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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022181587
(43)【公開日】2022-12-08
(54)【発明の名称】振動デバイス
(51)【国際特許分類】
B06B 1/06 20060101AFI20221201BHJP
H01L 41/09 20060101ALI20221201BHJP
H01L 41/053 20060101ALI20221201BHJP
【ＦＩ】
B06B1/06 Z
H01L41/09
H01L41/053
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021088619
(22)【出願日】2021-05-26
(71)【出願人】
【識別番号】000003067
【氏名又は名称】ＴＤＫ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100088155
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹
(74)【代理人】
【識別番号】100113435
【弁理士】
【氏名又は名称】黒木 義樹
(74)【代理人】
【識別番号】100124062
【弁理士】
【氏名又は名称】三上 敬史
(72)【発明者】
【氏名】永井 慧大
(72)【発明者】
【氏名】江澤 敦
(72)【発明者】
【氏名】滝 辰哉
(72)【発明者】
【氏名】丸山 俊樹
【テーマコード（参考）】
5D107
【Ｆターム（参考）】
5D107AA04
5D107CC03
5D107CC10
5D107FF10
(57)【要約】
【課題】振動幅がそれぞれ異なる複数の振動デバイスを容易に実現し得る振動デバイスを提供する。
【解決手段】振動デバイスＶＤ１は、第一方向Ｄ１に伸縮する圧電素子１０と、圧電素子１０の伸縮に伴って第一方向Ｄ１に振動する振動体３０とを有する変位体１と、振動体３０と物理的に連結され、振動体３０の振動に伴って第二方向Ｄ２に振動する駆動体５とを備える。駆動体５は、変位体１と第二方向Ｄ２で対向するように変位体１から離間している駆動部５１と、振動体３０の第一方向Ｄ１での両端部３０ｃ，３０ｄのうち対応する端部に連結されている第一端５２ｃ，５３ｃと、駆動部５１の第一方向Ｄ１での両端部５１ｃ，５１ｄのうち対応する端部に連結されている第二端５２ｄ，５３ｄとをそれぞれ有していると共に、第一端５２ｃ，５３ｃから第二端５２ｄ，５３ｄに向かうにつれて変位体１から離間している一対の連結部５２，５３とを有する。
【選択図】図１
【解決手段】振動デバイスＶＤ１は、第一方向Ｄ１に伸縮する圧電素子１０と、圧電素子１０の伸縮に伴って第一方向Ｄ１に振動する振動体３０とを有する変位体１と、振動体３０と物理的に連結され、振動体３０の振動に伴って第二方向Ｄ２に振動する駆動体５とを備える。駆動体５は、変位体１と第二方向Ｄ２で対向するように変位体１から離間している駆動部５１と、振動体３０の第一方向Ｄ１での両端部３０ｃ，３０ｄのうち対応する端部に連結されている第一端５２ｃ，５３ｃと、駆動部５１の第一方向Ｄ１での両端部５１ｃ，５１ｄのうち対応する端部に連結されている第二端５２ｄ，５３ｄとをそれぞれ有していると共に、第一端５２ｃ，５３ｃから第二端５２ｄ，５３ｄに向かうにつれて変位体１から離間している一対の連結部５２，５３とを有する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第一方向に伸縮する圧電素子と、前記圧電素子の伸縮に伴って前記第一方向に振動する振動体と、を有している変位体と、
前記振動体と連結されており、前記振動体の振動に伴って前記第一方向と交差する第二方向に振動する駆動体と、を備え、
前記駆動体は、
前記変位体と前記第二方向で対向するように前記変位体から離間している駆動部と、
前記振動体の前記第一方向での両端部のうち対応する端部に連結されている第一端と、前記駆動部の前記第一方向での両端部のうち対応する端部に連結されている第二端とをそれぞれ有していると共に、前記第一端から前記第二端に向かうにつれて前記変位体から離間している一対の連結部と、有している、振動デバイス。
前記振動体と連結されており、前記振動体の振動に伴って前記第一方向と交差する第二方向に振動する駆動体と、を備え、
前記駆動体は、
前記変位体と前記第二方向で対向するように前記変位体から離間している駆動部と、
前記振動体の前記第一方向での両端部のうち対応する端部に連結されている第一端と、前記駆動部の前記第一方向での両端部のうち対応する端部に連結されている第二端とをそれぞれ有していると共に、前記第一端から前記第二端に向かうにつれて前記変位体から離間している一対の連結部と、有している、振動デバイス。
【請求項2】
前記圧電素子と前記振動体とは接合されている、請求項１に記載の振動デバイス。
【請求項3】
前記振動体と前記一対の連結部とは接合されている、請求項１又は２に記載の振動デバイス。
【請求項4】
前記駆動体は、前記変位体を前記第二方向で挟むように前記変位体の両側に配置されていると共に前記駆動部と前記一対の連結部とをそれぞれ有している第一駆動体と第二駆動体とを含んでいる、請求項１～３のいずれか一項に記載の振動デバイス。
【請求項5】
前記振動体は、前記圧電素子が収容される窪みを有し、
前記窪みは、前記圧電素子の前記第一方向での両端部のうち対応する端部と前記第一方向でそれぞれ対向し、かつ、連結されている一対の面を含んでおり、
前記圧電素子の伸縮が前記一対の面を通して前記振動体に伝わることにより、前記振動体が前記第一方向に振動する、請求項１～４のいずれか一項に記載の振動デバイス。
前記窪みは、前記圧電素子の前記第一方向での両端部のうち対応する端部と前記第一方向でそれぞれ対向し、かつ、連結されている一対の面を含んでおり、
前記圧電素子の伸縮が前記一対の面を通して前記振動体に伝わることにより、前記振動体が前記第一方向に振動する、請求項１～４のいずれか一項に記載の振動デバイス。
【請求項6】
前記振動体は、前記第二方向で互いに対向している一対の主面を有し、
前記圧電素子は、前記振動体を前記第二方向で挟むように前記振動体の両側に配置されている第一圧電素子と第二圧電素子とを含んでいる、請求項１～４のいずれか一項に記載の振動デバイス。
前記圧電素子は、前記振動体を前記第二方向で挟むように前記振動体の両側に配置されている第一圧電素子と第二圧電素子とを含んでいる、請求項１～４のいずれか一項に記載の振動デバイス。
【請求項7】
前記振動体は、前記圧電素子を前記第二方向で挟むように前記圧電素子の両側に配置されている第一振動体と第二振動体とを含んでいる、請求項１～４のいずれか一項に記載の振動デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、振動デバイスに関する。
【背景技術】
【0002】
第一方向に伸縮する圧電素子と、当該圧電素子の伸縮に伴って第一方向と交差する第二方向に振動する駆動体とを備えている振動デバイスが知られている（たとえば、特許文献１参照）。圧電素子と駆動体とは、直接連結されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００３－２５８３３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１に記載された振動デバイスでは、以下の問題点が生じるおそれがある。
圧電素子と駆動体とが直接連結されているので、第二方向での駆動体の振動幅は、圧電素子の大きさ、たとえば、第一方向での長さによって制限される。以下、「第二方向での駆動体の振動幅」は、単に「振動幅」と称されることがある。
振動幅がそれぞれ異なる複数の振動デバイスを実現するためには、得たい振動幅に対応させて、サイズがそれぞれ異なる複数の圧電素子を用意する必要がある。たとえば、第一方向での長さがそれぞれ異なる複数の圧電素子を用意する必要がある。複数の圧電素子を用意することは、振動デバイスのコストアップを招くおそれがある。
振動幅が大きい振動デバイスを実現するためには、サイズが大きい圧電素子を用意する必要がある。しかしながら、サイズが大きい圧電素子は、圧電素子自体の機械的強度が低下するおそれがあり、振動幅が大きい振動デバイスの実現は容易ではない。機械的強度は、たとえば、曲げ強さである。
圧電素子と駆動体とが直接連結されているので、第二方向での駆動体の振動幅は、圧電素子の大きさ、たとえば、第一方向での長さによって制限される。以下、「第二方向での駆動体の振動幅」は、単に「振動幅」と称されることがある。
振動幅がそれぞれ異なる複数の振動デバイスを実現するためには、得たい振動幅に対応させて、サイズがそれぞれ異なる複数の圧電素子を用意する必要がある。たとえば、第一方向での長さがそれぞれ異なる複数の圧電素子を用意する必要がある。複数の圧電素子を用意することは、振動デバイスのコストアップを招くおそれがある。
振動幅が大きい振動デバイスを実現するためには、サイズが大きい圧電素子を用意する必要がある。しかしながら、サイズが大きい圧電素子は、圧電素子自体の機械的強度が低下するおそれがあり、振動幅が大きい振動デバイスの実現は容易ではない。機械的強度は、たとえば、曲げ強さである。
【0005】
本発明の一つの態様は、振動幅がそれぞれ異なる複数の振動デバイスを容易に実現し得る振動デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
一つの態様に係る振動デバイスは、第一方向に伸縮する圧電素子と、圧電素子の伸縮に伴って第一方向に振動する振動体と、を有している変位体と、振動体と連結されており、振動体の振動に伴って第一方向と交差する第二方向に振動する駆動体と、を備えている。駆動体は、変位体と第二方向で対向するように変位体から離間している駆動部と、振動体の第一方向での両端部のうち対応する端部に連結されている第一端と、駆動部の第一方向での両端部のうち対応する端部に連結されている第二端とをそれぞれ有していると共に、第一端から第二端に向かうにつれて変位体から離間している一対の連結部と、を有している。
【0007】
上記一つの態様によれば、一対の連結部は、第一端から第二端に向かうにつれて変位体から離間しており、変位体から一対の連結部に伝わる第一方向の振動を第二方向での駆動体の振動に変換する。駆動体の振動幅は、変位体のサイズに依存する。変位体のサイズは、たとえば、第一方向での長さを含む。変位体は、圧電素子と、圧電素子の伸縮に伴って振動する振動体とを有している。たとえば、互いに異なるサイズを有する複数の振動体が用意される場合、駆動体は、各振動体のサイズに対応する振動幅で第二方向に振動する。したがって、上記一つの態様では、振動幅がそれぞれ異なる複数の振動デバイスが容易に実現し得る。
【0008】
上記一つの態様では、圧電素子と振動体とは接合されていてもよい。圧電素子と振動体とが接合されている場合、圧電素子の伸縮が振動体に確実に伝わる。
【0009】
一つの態様では、振動体と一対の連結部とは接合されてもよい。振動体と一対の連結部とが接合されている場合、振動体の振動が駆動体に確実に伝わる。
【0010】
上記一つの態様では、駆動体は、変位体を第二方向で挟むように変位体の両側に配置されていると共に駆動部と一対の連結部とをそれぞれ有している第一駆動体と第二駆動体とを含んでいてもよい。
駆動体が上記第一及び第二駆動体を含んでいる場合、変位体の第二方向での両側で、第一方向での圧電素子の振動が、第一及び第二駆動体に伝わる。
駆動体が上記第一及び第二駆動体を含んでいる場合、変位体の第二方向での両側で、第一方向での圧電素子の振動が、第一及び第二駆動体に伝わる。
【0011】
上記一つの態様では、振動体は、圧電素子が収容される窪みを有してもよい。窪みは、圧電素子の第一方向での両端部のうち対応する端部と第一方向でそれぞれ対向し、かつ、連結されている一対の面を含んでいてもよい。圧電素子の伸縮が一対の面を通して振動体に伝わることにより、振動体が第一方向に振動してもよい。
圧電素子の伸縮が、窪みが含む上記一対の面を通して振動体に伝わることにより、振動体が第一方向に振動する場合、圧電素子の伸縮が一対の面を通して確実に振動体に伝わる。
圧電素子の伸縮が、窪みが含む上記一対の面を通して振動体に伝わることにより、振動体が第一方向に振動する場合、圧電素子の伸縮が一対の面を通して確実に振動体に伝わる。
【0012】
上記一つの態様では、振動体は、第二方向で互いに対向している一対の主面を有してもよい。圧電素子は、振動体を第二方向で挟むように振動体の両側に配置されている第一圧電素子と第二圧電素子とを含んでいてもよい。
圧電素子が上記第一及び第二圧電素子を含んでいる場合、第一及び第二圧電素子の伸縮が一対の主面を通して確実に振動体に伝わる。
圧電素子が上記第一及び第二圧電素子を含んでいる場合、第一及び第二圧電素子の伸縮が一対の主面を通して確実に振動体に伝わる。
【0013】
上記一つの態様では、振動体は、圧電素子を第二方向で挟むように圧電素子の両側に配置されている第一振動体と第二振動体とを含んでいてもよい。
振動体が上記第一及び第二振動体を含んでいる場合、圧電素子の伸縮が、当該圧電素子を第二方向で挟んでいる第一及び第二振動体に確実に伝わる。
振動体が上記第一及び第二振動体を含んでいる場合、圧電素子の伸縮が、当該圧電素子を第二方向で挟んでいる第一及び第二振動体に確実に伝わる。
【発明の効果】
【0014】
本発明の一つの態様は、振動幅がそれぞれ異なる複数の振動デバイスを容易に実現し得る振動デバイスを提供する。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【発明を実施するための形態】
【0016】
添付図面を参照して、本発明の実施形態及び変形例について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【0017】
図１～図５を参照しながら、振動デバイスＶＤ１の構成を説明する。図１は、一実施形態に係る振動デバイスを示す図である。図２は、本実施形態に係る振動デバイスを示す分解斜視図である。図３は、第一駆動体を示す斜視図である。図４は、変位体を示す分解斜視図である。図５は、圧電素子の断面構成を示す図である。
【0018】
振動デバイスＶＤ１は、変位体１と複数の駆動体５とを備えている。変位体１は、圧電素子１０と振動体３０とを有している。圧電素子１０は、たとえば、ユニモルフ型又はバイモルフ型の積層型圧電素子である。圧電素子１０は、圧電効果により、第一方向Ｄ１に伸縮する。圧電素子１０は、直方体形状を呈している。本明細書での「直方体形状」は、角部及び稜線部が面取りされている直方体の形状、及び、角部及び稜線部が丸められている直方体の形状を含む。変位体１は、少なくとも一つの圧電素子１０を含んでいる。
【0019】
圧電素子１０は、第二方向Ｄ２で互いに対向している一対の主面１０ａ，１０ｂを有している。第二方向Ｄ２は、第一方向Ｄ１と交差している。第二方向Ｄ２は、第一方向Ｄ１と直交していてもよい。圧電素子１０は、一対の端部１０ｃ，１０ｄを有している。一対の端部１０ｃ，１０ｄは、圧電素子１０の第一方向Ｄ１での両端部を規定している。
【0020】
本実施形態では、圧電素子１０は、第一方向Ｄ１が長辺方向である長方形状を呈している。圧電素子１０の第一方向Ｄ１での長さは、たとえば、６６ｍｍである。圧電素子１０の第三方向Ｄ３での長さは、たとえば、３０ｍｍである。第三方向Ｄ３は、第一方向Ｄ１及び第二方向Ｄ２と交差している。第三方向Ｄ３は、第一方向Ｄ１及び第二方向Ｄ２と直交していてもよい。圧電素子１０の第二方向Ｄ２での長さ、すなわち、圧電素子１０の厚みは、たとえば、０．７ｍｍである。
【0021】
圧電素子１０は、素体１１と、複数の外部電極１２，１３と、を有している。素体１１は、第二方向Ｄ２で互いに対向している一対の主面１１ａ，１１ｂ、第一方向Ｄ１で互いに対向している一対の側面１１ｃ、及び、第三方向Ｄ３で互いに対向している一対の側面１１ｅを有している。主面１１ａ，１１ｂは、それぞれ、圧電素子１０の主面１０ａ，１０ｂに対応している。本実施形態では、圧電素子１０は、一対の外部電極１２，１３を有している。
【0022】
主面１１ａ，１１ｂは、四つの辺を有している。主面１１ａ，１１ｂは、矩形状を呈している。本明細書での「矩形状」は、たとえば、各角が面取りされている形状、及び、各角が丸められている形状を含む。本実施形態では、主面１１ａ，１１ｂは、第一方向Ｄ１が長辺方向である長方形状を呈している。主面１１ａ，１１ｂは、一対の長辺と一対の短辺とを有している。主面１１ａ，１１ｂは、正方形状を呈していてもよい。主面１１ａ，１１ｂは、円形状を呈していてもよい。この場合、素体１１（圧電素子１０）は、円板形状を呈する。
【0023】
一対の側面１１ｃは、主面１１ａ，１１ｂを連結するように第二方向Ｄ２に延在している。一対の側面１１ｃは、第三方向Ｄ３にも延在している。一対の側面１１ｅは、主面１１ａ，１１ｂを連結するように第二方向Ｄ２に延在している。一対の側面１１ｅは、第一方向Ｄ１にも延在している。主面１１ａ，１１ｂと側面１１ｃ，１１ｅとは、間接的に隣り合っていてもよい。この場合、主面１１ａ，１１ｂと側面１１ｃ，１１ｅとの間には、稜部が位置する。
【0024】
素体１１は、複数の圧電体層を有している。本実施形態では、素体１１は、６層の圧電体層１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅ，１５ｆを有している。圧電体層１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅ，１５ｆは、第二方向Ｄ２に積層されている。圧電体層１５ａは、主面１１ａを有している。圧電体層１５ｆは、主面１１ｂを有している。圧電体層１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅは、圧電体層１５ａと圧電体層１５ｆとの間に位置している。本実施形態では、圧電体層１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅ，１５ｆの厚みは、互いに同等である。「同等」は、必ずしも、値が一致していることだけを意味するのではない。予め設定した範囲での微差、製造誤差、又は測定誤差が含まれている場合でも、値が同等であるとしてもよい。
【0025】
圧電体層１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅ，１５ｆは、圧電材料からなる。本実施形態では、圧電体層１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅ，１５ｆは、圧電セラミック材料からなる。圧電セラミック材料は、たとえば、ＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ３］、又はチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）を含む。圧電体層１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅ，１５ｆは、たとえば、上述した圧電セラミック材料を含むセラミックグリーンシートの焼結体から構成される。実際の素体１１では、圧電体層１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅ，１５ｆは、圧電体層１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅ，１５ｆの間の境界が認識できない程度に一体化されている。
【0026】
外部電極１２，１３は、主面１１ａ上に配置されている。外部電極１２，１３は、たとえば、第一方向Ｄ１に並んでいる。外部電極１２，１３は、第二方向Ｄ２から見て、主面１１ａの全ての縁（四辺）から離間している。外部電極１２，１３は、第二方向Ｄ２から見て、たとえば、矩形状を呈している。本実施形態では、外部電極１２，１３は、長方形状の各角が丸められている形状を呈している。外部電極１２，１３は、第二方向Ｄ２から見て、互いに同形状を呈している。第二方向Ｄ２から見て、外部電極１２，１３の長辺方向は、たとえば、第一方向Ｄ１と一致し、外部電極１２，１３の短辺方向は、第三方向Ｄ３と一致している。外部電極１２，１３は、導電性材料からなる。導電性材料には、たとえば、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｔ、又はＡｇ－Ｐｄ合金が用いられる。外部電極１２，１３は、たとえば、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成されている。
【0027】
圧電素子１０は、素体１１内に配置されている複数の内部電極を備えている。本実施形態では、圧電素子１０は、５層の内部電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅを有している。内部電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅは、導電性材料からなる。導電性材料には、たとえば、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｔ、又はＡｇ－Ｐｄ合金が用いられる。内部電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅは、たとえば、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成されている。
【0028】
内部電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅの外形形状は、第二方向Ｄ２から見て、たとえば、矩形状を呈している。本実施形態では、内部電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅの外形形状は、長方形状を呈している。内部電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅの長辺方向は、たとえば、第一方向Ｄ１である。第二方向Ｄ２から見て、内部電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅの四つの角は、各角が丸められている形状を含んでいる。
【0029】
内部電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅは、第二方向Ｄ２において異なる位置（層）に配置されている。内部電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅの各々は、互いに、第二方向Ｄ２に間隔を有して対向している。内部電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅは、素体１１の表面には露出していない。すなわち、内部電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅは、側面１１ｃ，１１ｅには露出していない。内部電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅは、第一方向Ｄ１及び第三方向Ｄ３から見て、主面１１ａ，１１ｂの全ての縁（四辺）から離間している。
【0030】
内部電極１６ａは、圧電体層１５ａと圧電体層１５ｂとの間に位置している。内部電極１６ｂは、圧電体層１５ｂと圧電体層１５ｃとの間に位置している。内部電極１６ｃは、圧電体層１５ｃと圧電体層１５ｄとの間に位置している。内部電極１６ｄは、圧電体層１５ｄと圧電体層１５ｅとの間に位置している。内部電極１６ｅは、圧電体層１５ｅと圧電体層１５ｆとの間に位置している。
【0031】
外部電極１２は、内部電極１６ｄと複数の接続導体１７ａとにビア導体１８ａを通して電気的に接続されている。複数の接続導体１７ａは、それぞれ、内部電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｅと同じ層に位置している。各接続導体１７ａは、各内部電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｅに形成された開口内に位置している。各開口は、第二方向Ｄ２から見て、外部電極１２に対応する位置に形成されている。各接続導体１７ａは、第二方向Ｄ２から見て、各内部電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｅに囲まれている。各接続導体１７ａは、各内部電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｅと離間している。
【0032】
各接続導体１７ａは、第二方向Ｄ２で外部電極１２と対向しており、第二方向Ｄ２から見て、外部電極１２と重なる位置に配置されている。各接続導体１７ａは、第二方向Ｄ２で内部電極１６ｄと対向しており、第二方向Ｄ２から見て、内部電極１６ｄと重なる位置に配置されている。ビア導体１８ａは、外部電極１２と内部電極１６ｄと複数の接続導体１７ａとの間に位置しており、第二方向Ｄ２から見て、外部電極１２と重なる位置に配置されている。ビア導体１８ａは、第二方向Ｄ２で、対応する圧電体層１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅを貫通している。
【0033】
外部電極１２は、内部電極１６ｂと複数の接続導体１７ｂとにビア導体１８ｂを通して電気的に接続されている。複数の接続導体１７ｂは、それぞれ、内部電極１６ａ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅと同じ層に位置している。各接続導体１７ｂは、各内部電極１６ａ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅに形成された開口内に位置している。各開口は、第二方向Ｄ２から見て、外部電極１２に対応する位置に形成されている。各接続導体１７ｂは、第二方向Ｄ２から見て、各内部電極１６ａ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅに囲まれている。各接続導体１７ｂは、各内部電極１６ａ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅと離間している。各接続導体１７ｂは、各接続導体１７ａと離間している。
【0034】
各接続導体１７ｂは、第二方向Ｄ２で外部電極１２と対向しており、第二方向Ｄ２から見て、外部電極１２と重なる位置に配置されている。各接続導体１７ｂは、第二方向Ｄ２で内部電極１６ｂと対向しており、第二方向Ｄ２から見て、内部電極１６ｂと重なる位置に配置されている。ビア導体１８ｂは、外部電極１２と内部電極１６ｂと複数の接続導体１７ｂとの間に位置しており、第二方向Ｄ２から見て、外部電極１２と重なる位置に配置されている。ビア導体１８ｂは、第二方向Ｄ２で、対応する圧電体層１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅを貫通している。
【0035】
外部電極１３は、内部電極１６ａと内部電極１６ｃと内部電極１６ｅと複数の接続導体１７ｃとに、ビア導体１８ｃを通して電気的に接続されている。複数の接続導体１７ｃは、それぞれ、内部電極１６ｂ，１６ｄと同じ層に位置している。各接続導体１７ｃは、各内部電極１６ｂ，１６ｄに形成された開口内に位置している。各開口は、第二方向Ｄ２から見て、外部電極１３に対応する位置に形成されている。各接続導体１７ｃの全縁は、第二方向Ｄ２から見て、各内部電極１６ｂ，１６ｄに囲まれている。各開口は、第二方向Ｄ２から見て、外部電極１３に対応する位置に形成されている。
【0036】
各接続導体１７ｃは、第二方向Ｄ２で外部電極１３と対向しており、第二方向Ｄ２から見て、外部電極１３と重なる位置に配置されている。各接続導体１７ｃは、第二方向Ｄ２において内部電極１６ａ，１６ｃ，１６ｅと対向しており、第二方向Ｄ２から見て、内部電極１６ａ，１６ｃ，１６ｅと重なる位置に配置されている。ビア導体１８ｃは、外部電極１３と内部電極１６ａと内部電極１６ｃと内部電極１６ｅと複数の接続導体１７ｃとの間に位置しており、第二方向Ｄ２から見て、外部電極１３と重なる位置に配置されている。ビア導体１８ｃは、第二方向Ｄ２で、対応する圧電体層１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅを貫通している。各接続導体１７ａ，１７ｂ，１７ｃは、第二方向Ｄ２から見て、矩形状を呈している。各接続導体１７ａ，１７ｂ，１７ｃの各角は、各角が丸められている形状を含んでいる。
【0037】
接続導体１７ａ，１７ｂ，１７ｃ及びビア導体１８ａ，１８ｂ，１８ｃは、導電性材料からなる。導電性材料には、たとえば、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｔ、又はＡｇ－Ｐｄ合金が用いられる。接続導体１７ａ，１７ｂ，１７ｃ及びビア導体１８ａ，１８ｂ，１８ｃは、たとえば、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成されている。ビア導体１８ａ，１８ｂ，１８ｃは、対応する圧電体層１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅを形成するためのセラミックグリーンシートに形成された貫通孔に充填された導電性ペーストが焼結することにより形成される。
【0038】
素体１１の主面１１ｂには、内部電極１６ａ，１６ｃ，１６ｅと電気的に接続されている導体と、内部電極１６ｂと電気的に接続されている導体と、内部電極１６ｄと電気的に接続されている導体は、配置されていない。本実施形態では、第二方向Ｄ２から見て、主面１１ｂの全体が露出している。
【0039】
素体１１の側面１１ｃ，１１ｅにも、内部電極１６ａ，１６ｃ，１６ｅと電気的に接続されている導体と、内部電極１６ｂと電気的に接続されている導体と、内部電極１６ｄと電気的に接続されている導体は、配置されていない。本実施形態では、第一方向Ｄ１から見て、一対の側面１１ｃの全体が露出している。第三方向Ｄ３から見て、一対の側面１１ｅの全体が露出している。
【0040】
素体１１では、圧電体層１５ｂにおける内部電極１６ａと内部電極１６ｂとで挟まれた領域と、圧電体層１５ｃにおける内部電極１６ｂと内部電極１６ｃとで挟まれた領域と、圧電体層１５ｄにおける内部電極１６ｃと内部電極１６ｄとで挟まれた領域と、圧電体層１５ｅにおける内部電極１６ｄと内部電極１６ｅとで挟まれた領域とは、圧電的に活性な活性領域を構成する。すなわち、素体１１では、内部電極１６ａと内部電極１６ｂとの間、内部電極１６ｂと内部電極１６ｃとの間、内部電極１６ｃと内部電極１６ｄとの間、及び内部電極１６ｄと内部電極１６ｅとの間に、活性領域が形成される。第二方向Ｄ２から見て、内部電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅの外縁が、活性領域と、圧電効果的に不活性な不活性領域との境界を成している。
【0041】
本実施形態では、活性領域は、第二方向Ｄ２から見て、複数の外部電極１２，１３を囲むように位置している。したがって、第二方向Ｄ２から見て、外部電極１２，１３が配置されている領域は、不活性領域である。第二方向Ｄ２から見て、素体１１は、外部電極１２と外部電極１３との間に位置している領域に、活性領域を含んでいる。第二方向Ｄ２から見て、素体１１は、外部電極１２と外部電極１３とが位置している領域の外側にも、活性領域を含んでいる。
【0042】
振動デバイスＶＤ１は、配線部材１４を備えており、外部電極１２，１３は、配線部材１４と電気的に接続される。配線部材１４を通して、外部電極１２，１３に電圧が印加される。配線部材１４は、たとえば、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）又はフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣ）からなる。
【0043】
本実施形態では、振動体３０は、圧電素子１０の伸縮に伴って第一方向Ｄ１に振動する。振動体３０は、第二方向Ｄ２から見て、たとえば、矩形状を呈している。振動体３０は、一対の主面３０ａ，３０ｂを有している。一対の主面３０ａ，３０ｂは、第二方向Ｄ２で互いに対向している。振動体３０は、一対の端部３０ｃ，３０ｄを有している。一対の端部３０ｃ，３０ｄは、振動体３０の第一方向Ｄ１での両端部を規定している。
【0044】
振動体３０は、圧電素子１０を収容するための窪み３５を有している。圧電素子１０は、窪み３５に収容されている。窪み３５は、たとえば、主面３０ａに開口するように、振動体３０に形成される。窪み３５を規定する面は、第一方向Ｄ１で対向している一対の面３５ｃ，３５ｄを含んでいる。一対の面３５ｃ，３５ｄは、圧電素子１０の第一方向Ｄ１での端部１０ｃ，１０ｄのうち対応する端部と第一方向Ｄ１でそれぞれ対向し、かつ、連結されている。本実施形態では、面３５ｃは、端部１０ｃと第一方向Ｄ１で対向し、かつ、物理的に連結されている。面３５ｄは、端部１０ｄと第一方向Ｄ１で対向し、かつ、物理的に連結されている。圧電素子１０の第一方向Ｄ１での伸縮が一対の面３５ｃ，３５ｄを通して振動体３０に伝わることにより、振動体３０は第一方向Ｄ１に振動する。窪み３５は、第二方向Ｄ２から見て、たとえば、主面３０ａの中央領域に形成される。圧電素子１０と振動体３０とは接合されていてもよい。
【0045】
主面３０ａに直交する方向から見たときの、窪み３５の内径サイズは、たとえば、素体１１の平面サイズと同等以上である。本実施形態では、第二方向Ｄ２から見て、窪み３５の開口縁３６は、たとえば、長方形状を呈している。窪み３５の開口縁３６が長方形状を呈する場合、開口縁３６の長辺の長さは、たとえば、約６６．０５ｍｍである。開口縁３６の短辺の長さは、たとえば、約３０．０５ｍｍである。本実施形態では、開口縁３６の長辺は、第一方向Ｄ１に沿っており、開口縁３６の短辺は、第三方向Ｄ３に沿っている。
【0046】
窪み３５は、有底であってもよく、無底であってもよい。窪み３５が無底である場合、窪み３５は、たとえば、振動体３０を第二方向Ｄ２に貫通する貫通孔によって構成される。圧電素子１０は、振動体３０に形成された貫通孔に収容されてもよい。振動体３０に形成された貫通孔も、一対の面３５ｃ，３５ｄを含む。圧電素子１０が振動体３０に形成された貫通孔に収容される場合も、圧電素子１０の第一方向Ｄ１での伸縮が、たとえば、一対の面３５ｃ，３５ｄを通して振動体３０に伝わることにより、振動体３０が第一方向Ｄ１に振動する。主面３０ａに直交する方向から見たときの、貫通孔の内径サイズも、たとえば、素体１１の平面サイズと同等以上である。
【0047】
第二方向Ｄ２から見て、振動体３０が長方形状を呈する場合、振動体３０の長辺の長さは、たとえば、８０～２００ｍｍである。本実施形態では、振動体３０の長辺は、第一方向Ｄ１に沿っている。振動体３０の第一方向Ｄ１での長さは、圧電素子１０の第一方向Ｄ１での長さより大きくてもよい。振動体３０の短辺の長さは、たとえば、４０～２００ｍｍである。本実施形態では、振動体３０の短辺は、第三方向Ｄ３に沿っている。振動体３０の第三方向Ｄ３での長さは、圧電素子１０の第三方向Ｄ３での長さより大きくてもよい。第二方向Ｄ２から見て、振動体３０が正方形状を呈する場合、振動体３０の一辺の長さは、たとえば、４０～２００ｍｍである。本実施形態では、第二方向Ｄ２から見たサイズがそれぞれ異なる複数の振動体３０が用意され得る。振動体３０が長方形状及び正方形状のいずれの形状を呈する場合にも、振動体３０の第一方向Ｄ１での長さ、すなわち、振動体３０の厚みは、たとえば、０．２～２．０ｍｍである。
【0048】
振動体３０は、たとえば、振動板である。振動体３０は、圧電素子１０の伸縮に伴って振動し得る材料からなる。振動体３０は、たとえば、ガラス、樹脂、金属からなる。金属は、たとえば、Ｎｉ－Ｆｅ合金又はステンレス鋼を含む。本実施形態では、振動体３０に、外部電極１２，１３と配線部材１４との接続部分は接触していない。
【0049】
本実施形態では、振動デバイスＶＤ１は、一対の駆動体５を備えている。一対の駆動体５は、変位体１を第二方向Ｄ２で挟むように変位体１の両側に配置されている。本実施形態では、一方の駆動体５は、振動体３０の主面３０ａ側に配置され、他方の駆動体５は、振動体３０の主面３０ｂ側に配置されている。たとえば、一方の駆動体５が第一駆動体を構成する場合、他方の駆動体５が第二駆動体を構成する。
【0050】
駆動体５は、振動体３０と連結されている。駆動体５は、振動体３０と物理的に連結されていてもよい。駆動体５は、第一方向Ｄ１での圧電素子１０の振動に伴って第二方向Ｄ２に振動する。すなわち、第一方向Ｄ１での圧電素子１０の伸縮によって、振動体３０が第一方向Ｄ１に振動し、第一方向Ｄ１での振動体３０の振動に伴って、駆動体５が、第二方向Ｄ２に振動する。第一方向Ｄ１での圧電素子１０の伸縮が、駆動体５によって第二方向Ｄ２に変換される。駆動体５の振動幅は、振動体３０の第一方向での長さによって変化し得る。駆動体５は、たとえば、金属材料、又は樹脂材料からなる。金属材料は、たとえば、ステンレス鋼又はアルミニウムを含む。樹脂材料は、たとえば、アクリロニトリル－ブタジエン－スチレン共重合体樹脂（ＡＢＳ樹脂）、ポリカーボネート樹脂（ＰＣ樹脂）又はポリフェニレンスルファイド樹脂（ＰＰＳ樹脂）を含む。
【0051】
駆動体５は、駆動部５１と、一対の連結部５２，５３とを有している。駆動部５１は、変位体１と第二方向Ｄ２で対向するように変位体１から離間している。駆動部５１は、一対の端部５１ｃ，５１ｄを有している。端部５１ｃ，５１ｄは、駆動部５１の第一方向Ｄ１での両端部を規定している。駆動部５１は、第一方向Ｄ１で連結部５２，５３に挟まれている。
【0052】
連結部５２は、第一端５２ｃと、第二端５２ｄとを有している。第一端５２ｃは、振動体３０の第一方向Ｄ１での端部３０ｃ，３０ｄのうち対応する端部３０ｃに連結されている。本実施形態では、第一端５２ｃは、端部３０ｃに物理的に連結されている。第二端５２ｄは、駆動部５１の第一方向Ｄ１での端部５１ｃ，５１ｄのうち対応する端部５１ｃに連結されている。本実施形態では、第二端５２ｄは、端部５１ｃに物理的に連結されている。連結部５２と振動体３０とは接合されていてもよい。
【0053】
連結部５３は、第一端５３ｃと、第二端５３ｄとを有している。第一端５３ｃは、振動体３０の第一方向Ｄ１での端部３０ｃ，３０ｄのうち対応する端部３０ｄに連結されている。本実施形態では、第一端５３ｃは、端部３０ｄに物理的に連結されている。第二端５３ｄは、駆動部５１の第一方向Ｄ１での端部５１ｃ，５１ｄのうち対応する端部５１ｄに連結されている。本実施形態では、第二端５３ｄは、端部５１ｄに物理的に連結されている。連結部５３と振動体３０とは接合されていてもよい。連結部５２，５３と振動体３０とは接合されていてもよい。
【0054】
連結部５２，５３は、第一端５２ｃ，５３ｃから第二端５２ｄ，５３ｄに向かうにつれて変位体１から離間している。すなわち、連結部５２は、第一端５２ｃから第二端５２ｄに向かうにつれて変位体１から離間している。連結部５２は、周辺領域から中央領域に向かうに従って、変位体１から離間している。連結部５３は、第一端５３ｃから第二端５３ｄに向かうにつれて変位体１から離間している。連結部５３は、周辺領域から中央領域に向かうに従って、変位体１から離間している。
【0055】
連結部５２は、第一部分５２ｅと第二部分５２ｆとを有していてもよい。図１，２，４は、連結部５２が、第一部分５２ｅと第二部分５２ｆとを有している例を示している。第一部分５２ｅが第一端５２ｃを含み、第二部分５２ｆが第二端５２ｄを含んでいる。本実施形態では、第一部分５２ｅは、端部３０ｃに物理的に連結されている。第一部分５２ｅの全域が、端部３０ｃに物理的に連結されていてもよい。第二部分５２ｆは、端部３０ｃに連結されていなくてもよい。第二部分５２ｆは、当該第二部分５２ｆと第一部分５２ｅとの境界５２ｇから、第二端５２ｄに向かうにつれて変位体１から離間している。図１に示されるように、第二部分５２ｆは、振動体３０と角度ＡＧ１を成している。角度ＡＧ１を変更することによって、第二部分５２ｆが変位体１から離間する距離が調整され得る。本実施形態では、角度ＡＧ１は、１～２０度である。
【0056】
連結部５３は、第一部分５３ｅと第二部分５３ｆとを有していてもよい。図１，２，４は、連結部５３が、第一部分５３ｅと第二部分５３ｆとを有している例を示している。第一部分５３ｅが第一端５３ｃを含み、第二部分５３ｆが第二端５３ｄを含んでいる。本実施形態では、第一部分５３ｅは、端部３０ｄに物理的に連結されている。第一部分５３ｅの全域が、端部３０ｄに物理的に連結されていてもよい。第二部分５３ｆは、端部３０ｄに連結されていなくてもよい。第二部分５３ｆは、当該第二部分５３ｆと第一部分５３ｅとの境界５３ｇから、第二端５３ｄに向かうにつれて変位体１から離間している。図１に示されるように、第二部分５３ｆは、振動体３０と角度ＡＧ２を成している。角度ＡＧ２を変更することによって、第二部分５３ｆが変位体１から離間する距離が調整され得る。本実施形態では、角度ＡＧ２は、１～２０度である。本実施形態では、角度ＡＧ２は、角度ＡＧ１と同等である。角度ＡＧ２が角度ＡＧ１と同等であるとは、必ずしも、各角度ＡＧ１，ＡＧ２の値が完全に一致していることだけを意味するのではない。たとえば、各角度ＡＧ１，ＡＧ２の値が、製造誤差又は測定誤差だけ異なっている場合でも、角度ＡＧ２の値が角度ＡＧ１の値と同等であるとしてもよい。
【0057】
本実施形態では、駆動部５１は、変位体１と略平行となるように配置されていてもよい。振動体３０の主面３０ａから駆動部５１の外表面５１ａまでの第二方向Ｄ２での距離は、たとえば、５００μｍ～３ｍｍである。駆動部５１と連結部５２，５３とは、一体化されていてもよい。駆動体５と変位体１とは、一体化されていてもよい。駆動体５の厚みは、たとえば、０．１～２ｍｍである。駆動体５が金属材料からなる場合、駆動体５の厚みは、たとえば、０．１～０．３ｍｍである。駆動体５が樹脂材料からなる場合、駆動体５の厚みは、たとえば、０．２～２ｍｍである。
【0058】
第二方向Ｄ２から見て、駆動体５は、たとえば、矩形状を呈している。第二方向Ｄ２から見て、駆動体５の外周縁は、振動体３０の外周縁と一致していてもよい。本実施形態では、振動体３０のサイズの変更に合わせて、駆動体５のサイズが変更され得る。振動体３０の第一方向Ｄ１での長さの変更に合わせて、駆動体５の第一方向Ｄ１での長さが変更され得る。駆動体５の第一方向Ｄ１での長さの変更に合わせて、第二方向Ｄ２での駆動体５の振動幅が調整され得る。角度ＡＧ１，ＡＧ２を変更することによっても、振動幅が調整され得る。駆動体５全体の第一方向Ｄ１での長さの変更されない場合でも、たとえば、連結部５２，５３の長さを変更することによっても、振動幅が調整され得る。振動幅は、たとえば、圧電素子１０の第一方向Ｄ１での伸縮幅の２～２０倍である。
【0059】
本実施形態に係る振動デバイスＶＤ１の効果について説明する。振動デバイスＶＤ１は、第一方向Ｄ１に伸縮する圧電素子１０と、圧電素子１０の伸縮に伴って第一方向Ｄ１に振動する振動体３０と、を有している変位体１と、振動体３０と物理的に連結されており、振動体３０の振動に伴って第一方向Ｄ１と交差する第二方向Ｄ２に振動する駆動体５と、を備えている。駆動体５は、変位体１と第二方向Ｄ２で対向するように変位体１から離間している駆動部５１と、振動体３０の第一方向Ｄ１での両端部３０ｃ，３０ｄのうち対応する端部に物理的に連結されている第一端５２ｃ，５３ｃと、駆動部５１の第一方向Ｄ１での両端部５１ｃ，５１ｄのうち対応する端部に物理的に連結されている第二端５２ｄ，５３ｄとをそれぞれ有していると共に、第一端５２ｃ，５３ｃから第二端５２ｄ，５３ｄに向かうにつれて変位体１から離間している一対の連結部５２，５３と、を有している。
【0060】
振動デバイスＶＤ１では、一対の連結部５２，５３は、第一端５２ｃから第二端５２ｄに向かうにつれて変位体１から離間しており、変位体１から一対の連結部５２，５３に伝わる第一方向Ｄ１の振動を第二方向Ｄ２での駆動体５の振動に変換する。駆動体５の振動幅は、変位体１のサイズに依存する。変位体１のサイズは、たとえば、第一方向Ｄ１での長さを含む。変位体１は、圧電素子１０と、圧電素子１０の伸縮に伴って振動する振動体３０とを有している。たとえば、互いに異なるサイズを有する複数の振動体３０が用意される場合、駆動体５は、各振動体３０のサイズに対応する振動幅で第二方向Ｄ２に振動する。本実施形態では、では、振動幅がそれぞれ異なる複数の振動デバイスＶＤ１が容易に実現し得る。
【0061】
振動デバイスＶＤ１では、圧電素子１０と振動体３０とは接合されている。この場合、圧電素子１０の伸縮が振動体３０に確実に伝わる。
【0062】
振動デバイスＶＤ１では、振動体３０と一対の連結部５２，５３とは接合されている。この場合、振動体３０の振動が駆動体５に確実に伝わる。
【0063】
振動デバイスＶＤ１では、駆動体５は、一対の駆動体５を含んでいる。この場合、変位体１の第二方向Ｄ２での両側で、第一方向Ｄ１での圧電素子１０の伸縮が、一対の駆動体５に伝わる。
【0064】
振動デバイスＶＤ１では、圧電素子１０は、一対の面３５ｃ，３５ｄを含んでいる窪み３５に収容されている。圧電素子１０の伸縮が一対の面３５ｃ，３５ｄを通して振動体３０に伝わることにより、振動体３０が第一方向Ｄ１に振動する。
この場合、圧電素子１０の伸縮が一対の面３５ｃ，３５ｄを通して確実に振動体３０に伝わる。
この場合、圧電素子１０の伸縮が一対の面３５ｃ，３５ｄを通して確実に振動体３０に伝わる。
【0065】
図６を参照して、振動デバイスＶＤ１の第一変形例について説明する。図６は、実施形態に係る振動デバイスの第一変形例を示す図である。第一変形例に係る振動デバイスＶＤ２は、一対の圧電素子１０を含んでいる点に関して、振動デバイスＶＤ１と相違する。以下、振動デバイスＶＤ１と振動デバイスＶＤ２との相違点を主として説明する。
【0066】
図６に示されるように、振動デバイスＶＤ２は、変位体１と駆動体５とを備えている。変位体１は、圧電素子１０と振動体３０とを有している。振動体３０には、窪み３５が形成されていなくてもよい。本変形例では、振動体３０には、窪み３５が形成されていない。窪み３５の有無を除き、本変形例での振動体３０は、上述した実施形態での振動体３０と同じ構成を有する。
【0067】
本変形例では、上述の通り、変位体１は、複数の圧電素子１０を備えている。本変形例では、変位体１は、一対の圧電素子１０を備えている。たとえば、一方の圧電素子１０が第一圧電素子を構成する場合、他方の圧電素子１０が第二圧電素子を構成する。
【0068】
一対の圧電素子１０は、振動体３０を第二方向Ｄ２で挟むように振動体３０の両側に配置されている。一方の圧電素子１０は、振動体３０を挟んで他方の圧電素子１０とは反対側に配置される。本変形例では、一方の圧電素子１０は、主面３０ａ上に配置されている。一方の圧電素子１０の主面１０ｂが、たとえば、主面３０ａと接している。一方の圧電素子１０は、振動体３０と接合されていてもよい。他方の圧電素子１０は、主面３０ｂ上に配置されている。他方の圧電素子１０の主面１０ｂが、たとえば、主面３０ｂと接している。他方の圧電素子１０は、振動体３０と接合されていてもよい。一方の配線部材１４は、圧電素子１０の主面１０ａ上に配置されている。一方の配線部材１４は、一方の圧電素子１０の外部電極１２，１３と電気的に接続されている。他方の配線部材１４は、他方の圧電素子１０の主面１０ａ上に配置されている。他方の配線部材１４は、他方の圧電素子１０の外部電極１２，１３と電気的に接続されている。
【0069】
振動体３０は、一対の圧電素子１０の伸縮に伴って第一方向Ｄ１に振動する。一方の圧電素子１０の第一方向Ｄ１での伸縮が主面３０ａを通して振動体３０に伝わることにより、振動体３０が第一方向Ｄ１に振動する。他方の圧電素子１０の第一方向Ｄ１での伸縮が主面３０ｂを通して振動体３０に伝わることにより、振動体３０が第一方向Ｄ１に振動する。一方の圧電素子１０は、第二方向Ｄ２から見て、たとえば、主面３０ａの中央領域に配置される。他方の圧電素子１０は、第二方向Ｄ２から見て、たとえば、主面３０ｂの中央領域に配置される。一方の圧電素子１０が配置される位置は、第二方向Ｄ２から見て、振動体３０を挟んで、他方の圧電素子１０が配置される位置と重なっていてもよい。一方の圧電素子１０が配置される位置は、第二方向Ｄ２から見て、振動体３０を挟んで、他方の圧電素子１０が配置される位置と一致していてもよい。
【0070】
振動デバイスＶＤ２は、一対の駆動体５を備えている。本変形例での各駆動体５は、上述した実施形態での駆動体５と同じ構成を有する。一対の駆動体５は、変位体１を第二方向Ｄ２で挟むように変位体１の両側に配置されている。本変形例では、一方の駆動体５は、主面３０ａ側に配置され、他方の駆動体５は、主面３０ｂ側に配置されている。たとえば、一方の駆動体５が第一駆動体を構成する場合、他方の駆動体５が第二駆動体を構成する。
【0071】
振動デバイスＶＤ２では、振動デバイスＶＤ１と同様に、たとえば、互いに異なるサイズを有する複数の振動体３０が用意される場合、駆動体５は、各振動体３０のサイズに対応する振動幅で第二方向Ｄ２に振動する。本変形例でも、振動幅がそれぞれ異なる複数の振動デバイスＶＤ２が容易に実現し得る。
【0072】
振動デバイスＶＤ２では、振動体３０は、第二方向Ｄ２で互いに対向している一対の主面３０ａ，３０ｂを有している。圧電素子１０は、振動体３０を第二方向Ｄ２で挟むように振動体３０の両側に配置されている一対の圧電素子１０を含んでいる。
この場合、一対の圧電素子１０の伸縮が一対の主面３０ａ，３０ｂを通して確実に振動体３に伝わる。
この場合、一対の圧電素子１０の伸縮が一対の主面３０ａ，３０ｂを通して確実に振動体３に伝わる。
【0073】
図７を参照して、振動デバイスＶＤ１の第二変形例について説明する。図７は、実施形態に係る振動デバイスの第二変形例を示す図である。第二変形例に係る振動デバイスＶＤ３は、一対の振動体３０を含んでいる点に関して、振動デバイスＶＤ１と相違する。以下、振動デバイスＶＤ１と振動デバイスＶＤ３との相違点を主として説明する。
【0074】
図７に示されるように、振動デバイスＶＤ３は、変位体１と駆動体５とを備えている。変位体１は、圧電素子１０と、一対の振動体３０とを有している。本変形例での圧電素子１０は、上述した実施形態での圧電素子１０と同じ構成を有していてもよい。本変形例での各振動体３０には、窪み３５が形成されていなくてもよい。本変形例では、各振動体３０には、窪み３５が形成されていない。窪み３５の有無を除き、本変形例での各振動体３０は、上述した実施形態での振動体３０と同じ構成を有する。たとえば、一方の振動体３０が第一振動体を構成する場合、他方の振動体３０が第二振動体を構成する。
【0075】
一対の振動体３０は、圧電素子１０を第二方向Ｄ２で挟むように圧電素子１０の両側に配置されている。本変形例では、圧電素子１０は、一方の振動体３０の主面３０ｂ上に配置されている。圧電素子１０の主面１０ａが、たとえば、一方の振動体３０の主面３０ｂと接している。圧電素子１０は、一方の振動体３０と接合されていてもよい。圧電素子１０は、他方の振動体３０の主面３０ｂ上にも配置されている。圧電素子１０の主面１０ｂが、たとえば、他方の振動体３０の主面３０ｂと接している。圧電素子１０は、他方の振動体３０と接合されていてもよい。圧電素子１０は、一対の振動体３０に接合されていてもよい。
【0076】
一対の振動体３０は、圧電素子１０の伸縮に伴って第一方向Ｄ１に振動する。第一方向Ｄ１での圧電素子１０の伸縮が主面３０ｂを通して一方の振動体３０に伝わることにより、一方の振動体３０が第一方向Ｄ１に振動する。第一方向Ｄ１での圧電素子１０の伸縮が主面３０ｂを通して他方の振動体３０に伝わることにより、他方の振動体３０が第一方向Ｄ１に振動する。一方の振動体３０は、圧電素子１０を挟んで、他方の振動体３０とは反対側に配置される。第二方向Ｄ２から見て、一方の振動体３０は、圧電素子１０を挟んで、他方の振動体３０と重なっていてもよい。第二方向Ｄ２から見て、一方の振動体３０の外周縁は、圧電素子１０を挟んで、他方の振動体３０の外周縁と一致していてもよい。圧電素子１０は、第二方向Ｄ２から見て、たとえば、一方の振動体３０の主面３０ｂの中央領域に配置される。
【0077】
配線部材１４は、たとえば、一方の振動体３０の主面３０ａ上に配置されている。配線部材１４は、一方の振動体３０を介して圧電素子１０の外部電極１２，１３と電気的に接続されている。一方の振動体３０には、たとえば、貫通孔が形成され、配線部材１４は、貫通孔を介して外部電極１２，１３と電気的に接続されてもよい。本変形例では、外部電極１２，１３と配線部材１４との接続部分は、一方の振動体３０に接触していない。
【0078】
振動デバイスＶＤ３は、一対の駆動体５を備えている。本変形例での各駆動体５は、上述した実施形態での駆動体５と同じ構成を有する。一対の駆動体５は、変位体１を第二方向Ｄ２で挟むように変位体１の両側に配置されている。本変形例では、一方の駆動体５は、一方の振動体３０の主面３０ａ側に配置され、他方の駆動体５は、他方の振動体３０の主面３０ａ側に配置されている。たとえば、一方の駆動体５が第一駆動体を構成する場合、他方の駆動体５が第二駆動体を構成する。
【0079】
一方の駆動体５は、一方の振動体３０に連結されている。本変形例では、一方の駆動体５の第一端５２ｃは、一方の振動体３０の端部３０ｃに物理的に連結され、第一端５３ｃは、一方の振動体３０の端部３０ｄに物理的に連結されている。他方の駆動体５の第一端５２ｃは、他方の振動体３０の端部３０ｃに物理的に連結され、第一端５３ｃは、他方の振動体３０の端部３０ｄに物理的に連結されている。
【0080】
一対の駆動体５は、一対の振動体３０の振動に伴って第二方向Ｄ２に振動する。すなわち、第一方向Ｄ１での圧電素子１０の伸縮に伴って、一方の振動体３０が第一方向Ｄ１に振動し、第一方向Ｄ１での一方の振動体３０の振動に伴って、一方の駆動体５が、第二方向Ｄ２に振動する。第一方向Ｄ１での圧電素子１０の伸縮に伴って、他方の振動体３０も第一方向Ｄ１に振動し、第一方向Ｄ１での他方の振動体３０の振動に伴って、他方の駆動体５が、第二方向Ｄ２に振動する。圧電素子１０による第一方向Ｄ１の伸縮が、一対の駆動体５によって第二方向Ｄ２の振動に変換される。
【0081】
第二方向Ｄ２から見て、一対の駆動体５は、たとえば、矩形状を呈している。第二方向Ｄ２から見て、一方の駆動体５の外周縁は、一方の振動体３０の外周縁と一致していてもよく、他方の駆動体５の外周縁は、他方の振動体３０の外周縁と一致していてもよい。本変形例では、一方の振動体３０のサイズの変更に合わせて、一方の駆動体５のサイズが変更され得る。一方の振動体３０の第一方向Ｄ１での長さの変更に合わせて、一方の駆動体５の第一方向Ｄ１での長さが変更され得る。一方の駆動体５の第一方向Ｄ１での長さの変更に合わせて、一方の駆動体５の第二方向Ｄ２での振動幅が調整され得る。他方の振動体３０のサイズの変更に合わせて、他方の駆動体５のサイズも変更され得る。他方の振動体３０の第一方向Ｄ１での長さの変更に合わせて、他方の駆動体５の第一方向Ｄ１での長さが変更され得る。他方の駆動体５の第一方向Ｄ１での長さの変更に合わせて、他方の駆動体５の第二方向Ｄ２での振動幅がされ得る。
【0082】
振動デバイスＶＤ３では、振動デバイスＶＤ１と同様に、たとえば、互いに異なるサイズを有する複数の一対の振動体３０が用意される場合、駆動体５は、各振動体３０のサイズに対応する振動幅で第二方向Ｄ２に振動する。本変形例でも、振動幅がそれぞれ異なる複数の振動デバイスＶＤ３が容易に実現し得る。
【0083】
振動デバイスＶＤ３では、振動体３０は、圧電素子１０を第二方向Ｄ２で挟むように圧電素子１０の両側に配置されている一対の振動体３０を含んでいる。
この場合、圧電素子１０の伸縮が、当該圧電素子１０を第二方向Ｄ２で挟んでいる一対の振動体３０に確実に伝わる。
この場合、圧電素子１０の伸縮が、当該圧電素子１０を第二方向Ｄ２で挟んでいる一対の振動体３０に確実に伝わる。
【0084】
以上、本発明の好適な実施形態及び変形例について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態及び変形例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
【0085】
振動デバイスＶＤ１，ＶＤ３において、一対の主面１０ａ，１０ｂが第二方向Ｄ２で対向する方向となるように圧電素子１０を用いた形態で説明してきたが、たとえば、圧電素子１０は、一対の主面１０ａ，１０ｂが第一方向Ｄ１で対向する方向で用いられてもよい。この場合、圧電素子１０が複数用いられ、複数の圧電素子１０が第一方向Ｄ１に並ぶように配置される。振動デバイスＶＤ２での一対の圧電素子１０についても同様である。一対の圧電素子１０がそれぞれ複数用いられ、複数の圧電素子１０が、振動体３０の第二方向Ｄ２での両側で、第一方向Ｄ１に並ぶように配置されてもよい。
圧電素子１０は、素体１１と、圧電体層１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅ，１５ｆの積層方向で素体１１を挟むように配置されている一対の外部電極１２，１３とを備えていてもよい。圧電素子１０が素体１１と上記一対の外部電極１２，１３とを備えている構成では、圧電素子１０の上記積層方向での両側で、各外部電極１２，１３が配線部材１４と電気的に接続される。圧電素子１０が素体１１と上記一対の外部電極１２，１３とを備えている構成では、各圧電素子１０の外部電極１２，１３が、隣接する圧電素子１０の外部電極１２，１３と電気的に接続されてもよい。各圧電素子１０の外部電極１２，１３が互いに電気的に接続される構成では、複数の圧電素子が、たとえば、第一方向Ｄ１に並ぶように配置され得る。
圧電素子１０は、素体１１内に配置される導体を備えていなくてもよい。素体１１内に配置される導体は、複数の内部電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅを含む。圧電素子１０が、素体１１内に配置される導体を備えていない場合、たとえば、一対の外部電極１２，１３は、素体１１を挟むように素体１１に配置されていてもよい。
駆動体５の数は、一つでもよい。駆動体５の数が一つである場合、駆動体５は、振動体３０の主面３０ａ及び主面３０ｂのいずれか一方側に配置される。
圧電素子１０は、素体１１と、圧電体層１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅ，１５ｆの積層方向で素体１１を挟むように配置されている一対の外部電極１２，１３とを備えていてもよい。圧電素子１０が素体１１と上記一対の外部電極１２，１３とを備えている構成では、圧電素子１０の上記積層方向での両側で、各外部電極１２，１３が配線部材１４と電気的に接続される。圧電素子１０が素体１１と上記一対の外部電極１２，１３とを備えている構成では、各圧電素子１０の外部電極１２，１３が、隣接する圧電素子１０の外部電極１２，１３と電気的に接続されてもよい。各圧電素子１０の外部電極１２，１３が互いに電気的に接続される構成では、複数の圧電素子が、たとえば、第一方向Ｄ１に並ぶように配置され得る。
圧電素子１０は、素体１１内に配置される導体を備えていなくてもよい。素体１１内に配置される導体は、複数の内部電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅを含む。圧電素子１０が、素体１１内に配置される導体を備えていない場合、たとえば、一対の外部電極１２，１３は、素体１１を挟むように素体１１に配置されていてもよい。
駆動体５の数は、一つでもよい。駆動体５の数が一つである場合、駆動体５は、振動体３０の主面３０ａ及び主面３０ｂのいずれか一方側に配置される。
【符号の説明】
【0086】
１…変位体、５…駆動体、１０…圧電素子、３０…振動体、ＶＤ１…振動デバイス、ＶＤ２…振動デバイス、ＶＤ３…振動デバイス、Ｄ１…第一方向、Ｄ２…第二方向。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】