特開 2022-175991 ファンフィルタユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022175991

(43)【公開日】2022-11-25

(54)【発明の名称】ファンフィルタユニット

(51)【国際特許分類】

   F24F 7/06 20060101AFI20221117BHJP

   F24F 7/003 20210101ALI20221117BHJP

   B01D 46/48 20060101ALI20221117BHJP

   B01D 46/42 20060101ALI20221117BHJP

   B03C 3/155 20060101ALI20221117BHJP

   B03C 3/40 20060101ALI20221117BHJP

   B03C 3/47 20060101ALI20221117BHJP

【ＦＩ】

F24F7/06 C

F24F7/003

F24F7/06 101A

B01D46/48

B01D46/42 Z

B03C3/155 A

B03C3/40 A

B03C3/47

【審査請求】未請求

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021082832

(22)【出願日】2021-05-14

(71)【出願人】

【識別番号】502129933

【氏名又は名称】株式会社日立産機システム

(74)【代理人】

【識別番号】110001689

【氏名又は名称】青稜弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】岩崎 真人

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 朋行

(72)【発明者】

【氏名】安達 東彦

(72)【発明者】

【氏名】徳永 太一

【テーマコード（参考）】

3L058

4D054

4D058

【Ｆターム（参考）】

3L058BG03

3L058BG05

3L058BK02

3L058BK05

3L058BK10

4D054AA15

4D054BA01

4D054BC08

4D054BC31

4D054EA22

4D058JA01

4D058KC02

4D058QA01

4D058QA03

4D058QA13

4D058QA19

4D058QA21

4D058SA04

4D058UA21

4D058UA30

(57)【要約】

【課題】
天井部に設置した排気用のＦＦＵにおいて、吸い込み面に付着した塵埃を室内に落下させないファンフィルタユニットを提供する。
【解決手段】
天井部に取り付けられ、ファン３とフィルタ４を備える排気用のファンフィルタユニットであって、前記フィルタ４の下方に、運転停止時に、フィルタ４に付着した塵埃の落下を防止する塵埃落下防止手段を設け、前記塵埃落下防止手段は、開口部２１を備える２枚のパンチング板５，６を相対的に移動可能とし、運転停止時は２枚のパンチング板の開口部を互い違いに配置し、吸込み口を閉鎖して塵埃の落下を防ぎ、運転時は２枚のパンチング板の開口部が重なる位置に移動させ、吸込み口を開放して空気を通すことを特徴とするものである。
【選択図】 図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

天井部に取り付けられ、ファンとフィルタを備える排気用のファンフィルタユニットであって、
前記フィルタの下方に、運転停止時に、フィルタに付着した塵埃の落下を防止する塵埃落下防止手段を設けたファンフィルタユニット。

【請求項2】

請求項１に記載のファンフィルタユニットにおいて、
前記塵埃落下防止手段は、
開口部を備える２枚のパンチング板を相対的に移動可能とし、
運転停止時は２枚のパンチング板の開口部を互い違いに配置し、吸込み口を閉鎖して塵埃の落下を防ぎ、
運転時は２枚のパンチング板の開口部が重なる位置に移動させ、吸込み口を開放して空気を通すことを特徴とするファンフィルタユニット。

【請求項3】

請求項２に記載のファンフィルタユニットにおいて、
ファンから前記パンチング板に通じるダクトを設け、風圧により前記パンチング板を移動させて、前記吸込み口の閉鎖と開放を行うことを特徴とするファンフィルタユニット。

【請求項4】

請求項３に記載のファンフィルタユニットにおいて、
前記ダクトの先端部にバルーンを配置し、前記パンチング板の押し出しに前記バルーンを用いることを特徴とするファンフィルタユニット。

【請求項5】

請求項３に記載のファンフィルタユニットにおいて、
前記ダクトの先端部にシリンダとピストンを配置し、前記パンチング板の押し出しに前記ピストンを用いることを特徴とするファンフィルタユニット。

【請求項6】

請求項２に記載のファンフィルタユニットおいて、
前記パンチング板に電動シリンダを取り付け、前記パンチング板の移動に電動シリンダを用いることを特徴とするファンフィルタユニット。

【請求項7】

請求項２～６の何れか１項に記載のファンフィルタユニットにおいて、
前記パンチング板の移動機構にレールを設けたことを特徴とするファンフィルタユニット。

【請求項8】

請求項２～６の何れか１項に記載のファンフィルタユニットおいて、
前記パンチング板の上部に防塵マットを取付け、前記防塵マットにより落下する塵埃を吸着することを特徴とするファンフィルタユニット。

【請求項9】

請求項２～６の何れか１項に記載のファンフィルタユニットにおいて、
前記パンチング板の開口部の周縁に上方に向かう出っ張りを設けたことを特徴とするファンフィルタユニット。

【請求項10】

請求項１に記載のファンフィルタユニットにおいて、
２枚のパンチング板を上下方向に離して配置し、２枚のパンチング板の開口部を互い違いに配置し、塵埃の直接落下を防止することを特徴とするファンフィルタユニット。

【請求項11】

請求項１０に記載のファンフィルタユニットおいて、
前記パンチング板の上部に防塵マットを取付け、前記防塵マットにより落下する塵埃を吸着することを特徴とするファンフィルタユニット。

【請求項12】

請求項１に記載のファンフィルタユニットにおいて、
前記塵埃落下防止手段は、
高電圧電源と帯電電極を備え、
前記塵埃を帯電させ、前記パンチング板に吸着させることで、前記塵埃の落下を防止することを特徴とするファンフィルタユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、クリーンルームなどに設けるファンフィルタユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

クリーンルームにおいては、天井部に複数の給気用のファンフィルタユニット(以下、ＦＦＵ：Fan Filter Unitともいう。)を配置し、クリーンルーム室内に清浄な空気を吹き出し、室内を清浄な状態に保っている。また、天井部に排気用のＦＦＵを配置し、室内の空気を排気するために用いることがある。本発明は、排気用のＦＦＵを対象とする。

【0003】

特許文献１には、「給気型および排気型として使用できるファンフィルタユニットを提供する。ファンフィルタユニットは、ファンフィルタユニット本体と、ファンフィルタユニットを設置場所に設置するための設置部と、を備える。ファンフィルタユニット本体は、筐体と、ファンと、フィルタと、空気を吸入する吸気部と、空気を排出する排気部と、を備える。ファンフィルタユニット本体は、吸気部および排気部の位置が変わる方向に回転可能に設置部と接続されている。」（要約参照）と記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１７－１６１１３０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

天井部に設置したＦＦＵを室内の空気を排気するために使用する場合、運転停止時に吸い込み面に付着した塵埃が室内に落下することが懸念されている。

【0006】

特許文献１には、ファンとフィルタを備えるファンフィルタユニットを回転させることにより、給気型と排気型として使用できるファンフィルタユニットが開示されているが、吸い込み面に付着した塵埃の室内への落下を防止することは考慮されていない。

【0007】

本発明は、天井部に設置した排気用のＦＦＵにおいて、吸い込み面に付着した塵埃を室内に落下させないファンフィルタユニットを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するための、本発明の「ファンフィルタユニット」の一例を挙げるならば、天井部に取り付けられ、ファンとフィルタを備える排気用のファンフィルタユニットであって、前記フィルタの下方に、運転停止時に、フィルタに付着した塵埃の落下を防止する塵埃落下防止手段を設けるものである。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、塵埃落下防止構造を設けることで、フィルタの吸い込み面に付着した塵埃を室内に落下させないファンフィルタユニットを提供することができる。

【0010】

上記した以外の課題、構成および効果は以下の実施形態の説明により明らかにされる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】一般的なクリーンルームの概略図である。

【図2】本発明のＦＦＵが適用されるクリーンルームの概略図である。

【図3】実施例１のＦＦＵの概略構成図である。

【図4A】ＦＦＵの運転停止時の、２枚のパンチング板の配置図である。

【図4B】ＦＦＵの運転時の、２枚のパンチング板の配置図である。

【図5】実施例２のＦＦＵの概略構成図である。

【図6】実施例３のＦＦＵの概略構成図である。

【図7】実施例４のＦＦＵの概略構成図である。

【図8】実施例５のＦＦＵの概略構成図である。

【図9】実施例６のＦＦＵの概略構成図である。

【図10】実施例７のＦＦＵの概略構成図である。

【図11】実施例８のＦＦＵの概略構成図である。

【図12】実施例９のＦＦＵの概略構成図である。

【図13】実施例１０のＦＦＵの概略構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

実施例の説明に先立って、クリーンルームについて説明する。図１は、一般的なクリーンルームの概略図である。図１において、クリーンルーム１の天井部には給気用のＦＦＵ２ａが配置され、室外から空気を取り入れ、清浄な空気をクリーンルーム１の室内に吹き出す。図では、１つのＦＦＵ２ａとして記載しているが、通常、クリーンルームの天井部には複数のＦＦＵ２ａが配置されている。

【0013】

図２に、本発明のＦＦＵが適用されるクリーンルームの概略図を示す。クリーンルーム１の天井部には給気用のＦＦＵ２ａに加えて、排気用のＦＦＵ２ｂが配置され、排気時に、クリーンルーム室内の空気を取り入れ、塵埃などを除去して清浄化した空気を室外へ排出する。本発明のＦＦＵは、図２のように天井部に配置され、室内の空気を室外へ排気する場合に適用される。

【0014】

以下、本発明の実施例を、図面を用いて説明する。ただし、本発明は以下に示す実施例の記載内容に限定して解釈されるものではない。本発明の思想ないし主旨から逸脱しない範囲で、その具体的構成を変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。
なお、実施例を説明するための各図において、同一の構成要素には同一の名称、符号を付して、その繰り返しの説明を省略する。

【実施例0015】

図３は、実施例１の排気用のＦＦＵ２ｂの概略図である。図は、ＦＦＵ２ｂの運転停止時の状態を示している。ファン３には、クリーンルーム側にフィルタ４が取り付けられている。フィルタ４の下方であるクリーンルーム室内側には、本発明の特徴構成である塵埃落下防止手段が設けられている。本実施例の塵埃落下防止手段は、フィルタ４の下側にパンチング板を２枚取り付ける構造である。パンチング板には、例えば丸穴からなる開口部が多数設けられている。１次側パンチング板５に対して、２次側パンチング板６がスライドして移動可能に設けられている。２次側パンチング板６は、ばね８により図の左方向に引っ張られている。また、ファン３から２次側パンチング板６の側面に向かうダクト７が設けられている。

【0016】

ＦＦＵの停止時には、２次側パンチング板６がばね８により左方向に引っ張られ、図４Ａに示すように、１次側パンチング板５の開口部２１と２次側パンチング６の開口部２１を互い違いに配置し、吸込み口を閉鎖している。

【0017】

ＦＦＵの運転時には、ファン３が回転しダクト７からの風圧により、２次側パンチング板６の側面を右方向に押圧する。そして、図４Ｂに示すように、２枚のパンチング板の開口部２１が重なる位置に２次側パンチング板６を移動させ、吸込み口を開放する。この際、例えば１次側パンチング板５にストッパを設けて置き、２次側パンチング板６が１次側パンチング板５とぶつかる位置で穴位置が合うような構造とすればよい。ＦＦＵが運転すると、ファン３の回転によりクリーンルーム室内の空気が室外に排気される。この時、クリーンルーム室内の塵埃などがフィルタ４の下面に付着する。

【0018】

ＦＦＵの運転終了後は、バネ８により２次側パンチング板６を初期位置に戻し、図４Ａに示すように、吸込み口を塞いで塵埃の室内への落下を防ぐ。

【0019】

ＦＦＵの使用を継続すると、パンチング板上に塵埃などが堆積するが、フィルタ４の交換時に清掃すればよい。

【0020】

本実施例によれば、排気用のＦＦＵにおいて、フィルタの下側に移動可能な２枚のパンチング板を配置し、運転停止時にパンチング板の吸い込み口を塞ぐようにしたので、運転停止時に、フィルタへ付着した塵埃の室内への落下を防止することができる。

【実施例0021】

図５に、実施例２の排気用のＦＦＵ２ｂを示す。

【0022】

図に示すように、実施例１のＦＦＵにおいて、ダクト７の空気の出口にバルーン９を配置する。その他の構造は、実施例１のＦＦＵと同様である。バルーンを設けることにより、空気の漏れが少なくなり、２次側パンチング板６の側面を良好に押圧することができる。