IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ 三星ディスプレイ株式會社の特許一覧

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022177213
(43)【公開日】2022-11-30
(54)【発明の名称】表示装置
(51)【国際特許分類】
   G09F 9/30 20060101AFI20221122BHJP
   G09F 9/00 20060101ALI20221122BHJP
【FI】
G09F9/30 330
G09F9/30 348A
G09F9/00 366A
【審査請求】有
【請求項の数】15
【出願形態】OL
(21)【出願番号】P 2022150633
(22)【出願日】2022-09-21
(62)【分割の表示】P 2018046096の分割
【原出願日】2018-03-14
(31)【優先権主張番号】10-2017-0032016
(32)【優先日】2017-03-14
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(31)【優先権主張番号】10-2017-0094876
(32)【優先日】2017-07-26
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(71)【出願人】
【識別番号】512187343
【氏名又は名称】三星ディスプレイ株式會社
【氏名又は名称原語表記】Samsung Display Co.,Ltd.
【住所又は居所原語表記】1, Samsung-ro, Giheung-gu, Yongin-si, Gyeonggi-do, Republic of Korea
(74)【代理人】
【識別番号】100121382
【弁理士】
【氏名又は名称】山下 託嗣
(72)【発明者】
【氏名】金 起 旭
(72)【発明者】
【氏名】朴 慶 泰
(72)【発明者】
【氏名】權 慧 松
(72)【発明者】
【氏名】李 大 遠
(72)【発明者】
【氏名】鄭 東 勳
(72)【発明者】
【氏名】郭 源 奎
(72)【発明者】
【氏名】金 光 民
(72)【発明者】
【氏名】文 重 守
(72)【発明者】
【氏名】陳 昌 奎
(72)【発明者】
【氏名】▲曹▼ 圭 ▲シク▼
(72)【発明者】
【氏名】▲曹▼ 成 豪
(57)【要約】
【課題】タッチセンサーを表示パネルに組み込んだ、特にはフレキシブルな表示装置において、ベンディングの際のストレスなどに起因して、入出力端子部にて、隣り合う入出力パッドや信号ラインにショートが生じるのを防止する。
【解決手段】基板、絶縁層、中間絶縁膜、表示素子層、パッドグループ、タッチ電極層、及びタッチ絶縁層を含む。前記表示素子層は、表示領域内に配置された表示素子を含む。前記パッドグループは、非表示領域内に配置された出力パッドを含み、中間絶縁膜の開口部により露出される。前記タッチ電極層は、前記表示素子層上に配置される。前記タッチ絶縁層は、前記表示素子層上に配置され、前記タッチ電極層を覆う。前記非表示領域中にて、少なくとも前記タッチ絶縁層を貫通する第1陰刻パターンが、パッド配列方向に沿って延びるように提供され、前記第1陰刻パターンは出力パッドと中間絶縁膜との間に配置される。
【選択図】図8
【特許請求の範囲】
【請求項1】
表示領域、及び、前記表示領域の外側に配置された非表示領域を含む基板と、
前記基板上に配置された信号ラインと、
前記信号ライン上に配置され、平面図で見て前記表示領域内に配置された表示素子を含
む表示素子層と、
前記信号ラインに電気的に連結され、平面図で見て前記非表示領域内に配置された出力
パッドを含むパッドグループと、
前記信号ラインと前記表示素子層との間に配置され、前記出力パッドを露出させる中間
絶縁膜と、
前記表示素子層上に配置されたタッチ電極層と、
前記表示素子層上に配置され、前記タッチ電極層に接触し、平面図で見て前記非表示領
域内に陰刻パターンが提供されたタッチ絶縁層と、を含み、
平面図で見て、前記陰刻パターンは、前記出力パッドと前記中間絶縁膜との間に配置さ
れる表示装置。
【請求項2】
前記信号ラインは、第1導電層、及び、前記第1導電層上に配置された第2導電層を含
み、
前記表示装置は、前記第1導電層と前記第2導電層との間に配置された層間絶縁膜をさ
らに含み、
前記層間絶縁膜と前記タッチ絶縁層とは、無機物質を含む請求項1に記載の表示装置。
【請求項3】
前記タッチ絶縁層と前記層間絶縁膜とは、少なくとも一部の領域で互いに接触し、前記
陰刻パターンは、前記層間絶縁膜を露出させる請求項2に記載の表示装置。
【請求項4】
前記パッドグループに電気的に連結され、前記信号ラインに信号を提供する駆動回路チ
ップと、
前記駆動回路チップに重なり、前記出力パッドに電気的に連結されたテスト回路と、を
さらに含む請求項1に記載の表示装置。
【請求項5】
前記パッドグループは、平面図で見て前記非表示領域内に配置され、前記出力パッドか
ら離隔された入力パッドをさらに含み、
前記中間絶縁膜は、前記パッドグループを露出させる開口部が提供された第1中間絶縁
膜、及び、前記第1中間絶縁膜から離隔され、平面図で見て前記入力パッドと前記出力パ
ッドとの間に配置された第2中間絶縁膜を含む請求項1に記載の表示装置。
【請求項6】
前記陰刻パターンは、前記出力パッドと、前記表示領域に隣接する前記第1中間絶縁膜
の開口部の一側面との間に配置された第1陰刻パターンを含む請求項5に記載の表示装置
【請求項7】
前記陰刻パターンは、前記第2中間絶縁膜を完全に露出させる第2陰刻パターンをさら
に含む請求項6に記載の表示装置。
【請求項8】
前記陰刻パターンは、前記出力パッドと前記第2中間絶縁膜との間に配置された第2陰
刻パターンをさらに含む請求項6に記載の表示装置。
【請求項9】
前記第1陰刻パターンは、第1方向に延長し、
前記陰刻パターンは、前記第1方向に交差する第2方向に延長される第2陰刻パターン
をさらに含む請求項6に記載の表示装置。
【請求項10】
前記陰刻パターンは、
前記出力パッドと前記第2中間絶縁膜との間に配置された第2陰刻パターンと、
前記第2中間絶縁膜を露出し、前記第2陰刻パターンと離隔された第3陰刻パターンと
、をさらに含む請求項6に記載の表示装置。
【請求項11】
前記第1陰刻パターンは、ジグザグ状に延長された形状を有する請求項6に記載の表示
装置。
【請求項12】
前記陰刻パターンは、前記出力パッドと、前記表示領域に隣接する前記第1中間絶縁膜
の前記開口部の前記一側面との間に配置されて、前記第1陰刻パターンから離隔された第
2陰刻パターンをさらに含み、
前記第1陰刻パターン及び前記第2陰刻パターンは、前記出力パッドの中の1つから、
互いに異なる離隔距離を有する請求項6に記載の表示装置。
【請求項13】
一連の複数の前記第1陰刻パターンは、第1方向に互いに離隔され、
一連の複数の前記第2陰刻パターンは、前記第1方向に互いに離隔され、
前記各第1陰刻パターンは、前記第1方向にて、隣り合う2つの前記第2陰刻パターン
の間に配置される請求項12に記載の表示装置。
【請求項14】
前記陰刻パターンは、前記第2中間絶縁膜の一部を露出する複数の第2陰刻パターンを
さらに含む請求項6に記載の表示装置。
【請求項15】
前記陰刻パターンは、前記出力パッドの配置領域を完全にカバーするように提供される
第1陰刻パターンを含む請求項5に記載の表示装置。
【請求項16】
前記出力パッドと、前記信号ラインの中の一部とを連結する出力パッドラインをさらに
含み、
前記陰刻パターンは、
前記出力パッドと、前記表示領域に隣接する前記第1中間絶縁膜の開口部の一側面との
間に配置されるとともに、それぞれが、互いに隣接する2つの前記出力パッドラインの間
に配置された第1陰刻パターンを含む請求項5に記載の表示装置。
【請求項17】
前記第1陰刻パターンの深さは、前記タッチ絶縁層の厚さより大きい請求項16に記載
の表示装置。
【請求項18】
前記陰刻パターンは、
前記出力パッドと、前記表示領域に隣接する前記第1中間絶縁膜の開口部の一側面との
間に配置されるとともに、前記第1陰刻パターンと重なる第2陰刻パターンをさらに含む
請求項16に記載の表示装置。
【請求項19】
前記第1陰刻パターンの深さは、前記第2陰刻パターンの深さより大きい請求項18に
記載の表示装置。
【請求項20】
平面図で見て、前記駆動回路チップと重なるとともに、前記出力パッドと前記テスト回
路との間に配置されたダミーパッドをさらに含む請求項4に記載の表示装置。
【請求項21】
前記第2中間絶縁膜に遮断ホールが提供された請求項5に記載の表示装置。
【請求項22】
層間絶縁膜をさらに含み、
前記信号ラインは、第1導電層、及び、前記第1導電層上に配置された第2導電層を含
み、
前記層間絶縁膜は、前記第1導電層と前記第2導電層との間に配置され、
前記遮断ホールは、前記層間絶縁膜を貫通する請求項21に記載の表示装置。
【請求項23】
表示領域、及び、前記表示領域の外側に配置された非表示領域を含む基板と、
前記基板上に配置された信号ラインと、
前記信号ライン上に配置され、平面図で見て前記表示領域内に配置された表示素子を含
む表示素子層と、
前記信号ラインに電気的に連結され、平面図で見て前記非表示領域内に配置された出力
パッドを含むパッドグループと、
前記パッドグループに接触し、前記信号ラインに信号を提供する駆動回路チップと、
前記表示素子層上に配置されたタッチ電極層と、
前記表示素子層上に配置され、平面図で見て前記非表示領域内に陰刻パターンが提供さ
れたタッチ絶縁層と、を含み、
前記陰刻パターンは、前記パッドグループと重ならずに、前記駆動回路チップと重なる
表示装置。
【請求項24】
前記信号ラインは、第1導電層、及び、前記第1導電層上に配置された第2導電層を含
み、
前記表示装置は、前記第1導電層と前記第2導電層との間に配置された層間絶縁膜をさ
らに含み、
前記層間絶縁膜と前記タッチ絶縁層とは、無機物質を含む請求項23に記載の表示装置
【請求項25】
前記タッチ絶縁層と前記層との間の絶縁膜は、少なくとも一部の領域で互いに接触し、
前記陰刻パターンは、前記層間絶縁膜を露出する請求項24に記載の表示装置。
【請求項26】
前記駆動回路チップに重なり、前記出力パッドに電気的に連結されたテスト回路をさら
に含み、
前記パッドグループは、平面図で見て、前記非表示領域内に配置されており、前記テス
ト回路を挟んで前記出力パッドと対向する入力パッドをさらに含む請求項23に記載の表
示装置。
【請求項27】
表示領域、及び、前記表示領域の外側に配置された非表示領域とを含む基板と、
前記基板上に配置され、平面図で見て前記表示領域内に配置された表示素子を含む表示
素子層と、
前記基板上に配置され、平面図で見て前記非表示領域内に配置された出力パッドを含む
パッドグループと、
前記表示素子層上に配置されたタッチ電極層と、
前記表示素子層上に配置され、前記タッチ電極層に接触するタッチ絶縁層と、を含み、
前記非表示領域中にて、前記タッチ絶縁層には陰刻パターンが提供され、前記陰刻パタ
ーンは、前記パッドグループと重ならない表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は表示装置に係り、特にはフレキシブル表示装置に係る。
【背景技術】
【0002】
テレビジョン、携帯電話、タブレットコンピュータ、ナビゲーション、ゲーム機等とい
ったマルチメディア装置に使用される多様な表示装置が開発されている。最近、技術発展
に応じてフレキシブルな表示装置が開発されている。フレキシブルな表示装置は、ベンデ
ィングに応じてストレスを受け、ストレスにより内部の部品が破損される等の問題がある
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】米国特許第7,580,107号明細書
【特許文献2】米国特許第9,048,444号明細書
【特許文献3】韓国特許第10-0943730号公報
【特許文献4】韓国特許第10-1341030号公報
【特許文献5】韓国特許第10-1427135号公報
【特許文献6】韓国公開特許第10-2014-0098937号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明の目的は、タッチ絶縁層に陰刻パターンを形成することで、タッチ絶縁層と層間
絶縁膜との間の剥離の現象によって出力パッドと入力パッドとがショートする問題を防止
することにある。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の一実施形態に係る表示装置は、基板、信号ライン、表示素子層、パッドグルー
プ、中間絶縁膜、タッチ電極層、タッチ絶縁層を含むことができる。
【0006】
前記基板は、表示領域と、前記表示領域との外側に配置された非表示領域とを含む。
【0007】
前記信号ラインは前記基板上に配置される。
【0008】
前記表示素子層は、前記信号ライン上に配置され、平面図で見て前記表示領域内に配置
された表示素子を含む。
【0009】
前記パッドグループは、前記信号ラインに電気的に連結され、平面図で見て前記非表示
領域内に配置された出力パッドを含む。
【0010】
前記中間絶縁膜は、垂直断面図で見て、前記信号ラインと前記表示素子層との間に配置
され、前記出力パッドを露出させる。
【0011】
前記タッチ電極層は前記表示素子層上に配置される。
【0012】
前記タッチ絶縁層は、前記表示素子層上に配置され、前記タッチ電極層に接触しており
、平面図で見て前記非表示領域内に陰刻パターンが提供される。この陰刻パターンは、特
には、少なくとも前記タッチ絶縁層を貫通するものであり、また、特には、パッド配列方
向(第1方向)に沿って延びるように配置される。
【0013】
平面図で見て、前記陰刻パターンは、前記出力パッドと、前記中間絶縁膜の島状または
線状の配置領域との間に配置されうる。
【0014】
本発明の他の実施形態に係る表示装置は、基板、信号ライン、表示素子層、パッドグル
ープ、駆動回路チップ、タッチ電極層、及びタッチ絶縁層を含む。
【0015】
前記基板は、表示領域と、前記表示領域の外側に配置された非表示領域とを含む。
【0016】
前記信号ラインは、前記基板上に配置される。
【0017】
前記表示素子層は、前記信号ライン上に配置され、平面図で見て前記表示領域内に配置
された表示素子を含む。
【0018】
前記パッドグループは、前記信号ラインに電気的に連結され、平面図で見て前記非表示
領域内に配置された出力パッドを含む。
【0019】
前記駆動回路チップは、前記パッドグループに接触し、前記信号ラインに信号を提供す
る。
【0020】
前記タッチ電極層は、前記表示素子層上に配置される。
【0021】
前記タッチ絶縁層は、前記表示素子層上に配置され、平面図で見て前記非表示領域内に
陰刻パターンが提供される。
【0022】
前記陰刻パターンは前記パッドグループと非重畳し、前記駆動回路チップと重畳する。
【0023】
本発明の他の実施形態に係る表示装置は、基板、表示素子層、パッドグループ、タッチ
電極層、及びタッチ絶縁層を含む。
【0024】
前記基板は、表示領域と前記表示領域の外側に配置された非表示領域とを含む。
【0025】
前記表示素子層は、前記基板上に配置され、平面図で見て前記表示領域内に配置された
表示素子を含む。
【0026】
前記パッドグループは、前記基板上に配置され、平面図で見て前記非表示領域内に配置
された出力パッドを含む。
【0027】
前記タッチ電極層は前記表示素子層上に配置される。
【0028】
前記タッチ絶縁層は、前記表示素子層上に配置され、前記タッチ電極層に接触するタッ
チ絶縁層を含む。
【0029】
前記非表示領域中にて、前記タッチ絶縁層には陰刻パターンが提供され、前記陰刻パタ
ーンは前記パッドグループと重ならない。
【発明の効果】
【0030】
本発明の実施形態に係る表示装置によれば、タッチ絶縁層に陰刻パターンを形成するこ
とで、タッチ絶縁層と層間絶縁膜との間の剥離現象によって出力パッドと入力パッドとが
ショートされるという問題の発生を防止する。
【図面の簡単な説明】
【0031】
図1】本発明の一実施形態に係る表示装置の平面図である。
図2】1つの画素の等価回路図である。
図3】1つの画素に該当する表示パネルの一部断面図である。
図4図3のタッチセンサーを示した平面図である。
図5図4のI-I’線に沿って切断した断面図である。
図6図1のAA領域を拡大して、本発明の前提となる構成を示した、表示装置の部分平面図である。
図7図6のI-I’線に沿って切断した断面図である。
図8図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の一実施形態に係る陰刻パターンの形状を示した図面である。
図9図8のII-II’線に沿って切断した断面図である。
図10】本発明の比較例に該当する表示装置の断面図を例示的に示した図面である。
図11】比較例に該当する表示装置の断面を撮影した写真である。
図12】比較例に該当する表示装置が適用された携帯用端末機で現れる不良を撮影した写真である。
図13図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パターンの形状を示した図面である。
図14図13のII-II’線に沿って切断した断面図である。
図15図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パターンの形状を示した図面である。
図16図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パターンの形状を示した図面である。
図17図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パターンの形状を示した図面である。
図18図17のII-II’線に沿って切断した断面図である。
図19図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パターンの形状を示した図面である。
図20図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パターンの形状を示した図面である。
図21図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パターンの形状を示した図面である。
図22図21のII-II’線に沿って切断した断面図である。
図23図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パターンの形状を示した図面である。
図24図23のII-II’線に沿って切断した断面図である。
図25図1のAA領域の拡大平面図で本発明の他の実施形態に係る陰刻パターンの形状を示した図面である。
図26図25のII-II’線に沿って切断した断面図である。
図27図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パターンの形状を示した図面である。
図28図27のII-II’線に沿って切断した断面図である。
図29図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パターンの形状を示した図面である。
図30図29のII-II’線に沿って切断した断面図である。
図31図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パターンの形状を示した図面である。
図32図31のII-II’線に沿って切断した断面図である。
図33図31のII-II’線に沿って切断した、変形実施形態についての断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0032】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。本明細書で、ある構成要素(又は
領域、層、部分等)が他の構成要素“上にある”、“連結される”、又は“結合される”
と言及される場合にそれは他の構成要素上に直接配置/連結/結合されることができるか
、或いはこれらの間に第3の構成要素が配置されることもできることを意味する。
【0033】
同一の図面符号は同一の構成要素を称する。また、図面において、構成要素の厚さ、比
率、及び寸法は技術的内容の効果的な説明のために誇張されたものである。“及び/又は
”は連関された構成が定義できる1つ以上の組合を全て含む。
【0034】
第1、第2等の用語は多様な構成要素を説明するために使用されるが、前記構成要素は
前記用語によって限定されてはならない。前記用語は1つの構成要素を他の構成要素から
区別する目的のみに使用される。例えば、本発明の権利範囲を逸脱しなく、第1構成要素
は第2構成要素と称され、類似に第2構成要素も第1構成要素と称されることができる。
単数の表現は文脈の上に明確に異なりに表現しない限り、複数の表現を含む。
【0035】
また、“下に”、“下側に”、“上に”、“上側に”等の用語は図面に図示された構成
の連関関係を説明するために使用される。前記用語は相対的な概念として図面に表示され
た方向を基準に説明される。
【0036】
“含む”等の用語は明細書上に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品又
はこれらを組合したことが存在することを表現しようするものであり、1つ又はその以上
の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部分品、又はこれらを組合したものの存在又
は付加可能性を予め排除しないものとして理解されるべきである。
【0037】
図1は、本発明の一実施形態に係る表示装置DMの平面図である。
【0038】
図1を参照すれば、表示装置DMは表示パネルDP、駆動回路チップIC、及びフレキ
シブル印刷回路基板FPCを含む。
【0039】
表示パネルDPは、発光型の表示パネルでありうるが、特に制限されない。例えば、表
示パネルDPは、有機発光表示パネル、又は、量子ドット発光表示パネル(a quan
tum-dot light-emitting display panel)である
。有機発光表示パネルは発光層が有機発光物質を含む。量子ドット発光表示パネルは、発
光層が量子ドット及び量子ロッドの少なくとも一方を含む。以下、表示パネルDPは有機
発光表示パネルとして説明される。
【0040】
表示パネルDPは、表示領域DAと、表示領域DAに隣接する非表示領域NDAとを含
む。非表示領域NDAは、イメージが表示されない領域である。一例として、表示領域D
Aは四角の形状である。非表示領域NDAは表示領域DAを囲む。但し、これに制限され
ず、表示領域DAの形状と、非表示領域NDAの形状とは変更されうる。
【0041】
以下の実施形態で、表示パネルDPの短辺方向を第1方向DR1と定義し、表示パネル
DPの長辺方向を第2方向DR2と定義し、表示パネルDPの法線方向を第3方向と定義
する。
【0042】
表示パネルDPは、複数の信号ラインと画素PXとを含む。
【0043】
信号ラインは、走査ラインGL、データラインDL、及び電源ラインPLを含む。走査
ラインGL、データラインDL、及び電源ラインPLは、いずれも複数本が提供されるが
図1では例示的に1つずつ図示した。走査ラインGL、データラインDL、及び電源ラ
インPLは、画素PXに連結される。図1で走査ラインGL、データラインDL、及び電
源ラインPLは、駆動回路チップICに連結されたことを例示的に図示した。但し、これ
に制限されることではなく、走査ラインGL、データラインDL、及び電源ラインPLの
中で一部は、フレキシブル印刷回路基板FPCに連結されて駆動信号を受信することがで
きる。
【0044】
信号ラインは、互いに異なる層に配置された第1導電層及び第2導電層をパターニング
して形成される。第1導電層及び第2導電層の位置関係は後述される。
【0045】
表示パネルDPは、非表示領域NDAに配置された走査駆動回路(図示せず)を含む。
走査駆動回路(図示せず)は、駆動回路チップIC又はフレキシブル印刷回路基板FPC
から駆動信号を受信し、走査ラインGLに走査信号を提供する。
【0046】
画素PXは、いずれもが走査ラインGL及びデータラインDLに連結されて、映像を表
示する。各画素PXは、レッド、グリーン、及びブルー色の中でいずれか1つを表示する
ことができる。但し、これに制限されることではなく、画素PXは、レッド、グリーン、
及びブルー以外に、他の色(例えば、ホワイト色)を表示することができる。図1で画素
PXは方形状(長方形または正方形)を有することを例示的に図示したが、これに制限さ
れることではなく、画素PXの形状は、多角形、円型、楕円形等、多様に変更されうる。
【0047】
駆動回路チップICは、表示パネルDPの非表示領域NDAに装着される。駆動回路チ
ップICは、表示パネルDPの駆動に必要とする信号を提供する。駆動回路チップICは
、データラインDLにデータ信号を提供するソースドライバー集積回路でありうる。但し
、これに制限されることではなく、走査ラインGLに走査信号を提供する走査駆動回路ま
で全て集積された統合ドライバー集積回路であっても良く、この場合、走査駆動回路は表
示パネルDPに配置しなくともよい。
【0048】
本発明の実施形態で、駆動回路チップICは、チップオンパネル(Chip-On-P
anel、COP)方式にて表示パネルDPに実装されうる。
【0049】
フレキシブル印刷回路基板FPCは、表示パネルDPの第2方向DR2の一端に連結さ
れる。フレキシブル印刷回路基板FPCは、表示パネルDPに配置された信号ラインに直
接連結させるか、或いは駆動回路チップICに連結されて、外部から受信した信号を伝達
する。
【0050】
図2は、1つの画素PXの等価回路図である。図2には、走査ラインGLといずれか1
つのデータラインDL、及び電源ラインPLに連結された画素PXを例示的に図示した。
画素PXの構成はこれに制限されず、変形されて実施されうる。
【0051】
有機発光ダイオードOLEDは、前面発光形ダイオードであるか、或いは背面発光形ダ
イオードである。画素PXは、有機発光ダイオードOLEDを駆動するための画素駆動回
路として、第1トランジスタT1(又はスイッチングトランジスタ)、第2トランジスタ
T2(又は駆動トランジスタ)、及びキャパシターCstを含む。第1電源電圧ELVD
Dは第2トランジスタT2に提供され、第2電源電圧ELVSSは有機発光ダイオードO
LEDに提供される。第2電源電圧ELVSSは第1電源電圧ELVDDより低い電圧で
ある。
【0052】
第1トランジスタT1は、走査ラインGLに印加された走査信号に応答して、データラ
インDLに印加されたデータ信号を出力する。キャパシターCstは、第1トランジスタ
TR1から受信したデータ信号に対応する電圧を充電する。
【0053】
第2トランジスタT2は、有機発光ダイオードOLEDに連結される。第2トランジス
タT2は、キャパシターCstに格納された電荷量に対応して、有機発光ダイオードOL
EDに流れる駆動電流を制御する。有機発光ダイオードOLEDは、第2トランジスタT
2のターンオン区間の間に発光する。
【0054】
図3は、1つの画素PXに該当する表示パネルの部分断面図である。
【0055】
表示パネルDPは、基板SUB、回路素子層CL、表示素子層DPL、薄膜封止層TF
E、及びタッチセンサーTSを含む。図示しないが、表示パネルDPは、タッチセンサー
TSの上部に配置された反射防止層及び/又はウインドー部材をさらに含むことができる
【0056】
基板SUBは、少なくとも一層のプラスチックフィルムを含むものでありうる。基板S
UBはフレキシブルでありうる。基板SUBは、プラスチック基板、ガラス基板、メタル
基板、又は有機/無機複合材料基板等のうちの少なくとも一つを含むものでありうる。図
1を参照して説明した表示領域DAと非表示領域NDAとは、基板SUB上の領域として
、上記と同様に定義されうる。
【0057】
回路素子層CLは、図2を参照して説明した各信号ライン、すなわち、走査ラインGL
、データラインDL、及び電源ラインPLを含むのでありうる。また、回路素子層CLは
、第1トランジスタT1、第2トランジスタT2、及びキャパシターCstを含むのであ
りうる。図3を参照して第1トランジスタT1を例示的に説明する。
【0058】
回路素子層CLは、バリアー層BR、アクティブ層(半導体活性層)ACT、ゲート絶
縁膜GI、ゲート電極GE、層間絶縁膜ILD、入力電極及び出力電極SE、DE、及び
中間絶縁膜VLDを含む。
【0059】
バリアー層BRは、基板SUB上に配置され、異物質がバリアー層BRの上部に流れ込
むことを防止する。
【0060】
図示しないが、表示パネルDPは、バリアー層BRの上部に配置されたバッファ膜(図
示せず)をさらに含むのでありうる。バッファ膜(図示せず)は、基板SUBと、基板S
UBの上部に配置された層との結合力を向上させる。バリアー層BRとバッファ膜(図示
せず)とは、任意選択的に、配置または省略されうる。
【0061】
アクティブ層ACTはバリアー層BR上に配置される。アクティブ層ACTは、第1ト
ランジスタT1のチャンネル領域として機能する。アクティブ層ACTは、アモルファス
シリコン、ポリシリコン、及び金属酸化物半導体から選択されるのでありうる。
【0062】
ゲート絶縁膜GIはアクティブ層ACT上に配置される。ゲート絶縁膜GIは、ゲート
電極GEをアクティブ層ACTと絶縁させる。
【0063】
ゲート電極GEはゲート絶縁膜GI上に配置される。ゲート電極GEは、アクティブ層
ACTに重り合うように配置される。
【0064】
信号ラインを構成する第1導電層(図示せず)は、ゲート電極GEと同一の配線層(同
一の成膜及びパターニングの工程により同時に形成しうる、一つまたは一連の導電体パタ
ーン)中に配置される。
【0065】
層間絶縁膜ILDはゲート電極GE上に配置される。層間絶縁膜ILDは、ゲート電極
GEと、入力電極及び出力電極SE、DEとを電気的に絶縁させる。層間絶縁膜ILDは
無機物質を含む。無機物質は、シリコンナイトライド(窒化シリコン)、シリコンオキシ
ナイトライド(酸化窒化シリコン)、及びシリコン酸化物等を含むのでありうる。
【0066】
入力電極及び出力電極SE、DEは、層間絶縁膜ILD上に配置される。入力及び出力
電極SE、DEは、層間絶縁膜ILDとゲート絶縁膜GIとを貫く第1及び第2コンタク
トホールCH1、CH2を通じて、それぞれアクティブ層ACTに電気的に連結される。
【0067】
信号ラインを構成する第2導電層(図示せず)は、入力電極及び出力電極SE、DEと
同一の配線層中に配置される。
【0068】
本発明の実施形態で、表示パネルDPは、ゲート電極GEがアクティブ層ACTの上部
に配置されたトップゲート構造を有するものとして例示的に説明したが、他の実施形態で
、表示パネルDPは、ゲート電極GEがアクティブ層ACTの下部に配置されたボトム-
ゲート構造を有することができる。
【0069】
中間絶縁膜VLDは、入力電極及び出力電極SE、DEの上に配置される。中間絶縁膜
VLDは平坦面を提供する。中間絶縁膜VLDは有機物質を含むのでありうる。この有機
物質は、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリイソプレン、ビニル系樹脂、エポキシ
系樹脂、ウレタン系樹脂、セルロース系樹脂、シロキサン系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポ
リアミド系樹脂、及びペリレン系樹脂の中の少なくともいずれか1つを含むのでありうる
【0070】
表示素子層DPLは中間絶縁膜VLD上に配置される。表示素子層DPLは画素定義膜
(画素画定用のバンプ部)PDL及び表示素子を含む。本発明の実施形態で、表示素子は
有機発光ダイオードOLEDである。有機発光ダイオードOLEDは、第1電極AE、正
孔制御層HCL、発光層EML、電子制御層ECL、及び第2電極CEを含むのでありう
る。
【0071】
画素定義膜PDLは有機物質を含むのでありうる。中間絶縁膜VLD上に第1電極AE
が配置される。第1電極AEは、中間絶縁膜VLDを貫通する第3コンタクトホールCH
3を通じて、出力電極DEに連結される。画素定義膜PDLにより第1開口部OP1が画
定されて形成される。画素定義膜PDLの第1開口部OP1は第1電極AEの少なくとも
一部分を露出させる。
【0072】
画素PXは、平面図にて画素領域に配置される。画素領域は、発光領域PXAと、発光
領域PXAに隣接する非発光領域NPXAとを含む。非発光領域NPXAは発光領域PX
Aを囲む。本実施形態で、発光領域PXAは、第1開口部OP1によって露出された第1
電極AEにおける一部の領域に対応するように画定されて形成される。
【0073】
正孔制御層HCLは、発光領域PXAと、非発光領域NPXAとに共通に配置されうる
。特に図示されていないが、正孔制御層HCLといった共通層は、複数の画素PXにわた
って共通に形成されうる。
【0074】
正孔制御層HCL上に発光層EMLが配置される。発光層EMLは、第1開口部OP1
に対応する領域に配置されうる。即ち、発光層EMLは、複数の画素PXのそれぞれに、
互いに分離されて形成されうる。発光層EMLは有機物質及び/又は無機物質を含む。本
実施形態で、パターニングされた発光層EMLを例示的に図示したが、発光層EMLは、
複数の画素PXにわたって共通に配置されうる。ここで、発光層EMLは白色光を生成す
るのでありうる。また、発光層EMLは多層構造を有しうる。
【0075】
発光層EML上に電子制御層ECLが配置される。特に図示されていないが、電子制御
層ECLは複数の画素PXにわたって共通に形成されうる。
【0076】
電子制御層ECL上に第2電極CEが配置される。第2電極CEは、複数の画素PXに
わたって共通的に配置されうる。
【0077】
薄膜封止層TFEは第2電極CE上に配置される。薄膜封止層TFEは、複数の画素P
Xにわたって共通に配置されうる。本実施形態で、薄膜封止層TFEは第2電極CEを直
接カバーする。本発明の他の実施形態で、薄膜封止層TFEと第2電極CEとの間には、
第2電極CEをカバーするキャッピング層が、さらに配置されうる。このとき、薄膜封止
層TFEはキャッピング層を直接カバーしうる。
【0078】
薄膜封止層TFEは、少なくとも1つの無機膜(以下、封止無機膜)を含む。薄膜封止
層TFEは、少なくとも1つの有機膜(以下、封止有機膜)をさらに含むのでありうる。
封止無機膜は、水分及び/または酸素(すなわち、これらの少なくとも一方)から表示素
子層DPLを保護するのであり、封止有機膜は、ほこり粒子といった異物質から表示素子
層DPLを保護する。封止無機膜は、シリコンナイトライド層、シリコンオキシナイトラ
イド層及びシリコン酸化物層、チタニウムオキサイド層、及び、アルミニウムオキサイド
層等のうちの少なくともいずれかを含むのでありうる。封止有機膜はアクリル系列有機層
を含むのでありうるが、これに制限されない。
【0079】
タッチセンサーTSは、薄膜封止層TFE上に配置される。タッチセンサーTSは、外
部入力の座標情報を獲得する。
【0080】
本発明の実施形態で、タッチセンサーTSは、薄膜封止層TFE上に直接配置される。
本明細書で、“直接配置される”ということは別途の接着層を利用して取り付けることを
除外するのであり、互いに連続する工程によって形成されたことを意味する。
【0081】
タッチセンサーTSは、例えば静電容量方式により外部入力を感知するのでありうる。
本発明でタッチセンサーTSの動作方式は特別に制限されず、本発明の一実施形態で、タ
ッチセンサーTSは、電磁気誘導方式又は圧力感知方式により外部入力を感知するのであ
りうる。
【0082】
タッチセンサーTSは多層構造を有しうる。タッチセンサーTSは単層又は多層の導電
層を含むのでありうる。タッチセンサーTSは単層又は多層の絶縁層を含むのでありうる
【0083】
図4は、図3のタッチセンサーを示した平面図であり、図5は、図4のI-I’線に沿
って切断した断面図である。
【0084】
タッチセンサーTSは、タッチ電極層TMLとタッチ絶縁層TSLとを含む。タッチ絶
縁層TSLはタッチ電極層TMLに接触する。
【0085】
タッチ電極層TMLは、第1タッチ電極層TML1及び第2タッチ電極層TML2を含
む。タッチ絶縁層TSLは、第1タッチ絶縁層TSL1及び第2タッチ絶縁層TSL2を
含む。
【0086】
第2タッチ電極層TML2は、第1タッチ電極層TML1の上に配置される。
【0087】
第1タッチ電極層TML1及び第2タッチ電極層TML2の各々は、単層構造を有する
か、或いは積層された多層構造を有する。多層構造の導電層は、複数種の透明導電層及び
複数種の金属層の中の、少なくとも2種以上を含む。多層構造の導電層は、互いに異なる
金属を含む複数の金属層を含むのでありうる。透明導電層は、ITO(indium t
in oxide)、IZO(indium zinc oxide)、ZnO(zin
c oxide)、ITZO(indium tin zinc oxide)、PED
OT、金属ナノワイヤ、及びグラフェンの少なくとも一つを含むことができる。金属層は
、モリブデン、銀、チタニウム、銅、アルミニウム、及びこれらの合金のうちの少なくと
も一つを含むことができる。例えば、第1タッチ電極層TML1及び第2タッチ電極層T
ML2の各々は、チタン/アルミニウム/チタンの3層構造を有するのでありうる。
【0088】
第1タッチ絶縁層TSL1は、第1タッチ電極層TML1と第2タッチ電極層TML2
との間に配置される。第2タッチ絶縁層TSL2は、表示パネルDPの最上部層(薄膜封
止層TFE)と、第1タッチ電極層TML1との間に配置される。但し、これに制限され
ず、第2タッチ絶縁層TSL2は、任意選択的に、省略されてもよい。
【0089】
第1タッチ絶縁層TSL1及び第2タッチ絶縁層TSL2は無機物質を含む。この無機
物質は、シリコンナイトライド(窒化シリコン)、シリコンオキシナイトライド(酸化窒
化シリコン)、及びシリコン酸化物等のうちの少なくとも一つをを含むのでありうる。
【0090】
タッチセンサーTSは、第2タッチ電極層TML2の上部に配置された平坦化膜PAS
をさらに含みうる。平坦化膜PASは、平坦面を提供するのであり、有機物質を含むので
ありうる。
【0091】
図4に図示されたように、タッチセンサーTSは、第1タッチ電極TE1-1乃至TE
1-5、第1タッチ電極に連結された第1タッチ信号ラインSL1-1乃至SL1-5、
第2タッチ電極TE2-1乃至TE2-4、第2タッチ電極TE2-1乃至TE2-4に
連結された第2タッチ信号ラインSL2-1乃至SL2-4、及び、第1タッチ信号ライ
ンSL1-1乃至SL1-5と第2タッチ信号ラインSL2-1乃至SL2-4に連結さ
れたタッチパッドTS-PDを含むのでありうる。
【0092】
第1タッチ電極TE1-1乃至TE1-5の各々は、複数のタッチ開口部が画定されて
形成されたメッシュ状を有しうる。第1タッチ電極TE1-1乃至TE1-5の各々は、
複数の第1タッチセンサー部SP1と、複数の第1連結部CP1とを含む。第1タッチセ
ンサー部SP1は第1方向DR1に沿って並ぶように配列される。第1連結部CP1の各
々は、第1タッチセンサー部SP1の中で、隣接する2つの第1タッチセンサー部SP1
を互いに連結する。具体的に図示しなかったが、第1タッチ信号ラインSL1-1乃至S
L1-5も、メッシュ状を有しうる。
【0093】
第2タッチ電極TE2-1乃至TE2-4は、第1タッチ電極TE1-1乃至TE1-
5と、絶縁されて交差する。第2タッチ電極TE2-1乃至TE2-4の各々は、複数の
タッチ開口部が画定されて形成されたメッシュ状を有しうる。第2タッチ電極TE2-1
乃至TE2-4の各々は、複数の第2タッチセンサー部SP2と複数の第2連結部CP2
とを含む。第2タッチセンサー部SP2は、第2方向DR2に沿って並ぶように配列され
る。第2連結部CP2の各々は、第2タッチセンサー部SP2の中で、隣接する2つの第
2タッチセンサー部SP2を互いに連結する。第2タッチ信号ラインSL2-1乃至SL
2-4もやはりメッシュ状を有しうる。
【0094】
第1タッチ電極TE1-1乃至TE1-5と、第2タッチ電極TE2-1乃至TE2-
4とは、静電結合される。第1タッチ電極TE1-1乃至TE1-5にタッチ感知信号が
印加されることによって、第1タッチセンサー部SP1と、第2タッチセンサー部SP2
との間に、キャパシターが形成される。
【0095】
本実施形態で、複数の第1連結部CP1は第1タッチ電極層TML1から形成され、複
数の第1タッチセンサー部SP1及び複数の第2連結部CP2は第2タッチ電極層TML
2から形成されることを例示的に図示した。
【0096】
但し、これに制限されず、複数の第1タッチセンサー部SP1、複数の第1連結部CP
1、第1タッチ信号ラインSL1-1乃至SL1-5、複数の第2タッチセンサー部SP
2、複数の第2連結部CP2、及び第2タッチ信号ラインSL2-1乃至SL2-4の中
で、一部は図5に図示された第1タッチ電極層TML1から形成され、他の一部は図5
図示された第2タッチ電極層TML2から形成されるのでありうる。
【0097】
図6は、図1のAA領域を拡大して示した表示装置の部分平面図である。
【0098】
図1及び図6を参照すれば、表示パネルDPは、非表示領域NDAに配置されたパッド
グループPDG及びテスト回路TCRをさらに含む。
【0099】
パッドグループPDGは、入力パッドIPD及び出力パッドOPDを含む。出力パッド
OPDは、入力パッドIPDに比べて相対的に、表示領域DAにさらに隣接するように配
置される。入力パッドIPD及び出力パッドOPDを通じて、駆動回路チップICは、表
示パネルDPに電気的に連結される。
【0100】
表示パネルDPは、出力パッドラインOPLと、入力パッドラインIPLとをさらに含
む。出力パッドラインOPLは、出力パッドOPDと、信号ラインのうちの一部(例えば
、データラインDL)とを連結する。入力パッドラインIPLは入力パッドIPDとフレ
キシブル印刷回路基板FPCとを連結する。
【0101】
駆動回路チップICは、入力パッドラインIPL及び入力パッドIPDを通じて、フレ
キシブル印刷回路基板FPCから提供された信号を受信する。駆動回路チップICは、出
力パッドOPD及び出力パッドラインOPLを通じて、走査ラインGL、データラインD
L、及び電源ラインPLの中の少なくとも一部に、信号を提供する。
【0102】
出力パッドOPDは、複数の列をなすように提供されうる。図6で、出力パッドOPD
が3列に配置されたことを例示的に図示したが、これに制限されることではなく、2列以
下に提供されるか、或いは4列以上に提供されてもよい。
【0103】
図6で入力パッドIPDは1列に提供されることを例示的に図示したが、これに制限さ
れることではなく、入力パッドIPDは複数の列をなすように提供されてもよい。
【0104】
テスト回路TCRは、非表示領域NDA内に、駆動回路チップICと重なり合うように
配置されうる。表示パネルDPは、テスト回路TCRと出力パッドOPDとを連結するテ
ストパッドラインTPLをさらに含みうる。
【0105】
テスト回路TCRは、最終製品の出荷の前に、表示パネルDPの動作状態をテストする
ための信号を、テストパッドラインTPL及び出力パッドOPDを通じて、表示パネルD
Pに提供する。製品の出荷の後、テスト回路TCRは非活性化されうる。
【0106】
本発明の実施形態によれば、テスト回路TCRを駆動回路チップICと重なり合わない
非表示領域NDAの一部の領域に形成するのでなく、駆動回路チップICに重なり合うよ
うに形成する。したがって、非表示領域NDAのサイズを減少させることができ、表示パ
ネルDPの空間活用度を高めることができる。
【0107】
パッドグループPDGと駆動回路チップICとのコンタクトのために、中間絶縁膜VL
Dは、パッドグループPDGを露出するようにパッドグループPDGの配置領域にて省か
れている。また、中間絶縁膜VLDは、テスト回路TCRをカバーしてテスト回路TCR
を保護する役割をする。
【0108】
本発明の実施形態で、タッチ絶縁層TSL(図5)には、平面図で見てパッドグループ
PDGの近傍に陰刻パターンが提供される。具体的な内容は後述される。
【0109】
図7は、図6のI-I’線に沿って切断した断面図である。図7を参照して、1つの出
力パッドOPDの断面構造を説明する。出力パッドOPDと入力パッドIPDとは、構造
が実質的に同一でありうる。
【0110】
図1図6、及び図7を参照すれば、表示パネルDPは、出力パッドOPDと直接重ね
合わされることで接触するデータパッドパターンDPP及びゲートパッドパターンGPP
を含む。
【0111】
ゲートパッドパターンGPPは、図3に図示されたゲート電極GEと同一の配線層中に
配置されており、データパッドパターンDPPは、図3に図示された入力及び出力電極S
E、DEと同一の配線層中に配置されており、出力パッドOPDは、図5に図示された第
1タッチ電極層TML1及び第2タッチ電極層TML2の中でいずれか1つと同一の配線
層中に配置される。具体的に、出力パッドOPDは第2タッチ電極層TML2と同一の配
線層中に配置される。本発明の他の実施形態で、データパッドパターンDPPは、任意選
択的に、省略されてもよい。
【0112】
出力パッドラインOPL及びテストパッドラインTPLは、ゲートパッドパターンGP
Pと同一の配線層中に配置されて互いに連続するパターンをなすことにより、ゲートパッ
ドパターンGPPと電気的に連結される。
【0113】
層間絶縁膜ILDには、ゲートパッドパターンGPPの少なくとも一部を露出する第2
開口部OP2が画定・形成されており、第2開口部OP2を通じて、ゲートパッドパター
ンGPPと、データパッドパターンDPPとが接触される。
【0114】
第1タッチ絶縁層TSL1及び第2タッチ絶縁層TSL2には、データパッドパターン
DPPの少なくとも一部を露出させる第3開口部OP3が画定・形成されており、第3開
口部OP3を通じて、出力パッドOPDと、データパッドパターンDPPとが接触される
【0115】
本発明の実施形態で、第1タッチ絶縁層TSL1及び第2タッチ絶縁層TSL2は、実
質的に同一の物質から形成され、第1タッチ絶縁層TSL1及び第2タッチ絶縁層TSL
2に、形状、寸法及び位置が同一の陰刻パターンが提供される。すなわち、第1タッチ絶
縁層TSL1と第2タッチ絶縁層TSL2とは、互いに、陰刻パターンの輪郭が実質上一
致する。したがって、以下の説明で、第1タッチ絶縁層TSL1及び第2タッチ絶縁層T
SL2は、個別に説明せず、タッチ絶縁層TSLとして説明する。例えば、タッチ絶縁層
TSLに陰刻パターンが提供されたという場合、第1タッチ絶縁層TSL1及び第2タッ
チ絶縁層TSL2の各々に、輪郭が互いに実質上一致するように陰刻パターンが提供され
たことを意味する。
【0116】
図8は、図1のAA領域の拡大平面図であって、本発明の一実施形態に係る陰刻パター
ンの形状を示した図面であり、図9図8のII-II’線に沿って切断した断面図であ
る。
【0117】
図8及び図9を参照すれば、タッチ絶縁層TSLには陰刻パターンGRが提供される。
陰刻パターンGRは、タッチ絶縁層TSLを貫通するホール(貫通孔)、または、タッチ
絶縁層TSLが省かれた抜き部(omitted area)でありうる。但し、これに制限されるこ
とではなく、陰刻パターンGRは、タッチ絶縁層TSLを貫通するとともに、層間絶縁膜
ILDに溝または凹部を形成するものでありうる。
【0118】
陰刻パターンGRは、平面図(平面視)で、非表示領域NDAの内部にあって、パッド
グループPDGの近傍に提供される。陰刻パターンGRが、平面図で駆動回路チップIC
と重なり合うように提供されうる。
【0119】
平面図で見て、前記陰刻パターンが、前記出力パッドと、前記中間絶縁膜の配置領域と
の間に配置されうる。言い換えれば、平面図で、陰刻パターンGRとパッドグループPD
Gとの間の距離は、パッドグループPDGと中間絶縁膜VLDの輪郭との間の距離より短
いのでありうる。以下、陰刻パターンGRの形状及び配置に対して、具体的に説明する。
【0120】
中間絶縁膜VLDのパターンは、第1中間絶縁膜VLD1のパターン及び第2中間絶縁
膜VLD2のパターンを含むのでありうる。
【0121】
平面図で見て、第1中間絶縁膜VLD1のパターンと、第2中間絶縁膜VLD2のパタ
ーンとは互いに離隔されうる。平面図で、第2中間絶縁膜VLD2のパターンは、第2方
向DR2にて、出力パッドOPDと入力パッドIPDとの間に配置されうる。第2中間絶
縁膜VLD2のパターンは、駆動回路チップICと重なり合い、テスト回路TCRをカバ
ーする。第1中間絶縁膜VLD1は、中間絶縁膜VLDのうちの、第2中間絶縁膜VLD
2を除外した残りでありうる。
【0122】
第1中間絶縁膜VLD1には、第4開口部OP4が画定・形成され、第4開口部OP4
を通じてパッドグループPDGが露出される。第4開口部OP4は、駆動回路チップIC
の平面形状と同様に、方形状を有する。方形状を有する第4開口部OP4は第1乃至第4
の内側面を有する。図8には、表示領域DAに隣接し、第1方向DR1に延長する第1内
側面IS1、第1内側面IS1と平行である第2内側面IS2、及び第1内側面IS1及
び第2内側面IS2を連結する第3内側面IS3を図示した。第4内側面(図示せず)は
図示しなかったが、第3内側面IS3と対向し、第1及び第2内側面IS1、IS2を互
いに連結する。
【0123】
本発明の一実施形態で、陰刻パターンGRは、第1乃至第3陰刻パターンGR1~GR
3を含む。
【0124】
第1陰刻パターンGR1は、出力パッドOPDと、第1中間絶縁膜VLD1の第1内側
面IS1との間を通る(通って延びる)ように配置される。
【0125】
出力パッドOPDは、表示領域DAに隣接する側から順に、第1乃至第3行の出力パッ
ド101、102、103に区分され、第1陰刻パターンGR1は、第1行の出力パッド
101と、第1中間絶縁膜VLD1の第1内側面IS1との間を通るように配置されるの
でありうる。第1陰刻パターンGR1は、第1方向DR1に延長された直線形状を有する
のでありうる。
【0126】
第1陰刻パターンGR1によって層間絶縁膜ILDが露出される。
【0127】
第2陰刻パターンGR2は、第2中間絶縁膜VLD2及び層間絶縁膜ILDを露出させ
る。即ち、タッチ絶縁層TSLは第2中間絶縁膜VLD2と重ならない。第2陰刻パター
ンGR2によって、出力パッドOPD及び入力パッドIPDが露出されることはない。
【0128】
第3陰刻パターンGR3は、入力パッドIPDと、第1中間絶縁膜VLD1の第2内側
面IS2との間を通るように配置されうる。第3陰刻パターンGR3は、第1方向DR1
に延長された一つの直線の形状を有するのでありうる。
【0129】
図9で、第1乃至第3陰刻パターンGR1~GR3は、タッチ絶縁層TSLにのみ提供
されることを例示的に図示したが、これに制限されるのではなく、層間絶縁膜ILDの一
部までも省かれるように提供されうる。
【0130】
図9を参照すれば、表示装置DMはバンプBMPをさらに含む。バンプBMPは、表示
パネルDPと対向する駆動回路チップICの一面に装着されうる。バンプBMPは、導電
性物質で形成される。駆動回路チップICは、バンプBMPを通じて電圧及び電流信号を
受信する。
【0131】
駆動回路チップICは、駆動回路チップICとパネルDPとの間に、異方性導電フィル
ム(Anisotropic Conductive Film:ACF)を配置した後
、高温で熱圧着することによって実装されうる。異方性導電フィルムACFは、複数の導
電ボール150と、導電ボール150を包み込む接着物質151を含む。導電ボール15
0は、バンプBMPと、入力及び出力パッドIPD、OPDを、電気的に接続されうるよ
うにする。
【0132】
図9で、出力パッドOPDは、タッチ絶縁層TSLに提供された第5開口部OP5を通
じて、出力データパッドパターンDPP1に接触しており、出力データパッドパターンD
PP1は、層間絶縁膜ILDに提供された第6開口部OP6を通じて、出力ゲートパッド
パターンGPP1に接触する。
【0133】
入力パッドIPDは、タッチ絶縁層TSLに提供された第7開口部OP7を通じて、入
力データパッドパターンDPP2に接触しており、入力データパッドパターンDPP2は
、層間絶縁膜ILDに提供された第8開口部OP8を通じて、入力ゲートパッドパターン
GPP2に接触する。
【0134】
出力パッドOPD及び入力パッドIPDの構造は、図7を参照して説明したので、具体
的な説明を省略する。
【0135】
図9で、テスト回路TCRは、第1テストパターンTCR1及び第2テストパターンT
CR2の中の少なくとも1つを含むのでありうる。第1テストパターンTCR1は、出力
ゲートパッドパターンGPP1及び入力ゲートパッドパターンGPP2と、同一の配線層
中に配置されうる。第2テストパターンTCR2は、出力データパッドパターンDPP1
及び入力データパッドパターンDPP2と、同一の配線層中に配置されうる。
【0136】
図10は、本発明の比較例に該当する表示装置の断面図を例示的に示したものであり、
図11は、比較例に該当する表示装置の断面を撮影した写真であり、図12は、比較例に
該当する表示装置が適用された携帯用端末機で現れる不良を撮影した写真である。
【0137】
図10は、図9で陰刻パターンGRを除く、実質的に図9の構造と同一であると仮定す
る。図10図8のIII-III’線に沿う位置に該当する断面図である。図10に図
示された構成の中で、図9の表示装置に対応する構成は、図9の表示装置の対応する構成
の符号に“-1”を付した形態にて表記した。
【0138】
層間絶縁膜ILD-1とタッチ絶縁層TSL-1とは、いずれも無機物を含むので、こ
れらの間の結合力が相対的に弱い。したがって、タッチ絶縁層TSL-1と層間絶縁膜I
LD-1とは容易に剥離されうる。
【0139】
具体的に、タッチ絶縁層TSL-1にクラックCRKが発生しうる。クラックCRKは
、多様な原因によって発生しうる。例えば、駆動回路チップIC-1を圧着する工程を遂
行する間に、導電ボール150-1がタッチ絶縁層TSL-1に圧力を加えることで、タ
ッチ絶縁層TSL-1にクラックCRKが発生しうる。また、フレキシブルな表示パネル
DPが曲げられた場合、タッチ絶縁層TSL-1にクラックCRKが発生しうる。
【0140】
高い温度と高い湿度を有する環境で、有機物から形成された中間絶縁膜VLD-1が、
クラックCRKを通じて水分を吸収して熱膨張し、これによってタッチ絶縁層TSL-1
と層間絶縁膜ILD-1とが剥離されうる。図11で、タッチ絶縁層TSL-1と層間絶
縁膜ILD-1とが剥離されて、第1距離DTだけ離隔されたことを確認することができ
る。
【0141】
タッチ絶縁層TSL-1と層間絶縁膜ILD-1との間に、水分が移動可能な流体パス
PTHが形成され、流体パスPTHを通じて水分が移動することで、隣接するパッド同士
がショートされる恐れがある。特に、表示パネルDPが高解像度を有することで出力パッ
ドOPD同士の間の離隔距離が非常に狭くなっていることから、隣接する出力パッドOP
D同士が、流体パスPTHを通じてショートされるという問題が発生する恐れがある。図
10で、隣接する2つの出力パッドOPDが互いにショートされることを例示的に図示し
た。
【0142】
図12のBB領域を参照すれば、隣接する出力パッドOPDがショートされることで縦
線の形態の不良が発生したことを確認することができる。比較例に該当する表示装置DM
-1の不良は、ショートされる入力パッド及び出力パッドIPD、OPDの組み合わせに
よって、図12に表示された縦線形態の不良以外にも、多様に現れうる。
【0143】
再び図8及び図9を参照すれば、本発明の一実施形態に係る表示装置DMは、タッチ絶
縁層TSLに、陰刻パターンGRを形成することによって、タッチ絶縁層TSLと層間絶
縁膜ILDとの間の剥離現象を根本的に防止するか、或いはタッチ絶縁層TSLと層間絶
縁膜ILDとの間に発生した剥離現象が、入力パッドIPD及び出力パッドOPDに伝達
されることを防止することができる。
【0144】
中間絶縁膜VLDは、基板SUBを除く、中間絶縁膜VLDの下部に配置された層に比
べて、相対的に大きい厚さを有する。例示的に、中間絶縁膜VLDは10000Å(1μ
m)以上の厚さ、特には1~5μmの厚さ、例えば2~4μmの厚さを有し、バリアー層
BR、アクティブ層ACT、ゲート絶縁膜GI、ゲート電極GE、層間絶縁膜ILD、及
び入力及び出力電極SE、DEは全て10000Å(1μm)以下の厚さ、特には1μm
未満の厚さ、例えば0.01~0.8μmまたは0.02~0.5μmの厚さを有する。
【0145】
中間絶縁膜VLDが相対的に大きい厚さを有するので、中間絶縁膜VLDの第1乃至第
4内側面IS1~IS3(第4内側面は図示せず)に重なり合うタッチ絶縁層TSLは、
厚さが相対的に薄いことから、クラックに対して脆弱である。また、駆動回路チップIC
に重なり合うタッチ絶縁層TSLには、駆動回路チップICの圧着工程の最中に、導電ボ
ール150の圧力によってクラックが発生しうる。即ち、中間絶縁膜VLDと重なり合う
位置で、タッチ絶縁層TSLにクラックが発生する可能性が高い。したがって、本発明の
実施形態で、陰刻パターンGRは、中間絶縁膜VLDと重なり合う位置で、タッチ絶縁層
TSLに発生したクラックによるタッチ絶縁層TSLと層間絶縁膜ILDとの剥離現象が
、出力パッドOPD及び入力パッドIPDに伝達されることを防止できる位置に形成され
る。
【0146】
第1陰刻パターンGR1は、第1中間絶縁膜VLD1の第1内側面IS1から、第2方
向DR2に、出力パッドOPDへと向かって、タッチ絶縁層TSLと層間絶縁膜ILDと
の間の剥離現象が伝達されることを防止する。
【0147】
第2陰刻パターンGR2は、第2中間絶縁膜VLD2を露出させることで、第2中間絶
縁膜VLD2の付近でクラックが発生することを根本的に遮断する。
【0148】
第3陰刻パターンGR3は、第1中間絶縁膜VLD1の第2内側面IS2から、第2方
向DR2に、入力パッドIPDへと向かって、タッチ絶縁層TSLと層間絶縁膜ILDと
の間の剥離現象が伝達されることを防止する。
【0149】
本発明の実施形態に係る表示装置によれば、タッチ絶縁層に陰刻パターンを形成するこ
とで、タッチ絶縁層TSLと層間絶縁膜ILDとの間の剥離現象によって出力パッドOP
Dと入力パッドIPDとがショートされるという問題の発生を防止する。
【0150】
図13は、図1のAA領域の拡大平面図であって、本発明の他の実施形態に係る陰刻パ
ターンの形状を示した図面であり、図14は、図13のII-II’線に沿って切断した
断面図である。
【0151】
図13及び図14を参照して説明する、本発明の他の実施形態に係る表示装置DM1は
図8及び図9を参照して説明した本発明の一実施形態に係る表示装置DMと比べて、陰
刻パターンGR-1の形状及び配置に相違があり、残りの構成は実質的に同一である。以
下、陰刻パターンGR-1の形状に対して具体的に説明し、説明されない構成は図8及び
図9の説明にしたがう。
【0152】
陰刻パターンGR-1は、第1乃至第4陰刻パターンGR-11~GR-14を含むの
でありうる。
【0153】
第1乃至第4陰刻パターンGR-11~GR-14によって層間絶縁膜ILDが露出さ
れる。
【0154】
第1陰刻パターンGR-11は、出力パッドOPDと、第1中間絶縁膜VLD1の第1
内側面IS1との間を通るように配置される。第1陰刻パターンGR-11は、第1方向
DR1に延長された直線形状を有する。第1陰刻パターンGR-11は、第1中間絶縁膜
VLD1の第1内側面IS1から、第2方向DR2に、出力パッドOPDへと向かって、
タッチ絶縁層TSLと層間絶縁膜ILDとの間の剥離現象が伝達されることを防止する。
【0155】
第2陰刻パターンGR-12は、第2中間絶縁膜VLD2の配置領域と、出力パッドO
PDとの間を通るように配置される。第2陰刻パターンGR-12は、第1方向DR1に
延長された直線形状を有する。第2陰刻パターンGR-12は、第2中間絶縁膜VLD2
から、第2方向DR2に、出力パッドOPDへと向かって、タッチ絶縁層TSLと層間絶
縁膜ILDとの間の剥離現象が伝達されることを防止する。
【0156】
第3陰刻パターンGR-13は、第2中間絶縁膜VLD2の配置領域と、入力パッドI
PDとの間を通るように配置される。第3陰刻パターンGR-13は第1方向DR1に延
長された直線形状を有する。第3陰刻パターンGR-13は第2中間絶縁膜VLD2から
第2方向DR2に入力パッドIPDに向かってタッチ絶縁層TSLと層間絶縁膜ILDと
の剥離現象が伝達されることを防止する。
【0157】
第4陰刻パターンGR-14は、入力パッドIPDと、第1中間絶縁膜VLD1の第2
内側面IS2との間を通るように配置される。第4陰刻パターンGR-14は、第1方向
DR1に延長された一つの直線の形状を有するのでありうる。第4陰刻パターンGR-1
4は、第1中間絶縁膜VLD1の第2内側面IS2から、第2方向DR2に、入力パッド
IPDへと向かって、タッチ絶縁層TSLと層間絶縁膜ILDとの間の剥離現象が伝達さ
れることを防止する。
【0158】
図15は、図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パター
ンの形状及び配置を示した図面である。
【0159】
図15を参照して説明する表示装置DM2は、図13及び図14を参照して説明した表
示装置DM1と比較して、陰刻パターンGR-2に相違があるので、陰刻パターンGR-
2の形状に対して具体的に説明することとし、説明されない構成は図13及び図14の説
明にしたがう。
【0160】
陰刻パターンGR-2は、第1乃至第6陰刻パターンGR-21~GR-26を含むの
でありうる。
【0161】
第1乃至第4陰刻パターンGR-21~GR-24は、図13を参照して説明した第1
乃至第4陰刻パターンGR-11~GR-14と、実質的に同一であるので、具体的な説
明を省略する。
【0162】
第5陰刻パターンGR-25は、第1中間絶縁膜VLD1の第3内側面IS3に隣接し
て、第2方向DR2に延長される。第5陰刻パターンGR-25は、第1陰刻パターンG
R-21と第4陰刻パターンGR-24とを連結する。但し、これに制限されることでは
なく、第5陰刻パターンGR-25は、下部の配線の配列等を考慮して、連続した一つの
直線の形態ではなく、第2方向DR2に互いに離隔されてドット状、破線状などをなす複
数のパターンから形成されうる。第5陰刻パターンGR-25は、第1中間絶縁膜VLD
1から、第1方向DR1に、出力パッドOPD及び入力パッドIPDへと向かってタッチ
絶縁層TSLと層間絶縁膜ILDとの間の剥離現象が伝達されることを防止する。
【0163】
第6陰刻パターンGR-26は、第1中間絶縁膜VLD1の第3内側面IS3に隣接し
て、第2方向DR2に延長される。第6陰刻パターンGR-26は、第2陰刻パターンG
R-22と第3陰刻パターンGR-23とを連結する。但し、これに制限されることでは
なく、第6陰刻パターンGR-26は、下部の配線の配列等を考慮して、第2方向DR2
に互いに離隔されてドット状、破線状などをなす複数のパターンから形成されうる。
【0164】
図示しないが、陰刻パターンGR-2は第7陰刻パターン(図示せず)及び第8陰刻パ
ターン(図示せず)をさらに含むのでありうる。
【0165】
第7陰刻パターン(図示せず)は、第1中間絶縁膜VLD1の第4内側面(図示せず)
に隣接して、第2方向DR2に延長される。第7陰刻パターン(図示せず)は、第1陰刻
パターンGR-21と第4陰刻パターンGR-24とを連結する。
【0166】
第8陰刻パターン(図示せず)は、第1中間絶縁膜VLD1の第4内側面(図示せず)
に隣接して、第2方向に延長される。第8陰刻パターン(図示せず)は、第2陰刻パター
ンGR-22と第3陰刻パターンGR-23とを連結する。
【0167】
図16は、図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パター
ンの形状及び配置を示した図面である。
【0168】
図16を参照して説明する表示装置DM3は、図13及び図14を参照して説明した表
示装置DM1と比較して、陰刻パターンGR-3に相違があるので、陰刻パターンGR-
3の形状に対して具体的に説明することとし、説明されない構成は図13及び図14の説
明にしたがう。
【0169】
陰刻パターンGR-3は、第1乃至第6陰刻パターンGR-31~GR-36を含むの
でありうる。
【0170】
第1乃至第4陰刻パターンGR-31~GR-34は図13を参照して説明した第1乃
至第4陰刻パターンGR-21~GR-24と実質的に同一であるので、具体的な説明を
省略する。
【0171】
第5陰刻パターンGR-35は、第1中間絶縁膜VLD1の第3内側面IS3に隣接し
て、第2方向DR2に延長される。第5陰刻パターンGR-35は、第1陰刻パターンG
R-31と第2陰刻パターンGR-32とを連結する。但し、これに制限されることでは
なく、第5陰刻パターンGR-35は、下部の配線の配列等を考慮して、連続した一つの
直線の形態ではなく、第2方向DR2に互いに離隔されてドット状、破線状などをなす複
数のパターンから形成されうる。第5陰刻パターンGR-35は、第1中間絶縁膜VLD
1から、第1方向DR1に、出力パッドOPDへと向かってタッチ絶縁層TSLと層間絶
縁膜ILDとの間の剥離現象が伝達されることを防止する。
【0172】
第6陰刻パターンGR-36は、第1中間絶縁膜VLD1の第3内側面IS3に隣接し
て、第2方向DR2に延長される。第6陰刻パターンGR-36は、第3陰刻パターンG
R-33と第4陰刻パターンGR-34とを連結する。但し、これに制限されることでは
なく、第6陰刻パターンGR-36は、下部配線配列等を考慮して、第2方向DR2に離
隔された複数のパターンから形成されうる。第6陰刻パターンGR-36は、第1中間絶
縁膜VLD1から、第1方向DR1に、入力パッドIPDへと向かってタッチ絶縁層TS
Lと層間絶縁膜ILDとの間の剥離現象が伝達されることを防止する。
【0173】
図示しないが、陰刻パターンGR-3は、第7陰刻パターン(図示せず)及び第8陰刻
パターン(図示せず)をさらに含む。
【0174】
第7陰刻パターン(図示せず)は、第1中間絶縁膜VLD1の第4内側面(図示せず)
に隣接して、第2方向DR2に延長される。第7陰刻パターン(図示せず)は、第1陰刻
パターンGR-31と第2陰刻パターンGR-32とを連結する。
【0175】
第8陰刻パターン(図示せず)は、第1中間絶縁膜VLD1の第4内側面(図示せず)
に隣接して、第2方向に延長される。第8陰刻パターン(図示せず)は、第3陰刻パター
ンGR-33と第4陰刻パターンGR-34とを連結する。
【0176】
図17は、図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パター
ンの形状及び配置を示した図面であり、図18は、図17のII-II’線に沿って切断
した断面図である。
【0177】
本発明の他の実施形態に係る表示装置DM4で、陰刻パターンGR-4は、第1乃至第
5陰刻パターンGR-41~GR-45を含む。
【0178】
第1乃至第4陰刻パターンGR-41~GR-44は、図13及び図14を参照して説
明した第1乃至第4陰刻パターンGR-11~GR-14と、実質的に同一である。
【0179】
第5陰刻パターンGR-45は、図8及び図9を参照して説明した第2陰刻パターンG
R2と実質的に同一である。
【0180】
第2陰刻パターンGR-42と第5陰刻パターンGR-45とは離隔され、第3陰刻パ
ターンGR-43と第5陰刻パターンGR-45とは離隔される。
【0181】
図19は、図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パター
ンの形状を示した図面である。
【0182】
図19を参照して説明する表示装置DM5は、図13及び図14を参照して説明した表
示装置DM1と比較して、陰刻パターンGR-5に相違があるので、陰刻パターンGR-
5の形状に対して具体的に説明し、説明されない構成は図13及び図14の説明にしたが
う。
【0183】
陰刻パターンGR-5は、第1乃至第4陰刻パターンGR-51~GR-54を含むの
でありうる。
【0184】
第1乃至第4陰刻パターンGR-51~GR-54の各々は、第1方向DR1に沿って
、ジグザグ形態に延長された形状を有する。第1乃至第4陰刻パターンGR-51~GR
-54の各々は、互いに異なる方向に延長された直線パターンが交互に連結された形状を
有する。但し、これに制限されることではなく、第1乃至第4陰刻パターンGR-51~
GR-54の各々は、アーチ状などの曲線パターンが繰り返し連結された形状を有しても
よい。
【0185】
図20は、図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パター
ンの形状を示した図面である。
【0186】
図20を参照して説明する表示装置DM6は、図13及び図14を参照して説明した表
示装置DM1と比較して、陰刻パターンGR-6に相違があるので、陰刻パターンGR-
6の形状に対して具体的に説明し、説明されない構成は図13及び図14の説明にしたが
う。
【0187】
陰刻パターンGR-6は、第1乃至第8陰刻パターンGR-61~GR-68を含むの
でありうる。第1乃至第8陰刻パターンGR-61~GR-68の各々は、第1方向DR
1に沿って、ドット状、破線状などの形態で断続して配列された、一連の複数のパターン
として提供される。
【0188】
一連の第1及び第2陰刻パターンGR-61、GR-62は、出力パッドOPDと、第
1中間絶縁膜VLD1の第1内側面IS1との間に配置される。一連の第1陰刻パターン
GR-61は、隣り合うもの同士が、第1方向DR1に互いに離隔される。一連の第2陰
刻パターンGR-62は、隣り合うもの同士が、第1方向DR1に互いに離隔される。
【0189】
第1陰刻パターンGR-61と、第2陰刻パターンGR-62とは、表示領域DAに最
も隣接する出力パッドOPDから、第2方向DR2に、互いに異なる離隔距離を有するの
でありうる。図20で、第1陰刻パターンGR-61は、表示領域DAに最も隣接する出
力パッドOPDから、第1距離TT1をなすように離隔されるとともに、第2陰刻パター
ンGR-62は、表示領域DAに最も隣接する出力パッドOPDから、第1距離TT1と
異なる第2距離TT2をなすように離隔されるのでありうる。
【0190】
各第1陰刻パターンGR-61は、第1方向DR1にて、隣り合う2つの第2陰刻パタ
ーンGR-62の間に配置される。すなわち、第1方向DR1に沿って、第1陰刻パター
ンGR-61と、第2陰刻パターンGR-62とが、交互に配置される。図示の具体例で
は、第1陰刻パターンGR-61と、これに隣り合う第2陰刻パターンGR-62との間
で、第1方向DR1には、離隔されないか、または近接しており、第2方向DR2には、
わずかに離隔されている。
【0191】
第3及び第4陰刻パターンGR-63、GR-64は、いずれも、第1及び第2陰刻パ
ターンGR-61、GR-62と同様の、一連の複数のパターンとして提供され、第2中
間絶縁膜VLD2と出力パッドOPDとの間に配置される。一連の第3陰刻パターンGR
-63は、隣り合うもの同士が、第1方向DR1に互いに離隔される。一連の第4陰刻パ
ターンGR-64は、隣り合うもの同士が、第1方向DR1に互いに離隔される。
【0192】
第3陰刻パターンGR-63及び第4陰刻パターンGR-64は、表示領域DAに最も
隣接する出力パッドOPDから、第2方向DR2に、互いに異なる離隔距離を有する。図
20で、第3陰刻パターンGR-63は、表示領域DAに最も隣接する出力パッドOPD
から、第3距離TT3をなすように離隔され、第4陰刻パターンGR-64は、表示領域
DAに最も隣接する出力パッドOPDから、第3距離TT3と異なる第4距離TT4をな
すように離隔される。
【0193】
各第3陰刻パターンGR-63は、隣り合う2つの第4陰刻パターンGR-64の間に
来るように形成される。
【0194】
第5及び第6陰刻パターンGR-65、GR-66は、第2中間絶縁膜VLD2の配置
領域と、入力パッドIPDとの間に配置される。
【0195】
第5及び第6陰刻パターンGR-65、GR-66は、第3及び第4陰刻パターンGR
-63、GR-64と同様の形状及び配置形態を有するので、具体的な説明は省略する。
【0196】
第7及び第8陰刻パターンGR-67、GR-68は、入力パッドIPDと、第1中間
絶縁膜VLD1の第2内側面IS2との間に配置される。
【0197】
第7及び第8陰刻パターンGR-67、GR-68は、第1及び第2陰刻パターンGR
-61、GR-62と同様の形状及び配置形態を有するので、具体的な説明は省略する。
【0198】
図21は、図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パター
ンの形状を示した図面であり、図22は、図21のII-II’線に沿って切断した断面
図である。
【0199】
図21を参照して説明する表示装置DM7は、図13及び図14を参照して説明した表
示装置DM1と比較して、陰刻パターンGR-7に相違があるので、陰刻パターンGR-
7の形状に対して具体的に説明し、説明されない構成は図13及び図14の説明にしたが
う。
【0200】
陰刻パターンGR-7は、第1乃至第5陰刻パターンGR-71~GR-75を含むの
でありうる。
【0201】
第1乃至第4陰刻パターンGR-71~GR-74は、図13を参照して説明した第1
乃至第4陰刻パターンGR-11~GR-14と、実質的に同一である。
【0202】
第5陰刻パターンGR-75は、第1方向DR1に沿って、ドット状、破線状などの形
態で断続して配列された、一連の複数のパターンとして提供される。一連の第5陰刻パタ
ーンGR-75は、第2中間絶縁膜VLD2に重なるように配置される。図21~22に
示す具体例では、ドット状のパターンが2列に配列されており、第2中間絶縁膜VLD2
における周囲の側面には配置されず、上面にのみ配置される。複数の第5陰刻パターンG
R-75によって、第2中間絶縁膜VLD2の一部が露出される。複数の第5陰刻パター
ンGR-75は、第2中間絶縁膜VLD2に重なるタッチ絶縁層TSLに発生した、タッ
チ絶縁層TSLと層間絶縁膜ILDとの間の剥離現象が、隣接する領域へと伝達されるこ
とを防止する。
【0203】
図23は、図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パター
ンの形状及び配置を示した図面であり、図24は、図23のII-II’線に沿って切断
した断面図である。
【0204】
図23に図示された表示装置DM8で、陰刻パターンGR-8は、第1及び第2陰刻パ
ターンGR-81、GR-82を含むのでありうる。
【0205】
第1陰刻パターンGR-81は、出力パッドOPDに重なるように提供される。平面図
で見て、第1陰刻パターンGR-81は、出力パッドOPDの配置領域を完全にカバーす
る。第1陰刻パターンGR-81は、出力パッドOPDへと向かって、タッチ絶縁層TS
Lと層間絶縁膜ILDとの間の剥離現象が伝達されることを防止する。
【0206】
第2陰刻パターンGR-82は入力パッドIPDに重なるように提供される。平面図で
見て、第2陰刻パターンGR-82は、入力パッドIPDの配置領域を完全にカバーする
。第2陰刻パターンGR-82は、入力パッドIPDへと向かって、タッチ絶縁層TSL
と層間絶縁膜ILDとの間の剥離現象が伝達されることを防止する。
【0207】
図25は、図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パター
ンの形状を示した図面であり、図26は、図25のII-II’線に沿って切断した断面
図である。
【0208】
図25に図示された表示装置DM9で、陰刻パターンGR-9は、第1乃至第3陰刻パ
ターンGR-91~GR-93を含むのでありうる。
【0209】
第1陰刻パターンGR-91は、出力パッドOPDと、第1中間絶縁膜VLD1の第1
内側面IS1との間に配置される。第1陰刻パターンGR-91は、第1方向DR1に沿
って、ドット状、破線状などの形態で断続して配列された、一連の複数のパターンとして
提供される。各第1陰刻パターンGR-91は、隣り合う2つの出力パッドラインOPL
の間に配置され、出力パッドラインOPLと重ならないように配置される。図示の具体例
では、各第1陰刻パターンGR-91が、隣り合う出力パッドラインOPLから離隔され
ている。また、図25で、第1陰刻パターンGR-91は、互いに隣接する2つの出力パ
ッドラインOPLの間ごとに、2つずつ配置されたことを例示的に図示したが、これに制
限されることではない。
【0210】
第1陰刻パターンGR-91が出力パッドラインOPLと重ならないので、タッチ絶縁
層TSLは、出力パッドラインOPLをカバーする。したがって、タッチ絶縁層TSLは
、第1陰刻パターンGR-91を具備しながらも、出力パッドラインOPLの保護部材と
しての役割をも共に遂行し、出力パッドラインOPLに生成される寄生キャパシターによ
る信号の干渉現象を減少させることができる。
【0211】
第2陰刻パターンGR-92は、第2中間絶縁膜VLD2と入力パッドIPDとの間に
配置される。第2陰刻パターンGR-92は、第1陰刻パターンGR-91と同様に、第
1方向DR1に沿って、ドット状、破線状などの形態で断続して配列された、一連の複数
のパターンとして提供される。各第2陰刻パターンGR-92は、隣り合う2つのテスト
パッドラインTPLの間に配置され、テストパッドラインTPLと重ならないように配置
される。図25で、第2陰刻パターンGR-92は、互いに隣接する2つのテストパッド
ラインTPLの間ごとに、2つずつ配置されたことを例示的に図示したが、これに制限さ
れることではない。第2陰刻パターンGR-92は、第1陰刻パターンGR-91と同様
の効果を有する。
【0212】
第3陰刻パターンGR-93は、入力パッドIPDと、第1中間絶縁膜VLD1の第2
内側面IS2との間に配置される。第3陰刻パターンGR-93は、第1方向DR1に沿
って、ドット状、破線状などの形態で断続して配列された、一連の複数のパターンとして
提供される。各第3陰刻パターンGR-93は、隣り合う2つの入力パッドラインIPL
の間に配置され、入力パッドラインIPLと重ならないように配置される。図25で、第
3陰刻パターンGR-93は、互いに隣接する2つの入力パッドラインIPLの間ごとに
、2つずつ配置されたことを例示的に図示したが、これに制限されることではない。第3
陰刻パターンGR-93は、第1陰刻パターンGR-91と同様の効果を有する。
【0213】
第1乃至第3陰刻パターンGR-91~GR-93は、タッチ絶縁層TSLに提供され
る。
【0214】
第1乃至第3陰刻パターンGR-91~GR-93は、ゲートパッドパターンGPPと
同一の配線層中に配置された配線や導電層パターン重ならず、例えば、出力パッドライン
OPL、テストパッドラインTPL、及び入力パッドラインIPLのいずれとも重ならな
い。したがって、第1乃至第3陰刻パターンGR-91~GR-93が、タッチ絶縁層T
SLの下にまで延長されても、第1乃至第3陰刻パターンGR-91~GR-93によっ
て、出力パッドラインOPL、テストパッドラインTPL、及び入力パッドラインIPL
は露出されることがなく、保護されうる。
【0215】
第1乃至第3陰刻パターンGR-91~GR-93の深さは、タッチ絶縁層TSLの厚
さより大きい。言い換えれば、第1乃至第3陰刻パターンGR-91~GR-93は、層
間絶縁膜ILDにもさらに提供され、ゲート絶縁膜GIにもさらに提供される。図26
、第1乃至第3陰刻パターンGR-91~GR-93は、タッチ絶縁層TSL、層間絶縁
膜ILD、及びゲート絶縁膜GIに提供されて、これらタッチ絶縁層TSL、層間絶縁膜
ILD、及びゲート絶縁膜GIを貫通することを例示的に図示した。すなわち、第1乃至
第3陰刻パターンGR-91~GR-93は、ゲート絶縁膜GIの下の層(図26でバリ
アー層BR)を露出する。
【0216】
図25及び図26を参照して説明した実施形態で、第1乃至第3陰刻パターンGR-9
1~GR-93は、タッチ絶縁層TSLのみならず、タッチ絶縁層TSLの下の層にまで
提供されることによって、タッチ絶縁層TSLと層間絶縁膜ILDとの間の剥離現象が伝
達されることをさらに確実に防止することができる。
【0217】
図27は、図1のAA領域の拡大平面図で本発明の他の実施形態に係る陰刻パターンの
形状を示した図面であり、図28は、図27のII-II’線に沿って切断した断面図で
ある。
【0218】
図27に図示された表示装置DM10で、陰刻パターンGR-10は、第1乃至第6陰
刻パターンGR-101~GR-106を含む。
【0219】
第1乃至陰刻パターンGR-101~GR-103は、図8及び図9を参照して説明し
た第1乃至第3陰刻パターンGR1~GR3と、実質的に同一である。
【0220】
第4乃至第6陰刻パターンGR-104~GR-106は、図25及び図26を参照し
て説明した第1乃至第3陰刻パターンGR-91~GR-93と、実質的に同一である。
【0221】
第1陰刻パターンGR-101と第4陰刻パターンGR-104は重なる。第2陰刻パ
ターンGR-102と第5陰刻パターンGR-105は重なる。第3陰刻パターンGR-
103と第6陰刻パターンGR-106は重なる。特には、第4乃至第6陰刻パターンG
R-104~GR-106の各々は、第1乃至第3陰刻パターンGR-101~GR-1
03のうちの対応するものの領域内に配置され、図示の具体例で、領域の内側部分(周縁
部以外)に配置される。
【0222】
第1乃至第3陰刻パターンGR-101~GR-103の各々の深さは、第4乃至第6
陰刻パターンGR-104~GR-106のうちの対応するものの深さより小さい。
【0223】
第1乃至第3陰刻パターンGR-101~GR-103はタッチ絶縁層TSLに提供さ
れる。
【0224】
第4乃至第6陰刻パターンGR-104~GR-106は、タッチ絶縁層TSLのみな
らず、タッチ絶縁層TSLの下の層にまで提供される。図28で、第4乃至第6陰刻パタ
ーンGR-104~GR-106は、タッチ絶縁層TSL、層間絶縁膜ILD、及びゲー
ト絶縁膜GIに提供されて、これらタッチ絶縁層TSL、層間絶縁膜ILD、及びゲート
絶縁膜GIを貫通することを例示的に図示した。
【0225】
図27を参照して説明した表示装置DM10は、図8及び図9を参照して説明した表示
装置DMの効果と、図26及び図27を参照して説明した表示装置DM10の効果を全て
有する。
【0226】
図29は、図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パター
ンの形状を示した図面であり、図30は、図29のII-II’線に沿って切断した断面
図である。
【0227】
図29及び図30を参照して説明する本発明の他の実施形態に係る表示装置DM11は
図8及び図9を参照して説明した本発明の一実施形態に係る表示装置DMと比べて、ダ
ミーパッドDPDの点に相違があり、残りの構成は実質的に同一である。
【0228】
図29及び図30で、陰刻パターンGR-11は、図8及び図9を参照して説明した第
1乃至第3陰刻パターンGR1~GR3を含むことを例示的に図示した。但し、これに制
限されることではなく、図29及び図30の表示装置DM11で、陰刻パターンGR-1
1は、図13乃至図28に図示された陰刻パターンの中でいずれか1つに選択されること
ができる。
【0229】
表示装置DM11は、ダミーパッドDPD及びダミーバンプDMPをさらに含む。ダミ
ーパッドDPDは、出力パッドOPD及び入力パッドIPDと同一の構造を有する。ダミ
ーバンプDMPは、バンプBMPと同一の構造を有する。ダミーパッドDPDとダミーバ
ンプDMPとは、互いに接触される。ダミーパッドDPDは、表示装置DM11の動作に
必要な信号を受信したり送信したりしない。
【0230】
ダミーパッドDPDは、タッチ絶縁層TSLに提供された第9開口部OP9を通じてダ
ミーデータパッドパターンDDPに接触し、ダミーデータパッドパターンDDPは、層間
絶縁膜ILDに提供された第10開口部OP10を通じて、ダミーゲートパッドパターン
DGPに接触する。
【0231】
ダミーパッドDPD及びダミーバンプDMPは、駆動回路チップICと重なるように配
置される。平面図で見て、ダミーパッドDPDは、第2中間絶縁膜VLD2の配置領域と
出力パッドOPDとの間、及び、第2中間絶縁膜VLD2と入力パッドとの間の中の、少
なくとも1つに配置される。平面図で見て、ダミーパッドDPDは、テスト回路TCRと
出力パッドOPDとの間に配置される。図29で、ダミーパッドDPDは、第2中間絶縁
膜VLD2と出力パッドOPDとの間に配置された第1ダミーパッドDPD1、及び、第
2中間絶縁膜VLD2と入力パッドIPDとの間に配置された第2ダミーパッドDPD2
を含むことを例示的に図示した。ダミーパッドDPDの数は多様に設定されうる。
【0232】
駆動回路チップICを表示パネルに実装する際、出力パッドOPDと入力パッドIPD
に圧力が集中され、それによって、出力パッドOPDと入力パッドIPDに重なるように
配置された表示装置DMの素子に、ストレスが集中する。図29及び図30を参照して説
明した本発明の実施形態で、ダミーパッドDPDとダミーバンプDMPを、駆動回路チッ
プICと重なるように配置することで、出力パッドOPDと入力パッドIPDに集中する
圧力を分散させる。
【0233】
図31は、図1のAA領域の拡大平面図にて、本発明の他の実施形態に係る陰刻パター
ンの形状を示した図面であり、図32及び図33は、図31のII-II’線に沿って切
断した断面図である。
【0234】
図31乃至図33で、表示装置DM12、DM13の陰刻パターンGR-12は、図1
3及び図14を参照して説明した第1乃至第4陰刻パターンGR-121~GR-124
を含むことを例示的に図示した。但し、これに制限されることではなく、図31乃至図3
3の表示装置DM12、DM13で、陰刻パターンGR-12は、図8乃至図28に図示
された陰刻パターンの中のいずれか1つを選択することができる。
【0235】
図31及び図32を参照すれば、表示装置DM12で、第2中間絶縁膜VLD2に遮断
ホールCNT1、CNT2が提供される。遮断ホールCNT1、CNT2は、平面図で見
て、第1方向DR1に沿って延長される。遮断ホールCNT1、CNT2は、テスト回路
TCRと重ならないように配置される。遮断ホールCNT1、CNT2は、平面図で見て
テスト回路TCRを挟んで互いに対向する、第1遮断ホールCNT1及び第2遮断ホール
CNT2を含む。
【0236】
図31及び図33を参照すれば、表示装置DM13で、遮断ホールCNT1、CNT2
は、第2中間絶縁膜VLD2のみならず、層間絶縁膜ILDにも提供されうる。遮断ホー
ルCNT1、CNT2は、第2中間絶縁膜VLD2と層間絶縁膜ILDとを貫通する。
【0237】
以上では、本発明の望ましい実施形態を参照して説明したが、該当技術分野の熟練され
た当業者又は該当技術分野に通常の知識を有する者であれば、後述される特許請求の範囲
に記載された本発明の思想及び技術領域から逸脱しない範囲内で、本発明を多様に修正及
び変更させうることを理解することができるであろう。
【0238】
したがって、本発明の技術的範囲は、明細書の詳細な説明に記載された内容に限定され
ることではなく、特許請求の範囲によって定まれなければならない。
【0239】
以上に説明したように、本発明の好ましい実施形態によると、次のとおりとなっている
【0240】
タッチセンサーTSを表示パネルDPの最上部に組み込んだ表示装置、特にはフレキシブル
な表示装置であって、
表示パネルDPの周縁部にある入出力端子部では、
表示素子層DPLに含まれる、厚みの大きい中間絶縁膜VLDが省かれることにより、
厚みが比較的小さい、基板側の絶縁膜(特には、ゲートパターン層とデータパターン層の
間の層間絶縁膜ILD)と、タッチセンサーTSの層に含まれるタッチ絶縁層TSLとが直接に重
ね合わされ、
タッチ絶縁層TSLの上下に、入出力パッドIPD,OPD及び入出力パッドラインIPC,OPLが配
置されたものにおいて、
ベンディングの際のストレスなどに起因して、入出力端子部にて、隣り合う入出力パッ
ドIPD,OPDや入出力パッドラインIPC,OPL間に、ショートが生じるのを防止すべく、
A 出力パッドOPDの帯状の配列領域、及び、入力パッドIPDの帯状の配列領域のそれぞ
れについて、表示領域DA側と、その逆側とから挟み込むように、タッチ絶縁層TSLを省い
た領域としての陰刻パターンGRを、パッド配列領域と平行に、帯状に、または帯状の領域
内の複数のパターンとして設ける。
【0241】
これにより、タッチ絶縁層TSLと、基板側の絶縁膜(特には層間絶縁膜ILD)との間の剥
離が、パッド配列領域の近傍で発生した後に、パッド配列領域に伝播するのを防ぐ。
【0242】
B 好ましい実施形態において、出力パッドOPDの配列領域と、入力パッドIPDの配列領
域との間には、中間絶縁膜VLDが残された帯状または島状のパターン(「第2中間絶縁膜V
LD2」)が形成され、この中に、テスト回路TCRが形成される。
【0243】
そこで、中間絶縁膜VLDの残留パターン(「第2中間絶縁膜VLD2」)で発生した、タッ
チ絶縁層TSLと、基板側の絶縁膜(特には層間絶縁膜ILD)との間の剥離が、出力パッドOP
Dの配列領域や、入力パッドIPDの配列領域に伝播するのを防ぐべく、
B1 中間絶縁膜VLDの残留パターン(「第2中間絶縁膜VLD2」)のほぼ全体に、陰刻
パターンGRを設ける(図8~9、図17など)。
B2 中間絶縁膜VLDの残留パターン(「第2中間絶縁膜VLD2」)を、表示領域DA側と
、その逆側とから挟み込むように、陰刻パターンGRを設ける(図13図15~22など
)。
B3 または、中間絶縁膜VLDの残留パターン(「第2中間絶縁膜VLD2」)の上に、ド
ット上に陰刻パターンGRを配列する(図21)。
【0244】
C 上記Aに代えて、出力パッドOPDの配列領域の全体や、入力パッドIPDの配列領域の
全体をカバーするように、陰刻パターンGRを設けることもできる(図23)。
【0245】
D 好ましい一部の実施形態において、タッチ絶縁層TSLを帯状などに省いた領域にて
、またはこの領域の内部にて、基板側の絶縁膜(特には層間絶縁膜ILD)をも省く(図2
7~28、図31~33)。
【0246】
E 好ましい一部の実施形態において、入出力パッドラインIPC,OPL間ごとに配置され
るドット状のパターンにより、上記Aの陰刻パターンGRを形成する(図25~28)。
【符号の説明】
【0247】
150 導電ボール
151 接着物質
ACF 異方性導電フィルム
ACT アクティブ層
BMP バンプ
BR バリアー層
DA 表示領域
DE 出力電極
DM 表示装置
DP 表示パネル
GI ゲート絶縁膜
GE ゲート電極
GR 陰刻パターン
IC 駆動回路チップ
ILD 層間絶縁膜
IPD 入力パッド
NDA 非表示領域
OPD 出力パッド
SE 入力電極
SUB 表示パネルの基板
TCR テスト回路
TS タッチセンサー
TSL タッチ絶縁層
VLD 中間絶縁膜
図1
図2
図3
図4
図5
図6
図7
図8
図9
図10
図11
図12
図13
図14
図15
図16
図17
図18
図19
図20
図21
図22
図23
図24
図25
図26
図27
図28
図29
図30
図31
図32
図33
【手続補正書】
【提出日】2022-09-21
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
表示領域、及び、前記表示領域に隣接する非表示領域を含む基板と、
前記基板上に配置された絶縁層と、
前記絶縁層上に配置され、平面図で見て前記表示領域内に配置された表示素子を含む表示素子層と、
前記表示素子に電気的に連結され、平面図で見て前記非表示領域内に配置された出力パッドを含むパッドグループと、
前記絶縁層と前記表示素子層との間に配置され、前記表示領域及び前記非表示領域に重なる中間絶縁膜であって、前記パッドグループを露出させる開口部を画定する中間絶縁膜と、
前記表示素子層上に配置され、前記表示領域に重なるタッチ電極層と、
前記表示素子層上に配置されたタッチ絶縁層であって、前記タッチ電極層を覆い前記開口部に重なる第1陰刻パターンを画定するタッチ絶縁層と、を含み、
平面図で見て、前記第1陰刻パターンは、前記出力パッドと前記中間絶縁膜との間に配置される表示装置。
【請求項2】
前記絶縁層と前記中間絶縁膜との間に配置された層間絶縁膜をさらに含み、
前記第1陰刻パターンは、前記中間絶縁膜を露出させ、
前記層間絶縁膜は、前記第1陰刻パターンと重なる第2陰刻パターンを画定する請求項1に記載の表示装置。
【請求項3】
前記第2陰刻パターンは、前記層間絶縁膜を貫通する請求項2に記載の表示装置。
【請求項4】
前記第2陰刻パターンは、前記層間絶縁膜及び前記絶縁層を貫通する請求項2に記載の表示装置。
【請求項5】
前記第2陰刻パターンは、第1方向に互いに離隔された複数の第2陰刻パターンを含む請求項2に記載の表示装置。
【請求項6】
前記層間絶縁膜と前記タッチ絶縁層とは、いずれも、無機物質を含む請求項2に記載の表示装置。
【請求項7】
前記パッドグループは、平面図で見て前記非表示領域内に配置され前記出力パッドから離隔された入力パッドをさらに含み、
前記中間絶縁膜は、前記パッドグループを露出させる前記開口部が画定された第1中間絶縁膜、及び、前記第1中間絶縁膜から離隔され、平面図で見て前記入力パッドと前記出力パッドとの間に配置された第2中間絶縁膜を含む請求項に記載の表示装置。
【請求項8】
前記第1陰刻パターンは、
前記出力パッドと、前記表示領域に隣接する前記第1中間絶縁膜の開口部の一側面との間に配置された第1サブ陰刻パターンと、
前記第2中間絶縁膜を完全に露出させる第2サブ陰刻パターンと、
前記入力パッドと前記第1サブ陰刻パターンとの間に配された第3サブ陰刻パターンとをさらに含み、
前記第2サブ陰刻パターンは、前記第1サブ陰刻パターンと、前記第3サブ陰刻パターンとの間に配置された請求項に記載の表示装置。
【請求項9】
前記第2陰刻パターンは、前記第1乃至第3サブ陰刻パターンにそれぞれ重なる第4乃至第6サブ陰刻パターンを含む請求項8に記載の表示装置。
【請求項10】
前記パッドグループに電気的に連結され、前記開口部に重なる駆動回路チップさらに含む請求項1に記載の表示装置。
【請求項11】
表示領域、及び、前記表示領域の外側に配置された非表示領域を含む基板と、
前記基板上に配置された絶縁層と、
前記絶縁層上に配置され、平面図で見て前記表示領域内に配置された表示素子を含む表示素子層と、
前記絶縁層に電気的に連結され、平面図で見て前記非表示領域内に配置された出力パッドを含むパッドグループと、
前記パッドグループに電気的に接続された駆動回路チップと、
前記表示素子層上に配置されたタッチ電極層と、
前記表示素子層上に配置され、平面図で見て前記非表示領域内に第1陰刻パターンが画定されたタッチ絶縁層と、を含み、
前記タッチ絶縁層中に、前記出力パッドの少なくとも一つに重なる開口部が画定された表示装置。
【請求項12】
前記絶縁層は、前記第1陰刻パターンに重なる第2陰刻パターンを画定する請求項11に記載の表示装置。
【請求項13】
前記第2陰刻パターンが前記絶縁層を貫通する請求項12に記載の表示装置。
【請求項14】
前記絶縁層は、複数の絶縁膜を含む請求項13に記載の表示装置。
【請求項15】
前記第2陰刻パターンは、第1方向に互いに離隔された複数の第2陰刻パターンを含む請求項12に記載の表示装置。