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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022178212
(43)【公開日】2022-12-02
(54)【発明の名称】微小物体の検査方法
(51)【国際特許分類】
G01N 21/84 20060101AFI20221125BHJP
【ＦＩ】
G01N21/84 C
【審査請求】未請求
【請求項の数】17
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021084833
(22)【出願日】2021-05-19
(71)【出願人】
【識別番号】000232243
【氏名又は名称】日本電気硝子株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002217
【氏名又は名称】弁理士法人矢野内外国特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】宇野 哲広
(72)【発明者】
【氏名】田中 宏和
【テーマコード（参考）】
2G051
【Ｆターム（参考）】
2G051AA61
2G051AB02
2G051DA01
2G051DA09
(57)【要約】
【課題】微小物体の画像データを取得し、取得した画像データに基づき当該微小物体の外観検査を行う微小物体の検査方法であって、高精度に微小物体の外観検査を行うことが可能な、微小物体の検査方法を提供する。
【解決手段】回転テーブル３１に微小物体１００を投入する投入工程Ｓ２０と、投入された微小物体１００を回転テーブル３１によって所定のセクション（投入セクションＳａ１、ズレ検知セクションＳａ２、正面撮像セクションＳａ３、上面撮像セクションＳａ４、背面撮像セクションＳａ５、搬出セクションＳａ６）に搬送する搬送工程Ｓ３０と、回転テーブル３１から微小物体１００を搬出する搬出工程Ｓ４０とを備え、投入工程Ｓ２０、搬送工程Ｓ３０、及び搬出工程Ｓ４０において、微小物体１００の外観検査を行う。
【選択図】図１
【解決手段】回転テーブル３１に微小物体１００を投入する投入工程Ｓ２０と、投入された微小物体１００を回転テーブル３１によって所定のセクション（投入セクションＳａ１、ズレ検知セクションＳａ２、正面撮像セクションＳａ３、上面撮像セクションＳａ４、背面撮像セクションＳａ５、搬出セクションＳａ６）に搬送する搬送工程Ｓ３０と、回転テーブル３１から微小物体１００を搬出する搬出工程Ｓ４０とを備え、投入工程Ｓ２０、搬送工程Ｓ３０、及び搬出工程Ｓ４０において、微小物体１００の外観検査を行う。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
微小物体の画像データを取得し、取得した画像データに基づき当該微小物体の外観検査を行う微小物体の検査方法であって、
回転テーブルに微小物体を投入する投入工程と、
投入された前記微小物体を前記回転テーブルによって所定のセクションに搬送する搬送工程と、
前記回転テーブルから前記微小物体を搬出する搬出工程とを備え、
前記投入工程、前記搬送工程、及び前記搬出工程において、前記微小物体の外観検査を行う、
ことを特徴とする微小物体の検査方法。
回転テーブルに微小物体を投入する投入工程と、
投入された前記微小物体を前記回転テーブルによって所定のセクションに搬送する搬送工程と、
前記回転テーブルから前記微小物体を搬出する搬出工程とを備え、
前記投入工程、前記搬送工程、及び前記搬出工程において、前記微小物体の外観検査を行う、
ことを特徴とする微小物体の検査方法。
【請求項2】
前記搬出工程においては、
前記微小物体の下面に対して外観検査を行う、
ことを特徴とする、請求項１に記載の微小物体の検査方法。
前記微小物体の下面に対して外観検査を行う、
ことを特徴とする、請求項１に記載の微小物体の検査方法。
【請求項3】
前記投入工程及び前記搬出工程においては、
吸着ノズルによって前記微小物体の上面を吸着して保持し、
前記吸着ノズルによって前記微小物体を所定方向に移動させる、
ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の微小物体の検査方法。
吸着ノズルによって前記微小物体の上面を吸着して保持し、
前記吸着ノズルによって前記微小物体を所定方向に移動させる、
ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の微小物体の検査方法。
【請求項4】
前記吸着ノズルは、複数の吸着孔を有する、
ことを特徴とする、請求項３に記載の微小物体の検査方法。
ことを特徴とする、請求項３に記載の微小物体の検査方法。
【請求項5】
前記投入工程においては、
前記微小物体の第１側面、及び当該第１側面と対向する第２側面に対して外観検査を行い、
垂直方向の第１軸心を中心にして前記吸着ノズルを回転させて、前記微小物体の向きを変えることにより、
前記微小物体の一方側から、前記第１側面及び前記第２側面の画像データを各々取得する、
ことを特徴とする、請求項３または請求項４に記載の微小物体の検査方法。
前記微小物体の第１側面、及び当該第１側面と対向する第２側面に対して外観検査を行い、
垂直方向の第１軸心を中心にして前記吸着ノズルを回転させて、前記微小物体の向きを変えることにより、
前記微小物体の一方側から、前記第１側面及び前記第２側面の画像データを各々取得する、
ことを特徴とする、請求項３または請求項４に記載の微小物体の検査方法。
【請求項6】
前記投入工程における前記微小物体の移動途中に、前記吸着ノズルに対する前記微小物体の、所定の吸着位置からのズレ量を検知する、
ことを特徴とする、請求項５に記載の微小物体の検査方法。
ことを特徴とする、請求項５に記載の微小物体の検査方法。
【請求項7】
前記投入工程において前記微小物体の外観検査を行う際、
検知した前記ズレ量に基づき、前記第１軸心を中心にして、前記吸着ノズルの回転量を調整することにより、前記微小物体のずれた吸着位置を補正する、
ことを特徴とする、請求項６に記載の微小物体の検査方法。
検知した前記ズレ量に基づき、前記第１軸心を中心にして、前記吸着ノズルの回転量を調整することにより、前記微小物体のずれた吸着位置を補正する、
ことを特徴とする、請求項６に記載の微小物体の検査方法。
【請求項8】
前記搬送工程において、
前記微小物体は、
前記回転テーブルに設けられる吸着ステージに載置され、当該吸着ステージによって下面を吸着された状態で保持される、
ことを特徴とする、請求項１～請求項７の何れか一項に記載の微小物体の検査方法。
前記微小物体は、
前記回転テーブルに設けられる吸着ステージに載置され、当該吸着ステージによって下面を吸着された状態で保持される、
ことを特徴とする、請求項１～請求項７の何れか一項に記載の微小物体の検査方法。
【請求項9】
前記搬送工程において、前記微小物体の正面、及び当該正面と対向する背面に対して外観検査を行う、
ことを特徴とする、請求項８に記載の微小物体の検査方法。
ことを特徴とする、請求項８に記載の微小物体の検査方法。
【請求項10】
前記吸着ステージは、上方に突出した台座部を有し、
前記微小物体は、前記台座部に載置され、当該台座部を介して下面を吸着される、
ことを特徴とする、請求項８または請求項９に記載の微小物体の検査方法。
前記微小物体は、前記台座部に載置され、当該台座部を介して下面を吸着される、
ことを特徴とする、請求項８または請求項９に記載の微小物体の検査方法。
【請求項11】
前記台座部は、複数の吸着孔を有する、
ことを特徴とする、請求項１０に記載の微小物体の検査方法。
ことを特徴とする、請求項１０に記載の微小物体の検査方法。
【請求項12】
前記搬送工程における前記微小物体の搬送途中に、前記台座部に対する前記微小物体の、所定の吸着位置からのズレ量を検知する、
ことを特徴とする、請求項１０または請求項１１に記載の微小物体の検査方法。
ことを特徴とする、請求項１０または請求項１１に記載の微小物体の検査方法。
【請求項13】
前記搬送工程において前記微小物体の外観検査を行う際、
検知した前記ズレ量に基づき、前記所定のセクションにおいて前記台座部の中心を通過する垂直方向の第２軸心を中心にして、前記微小物体の正面の画像データを取得する第１撮像手段を回転させることにより、前記微小物体のずれた吸着位置を補正する、
ことを特徴とする、請求項１２に記載の微小物体の検査方法。
検知した前記ズレ量に基づき、前記所定のセクションにおいて前記台座部の中心を通過する垂直方向の第２軸心を中心にして、前記微小物体の正面の画像データを取得する第１撮像手段を回転させることにより、前記微小物体のずれた吸着位置を補正する、
ことを特徴とする、請求項１２に記載の微小物体の検査方法。
【請求項14】
前記搬送工程において前記微小物体の外観検査を行う際、
検知した前記ズレ量に基づき、前記所定のセクションにおいて前記台座部の中心を通過する垂直方向の第３軸心を中心にして、前記微小物体の背面の画像データを取得する第２撮像手段を回転させることにより、前記微小物体のずれた吸着位置を補正する、
ことを特徴とする、請求項１２または請求項１３に記載の微小物体の検査方法。
検知した前記ズレ量に基づき、前記所定のセクションにおいて前記台座部の中心を通過する垂直方向の第３軸心を中心にして、前記微小物体の背面の画像データを取得する第２撮像手段を回転させることにより、前記微小物体のずれた吸着位置を補正する、
ことを特徴とする、請求項１２または請求項１３に記載の微小物体の検査方法。
【請求項15】
前記微小物体は、前記台座部から一部が食み出るように載置される、
ことを特徴とする、請求項１０～請求項１４の何れか一項に記載の微小物体の検査方法。
ことを特徴とする、請求項１０～請求項１４の何れか一項に記載の微小物体の検査方法。
【請求項16】
前記搬送工程において、前記微小物体の上面に対して外観検査を行う、
ことを特徴とする、請求項１～請求項１５の何れか一項に記載の微小物体の検査方法。
ことを特徴とする、請求項１～請求項１５の何れか一項に記載の微小物体の検査方法。
【請求項17】
前記微小物体は、光学部品である、
ことを特徴とする、請求項１～請求項１６の何れか一項に記載の微小物体の検査方法。
ことを特徴とする、請求項１～請求項１６の何れか一項に記載の微小物体の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、微小物体の検査方法に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、例えばマイクロプリズムや角型レンズ等のような、光通信の分野に用いられる光学部品においては、小型化の要望が増々高くなり、外形サイズ上、１辺の寸法が最小のもので１ｍｍにも満たない微小のものが用いられるようになっている。
このような光学部品からなる微小物体の製造工程においては、製造された微小物体の外観検査を行う場合、当該微小物体の姿勢を保持することが困難であることから、従来から、微小物体の姿勢を安定して保持し、当該微小物体の高精度な外観検査を実現するための様々な検査装置が提示されている。
例えば、特許文献１においては、フィーダと、当該フィーダに対向配置された回転テーブルとを備え、前記フィーダの搬送経路には微小物体の姿勢を安定させる溝が形成され、前記回転テーブルにはＶ字状の複数のポケットが周縁部に等間隔で設けられ、前記ポケットはＶ字状の両谷面にて適宜吸気と排気が切替えられる構成となっており、前記フィーダの搬送方向下流側の端部にて、微小物体の上面及び一方側面を撮像するとともに、前記回転テーブルのポケットに保持された状態で、当該回転テーブルの回転中に微小物体の下面、他方側面、前面、及び後面を撮像することにより、取得した画像データに基づき微小物体の外観検査を行う検査装置が開示されている。
このような光学部品からなる微小物体の製造工程においては、製造された微小物体の外観検査を行う場合、当該微小物体の姿勢を保持することが困難であることから、従来から、微小物体の姿勢を安定して保持し、当該微小物体の高精度な外観検査を実現するための様々な検査装置が提示されている。
例えば、特許文献１においては、フィーダと、当該フィーダに対向配置された回転テーブルとを備え、前記フィーダの搬送経路には微小物体の姿勢を安定させる溝が形成され、前記回転テーブルにはＶ字状の複数のポケットが周縁部に等間隔で設けられ、前記ポケットはＶ字状の両谷面にて適宜吸気と排気が切替えられる構成となっており、前記フィーダの搬送方向下流側の端部にて、微小物体の上面及び一方側面を撮像するとともに、前記回転テーブルのポケットに保持された状態で、当該回転テーブルの回転中に微小物体の下面、他方側面、前面、及び後面を撮像することにより、取得した画像データに基づき微小物体の外観検査を行う検査装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００２－３２６０５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
前記特許文献１における検査装置によれば、微小物体の上面及び一方側面を撮像する際には、フィーダの溝に沿って微小物体の姿勢を安定して保持することができ、また微小物体の下面、他方側面、前面、及び後面を撮像する際には、回転テーブルにおけるポケットのＶ字状の両谷面に沿って微小物体の姿勢を安定して保持することができるため、より高精度な微小物体の外観検査を行うことが可能である。
しかしながら、上記の検査装置を用いた微小物体の検査方法では、一連の外観検査が終了した後においても、引き続き微小物体は、回転テーブルにおけるポケットのＶ字状の両谷面に表面（上面及び一方側面）を接触させた状態で搬送され、その後、所定の搬出部にて搬出されることから、当該外観検査の完了後に新たな傷や欠損等が微小物体に発生する可能性がある。
そのため、より確実に検査精度を向上させるための技術が切望されていた。
しかしながら、上記の検査装置を用いた微小物体の検査方法では、一連の外観検査が終了した後においても、引き続き微小物体は、回転テーブルにおけるポケットのＶ字状の両谷面に表面（上面及び一方側面）を接触させた状態で搬送され、その後、所定の搬出部にて搬出されることから、当該外観検査の完了後に新たな傷や欠損等が微小物体に発生する可能性がある。
そのため、より確実に検査精度を向上させるための技術が切望されていた。
【0005】
本発明は、以上に示した現状の問題点に鑑みてなされたものであり、微小物体の画像データを取得し、取得した画像データに基づき当該微小物体の外観検査を行う微小物体の検査方法であって、高精度に微小物体の外観検査を行うことが可能な、微小物体の検査方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【0007】
即ち、本発明に係る微小物体の検査方法は、微小物体の画像データを取得し、取得した画像データに基づき当該微小物体の外観検査を行う微小物体の検査方法であって、回転テーブルに微小物体を投入する投入工程と、投入された前記微小物体を前記回転テーブルによって所定のセクションに搬送する搬送工程と、前記回転テーブルから前記微小物体を搬出する搬出工程とを備え、前記投入工程、前記搬送工程、及び前記搬出工程において、前記微小物体の外観検査を行うことを特徴とする。
このような構成を有する微小物体の検査方法によれば、例えば、搬送工程の実施中、常に回転テーブルに接触していた微小物体の表面（例えば、載置された状態の微小物体であれば、その下面）については、検査方法の最終段階である搬出工程において、当該微小物体の外観検査が行なわれる。
従って、従来のように、一連の外観検査が終了した後においても、引き続き微小物体の側面が他の部材（例えば、回転テーブルにおけるポケットのＶ字状の両谷面）と接触することで、当該外観検査の完了後に新たな傷や欠損等が発生するような虞もなく、より高精度な微小物体の外観検査を行うことができる。
また、上記他の部材と接触していた、微小物体の一部の表面について、新たな検査工程を別途設けることなく、搬出工程を行う際に、合わせて上記の外観検査を行うことができるため、より高効率に微小物体の外観検査を行うことができる。
このような構成を有する微小物体の検査方法によれば、例えば、搬送工程の実施中、常に回転テーブルに接触していた微小物体の表面（例えば、載置された状態の微小物体であれば、その下面）については、検査方法の最終段階である搬出工程において、当該微小物体の外観検査が行なわれる。
従って、従来のように、一連の外観検査が終了した後においても、引き続き微小物体の側面が他の部材（例えば、回転テーブルにおけるポケットのＶ字状の両谷面）と接触することで、当該外観検査の完了後に新たな傷や欠損等が発生するような虞もなく、より高精度な微小物体の外観検査を行うことができる。
また、上記他の部材と接触していた、微小物体の一部の表面について、新たな検査工程を別途設けることなく、搬出工程を行う際に、合わせて上記の外観検査を行うことができるため、より高効率に微小物体の外観検査を行うことができる。
【0008】
また、本発明に係る微小物体の検査方法において、前記搬出工程では、前記微小物体の下面に対して外観検査を行うことが好ましい。
このような構成を有することにより、例えば、前工程である搬送工程の実施中、常に下面を介して回転テーブルに載置させた状態で微小物体を保持するような場合でも、検査方法の最終段階である搬出工程において、当該回転テーブルに接触していた微小物体の下面に対して外観検査を行うことができ、より高精度な微小物体の外観検査を行うことができる。
このような構成を有することにより、例えば、前工程である搬送工程の実施中、常に下面を介して回転テーブルに載置させた状態で微小物体を保持するような場合でも、検査方法の最終段階である搬出工程において、当該回転テーブルに接触していた微小物体の下面に対して外観検査を行うことができ、より高精度な微小物体の外観検査を行うことができる。
【0009】
また、本発明に係る微小物体の検査方法において、前記投入工程及び前記搬出工程では、吸着ノズルによって前記微小物体の上面を吸着して保持し、前記吸着ノズルによって前記微小物体を所定方向に移動させることが好ましい。
このような構成を有することにより、微細な外形サイズからなる微小物体であっても、下面を開放させた状態で確実に保持することができ、投入工程によって回転テーブルの所定の位置に微小物体を容易に載置し、また搬出工程によって当該所定の位置に載置された微小物体を容易に取り出すことができる。
このような構成を有することにより、微細な外形サイズからなる微小物体であっても、下面を開放させた状態で確実に保持することができ、投入工程によって回転テーブルの所定の位置に微小物体を容易に載置し、また搬出工程によって当該所定の位置に載置された微小物体を容易に取り出すことができる。
【0010】
また、本発明に係る微小物体の検査方法において、前記吸着ノズルは、複数の吸着孔を有することが好ましい。
このような構成を有することにより、たとえ微細な外形サイズからなる微小物体であっても、不意に微小物体の角部が吸着孔に吸い込まれて、吸着状態が不安定になるようなこともなく、所定の吸着状態を保持しつつ、吸着ノズルによって確実に微小物体を保持することができる。
このような構成を有することにより、たとえ微細な外形サイズからなる微小物体であっても、不意に微小物体の角部が吸着孔に吸い込まれて、吸着状態が不安定になるようなこともなく、所定の吸着状態を保持しつつ、吸着ノズルによって確実に微小物体を保持することができる。
【0011】
また、本発明に係る微小物体の検査方法において、前記投入工程では、前記微小物体の第１側面、及び当該第１側面と対向する第２側面に対して外観検査を行い、垂直方向の第１軸心を中心にして前記吸着ノズルを回転させて、前記微小物体の向きを変えることにより、前記微小物体の一方側から、前記第１側面及び前記第２側面の画像データを各々取得することが好ましい。
微小物体の外観検査において、微小物体の画像データは、バックライト等によって微小物体を他方側から照らしつつ、撮像手段によって当該微小物体を一方側から撮像することにより取得する場合がある。
本発明に係る微小物体の検査方法によれば、このような手法によって微小物体の画像データを取得する場合であっても、投入工程において、微小物体の２箇所の側面（第１側面及び第２側面）に対して、画像データを順次取得することができるため、より高効率に微小物体の外観検査を行うことができる。
微小物体の外観検査において、微小物体の画像データは、バックライト等によって微小物体を他方側から照らしつつ、撮像手段によって当該微小物体を一方側から撮像することにより取得する場合がある。
本発明に係る微小物体の検査方法によれば、このような手法によって微小物体の画像データを取得する場合であっても、投入工程において、微小物体の２箇所の側面（第１側面及び第２側面）に対して、画像データを順次取得することができるため、より高効率に微小物体の外観検査を行うことができる。
【0012】
また、本発明に係る微小物体の検査方法においては、前記投入工程における前記微小物体の移動途中に、前記吸着ノズルに対する前記微小物体の、所定の吸着位置からのズレ量を検知することが好ましい。
このような構成を有することにより、投入工程において、事前に検知したズレ量に基づき微小物体の吸着位置を補正することができ、当該投入工程における微小物体の外観検査を高精度に行うことができる。
このような構成を有することにより、投入工程において、事前に検知したズレ量に基づき微小物体の吸着位置を補正することができ、当該投入工程における微小物体の外観検査を高精度に行うことができる。
【0013】
また、本発明に係る微小物体の検査方法においては、前記投入工程において前記微小物体の外観検査を行う際、検知した前記ズレ量に基づき、前記第１軸心を中心にして、前記吸着ノズルの回転量を調整することにより、前記微小物体のずれた吸着位置を補正することが好ましい。
このような構成を有することにより、他に別途、吸着ノズルに対する微小物体の吸着位置を補正するための装置を、新たに設ける必要もなく、事前に検知したズレ量に基づき、微小物体の吸着位置に合わせて吸着ノズルの向き調整し、上記撮像手段に対して相対的に微小物体の吸着位置を補正することができる。
そのため、撮像対象となる微小物体の側面（具体的には、微小物体の第１側面及び第２側面）を、当該撮像手段によって真正面から捉えることができ、投入工程における微小物体の外観検査を、高精度且つ経済的に行うことができる。
このような構成を有することにより、他に別途、吸着ノズルに対する微小物体の吸着位置を補正するための装置を、新たに設ける必要もなく、事前に検知したズレ量に基づき、微小物体の吸着位置に合わせて吸着ノズルの向き調整し、上記撮像手段に対して相対的に微小物体の吸着位置を補正することができる。
そのため、撮像対象となる微小物体の側面（具体的には、微小物体の第１側面及び第２側面）を、当該撮像手段によって真正面から捉えることができ、投入工程における微小物体の外観検査を、高精度且つ経済的に行うことができる。
【0014】
また、本発明に係る微小物体の検査方法において、前記搬送工程では、前記微小物体が、前記回転テーブルに設けられる吸着ステージに載置され、当該吸着ステージによって下面を吸着された状態で保持されることが好ましい。
このような構成を有することにより、たとえ微細な外形サイズからなる微小物体であっても、回転テーブルに設けられる吸着ステージに載置された状態で、確実に保持することができるため、当該回転テーブルによる搬送途中に、不意に微小物体が脱落等して、傷や欠損等が発生するのを防止することができる。
このような構成を有することにより、たとえ微細な外形サイズからなる微小物体であっても、回転テーブルに設けられる吸着ステージに載置された状態で、確実に保持することができるため、当該回転テーブルによる搬送途中に、不意に微小物体が脱落等して、傷や欠損等が発生するのを防止することができる。
【0015】
また、本発明に係る微小物体の検査方法では、前記搬送工程において、前記微小物体の正面、及び当該正面と対向する背面に対して外観検査を行うことが好ましい。
搬送工程において、微小物体は、下面を介して回転テーブルに載置された状態で保持されており、当該下面を除く他の表面は、外部に開放された状態となっている。
従って、本発明に係る微小物体の検査方法によれば、他に何ら障害物を有することなく、微小物体の正面及び背面に対して、容易に外観検査を行うことができる。
搬送工程において、微小物体は、下面を介して回転テーブルに載置された状態で保持されており、当該下面を除く他の表面は、外部に開放された状態となっている。
従って、本発明に係る微小物体の検査方法によれば、他に何ら障害物を有することなく、微小物体の正面及び背面に対して、容易に外観検査を行うことができる。
【0016】
また、本発明に係る微小物体の検査方法において、前記吸着ステージは、上方に突出した台座部を有し、前記微小物体は、前記台座部に載置され、当該台座部を介して下面を吸着されることが好ましい。
このような構成を有することにより、例えば、バックライト等によって微小物体を他方側から照らしつつ、撮像手段によって当該微小物体を一方側から撮像することにより、微小物体の画像データを取得する場合であっても、バックライトによる吸着ステージの影が、当該画像データに映り込むのを抑制することができ、微小物体の外観検査をより高精度に行うことができる。
このような構成を有することにより、例えば、バックライト等によって微小物体を他方側から照らしつつ、撮像手段によって当該微小物体を一方側から撮像することにより、微小物体の画像データを取得する場合であっても、バックライトによる吸着ステージの影が、当該画像データに映り込むのを抑制することができ、微小物体の外観検査をより高精度に行うことができる。
【0017】
また、本発明に係る微小物体の検査方法において、前記台座部は、複数の吸着孔を有することが好ましい。
このような構成を有することにより、たとえ微細な外形サイズからなる微小物体であっても、不意に微小物体の角部が吸着孔に吸い込まれて、吸着状態が不安定になるようなこともなく、所定の吸着状態を保持しつつ、台座部によって確実に微小物体を保持することができる。
このような構成を有することにより、たとえ微細な外形サイズからなる微小物体であっても、不意に微小物体の角部が吸着孔に吸い込まれて、吸着状態が不安定になるようなこともなく、所定の吸着状態を保持しつつ、台座部によって確実に微小物体を保持することができる。
【0018】
また、本発明に係る微小物体の検査方法においては、前記搬送工程における前記微小物体の搬送途中に、前記台座部に対する前記微小物体の、所定の吸着位置からのズレ量を検知することが好ましい。
このような構成を有することにより、搬送工程において、事前に検知したズレ量に基づき微小物体の吸着位置を補正することができ、当該搬送工程における微小物体の外観検査を高精度に行うことができる。
このような構成を有することにより、搬送工程において、事前に検知したズレ量に基づき微小物体の吸着位置を補正することができ、当該搬送工程における微小物体の外観検査を高精度に行うことができる。
【0019】
また、本発明に係る微小物体の検査方法においては、前記搬送工程において前記微小物体の外観検査を行う際、検知した前記ズレ量に基づき、前記所定のセクションにおいて前記台座部の中心を通過する垂直方向の第２軸心を中心にして、前記微小物体の正面の画像データを取得する第１撮像手段を回転させることにより、前記微小物体のずれた吸着位置を補正することが好ましい。
このような構成を有することにより、事前に検知したズレ量に基づき、微小物体の吸着位置に合わせて第１撮像手段の撮像位置を調整し、第１撮像手段に対して相対的に微小物体の吸着位置を補正することで、撮像対象となる微小物体の正面を、当該第１撮像手段によって真正面から捉えることができ、搬送工程における微小物体の外観検査を、高精度に行うことができる。
また、上記第２軸心は、前記所定のセクションにおいて前記台座部の中心を通過する垂直方向の軸心であることから、第２軸心を中心にして第１撮像手段を回転させて、当該第１撮像手段に対して相対的に微小物体の吸着位置を補正する場合、台座部と第１撮像手段との間の距離は、常に同等に保持される。
そのため、上記補正を行う度に、第１撮像手段のピント（焦点距離）合わせをその都度行う必要もなく、搬送工程における微小物体の外観検査を、容易に行うことができる。
このような構成を有することにより、事前に検知したズレ量に基づき、微小物体の吸着位置に合わせて第１撮像手段の撮像位置を調整し、第１撮像手段に対して相対的に微小物体の吸着位置を補正することで、撮像対象となる微小物体の正面を、当該第１撮像手段によって真正面から捉えることができ、搬送工程における微小物体の外観検査を、高精度に行うことができる。
また、上記第２軸心は、前記所定のセクションにおいて前記台座部の中心を通過する垂直方向の軸心であることから、第２軸心を中心にして第１撮像手段を回転させて、当該第１撮像手段に対して相対的に微小物体の吸着位置を補正する場合、台座部と第１撮像手段との間の距離は、常に同等に保持される。
そのため、上記補正を行う度に、第１撮像手段のピント（焦点距離）合わせをその都度行う必要もなく、搬送工程における微小物体の外観検査を、容易に行うことができる。
【0020】
また、本発明に係る微小物体の検査方法においては、前記搬送工程において前記微小物体の外観検査を行う際、検知した前記ズレ量に基づき、前記所定のセクションにおいて前記台座部の中心を通過する垂直方向の第３軸心を中心にして、前記微小物体の背面の画像データを取得する第２撮像手段を回転させることにより、前記微小物体のずれた吸着位置を補正することが好ましい。
このような構成を有することにより、事前に検知したズレ量に基づき、微小物体の吸着位置に合わせて第２撮像手段の撮像位置を調整し、第２撮像手段に対して相対的に微小物体の吸着位置を補正することで、撮像対象となる微小物体の背面を、当該第２撮像手段によって真正面から捉えることができ、搬送工程における微小物体の外観検査を、高精度に行うことができる。
また、上記第３軸心は、前記所定のセクションにおいて前記台座部の中心を通過する垂直方向の軸心であることから、第３軸心を中心にして第２撮像手段を回転させて、当該第２撮像手段に対して相対的に微小物体の吸着位置を補正する場合、台座部と第２撮像手段との間の距離は、常に同等に保持される。
そのため、上記補正を行う度に、第２撮像手段のピント（焦点距離）合わせをその都度行う必要もなく、搬送工程における微小物体の外観検査を、容易に行うことができる。
このような構成を有することにより、事前に検知したズレ量に基づき、微小物体の吸着位置に合わせて第２撮像手段の撮像位置を調整し、第２撮像手段に対して相対的に微小物体の吸着位置を補正することで、撮像対象となる微小物体の背面を、当該第２撮像手段によって真正面から捉えることができ、搬送工程における微小物体の外観検査を、高精度に行うことができる。
また、上記第３軸心は、前記所定のセクションにおいて前記台座部の中心を通過する垂直方向の軸心であることから、第３軸心を中心にして第２撮像手段を回転させて、当該第２撮像手段に対して相対的に微小物体の吸着位置を補正する場合、台座部と第２撮像手段との間の距離は、常に同等に保持される。
そのため、上記補正を行う度に、第２撮像手段のピント（焦点距離）合わせをその都度行う必要もなく、搬送工程における微小物体の外観検査を、容易に行うことができる。
【0021】
また、本発明に係る微小物体の検査方法において、前記微小物体は、前記台座部から一部が食み出るように載置されることが好ましい。
例えば台座部が、平面視矩形状に設けられており、一方の角部を前記第１撮像手段に指向させ、且つ他方の角部を前記第２撮像手段に指向させた状態で配置されている場合には、当該台座部に載置される微小物体は、第１撮像手段と対向する正面において、幅方向（上下方向との直交方向）の両側部の下端を、台座部と非接触の状態で載置させ、また第２撮像手段と対向する背面において、幅方向（上下方向との直交方向）の両側部の下端を、台座部と非接触の状態で載置させることができる。
従って、たとえ第１撮像手段や第２撮像手段によって撮像された画像データにおいて、微小物体とともに台座部が写り込んでいたとしても、台座部に対して、微小物体の正面及び背面の輪郭をより鮮明に映し出すことができるため、搬送工程における微小物体の外観検査を、より高精度に行うことができる。
例えば台座部が、平面視矩形状に設けられており、一方の角部を前記第１撮像手段に指向させ、且つ他方の角部を前記第２撮像手段に指向させた状態で配置されている場合には、当該台座部に載置される微小物体は、第１撮像手段と対向する正面において、幅方向（上下方向との直交方向）の両側部の下端を、台座部と非接触の状態で載置させ、また第２撮像手段と対向する背面において、幅方向（上下方向との直交方向）の両側部の下端を、台座部と非接触の状態で載置させることができる。
従って、たとえ第１撮像手段や第２撮像手段によって撮像された画像データにおいて、微小物体とともに台座部が写り込んでいたとしても、台座部に対して、微小物体の正面及び背面の輪郭をより鮮明に映し出すことができるため、搬送工程における微小物体の外観検査を、より高精度に行うことができる。
【0022】
また、本発明に係る微小物体の検査方法においては、前記搬送工程において、前記微小物体の上面に対して外観検査を行うことが好ましい。
搬送工程において、微小物体は、下面を介して回転テーブルに載置された状態で保持されており、当該下面を除く他の表面は、外部に開放された状態となっていることから、本発明に係る微小物体の検査方法によれば、他に何ら障害物を有することなく、微小物体の上面に対して、容易に外観検査を行うことができる。
搬送工程において、微小物体は、下面を介して回転テーブルに載置された状態で保持されており、当該下面を除く他の表面は、外部に開放された状態となっていることから、本発明に係る微小物体の検査方法によれば、他に何ら障害物を有することなく、微小物体の上面に対して、容易に外観検査を行うことができる。
【0023】
また、本発明に係る微小物体の検査方法において、前記微小物体は、光学部品であることが好ましい。
本発明に係る微小物体の検査方法によれば、このような、微細な外形サイズからなる微小物体に対して、より高精度且つ高効率に微小物体の外観検査を行うことができる。
本発明に係る微小物体の検査方法によれば、このような、微細な外形サイズからなる微小物体に対して、より高精度且つ高効率に微小物体の外観検査を行うことができる。
【発明の効果】
【0024】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
即ち、本発明に係る微小物体の検査方法によれば、より高精度に微小物体の外観検査を行うことができる。
即ち、本発明に係る微小物体の検査方法によれば、より高精度に微小物体の外観検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【0025】
【図1】本発明に係る微小物体の検査方法を具現化した検査工程の手順を経時的に示した工程図である。
【図3】検査装置における搬送部の具体的な構成を示した平面図である。
【図4】搬送部において、回転テーブルの吸着ステージ上に載置されたワークと撮像手段との配置関係を示した図であって、（ａ）は正面画像取得部における拡大平面図であり、（ｂ）は背面画像取得部における拡大平面図である。
【図5】微小物体を吸着する部位の構成を示した図であって、（ａ）は吸着ノズルのノズル先端部の構成を示した拡大斜視図であり、（ｂ）は吸着ステージの吸着面の構成を示した拡大斜視図である。
【図6】微小物体の一例である微小光学部品の全体的な構成を示した斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0026】
次に、本発明の実施形態について、図１乃至図６を用いて説明する。
なお、以下の説明に関しては便宜上、図２乃至図４中に示した矢印の方向によって、検査装置１の前後方向、左右方向、及び上下方向を規定して記述する。
また、図６中に示した矢印の方向によって、微小物体１００の正面方向、背面方向、右側面方向、左側面方向、上面方向、及び下面方向を規定して説明する。
なお、以下の説明に関しては便宜上、図２乃至図４中に示した矢印の方向によって、検査装置１の前後方向、左右方向、及び上下方向を規定して記述する。
また、図６中に示した矢印の方向によって、微小物体１００の正面方向、背面方向、右側面方向、左側面方向、上面方向、及び下面方向を規定して説明する。
【0027】
【0028】
本実施形態における微小物体１００の検査方法は、微小物体１００の製造工程において、製造された微小物体１００の表面に対して、傷の有無や成膜された膜の剥離等の有無、或いは外形寸法の誤差等についての外観検査を行うための検査方法である。
この方法は、後述する図２に示す検査装置１によって実施される。
この方法は、後述する図２に示す検査装置１によって実施される。
【0029】
ここで、図６に示すように、外観検査の対象となる微小物体１００は、例えば、光通信の分野に用いられる直方体形状の光学部品であって、外形サイズ上、１辺の寸法が最小のもので１ｍｍにも満たない微小のものである。
そして、微小物体１００の外観検査は、当該微小物体１００における各表面についての画像データを各々取得し、取得したこれらの画像データに基づき行われる。
そして、微小物体１００の外観検査は、当該微小物体１００における各表面についての画像データを各々取得し、取得したこれらの画像データに基づき行われる。
【0030】
図１に示すように、検査工程Ｓ０１は、主に、取出し工程Ｓ１０、投入工程Ｓ２０、搬送工程Ｓ３０、及び搬出工程Ｓ４０等を備え、検査装置１によって経時的に順に実施される。
【0031】
取出し工程Ｓ１０は、複数の微小物体１００・１００・・・を所定の配列にて載置したトレイ１１０（図２を参照）を、図示せぬ保管装置から取り出し、当該トレイ１１０を一時的な仮置き台に配置する工程である。
ここで、上記仮置き台は、例えば本実施形態においては、回転テーブルによって構成されており、保管装置から取り出されたトレイ１１０は、仮置き台の上面における所定の投入位置に配置された後、当該仮置き台が回転することによって、所定の搬出位置まで移動される。
ここで、上記仮置き台は、例えば本実施形態においては、回転テーブルによって構成されており、保管装置から取り出されたトレイ１１０は、仮置き台の上面における所定の投入位置に配置された後、当該仮置き台が回転することによって、所定の搬出位置まで移動される。
【0032】
そして、上記搬出位置にトレイ１１０が到達すると、仮置き台は一旦停止し、投入工程Ｓ２０が実施される。
【0033】
投入工程Ｓ２０は、上記搬出位置に到達したトレイ１１０から微小物体１００を順に取出し、後述する搬送部３０に設けられた回転テーブル３１（図２を参照）に、当該微小物体１００を投入する工程である。
投入工程Ｓ２０は、経時的に順に行われる第１ズレ検知工程Ｓ２１、第１画像取得工程Ｓ２２、及び第２画像取得工程Ｓ２３を有する。
投入工程Ｓ２０は、経時的に順に行われる第１ズレ検知工程Ｓ２１、第１画像取得工程Ｓ２２、及び第２画像取得工程Ｓ２３を有する。
【0034】
そして、詳細は後述するが、第１ズレ検知工程Ｓ２１によって、第１吸着ノズル２１ｃ（図５（ａ）を参照）に吸着された微小物体１００のズレ量を検知した後、当該ズレ量に基づき微小物体１００の吸着位置を補正しつつ、第１画像取得工程Ｓ２２によって、微小物体１００の第１側面（例えば、本実施形態においては右側面１０１。図６を参照）を撮像し、その後、第２画像取得工程Ｓ２３によって、当該第１側面と対向する微小物体１００の第２側面（例えば、本実施形態においては左側面１０２。図６を参照）を撮像する。
【0035】
こうして、第１画像取得工程Ｓ２２及び第２画像取得工程Ｓ２３によって取得したこれらの画像データに基づき、微小物体１００の右側面１０１及び左側面１０２における外観検査が各々行われる。
このように、投入工程Ｓ２０においては、微小物体１００の右側面１０１及び左側面１０２に対する外観検査が行われる。
このように、投入工程Ｓ２０においては、微小物体１００の右側面１０１及び左側面１０２に対する外観検査が行われる。
【0036】
搬送工程Ｓ３０は、投入された微小物体１００を、回転テーブル３１によって所定のセクションに搬送する工程である。
搬送工程Ｓ３０は、経時的に順に行われる第２ズレ検知工程Ｓ３１、第３画像取得工程Ｓ３２、第４画像取得工程Ｓ３３、及び第５画像取得工程Ｓ３４を有し、これらの工程Ｓ３１～Ｓ３４は、回転テーブル３１が回転することによって微小物体１００が到達するセクションごとに各々実施される。
搬送工程Ｓ３０は、経時的に順に行われる第２ズレ検知工程Ｓ３１、第３画像取得工程Ｓ３２、第４画像取得工程Ｓ３３、及び第５画像取得工程Ｓ３４を有し、これらの工程Ｓ３１～Ｓ３４は、回転テーブル３１が回転することによって微小物体１００が到達するセクションごとに各々実施される。
【0037】
そして、詳細は後述するが、第２ズレ検知工程Ｓ３１によって、台座部３１ｃ（図５（ｂ）を参照）に吸着された微小物体１００のズレ量を検知した後、当該ズレ量に基づき微小物体１００の吸着位置を補正しつつ、第３画像取得工程Ｓ３２によって、微小物体１００の正面１０３（図６を参照）を撮像した後、第４画像取得工程Ｓ３３によって、微小物体１００の上面１０４（図６を参照）を撮像し、その後、再び上記ズレ量に基づき微小物体１００の吸着位置を補正しつつ、第５画像取得工程Ｓ３４によって、微小物体１００の背面１０５（図６を参照）を撮像する。
【0038】
こうして、第３画像取得工程Ｓ３２、第４画像取得工程Ｓ３３、及び第５画像取得工程Ｓ３４によって取得したこれらの画像データに基づき、微小物体１００の正面１０３、上面１０４、及び背面１０５における外観検査が、各々行われる。
このように、搬送工程Ｓ３０においては、微小物体１００の正面１０３、上面１０４、及び背面１０５に対する外観検査が行われる。
このように、搬送工程Ｓ３０においては、微小物体１００の正面１０３、上面１０４、及び背面１０５に対する外観検査が行われる。
【0039】
搬出工程Ｓ４０は、上記の第３画像取得工程Ｓ３２、第４画像取得工程Ｓ３３、及び第５画像取得工程Ｓ３４が終了した微小物体１００を、回転テーブル３１から順次取り出し、当該微小物体１００を、所定の新たな保管場所へと搬出する工程である。
搬出工程Ｓ４０は、第６画像取得工程Ｓ４１を有する。
搬出工程Ｓ４０は、第６画像取得工程Ｓ４１を有する。
【0040】
そして、詳細は後述するが、第６画像取得工程Ｓ４１によって、微小物体１００の下面１０６（図６を参照）を撮像し、これにより取得した画像データに基づき、微小物体１００の下面１０６における外観検査が行われる。
このように、搬出工程Ｓ４０においては、微小物体１００の下面１０６に対する外観検査が行われる。
このように、搬出工程Ｓ４０においては、微小物体１００の下面１０６に対する外観検査が行われる。
【0041】
このように、本実施形態における検査工程Ｓ０１は、投入工程Ｓ２０、搬送工程Ｓ３０、及び搬出工程Ｓ４０を備え、これらの投入工程Ｓ２０、搬送工程Ｓ３０、及び搬出工程Ｓ４０において、それぞれ微小物体１００の外観検査を行う構成となっている。
【0042】
従って、本実施形態における検査工程Ｓ０１によれば、例えば搬送工程Ｓ３０の実施中、常に回転テーブル３１に接触していた微小物体１００の表面（例えば、載置された状態の微小物体１００であれば、その下面１０６）については、検査工程Ｓ０１の最終段階である搬出工程Ｓ４０において、当該微小物体１００の外観検査を行うことができる。
【0043】
その結果、従来のように、一連の外観検査が終了した後においても、引き続き微小物体１００の側面が他の部材（例えば、前述した従来の回転テーブルにおけるポケットのＶ字状の両谷面）と接触することで、当該外観検査の完了後に新たな傷や欠損等が発生するような虞もなく、より高精度な微小物体の外観検査を行うことができる。
【0044】
また、搬出工程Ｓ４０を行う際に、合わせて上記の外観検査を行うことができるため、より高効率に微小物体の外観検査を行うことができる。
【0045】
［検査装置１の全体構成］
次に、前述した検査工程Ｓ０１を実施する、微小物体１００の検査装置１の全体構成について、図２及び図５（ａ）を用いて説明する。
図２に示すように、検査装置１は、主に、投入工程Ｓ２０を実施する投入部２０、搬送工程Ｓ３０を実施する搬送部３０、及び搬出工程Ｓ４０を実施する搬出部４０、並びに検査装置１全体の運転を制御する制御装置（図示せず）等を備える。
次に、前述した検査工程Ｓ０１を実施する、微小物体１００の検査装置１の全体構成について、図２及び図５（ａ）を用いて説明する。
図２に示すように、検査装置１は、主に、投入工程Ｓ２０を実施する投入部２０、搬送工程Ｓ３０を実施する搬送部３０、及び搬出工程Ｓ４０を実施する搬出部４０、並びに検査装置１全体の運転を制御する制御装置（図示せず）等を備える。
【0046】
ここで、検査装置１は、さらに、取出し工程Ｓ１０を実施する取出し部を備えるが、当該取出し部は、前述した仮置き台（図示せず）、及び移載装置等を備え、当該移載装置は、投入部２０が備える第１移載装置２１（または、搬出部４０が備える第２移載装置４１）と略同等の構成からなるため、以下の説明においては記載を省略する。
なお、上記取出し部は、仮置き台を設けることなく、第１移載装置２１によって、前述した保管装置（図示せず）に保管されるトレイ１１０から直接的に、微小物体１００を取り出す構成とすることにより、仮置き台を省略することが可能である。
なお、上記取出し部は、仮置き台を設けることなく、第１移載装置２１によって、前述した保管装置（図示せず）に保管されるトレイ１１０から直接的に、微小物体１００を取り出す構成とすることにより、仮置き台を省略することが可能である。
【0047】
投入部２０は、搬送部３０に向かって微小物体１００を所定方向に移動させるとともに、当該微小物体１００における右側面１０１及び左側面１０２（図６を参照）の外観検査を行う部位である。
投入部２０は、第１移載装置２１、第１ズレ検知部２２、及び側面画像取得部２３等を備える。
投入部２０は、第１移載装置２１、第１ズレ検知部２２、及び側面画像取得部２３等を備える。
【0048】
第１移載装置２１は、例えば、駆動源や制御系を内装し、前後方向、左右方向、及び上下方向に移動可能な本体部２１ａ、本体部２１ａより下方に延出して設けられるアーム部２１ｂ、及びアーム部２１ｂの下端に設けられる第１吸着ノズル２１ｃ等を備える。
また、第１移載装置２１は、アーム部２１ｂによって、垂直方向の第１軸心Ｇ１を中心にして、第１吸着ノズル２１ｃを回転可能な構成となっている。
また、第１移載装置２１は、アーム部２１ｂによって、垂直方向の第１軸心Ｇ１を中心にして、第１吸着ノズル２１ｃを回転可能な構成となっている。
【0049】
ここで、図５（ａ）に示すように、第１吸着ノズル２１ｃの下端面は、円形状の水平面からなる吸着面２１ｃ１として形成されており、当該吸着面２１ｃ１には、上下方向に貫通する複数（本実施形態においては５個所）の吸着孔２１ｃ２・２１ｃ２・・・が設けられている。
【0050】
具体的には、吸着面２１ｃ１は、微小物体１００の外形サイズに合わせて微小サイズに形成されており、例えば本実施形態においては、１．２～１．４ｍｍ程度の外径からなる円形状の水平面として形成されている。
また、各吸着孔２１ｃ２も同様に、微小サイズに形成されており、例えば本実施形態においては、約０．２５ｍｍ程度の内径からなる貫通孔として形成されている。
そして、複数の吸着孔２１ｃ２・２１ｃ２・・・・は、第１軸芯Ｇ１と同軸上の位置、及び当該第１軸芯Ｇ１を中心とする円周上の等配位置に、各々配置されている。
また、各吸着孔２１ｃ２も同様に、微小サイズに形成されており、例えば本実施形態においては、約０．２５ｍｍ程度の内径からなる貫通孔として形成されている。
そして、複数の吸着孔２１ｃ２・２１ｃ２・・・・は、第１軸芯Ｇ１と同軸上の位置、及び当該第１軸芯Ｇ１を中心とする円周上の等配位置に、各々配置されている。
【0051】
各吸着孔２１ｃ２は、配管部材や切替弁等を介して、図示せぬ真空ポンプ等と連通されており、当該切替弁を切替えることにより、吸引状態（吸着孔２１ｃ２を介して、対象物を吸引可能な状態）、及び開放状態（当該吸引状態を停止させた状態）に各々切替可能な構成となっている。
【0052】
このように、本実施形態においては、複数の吸着孔２１ｃ２・２１ｃ２・・・を有する微小サイズの第１吸着ノズル２１ｃが第１移載装置２１に備えられており、第１移載装置２１は、第１吸着ノズル２１ｃの吸着面２１ｃ１を、微小物体１００の上面１０４（図６を参照）に押し当て吸着することによって、当該微小物体１００を保持し、トレイ１１０（図２を参照）から、後述する回転テーブル３１の所定位置（吸着ステージ３１ｂの台座部３１ｃ）へと、微小物体１００を所定方向に移動させる構成となっている。
【0053】
従って、このような複数の微細な吸着孔２１ｃ２・２１ｃ２・・・を第１吸着ノズル２１ｃに設けることにより、たとえ微細な外形サイズからなる微小物体１００であっても、不意に微小物体１００の角部が吸着孔２１ｃ２に吸い込まれて、当該微小物体１００の吸着姿勢が不安定になるようなこともなく、所定の吸着姿勢を保持しつつ、第１吸着ノズル２１ｃによって確実に微小物体１００を保持することができる。
【0054】
図２に示すように、第１ズレ検知部２２は、微小物体１００の下面１０６（図６を参照）を撮像する第１ズレ検知用カメラ２２ａ等を備える。
第１ズレ検知用カメラ２２ａは、第１移載装置２１の下方であって、当該第１移載装置２１による微小物体１００の移動方向（図２中の矢印Ａの方向であって、本実施形態においては、前方に向かう方向）の中途部において、撮像方向を直上方向に向けた状態で配置される。
第１ズレ検知用カメラ２２ａは、第１移載装置２１の下方であって、当該第１移載装置２１による微小物体１００の移動方向（図２中の矢印Ａの方向であって、本実施形態においては、前方に向かう方向）の中途部において、撮像方向を直上方向に向けた状態で配置される。
【0055】
そして、第１移載装置２１によって移動される微小物体１００が、第１ズレ検知用カメラ２２ａの直上に位置する第１検知位置Ｐ１に到達すると、第１ズレ検知用カメラ２２ａは、焦点距離を調整してピントを合わせた後、到達した微小物体１００を下方から撮像し、画像データを取得する。
【0056】
第１ズレ検知用カメラ２２ａによって取得した画像データは、制御装置に送信される。
上記画像データを受信した制御装置は、予め格納されているプログラムに従い、直ちに演算処理を実行し、第１吸着ノズル２１ｃによって保持された微小物体１００の、当該第１吸着ノズル２１ｃに対する所定の吸着位置からのズレ量を算出する。
上記画像データを受信した制御装置は、予め格納されているプログラムに従い、直ちに演算処理を実行し、第１吸着ノズル２１ｃによって保持された微小物体１００の、当該第１吸着ノズル２１ｃに対する所定の吸着位置からのズレ量を算出する。
【0057】
具体的には、取得した微小物体１００の下面１０６の画像データに基づき、当該画像データの図心の位置を算出し、当該図心の位置と、予め記憶されている第１吸着ノズル２１ｃの吸着面２１ｃ１（図５（ａ）を参照）の図心の位置（本実施形態においては、第１軸心Ｇ１の位置）との比較演算を実行することにより、所定の吸着位置、即ち上記吸着面２１ｃ１との同軸上の位置に対する、微小物体１００の位置ズレ量を算出する。
また、取得した微小物体１００の下面１０６の画像データに基づき、当該画像データの四隅の位置を算出し、当該四隅の位置と、予め記憶されている所定の吸着位置での微小物体１００の四隅の位置との比較演算をすることにより、吸着面２１ｃ１に対する微小物体１００の向きのズレ量、即ち第１軸心Ｇ１を中心とする微小物体１００の傾き量を算出する。
また、取得した微小物体１００の下面１０６の画像データに基づき、当該画像データの四隅の位置を算出し、当該四隅の位置と、予め記憶されている所定の吸着位置での微小物体１００の四隅の位置との比較演算をすることにより、吸着面２１ｃ１に対する微小物体１００の向きのズレ量、即ち第１軸心Ｇ１を中心とする微小物体１００の傾き量を算出する。
【0058】
このように、本実施形態においては、第１移動装置２１による微小物体１００の移動途中に、第１吸着ノズル２１ｃに対する当該微小物体１００の、所定の吸着位置からのズレ量（位置ズレ量及び傾き量）を検知する構成となっている。
【0059】
従って、後述する側面画像取得部２３においては、第１ズレ検知部２２によって事前に検知した、微小物体１００のズレ量（位置ズレ量及び傾き量）に基づき、回転量を適宜調整することにより、微小物体１００のずれた吸着位置（ズレ量）を補正し、微小物体１００の画像データを取得することができるため、投入部２０によって実施される投入工程Ｓ２０においては、微小物体１００の外観検査を高精度に行うことができる。
【0060】
側面画像取得部２３は、微小物体１００の右側面１０１及び左側面１０２を撮像する側面検査用カメラ２３ａ、並びに撮像対象である微小物体１００を照らす第１バックライト２３ｂ及び第１リング照明２３ｃ等を備える。
【0061】
側面検査用カメラ２３ａは、第１移載装置２１による微小物体１００の移動方向（矢印Ａの方向）の中途部であって、第１ズレ検知用カメラ２２ａに対して当該移動方向の下流側、且つ当該移動方向に対する平面視直交方向の一方側（本実施形態においては、右側）において、撮像方向を当該平面視直交方向の他方側（本実施形態においては、左側）に向けた状態で配置される。
【0062】
一方、第１バックライト２３ｂは、上記平面視直交方向の他方側（左側）において、光の照射方向を上記平面視直交方向の一方側（右側）に向けた状態で、側面検査用カメラ２３ａと対向して配置される。
また、第１リング照明２３ｃは、上記平面視直交方向の一方側（右側）であって、側面検査用カメラ２３ａと第１バックライト２３ｂとの間において、光の照射方向を上記平面視直交方向の他方側（左側）に向けた状態で配置される。
また、第１リング照明２３ｃは、上記平面視直交方向の一方側（右側）であって、側面検査用カメラ２３ａと第１バックライト２３ｂとの間において、光の照射方向を上記平面視直交方向の他方側（左側）に向けた状態で配置される。
【0063】
そして、第１移載装置２１によって移動される微小物体１００が、側面検査用カメラ２３ａ及び第１リング照明２３ｃと、第１バックライト２３ｂとの間の第１撮像位置Ｑ１に到達すると、側面検査用カメラ２３ａは、到達した微小物体１００を一方側（右側）から撮像し、画像データを取得する。
【0064】
具体的には、第１撮像位置Ｑ１に微小物体１００が到達すると、第１移載装置２１は、側面検査用カメラ２３ａの撮像方向に対して、微小物体１００の右側面１０１（図６を参照）が直交する向きとなるように、上述した微小物体１００のズレ量に基づき、第１軸心Ｇ１を中心にして、回転量を調整しつつ第１吸着ノズル２１ｃを回転させて、微小物体１００の吸着位置を補正する。
そして、微小物体１００の吸着位置が補正された後、側面検査用カメラ２３ａは、焦点距離を調整してピントを合わせて微小物体１００を撮像し、当該微小物体１００における右側面１０１の画像データを取得する。
そして、微小物体１００の吸着位置が補正された後、側面検査用カメラ２３ａは、焦点距離を調整してピントを合わせて微小物体１００を撮像し、当該微小物体１００における右側面１０１の画像データを取得する。
【0065】
側面検査用カメラ２３ａによる微小物体１００の右側面１０１の撮像が終了すると、次に第１移載装置２１は、第１軸心Ｇ１を中心にして第１吸着ノズル２１ｃを回転させて、微小物体１００の向きを変える。
より具体的には、第１移載装置２１は、側面検査用カメラ２３ａの撮像方向に対して、微小物体１００の左側面１０２（図６を参照）が直交する向きとなるように、前述した微小物体１００のズレ量に基づき、第１軸心Ｇ１を中心にして、回転量を調整しつつ第１吸着ノズル２１ｃを回転させて、微小物体１００の吸着位置を補正する。
そして、微小物体１００の吸着位置が補正された後、側面検査用カメラ２３ａは、焦点距離を調整してピントを合わせて微小物体１００を撮像し、当該微小物体１００における左側面１０２の画像データを取得する。
より具体的には、第１移載装置２１は、側面検査用カメラ２３ａの撮像方向に対して、微小物体１００の左側面１０２（図６を参照）が直交する向きとなるように、前述した微小物体１００のズレ量に基づき、第１軸心Ｇ１を中心にして、回転量を調整しつつ第１吸着ノズル２１ｃを回転させて、微小物体１００の吸着位置を補正する。
そして、微小物体１００の吸着位置が補正された後、側面検査用カメラ２３ａは、焦点距離を調整してピントを合わせて微小物体１００を撮像し、当該微小物体１００における左側面１０２の画像データを取得する。
【0066】
こうして、側面検査用カメラ２３ａによって取得されたこれらの画像データは、制御装置に送信される。
上記画像データを受信した制御装置は、予め格納されているプログラムに従い、直ちに演算処理を実行し、これらの画像データに基づき、微小物体１００における右側面１０１及び左側面１０２の外観検査を行う。
上記画像データを受信した制御装置は、予め格納されているプログラムに従い、直ちに演算処理を実行し、これらの画像データに基づき、微小物体１００における右側面１０１及び左側面１０２の外観検査を行う。
【0067】
このように、本実施形態においては、投入部２０によって投入工程Ｓ２０を実施する際に、微小物体１００の右側面１０１及び左側面１０２に対して外観検査を行い、第１軸心Ｇ１を中心にして第１吸着ノズル２１ｃを回転させて、微小物体１００の向きを変えることにより、当該微小物体１００の一方側（右方側）から、右側面１０１及び左側面１０２の画像データを各々取得する構成となっている。
【0068】
従って、本実施形態のような、第１バックライト２３ｂによって微小物体１００を他方側（左側）から照らすために、側面検査用カメラ２３ａによって、当該微小物体１００の一方側（右側）から微小物体１００の画像データを取得する必要がある場合であっても、微小物体１００の２箇所の側面（右側面１０１及び左側面１０２）に対して、画像データを順次取得することができるため、より高効率に微小物体１００の外観検査を行うことができる。
【0069】
また、本実施形態においては、投入部２０において、微小物体１００の外観検査を行う際、上述した微小物体１００のズレ量に基づき、第１軸心Ｇ１を中心にして第１吸着ノズル２１ｃの回転量を調整することにより、微小物体１００の吸着位置を補正する構成となっている。
【0070】
従って、他に別途、第１吸着ノズル２１ｃに対する微小物体１００の吸着位置を補正するための装置を、新たに設ける必要もなく、事前に検知したズレ量に基づき、微小物体１００の吸着位置に合わせて第１吸着ノズル２１ｃの向き調整し、側面検査用カメラ２３ａに対して相対的に微小物体１００の吸着位置を補正することができる。
そのため、撮像対象となる微小物体１００の右側面１０１及び左側面１０２を、当該側面検査用カメラ２３ａによって真正面から捉えることができ、投入工程Ｓ２０における微小物体１００の外観検査を、高精度且つ経済的に行うことができる。
そのため、撮像対象となる微小物体１００の右側面１０１及び左側面１０２を、当該側面検査用カメラ２３ａによって真正面から捉えることができ、投入工程Ｓ２０における微小物体１００の外観検査を、高精度且つ経済的に行うことができる。
【0071】
搬送部３０は、投入部２０に対して、第１移載装置２１による微小物体１００の移動方向（矢印Ａの方向）の下流側（本実施形態においては、前側）に設けられ、回転テーブル３１によって各セクションに微小物体１００を搬送することにより、当該微小物体１００における正面１０３、上面１０４、及び背面１０５（図６を参照）の外観検査を行う部位である。
なお、搬送部３０の詳細な構成については、後述する。
なお、搬送部３０の詳細な構成については、後述する。
【0072】
搬出部４０は、搬送部３０を間に挟んで、投入部２０に対して上記移動方向（矢印Ａの方向）の下流側（前側）に設けられ、搬送部３０から取り出した微小物体１００を所定方向に移動させるとともに、当該微小物体１００における下面１０６（図６を参照）の外観検査を行う部位である。
搬出部４０は、第２移載装置４１及び下面画像取得部４２等を備える。
搬出部４０は、第２移載装置４１及び下面画像取得部４２等を備える。
【0073】
第２移載装置４１は、微小物体１００の上面１０４を吸着可能な第２吸着ノズル４１ｃを備え、当該第２吸着ノズル４１ｃによって微小物体１００を保持した状態で、搬送部３０より取り出した微小物体１００を、新たな保管場所に向けて所定の移動方向（図２中の矢印Ｂの方向であって、本実施形態においては、前方に向かう方向）へと移動させる。
なお、第２移載装置４１及び第２吸着ノズル４１ｃの構成については、上述した第１移載装置２１及び第１吸着ノズル２１ｃと、各々略同等な構成からなるため、以下の説明においては記載を省略する。
なお、第２移載装置４１及び第２吸着ノズル４１ｃの構成については、上述した第１移載装置２１及び第１吸着ノズル２１ｃと、各々略同等な構成からなるため、以下の説明においては記載を省略する。
【0074】
下面画像取得部４２は、微小物体１００の下面１０６を撮像する下面検査用カメラ４２ａ、及び撮像対象である微小物体１００を照らす第２リング照明４２ｂ等を備える。
【0075】
下面検査用カメラ４２ａは、第２移載装置４１の下方であって、当該第２移載装置４１による微小物体１００の移動方向（矢印Ｂ）の中途部において、撮像方向を直上方向に向けた状態で配置される。
また、第２リング照明４２ｂは、第２移載装置４１の下方、且つ下面検査用カメラ４２ａの直上において、光の照射方向を上方に向けた状態で配置される。
また、第２リング照明４２ｂは、第２移載装置４１の下方、且つ下面検査用カメラ４２ａの直上において、光の照射方向を上方に向けた状態で配置される。
【0076】
そして、第２移載装置４１によって移動される微小物体１００が、下面検査用カメラ４２ａ及び第２リング照明４２ｂの直上に位置する第２撮像位置Ｑ２に到達すると、下面検査用カメラ４２ａは、焦点距離を調整してピントを合わせた後、到達した微小物体１００を下方から撮像し、画像データを取得する。
【0077】
こうして、下面検査用カメラ４２ａによって取得された画像データは、制御装置に送信される。
上記画像データを受信した制御装置は、予め格納されているプログラムに従い、直ちに演算処理を実行し、これらの画像データに基づき、微小物体１００における下面１０６の外観検査を行う。
上記画像データを受信した制御装置は、予め格納されているプログラムに従い、直ちに演算処理を実行し、これらの画像データに基づき、微小物体１００における下面１０６の外観検査を行う。
【0078】
以上のように、本実施形態における検査装置１は、投入部２０によって投入工程Ｓ２０を実施する場合、及び搬出部４０によって搬出工程Ｓ４０を実施する場合において、吸着ノズル（第１吸着ノズル２１ｃまたは第２吸着ノズル４１ｃ）によって微小物体１００の上面を吸着して保持し、当該吸着ノズルを介して移載装置（第１移載装置２１または第２移載装置４１）によって、微小物体１００を所定方向に移動させる構成となっている。
【0079】
このような構成を有することにより、たとえ微細な外形サイズからなる微小物体１００であっても、吸着ノズル（第１吸着ノズル２１ｃまたは第２吸着ノズル４１ｃ）を介して、常に下面１０６を開放させた状態で確実に保持することができるため、投入工程Ｓ２０によって回転テーブル３１の所定位置（台座部３１ｃ）に微小物体１００を容易に載置し、また搬出工程Ｓ４０によって当該所定位置（台座部３１ｃ）に載置された微小物体１００を容易に取り出すことができる。
【0080】
［搬送部３０の構成］
次に、搬送部３０の構成について、図２乃至図４、及び図５（ｂ）を用いて、詳細に説明する。
図２及び図３に示すように、搬送部３０は、回転テーブル３１、第２ズレ検知部３２、正面画像取得部３３、上面画像取得部３４、及び背面画像取得部３５等を備える。
なお、図２においては、概略模式図であるため、正面画像取得部３３、及び背面画像取得部３５の記載は省略する。
次に、搬送部３０の構成について、図２乃至図４、及び図５（ｂ）を用いて、詳細に説明する。
図２及び図３に示すように、搬送部３０は、回転テーブル３１、第２ズレ検知部３２、正面画像取得部３３、上面画像取得部３４、及び背面画像取得部３５等を備える。
なお、図２においては、概略模式図であるため、正面画像取得部３３、及び背面画像取得部３５の記載は省略する。
【0081】
回転テーブル３１は、水平状に配置される円盤形状のテーブル部３１ａ、及び当該テーブル部３１ａの上面において、テーブル部３１ａの周縁部に沿って等間隔に設けられる複数の吸着ステージ３１ｂ・３１ｂ・・・等を備え、テーブル部３１ａの軸心と同軸上の回転軸心Ｚを中心として、所定の回転方向（図２及び図３中の矢印Ｃの方向であって、本実施形態においては、平面視にて反時計回り方向）に回転可能に設けられる。
【0082】
ここで、回転テーブル３１には、各々の吸着ステージ３１ｂ・３１ｂ・・・の位置に応じて、各セクションが割り当てられており、例えば本実施形態においては、回転テーブル３１における投入部２０側の端部（本実施形態においては、後端部）に投入セクションＳａ１が割り当てられるとともに、当該投入セクションＳａ１に対して、上記回転方向（矢印Ｃの方向）に向かって順に、ズレ検知セクションＳａ２、正面撮像セクションＳａ３、上面撮像セクションＳａ４、背面撮像セクションＳａ５、及び搬出セクションＳａ６が割り当てられている。
【0083】
そして、回転テーブル３１は、所定の回転角度毎に間欠的に回転することによって、投入セクションＳａ１において投入された微小物体１００を、各々のセクションに順に搬送する構成となっている。
【0084】
回転テーブル３１に投入される微小物体１００は、各吸着ステージ３１ｂの上端に載置され、当該吸着ステージ３１ｂによって下面を吸着された状態で保持される。
また、各吸着ステージ３１ｂの上端には、上方に突出した台座部３１ｃ（図５（ｂ）を参照）が設けられている。
また、各吸着ステージ３１ｂの上端には、上方に突出した台座部３１ｃ（図５（ｂ）を参照）が設けられている。
【0085】
台座部３１ｃは、図５（ｂ）に示すように、平面視矩形状に設けられ、その上端面は、微小物体１００が載置される載置面３１ｃ１として、水平状に形成されている。
また、載置面３１ｃ１には、上下方向に貫通する複数（本実施形態においては５個所）の吸着孔３１ｃ２・３１ｃ２・・・が設けられている。
また、載置面３１ｃ１には、上下方向に貫通する複数（本実施形態においては５個所）の吸着孔３１ｃ２・３１ｃ２・・・が設けられている。
【0086】
具体的には、載置面３１ｃ１は、微小物体１００の外形サイズに合わせて微小サイズに形成されており、例えば本実施形態においては、１辺の寸法が１ｍｍ以下の矩形状の水平面として形成されている。
また、各吸着孔３１ｃ２も同様に、微小サイズに形成されており、例えば本実施形態においては、約０．２５ｍｍ程度の内径からなる貫通孔として形成されている。
そして、複数の吸着孔３１ｃ２・３１ｃ２・・・・は、載置面３１ｃ１の軸心（図５（ｂ）における第２軸心Ｇ２または第３軸心Ｇ３）と同軸上の位置、及び当該同軸上の位置を中心とする円周上の等配位置に、各々配置されている。
また、各吸着孔３１ｃ２も同様に、微小サイズに形成されており、例えば本実施形態においては、約０．２５ｍｍ程度の内径からなる貫通孔として形成されている。
そして、複数の吸着孔３１ｃ２・３１ｃ２・・・・は、載置面３１ｃ１の軸心（図５（ｂ）における第２軸心Ｇ２または第３軸心Ｇ３）と同軸上の位置、及び当該同軸上の位置を中心とする円周上の等配位置に、各々配置されている。
【0087】
各吸着孔３１ｃ２は、配管部材や切替弁等を介して、図示せぬ真空ポンプ等と連通されており、当該切替弁を切替えることにより、吸引状態（吸着孔３１ｃ２を介して、対象物を吸引可能な状態）、及び開放状態（当該吸引状態を停止させた状態）に各々切替可能な構成となっている。
【0088】
このように、本実施形態においては、複数の吸着孔３１ｃ２・３１ｃ２・・・を有する微小サイズの台座部３１ｃが、吸着ステージ３１ｂの上端に設けられており、回転テーブル３１に投入された微小物体１００は、台座部３１ｃに載置された状態で、当該台座部３１ｃを介して下面１０６（図６を参照）を吸着され、吸着ステージ３１ｂによって保持される構成となっている。
【0089】
従って、たとえ微細な外形サイズからなる微小物体１００であっても、不意に微小物体１００の角部が吸着孔３１ｃ２に吸い込まれて、当該微小物体１００の吸着姿勢が不安定になるようなこともなく、所定の吸着姿勢を保持しつつ、台座部３１ｃによって確実に微小物体１００を保持することができる。
また、たとえ微細な外形サイズからなる微小物体１００であっても、回転テーブル３１に設けられる吸着ステージ３１ｂ（より具体的には、台座部３１ｃ）に載置された状態で、確実に保持することができるため、当該回転テーブル３１による搬送途中に、不意に微小物体１００が脱落等して、傷や欠損等が発生するのを防止することができる。
また、たとえ微細な外形サイズからなる微小物体１００であっても、回転テーブル３１に設けられる吸着ステージ３１ｂ（より具体的には、台座部３１ｃ）に載置された状態で、確実に保持することができるため、当該回転テーブル３１による搬送途中に、不意に微小物体１００が脱落等して、傷や欠損等が発生するのを防止することができる。
【0090】
図２に示すように、第２ズレ検知部３２は、ズレ検知セクションＳａ２に設けられ、微小物体１００の上面１０４（図６を参照）を撮像する第２ズレ検知用カメラ３２ａ等を備える。
第２ズレ検知用カメラ３２ａは、回転テーブル３１の上方であって、平面視にて吸着ステージ３１ｂの移動軌跡上において、撮像方向を直下方向に向けた状態で配置される。
第２ズレ検知用カメラ３２ａは、回転テーブル３１の上方であって、平面視にて吸着ステージ３１ｂの移動軌跡上において、撮像方向を直下方向に向けた状態で配置される。
【0091】
そして、回転テーブル３１の回転動作によって搬送される微小物体１００が、ズレ検知セクションＳａ２に到達し、第２ズレ検知用カメラ３２ａの直下に位置する第２検知位置Ｐ２に配置されると、第２ズレ検知用カメラ３２ａは、焦点距離を調整してピントを合わせた後、到達した微小物体１００を上方から撮像し、画像データを取得する。
【0092】
第２ズレ検知用カメラ３２ａによって取得した画像データは、制御装置に送信される。
上記画像データを受信した制御装置は、予め格納されているプログラムに従い、直ちに演算処理を実行し、吸着ステージ３１ｂの台座部３１ｃ（図５（ｂ）を参照）によって保持された微小物体１００の、当該台座部３１ｃに対する所定の吸着位置からのズレ量を算出する。
上記画像データを受信した制御装置は、予め格納されているプログラムに従い、直ちに演算処理を実行し、吸着ステージ３１ｂの台座部３１ｃ（図５（ｂ）を参照）によって保持された微小物体１００の、当該台座部３１ｃに対する所定の吸着位置からのズレ量を算出する。
【0093】
具体的には、取得した微小物体１００の上面１０４の画像データに基づき、当該画像データの図心の位置を算出し、当該図心の位置と、予め記憶されている台座部３１ｃの図心（本実施形態においては、後述する第２軸心Ｇ２または第３軸心Ｇ３の位置）の位置との比較演算を実行することにより、所定の吸着位置、即ち上記台座部３１ｃとの同軸上の位置に対する、微小物体１００の位置ズレ量を算出する。
また、取得した微小物体１００の上面１０４の画像データに基づき、当該画像データの四隅の位置を算出し、当該四隅の位置と、予め記憶されている所定の吸着位置での微小物体１００の四隅の位置との比較演算をすることにより、台座部３１ｃに対する微小物体１００の向きのズレ量、即ち台座部３１ｃの軸心を中心とする微小物体１００の傾き量を算出する。
また、取得した微小物体１００の上面１０４の画像データに基づき、当該画像データの四隅の位置を算出し、当該四隅の位置と、予め記憶されている所定の吸着位置での微小物体１００の四隅の位置との比較演算をすることにより、台座部３１ｃに対する微小物体１００の向きのズレ量、即ち台座部３１ｃの軸心を中心とする微小物体１００の傾き量を算出する。
【0094】
このように、本実施形態においては、回転テーブル３１による微小物体１００の搬送途中に、台座部３１ｃに対する当該微小物体１００の、所定の吸着位置からのズレ量（位置ズレ量及び傾き量）を検知する構成となっている。
【0095】
従って、後述する正面画像取得部３３及び背面画像取得部３５においては、第２ズレ検知部３２によって事前に検知した、微小物体１００のズレ量（位置ズレ量及び傾き量）に基づき、微小物体１００の吸着位置を補正し、微小物体１００の画像データを取得することができるため、搬送部３０によって実施される搬送工程Ｓ３０においては、微小物体１００の外観検査を高精度に行うことができる。
【0096】
図３に示すように、正面画像取得部３３は、正面撮像セクションＳａ３に設けられ、第１撮像手段の一例であって微小物体１００の正面１０３（図６を参照）を撮像する正面検査用カメラ３３ａ、撮像対象である微小物体１００を照らす第２バックライト３３ｂ及び第３リング照明３３ｃ、並びにこれらの機器３３ａ・３３ｂ・３３ｃを支持する第１支持フレーム３３ｄ等を備える。
【0097】
正面検査用カメラ３３ａは、回転テーブル３１におけるテーブル部３１ａの上方であって、吸着ステージ３１ｂの上端に対して上記回転軸心Ｚ側に対向する位置において、撮像方向をテーブル部３１ａの径方向外側に向けた状態で配置される。
【0098】
一方、第２バックライト３３ｂは、回転テーブル３１におけるテーブル部３１ａの上方であって、吸着ステージ３１ｂの上端に対して上記回転軸心Ｚ側との反対側に対向する位置において、光の照射方向をテーブル部３１ａの径方向内側に向けた状態で配置される。
また、第３リング照明３３ｃは、回転テーブル３１におけるテーブル部３１ａの上方であって、吸着ステージ３１ｂの上端に対して上記回転軸心Ｚ側に対向し、且つ正面検査用カメラ３３ａと第２バックライト３３ｂとの間となる位置において、光の照射方向をテーブル部３１ａの径方向外側に向けた状態で配置される。
また、第３リング照明３３ｃは、回転テーブル３１におけるテーブル部３１ａの上方であって、吸着ステージ３１ｂの上端に対して上記回転軸心Ｚ側に対向し、且つ正面検査用カメラ３３ａと第２バックライト３３ｂとの間となる位置において、光の照射方向をテーブル部３１ａの径方向外側に向けた状態で配置される。
【0099】
そして、第１支持フレーム３３ｄは、これらの正面検査用カメラ３３ａ、第２バックライト３３ｂ、及び第３リング照明３３ｃを一体的に支持するとともに、所定のセクション（本実施形態においては、正面撮像セクションＳａ３）において台座部３１ｃの中心を通過する垂直方向の第２軸心Ｇ２（図４（ａ）を参照）を中心にして水平方向（図３中の矢印Ｃの方向）に回転可能、且つテーブル部３１ａの径方向両側（図３中の矢印Ｄの方向）に移動可能に構成されている。
【0100】
このような構成からなる正面画像取得部３３において、吸着ステージ３１ｂによって保持された微小物体１００が正面撮像セクションＳａ３に搬送され、正面検査用カメラ３３ａ及び第３リング照明３３ｃと、第２バックライト３３ｂとの間の第３撮像位置Ｑ３に到達すると、正面検査用カメラ３３ａは、到達した微小物体１００を撮像し、画像データを取得する。
【0101】
具体的には、第３撮像位置Ｑ３に微小物体１００が到達すると、正面検査用カメラ３３ａの撮像方向に対して、微小物体１００の正面１０３が直交する向きとなるように、ズレ検知セクションＳａ２において検知された微小物体１００のズレ量に基づき、回転量を調整しつつ、第２軸心Ｇ２を中心にして第１支持フレーム３３ｄが回転され、微小物体１００のずれた吸着位置が補正される。
【0102】
そして、微小物体１００の吸着位置が補正された後、上記径方向（矢印Ｄの方向）に沿って第１支持フレーム３３ｄが移動することにより、正面検査用カメラ３３ａの焦点距離が調整され、当該正面検査用カメラ３３ａは、微小物体１００を撮像し、当該微小物体１００における正面１０３の画像データを取得する。
【0103】
こうして、正面検査用カメラ３３ａによって取得された画像データは、制御装置に送信される。
上記画像データを受信した制御装置は、予め格納されているプログラムに従い、直ちに演算処理を実行し、これらの画像データに基づき、微小物体１００における正面１０３の外観検査を行う。
上記画像データを受信した制御装置は、予め格納されているプログラムに従い、直ちに演算処理を実行し、これらの画像データに基づき、微小物体１００における正面１０３の外観検査を行う。
【0104】
このように、本実施形態においては、搬送部３０の正面撮像セクションＳａ３において、微小物体１００の正面１０３の外観検査を行う際、ズレ検知セクションＳａ２にて検知した上記ズレ量に基づき、第１支持フレーム３３ｄを介して、第２軸心Ｇ２を中心にして、正面検査用カメラ３３ａを回転させることにより、微小物体１００の吸着位置を補正する構成となっている。
【0105】
従って、事前に検知したズレ量に基づき、微小物体１００の吸着位置に合わせて正面検査用カメラ３３ａの撮像位置を調整し、当該正面検査用カメラ３３ａに対して相対的に微小物体の吸着位置を補正することで、撮像対象となる微小物体１００の正面１０３を、正面検査用カメラ３３ａによって真正面から捉えることができ、搬送部３０によって実施される搬送工程Ｓ３０においては、微小物体１００の外観検査を高精度に行うことができる。
【0106】
また、第１支持フレーム３３ｄの回転中心である第２軸心Ｇ２は、吸着ステージ３１ｂにおける台座部３１ｃの軸心と同軸上に位置することから、第２軸心Ｇ２を中心にして正面検査用カメラ３３ａを回転させて、当該正面検査用カメラ３３ａに対して相対的に微小物体１００の吸着位置を補正する場合、台座部３１ｃと正面検査用カメラ３３ａとの間の距離は、常に同等に保持されるため、上記補正を行う度に、正面検査用カメラ３３ａのピント（焦点距離）合わせをその都度行う必要もなく、搬送工程Ｓ３０における微小物体１００の外観検査を、容易に行うことができる。
【0107】
さらに、撮像対象の微小物体１００は、吸着ステージ３１ｂの上端より上方に突出した台座部３１ｃに載置され、当該台座部３１ｃを介して下面１０６を吸着されることにより、保持された状態となっている。
【0108】
従って、本実施形態のように、第２バックライト３３ｂによって微小物体１００を他方側（テーブル部３１ａの径方向外側）から照らしつつ、正面検査用カメラ３３ａによって当該微小物体１００を一方側（テーブル部３１ａの径方向内側）から撮像することにより、微小物体１００の画像データを取得する場合であっても、第２バックライト３３ｂによる吸着ステージ３１ｂの影が、当該画像データに映り込むのを抑制することができ、微小物体１００の外観検査をより高精度に行うことができる。
【0109】
本実施形態においては、台座部３１ｃから一部が食み出るような状態によって、微小物体１００が載置されている。
具体的には、図４（ａ）に示すように、台座部３１ｃは、前述したように平面視矩形状に設けられており、一方の角部３１ｃ３を正面検査用カメラ３３ａに指向させた状態で配置されている。
そして、台座部３１ｃに載置される微小物体１００は、正面検査用カメラ３３ａと対向する正面１０３において、幅方向（上下方向との直交方向であって、本実施形態においては前後方向）の両側部の下端を台座部３１ｃから食み出させることで、台座部３１ｃと非接触の状態で載置されている。
具体的には、図４（ａ）に示すように、台座部３１ｃは、前述したように平面視矩形状に設けられており、一方の角部３１ｃ３を正面検査用カメラ３３ａに指向させた状態で配置されている。
そして、台座部３１ｃに載置される微小物体１００は、正面検査用カメラ３３ａと対向する正面１０３において、幅方向（上下方向との直交方向であって、本実施形態においては前後方向）の両側部の下端を台座部３１ｃから食み出させることで、台座部３１ｃと非接触の状態で載置されている。
【0110】
このような構成を有することにより、たとえ正面検査用カメラ３３ａによって撮像された画像データにおいて、微小物体１００とともに台座部３１ｃが写り込んでいたとしても、台座部３１ｃに対して、微小物体１００の正面１０３の輪郭をより鮮明に映し出すことができるため、搬送部３０によって実施される搬送工程Ｓ３０においては、微小物体１００の外観検査を、より高精度に行うことができる。
【0111】
図２に示すように、上面画像取得部３４は、上面撮像セクションＳａ４に設けられ、微小物体１００の上面１０４（図６を参照）を撮像する上面検査用カメラ３４ａ、及び撮像対象である微小物体１００を照らす第４リング照明３４ｂ等を備える。
【0112】
上面検査用カメラ３４ａは、回転テーブル３１の上方であって、平面視にて吸着ステージ３１ｂの移動軌跡上において、撮像方向を直下方向に向けた状態で配置される。
また、第４リング照明３４ｂは、回転テーブル３１の上方であって、平面視にて吸着ステージ３１ｂの移動軌跡上、且つ上面検査用カメラ３４ａの直下において、光の照射方向を下方に向けた状態で配置される。
また、第４リング照明３４ｂは、回転テーブル３１の上方であって、平面視にて吸着ステージ３１ｂの移動軌跡上、且つ上面検査用カメラ３４ａの直下において、光の照射方向を下方に向けた状態で配置される。
【0113】
そして、吸着ステージ３１ｂによって保持された微小物体１００が上面撮像セクションＳａ４に搬送され、上面検査用カメラ３４ａ及び第４リング照明３４ｂの直下に位置する第４撮像位置Ｑ４に到達すると、上面検査用カメラ３４ａは、到達した微小物体１００を撮像し、画像データを取得する。
【0114】
こうして、上面検査用カメラ３４ａによって取得された画像データは、制御装置に送信される。
上記画像データを受信した制御装置は、予め格納されているプログラムに従い、直ちに演算処理を実行し、これらの画像データに基づき、微小物体１００における上面１０４の外観検査を行う。
上記画像データを受信した制御装置は、予め格納されているプログラムに従い、直ちに演算処理を実行し、これらの画像データに基づき、微小物体１００における上面１０４の外観検査を行う。
【0115】
図３に示すように、背面画像取得部３５は、背面撮像セクションＳａ５に設けられ、第２撮像手段の一例であって微小物体１００の背面１０５（図６を参照）を撮像する背面検査用カメラ３５ａ、撮像対象である微小物体１００を照らす第３バックライト３５ｂ及び第５リング照明３５ｃ、並びにこれらの機器３５ａ・３５ｂ・３５ｃを支持する第２支持フレーム３５ｄ等を備える。
【0116】
背面検査用カメラ３５ａは、回転テーブル３１におけるテーブル部３１ａの上方であって、吸着ステージ３１ｂの上端に対して上記回転軸心Ｚ側との反対側に対向する位置において、撮像方向をテーブル部３１ａの径方向内側に向けた状態で配置される。
【0117】
一方、第３バックライト３５ｂは、回転テーブル３１におけるテーブル部３１ａの上方であって、吸着ステージ３１ｂの上端に対して上記回転軸心Ｚ側に対向する位置において、光の照射方向をテーブル部３１ａの径方向外側に向けた状態で配置される。
また、第５リング照明３５ｃは、回転テーブル３１におけるテーブル部３１ａの上方であって、吸着ステージ３１ｂの上端に対して上記回転軸心Ｚ側との反対側に対向し、且つ背面検査用カメラ３５ａと第３バックライト３５ｂとの間となる位置において、光の照射方向をテーブル部３１ａの径方向内側に向けた状態で配置される。
また、第５リング照明３５ｃは、回転テーブル３１におけるテーブル部３１ａの上方であって、吸着ステージ３１ｂの上端に対して上記回転軸心Ｚ側との反対側に対向し、且つ背面検査用カメラ３５ａと第３バックライト３５ｂとの間となる位置において、光の照射方向をテーブル部３１ａの径方向内側に向けた状態で配置される。
【0118】
そして、第２支持フレーム３５ｄは、これらの背面検査用カメラ３５ａ、第３バックライト３５ｂ、及び第５リング照明３５ｃを一体的に支持するとともに、所定のセクション（本実施形態においては、背面撮像セクションＳａ５）において台座部３１ｃの中心を通過する垂直方向の第３軸心Ｇ３（図４（ｂ）を参照）を中心にして水平方向（図３中の矢印Ｅの方向）に回転可能、且つテーブル部３１ａの径方向両側（図３中の矢印Ｆの方向）に移動可能に構成されている。
【0119】
このような構成からなる背面画像取得部３５において、吸着ステージ３１ｂによって保持された微小物体１００が背面撮像セクションＳａ５に搬送され、背面検査用カメラ３５ａ及び第５リング照明３５ｃと、第３バックライト３５ｂとの間の第５撮像位置Ｑ５に到達すると、背面検査用カメラ３５ａは、到達した微小物体１００を撮像し、画像データを取得する。
【0120】
具体的には、第５撮像位置Ｑ５に微小物体１００が到達すると、背面検査用カメラ３５ａの撮像方向に対して、微小物体１００の背面１０５が直交する向きとなるように、ズレ検知セクションＳａ２において検知された微小物体１００のズレ量に基づき、回転量を調整しつつ、第３軸心Ｇ３を中心にして第２支持フレーム３５ｄが回転され、微小物体１００のずれた吸着位置が補正される。
【0121】
そして、微小物体１００の吸着位置が補正された後、上記径方向（矢印Ｆの方向）に沿って第２支持フレーム３５ｄが移動することにより、背面検査用カメラ３５ａの焦点距離が調整され、当該背面検査用カメラ３５ａは、微小物体１００を撮像し、当該微小物体１００における背面１０５の画像データを取得する。
【0122】
こうして、背面検査用カメラ３５ａによって取得された画像データは、制御装置に送信される。
上記画像データを受信した制御装置は、予め格納されているプログラムに従い、直ちに演算処理を実行し、これらの画像データに基づき、微小物体１００における背面１０５の外観検査を行う。
上記画像データを受信した制御装置は、予め格納されているプログラムに従い、直ちに演算処理を実行し、これらの画像データに基づき、微小物体１００における背面１０５の外観検査を行う。
【0123】
このように、本実施形態においては、搬送部３０の背面撮像セクションＳａ５において、微小物体１００の背面１０５の外観検査を行う際、ズレ検知セクションＳａ２にて検知した上記ズレ量に基づき、第２支持フレーム３５ｄを介して、第３軸心Ｇ３を中心にして、背面検査用カメラ３５ａを回転させることにより、微小物体１００の吸着位置を補正する構成となっている。
【0124】
従って、事前に検知したズレ量に基づき、微小物体１００の吸着位置に合わせて背面検査用カメラ３５ａの撮像位置を調整し、当該背面検査用カメラ３５ａに対して相対的に微小物体１００の吸着位置を補正することで、撮像対象となる微小物体１００の背面１０５を、背面検査用カメラ３５ａによって真正面から捉えることができ、搬送部３０によって実施される搬送工程Ｓ３０においては、微小物体の外観検査を高精度に行うことができる。
【0125】
また、第２支持フレーム３５ｄの回転中心である第３軸心Ｇ３は、吸着ステージ３１ｂにおける台座部３１ｃの軸心と同軸上に位置することから、第３軸心Ｇ３を中心にして背面検査用カメラ３５ａを回転させて、当該背面検査用カメラ３５ａに対して相対的に微小物体１００の吸着位置を補正する場合、台座部３１ｃと背面検査用カメラ３５ａとの間の距離は、常に同等に保持されるため、上記補正を行う度に、背面検査用カメラ３５ａのピント（焦点距離）合わせをその都度行う必要もなく、搬送工程Ｓ３０における微小物体１００の外観検査を、容易に行うことができる。
【0126】
さらに、前述した正面画像取得部３３と同様に、撮像対象の微小物体１００は、吸着ステージ３１ｂの上端より上方に突出した台座部３１ｃに載置され、当該台座部３１ｃを介して下面１０６を吸着されることにより、保持された状態となっている。
【0127】
従って、本実施形態のように、第３バックライト３５ｂによって微小物体１００を一方側（テーブル部３１ａの径方向内側）から照らしつつ、背面検査用カメラ３５ａによって当該微小物体１００を他方側（テーブル部３１ａの径方向外側）から撮像することにより、微小物体１００の画像データを取得する場合であっても、第３バックライト３５ｂによる吸着ステージ３１ｂの影が、当該画像データに映り込むのを抑制することができ、微小物体１００の外観検査をより高精度に行うことができる。
【0128】
本実施形態においては、前述した正面画像取得部３３と同様に、背面画像取得部３５においても、台座部３１ｃから一部が食み出るような状態によって、微小物体１００が載置されている。
具体的には、図４（ｂ）に示すように、台座部３１ｃは、前述したように平面視矩形状に設けられており、他方の角部３１ｃ４を背面検査用カメラ３５ａに指向させた状態で配置されている。
そして、台座部３１ｃに載置される微小物体１００は、背面検査用カメラ３５ａと対向する背面１０５において、幅方向（上下方向との直交方向であって、本実施形態においては前後方向）の両側部の下端を台座部３１ｃから食み出させることで、台座部３１ｃと非接触の状態で載置されている。
具体的には、図４（ｂ）に示すように、台座部３１ｃは、前述したように平面視矩形状に設けられており、他方の角部３１ｃ４を背面検査用カメラ３５ａに指向させた状態で配置されている。
そして、台座部３１ｃに載置される微小物体１００は、背面検査用カメラ３５ａと対向する背面１０５において、幅方向（上下方向との直交方向であって、本実施形態においては前後方向）の両側部の下端を台座部３１ｃから食み出させることで、台座部３１ｃと非接触の状態で載置されている。
【0129】
このような構成を有することにより、たとえ背面検査用カメラ３５ａによって撮像された画像データにおいて、微小物体１００とともに台座部３１ｃが写り込んでいたとしても、台座部３１ｃに対して、微小物体１００の背面１０５の輪郭をより鮮明に映し出すことができるため、搬送部３０によって実施される搬送工程Ｓ３０においては、微小物体１００の外観検査を、より高精度に行うことができる。
【0130】
以上のように、本実施形態においては、搬送部３０の正面撮像セクションＳａ３及び背面撮像セクションＳａ５において、微小物体１００の正面１０３、及び当該正面１０３と対向する背面１０５に対して、それぞれ外観検査を行う構成となっている。
また、さらに搬送部３０の上面撮像セクションＳａ４において、微小物体１００の上面１０４に対して外観検査を行う構成となっている。
また、さらに搬送部３０の上面撮像セクションＳａ４において、微小物体１００の上面１０４に対して外観検査を行う構成となっている。
【0131】
従って、本実施形態のように、微小物体１００が、下面１０６（図６を参照）を介して回転テーブル３１に載置された状態で保持されており、当該下面１０６を除く他の表面は、外部に開放された状態となっている場合には、他に何ら障害物を有することなく、微小物体１００の正面１０３、背面１０５、及び上面１０４に対して、容易に外観検査を行うことができる。
【0132】
【0133】
先ず始めに、複数の微小物体１００・１００・・・が載置されたトレイ１１０が、図示せぬ保管装置から取り出され、取り出されたトレイ１１０は、一時的な仮置き台（図示せず）に投入された後、当該仮置き台によって所定の搬出位置へと移動される（取出し工程Ｓ１０）。
【0134】
そして、上記所定の搬出位置にトレイ１１０が到達すると、第１移載装置２１は、第１吸着ノズル２１ｃを介して、当該トレイ１１０上の１個の微小物体１００を吸着して保持し、搬送部３０に向かって移動を開始する（投入工程Ｓ２０）。
【0135】
搬送部３０への移動を開始した第１移載装置２１は、保持した微小物体１００が第１検知位置Ｐ１に到達すると、一旦移動を停止する。
そして、第１移載装置２１が一旦停止すると、第１ズレ検知部２２は、微小物体１００の下面１０６（図６を参照）の画像データを取得し、第１吸着ノズル２１ｃに対する微小物体１００のズレ量を検知する（第１ズレ検知工程Ｓ２１）。
そして、第１移載装置２１が一旦停止すると、第１ズレ検知部２２は、微小物体１００の下面１０６（図６を参照）の画像データを取得し、第１吸着ノズル２１ｃに対する微小物体１００のズレ量を検知する（第１ズレ検知工程Ｓ２１）。
【0136】
第１吸着ノズル２１ｃに対する微小物体１００のズレ量を検知した後、第１移載装置２１は、移動を再開する。
そして、保持した微小物体１００が第１撮像位置Ｑ１に到達すると、第１移載装置２１は、再び移動を停止する。
そして、保持した微小物体１００が第１撮像位置Ｑ１に到達すると、第１移載装置２１は、再び移動を停止する。
【0137】
第１移載装置２１が再び停止すると、側面画像取得部２３は、検知した上記ズレ量に基づき微小物体１００の吸着位置を補正しつつ、当該微小物体１００の右側面１０１（図６を参照）の画像データを取得し（第１画像取得工程Ｓ２２）、続いて、当該微小物体１００の左側面１０２（図６を参照）の画像データを取得する（第２画像取得工程Ｓ２３）。
【0138】
そして、これら微小物体１００の右側面１０１及び左側面１０２における画像データの取得が終了すると、当該画像データに基づき外観検査が実行されるとともに、第１移載装置２１は、移動を再開する。
その後、保持した微小物体１００が、搬送部３０における回転テーブル３１の投入セクションＳａ１に到達すると、第１移載装置２１は、移動を停止して吸着ステージ３１ｂの台座部３１ｃ（図５（ｂ）を参照）に微小物体１００を載置し、当該微小物体１００を搬送部３０に投入する。
これにより、投入工程Ｓ２０は終了する。
その後、保持した微小物体１００が、搬送部３０における回転テーブル３１の投入セクションＳａ１に到達すると、第１移載装置２１は、移動を停止して吸着ステージ３１ｂの台座部３１ｃ（図５（ｂ）を参照）に微小物体１００を載置し、当該微小物体１００を搬送部３０に投入する。
これにより、投入工程Ｓ２０は終了する。
【0139】
投入セクションＳａ１に位置する吸着ステージ３１ｂに、微小物体１００が載置されると、回転テーブル３１は、回転移動を開始し、当該微小物体１００を各セクションに搬送する（搬送工程Ｓ３０）。
具体的には、回転テーブル３１は、所定の回転角度毎に間欠的に回転することにより、吸着ステージ３１ｂに載置された微小物体１００を、ズレ検知セクションＳａ２、正面撮像セクションＳａ３、上面撮像セクションＳａ４、背面撮像セクションＳａ５、及び搬出セクションＳａ６の順に搬送する。
具体的には、回転テーブル３１は、所定の回転角度毎に間欠的に回転することにより、吸着ステージ３１ｂに載置された微小物体１００を、ズレ検知セクションＳａ２、正面撮像セクションＳａ３、上面撮像セクションＳａ４、背面撮像セクションＳａ５、及び搬出セクションＳａ６の順に搬送する。
【0140】
ズレ検知セクションＳａ２に搬送され、第２検知位置Ｐ２に微小物体１００が到達すると、第２ズレ検知部３２は、微小物体１００の上面１０４（図６を参照）の画像データを取得し、台座部３１ｃに対する微小物体１００のズレ量を検知する（第２ズレ検知工程Ｓ３１）。
【0141】
台座部３１ｃに対する微小物体１００のズレ量を検知した後、微小物体１００は、続いて正面撮像セクションＳａ３に搬送され、第３撮像位置Ｑ３（図３を参照）に到達する。
第３撮像位置Ｑ３に微小物体１００が到達すると、正面画像取得部３３（図３を参照）は、ズレ検知セクションＳａ２において検知した上記ズレ量に基づき微小物体１００の吸着位置を補正しつつ、当該微小物体１００の正面１０３（図６を参照）の画像データを取得する（第３画像取得工程Ｓ３２）。
第３撮像位置Ｑ３に微小物体１００が到達すると、正面画像取得部３３（図３を参照）は、ズレ検知セクションＳａ２において検知した上記ズレ量に基づき微小物体１００の吸着位置を補正しつつ、当該微小物体１００の正面１０３（図６を参照）の画像データを取得する（第３画像取得工程Ｓ３２）。
【0142】
微小物体１００の正面１０３における画像データの取得が終了すると、微小物体１００は、続いて上面撮像セクションＳａ４に搬送され、第４撮像位置Ｑ４に到達する。
第４撮像位置Ｑ４に微小物体１００が到達すると、上面画像取得部３４は、微小物体１００の上面１０４の画像データを取得する（第４画像取得工程Ｓ３３）。
第４撮像位置Ｑ４に微小物体１００が到達すると、上面画像取得部３４は、微小物体１００の上面１０４の画像データを取得する（第４画像取得工程Ｓ３３）。
【0143】
微小物体１００の上面１０４における画像データの取得が終了すると、微小物体１００は、続いて背面撮像セクションＳａ５に搬送され、第５撮像位置Ｑ５（図３を参照）に到達する。
第５撮像位置Ｑ５に微小物体１００が到達すると、背面画像取得部３５（図３を参照）は、ズレ検知セクションＳａ２において検知した上記ズレ量に基づき微小物体１００の吸着位置を補正しつつ、当該微小物体１００の背面１０５（図６を参照）の画像データを取得する（第５画像取得工程Ｓ３４）。
第５撮像位置Ｑ５に微小物体１００が到達すると、背面画像取得部３５（図３を参照）は、ズレ検知セクションＳａ２において検知した上記ズレ量に基づき微小物体１００の吸着位置を補正しつつ、当該微小物体１００の背面１０５（図６を参照）の画像データを取得する（第５画像取得工程Ｓ３４）。
【0144】
微小物体１００の背面１０５における画像データの取得が終了すると、微小物体１００は、続いて搬出セクションＳａ６に搬送される。
また、各セクション（正面撮像セクションＳａ３、上面撮像セクションＳａ４、及び背面撮像セクションＳａ５）において取得した画像データに基づき、外観検査が実行される。
これにより、搬送工程Ｓ３０は終了する。
また、各セクション（正面撮像セクションＳａ３、上面撮像セクションＳａ４、及び背面撮像セクションＳａ５）において取得した画像データに基づき、外観検査が実行される。
これにより、搬送工程Ｓ３０は終了する。
【0145】
搬出セクションＳａ６に微小物体１００が到達すると、第２移載装置４１は、第２吸着ノズル４１ｃを介して、吸着ステージ３１ｂの台座部３１ｃより微小物体１００を吸着して保持し、所定の新たな保管場所に向かって移動を開始する（搬出工程Ｓ４０）。
【0146】
上記新たな保管場所への移動を開始した第２移載装置４１は、保持した微小物体１００が第２撮像位置Ｑ２に到達すると、一旦移動を停止する。
第２移載装置４１が一旦停止すると、下面画像取得部４２は、微小物体１００の下面１０６（図６を参照）の画像データを取得する（第６画像取得工程Ｓ４１）。
第２移載装置４１が一旦停止すると、下面画像取得部４２は、微小物体１００の下面１０６（図６を参照）の画像データを取得する（第６画像取得工程Ｓ４１）。
【0147】
そして、微小物体１００の下面１０６における画像データの取得が終了すると、当該画像データに基づき外観検査が実行されるとともに、第２移載装置４１は、移動を再開する。
その後、保持した微小物体１００が、上記新たな保管場所に到達すると、第２移載装置４１は、当該新たな保管場所に微小物体１００を配置する。
これにより、搬出工程Ｓ４０が終了するとともに、一連の検査工程Ｓ０１を実施する場合の、検査装置１の動作手順が完了する。
その後、保持した微小物体１００が、上記新たな保管場所に到達すると、第２移載装置４１は、当該新たな保管場所に微小物体１００を配置する。
これにより、搬出工程Ｓ４０が終了するとともに、一連の検査工程Ｓ０１を実施する場合の、検査装置１の動作手順が完了する。
【0148】
このように、本実施形態においては、搬出工程Ｓ４０において、微小物体１００の下面１０６に対して外観検査を行うことから前工程である搬送工程Ｓ３０の実施中、常に回転テーブル３１の吸着ステージ３１ｂ（より具体的には、台座部３１ｃ）に接触していた、微小物体１００の下面１０６については、検査工程Ｓ０１の最終段階である搬出工程Ｓ４０で外観検査を行うこととなり、より高精度な微小物体の外観検査を行うことができる。
【0149】
なお、本発明の別実施形態として、例えば、搬送部３０に備えられる正面画像取得部３３、上面画像取得部３４、及び背面画像取得部３５の配列については、前述した本実施形態の順序に限定さるものではなく、回転テーブル３１の回転方向に向かって、何れの順序で配置されていてもよい。
即ち、搬送工程Ｓ３０において、第３画像取得工程Ｓ３２、第４画像取得工程Ｓ３３、及び第５画像取得工程Ｓ３４の実施される順序については、前述した本実施形態によるもの以外の何れの順序であってもよい。
即ち、搬送工程Ｓ３０において、第３画像取得工程Ｓ３２、第４画像取得工程Ｓ３３、及び第５画像取得工程Ｓ３４の実施される順序については、前述した本実施形態によるもの以外の何れの順序であってもよい。
【0150】
また、これらの正面画像取得部３３、上面画像取得部３４、及び背面画像取得部３５のうち、上面画像取得部３４を上記回転方向の最上流側に配置するとともに、第２ズレ検知部３２を廃止し、当該上面画像取得部３４の上面検査用カメラ３４ａによって、第２ズレ検知工程Ｓ３１及び第４画像取得工程Ｓ３３を、ともに実施する構成としてもよい。
【0151】
以上、本発明の実施の形態について説明を行ったが、本発明はこうした実施の形態に何等限定されるものではなく、あくまで例示であって、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、さらに種々なる形態で実施し得ることは勿論のことであり、本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲に記載の均等の意味、及び範囲内のすべての変更を含む。
【符号の説明】
【0152】
１ 検査装置
２０ 投入部
２１ 第１移載装置
２１ａ 本体部
２１ｂ アーム部
２１ｃ 第１吸着ノズル（吸着ノズル）
２１ｃ１ 吸着面
２１ｃ２ 吸着孔
２２ 第１ズレ検知部
２２ａ 第１ズレ検知用カメラ
２３ 側面画像取得部
２３ａ 側面検査用カメラ
２３ｂ 第１バックライト
２３ｃ 第１リング照明
３０ 搬送部
３１ 回転テーブル
３１ａ テーブル部
３１ｂ 吸着ステージ
３１ｃ 台座部
３１ｃ１ 載置面
３１ｃ２ 吸着孔
３１ｃ３ 台座部の一方の角部
３１ｃ４ 台座部の他方の角部
３２ 第２ズレ検知部
３２ａ 第２ズレ検知用カメラ
３３ 正面画像取得部
３３ａ 正面検査用カメラ（第１撮像手段）
３３ｂ 第２バックライト
３３ｃ 第３リング照明
３３ｄ 第１支持フレーム
３４ 上面場像取得部
３４ａ 上面検査用カメラ
３４ｂ 第４リング照明
３５ 背面画像取得部
３５ａ 背面検査用カメラ（第２撮像手段）
３５ｂ 第３バックライト
３５ｃ 第５リング照明
３５ｄ 第２支持フレーム
４０ 搬出部
４１ 第２移載装置
４１ｃ 第２吸着ノズル（吸着ノズル）
４２ 下面画像取得部
４２ａ 下面検査用カメラ
４２ｂ 第２リング照明
１００ 微小物体
１０１ 右側面（第１側面）
１０２ 左側面（第２側面）
１０３ 正面
１０４ 上面
１０５ 背面
１０６ 下面
１１０ トレイ
Ｇ１ 第１軸心
Ｇ２ 第２軸心
Ｇ３ 第３軸心
Ｐ１ 第１検知位置
Ｐ２ 第２検知位置
Ｑ１ 第１撮像位置
Ｑ２ 第２撮像位置
Ｑ３ 第３撮像位置
Ｑ４ 第４撮像位置
Ｑ５ 第５撮像位置
Ｚ 回転軸心
Ｓ０１ 検査工程
Ｓ１０ 取出し工程
Ｓ２０ 投入工程
Ｓ２１ 第１ズレ検知工程
Ｓ２２ 第１画像取得工程
Ｓ２３ 第２画像取得工程
Ｓ３０ 搬送工程
Ｓ３１ 第２ズレ検知工程
Ｓ３２ 第３画像取得工程
Ｓ３３ 第４画像取得工程
Ｓ３４ 第５画像取得工程
Ｓ４０ 搬出工程
Ｓ４１ 第６画像取得工程
Ｓａ１ 投入セクション
Ｓａ２ ズレ検知セクション
Ｓａ３ 正面撮像セクション
Ｓａ４ 上面撮像セクション
Ｓａ５ 背面撮像セクション
Ｓａ６ 搬出セクション
２０ 投入部
２１ 第１移載装置
２１ａ 本体部
２１ｂ アーム部
２１ｃ 第１吸着ノズル（吸着ノズル）
２１ｃ１ 吸着面
２１ｃ２ 吸着孔
２２ 第１ズレ検知部
２２ａ 第１ズレ検知用カメラ
２３ 側面画像取得部
２３ａ 側面検査用カメラ
２３ｂ 第１バックライト
２３ｃ 第１リング照明
３０ 搬送部
３１ 回転テーブル
３１ａ テーブル部
３１ｂ 吸着ステージ
３１ｃ 台座部
３１ｃ１ 載置面
３１ｃ２ 吸着孔
３１ｃ３ 台座部の一方の角部
３１ｃ４ 台座部の他方の角部
３２ 第２ズレ検知部
３２ａ 第２ズレ検知用カメラ
３３ 正面画像取得部
３３ａ 正面検査用カメラ（第１撮像手段）
３３ｂ 第２バックライト
３３ｃ 第３リング照明
３３ｄ 第１支持フレーム
３４ 上面場像取得部
３４ａ 上面検査用カメラ
３４ｂ 第４リング照明
３５ 背面画像取得部
３５ａ 背面検査用カメラ（第２撮像手段）
３５ｂ 第３バックライト
３５ｃ 第５リング照明
３５ｄ 第２支持フレーム
４０ 搬出部
４１ 第２移載装置
４１ｃ 第２吸着ノズル（吸着ノズル）
４２ 下面画像取得部
４２ａ 下面検査用カメラ
４２ｂ 第２リング照明
１００ 微小物体
１０１ 右側面（第１側面）
１０２ 左側面（第２側面）
１０３ 正面
１０４ 上面
１０５ 背面
１０６ 下面
１１０ トレイ
Ｇ１ 第１軸心
Ｇ２ 第２軸心
Ｇ３ 第３軸心
Ｐ１ 第１検知位置
Ｐ２ 第２検知位置
Ｑ１ 第１撮像位置
Ｑ２ 第２撮像位置
Ｑ３ 第３撮像位置
Ｑ４ 第４撮像位置
Ｑ５ 第５撮像位置
Ｚ 回転軸心
Ｓ０１ 検査工程
Ｓ１０ 取出し工程
Ｓ２０ 投入工程
Ｓ２１ 第１ズレ検知工程
Ｓ２２ 第１画像取得工程
Ｓ２３ 第２画像取得工程
Ｓ３０ 搬送工程
Ｓ３１ 第２ズレ検知工程
Ｓ３２ 第３画像取得工程
Ｓ３３ 第４画像取得工程
Ｓ３４ 第５画像取得工程
Ｓ４０ 搬出工程
Ｓ４１ 第６画像取得工程
Ｓａ１ 投入セクション
Ｓａ２ ズレ検知セクション
Ｓａ３ 正面撮像セクション
Ｓａ４ 上面撮像セクション
Ｓａ５ 背面撮像セクション
Ｓａ６ 搬出セクション
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】