特開 2022-182134 液体吐出ヘッド及びその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022182134

(43)【公開日】2022-12-08

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッド及びその製造方法

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20221201BHJP

   B41J 2/16 20060101ALI20221201BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20221201BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 501

B41J2/14 305

B41J2/16 305

B41J2/16 401

B41J2/16 503

B41J2/01 451

【審査請求】未請求

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021089496

(22)【出願日】2021-05-27

(71)【出願人】

【識別番号】000005267

【氏名又は名称】ブラザー工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001841

【氏名又は名称】弁理士法人ＡＴＥＮ

(72)【発明者】

【氏名】神▲崎▼ 章太郎

(72)【発明者】

【氏名】井手 理美子

(72)【発明者】

【氏名】樽見 典明

【テーマコード（参考）】

2C056

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C056EB07

2C056EB34

2C056FA04

2C056FA13

2C057AF63

2C057AG15

2C057AL15

2C057AN05

2C057AP13

2C057AP25

2C057BA04

2C057BA14

(57)【要約】

【課題】接着剤による個別流路の閉塞をより確実に抑制する。
【解決手段】ヘッドの流路部材は、鉛直方向に積層されかつ接着剤を介して互いに接着された複数のプレートで構成されている。複数のプレートのうちの１つは、個別流路の接続路２３及び流出路２５が開口する下面１１ｎｙであって、ノズルが形成されたプレートと接着される下面１１ｎｙ（接着面）を有する。下面１１ｎｙにおいて、接続路２３及び流出路２５を構成する中空部Ｖが紙幅方向に並んでおり、紙幅方向に互いに隣接する２つの中空部Ｖの間に、搬送方向にそれぞれ延びる３本の溝５１，５２が形成されている。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１方向に積層されかつ接着剤を介して互いに接着された複数のプレートで構成され、ノズル及び前記ノズルに連通する圧力室をそれぞれ含む複数の個別流路が形成された、流路部材を備え、
前記複数のプレートは、第１プレートと、前記第１プレートの接着面に接着剤を介して接着される第２プレートと、を含み、
前記接着面には、前記複数の個別流路をそれぞれ構成する複数の中空部が開口しており、
前記接着面において、前記複数の中空部は、前記第１方向と直交する第２方向に並び、前記第２方向に互いに隣接する２つの前記中空部の間に、前記第１方向と直交しかつ前記第２方向と交差する第３方向にそれぞれ延びる３本以上の溝が形成されたことを特徴とする、液体吐出ヘッド。

【請求項2】

前記３本以上の溝のうち、前記第２方向に前記中空部と隣接する隣接溝は、大気と連通していないことを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項3】

前記個別流路は、互いに接続された複数の流路部で構成され、
前記中空部は、前記複数の流路部のうち当該流路部に接続する流路部よりも幅が狭い、絞り流路部を構成することを特徴とする、請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項4】

前記中空部は、前記絞り流路部を構成する幅狭部と、前記幅狭部の前記第３方向の端部に設けられ、前記幅狭部よりも幅が大きい幅広部と、を有し、
前記３本以上の溝のうち前記第２方向に前記中空部と隣接する隣接溝の前記第３方向の長さは、前記幅狭部の前記第３方向の長さ以下であることを特徴とする、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項5】

前記３本以上の溝のうち前記第２方向に前記中空部と隣接する隣接溝以外の中央溝の前記第３方向の長さは、前記幅狭部の前記第３方向の長さよりも長く、
前記接着面に、前記第２方向に延び、前記第２方向に並ぶ複数の前記中央溝を連結する連結溝がさらに形成されたことを特徴とする、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項6】

前記複数の中空部は、前記第２方向に配列され、前記第３方向に並ぶ複数の列を形成し、
前記連結溝は、前記第３方向に互いに隣接する２つの前記列に属する前記複数の中央溝を連結することを特徴とする、請求項５に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項7】

前記複数の中空部は、前記第２方向に配列され、前記第３方向に並ぶ複数の列を形成し、
前記複数の列のうち、第１列に属する前記複数の中空部は、前記第２方向に前記第１列と隣接する第２列に属する前記複数の中空部と、前記第２方向に重ならないことを特徴とする、請求項１～６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項8】

前記流路部材に、前記複数の個別流路と連通する共通流路が形成されており、
前記中空部は、一端と、前記共通流路の底部に接続する他端とを有し、
前記第１プレートにおける前記接着面と反対側の面に、前記第２方向に延び、前記第２方向に互いに隣接する２つの前記中空部の前記他端を繋ぐ接続溝が形成されており、
前記３本以上の溝は、いずれも、前記接続溝と前記第１方向に重ならないことを特徴とする、請求項１～７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項9】

前記３本以上の溝は、互いに同じ幅を有することを特徴とする、請求項１～８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項10】

前記３本以上の溝は、それぞれ、３０～７０μｍの幅を有することを特徴とする、請求項１～９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項11】

前記第２方向に互いに隣接する前記中空部と前記溝との間隔、及び、前記第２方向に互いに隣接する２つの前記溝の間隔は、いずれも、５０μｍ以上であることを特徴とする、請求項１～１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項12】

第１プレート及び第２プレートを含む複数のプレートのそれぞれに、ノズル及び前記ノズルに連通する圧力室をそれぞれ含む複数の個別流路を構成する複数の中空部を形成する、流路形成工程と、
前記第１プレートにおける前記第２プレートが接着剤を介して接着される接着面であって、前記複数の中空部が開口する接着面に、溝を形成する、溝形成工程と、
前記流路形成工程及び前記溝形成工程の後、前記複数のプレートを第１方向に積層して接着剤を介して互いに接着することで、前記複数の個別流路が形成された流路部材を作製する、接着工程と、を備え、
前記接着面において、前記複数の中空部は、前記第１方向と直交する第２方向に並び、
前記溝形成工程において、前記第２方向に互いに隣接する２つの前記中空部の間に、前記第１方向と直交しかつ前記第２方向と交差する第３方向にそれぞれ延びる３本以上の前記溝を形成することを特徴とする、液体吐出ヘッドの製造方法。

【請求項13】

前記接着工程の後、前記３本以上の溝のうち前記第２方向に前記中空部と隣接する隣接溝以外の中央溝を大気と連通させ、かつ、前記ノズル及び前記圧力室を封止した状態で、前記複数の個別流路に圧力を印加し、前記複数の個別流路における圧力の変化を測定する、測定工程と、
前記測定工程で測定された圧力の変化に基づいて前記流路部材の不良を判断する、判断工程と、
をさらに備えたことを特徴とする、請求項１２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、接着剤を介して互いに接着された複数のプレートで構成される流路部材を備えた液体吐出ヘッド及びその製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、複数のプレートが積層され、隣接するプレートの対向面同士が接着剤により接着された積層体（流路部材）と、積層体に形成された個別流路と、を有する液体吐出ヘッドが示されている。複数のプレートの１つである第１流路プレートの下面には、個別流路を構成する帰還絞り路と、逃がし溝とが形成されている。当該下面は、ノズルプレートが接着剤を介して接着される面（接着面）である。接着剤の余剰分が逃がし溝に流れることで、個別流路の閉塞が抑制される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２０－１９６２０２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１では、個別流路を構成する２つの帰還絞り路（中空部）の間に１本の逃がし溝しか設けられていないため、２つの中空部の間の接着領域において、接着剤の付着面積が大きく、接着剤の量が必要以上になり得る。この場合、逃がし溝から接着剤の余剰分が溢れ出し、個別流路が閉塞され得る。

【0005】

本発明の目的は、接着剤による個別流路の閉塞をより確実に抑制できる、液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明に係る液体吐出ヘッドは、第１方向に積層されかつ接着剤を介して互いに接着された複数のプレートで構成され、ノズル及び前記ノズルに連通する圧力室をそれぞれ含む複数の個別流路が形成された、流路部材を備え、前記複数のプレートは、第１プレートと、前記第１プレートの接着面に接着剤を介して接着される第２プレートと、を含み、前記接着面には、前記複数の個別流路をそれぞれ構成する複数の中空部が開口しており、前記接着面において、前記複数の中空部は、前記第１方向と直交する第２方向に並び、前記第２方向に互いに隣接する２つの前記中空部の間に、前記第１方向と直交しかつ前記第２方向と交差する第３方向にそれぞれ延びる３本以上の溝が形成されたことを特徴とする。

【0007】

本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、第１プレート及び第２プレートを含む複数のプレートのそれぞれに、ノズル及び前記ノズルに連通する圧力室をそれぞれ含む複数の個別流路を構成する複数の中空部を形成する、流路形成工程と、前記第１プレートにおける前記第２プレートが接着剤を介して接着される接着面であって、前記複数の中空部が開口する接着面に、溝を形成する、溝形成工程と、前記流路形成工程及び前記溝形成工程の後、前記複数のプレートを第１方向に積層して接着剤を介して互いに接着する、接着工程と、を備え、前記接着面において、前記複数の中空部は、前記第１方向と直交する第２方向に並び、前記溝形成工程において、前記第２方向に互いに隣接する２つの前記中空部の間に、前記第１方向と直交しかつ前記第２方向と交差する第３方向にそれぞれ延びる３本以上の前記溝を形成することを特徴とする。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の平面図である。

【図2】ヘッド１の平面図である。

【図3】図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿ったヘッド１の断面図である。

【図4】図３に示すヘッド１の流路部材１１を構成するプレート１１ｎの下面１１ｎｙにおける図２に示す領域ＩＶの拡大図である。

【図5】ヘッド１の製造方法を示すフロー図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

＜プリンタの全体構成＞
先ず、図１を参照し、本発明の一実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の全体構成について説明する。

【0010】

プリンタ１００は、４つのヘッド１を含むヘッドユニット１ｘと、プラテン３と、搬送機構４と、制御部５とを備えている。

【0011】

ヘッドユニット１ｘは、紙幅方向（鉛直方向と直交する方向）に長尺であり、位置が固定された状態でノズル２１（図２及び図３参照）から用紙９に対してインクを吐出するライン式である。４つのヘッド１は、それぞれ紙幅方向に長尺であり、紙幅方向に千鳥状に配置されている。

【0012】

プラテン３は、ヘッドユニット１ｘの下方に配置され、鉛直方向と直交する方向に延びる平板部材である。プラテン３の上面に、用紙９が支持される。

【0013】

搬送機構４は、搬送方向（鉛直方向及び紙幅方向と直交する方向）にプラテン３を挟んで配置された２つのローラ対４ａ，４ｂを有する。制御部５の制御により搬送モータ（図示略）が駆動されると、ローラ対４ａ，４ｂが用紙９を挟持した状態で回転し、用紙９が搬送方向に搬送される。

【0014】

制御部５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を有する。ＡＳＩＣは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、制御部５は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、搬送モータ及び各ヘッド１のドライバＩＣ（共に図示略）を制御することで、搬送機構４による用紙９の搬送と、各ヘッド１による用紙９へのインクの吐出とを行わせ、用紙９上に画像を記録する。

【0015】

＜ヘッドの構成＞
次いで、図２～図４を参照し、ヘッド１の構成について説明する。

【0016】

ヘッド１は、図３に示すように、流路部材１１と、アクチュエータ部材１２とを有する。

【0017】

＜流路部材の構成＞
流路部材１１は、鉛直方向（第１方向）に積層されかつ接着剤を介して互いに接着された１５枚のプレート１１ａ～１１ｏで構成されている。各プレート１１ａ～１１ｏには、流路を構成する貫通孔や凹部（中空部）が形成されている。当該流路は、複数の個別流路２０、供給流路３１及び帰還流路３２を含む。

【0018】

複数の個別流路２０は、図２に示すように、紙幅方向（第２方向）に配列され、４つの個別流路列２０Ｒを構成している。４つの個別流路列２０Ｒは、搬送方向に沿った方向（第３方向）に並んでいる。鉛直方向と直交する面において、複数の個別流路２０は、全体として千鳥状に配置されている。

【0019】

２つの個別流路列２０Ｒに対し、１組の供給流路３１及び帰還流路３２が設けられている。図２左側の２つの個別流路列２０Ｒに属する複数の個別流路２０は、図２左側の組の供給流路３１及び帰還流路３２に連通している。図２右側の２つの個別流路列２０Ｒに属する複数の個別流路２０は、図２右側の組の供給流路３１及び帰還流路３２に連通している。

【0020】

各組の供給流路３１及び帰還流路３２は、紙幅方向に延びると共に、図３に示すように、鉛直方向に並んでいる。供給流路３１及び帰還流路３２は、それぞれの紙幅方向の一端（図２の上端）に設けられた供給口３１ｘ及び帰還口３２ｘを介して、インクタンク（図示略）に連通している。各組の供給流路３１及び帰還流路３２は、それぞれの紙幅方向の他端（図２の下端）において、互いに連結されている。

【0021】

ここで、各組の供給流路３１及び帰還流路３２におけるインクの流れについて説明する。制御部５の制御によりポンプ（図示略）が駆動されることで、インクタンク内のインクが供給口３１ｘを介して供給流路３１に供給される。供給流路３１に流入したインクは、供給流路３１内を紙幅方向の一端（図２の上端）から他端（図２の下端）に向かって移動しつつ、当該供給流路３１に連通する２つの個別流路列２０Ｒの個別流路２０に供給される。供給流路３１の紙幅方向の他端（図２の下端）に到達したインク、及び、各個別流路２０から流出したインクは、帰還流路３２に流入する。帰還流路３２に流入したインクは、帰還流路３２内を紙幅方向の他端（図２の下端）から一端（図２の上端）に向かって移動し、帰還口３２ｘを介してインクタンクに戻される。

【0022】

供給流路３１は、図３に示すように、プレート１１ｃの下面に形成された凹部とプレート１１ｄ～１１ｇに形成された貫通孔とで構成されている。帰還流路３２は、プレート１１ｉの下面に形成された凹部とプレート１１ｊ～１１ｍに形成された貫通孔とで構成されている。鉛直方向において各組の供給流路３１と帰還流路３２との間には、ダンパ室３３が設けられている。ダンパ室３３は、プレート１１ｈの下面に形成された凹部で構成されている。

【0023】

各個別流路２０は、ノズル２１と、圧力室２２と、ノズル２１と圧力室２２とを接続する接続路２３と、圧力室２２と供給流路３１とを連通させる流入路２４と、接続路２３と帰還流路３２とを連通させる流出路２５とを含む。これら流入路２４、圧力室２２、接続路２３、ノズル２１及び流出路２５は、互いに接続されることで個別流路２０を構成し、それぞれ本発明の「流路部」に該当する。

【0024】

ノズル２１は、プレート１１ｏに形成された貫通孔で構成され、流路部材１１の下面に開口している。

【0025】

圧力室２２は、プレート１１ａに形成された貫通孔で構成され、流路部材１１の上面に開口している。

【0026】

接続路２３は、圧力室２２の搬送方向の一端から下方に延びる円柱状の流路であり、プレート１１ｂ～１１ｎに形成された貫通孔で構成されている。接続路２３の直下に、ノズル２１が配置されている。

【0027】

流入路２４は、圧力室２２の搬送方向の他端（接続路２３が接続する端部とは反対側の端部）の下面に接続する一端と、供給流路３１の上面に接続する他端とを有する。

【0028】

流出路２５は、接続路２３の下端の側面に接続する一端と、帰還流路３２の下面（底部）に接続する他端２５ｘとを有する。

【0029】

流入路２４及び流出路２５は、図２に示すように、搬送方向に延び、圧力室２２の幅（紙幅方向の長さ）よりも小さい幅を有し、絞りとして機能する。

【0030】

供給流路３１から各個別流路２０に供給されたインクは、図３に矢印で示すように、流入路２４を通って圧力室２２に流入し、圧力室２２内を略水平に移動して、接続路２３に流入する。当該インクは、接続路２３を通って下方に移動し、一部がノズル２１から吐出され、残りが流出路２５を通って帰還流路３２に流入する。

【0031】

このようにインクタンクと流路部材１１との間でインクを循環させることで、流路部材１１に形成された供給流路３１及び帰還流路３２、さらには個別流路２０における、気泡の排出やインクの増粘防止が実現される。

【0032】

＜本発明の特徴＞
流出路２５は、当該流出路２５に接続する流路部である接続路２３よりも幅が狭く、本発明の「絞り流路部」に該当する。

【0033】

流出路２５は、図３に示すように、プレート１１ｎの下面１１ｎｙに形成された凹部と、当該凹部の端部に接続する貫通孔（他端２５ｘを構成する貫通孔）とで構成されている。例えば、プレート１１ｎの厚みは５０～６０μｍであり、凹部の深さは３０～４０μｍである。

【0034】

プレート１１ｎが本発明の「第１プレート」、プレート１１ｏが本発明の「第２プレート」に該当し、プレート１１ｎの下面１１ｎｙ（本発明の「接着面」）に接着剤を介してプレート１１ｏが接着されている。

【0035】

プレート１１ｎの下面１１ｎｙには、各個別流路２０の接続路２３を構成する貫通孔と、各個別流路２０の流出路２５を構成する凹部及び貫通孔（他端２５ｘを構成する貫通孔）とが、中空部Ｖとして開口している（図４参照）。

【0036】

中空部Ｖは、図４に示すように、流出路２５を構成する凹部の開口である幅狭部Ｖａと、幅狭部Ｖａの搬送方向の一端及び他端のそれぞれに設けられた２つの幅広部Ｖｂとを有する。各幅広部Ｖｂの幅（紙幅方向の長さ：例えば１００～１５０μｍ）は、幅狭部Ｖａの幅（例えば７０～９０μｍ）よりも大きい。２つの幅広部Ｖｂのうち、一方は、接続路２３を構成する貫通孔の開口であり、他方は、流出路２５の他端２５ｘを構成する貫通孔の開口である。

【0037】

複数の中空部Ｖは、プレート１１ｎの下面１１ｎｙにおいて、紙幅方向に配列され、搬送方向に並ぶ４つの列Ｖｒを形成している。列Ｖｒは、個別流路列２０Ｒ（図２参照）に対応する。各列Ｖｒに属する複数の中空部Ｖは、例えば解像度５０ｄｐｉの場合、略５０８μｍのピッチＰで紙幅方向に配列されている。

【0038】

各列Ｖｒに属する複数の中空部Ｖは、紙幅方向に当該列Ｖｒと隣接する列に属する複数の中空部Ｖと、紙幅方向に重ならず、搬送方向に離隔している。

【0039】

プレート１１ｎの下面１１ｎｙ及び上面１１ｎｘには、溝５０が形成されている。溝５０は、下面１１ｎｙに形成された隣接溝５１、中央溝５２及び連結溝５３と、上面１１ｎｘに形成された接続溝５４とを含む。なお、溝５０は、個別流路２０等のインク流路を構成する空間ではない。

【0040】

隣接溝５１及び中央溝５２は、搬送方向に延びている。連結溝５３及び接続溝５４は、紙幅方向に延びている。溝５１～５３の幅は、互いに同じであり、幅狭部Ｖａの幅よりも小さい。例えば、隣接溝５１の幅Ｗ１及び中央溝５２の幅Ｗ２が３０～７０μｍであるのに対し、幅狭部Ｖａの幅Ｗｖは７０～９０μｍであってよい。接続溝５４は、溝５１～５３よりも幅が大きい。

【0041】

紙幅方向に互いに隣接する２つの中空部Ｖの間に、３本の溝５１，５２が形成されている。３本の溝５１，５２は、それぞれ２つの中空部Ｖと紙幅方向に重なっており、紙幅方向に中空部Ｖと隣接する２つの隣接溝５１と、紙幅方向において２つの隣接溝５１の間に位置する１つの中央溝５２とで構成される。紙幅方向に互いに隣接する中空部Ｖと隣接溝５１との間隔Ｄ１、及び、紙幅方向に互いに隣接する隣接溝５１と中央溝５２との間隔Ｄ２は、いずれも、５０μｍ以上である。

【0042】

隣接溝５１の搬送方向の長さＬ１は、幅狭部Ｖａの搬送方向の長さＬａ以下である。隣接溝５１は、幅狭部Ｖａと紙幅方向に重なり、幅広部Ｖｂと紙幅方向に重なっていない。

【0043】

中央溝５２の搬送方向の長さＬ２は、幅狭部Ｖａの搬送方向の長さＬａよりも長い。

【0044】

例えば、Ｌ１＝５００～５５０μｍ、Ｌａ＝５６０～６００μｍ、Ｌ２＝７００～７５０μｍである。

【0045】

中央溝５２は、搬送方向の長さが比較的短い短尺中央溝５２ａと、搬送方向の長さが短尺中央溝５２ａよりも長い長尺中央溝５２ｂとを含む。短尺中央溝５２ａは、幅狭部Ｖａ、及び、２つの幅広部Ｖｂの一方（接続路２３に対応する部分）と、紙幅方向に重なり、２つの幅広部Ｖｂの他方（流出路２５の他端２５ｘに対応する部分）と紙幅方向に重なっていない。長尺中央溝５２ｂは、幅狭部Ｖａ及び２つの幅広部Ｖｂと紙幅方向に重なっている。各列Ｖｒにおいて、短尺中央溝５２ａと長尺中央溝５２ｂとが交互に配置されている。

【0046】

連結溝５３は、搬送方向に互いに隣接する２つの列Ｖｒの間にそれぞれ配置されており、当該２つの列Ｖｒに属する複数の長尺中央溝５２ｂを連結している。

【0047】

連結溝５３は、プレート１１ａに形成された大気連通溝（図示略）に連通しており、大気と連通している。連結溝５３につながる長尺中央溝５２ｂは、連結溝５３を介して大気と連通している。一方、短尺中央溝５２ａ及び隣接溝５１は、それぞれ閉じられた空間であり、大気と連通していない。

【0048】

プレート１１ｎの上面１１ｎｘに形成された接続溝５４は、紙幅方向に互いに隣接する２つの長尺中央溝５２ｂの間において、紙幅方向に互いに隣接する２つの中空部Ｖの幅広部Ｖｂ（流出路２５の他端２５ｘに対応する部分）を繋いでいる。他端２５ｘは、本発明の「共通流路」に該当する帰還流路３２の底部に接続している（図３参照）。接続溝５４は、当該２つの中空部Ｖの間に配置された３つの溝（２つの隣接溝５１及び１つの短尺中央溝５２ａ）と、搬送方向に重なっているが、鉛直方向には重なっていない。

【0049】

＜アクチュエータ部材の構成＞
アクチュエータ部材１２は、図３に示すように、流路部材１１の上面（プレート１１ａの上面）に固定されており、下から順に、振動板１２ａと、共通電極１２ｂと、圧電体１２ｃと、複数の個別電極１２ｄとを含む。

【0050】

振動板１２ａ、共通電極１２ｂ及び圧電体１２ｃは、プレート１１ａに形成された全ての圧力室２２を覆っている。一方、個別電極１２ｄは、圧力室２２毎に設けられており、圧力室２２のそれぞれと鉛直方向に重なっている。

【0051】

共通電極１２ｂ及び複数の個別電極１２ｄは、ドライバＩＣ（図示略）と電気的に接続されている。ドライバＩＣは、共通電極１２ｂの電位をグランド電位に維持する一方、個別電極１２ｄの電位を変化させる。具体的には、ドライバＩＣは、制御部５からの制御信号に基づいて駆動信号を生成し、当該駆動信号を個別電極１２ｄに付与する。これにより、個別電極１２ｄの電位が所定の駆動電位とグランド電位との間で変化する。このとき、振動板１２ａ及び圧電体１２ｃにおいて個別電極１２ｄと圧力室２２とで挟まれた部分（アクチュエータ１２ｘ）が、圧力室２２に向かって凸となるように変形することにより、圧力室２２の容積が変化し、圧力室２２内のインクに圧力が付与され、ノズル２１からインクが吐出される。アクチュエータ部材１２は、圧力室２２のそれぞれに対応する複数のアクチュエータ１２ｘを有する。

【0052】

＜ヘッドの製造方法＞
次いで、図５を参照し、ヘッド１の構成について説明する。

【0053】

先ず、流路部材１１の作製工程（Ｓ１）と、アクチュエータ部材１２の作製工程（Ｓ２）とを、並行して行う。

【0054】

流路部材１１の作製工程（Ｓ１）では、先ず、流路部材１１を構成するプレート１１ａ～１１ｏのそれぞれに、流路を構成する貫通孔や凹部（中空部）を形成する（Ｓ１ａ：流路形成工程）。

【0055】

ここで、プレート１１ｎ（本発明の「第１プレート」）に対しては、個別流路２０を構成する貫通孔や凹部（中空部）を形成すること（Ｓ１ａ）と同時に、溝５０（図４参照）を形成する（Ｓ１ｂ：溝形成工程）。具体的には、プレート１１ｎの下面１１ｎｙ（本発明の「接着面」）に隣接溝５１、中央溝５２及び連結溝５３を形成し、プレート１１ｎの上面１１ｎｘに接続溝５４を形成する。

【0056】

Ｓ１ａの凹部やＳ１ｂの溝５０は、エッチング等で形成する。例えば、プレート１１ｎの下面１１ｎｙに対して、１つのフォトマスクを用いて、流出路２５を構成する凹部と溝５１～５３とを同時にエッチングで形成する（Ｓ１ａ，Ｓ１ｂ）。

【0057】

Ｓ１ａ，Ｓ１ｂの後、プレート１１ａ～１１ｏを、間に接着剤を介して積層し、互いに接着する（Ｓ１ｃ：接着工程）。これにより、流路部材１１が完成する。

【0058】

なお、本実施形態では、Ｓ１の後、完成した流路部材１１についてリーク検査を行う（Ｓ３）。

【0059】

Ｓ３では、先ず、長尺中央溝５２ｂ（図４参照）が連結溝５３を介して大気と連通した状態で、かつ、流路部材１１の表面に開口するノズル２１及び圧力室２２を封止部材で封止した状態として、例えば供給口３１ｘ及び帰還口３２ｘからエアを注入して、個別流路２０に圧力を印加する。そして、圧力センサ等を用いて、個別流路２０における圧力の変化を測定する（Ｓ３ａ：測定工程）。

【0060】

Ｓ３ａの後、Ｓ３ａで測定された圧力の変化に基づいて、流路部材１１の不良を判断する（Ｓ３ｂ：判断工程）。例えば、所定時間内に所定量以上の圧力低下が生じた場合、当該流路部材１１はリークが生じ得る不良品であると判断する。流路部材１１が不良と判断された場合、Ｓ１を再度実行して流路部材１１を作製する。リーク検査（Ｓ３）で合格した（即ち、不良と判断されなかった）流路部材１１を、Ｓ４以降の工程で使用する。

【0061】

アクチュエータ部材１２の作製（Ｓ２）では、振動板１２ａの表面に共通電極１２ｂをスクリーン印刷により形成した後、共通電極１２ｂの表面に圧電体１２ｃを形成し、圧電体１２ｃの表面に複数の個別電極１２ｄを形成する。

【0062】

Ｓ２，Ｓ３の後、Ｓ３のリーク検査で合格した流路部材１１の表面に、Ｓ２で作製したアクチュエータ部材１２を接着する（Ｓ４）。

【0063】

Ｓ４の後、ＣＯＦ（Chip On Film）等の配線基板をアクチュエータ部材１２に接着すること（Ｓ５）で、ヘッド１が完成する。

【0064】

以上に述べたように、本実施形態によれば、プレート１１ｎの下面１１ｎｙ（図３に示すプレート１１ｏと接着剤を介して接着される接着面）において、紙幅方向に互いに隣接する２つの中空部Ｖの間に、３本の溝５１，５２が形成されている（図４参照）。この場合、２つの中空部Ｖの間に１本の溝だけ形成されている場合に比べ、２つの中空部Ｖの間の接着領域において、接着剤の付着面積が小さくなり、接着剤の量が必要以上になることが抑制される。また、溝の数が多い分、より多くの接着剤を捕捉できる。これにより、接着剤による中空部Ｖ（個別流路２０）の閉塞をより確実に抑制できる。

【0065】

隣接溝５１は、大気と連通していない（図４参照）。プレート１１ｎとプレート１１ｏ（図３参照）との間に異物が挟まり、異物周りの隙間を介して隣接溝５１と中空部Ｖとが連通する場合がある。この場合において、隣接溝５１が大気と連通していると、隣接溝５１と中空部Ｖとの間の圧力差により、中空部Ｖ内のインクの一部が隣接溝５１に流れ、吐出圧が減少してしまう。この点、本実施形態では、プレート１１ｎとプレート１１ｏとの間に異物が挟まり、異物周りの隙間を介して隣接溝５１と中空部Ｖとが連通した場合でも、隣接溝５１が大気と連通していないため、隣接溝５１と中空部Ｖとの間で圧力差が生じ難い。これにより、中空部Ｖ内のインクの一部が隣接溝５１に流れて吐出圧が減少する問題を抑制できる。

【0066】

中空部Ｖは、絞り流路部である流出路２５を構成する（図４参照）。絞り流路部は、他の流路部に比べて、流路抵抗が大きいため、接着剤によって閉塞された場合の吐出への影響が大きい。本実施形態では、絞り流路部である流出路２５に対して３本の溝５１，５２を設け、絞り流路部の閉塞を抑制することで、吐出への影響を効果的に抑制できる。

【0067】

隣接溝５１の搬送方向の長さＬ１は、幅狭部Ｖａの搬送方向の長さＬａ以下である（図４参照）。この場合、隣接溝５１と幅広部Ｖｂとの干渉を抑制できる。

【0068】

中央溝５２の搬送方向の長さＬ２は、幅狭部Ｖａの搬送方向の長さＬａよりも長い（図４参照）。プレート１１ｎの下面１１ｎｙには、紙幅方向に延び、紙幅方向に並ぶ複数の中央溝（長尺中央溝５２ｂ）を連結する連結溝５３が形成されている。この場合、連結溝５３を大気と連通させることで、複数の長尺中央溝５２ｂを大気と連通させることができる。

【0069】

連結溝５３は、搬送方向に互いに隣接する２つの列Ｖｒに属する複数の長尺中央溝５２ｂを連結している（図４参照）。この場合、１本の連結溝５３を大気と連通させることで、２つの列Ｖｒに属する複数の長尺中央溝５２ｂを大気と連通させることができる。

【0070】

各列Ｖｒに属する複数の中空部Ｖは、紙幅方向に当該列Ｖｒと隣接する列に属する複数の中空部Ｖと、紙幅方向に重ならない。この場合、列Ｖｒ毎に、中空部Ｖ間に溝５１，５２を形成するスペースを確保できる。

【0071】

帰還流路３２の底部（図３参照）においてインクの沈降成分（顔料等）が沈降して滞留することにより、中空部Ｖの幅広部Ｖｂ（流出路２５の他端２５ｘに対応する部分）が詰まり得る。この点、本実施形態では、接続溝５４によって、紙幅方向に互いに隣接する２つの中空部Ｖの幅広部Ｖｂ（流出路２５の他端２５ｘに対応する部分）を繋いでいる（図４参照）。これにより、沈降成分を含むインクの流れを促進し、詰まりを抑制できる。またこの場合において、プレート１１ｎの上面１１ｎｘに形成される接続溝５４と、プレート１１ｎの下面１１ｎｙに形成される溝５１，５２とを、鉛直方向に互いに重ならないようにしたことで、プレート１１ｎの局所的な強度低下（貫通孔が生じること等）を抑制できる。

【0072】

溝５１，５２は、互いに同じ幅を有する（図４参照）。この場合、溝５１，５２を容易かつ精確に形成できる。

【0073】

溝５１，５２は、それぞれ、３０～７０μｍの幅を有する。溝５１，５２の幅が３０μｍ未満であると、エッチングによる溝５１，５２の形成が困難になる。溝５１，５２の幅が７０μｍを超えると、プレート１１ｎの剛性を確保できない。本実施形態では、溝５１，５２がそれぞれ３０～７０μｍの幅を有することにより、上記問題を共に抑制できる。

【0074】

紙幅方向に互いに隣接する中空部Ｖと隣接溝５１との間隔Ｄ１、及び、紙幅方向に互いに隣接する隣接溝５１と中央溝５２との間隔Ｄ２は、いずれも、５０μｍ以上である。間隔Ｄ１，Ｄ２が５０μｍ未満であると、接着面積が小さ過ぎることで、接着不良が生じ得る。本実施形態では、間隔Ｄ１，Ｄ２が５０μｍ以上であることにより、接着面積を確保し、接着不良を抑制できる。

【0075】

プレート１１ｎとプレート１１ｏとの間に大きな異物が挟まると、異物周りの隙間を介して、紙幅方向に隣接する２つの中空部Ｖが互いに連通する場合がある。２つの中空部Ｖが互いに連通すると、所望の吐出圧が得られず、吐出不良が生じ得る。本願発明者は、上記のように２つの中空部Ｖを互いに連通させるような大きな異物は、中央溝５２に跨って配置されることに着眼し、中央溝５２（長尺中央溝５２ｂ）を大気と連通させた状態で、個別流路２０における圧力の変化を測定することを考案した（Ｓ３ａ：測定工程）。そして、圧力の変化に基づいて（例えば、所定時間内に所定量以上の圧力低下が生じた場合、中空部Ｖが中央溝５２（長尺中央溝５２ｂ）と連通している（即ち、２つの中空部Ｖを互いに連通させるような大きな異物がプレート１１ｎとプレート１１ｏとの間に挟まっている）として）、流路部材１１の不良を判断する（Ｓ３ｂ：判断工程）。このように流路部材１１の不良を判断することで、吐出不良を未然に防止できる。

【0076】

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

【0077】

上述の実施形態（図５）では、溝形成工程（Ｓ１ｂ）を流路形成工程（Ｓ１ａ）と同時に行っているが、これに限定されず、溝形成工程（Ｓ１ｂ）を流路形成工程（Ｓ１ａ）の前又は後に行ってもよい。

【0078】

上述の実施形態（図４）では２つの中空部Ｖの間に３本の溝が形成されているが、２つの中空部Ｖの間に４本以上の溝が形成されてもよい。

【0079】

上述の実施形態（図４）では、溝５１，５２が延びる方向（第３方向）は、中空部Ｖが並ぶ方向（第２方向）と直交するが、第２方向と交差すればよく、例えば図４において溝５１，５２が搬送方向に対して斜めの方向に延びてもよい。

【0080】

上述の実施形態（図３）では、接続路２３及び流出路２５が開口した下面１１ｎｙを有するプレート１１ｎを本発明の「第１プレート」としているが、これに限定されず、流路部材１１を構成する任意のプレートを「第１プレート」としてよい。例えば、流入路２４が開口した下面を有するプレート１１ｂを「第１プレート」とし、プレート１１ｂの下面において紙幅方向に隣接する２つの流入路２４の間に３本以上の溝を形成してもよい。

【0081】

上述の実施形態（図２）では、１つの共通流路（帰還流路３２）に対して２つの個別流路列２０Ｒが設けられているが、これに限定されない。例えば、１つの共通流路（帰還流路３２）に対して１つの個別流路列２０Ｒが設けられてもよい。

【0082】

上述の実施形態（図２）では、個別流路が４列に配置されているが、これに限定されず、個別流路が１～３又は５以上の列に配置されてもよい。

【0083】

上述の実施形態では、中空部は凹部及び貫通孔の双方で構成されるが、中空部は凹部及び貫通孔の一方で構成されてもよい。

【0084】

液体吐出ヘッドは、ライン式に限定されず、シリアル式（紙幅方向と平行な走査方向に移動しつつノズルから吐出対象に対して液体を吐出する方式）であってもよい。

【0085】

吐出対象は、用紙に限定されず、例えば布、基板、プラスチック部材等であってもよい。

【0086】

ノズルから吐出される液体は、インクに限定されず、任意の液体（例えば、インク中の成分を凝集又は析出させる処理液等）であってよい。

【0087】

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。

【符号の説明】

【0088】

１ ヘッド（液体吐出ヘッド）
１１ 流路部材
１１ａ～１１ｏ プレート
１１ｎ プレート（第１プレート）
１１ｎｘ 上面
１１ｎｙ 下面（接着面）
１１ｏ プレート（第２プレート）
２０ 個別流路
２１ ノズル
２２ 圧力室
２３ 接続路（流路部）
２５ 流出路（絞り流路部）
３２ 帰還流路（共通流路）
５０ 溝
５１ 隣接溝
５２ 中央溝
５３ 連結溝
５４ 接続溝
Ｖ 中空部
Ｖａ 幅狭部
Ｖｂ 幅広部
Ｖｒ 列

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】