公報発行日 2022年12月2
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-179212 ログイン済みの方はこのURLへ
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【課題】半導体装置では、トランジスタ部のダイオード部と隣接する境界領域において、閾値電圧が低下するという問題がある。
【解決手段】半導体装置は、活性領域および外周領域を有する半導体基板を備え、活性領域はトランジスタ部およびダイオード部を有し、外周領域は電流センス部を有し、ライフタイムキラーを含むライフタイム制御領域が、ダイオード部からトランジスタ部の少なくとも一部にわたって設けられ、電流センス部は、ライフタイム制御領域が設けられていないセンストランジスタ非照射領域と、ライフタイム制御領域が設けられたセンストランジスタ照射領域とを有する。
【選択図】図3B
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