特開 2022-179066 シート電気抵抗測定器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022179066

(43)【公開日】2022-12-02

(54)【発明の名称】シート電気抵抗測定器

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/067 20060101AFI20221125BHJP

   G01R 1/073 20060101ALI20221125BHJP

   G01R 27/02 20060101ALI20221125BHJP

【ＦＩ】

G01R1/067 C

G01R1/073 A

G01R27/02 R

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021086308

(22)【出願日】2021-05-21

(71)【出願人】

【識別番号】000005496

【氏名又は名称】富士フイルムビジネスイノベーション株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001519

【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】湯川 浩平

(72)【発明者】

【氏名】尾形 健太

【テーマコード（参考）】

2G011

2G028

【Ｆターム（参考）】

2G011AA10

2G011AB01

2G011AC14

2G011AE00

2G028BC01

2G028HN01

2G028HN08

2G028HN09

2G028KQ02

(57)【要約】

【課題】電極だけでシートと接触する場合と比較し、シートのしわの発生を抑制する。
【解決手段】シート電気抵抗測定器１０は、シートＰを両面から挟む第一筐体２０及び第二筐体２２と、第一筐体２０に設けられ第二筐体２２との間にシートＰを挟みシートＰの電気抵抗を測定する一対の電極５０と、第一筐体２０における一対の電極５０の間に設けられシートＰに接触する接触部材１５０と、を備えている。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

シートを両面から挟む一対の筐体と、
一方の前記筐体に設けられ、他方の前記筐体との間に前記シートを挟み前記シートの電気抵抗を測定する一対の電極と、
一方の前記筐体における一対の前記電極の間に設けられ、前記シートに接触する接触部材と、
を備えたシート電気抵抗測定器。

【請求項2】

前記接触部材は、弾性体で構成されている又は弾性体を介して一方の前記筐体に取り付けられていると共に前記シートに接触する前は前記電極よりも他方の前記筐体側に突出している、
請求項１に記載のシート電気抵抗測定器。

【請求項3】

前記接触部材は、前記電極よりも他方の前記筐体側に突出し、
他方の前記筐体には、前記接触部材に対応する部位に凹部が形成されている、
請求項１に記載のシート電気抵抗測定器。

【請求項4】

前記電極で電気抵抗を測定中は、前記接触部材を前記シートから隔離させる隔離機構を有している、
請求項１又は請求項２に記載のシート電気抵抗測定器。

【請求項5】

他方の前記筐体は、上面に前記シートが載せられ、
一方の前記筐体を他方の前記筐体の上面に対して上方から下方に移動する移動機構を有している、
請求項１～請求項４のいずれか１項に記載のシート電気抵抗測定器。

【請求項6】

前記移動機構は、他方の前記筐体の上面に対して垂直方向に一方の前記筐体を移動させるガイド機構を有している、
請求項５に記載のシート電気抵抗測定器。

【請求項7】

前記移動機構は、一方の前記筐体の端部が他方の前記筐体の端部に設けられた回転軸を中心に回転する回転機構を有している、
請求項５に記載のシート電気抵抗測定器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート電気抵抗測定器に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、４端子法を用いて薄膜のシート抵抗測定を行う際に用いる測定用端子と、この測定端子を用いた測定リードに関する技術が開示されている。この先行技術では、測定用端子は、測定した電圧値を電流値で除したものと薄膜のシート抵抗値とが等しくなるように４本の測定用端子位置を固定してある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１１－１３７７７４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

二つの電極と筐体との間にシートを挟んで電気抵抗を測定する場合、シートを設置した際又はシートに電極を接触させた際にシートにしわ又は折れ等が生じると、電気抵抗の測定精度が低下する虞がある。

【0005】

電極だけでシートと接触する場合と比較し、シートのしわの発生を抑制することが目的である。

【課題を解決するための手段】

【0006】

第一態様は、シートを両面から挟む一対の筐体と、一方の前記筐体に設けられ、他方の前記筐体との間に前記シートを挟み前記シートの電気抵抗を測定する一対の電極と、一方の前記筐体における一対の前記電極の間に設けられ、前記シートに接触する接触部材と、を備えたシート電気抵抗測定器である。

【0007】

第二態様は、前記接触部材は、弾性体で構成されている又は弾性体を介して一方の前記筐体に取り付けられていると共に前記シートに接触する前は前記電極よりも他方の前記筐体側に突出している、第一態様に記載のシート電気抵抗測定器である。

【0008】

第三態様は、前記接触部材は、前記電極よりも他方の前記筐体側に突出し、他方の前記筐体には、前記接触部材に対応する部位に凹部が形成されている、第一態様に記載のシート電気抵抗測定器である。

【0009】

第四態様は、前記電極で電気抵抗を測定中は、前記接触部材を前記シートから隔離させる隔離機構を有している、第一態様又は第二態様に記載のシート電気抵抗測定器である。

【0010】

第五態様は、他方の前記筐体は、上面に前記シートが載せられ、一方の前記筐体を他方の前記筐体の上面に対して上方から下方に移動する移動機構を有している、第一態様～第四態様のいずれか一態様に記載のシート電気抵抗測定器である。

【0011】

第六態様は、前記移動機構は、他方の前記筐体の上面に対して垂直方向に一方の前記筐体を移動させるガイド機構を有している、第五態様に記載のシート電気抵抗測定器である。

【0012】

第七態様は、前記移動機構は、一方の前記筐体の端部が他方の前記筐体の端部に設けられた回転軸を中心に回転する回転機構を有している、第五態様に記載のシート電気抵抗測定器である。

【発明の効果】

【0013】

第一態様のシート電気抵抗測定器によれば、電極だけでシートと接触する場合と比較し、シートのしわの発生を抑制することができる。

【0014】

第二態様のシート電気抵抗測定器によれば、接触部材が電極と面一である場合と比較し、シートのしわの発生を抑制することができる。

【0015】

第三態様のシート電気抵抗測定器によれば、接触部材が電極と面一である場合と比較し、シートのしわの発生を抑制することができる。

【0016】

第四態様のシート電気抵抗測定器によれば、電極で電気抵抗を測定中に接触部材がシートに接触している場合と比較し、接触部材を構成する材料の選択範囲が広くなる。

【0017】

第五態様のシート電気抵抗測定器によれば、一方の筐体が他方の筐体に対して横方向に移動する場合と比較し、シートのしわの発生を抑制することができる。

【0018】

第六態様のシート電気抵抗測定器によれば、他方の筐体の上面に対して斜めに一方の筐体を移動させる場合と比較し、シートのしわの発生を抑制することができる。

【0019】

第七態様のシート電気抵抗測定器によれば、他方の筐体の上面に対して垂直方向に一方の筐体が移動する場合と比較し、機構が簡易である。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】第一実施形態のシート電気抵抗測定器の斜視図である。

【図2】第一実施形態のシート電気抵抗測定器を上方から見た平面図である。

【図3】第一実施形態のシート電気抵抗測定器をＹ方向から見た側面図であり、（Ａ）は第一筐体が第二筐体から離れた状態の図であり、（Ｂ）は第一筐体が第二筐体に接近しシートの電気抵抗を測定している状態の図である。

【図4】第一実施形態のシート電気抵抗測定器のブロック図である。

【図5】第二実施形態のシート電気抵抗測定器をＹ方向から見た側面図であり、（Ａ）は第一筐体が第二筐体から離れた状態の図であり、（Ｂ）は第一筐体が第二筐体に接近した状態の図であり、（Ｃ）は接触部材がシートから離れシートの電気抵抗を測定している状態の図である。

【図6】第二実施形態のシート電気抵抗測定器のブロック図である。

【図7】第三実施形態のシート電気抵抗測定器をＹ方向から見た側面図であり、（Ａ）は第一筐体が第二筐体から離れた状態の図であり、（Ｂ）は第一筐体が第二筐体に接近しシートの電気抵抗を測定している状態の図である。

【図8】第三実施形態のシート電気抵抗測定器のブロック図である。

【図9】第四実施形態のシート電気抵抗測定器をＹ方向から見た側面図であり、（Ａ）は第一筐体が第二筐体から離れた状態の図であり、（Ｂ）は第一筐体が第二筐体に接近しシートの電気抵抗を測定している状態の図である。

【図10】第四実施形態のシート電気抵抗測定器のブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

＜第一実施形態＞
本発明の第一実施形態のシート電気抵抗測定器について説明する。なお、各図における水平方向の直交する二方向をＸ方向及びＹ方向とし、それぞれ矢印Ｘ及び矢印Ｙで示している。また、Ｘ方向とＹ方向とに直交する鉛直方向をＺ方向とし、矢印Ｚで示している。

【0022】

［構造］
シート電気抵抗測定器の構造について説明する。

【0023】

図１に示すシート電気抵抗測定器１０は、用紙等のシートＰの電気抵抗を測定する測定器である。シート電気抵抗測定器１０は、シートＰが挟まる隙間１４が形成された筐体１２を有している。筐体１２は、第一筐体２０と第二筐体２２とを有して構成されている。第二筐体２２のＸ方向の端部には突出部２１が設けられている。本実施形態のシート電気抵抗測定器１０は、図示されていない作業台等の上に、第二筐体２２が下側となって設置されて使用される。

【0024】

図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すように、シート電気抵抗測定器１０は、第一筐体２０が第二筐体２２に対して上下方向に移動可能とする移動機構１００を有している。この移動機構１００によって、シート電気抵抗測定器１０は、第一筐体２０が第二筐体２２に対して接近（図３（Ｂ）を参照）及び離間（図３（Ａ）参照）するように構成されている。移動機構１００は、ガイド機構１０８及びコイルバネ１１６を有して構成されている。ガイド機構１０８は、棒状のガイド１１０と挿通孔１２０とを有して構成されている。

【0025】

図１、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すように、第二筐体２２には上面２２Ａから突出する複数、本実施形態では四本の棒状のガイド１１０が設けられ、第一筐体２０には棒状のガイド１１０が挿通する複数の挿通孔１２０（図３（Ａ）及び図３（Ｂ）参照）が形成されている。ガイド１１０の先端部には、挿通孔１２０（図３（Ａ）及び図３（Ｂ）参照）よりも大きい頭部１１２が設けられている。また、棒状のガイド１１０は、コイルバネ１１６（図３（Ａ）及び図３（Ｂ）参照）に挿通されている。

【0026】

このような構成により、第一筐体２０は、第二筐体２２に対して離間する方向、つまり上方に押されているが（図３（Ａ）参照）、矢印Ｆで示すように、測定者Ｓ（図１参照）が第一筐体２０を第二筐体２２側に押すと、つまり下方に押すとガイド１１０に沿って鉛直方向下方に移動して、第二筐体２２に接近する（図１及び図３（Ｂ）参照）。

【0027】

図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すように、第一筐体２０の端部２０Ｂには、レバー１３２を有するスイッチ１３０が設けられている。図３（Ａ）に示すように、第一筐体２０が第二筐体２２に対して離間した状態ではスイッチ１３０はオフとなっている。しかし、図３（Ｂ）に示すように、測定者Ｓ（図１参照）が第一筐体２０を第二筐体２２側に押して鉛直方向下方に移動して、第一筐体２０が第二筐体２２に接近した状態となると、スイッチ１３０のレバー１３２が突出部２１に当たり、スイッチ１３０がオンになるようになっている。

【0028】

図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すように、第二筐体２２の上面２２Ａは、シートＰが設置される設置面となっている（図１も参照）。第一筐体２０には、Ｘ方向に間隔をあけて電極５０が下面２０Ａから第二筐体２２側に突出するように設けられている（図２も参照）。二つの電極５０の間には、接触部材１５０が設けられている（図２も参照）。本実施形態の接触部材１５０は、絶縁性で弾性変形する材料、本実施形態では絶縁性のゴム材で構成されている。なお、「絶縁性」とは、電気を通しにくい性質のことであり、体積抵抗率が概ね１×１０＾６Ωｃｍ以上の範囲を意味する。

【0029】

図３（Ａ）に示すように、第一筐体２０が第二筐体２２から離間した状態では、接触部材１５０は、電極５０よりも第二筐体２２側に突出している。つまり、接触部材１５０の下面１５０Ａは、電極５０の下面５０Ａよりも下方に位置している。

【0030】

図４に示すように、シート電気抵抗測定器１０は、制御装置１９０を有している。制御装置１９０には、スイッチ１３０（図３（Ａ）及び図３（Ｂ）参照）及び電極５０（図２、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）参照）が電気的に接続されている。制御装置１９０は、二つの電極５０の間のシートＰの電気抵抗を測定する機能を有している。

【0031】

制御装置１９０のハードウェア構成は、図示していないＣＰＵ（Central Processing Unit）、各処理ルーチンを実現するためのプログラム等を記憶したＲＯＭ（Read Only Memory）、データを一時的に記憶するＲＡＭ（Random Access Memory）、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）及びネットワークインタフェース等を含んだコンピュータによって構成されている。

【0032】

［シートの電気抵抗の測定］
次に、シートＰの電気抵抗の測定について説明する。

【0033】

図１及び図３（Ａ）に示すように、測定者Ｓ（図１参照）が、シート電気抵抗測定器１０の第二筐体２２の上面２２ＡにシートＰを設置する。その際、シートＰの先端部ＰＡを突出部２１の側面に突き当てて位置決めする。

【0034】

図３（Ｂ）に示すように、測定者Ｓ（図１参照）が上方から第一筐体２０を押してシートＰの上面に電極５０を接触させる。なお、電極５０よりも下方に突出している接触部材１５０がシートＰに先に接触する。接触部材１５０はゴム製であるので、接触後、弾性変形して圧縮され、電極５０がシートＰに接触する。つまり、電極５０の下面５０Ａ及び接触部材１５０の下面１５０Ａと、第二筐体２２の上面２２Ａと、の間にシートＰが挟まれる。また、スイッチ１３０がオンになる。

【0035】

制御装置１９０（図４参照）は、スイッチ１３０がオンになって予め設定された時間が経過すると、シートＰに接触した二つの電極５０の間の電気抵抗を測定する。なお、本実施形態では、二つの電極５０の間のシートＰの表面抵抗を測定する。測定されたシートＰの電気抵抗は、図示していない表示部に表示される。

【0036】

［作用］
次に、本実施形態の作用について説明する。

【0037】

本実施形態のシート電気抵抗測定器１０では、シートＰの上面に電極５０が接触する前に、電極５０の間に設けられた接触部材１５０がシートＰに先に接触する。接触部材１５０は、接触後に弾性変形して圧縮されることで、シートＰに電極５０が接触する。

【0038】

ここで、接触部材１５０を有していない比較例のシート電気抵抗測定器の場合、シートＰを第二筐体２２の上面２２ＡにシートＰを設置した際又はシートＰに電極が接触した際に、シートＰにしわが発生し、電気抵抗の測定精度が低下する虞がある。

【0039】

これに対して、本実施形態のシート電気抵抗測定器１０は、二つの電極５０の間に設けられた接触部材１５０がシートＰに接触し、シートＰのしわの発生を抑制する。よって、電極５０だけでシートＰと接触する場合と比較し、シートＰのしわの発生を抑制することができる。

【0040】

また、本実施形態のシート電気抵抗測定器１０は、二つの電極５０の間に設けられた接触部材１５０は電極５０よりも下方に突出しているので、接触部材１５０がシートＰに先に接触し、シートＰのしわの発生を抑制したのち、電極５０がシートＰに接触する。よって、接触部材１５０が電極５０と面一、つまり接触部材１５０が電極５０と同時にシートＰに接触する場合と比較し、シートＰのしわの発生を抑制することができる。

【0041】

また、本実施形態のシート電気抵抗測定器１０は、図示されていない作業台等の上に、第二筐体２２が下側となって設置され、第二筐体２２の上面２２ＡにシートＰが載せられる。そして、移動機構１００によって、上側の第一筐体２０を第二筐体２２の上面２２Ａに対して上方から下方に移動して、シートＰに電極５０及び接触部材１５０を接触させる。よって、第一筐体２０を第二筐体２２に対して横方向に移動する場合と比較し、シートＰのしわの発生を抑制することができる。

【0042】

また、本実施形態のシート電気抵抗測定器１０は、ガイド機構１０８によって、第二筐体２２の上面２２Ａに対して垂直方向に第一筐体２０が移動する。よって、第一筐体２０が第二筐体２２の上面２２Ａに対して斜めに移動する場合と比較し、シートＰのしわの発生を抑制することができる。

【0043】

このように、シートＰのしわの発生が抑止されるので、シートＰにしわが発生することに起因する電気抵抗の測定精度の低下が抑制される。

【0044】

＜第二実施形態＞
本発明の第二実施形態のシート電気抵抗測定器について説明する。なお、第一実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、重複する説明は省略又は簡略化する。

【0045】

［構造］
シート電気抵抗測定器の構造について説明する。

【0046】

図５（Ａ）、図５（Ｂ）及び図５（Ｃ）に示すシート電気抵抗測定器１１は、用紙等のシートＰの電気抵抗を測定する測定器である。

【0047】

第二筐体２２の上面２２Ａは、シートＰが設置される設置面となっている。第一筐体２０には、Ｘ方向に間隔をあけて電極５０が下面２０Ａから第二筐体２２側に突出するように設けられている。二つの電極５０の間には、接触部材１５５が設けられている。本実施形態の接触部材１５５は、導電性の材料、本実施形態では金属で構成されている。なお、接触部材１５５は、電気的に接地されている。また、「導電性」とは、電気を通しやすい性質のことであり、体積抵抗率で概ね１×１０＾－３ｃｍ以下の範囲を意味する。

【0048】

図５（Ａ）に示すように、第一筐体２０が第二筐体２２から離間した状態では、接触部材１５５の下面１５５Ａと電極５０の下面５０Ａとは面一になっている。

【0049】

図５（Ｃ）に示すように、接触部材１５５は、隔離機構１５４（図６参照）によって、上方に移動して上部側が第一筐体２０内に格納するように構成されている。隔離機構１５４は、どのような機構であってもよいが、本実施形態では、ソレノイドによって接触部材１５５が上下する機構とされている。

【0050】

図６に示すように、シート電気抵抗測定器１１は、制御装置１９０を有している。制御装置１９０には、スイッチ１３０（図５（Ａ）、図５（Ｂ）及び図５（Ｃ）参照）、電極５０（図５（Ａ）、図５（Ｂ）及び図５（Ｃ）参照）及び隔離機構１５４が電気的に接続されている。

【0051】

［シートの電気抵抗の測定］
次に、シートＰの電気抵抗の測定について説明する。

【0052】

図５（Ａ）に示すように、シート電気抵抗測定器１１の第二筐体２２の上面２２ＡにシートＰを設置する。その際、シートＰの先端部ＰＡを突出部２１の側面に突き当てて位置決めする。

【0053】

図５（Ｂ）に示すように、測定者Ｓ（図１参照）が上方から第一筐体２０を押してシートＰの上面に電極５０及び接触部材１５５を接触させる。つまり、電極５０の下面５０Ａ及び接触部材１５５の下面１５５Ａと、第二筐体２２の上面２２Ａとの間にシートＰが挟まれる。また、スイッチ１３０がオンになる。

【0054】

制御装置１９０（図４参照）は、スイッチ１３０がオンになって予め設定された時間が経過すると、図５（Ｃ）に示すように、まず隔離機構１５４を制御して、接触部材１５５を上方に移動させてシートＰから離し、上部側を第一筐体２０内に格納させる。

【0055】

制御装置１９０は、接触部材１５５が上方に移動したのち、シートＰに接触した二つの電極５０の間の電気抵抗を測定する。なお、本実施形態では、二つの電極５０の間のシートＰの表面抵抗を測定する。測定されたシートＰの電気抵抗は、図示していない表示部に表示される。

【0056】

なお、測定後、第一筐体２０が上方に移動してスイッチ１３０がオフになると、制御装置１９０は、隔離機構１５４を制御して接触部材１５５を図５（Ａ）の位置に戻す。

【0057】

［作用］
次に、本実施形態の作用について説明する。

【0058】

本実施形態のシート電気抵抗測定器１１では、シートＰの上面に電極５０が接触すると共に電極５０の間に設けられた接触部材１５５がシートＰに接触する。このように、二つの電極５０の間に設けられた接触部材１５５がシートＰに接触し、シートＰのしわの発生を抑制するので、電極５０だけでシートＰと接触する場合と比較し、シートＰのしわの発生を抑制することができる。

【0059】

また、本実施形態のシート電気抵抗測定器１０は、図示されていない作業台等の上に、第二筐体２２が下側となって設置され、第二筐体２２の上面２２ＡにシートＰが載せられる。そして、移動機構１００によって、上側の第一筐体２０を第二筐体２２の上面２２Ａに対して上方から下方に移動して、シートＰに電極５０及び接触部材１５０を接触させる。よって、第一筐体２０を第二筐体２２に対して横方向に移動する場合と比較し、シートＰのしわの発生を抑制することができる。

【0060】

また、本実施形態のシート電気抵抗測定器１０は、ガイド機構１０８によって、第二筐体２２の上面２２Ａに対して垂直方向に第一筐体２０が移動する。よって、第一筐体２０が第二筐体２２の上面２２Ａに対して斜めに移動する場合と比較し、シートＰのしわの発生を抑制することができる。

【0061】

このように、シートＰのしわの発生が抑止されるので、シートＰにしわが発生することに起因する電気抵抗の測定精度の低下が抑制される。

【0062】

また、本実施形態のシート電気抵抗測定器１１は、二つの電極５０の間に設けられた接触部材１５５は、電極５０がシートＰの電気抵抗を測定中は、シートＰから離れている。

【0063】

よって、電極５０で電気抵抗を測定中に接触部材がシートＰに接触している場合と比較し、接触部材を構成する材料の選択範囲が広くなる。例えば、本実施形態のように接触部材１５５を、導電性を有する金属で構成することが可能になる。なお、接触部材１５５を導電性とし、電気的に接地させることで、例えば、シートＰの表面が除電され、電気抵抗の測定精度が向上する。

【0064】

＜第三実施形態＞
本発明の第三実施形態のシート電気抵抗測定器について説明する。なお、第一実施形態及び第二実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、重複する説明は省略又は簡略化する。

【0065】

［構造］
シート電気抵抗測定器の構造について説明する。

【0066】

図７（Ａ）及び図５（Ｂ）に示すシート電気抵抗測定器１３は、用紙等のシートＰの電気抵抗を測定する測定器である。

【0067】

第一筐体２０には、Ｘ方向に間隔をあけて電極５０が下面２０Ａから第二筐体２２側に突出するように設けられている。二つの電極５０の間には、接触部材２５０が設けられている。本実施形態の接触部材２５０は、絶縁性の材料、本実施形態では合成樹脂で構成されている。

【0068】

接触部材２５０は、電極５０よりも第二筐体２２側に突出している。つまり、接触部材２５０の下面２５０Ａは、電極５０の下面５０Ａよりも下方に位置している。

【0069】

第二筐体２２の上面２２Ａは、シートＰが設置される設置面となっている。第二筐体２２の上面２２Ａにおける接触部材２５０に対応する部位には、凹部２００が形成されている。

【0070】

図８に示すように、シート電気抵抗測定器１３は、制御装置１９０を有している。制御装置１９０には、スイッチ１３０（図７（Ａ）及び図７（Ｂ）参照）及び電極５０（図７（Ａ）及び図７（Ｂ）参照）が電気的に接続されている。

【0071】

［シートの電気抵抗の測定］
次に、シートＰの電気抵抗の測定について説明する。

【0072】

図７（Ａ）に示すように、シート電気抵抗測定器１３の第二筐体２２の上面２２ＡにシートＰを設置する。その際、シートＰの先端部ＰＡを突出部２１の側面に突き当てて位置決めする。

【0073】

図７（Ｂ）に示すように、測定者Ｓ（図１参照）が上方から第一筐体２０を押してシートＰの上面に電極５０を接触させる。その際、電極５０よりも下方に突出している接触部材２５０がシートＰに先に接触する。シートＰは、接触部材２５０に押されて湾曲し、湾曲部ＰＢが第二筐体２２の上面２２Ａの凹部２００に入る。電極５０の下面５０Ａ下面１５５Ａと第二筐体２２の上面２２Ａとの間にシートＰが挟まれる。また、スイッチ１３０がオンになる。

【0074】

制御装置１９０（図８参照）は、スイッチ１３０がオンになって予め設定された時間が経過すると、シートＰに接触した二つの電極５０の間の電気抵抗を測定する。なお、本実施形態では、二つの電極５０の間のシートＰの表面抵抗を測定する。測定されたシートＰの電気抵抗は、図示していない表示部に表示される。

【0075】

［作用］
次に、本実施形態の作用について説明する。

【0076】

本実施形態のシート電気抵抗測定器１３では、シートＰの上面に電極５０が接触する前に、電極５０の間に設けられた接触部材２５０がシートＰに先に接触する。シートＰは、接触部材２５０に押されて湾曲し、湾曲部ＰＢが第二筐体２２の上面２２Ａの凹部２００に入る。

【0077】

このように、二つの電極５０の間に設けられた接触部材２５０がシートＰに接触し、シートＰのしわの発生を抑制する。よって、電極５０だけでシートＰと接触する場合と比較し、シートＰのしわの発生を抑制することができる。

【0078】

また、本実施形態のシート電気抵抗測定器１０は、二つの電極５０の間に設けられた接触部材１５０は電極５０よりも下方に突出しているので、接触部材２５０がシートＰに先に接触し、シートＰのしわの発生を抑制したのち、電極５０がシートＰに接触する。よって、接触部材１５０が電極５０と面一、つまり接触部材１５０が電極５０と同時にシートＰに接触する場合と比較し、シートＰのしわの発生を抑制することができる。

【0079】

ここで、本実施形態では、シートＰは、接触部材２５０に押されて湾曲し、湾曲部ＰＢが第二筐体２２の上面２２Ａの凹部２００に入っている。このように、接触部材２５０に押されてシートＰが湾曲することで、シートＰのしわの発生が効果的に抑制される。

【0080】

また、本実施形態のシート電気抵抗測定器１３は、図示されていない作業台等の上に、第二筐体２２が下側となって設置され、第二筐体２２の上面２２ＡにシートＰが載せられる。そして、移動機構１００によって、上側の第一筐体２０を第二筐体２２の上面２２Ａに対して上方から下方に移動して、シートＰに電極５０及び接触部材２５０を接触させる。よって、第一筐体２０を第二筐体２２に対して横方向に移動する場合と比較し、シートＰのしわの発生を抑制することができる。

【0081】

また、本実施形態のシート電気抵抗測定器１０は、ガイド機構１０８によって、第二筐体２２の上面２２Ａに対して垂直方向に第一筐体２０が移動する。よって、第一筐体２０が第二筐体２２の上面２２Ａに対して斜めに移動する場合と比較し、シートＰのしわの発生を抑制することができる。

【0082】

このように、シートＰのしわの発生が抑止されるので、シートＰにしわが発生することに起因する電気抵抗の測定精度の低下が抑制される。なお、本実施形態では、シートＰに湾曲ＰＢが形成される。しかし、湾曲部ＰＢの形状は一定又は略一定であるので、湾曲部ＰＢが形成されることによる測定精度への影響は無い又は影響があったとしても無視できる程度に小さい。

【0083】

＜第四実施形態＞
本発明の第四実施形態のシート電気抵抗測定器について説明する。なお、第一実施形態、第二実施形態及び第三実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、重複する説明は省略又は簡略化する。

【0084】

［構造］
シート電気抵抗測定器の構造について説明する。

【0085】

図９（Ａ）及び図９（Ｂ）に示すシート電気抵抗測定器１５は、用紙等のシートＰの電気抵抗を測定する測定器である。シート電気抵抗測定器１０は、シートＰが挟まる隙間３１４が形成された筐体３１２を有している。筐体３１２は、第一筐体３２０と第二筐体３２２とを有して構成されている。第一筐体３２０のＸ方向の端部には突出部３２１が設けられている。本実施形態のシート電気抵抗測定器１５は、図示されていない作業台等の上に、第二筐体３２２が下側となって設置されて使用される。

【0086】

シート電気抵抗測定器１５は、第一筐体３２０の端部の突出部３２１が第二筐体２２の端部３２２Ｂ対して回転軸３５０を軸芯として回転して開閉する回転機構３００を有している。

【0087】

第二筐体３２２の端部３２２Ｂには、レバー１３２を有するスイッチ１３０が設けられている。図９（Ａ）に示すように、第一筐体３２０が第二筐体３２２に対して開いた状態ではスイッチ１３０はオフとなっている。しかし、図９（Ｂ）に示すように、測定者Ｓ（図１参照）が第一筐体３２０を第二筐体３２２側に回転させ閉じると、スイッチ１３０のレバー１３２が突出部３２１の側面３２１Ａに当たり、スイッチ１３０がオンになるようになっている。

【0088】

図９（Ａ）及び図９（Ｂ）に示すように、第二筐体３２２の上面３２２Ａは、シートＰが設置される設置面となっている。

【0089】

また、第一筐体３２０には、Ｘ方向に間隔をあけて電極５０が下面２０Ａから第二筐体２２側に突出するように設けられている。二つの電極５０の間には、第一実施形態と同様に接触部材１５０が設けられている。

【0090】

図１０に示すように、シート電気抵抗測定器１５は、制御装置１９０を有している。制御装置１９０には、スイッチ１３０（図９（Ａ）及び図９（Ｂ）参照）及び電極５０（図９（Ａ）及び図９（Ｂ）参照）が電気的に接続されている。

【0091】

［シートの電気抵抗の測定］
次に、シートＰの電気抵抗の測定について説明する。

【0092】

図９（Ａ）に示すように、シート電気抵抗測定器１０の第二筐体２２の上面２２ＡにシートＰを設置する。

【0093】

図９（Ｂ）に示すように、測定者Ｓ（図１参照）が第一筐体３２０を閉じてシートＰの上面に電極５０を接触させる。その際、電極５０よりも下方に突出している接触部材１５０がシートＰに先に接触する。接触部材１５０はゴム製であるので、接触後、弾性変形して圧縮され、電極５０がシートＰに接触する。つまり、電極５０の下面５０Ａ及び接触部材１５０の下面１５０Ａと、第二筐体２２の上面２２Ａとの間にシートＰが挟まれる。また、スイッチ１３０がオンになる。

【0094】

制御装置１９０（図１０参照）は、スイッチ１３０がオンになってから予め設定された時間が経過すると、シートＰに接触した二つの電極５０の間の電気抵抗を測定する。なお、本実施形態では、二つの電極５０の間のシートＰの表面抵抗を測定する。測定されたシートＰの電気抵抗は、図示していない表示部に表示される。

【0095】

［作用］
次に、本実施形態の作用について説明する。

【0096】

本実施形態のシート電気抵抗測定器１５では、シートＰの上面に電極５０が接触する前に、電極５０の間に設けられた接触部材１５０がシートＰに先に接触する。接触部材１５０は、接触後に弾性変形して圧縮されることで、シートＰに電極５０が接触する。このように、二つの電極５０の間に設けられた接触部材１５０がシートＰに接触することで、シートＰのしわの発生を抑制する。よって、電極５０だけでシートＰと接触する場合と比較し、シートＰのしわの発生を抑制することができる。

【0097】

また、本実施形態のシート電気抵抗測定器１５は、二つの電極５０の間に設けられた接触部材１５０は電極５０よりも下方に突出しているので、接触部材１５０がシートＰに先に接触し、シートＰのしわの発生を抑制したのち、電極５０がシートＰに接触する。よって、接触部材１５０が電極５０と面一、つまり接触部材１５０が電極５０と同時にシートＰに接触する場合と比較し、シートＰのしわの発生を抑制することができる。

【0098】

また、本実施形態のシート電気抵抗測定器１５は、図示されていない作業台等の上に、第二筐体２２が下側となって設置され、第二筐体２２の上面２２ＡにシートＰが載せられる。そして、回転機構３００によって、上側の第一筐体２０を第二筐体２２の上面２２Ａに対して上方から下方に移動して、シートＰに電極５０及び接触部材１５０を接触させる。よって、第一筐体２０を第二筐体２２に対して横方向に移動する場合と比較し、シートＰのしわの発生を抑制することができる。

【0099】

このように、シートＰのしわの発生が抑止されるので、シートＰにしわが発生することに起因する電気抵抗の測定精度の低下が抑制される。

【0100】

また、シート電気抵抗測定器１５は、第一筐体３２０の端部の突出部３２１が第二筐体２２の端部３２２Ｂ対して回転軸３５０を軸芯として回転することで、第一筐体３２０が第二筐体３２２の上面３２２Ａに接近する。よって、例えば、第一筐体３２０が第二筐体３２２の上面３２２Ａに対して垂直方向に移動する場合と比較し、機構が簡易である。

【0101】

＜その他＞
尚、本発明は、上記実施形態に限定されない。

【0102】

例えば、上記実施形態では、二つの電極５０はＸ方向に間隔をあけて設けられていたが、これに限定されるものではない。例えば、二つの電極５０がＹ方向に間隔をあけて設けられていてもよい。

【0103】

例えば、第一実施形態、第三実施形態及び第四実施形態のように、接触部材１５０、２５０が絶縁性である場合は、接触部材１５０、２５０と電極５０との側面同士が接触していてもよい。なお、接触部材のＸ方向の長さ、Ｙ方向の長さ及び平面形状は、適宜設定すればよい。また、二つの電極５０の間に、複数の接触部材が設けられていてもよい。

【0104】

また、例えば第一実施形態及び第四実施形態では、接触部材１５０は、弾性体で構成されていたが、これに限定されるものではない。非弾性体の接触部材が、ゴム、ばね及びエアクッション体等の弾性体を介して第一筐体２０、３２０に取り付けられていてもよい。

【0105】

また、上記実施形態の構成に限られず種々の構成とすることが可能である。更に、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施し得る。

【符号の説明】

【0106】

１０ シート電気抵抗測定器
１１ シート電気抵抗測定器
１３ シート電気抵抗測定器
１５ シート電気抵抗測定器
２０ 第一筐体（一方の筐体の一例）
２２ 第二筐体（他方の筐体の一例）
２２Ａ 上面
５０ 電極
１００ 移動機構
１０８ ガイド機構
１５０ 接触部材
１５５ 接触部材
２００ 凹部
２５０ 接触部材
３００ 回転機構
３２０ 第一筐体（一方の筐体の一例）
３２２ 第二筐体（他方の筐体の一例）
３２２Ａ 上面
Ｐ シート

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】