特開2022-176640基板処理方法および基板処理装置

発明の名称　基板処理方法および基板処理装置

出願人　株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス　（識別番号 207551）

　　　　特許公開件数ランキング 60 位（412件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 70 位（315件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-176640

公報発行日　2022年11月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-176640

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