特開 2022-176144 第２のホログラフィック光学素子を形成するための露光装置及び方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022176144

(43)【公開日】2022-11-25

(54)【発明の名称】第２のホログラフィック光学素子を形成するための露光装置及び方法

(51)【国際特許分類】

   G03H 1/04 20060101AFI20221117BHJP

   G02B 5/32 20060101ALI20221117BHJP

【ＦＩ】

G03H1/04

G02B5/32

【審査請求】未請求

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2022077962

(22)【出願日】2022-05-11

(31)【優先権主張番号】10 2021 204 872.2

(32)【優先日】2021-05-12

(33)【優先権主張国・地域又は機関】DE

(71)【出願人】

【識別番号】591245473

【氏名又は名称】ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング

【氏名又は名称原語表記】ＲＯＢＥＲＴ ＢＯＳＣＨ ＧＭＢＨ

(74)【代理人】

【識別番号】100118902

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 修

(74)【代理人】

【識別番号】100196508

【弁理士】

【氏名又は名称】松尾 淳一

(74)【代理人】

【識別番号】100147991

【弁理士】

【氏名又は名称】鳥居 健一

(72)【発明者】

【氏名】アンドレアス・ペーターセン

(72)【発明者】

【氏名】ヨハネス・ホフマン

(72)【発明者】

【氏名】ラインホルト・フィース

(72)【発明者】

【氏名】トビアス・ビルム

【テーマコード（参考）】

2H249

2K008

【Ｆターム（参考）】

2H249CA01

2H249CA08

2H249CA09

2H249CA15

2H249CA30

2K008AA14

2K008BB04

2K008DD12

2K008GG01

2K008HH01

2K008HH19

(57)【要約】      （修正有）

【課題】複雑な多重波面型ＨＯＥの記録を可能にする。
【解決手段】第１のホログラフィック光学素子１ｂを含む露光装置８ａであって、第１のホログラフィック光学素子が第１、第２の部分領域１０ｃ及び１０ｄを有する。露光装置は、第１の感光性物質７０ａと、第１の波長の第１の光波６５、第２の波長の第１の光波を生成するため、及び第２の光波８５を生成するためのライトユニット１００とを含む。ライトユニットは、第１の光波を第１のホログラフィック素子の第１及び第２の部分領域に照射する。第１の感光性物質は、第１の感光性物質の第３の部分領域９０において、偏向された第１の光波の第１の部分波７１ａが偏向された第２の部分波７１ｂと重複するように、配置される。ライトユニットは、第１の感光性物質の第３の部分領域において、第２のホログラフィック光学素子が形成されるように、第２の光波を第１の感光性物質に照射する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

特に第２のホログラフィック光学素子（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ）を作製するための露光装置（８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ）であって、
少なくとも第１の部分領域（１０ａ、１０ｃ、１１ａ、１２ａ、１３ａ、１４ａ）及び第２の部分領域（１０ｂ、１０ｄ、１１ｂ、１２ｂ、１３ｂ、１４ｂ）を有し、前記第１の部分領域（１０ａ、１０ｃ、１１ａ、１２ａ、１３ａ、１４ａ）が少なくとも第１の回折格子（２０ａ）を、前記第２の部分領域（１０ｂ、１０ｄ、１１ｂ、１２ｂ、１３ｂ、１４ｂ）が少なくとも第２の回折格子（２０ｂ）を有する、第１のホログラフィック光学素子（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ）と、
第１の感光性物質（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）、特に第１の感光膜と、
少なくとも第１の波長の第１の光波（６５、６６）及び／又は第２の波長第１の光波（６８）を生成するため、及び少なくとも第１の波長の第２の光波（８４、８５）及び／又は第２の波長の第２の光波（８６）を生成するためのライトユニット（１００、１０１）と、を含む露光装置（８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ）であり、
前記ライトユニット（１００、１０１）は、生成された前記第１の光波（６５、６６）を前記第１のホログラフィック素子（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ）の前記少なくとも第１の部分領域（１０ａ、１０ｃ、１１ａ、１２ａ、１３ａ、１４ａ）及び第２の部分領域（１０ｂ、１０ｄ、１１ｂ、１２ｂ、１３ｂ、１４ｂ）に照射するように構成されており、
前記第１の感光性物質（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）は、前記第１の感光性物質（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）の少なくとも第３の部分領域（９０、９１、９３ａ）において、前記第１の回折格子（２０ａ）によって偏向された前記第１の波長及び／又は前記第２の波長の前記第１の光波の第１の部分波（７１ａ、７２ａ、７７ａ）が前記第２の回折格子（２０ｂ）によって偏向された前記第１の波長及び／又は前記第２の波長の前記第１の光波の第２の部分波（７１ｂ、７２ｂ、７８ａ）と重複するように、前記第１のホログラフィック光学素子（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ）に対して配置されており、
前記ライトユニット（１００、１０１）は、前記第１の感光性物質（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）の前記少なくとも第３の部分領域（９０、９１、９３ａ）において、前記第１の光波の前記第１の部分波（７１ａ、７２ａ、７７ａ）及び前記第２の部分波（７１ｂ、７２ｂ、７８ａ）が前記第２の光波（８５）と干渉することによって第２のホログラフィック光学素子が形成されるように、生成された前記第１の波長の前記第２の光波（８４、８５）及び／又は前記第２の波長の前記第２の光波（８６）を前記第１の感光性物質（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）に照射するように構成されている、露光装置（８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ）。

【請求項2】

前記第１のホログラフィック光学素子（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ）は透過ホログラムであり、
前記第１の感光性物質（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）は、前記第１の感光性物質（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）の少なくとも前記第３の部分領域（９０、９１、９３ａ）、特に前面（９ａ）において、前記第１の回折格子（２０ａ）によって偏向された前記第１の波長及び／又は前記第２の波長の前記第１の光波の前記第１の部分波（７１、７１ｂ、７７ａ）が前記第２の回折格子（２０ｂ）によって偏向された前記第１の波長及び／又は前記第２の波長の前記第１の光波の前記第２の部分波（７１ｂ、７２ｂ、７８ａ）と重複するように、前記第１のホログラフィック光学素子（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ）に対して配置されており、
前記ライトユニット（１００、１０１）は、前記第１の感光性物質（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）の前記少なくとも第３の部分領域（９０、９１、９３ａ）において、前記第１の部分波（７１、７２ａ、７７ａ）及び前記第２の部分波（７１ｂ、７２ｂ、７８ａ）が前記第１の波長及び／又は前記第２の波長の前記第２の光波（８４、８５）と干渉することによって第２のホログラフィック光学素子が形成されるように、生成された前記第１の波長及び／又は前記第２の波長の前記第２の光波（８４、９５）を前記第１の感光性物質（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）の裏面（９ｂ）に照射するように構成されている、ことを特徴とする請求項１に記載の露光装置（８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ）。

【請求項3】

前記第１のホログラフィック光学素子（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ）が第４の部分領域及び第５の部分領域をさらに有し、
前記第４の部分領域が少なくとも第３の回折格子を、前記第５の部分領域が少なくとも第４の回折格子を有し、前記部分領域が矩形状に、特に２×２配列として配置されている、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置（８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ）。

【請求項4】

前記第１の回折格子（２０ａ）及び／又は前記第２の回折格子（２０ｂ）がホログラフィック格子、特にホログラフィック格子平面を有し、
前記格子が移動可能に配置されており、
前記ホログラフィック格子の表面法線が特に互いに対して位置に依存した角度を有する、ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の露光装置（８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ）。

【請求項5】

前記第１のホログラフィック光学素子（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ）が、前記第１の部分領域（１０ａ、１０ｃ、１１ａ、１２ａ、１３ａ、１４ａ）内に少なくとも第１のホーゲル（３０、３１、３３）及び第２のホーゲル（３２、３４）を有し、
前記第１のホーゲル（３０、３１、３３）が少なくとも２つの、特に互いに異なる回折格子を有し、前記第２のホーゲル（３２、３４）が少なくとも２つの、特に互いに異なる回折格子を有する、ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の露光装置（８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ）。

【請求項6】

前記第１のホログラフィック素子（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ）が、前記第１の感光性物質（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）、特に感光性樹脂から形成されている、前記第１の感光性物質とは異なる第２の感光性物質（７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ、７ｅ）、特にハロゲン化銀から形成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の露光装置（８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ）。

【請求項7】

前記第１のホログラフィック光学素子（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ）及び前記第１の感光性物質（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）が基本的に互いに平行に配置されている、ことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の露光装置（８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ）。

【請求項8】

第２のホログラフィック光学素子の作製方法であって、
少なくとも第１の部分領域（１０ａ、１０ｃ、１１ａ、１２ａ、１３ａ、１４ａ）及び第２の部分領域（１０ｂ、１０ｄ、１１ｂ、１２ｂ、１３ｂ、１４ｂ）を有し、前記第１の部分領域（１０ａ、１０ｃ、１１ａ、１２ａ、１３ａ、１４ａ）が少なくとも第１の回折格子（２０ａ）を、前記第２の部分領域（１０ｂ、１０ｄ、１１ｂ、１２ｂ、１３ｂ、１４ｂ）が少なくとも第２の回折格子（２０ｂ）を有する、少なくとも第１のホログラフィック光学素子（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ）を準備するステップ（１１０）と、
第１の感光性物質（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）、特に感光膜を準備するステップ（１２０）と、
少なくとも第１の波長の第１の光波（６５、６６）及び／又は第２の波長の第１の光波（６８）を前記第１のホログラフィック素子（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ）の前記少なくとも第１の部分領域（１０ａ、１０ｃ、１１ａ、１２ａ、１３ａ、１４ａ）及び第２の部分領域（１０ｂ、１０ｄ、１１ｂ、１２ｂ、１３ｂ、１４ｂ）に照射するステップ（１５０）であって、前記第１の感光性物質（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）が、前記第１の感光性物質（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）の少なくとも第３の部分領域（９０、９１、９３ａ）において、前記第１の回折格子（２０ａ）によって偏向された前記第１の波長及び／又は前記第２の波長の前記第１の光波の第１の部分波（７１ａ、７２ａ、７７ａ）が前記第２の回折格子（２０ｂ）によって偏向された前記第１の波長及び／又は前記第２の波長の前記第１の光波の第２の部分波（７１ｂ、７２ｂ、７８ａ）と重複するように、前記第１のホログラフィック光学素子（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ）に対して配置されている、ステップ（１５０）と、
前記第１の感光性物質（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）の前記少なくとも第３の部分領域（９０、９１、９３ａ）において、前記第１の部分波（７１ａ、７２ａ、７７ａ）及び前記第２の部分波（７１ｂ、７２ｂ、７８ａ）が前記第１の波長の第２の光波（８４、８５）及び／又は前記第２の波長の第２の光波（８６）と干渉することによって第２のホログラフィック光学素子が形成されるように、少なくとも前記第１の波長（８４、８５）の前記第２の光波及び／又は前記第２の波長の前記第２の光波（８６）を前記第１の感光性物質（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）に照射するステップ（１６０）と、を含む方法。

【請求項9】

前記第１の回折格子によって偏向された前記第１の波長及び／又は前記第２の波長の前記第１の光波の前記第１の部分波（７１ａ、７２ａ、７７ａ）が、第１の集光領域（８８ａ）、特に第１の焦点において交差し、
前記第２の回折格子（２０ｂ）によって偏向された前記第１の波長及び／又は前記第２の波長（２０ｂ）の前記第１の光波の前記第２の部分波（７１ｂ、７２ｂ、７８ａ）が、第２の集光領域（８８ｂ）、特に焦点において交差する、ことを特徴とする請求項８に記載の方法。

【請求項10】

前記第１の波長の前記第２の光波（８４、８５）及び／又は前記第２の波長の前記第２の光波（８６）が、第３の集光領域（３７ａ）、特に焦点へ向かう方向に延び、
前記集光領域（３７ａ、８８ａ、８８ｂ）が、共通の面、特に前面（９ａ）又は裏面（９ｂ）上に前記第１の感光性物質（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）に対向して配置されている、ことを特徴とする請求項９に記載の方法。

【請求項11】

前記第１の波長及び／又は前記第２の波長の前記第１の光波の第３の部分波（８２ａ）が伝搬方向を変えずに前記第１の回折格子（２０ａ）を通過し、前記第１の波長及び／又は前記第２の波長の前記第１の光波の第４の部分波が伝搬方向を変えずに前記第２の回折格子（２０ｂ）を通過し、前記第３の部分波（８２ａ）及び前記第４の部分波が前記第１の感光性物質（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）を通り過ぎるように放射されるように、前記第１の波長の前記第１の光波（６５、６６）及び／又は前記第２の波長の前記第１の光波（６８）を前記第１のホログラフィック素子（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ）の前記少なくとも第１の部分領域（１０ａ、１０ｃ、１１ａ、１２ａ、１３ａ、１４ａ）及び第２の部分領域（１０ｂ、１０ｄ、１１ｂ、１２ｂ、１３ｂ、１４ｂ）に照射するステップ（１３０）、を特徴とする請求項８から１０のいずれか一項に記載の方法。

【請求項12】

前記第１の波長の前記第１の光波（６５、６６）及び／又は前記第２の波長の前記第１の光波（６８）の入射角度（７９ａ）が拡大されるように、前記第１のホログラフィック光学素子（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ）が前記第１の感光性物質（７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ）に対して回転される、特に傾けられる、ことを特徴とする請求項１１に記載の方法。

【請求項13】

前記第１のホログラフィック光学素子（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ）、特に前記第１のホログラフィック光学素子（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ）の前記回折格子が、デジタルに、特に少なくとも１つの空間光変調器を用いて形成、特に照射される、ことを特徴とする請求項８から１２のいずれか一項に記載の方法。

【請求項14】

前記第１のホログラフィック光学素子（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ）、特に前記第１のホログラフィック光学素子（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ）の前記回折格子が、少なくとも第６及び第７の部分領域を備えた少なくとも１つの別の第３のホログラフィック光学素子を用いて特に照射される、ことを特徴とする請求項８から１２のいずれか一項に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、特に第２のホログラフィック光学素子を作製するための露光装置に関する。さらに、本発明は第２のホログラフィック光学素子の作製方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ホログラフィック光学素子（ＨＯＥ）は、例えばヘッドアップディスプレイへの適用で知られている。この場合、例えば文献ＤＥ１０２０１１０７５８８４Ａ１に記載されるように、光を偏向させるためにホログラムを車両のインストルメントパネルに配置されていてもよい。この場合、ホログラムの支持体として、例えばガラス体が使用されてもよい。

【0003】

文献ＤＥ１０２０１７２１８５４４Ａ１には、ホログラムを記録するための露光装置が記載されている。この場合、ホログラムは空間光変調器（ＳＬＭ）を用いてデジタルに生成される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】ＤＥ１０２０１１０７５８８４Ａ１

【特許文献2】ＤＥ１０２０１７２１８５４４Ａ１

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記を端緒として、本発明の基礎をなす課題は、複雑な多重波面型ＨＯＥの記録を可能にする露光装置を開発することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

この課題を解決するために、請求項１による、特に第２のホログラフィック光学素子を作製するための露光装置が提示される。加えて、請求項９による第２のホログラフィック素子の作製方法が提示される。

【0007】

特に第２のホログラフィック素子を作製又は記録するように構成されている露光装置は、まず第一に、少なくとも第１の部分領域及び第２の部分領域を備えた少なくとも第１のホログラフィック光学素子を含む。この場合、第１の部分領域は少なくとも第１の回折格子を、第２の部分領域は少なくとも第２の回折格子を有する。この場合、第２の部分領域は、特に第１の部分領域に対して異なる位置に配置されている。特に第１及び第２の部分領域は、隣接して第１のホログラフィック光学素子に配置されている。これに関連して、第１及び第２の部分領域の間にも空き空間が形成されていてもよい。代替的に、第１及び第２の部分領域は、特に部分的に重複するように互いに対して配置されている。露光装置は、特に第１の感光膜として形成されている第１の感光性物質をさらに有する。第１のホログラフィック光学素子及び／又は感光性物質は、特に露光装置の支持基板によって支持される。この支持基板は、特に少なくとも部分的に透明なガラス板である。その他、露光装置は、少なくとも第１の波長の第１の光波を生成するため、及び少なくとも第１の波長の第２の光波を生成するためのライトユニットを有する。第１の波長の光波は、特に赤色光波である。この代替として、ライトユニットは、単色的に少なくとも第２の波長の第１の光波及び少なくとも第２の波長の第２の光波を生成するように構成されている。第２の波長の光波は、特に緑色光波である。この代替として、ライトユニットは、多色的に少なくとも第１の波長及び第２の波長の第１の光波並びに少なくとも第１の波長及び第２の波長の第２の光波を生成するように構成されていてもよい。この場合、第１及び第２の波長の第１の光波とは、特に互いに重なり合い、それによって異なる波長を有する波面を生じさせる第１及び第２の波長の個々の光波のことである。ライトユニットは、例えば、λ＝６４０ｎｍの波長を有する赤色レーザー波を生成するための第１のレーザー生成部と、λ＝５２０ｎｍの波長を有する緑色レーザー波を生成するための第２のレーザー生成部とを含む。ライトユニットは、生成された第１の光波を第１のホログラフィック素子の少なくとも第１及び第２の部分領域に照射するように機能する。この場合、第１の感光性物質は、第１の感光性物質の少なくとも第３の部分領域において、第１の回折格子によって偏向された第１の波長の第１の光波の第１の部分波と第２の回折格子によって偏向された第１の波長の第１の光波の第２の部分波とが重複するように、第１のホログラフィック光学素子に対して配置されている。この状況は、ライトユニットが単に第１の波長の第１の光波を生成するように構成されている場合にのみ生じる。第１の波長の第１の光波の第１の部分波及び第１の波長の第１の光波の第２の部分波とは、第１及び第２の回折格子によって偏向される光波のことである。すなわち、第１の波長の第１の光波は、偏向によって複数の異なる部分波に分割される。この代替として、第１の感光性物質は、第１の感光性物質の少なくとも第３の部分領域において、第１の回折格子によって偏向された第２の波長の第１の光波の第１の部分波と第２の回折格子によって偏向された第２の波長の第１の光波の第２の部分波とが重複するように、第１のホログラフィック光学素子に対して配置されている。この状況は、ライトユニットが単に第２の波長の第１の光波を生成するように構成されている場合にのみ生じる。第２の波長の第１の光波の第１の部分波及び第２の波長の第１の光波の第２の部分波とは、第１及び第２の回折格子によって偏向される光波のことである。さらに、この代替として、第１の感光性物質は、第１の感光性物質の少なくとも第３の部分領域において、第１の回折格子によって偏向された第１の波長及び第２の波長の第１の光波の第１の部分波と第２の回折格子によって偏向された第１の波長及び第２の波長の第１の光波の第２の部分波とが重複するように、第１のホログラフィック光学素子に対して配置されている。この状況は、ライトユニットが第１及び第２の波長の第１の光波を生成するように構成されている場合に生じる。特に、第１の回折格子は第１の波長の第１の光波を偏向するように構成されており、第２の回折格子は第２の波長の第１の光波を意図的に偏向するように構成されている。加えて、ライトユニットは、第１の感光性物質の少なくとも第３の部分領域において、第１の光波の第１及び第２の部分波が第２の光波と干渉することによって第２のホログラフィック光学素子が形成されるように、生成された第１及び／又は第２の波長の第２の光波を感光性物質に照射するように構成されている。第１及び第２の部分波がそれぞれ同じ波長の第２の光波と干渉することによって、互いに異なる回折格子が第３の部分領域に形成される。したがって、空間（幾何学的）多重化とも呼ばれる、複数のホログラム構造を同時に第２のホログラフィック光学素子の同じ部分領域に形成することが可能になる。加えて、異なる波長の部分波が第３の部分領域の同じ位置で、同様に異なる波長を有する第２の光波と干渉すれば、いわゆるスペクトル多重化も起こり得る。その場合、このように形成された回折格子は、様々な波長／色に対して対応するように有効である。このように発生する様々なホログラム構造は、例えば、再び入射する光を様々な方向に偏向させ、それによって多種多様な視覚機能を発揮することができる。したがって、作製されたホログラムを、ヘッドアップディスプレイ、ホログラムレンズ又はホログラフィックフィルター、及び蛍光診断法（Ｌａｂ－ｏｎ－Ｃｈｉｐ）用の偏向器において使用することができる。

【0008】

好適には、第１のホログラフィック光学素子は透過ホログラムである。これに関連して、第１の感光性物質は、第１の感光性物質の少なくとも第３の部分領域、特に前面において、第１の回折格子によって偏向された第１の波長及び／又は第２の波長の第１の光波の第１の部分波が第２の回折格子によって偏向された第１の波長及び／又は第２の波長の第１の光波の第２の部分波と重複するように、第１のホログラフィック光学素子に対して配置されている。この場合、ライトユニットは、第１の感光性物質の少なくとも第３の部分領域において、第１及び第２の部分波が第２の光波と干渉することによって第２のホログラフィック光学素子が形成されるように、生成された第１の波長及び／又は第２の波長の第２の光波を感光性物質の裏面に照射するように構成されている。このように発生する第２のホログラフィック素子は、例えばスマートグラス用の網膜スキャンに適用可能な反射ホログラムとして相応に形成される。感光性物質の第３の部分領域における幾何学的多重化によって光波が同じ位置で様々な方向に偏向され得、それによって、例えばスマートグラスの複数のアイボックスが形成され得る。

【0009】

好ましくは、第１のホログラフィック光学素子は、第４の部分領域及び第５の部分領域をさらに有する。この場合、第４の部分領域は少なくとも第３の回折格子を、第５の部分領域は少なくとも第４の回折格子を有する。これらの部分領域は矩形状に配置されている。特に、これらの部分領域は２×２配列として第１のホログラフィック素子に配置されている。これによって、例えばスマートグラス用の網膜スキャンに関連して、スマートグラス利用者のためにそれぞれ２つの互いに重なり合って配置されたアイボックスを生じさせるという利点が得られる。したがって、スマートグラス利用者のために視界が最大化され得る。

【0010】

好適には、第１及び／又は第２の回折格子のホログラフィック格子、特にホログラフィック格子平面は移動可能に配置されている。つまり、ホログラフィック格子の表面法線は全てが基本的に互いに平行に延びるのではなく、互いに対して位置に依存した角度を有し、ホログラフィック格子が、凹面鏡又はレンズの場合のように、原則的に互いに異なる、特に互いに対して傾斜して配置された平面に配置されている。好ましくは、ホログラフィック格子は、これに関連して、閉鎖的な数学的記述に従う回折特性ではなく、例えば自由曲面光学系のように個々に定義されている回折特性を有する。

【0011】

好ましくは、第１のホログラフィック光学素子は、第１の部分領域内に少なくとも第１のホーゲル及び第２のホーゲルを有する。この場合、ホーゲルとは、例えばＳＬＭを用いてデジタルに第１のホログラフィック光学素子に記録された、個別の明確に定義された部分ホログラムである。この場合、第１のホーゲルは、少なくとも２つの、特に互いに異なる回折格子を有する。同様に、第２のホーゲルは、少なくとも２つの、互いに異なる回折格子を有する。したがって、１つの部分領域が複数の視覚機能を実現し、それによって、例えば、形成された第２のホログラフィック素子において重複する第３の部分領域及び全体として到達可能な角度範囲が拡大されるという可能性が生じる。

【0012】

好適には、第１のホログラフィック素子は、第１の感光性物質とは異なる第２の感光性物質から形成されている。好ましくは、第１の感光性物質は感光性樹脂として、第２の感光性物質はハロゲン化銀として形成されている。したがって、例えば、第１のホログラフィック光学素子は狭い帯域幅を有し得、それによって、形成される第２のホログラフィック光学素子の光学的品質が高められる。第２のホログラフィック光学素子の透明度も上述の材料選択によって高めることができる。好適には、第１のホログラフィック光学素子は、これに関連して、第２の感光性物質の第２の厚さ、特に第２の材料厚とは異なる第１の厚さ、特に第１の材料厚を有する。

【0013】

本発明のさらなる主題は、第２のホログラフィック光学素子の作製方法である。この場合、まず、少なくとも第１の部分領域及び第２の部分領域を有する少なくとも第１のホログラフィック光学素子が準備される。第１の部分領域は少なくとも第１の回折格子を、第２の部分領域は少なくとも第２の回折格子を有する。さらに、第１の感光性物質、特に第１の感光膜が準備される。これに続くステップでは、少なくとも第１の波長及び／又は第２の波長の第１の光波が第１のホログラフィック素子の少なくとも第１及び第２の部分領域に照射される。この場合、第１の感光性物質は、第１の感光性物質の少なくとも第３の部分領域において、第１の回折格子によって偏向された第１の波長及び／又は第２の波長の第１の光波の第１の部分波が第２の回折格子によって偏向された第１の波長及び／又は第２の波長の第１の光波の第２の部分波と重複するように、第１のホログラフィック光学素子に対して配置されている。さらに、第１の感光性物質の少なくとも第３の部分領域において、第１及び第２の部分波が第２の光波と干渉することによって第２のホログラフィック光学素子が形成されるように、特に先行するステップと同時に、少なくとも第１の波長及び／又は第２の波長の第２の光波が第１の感光性物質に照射される。

【0014】

好適には、第１の回折格子によって偏向された第１の波長及び／又は第２の波長の第１の光波の第１の部分波が第１の集光領域、特に第１の焦点において交差する。この第１の集光領域、特に第１の焦点は、形成された第２のホログラフィック光学素子を用いた網膜スキャンの際に、スマートグラス利用者の第１の焦点となり得る。好適には、第２の回折格子によって偏向された第１の波長及び／又は第２の波長の第１の光波の第２の部分波が第２の集光領域、特に焦点において交差する。この第２の集光領域、特に第２の焦点は、形成された第２のホログラフィック光学素子を用いた網膜スキャンの際に、スマートグラス利用者の第２の焦点となり得る。好ましくは、第１の波長の第２の光波は、第３の集光領域、特に焦点へ向かう方向に延びている。全ての集光領域は、第１の感光性物質に対して共通の面、特に前面又は裏面に配置されている。形成された第２のホログラフィック光学素子が第３の集光領域を起点として第２の光波によって照射又は走査されると、スマートグラスに適用するための、２つの並んで配置されたアイボックス及び焦点を備えたＨＯＥが発生する。

【0015】

好ましくは、第１の波長及び／又は第２の波長の第１の光波は、伝搬方向を変えずに第１の回折格子を通過する第１の波長及び／又は第２の波長の第１の光波の第３の部分波と伝搬方向を変えずに第２の回折格子を通過する第１の波長及び／又は第２の波長の第１の光波の第４の部分波とが第１の感光性物質を通り過ぎるように照射されるように、第１のホログラフィック素子の少なくとも第１及び第２の部分領域に照射される。この場合、第３及び第４の部分波は、非意図的に回折格子によって偏向されない第１の光波の一部を表す。すなわち、第１及び／又は第２の波長の第１の光波は、偏向によって複数の異なる部分波に分割される。したがって、第１の感光性物質に衝突してそこで第２の光波と干渉する第３及び／又は第４の部分波によって、妨害ホログラムの発生が防止あるいは抑制される。さらにこれに関連して、好ましくは、第１のホログラフィック光学素子は、第１の光波の入射角度が拡大されるように、第１の感光性物質に対して回転される、特に傾けられるように構成されている。この場合、入射角度とは、第１の光波と第１のホログラフィック光学素子の表面との間の角度のことである。入射角度が拡大され、したがって第１の光波が比較的水平に入射することによって、偏向されていない光波の一部が第１の感光性物質を通り過ぎるように照射されることがより確実になる。

【0016】

好ましくは、第１のホログラフィック光学素子、特に第１のホログラフィック光学素子の回折格子はデジタルに形成される。特に、第１のホログラフィック光学素子は、少なくとも１つの空間光変調器を用いて照射される。デジタルホログラフィーは、一般に空間光変調器（ＳＬＭ）による変調を用いた適応可能な記録波面によって、その多用途性において大きな利点を有している。これは、記録波面の変調によって様々な記録状況を実現することができるからである。この場合、少なくとも１つの光路における少なくとも１つのＳＬＭは、複数の位相面の重畳が可能となるように操作されてもよい。これは、複数の見かけの光源を同時に形成することと同等であり、これによって到達可能な角度範囲を拡大することができる。また、ＨＯＥの同時のデジタル記録によって、時系列の記録より高い総合効率が達成される。その上、時系列の記録と比べてＨＯＥに発生する妨害因子が少ない。この代替として、第１のホログラフィック光学素子、特に第１のホログラフィック光学素子の回折格子は、少なくとも第６及び第７の部分領域を備えた少なくとも１つの別の第３のホログラフィック光学素子によって形成される。この場合、第６及び第７の部分領域は、特に複数の互いに異なる回折格子を備えているので、入射光を複数の異なる方向に偏向させることができる。このような複数のステップからなるプロセスによって、例えば、第１のステップにおいて幾何学的多重化が可能になる。次に、この幾何学的多重化が目標波長のそれぞれについて行われる。第２のステップでは、このように形成された補助ＨＯＥを使用することによって、さらに目標ＨＯＥにおけるスペクトル多重化も行われる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】第１のホログラフィック光学素子を示す図である。

【図2】図２ａは第１のホログラフィック光学素子の第２の実施形態の記録を示す図である。図２ｂは露光装置の第１の実施形態を示す図である。

【図3】図３ａは第１のホログラフィック光学素子の第３の実施形態の記録を示す図である。図３ｂは露光装置の第２の実施形態を示す図である。

【図4】第１のホログラフィック光学素子の第４の実施形態の記録を示す図である。

【図5】第１のホログラフィック光学素子の第５の実施形態の記録を示す図である。

【図6a】第１のホログラフィック光学素子の第６の実施形態の記録を示す図である。

【図6b】露光装置の第３の実施形態を示す図である。

【図7】露光装置の第４の実施形態を示す図である。

【図8】第２のホログラフィック光学素子の作製方法を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

図１は、第１のホログラフィック光学素子１ａの第１の実施形態の断面図としての側面図で概略的に示す。この場合、第１のホログラフィック光学素子１ａは、第１の部分領域１０ａ及び第２の部分領域１０ｂを有する。この場合、第１の部分領域１０ａは第１の回折格子２０ａを、第２の部分領域１０ｂは第２の回折格子２０ｂを有する。それぞれの部分領域１０ａ、１０ｂは、第１のホログラフィック光学素子１ａのこの第１の実施形態では複数のホーゲル３０を備えている。各ホーゲル３０もさらに少なくとも１つの回折格子を有する。この場合、回折格子は特に第１及び／又は第２の回折格子２０ａ又は２０ｂである。この場合、ホーゲル３０は、例えばＳＬＭを用いてデジタルに第１のホログラフィック光学素子１ａに記録された、個別の明確に定義された部分ホログラムを表す。

【0019】

第１及び／又は第２の回折格子は、特にホログラフィック格子平面として形成されているホログラフィック格子を有する。これらの格子は移動可能に配置されていてもよい。つまり、ホログラフィック格子のここでは不図示の表面法線が特に互いに対して位置に依存した角度を有する。言い換えれば、各格子が異なる主面上を有する。ホログラフィック格子は、これに関連して、閉鎖的な数学的記述に従う回折特性ではなく、例えば自由曲面光学系のように個々に定義される回折特性を有してもよい。

【0020】

図２ａは、第１のホログラフィック光学素子の第２の実施形態の記録を概略的に側面図で示す。この場合、第２の感光性物質７ａの第１の部分領域１０ｃが同時に第１の波長の第１の光波５０ｂと第１の波長の第４の光波５０ａとによって照射される。第１の波長の第１の光波５０ｂは水平方向４０ｂに第２の感光性物質７ａの表面に照射され、第１の波長の第４の光波５０ａは傾斜方向４０ａに第２の感光性物質７ａの表面に照射される。この場合、第２の感光性物質７ａは、ここでは不図示の第１の透明な支持基板によって支持される第２の感光膜である。両方の光波５０ａ、５０ｂは、光波５０ａ、５０ｂが干渉し、透過性の第１の回折格子が第１の部分領域１０ｃに形成されるように、第２の感光性物質７ａの前面から第１の部分領域１０ｃに照射される。これに続くステップでは、第２の感光性物質７ａの第２の部分領域１０ｄが同時に第１の波長の第１の光波５０ｄと第１の波長の第４の光波５０ｃとによって照射される。第１の波長の第１の光波５０ｄは水平方向４０ｄに第２の感光性物質７ａの表面に照射され、第１の波長の第４の光波５０ｃは傾斜方向４０ｃに第２の感光性物質７ａの表面に照射される。ここでも、両方の光波５０ｃ、５０ｄは、光波５０ｃ、５０ｄが干渉し、透過性の第２の回折格子が第２の部分領域１０ｄに形成されるように、第２の感光性物質７ａの前面から第２の部分領域１０ｄに照射される。

【0021】

この第１の実施例では、形成された第１のホログラフィック光学素子は、ずらされた平面に、したがってこの図には示されていない、第３の回折格子を備えた第４の部分領域及び第４の回折格子を備えた第５の部分領域をさらに備えている。４つの部分領域は第２の感光性物質７ａの表面に矩形状に、特に２×２配列として間隔を空けて配置されている。

【0022】

図２ｂは、先の図２ａで記録されていた第１のホログラフィック光学素子１ｂを含む露光装置８ａの第１の実施形態を示す。露光装置８ａは、ここでは第１の感光膜として形成されている第１の感光性物質７０ａをさらに含む。この場合、第１の感光膜は、ここでは不図示の第２の透明な支持基板によって支持される。露光装置８ａは、少なくとも第１の波長の第１の光波６５及び第１の波長の第２の光波８５を生成するためのライトユニット１００をさらに有する。ライトユニット１００は、第１の光波６５を第１のホログラフィック光学素子１ｂの第１及び第２の部分領域１０ｃ、１０ｄに照射するように構成されている。第１の光波６５は、本実施形態では、水平方向６０に第１及び第２の部分領域１０ｃ、１０ｄに照射される。この場合、第１のホログラフィック光学素子１ｂ及び第１の感光性物質７０ａは、基本的に互いに平行に配置されている。第１の感光性物質７０ａは、第１の感光性物質７０ａの第３の部分領域９０において、第１の回折格子によって偏向された第１の波長の第１の光波６５の第１の部分波７１ａと第２の回折格子によって偏向された第１の波長の第１の光波６５の第２の部分波７１ｂとが重複するように、第１のホログラフィック光学素子１ｂに対して配置されている。ライトユニット１００はさらに、第１の感光性物質７０ａの第３の部分領域９０において、第１の光波６５の第１及び第２の部分波７１ａ、７１ｂが第２の光波８５と干渉することによって第２のホログラフィック光学素子が形成されるように、生成された第１の波長の第２の光波８５を第１の感光性物質７０ａに照射するように構成されている。

【0023】

露光装置８ａのこの第１の実施例では、第１の感光性物質７０ａは、第１の感光性物質の前面９ａの第３の部分領域９０において、第１の回折格子によって偏向された第１の波長の第１の光波６５の第１の部分波７１ａと第２の回折格子によって偏向された第１の波長の第１の光波６５の第２の部分波７１ｂとが重複するように、第１のホログラフィック光学素子１ｂに対して配置されている。ライトユニット１００はここでも、第１の感光性物質７０ａの第３の部分領域９０において、第１及び第２の部分波７１ａ、７１ｂが第２の光波８５と干渉することによって第２のホログラフィック光学素子が形成されるように、生成された第１の波長の第２の光波８５を第１の感光性物質７０ａの裏面９ｂに照射するように構成されている。この場合、形成された第２のホログラフィック光学素子は反射ホログラムとして形成されている。

【0024】

これに対して、第３の部分領域９０に隣接する部分領域９５ａ、９５ｂでは、部分波７１ａ、７１ｂの重複が生じず、部分領域９５ａでは単に部分波７１ａが第２の光波８５と干渉し、部分領域９５ｂでは単に部分波７１ｂが第２の光波８５と干渉する。

【0025】

本実施例では、第１のホログラフィック光学素子１ｂは、第１の感光性物質７０ａとは異なる第２の感光性物質７ａから形成されている。特に、第１の感光性物質７０ａは感光性樹脂として、第２の感光性物質７ａはハロゲン化銀として形成されている。

【0026】

光強度が大きく低減されたさらなる第３及び第４の部分波７５ａ、７５ｂは、第１及び第２の部分領域１０ｃ、１０ｄの回折格子を非意図に伝搬方向を変えずに通過する。
第１の波長の第１の光波６５は、第１の波長の第１の光波６５の第１の部分波７１ａが第１の集光領域８８ａ、特に第１の焦点において交差するように第１の回折格子によって偏向される。さらに、第１の波長の第１の光波６５は、第１の波長の第１の光波６５の第２の部分波７１ｂが第２の集光領域８８ｂ、特に第１の焦点において交差するように第２の回折格子によって偏向される。本実施例では、第１の波長の第２の光波８５は、第２の光波８５が実質的に第３の集光領域３７ａ、特に焦点へ向かう方向８０に延びるように、ライトユニット１００によって第１の感光性物質７０ａの表面に照射される。集光領域３７ａ、７１ａ、７１ｂは全て第１の感光性物質の前面９ａへ向かう方向に向けられている。形成が完了した第２のホログラフィック光学素子をスマートグラスの一方のレンズ上に配置して第３の集光領域３７ａを起点として網膜スキャンによって走査すれば、第１及び第２の部分領域１０ｃ、１０ｄの領域にスマートグラス利用者のための焦点８８ａ、８８ｂを有する２つのアイボックスが生じるであろう。２×２配列の配置によって合計４つのアイボックスさえ生じるであろう。

【0027】

図３ａは、第１のホログラフィック光学素子の第３の実施形態の記録を概略的に側面図で示す。この場合、第２の感光性物質７ｂの２つの部分領域１１ａ、１１ｂが、図２ａの実施形態とは異なり、複数の異なる波長の光波によって照射される。第１の部分領域１１ａが第１の波長の別の光波５１ｂ及び第１の波長の別の光波５１ａで照射される一方、第２の部分領域はそれに続いて第２の波長の別の光波５１ｄ及び第２の波長の別の光波５１ｃで照射される。第１の波長の光波は特に赤色光波であり、第２の波長の光波は特に青色光波である。

【0028】

図３ｂは、図３ａに記録された第１のホログラフィック光学素子１ｃが使用される露光装置８ｂの第２の実施形態を概略的に示す。図３ａの実施形態とは異なり、第１のホログラフィック光学素子１ｃの第１及び第２の部分領域１１ａ、１１ｂは、ライトユニット１０１によって同時に第１の波長及び第２の波長の第１の光波６８によって水平方向６２に照射される。第１の感光性物質７０ｂは、第１の感光性物質７０ｂの少なくとも第３の部分領域９１において、第１の回折格子によって偏向された第１の波長及び第２の波長の第１の光波の第１の部分波７２ａが第２の回折格子によって偏向された第１の波長及び第２の波長の第１の光波の第２の部分波７２ｂと重複するように、第１のホログラフィック光学素子１ｃに対して配置されている。ライトユニット１０１は、第１の感光性物質７０ｂの第３の部分領域９１において、第１の光波の第１の部分波７２ａ及び第２の部分波７２ｂが第２の光波８６と干渉することによって第２のホログラフィック光学素子が形成されるように、生成された第１及び第２の波長の第２の光波８６を第１の感光性物質７０ｂに照射するように構成されている。したがって、第３の部分領域９１では、スペクトル多重化とも呼ばれる幾何学的多重化が生じる。

【0029】

第３の部分領域９１に隣接する部分領域９６ａでは、単に第１の部分波７２ａが第２の光波８６と干渉する。第３の部分領域９１に隣接するさらなる部分領域９６ｂでは、単に第２の部分波７２ａが第２の光波８６と干渉する。

【0030】

光強度が大きく低減されたさらなる部分波５６ａ、５６ｂは、第１及び第２の部分領域１１ａ、１１ｂの回折格子を非意図的に伝搬方向を変えずに通過する。
図４は、第１のホログラフィック光学素子の第４の実施形態の記録を概略的に側面図で示す。この場合、これまでの実施形態とは異なり、第２の感光性物質７ｅの部分領域１２ａが第１の時点において、それぞれ方向４２ａ、４２ｂからの第１の波長の別の光波５２ｂ及び第１の波長の別の光波５２ａによって照射される。したがって、ここでは不図示の第１の回折格子が第１の部分領域１２ａの第１のホーゲル３１に形成される。第１の時点に続く第２の時点において、第１の部分領域１２ａが再びそれぞれ方向４２ｃ、４２ｄからの第１の波長の別の光波５２ｂ及び第１の波長の別の光波５２ａによって照射される。したがって、ここでは不図示の第６の回折格子が第１の部分領域１２ａの第１のホーゲル３１に隣接する第２のホーゲル３２に形成される。このように形成された隣接するホーゲル３１、３２の異なる回折格子によって、形成が完了した第１のホログラフィック光学素子を用いて到達可能な角度範囲が広げられ得る。

【0031】

図５は、第１のホログラフィック光学素子の記録のさらなる可能性を概略的に示す。この場合、ここでは感光膜として形成されている第２の感光性物質７ｃの第１の部分領域１３ａが同時に第１の波長の複数の光波によって照射される。この場合、第１の時点において、第１の部分領域１３ａが、水平方向４３ｂからの第１の波長の別の光波５３ｂ及び傾斜方向４３ａからの第１の波長の別の光波５３ａによって照射される。これらの光波５３ａ、５３ｂは第２の感光性物質７ｃの表面上で水平方向４３ｃからの第１の波長の別の光波５３ｃと干渉する。したがって、同時に複数の異なる回折格子が第１の部分領域１３ａに形成される。特に、これによって、個々のホーゲルも複数の異なる回折格子を有し得る。

【0032】

さらに、第２の感光性物質７ｃの第２の部分領域１３ｂが同時に第１の波長の複数の光波によって照射される。この場合、第１の時点に続く第２の時点において、第２の部分領域１３ｂが、水平方向４３ｅからの第１の波長の第１６の光波５３ｅ及び傾斜方向４３ｄからの第１の波長の別の光波５３ｄによって照射される。これらの光波５３ｄ、５３ｅは第２の感光性物質７ｃの表面上で水平方向４３ｆからの第１の波長の別の光波５３ｆと干渉する。

【0033】

図６ａは、第１のホログラフィック光学素子の形成の別の実施形態を概略的に断面図で示す。この場合、第１の時点において、第２の感光性物質７ｄが、傾斜方向４４ｃから第１の波長の別の光波５４ｃによって照射され、第１の部分領域１４ａにおいて、対向する傾斜方向４４ａから第２の感光性物質７ｄの表面に入射する第１の波長の別の光波５４ａとの干渉が生じる。したがって、第１の回折格子を備えた第１のホーゲル３３が形成される。第１の時点に続く第２の時点において、第１の部分領域１４ａがさらに傾斜方向４４ｄから第１の波長の別の光波５４ｄによって照射される。この場合、方向４４ｃ、４４ｄは互いに平行に延びている。第１の部分領域１４ａでは、別の光波５４ｄが、対向する傾斜方向５４ｂから第２の感光性物質７ｄの表面に入射する第１の波長の別の光波５４ｂと干渉する。したがって、第１のホーゲル３３に隣接する、別の回折格子を備えた第２のホーゲル３４が形成される。

【0034】

図６ｂには、図６ａの形成が完了した第１のホログラフィック光学素子１ｆが使用される露光装置８ｃの別の実施形態が示されている。この場合、第１のホログラフィック光学素子１ｆの第１の部分領域１４ａ及び第２の部分領域１４ｂは傾斜方向６３からの第１の波長の第１の光波６６によって照射される。この場合、入射する第１の波長の第１の光波の方向６３は第１のホログラフィック光学素子の記録方向４４ｃ、４４ｄに対応する。したがって、非意図的に伝搬方向を変えずに部分領域１４ａ、１４ｂを通過する第１の波長の第１の光波の第３及び第４の部分波８２ａは、ここでは第１のホログラフィック光学素子７０ｃに対して平行に配置されている第１の感光性物質７０ｃを通り過ぎるように放射される。これによって、第１の感光性物質７０ｃ上に妨害ホログラムが形成されることが防止される。

【0035】

さらにここでも、第１の感光性物質７０ｃは、第１の感光性物質７０ｃの第３の部分領域９３ａにおいて、第１の回折格子によって偏向された第１の波長の第１の光波の第１の部分波７７ａと第２の回折格子によって偏向された第１の波長の第１の光波の第２の部分波７８ａと重複するように、第１のホログラフィック光学素子１ｆに対して配置されている。ここでは不図示のライトユニットは、第１の感光性物質７０ｃの第３の部分領域９３ａにおいて、第１の光波の第１及び第２の部分波７７ａ、７８ａが第２の光波８４と干渉することによって第２のホログラフィック光学素子が形成されるように、第１の波長の第２の光線８４を傾斜方向８３から第１の感光性物質７０ｃに照射するように構成されている。

【0036】

図７は、露光装置８ｄの第４の実施形態を概略的に断面図で示す。この場合、図６ｂの実施形態とは異なり、第１のホログラフィック光学素子１ｆは、第１の波長の第１の光波６６の入射角度７９ａが図６ｂと比べて拡大されるように、第１の感光性物質７０ｄに対して回転され、特に傾けられている。第１のホログラフィック光学素子１ｆがこのように反時計回りに回転されることによって、第１の波長の第１の光波６６の入射角度７９ａ、及び第１の部分波７７ａ及び第２の部分波７８ａの反射角度又は入射角度７９ｂも同様に大きくすることができる。したがって、入射する第１の波長の光波６６の直径が偏向時に追加的に拡大又は縮小されることがない。その上、第１の光学要素の収差が低減される。

【0037】

図８は第２のホログラフィック光学素子の作製方法をフローチャートの形で示す。この場合、まずステップ１１０において少なくとも第１のホログラフィック光学素子が準備される。この場合、第１のホログラフィック光学素子は少なくとも第１の部分領域及び第２の部分領域を有する。第１の部分領域は少なくとも第１の回折格子を、第２の部分領域は少なくとも第２の回折格子を有する。第１のホログラフィック光学素子は特にデジタルに形成される。このために、第１のホログラフィック光学素子の第２の感光性物質を照射し、それによって第１のホログラフィック光学素子の回折格子を形成する少なくとも１つの空間光変調器が使用される。この他の選択肢として、特に第１のホログラフィック光学素子が、少なくとも第６及び第７の部分領域を備えた少なくとも１つの別の第３のホログラフィック光学素子によって形成される。

【0038】

ステップ１１０に続くステップ１２０において、感光性物質、特に感光膜が準備される。ステップ１２０に続くステップ１５０において、少なくとも第１の波長及び／又は第２の波長の第１の光波が、ライトユニットを用いて第１のホログラフィック素子の少なくとも第１及び第２の部分領域に照射される。この場合、感光性物質は、第１の感光性物質の少なくとも第３の部分領域において、第１の回折格子によって偏向された第１の波長及び／又は第２の波長の第１の光波の第１の部分波が第２の回折格子によって偏向された第１の波長及び／又は第２の波長の第１の光波の第２の部分波と重複するように、第１のホログラフィック光学素子に対して配置されている。特にステップ１５０と同時に行われる後続のステップ１６０において、第１の感光性物質の少なくとも第３の部分領域において、第１及び第２の部分波が第２の光波と干渉することによって第２のホログラフィック光学素子が形成されるように、少なくとも第１の波長及び／又は第２の波長の第２の光波が感光性物質に照射される。

【0039】

ステップ１２０に続く任意的なステップ１３０では、伝搬方向を変えずに第１の回折格子を通過する第１の波長及び／又は第２の波長の第１の光波の第３の部分波と、伝搬方向を変えずに第２の回折格子を通過する第１の波長及び／又は第２の波長の第１の光波の第４の部分波とが感光性物質を通り過ぎるように照射されるように、第１の波長及び／又は第２の波長の第１の光波が第１のホログラフィック素子の第１及び第２の部分領域に照射される。ステップ１３０に続くさらなる任意的なステップ１４０では、第１の光波の入射角度が拡大されるように第１のホログラフィック光学素子が感光性物質に対して回転される、特に傾けられる。

【符号の説明】

【0040】

１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｆ 第１／第２のホログラフィック光学素子
８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ 露光装置
１０ａ、１０ｃ、１１ａ、１２ａ、１３ａ、１４ａ 第１の部分領域
１０ｂ、１０ｄ、１１ｂ、１２ｂ、１３ｂ、１４ｂ 第２の部分領域
２０ａ 第１の回折格子
２０ｂ 第２の回折格子
６５、６６ 第１の波長の第１の光波
８４、８５ 第１の波長の第２の光波
６８ 第２の波長の第１の光波
８６ 第２の波長の第２の光波
７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ 第１の感光性物質
７１ａ、７２ａ、７７ａ 第１の部分波
７１ｂ、７２ｂ、７８ａ 第２の部分波
９０、９１、９３ａ 第３の部分領域
１００、１０１ ライトユニット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6a】

【図6b】

【図7】

【図8】

【外国語明細書】