１３は、凹部１１１ａを側方（前方）から塞ぐ部材である。第二側部１１３は、略直方体状に形成される。第二側部１１３は、凹部１１１ａを前方から塞ぐように、ベース部１１１の前部に設けられる。
【0045】
第一側部１１２及び第二側部１１３は、ベース部１１１に対して着脱可能となるように設けられる。
【0046】
なお本実施形態では、上下一対の成形型１００（下型１００Ｄ及び上型１００Ｕ）のうち、相手方の型と対向する面（すなわち、下型１００Ｄの上面及び上型１００Ｕの下面）を「型面」と称している。
【0047】
＜ユニット１２０＞
図６に示すユニット１２０は、樹脂成形のためのキャビティ１２５ａ等が形成される部分である。ユニット１２０は、主としてベース部１２１、第一ホルダ１２２、第二ホルダ１２３、ポットブロック１２４及びキャビティブロック１２５等を具備する。
図６に示すユニット１２０は、樹脂成形のためのキャビティ１２５ａ等が形成される部分である。ユニット１２０は、主としてベース部１２１、第一ホルダ１２２、第二ホルダ１２３、ポットブロック１２４及びキャビティブロック１２５等を具備する。
【0048】
ベース部１２１は、後述する第一ホルダ１２２等が載置される部材である。ベース部１２１は、適宜の部材を組み合わせることで、略直方体状に形成される。
【0049】
第一ホルダ１２２は、後述するポットブロック１２４及びキャビティブロック１２５を側方（前後方向）から保持するものである。第一ホルダ１２２は、主として底部１２２ａ、側部１２２ｂ、凸部１２２ｃ及びセットブロック１２２ｄを具備する。
【0050】
底部１２２ａは、第一ホルダ１２２の下部を形成する部分である。底部１２２ａは、平面視においてベース部１２１と同一の外形を有するような、平面視矩形状に形成される。底部１２２ａは、適宜の方法でベース部１２１の上部に固定される。
【0051】
側部１２２ｂは、第一ホルダ１２２の前後両端部を形成する部分である。側部１２２ｂは、底部１２２ａの前後両端部から上方に立ち上がるように形成される。側部１２２ｂは、底部１２２ａの左右両端部に亘るように形成される。
【0052】
凸部１２２ｃは、側部１２２ｂの型面から突出するように形成される部分である。凸部１２２ｃは、側部１２２ｂの所定の位置に形成される。本実施形態では、凸部１２２ｃは、側部１２２ｂの左右中途部に２つ形成される。
【0053】
セットブロック１２２ｄは、上型１００Ｕとの相対的な位置決めを行うためのものである。セットブロック１２２ｄは、略直方体状に形成される。セットブロック１２２ｄは、凸部１２２ｃの左右中央部分にボルト等により固定される。
【0054】
第二ホルダ１２３は、後述するポットブロック１２４及びキャビティブロック１２５を側方（左右方向）から保持するものである。第二ホルダ１２３は、略直方体状に形成される。第二ホルダ１２３は、長手方向が前後方向を向くように形成される。第二ホルダ１２３は、第一ホルダ１２２の底部１２２ａの左右両端部にそれぞれ設けられる。第二ホルダ１２３は、前後一対の側部１２２ｂに亘るように配置される。第二ホルダ１２３の型面は、第一ホルダ１２２（側部１２２ｂ）の型面よりも高くなるように形成される。第二ホルダ１２３は、主として凹部１２３ａ及びセットブロック１２３ｂを具備する。
【0055】
凹部１２３ａは、第二ホルダ１２３の型面を窪ませるように形成される部分である。凹部１２３ａは、第二ホルダ１２３の所定の位置に形成される。本実施形態では、凹部１２３ａは、第二ホルダ１２３の前後中央部に１つ形成される。なお、凹部１２３ａは複数形成されてもよい。
【0056】
セットブロック１２３ｂは、上型１００Ｕとの相対的な位置決めを行うためのものである。セットブロック１２３ｂは、略直方体状に形成される。セットブロック１２３ｂは、凹部１２３ａの前後中央部分にボルト等により固定される。
【0057】
ポットブロック１２４は、樹脂成形に用いられる樹脂材料を収容するためのポット１２４ａが形成される部材である。ポットブロック１２４は、略直方体状に形成される。ポットブロック１２４は、長手方向が左右方向を向く（すなわち、長手方向が左右方向に平行になる）ように形成される。ポットブロック１２４は、左右一対の第二ホルダ１２３に亘るように配置される。
【0058】
ポット１２４ａは、ポットブロック１２４を上下に貫通するように形成される。ポット１２４ａは、ポットブロック１２４の長手方向に沿って複数（本実施形態では、５つ）形成される。
【0059】
キャビティブロック１２５は、樹脂成形を行うためのキャビティ１２５ａが形成される部材である。キャビティブロック１２５は、略直方体状に形成される。キャビティブロック１２５は、長手方向が左右方向を向くように形成される。キャビティブロック１２５は、ポットブロック１２４の前後にそれぞれ１つずつ配置される。
【0060】
キャビティ１２５ａは、キャビティブロック１２５の型面（上面）を窪ませるように形成される。キャビティ１２５ａは、製品（樹脂成形品）に応じた形状に適宜形成される。
【0061】
なお、詳細な説明は省略するが、ポットブロック１２４及びキャビティブロック１２５の型面には、ポット１２４ａからキャビティ１２５ａへと樹脂材料を案内するランナやゲート等が適宜形成される。
【0062】
このようにして、ユニット１２０においては、ポットブロック１２４及びキャビティブロック１２５が、第一ホルダ１２２及び第二ホルダ１２３によって前後左右から囲まれるようにボルトで固定して保持される。
【0063】
この状態において、キャビティブロック１２５の型面は、ポットブロック１２４の型面よりも基板２の厚みの分だけ若干（例えば、１ｍｍ程度、若しくはそれ以下）低い位置に形成されるものの、第二ホルダ１２３、ポットブロック１２４及びキャビティブロック１２５の型面は概ね同じ高さとなる。これに対して、第一ホルダ１２２（側部１２２ｂ）の型面は第二ホルダ１２３等の型面よりも低い位置（キャビティブロック１２５とポットブロック１２４の段差に比べて大きく下がった位置）に形成されている。これによって、ユニット１２０の型面の外周部分（本実施形態では、前後両端部分）には、ユニット１２０の型面を窪ませたような凹状の樹脂逃がし部Ｓが形成される。樹脂逃がし部Ｓは、隣接する部材（キャビティブロック１２５等）に対して一段下がったような段差状に形成される。
【0064】
このように構成されたユニット１２０は、型本体１１０に設けられる。具体的には、ユニット１２０は、図４及び図５に示すように、型本体１１０の凹部１１１ａ内に、互いに前後に隣接するように複数設けられる。なお、本実施形態では一例として２つの凹部１１１ａ内にユニット１２０をそれぞれ３つずつ（計６つ）設けた例を示している。凹部１１１ａの前後両端部は第一側部１１２及び第二側部１１３によって塞がれる。ユニット１２０は、凹部１１１ａ内に適宜の方法で保持される。
【0065】
このように、キャビティ１２５ａ等が形成されたユニット１２０は、型本体１１０に対して着脱可能に設けられている。従って、製品（樹脂成形品）に応じてユニット１２０を交換することで、種々の製品を製造することができる。
【0066】
以上、下型１００Ｄの構成について説明したが、上型１００Ｕについても概ね同様に構成されている。すなわち、上型１００Ｕも、型本体１１０にユニット１２０が複数設けられることにより構成されている（図７参照）。上型１００Ｕは、ユニット１２０が下方を向くように配置される。下型１００Ｄと上型１００Ｕは、各ユニット１２０が上下方向に互いに対向するように配置される。
【0067】
なお、上型１００Ｕには、下型１００Ｄのセットブロック１２２ｄ及びセットブロック１２３ｂと対向する位置に、このセットブロック１２２ｄ等に対応した形状（セットブロック１２２ｄと嵌め合わされることが可能な形状）のセットブロックが設けられる。これによって、下型１００Ｄと上型１００Ｕとを型締めした際に、両者のセットブロックが嵌め合わされ、相対的な位置決めを行うことができる。
【0068】
＜クリーニング工程Ｓ５０＞
以下では、上述の如く構成された成形型１００の清掃を行うクリーニング工程Ｓ５０について説明する。なお、図７等は、成形型１００の断面を模式的に示したものである。図３（ｃ）に示すように、クリーニング工程Ｓ５０は、主として配置工程Ｓ５１、加圧工程Ｓ５２及び取出工程Ｓ５３を含んでいる。
以下では、上述の如く構成された成形型１００の清掃を行うクリーニング工程Ｓ５０について説明する。なお、図７等は、成形型１００の断面を模式的に示したものである。図３（ｃ）に示すように、クリーニング工程Ｓ５０は、主として配置工程Ｓ５１、加圧工程Ｓ５２及び取出工程Ｓ５３を含んでいる。
【0069】
配置工程Ｓ５１は、成形型１００にクリーニング用樹脂Ｒを配置する工程である。
【0070】
図７の紙面左側に示すように、配置工程Ｓ５１において、クリーニング用樹脂Ｒが成形型１００（下型１００Ｄの上面）に配置される。クリーニング用樹脂Ｒの配置は、作業者の手作業によって行うことが可能である。ここで、クリーニング用樹脂Ｒは、成形型１００のメンテナンス（特に、清掃）に用いられる樹脂である。クリーニング用樹脂Ｒとしては、種々の材質の樹脂（例えば、メラミン樹脂等）を任意に用いることが可能である。またクリーニング用樹脂Ｒとしては、適宜の形状の樹脂を任意に用いることが可能である。例えばクリーニング用樹脂Ｒとして、板状の樹脂を用いることができ、より具体的には、比較的厚みが小さい板状（シート状）や、比較的厚みが大きい板状（厚板状）の樹脂を用いることが可能である。
【0071】
クリーニング用樹脂Ｒは、下型１００Ｄの各ユニット１２０上に配置される。ここで、クリーニング用樹脂Ｒの量は、成形型１００のキャビティ１２５ａ等の体積（容量）を考慮して決定される。具体的には、後述するように上型１００Ｕと下型１００Ｄとを型締めしてクリーニング用樹脂Ｒを加圧した際に、クリーニング用樹脂Ｒが成形型１００の樹脂成形部分（即ち、キャビティ１２５ａ、ポット１２４ａ、ランナ、ゲート）を満たすことができるように、クリーニング用樹脂Ｒの量（体積）が決定される。また、上型１００Ｕと下型１００Ｄとを型締めしてクリーニング用樹脂Ｒを加圧した際に、クリーニング用樹脂Ｒが樹脂逃がし部Ｓを完全に満たさないように、クリーニング用樹脂Ｒの量（体積）が決定される。
【0072】
なお、図７ではクリーニング用樹脂Ｒをユニット１２０の型面（上面）の概ね全体に配置した様子を示しているが、これはクリーニング用樹脂Ｒを模式的に示したものであり、クリーニング用樹脂Ｒの配置はこれに限るものではない。例えばクリーニング用樹脂Ｒをユニット１２０上の複数個所に分けて配置することも可能である。
【0073】
加圧工程Ｓ５２は、成形型１００を型締めすることでクリーニング用樹脂Ｒを加圧する工程である。
【0074】
図７の紙面右側に示すように、加圧工程Ｓ５２において、型締め機構２００によって下型１００Ｄが持ち上げられ、上型１００Ｕと下型１００Ｄが型締めされる。この際、上型１００Ｕの型面と下型１００Ｄの型面が接触しないように、所定の間隔Ｃが空けられる。この間隔Ｃは、例えば２．０～０．５ｍｍとなるように（より好ましくは、１．５～１．０ｍｍとなるように）設定される。
【0075】
上型１００Ｕと下型１００Ｄが型締めされることで、クリーニング用樹脂Ｒが加圧される。これによってクリーニング用樹脂Ｒは、上型１００Ｕと下型１００Ｄの間の隙間（間隔Ｃ部分）に広がりながら、成形型１００に形成された樹脂成形部分（即ち、キャビティ１２５ａ、ポット１２４ａ、ランナ、ゲート）に充填される。樹脂成形部分（キャビティ１２５ａ等）に充填されて、さらに余ったクリーニング用樹脂Ｒは、樹脂逃がし部Ｓに流入することになる。
【0076】
ここで、前述のようにクリーニング用樹脂Ｒの量は、樹脂逃がし部Ｓを完全に満たさないように設定されている。このため、図７の紙面右側に示すように、クリーニング用樹脂Ｒが隣接するユニット１２０同士の微小な隙間や、ユニット１２０と型本体１１０との間の微小な隙間に侵入することがない。このように本実施形態では、加圧されたクリーニング用樹脂Ｒがユニット１２０の隙間に侵入するのを防止することで、クリーニング用樹脂Ｒに押されてユニット１２０の位置が変化する（位置ずれする）のを防止することができ、ひいてはこれに伴う不具合の発生を防止することができる。また、ユニット１２０の隙間に侵入したクリーニング用樹脂Ｒを除去する手間も省くことができるため、メンテナンス作業の負担の軽減を図ることもできる。
【0077】
また加圧工程Ｓ５２では、成形型１００の加熱部（不図示）によって、クリーニング用樹脂Ｒが加熱される。すなわちクリーニング用樹脂Ｒは、加熱されながら所定の時間だけ加圧される。なお、クリーニング用樹脂Ｒの加熱温度や加圧・加熱時間は、クリーニング用樹脂Ｒの種類や成形型１００の種類等に応じて適宜設定される。
【0078】
取出工程Ｓ５３は、硬化したクリーニング用樹脂Ｒを成形型１００から取り出す工程である。
【0079】
取出工程Ｓ５３において、型締め機構２００によって成形型１００が型開きされ、硬化したクリーニング用樹脂Ｒが取り出される。クリーニング用樹脂Ｒの取り出しは、作業者の手作業によって行うことが可能である。
【0080】
このようにクリーニング工程Ｓ５０において、クリーニング用樹脂Ｒを成形型１００で加圧し、硬化させて取り出すことで、成形型１００の汚れをクリーニング用樹脂Ｒに付着させて除去することができる。なお、成形型１００の汚れが落ちるまで、クリーニング工程Ｓ５０を複数回繰り返すことも可能である。
【0081】
＜ワックスがけ工程Ｓ６０＞
以下では、クリーニング工程Ｓ５０で清掃された成形型１００にワックスがけを行うワックスがけ工程Ｓ６０について説明する。
以下では、クリーニング工程Ｓ５０で清掃された成形型１００にワックスがけを行うワックスがけ工程Ｓ６０について説明する。
【0082】
ワックスがけ工程Ｓ６０の手順は、クリーニング用樹脂Ｒに代えて、離型性回復用樹脂を用いる点を除いて、概ねクリーニング工程Ｓ５０の手順（図３（ｃ）参照）と同様であるため、詳細な説明は省略する。なお、離型性回復用樹脂は、成形型１００のメンテナンス（特に、ワックスがけ）に用いられる樹脂である。離型性回復用樹脂としては、離型剤（例えば、ポリエチレン系ワックスやアミド系ワックス等）が含まれる種々の材質の樹脂を任意に用いることが可能である。また離型性回復用樹脂としては、適宜の形状の樹脂（例えば、シート状、板状等）を任意に用いることが可能である。
【0083】
ワックスがけ工程Ｓ６０において、ワックス用樹脂を成形型１００で加圧して、硬化後に取り出すことで、成形型１００にワックスをかけることができる。これによって、成形型１００の離型性を向上させることができる。またクリーニング工程Ｓ５０と同様、ワックスがけ工程Ｓ６０においても、ユニット１２０に樹脂逃がし部Ｓを設けたことにより、ユニット１２０の隙間に離型性回復用樹脂が侵入するのを防止することができる。
【0084】
以上の如く、本実施形態に係る樹脂成形品の製造方法は、型本体１１０と、前記型本体１１０に設けられてキャビティ１２５ａを形成すると共に、外周部分に凹状の樹脂逃がし部Ｓが形成される少なくとも１つのユニット１２０と、を備える成形型１００を用いて、成形対象物（基板２）を樹脂成形する樹脂成形工程Ｓ２０と、メンテナンス用樹脂（クリーニング用樹脂Ｒ及び離型性回復用樹脂）を用いて前記成形型１００で成形を行うことで、前記成形型１００のメンテナンスを行うメンテナンス工程Ｓ４０（クリーニング工程Ｓ５０及びワックスがけ工程Ｓ６０）と、を含むものである。
【0085】
このように構成することにより、ユニット１２０の隙間に樹脂が侵入するのを抑制することができる。すなわち、メンテナンス用樹脂（クリーニング用樹脂Ｒ及び離型性回復用樹脂）を用いて成形型１００で成形を行う際に、余分な樹脂が樹脂逃がし部Ｓに収容されるため、ユニット１２０の隙間（隣接するユニット１２０同士の隙間や、ユニット１２０と型本体１１０との隙間）に侵入するのを抑制することができる。これによって、ユニット１２０の位置ずれの発生を抑制することができる。また、ユニット１２０の隙間に侵入した樹脂を除去する必要がなくなるため、メンテナンス作業の負担の軽減を図ることもできる。
【0086】
また、前記メンテナンス工程Ｓ４０は、前記成形型１００に前記メンテナンス用樹脂を配置する配置工程Ｓ５１と、前記成形型１００の上型１００Ｕと下型１００Ｄを型締めすることで前記メンテナンス用樹脂を加圧し、前記メンテナンス用樹脂を前記成形型１００に充填する加圧工程Ｓ５２と、前記メンテナンス用樹脂を硬化させた後で、前記成形型１００から前記メンテナンス用樹脂を取り出す取出工程Ｓ５３と、を含むものである。
【0087】
このように構成することにより、メンテナンス用樹脂がユニット１２０の隙間に侵入するのを抑制しながら、成形型１００のメンテナンスを行うことができる。
【0088】
また、前記配置工程Ｓ５１において、前記成形型１００には、前記樹脂逃がし部Ｓの容量を考慮して決定された量の前記メンテナンス用樹脂が配置されるものである。
【0089】
このように構成することにより、ユニット１２０の隙間に樹脂が侵入するのを効果的に抑制することができる。本実施形態では、クリーニング用樹脂Ｒ等の量は、樹脂逃がし部Ｓを完全に満たさないように設定されるものとした。これによって、クリーニング用樹脂Ｒがユニット１２０の隙間に到達し難くすることができる。
【0090】
また、前記加圧工程Ｓ５２において、前記上型１００Ｕと前記下型１００Ｄとの間隔が２．０ｍｍ～０．５ｍｍになるように前記上型１００Ｕと前記下型１００Ｄを型締めするものである。
【0091】
このように構成することにより、成形型１００のメンテナンスを効果的に行うことができる。すなわち、キャビティ１２５ａ等の樹脂成形部分だけでなく、成形型１００の型面のクリーニング等を効果的に行うことができる。また、前記上型１００Ｕと前記下型１００Ｄとの隙間において、樹脂が一体的に硬化するため、硬化後の樹脂が取り出し易くなる。
【0092】
また、本実施形態に係る樹脂成形品の製造方法は、前記メンテナンス用樹脂として、クリーニング用樹脂Ｒ及び離型性回復用樹脂の少なくとも一方を用いるものである。
【0093】
このように構成することにより、成形型の清掃や離型性を向上（回復）させる際に、ユニット１２０の隙間に樹脂が侵入するのを抑制することができる。
【0094】
また、本実施形態に係る成形型１００は、型本体１１０と、前記型本体１１０に設けられ、外周部分に凹状の樹脂逃がし部Ｓが形成された少なくとも１つのユニット１２０と、を具備するものである。
【0095】
このように構成することにより、ユニット１２０の隙間に樹脂が侵入するのを抑制することができる。すなわち、メンテナンス用樹脂（クリーニング用樹脂Ｒ及び離型性回復用樹脂）を用いて成形型１００で成形を行う際に、余分な樹脂が樹脂逃がし部Ｓに収容されるため、ユニット１２０の隙間（隣接するユニット１２０同士の隙間や、ユニット１２０と型本体１１０との隙間）に侵入するのを抑制することができる。これによって、ユニット１２０の位置ずれの発生を抑制することができる。また、ユニット１２０の隙間に侵入した樹脂を除去する必要がなくなるため、メンテナンス作業の負担の軽減を図ることもできる。
【0096】
また、前記ユニット１２０は、複数の部材により構成され、前記複数の部材のうち一の部材（第一ホルダ１２２の側部１２２ｂ）の型面の位置を、他の部材（キャビティブロック１２５等）の型面の位置と異ならせることにより、前記樹脂逃がし部Ｓが形成されるものである。
【0097】
このように構成することにより、樹脂逃がし部Ｓを容易に形成することができる。すなわち、型面の位置を変更することで樹脂逃がし部Ｓを形成することができるため部材の型面に複雑な形状を形成する必要がなく、樹脂逃がし部Ｓを容易に形成することができる。
【0098】
また、本実施形態に係る樹脂成形装置１は、前記成形型１００を用いて成形対象物（基板２）を樹脂成形するものである。
【0099】
このように構成することにより、ユニット１２０の隙間に樹脂が侵入するのを抑制することができる。
【0100】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の技術的思想の範囲内で適宜の変更が可能である。
【0101】
例えば、上記実施形態の樹脂成形装置１に用いた構成要素（樹脂成形モジュール１０等）は一例であり、適宜着脱や交換することが可能である。例えば、基板２やタブレット状樹脂を樹脂成形モジュール１０へと供給するための供給モジュールをさらに設けることや、樹脂成形モジュール１０の個数を変更すること等が可能である。また、本実施形態の樹脂成形装置１に用いた構成要素の構成や動作は一例であり、適宜変更することが可能である。
【0102】
また、本実施形態で例示した樹脂成形品の製造方法（図３参照）は一例であり、各工程の順序や回数は任意に変更することが可能である。例えば、樹脂成形工程Ｓ２０よりも前にクリーニング工程Ｓ５０やワックスがけ工程Ｓ６０を行うことも可能である。また、樹脂成形工程Ｓ２０を行う度にクリーニング工程Ｓ５０及びワックスがけ工程Ｓ６０を行うのではなく、樹脂成形工程Ｓ２０を複数回行った後にクリーニング工程Ｓ５０等を行うことも可能である。またメンテナンス工程Ｓ４０において、クリーニング工程Ｓ５０及びワックスがけ工程Ｓ６０のうち一方のみを実施することも可能である。
【0103】
また、本実施形態では、メンテナンス工程Ｓ４０の一例としてクリーニング工程Ｓ５０及びワックスがけ工程Ｓ６０を例示している（メンテナンス用樹脂の一例としてクリーニング用樹脂Ｒ及び離型性回復用樹脂を例示している）が、本発明はこれに限るものではない。すなわち本発明は、樹脂成形装置１（成形型１００）のメンテナンスのための各種樹脂成形方法（特に、下型１００Ｄと上型１００Ｕの隙間で樹脂を流動させる成形方法）に広く適用することが可能である。
【0104】
また、本実施形態では、６つのユニット１２０を有する成形型１００（下型１００Ｄ）を例示したが、ユニット１２０の個数はこれに限るものではない。すなわち、成形型１００に設けられるユニット１２０の個数は１つでも複数でもよい。またユニット１２０に形成されるポット１２４ａやキャビティ１２５ａ等の形状や位置は一例であり、任意に変更することが可能である。
【0105】
また、本実施形態では、第一ホルダ１２２の側部１２２ｂの型面の位置を、キャビティブロック１２５等の型面の位置と異ならせる（低くする）ことで樹脂逃がし部Ｓを形成する構成を例示したが（図６参照）、本発明はこれに限るものではなく、任意の方法で樹脂逃がし部Ｓを形成することが可能である。例えば、キャビティブロック１２５等と同じ高さとなるように形成された側部１２２ｂの一部を凹状（段差状）に加工することで、樹脂逃がし部Ｓを形成することも可能である。
【0106】
また、本実施形態では、ユニット１２０の外周部分のうち、前後両端部に樹脂逃がし部Ｓを形成した例を示したが、本発明はこれに限るものではなく、任意の位置に樹脂逃がし部Ｓを形成することが可能である。例えば、左右両端部に樹脂逃がし部Ｓを形成することも可能である。
【0107】
また、本実施形態では、下型１００Ｄ及び上型１００Ｕの両方のユニット１２０に樹脂逃がし部Ｓを形成した例を示したが（図７参照）、本発明はこれに限るものではない。例えば下型１００Ｄ又は上型１００Ｕのいずれか一方のみに樹脂逃がし部Ｓを形成することも可能である。
【0108】
また、本実施形態では、隣接する全てのユニット１２０に樹脂逃がし部Ｓを形成した例を示したが（図７参照）、本発明はこれに限るものではない。例えば、隣接するユニット１２０のうち、一方のみに樹脂逃がし部Ｓを形成することも可能である。
【0109】
また、本実施形態で例示した樹脂逃がし部Ｓの形状（段差状）は一例であり、任意の形状とすることが可能である。例えば、樹脂逃がし部Ｓを曲面状に（側面視において曲線状の外形を有するように）形成することも可能である。また、樹脂逃がし部Ｓの各種寸法（幅、深さ等）は任意に変更することが可能である。
【0110】
また、図８に示した変形例のように、ユニット１２０を側方から押さえる構成とすることも可能である。図８に示した例では、型本体１１０の側面（図例では、第二側部１１３）を貫通するようにボルト１１４を設け、このボルト１１４の先端で、側方（前方）からユニット１２０を押さえている。ボルト１１４によって、ユニット１２０を前後方向（複数のユニット１２０が並ぶ方向）に密着させることができる。
【0111】
このように、変形例に係る成形型１００は、前記型本体１１０に設けられた前記ユニット１２０を側方から押さえるボルト１１４（押さえ部）をさらに具備するものである。
【0112】
このように構成することにより、ユニット１２０同士を密着させて、ユニット１２０の隙間に樹脂が侵入するのを抑制することができる。また、ボルト１１４でユニット１２０を押さえることで、ユニット１２０の位置ずれが生じるのを抑制することができる。
【0113】
なお、ユニット１２０を押さえる部材はボルト１１４に限るものではなく、任意の部材（例えば圧縮コイルばね等の弾性部材）を用いることも可能である。また、型本体１１０のうち、相反する位置にボルト１１４を設け、両側から挟みこむようにユニット１２０を押さえる構成とすることも可能である。また、ユニット１２０を押さえる方向は前後方向に限るものではなく、例えば左右方向に押さえることも可能である。
【符号の説明】
【0114】
１１０ 型本体
１２０ ユニット
１２２ 第一ホルダ
１２３ 第二ホルダ
１２４ ポットブロック
１２５ キャビティブロック
１２５ａ キャビティ
Ｓ 樹脂逃がし部
１２０ ユニット
１２２ 第一ホルダ
１２３ 第二ホルダ
１２４ ポットブロック
１２５ キャビティブロック
１２５ａ キャビティ
Ｓ 樹脂逃がし部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】