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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022182375
(43)【公開日】2022-12-08
(54)【発明の名称】液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置
(51)【国際特許分類】
B41J 2/14 20060101AFI20221201BHJP
B41J 2/16 20060101ALI20221201BHJP
【ＦＩ】
B41J2/14 611
B41J2/14 305
B41J2/16 503
【審査請求】未請求
【請求項の数】12
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021089896
(22)【出願日】2021-05-28
(71)【出願人】
【識別番号】000002369
【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100179475
【弁理士】
【氏名又は名称】仲井 智至
(74)【代理人】
【識別番号】100216253
【弁理士】
【氏名又は名称】松岡 宏紀
(74)【代理人】
【識別番号】100225901
【弁理士】
【氏名又は名称】今村 真之
(72)【発明者】
【氏名】水田 祥平
(72)【発明者】
【氏名】奥井 宏明
【テーマコード（参考）】
2C057
【Ｆターム（参考）】
2C057AF93
2C057AG91
2C057AP25
2C057BA04
2C057BA14
(57)【要約】
【課題】圧電素子列ごとの液体の吐出特性にばらつきが生じるおそれがある。
【解決手段】液体吐出ヘッドは、複数の第１圧力室と、複数の第２圧力室と、が形成される圧力室基板と、複数の第１圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧電素子が配列された第１圧電素子列と、複数の第２圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧電素子が配列された第２圧電素子列と、第１圧電素子列と第２圧電素子列との間に配置され、複数の圧電素子に電圧を供給するための配線基板と、圧力室基板と複数の圧電素子との間に配置された振動板と、を備えた液体吐出ヘッドであって、配線基板と圧力室基板又は振動板との接合部分のうち、第１圧電素子列側には、第１量の接着剤が存在し、接合部分のうち、配線基板の第２圧電素子列側には、第１量より多い第２量の接着剤が存在し、第１圧電素子列に関する第１吐出要素と、第２圧電素子列に関する第２吐出要素とは、互いに異なる。
【選択図】図６
【解決手段】液体吐出ヘッドは、複数の第１圧力室と、複数の第２圧力室と、が形成される圧力室基板と、複数の第１圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧電素子が配列された第１圧電素子列と、複数の第２圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧電素子が配列された第２圧電素子列と、第１圧電素子列と第２圧電素子列との間に配置され、複数の圧電素子に電圧を供給するための配線基板と、圧力室基板と複数の圧電素子との間に配置された振動板と、を備えた液体吐出ヘッドであって、配線基板と圧力室基板又は振動板との接合部分のうち、第１圧電素子列側には、第１量の接着剤が存在し、接合部分のうち、配線基板の第２圧電素子列側には、第１量より多い第２量の接着剤が存在し、第１圧電素子列に関する第１吐出要素と、第２圧電素子列に関する第２吐出要素とは、互いに異なる。
【選択図】図６
【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の第１圧力室と、複数の第２圧力室と、が形成される圧力室基板と、
前記複数の第１圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧電素子が配列された第１圧電素子列と、
前記複数の第２圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧電素子が配列された第２圧電素子列と、
前記第１圧電素子列と前記第２圧電素子列との間に配置され、前記第１圧電素子列の前記複数の圧電素子及び前記第２圧電素子列の前記複数の圧電素子に電圧を供給するための配線基板と、
前記圧力室基板の厚さ方向において、前記圧力室基板と前記複数の圧電素子との間に配置された振動板と、を備えた液体吐出ヘッドであって、
前記配線基板と前記圧力室基板又は前記振動板との接合部分のうち、前記第１圧電素子列側には、第１量の接着剤が存在し、
前記接合部分のうち、前記配線基板の前記第２圧電素子列側には、前記第１量より多い第２量の接着剤が存在し、
前記第１圧電素子列に関する第１吐出要素と、前記第２圧電素子列に関する第２吐出要素とは、互いに異なる液体吐出ヘッド。
前記複数の第１圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧電素子が配列された第１圧電素子列と、
前記複数の第２圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧電素子が配列された第２圧電素子列と、
前記第１圧電素子列と前記第２圧電素子列との間に配置され、前記第１圧電素子列の前記複数の圧電素子及び前記第２圧電素子列の前記複数の圧電素子に電圧を供給するための配線基板と、
前記圧力室基板の厚さ方向において、前記圧力室基板と前記複数の圧電素子との間に配置された振動板と、を備えた液体吐出ヘッドであって、
前記配線基板と前記圧力室基板又は前記振動板との接合部分のうち、前記第１圧電素子列側には、第１量の接着剤が存在し、
前記接合部分のうち、前記配線基板の前記第２圧電素子列側には、前記第１量より多い第２量の接着剤が存在し、
前記第１圧電素子列に関する第１吐出要素と、前記第２圧電素子列に関する第２吐出要素とは、互いに異なる液体吐出ヘッド。
【請求項2】
互いに交差する方向を第１方向、第２方向とし、
前記第１圧電素子列及び前記第２圧電素子列は、それぞれ前記複数の圧電素子が前記第１方向に沿って配列され、
前記第１圧電素子列及び前記第２圧電素子列は、前記第２方向に離間する請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
前記第１圧電素子列及び前記第２圧電素子列は、それぞれ前記複数の圧電素子が前記第１方向に沿って配列され、
前記第１圧電素子列及び前記第２圧電素子列は、前記第２方向に離間する請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項3】
前記第１吐出要素は、前記第１圧力室の前記第１方向に沿う長さを含み、
前記第２吐出要素は、前記第２圧力室の前記第１方向に沿う長さを含み、
前記第２圧力室の前記第１方向に沿う長さは、前記第１圧力室の第１方向に沿う長さよりも長い請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
前記第２吐出要素は、前記第２圧力室の前記第１方向に沿う長さを含み、
前記第２圧力室の前記第１方向に沿う長さは、前記第１圧力室の第１方向に沿う長さよりも長い請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項4】
前記複数の圧電素子は、
前記複数の圧電素子に対して個別に設けられた個別電極と、
前記複数の圧電素子に対して共通に設けられた共通電極と、
前記個別電極と前記共通電極との間に配置された圧電体層と、を有し、
前記第１吐出要素は、前記第１圧電素子列の前記圧電素子における前記個別電極の前記第１方向に沿う長さを含み、
前記第２吐出要素は、前記第２圧電素子列の前記圧電素子における前記個別電極の前記第１方向に沿う長さを含み、
前記第２圧電素子列の前記圧電素子における前記個別電極の前記第１方向に沿う長さは、前記第１圧電素子列の前記圧電素子における前記個別電極の前記第１方向に沿う長さよりも長い請求項２又は３に記載の液体吐出ヘッド。
前記複数の圧電素子に対して個別に設けられた個別電極と、
前記複数の圧電素子に対して共通に設けられた共通電極と、
前記個別電極と前記共通電極との間に配置された圧電体層と、を有し、
前記第１吐出要素は、前記第１圧電素子列の前記圧電素子における前記個別電極の前記第１方向に沿う長さを含み、
前記第２吐出要素は、前記第２圧電素子列の前記圧電素子における前記個別電極の前記第１方向に沿う長さを含み、
前記第２圧電素子列の前記圧電素子における前記個別電極の前記第１方向に沿う長さは、前記第１圧電素子列の前記圧電素子における前記個別電極の前記第１方向に沿う長さよりも長い請求項２又は３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項5】
前記複数の圧電素子は、
前記複数の圧電素子に対して個別に設けられた個別電極と、
前記複数の圧電素子に対して共通に設けられた共通電極と、
前記個別電極と前記共通電極との間に配置された圧電体層と、を有し、
前記第１吐出要素は、前記第１圧電素子列の前記圧電素子における前記圧電体層の前記第１方向に沿う長さを含み、
前記第２吐出要素は、前記第２圧電素子列の前記圧電素子における前記圧電体層の前記第１方向に沿う長さを含み、
前記第２圧電素子列の前記圧電素子における前記圧電体層の前記第１方向に沿う長さは、前記第１圧電素子列の前記圧電素子における前記圧電体層の前記第１方向に沿う長さよりも短い請求項２～４の何れか一項に記載の液体吐出ヘッド。
前記複数の圧電素子に対して個別に設けられた個別電極と、
前記複数の圧電素子に対して共通に設けられた共通電極と、
前記個別電極と前記共通電極との間に配置された圧電体層と、を有し、
前記第１吐出要素は、前記第１圧電素子列の前記圧電素子における前記圧電体層の前記第１方向に沿う長さを含み、
前記第２吐出要素は、前記第２圧電素子列の前記圧電素子における前記圧電体層の前記第１方向に沿う長さを含み、
前記第２圧電素子列の前記圧電素子における前記圧電体層の前記第１方向に沿う長さは、前記第１圧電素子列の前記圧電素子における前記圧電体層の前記第１方向に沿う長さよりも短い請求項２～４の何れか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項6】
前記第１吐出要素は、前記第１圧力室の前記第２方向に沿う長さを含み、
前記第２吐出要素は、前記第２圧力室の前記第２方向に沿った長さを含み、
前記第２圧力室の前記第２方向に沿う長さは、前記第１圧力室の前記第２方向に沿う長さよりも長い請求項２～５の何れか一項に記載の液体吐出ヘッド。
前記第２吐出要素は、前記第２圧力室の前記第２方向に沿った長さを含み、
前記第２圧力室の前記第２方向に沿う長さは、前記第１圧力室の前記第２方向に沿う長さよりも長い請求項２～５の何れか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項7】
前記第１圧力室よりも上流側の外部から前記第１圧力室を通って液体を吐出する第１ノズルまで液体が流通可能な第１流路と、
前記第２圧力室よりも上流側の外部から前記第２圧力室を通って液体を吐出する第２ノズルまで液体が流通可能な第２流路と、を含み、
前記第１吐出要素は、前記第１流路内の液体の流通方向に見たときの最小断面積を含み、
前記第２吐出要素は、前記第２流路内の液体の流通方向に見たときの最小断面積を含み、
前記第２流路内の液体の流通方向に見たときの前記第２流路の最小断面積は、前記第１流路内の液体の流通方向からみたときの最小断面積よりも大きい請求項２～６の何れか一項に記載の液体吐出ヘッド。
前記第２圧力室よりも上流側の外部から前記第２圧力室を通って液体を吐出する第２ノズルまで液体が流通可能な第２流路と、を含み、
前記第１吐出要素は、前記第１流路内の液体の流通方向に見たときの最小断面積を含み、
前記第２吐出要素は、前記第２流路内の液体の流通方向に見たときの最小断面積を含み、
前記第２流路内の液体の流通方向に見たときの前記第２流路の最小断面積は、前記第１流路内の液体の流通方向からみたときの最小断面積よりも大きい請求項２～６の何れか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項8】
前記第１圧力室と連通し、液体を吐出する第１ノズルと、
前記第２圧力室と連通し、液体を吐出する第２ノズルと、を含み、
前記第１吐出要素は、前記第１ノズルの径を含み、
前記第２吐出要素は、前記第２ノズルの径を含み、
前記第２ノズルの径は、前記第１ノズルの径よりも大きい請求項２～７の何れか一項に記載の液体吐出ヘッド。
前記第２圧力室と連通し、液体を吐出する第２ノズルと、を含み、
前記第１吐出要素は、前記第１ノズルの径を含み、
前記第２吐出要素は、前記第２ノズルの径を含み、
前記第２ノズルの径は、前記第１ノズルの径よりも大きい請求項２～７の何れか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項9】
前記第１圧力室及び前記第２圧力室の両方に共通に連通し、液体を吐出するノズルを備える、請求項１～６何れか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項10】
前記配線基板は、
前記圧力室基板の厚さ方向に延在する本体部分と、
前記本体部分の前記圧力室基板側の端部から前記第２圧電素子列側に屈曲された端子と、を含む請求項１～９の何れか一項に記載の液体吐出ヘッド。
前記圧力室基板の厚さ方向に延在する本体部分と、
前記本体部分の前記圧力室基板側の端部から前記第２圧電素子列側に屈曲された端子と、を含む請求項１～９の何れか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項11】
複数の第１圧力室と、複数の第２圧力室と、が形成される圧力室基板と、
前記複数の第１圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧電素子が配列された第１圧電素子列と、
前記複数の第２圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧電素子が配列された第２圧電素子列と、
前記第１圧電素子列と前記第２圧電素子列との間に配置され、前記第１圧電素子列の前記複数の圧電素子及び前記第２圧電素子列の前記複数の圧電素子に電圧を供給するための配線基板と、
前記圧力室基板の厚さ方向において、前記圧力室基板と前記複数の圧電素子との間に配置された振動板と、を備えた液体吐出ヘッドであって、
前記配線基板は、
前記圧力室基板の厚さ方向に延在する本体部分と、
前記本体部分の前記圧力室基板側の端部から前記第２圧電素子列側に屈曲された端子と、を含み、
前記配線基板と前記圧力室基板又は前記振動板との接合部分のうち、前記第１圧電素子列側には、第１量の接着剤が存在し、
前記接合部分のうち、前記配線基板の前記第２圧電素子列側には、前記第１量の接着剤が存在する、液体吐出ヘッド。
前記複数の第１圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧電素子が配列された第１圧電素子列と、
前記複数の第２圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧電素子が配列された第２圧電素子列と、
前記第１圧電素子列と前記第２圧電素子列との間に配置され、前記第１圧電素子列の前記複数の圧電素子及び前記第２圧電素子列の前記複数の圧電素子に電圧を供給するための配線基板と、
前記圧力室基板の厚さ方向において、前記圧力室基板と前記複数の圧電素子との間に配置された振動板と、を備えた液体吐出ヘッドであって、
前記配線基板は、
前記圧力室基板の厚さ方向に延在する本体部分と、
前記本体部分の前記圧力室基板側の端部から前記第２圧電素子列側に屈曲された端子と、を含み、
前記配線基板と前記圧力室基板又は前記振動板との接合部分のうち、前記第１圧電素子列側には、第１量の接着剤が存在し、
前記接合部分のうち、前記配線基板の前記第２圧電素子列側には、前記第１量の接着剤が存在する、液体吐出ヘッド。
【請求項12】
請求項１～１１の何れか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドによる液体の吐出を制御する制御部と、を備える液体吐出装置。
前記液体吐出ヘッドによる液体の吐出を制御する制御部と、を備える液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【0002】
インク等の液体を吐出する液体吐出ヘッドがある。液体吐出ヘッドは、液体を吐出する複数のノズルと、複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、圧力室上に配置され、圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる複数の圧電素子と、複数の圧電素子に電圧を供給するための配線基板と、を備える。複数のノズルは、所定の方向に並べられてノズル列を形成する。同様に、複数の圧電素子は、ノズル列が延在する方向に並べられて、圧電素子列を形成する。
【0003】
特許文献１に記載の液体吐出ヘッドは、複数のノズル列を有する。この液体吐出ヘッドでは、複数のノズル列に対応して、複数の圧電素子列が設けられ、複数の圧電素子に対応して、複数の配線基板が設けられている。１つの圧電素子列に対して、１つの配線基板が設けられている。配線基板の端子は、圧電素子に接続されたリード電極に接続される。配線基板の端子は、例えばポッティング剤によって覆われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１１－２５４９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１の液体吐出ヘッドでは、１つの圧電素子列に対して、１つの配線基板が設けられ、配線基板ごとにポッティング剤が設けられている。これに対して、複数の圧電素子列の間に、１つの配線基板が設けられた構造の場合、複数の圧電素子列ごとの液体の吐出特性にばらつきが生じるおそれがある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一態様に係る液体吐出ヘッドは、複数の第１圧力室と、複数の第２圧力室と、が形成される圧力室基板と、複数の第１圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧電素子が配列された第１圧電素子列と、複数の第２圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧電素子が配列された第２圧電素子列と、第１圧電素子列と第２圧電素子列との間に配置され、第１圧電素子列の複数の圧電素子及び第２圧電素子列の複数の圧電素子に電圧を供給するための配線基板と、圧力室基板の厚さ方向において、圧力室基板と複数の圧電素子との間に配置された振動板と、を備えた液体吐出ヘッドであって、配線基板と圧力室基板又は振動板との接合部分のうち、第１圧電素子列側には、第１量の接着剤が存在し、接合部分のうち、配線基板の第２圧電素子列側には、第１量より多い第２量の接着剤が存在し、第１圧電素子列に関する第１吐出要素と、第２圧電素子列に関する第２吐出要素とは、互いに異なる。
【0007】
本発明の一態様に係る液体吐出ヘッドは、複数の第１圧力室と、複数の第２圧力室と、が形成される圧力室基板と、複数の第１圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧電素子が配列された第１圧電素子列と、複数の第２圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧電素子が配列された第２圧電素子列と、第１圧電素子列と第２圧電素子列との間に配置され、第１圧電素子列の複数の圧電素子及び第２圧電素子列の複数の圧電素子に電圧を供給するための配線基板と、圧力室基板の厚さ方向において、圧力室基板と複数の圧電素子との間に配置された振動板と、を備えた液体吐出ヘッドであって、配線基板は、圧力室基板の厚さ方向に延在する本体部分と、本体部分の圧力室基板側の端部から第２圧電素子列側に屈曲された端子と、を含み、配線基板と圧力室基板又は振動板との接合部分のうち、第１圧電素子列側には、第１量の接着剤が存在し、接合部分のうち、配線基板の第２圧電素子列側には、第１量の接着剤が存在する。
【0008】
本発明の一態様に係る液体吐出装置は、上記の液体吐出ヘッドと、液体吐出ヘッドによる液体の吐出を制御する制御部と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】第１実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す断面図である。
【図2】ノズルプレートを示す平面図である。
【図3】Ａ列側の圧力室及び圧電素子を示す断面図である。
【図4】Ｂ列側の圧力室及び圧電素子を示す断面図である。
【図5】連通板及び封止板を示す平面図である。
【図6】圧力室が形成された圧力室基板を示す平面図である。
【図7】圧力室基板の断面図であり、Ａ列側の圧力室ＣＡを拡大して示す図である。
【図8】圧力室基板の断面図であり、Ｂ列側の圧力室ＣＢを拡大して示す図である。
【図9】Ａ列側の圧力室及び圧電素子を示す断面図であり、Ｙ－Ｚ面に沿う断面を示す図である。
【図10】Ｂ列側の圧力室及び圧電素子を示す断面図であり、Ｙ－Ｚ面に沿う断面を示す図である。
【図11】振動板及び圧電素子の要部を拡大して示す断面図であり、Ｘ－Ｚ面に沿う断面を示す図である。
【図12】封止板の開口部内に配置されたＣＯＦ及び接着剤を示す断面図である。
【図14】第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの圧電素子の電極を示す平面図である。
【図15】液体吐出ヘッドのＡ列側の圧電素子を示す断面図である。
【図16】液体吐出ヘッドのＢ列側の圧電素子を示す断面図である。
【図17】第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの圧電素子の電極を示す平面図である。
【図18】液体吐出ヘッドのＡ列側の圧電素子を示す断面図である。
【図19】液体吐出ヘッドのＢ列側の圧電素子を示す断面図である。
【図20】第４実施形態に係る液体吐出ヘッドの圧力室が形成された圧力室基板の部分を示す平面図である。
【図21】Ａ列側の圧力室及び圧電素子を示す断面図である。
【図22】Ｂ列側の圧力室及び圧電素子を示す断面図である。
【図23】第５実施形態に係る液体吐出ヘッドの圧力室が形成された圧力室基板を示す断面図である。
【図24】第５実施形態に係る液体吐出ヘッドの圧力室が形成された圧力室基板を示す断面図である。
【図25】Ａ列側の圧力室及び圧電素子を示す断面図である。
【図26】Ｂ列側の圧力室及び圧電素子を示す断面図である。
【図27】Ａ列側の供給口を示す断面図である。
【図28】Ｂ列側の供給口を示す断面図である。
【図29】第６実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズルプレートを示す底面図である。
【図30】第７実施形態に係る液体吐出ヘッドの封止板の開口部内に配置されたＣＯＦ及び接着剤を示す断面図である。
【図31】第８実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す断面図である。
【図32】実施形態に係る液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置を示す概略図である。
【図33】液体吐出装置を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。ただし、各図において、各部の寸法及び縮尺は、実際のものと適宜に異ならせてある。また、以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【0011】
以下の説明において、互いに交差する３方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向として説明する場合がある。Ｘ軸方向は、互いに反対の方向であるＸ１方向及びＸ２方向を含む。Ｙ軸方向は、互いに反対の方向であるＹ１方向及びＹ２方向を含む。Ｚ軸方向は、互いに反対の方向であるＺ１方向及びＺ２方向を含む。Ｚ１方向は、下向きの方向であり、Ｚ２方向は、上向きの方向である。また、本明細書において、「上」及び「下」を用いる。「上」及び「下」は、液体吐出装置１のノズルが下である通常の使用状態における「上」及び「下」に対応する。
【0012】
Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向は、直交している。Ｚ軸方向は、通常上下方向に沿う方向であるが、Ｚ軸方向は、上下方向に沿う方向でなくてもよい。Ｙ軸方向は、第１方向の一例である。Ｘ軸方向は、第２方向の一例である。Ｚ軸方向は、第３方向の一例である。
【0013】
図１は、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０を示す断面図である。液体吐出ヘッド１０は、ノズルプレート２１、コンプライアンス基板２３、連通板２４，圧力室基板２５、振動板２６、封止板２７、及び圧電素子５０を備える。また、液体吐出ヘッド１０は、ケース２８、及びＣＯＦ６０を備える。ＣＯＦは、Chip on Filmの略称である。本実施形態では、液体の一例であるインクを吐出する液体吐出ヘッド１０について説明する。液体は、インクに限定されず、液体吐出ヘッド１０は、その他の液体を吐出することができる。
【0014】
ノズルプレート２１、コンプライアンス基板２３、連通板２４、圧力室基板２５、振動板２６、封止板２７、及びケース２８の厚さ方向は、Ｚ軸方向に沿う。ノズルプレート２１及びコンプライアンス基板２３は、液体吐出ヘッド１０の底部に配置される。ノズルプレート２１及びコンプライアンス基板２３のＺ２方向には、連通板２４が配置される。連通板２４のＺ２方向には、圧力室基板２５が配置される。圧力室基板２５のＺ２方向には、振動板２６が配置される。振動板２６上には、複数の圧電素子５０が形成される。振動板２６のＺ２方向には、封止板２７が配置される。封止板２７は、複数の圧電素子５０を覆う。ケース２８は、連通板２４上に配置される。
【0015】
図２は、ノズルプレート２１を示す平面図である。液体吐出ヘッド１０は、複数のノズル列ＮＡ１，ＮＢ１を有する。ノズル列ＮＡ１は、Ｙ軸方向に並んで配置された複数のノズルＮＡを含む。ノズル列Ｂ１は、Ｙ軸方向に並んで配置された複数のノズルＮＢを含む。ノズルＮＡは、第１ノズルの一例である。ノズルＮＢは、第２ノズルの一例である。ノズルＮＡ，ＮＢは、ノズルプレート２１をＺ軸方向に貫通する貫通孔である。ノズル列ＮＡ１及びノズル列ＮＢ１は、Ｘ軸方向に離間する。ノズル列ＮＡ１は、Ｚ軸方向に見て、ノズルプレート２１の中心線Ｏ２１のＸ１方向に位置する。ノズル列ＮＢ１は、Ｚ軸方向に見て、ノズルプレート２１の中心線Ｏ２１のＸ２方向に位置する。
【0016】
中心線Ｏ２１は、ノズルプレート２１のＸ軸方向における中心を通り、Ｙ軸方向に延在する仮想の直線である。ノズルプレート２１の中心線Ｏ２１は、Ｘ軸方向において、図１に示される液体吐出ヘッド１０の中心線Ｏに重なる位置に配置される。液体吐出ヘッド１０の中心線Ｏは、Ｘ軸方向において液体吐出ヘッド１０の中心を通り、Ｚ軸方向に延在する仮想の直線である。中心線Ｏは、Ｘ軸方向においてケース２８の中心を通り、Ｚ軸方向に延在する仮想の直線でもよい。
【0017】
液体吐出ヘッド１０には、インクが流れる流路４０が形成されている。流路４０は、流路４０Ａ及び流路４０Ｂを含む。流路４０Ａは、ノズルＮＡに連通する流路を含む。流路４０Ｂは、ノズルＮＢに連通する流路を含む。流路４０Ａは、供給口４２Ａ、共通液室ＲＡ、中継流路４３Ａ、圧力室ＣＡ、連通流路４５Ａ、及びノズルＮＡを含む。流路４０Ａは、複数の個別流路４１Ａを含む。個別流路４１Ａは、中継流路４３Ａ、圧力室ＣＡ、及び連通流路４５Ａを含む。共通液室ＲＡは、複数の個別流路４１Ａに共通に連通し、複数の個別流路４１Ａにインクを供給する。
【0018】
圧力室ＣＡは、第１圧力室の一例である。個別流路４１Ａは、第１流路の一例である。第１流路は、液体が流通可能な流路であり、圧力室ＣＡよりも上流側の外部から、圧力室ＣＡを通り、ノズルＮＡまでの流路である。中継流路４３Ａは、圧力室ＣＡの上流側の外部の一例である。「ノズルＮＡまで液体が流通可能な流路」は、ノズルＮＡを含まない。例えば、連通板２４に形成された連通流路４５Ａは、第１流路に含まれ、ノズルプレート２１に形成された流路は、第１流路に含まれない。
【0019】
同様に、流路４０Ｂは、供給口４２Ｂ、共通液室ＲＢ、中継流路４３Ｂ、圧力室ＣＢ、連通流路４５Ｂ、及びノズルＮＢを含む。流路４０Ｂは、複数の個別流路４１Ｂを含む。個別流路４１Ｂは、中継流路４３Ｂ、圧力室ＣＢ、連通流路４５Ｂ、及びノズルＮＢを含む。共通液室ＲＢは、複数の個別流路４１Ｂに共通に連通し、複数の個別流路４１Ｂにインクを供給する。
【0020】
圧力室ＣＢは、第２圧力室の一例である。個別流路４１Ｂは、第２流路の一例である。第２流路は、液体が流通可能な流路であり、圧力室ＣＢよりも上流側の外部から、圧力室ＣＢを通り、ノズルＮＡまでの流路である。中継流路４３Ｂは、圧力室ＣＢの上流側の外部の一例である。「ノズルＮＢまで液体が流通可能な流路」は、ノズルＮＢを含まない。例えば、連通板２４に形成された連通流路４５Ｂは、第２流路に含まれ、ノズルプレート２１に形成された流路は、第２流路に含まれない。
【0021】
なお、「流路４０Ａ」と「流路４０Ｂ」とを区別しない場合には、「流路４０」と記す場合がある。同様に、「流路４０Ａ」に含まれる「供給口４２Ａ」、「共通液室ＲＡ」、「中継流路４３Ａ」、「圧力室ＣＡ」、「連通流路４５Ａ」、及び「ノズルＮＡ」を「供給口４２」、「共通液室Ｒ」、「中継流路４３」、「圧力室Ｃ」、「連通流路４５」、及び「ノズルＮ」と記す場合がある。「流路４０Ｂ」に含まれる「供給口４２Ｂ」、「共通液室ＲＢ」、「中継流路４３Ｂ」、「圧力室ＣＢ」、「連通流路４５Ｂ」、及び「ノズルＮＢ」を「供給口４２」、「共通液室Ｒ」、「中継流路４３」、「圧力室Ｃ」、「連通流路４５」、及び「ノズルＮ」と記す場合がある。
【0022】
また、流路４０Ａを流れる液体の吐出に関して、「Ａ列側」と記載する場合がある。例えば、「Ａ列側のノズルＮＡ」、「Ａ列側の圧力室ＣＡ」、「Ａ列側の圧電素子５０Ａ」などと記載する場合がある。同様に、流路４０Ｂを流れる液体の吐出に関して、「Ｂ列側」と記載する場合がある。
【0023】
図３は、Ａ列側の圧力室ＣＡ及び圧電素子５０Ａを示す断面図である。図３は、図１中のＡ列側の流路４０Ａの要部を拡大して示す。流路４０Ａを流れるインクは、図１に示される供給口４２Ａを通り、共通液室ＲＡに流入する。共通液室ＲＡの一部は、連通板２４に形成され、共通液室ＲＡの一部は、ケース２８に形成される。共通液室ＲＡ内のインクは、中継流路４３Ａを通り、圧力室ＣＡに供給される。圧力室ＣＡ内のインクは、連通流路４５Ａを通り、ノズルＮＡから吐出される。なお、液体吐出ヘッド１０は、インクを循環させる循環方式を採用することができる。
【0024】
図４は、Ｂ列側の圧力室ＣＢ及び圧電素子５０Ｂを示す断面図である。図４は、図１中のＢ列側の流路４０Ｂの要部を拡大して示す。流路４０Ｂを流れるインクは、図１に示される供給口４２Ｂを通り、共通液室ＲＢに流入する。共通液室ＲＢの一部は、連通板２４に形成され、共通液室ＲＢの一部は、ケース２８に形成される。共通液室ＲＢ内のインクは、中継流路４３Ｂを通り、圧力室ＣＢに供給される。圧力室ＣＢ内のインクは、連通流路４５Ｂを通り、ノズルＮＢから吐出される。
【0025】
図１，図３及び図４に示されるように、コンプライアンス基板２３は、Ｘ軸方向において、ノズルプレート２１の両側に配置される。コンプライアンス基板２３は、可撓性を有する膜を含む。コンプライアンス基板２３は、共通液室ＲＡ，ＲＢの底面を構成する。コンプライアンス基板２３は、インクの圧力を受けて変形可能である。コンプライアンス基板２３は、インクの圧力によって変形し、液体吐出ヘッド２０内のインクの圧力変動を吸収できる。
【0026】
連通板２４には、共通液室ＲＡ，ＲＢの一部、中継流路４３Ａ，４３Ｂ、及び連通流路４５Ａ，４５Ｂが形成されている。連通板２４には、貫通孔、溝、又は凹部等が形成されている。これらの貫通孔、溝、又は凹部等により、共通液室ＲＡ，ＲＢの一部、中継流路４３、及び連通流路４５が形成されている。
【0027】
図５は、連通板２４及び封止板２７を示す平面図である。共通液室ＲＡ，ＲＢは、Ｙ軸方向に長尺である。共通液室ＲＡ，ＲＢは、Ｙ軸方向において、複数のノズルＮＡ，ＮＢの配置に対応している。図１に示されるように、共通液室ＲＡ，ＲＢの上側の部分は、ケース２８に形成され、共通液室ＲＡ，ＲＢの下側の部分は、連通板２４に形成されている。連通板２４に形成された共通液室ＲＡ，ＲＢの下側の部分は、Ｚ軸方向に貫通している。共通液室ＲＡのノズルＮＡに近い方の部分は、Ｚ軸方向に見て、圧力室ＣＡに重なる位置まで形成されている。同様に、共通液室ＲＢのノズルＮＢに近い方の部分は、Ｚ軸方向に見て、圧力室ＣＢに重なる位置まで形成されている。
【0028】
中継流路４３Ａは、圧力室ＣＡと共通液室ＲＡとを連通する。中継流路４３Ａは、複数の圧力室ＣＡに対して各々設けられている。複数の中継流路４３Ａは、Ｙ軸方向に所定の間隔で配置されている。中継流路４３Ｂは、圧力室ＣＢと共通液室ＲＢとを連通する。中継流路４３Ｂは、複数の圧力室ＣＢに対して各々設けられている。複数の中継流路４３Ｂは、Ｙ軸方向に所定の間隔で配置されている。
【0029】
連通流路４５Ａは、Ｚ軸方向に延在し、圧力室ＣＡとノズルＮＡとを連通する。連通流路４５Ａは、複数の圧力室ＣＡに対して各々設けられている。複数の連通流路４５Ａは、Ｙ軸方向に所定の間隔で配置されている。連通流路４５Ｂは、Ｚ軸方向に延在し、圧力室ＣＢとノズルＮＢとを連通する。連通流路４５Ｂは、複数の圧力室ＣＢに対して各々設けられている。複数の連通流路４５Ｂは、Ｙ軸方向に所定の間隔で配置されている。
【0030】
連通流路４５Ａ，４５Ｂは、連通板２４をＺ軸方向に貫通する。連通流路４５Ａ，４５Ｂは、Ｘ軸方向に互いに離間する。連通流路４５Ａは、Ｚ軸方向に見て、圧力室ＣＡと重なる位置に配置されている。連通流路４５Ｂは、Ｚ軸方向に見て、圧力室ＣＢと重なる位置に配置されている。
【0031】
図６は、圧力室基板２５を示す平面図である。図６では、ノズルＮＡ，ＮＢに対応する位置が仮想線で示されている。圧力室基板２５には、複数の圧力室ＣＡ，ＣＢが形成されている。圧力室ＣＡ，ＣＢは、圧力室基板２５をＺ軸方向に貫通する。圧力室ＣＡ，ＣＢは、Ｘ軸方向に互いに離間する。複数の圧力室ＣＡは、複数のノズルＮＡに対してそれぞれ設けられている。複数の圧力室ＣＡは、Ｙ軸方向に所定の間隔で配置されている。複数の圧力室ＣＢは、複数のノズルＮＢに対してそれぞれ設けられている。複数の圧力室ＣＢは、Ｙ軸方向に所定の間隔で配置されている。圧力室基板２５は、例えばシリコンの単結晶基板から製造できる。圧力室基板２５は、その他の材料から製造されていてもよい。
【0032】
図７は、圧力室基板２５の断面図であり、Ａ列側の圧力室ＣＡを拡大して示す。図７に示される断面は、Ｘ－Ｙ面に沿う断面である。圧力室ＣＡの上流には、中継室４６Ａ及び供給口４７Ａが設けられている。圧力室ＣＡの下流には、連通室４８Ａが設けられている。これらの中継室４６Ａ、供給口４７Ａ、及び連通室４８Ａは、圧力室基板２５に形成されている。中継室４６Ａは、中継流路４３Ａと連通する。供給口４７Ａは、中継室４６Ａと圧力室ＣＡとを連通する。連通室４８Ａは、圧力室ＣＡと、連通流路４５Ａと連通する。供給口４７のＹ軸方向に沿う幅Ｗ４７は、圧力室ＣＡのＹ軸方向に沿う幅ＷＣＡより狭い。中継室４６ＡのＹ軸方向に沿う幅Ｗ４６は、圧力室ＣＡの幅ＷＣＡと同程度の長さである。連通室４８ＡのＹ軸方向に沿う幅Ｗ４８は、圧力室ＣＡの幅ＷＣＡより狭い。
【0033】
図８は、圧力室基板２５の断面図であり、Ｂ列側の圧力室ＣＢを拡大して示す。図８に示される断面は、Ｘ－Ｙ面に沿う断面である。圧力室ＣＢの上流には、中継室４６Ｂ及び供給口４７Ｂが設けられている。圧力室ＣＢの下流には、連通室４８Ｂが設けられている。これらの中継室４６Ｂ、供給口４７Ｂ、及び連通室４８Ｂは、圧力室基板２５に形成されている。中継室４６Ｂは、中継流路４３Ｂと連通する。供給口４７Ｂは、中継室４６Ｂと圧力室ＣＢとを連通する。連通室４８Ｂは、圧力室ＣＢと、連通流路４５Ｂと連通する。供給口４７ＢのＹ軸方向に沿う幅Ｗ４７は、圧力室ＣＢのＹ軸方向に沿う幅ＷＣＢより狭い。中継室４６ＢのＹ軸方向に沿う幅Ｗ４６は、圧力室ＣＢの幅ＷＣＢと同程度の長さである。連通室４８ＢのＹ軸方向に沿う幅Ｗ４８は、圧力室ＣＢの幅ＷＣＢより狭い。
【0034】
液体吐出ヘッド１０では、Ｂ列側の圧力室の幅ＷＣＢは、Ａ列側の圧力室ＣＡの幅ＷＣＡより長い。詳しくは、後述する。
【0035】
図９は、Ａ列側の圧力室ＣＡ及び圧電素子５０Ａを示す断面図であり、Ｙ－Ｚ面に沿う断面を示す図である。図１０は、Ｂ列側の圧力室ＣＢ及び圧電素子５０Ｂを示す断面図であり、Ｙ－Ｚ面に沿う断面を示す図である。図１１は、振動板２６及び圧電素子５０の要部を拡大して示す断面図であり、Ｘ－Ｚ面に沿う断面を示す図である。振動板２６は、圧力室基板２５の上面に配置される。振動板２６は、圧力室基板２５の開口を覆う。振動板２６のうち、圧力室基板２５の開口を覆う部分は、圧力室ＣＡ，ＣＢの上側の壁面を構成する。
【0036】
振動板２６上には、複数の圧電素子５０Ａ，５０Ｂが形成されている。圧電素子５０Ａは、Ｚ軸方向に見て圧力室ＣＡに重なる位置に配置される。圧電素子５０Ａは、複数の圧力室ＣＡに対してそれぞれ設けられている。圧電素子５０Ｂは、Ｚ軸方向に見て圧力室ＣＢに重なる位置に配置される。圧電素子５０Ｂは、複数の圧力室ＣＢに対してそれぞれ設けられている。複数の圧電素子５０Ａは、複数の圧力室ＣＡの配置に対応して、中心線ＯＹに沿って配列された第１圧電素子列Ｌ５０Ａを形成する。複数の圧電素子５０Ｂは、複数の圧力室ＣＡの配置に対応して、中心線ＯＹに沿って配列された第２圧電素子列Ｌ５０Ｂを形成する。第１圧電素子列Ｌ５０Ａ及び第２圧電素子列Ｌ５０Ｂは、図１７に図示されている。中心線ＯＹは、液体吐出ヘッド１０のＸ軸方向における中心を通り、Ｙ軸方向に延在する仮想の直線である。中心線ＯＹは、第１仮想線及び第２仮想線の一例である。
【0037】
振動板２６は、弾性層２６ａと、絶縁層２６ｂとを含む。弾性層２６ａは、例えば二酸化シリコン（ＳｉＯ２）からなる。絶縁層２６ｂは、例えば二酸化ジルコニウム（ＺrＯ２）からなる。弾性層２６ａは、圧力室基板２５上に成膜され、絶縁層２６ｂは、弾性層２６ａ上に成膜される。
【0038】
振動板２６は、圧電素子５０によって駆動され、Ｚ軸方向に振動する。圧力室ＣＡの上側の壁面を成す振動板２６は、圧電素子５０Ａによって駆動される。圧力室ＣＢの上側の壁面を成す振動板２６は、圧電素子５０Ｂによって駆動される。振動板２６の合計の厚さは、例えば、２μｍ以下である。振動板２６の合計の厚さは、１５μｍ以下でもよく、４０μｍ以下でもよく、１００μｍ以下でもよい。例えば、振動板２６の合計の厚さが、１５μｍ以下の場合には、樹脂層を含んでいてもよい。振動板２６は、金属から形成されたものでもよい。金属としては、例えば、ステンレス鋼、ニッケル等が挙げられる。振動板２６が金属製である場合、振動板２６の板厚は、１５μｍ以上、１００μｍ以下でもよい。
【0039】
圧電素子５０Ａ，５０Ｂは、電極５１，５２、及び圧電体層５３を有する。電極５１、圧電体層５３、及び電極５２は、振動板２６上でこの順で積層されている。圧電体層５３は、電極５１と電極５２とによって挟まれている。電極５１は、個別電極であり、電極５２は共通電極である。なお、圧力室Ｃに近い方の電極５１が共通電極でもよく、圧力室Ｃから遠い方の電極５２が個別電極でもよい。電極５１は、Ｚ軸方向に見て、複数の圧力室ＣＡ，ＣＢに重なる位置にそれぞれ配置されている。
【0040】
電極５１は、下地層と、電極層とを含む。下地層は、例えば、チタン（Ｔｉ）を含む。電極層は、例えば、白金（Ｐｔ）又はイリジウム（Ｉｒ）等の低抵抗な導電材料を含む。当該電極層は、例えばルテニウム酸ストロンチウム（ＳｒＲｕＯ３）、及びニッケル酸ランタン（ＬａＮｉＯ３）等の酸化物で形成されてもよい。圧電体層５３は、複数の電極５１を覆うように配置されている。圧電体層５３は、Ｙ軸方向に延びる帯状の誘電膜である。圧電体層５３は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３）またはセラミック等の公知の圧電材料で形成される。
【0041】
電極５２は、下地層と、電極層とを含む。下地層は、例えば、チタンを含む。電極層は、例えば、白金又はイリジウム等の低抵抗な導電材料を含む。当該電極層は、例えばルテニウム酸ストロンチウム、及びニッケル酸ランタン等の酸化物で形成されてもよい。圧電体層５３のうち、電極５１，５２間の領域が駆動領域となる。複数の圧力室ＣＡ，ＣＢ上には、駆動領域が各々形成されている。
【0042】
図１１に示されるように、圧電素子５０には、リード電極５４が電気的に接続されている。複数の個別電極５１に対して、リード電極５４がそれぞれ接続されている。複数のリード電極５４は、Ｘ軸方向に延在し、封止板２７の開口部６５内まで引き出されている。なお、図１，図３及び図４において、リード電極５４の図示が省略されている。開口部６５は、Ｚ軸方向に封止板２７を貫通する。Ｚ軸方向に見て、開口部６５に対応する位置で、ＣＯＦ６０と電気的に接続されている。リード電極５４は、電極５１よりも低抵抗な導電材料で形成される。例えば、リード電極５４は、ニクロム（ＮｉＣｒ）で形成された導電膜の表面に金（Ａｕ）の導電膜を積層した構造の導電パターンである。
【0043】
図５に示されるように、封止板２７はＺ軸方向に見て矩形状を成している。封止板２７は、複数の圧電素子５０Ａ，５０Ｂを保護するとともに圧力室基板２５及び振動板２６の機械的な強度を補強する。封止板２７は、例えば、接着剤によって、振動板２６に接着されている。封止板２７は、振動板２６を介して、圧力室基板２５に対して固定される。
【0044】
図１に示されるように、ＣＯＦ６０は、フレキシブル配線基板６１、及び駆動回路６２を備える。フレキシブル配線基板６１は、可撓性を有する配線基板である。フレキシブル配線基板６１は、例えばＦＰＣである。フレキシブル配線基板６１は、例えばＦＦＣでもよい。ＦＰＣは、Flexible Printed Circuitの略称である。ＦＦＣは、Flexible Flat Cableの略称である。
【0045】
フレキシブル配線基板６１は、リード電極５４を介して、圧電素子５０Ａ，５０Ｂと接続されている。フレキシブル配線基板６１は、図示しない回路基板と電気的に接続されている。回路基板は、図３３に示される駆動信号生成回路３２を含む。
【0046】
駆動回路６２は、フレキシブル配線基板６１に対して実装されている。駆動回路６２は、圧電素子５０Ａ，５０Ｂを駆動するためのスイッチング素子を含む。駆動回路６２は、フレキシブル配線基板６１、及び回路基板を介して、図３３に示される制御部３０と電気的に接続されている。駆動回路６２は、駆動信号生成回路３２から出力された駆動信号Ｃｏｍを受信する。駆動回路６２のスイッチング素子は、駆動信号生成回路３２で生成された駆動信号Ｃｏｍを圧電素子５０Ａ，５０Ｂに供給するか否かを切り替える。駆動回路６２は、圧電素子５０Ａ，５０Ｂに対して、駆動電圧又は電流を供給して、振動板２６を振動させる。
【0047】
次に、図１２及び図１３を参照して、ＣＯＦ６０とリード電極５４との接続構造について説明する。図１２は、封止板２７の開口部６５内に配置されたＣＯＦ６０及び接着剤６８Ａ，６８Ｂを示す断面図である。図１３は、図１２中のＸＩＩＩ－ＸＩＩＩ線に沿う断面を示す断面図である。封止板２７の開口部６５は、Ｘ軸方向に離間する壁面６５ａと壁面６５ｂとの間の空間である。ＣＯＦ６０のフレキシブル配線基板６１は、Ｚ軸方向に延在する本体部分６１ａと、本体部分６１ａから屈曲する端子６１ｂとを含む。本体部分６１ａは、Ｙ軸方向に見て、液体吐出ヘッド１０の中心線Ｏよりも、Ａ列側に位置する。換言すれば、本体部分６１ａは、Ｘ軸方向において、壁面６５ｂよりも壁面６５ａに近い位置に配置されている。Ｘ軸方向において、本体部分６１ａから壁面６５ｂまでの長さＬＢは、本体部分６１ａから壁面６５ａまでの長さＬＡより長い。端子６１ｂは、屈曲点６１ｃから壁面６５ｂに向かってＸ２方向に張り出す。なお、中心線Ｏは、Ｘ軸方向において、開口部６５の中心を通りＺ軸方向に延在する。図１３に示される中心線ＯＹは、Ｘ軸方向において、開口部６５の中心を通り、Ｙ軸方向に延在する。
【0048】
端子６１ｂは、本体部分６１ａの下端部から屈曲されて、Ｂ列側に張り出している。端子６１ｂは、液体吐出ヘッド１０の中心線ＯよりもＢ列側に張り出している。換言すれば、端子６１ｂは、Ｘ軸方向において、中心線ＯＹよりも壁面６５ｂに位置まで張り出している。本体部分６１ａの厚さ方向は、Ｘ軸方向に沿う。端子６１ｂの厚さ方向は、Ｚ軸方向に沿う。端子６１ｂは、端子６１ｂのＺ１方向に位置するリード電極５４と電気的に接続される。
【0049】
封止板２７の開口部６５には接着剤６８Ａ，６８Ｂが配置されている。フレキシブル配線基板６１の下端部は、接着剤６８Ａ，６８Ｂによって覆われている。接着剤６８Ａは、フレキシブル配線基板６１の本体部分６１ａと壁面６５ａとの間に存在する。接着剤６８Ｂは、フレキシブル配線基板６１の本体部分６１ａと壁面６５ｂとの間に存在する。接着剤６８Ｂは、フレキシブル配線基板６１の端子６１ｂ上に配置されている。端子６１ｂは、接着剤６８Ｂによって覆われている。接着剤６８Ｂの体積は、接着剤６８Ａの体積より大きい。また、開口部６５内に接着剤６８Ａ，６８Ｂが充填されているので、Ｚ軸方向に見て、開口部６５内に存在するリード電極５４、電極５１、及び振動板２６等は、封止板２７の外部に露出していない。
【0050】
接着剤６８Ａ，６８Ｂは、例えば導電粒子等の導体を含まない非導電性接着剤である。接着剤６８Ａ，６８Ｂは、例えば非導電性接着ペースト（ＮＣＰ：Non-Conductive Paste）である。また、接着剤６８Ａ，６８Ｂは、非導電性接着フィルム（ＮＣＦ：Non-Conductive Film）でもよい。また、接着剤６８Ａ，６８Ｂは、複数の導電粒子が分散された異方性導電接着剤でもよい。異方性導電接着剤は、例えば、異方性導電ペースト（ＡＣＰ：Anisotropic Conductive Paste）でもよい。異方性導電接着剤は、異方性導電フィルム（ＡＣＦ：Anisotropic Conductive Film）でもよい。接着剤６８Ａ，６８Ｂが非導電性接着剤であると、ＡＣＦ又はＡＣＰよりも高密度実装が容易となる。接着剤６８Ａ，６８Ｂは、例えばポッティング剤又は封止剤でもよい。接着剤６８Ａは、複数種類の接着剤を含んでもよい。接着剤６８Ｂは、複数種類の接着剤を含んでもよい。
【0051】
フレキシブル配線基板６１は、接着剤６８Ａ，６８Ｂによって、封止板２７に対して接着されている。フレキシブル配線基板６１は、接着剤６８Ａ，６８Ｂによって接着され、振動板２６及びリード電極５４を介して、圧力室基板２５に対して固定される。なお、フレキシブル配線基板６１は、圧着又は半田等を用いて、リード電極５４と電気的に接続されていてもよい。このような接続構造を覆うように接着剤６８Ａ，６８Ｂが設けられていてもよい。開口部６５内に接着剤６８Ａ，６８Ｂを設けることで、フレキシブル配線基板６１は、圧力室基板２５及び封止板２７に対して固定される。フレキシブル配線基板６１は、接着剤６８Ａ，６８Ｂによって、圧力室基板２５又は封止板２７に固定される構造でもよい。接着剤６８Ａは、フレキシブル配線基板６１と圧力室基板２５又は振動板２６との接合部分のうち、第１圧電素子列側に存在する第１量の接着剤の一例である。接着剤６８Ｂは、フレキシブル配線基板６１と圧力室基板２５又は振動板２６との接合部分のうち、第２圧電素子列側に存在する第２量の接着剤の一例である。フレキシブル配線基板６１と圧力室基板２５又は振動板２６との接合部分の接着剤は、例えば、封止板２７の開口部
６５内の接着剤である。また、開口部６５内において、振動板２６が存在しない部分があり、圧力室基板２５と接着剤６８Ａ，６８Ｂとが直接接触してもよい。
６５内の接着剤である。また、開口部６５内において、振動板２６が存在しない部分があり、圧力室基板２５と接着剤６８Ａ，６８Ｂとが直接接触してもよい。
【0052】
次に、図７～図１０を参照して、圧力室ＣＡの幅ＷＣＡと、圧力室ＣＢの幅ＷＣＢとについて説明する。圧力室ＣＢの幅ＷＣＢは、圧力室ＣＡの幅ＷＣＡよりも広い。圧力室ＣＡは、Ｙ軸方向に離間する壁面７１ａ，７１ｂ間の空間である。壁面７１ａは、壁面７１ｂよりもＹ１方向に位置する。圧力室ＣＡの幅ＷＣＡは、Ｙ軸方向における壁面７１ａと壁面７１ｂとの距離である。
【0053】
圧力室ＣＢは、Ｙ軸方向に離間する壁面７２ａ，７２ｂ間の空間である。壁面７２ａは、壁面７２ｂよりもＹ１方向に位置する。圧力室ＣＢの幅ＷＣＢは、Ｙ軸方向における壁面７２ａと壁面７２ｂとの距離である。圧力室ＣＢの容積は、圧力室ＣＡの容積よりも大きい。圧力室ＣＢ内に貯留可能な液体の量は、圧力室ＣＡ内に貯留可能な液体の量よりも多い。
【0054】
液体吐出ヘッド１０では、開口部６５に配置された接着剤６８Ａの体積と、接着剤６８Ｂの体積とが異なっている。接着剤６８Ｂの体積の方が、接着剤６８Ａの体積よりも大きい。フレキシブル配線基板６１の圧電素子５０Ａ側には、第１量の接着剤６８Ａが存在し、フレキシブル配線基板６１の圧電素子５０Ｂ側には、第１量より多い第２量の接着剤６８Ｂが存在する。接着剤６８Ａ，６８Ｂの体積が異なる場合において、Ａ列側の吐出部の共振周波数と、Ｂ列側の吐出部の共振周波数とに違いが生じる。共振周波数に差分が生じ、これにより、Ａ列側の圧電素子５０Ａによる液体の吐出性能と、Ｂ列側の圧電素子５０Ｂによる液体の吐出性能とに差が生じるおそれがある。
【0055】
なお、「共振周波数」は、固有振動周期Ｔｃと共振する周波数である。固有振動周期Ｔｃは、例えば下記式（１）を用いて算出される。式（１）において、単位長さの方向は、例えばインクの振動方向に沿う。Ｍｓは、圧力室Ｃにインクを供給する中継流路４３内における等価慣性質量［ｋｇ／ｍ４］である。Ｃｉは、圧力室Ｃ内における単位圧力あたりのインクの容積変化［ｍ３／Ｐａ］である。Ｃｖは、圧力室Ｃ内における単位圧力あたりの圧力室Ｃの容積変化［ｍ３／Ｐａ］である。
Ｔｃ＝２π｛Ｍｓ×（Ｃｉ＋Ｃｖ）｝１／２…（１）
Ｔｃ＝２π｛Ｍｓ×（Ｃｉ＋Ｃｖ）｝１／２…（１）
【0056】
例えば、従来技術に係る液体吐出ヘッドにおいて、フレキシブル配線基板６１とリード電極５４との接続部を覆うように配置された接着剤が硬化収縮する場合、フレキシブル配線基板６１の両側に配置された接着剤の収縮に差が生じるおそれがある。この場合には、接着剤の量が多い方が、接着剤の量が少ない方に比べて、収縮量が高くなるおそれがある。そのため、この収縮量の差により、振動板２６の応力が生じるおそれがある。これにより、共振周波数がＡ列側とＢ列側とで異なり、Ａ列側の圧電素子による液体の吐出特性と、Ｂ列側の圧電素子による液体の吐出特性とに差が生じるおそれがある。
【0057】
本実施形態の液体吐出ヘッド１０では、圧力室ＣＢの幅ＷＢは、圧力室ＣＡの幅ＷＡよりも広い。これにより、Ａ列側の吐出部における共振周波数と、Ｂ列側の吐出部における共振周波数との差を小さくできる。その結果、Ａ列側の吐出部における吐出性能と、Ｂ列側の吐出部における吐出性能との差を小さくできる。その結果、ノズルＮＡ，ＮＢから吐出される液体の吐出性能を同程度とすることができる。
【0058】
次に、図１４～図１６を参照して、第２実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｂについて説明する。図１４は、第２実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｂの圧電素子５０Ａ，５０Ｂの電極５１Ａ，５１Ｂを示す平面図である。図１５は、液体吐出ヘッド１０Ｂの圧電素子５０Ａを示す断面図である。図１６は、液体吐出ヘッド１０Ｂの圧電素子５０Ｂを示す断面図である。図１５及び図１６では、圧電素子５０Ａ，５０ＢのＹ－Ｚ面に沿う断面を示す。第２実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｂが、第１実施形態の液体吐出ヘッド１０と違う点は、圧電素子５０Ａの電極５１Ａの幅Ｗ５１Ａと、圧電素子５０Ｂの電極５１Ｂの幅５１Ｂとが異なる点、及び、圧力室ＣＡの幅ＷＣＡと、圧力室ＣＡの幅ＷＣＢとが同じである点である。電極５１Ａの幅Ｗ５１Ａは、第１吐出要素の一例である。電極５１Ｂの幅Ｗ５１Ｂは、第２吐出要素の一例である。なお、第２実施形態の説明において、第１実施形態の説明と同様の説明は省略する。
【0059】
液体吐出ヘッド１０Ｂは、Ａ列側の圧電素子５０Ａと、Ｂ列側の圧電素子５０Ｂとを備える。圧電素子５０Ａは、電極５１Ａ，５２及び圧電体層５３を有する。圧電素子５０Ｂは、電極５１Ｂ，５２及び圧電体層５３を有する。電極５１ＢのＹ軸方向に沿う幅Ｗ５１Ｂは、電極５１ＡのＹ軸方向に沿う幅Ｗ５１Ａよりも広い。例えば、幅Ｗ５１Ｂは、幅５１Ａの１０１％～１１０％程度でもよい。
【0060】
液体吐出ヘッド１０Ｂでは、Ｂ列側の電極５１Ｂの幅Ｗ５１Ｂが、Ａ列側の電極５１Ａの幅Ｗ５１Ａよりも広い。換言すれば、電極５１Ｂと電極５２との間の圧電体層５３の駆動領域５５Ｂは、電極５１Ａと電極５２との間の圧電体層５３の駆動領域５５Ａよりも大きい。圧電素子５０Ｂによって駆動される振動板２６の変位量は、圧電素子５０Ａによって駆動される振動板２６の変位量よりも大きい。
【0061】
液体吐出ヘッド１０Ｂでは、Ｂ列側の電極５１Ｂの幅Ｗ５１Ｂを、Ａ列側の電極５１Ａの幅Ｗ５１Ａより広くすることで、Ａ列側の圧電素子５０Ａによる液体の吐出特性と、Ｂ列側の圧電素子５０Ｂによる液体の吐出特性とのばらつきを抑制できる。液体吐出ヘッド１０Ｂでは、Ａ列側の吐出部の共振周波数と、Ｂ列側の吐出部の共振周波数とを変えずに、Ａ列側の吐出特性と、Ｂ列側の吐出特性とのばらつきを抑制できる。
【0062】
なお、液体吐出ヘッド１０Ｂにおいて、圧力室ＣＡ，ＣＢの幅ＷＣＡ，ＷＣＢが同じであるとして説明しているが、幅ＷＣＡ，ＷＣＢは、互いに異なっていてもよい。例えば、第１実施形態の液体吐出ヘッド１０と同様に、圧力室ＣＢの幅ＷＣＢが、圧力室ＣＡの幅ＷＣＡよりも大きくてもよい。
【0063】
次に、図１７～図１９を参照して、第３実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｃについて説明する。図１７は、第３実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｃの圧電素子５０Ａ，５０Ｂの電極５２Ａ，５２Ｂを示す平面図である。図１８は、液体吐出ヘッド１０Ｃの圧電素子５０Ａを示す断面図である。図１９は、液体吐出ヘッド１０Ｃの圧電素子５０Ｂを示す断面図である。図１８及び図１９では、圧電素子５０Ａ，５０ＢのＹ－Ｚ面に沿う断面を示す。第３実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｃが、第１実施形態の液体吐出ヘッド１０と違う点は、圧電素子５０Ａの電極５２Ａの幅Ｗ５２Ａと、圧電素子５０Ｂの電極５２Ｂの幅５２Ｂとが異なる点、圧電素子５０Ａの圧電体層５３Ａの幅Ｗ５３Ａと、圧電素子５０Ｂの圧電体層５３Ｂの幅Ｗ５３Ｂとが異なる点、及び、圧力室ＣＡの幅ＷＣＡと、圧力室ＣＡの幅ＷＣＢとが同じである点である。電極５２Ａの幅Ｗ５２Ａは、第１吐出要素の一例である。電極５２Ａの幅Ｗ５２Ｂは、第２吐出要素の一例である。圧電体層５３Ａの幅Ｗ５３Ａは、第１吐出要素の一例である。圧電体層５３Ｂの幅Ｗ５３Ｂは、第２吐出要素の一例である。なお、第３実施形態の説明において、上記の実施形態の説明と同様の説明は省略する。
【0064】
液体吐出ヘッド１０Ｃは、Ａ列側の圧電素子５０Ａと、Ｂ列側の圧電素子５０Ｂとを備える。圧電素子５０Ａは、電極５１，５２Ａ及び圧電体層５３Ａを有する。圧電素子５０Ｂは、電極５１，５２Ｂ及び圧電体層５３Ｂを有する。電極５２ＡのＹ軸方向に沿う幅Ｗ５２Ａは、電極５２ＢのＹ軸方向に沿う幅Ｗ５２Ｂよりも広い。幅Ｗ５２Ｂは、幅Ｗ５２Ａより短い。例えば、幅Ｗ５２Ａは、幅５２Ｂの１０１％～１１０％程度でもよい。電極５２Ａの幅Ｗ５２Ａは、例えば、振動板２６からＺ２方向に離間し、且つ、Ｘ－Ｙ面に平行な部分のＹ軸方向に沿う長さである。電極５２Ｂの幅Ｗ５２Ｂは、例えば、振動板２６からＺ２方向に離間し、且つ、Ｘ－Ｙ面に平行な部分のＹ軸方向に沿う長さである。
【0065】
液体吐出ヘッド１０Ｃでは、Ａ列側の電極５２Ａの幅Ｗ５２Ａが、Ｂ列側の電極５２Ｂの幅Ｗ５２Ｂよりも広い。電極５２Ａ，５２Ｂは、例えば成膜により圧電体層５３Ａ，５３Ｂ上に形成される。電極５２Ａ，５２Ｂの幅Ｗ５２Ａ，Ｗ５２Ｂは、成膜により高精度で形成できる。
【0066】
液体吐出ヘッド１０Ｃでは、Ａ列側の電極５２Ａの幅Ｗ５２Ａを、Ｂ列側の電極５２Ｂの幅Ｗ５２Ｂより広くすることで、Ａ列側の吐出部の共振周波数を増加させることができる。これにより、Ａ列側の吐出部の吐出特性と、Ｂ列側の吐出部の吐出特性とのばらつきを抑制できる。電極５２Ａ，５２Ｂの幅Ｗ５２Ａ，Ｗ５２Ｂは、圧力室ＣＡ，ＣＢの幅ＷＣＡ，ＷＣＢと比較して精度よく形成できる。そのため、液体吐出ヘッド１０Ｃでは、電極５２Ａ，５２Ｂの幅Ｗ５２Ａ，Ｗ５２Ｂを調整して、精度よく共振周波数を調整できる。
【0067】
液体吐出ヘッド１０Ｃでは、Ａ列側の圧電体層５３ＡのＹ軸方向に沿う幅Ｗ５３Ａは、Ｂ列側の圧電体層５３ＢのＹ軸方向に沿う幅Ｗ５３Ｂより広い。幅Ｗ５３Ｂは、幅Ｗ５３Ａより短い。例えば、幅Ｗ５３Ａは、幅５３Ｂの１０１％～１１０％程度でもよい。これにより、圧電体層５３Ａ，５３Ｂの幅Ｗ５３Ａ，Ｗ５３Ｂの大きさに応じて、圧電体層５３Ａ，５３Ｂ上に、電極５２Ａ，５２Ｂを形成できる。なお、圧電体層５３Ａの幅Ｗ５３Ａは、圧電体層５３Ａのうち、電極５２Ａが形成される面のＹ軸方向に沿う幅である。また、液体吐出ヘッド１０Ｃでは、Ａ列側の圧電体層５３Ａの体積を、Ｂ列側の圧電体層５３Ｂの体積より大きくできる。このように、圧電体層５３Ａ，５３Ｂの異なるようにすることで、共振周波数を調整してもよい。
【0068】
なお、液体吐出ヘッド１０Ｃにおいて、圧力室ＣＡ，ＣＢの幅ＷＣＡ，ＷＣＢが同じであるとして説明しているが、幅ＷＣＡ，ＷＣＢは、互いに異なっていてもよい。例えば、第１実施形態の液体吐出ヘッド１０と同様に、圧力室ＣＢの幅ＷＣＢが、圧力室ＣＡの幅ＷＣＡよりも大きくてもよい。また、液体吐出ヘッド１０Ｃにおいて、上記の実施形態の液体吐出ヘッド１０Ｂと同様に、電極５１Ａ，５１Ｂの幅Ｗ５１Ａ，Ｗ５１Ｂを変えてもよい。
【0069】
次に、図２０～図２２を参照して、第４実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｄについて説明する。図２０は、第４実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｄの圧力室ＣＡ，ＣＢを示す平面図である。図２０では、圧力室ＣＡ，ＣＢが形成された圧力室基板２５の一部を示す。図２１は、Ａ列側の圧力室ＣＡ及び圧電素子５０Ａを示す断面図である。図２２は、Ｂ列側の圧力室ＣＢ及び圧電素子５０Ｂを示す断面図である。第４実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｄが、第１実施形態の液体吐出ヘッド１０と違う点は、圧力室ＣＡの長さＬＣＡと、圧力室ＣＢの長さＬＣＢとが異なる点、及び、圧力室ＣＡの幅ＷＣＡと、圧力室ＣＡの幅ＷＣＢとが同じである点である。圧力室ＣＡの長さＬＣＡは、第１吐出要素の一例である。圧力室ＣＢの長さＬＣＢは、第２吐出要素の一例である。なお、第４実施形態の説明において、上記の実施形態の説明と同様の説明は省略する。
【0070】
液体吐出ヘッド１０Ｄは、圧力室ＣＡ，ＣＢが形成される圧力室基板２５を備える。Ｂ列側の圧力室ＣＢのＸ軸方向に沿う長さＬＣＢは、Ａ列側の圧力室ＣＡのＸ軸方向に沿う長さＬＣＡよりも長い。例えば、長さＬＣＢは、長さＬＣＡの１０１％～１１０％程度でもよい。圧力室ＣＡの長さは、例えば壁面７１ａと壁面７１ｂとがＸ軸方向に延在する部分の長さでもよい。圧力室ＣＡの長さは、供給口４７Ａと連通室４８Ａとの間の距離でもよい。圧力室ＣＢの長さは、例えば壁面７２ａと壁面７２ｂとがＸ軸方向に延在する部分の長さでもよい。圧力室ＣＢの長さは、供給口４７Ｂと連通室４８Ｂとの間の距離でもよい。
【0071】
液体吐出ヘッド１０Ｄでは、Ｂ列側の圧力室ＣＢの長さＬＣＢが、Ａ列側の圧力室ＣＡの長さＬＣＡよりも長い。これにより、圧力室ＣＢの容積は、圧力室ＣＡの容積よりも大きい。圧力室ＣＢ内に貯留可能な液体の量は、圧力室ＣＡ内に貯留可能な液体の量よりも多い。Ｂ列側の圧電素子５０Ｂの圧電体層５３の駆動領域の長さは、Ａ列側の圧電素子５０Ａの圧電体層５３の駆動領域の長さよりも長くてもよい。
【0072】
このような液体吐出ヘッド１０Ｄでは、圧電素子５０Ｂの駆動領域の長さを、圧電素子５０Ａの駆動領域の長さよりも長くして、圧力室ＣＢの壁面を成す振動板２６による液体の排除変位を、圧力室ＣＡの壁面を成す振動板２６による液体の排除変位よりも増やすことができる。液体吐出ヘッド１０Ｄでは、圧力室ＣＢの長さＬＣＢを圧力室ＣＡの長さＬＣＡより長くすることで、Ａ列側の圧電素子５０Ａによる液体の吐出特性と、Ｂ列側の圧電素子５０Ｂによる液体の吐出特性とのばらつきを抑制できる。液体吐出ヘッド１０Ｂでは、Ａ列側の吐出部の共振周波数と、Ｂ列側の吐出部の共振周波数とを変えずに、Ａ列側の吐出特性と、Ｂ列側の吐出特性とのばらつきを抑制できる。
【0073】
なお、液体吐出ヘッド１０Ｄにおいて、圧力室ＣＡ，ＣＢの幅ＷＣＡ，ＷＣＢが同じであるとして説明しているが、幅ＷＣＡ，ＷＣＢは、互いに異なっていてもよい。例えば、第１実施形態の液体吐出ヘッド１０と同様に、圧力室ＣＢの幅ＷＣＢが、圧力室ＣＡの幅ＷＣＡよりも大きくてもよい。また、液体吐出ヘッド１０Ｄにおいて、上記の実施形態の液体吐出ヘッド１０Ｂ，１０Ｃと同様に、電極５１Ａ，５１Ｂの幅Ｗ５１Ａ，Ｗ５１Ｂを変えてもよく、電極５２Ａ，５２Ｂの幅Ｗ５２Ａ，Ｗ５２Ｂを変えてもよい。
【0074】
次に、図２３～図２８を参照して、第５実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｅについて説明する。図２３は、第５実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｅの圧力室ＣＡが形成された圧力室基板２５を示す断面図である。図２４は、第５実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｅの圧力室ＣＢが形成された圧力室基板２５を示す断面図である。図２５は、Ａ列側の圧力室ＣＡ及び圧電素子５０Ａを示す断面図である。図２６は、Ｂ列側の圧力室ＣＢ及び圧電素子５０Ｂを示す断面図である。図２７は、Ａ列側の供給口４７Ａを示す断面図である。図２８は、Ｂ列側の供給口４７Ｂを示す断面図である。
【0075】
第５実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｅが、第１実施形態の液体吐出ヘッド１０と違う点は、供給口４７Ａの幅Ｗ４７Ａと、供給口４７Ｂの幅４７Ｂとが異なる点、連通室４８Ａの幅Ｗ４８Ａと、連通室４８Ｂの幅Ｗ４８Ｂとが異なる点、中継流路４３Ａの幅Ｗ４３Ａと、中継流路４３Ｂの幅Ｗ４３Ｂとが異なる点、連通流路４５Ａの幅Ｗ４５Ａと、連通流路４５Ｂの幅Ｗ４５Ｂとが異なる点、及び、圧力室ＣＡの幅ＷＣＡと、圧力室ＣＡの幅ＷＣＢとが同じである点である。
【0076】
供給口４７Ａの幅Ｗ４７Ａは、第１吐出要素の一例である。供給口４７Ｂの幅Ｗ４７Ｂは、第２吐出要素の一例である。連通室４８Ａの幅Ｗ４８Ａは、第１吐出要素の一例である。連通室４８Ｂの幅Ｗ４８Ｂは、第２吐出要素の一例である。中継流路４３Ａの幅Ｗ４３Ａは、第１吐出要素の一例である。中継流路４３Ｂの幅Ｗ４３Ｂは、第２吐出要素の一例である。連通流路４５Ａの幅Ｗ４５Ａは、第１吐出要素の一例である。中継流路４３Ｂの幅Ｗ４３Ｂは、第２吐出要素の一例である。なお、第５実施形態の説明において、上記の実施形態の説明と同様の説明は省略する。
【0077】
図２３及び図２５に示されるように、液体吐出ヘッド１０Ｅの圧力室基板２５には、圧力室ＣＡ、中継室４６Ａ，供給口４７Ａ，及び連通室４８Ａが形成されている。図２４及び図２６に示されるように、圧力室ＣＢ、中継室４６Ｂ，供給口４７Ｂ，及び連通室４８Ｂが形成されている。図２７では、供給口４７ＡのＹ－Ｚ面に沿う断面が示され、図２８では、供給口４７ＢのＹ－Ｚ面に沿う断面が示されている。供給口４７ＢのＹ軸方向に沿う長さである幅Ｗ４７Ｂは、供給口４７ＡのＹ軸方向に沿う長さである幅Ｗ４７Ａより広い。換言すると、供給口４７Ｂの断面積Ｓ４７Ｂは、供給口４７Ａの断面積Ｓ４７Ａよりも大きい。供給口４７Ａの断面積Ｓ４７Ａは、第１流路の最小断面積の一例である。供給口４７Ｂの断面積Ｓ４７Ｂは、第２流路の最小断面積の一例である。
【0078】
図２７に示される供給口４７Ａの幅Ｗ４７Ａは、Ｙ軸方向に離間する壁面７３ａと壁面７３ｂとの間の距離である。図２８に示される供給口４７Ｂの幅Ｗ４７Ｂは、Ｙ軸方向に離間する壁面７４ａと壁面７４ｂとの間の距離である。圧力室基板２５のＺ軸方向の厚さは、Ｘ軸方向において同じであるので、供給口４７Ｂの断面積Ｓ４７Ｂは、供給口４７Ａの断面積Ｓ４７Ａよりも大きい。
【0079】
図２４に示される連通室４８ＢのＹ軸方向に沿う長さである幅Ｗ４８Ｂは、図２３に示される連通室４８ＡのＹ軸方向に沿う長さである幅Ｗ４８Ａより広い。換言すると、連通室４８ＢのＹ－Ｚ面に沿う断面の断面積は、連通室４８ＡのＹ－Ｚ面に沿う断面の断面積よりも大きい。
【0080】
図２６に示される中継流路４３ＢのＸ軸方向に沿う長さである幅Ｗ４３Ｂは、図２５に示される中継流路４３ＡのＸ軸方向に沿う長さである幅Ｗ４３Ａより広い。換言すると、中継流路４３ＢのＸ－Ｙ面に沿う断面の断面積は、中継流路４３ＡのＸ－Ｙ面に沿う断面の断面積よりも大きい。
【0081】
連通流路４５ＢのＸ軸方向に沿う長さである幅Ｗ４５Ｂは、連通流路４５ＡのＸ軸方向に沿う長さである幅Ｗ４５Ａより広い。換言すると、連通流路４５ＢのＸ－Ｙ面に沿う断面の断面積は、連通流路４５ＡのＸ－Ｙ面に沿う断面の断面積よりも大きい。
【0082】
このような液体吐出ヘッド１０Ｅでは、Ｂ列側の個別流路４１Ｂの流路の断面積が、Ａ列側の個別流路４１Ａの流路の断面積よりも大きいので、Ｂ列側のノズルＮＢから吐出される液体の吐出量を、Ａ列側のノズルＮＡから吐出される液体の吐出量よりも増やすことができる。液体吐出ヘッド１０Ｅでは、Ａ列側の圧電素子５０Ａによる液体の吐出特性と、Ｂ列側の圧電素子５０Ｂによる液体の吐出特性とのばらつきを抑制できる。液体吐出ヘッド１０Ｅでは、Ａ列側の吐出部の共振周波数と、Ｂ列側の吐出部の共振周波数とを変えずに、Ａ列側の吐出特性と、Ｂ列側の吐出特性とのばらつきを抑制できる。
【0083】
なお、液体吐出ヘッド１０Ｅにおいて、圧力室ＣＡ，ＣＢの幅ＷＣＡ，ＷＣＢが同じであるとして説明しているが、幅ＷＣＡ，ＷＣＢは、互いに異なっていてもよい。例えば、第１実施形態の液体吐出ヘッド１０と同様に、圧力室ＣＢの幅ＷＣＢが、圧力室ＣＡの幅ＷＣＡよりも大きくてもよい。また、液体吐出ヘッド１０Ｅにおいて、上記の実施形態の液体吐出ヘッド１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄと同様に、電極５１Ａ，５１Ｂの幅Ｗ５１Ａ，Ｗ５１Ｂを変えてもよく、電極５２Ａ，５２Ｂの幅Ｗ５２Ａ，Ｗ５２Ｂを変えてもよく、電極５１Ａ，５１Ｂの長さＬＣＡ，ＬＣＢを変えてもよい。
【0084】
次に、図２９を参照して、第６実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｆについて説明する。図２９は、第６実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｆのノズルプレート２１を示す底面図である。第６実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｆが、第１実施形態の液体吐出ヘッド１０と違う点は、Ａ列側のノズルＮＡの径ＤＮＡと、Ｂ列側のノズルＮＢの径ＤＮＢとが異なる点、及び、圧力室ＣＡの幅ＷＣＡと、圧力室ＣＡの幅ＷＣＢとが同じである点である。ノズルＮＡの径ＤＮＡは、第１吐出要素の一例である。ノズルＮＢの径ＤＮＢは、第２吐出要素の一例である。なお、第６実施形態の説明において、上記の実施形態の説明と同様の説明は省略する。
【0085】
液体吐出ヘッド１０Ｆは、ノズルＮＡ，ＮＢが形成されたノズルプレート２１を備える。Ｂ列側のノズルＮＢの径ＤＮＢは、Ａ列側のノズルＮＡの径ＤＮＡよりも大きい。Ｂ列側のノズルＮＢの開口の面積は、Ａ列側のノズルＮＡの開口の面積よりも大きい。
【0086】
このような液体吐出ヘッド１０Ｆでは、Ｂ列側のノズルＮＢの径ＤＮＢが、Ａ列側のノズルＮＡの径ＤＮＡよりも大きいので、Ｂ列側のノズルＮＢから吐出される液体の吐出量を、Ａ列側のノズルＮＡから吐出される液体の吐出量よりも増やすことができる。液体吐出ヘッド１０Ｆでは、Ａ列側の圧電素子５０Ａによる液体の吐出特性と、Ｂ列側の圧電素子５０Ｂによる液体の吐出特性とのばらつきを抑制できる。液体吐出ヘッド１０Ｆでは、Ａ列側の吐出部の共振周波数と、Ｂ列側の吐出部の共振周波数とを変えずに、Ａ列側の吐出特性と、Ｂ列側の吐出特性とのばらつきを抑制できる。
【0087】
なお、液体吐出ヘッド１０Ｆにおいて、圧力室ＣＡ，ＣＢの幅ＷＣＡ，ＷＣＢが同じであるとして説明しているが、幅ＷＣＡ，ＷＣＢは、互いに異なっていてもよい。例えば、第１実施形態の液体吐出ヘッド１０と同様に、圧力室ＣＢの幅ＷＣＢが、圧力室ＣＡの幅ＷＣＡよりも大きくてもよい。また、液体吐出ヘッド１０Ｆにおいて、上記の実施形態の液体吐出ヘッド１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ，１０Ｅと同様に、電極５１Ａ，５１Ｂの幅Ｗ５１Ａ，Ｗ５１Ｂを変えてもよく、電極５２Ａ，５２Ｂの幅Ｗ５２Ａ，Ｗ５２Ｂを変えてもよく、電極５１Ａ，５１Ｂの長さＬＣＡ，ＬＣＢを変えてもよく、個別流路４１Ａ，４１Ｂの断面積を変えてもよい。
【0088】
次に、図３０を参照して、第７実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｇについて説明する。図３０は、第７実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｇの封止板２７の開口部６５内に配置されたＣＯＦ６０及び接着剤６８Ａ，６８Ｂを示す断面図である。第７実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｇが、第１実施形態の液体吐出ヘッド１０と違う点は、Ａ列側の接着剤６８Ａの体積と、Ｂ列側の接着剤６８Ｂの体積とが同じである点である。なお、第７実施形態の説明において、上記の実施形態の説明と同様の説明は省略する。
【0089】
封止板２７の開口部６５のＸ軸方向における中心は、液体吐出ヘッド１０ＧのＸ軸方向における中心線Ｏと重なる位置に配置されている。開口部６５は、壁面６５ａと壁面６５ｂとの間の空間を含む。開口部６５のＸ軸方向における中心は、Ｘ軸方向に離間する壁面６５ａと壁面６５ｂとの間の中心に位置する。Ａ列側の接着剤６８Ａは、Ｘ軸方向において、フレキシブル配線基板６１と壁面６５ａとの間に存在する。Ｂ列側の接着剤６８Ｂは、Ｘ軸方向において、フレキシブル配線基板６１と壁面６５ｂとの間に存在する。図３０に示される断面において、Ａ列側の接着剤６８Ａの断面積と、Ｂ列側の接着剤６８Ｂの断面積とは等しい。「等しい」とは、略等しい場合を含む。
【0090】
このような液体吐出ヘッド１０Ｇでは、Ａ列側の接着剤６８Ａの体積と、Ｂ列側の接着剤６８Ｂの体積を等しくすることで、Ａ列側の圧電素子５０Ａによる液体の吐出特性と、Ｂ列側の圧電素子５０Ｂによる液体の吐出特性とのばらつきを抑制できる。
【0091】
例えば、従来技術に係る液体吐出ヘッドにおいて、フレキシブル配線基板６１とリード電極５４との接続部を覆うように配置された接着剤が硬化収縮する場合、フレキシブル配線基板６１の両側に配置された接着剤の収縮に差が生じるおそれがある。この場合には、接着剤の量が多い方が、接着剤の量が少ない方に比べて、収縮量が高くなるおそれがある。そのため、この収縮量の差により、振動板２６の応力が生じるおそれがある。これにより、Ａ列側の圧電素子による液体の吐出特性と、Ｂ列側の圧電素子による液体の吐出特性とに差が生じるおそれがある。
【0092】
本実施形態の液体吐出ヘッド１０Ｇでは、Ａ列側の接着剤６８Ａの体積と、Ｂ列側の接着剤６８Ｂの体積とを等しくすることができるので、接着剤６８Ａ，６８Ｂの収縮差を軽減できる。これにより、液体吐出ヘッド１０Ｇでは、振動板２６に残留する応力を軽減して、Ａ列側の吐出特性と、Ｂ列側の吐出特性とのばらつきを抑制できる。Ａ列側の振動板２６の共振周波数と、Ｂ列側の振動板２６の共振周波数とのばらつきを抑制できる。
【0093】
次に、図３１を参照して、第８実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｈについて説明する。図３１は、第８実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｈを示す断面図である。第８実施形態に係る液体吐出ヘッド１０Ｈが、第１実施形態の液体吐出ヘッド１０と違う点は、圧力室ＣＡ及び圧力室ＣＢの両方に連通するノズルＮを備える点である。なお、第８実施形態の説明において、上記の実施形態の説明と同様の説明は省略する。
【0094】
液体吐出ヘッド１０Ｈでは、Ａ列側の圧力室ＣＡと、Ｂ列側の圧力室ＣＢとに連通する共通のノズルＮが形成されている。このように、ノズルＮは、Ａ列側とＢ列側とで別々に形成されていなくてもよい。液体吐出ヘッド１０Ｈでは、Ａ列側の圧電素子５０Ａによる吐出特性と、Ｂ列側の圧電素子５０Ｂによる吐出特性とのばらつきを抑制できる。
【0095】
第８実施形態の液体吐出ヘッド１０Ｈにおいて、上記の液体吐出ヘッド１０Ｂ～１０Ｅと同様に、電極５１Ａ，５１Ｂの幅Ｗ５１Ａ，Ｗ５１Ｂなど、その他の吐出要素が互いにことなる構成でもよい。また、液体吐出ヘッド１０Ｈにおいて、液体吐出ヘッド１０Ｇと同様に、Ａ列側の接着剤６８Ａの体積と、Ｂ列側の接着剤６８Ｂの体積とが等しくでもよい。
【0096】
次に、変形例１に係る液体吐出ヘッド１０について説明する。変形例１に係る液体吐出ヘッド１０では、封止板２７の開口部６５を画成する壁面の位置が、上記の液体吐出ヘッド１０と異なる。例えば、図１２に示されるように、液体吐出ヘッド１０では、Ｘ軸方向において、Ａ列側の壁面６５Ａと中心線Ｏとの距離と、Ｂ列側の壁面６５Ｂと中心線Ｏとの距離とが等しい。変形例１に係る液体吐出ヘッド１０では、Ａ列側の壁面６５ａと中心線Ｏとの距離と、Ｂ列側の壁面６５ｂと中心線Ｏとの距離とが互いに異なる。例えば、Ｂ列側の壁面６５ｂと中心線Ｏとの距離は、Ａ列側の壁面６５ａと中心線Ｏとの距離よりも短い。変形例に係る液体吐出ヘッド１０の壁面６５ｂの位置は、図１２に示される第１実施形態の液体吐出ヘッド１０の壁面６５ｂと比較して、中心線Ｏに近い位置に配置されていてもよい。このように、変形例に係る液体吐出ヘッド１０では、Ｂ列側の壁面６５ｂと中心線Ｏとの距離を、Ａ列側の壁面６５ａと中心線Ｏとの距離よりも短くすることで、Ｂ列側の接着剤６８Ｂの体積を、第１実施形態の液体吐出ヘッド１０と比較して減らしてもよい。このように接着剤６８Ｂの体積を変えることで、Ａ列側の圧電素子５０Ａによる液体の吐出性能と、Ｂ列側の圧電素子５０Ｂによる液体の吐出性能とのばらつきを抑制できる。
【0097】
次に、変形例２に係る液体吐出ヘッド１０について説明する。変形例２に係る液体吐出ヘッド１０では、Ａ列側の壁面６５ａが、図１２に示される第１実施形態の液体吐出ヘッド１０の壁面６５ａと比較して、中心線Ｏから離れた位置に配置されている。このように、Ａ列側の壁面６５ａとフレキシブル配線基板６１との距離を広げてもよい。これにより、変形例２に係る１０では、第１実施形態の液体吐出ヘッド１０の場合と比較して、Ａ列側の接着剤６８Ａの体積を増加させることで、Ａ列側の圧電素子５０Ａによる液体の吐出性能と、Ｂ列側の圧電素子５０Ｂによる液体の吐出性能とのばらつきを抑制してもよい。
【0098】
次に、変形例３に係る液体吐出ヘッド１０について説明する。変形例３に係る液体吐出ヘッド１０では、封止板２７の開口部６５のＹ軸方向における端部の幅が、開口部６５のＹ軸方向における中央部の幅よりも広くなっている。なお、開口部６５の幅とは、開口部６５のＸ軸方向に沿う幅である。例えば、図５に示される第１実施形態では、封止板２７の開口部６５のＸ軸方向に沿う幅は、開口部６５のＹ軸方向において同じである。変形例３に係る液体吐出ヘッド１０では、開口部６５のＹ軸方向の両端部における幅が、開口部６５のＹ軸方向の中央部における幅よりも広い。このように、変形例３に係る液体吐出ヘッド１０において、開口部６５の端部における幅を広げてもよい。例えば、Ｙ軸方向において、圧電素子５０Ａ，５０Ｂが配置されていない領域の開口部６５の幅を広げることができる。圧電素子５０Ａ，５０Ｂが配置されていない領域とは、例えば、Ｙ軸方向において、リード電極５４が配置されていない領域でもよい。このように、開口部６５の幅を変えることで、圧力室基板２５と封止板２７との接着における応力の影響を緩和できる。変形例３に係る液体吐出ヘッド１０では、圧力室基板２５と封止板２７との接着における応力の影響を緩和して、Ｙ軸方向における端部に配置された圧電素子５０Ａ，５０Ｂにおける共振周波数の増加を緩和できる。
【0099】
次に、変形例４に係る液体吐出ヘッド１０について説明する。変形例４に係る液体吐出ヘッド１０では、封止板２７に形成された開口部６５の壁面６５ａ，６５ｂが傾斜している。例えば、図１２に示される第１実施形態では、封止板２７の開口部６５を画成する壁面６５ａ，６５ｂは、Ｚ軸方向に沿って形成されている。変形例４に係る１０では、壁面６５ａ，６５ｂは、中心線Ｏに対して傾斜している。このように、変形例４に係る液体吐出ヘッド１０では、傾斜面として壁面６５ａ，６５ｂを形成することで、接着剤６８Ａ，６８Ｂを流入させやすくすることができる。接着剤が斜面に沿って流れるので、接着剤を適切な位置に配置することができる。
【0100】
次に、図３２及び図３３を参照して、液体吐出ヘッド１０を備える液体吐出装置１について説明する。図３２は、液体吐出ヘッド１０を備える液体吐出装置１を示す概略図である。液体吐出装置１は、上記の液体吐出ヘッド１０を備える。図３２は、液体吐出装置１を示すブロック図である。液体吐出装置１は、「液体」の一例であるインクを液滴として媒体ＰＡに吐出するインクジェット方式の印刷装置である。液体吐出装置１は、シリアル型の印刷装置である。媒体ＰＡは、典型的には印刷用紙である。なお、媒体ＰＡは、印刷用紙に限定されず、例えば、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象でもよい。
【0101】
液体吐出装置１は、インクを吐出する液体吐出ヘッド１０、インクを貯留する液体容器２、液体吐出ヘッド１０を搭載するキャリッジ３、キャリッジ３を搬送するキャリッジ搬送機構４、媒体ＰＡを搬送する媒体搬送機構５、及び、制御部３０を備える。制御部３０は、液体の吐出を制御する制御部である。
【0102】
液体容器２の具体的な態様としては、例えば、液体吐出装置１に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、及び、インクを補充可能なインクタンクが挙げられる。なお、液体容器２に貯留されるインクの種類は任意である。液体吐出装置１は、例えば、４色のインクに対応して複数の液体容器２を備える。４色のインクとしては、例えば、シアン、マゼンダ、イエロー、及び、ブラックがある。液体容器２は、キャリッジ３に搭載されるものでもよい。
【0103】
液体吐出装置１は、液体容器２のインクを液体吐出ヘッド１０に供給する液体供給流路８を有する。液体供給流路８には、インクを移送するポンプ８３が設けられている。
【0104】
キャリッジ搬送機構４は、キャリッジ３を搬送するための搬送ベルト４ａ及びモーターを有する。媒体搬送機構５は、媒体ＰＡを搬送するための搬送ローラー５ａ及びモーターを有する。キャリッジ搬送機構４及び媒体搬送機構５は、制御部３０によって制御される。液体吐出装置１は、媒体搬送機構５によって媒体ＰＡを搬送させながら、キャリッジ搬送機構４によってキャリッジ３を搬送させて、媒体ＰＡにインク滴を吐出して印刷する。
【0105】
液体吐出装置１は、図３２に示されるように、リニアエンコーダー６を備える。キャリッジ３の位置を検出可能な位置に設けられている。リニアエンコーダー６は、キャリッジ３の位置に関する情報を取得する。リニアエンコーダー６は、キャリッジ３の移動に伴って、制御部３０にエンコーダー信号を出力する。
【0106】
制御部３０は、１又は複数のＣＰＵ３１を含む。制御部３０は、ＣＰＵ３１の代わりに、又は、ＣＰＵ３１に加えて、ＦＰＧＡを備えるものでもよい。制御部３０は、記憶部３５を含む。記憶部３５は、例えばＲＯＭ３６及びＲＡＭ３７を備える。記憶部３５は、ＥＥＰＲＯＭ、又はＰＲＯＭを備えていてもよい。記憶部３５は、ホストコンピューターから供給される印刷データＩｍｇを記憶できる。記憶部３５は、液体吐出装置１の制御プログラムを記憶する。
【0107】
ＣＰＵは、Central Processing Unitの略称である。ＦＰＧＡは、field-programmable gate arrayの略称である。ＲＡＭは、Random Access Memoryの略称である。ＲＯＭは、Read Only Memoryの略称である。ＥＥＰＲＯＭEは、Electrically Erasable Programmable Read-Only Memoryの略称である。ＰＲＯＭは、Programmable ROMの略称である。
【0108】
制御部３０は、液体吐出装置１の各部の動作を制御するための信号を生成する。制御部３０は、印刷信号ＳＩ及び波形指定信号ｄＣｏｍを生成できる。印刷信号ＳＩは、液体吐出ヘッド２０の動作の種類を指定するためのデジタル信号である。印刷信号ＳＩは、圧電素子５０に対して駆動信号Ｃｏｍを供給するか否かを指定できる。波形指定信号ｄＣｏｍは、駆動信号Ｃｏｍの波形を規定するデジタル信号である。駆動信号Ｃｏｍは、圧電素子５０を駆動するためのアナログ信号である。
【0109】
液体吐出装置１は、駆動信号生成回路３２を備える。駆動信号生成回路３２は、制御部３０と電気的に接続されている。駆動信号生成回路３２は、ＤＡ変換回路を含む。駆動信号生成回路３２は、波形指定信号ｄＣｏｍにより規定される波形を有する駆動信号Ｃｏｍを生成する。制御部３０は、リニアエンコーダー６からエンコーダー信号を受信すると、駆動信号生成回路３２に、タイミング信号ＰＴＳを出力する。タイミング信号ＰＴＳは、駆動信号Ｃｏｍの生成タイミングを規定する。駆動信号生成回路３２は、タイミング信号ＰＴＳを受信するごとに、駆動信号Ｃｏｍを出力する。
【0110】
駆動回路６２は、制御部３０及び駆動信号生成回路３２と電気的に接続されている。駆動回路６２は、印刷信号ＳＩに基づいて、駆動信号Ｃｏｍを圧電素子５０に供給するか否かを切り替える。駆動回路６２は、制御部３０から供給される印刷信号ＳＩ、ラッチ信号ＬＡＴ、及び、チェンジ信号ＣＨに基づいて、駆動信号Ｃｏｍが供給される圧電素子５０を選択できる。ラッチ信号ＬＡＴは、印刷データＩｍｇのラッチタイミングを規定する。チェンジ信号ＣＨは、駆動信号Ｃｏｍに含まれる駆動パルスの選択タイミングを規定する。
【0111】
制御部３０は、液体吐出ヘッド２０によるインクの吐出動作を制御する。制御部３０は、上述の通り、圧電素子５０を駆動することにより、圧力室Ｃ内のインクの圧力を変動させて、ノズルＮからインクを吐出する。制御部３０は、印刷動作を行う際に、吐出動作を制御する。
【0112】
このような液体吐出装置１において、上記の液体吐出ヘッド１０を適用できる。液体吐出ヘッド１０では、上述したように、Ａ列側の圧電素子５０Ａによる吐出特性と、Ｂ列側の圧電素子５０Ｂによる吐出特性とのばらつきを抑制できる。なお、液体吐出装置１において、液体吐出ヘッド１０Ｂ～１０Ｇを適用してもよい。
【0113】
なお、前述した実施形態は、本発明の代表的な形態を示したに過ぎず、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の変更、付加が可能である。
【0114】
前述の実施形態では、液体吐出ヘッド２０を搭載したキャリッジ３を媒体ＰＡの幅方向に往復させるシリアル方式の液体吐出装置１について例示しているが、液体吐出ヘッド１０が所定の方向に並べられて配置されたラインヘッドを備えたライン方式の液体吐出装置に本発明を適用してもよい。
【0115】
前述の実施形態で例示した液体吐出装置１は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体吐出装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示パネル等の表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、生体に関する有機物の溶液を吐出する液体吐出装置は、例えばバイオチップを製造する製造装置として利用される。
【符号の説明】
【0116】
１…液体吐出装置、１０，１０Ｂ～１０Ｈ…液体吐出ヘッド、２５…圧力室基板、２６…振動板、３０…制御部、４１Ａ…個別流路（第１流路）、４１Ｂ…個別流路（第２流路）、５０Ａ…圧電素子（第１圧電素子列の圧電素子）、５０Ｂ…圧電素子（第２圧電素子列の圧電素子）、５１，５１Ａ，５１Ｂ…電極（個別電極）、５２，５２Ａ，５２Ｂ…電極（共通電極）、５３…圧電体層、６０…ＣＯＦ、６１…フレキシブル配線基板（配線基板）、６１ａ…本体部分、６１ｂ…端子、６１ｃ…屈曲点、６８Ａ…接着剤（第１圧電素子列側の接着剤）、６８Ｂ…接着剤（第２圧電素子列側の接着剤）、ＣＡ…圧力室（第１圧力室）、ＣＢ…圧力室（第２圧力室）、ＤＮＡ…ノズルＮＡの径（第１ノズルの径）、ＤＮＢ…ノズルＮＢの径（第２ノズルの径）、ＬＣＡ…圧力室ＣＡの長さ（第１吐出要素、第１圧力室の第２方向に沿う長さ）、ＬＣＢ…圧力室ＣＢの長さ（第２吐出要素、第２圧力室の第２方向に沿う長さ）、ＮＡ…ノズル（第１ノズル）、ＮＢ…ノズル（第２ノズル）、Ｎ…ノズル、ＯＹ…Ｙ軸方向に沿う中心線（第１仮想線、第２仮想線）、Ｓ４７Ａ…断面積（第１吐出要素、第１流路の断面積）、Ｓ４７Ｂ…断面積（第２吐出要素、第２流路の最小断面積）、Ｗ５１Ａ…電極の幅（第１吐出要素、個別電極の第１方向に沿う長さ）、Ｗ５１Ｂ…電極の幅（第２吐出要素、個別電極の第１方向に沿う長さ）、Ｗ５３Ａ…圧電体層の幅（第１吐出要素、圧電体層の第１方向に沿う長さ）、Ｗ５３Ｂ…圧電体層の幅（第２吐出要素、圧電体層の第１方向に沿う長さ）、ＷＣＡ…圧力室ＣＡの幅（第１吐出要素、第１圧力室の第１方向に沿う長さ）、ＷＣＢ…圧力室ＣＢの幅（第２吐出要素、第２圧力室の第１方向に沿う長さ）、Ｘ…Ｘ軸方向（第２方向）、Ｙ…Ｙ軸方向（第１方向）、Ｚ…Ｚ軸方向（第３方向、圧力室基板の厚さ方向）。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】