特開 2022-176189 粘着テープの貼着装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022176189

(43)【公開日】2022-11-25

(54)【発明の名称】粘着テープの貼着装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/68 20060101AFI20221117BHJP

   H05K 3/32 20060101ALI20221117BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 F

H05K3/32 B

【審査請求】有

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022134485

(22)【出願日】2022-08-25

(62)【分割の表示】P 2018063716の分割

【原出願日】2018-03-29

(71)【出願人】

【識別番号】000002428

【氏名又は名称】芝浦メカトロニクス株式会社

(72)【発明者】

【氏名】菊池 一哉

(57)【要約】

【課題】粘着テープの頭出しを自動的に行うことのできる粘着テープの貼着装置を提供する。
【解決手段】離型テープ２２に粘着テープ２１が貼着されたテープ状部材２を供給する供給部１２と、貼着対象物に対して、粘着テープの離型テープとは反対側の貼着面を貼着する貼着部１１と、テープ状部材を供給部から貼着部に送る搬送部１４と、テープ状部材における粘着テープ側に配置され、光軸が、貼着部に対して設定された貼着基準位置１０に向けられるとともに貼着基準位置に位置する粘着テープの貼着面の垂線方向に対して、予め設定した角度で斜交して設けられている照明部１７と、光軸を貼着基準位置に合わせて、テープ状部材における粘着テープ側に配置され、貼着基準位置に位置づけられたテープ状部材を撮像する撮像部１８と、撮像部により得られたテープ状部材の画像に基づいて、粘着テープにおける切れ目２０の状態の良否を判定する判定部１９６と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

離型テープに粘着テープが貼着されたテープ状部材を供給する供給部と、
貼着対象物に対して、前記粘着テープの前記離型テープとは反対側の貼着面を貼着する貼着部と、
前記テープ状部材を前記供給部から前記貼着部に送る搬送部と、
前記テープ状部材における前記粘着テープ側に配置され、前記貼着部に対して設定された貼着基準位置に位置づけられた前記テープ状部材を撮像する撮像部と、
前記撮像部により得られた前記テープ状部材の画像に基づいて、前記粘着テープにおける切れ目の状態の良否を判定する判定部と、
を備え、
前記判定部は、前記貼着基準位置の前後に、前記粘着テープの幅方向に沿って複数個設定した領域内において前記粘着テープの有無を判定し、この判定結果に基づいて、前記粘着テープの切れ目の状態の良否を判定すること、
を特徴とする粘着テープの貼着装置。

【請求項2】

前記粘着テープの切れ目と前記貼着基準位置との距離を算出する搬送制御部を備え、
前記判定部により前記粘着テープの切れ目の位置が前記貼着基準位置を含む許容範囲から外れていると判定された場合に、前記搬送部は、前記搬送制御部により算出された前記距離に基づいて、前記粘着テープの切れ目を前記貼着基準位置に位置付けるように、前記テープ状部材を送ること、
を特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。

【請求項3】

前記供給部と前記貼着部との間に設けられたカッターを有し、前記テープ状部材の前記粘着テープを切断して前記切れ目となるハーフカットラインを形成する切断部を備え、
前記搬送部は、前記ハーフカットラインが前記貼着基準位置に来るように前記テープ状部材を送り、
前記撮像部は、前記ハーフカットラインを含んで前記テープ状部材を撮像し、
前記判定部は、前記撮像部により得られた前記画像から前記ハーフカットラインを検知し、前記ハーフカットラインの切断面の形状の良否を判定すること、
を特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。

【請求項4】

前記判定部は、前記検知した前記ハーフカットラインが前記貼着基準位置を含む許容範囲にあるか否かを判定すること、
を特徴とする請求項３記載の粘着テープの貼着装置。

【請求項5】

前記ハーフカットラインと前記貼着基準位置との距離を算出する搬送制御部を備え、
前記判定部により前記ハーフカットラインが前記許容範囲から外れていると判定された場合に、前記搬送部は、前記搬送制御部により算出された前記距離に基づいて、前記ハーフカットラインを前記貼着基準位置に位置付けるように、前記テープ状部材を送ること、
を特徴とする請求項４記載の粘着テープの貼着装置。

【請求項6】

前記貼着部は、前記ハーフカットラインより下流側の前記粘着テープを前記貼着対象物に貼着し、
前記撮像部は、前記貼着部による貼着後の前記テープ状部材を撮影すること、
を特徴とする請求項３～５の何れか記載の粘着テープの貼着装置。

【請求項7】

前記テープ状部材における前記粘着テープ側に配置され、光軸が、前記貼着基準位置に向けられるとともに前記貼着基準位置に位置する前記粘着テープの貼着面の垂線方向に対して、予め設定した角度で斜交して設けられている照明部を備えること、
を特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、粘着テープの貼着装置に関する。

【背景技術】

【0002】

液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの製造工程では、貼着対象物である基板に電子部品を実装する必要がある。この実装は、例えば、基板の周縁上面に設けられた端子部に、粘着テープを介して電子部品を仮圧着後、熱と圧力を加えて本圧着することにより行う。

【0003】

貼着される電子部品は、例えば、ＩＣチップ、ＴＣＰ（Ｔａｐｅ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇｅ）やＣＯＦ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｆｉｌｍ）等である。ＴＣＰは、薄膜状のフィルム上にＩＣ等のチップを搭載したパッケージである。粘着テープは、例えば、ＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ）を素材とし、幅が数ミリ、厚みが数１０ミクロン程度のテープである。ＡＣＦは、金属粒子を含有する樹脂製の異方導電性を有するフィルムである。

【0004】

このように細い粘着テープは、離型テープに貼付されたテープ状部材として構成されている。テープ状部材は、リールから送り出されて、粘着テープが基板に圧着された後、離型テープのみが剥離されて排出される。

【0005】

テープ状部材は、貼着作業により粘着テープがなくなると、手動により新しいテープ状部材に交換されていた。具体的には、次の動作をオペレータが行っていた。まず、粘着テープの無くなったリールを未使用のリールに付け替える。付け替えた未使用のリールから新しいテープ状部材を引き出す。引き出したテープ状部材の先端から所定の長さ分の粘着テープを剥がし、貼着装置にセッティングする。このように先端部分の粘着テープを剥がすのは、貼着作業位置よりも搬送方向下流側でテープ状部材（離型テープ）を両面から挟んで搬送する搬送ローラ等に粘着テープが付着する等によりテープ状部材が搬送不良となるのを防止するためである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００４－１８６３８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

上記の通り、テープ状部材が交換されると、基板への貼着精度を担保するため、粘着テープの切れ目である先頭部分（以下、単に「先端」とも言う。）を所定位置に合わせる、頭出し作業を行っていた。この従来の頭出し作業は、オペレータが目視によりテープ状部材を送りながら所定位置、例えば、貼着作業位置に位置合わせする作業であり、装置の構成上、テープ状部材を粘着テープ側から視認しづらい場合もあり、テープ状部材の送り過ぎ等、所定位置に位置合わせすることが難しかった。

【0008】

本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、粘着テープの頭出しを自動的に行うことのできる粘着テープの貼着装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の粘着テープの貼着装置は、離型テープに粘着テープが貼着されたテープ状部材を供給する供給部と、貼着対象物に対して、前記粘着テープの前記離型テープとは反対側の貼着面を貼着する貼着部と、前記テープ状部材を前記供給部から前記貼着部に送る搬送部と、前記テープ状部材における前記粘着テープ側に配置され、光軸が、前記貼着部に対して設定された貼着基準位置に向けられるとともに前記貼着基準位置に位置する前記粘着テープの貼着面の垂線方向に対して、予め設定した角度で斜交して設けられている照明部と、光軸を前記貼着基準位置に合わせて、前記テープ状部材における前記粘着テープ側に配置され、前記貼着基準位置に位置づけられた前記テープ状部材を撮像する撮像部と、前記撮像部により得られた前記テープ状部材の画像に基づいて、前記粘着テープにおける切れ目の状態の良否を判定する判定部と、を備えること、を特徴とする。

【0010】

前記供給部と前記貼着部との間に設けられたカッターを有し、前記テープ状部材の前記粘着テープを切断して前記切れ目となるハーフカットラインを形成する切断部を備え、前記搬送部は、前記ハーフカットラインが前記貼着基準位置に来るように前記テープ状部材を送り、前記撮像部は、前記ハーフカットラインを含んで前記テープ状部材を撮像し、前記判定部は、前記撮像部により得られた前記画像から前記ハーフカットラインを検知し、前記ハーフカットラインの切断面の形状の良否を判定しても良い。

【0011】

前記判定部は、前記検知した前記ハーフカットラインが前記貼着基準位置を含む許容範囲にあるか否かを判定しても良い。

【0012】

前記ハーフカットラインと前記貼着基準位置との距離を算出する搬送制御部を備え、前記判定部により前記ハーフカットラインが前記許容範囲から外れていると判定された場合に、前記搬送部は、前記搬送制御部により算出された前記距離に基づいて、前記ハーフカットラインが前記貼着基準位置に位置付けるように前記テープ状部材を送るようにしても良い。

【0013】

前記貼着部は、前記ハーフカットラインより下流側の前記粘着テープを前記貼着対象物に貼着し、前記撮像部は、前記貼着部による貼着後の前記テープ状部材を撮影し、前記判定部は、前記貼着基準位置の前後に、前記粘着テープの幅方向に沿って複数個設定した領域内において前記粘着テープの有無を判定し、この判定結果に基づいて、前記粘着テープの頭出しの良否を判定するようにしても良い。

【0014】

前記判定部は、前記画像をグレースケール化し、前記切れ目を検知しても良い。

【0015】

前記照明部は、前記光軸が前記貼着基準位置に位置する前記粘着テープの貼着面の垂線方向に対して６０°～８５°傾斜して設けられていても良い。

【0016】

前記照明部は、白色光又は緑色光を照射しても良い。

【0017】

前記粘着テープは、異方性導電フィルムとしても良い。

【発明の効果】

【0018】

本発明によれば、粘着テープの頭出しを自動的に行うことのできる粘着テープの貼着装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】実施形態に係る貼着装置の概略構成図である。

【図2】制御部の機能ブロック図である。

【図3】実施形態に係る貼着装置の粘着テープの頭出し動作の一例を示すフローチャートである。

【図4】（ａ）は、テープ状部材の送りを示す図である。（ｂ）は、粘着テープの先頭部分を説明するための図である。（ｃ）は、ハーフカットラインの形成を示す図である。（ｄ）は、ハーフカットラインの位置の良否判定を説明するための図である。（ｅ）は、粘着テープの捨打ちを説明するための図である。（ｆ１）は、貼着基準位置より下流側に粘着テープありと判定され、不良と判定される態様を示す図である。（ｆ２）は、貼着基準位置より上流側に粘着テープなしと判定され、不良と判定される態様を示す図である。（ｇ）は、貼着基準位置より下流側で粘着テープがなく、貼着基準位置より上流側で粘着テープありと判定され、良と判定される態様を示す図である。

【図5】（ａ）は、比較例の貼着装置におけるテープ状部材の撮影の様子を示す断面図である。（ｂ）は、比較例の貼着装置で得られたテープ状部材の画像である。

【図6】（ａ）は、実施形態の貼着装置におけるテープ状部材の撮影の様子を示す断面図である。（ｂ）は、実施形態の貼着装置で得られたテープ状部材の画像である。

【図7】照明部の光軸のテープ状部材の垂線に対する傾斜角度θと、当該角度における粘着テープの切れ目の検知結果を示す。

【図8】（ａ）は、ハーフカットラインが貼着基準位置の手前にずれた場合のテープ状部材の送り補正を示す模式図である。（ｂ）は、ハーフカットラインが貼着基準位置を越えてずれた場合のテープ状部材の送り補正を示す模式図である。

【図9】貼着装置の、基板に対する粘着テープの貼着動作の一例を示すフローチャートである。

【図10】実施形態に係る貼着装置の貼着動作を示す図である。（ａ）は、粘着テープの頭出しが完了し、基板がセットされている状態を示す。（ｂ）は、ハーフカットされた状態を示す。（ｃ）は、テープ状部材が送られた状態を示す。（ｄ）は、粘着テープが基板に貼着され、離型テープが剥離された状態を示す。

【図11】他の実施形態に係る貼着装置の照明部の配置態様を説明するための模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

［実施形態］
本発明の実施の形態（以下、実施形態と呼ぶ）の一例を、図面を参照して具体的に説明する。なお、図１に示すように、本実施形態において用いられるテープ状部材２は、例えば、粘着テープ２１が離型テープ２２に貼着されたものである。粘着テープ２１は、例えば、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）である。離型テープ２２は、粘着テープ２１から剥離可能なテープであり、例えば、ポリイミド等の樹脂フィルムによって形成されている。一般的に使用されるテープ状部材２の幅は、０．５～３.５ｍｍ程度である。

【0021】

［構成］
図１は、実施形態に係る貼着装置１の概略構成図である。貼着装置１は、テープ状部材２の粘着テープ２１を貼着対象物に貼着する装置である。貼着対象物は、例えば、後述する捨打ちプレート１１２、又は、フラットパネルディスプレイを構成する部材としての基板である。

【0022】

図１に示すように、貼着装置１は、貼着部１１、供給部１２、回収部１３、搬送部１４、剥離部１５、切断部１６、照明部１７、撮像部１８、及び制御部１９を備える。

【0023】

［貼着部］
貼着部１１は、貼着対象物に対して、テープ状部材２における粘着テープ２１を貼着する。貼着部１１は、加圧ヘッド１１０、ステージ部材１１１を有する。

【0024】

加圧ヘッド１１０は、図示しない昇降装置により上下に移動することにより、貼着対象物に対してテープ状部材２の加熱、加圧を行う。そのため、加圧ヘッド１１０には、図示しないヒータが設けられ、テープ状部材２との接触面が、所定の温度に加熱されている。さらに、加圧ヘッド１１０におけるテープ状部材２との接触面には、緩衝部材１１０ａが設けられている。この緩衝部材１１０ａは、例えば、弾性体により形成されたシートであり、加熱によって軟化した粘着テープ２１が加圧ヘッド１１０に付着することを防止する。すなわち、テープ状部材２において、粘着テープ２１の離型テープ２２とは反対側の面が貼着対象物との貼着面となる。

【0025】

ステージ部材１１１は、加圧ヘッド１１０によって貼着対象物にテープ状部材２が加熱加圧されるとき、貼着対象物を下から支持する部材である。ステージ部材１１１は、その上面に、貼着対象物を支持する平坦面である支持面１１１ａを有する。

【0026】

ステージ部材１１１に載置される貼着対象物は、上述したように、捨打ちプレート１１２や製品となる基板である。例えば、捨打ちプレート１１２は、粘着テープ２１の先頭の不要な部分が貼着される。この捨打ちプレート１１２は、例えば、金属板であり、基板と同等の大きさを成し、ステージ部材１１１の支持面１１１ａ上に配置される。なお、捨打ちプレート１１２は、金属板に代えて布テープやプラスチック板等を用いても良い。又は、捨打ちプレート１１２上に布テープやプラスチック板等を貼着等により交換可能に設けても良い。

【0027】

貼着部１１において粘着テープ２１の貼着が行われる貼着作業位置に対してテープ状部材２が搬送される搬送経路上には、貼着基準位置１０が設定されている。貼着基準位置１０は、テープ状部材２における粘着テープ２１の切れ目２０が位置合わせされる基準位置であり、ここでは、テープ状部材２の搬送方向における、加圧ヘッド１１０の上流側端部の位置である。粘着テープ２１の切れ目２０は、例えば、テープ状部材２における粘着テープ２１の先頭部分、切断部１６により形成された後述するハーフカットライン２０ｂである。

【0028】

［供給部］
供給部１２は、貼着部１１にテープ状部材２を供給する。供給部１２は、供給リール１２０、テンション機構１２１、経路ローラ１２２を有する。供給リール１２０は、テープ状部材２を巻装し、回動によりテープ状部材２を送り出すリールである。

【0029】

テンション機構１２１は、テープ状部材２に張力を与える。テンション機構１２１は、供給リール１２０から引き出されるテープ状部材２の移動を案内するように、上下に距離を空けて配置された一対のローラである。一方のローラは上下動しない固定ローラ１２１ａであり、他方のローラが上下動可能な可動ローラ１２１ｂである。可動ローラ１２１ｂは、図示しない昇降機構によって上下に移動する。つまり、図中、黒塗りの矢印方向に移動する。

【0030】

経路ローラ１２２は、テンション機構１２１からのテープ状部材２の搬送方向を変えて、切断部１６に向けて送り出すローラである。

【0031】

［回収部］
回収部１３は、貼着部１１において、貼着対象物に貼着された粘着テープ２１から剥離された離型テープ２２を回収する。回収部１３は、回収リール１３０、経路ローラ１３１を有する。

【0032】

回収リール１３０は、離型テープ２２を巻き取って回収するリールである。経路ローラ１３１は、貼着部１１側からの離型テープ２２の搬送方向を変えて、回収リール１３０に向けて送り出すローラである。

【0033】

［搬送部］
搬送部１４は、貼着部１１と回収部１３の間に配置され、テープ状部材２を供給部１２から貼着部１１を介して回収部１３に送る。搬送部１４は、一対の送りローラ１４０、図示しない送り用モータを有する。一対の送りローラ１４０は、離型テープ２２を挟み、ローラの回動によってテープ状部材２を供給リール１２０側から回収リール１３０側へ移動させる。送り用モータは、送りローラ１４０を回動させる駆動源である。送り用モータは、その回転軸が送りローラ１４０と連結されており、当該モータの駆動により回転軸が当該軸周りに回転することにより、送りローラ１４０を回転軸周りに回動させる。

【0034】

なお、供給リール１２０から送り出されたテープ状部材２がテンション機構１２１の２つのローラ１２１ａ、１２１ｂ、経路ローラ１２２、経路ローラ１３１を経て回収リール１３０に至る経路が、テープ状部材２の搬送経路である。また、各部の位置関係を説明するために、相対的に供給部１２側をテープ状部材２の上流側といい、回収部１３側をテープ状部材２の下流側ともいう。また、貼着基準位置１０に対してテープ状部材２の下流側を前、テープ状部材２の上流側を後ろともいう。

【0035】

［剥離部］
剥離部１５は、貼着対象物に貼着された粘着テープ２１から離型テープ２２を剥離する。剥離部１５は、剥離棒１５０、１５１を有する。剥離棒１５０、１５１は、例えば丸棒であり、離型テープ２２と接する部材である。剥離棒１５０は、離型テープ２２の表面、すなわち、粘着テープ２１側の面と接し、剥離棒１５１は、離型テープ２２の裏面と接する。剥離棒１５０、１５１は、図示しない移動機構によって、図１に示すように、離型テープ２２が接した状態で貼着部１１の下流側から上流側（図１、点線の矢印方向）に水平移動することにより、貼着対象物に圧着された粘着テープ２１から離型テープ２２を剥離する。

【0036】

［切断部］
切断部１６は、テープ状部材２における粘着テープ２１を切断する。この切断部１６は、更に離型テープ２２を切断しない程度に離型テープ２２に切込みを入れても良い。このように粘着テープ２１を切断することを、以下、ハーフカットと呼び、切断部１６により粘着テープ２１に形成されたラインを、ハーフカットライン２０ｂと呼ぶ。

【0037】

切断部１６は、供給部１２と貼着部１１との間に設けられ、カッター１６０、バックアップ部材１６１を有する。カッター１６０は、粘着テープ２１に接して切断する部材であり、供給部１２と貼着部１１との間に設けられている。カッター１６０は、図示しない昇降機構により、その先端の刃がバックアップ部材１６１に対して接離する。カッター１６０の先端の刃は、テープ状部材２の幅方向に延びている。バックアップ部材１６１は、直方体形状のブロックである。このバックアップ部材１６１は、ブロックの下面に、カッター１６０との間でテープ状部材２を挟み、水平方向で離型テープ２２に接する平坦面１６１ａを有する。なお、本実施形態では、カッター１６０と貼着基準位置１０との距離が、基板に貼着される粘着テープ２１の長さよりも短くなるように、切断部１６の位置が設定されている。

【0038】

［照明部］
照明部１７は、貼着基準位置１０の近傍において、テープ状部材２における粘着テープ２１側に配置されている。具体的には、照明部１７は、テープ状部材２の下方に配置され、粘着テープ２１側からテープ状部材２を照らす。

【0039】

照明部１７は、その光軸が、貼着基準位置１０に向けられるとともにテープ状部材２の垂線に対して斜交して設けられている。この垂線は、テープ状部材２の面、より具体的には、貼着基準位置１０に位置付けられているテープ状部材２において粘着テープ２１の前述の貼着面に対して直交する直線である。テープ状部材２が貼着基準位置１０に対して水平に搬送される場合、垂線は、水平方向に対する垂直線としても良い。照明部１７の光軸は、貼着基準位置１０に位置する粘着テープ２１の貼着面の垂線方向に対して６０°～８５°傾斜させることが好ましい。照明部１７は、テープ状部材２の上流側に設けても良いし、テープ状部材２の下流側に設けても良い。照明部１７としては、例えば、可視光を照射するＬＥＤを用いることができ、その中でも、白色光又は緑色光のＬＥＤを用いると良い。なお、照明部１７の光軸が貼着基準位置１０に向けられるとは、照明部１７が貼着基準位置１０に向けて配置されていることを意味し、図１に示す位置において光軸が貼着基準位置１０と完全に交差していなくても良い。

【0040】

［撮像部］
撮像部１８は、貼着基準位置１０においてテープ状部材２を撮像する。撮像部１８は、例えば、カメラである。撮像部１８は、光軸を貼着基準位置１０に合わせて、テープ状部材２における粘着テープ２１側に配置されており、照明部１７により粘着テープ２１側からテープ状部材２が照らされた状態で、テープ状部材２を撮像する。撮像部１８は、具体的には、テープ状部材２の下方であって、貼着基準位置１０の真下に配置されており、光軸がテープ状部材２に対して直交する。すなわち、撮像部１８の撮像範囲に貼着基準位置１０が含まれており、テープ状部材２の送りにより当該撮像範囲に粘着テープ２１の切れ目２０が入ると、撮像部１８は、切れ目２０を含めてテープ状部材２を撮像する。なお、撮像部１８の光軸はテープ状部材２に対して直交していなくても良い。例えば、撮像部１８の光軸がテープ状部材２の搬送方向から見てテープ状部材２の垂線に対して１５°程度斜交していても良い。なお、撮像部１８においても光軸が貼着基準位置１０と完全に一致する必要はなく、貼着基準位置１０に位置付けられたテープ状部材２の所望の部分が撮像範囲に入れば良い。

【0041】

［制御部］
制御部１９は、貼着装置１の各部の制御を統括する制御装置である。制御部１９は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって構成できる。つまり、貼着部１１、テンション機構１２１、搬送部１４、剥離部１５、切断部１６、照明部１７、撮像部１８の制御などに関しては、その制御内容がプログラムされており、ＰＬＣやＣＰＵなどの処理装置により実行されるものである。

【0042】

図２は、制御部１９の機能ブロック図である。図２に示すように、制御部１９は、貼着制御部１９０、テンション機構制御部１９１、剥離制御部１９２、切断制御部１９３、照明制御部１９４、撮像制御部１９５、判定部１９６、搬送制御部１９７を有する。

【0043】

貼着制御部１９０は、貼着部１１に設けられたヒータ及び昇降装置を制御し、ヒータに加圧ヘッド１１０を加熱させ、昇降装置に加熱した加圧ヘッド１１０を昇降させる。テンション機構制御部１９１は、テンション機構１２１に設けられた昇降機構を制御し、可動ローラ１２１ｂを上下動させることでテープ状部材２に張力を与える。

【0044】

剥離制御部１９２は、剥離部１５に設けられた移動機構を制御し、剥離棒１５０、１５１を水平移動させることで捨打ちプレート１１２に圧着された粘着テープ２１を離型テープ２２から剥離する。切断制御部１９３は、切断部１６に設けられた昇降機構を制御し、カッター１６０を昇降させる。

【0045】

照明制御部１９４は、照明部１７の点灯、消灯を制御する。撮像制御部１９５は、撮像部１８の撮像を制御する。

【0046】

判定部１９６は、撮像部１８により得られたテープ状部材２の画像に基づいて、粘着テープ２１の切れ目２０の位置の良否や切断面の良否等の状態の良否を判定する。判定部１９６は、テープ状部材２の画像をグレースケール化し、粘着テープ２１の切れ目２０の位置を検知する。そして、判定部１９６は、検知された切れ目２０が貼着基準位置１０の許容範囲内に位置するか否かを判定する。切れ目２０が許容範囲内に含まれる場合は良と判定し、切れ目２０が許容範囲外である場合は不良と判定する。なお、グレースケール化とは、例えば、画像の明るさを当該明るさに応じた多段階の画素値への変換をいい、典型的には、画素値０（黒）～画素値２５５（白）の２５６階調を用いた変換である。

【0047】

判定部１９６は、撮像部１８により得られたテープ状部材２の画像に基づいて、切れ目２０としてのハーフカットライン２０ｂを検知し、その切断面の形状の良否を判定する。ハーフカットライン２０ｂの切断面の形状は、テープ状部材２を粘着テープ２１側から見たときのカッター１６０により形成された切込みの形状である。ハーフカットライン２０ｂは、例えば、テープ状部材２の幅方向における画素値の大きい（明るい）一直線状で検出された場合に良と判定し、画素値の大きい部分が一直線状でなく斜めになっている場合や、蛇行や欠けなどの凸凹になっている場合は不良と判定する。

【0048】

また、判定部１９６は、貼着基準位置１０の前後の領域の粘着テープ２１の有無に基づいて、粘着テープ２１の頭出しの良否を判定する。粘着テープ２１の頭出しとは、新たな供給リール１２０がセットされ、製品となる基板に貼着可能な先頭の粘着テープ２１の先端に形成されたハーフカットライン２０ｂを、貼着基準位置１０を含む所定範囲内に位置合わせすることをいい、当該所定範囲は、ハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０に位置合わせされているとして許容される範囲である。判定部１９６は、粘着テープ２１の有無を、貼着基準位置１０の前後の各領域を、更に複数の小領域に分けて行っても良い。

【0049】

搬送制御部１９７は、判定部１９６により切れ目２０の位置が不良と判定された場合に、粘着テープ２１の切れ目２０と貼着基準位置１０との距離（ずれ）を算出する。すなわち、切れ目２０の位置が不良の場合、切れ目２０の位置が貼着基準位置１０に対して許容範囲以上にずれているので、切れ目２０の位置が許容範囲内となるようにテープ状部材２の位置を補正する必要がある。そこで、搬送制御部１９７は、撮像部１８の撮像画像に基づいて貼着基準位置１０と切れ目２０の位置との距離を算出し、算出した距離に基づいて送り用モータを駆動させる制御信号を生成する。すなわち、この制御信号は、算出した距離分、ハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０に来るようにテープ状部材２を送るための信号であり、送り用モータに出力される。

【0050】

［動作］
上記の構成を有する粘着テープ２１の貼着装置１の動作を説明する。

【0051】

［粘着テープの頭出し動作］
図３は、実施形態に係る貼着装置１の粘着テープ２１の頭出し動作の一例を示すフローチャートである。

【0052】

なお、前提として、新しい供給リール１２０が供給部１２にセットされ、テープ状部材２が供給リール１２０から引き出され、テンション機構１２１、経路ローラ１２２、剥離部１５、送りローラ１４０、及び経路ローラ１３１を介して回収リール１３０に巻き掛けられている。また、このテープ状部材２における粘着テープ２１は、巻き掛けられる前に下流側がオペレータにより剥離されており、粘着テープ２１の切れ目２０である先頭部分２０ａが撮像部１８、つまり貼着基準位置１０よりも上流側に位置しているものとする。すなわち、当該先頭部分２０ａより下流側では粘着テープ２１が剥離され、離型テープ２２の表面が露出している。粘着テープ２１の先頭部分２０ａの形状は、オペレータにより剥離されるため、任意の形状である。例えば、テープ状部材２の幅方向と平行なラインであることもあれば、テープ状部材２の幅方向に対して傾斜したラインであったり、テープ状部材２の幅方向に対して山谷形状の蛇行したラインであったり凸凹のラインであったりすることもある。

【0053】

また、ステージ部材１１１の支持面１１１ａ上には、捨打ちプレート１１２が予め載置されているものとする。

【0054】

図３に示すように、照明制御部１９４により照明部１７を点灯し、貼着基準位置１０を含みテープ状部材２を照らす（ステップＳ０１）。図４（ａ）に示すように、搬送部１４によりテープ状部材２を所定ピッチずつ送り（ステップＳ０２）、撮像部１８及び判定部１９６により粘着テープ２１の先頭部分２０ａ（切れ目２０）の位置の良否を判定する（ステップＳ０３）。すなわち、撮像部１８は、搬送部１４によりテープ状部材２が送られると、貼着基準位置１０を含む撮像範囲でテープ状部材２を撮影し、判定部１９６は撮像部１８により得られた画像をグレースケール化し、図４（ｂ）に示すように、その濃淡差から貼着基準位置１０を含む所定範囲Ｒ１内に粘着テープ２１の先頭部分２０ａが含まれているか否かを判定する。粘着テープ２１がある部分は暗く、粘着テープ２１がない部分は明るくなり、明暗の境界が先頭部分２０ａとなる。所定範囲Ｒ１は、例えば、撮像範囲内に設定された検査エリアである。

【0055】

搬送部１４の送りのピッチは、所定範囲Ｒ１のテープ状部材２の搬送方向の長さと同じかそれより短い間隔である。判定部１９６により先頭部分２０ａが検知されなければ（ステップＳ０３のＮＯ）、ステップＳ０２に戻り、先頭部分２０ａが検知されるまでステップＳ０２及びＳ０３を繰り返す。

【0056】

判定部１９６により先頭部分２０ａが検知されると（ステップＳ０３のＹＥＳ）、テープ状部材２を先頭部分２０ａが検知された位置に停止させた状態で、切断制御部１９３によりカッター１６０を上昇させ、テープ状部材２をハーフカットし（ステップＳ０４）、図４（ｃ）に示すように、粘着テープ２１を切断して切れ目２０としてのハーフカットライン２０ｂを形成する。そして、搬送部１４により切断部１６（カッター１６０）と貼着基準位置１０との距離分、テープ状部材２を送る（ステップＳ０５）。次いで、撮像部１８によりテープ状部材２を撮影し、判定部１９６によりハーフカットライン２０ｂの有無を検知する（ステップＳ０６）。ハーフカットライン２０ｂを検知しなかった場合（ステップＳ０６のＮＯ）は、ステップＳ０４に戻る。

【0057】

ハーフカットライン２０ｂを検知した場合（ステップＳ０６のＹＥＳ）は、判定部１９６により、図４（ｄ）に示すように、検知されたハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０を含む許容範囲内にあるか否かを判定する（ステップＳ０７）。ハーフカットライン２０ｂが許容範囲内にない場合は（ステップＳ０７のＮＯ）、テープ状部材２の送り補正を行う。すなわち、搬送制御部１９７は、所定範囲Ｒ１内において認識されたハーフカットライン２０ｂの位置と貼着基準位置１０の位置とに基づいて、ハーフカットライン２０ｂと貼着基準位置１０との間の距離を算出し（ステップＳ０８）、搬送部１４により、ハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０に来るように、算出された距離分、テープ状部材２を送り（ステップＳ０９）、ステップＳ０７に戻る。

【0058】

ハーフカットライン２０ｂが許容範囲内にある場合（ステップＳ０７のＹＥＳ）、粘着テープ２１の先頭部分２０ａからハーフカットライン２０ｂまでの部分が加圧ヘッド１１０と捨打ちプレート１１２との間に位置している。この状態で、予め加熱した加圧ヘッド１１０でテープ状部材２を押し下げ、ハーフカットライン２０ｂより下流側の不要な粘着テープ２１を捨打ちプレート１１２に捨て打ちする（ステップＳ１０、図４（ｅ）参照）。すなわち、貼着制御部１９０により、予め加熱された加圧ヘッド１１０を下降させ、先頭部分２０ａからハーフカットライン２０ｂまでの不要な粘着テープ２１を捨打ちプレート１１２に貼着し、加圧ヘッド１１０を上昇させる。その後、剥離制御部１９２により、剥離棒１５０、１５１を貼着部１１側に水平移動させて、捨打ちプレート１１２に圧着された粘着テープ２１から離型テープ２２を剥離させる（ステップＳ１１）。

【0059】

離型テープ２２が剥離されたら、撮像部１８によりテープ状部材２を撮影する（ステップＳ１２）。なお、このとき、テープ状部材２は送られていないので、貼着基準位置１０の上流側に残った粘着テープ２１の切れ目２０の位置は貼着基準位置１０に位置したまま変わらない。判定部１９６は、撮像部１８により得られた画像をグレースケール化し、図４（ｆ１）、（ｆ２）に示すように、貼着基準位置１０の前後にそれぞれ３箇所ずつ設定された合計６箇所の検査エリアとしての小領域Ｒ１１～Ｒ１６において、それぞれ粘着テープ２１の有無を判定する（ステップＳ１３）。前後の３箇所の小領域Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１３およびＲ１４、Ｒ１５、Ｒ１６は、テープ状部材２の幅方向に並べて配置されるように予め設定されている。この粘着テープ２１の有無の判定は、例えば、各小領域Ｒ１１～Ｒ１６内において、所定の画素値以上となるピクセルの割合が所定割合以上となる場合、換言すれば所定の画素値未満となるピクセルの割合が所定割合未満となる場合は、当該小領域Ｒ１１～Ｒ１６内に粘着テープ２１がないと判定し、所定の画素値以上となるピクセルの割合が所定割合未満となる場合、換言すれば所定の画素値未満となるピクセルの割合が所定割合以上となる場合は、当該小領域Ｒ１１～Ｒ１６内に粘着テープ２１があると判定する。これにより、判定部１９６は、不要な粘着テープ２１が剥離された後で上流側に残った粘着テープ２１の先端（ハーフカットライン２０ｂ）の状態（形状）の良否を判断することで頭出しの良否を判定する。

【0060】

判定部１９６は、図４（ｆ１）に示すように、貼着基準位置１０の前（下流側）にある小領域Ｒ１４～Ｒ１６の少なくとも何れかで粘着テープ２１があると判定した場合は（ステップＳ１４のＮＯ）、頭出し不良としてステップＳ０４へ戻る。なお、この場合、不要な粘着テープ２１の剥離時に粘着テープ２１の一部が剥離されずに離型テープ２２に残り、剥離不良となっていることが考えられる。

【0061】

一方、図４（ｆ２）に示すように、貼着基準位置１０の前（下流側）にある小領域Ｒ１４～Ｒ１６の何れにおいても粘着テープ２１がないと判定した場合で（ステップＳ１４のＹＥＳ）、貼着基準位置１０の後ろ（上流側）にある小領域Ｒ１１～１３の少なくとも何れかで粘着テープ２１がないと判定した場合（ステップＳ１５のＮＯ）、頭出し不良としてステップＳ０４に戻る。この場合、不要な粘着テープ２１の剥離時に、先頭の粘着テープ２１である上流側の粘着テープ２１の先端の一部が一緒に剥離されてしまったことが考えられる。この原因としては、カッター１６０によるハーフカットが不良で、ハーフカットライン２０ｂにおいて不要な粘着テープ２１と先頭の粘着テープ２１の一部が繋がっていることが考えられる。

【0062】

また、図４（ｇ）に示すように、貼着基準位置１０の前（下流側）にある小領域Ｒ１４～Ｒ１６の何れにおいても粘着テープ２１がないと判定した場合で（ステップＳ１４のＹＥＳ）、貼着基準位置１０の後ろ（上流側）にある各小領域Ｒ１１～１３の何れにおいても粘着テープ２１があると判定した場合（ステップＳ１５のＹＥＳ）、頭出しが出来ていると判定し、終了する。

【0063】

なお、ステップＳ０６、ステップＳ１４、又はステップＳ１５のＮＯ判定でステップＳ０４に戻り、次のステップＳ０６、ステップＳ１４、又はステップＳ１５で再度ＮＯ判定となることが繰り返されることも考えられる。このような場合、繰り返し回数を判定するステップを、ステップＳ０６又はステップＳ１４よりも前に設定しておき、設定回数の繰り返しが行われた場合、エラーとして頭出し動作を中断し、アラームなどでオペレータに異常を報知するようにしても良い。このような場合、前述のカッター１６０によるハーフカット不良が原因の一つとして考えられる。そこで、制御部１９が、アラームにより、カッター１６０を清掃したり交換したりするメンテナンス作業の実行を促すようにしても良い。

【0064】

［作用］
実施形態の貼着装置１の作用を図５～図８を用いて、比較例を示しつつ説明する。

【0065】

（照明部の傾斜）
図５（ａ）は、比較例の貼着装置におけるテープ状部材２の撮影の様子を示す断面図である。図５（ｂ）は、比較例の貼着装置で得られたテープ状部材２の画像である。但し、当該画像の各位置に対する画素値のグラフを画像に重ねて記載している。画素値は、黒を０とし、２５５を白とする２５６階調で表されている。

【0066】

図５（ａ）に示すように、撮像部１８の内部にはハーフミラーＭが設けられており、照明Ｌは、その光軸がハーフミラーＭに向けられ、照明Ｌの光がハーフミラーＭで反射され、照明Ｌの光は、撮像部１８の光軸と平行な同軸光として、テープ状部材２に対し垂直な方向から入射する。

【0067】

図５（ｂ）に示すように、粘着テープ２１と離型テープ２２の画素値に殆ど差が得られなかった。そのため、粘着テープ２１の切れ目２０の検知が困難となった。

【0068】

このように、単に照明Ｌを設けただけでは、粘着テープ２１の切れ目２０の検知が困難であることが分かる。

【0069】

図６（ａ）は、実施形態の貼着装置１におけるテープ状部材２の撮影の様子を示す断面図である。図６（ｂ）は、実施形態の貼着装置１で得られたテープ状部材２の画像である。但し、当該画像の各位置に対する画素値のグラフを画像に重ねて記載している。画素値は、黒を０とし、２５５を白とする２５６階調で表されている。

【0070】

図６（ａ）に示すように、照明部１７の光軸がテープ状部材２の垂線に対して斜交し、撮像部１８の光軸がテープ状部材２に対して直交している。このように構成することで、図６（ｂ）に示すように、粘着テープ２１と離型テープ２２の画素値に大きな差が生じ、粘着テープ２１のある箇所とない箇所のコントラストが明瞭となった。これは、離型テープ２２の表面の微細な凹凸の形状と、粘着テープ２１に含有する微細な金属微粒子の形状に起因すると推測する。すなわち、粘着テープ２１の金属粒子はほぼ球形であり、照明部１７からの入射光が同軸であろうと斜交していようと撮像部１８に入る拡散光の量が大きく変わることが無い。これに対して、離型テープ２２の表面の凹凸はランダムであり、そのため、照明部１７からの入射光を斜交させたことによって撮像部１８に入る拡散光の量が増大したものと推測する。例えば、図６は、照明部１７の光軸がテープ状部材２の垂線に斜交する角度θを７５°に設定したものであるが、粘着テープ２１がある箇所の画素値が１５７程度となり、粘着テープ２１がない箇所の画素値が９７程度となった。このように濃淡差が５０以上となり、粘着テープ２１の切れ目２０を安定的に検知することができる。

【0071】

そこで、発明者等は、照明部１７の光軸の角度と撮像部１８に入る光の量との関係を調べる実験を行った。図７は、照明部１７の光軸のテープ状部材２の垂線に対する傾斜角度θと、当該角度における粘着テープ２１の切れ目２０の検知結果を示す。なお、検知結果は、照明部１７として、清和光学製作所製の白色のＬＥＤ（型式：ＳＢＲ－１５－５０Ｗ）を用い、撮像部１８として、オムロン社製のカメラ（型式：ＦＺ－Ｓ）を用い、テープ状部材２と撮像部１８との距離を１００ｍｍとして得られた結果である。また、撮影対象としたテープ状部材２は、粘着テープ２１の切れ目２０がテープ状部材２の幅方向に平行に設けられているものを用いた。

【0072】

図７に示すように、傾斜角度θを３０°、４５°、６０°、７５°、８５°、９０°に変えて切れ目２０の検知を試みた。この結果、３０°、４５°、９０°の場合、切れ目２０の良好な検知ができなかった。一方、傾斜角度θが６０°、７５°、８５°のときは、切れ目２０の良好な検知ができた。すなわち、粘着テープ２１がある箇所と、粘着テープ２１がない箇所の画素値の差が５０以上となり大きく、粘着テープ２１の有無の検知の判定精度が向上した。

【0073】

このように、傾斜角度θは、６０°～８５°とすることにより、粘着テープ２１の先頭部分の検知、粘着テープ２１に形成されたハーフカットライン２０ｂの検知、及び、貼着基準位置１０の前後の粘着テープ２１の有無の検知でも共通して粘着テープ２１の有無の判定精度を向上させることができる。

【0074】

（テープ状部材の送り補正）
テープ状部材２の送り補正について説明する。上記の通り、切断部１６と貼着基準位置１０との間の距離は、予め決まっており、ハーフカットライン２０ｂを形成した後、搬送部１４及び搬送制御部１９７によって当該距離の分、テープ状部材２を送ることで、ハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０に来る。

【0075】

しかし、実際には、送り用モータ若しくは送りローラ１４０の回転誤差又はテープ状部材２の伸縮等の発生により、テープ状部材２の送り量に誤差が発生する場合がある。テープ状部材２の伸縮は、テープ状部材２の幅が細くなる程、一定の張力でも伸びやすく、また、各ローラ等での引っかかりが起きやすくなる。したがって、テープ状部材２は、品種毎に固有の伸びを生じることがある。このように、テープ状部材２の送り量に誤差が発生すると、粘着テープ２１の送り方向の貼付誤差が大きくなる。

【0076】

そこで、本実施形態では、撮像部１８及び判定部１９６により、ハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０の許容範囲内に位置しているかを判定しており、ハーフカットライン２０ｂが所定範囲から外れている場合には、搬送制御部１９７により、粘着テープ２１のハーフカットライン２０ｂと貼着基準位置１０との距離を算出し、当該距離分ハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０に来るように搬送部１４によりテープ状部材２を送る補正量を設定する。後述の貼着動作の際には、当該補正量を加えた送り量でテープ状部材２を貼着基準位置１０に送る。

【0077】

すなわち、図８（ａ）に示すように、テープ状部材２の送りによりハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０の手前にずれた場合、ずれた距離Ｄ１分、テープ状部材２を貼着部１１側に送る。一方、図８（ｂ）に示すように、テープ状部材２の送りによりハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０を越えてずれた場合、ずれた距離Ｄ２分、テープ状部材２を切断部１６側に戻すよう送る。

【0078】

このように、ハーフカットライン２０ｂと貼着基準位置１０とのずれを検知し、当該ずれを解消するようにテープ状部材２の送りを補正するので、粘着テープ２１の頭出しを正確に行うことができ、その結果、貼着部１１に設けた基板に対して、正確に粘着テープ２１を貼着することができる。

【0079】

［貼着動作］
図９は、貼着装置１の、基板に対する粘着テープ２１の貼着動作の一例を示すフローチャートである。図１０は、貼着装置１の貼着動作を示す図である。

【0080】

前提として、図１０（ａ）に示すように、粘着テープ２１の切れ目２０（ハーフカットライン２０ｂ）が貼着基準位置１０に位置しており、粘着テープ２１の頭出しが完了しているものとする。つまり、カッター１６０は頭出し動作の過程で検査済みであり、切れ目２０となるハーフカットライン２０ｂが切断部１６によりテープ状部材２の幅方向と平行になるように正常に形成されている。また、切れ目２０より下流側には粘着テープ２１が残存しておらず、送りローラ１４０等のテープ状部材２と接する部材に粘着テープ２１が付着することなく、テープ状部材２が搬送不良となるのを防止することができる。

【0081】

また、ステージ部材１１１の支持面１１１ａ上には、捨打ちプレート１１２に代えて、例えばフラットパネルディスプレイを構成する部材としての製品用の基板３００が載置されているものとする。なお、基板３００には、所望の長さで粘着テープ２１が貼着される。ここでは、便宜上、基板３００の搬送方向の全体に粘着テープ２１を貼着するものとし、切断部１６と貼着基準位置１０との間の距離が、基板３００の長さ及び加圧ヘッド１１１の長さと等しいものとする。

【0082】

図１０（ｂ）に示すように、まず、切断部１６により、テープ状部材２をハーフカットする（ステップＳ２１）。そして、図１０（ｃ）に示すように、搬送部１４により、カッター１６０と貼着基準位置１０との距離分、テープ状部材２を送る（ステップＳ２２）。この送りにより、ステップＳ２１で形成したハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０に合致する。その後、ステージ部材１１１を移動させて基板３００における粘着テープ２１が貼着される縁部をテープ状部材２の下に位置付ける。そして、予め加熱された加圧ヘッド１１０を降下させ、加圧ヘッド１１０とステージ部材１１１とで基板３００とテープ状部材２を挟み込んで圧着し、テープ状部材２の粘着テープ２１を基板３００上に貼着する（ステップＳ２３）。その後、加圧ヘッド１１０を上昇させ、剥離部１５を貼着部１１側に水平移動させることにより、図１０（ｄ）に示すように、基板３００に貼着した粘着テープ２１から離型テープ２２を剥離し（ステップＳ２４）、剥離部１５を元の位置に戻す。

【0083】

その後、粘着テープ２１が未貼着の基板３００に粘着テープ２１を貼着する場合は（ステップＳ２５のＹＥＳ）、ステージ部材１１１上の貼着済みの基板を、粘着テープ２１が未貼着の新たな基板３００に交換し、ステップＳ２１に戻る。

【0084】

一方、粘着テープ２１が未貼着の基板３００に粘着テープ２１を貼着しない場合は（ステップＳ２５のＮＯ）、終了する。なお、テープ状部材２を送るステップＳ２２で、上述のステップＳ０６～Ｓ０９と同様のテープ状部材２の送り補正を行うようにしても良い。

【0085】

［効果］
実施形態の粘着テープ２１の貼着装置１は、離型テープ２２に粘着テープ２１が貼着されたテープ状部材２を供給する供給部１２と、貼着対象物に対して、粘着テープ２１の離型テープ２２とは反対側の貼着面を貼着する貼着部１１と、テープ状部材２を供給部１２から貼着部１１に送る搬送部１４と、テープ状部材２における粘着テープ２１側に配置され、光軸が、貼着部１１に対して設定された貼着基準位置１０に向けられるとともに貼着基準位置１０に位置する粘着テープ２１の貼着面の垂線方向に対して、予め設定した角度で斜交して設けられている照明部１７と、光軸を貼着基準位置１０に合わせて、テープ状部材２における粘着テープ２１側に配置され、貼着基準位置１０に位置づけられたテープ状部材２を撮像する撮像部１８と、撮像部１８により得られたテープ状部材２の画像に基づいて、粘着テープにおける切れ目２０の状態の良否を判定する判定部１９６と、を備えるようにした。

【0086】

これにより、粘着テープ２１の切れ目２０を自動的に認識できるので、手動で粘着テープ２１の頭出しをすることなく、粘着テープ２１の頭出しを自動的に行うことができる。すなわち、上記の比較例のように照明部Ｌを光軸がテープ状部材２に対して直交するように設けたのでは、テープ状部材２の画像が不鮮明となり、切れ目２０の検知が困難であった。これに対し、本発明者等の鋭意研究により、照明部１７をテープ状部材２の垂線に対して斜交して設けることで、テープ状部材２の画像のコントラストが明瞭になる知見を得た。この知見に基づく本実施形態によれば、粘着テープ２１の頭出しを自動的に行うことができる。

【0087】

供給部１２と貼着部１１との間に設けられたカッター１６０を有し、テープ状部材２の粘着テープ２１を切断して切れ目２０となるハーフカットライン２０ｂを形成する切断部１６を備え、搬送部１４は、ハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０に来るようにテープ状部材２を送り、撮像部１８は、ハーフカットライン２０ｂを含んでテープ状部材２を撮像し、判定部１９６は、撮像部１８により得られた画像からハーフカットライン２０ｂを検知し、ハーフカットライン２０ｂの切断面の形状の良否を判定するようにした。

【0088】

これにより、カッター１６０の消耗を管理することができる。すなわち、ハーフカットライン２０ｂが不良と判定された場合には、カッター１６０の刃が消耗していると考えられる。この場合、例えば、制御部１９に、ディスプレイ等の表示装置やスピーカ等の報知手段を接続しておき、画面上又は音声でオペレータにカッター１６０の交換を促すことができる。

【0089】

判定部１９６は、検知したハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０の許容範囲にあるか否かを判定するようにした。

【0090】

これにより、ハーフカットラインの貼着基準位置１０に対する位置合わせの精度を向上させることができる。

【0091】

ハーフカットライン２０ｂと貼着基準位置１０との距離を算出する搬送制御部１９７を備え、判定部１９６によりハーフカットライン２０ｂが許容範囲から外れていると判定された場合に、搬送部１４は、搬送制御部１９７により算出された距離に基づいて、ハーフカットライン２０ｂが貼着基準位置１０に位置付けるようにテープ状部材２を送るようにした。

【0092】

これにより、粘着テープ２１の頭出しの精度を向上させることができ、テープ状部材２の走行方向における、貼着対象物となる基板への粘着テープ２１の貼着位置精度を向上させることができる。

【0093】

貼着部１１は、ハーフカットライン２０ｂより下流側の粘着テープ２１を貼着対象物、具体的には捨打ちプレート１１２に貼着し、撮像部１８は、貼着部１１による貼着後のテープ状部材２を撮影し、判定部１９６は、貼着基準位置１０の前後に、粘着テープ２１の幅方向に沿って複数個設定した領域内において粘着テープ２１の有無を判定し、この判定結果に基づいて、粘着テープ２１の頭出しの良否を判定するようにした。

【0094】

これにより、貼着基準位置１０の前で粘着テープ２１が残存せず、貼着基準位置１０の後ろで粘着テープ２１がある状態にすることができ、粘着テープ２１の頭出しを正確に行うことができる。また、貼着部１１より下流に位置する搬送部１４等のローラに離型テープ２２に残存した粘着テープ２１が巻き込まれることによるテープ状部材２の搬送不良を防止することができる。

【0095】

判定部１９６は、画像をグレースケール化し、切れ目２０を検知するようにした。これにより、切れ目２０の有無のみならず、切れ目２０の良否についても正確に検知することができる。例えば、切れ目２０がハーフカットライン２０ｂである場合、ハーフカットライン２０ｂが、カッター１６０の刃先の汚れや刃こぼれ等により実際には粘着テープ２１が切断しきれず粘着テープ２１が本来の厚みよりも薄い厚みで部分的に残り点線状に見えることが考えられる。この画像を二値化処理するとハーフカットライン２０ｂが正常に形成されていると誤検知することがある。すなわち、残った粘着テープ２１の厚みが薄いために、この粘着テープ２１部分の画素値が二値化しきい値に対して粘着テープ２１無し側である場合、ハーフカットライン２０ｂが良と検知される。このような状況でも、画像をグレースケール化することで、ハーフカットライン２０ｂ上の粘着テープ２１が画像中から消えずに残っており、ハーフカットライン２０ｂが不良であると検知することができる。

【0096】

照明部１７は、光軸がテープ状部材２の垂線に対して６０°～８５°傾斜して設けるようにした。これにより、撮像部１８及び判定部１９６により得られたテープ状部材２の画像のコントラストをより明瞭にすることができ、正確に切れ目２０を検知することができる。

【0097】

照明部１７は、白色光又は緑色光を照射するようにした。これにより、撮像部１８及び判定部１９６により得られたテープ状部材２の画像のコントラストをより明瞭にすることができ、正確に切れ目２０を検知することができる。特に、白色光又は緑色光の照明部１７と粘着テープ２１が異方性導電フィルムである場合に、コントラストがより明瞭になり、切れ目２０の検知精度が向上し、結果的に頭出しの精度を向上させることができる。

【0098】

［他の実施形態］
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、下記に示す他の実施形態も包含する。また、本発明は、上記実施形態及び下記の他の実施形態を全て又はいずれかを組み合わせた形態も包含する。さらに、これらの実施形態を発明の範囲を逸脱しない範囲で、種々の省略や置き換え、変更を行うことができ、その変形も本発明に含まれる。

【0099】

上記実施形態では、照明部１７は、貼着基準位置１０に対してテープ状部材２の上流側に設けたが、図１１に示すように、テープ状部材２の下流側に設けても良い。この場合、粘着テープ２１の捨打ち後、粘着テープ２１の切れ目２０ｂの断面が照明部１７側に露出することで、その断面が直接照らされ、テープ状部材２の画像のコントラストが明瞭になる。以下のメカニズムに限定されるものではないが、切れ目２０ｂの端面や粘着テープ２１内の金属粒子で反射した光が、切れ目２０ｂより下流側の離型テープ２２でも反射して撮像部１８に入光し、切れ目２０ｂ付近で反射した受光量が増大するからと考えられる。

【0100】

また、上記実施形態では、テープ状部材２の送り量の補正を搬送部１４により行ったが、貼着部１１を移動させる移動機構を別途設け、当該移動機構により貼着部１１を移動させることによって、貼着基準位置１０をハーフカットライン２０ｂに位置合わせするようにしても良い。

【0101】

上記実施形態では、貼着基準位置１０を、加圧ヘッド１１０の上流側の端部と一致する位置に設定したが、別の位置、例えば、加圧ヘッド１１０の上流側の端部よりも上流側の位置に設定しても良い。

【0102】

上記実施形態では、新たなテープ状部材２を貼着装置１にセッティングした時点で、粘着テープ２１の先頭部分となる切れ目２０は、オペレータにより形成された任意の形状としたが、セッティング時点で切れ目２０がテープ状部材２の幅方向に平行に形成されていても良い。この場合、粘着テープ２１の頭出し動作は、上記のステップＳ０１～Ｓ０３で足りる。

【符号の説明】

【0103】

１ 粘着テープの貼着装置
１０ 貼着基準位置
１１ 貼着部
１１０ 加圧ヘッド
１１１ ステージ部材
１１１ａ 支持面
１１２ 捨打ちプレート
１２ 供給部
１２０ 供給リール
１２１ テンション機構
１２１ａ 固定ローラ
１２１ｂ 可動ローラ
１２２ 経路ローラ
１３ 回収部
１３０ 回収リール
１３１ 経路ローラ
１４ 搬送部
１４０ 送りローラ
１５ 剥離部
１５０、１５１ 剥離棒
１６ 切断部
１６０ カッター
１６１ バックアップ部材
１６１ａ 平坦面
１７ 照明部
１８ 撮像部
１９ 制御部
１９０ 貼着制御部
１９１ テンション機構制御部
１９２ 剥離制御部
１９３ 切断制御部
１９４ 照明制御部
１９５ 撮像制御部
１９６ 判定部
１９７ 搬送制御部
２ テープ状部材
２０ 粘着テープの切れ目
２０ａ 粘着テープの先頭部分
２０ｂ ハーフカットライン
２１ 粘着テープ
２２ 離型テープ
３００ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】