発明の名称 プログラマブル直接描画装置のためのパターンデータ処理
出願人 アイエムエス ナノファブリケーション アーゲー (識別番号 509316578)
特許公開件数ランキング 12174 位(1件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 9371 位(1件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2022-181200
公報発行日 2022年12月7
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-181200
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