特開 2022-173910 選別装置及び検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022173910

(43)【公開日】2022-11-22

(54)【発明の名称】選別装置及び検査装置

(51)【国際特許分類】

   B07C 5/36 20060101AFI20221115BHJP

   G01N 21/85 20060101ALI20221115BHJP

   G01N 21/84 20060101ALI20221115BHJP

【ＦＩ】

B07C5/36

G01N21/85

G01N21/84 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021079963

(22)【出願日】2021-05-10

(71)【出願人】

【識別番号】598105802

【氏名又は名称】株式会社 システムスクエア

(74)【代理人】

【識別番号】100166545

【弁理士】

【氏名又は名称】折坂 茂樹

(72)【発明者】

【氏名】安藤 渉

【テーマコード（参考）】

2G051

3F079

【Ｆターム（参考）】

2G051AA01

2G051AB01

2G051BA06

2G051CA03

2G051CB02

2G051DA06

2G051DA13

3F079CA37

3F079CA44

3F079CB25

3F079CB34

3F079CC03

3F079DA11

3F079EA01

3F079EA10

3F079EA15

(57)【要約】

【課題】検査の結果、異常があると判定された被検査物を、供給源からのエアの供給圧が低下しても、エアの噴射により確実に選別することが可能な選別装置を提供する。
【解決手段】本発明の選別装置は、搬送手段により搬送中の被検査物に対して行われた検査の結果に基づきエアを噴射して被検査物を振り分ける複数の噴射手段と、供給源から供給を受けた圧縮されたエアを供給源から噴射手段に導入する流路と、流路に設けられ、圧縮されたエアを貯留するエアタンクと、流路のエアタンクの上流側に設けられる逆止弁と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送手段により搬送中の被検査物に対して行われた検査の結果に基づきエアを噴射して前記被検査物を選別する複数の噴射手段と、
供給源から供給を受けた圧縮されたエアを前記噴射手段に導入する流路と、
前記流路に設けられ、前記圧縮されたエアを貯留するエアタンクと、
前記流路の前記エアタンクの上流側に設けられる逆止弁と、
を備える選別装置。

【請求項2】

前記流路は一部区間が複数経路化され、複数の経路は、前記区間の両端を直結する直結経路と、前記エアタンク、並びに、前記エアタンクの上流側に前記逆止弁及び前記エアタンクへの前記圧縮されたエアの流入を制限するスピードコントローラが設けられたエアタンク経路を、それぞれ少なくとも１ずつ含む請求項１に記載の選別装置。

【請求項3】

前記圧縮されたエアを前記供給源から前記流路に供給するに際し、一定の圧力に減圧する減圧弁を備え、
前記エアタンク経路において、前記逆止弁は前記スピードコントローラの上流側に設けられる請求項２に記載の選別装置。

【請求項4】

前記エアタンク経路の前記エアタンクの下流側、及び前記直結経路のそれぞれに逆止弁を備える請求項２又は３に記載の選別装置。

【請求項5】

被検査物を所定の方向に搬送する搬送手段と、
前記被検査物に所定の電磁波を照射する照射手段と、
前記被検査物を経た前記電磁波を検出し、検出データを出力する検出手段と、
前記検出データを検査し、検査の結果を出力する検査手段と、
請求項１から４のいずれか１項に記載の選別装置と、
前記検査の結果に基づき、前記噴射手段からのエアの噴射を制御する選別制御手段と、
を備える検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被検査物に照射され、被検査物を経て検出された電磁波に基づき被検査物の検査を行い、その検査結果に基づき被検査物を選別する選別装置及び検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

被検査物である粒状体を搬送するコンベアにおいて、搬送方向に直交する幅方向に一定間隔で区切られた複数の領域を観念し、領域ごとにエアの噴射手段を設け、コンベア上を搬送される粒状体にＸ線を照射して、透過Ｘ線の検出信号に基づき生成したＸ線透過画像から除去が必要な異物が存在する領域を特定し、当該領域に対応する噴射手段に当該異物が到達するタイミングを見計らって噴射手段を動作させることで、異物を含む粒状体を除去する検査装置が知られている（例えば、特許文献１、２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１７－１６４７２３号公報

【特許文献2】特開２０１９－１３０４８３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

噴射手段として、エアジェット方式、すなわち被検査物にエアを吹き付けて被検査物を排除する方式を採用する場合、エアの噴射の頻度が高くなると、圧縮されたエアの供給源からのエアの供給圧が低下し、供給圧が回復するまでの暫くの間、噴射手段からのエアの噴射圧が十分に得られず、異物を含む被検査物を排除できなくなるおそれがある。特に、供給源からエアが供給されている噴射手段の数が多いほど、エアの噴射の頻度が高くなるため、問題は顕著に表れる。

【0005】

このような問題に対し、特許文献１の発明では、噴射手段である第１振分部の搬送下流に、更にドロップ方式で異物を含む被検査物を排除する第２振分部を設けることにより、異物排除の確実性を高めている。しかし、このように振分部を２段設けることで、装置が大きくなり、コストにも少なからず影響が生じる。また、第１振分部が採用する噴射手段を用いる方式では、コンベア上の領域ごとに異物を含む被検査物を排除することができるが、第２振分部が採用するドロップ方式では、いずれかの領域に異物が存在するタイミングで、全ての領域に存在する被検査物が排除されることになるため、歩留まりが低下する。

【0006】

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、検査の結果、異常があると判定された被検査物を、エアの供給源からのエアの供給圧が低下しても、エアの噴射により確実に選別することが可能な選別装置及び検査装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の選別装置は、搬送手段により搬送中の被検査物に対して行われた検査の結果に基づきエアを噴射して被検査物を選別する複数の噴射手段と、供給源から供給を受けた圧縮されたエアを供給源から噴射手段に導入する流路と、流路に設けられ、圧縮されたエアを貯留するエアタンクと、流路のエアタンクの上流側に設けられる逆止弁と、を備える。

【0008】

このように構成した選別装置によれば、圧縮されたエアがエアタンクに貯留されるため、圧縮されたエアの供給源からのエアの供給圧が低下しても、エアタンクに残存するエアの圧力により、各噴射手段からのエアの噴射圧の低下を緩やかにすることができる。これにより、供給源からのエアの供給圧が回復し始めるまでの間の噴射圧の低下量を選別に支障がない程度にとどめることができる。

【0009】

流路の一部区間を複数経路化し、複数の経路として、区間の両端を直結する直結経路と、エアタンク、並びに、エアタンクの上流側に逆止弁及びエアタンクへの圧縮されたエアの流入を制限するスピードコントローラが設けられたエアタンク経路を、それぞれ少なくとも１ずつ含んでもよい。

【0010】

供給源からのエアの供給圧が低下後、エアタンクに貯留されたエアの圧力もエアの噴射により徐々に低下する。エアタンクが、供給源と噴射手段とを結ぶ流路に単純に挿入されていると、供給源からのエアの供給圧の回復過程において、供給圧の回復がエアタンク内のエアの圧力の回復に先に反映されてしまい、その分、下流にある噴射手段からのエアの噴射圧の回復への反映が遅れることになる。そこで、流路の一部を二経路化し、一方の経路にエアタンクと、エアタンクへの供給源からのエアの流入を制限するスピードコントローラを設け、他方の経路を噴射手段に直結させることで、供給源からのエアの供給圧の回復を噴射手段からのエアの噴射圧の回復に速やかに反映させるとともに、エアタンク内のエアの圧力を緩やかに回復させることができる。

【0011】

圧縮されたエアを供給源から流路に供給するに際し一定の圧力に減圧する減圧弁を備え、エアタンク経路において、逆止弁をスピードコントローラの上流側に設けてもよい。

【0012】

このように減圧弁を備えることで、流路に供給されるエアの圧力が安定するため、供給源からのエアの供給圧の不安定さに起因する逆止弁の閉鎖を防ぐことができ、より効率的にエアタンク内のエアの圧力を回復させることができる。

【0013】

エアタンク経路のエアタンクの下流側、及び直結経路のそれぞれに逆止弁を備えてもよい。

【0014】

このように逆止弁を備えることで、本発明の効果をより確実に得ることができる。

【0015】

本発明の検査装置は、被検査物を所定の方向に搬送する搬送手段と、被検査物に所定の電磁波を照射する照射手段と、被検査物を経た電磁波を検出し検出データを出力する検出手段と、検出データを検査し検査の結果を出力する検査手段と、上記いずれかの選別装置と、検査手段における検査の結果に基づき選別装置の噴射手段からのエアの噴射を制御する選別制御手段と、を備える。

【0016】

本発明の検査装置によれば、圧縮されたエアの供給源からのエアの供給圧が低下しても、エアタンクに残存するエアの圧力により、噴射手段からのエアの噴射圧の低下を緩やかにすることができる。これにより、供給源からのエアの供給圧が回復し始めるまでの間の噴射圧の低下量を、選別に支障がない程度にとどめることができるため、検査の結果、異常があると判定された被検査物を、エアの噴射により確実に選別することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】検査装置１００の構成の一例を示す正面図である。

【図2】検査装置１００の構成の一例を示す平面図である。

【図3】選別装置１６０の構成の一例を示す図である。

【図4】選別装置１６０の構成の別の一例を示す図である。

【図5】供給源と噴射手段群との間の流路構成の相違による噴射圧の回復経過の相違を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、同一の部材には同一の符号を付し、一度説明した部材については適宜その説明を省略する。

【0019】

本発明の検査装置１００の構成例を示す正面図を図１に、平面図を図２にそれぞれ示す。検査装置１００は、搬送手段１１０、照射手段１２０、検出手段１３０、検査手段１４０、選別制御手段１５０及び選別装置１６０を備える。

【0020】

搬送手段１１０は、載置された被検査物Ｗを所定の搬送方向に搬送する任意の方式のコンベアである。搬送手段１１０は、正面から見て、搬送方向に直交する方向（横断方向）に奥行きを持つ。

【0021】

照射手段１２０は、搬送手段１１０により搬送される被検査物Ｗに向け所定の電磁波を照射する。照射する電磁波の種類は、例えば、Ｘ線、可視光、赤外線など、検査の内容に応じて適宜選択してよい。

【0022】

検出手段１３０は、照射手段１２０から照射され被検査物Ｗを経た電磁波を検出可能な位置に配置され、被検査物Ｗを経て、又は直接的に到達した電磁波を検出して、所定の周期ごとに検出データを出力する。図１では、被検査物Ｗを透過した電磁波を検出可能とすべく、照射手段１２０に対向して配置される例を示している。

【0023】

検出手段１３０は、横断方向に配列された複数の検出素子を備え、それぞれの検出素子は所定の電磁波を検出し検出データを出力する。検出素子は、被検査物Ｗが搬送手段１１０に載置されうる横断方向の範囲以上の長さになる個数を配列することで、搬送手段１１０に載置された被検査物Ｗを隈なく検査することができる。

【0024】

検査装置１００においては、検出手段１３０における検出データの検査結果に基づき、検出手段１３０の搬送下流に設けられる選別装置１６０の噴射手段がエアを噴射することで選別を行う。

【0025】

具体的には、例えば、搬送手段１１０に被検査物Ｗが載置されうる横断方向の範囲内にある被検査物Ｗを選別するに際し、横断方向に複数連ねられた噴射手段で分担して選別可能とする場合、それぞれの噴射手段の上流に位置する検出手段１３０を構成する複数の検出素子を噴射手段の個数で分割した各部分における検出データに基づき、それぞれの噴射手段におけるエアの噴射が制御される。

【0026】

すなわち、例えば、搬送手段１１０に載置されうる横断方向の範囲の長さとなる検出素子の配列個数が８０個で、その範囲を８個の噴射手段で分担して選別するとき、それぞれの噴射手段の上流に位置する、８０個の検出素子を８分割した各部分の１０個の検出素子における検出データに基づき、それぞれの噴射手段におけるエアの噴射が制御される。

【0027】

このような、複数の検出素子を噴射手段の個数で分割した各部分を、以下において「センサ」と呼ぶ。すなわち検出手段１３０は、噴射手段と同じ個数のセンサを備える。このように構成することで、それぞれのセンサにおける検出データの検査結果に応じ、対応するそれぞれの噴射手段において振り分けを行うことが可能となる。

【0028】

各センサは、照射手段１２０から被検査物Ｗを経て、又は直接的に到達した電磁波を検出して、所定の周期ごとに検出データを出力する。図２は、センサＬ１～Ｌ８の８個のセンサを連ねて設けた例を示したものである。

【0029】

各センサが、電磁波を検出し検出データを蓄積して出力する周期は、例えば、センサの搬送方向の幅に相当する距離を、搬送手段１１０の搬送速度で通過する所要時間としてもよい。周期をこのように設定することで、検出手段１３０を通過する被検査物Ｗの全体を漏れなく検査することができる。

【0030】

なお、検出手段１３０を構成するセンサは、ラインセンサを１以上用いて適宜構成してもよい。例えばセンサが８個の場合、７個以下のラインセンサを分割して構成してもよいし、８個のラインセンサを用いて１対１に構成してもよいし、１個のセンサを２個以上のラインセンサを用いて構成してもよい。また、それぞれのセンサを搬送方向に複数列配列してＴＤＩセンサとして構成してもよい。

【0031】

検査手段１４０は、検出手段１３０の各センサから出力された検出データを検査し、異常を示す検出データを、値の大小などにより特定することによって、各センサにおける異常の検出の有無を検査結果として特定する。

【0032】

センサを構成する検出素子が２以上のとき、センサにおける検出データの検査結果は、各検出素子から出力された検出データの総合評価により得る。例えば、各検出素子から出力された検出データの値のそれぞれを任意の判定基準で検査した上で、更にそれぞれの検査結果を任意の判定基準で総合評価することにより得てもよいし、各検出素子から出力された検出データの値の総和を任意の判定基準で検査することにより得てもよい。

【0033】

選別制御手段１５０は、検出手段１３０の各センサからの検出データの出力時から、検出手段１３０から選別装置１６０までの搬送所要時間の経過後に、当該各センサが出力した検出データに対する検査手段１４０による検査により特定された、当該各センサにおける異常の検出の有無に基づき、当該各センサに対応する選別装置１６０の各噴射手段からのエアの噴射の有無を制御する。制御は、異常が検出された場合にエアが噴射され、検出されなかった場合に噴射されないように制御してもよいし、その逆に制御してもよい。

【0034】

選別装置１６０は、搬送手段１１０により搬送中の被検査物Ｗに対して検査手段１４０において行われた検査の結果に基づき、選別制御手段１５０の制御によりエアを噴射して被検査物Ｗを振り分ける。

【0035】

選別装置１６０は、流路Ｆ、噴射手段群１７０、エアタンク１８０及び逆止弁Ｃ１を備える。図２に検査装置１００における噴射手段群１７０の配置例を、図３に選別装置１６０の具体的な構成例をそれぞれ示す。

【0036】

流路Ｆは、コンプレッサ等の供給源Ａから供給を受けた圧縮されたエアの噴射手段群１７０への導入に用いる、供給源Ａと噴射手段群１７０とを結ぶ管路である。流路Ｆは噴射手段群１７０の手前で複数に分岐してそれぞれの噴射手段に接続される。

【0037】

噴射手段群１７０は、選別制御手段１５０による制御により、流路Ｆを経たエアを噴射する噴射手段を複数備える。

【0038】

噴射手段は、エアを噴射する噴射孔と、噴射孔の流路上流に設けられ選別制御手段１５０の制御により流路Ｆを開閉する電磁弁と、を備える。噴射孔は文字通り孔として備えてもよいし、ノズルの形態で備えてもよい。電磁弁は開くことでエアが噴射され、閉じることでエアの噴射が停止する。

【0039】

図２及び３は、噴射手段群１７０が噴射手段１７１～１７８を備え、それらに対応するセンサＬ１～Ｌ８を検出手段１３０が備える例を示したものである。噴射手段１７１～１７８は、それぞれ噴射孔Ｓ１～Ｓ８を備えるとともに、噴射孔Ｓ１～Ｓ８の流路上流にそれぞれ電磁弁Ｖ１～Ｖ８を備える。噴射孔Ｓ１～Ｓ８の位置及び向きは、それぞれがエアを噴射した際に、センサＬ１～Ｌ８の搬送下流にそれぞれ搬送されてきた被検査物Ｗにエアを的中させ、かつ、選別に十分な進行方向の変化を与えられるように設定する。

【0040】

例えば、図１に示すように搬送手段１１０の搬送方向末端の下流側に、被検査物Ｗが通過可能な間隙と段差をもって、搬送手段１１１を設ける。より具体的には、搬送手段１１０により搬送される被検査物Ｗが、搬送手段１１０の搬送方向末端から落下して着地する位置に、着地した被検査物Ｗを一定の方向に搬送する搬送手段１１１を設ける。また、噴射孔Ｓ１～Ｓ８の位置及び向きを、噴射したエアの的中により被検査物Ｗの進行方向が搬送手段１１０と搬送手段１１１との間の間隙を向くように設定する。

【0041】

このように設けた噴射孔から適切なタイミングでエアを噴出させ、落下中の被検査物Ｗにエアを的中させることで、被検査物Ｗの進行方向が間隙方向に変化し、間隙を通過した先にある図示しない受け皿等に落下する。すなわち、搬送手段１１０の搬送方向末端に到達した被検査物Ｗは、エアを噴射しなければ搬送手段１１１上に落下して搬送が継続され、エアが噴射されると受け皿等に落下するという形で選別することができる。なお、ここでは、エアを噴射しない場合に搬送手段１１１により被検査物Ｗの搬送が継続される例を示したが、搬送の必要がなければ、エアを噴射しない場合に被検査物Ｗが落下する位置にも受け皿等を設け、落下した被検査物Ｗを収集する形態を採ってもよい。また、エアを噴射された被検査物Ｗの搬送が別途継続されるよう、エアを噴射された被検査物Ｗが落下する位置に別の搬送手段を設けてもよい。

【0042】

エアタンク１８０は、流路Ｆに挿入され、供給源Ａから供給された圧縮されたエアを貯留する。

【0043】

逆止弁Ｃ１は、流路Ｆのエアタンク１８０の上流側に設けられる。逆止弁Ｃ１は、供給源Ａからのエアの供給圧が十分なときは、開状態となりエアを下流側にそのまま通過させる。一方、供給源Ａからのエアの供給圧が低下して下流側の圧力より低くなったときには閉状態となり、下流側に設けられたエアタンク１８０から上流側にエアが流出することを防ぐ。そしてこれにより、噴射手段群１７０にはエアタンク１８０に貯留されたエアが供給されることになる。

【0044】

以上のように構成した選別装置１６０によれば、圧縮されたエアがエアタンク１８０に貯留されるため、供給源Ａからのエアの供給圧が低下しても、エアタンク１８０に残存するエアの圧力により、噴射手段からのエアの噴射圧の低下を緩やかにすることができる。これにより、供給源Ａからのエアの供給圧が回復し始めるまでの間の噴射圧の低下量を選別に支障がない程度にとどめることができる。

【0045】

なお、流路Ｆの一部区間を複数経路化し、その複数の経路として、区間の両端を直結する直結経路Ｆ１と、エアタンク１８０、並びに、エアタンク１８０の上流側に逆止弁Ｃ１及びエアタンク１８０へのエアの流入を制限するスピードコントローラ１９０が設けられたエアタンク経路Ｆ２を、それぞれ少なくとも１ずつ含むように構成してもよい。図４は、直結経路Ｆ１とエアタンク経路Ｆ２をそれぞれ１ずつ含む例を示したものである。

【0046】

供給源Ａからのエアの供給圧の低下後、エアタンク１８０に貯留されたエアの圧力もエアの噴射により徐々に低下する。エアタンク１８０が、供給源Ａと噴射手段群１７０とを結ぶ流路に単純に挿入されていると、供給源Ａからのエアの供給圧の回復過程において、供給圧の回復がエアタンク１８０内のエアの圧力の回復に先に反映されてしまい、その分、下流にある噴射手段群１７０から噴射されるエアの噴射圧の回復への反映が遅れることになる。

【0047】

そこで、流路Ｆの一部区間において、区間両端を直結する直結経路Ｆ１と並列にエアタンク経路Ｆ２を設ける。エアタンク経路Ｆ２には、エアの流入量を制限するスピードコントローラ１９０が挿入されているため、供給源Ａから供給されたエアが優先的に直結経路Ｆ１を経由して噴射手段群１７０に供給されるとともに、エアタンク経路Ｆ２にも少量のエアが流入しエアタンク１８０に供給される。そのため、供給源Ａからの供給圧の回復過程において、供給源Ａからのエアの供給圧の回復が噴射手段群１７０からのエアの噴射圧の回復に速やかに反映されるとともに、エアタンク１８０内のエアの圧力も緩やかに回復させることができる。なお、スピードコントローラによるエアタンク経路Ｆ２へのエアの流入量の制限の程度は、供給源Ａからのエアの供給圧の回復後、再度供給圧が低下するまでの間にエアタンク１８０内のエアの圧力が十分に高まるように設定するとよい。

【0048】

図５は、エアタンク１８０を設けなかった場合（一点鎖線）、図３に示すようにエアタンク１８０を単純に挿入した場合（破線）、及び図４に示すように流路Ｆの一部に直結経路Ｆ１とエアタンク経路Ｆ２を設けた場合（実線）のそれぞれにおける、噴射手段群１７０から噴射されるエアの噴射圧の低下から回復に至るまでの時間的変化を示したグラフである。このグラフからわかるように、エアタンク１８０を設けることで、供給源Ａからのエアの供給圧が低下し、回復し始めるまでの間の噴射手段群１７０からのエアの噴射圧の低下の程度を小さく抑えることができ、図４に示すようにエアタンク１８０を設けることで、図３に示すようにエアタンク１８０を設けた場合と比べ、噴射手段群１７０から噴射されるエアの噴射圧を速やかに回復することができる。

【0049】

図４の構成において、供給源Ａから圧縮されたエアを流路Ｆに供給するに際し一定の圧力に減圧する減圧弁Ｒを備えてもよい。

【0050】

供給源Ａからのエアの供給圧が不安定な場合、減圧弁Ｒが無いと、供給圧の変動に伴い逆止弁Ｃ１の開閉が生じるおそれがある。このような現象がエアタンク１８０内のエアの圧力の回復途上で生じると、エアタンク１８０へのエアの供給が断続的になり圧力の回復に遅れが生じる。減圧弁Ｒを備えることで、供給源Ａからのエアの供給圧が安定していなくても、流路Ｆに供給されるエアの圧力を、供給源Ａからのエアの供給圧の変動範囲の下限以下の所定の値に設定することができる。これにより、流路Ｆに供給されるエアの圧力が安定し、供給源からのエアの供給圧の不安定さに起因する逆止弁の閉鎖を防ぐことができるため、エアタンク内のエアの圧力をより効率的に回復させることができる。

【0051】

なお、減圧弁Ｒを設ける場合、逆止弁Ｃ１はスピードコントローラ１９０の上流側に設けるのが望ましい。

【0052】

図４の構成において、エアタンク経路Ｆ２のエアタンク１８０の下流側に下流方向を順方向とする逆止弁Ｃ２を、直結経路Ｆ１に下流方向を順方向とする逆止弁Ｃ３を、更に備えてもよい。

【0053】

逆止弁Ｃ２、Ｃ３を備えることで、本発明の効果をより確実に得ることができる。具体的には、供給源Ａからのエアの供給圧が十分なときは、エアが噴射手段群１７０に十分な圧力で供給されるとともに、逆止弁Ｃ２への逆方向への加圧によりエアタンク１８０に充填されたエアの流出が阻止され、噴射手段群１７０からのエアの十分な噴射圧での噴射とエアタンク１８０へのエアの緩やかな充填が両立される。度重なる噴射により、供給源Ａからのエアの供給圧が低下してくると、逆止弁Ｃ２への逆方向の加圧が弱まり、かつ、逆止弁Ｃ１及びＣ３の存在によって、エアタンク１８０から噴射手段群１７０への十分な圧力でのエアの供給が開始される。続いて、供給源Ａからのエアの供給圧が回復してくると、供給源Ａからのエアとエアタンク１８０からのエアの双方が噴射手段群１７０に供給される状態となり、スピードコントローラ１９０の存在により、供給源Ａからのエアの供給圧の回復が噴射手段群１７０からのエアの噴射圧の回復に速やかに反映されるとともに、エアが消費されたエアタンク１８０に緩やかにエアを供給しエアタンク１８０内のエアの圧力が徐々に回復される。このような過程を経て、再び供給源Ａからのエアの供給が十分で、かつ、噴射手段群１７０からのエアの噴射圧が十分な状態に戻る。

【0054】

以上のように、本発明の検査装置１００及び選別装置１６０によれば、圧縮されたエアの供給源Ａからのエアの供給圧が低下しても、供給圧が回復し始めるまでの間の噴射手段群１７０からのエアの噴射圧の低下量を、選別に支障がない程度にとどめることができるため、検査の結果、異常があると判定された被検査物を、エアの噴射により確実に選別することができる。また、エアタンク１８０を図４に示すように配置することで、噴射手段群１７０からのエアの噴射圧を速やかに回復させることができる。

【0055】

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。すなわち、本発明において表現されている技術的思想の範囲内で適宜変更が可能であり、その様な変更や改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含む。

【符号の説明】

【0056】

１００ 検査装置
１１０、１１１ 搬送手段
１２０ 照射手段
１３０ 検出手段
１４０ 検査手段
１５０ 選別制御手段
１６０ 選別装置
１７０ 噴射手段群
１７１～１７８ 噴射手段
１８０ エアタンク
１９０ スピードコントローラ
Ａ 供給源
Ｃ１～Ｃ３ 逆止弁
Ｆ 流路
Ｆ１ 直結経路
Ｆ２ エアタンク経路
Ｌ１～Ｌ８ センサ
Ｒ 減圧弁
Ｓ１～Ｓ８ 噴射孔
Ｖ１～Ｖ８ 電磁弁
Ｗ 被検査物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】