特開 2022-176066 アクチュエータ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022176066

(43)【公開日】2022-11-25

(54)【発明の名称】アクチュエータ装置

(51)【国際特許分類】

   G02B 26/08 20060101AFI20221117BHJP

   B81B 3/00 20060101ALI20221117BHJP

   G02B 26/10 20060101ALN20221117BHJP

【ＦＩ】

G02B26/08 E

B81B3/00

G02B26/10 104Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022017138

(22)【出願日】2022-02-07

(62)【分割の表示】P 2021080857の分割

【原出願日】2021-05-12

(71)【出願人】

【識別番号】000236436

【氏名又は名称】浜松ホトニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100140442

【弁理士】

【氏名又は名称】柴山 健一

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 大幾

(72)【発明者】

【氏名】大崎 拓真

(72)【発明者】

【氏名】野崎 慎

(72)【発明者】

【氏名】杉崎 滉太

【テーマコード（参考）】

2H045

2H141

3C081

【Ｆターム（参考）】

2H045AB06

2H045AB38

2H045AB81

2H141MA12

2H141MB24

2H141MC05

2H141MC09

2H141MG06

2H141MZ06

2H141MZ24

2H141MZ28

2H141MZ30

3C081AA01

3C081AA07

3C081BA22

3C081BA28

3C081BA32

3C081BA44

3C081BA47

3C081BA55

3C081BA76

3C081CA32

3C081DA03

3C081DA06

3C081DA07

3C081DA10

3C081DA27

3C081EA07

3C081EA41

(57)【要約】      （修正有）

【課題】所望の駆動特性を得ることができ且つ支持体と金属基板との接着強度を確保することができるアクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】配線基板２によって支持された金属基板３は、第１延在部３３と、第１延在部３３に接続されている第１接続部３７と、を有する。第１接続部３７は、Ｚ軸方向において配線基板２の部分２６と対向する第１領域Ｒ１と、第１領域Ｒ１から連続する第２領域Ｒ２と、第２領域Ｒ２から連続する第３領域Ｒ３と、を含む。Ｚ軸方向から見た場合に、第３領域Ｒ３が第２領域Ｒ２に接続されている接続方向Ａに垂直な方向Ｂにおける第２領域Ｒ２の幅Ｗ２は、方向Ｂにおける第３領域Ｒ３の幅Ｗ３よりも大きい。配線基板２と金属基板３とを接着する第１接着部材４は、部分２６と第１領域Ｒ１との間に配置された第１部分と、第１部分から連続し、第２領域Ｒ２に至っており、第３領域Ｒ３に至っていない第２部分と、を有する。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

支持体と、
前記支持体によって支持された金属基板と、
前記支持体と前記金属基板とを接着する接着部材と、
前記金属基板が有する本体部に配置された振動素子と、を備え、
前記金属基板は、
可動部と、
前記可動部が間に位置するように前記本体部から延在する第１延在部及び第２延在部と、
前記第１延在部と前記可動部とを連結する第１連結部と、
前記第２延在部と前記可動部とを連結する第２連結部と、
前記第１延在部及び前記第２延在部の少なくとも一つに接続されている接続部と、を更に有し、
前記接続部は、
前記金属基板の厚さ方向において前記支持体の一部分と対向する第１領域と、
前記第１領域から連続する第２領域と、
前記第２領域から連続し、前記第１延在部及び前記第２延在部の少なくとも一つに接続されている第３領域と、を含み、
前記金属基板の厚さ方向から見た場合に、前記第３領域が前記第２領域に接続されている接続方向に垂直な方向における前記第２領域の幅は、前記接続方向に垂直な方向における前記第３領域の幅よりも大きく、
前記接着部材は、
前記支持体の前記一部分と前記第１領域との間に配置された第１部分と、
前記第１部分から連続し、前記第２領域に至っており、前記第３領域に至っていない第２部分と、を有する、アクチュエータ装置。

【請求項2】

前記金属基板の厚さ方向から見た場合に、前記第１領域の面積は、前記第２領域の面積よりも大きい、請求項１に記載のアクチュエータ装置。

【請求項3】

前記金属基板の厚さ方向から見た場合に、前記第１領域の面積は、前記第２領域の面積及び前記第３領域の面積の総和よりも大きい、請求項１又は２に記載のアクチュエータ装置。

【請求項4】

前記金属基板の厚さ方向から見た場合に、前記接続方向に垂直な方向における前記第１領域の幅は、前記接続方向に垂直な方向における前記第２領域の幅よりも大きい、請求項１～３のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。

【請求項5】

前記金属基板の厚さ方向から見た場合に、前記第１領域及び前記第２領域からなる領域は、多角形状を呈しており、
前記金属基板の厚さ方向から見た場合に、前記第２領域は、前記多角形状の一つの角部を構成している、請求項１～４のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。

【請求項6】

前記金属基板の厚さ方向から見た場合に、前記第１領域と前記第２領域との境界線は、前記角部の頂点とは反対側に凸となるように湾曲している、請求項５に記載のアクチュエータ装置。

【請求項7】

前記金属基板は、それぞれが前記接続部である第１接続部及び第２接続部を有し、
前記第１接続部は、前記第１延在部に接続されており、
前記第２接続部は、前記第２延在部に接続されている、請求項１～６のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。

【請求項8】

前記第２領域及び前記第３領域は、前記金属基板の厚さ方向において前記支持体と対向していない、請求項１～７のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。

【請求項9】

前記金属基板は、前記接続部とは別の接続部を更に有し、
前記別の接続部は、
前記本体部に接続されており、
前記金属基板の厚さ方向において前記支持体の前記一部分とは別の一部分と対向する第４領域と、
前記第４領域から連続する第５領域と、
前記第５領域から連続し、前記本体部に接続されている第６領域と、を含み、
前記金属基板の厚さ方向から見た場合に、前記第６領域が前記第５領域に接続されている方向であって前記接続方向とは別の接続方向に垂直な方向における前記第５領域の幅は、前記別の接続方向に垂直な方向における前記第６領域の幅よりも大きく、
前記接着部材は、
前記支持体の前記別の一部分と前記第４領域との間に配置された第３部分と、
前記第３部分から連続し、前記第５領域に至っており、前記第６領域に至っていない第４部分と、を更に有する、請求項１～８のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、アクチュエータ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

支持体と、支持体によって支持された金属基板と、支持体と金属基板とを接着する接着部材と、金属基板が有する本体部に配置された振動素子と、を備えるアクチュエータ装置が知られている。そのようなアクチュエータ装置では、金属基板が、可動部と、可動部が間に位置するように本体部から延在する一対の延在部と、一対の延在部と可動部とを連結する一対の連結部と、一対の延在部に接続されている一対の接続部と、を更に有し、各接続部のうち支持体の一部分と対向する対向領域が、当該支持体の一部分に接着部材によって接着されている場合がある（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２０－１８７２９２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述したようなアクチュエータ装置では、接着部材が、各接続部のうち各延在部に接続されている接続領域に至ることに起因して、アクチュエータ装置としての駆動特性が設計値からずれるおそれがある。その一方で、接着部材が各接続部の接続領域に至ることを防止するために、接着部材の量を減らすと、支持体の一部分と各接続部の対向領域との間に接着部材が十分に行き渡らず、支持体と金属基板との接着強度が低下するおそれがある。

【0005】

本発明は、所望の駆動特性を得ることができ且つ支持体と金属基板との接着強度を確保することができるアクチュエータ装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明のアクチュエータ装置は、支持体と、支持体によって支持された金属基板と、支持体と金属基板とを接着する接着部材と、金属基板が有する本体部に配置された振動素子と、を備え、金属基板は、可動部と、可動部が間に位置するように本体部から延在する第１延在部及び第２延在部と、第１延在部と可動部とを連結する第１連結部と、第２延在部と可動部とを連結する第２連結部と、第１延在部及び第２延在部の少なくとも一つに接続されている接続部と、を更に有し、接続部は、金属基板の厚さ方向において支持体の一部分と対向する第１領域と、第１領域から連続する第２領域と、第２領域から連続し、第１延在部及び第２延在部の少なくとも一つに接続されている第３領域と、を含み、金属基板の厚さ方向から見た場合に、第３領域が第２領域に接続されている接続方向に垂直な方向における第２領域の幅は、接続方向に垂直な方向における第３領域の幅よりも大きく、接着部材は、支持体の一部分と第１領域との間に配置された第１部分と、第１部分から連続し、第２領域に至っており、第３領域に至っていない第２部分と、を有する。

【0007】

このアクチュエータ装置では、接着部材の第１部分が、支持体の一部分と接続部の第１領域との間に配置されており、第１部分から連続する接着部材の第２部分が、第１領域から連続する接続部の第２領域に至っている。これにより、支持体の一部分と接続部の第１領域との間に接着部材を十分に行き渡らせることができ、支持体と金属基板との接着強度を確保することができる。その一方で、接続部の第３領域の幅よりも大きい幅を有する接続部の第２領域には、接着部材の第２部分が至っているものの、接続部の第２領域の幅よりも小さい幅を有する接続部の第３領域には、接着部材の第２部分が至っていない。これにより、接続部の振動特性が劣化するのを抑制でき、所望の駆動特性を得ることができる。よって、このアクチュエータ装置によれば、所望の駆動特性を得ることができ且つ支持体と金属基板との接着強度を確保することができる。

【0008】

本発明のアクチュエータ装置では、金属基板の厚さ方向から見た場合に、第１領域の面積は、第２領域の面積よりも大きくてもよい。これにより、支持体と金属基板との接着強度を確実に確保することができる。

【0009】

本発明のアクチュエータ装置では、金属基板の厚さ方向から見た場合に、第１領域の面積は、第２領域の面積及び第３領域の面積の総和よりも大きくてもよい。これにより、支持体と金属基板との接着強度をより確実に確保することができる。

【0010】

本発明のアクチュエータ装置では、金属基板の厚さ方向から見た場合に、接続方向に垂直な方向における第１領域の幅は、接続方向に垂直な方向における第２領域の幅よりも大きくてもよい。これにより、第３領域から第１領域に向かうにつれて、接続部の幅を段階的に大きくすることで、支持体と金属基板との接着強度の確保と、所望の駆動特性の確保とを両立させることができる。

【0011】

本発明のアクチュエータ装置では、金属基板の厚さ方向から見た場合に、第１領域及び第２領域からなる領域は、多角形状を呈しており、金属基板の厚さ方向から見た場合に、第２領域は、多角形状の一つの角部を構成していてもよい。これにより、例えば、第１領域及び第２領域からなる領域の辺部の一部を第２領域が構成する場合と比較して、第２領域を簡易に設けることができる。

【0012】

本発明のアクチュエータ装置では、金属基板の厚さ方向から見た場合に、第１領域と第２領域との境界線は、角部の頂点とは反対側に凸となるように湾曲していてもよい。これにより、第２領域の角部の頂点から、第１領域と第２領域との境界までの距離を均一にとることができるため、接着部材が第３領域に至ることを確実に防止することができる。

【0013】

本発明のアクチュエータ装置では、金属基板は、それぞれが接続部である第１接続部及び第２接続部を有し、第１接続部は、第１延在部に接続されており、第２接続部は、第２延在部に接続されていてもよい。これにより、第１延在部及び第２延在部の両方に１つの接続部が接続されている場合と比較して、所望の駆動特性を安定的に得ることができる。

【0014】

本発明のアクチュエータ装置では、第２領域及び第３領域は、金属基板の厚さ方向において支持体と対向していなくてもよい。これにより、接着部材が、支持体と第２領域との間に行き渡り、第３領域に至るといったリスクを確実に回避することができる。

【0015】

本発明のアクチュエータ装置では、金属基板は、接続部とは別の接続部を更に有し、別の接続部は、本体部に接続されており、金属基板の厚さ方向において支持体の一部分とは別の一部分と対向する第４領域と、第４領域から連続する第５領域と、第５領域から連続し、本体部に接続されている第６領域と、を含み、金属基板の厚さ方向から見た場合に、第６領域が第５領域に接続されている方向であって接続方向とは別の接続方向に垂直な方向における第５領域の幅は、当該別の接続方向に垂直な方向における第６領域の幅よりも大きく、接着部材は、支持体の別の一部分と第４領域との間に配置された第３部分と、第３部分から連続し、第５領域に至っており、第６領域に至っていない第４部分と、を更に有してもよい。これにより、上記接続部とは別の接続部においても、支持体の別の一部分と別の接続部の第４領域との間に接着部材を十分に行き渡らせることができ、且つ別の接続部の振動特性が劣化するのを抑制できるため、所望の駆動特性を確実に得ることができ且つ支持体と金属基板との接着強度を確実に確保することができる。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、所望の駆動特性を得ることができ且つ支持体と金属基板との接着強度を確保することができるアクチュエータ装置を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】一実施形態のアクチュエータ装置の斜視図である。

【図2】図１に示されるアクチュエータ装置の平面図である。

【図3】図１に示される配線基板及び金属基板の一部分の平面図である。

【図4】図３に示される配線基板及び金属基板の一部分の断面図である。

【図5】図１に示される配線基板及び金属基板の一部分の平面図である。

【図6】図５に示される配線基板及び金属基板の一部分の断面図である。

【図7】第１変形例の配線基板及び金属基板の一部分の平面図である。

【図8】第２変形例の配線基板及び金属基板の一部分の平面図である。

【図9】第３変形例の配線基板及び金属基板の一部分の平面図である。

【図10】第４変形例の金属基板の一部分の平面図である。

【図11】第５変形例の金属基板の一部分の平面図である。

【図12】第６変形例の配線基板及び金属基板の一部分の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［アクチュエータ装置の構成］

【0019】

図１及び図２に示されるように、アクチュエータ装置１は、配線基板（支持体）２と、金属基板３と、第１接着部材（接着部材）４と、光学面５１を有する光学機能部５と、駆動用圧電素子（振動素子）６と、検知用圧電素子７と、第２接着部材８と、を備えている。光学機能部５は、金属基板３に設けられている。アクチュエータ装置１は、例えば、パッケージ（図示せず）に収容されている。一例として、パッケージは、側壁、底壁、及び光を透過する材料からなる天壁を有し、箱状を呈している。例えば、アクチュエータ装置１において、レーザ光が天壁を介してパッケージ内に入射されると、レーザ光が、駆動用圧電素子６によって金属基板３を介して周期的に揺動されている光学機能部５の光学面５１で反射され、天壁を介して外部に出射される。パッケージからのレーザ光の出射方向は、光学面５１の揺動に応じて周期的且つ連続的に変化する。つまり、本実施形態では、アクチュエータ装置１は、光走査装置である。

【0020】

配線基板２は、載置面２ａを有している。配線基板２には、載置面２ａ及び載置面２ａとは反対側の面に開口する開口２ｂが形成されている。配線基板２は、例えば、矩形枠状を呈している。配線基板２の材料の例としては、シリコン、セラミック、石英、ガラス及びプラスチックが挙げられる。配線基板２の厚さは、十分な剛性が確保できる厚さとすればよく、例えば、０．８ｍｍ以上である。本実施形態では、配線基板２の厚さは、１．６ｍｍである。以下の説明では、配線基板２の厚さ方向をＺ軸方向（金属基板の厚さ方向）といい、Ｚ軸方向に垂直な一方向をＸ軸方向といい、Ｚ軸方向及びＸ軸方向の両方向に垂直な方向をＹ軸方向という。

【0021】

配線基板２の載置面２ａには、複数（本実施形態では、３つ）の電極パッド２１，２２，２３が配置されている。複数の電極パッド２１，２２，２３は、配線基板２の開口２ｂに対してＹ軸方向における一方の側に位置しており、Ｘ軸方向に沿って並んでいる。載置面２ａには、コネクタ２４が取り付けられている。コネクタ２４は、駆動用圧電素子６及び検知用圧電素子７のそれぞれに対して電圧信号等を入出力するためのポートである。コネクタ２４は、例えば、複数の電極パッド２１，２２，２３に対してＹ軸方向における一方の側に位置している。コネクタ２４は、複数の端子２５を有している。コネクタ２４は、複数の端子２５及び配線基板２の配線等を介して、複数の電極パッド２１，２２，２３と電気的に接続されている。

【0022】

金属基板３は、配線基板２によって支持されている。金属基板３は、例えば、鉄系、ステンレス系、銅系、パーマロイド系、チタン系、タングステン系、モリブデン系等の金属からなり、板状を呈している。金属基板３の厚さは、例えば、５０～５００μｍである。第１接着部材４は、配線基板２と金属基板３とを接着している。第１接着部材４は、導電性を有している。第１接着部材４の材料の例としては、Ａｇ粒子を含有するエポキシ樹脂が挙げられる。

【0023】

金属基板３は、本体部３１と、可動部３２と、第１延在部３３と、第２延在部３４と、第１連結部３５と、第２連結部３６と、第１接続部（接続部）３７と、第２接続部（接続部）３８と、第３接続部（別の接続部）３９と、を有している。可動部３２、第１延在部３３、第２延在部３４、第１連結部３５、第２連結部３６、第１接続部３７、第２接続部３８及び第３接続部３９は、一体的に形成されている。

【0024】

本体部３１は、駆動用圧電素子６が固定されている（配置されている）部分である。本体部３１は、Ｚ軸方向から見た場合に、配線基板２の開口２ｂ内に位置している。可動部３２は、光学機能部５が配置されている部分である。可動部３２は、本体部３１に対してＹ軸方向における他方の側に位置している。

【0025】

第１延在部３３及び第２延在部３４は、可動部３２が間に位置するように本体部３１から延在している。本実施形態では、可動部３２は、第１延在部３３及び第２延在部３４の中間に位置している。第１延在部３３及び第２延在部３４は、例えば、Ｙ軸方向に沿って、互いに平行に延在している。本実施形態では、第１延在部３３は、第２延在部３４と同一の形状を有している。

【0026】

第１連結部３５は、第１延在部３３と可動部３２との間でＸ軸方向に沿って延在している。第１連結部３５の一端部は、第１延在部３３と接続されており、第１連結部３５の他端部は、可動部３２と接続されている。すなわち、第１連結部３５は、第１延在部３３と可動部３２とを連結している。

【0027】

第２連結部３６は、第２延在部３４と可動部３２との間でＸ軸方向に沿って延在している。第２連結部３６の一端部は、第２延在部３４と接続されており、第２連結部３６の他端部は、可動部３２と接続されている。すなわち、第２連結部３６は、第２延在部３４と可動部３２とを連結している。

【0028】

本実施形態では、第１連結部３５及び第２連結部３６は、Ｘ軸方向に沿った単一の直線上に位置している。上述した第１延在部３３及び第２延在部３４と可動部３２との位置関係から、Ｘ軸方向における第１連結部３５の長さは、Ｘ軸方向における第２連結部３６の長さと同一となる。本実施形態では、第１連結部３５は、第２連結部３６の形状と同一の形状を有している。

【0029】

可動部３２、第１延在部３３、第２延在部３４、第１連結部３５及び第２連結部３６は、Ｚ軸方向から見た場合に、配線基板２の開口２ｂ内に位置している。第１連結部３５及び第２連結部３６は、第１延在部３３及び第２延在部３４の変形（変位）に応じてねじれるように弾性変形するトーションバーとして機能する。可動部３２は、第１連結部３５及び第２連結部３６の弾性変形に応じて、Ｘ軸方向に沿った軸の周りに揺動される。すなわち、可動部３２は、第１連結部３５及び第２連結部３６を介して、第１延在部３３及び第２延在部３４に、揺動可能に支持されている。

【0030】

光学機能部５は、可動部３２における開口２ｂとは反対側の面に配置されている。光学機能部５は、例えば、円板状を呈している。光学機能部５は、光学面５１が可動部３２とは反対側に向くように、可動部３２に取り付けられている。光学面５１は、Ｘ軸方向において、第１延在部３３と第２延在部３４との中間に位置している。本実施形態では、金属基板３及び光学面５１のそれぞれは、Ｙ軸方向に沿って光学面５１の中心を通る直線に対して線対称の形状を有している。一例として、光学機能部５は、シリコン等の半導体材料又はガラスからなり、光学面５１は、光学機能部５において可動部３２とは反対側の面に形成された反射膜によって構成されている。すなわち、光学面５１は、ミラー面（反射面）である。なお、光学機能部５の反射膜は省略可能である。その場合、上記反対側の面自体を光学面５１としてもよい。

【0031】

第１接続部３７は、第１延在部３３に接続されている。第１接続部３７は、第１延在部３３に対してＹ軸方向における他方の側に位置している。第１接続部３７において、Ｙ軸方向における他方の側の部分は、配線基板２の一部分と対向している。第１接続部３７の当該他方の側の部分と配線基板２の当該一部分との間には、第１接着部材４が配置されている。なお、配線基板２の当該一部分には、電極パッド２３と同電位となるように電極パッド２３と電気的に接続された電極パッド（図示せず）が配置されていてもよい。

【0032】

第２接続部３８は、第２延在部３４に接続されている。第２接続部３８は、第２延在部３４に対してＹ軸方向における他方の側に位置している。第２接続部３８において、Ｙ軸方向における他方の側の部分は、配線基板２の一部分と対向している。第２接続部３８の当該他方の側の部分と配線基板２の当該一部分との間には、第１接着部材４が配置されている。なお、配線基板２の当該一部分には、電極パッド２３と同電位となるように電極パッド２３と電気的に接続された電極パッド（図示せず）が配置されていてもよい。本実施形態では、第１接続部３７と第２接続部３８とは、Ｙ軸方向に沿って光学面５１の中心を通る直線に対して線対称の関係にある。

【0033】

第３接続部３９は、本体部３１に接続されている。第３接続部３９は、本体部３１に対してＹ軸方向における一方の側に位置している。第３接続部３９において、Ｙ軸方向における一方の側の部分は、配線基板２の一部分（電極パッド２３が配置されている部分）と対向している。第３接続部３９の当該一方の側の部分と配線基板２の当該一部分との間には、第１接着部材４が配置されている。

【0034】

駆動用圧電素子６は、金属基板３に板波を発生させてアクチュエータ装置１を駆動させるための素子である。駆動用圧電素子６は、本体部３１における開口２ｂとは反対側の載置面３１ａに配置されている。Ｘ軸方向における駆動用圧電素子６の中心は、Ｘ軸方向における可動部３２の中心（すなわち、Ｘ軸方向における光学面５１の中心）と一致している。駆動用圧電素子６は、駆動用圧電体６１と、第１電極６２と、第２電極（図示せず）と、を含んでいる。

【0035】

駆動用圧電体６１は、第１主面６１ａ及び第２主面（図示せず）を含んでいる。第１主面６１ａは、駆動用圧電体６１における載置面３１ａとは反対側の主面である。第１主面６１ａには、第１電極６２が配置されている。第２主面は、駆動用圧電体６１における載置面３１ａ側の主面である。第２主面には、第２電極が配置されている。第１電極６２及び第２電極のそれぞれは、例えば、Ｎｉ／Ａｕ層である。Ｎｉ／Ａｕ層においては、Ｎｉ層が第１主面６１ａに配置され、Ａｕ層がＮｉ層上に配置されており、Ｎｉ層の厚さがＡｕ層の厚さと比較して大きい。駆動用圧電体６１、第１電極６２及び第２電極のそれぞれは、例えば、矩形板状を呈している。駆動用圧電体６１は、第１電極６２と接合されることにより、第１電極６２と電気的に接続されている。駆動用圧電体６１は、第２電極と接合されることにより、第２電極と電気的に接続されている。第２電極と本体部３１との間には、第２接着部材８が配置されている。第２接着部材８は、駆動用圧電体６１と金属基板３とを接着している。第２接着部材８は、導電性を有している。第２接着部材８の材料の例としては、Ａｇ粒子を含有するエポキシ樹脂が挙げられる。

【0036】

検知用圧電素子７は、光学面５１の揺動角度を検知するための素子である。検知用圧電素子７は、表面６２ａに配置されている。表面６２ａは、第１電極６２における駆動用圧電体６１とは反対側の主面である。Ｘ軸方向における検知用圧電素子７の中心は、Ｘ軸方向における駆動用圧電素子６の中心と一致している。検知用圧電素子７は、検知用圧電体７１と、第３電極７２と、第４電極（図示せず）と、を含んでいる。検知用圧電体７１は、第３主面７１ａ及び第４主面（図示せず）を含んでいる。第３主面７１ａは、検知用圧電体７１における第１電極６２とは反対側の主面である。第３主面７１ａには、第３電極７２が配置されている。第４主面は、検知用圧電体７１における第１電極６２側の主面である。第４主面には、第４電極が配置されている。第３電極７２及び第４電極のそれぞれは、例えば、Ｎｉ／Ａｕ層である。検知用圧電体７１、第３電極７２及び第４電極のそれぞれは、例えば、矩形板状を呈している。検知用圧電体７１は、第３電極７２と接合されることにより、第３電極７２と電気的に接続されている。駆動用圧電体６１は、第４電極と接合されることにより、第４電極と電気的に接続されている。第４電極と第１電極６２との間には、第２接着部材８が配置されている。第２接着部材８は、検知用圧電体７１と駆動用圧電体６１とを接着している。

【0037】

ここで、配線基板２、金属基板３、駆動用圧電素子６及び検知用圧電素子７の電気的な接続関係について説明する。図２に示されるように、駆動用圧電素子６の第１電極６２は、ワイヤ１１を介して、電極パッド２１と電気的に接続されている。電極パッド２１は、配線基板２の配線を介して、コネクタ２４の端子２５と電気的に接続されている。つまり、駆動用圧電素子６の第１電極６２は、ワイヤ１１、電極パッド２１、及び配線基板２の配線を介して、コネクタ２４と電気的に接続されている。

【0038】

駆動用圧電素子６の第２電極は、第２電極と本体部３１との間に配置された第２接着部材８を介して、金属基板３と電気的に接続されている。金属基板３の第３接続部３９は、第３接続部３９と電極パッド２３との間に配置された第１接着部材４を介して、電極パッド２３と電気的に接続されている。電極パッド２３は、配線基板２の配線を介して、コネクタ２４の端子２５と電気的に接続されている。つまり、駆動用圧電素子６の第２電極は、第２接着部材８、金属基板３、第１接着部材４、電極パッド２３、及び配線基板２の配線を介して、コネクタ２４と電気的に接続されている。

【0039】

検知用圧電体７１の第３電極７２は、ワイヤ１２を介して、電極パッド２２と電気的に接続されている。電極パッド２２は、配線基板２の配線を介して、コネクタ２４の端子２５と電気的に接続されている。つまり、検知用圧電体７１の第３電極７２は、ワイヤ１２、電極パッド２２、及び配線基板２の配線を介して、コネクタ２４と電気的に接続されている。

【0040】

検知用圧電素子７の第４電極は、第４電極と駆動用圧電素子６の第１電極６２との間に配置された第２接着部材８を介して、駆動用圧電素子６の第１電極６２と電気的に接続されている。つまり、検知用圧電素子７の第４電極は、第２接着部材８、駆動用圧電素子６の第１電極６２、ワイヤ１１、電極パッド２１、及び配線基板２の配線を介して、コネクタ２４と電気的に接続されている。

【0041】

以上のような電気的な接続関係により、アクチュエータ装置１は、例えば以下のように駆動される。具体的には、駆動用圧電素子６の第１電極６２及び検知用圧電素子７の第４電極が、ワイヤ１１、電極パッド２１、配線基板２の配線、及びコネクタ２４を介して、基準電位（例えば、接地電位）に接続された状態で、アクチュエータ装置１の外部から、コネクタ２４、配線基板２の配線、電極パッド２３、第１接着部材４、及び金属基板３を介して、駆動用圧電素子６の第２電極に駆動用の電圧信号が入力される。これにより、駆動用圧電素子６が変形及び/又は振動し、本体部３１に周期的な板波が発生させられる。この周期的な板波の発生によって、第１連結部３５及び第２連結部３６にねじれ振動（ねじれ共振）が誘起され、可動部３２及び光学面５１が揺動する。すなわち、アクチュエータ装置１では、第１連結部３５、第２連結部３６、可動部３２及び光学面５１のねじれ共振系と駆動用圧電素子６とが離れた位置に配置されながら、ラム波共鳴構造が採られることで、高い駆動効率でねじれ共振が発生させられる。その一方で、可動部３２及び光学面５１の揺動による角度の変化に応じた電圧信号が、検知用圧電体７１の第３電極７２から、ワイヤ１２、電極パッド２２、配線基板２の配線、及びコネクタ２４を介して、アクチュエータ装置１の外部に出力され、光学面５１の揺動角度が検知される。なお、アクチュエータ装置１は、圧電ユニット１０を備えている。圧電ユニット１０は、上述した金属基板３、駆動用圧電素子６、検知用圧電素子７及び第２接着部材８によって構成されている。
［配線基板、金属基板及び第１接着部材の構成］

【0042】

図３に示されるように、第１接続部３７は、第１領域Ｒ１と、第２領域Ｒ２と、第３領域Ｒ３と、を含んでいる。第１領域Ｒ１は、Ｚ軸方向において部分２６と対向している領域である。部分２６は、配線基板２の一部分である。第２領域Ｒ２は、第１領域Ｒ１から連続している領域である。第３領域Ｒ３は、第２領域Ｒ２から連続し、第１延在部３３に接続されている領域である。「第１延在部３３に接続されている領域」は、第３領域Ｒ３が第１延在部３３に直接的に（すなわち、別の部分を介さずに）接続されている領域、及び第３領域Ｒ３が第１延在部３３に間接的に（すなわち、別の部分を介して）接続されている領域のいずれも含む。つまり、第３領域Ｒ３は、第１接続部３７において第１延在部３３と第２領域Ｒ２との間の部分の全体とは限られず、第２領域Ｒ２に連続的に接続されている領域である。本実施形態では、第２領域Ｒ２及び第３領域Ｒ３は、Ｚ軸方向において配線基板２と対向していない。

【0043】

以下の説明では、Ｚ軸方向から見た場合において、第３領域Ｒ３が第２領域Ｒ２に接続されている方向を接続方向Ａとし、接続方向Ａに垂直な方向を方向Ｂとする。本実施形態では、接続方向Ａは、Ｚ軸方向から見た場合において、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと交差している。本実施形態では、Ｚ軸方向から見た場合に、第１領域Ｒ１及び第２領域Ｒ２からなる領域は、多角形状を呈しており、第２領域Ｒ２は、多角形状の一つの角部Ｋを構成している。一例として、Ｚ軸方向から見た場合に、第１領域Ｒ１及び第２領域Ｒ２からなる領域は、略矩形状を呈しており、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２との境界線は、角部Ｋの頂点とは反対側に凸となるように湾曲している。Ｚ軸方向から見た場合に、第２領域Ｒ２は、例えば、扇状を呈している。一例として、Ｚ軸方向から見た場合に、第３領域Ｒ３は、接続方向Ａを長手方向とする長方形状を呈しており、第２領域Ｒ２においてＸ軸方向における最も一方の側且つＹ軸方向における最も一方の側の部分に接続されている。

【0044】

Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｂにおける第２領域Ｒ２の幅Ｗ２は、方向Ｂにおける第３領域Ｒ３の幅Ｗ３よりも大きい。「Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｂにおける第２領域Ｒ２の幅Ｗ２が、方向Ｂにおける第３領域Ｒ３の幅Ｗ３よりも大きい」とは、Ｚ軸方向から見た場合に、第２領域Ｒ２と第３領域Ｒ３との境界部分を除き、方向Ｂにおける第２領域Ｒ２の幅Ｗ２の最小値が、方向Ｂにおける第３領域Ｒ３の幅Ｗ３の最大値よりも大きいことを意味する。

【0045】

なお、Ｚ軸方向において配線基板２の部分２６と対向する第１領域Ｒ１に対して、第２領域Ｒ２は、ｉ）Ｚ軸方向において配線基板２と対向していない領域、又はｉｉ）Ｚ軸方向における第１領域Ｒ１と配線基板２との距離よりも、Ｚ軸方向における配線基板２までの距離が大きい領域を含む。本実施形態では、第２領域Ｒ２は、ｉ）Ｚ軸方向において配線基板２と対向していない領域である。

【0046】

また、第２領域Ｒ２と第３領域Ｒ３との境界は、ｉ）方向Ｂにおける第１接続部３７の幅が「方向Ｂに沿ったライン」を境界に不連続に変化する場合における当該「方向Ｂに沿ったライン」、ｉｉ）方向Ｂにおける第１接続部３７の幅の変化率が「方向Ｂに沿ったライン」を境界に不連続に変化する場合における当該「方向Ｂに沿ったライン」、又はｉｉｉ）方向Ｂにおける第１接続部３７の幅が「方向Ｂに沿ったライン」を境界に方向Ｂにおける第１接続部３７の幅の最小値の１．１倍を超える場合における当該「方向Ｂに沿ったライン」を含む。本実施形態では、第２領域Ｒ２と第３領域Ｒ３との境界は、ｉｉｉ）方向Ｂにおける第１接続部３７の幅が「方向Ｂに沿ったライン」を境界に方向Ｂにおける第１接続部３７の幅の最小値の１．１倍を超える場合における当該「方向Ｂに沿ったライン」である。なお、第３領域Ｒ３は、第１接続部３７のうち方向Ｂにおける第１接続部３７の最小の幅を有する部分を少なくとも含む領域であり、第１接着部材４の第２部分４２は、方向Ｂにおける第１接続部３７の最小の幅となるラインを少なくとも超えない。

【0047】

Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｂにおける第１領域Ｒ１の幅Ｗ１は、方向Ｂにおける第２領域Ｒ２の幅Ｗ２よりも大きい。「Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｂにおける第１領域Ｒ１の幅Ｗ１が、方向Ｂにおける第２領域Ｒ２の幅Ｗ２よりも大きい」とは、Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｂにおける第１領域Ｒ１の幅Ｗ１の最大値が、方向Ｂにおける第２領域Ｒ２の幅Ｗ２の最大値よりも大きいことを意味する。このように、Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｂにおける第１接続部３７の幅は、第３領域Ｒ３から第１領域Ｒ１に向かうにつれて段階的に大きくなっている。

【0048】

本実施形態では、Ｚ軸方向から見た場合に、第１領域Ｒ１の面積は、第２領域Ｒ２の面積よりも大きく、第２領域Ｒ２の面積は、第３領域Ｒ３の面積よりも大きい。更に、Ｚ軸方向から見た場合に、第１領域Ｒ１の面積は、第２領域Ｒ２の面積及び第３領域Ｒ３の面積の総和よりも大きい。第２領域Ｒ２の剛性は、第３領域Ｒ３の剛性よりも大きい。第１領域Ｒ１の剛性は、第２領域Ｒ２の剛性よりも大きい。

【0049】

図４に示されるように、第１接着部材４は、配線基板２の部分２６と第１接続部３７とを接着している。第１接着部材４は、第１部分４１と、第２部分４２と、を有している。第１部分４１は、第１接着部材４のうち、部分２６と第１領域Ｒ１との間に配置されている部分である。第２部分４２は、第１接着部材４のうち、第１部分４１から連続し、第２領域Ｒ２に至っており、第３領域Ｒ３に至っていない部分である。すなわち、第２部分４２は、第２領域Ｒ２に接触しており、第３領域Ｒ３には接触していない。一例として、第２部分４２は、第２領域Ｒ２及び部分２６の側面に接触しており、第２部分４２おける前記第２領域Ｒ２とは反対側の表面は、空間に露出している。つまり、第１接着部材４は、第１領域Ｒ１及び第２領域Ｒ２のそれぞれに接触しており、第３領域Ｒ３には接触していない。このように、第１接続部３７においては、第１領域Ｒ１と第３領域Ｒ３との間に第２領域Ｒ２が設けられていることで、金属基板３において、第１領域Ｒ１からはみ出した第１接着部材４が第２領域Ｒ２に留まり、第１延在部３３に接続されている第３領域Ｒ３には、第１接着部材４が接触していない。

【0050】

第２接続部３８も、第１接続部３７と同様に、第１領域Ｒ１と、第２領域Ｒ２と、第３領域Ｒ３と、を含んでいる。第２接続部３８の第１領域Ｒ１は、Ｚ軸方向において配線基板２の一部分と対向している領域である。第２接続部３８の第２領域Ｒ２は、第１領域Ｒ１から連続している領域である。第２接続部３８の第３領域Ｒ３は、第２領域Ｒ２から連続し、第２延在部３４に接続されている領域である。第１接着部材４は、配線基板２の上記部分と第２接続部３８とを接着している。配線基板２の上記部分と第２接続部３８とを接着している第１接着部材４も、部分２６と第１接続部３７とを接着している第１接着部材４と同様に、第１部分４１と、第２部分４２と、を有している。第２接続部３８及び第１接着部材４の構成は、第１接続部３７及び第１接着部材４の構成と同様である（Ｙ軸方向に沿って光学面５１の中心を通る直線に対して線対称の関係にある）。

【0051】

図５に示されるように、第３接続部３９は、第４領域Ｒ４と、第５領域Ｒ５と、第６領域Ｒ６と、を含んでいる。第４領域Ｒ４は、Ｚ軸方向において部分２８と対向している領域である。部分２８は、配線基板２の部分２６とは別の一部分である。第５領域Ｒ５は、第４領域Ｒ４から連続している領域である。第６領域Ｒ６は、第５領域Ｒ５から連続し、本体部３１に接続されている領域である。「本体部３１に接続されている領域」は、第６領域Ｒ６が本体部３１に直接的に（すなわち、別の部分を介さずに）接続されている領域、及び第６領域Ｒ６が本体部３１に間接的に（すなわち、別の部分を介して）接続されている領域のいずれも含む。つまり、第６領域Ｒ６は、第３接続部３９において本体部３１と第５領域Ｒ５との間の部分の全体とは限らず、第５領域Ｒ５に連続的に接続されている領域である。

【0052】

以下の説明では、Ｚ軸方向から見た場合において、第６領域Ｒ６が第５領域Ｒ５に接続されている方向（別の接続方向）を接続方向Ｃとし、接続方向Ｃに垂直な方向を方向Ｄとする。本実施形態では、Ｚ軸方向から見た場合に、第４領域Ｒ４及び第５領域Ｒ５からなる領域は、多角形状を呈しており、第５領域Ｒ５は、多角形状の一つの辺部の一部を構成している。一例として、Ｚ軸方向から見た場合に、第４領域Ｒ４及び第５領域Ｒ５からなる領域は、矩形状を呈しており、第４領域Ｒ４と第５領域Ｒ５との境界線は、上記辺部とは反対側に凸となるように湾曲している。Ｚ軸方向から見た場合に、第５領域Ｒ５は、例えば、半楕円状を呈している。Ｚ軸方向から見た場合に、第６領域Ｒ６は、例えば、略矩形状を呈しており、第２領域Ｒ２においてＸ軸方向における中央且つＹ軸方向における最も他方の側の部分に接続されている。

【0053】

Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｄにおける第５領域Ｒ５の幅Ｗ５は、方向Ｄにおける第６領域Ｒ６の幅Ｗ６よりも大きい。「Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｄにおける第５領域Ｒ５の幅Ｗ５が、方向Ｄにおける第６領域Ｒ６の幅Ｗ６よりも大きい」とは、Ｚ軸方向から見た場合に、第５領域Ｒ５と第６領域Ｒ６との境界部分を除き、方向Ｄにおける第５領域Ｒ５の幅Ｗ５の最小値が、方向Ｄにおける第６領域Ｒ６の幅Ｗ６の最大値よりも大きいことを意味する。

【0054】

なお、Ｚ軸方向において配線基板２の部分２８と対向する第４領域Ｒ４に対して、第５領域Ｒ５は、ｉ）Ｚ軸方向において配線基板２と対向していない領域、又はｉｉ）Ｚ軸方向における第４領域Ｒ４と配線基板２との距離よりも、Ｚ軸方向における配線基板２までの距離が大きい領域を含む。本実施形態では、第５領域Ｒ５は、ｉ）Ｚ軸方向において配線基板２と対向していない領域である。

【0055】

また、第５領域Ｒ５と第６領域Ｒ６との境界は、ｉ）方向Ｄにおける第３接続部３９の幅が「方向Ｄに沿ったライン」を境界に不連続に変化する場合における当該「方向Ｄに沿ったライン」、ｉｉ）方向Ｄにおける第３接続部３９の幅の変化率が「方向Ｄに沿ったライン」を境界に不連続に変化する場合における当該「方向Ｄに沿ったライン」、又はｉｉｉ）方向Ｄにおける第３接続部３９の幅が「方向Ｄに沿ったライン」を境界に方向Ｄにおける第３接続部３９の幅の最小値の１．１倍を超える場合における当該「方向Ｄに沿ったライン」を含む。本実施形態では、第５領域Ｒ５と第６領域Ｒ６との境界は、ｉｉｉ）方向Ｄにおける第３接続部３９の幅が「方向Ｄに沿ったライン」を境界に方向Ｄにおける第３接続部３９の幅の最小値の１．１倍を超える場合における当該「方向Ｄに沿ったライン」である。なお、第６領域Ｒ６は、第３接続部３９のうち方向Ｄにおける第３接続部３９の最小の幅を有する部分を少なくとも含む領域であり、第１接着部材４の第４部分４４は、方向Ｄにおける第３接続部３９の最小の幅となるラインを少なくとも超えない。

【0056】

Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｄにおける第４領域Ｒ４において第５領域Ｒ５よりもＹ軸方向における一方の側に位置する部分の幅Ｗ４は、方向Ｄにおける第５領域Ｒ５の幅Ｗ５よりも大きい。「Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｄにおける第４領域Ｒ４において方向Ｄにおける第５領域Ｒ５よりもＹ軸方向における一方の側に位置する部分の幅Ｗ４が、第５領域Ｒ５の幅Ｗ５よりも大きい」とは、Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｄにおける幅Ｗ４の最大値が、方向Ｄにおける第５領域Ｒ５の幅Ｗ５の最大値よりも大きいことを意味する。このように、Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｄにおける第３接続部３９の幅は、第６領域Ｒ６から第４領域Ｒ４に向かうにつれて段階的に大きくなっている。

【0057】

本実施形態では、Ｚ軸方向から見た場合に、第４領域Ｒ４の面積は、第５領域Ｒ５の面積よりも大きい。更に、Ｚ軸方向から見た場合に、第４領域Ｒ４の面積は、第５領域Ｒ５の面積及び第６領域Ｒ６の面積の総和よりも大きい。第５領域Ｒ５の剛性は、第６領域Ｒ６の剛性よりも大きい。第４領域Ｒ４の剛性は、第５領域Ｒ５の剛性よりも大きい。

【0058】

図６に示されるように、本実施形態では、第５領域Ｒ５及び第６領域Ｒ６は、Ｚ軸方向において配線基板２と対向していない。第１接着部材４は、配線基板２の部分（別の一部分）２８と第３接続部３９とを接着している。第１接着部材４は、第３部分４３と、第４部分４４と、を有している。第３部分４３は、第１接着部材４のうち、部分２８と第４領域Ｒ４との間に配置されている部分である。第４部分４４は、第１接着部材４のうち、第３部分４３から連続し、第５領域Ｒ５に至っており、第６領域Ｒ６に至っていない部分である。すなわち、第４部分４４は、第５領域Ｒ５に接触しており、第６領域Ｒ６に接触していない。一例として、第４部分４４は、第５領域Ｒ５及び部分２８の側面に接触しており、第４部分４４における第５領域Ｒ５とは反対側の表面は、空間に露出している。つまり、第１接着部材４は、第４領域Ｒ４及び第５領域Ｒ５のそれぞれに接触しており、第６領域Ｒ６には接触していない。このように、第３接続部３９においては、第４領域Ｒ４と第６領域Ｒ６との間に第５領域Ｒ５が設けられていることで、金属基板３において、第４領域Ｒ４からはみ出した第１接着部材４が第５領域Ｒ５に留まり、本体部３１に接続されている第６領域Ｒ６には、第１接着部材４が接触していない。
［作用及び効果］

【0059】

アクチュエータ装置１では、第１接続部３７において、第１接着部材４の第１部分４１が、配線基板２の部分２６と第１領域Ｒ１との間に配置されており、第１部分４１から連続する第１接着部材４の第２部分４２が、第１領域Ｒ１から連続する第２領域Ｒ２に至っている。これにより、配線基板２の部分２６と第１領域Ｒ１との間に第１接着部材４を十分に行き渡らせることができ、配線基板２と金属基板３との接着強度を確保することができる。第２接続部３８についても同様に、配線基板２の一部分と第１領域Ｒ１との間に第１接着部材４を十分に行き渡らせることができ、配線基板２と金属基板３との接着強度を確保することができる。その一方で、第１接続部３７において、第３領域Ｒ３の幅Ｗ３よりも大きい幅Ｗ２を有する第２領域Ｒ２には、第１接着部材４の第２部分４２が至っているものの、第２領域Ｒ２の幅Ｗ２よりも小さい幅Ｗ３を有する第３領域Ｒ３には、第１接着部材４の第２部分４２が至っていない。これにより、第１接続部３７の振動特性が劣化するのを抑制でき、所望の駆動特性を得ることができる。第２接続部３８についても同様に、第２接続部３８の振動特性が劣化するのを抑制でき、所望の駆動特性を得ることができる。よって、アクチュエータ装置１によれば、所望の駆動特性を得ることができ且つ配線基板２と金属基板３との接着強度を確保することができる。

【0060】

例えば、各接続部が、配線基板の一部分と対向する対向領域と、対向領域に連続し、延在部と接続されている振動領域とを含む従来のアクチュエータ装置の構成においては、以下の問題があった。すなわち、従来のアクチュエータ装置においては、金属基板の共振モードに影響を与えやすい（すなわち、比較的剛性が低く振動しやすい）振動領域に接着部材が至り、振動領域に接着部材がはみ出す量及び場所によって金属基板の共振モードにおける共振周波数が設計値から大きく変化してしまうことが問題となっていた。例えば、振動領域に接着部材がはみ出す量及び場所によって本体部の共振モードにおける共振周波数が変化しても、可動部の共振モードにおける共振周波数は変化しない。しかしながら、光学面において所望の振れ角を得るための駆動電圧は、本体部の共振モードにおける共振周波数と、可動部の共振モードにおける共振周波数との比に影響を受ける。そのため、相対的に剛性が低い振動領域に接着部材が至ることにより、所望の駆動特性が得られないおそれがあった。これに対し、アクチュエータ装置１によれば、第１接続部３７及び第２接続部３８のそれぞれにおいて、第２領域Ｒ２の幅Ｗ２が第３領域Ｒ３の幅Ｗ３よりも大きいので、第３領域Ｒ３の剛性が相対的に下がり、第３領域Ｒ３を選択的に振動させることができる。そのため、第２領域Ｒ２に第１接着部材４がはみ出す量及び場所にかかわらず、アクチュエータ装置１の駆動特性を安定的に得ることができる。

【0061】

第１接続部３７及び第２接続部３８のそれぞれにおいて、Ｚ軸方向から見た場合に、第１領域Ｒ１の面積は、第２領域Ｒ２の面積よりも大きい。これにより、配線基板２と金属基板３との接着強度を確実に確保することができる。

【0062】

第１接続部３７及び第２接続部３８のそれぞれにおいて、Ｚ軸方向から見た場合に、第１領域Ｒ１の面積は、第２領域Ｒ２の面積及び第３領域Ｒ３の面積の総和よりも大きい。これにより、配線基板２と金属基板３との接着強度をより確実に確保することができる。

【0063】

第１接続部３７及び第２接続部３８のそれぞれにおいて、Ｚ軸方向から見た場合に、接続方向Ａに垂直な方向Ｂにおける第１領域Ｒ１の幅Ｗ１は、方向Ｂにおける第２領域Ｒ２の幅Ｗ２よりも大きい。これにより、第３領域Ｒ３から第１領域Ｒ１に向かうにつれて、第１接続部３７の幅を段階的に大きくすることで、配線基板２と金属基板３との接着強度の確保と、所望の駆動特性の確保とを両立させることができる。

【0064】

第１接続部３７及び第２接続部３８のそれぞれにおいて、Ｚ軸方向から見た場合に、第１領域Ｒ１及び第２領域Ｒ２からなる領域は、多角形状を呈しており、Ｚ軸方向から見た場合に、第２領域Ｒ２は、多角形状の一つの角部Ｋを構成している。これにより、例えば、第１領域Ｒ１及び第２領域Ｒ２からなる領域の辺部の一部を第２領域Ｒ２が構成する場合と比較して、第２領域Ｒ２を簡易に設けることができる。

【0065】

第１接続部３７及び第２接続部３８のそれぞれにおいて、Ｚ軸方向から見た場合に、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２との境界線は、角部Ｋの頂点とは反対側に凸となるように湾曲している。これにより、第２領域Ｒ２の角部Ｋの頂点から、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２との境界までの距離を均一にとることができるため、第１接着部材４が第３領域Ｒ３に至ることを確実に防止することができる。

【0066】

第１接続部３７及び第２接続部３８のそれぞれにおいて、第１接続部３７は、第１延在部３３に接続されており、第２接続部３８は、第２延在部３４に接続されている。これにより、第１延在部３３及び第２延在部３４の両方に１つの接続部が接続されている場合と比較して、所望の駆動特性を安定的に得ることができる。

【0067】

第１接続部３７及び第２接続部３８のそれぞれにおいて、第２領域Ｒ２及び第３領域Ｒ３は、Ｚ軸方向において配線基板２と対向していない。これにより、第１接着部材４が、配線基板２と第２領域Ｒ２との間に行き渡り、第３領域Ｒ３に至るといったリスクを確実に回避することができる。

【0068】

第３接続部３９は、本体部３１に接続されており、Ｚ軸方向において配線基板２の部分２８と対向する第４領域Ｒ４と、第４領域Ｒ４から連続する第５領域Ｒ５と、第５領域Ｒ５から連続し、本体部３１に接続されている第６領域Ｒ６と、を含み、Ｚ軸方向から見た場合に、接続方向Ｃに垂直な方向Ｄにおける第５領域Ｒ５の幅Ｗ５は、方向Ｄにおける第６領域Ｒ６の幅Ｗ６よりも大きく、第１接着部材４は、部分２８と第４領域Ｒ４との間に配置された第３部分４３と、第３部分４３から連続し、第５領域Ｒ５に至っており、第６領域Ｒ６に至っていない第４部分４４と、を更に有している。これにより、第３接続部３９においても、部分２８と第３接続部３９の第４領域Ｒ４との間に第１接着部材４を十分に行き渡らせることができ、且つ第３接続部３９の振動特性が劣化するのを抑制できるため、所望の駆動特性を確実に得ることができ且つ配線基板２と金属基板３との接着強度を確実に確保することができる。
［変形例］

【0069】

本発明は、上記実施形態に限定されない。例えば、第１接続部３７及び第２接続部３８のそれぞれにおいて、第１領域Ｒ１、第２領域Ｒ２及び第３領域Ｒ３の構成は、上記実施形態のものに限定されない。例えば、Ｚ軸方向から見た場合に、第１領域Ｒ１の面積は、第２領域Ｒ２の面積と等しく又は当該面積よりも小さくてもよく、第２領域Ｒ２の面積は、第３領域Ｒ３の面積と等しく又は当該面積よりも小さくてもよい。更に、Ｚ軸方向から見た場合に、第１領域Ｒ１の面積は、第２領域Ｒ２の面積及び第３領域Ｒ３の面積の総和と等しく又は当該面積の総和よりも小さくてもよい。

【0070】

また、例えば、第１接続部３７及び第２接続部３８のそれぞれにおいて、第１領域Ｒ１、第２領域Ｒ２及び第３領域Ｒ３は、上記実施形態とは異なる形状であってもよい。例えば、第３領域Ｒ３は、湾曲していてもよい。その場合、接続方向Ａは、Ｚ軸方向から見た場合に、第３領域Ｒ３の軸の各位置における接線方向のうち、最も第２領域Ｒ２側の位置における接線方向である。また、図７に示される例では、Ｚ軸方向から見た場合に、第１接続部３７の第２領域Ｒ２が、矩形状を呈している点で、上記実施形態と相違する。Ｚ軸方向から見た場合に、第２領域Ｒ２は、Ｘ軸方向を長手方向とする略長方形状を呈している。図７に示される例では、第２領域Ｒ２は、ｉ）Ｚ軸方向において配線基板２と対向していない領域である。図７に示される例では、第２領域Ｒ２と第３領域Ｒ３との境界は、ｉｉｉ）方向Ｂにおける第１接続部３７の幅が「方向Ｂに沿ったライン」を境界に方向Ｂにおける第１接続部３７の幅の最小値の１．１倍を超える場合における当該「方向Ｂに沿ったライン」である。

【0071】

また、第１接続部３７において、第３領域Ｒ３は、第１延在部３３に間接的に接続されていてもよく、第２接続部３８において、第３領域Ｒ３は、第２延在部３４に間接的に接続されていてもよい。また、第１接続部３７及び第２接続部３８のそれぞれにおいて、第３領域Ｒ３が第２領域Ｒ２に接続される方向及び位置も、上記実施形態の方向及び位置と異なるものであってもよい。図８及び図９に示される例では、第１接続部３７の第３領域Ｒ３が、第１延在部３３に間接的に接続されている。図８及び図９に示される例では、第１接続部３７は、第１接続部３７の第３領域Ｒ３と第１延在部３３とを連結する連結部３７１を更に含んでいる。連結部３７１は、例えば、Ｘ軸方向に沿って延在している。図８及び図９に示される例では、接続方向Ａは、例えば、Ｚ軸方向から見た場合において、Ｙ軸方向に平行な方向である。図８に示される例では、第３領域Ｒ３は、第２領域Ｒ２においてＸ軸方向における最も他方の側且つＹ軸方向における最も一方の側の部分に接続されている。図９に示される例では、第３領域Ｒ３は、第２領域Ｒ２においてＸ軸方向における中央且つＹ軸方向における最も一方の側の部分に接続されている。図８及び図９に示される例では、第２領域Ｒ２は、ｉ）Ｚ軸方向において配線基板２と対向していない領域である。図８及び図９に示される例では、第２領域Ｒ２と第３領域Ｒ３との境界は、ｉ）方向Ｂにおける第１接続部３７の幅が「方向Ｂに沿ったライン」を境界に不連続に変化する場合における当該「方向Ｂに沿ったライン」である。また、図１０に示される例では、第３領域Ｒ３は、Ｚ軸方向から見た場合において、Ｘ軸方向に平行な接続方向Ａに沿って、第２領域Ｒ２においてＸ軸方向における最も一方の側且つＹ軸方向における最も一方の側の部分に接続されている。図１０に示される例では、第２領域Ｒ２と第３領域Ｒ３との境界は、ｉｉ）方向Ｂにおける第１接続部３７の幅の変化率が「方向Ｂに沿ったライン」を境界に不連続に変化する場合における当該「方向Ｂに沿ったライン」である。なお、図１０に示される例では、配線基板２の図示が省略されている。

【0072】

また、上記実施形態では、第１延在部３３及び第２延在部３４の少なくとも一つに接続されている接続部を、第１接続部３７及び第２接続部３８が構成していたが、接続部の構成は上記実施形態の構成に限定されない。例えば、図１１に示される例では、第１接続部３７が、連結部３７１を介して、第１延在部３３及び第２延在部３４の両方に接続されている。すなわち、図１１に示される例では、第１接続部３７のみが接続部を構成し、金属基板３は第２接続部３８を有していない。図１１に示される例では、第２領域Ｒ２と第３領域Ｒ３との境界は、ｉ）方向Ｂにおける第１接続部３７の幅が「方向Ｂに沿ったライン」を境界に不連続に変化する場合における当該「方向Ｂに沿ったライン」である。なお、図１１に示される例では、配線基板２の図示が省略されている。

【0073】

第１接続部３７及び第２接続部３８のそれぞれにおいて、第２領域Ｒ２及び第３領域Ｒ３のそれぞれは、配線基板２の一部分と対向していてもよい。第２領域Ｒ２が配線基板２の一部分と対向している場合、例えば、第１接着部材４の第２部分４２が、配線基板２に至っていてもよい。図１２に示される例では、第２領域Ｒ２が配線基板２の一部分である部分２６１と対向しており、第２部分４２が、部分２６１に至っている。部分２６１は、配線基板２において、部分２６と連続している。部分２６１は、金属基板３側の表面２６１ａを有している。表面２６１ａは、Ｚ軸方向において載置面２ａに対して金属基板３とは反対側に位置している。第２領域Ｒ２は、部分２６１と対向しており、第３領域Ｒ３は、部分２６１と対向していない。一例として、第２部分４２は、第２領域Ｒ２、部分２６の側面及び部分２６１の表面２６１ａに接触している。なお、第２部分４２は、第２領域Ｒ２と部分２６１との間の全体にまでは至っていないことが好ましい。図１２に示される例では、第２領域Ｒ２は、ｉｉ）Ｚ軸方向における第１領域Ｒ１と配線基板２との距離よりも、Ｚ軸方向における配線基板２までの距離が大きい領域である。なお、第２部分４２は、第３領域Ｒ３に至っていなければよく、例えば、Ｘ軸方向及びＹ軸方向において部分２６１から第３領域Ｒ３側に至り、空間を介して第３領域Ｒ３と対向していてもよい。

【0074】

配線基板２は、上記実施形態の形状に限定されず、例えば、配線基板２は、開口に代えて、中央部分が載置面２ａに対して金属基板３とは反対側に凹んだ凹部を有していてもよい。その場合、第２領域Ｒ２及び第３領域Ｒ３のそれぞれは、配線基板２の凹部と対向していてもよい。また、例えば、配線基板２は、開口に代えて、複数の柱部を有していてもよい。その場合、第２領域Ｒ２及び第３領域Ｒ３のそれぞれは、配線基板２と対向していてもよい。また、上記実施形態では、金属基板３を支持する配線基板２が例示されていたが、金属基板３は、例えば、複数の部材から構成される支持体に支持されていてもよい。

【0075】

第３領域Ｒ３は、第４領域Ｒ４、第５領域Ｒ５及び第６領域Ｒ６を含んでいなくてもよい。例えば、第３領域Ｒ３は、第４領域Ｒ４、第５領域Ｒ５及び第６領域Ｒ６に代えて、配線基板２の一部分と対向する対向領域、及び対向領域と連続し、本体部と接続されている接続領域を含んでいてもよい。

【0076】

上記実施形態では、光学機能部５が、ミラー面である光学面５１を有していたが、光学機能部５は、例えば、反射型回折格子、透過型回折格子、光学フィルタ等であってもよい。また、上記実施形態では、アクチュエータ装置１が振動素子として駆動用圧電素子６を備えていたが、振動素子は、駆動信号により振動する振動源を有するものであればよく、圧電駆動式のものに限られない。例えば、振動素子は、金属基板３の本体部３１に磁石を、金属基板３とは別の箇所にコイルを有する（又は、金属基板３の本体部３１にコイルを、金属基板３とは別の箇所に磁石を有する）電磁駆動式のものであってもよい。アクチュエータ装置１は、配線基板２と、金属基板３と、第１接着部材４と、駆動用圧電素子６と、を備えていればよい。アクチュエータ装置１には、例えば、コネクタ２４、ワイヤ１１及びワイヤ１２が取り付けられていなくてもよい。また、アクチュエータ装置１は、検知用圧電素子７を備えていなくてもよい。

【符号の説明】

【0077】

１…アクチュエータ装置、２…配線基板（支持体）、３…金属基板、４…第１接着部材（接着部材）、６…駆動用圧電素子（振動素子）、２６…部分（一部分）、２８…部分（別の一部分）、３１…本体部、３２…可動部、３３…第１延在部、３４…第２延在部、３５…第１連結部、３６…第２連結部、３７…第１接続部（接続部）、３８…第２接続部（接続部）、３９…第３接続部（別の接続部）、４１…第１部分、４２…第２部分、４３…第３部分、４４…第４部分、Ａ，Ｃ…接続方向、Ｂ，Ｄ…方向（接続方向に垂直な方向）、Ｋ…角部、Ｒ１…第１領域、Ｒ２…第２領域、Ｒ３…第３領域、Ｒ４…第４領域、Ｒ５…第５領域、Ｒ６…第６領域、Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４，Ｗ５，Ｗ６…幅。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】