特開2022-179212IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

半導体装置

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】半導体装置では、トランジスタ部のダイオード部と隣接する境界領域において、閾値電圧が低下するという問題がある。
【解決手段】半導体装置は、活性領域および外周領域を有する半導体基板を備え、活性領域はトランジスタ部およびダイオード部を有し、外周領域は電流センス部を有し、ライフタイムキラーを含むライフタイム制御領域が、ダイオード部からトランジスタ部の少なくとも一部にわたって設けられ、電流センス部は、ライフタイム制御領域が設けられていないセンストランジスタ非照射領域と、ライフタイム制御領域が設けられたセンストランジスタ照射領域とを有する。
【選択図】図3B

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

このような半導体装置では、トランジスタ部のダイオード部と隣接する境界領域において、閾値電圧が低下するという問題がある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の第1の態様においては、半導体装置を提供する。半導体装置は、活性領域および外周領域を有する半導体基板を備え、活性領域はトランジスタ部およびダイオード部を有し、外周領域は電流センス部を有し、ライフタイムキラーを含むライフタイム制御領域が、ダイオード部からトランジスタ部の少なくとも一部にわたって設けられ、電流センス部は、ライフタイム制御領域が設けられていないセンストランジスタ非照射領域と、・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 半導体装置100の上面の一例を示す図である。
【図2A】 図1の領域Aを拡大した上面図である。
【図2B】 図2Aのa-a'断面を示す図である。
【図3A】 電流センス部210の近傍を拡大した上面図である。
【図3B】 図3Aのa-a'断面を示す図である。
【図3C】 図3Aのb-b'断面を示す図である。
【図4A】 センストランジスタ非照射領域218およびセンストランジスタ照射領域220の配置の一例を説明するための図である。
【図4B】 センストランジスタ非照射領域218およびセンストランジスタ照射領域220の配置の一例を説明するための図である。
【図4C】 センストランジスタ非照射領域218およびセンストランジスタ照射領域220の配置の一例を説明するための図である。
【図4D】 センストランジスタ非照射領域218およびセンストランジスタ照射領域220の配置の一例を説明するための図である。
【図4E】 センストランジスタ非照射領域218およびセンストランジスタ照射領域220の配置の一例を説明するための図である。
【図4F】 図4Eのa-a'断面の一例を示す図である。
【図4F-1】 図4Eのa-a'断面の一例を示す図である。
【図4F-2】 図4Eのa-a'断面の一例を示す図である。
【図4F-3】 図4Eのa-a'断面の一例を示す図である。
【図4F-4】 図4Eのa-a'断面の一例を示す図である。
【図4G】 センストランジスタ非照射領域218およびセンストランジスタ照射領域220の配置の一例を説明するための図である。
【図4H】 図4Gのa-a'断面を示す図である。
【図5A】 センストランジスタ非照射領域218およびセンストランジスタ照射領域220の配置の一例を説明するための図である。
【図5B】 図5Aのc-c'断面図を示す図である。
【図5C】 図5Aのd-d'断面図を示す図である。
【図6A】 電流センス部210の近傍を拡大した上面図である。
【図6B】 図6Aのe-e'断面を示す図である。
【図6C】 図6Aのf-f'断面を示す図である。

選択図 図3B出願人が指定した本件の代表的な図

10・・・半導体基板、11,11a,11b、11c、11d・・・ウェル領域、12・・・エミッタ領域、14・・・ベース領域、15・・・コンタクト領域、16・・・蓄積領域、17・・・プラグ領域、18・・・ドリフト領域、20・・・バッファ領域、21・・・おもて面、22・・・コレクタ領域、23・・・裏面、24・・・コレクタ電極、25・・・接続部、30,30a,30b,30c、30d・・・ダミートレンチ部、31・・・延伸部分、32・・・ダミー絶縁膜、33・・・接続部分、34・・・ダミー導電部、38・・・層間絶縁膜、40・・・ゲートトレンチ部、41・・・延伸部分、42・・・ゲート絶縁膜、43・・・接続部分、44・・・ゲート導電部、48・・・ゲートランナー、49・・・コンタクトホール、50・・・ゲート金属層、52・・・エミッタ電極、53・・・電流センスエミッタ電極、54・・・コンタクトホール、56・・・コンタクトホール、57・・・コンタクトホール、58・・・コンタクトホール、60・・・メサ部、61・・・メサ部、70・・・トランジスタ部、75・・・境界領域、80・・・ダイオード部、82・・・カソード領域、85・・・ライフタイム制御領域、92・・・ガードリング、93・・・分離領域、100・・・半導体装置、102・・・端辺、160・・・活性領域、180・・・外周領域、190・・・エッジ終端領域、210・・・電流センス部、214・・・エミッタ非配置領域、216・・・エミッタ配置領域、216a・・・端部、216b・・・端部、218・・・センストランジスタ非照射領域、220・・・センストランジスタ照射領域、222・・・無効領域、230・・・パッシベーション層、232・・・開口部

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