特開2022-181631IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

流体の流れを制御する装置、断面形状可変流路の製造方法、基板を処理する装置及び流体の流れを制御する方法

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】金属製の筒状の流路の縦断面形状を弾性変形させて流体の流れを制御する技術を提供すること。
【解決手段】流体の流れを制御する装置には、前記流体が流れる筒状の流路として構成され、弾性変形により前記縦断面形状を変化させることが可能に構成された金属製の断面形状可変流路が設けられ、流路操作部は、前記断面形状可変流路に対し外力を加え、前記対向面間の距離を変化させることにより、その縦断面の面積を変化させる。
【選択図】図４

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

金属製の筒状の流路の縦断面形状を弾性変形させて流体の流れを制御する技術を提供する。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

流体の流れを制御する装置であって、 前記流体が流れる筒状の流路として構成され、その縦断面形状が、互いに対向して配置された２つの対向面と、前記対向面が対向する方向と交差する方向に互いに対向して配置された頂点を有する少なくとも１組の角部とを有し、弾性変形により前記縦断面形状を変化させることが可能に構成された金属製の断面形状可変流路と、 前記断面形状可変流路に対し外力を加え、前記・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示によれば、金属製の筒状の流路の縦断面形状を弾性変形させて流体の流れを制御することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 流体制御装置を備えるウエハ処理装置の構成図である。
【図2】 断面形状可変流路の外観斜視図である。
【図3】 前記断面形状可変流路の第１の作用図である。
【図4】 前記断面形状可変流路の第２の作用図である。
【図5】 前記断面形状可変流路の第３の作用図である。
【図6】 流体制御装置の内部構造を示す斜視図である。
【図7】 前記流体制御装置の縦断側面図である。
【図8】 前記断面形状可変流路を構成する流路形成部材の縦断正面図である。
【図9】 前記断面形状可変流路の製造方法の説明図である。
【図10】 前記断面形状可変流路の閉止機構の斜視図である。
【図11】 前記閉止機構の第１の作用図である。
【図12】 前記閉止機構の第２の作用図である。
【図13】 樹脂層が形成された断面形状可変流路の拡大縦断面図である。
【図14】 第２の断面形状可変流路の外観斜視図である。
【図15】 第２の流体制御装置の内部構造を示す斜視図である。
【図16】 第２の流体制御装置の作用図である。
【図17】 断面形状可変流路の第１の変形例に係る縦断正面図である。
【図18】 断面形状可変流路の第２の変形例に係る縦断正面図である。
【図19】 断面形状可変流路の第３の変形例に係る縦断正面図である。

選択図 図4出願人が指定した本件の代表的な図

Ｗ ウエハ １、１ａ、１ｂ 流体制御装置 ２１１ 対向面 ２１２ 角部 ２１３ 頂点 ３２ 昇降棒

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