特開 2022-176065 圧電ユニット及びアクチュエータ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022176065

(43)【公開日】2022-11-25

(54)【発明の名称】圧電ユニット及びアクチュエータ装置

(51)【国際特許分類】

   G02B 26/10 20060101AFI20221117BHJP

   H01L 41/09 20060101ALI20221117BHJP

   H01L 41/083 20060101ALI20221117BHJP

   H02N 2/04 20060101ALI20221117BHJP

   G02B 26/08 20060101ALN20221117BHJP

【ＦＩ】

G02B26/10 104Z

H01L41/09

H01L41/083

H02N2/04

G02B26/08 E

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022017045

(22)【出願日】2022-02-07

(62)【分割の表示】P 2021080861の分割

【原出願日】2021-05-12

(71)【出願人】

【識別番号】000236436

【氏名又は名称】浜松ホトニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100140442

【弁理士】

【氏名又は名称】柴山 健一

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 大幾

(72)【発明者】

【氏名】大崎 拓真

(72)【発明者】

【氏名】野崎 慎

(72)【発明者】

【氏名】杉崎 滉太

【テーマコード（参考）】

2H045

2H141

5H681

【Ｆターム（参考）】

2H045AB06

2H045AB38

2H045AB43

2H045AB81

2H141MA12

2H141MB24

2H141MC09

2H141MD12

2H141MD16

2H141MD20

2H141MD24

2H141MG06

2H141MZ06

2H141MZ12

2H141MZ24

2H141MZ28

2H141MZ30

5H681AA12

5H681DD23

5H681DD39

5H681FF08

(57)【要約】

【課題】圧電素子での短絡を防止しつつ、金属基板と圧電素子との電気的な接続を確実化することができ、所望の駆動特性を得ることができる圧電ユニット及びアクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】金属基板３の載置面３１ａに配置された駆動用圧電素子６は、載置面３１ａとは反対側の第１主面６１ａ、載置面３１ａ側の第２主面６１ｂ、及び側面６１ｃを有する駆動用圧電体６１と、第１主面６１ａに配置された第１電極６２と、を有する。駆動用圧電素子６は、載置面３１ａの一部が側面６１ｃの外側に位置するように、載置面３１ａに配置されている。導電性を有する第２接着部材８は、載置面３１ａと駆動用圧電素子６との間に配置された第１部分８１と、第１部分８１から連続し、載置面３１ａの一部及び側面６１ｃによって形成された隅部Ｃ１に配置された第２部分８２と、を有する。第２部分８２は、第１電極６２に至っていない。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

金属基板と、
前記金属基板の載置面に配置された圧電素子と、
導電性を有し、前記金属基板と前記圧電素子とを接着する接着部材と、を備え、
前記圧電素子は、
前記載置面とは反対側の第１主面、前記載置面側の第２主面、及び側面を有する圧電体と、
前記第１主面に配置された第１電極と、を有し、
前記圧電素子は、前記載置面の一部が前記側面の外側に位置するように、前記載置面に配置されており、
前記接着部材は、
前記載置面と前記圧電素子との間に配置された第１部分と、
前記第１部分から連続し、前記載置面の前記一部及び前記側面によって形成された隅部に配置された第２部分と、を有し、
前記第２部分は、前記第１電極に至っていない、圧電ユニット。

【請求項2】

前記金属基板の厚さ方向から見た場合に、前記第１電極の外縁は、前記圧電体の外縁よりも内側に位置している、請求項１に記載の圧電ユニット。

【請求項3】

前記金属基板の厚さ方向から見た場合における前記第１電極の前記外縁と前記圧電体の前記外縁との距離は、前記圧電体の厚さよりも大きい、請求項２に記載の圧電ユニット。

【請求項4】

前記金属基板の厚さ方向から見た場合における前記第１電極の前記外縁と前記圧電体の前記外縁との距離は、前記圧電体の厚さ以下である、請求項２に記載の圧電ユニット。

【請求項5】

前記第２部分の少なくとも一部は、前記側面における前記第１電極側の領域に至っている、請求項１～４のいずれか一項に記載の圧電ユニット。

【請求項6】

前記第２部分は、前記第１主面の外縁に至っていない、請求項１～５のいずれか一項に記載の圧電ユニット。

【請求項7】

前記圧電素子は、前記第２主面に配置された第２電極を更に有する、請求項１～６のいずれか一項に記載の圧電ユニット。

【請求項8】

前記隅部において、前記第２部分を覆う保護部材を更に備える、請求項１～７のいずれか一項に記載の圧電ユニット。

【請求項9】

前記保護部材は、前記第１電極の側面を更に覆っている、請求項８に記載の圧電ユニット。

【請求項10】

前記圧電素子とは別の圧電素子を更に備え、
前記接着部材は、前記圧電素子と前記別の圧電素子とを接着しており、
前記別の圧電素子は、
前記第１電極の表面に配置され、
前記表面とは反対側の第３主面、前記表面側の第４主面、及び前記圧電体の前記側面とは別の側面を有し、前記圧電体とは別の圧電体と、
前記第３主面に配置された第３電極と、を有し、
前記別の圧電素子は、前記表面の一部が前記別の側面の外側に位置するように、前記第１電極の前記第１主面に配置されており、
前記接着部材は、
前記表面と前記別の圧電素子との間に配置された第３部分と、
前記第３部分から連続し、前記表面の前記一部及び前記別の側面によって形成された前記隅部とは別の隅部に配置された第４部分と、を更に有し、
前記第４部分は、前記第３電極に至っていない、請求項１～９のいずれか一項に記載の圧電ユニット。

【請求項11】

請求項１～１０のいずれか一項に記載の圧電ユニットと、
前記金属基板を支持する支持体と、を備え、
前記金属基板は、
可動部と、
前記圧電素子が配置された本体部と、
前記可動部と前記本体部とを連結する連結部と、を有する、アクチュエータ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、圧電ユニット及びアクチュエータ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１に記載の光スキャナは、反射ミラー面を有する基板と、基板上に配置された圧電素子と、基板と圧電素子の下部電極との間に配置された導電性接着剤と、導電性接着剤を囲むように配置された絶縁性のアンダーフィル材と、を備えている。特許文献１に記載の光スキャナでは、導電性接着剤が圧電素子の上部電極に至ることによって圧電素子で短絡が生じることを防止するために、絶縁性のアンダーフィル材が、基板と圧電素子との間から圧電素子の側面に至るように配置されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１１－１５００３８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の光スキャナでは、基板と圧電素子との間に、導電性接着剤とアンダーフィル材との界面が存在しているため、金属基板への圧電素子の振動の伝搬が阻害され、金属基板の駆動効率が低下するおそれがある。また、仮に、特許文献１に記載の光スキャナの圧電素子が、反射ミラー部の揺動角度を検知するためのものである場合には、導電性接着剤とアンダーフィル材との界面が存在しているため、反射ミラー部の揺動角度の検知精度が低下するおそれがある。更に、特許文献１に記載の光スキャナでは、基板と圧電素子との間に、導電性接着剤だけでなく、絶縁性のアンダーフィル材が存在しているため、基板と圧電素子との電気的な接続の信頼性が低下するおそれがある。

【0005】

本発明は、圧電素子での短絡を防止しつつ、金属基板と圧電素子との電気的な接続を確実化することができ、所望の駆動特性を得ることができる圧電ユニット及びアクチュエータ装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の圧電ユニットは、金属基板と、金属基板の載置面に配置された圧電素子と、導電性を有し、金属基板と圧電素子とを接着する接着部材と、を備え、圧電素子は、載置面とは反対側の第１主面、載置面側の第２主面、及び側面を有する圧電体と、第１主面に配置された第１電極と、を有し、圧電素子は、載置面の一部が側面の外側に位置するように、載置面に配置されており、接着部材は、載置面と圧電素子との間に配置された第１部分と、第１部分から連続し、載置面の一部及び圧電体の側面によって形成された隅部に配置された第２部分と、を有し、第２部分は、第１電極に至っていない。

【0007】

この圧電ユニットでは、接着部材が、載置面と圧電素子との間に配置された第１部分と、載置面の一部及び圧電体の側面によって形成された隅部に配置された第２部分と、を有しており、第２部分が第１部分から連続している。これにより、圧電素子が金属基板に振動を発生させるための駆動用圧電素子である場合には、金属基板に圧電体の振動が適切に伝搬することになる。また、圧電素子が、金属基板が有する光学機能部の揺動角度を検知するための検知用圧電素子である場合には、光学機能部の揺動角度が精度良く検知されることになる。したがって、所望の駆動特性を得ることができ、且つ金属基板と圧電素子との電気的な接続を確実化することができる。更に、接着部材の第２部分が第１電極に至っていないため、圧電素子での短絡を防止することができる。よって、この圧電ユニットによれば、圧電素子での短絡を防止しつつ、金属基板と圧電素子との電気的な接続を確実化することができ、所望の駆動特性を得ることができる。

【0008】

本発明の圧電ユニットでは、金属基板の厚さ方向から見た場合に、第１電極の外縁は、圧電体の外縁よりも内側に位置していてもよい。これにより、接着部材が、第１主面の外縁に接着部材が至ったとしても第１電極には至らない構成を実現することができるため、圧電素子での短絡を防止することができる。

【0009】

本発明の圧電ユニットでは、金属基板の厚さ方向から見た場合における第１電極の外縁と圧電体の外縁との距離は、圧電体の厚さよりも大きくてもよい。これにより、第１主面の外縁と第１電極との距離を確保することができるため、接着部材が第１電極に至らない構成を確実に実現することができる結果、圧電素子での短絡をより一層防止することができる。

【0010】

本発明の圧電ユニットでは、金属基板の厚さ方向から見た場合における第１電極の外縁と圧電体の外縁との距離は、圧電体の厚さ以下であってもよい。これにより、第１主面の外縁と第１電極との距離の確保と、第１電極の大きさの確保とを、バランス良く実現することができる結果、圧電素子での短絡の防止及び所望の駆動効率の確保の両方を実現することができる。

【0011】

本発明の圧電ユニットでは、第２部分の少なくとも一部は、圧電体の側面における第１電極側の領域に至っていてもよい。これにより、金属基板と圧電素子との接着強度を向上させることができる。

【0012】

本発明の圧電ユニットでは、第２部分は、第１主面の外縁に至っていなくてもよい。これにより、金属基板と圧電素子との接着強度を向上させつつ、接着部材が第１電極に至らない構成を確実に実現することができる。

【0013】

本発明の圧電ユニットでは、圧電素子は、第２主面に配置された第２電極を更に有してもよい。これにより、接着部材の濡れ性が向上するため、金属基板と圧電素子との電気的な接続をより一層確実化することができる。また、仮に、金属基板と第２電極との間において第１部分にクラックが発生したとしても、第２電極全体への通電を維持することができるので、圧電素子において電界分布の乱れを防止することができる。

【0014】

本発明の圧電ユニットでは、隅部において、第２部分を覆う保護部材を更に備えていてもよい。これにより、接着部材の劣化を防止することができる。

【0015】

本発明の圧電ユニットでは、保護部材は、第１電極の側面を更に覆っていてもよい。これにより、第１電極の劣化を更に防止することができる。

【0016】

本発明の圧電ユニットは、上記圧電素子とは別の圧電素子を更に備え、接着部材は、上記圧電素子と別の圧電素子とを接着しており、別の圧電素子は、第１電極の表面に配置され、上記表面とは反対側の第３主面、上記表面側の第４主面、及び圧電体の側面とは別の側面を有し、上記圧電体とは別の圧電体と、第３主面に配置された第３電極と、を有し、別の圧電素子は、上記表面の一部が別の側面の外側に位置するように、上記表面に配置されており、接着部材は、上記表面と別の圧電素子との間に配置された第３部分と、第３部分から連続し、上記表面の一部及び別の側面によって形成された隅部とは別の隅部に配置された第４部分と、を更に有し、第４部分は、第３電極に至っていなくてもよい。これにより、上記圧電素子と別の圧電素子とを積層する場合において、上記圧電素子と別の圧電素子との接着強度を確保することができる。

【0017】

本発明のアクチュエータ装置は、上記圧電ユニットと、金属基板を支持する支持体と、を備え、金属基板は、可動部と、圧電素子が配置された本体部と、可動部と本体部とを連結する連結部と、を有する。

【0018】

このアクチュエータ装置では、上記圧電ユニットを備えているため、上記圧電ユニットと同様の理由により、圧電素子での短絡を防止しつつ、金属基板と圧電素子との電気的な接続を確実化することができ、所望の駆動特性を得ることができる。

【発明の効果】

【0019】

本発明によれば、圧電素子での短絡を防止しつつ、金属基板と圧電素子との電気的な接続を確実化することができ、所望の駆動特性を得ることができる圧電ユニット及びアクチュエータ装置を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】一実施形態の圧電ユニットを備えるアクチュエータ装置の斜視図である。

【図2】図１に示されるアクチュエータ装置の平面図である。

【図3】図２に示される金属基板、駆動用圧電素子及び検知用圧電素子の一部分の平面図である。

【図4】図３に示されるIV－IV線に沿っての断面図である。

【図5】図３に示されるV－V線に沿っての断面図である。

【図6】第１変形例の金属基板、駆動用圧電素子及び第２接着部材の断面図である。

【図7】第２変形例の金属基板、駆動用圧電素子及び第２接着部材の断面図である。

【図8】第３変形例の金属基板、駆動用圧電素子及び第２接着部材の断面図である。

【図9】第４変形例の金属基板、駆動用圧電素子及び第２接着部材の断面図である。

【図10】第５変形例の金属基板、駆動用圧電素子及び第２接着部材の断面図である。

【図11】第６変形例の金属基板、駆動用圧電素子及び第２接着部材の断面図である。

【図12】第７変形例のアクチュエータ装置の平面図である。

【図13】図１２に示される金属基板、検知用圧電素子及び駆動用圧電素子の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［アクチュエータ装置の構成］

【0022】

図１及び図２に示されるように、アクチュエータ装置１は、配線基板（支持体）２と、金属基板３と、第１接着部材４と、光学面５１を有する光学機能部５と、駆動用圧電素子（圧電素子）６と、検知用圧電素子（別の圧電素子）７と、第２接着部材（接着部材）８と、を備えている。光学機能部５は、金属基板３に設けられている。アクチュエータ装置１は、例えば、パッケージ（図示せず）に収容されている。一例として、パッケージは、側壁、底壁、及び光を透過する材料からなる天壁を有し、箱状を呈している。例えば、アクチュエータ装置１において、レーザ光が天壁を介してパッケージ内に入射されると、レーザ光が、駆動用圧電素子６によって金属基板３を介して周期的に揺動されている光学機能部５の光学面５１で反射され、天壁を介して外部に出射される。パッケージからのレーザ光の出射方向は、光学面５１の揺動に応じて周期的且つ連続的に変化する。つまり、本実施形態では、アクチュエータ装置１は、光走査装置である。

【0023】

配線基板２は、載置面２ａを有している。配線基板２には、載置面２ａ及び載置面２ａとは反対側の面に開口する開口２ｂが形成されている。配線基板２は、例えば、矩形枠状を呈している。配線基板２の材料の例としては、シリコン、セラミック、石英、ガラス及びプラスチックが挙げられる。配線基板２の厚さは、十分な剛性が確保できる厚さとすればよく、例えば、０．８ｍｍ以上である。本実施形態では、配線基板２の厚さは、１．６ｍｍである。以下の説明では、配線基板２の厚さ方向をＺ軸方向（金属基板の厚さ方向）といい、Ｚ軸方向に垂直な一方向をＸ軸方向といい、Ｚ軸方向及びＸ軸方向の両方向に垂直な方向をＹ軸方向という。

【0024】

配線基板２の載置面２ａには、複数（本実施形態では、３つ）の電極パッド２１，２２，２３が配置されている。複数の電極パッド２１，２２，２３は、配線基板２の開口２ｂに対してＹ軸方向における一方の側に位置しており、Ｘ軸方向に沿って並んでいる。載置面２ａには、コネクタ２４が取り付けられている。コネクタ２４は、駆動用圧電素子６及び検知用圧電素子７のそれぞれに対して電圧信号等を入出力するためのポートである。コネクタ２４は、例えば、複数の電極パッド２１，２２，２３に対してＹ軸方向における一方の側に位置している。コネクタ２４は、複数の端子２５を有している。コネクタ２４は、複数の端子２５及び配線基板２の配線等を介して、複数の電極パッド２１，２２，２３と電気的に接続されている。

【0025】

金属基板３は、配線基板２によって支持されている。金属基板３は、例えば、鉄系、ステンレス系、銅系、パーマロイド系、チタン系、タングステン系、モリブデン系等の金属からなり、板状を呈している。金属基板３の厚さは、例えば、５０～５００μｍである。第１接着部材４は、配線基板２と金属基板３とを接着している。第１接着部材４は、導電性を有している。第１接着部材４の材料の例としては、Ａｇ粒子を含有するエポキシ樹脂が挙げられる。

【0026】

金属基板３は、本体部３１と、可動部３２と、第１延在部３３と、第２延在部３４と、第１連結部（連結部）３５と、第２連結部（連結部）３６と、第１接続部３７と、第２接続部３８と、第３接続部３９と、を有している。可動部３２、第１延在部３３、第２延在部３４、第１連結部３５、第２連結部３６、第１接続部３７、第２接続部３８及び第３接続部３９は、一体的に形成されている。

【0027】

本体部３１は、駆動用圧電素子６が固定されている（配置されている）部分である。本体部３１は、Ｚ軸方向から見た場合に、配線基板２の開口２ｂ内に位置している。可動部３２は、光学機能部５が配置されている部分である。可動部３２は、本体部３１に対してＹ軸方向における他方の側に位置している。

【0028】

第１延在部３３及び第２延在部３４は、可動部３２が間に位置するように本体部３１から延在している。本実施形態では、可動部３２は、第１延在部３３及び第２延在部３４の中間に位置している。第１延在部３３及び第２延在部３４は、例えば、Ｙ軸方向に沿って、互いに平行に延在している。本実施形態では、第１延在部３３は、第２延在部３４と同一の形状を有している。

【0029】

第１連結部３５は、第１延在部３３と可動部３２との間でＸ軸方向に沿って延在している。第１連結部３５の一端部は、第１延在部３３と接続されており、第１連結部３５の他端部は、可動部３２と接続されている。すなわち、第１連結部３５は、第１延在部３３と可動部３２とを連結している。

【0030】

第２連結部３６は、第２延在部３４と可動部３２との間でＸ軸方向に沿って延在している。第２連結部３６の一端部は、第２延在部３４と接続されており、第２連結部３６の他端部は、可動部３２と接続されている。すなわち、第２連結部３６は、第２延在部３４と可動部３２とを連結している。

【0031】

本実施形態では、第１連結部３５及び第２連結部３６は、Ｘ軸方向に沿った単一の直線上に位置している。上述した第１延在部３３及び第２延在部３４と可動部３２との位置関係から、Ｘ軸方向における第１連結部３５の長さは、Ｘ軸方向における第２連結部３６の長さと同一となる。本実施形態では、第１連結部３５は、第２連結部３６の形状と同一の形状を有している。

【0032】

可動部３２、第１延在部３３、第２延在部３４、第１連結部３５及び第２連結部３６は、Ｚ軸方向から見た場合に、配線基板２の開口２ｂ内に位置している。第１連結部３５及び第２連結部３６は、第１延在部３３及び第２延在部３４の変形（変位）に応じてねじれるように弾性変形するトーションバーとして機能する。可動部３２は、第１連結部３５及び第２連結部３６の弾性変形に応じて、Ｘ軸方向に沿った軸の周りに揺動される。すなわち、可動部３２は、第１連結部３５及び第２連結部３６を介して、第１延在部３３及び第２延在部３４に、揺動可能に支持されている。

【0033】

光学機能部５は、可動部３２における開口２ｂとは反対側の面に配置されている。光学機能部５は、例えば、円板状を呈している。光学機能部５は、光学面５１が可動部３２とは反対側に向くように、可動部３２に取り付けられている。光学面５１は、Ｘ軸方向において、第１延在部３３と第２延在部３４との中間に位置している。本実施形態では、金属基板３及び光学面５１のそれぞれは、Ｙ軸方向に沿って光学面５１の中心を通る直線に対して線対称の形状を有している。一例として、光学機能部５は、シリコン等の半導体材料、又はガラスからなり、光学面５１は、光学機能部５において可動部３２とは反対側の面に形成された反射膜によって構成されている。すなわち、光学面５１は、ミラー面（反射面）である。なお、光学機能部５の反射膜は省略可能である。その場合、上記反対側の面自体を光学面５１としてもよい。

【0034】

第１接続部３７は、第１延在部３３に接続されている。第１接続部３７は、第１延在部３３に対してＹ軸方向における他方の側に位置している。第１接続部３７において、Ｙ軸方向における他方の側の部分は、配線基板２の一部分と対向している。第１接続部３７の当該他方の側の部分と配線基板２の当該一部分との間には、第１接着部材４が配置されている。なお、配線基板２の当該一部分には、電極パッド２３と同電位となるように電極パッド２３と電気的に接続された電極パッド（図示せず）が配置されていてもよい。

【0035】

第２接続部３８は、第２延在部３４に接続されている。第２接続部３８は、第２延在部３４に対してＹ軸方向における他方の側に位置している。第２接続部３８において、Ｙ軸方向における他方の側の部分は、配線基板２の一部分と対向している。第２接続部３８の当該他方の側の部分と配線基板２の当該一部分との間には、第１接着部材４が配置されている。なお、配線基板２の当該一部分には、電極パッド２３と同電位となるように電極パッド２３と電気的に接続された電極パッド（図示せず）が配置されていてもよい。本実施形態では、第１接続部３７と第２接続部３８とは、Ｙ軸方向に沿って光学面５１の中心を通る直線に対して線対称の関係にある。

【0036】

第３接続部３９は、本体部３１に接続されている。第３接続部３９は、本体部３１に対してＹ軸方向における一方の側に位置している。第３接続部３９において、Ｙ軸方向における一方の側の部分は、配線基板２の一部分（電極パッド２３が配置されている部分）と対向している。第３接続部３９の当該一方の側の部分と配線基板２の当該一部分との間には、第１接着部材４が配置されている。

【0037】

駆動用圧電素子６は、金属基板３に板波を発生させてアクチュエータ装置１を駆動させるための素子である。駆動用圧電素子６は、本体部３１における開口２ｂとは反対側の載置面３１ａに配置されている。Ｘ軸方向における駆動用圧電素子６の中心は、Ｘ軸方向における可動部３２の中心（すなわち、Ｘ軸方向における光学面５１の中心）と一致している。駆動用圧電素子６は、駆動用圧電体（圧電体）６１と、第１電極６２と、第２電極６３（図３参照）と、を含んでいる。

【0038】

駆動用圧電体６１は、第１主面６１ａ及び第２主面６１ｂ（図３参照）を含んでいる。第１主面６１ａは、駆動用圧電体６１における載置面３１ａとは反対側の主面である。第１主面６１ａには、第１電極６２が配置されている。第２主面６１ｂは、駆動用圧電体６１における載置面３１ａ側の主面である。第２主面６１ｂには、第２電極６３が配置されている。第１電極６２及び第２電極６３のそれぞれは、例えば、Ｎｉ／Ａｕ層である。Ｎｉ／Ａｕ層においては、Ｎｉ層が第１主面６１ａに配置され、Ａｕ層がＮｉ層上に配置されており、Ｎｉ層の厚さがＡｕ層の厚さと比較して大きい。駆動用圧電体６１、第１電極６２及び第２電極６３のそれぞれは、例えば、矩形板状を呈している。駆動用圧電体６１は、第１電極６２と接合されることにより、第１電極６２と電気的に接続されている。駆動用圧電体６１は、第２電極６３と接合されることにより、第２電極６３と電気的に接続されている。第２電極６３と本体部３１との間には、第２接着部材８が配置されている。第２接着部材８は、駆動用圧電体６１と金属基板３とを接着している。第２接着部材８は、導電性を有している。第２接着部材８の材料の例としては、Ａｇ粒子を含有するエポキシ樹脂が挙げられる。

【0039】

検知用圧電素子７は、光学面５１の揺動角度を検知するための素子である。検知用圧電素子７は、表面６２ａに配置されている。表面６２ａは、第１電極６２における駆動用圧電体６１とは反対側の主面である。Ｘ軸方向における検知用圧電素子７の中心は、Ｘ軸方向における駆動用圧電素子６の中心と一致している。検知用圧電素子７は、検知用圧電体（別の圧電体）７１と、第３電極７２と、第４電極７３（図５参照）と、を含んでいる。検知用圧電体７１は、第３主面７１ａ及び第４主面７１ｂ（図５参照）を含んでいる。第３主面７１ａは、検知用圧電体７１における第１電極６２とは反対側の主面である。第３主面７１ａには、第３電極７２が配置されている。第４主面７１ｂは、検知用圧電体７１における第１電極６２側の主面である。第４主面７１ｂには、第４電極７３が配置されている。第３電極７２及び第４電極７３のそれぞれは、例えば、Ｎｉ／Ａｕ層である。検知用圧電体７１、第３電極７２及び第４電極７３のそれぞれは、例えば、矩形板状を呈している。検知用圧電体７１は、第３電極７２と接合されることにより、第３電極７２と電気的に接続されている。駆動用圧電体６１は、第４電極７３と接合されることにより、第４電極７３と電気的に接続されている。第４電極７３と第１電極６２との間には、第２接着部材８が配置されている。第２接着部材８は、検知用圧電体７１と駆動用圧電体６１とを接着している。

【0040】

ここで、配線基板２、金属基板３、駆動用圧電素子６及び検知用圧電素子７の電気的な接続関係について説明する。図２に示されるように、駆動用圧電素子６の第１電極６２は、ワイヤ１１を介して、電極パッド２１と電気的に接続されている。電極パッド２１は、配線基板２の配線を介して、コネクタ２４の端子２５と電気的に接続されている。つまり、駆動用圧電素子６の第１電極６２は、ワイヤ１１、電極パッド２１、及び配線基板２の配線を介して、コネクタ２４と電気的に接続されている。

【0041】

駆動用圧電素子６の第２電極６３は、第２電極６３と本体部３１との間に配置された第２接着部材８を介して、金属基板３と電気的に接続されている。金属基板３の第３接続部３９は、第３接続部３９と電極パッド２３との間に配置された第１接着部材４を介して、電極パッド２３と電気的に接続されている。電極パッド２３は、配線基板２の配線を介して、コネクタ２４の端子２５と電気的に接続されている。つまり、駆動用圧電素子６の第２電極６３は、第２接着部材８、金属基板３、第１接着部材４、電極パッド２３、及び配線基板２の配線を介して、コネクタ２４と電気的に接続されている。

【0042】

検知用圧電体７１の第３電極７２は、ワイヤ１２を介して、電極パッド２２と電気的に接続されている。電極パッド２２は、配線基板２の配線を介して、コネクタ２４の端子２５と電気的に接続されている。つまり、検知用圧電体７１の第３電極７２は、ワイヤ１２、電極パッド２２、及び配線基板２の配線を介して、コネクタ２４と電気的に接続されている。

【0043】

検知用圧電素子７の第４電極７３は、第４電極７３と駆動用圧電素子６の第１電極６２との間に配置された第２接着部材８を介して、駆動用圧電素子６の第１電極６２と電気的に接続されている。つまり、検知用圧電素子７の第４電極７３は、第２接着部材８、駆動用圧電素子６の第１電極６２、ワイヤ１１、電極パッド２１、及び配線基板２の配線を介して、コネクタ２４と電気的に接続されている。

【0044】

以上のような電気的な接続関係により、アクチュエータ装置１は、例えば以下のように駆動される。具体的には、駆動用圧電素子６の第１電極６２及び検知用圧電素子７の第４電極７３が、ワイヤ１１、電極パッド２１、配線基板２の配線、及びコネクタ２４を介して、基準電位（例えば、接地電位）に接続された状態で、アクチュエータ装置１の外部から、コネクタ２４、配線基板２の配線、電極パッド２３、第１接着部材４、及び金属基板３を介して、駆動用圧電素子６の第２電極６３に駆動用の電圧信号が入力される。これにより、駆動用圧電素子６が変形及び/又は振動し、本体部３１に周期的な板波が発生させられる。この周期的な板波の発生によって、第１連結部３５及び第２連結部３６にねじれ振動（ねじれ共振）が誘起され、可動部３２及び光学面５１が揺動する。すなわち、アクチュエータ装置１では、第１連結部３５、第２連結部３６、可動部３２及び光学面５１のねじれ共振系と駆動用圧電素子６とが離れた位置に配置されながら、ラム波共鳴構造が採られることで、高い駆動効率でねじれ共振が発生させられる。その一方で、可動部３２及び光学面５１の揺動による角度の変化に応じた電圧信号が、検知用圧電体７１の第３電極７２から、ワイヤ１２、電極パッド２２、配線基板２の配線、及びコネクタ２４を介して、アクチュエータ装置１の外部に出力され、光学面５１の揺動角度が検知される。
［圧電ユニットが有する第２接着部材の構成］

【0045】

ここで、アクチュエータ装置１は、圧電ユニット１０を備えている。圧電ユニット１０は、上述した金属基板３、駆動用圧電素子６、検知用圧電素子７及び第２接着部材８によって構成されている。以下、図３、図４及び図５を参照して、圧電ユニット１０が有する第２接着部材８の構成について、より詳細に説明する。

【0046】

駆動用圧電素子６の駆動用圧電体６１は、側面６１ｃを更に含んでいる。駆動用圧電素子６は、載置面３１ａの一部が駆動用圧電体６１の側面６１ｃの外側に位置するように、載置面３１ａに配置されている。これにより、載置面３１ａの一部及び駆動用圧電体６１の側面６１ｃによって隅部Ｃ１が形成されている。載置面３１ａの一部は、載置面３１ａのうち側面６１ｃの外側の部分である。なお、側面６１ｃは、Ｚ軸方向から見た場合における駆動用圧電体６１の外縁６１ｄに相当する。

【0047】

第２接着部材８は、第１部分８１と、第２部分８２と、を含んでいる。第１部分８１は、載置面３１ａと駆動用圧電素子６との間に配置された部分である。第２部分８２は、第１部分８１から連続し、隅部Ｃ１に配置されている。「第２部分８２が、第１部分８１から連続する」とは、第１部分８１と第２部分８２とが、界面なく一体的に形成されていることを意味する。第２部分８２は、駆動用圧電体６１の側面６１ｃ及び載置面３１ａの一部に接触している。本実施形態では、第２部分８２の表面は、平坦である。一例として、第２部分８２は、Ｚ軸方向から見た場合に、隅部Ｃ１の全体に亘って連続している。

【0048】

第２部分８２の少なくとも一部は、駆動用圧電体６１の側面６１ｃにおける第１電極６２側の領域に至っている。「第２部分８２の少なくとも一部が、駆動用圧電体６１の側面６１ｃにおける第１電極６２側の領域に至っている」とは、第２部分８２が、Ｚ軸方向における側面６１ｃの第１電極６２側半分の領域に接触していることを意味する。また、第２部分８２は、第１主面６１ａの外縁６１１に至っていない。すなわち、第２部分８２のうち最も高い縁部は、外縁６１１に接触していない。つまり、金属基板３の載置面３１ａに配置された第２接着部材８は、第１電極６２に至っていない。

【0049】

一例として、Ｚ軸方向における第１部分８１の高さは、１０～１００μｍである。Ｚ軸方向における第２部分８２の高さは、Ｚ軸方向における第１部分８１の高さ及び第２電極６３の厚さの総和よりも大きく、Ｚ軸方向における第１部分８１の高さ、第２電極６３の厚さ及び駆動用圧電体６１の厚さの総和以下である。一例として、第２部分８２の高さは、１５μｍ～３００μｍである。一例として、Ｘ軸方向及びＹ軸方向における第２部分８２の幅は、１００～５００μｍである。「Ｘ軸方向及びＹ軸方向における第２部分８２の幅」は、Ｙ軸方向に沿った駆動用圧電素子６及び第２接着部材８の断面において第２部分８２が駆動用圧電体６１の側面６１ｃからはみ出している幅、及びＸ軸方向に沿った駆動用圧電素子６及び第２接着部材８の断面において第２部分８２が駆動用圧電体６１の側面６１ｃからはみ出している幅を含む。一例として、駆動用圧電体６１は、矩形板状を呈しており、Ｘ軸方向における駆動用圧電体６１の幅及びＹ軸方向における駆動用圧電体６１の幅のそれぞれは、例えば２～２０ｍｍであって、駆動用圧電体６１の厚さは、約２００μｍである。一例として、駆動用圧電体６１は、Ｘ軸方向を長手方向とする長方形板状を呈している。一例として、第１電極６２の厚さ及び第２電極６３の厚さは、それぞれ、１～２μｍである。また、一例として、第２接着部材８は、１ＭＰａ以上のヤング率を有する。

【0050】

Ｘ軸方向における第１電極６２の幅は、Ｘ軸方向における駆動用圧電体６１の幅よりも小さく、Ｙ軸方向における第１電極６２の幅は、Ｙ軸方向における駆動用圧電体６１の幅よりも小さい。また、Ｚ軸方向から見た場合に、第１電極６２の外縁６２ｃは、駆動用圧電体６１の外縁６１ｄよりも内側に位置している。「Ｚ軸方向から見た場合に、第１電極６２の外縁６２ｃが、駆動用圧電体６１の外縁６１ｄよりも内側に位置している」とは、Ｚ軸方向から見た場合に、駆動用圧電体６１の外縁６１ｄが、第１電極６２の外縁６２ｃを囲んでいることを意味する。すなわち、Ｚ軸方向から見た場合に、外縁６２ｃは、外縁６１ｄから駆動用圧電体６１の中心側にオフセットされている。一例として、Ｚ軸方向から見た場合における外縁６２ｃと外縁６１ｄとの距離は、駆動用圧電体６１の厚さよりも大きい。外縁６２ｃと外縁６１ｄとの距離は、例えば、約２５０μｍである。本実施形態では、Ｚ軸方向から見た場合における外縁６２ｃと外縁６１ｄとの距離は、Ｘ軸方向から見た場合における第２部分８２のうち最も高い縁部と第１主面６１ａの外縁６１１との距離より大きい。この構成によれば、導電性を有する第２接着部材８が第１電極６２に接触することを確実に防止することができる。Ｘ軸方向から見た場合における第２部分８２のうち最も高い縁部と外縁６１１との距離は、例えば、約５０μｍである。

【0051】

検知用圧電素子７の検知用圧電体７１は、側面（別の側面）７１ｃを更に含んでいる。検知用圧電素子７は、第１電極６２の表面６２ａの一部が検知用圧電体７１の側面７１ｃの外側に位置するように、表面６２ａに配置されている。これにより、第１電極６２の表面６２ａの一部及び検知用圧電体７１の側面７１ｃによって隅部（別の隅部）Ｃ２が形成されている。表面６２ａの一部は、表面６２ａのうち側面７１ｃの外側の部分である。なお、側面７１ｃは、Ｚ軸方向から見た場合における検知用圧電体７１の外縁７１ｄに相当する。

【0052】

第２接着部材８は、第３部分８３と、第４部分８４と、を更に含んでいる。第３部分８３は、第１電極６２の表面６２ａと検知用圧電素子７との間に配置された部分である。第４部分８４は、第３部分８３から連続し、隅部Ｃ２に配置されている。「第４部分８４が、第３部分８３から連続する」とは、第３部分８３と第４部分８４とが、界面なく一体的に形成されていることを意味する。第４部分８４は、検知用圧電体７１の側面７１ｃ及び第１電極６２の表面６２ａの一部に接触している。本実施形態では、第４部分８４の表面は、平坦である。一例として、第４部分８４は、Ｚ軸方向から見た場合に、隅部Ｃ２の全体に亘って連続している。

【0053】

第４部分８４の少なくとも一部は、検知用圧電体７１の側面７１ｃにおける第３電極７２側の領域に至っている。「第４部分８４の少なくとも一部が、検知用圧電体７１の側面７１ｃにおける第３電極７２側の領域に至っている」とは、第４部分８４が、Ｚ軸方向における側面７１ｃの第３電極７２側半分の領域に接触していることを意味する。また、第４部分８４は、第３主面７１ａの外縁７１１に至っていない。すなわち、第４部分８４のうち最も高い縁部は、外縁７１１に接触していない。つまり、第１電極６２の表面６２ａに配置された第２接着部材８は、第３電極７２に至っていない。

【0054】

一例として、Ｚ軸方向における第３部分８３の高さは、１０～１００μｍである。Ｚ軸方向における第４部分８４の高さは、Ｚ軸方向における第３部分８３の高さ及び第４電極７３の厚さの総和よりも大きく、Ｚ軸方向における第３部分８３の高さ、第４電極７３の厚さ及び検知用圧電体７１の厚さの総和以下である。一例として、第４部分８４の高さは、１５μｍ～３００μｍである。一例として、Ｘ軸方向及びＹ軸方向における第４部分８４の幅は、１００～５００μｍである。「Ｘ軸方向及びＹ軸方向における第４部分８４の幅」は、Ｙ軸方向に沿った検知用圧電素子７及び第２接着部材８の断面において第４部分８４が検知用圧電体７１の側面７１ｃからはみ出している幅、及びＸ軸方向に沿った検知用圧電素子７及び第２接着部材８の断面において第４部分８４が検知用圧電体７１の側面７１ｃからはみ出している幅を含む。一例として、検知用圧電体７１は、矩形板状を呈しており、Ｘ軸方向における検知用圧電体７１の幅及びＹ軸方向における検知用圧電体７１の幅のそれぞれは、例えば２～２０ｍｍであって、検知用圧電体７１の厚さは、約２００μｍである。一例として、検知用圧電体７１は、Ｘ軸方向における幅及びＹ軸方向における幅が略同じである正方形板状を呈している。一例として、第３電極７２の厚さ及び第４電極７３の厚さは、それぞれ、１～２μｍである。

【0055】

Ｘ軸方向における第３電極７２の幅は、Ｘ軸方向における検知用圧電体７１の幅よりも小さく、Ｙ軸方向における第３電極７２の幅は、Ｙ軸方向における検知用圧電体７１の幅よりも小さい。また、Ｚ軸方向から見た場合に、第３電極７２の外縁７２ｃ（第３電極７２の側面７２ｂに対応する外縁）は、検知用圧電体７１の外縁７１ｄよりも内側に位置している。「Ｚ軸方向から見た場合に、第３電極７２の外縁７２ｃが、検知用圧電体７１の外縁７１ｄよりも内側に位置している」とは、Ｚ軸方向から見た場合に、検知用圧電体７１の外縁７１ｄが、第３電極７２の外縁７２ｃを囲んでいることを意味する。すなわち、Ｚ軸方向から見た場合に、外縁７２ｃは、外縁７１ｄから検知用圧電体７１の中心側にオフセットされている。一例として、Ｚ軸方向から見た場合における外縁７２ｃと外縁７１ｄとの距離は、検知用圧電体７１の厚さよりも大きい。外縁７２ｃと外縁７１ｄとの距離は、外縁６２ｃと外縁６１ｄとの距離と同様に、例えば、約２５０μｍである。なお、例えば、Ｚ軸方向から見た場合に第３電極７２が正方形板状を呈している場合、Ｚ軸方向から見た場合において、外縁７２ｃと外縁７１ｄとの距離は、外縁６２ｃと外縁６１ｄとの距離よりも小さくてもよい。正方形板状を呈している検知用圧電体７１（及び第４電極７３）からはみ出す第２接着部材８の量及び範囲は、長方形板状を呈している場合と比較してコントロールが容易であるためである。また、検知用圧電体７１が正方形板状を呈している場合、検知用圧電体７１からはみ出す第２接着部材８の量及び範囲のコントロールが容易であるので、第２接着部材８が、隅部Ｃ２の全体に亘って配置されやすくなる。本実施形態では、Ｚ軸方向から見た場合における外縁７２ｃと外縁７１ｄとの距離は、Ｘ軸方向から見た場合における第４部分８４のうち最も高い縁部と第３主面７１ａの外縁７１１との距離より長い。この構成によれば、導電性を有する第２接着部材８が第３電極７２に接触することを確実に防止することができる。Ｘ軸方向から見た場合における第４部分８４のうち最も高い縁部と外縁７１１との距離は、例えば、約５０μｍである。
［作用及び効果］

【0056】

圧電ユニット１０では、第２接着部材８が、金属基板３の載置面３１ａと駆動用圧電素子６との間に配置された第１部分８１と、載置面３１ａの一部及び駆動用圧電体６１の側面６１ｃによって形成された隅部Ｃ１に配置された第２部分８２と、を有しており、第２部分８２が第１部分８１から連続している。これにより、金属基板３に駆動用圧電体６１の振動が適切に伝搬することになる。したがって、金属基板３の駆動特性を向上させることができ、且つ金属基板３と駆動用圧電素子６との電気的な接続を確実化することができる。更に、第２接着部材８の第２部分８２が第１電極６２に至っていないため、駆動用圧電素子６での短絡を防止することができる。よって、圧電ユニット１０、及び圧電ユニット１０を備えるアクチュエータ装置１によれば、駆動用圧電素子６での短絡を防止しつつ、金属基板３と駆動用圧電素子６との電気的な接続を確実化することができ、所望の駆動特性を得ることができる。

【0057】

更に、圧電ユニット１０では、第２接着部材８が、金属基板３の載置面３１ａと駆動用圧電素子６との間から、駆動用圧電体６１の側面６１ｃに至るまで連続的に配置されているため、金属基板３と駆動用圧電素子６との接着強度を確保することができる。

【0058】

圧電ユニット１０では、Ｚ軸方向から見た場合に、第１電極６２の外縁６２ｃが、駆動用圧電体６１の外縁６１ｄよりも内側に位置している。これにより、第２接着部材８が、第１主面６１ａの外縁６１１に第２接着部材８が至ったとしても第１電極６２には至らない構成を実現することができるため、駆動用圧電素子６での短絡を防止することができる。

【0059】

例えば、比較的薄い駆動用圧電体を有する駆動用圧電素子が圧電ユニットに用いられる場合、接着部材が、駆動用圧電体の側面から、第１電極に至り、第１電極と第２電極との間で短絡するおそれがある。したがって、従来の圧電ユニットでは、駆動用圧電素子での短絡のリスクを回避するために、駆動用圧電体の側面に導電性を有する接着部材を接触させる構成は避けられてきた。これに対し、圧電ユニット１０では、第１電極６２の外縁６２ｃが、駆動用圧電体６１の外縁６１ｄから駆動用圧電素子６の中心側にオフセットされているので、例えば、厚さが約２００μｍであって、比較的薄い駆動用圧電体６１を用いても、第１電極６２に第２接着部材８が至ることを防止することができる。その結果、金属基板３と駆動用圧電素子６との接着強度を確保しつつ、第１電極６２と第２電極６３との間の短絡を防止することが可能となる。

【0060】

Ｚ軸方向から見た場合における第１電極６２の外縁６２ｃと駆動用圧電体６１の外縁６１ｄとの距離は、駆動用圧電体６１の厚さよりも大きい。これにより、第１主面６１ａの外縁６１１と第１電極６２との距離を確保することができるため、第２接着部材８が第１電極６２に至らない構成を確実に実現することができる結果、駆動用圧電素子６での短絡をより一層防止することができる。

【0061】

第２部分８２の少なくとも一部は、駆動用圧電体６１の側面６１ｃにおける第１電極６２側の領域に至っている。これにより、金属基板３と駆動用圧電素子６との接着強度を向上させることができる。

【0062】

第２部分８２は、第１主面６１ａの外縁６１１に至っていない。これにより、金属基板３と駆動用圧電素子６との接着強度を向上させつつ、第２接着部材８が第１電極６２に至らない構成を確実に実現することができる。

【0063】

駆動用圧電素子６は、第２主面６１ｂに配置された第２電極６３を更に有している。これにより、第２接着部材８の濡れ性が向上するため、金属基板３と駆動用圧電素子６との電気的な接続をより一層確実化することができる。また、仮に、金属基板３と第２電極６３との間において第１部分８１にクラックが発生したとしても、第２電極６３全体への通電を維持することができるので、駆動用圧電素子６において電界分布の乱れを防止することができる。

【0064】

第２接着部材８は、駆動用圧電素子６と検知用圧電素子７とを接着しており、検知用圧電素子７は、第１電極６２の表面６２ａに配置され、表面６２ａとは反対側の第３主面７１ａ、表面６２ａ側の第４主面７１ｂ、及び側面７１ｃを有し、検知用圧電体７１と、第３主面７１ａに配置された第３電極７２と、を有し、検知用圧電素子７は、表面６２ａの一部が検知用圧電体７１の側面７１ｃの外側に位置するように、表面６２ａに配置されており、第２接着部材８は、表面６２ａと検知用圧電素子７との間に配置された第３部分８３と、第３部分８３から連続し、表面６２ａの一部及び検知用圧電体７１の側面７１ｃによって形成された隅部Ｃ２に配置された第４部分８４と、を更に有し、第４部分は、第３電極７２に至っていない。これにより、駆動用圧電素子６と検知用圧電素子７とを積層する場合において、駆動用圧電素子６と検知用圧電素子７との接着強度を確保することができる。
［変形例］

【0065】

本発明は、上述した実施形態に限定されない。例えば、第２接着部材８の第２部分８２は、第１主面６１ａの外縁６１１に接触していてもよい。図６に示される例では、第２部分８２が、第１主面６１ａの外縁６１１に接触し、第２部分８２の表面が平坦となるように形成されている。本変形例によれば、金属基板３と駆動用圧電素子６との接着強度をより確実に確保することができる。また、第２部分８２は、駆動用圧電体６１の側面６１ｃにおける第１電極６２側の領域に至っていなくてもよい。その場合、第２部分８２のうち最も高い縁部が、側面６１ｃにおける第２電極６３側の領域に接触していてもよい。

【0066】

また、例えば、圧電ユニット１０は、保護部材を更に備えていてもよい。図７に示される例では、保護部材９が、隅部Ｃ１において、第２部分８２を覆っている。「保護部材９が接着部材を覆う」とは、保護部材９が、第２部分８２の少なくとも一部に接触していることを意味する。保護部材９は、第１電極６２の側面６２ｂを更に覆っている。「保護部材９が第１電極６２の側面６２ｂを覆う」とは、保護部材９が、第１電極６２の側面６２ｂの少なくとも一部に接触していることを意味する。保護部材９は、例えば、非導電性を有する樹脂である。本変形例の構成によれば、第２接着部材８の劣化を防止することができる。この効果は、第２接着部材８の材料に、Ａｇ粒子等の硫黄系ガス等により劣化しやすいフィラーが含まれている場合に特に有効である。更に、本変形例では、保護部材９が、第１電極６２の側面６２ｂを更に覆っているので、第１電極６２の劣化を防止することができる。特に、Ｎｉ／Ａｉ層である第１電極６２においては、Ｎｉ層の厚さがＡｕ層の厚さと比較して大きい。したがって、側面６２ｂにおいては、Ｎｉ層が露出しやすくなっている。本変形例の構成によれば、側面６２ｂにおいて硫黄系ガス等により劣化しやすいＮｉ層が、保護部材９に覆われているため、第１電極６２の劣化を防ぐことができる。なお、第１電極６２において駆動用圧電体６１とは反対側の面においては、比較的安定性が高いＡｕ層が露出しているため、保護部材９を設けなくてもよい。また、本変形例の構成は、上記に限られない。例えば、保護部材９は、第２部分８２の一部を覆っていてもよい。また、保護部材９は、例えば、第１電極６２の側面６２ｂを覆っていなくてもよい。

【0067】

第２接着部材８の第１部分８１及び第２部分８２の形状は特に限定されない。第１部分８１は、例えば、載置面３１ａと駆動用圧電素子６との間の全体に形成されていなくてもよく、第１部分８１の少なくとも一部が第２部分８２と連続していればよい。第２部分８２は、例えば、図８及び図９に示される例のように、第２部分８２の表面が盛り上がるように形成されていてもよい。図８に示される例では、第２部分８２は、第１主面６１ａの外縁６１１に至っていない。図９に示される例では、第２部分８２は、第１主面６１ａの外縁６１１に至っている。図８及び図９に示される例によれば、第２接着部材８の量が増加するため、金属基板３と駆動用圧電素子６との接着強度をより確保することができる。また、第２部分８２は、例えば、図１０及び図１１に示される例のように、第２部分８２の表面が窪むように形成されていてもよい。図１０に示される例では、第２部分８２は、第１主面６１ａの外縁６１１に至っていない。図１１に示される例では、第２部分８２は、第１主面６１ａの外縁６１１に至っている。図１０及び図１１に示される例によれば、第２接着部材８の量が減少するため、第２接着部材８の質量が金属基板３全体の質量に与える影響が減少する。したがって、圧電ユニット１０がアクチュエータ装置１に適用される場合には、第２接着部材８の量が与える駆動特性への影響を最小限にすることができ、アクチュエータ装置１の安定した駆動を実現することができる。

【0068】

また、第２部分８２は、Ｚ軸方向から見た場合に、隅部Ｃ１の全体に亘って連続せずに、隅部Ｃ１において断続的に形成されていてもよい。これにより、第２接着部材８の量を減少させて駆動特性に与える影響を最小限にしつつ、隅部Ｃ１に沿って複数の箇所に第２接着部材８が形成されることで、金属基板３と駆動用圧電素子６との接着強度を確実に確保することができる。なお、第２部分８２は、Ｚ軸方向から見た場合において、駆動用圧電素子６の外縁６１ｄに沿って形成された隅部Ｃ１のうち、長手方向であるＸ軸方向に沿った辺部（すなわち、駆動用圧電素子６の長辺に対応する辺部）に少なくとも形成されているのが好ましい。これにより、駆動用圧電素子６の長辺に対応して第２部分８２が形成されるため、金属基板３と駆動用圧電素子６との接着強度を向上させ、駆動用圧電素子６で発生した歪みを効率良く金属基板３に伝搬することができ、金属基板３と検知用圧電素子７とを第２接着部材８が接着している場合（後述する図１２及び図１３参照）には、光学機能部５の光学面５１の揺動角度を精度良く検知することができる。また、第２部分８２は、Ｚ軸方向から見た場合において、駆動用圧電素子６の外縁６１ｄに沿って形成された隅部Ｃ１のうち、各辺部（すなわち、駆動用圧電素子６の各長辺及び各短辺に対応する辺部）に形成されていてもよい。

【0069】

また、隅部Ｃ１の全体に亘って連続的に又は隅部Ｃ１において断続的に形成された第２部分８２の高さは、場所によって異なっていてもよい。すなわち、第２部分８２の高さは、不均一になっていてもよい。また、隅部Ｃ１の全体に亘って連続的に或いは隅部Ｃ１において断続的に形成された第２部分８２の表面の形状（盛り上がり方、窪み方等）は、場所によって異なっていてもよい。すなわち、第２部分８２の表面の形状は、不均一になっていてもよい。つまり、第２部分８２の高さ及び表面の形状（図８～図１１参照）は、隅部Ｃ１において形成された場所によって異なっていてもよい。これにより、隅部Ｃ１において形成された第２部分８２のうち、高さが高い箇所であるほど、また表面が盛り上がった箇所であるほど、金属基板３と駆動用圧電素子６との接着強度をより確保することができる。更に、隅部Ｃ１において形成された第２のうち、高さが低い箇所であるほど、また表面が窪んだ箇所であるほど、アクチュエータ装置１の安定した駆動を実現することができる。また、隅部Ｃ１において形成された第２部分８２のうち、高さが高く且つ表面が窪んだ箇所、及び高さが低く且つ表面が盛り上がった箇所においては、金属基板３と駆動用圧電素子６との接着強度の確保及びアクチュエータ装置１の安定した駆動をバランス良く実現することができる。また、第２部分８２の高さ及び表面の形状の少なくとも一方を不均一にすることで、第２部分８２において、高さが高い箇所、表面が盛り上がった箇所、及び／又は高さが高く且つ表面が盛り上がった箇所を、駆動用圧電素子６の外縁６１ｄに沿って不連続に形成することができるので、金属基板３と駆動用圧電素子６との接着強度を確実に確保することができる。

【0070】

また、隅部Ｃ１の全体に亘って連続的に或いは隅部Ｃ１において断続的に形成された第２部分８２は、隅部Ｃ１に沿って（すなわち、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に沿って）、立体的（３次元的）に盛り上がっていてもよく、立体的に窪んでいてもよい。また、第２部分８２において、立体的に盛り上がった箇所と立体的に窪んだ箇所とが交互に形成されていていてもよい。これにより、第２接着部材８の表面の立体的な複数の盛り上がりが連続して形成されるため、金属基板３と駆動用圧電素子６との接着強度を確実に確保することができ、アクチュエータ装置１の安定した駆動を実現することができる。

【0071】

Ｚ軸方向から見た場合における第１電極６２の外縁６２ｃと駆動用圧電体６１の外縁６１ｄとの距離は、駆動用圧電体６１の厚さ以下であってもよい。一例として、駆動用圧電体６１の厚さは、約２００μｍであって、Ｚ軸方向から見た場合における外縁６２ｃと外縁６１ｄとの距離は、約１００μｍである。これにより、第１主面６１ａの外縁６１１と第１電極６２との距離の確保と、第１電極６２の大きさの確保とを、バランス良く実現することができる結果、駆動用圧電素子６での短絡の防止及び駆動用圧電体６１の駆動効率の向上の両方を実現することができる。また、Ｚ軸方向から見た場合に、第１電極６２の外縁６２ｃは、駆動用圧電体６１の外縁６１ｄと重なるように位置していてもよい。

【0072】

駆動用圧電素子６は、第２電極６３を有していなくてもよい。その場合、駆動用圧電体６１と金属基板３の本体部３１とが、第２接着部材８によって接着されていてもよい。

【0073】

配線基板２は、上記実施形態の形状に限定されず、例えば、開口に代えて、中央部分が載置面２ａに対して金属基板３とは反対側に凹んだ凹部を有していてもよい。また、例えば、配線基板２は、開口に代えて、複数の柱部を有していてもよい。また、上記実施形態では、金属基板３を支持する配線基板２が例示されていたが、金属基板３は、例えば、複数の部材から構成される支持体に支持されていてもよい。

【0074】

駆動用圧電素子６と検知用圧電素子７とは、互いに逆の位置関係及び構成であってもよい。図１２及び図１３に示される例では、検知用圧電素子（圧電素子）７が、本体部３１の載置面３１ａに固定されており、駆動用圧電素子（別の圧電素子）６が、検知用圧電素子７上に固定されている。検知用圧電素子７は、検知用圧電体（圧電体）７１と、第３電極（第１電極）７２と、第４電極（第２電極）７３と、を含んでいる。検知用圧電体７１は、第３主面（第１主面）７１ａ、第４主面（第２主面）７１ｂ及び側面７１ｃを含んでいる。駆動用圧電素子６は、駆動用圧電体（別の圧電体）６１と、第１電極（第３電極）６２と、第２電極６３と、を含んでいる。駆動用圧電体６１は、第１主面（第３主面）６１ａ、第２主面（第４主面）６１ｂ及び側面（別の側面）６１ｃを含んでいる。

【0075】

検知用圧電素子７は、載置面３１ａの一部が検知用圧電体７１の側面７１ｃの外側に位置するように、載置面３１ａに配置されている。これにより、載置面３１ａの一部及び検知用圧電体７１の側面７１ｃによって隅部Ｃ１が形成されている。載置面３１ａの一部は、載置面３１ａのうち側面７１ｃの外側の部分である。第２接着部材８の第１部分８１は、載置面３１ａと検知用圧電素子７との間に配置され、第２部分８２は、第１部分８１から連続し、隅部Ｃ１に配置されている。第２部分８２は、検知用圧電体７１の側面７１ｃ及び載置面３１ａの一部に接触している。第２部分８２の少なくとも一部は、検知用圧電体７１の側面７１ｃにおける第３電極７２側の領域に至っている。また、第２部分８２は、第３主面７１ａの外縁７１１に至っていない。

【0076】

駆動用圧電素子６は、第３電極７２の表面７２ａの一部が駆動用圧電体６１の側面６１ｃの外側に位置するように、表面７２ａに配置されている。表面７２ａは、第３電極７２における検知用圧電体７１とは反対側の主面である。これにより、第３電極７２の表面７２ａの一部及び駆動用圧電体６１の側面６１ｃによって隅部（別の隅部）Ｃ２が形成されている。表面７２ａの一部は、表面７２ａのうち側面６１ｃの外側の部分である。第２接着部材８の第３部分８３は、第３電極７２の表面７２ａと駆動用圧電素子６との間に配置された部分であって、第４部分８４は、第３部分８３から連続し、隅部Ｃ２に配置されている。第４部分８４は、駆動用圧電体６１の側面６１ｃ及び第３電極７２の表面７２ａの一部に接触している。第４部分８４の少なくとも一部は、駆動用圧電体６１の側面６１ｃにおける第１電極６２側の領域に至っている。また、第４部分８４は、第１主面６１ａの外縁６１１に至っていない。

【0077】

本変形例では、第２接着部材８が、金属基板３の載置面３１ａと検知用圧電素子７との間に配置された第１部分８１と、載置面３１ａの一部及び検知用圧電体７１の側面７１ｃによって形成された隅部Ｃ１に配置された第２部分８２と、を有しており、第２部分８２が第１部分８１から連続している。これにより、光学機能部５の光学面５１の揺動角度が精度良く検知され、且つ金属基板３と検知用圧電素子７との電気的な接続を確実化することができる。更に、第２接着部材８の第２部分８２が第３電極７２に至っていないため、検知用圧電素子７での短絡を防止することができる。よって、本変形例によっても、検知用圧電素子７での短絡を防止しつつ、金属基板３と検知用圧電素子７との電気的な接続を確実化することができ、所望の駆動特性を得ることができる。

【0078】

上記実施形態では、光学機能部５が、ミラー面である光学面５１を有していたが、光学機能部５は、例えば、反射型回折格子、透過型回折格子、光学フィルタ等であってもよい。また、アクチュエータ装置１は、圧電ユニット１０及び配線基板２を備えていればよく、例えば、コネクタ２４、ワイヤ１１及びワイヤ１２が取り付けられていなくてもよい。また、圧電ユニット１０は、金属基板３、圧電素子及び第２接着部材８を有していればよい。圧電素子は、駆動用圧電素子６であってもよく、その場合、圧電ユニット１０は、検知用圧電素子７を備えていなくてもよい。また、圧電素子は、検知用圧電素子７であってもよく、その場合、圧電ユニット１０は、駆動用圧電素子６を備えていなくてもよい。また、圧電ユニット１０は、検知用圧電素子７に代えて、駆動用圧電素子６の第１電極６２上に、駆動用圧電素子６とは別の駆動用圧電素子を備えていてもよい。また、金属基板３は、可動部３２と、本体部３１と、可動部３２と本体部３１とを連結する連結部と、を有していればよい。例えば、金属基板３は、第１接続部３７、第２接続部３８及び第３接続部３９を有しておらず、金属基板３の本体部３１の一部分が、配線基板２の一部分と対向しており、本体部３１の一部分と配線基板２の一部分とが第１接着部材４によって接着されていてもよい。

【符号の説明】

【0079】

１…アクチュエータ装置、２…配線基板（支持体）、３１ａ…載置面、３…金属基板、６…駆動用圧電素子（圧電素子、別の圧電素子）、７…検知用圧電素子（圧電素子、別の圧電素子）、８…第２接着部材（接着部材）、９…保護部材、１０…圧電ユニット、３２…可動部、３５…第１連結部（連結部）、３６…第２連結部（連結部）、６１…駆動用圧電体（圧電体、別の圧電体）、６１ａ…第１主面（第３主面）、６１ｂ…第２主面（第４主面）、６１ｃ，７１ｃ…側面（別の側面）、６２ｂ，７２ｂ…側面、６１ｄ，６２ｃ，６１１，７１ｄ，７２ｃ，７１１…外縁、６２…第１電極（第３電極）、６２ａ，７２ａ…表面、６３…第２電極、７１…検知用圧電体（圧電体、別の圧電体）、７１ａ…第３主面（第１主面）、７１ｂ…第４主面（第２主面）、７２…第３電極（第１電極）、７３…第４電極（第２電極）、８１…第１部分、８２…第２部分、８３…第３部分、８４…第４部分、Ｃ１…隅部、Ｃ２…隅部（別の隅部）。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】