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特開2022-183141フォトレジスト下層用の組成物
発明の名称 フォトレジスト下層用の組成物
出願人 ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ・コリア・リミテッド （識別番号 509266480）
特許公開件数ランキング 1257 位（17件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1492 位（13件）（共同出願を含む）
出願人 ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ，エル．エル．シー． （識別番号 591016862）
特許公開件数ランキング 1607 位（14件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1610 位（11件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2022-183141
公報発行日 2022年12月8
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-183141
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